KR20160034899A

KR20160034899A - 서미스터용 금속 질화물 재료 및 그 제조 방법 그리고 필름형 서미스터 센서

Info

Publication number: KR20160034899A
Application number: KR1020167001200A
Authority: KR
Inventors: 도시아키 후지타; 히로시 다나카; 노리아키 나가토모
Original assignee: 미쓰비시 마테리알 가부시키가이샤
Priority date: 2013-07-25
Filing date: 2014-07-24
Publication date: 2016-03-30
Also published as: JP6308436B2; TW201521048A; US20160187205A1; US10054497B2; CN105210161A; JP2015065409A; WO2015012414A1; CN105210161B

Abstract

서미스터에 사용되는 금속 질화물 재료로서, 일반식 : M_xAl_y(N_1-wO_w)_z (단, M 은 Fe, Co, Mn, Cu 및 Ni 중 적어도 1 종을 나타낸다. 0.70 ≤ y/(x ＋ y) ≤ 0.98, 0.45 ≤ z ≤ 0.55, 0 ＜ w ≤ 0.35, x ＋ y ＋ z = 1) 로 나타내는 금속 질화물로 이루어지고, 그 결정 구조가, 육방정계의 우르츠광형의 단상이다. 이 서미스터용 금속 질화물 재료의 제조 방법은, M-Al 합금 스퍼터링 타겟 (단, M 은 Fe, Co, Mn, Cu 및 Ni 중 적어도 1 종을 나타낸다.) 을 이용하여 질소 및 산소 함유 분위기 중에서 반응성 스퍼터를 실시해 성막하는 성막 공정을 갖고 있다.

Description

서미스터용 금속 질화물 재료 및 그 제조 방법 그리고 필름형 서미스터 센서{METAL NITRIDE MATERIAL FOR THERMISTOR, PRODUCTION METHOD FOR SAME, AND FILM-TYPE THERMISTOR SENSOR}

본 발명은, 필름 등에 비소성으로 직접 성막 가능한 서미스터용 금속 질화물 재료 및 그 제조 방법 그리고 필름형 서미스터 센서에 관한 것이다.

온도 센서 등에 사용되는 서미스터 재료는, 고정밀도, 고감도를 위해서, 높은 B 정수 (定數) 가 요구되고 있다. 종래, 이와 같은 서미스터 재료에는, Mn, Co, Fe 등의 천이 금속 산화물이 일반적이다 (특허문헌 1 ∼ 3 참조). 또, 이들 서미스터 재료에서는, 안정적인 서미스터 특성을 얻기 위해서, 550 ℃ 이상의 소성 등의 열처리가 필요하다.

또, 상기와 같은 금속 산화물로 이루어지는 서미스터 재료 외에, 예를 들어 특허문헌 4 에서는, 일반식 : M_xA_yN_z (단, M 은 Ta, Nb, Cr, Ti 및 Zr 중 적어도 1 종, A 는 Al, Si 및 B 중 적어도 1 종을 나타낸다. 0.1 ≤ x ≤ 0.8, 0＜ y ≤ 0.6, 0.1 ≤ z ≤ 0.8, x ＋ y ＋ z = 1) 로 나타내는 질화물로 이루어지는 서미스터용 재료가 제안되어 있다. 또, 이 특허문헌 4 에서는, Ta-Al-N 계 재료이고, 0.5 ≤ x ≤ 0.8, 0.1 ≤ y ≤ 0.5, 0.2 ≤ z ≤ 0.7, x ＋ y ＋ z = 1 로 한 것만이 실시예로서 기재되어 있다. 이 Ta-Al-N 계 재료에서는, 상기 원소를 포함하는 재료를 타겟으로서 이용하여, 질소 가스 함유 분위기 중에서 스퍼터링을 실시해 제작되고 있다. 또, 필요에 따라, 얻어진 박막을 350 ∼ 600 ℃ 에서 열처리를 실시하고 있다.

또, 서미스터 재료와는 상이한 예로서, 예를 들어 특허문헌 5 에서는, 일반식 : Cr₁₀₀ _-x- _yN_xM_y (단, M 은 Ti, V, Nb, Ta, Ni, Zr, Hf, Si, Ge, C, O, P, Se, Te, Zn, Cu, Bi, Fe, Mo, W, As, Sn, Sb, Pb, B, Ga, In, Tl, Ru, Rh, Re, Os, Ir, Pt, Pd, Ag, Au, Co, Be, Mg, Ca, Sr, Ba, Mn, Al 및 희토류 원소에서 선택되는 1 종 또는 2 종 이상의 원소이고, 결정 구조가 주로 bcc 구조 또는 주로 bcc 구조와 A15 형 구조의 혼합 조직이다. 0.0001 ≤ x ≤ 30, 0 ≤ y ≤ 30, 0.0001 ≤ x ＋ y ≤ 50) 로 나타내는 질화물로 이루어지는 변형 센서용 저항막 재료가 제안되어 있다. 이 변형 센서용 저항막 재료는, 질소량 x, 부성분 원소 M 량 y 를 모두 30 원자％ 이하인 조성에 있어서, Cr-N 기 변형 저항막의 센서의 저항 변화로부터, 변형이나 응력의 계측 그리고 변환에 사용된다. 또, 이 Cr-N-M 계 재료에서는, 상기 원소를 포함하는 재료 등의 타겟으로서 이용하고, 상기 부성분 가스를 포함하는 성막 분위기 중에서 반응성 스퍼터링을 실시하여 제작되고 있다. 또, 필요에 따라, 얻어진 박막을 200 ∼ 1000 ℃ 에서 열처리를 실시하고 있다.

일본 공개특허공보 2000-068110호 일본 공개특허공보 2000-348903호 일본 공개특허공보 2006-324520호 일본 공개특허공보 2004-319737호 일본 공개특허공보 평10-270201호

상기 종래의 기술에는, 이하의 과제가 남아 있다.

최근, 수지 필름 상에 서미스터 재료를 형성한 필름형 서미스터 센서의 개발이 검토되고 있고, 필름에 직접 성막할 수 있는 서미스터 재료의 개발이 요망되고 있다. 즉, 필름을 사용함으로써, 플렉시블한 서미스터 센서가 얻어지는 것이 기대된다. 또한, 0.1 ㎜ 정도의 두께를 갖는 매우 얇은 서미스터 센서의 개발이 요망되고 있지만, 종래는 알루미나 등의 세라믹스를 사용한 기판 재료가 자주 이용되고, 예를 들어 두께 0.1 ㎜ 로 얇게 하면 매우 물러 깨지기 쉽다는 등의 문제가 있었지만, 필름을 사용함으로써 매우 얇은 서미스터 센서가 얻어지는 것이 기대된다.

그러나, 수지 재료로 구성되는 필름은, 일반적으로 내열 온도가 150 ℃ 이하로 낮고, 비교적 내열 온도가 높은 재료로서 알려진 폴리이미드라도 200 ℃ 정도의 내열성밖에 없기 때문에, 서미스터 재료의 형성 공정에 있어서 열처리가 가해지는 경우는, 적용이 곤란하였다. 상기 종래의 산화물 서미스터 재료에서는, 원하는 서미스터 특성을 실현하기 위해서 550 ℃ 이상의 소성이 필요하여, 필름에 직접 성막한 필름형 서미스터 센서를 실현할 수 없다는 문제점이 있었다. 그 때문에, 비소성으로 직접 성막할 수 있는 서미스터 재료의 개발이 요망되고 있지만, 상기 특허문헌 4 에 기재된 서미스터 재료에서도, 원하는 서미스터 특성을 얻기 위해서, 필요에 따라 얻어진 박막을 350 ∼ 600 ℃ 에서 열처리할 필요가 있었다. 또, 이 서미스터 재료에서는, Ta-Al-N 계 재료의 실시예에 있어서, B 정수 : 500 ∼ 3000 K 정도의 재료가 얻어지고 있지만, 내열성에 관한 기술이 없고, 질화물계 재료의 열적 신뢰성이 불명이었다.

또, 특허문헌 5 의 Cr-N-M 계 재료는, B 정수가 500 이하로 작은 재료이고, 또 200 ℃ 이상 1000 ℃ 이하의 열처리를 실시하지 않으면, 200 ℃ 이내의 내열성을 확보할 수 없는 점에서, 필름에 직접 성막한 필름형 서미스터 센서를 실현할 수 없다는 문제점이 있었다. 그 때문에, 비소성으로 직접 성막할 수 있는 서미스터 재료의 개발이 요망되고 있다.

본 발명은, 전술한 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 필름 등에 비소성으로 직접 성막할 수 있고, 높은 내열성을 가져 신뢰성이 높은 서미스터용 금속 질화물 재료 및 그 제조 방법 그리고 필름형 서미스터 센서를 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명자들은, 질화물 재료 중에서도 AlN 계에 주목하고, 예의, 연구를 진행한 바, 절연체인 AlN 은, 최적의 서미스터 특성 (B 정수 : 1000 ∼ 6000 K 정도) 을 얻는 것이 어렵지만, Al 사이트를 전기 전도를 향상시키는 특정 금속 원소로 치환함과 함께, 특정 결정 구조로 함으로써, 비소성으로 양호한 B 정수와 내열성이 얻어지는 것을 알아냈다.

따라서, 본 발명은, 상기 지견으로부터 얻어진 것이고, 상기 과제를 해결하기 위해서 이하의 구성을 채용하였다.

즉, 제 1 발명에 관련된 서미스터용 금속 질화물 재료는, 서미스터에 사용되는 금속 질화물 재료로서, 일반식 : M_xAl_y(N₁ _- _wO_w)_z(단, M 은 Fe, Co, Mn, Cu 및 Ni 중 적어도 1 종을 나타낸다. 0.70 ≤ y/(x ＋ y) ≤ 0.98, 0.45 ≤ z ≤ 0.55, 0 ＜ w ≤ 0.35, x ＋ y ＋ z = 1) 로 나타내는 금속 질화물로 이루어지고, 그 결정 구조가, 육방정계의 우르츠광형의 단상인 것을 특징으로 한다.

따라서, M 이 Fe 인 경우, 일반식은 Fe_xAl_y(N₁ _- _wO_w)_z(0.70 ≤ y/(x ＋ y) ≤ 0.98, 0.45 ≤ z ≤ 0.55, 0 ＜ w ≤ 0.35, x ＋ y ＋ z = 1) 가 된다. 또, M 이 Co 인 경우, 일반식은 Co_xAl_y(N₁ _- _wO_w)_z(0.70 ≤ y/(x ＋ y) ≤ 0.98, 0.45 ≤ z ≤ 0.55, 0 ＜ w ≤ 0.35, x ＋ y ＋ z = 1 ) 가 된다. 또, M 이 Mn 인 경우, 일반식은 Mn_xAl_y(N₁ _- _wO_w)_z(0.70 ≤ y/(x ＋ y) ≤ 0.98, 0.45 ≤ z ≤ 0.55, 0 ＜ w ≤ 0.35, x ＋ y ＋ z = 1) 가 된다. 또, M 이 Cu 인 경우, 일반식은 Cu_xAl_y(N₁ _- _wO_w)_z (0.70 ≤y/(x ＋ y) ≤ 0.98, 0.45 ≤ z ≤ 0.55, 0 ＜ w ≤ 0.35, x ＋ y ＋ z = 1) 가 된다. 또한, M 이 Ni 인 경우, 일반식은 Ni_xAl_y(N₁ _- _wO_w)_z (0.70 ≤ y/(x ＋ y) ≤ 0.98, 0.45 ≤ z ≤ 0.55, 0 ＜ w ≤ 0.35, x ＋ y ＋ z = 1) 가 된다.

이 서미스터용 금속 질화물 재료에서는, 일반식 : M_xAl_y(N₁ _- _wO_w)_z (단, M 은 Fe, Co, Mn, Cu 및 Ni 중 적어도 1 종을 나타낸다. 0.70 ≤ y/(x ＋ y) ≤ 0.98, 0.45 ≤ z ≤ 0.55, 0 ＜ w ≤ 0.35, x ＋ y ＋ z = 1) 로 나타내는 금속 질화물로 이루어지고, 그 결정 구조가, 육방정계의 우르츠광형의 단상이므로, 비소성으로 양호한 B 정수가 얻어짐과 함께 높은 내열성을 갖고 있다. 특히, 산소 (O) 가 포함됨으로써, 결정 내의 질소 결함을 산소가 메우거나, 혹은 격자간 산소가 도입되는 등의 효과에 의해 내열성이 보다 향상된다.

또한, 상기 「y/(x ＋ y)」(즉, Al/(M ＋ Al)) 가 0.70 미만이면, 우르츠광형의 단상이 얻어지지 않고, NaCl 형 상과의 공존상 또는 NaCl 형만의 결정상으로 되어 버려, 충분한 고저항과 고 B 정수가 얻어지지 않는다.

또, 상기 「y/(x ＋ y)」(즉, Al/(M ＋ Al)) 가 0.98 을 초과하면, 저항률이 매우 높고, 아주 높은 절연성을 나타내므로, 서미스터 재료로서 적용할 수 없다.

또, 상기 「z」(즉, (N ＋ O)/(M ＋ Al ＋ N ＋ O)) 가 0.45 미만이면, 질화량이 적기 때문에, 우르츠광형의 단상이 얻어지지 않고, 충분한 고저항과 고 B 정수가 얻어지지 않는다.

또한, 상기 「z」(즉, (N ＋ O)/(M ＋ Al ＋ N ＋ O)) 가 0.55 를 초과하면, 우르츠광형의 단상을 얻을 수 없다. 이것은, 우르츠광형의 단상에 있어서, 질소 사이트에 있어서의 결함이 없는 경우의 화학량론비가 0.5 (즉, N/(M ＋ Al ＋ N) = 0.5) 인 것과, 질소 사이트에 있어서의 결함을 산소가 모두 보충한 경우의 화학량론비가 0.5 (즉, (N ＋ O)/(M ＋ Al ＋ N ＋ O) = 0.5) 인 것에서 기인하고, 0.5 를 초과하는 z 량에 대해서는, 격자간 산소가 도입된 것과, XPS 분석에 있어서의 경원소 (질소, 산소) 의 정량 정밀도에서 기인하는 것이다.

또, 본 연구에 있어서, 상기 「w」(즉, O/(N ＋ O)) 가 0.35 를 초과한 우르츠광형의 단상을 얻을 수 없었다. 이것은, w = 1, 또한 y/(x ＋ y) = 0 에서는, M 이 Fe 이고 코랜덤형 Fe₂O₃ 상, M 이 Co 이고 스피넬형 Co₃O₄ 상, M 이 Mn 이고 스피넬형 Mn₃O₄ 상, M 이 Cu 이고 흑동광형 CuO 상, 또한 M 이 Ni 이고 NaCl 형 NiO 상 (절연체) 이고, w = 1, 또한 y/(x ＋ y) = 1 에서는 코랜덤형 Al₂O₃ 상인 것을 고려하면 이해할 수 있다. w 값이 증가하고, 질소량에 대하여 산소량이 증가하면, 우르츠광형 단상이 얻는 것이 곤란하다는 것이 밝혀져, 본 연구에서는, O/(N ＋ O) = 0.35 까지, 우르츠광형 단상이 얻어지는 것을 찾아내고 있다.

제 2 발명에 관련된 서미스터용 금속 질화물 재료는, 제 1 발명에 있어서, 막상으로 형성되고, 상기 막의 표면에 대하여 수직 방향으로 연장되어 있는 기둥상 결정인 것을 특징으로 한다.

즉, 이 서미스터용 금속 질화물 재료에서는, 막의 표면에 대하여 수직 방향으로 연장되어 있는 기둥상 결정이므로, 막의 결정성이 높고, 높은 내열성이 얻어진다.

제 3 발명에 관련된 필름형 서미스터 센서는, 절연성 필름과, 그 절연성 필름 상에 제 1 또는 제 2 발명의 서미스터용 금속 질화물 재료로 형성된 박막 서미스터부와, 적어도 상기 박막 서미스터부의 상 또는 하에 형성된 1 쌍의 패턴 전극을 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

즉, 이 필름형 서미스터 센서에서는, 절연성 필름 상에 제 1 또는 제 2 발명의 서미스터용 금속 질화물 재료로 박막 서미스터부가 형성되어 있으므로, 비소성으로 형성되고 고 B 정수이고 내열성이 높은 박막 서미스터부에 의해, 수지 필름 등의 내열성이 낮은 절연성 필름을 사용할 수 있음과 함께, 양호한 서미스터 특성을 가진 박형이고 플렉시블한 서미스터 센서가 얻어진다.

또, 종래, 알루미나 등의 세라믹스를 사용한 기판 재료가 자주 이용되고, 예를 들어 두께 0.1 ㎜ 로 얇게 하면 매우 물러 깨지기 쉽다는 등의 문제가 있었지만, 본 발명에 있어서는 필름을 사용할 수 있으므로, 예를 들어 두께 0.1 ㎜ 의 매우 얇은 필름형 서미스터 센서를 얻을 수 있다.

제 4 발명에 관련된 서미스터용 금속 질화물 재료의 제조 방법은, 제 1 또는 제 2 발명의 서미스터용 금속 질화물 재료를 제조하는 방법으로서, M-Al 합금 스퍼터링 타겟 (단, M 은 Fe, Co, Mn, Cu 및 Ni 중 적어도 1 종을 나타낸다.) 을 이용하여 질소 및 산소 함유 분위기 중에서 반응성 스퍼터를 실시하여 성막하는 성막 공정을 갖고 있는 것을 특징으로 한다.

즉, 이 서미스터용 금속 질화물 재료의 제조 방법에서는, M-Al 합금 스퍼터링 타겟 (단, M 은 Fe, Co, Mn, Cu 및 Ni 중 적어도 1 종을 나타낸다.) 을 이용하여 질소 및 산소 함유 분위기 중에서 반응성 스퍼터를 실시해 성막하므로, 상기 M_xAl_y(N,O)_z 로 이루어지는 본 발명의 서미스터용 금속 질화물 재료를 비소성으로 성막할 수 있다.

본 발명에 의하면, 이하의 효과를 발휘한다.

즉, 본 발명에 관련된 서미스터용 금속 질화물 재료에 의하면, 일반식 : M_xAl_y(N_1-wO_w)_z (단, M 은 Fe, Co, Mn, Cu 및 Ni 중 적어도 1 종을 나타낸다. 0.70 ≤ y/(x ＋ y) ≤ 0.98, 0.45 ≤ z ≤ 0.55, 0 ＜ w ≤ 0.35, x ＋ y ＋ z = 1) 로 나타내는 금속 질화물로 이루어지고, 그 결정 구조가, 육방정계의 우르츠광형의 단상이므로, 비소성으로 양호한 B 정수가 얻어짐과 함께 높은 내열성을 갖고 있다. 또, 본 발명에 관련된 서미스터용 금속 질화물 재료의 제조 방법에 의하면, M-Al 합금 스퍼터링 타겟 (단, M 은 Fe, Co, Mn, Cu 및 Ni 중 적어도 1 종을 나타낸다.) 을 이용하여 질소 및 산소 함유 분위기 중에서 반응성 스퍼터를 실시해 성막하므로, 상기 M_xAl_y(N,O)_z 로 이루어지는 본 발명의 서미스터용 금속 질화물 재료를 비소성으로 성막할 수 있다. 또한, 본 발명에 관련된 필름형 서미스터 센서에 의하면, 절연성 필름 상에 본 발명의 서미스터용 금속 질화물 재료로 박막 서미스터부가 형성되어 있으므로, 수지 필름 등의 내열성이 낮은 절연성 필름을 이용하여 양호한 서미스터 특성을 가진 박형이고 플렉시블한 서미스터 센서가 얻어진다. 또한, 기판 재료가, 얇게 하면 매우 물러 깨지기 쉬운 세라믹스가 아니고, 수지 필름인 점에서, 두께 0.1 ㎜ 의 매우 얇은 필름형 서미스터 센서가 얻어진다.

도 1 은 본 발명에 관련된 서미스터용 금속 질화물 재료 및 그 제조 방법 그리고 필름형 서미스터 센서의 일 실시형태에 있어서, 서미스터용 금속 질화물 재료의 조성 범위를 나타내는 Fe-Al-(N ＋ O) 계 3 원계상도이다.
도 2 는 본 발명에 관련된 서미스터용 금속 질화물 재료 및 그 제조 방법 그리고 필름형 서미스터 센서의 일 실시형태에 있어서, 서미스터용 금속 질화물 재료의 조성 범위를 나타내는 Co-Al-(N ＋ O) 계 3 원계상도이다.
도 3 은 본 발명에 관련된 서미스터용 금속 질화물 재료 및 그 제조 방법 그리고 필름형 서미스터 센서의 일 실시형태에 있어서, 서미스터용 금속 질화물 재료의 조성 범위를 나타내는 Mn-Al-(N ＋ O) 계 3 원계상도이다.
도 4 는 본 발명에 관련된 서미스터용 금속 질화물 재료 및 그 제조 방법 그리고 필름형 서미스터 센서의 일 실시형태에 있어서, 서미스터용 금속 질화물 재료의 조성 범위를 나타내는 Cu-Al-(N ＋ O) 계 3 원계상도이다.
도 5 는 본 발명에 관련된 서미스터용 금속 질화물 재료 및 그 제조 방법 그리고 필름형 서미스터 센서의 일 실시형태에 있어서, 서미스터용 금속 질화물 재료의 조성 범위를 나타내는 Ni-Al-(N ＋ O) 계 3 원계상도이다.
도 6 은 본 실시형태에 있어서, 필름형 서미스터 센서를 나타내는 사시도이다.
도 7 은 본 실시형태에 있어서, 필름형 서미스터 센서의 제조 방법을 공정 순으로 나타내는 사시도이다.
도 8 은 본 발명에 관련된 서미스터용 금속 질화물 재료 및 그 제조 방법 그리고 필름형 서미스터 센서의 실시예에 있어서, 서미스터용 금속 질화물 재료의 막평가용 소자를 나타내는 정면도 및 평면도이다.
도 9 는 본 발명에 관련된 실시예 및 비교예에 있어서, M 이 Fe 인 경우에 대하여, 25 ℃ 저항률과 B 정수의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 10 은 본 발명에 관련된 실시예 및 비교예에 있어서, M 이 Co 인 경우에 대하여, 25 ℃ 저항률과 B 정수의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 11 은 본 발명에 관련된 실시예 및 비교예에 있어서, M 이 Mn 인 경우에 대하여, 25 ℃ 저항률과 B 정수의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 12 는 본 발명에 관련된 실시예 및 비교예에 있어서, M 이 Cu 인 경우에 대하여, 25 ℃ 저항률과 B 정수의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 13 은 본 발명에 관련된 실시예 및 비교예에 있어서, M 이 Ni 인 경우에 대하여, 25 ℃ 저항률과 B 정수의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 14 는 본 발명에 관련된 실시예 및 비교예에 있어서, Al/(Fe ＋ Al) 비와 B 정수의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 15 는 본 발명에 관련된 실시예 및 비교예에 있어서, Al/(Co ＋ Al) 비와 B 정수의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 16 은 본 발명에 관련된 실시예 및 비교예에 있어서, Al/(Mn ＋ Al) 비와 B 정수의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 17 은 본 발명에 관련된 실시예 및 비교예에 있어서, Al/(Cu ＋ Al) 비와 B 정수의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 18 은 본 발명에 관련된 실시예 및 비교예에 있어서, Al/(Ni ＋ Al) 비와 B 정수의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 19 는 본 발명에 관련된 실시예에 있어서, Al/(Fe ＋ Al) = 0.92 로 한 c 축 배향이 강한 경우에 있어서의 X 선 회절 (XRD) 의 결과를 나타내는 그래프이다.
도 20 은 본 발명에 관련된 실시예에 있어서, Al/(Co ＋ Al) = 0.89 로 한 c 축 배향이 강한 경우에 있어서의 X 선 회절 (XRD) 의 결과를 나타내는 그래프이다.
도 21 은 본 발명에 관련된 실시예에 있어서, Al/(Mn ＋ Al) = 0.95 로 한 c 축 배향이 강한 경우에 있어서의 X 선 회절 (XRD) 의 결과를 나타내는 그래프이다.
도 22 는 본 발명에 관련된 실시예에 있어서, Al/(Cu ＋ Al) = 0.89 로 한 c 축 배향이 강한 경우에 있어서의 X 선 회절 (XRD) 의 결과를 나타내는 그래프이다.
도 23 은 본 발명에 관련된 실시예에 있어서, Al/(Ni ＋ Al) = 0.75 로 한 c 축 배향이 강한 경우에 있어서의 X 선 회절 (XRD) 의 결과를 나타내는 그래프이다.
도 24 는 본 발명에 관련된 실시예에 있어서, N/(Fe ＋ Al ＋ N) 비와 O/(N ＋ O) 비의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 25 는 본 발명에 관련된 실시예에 있어서, N/(Co ＋ Al ＋ N) 비와 O/(N ＋ O) 비의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 26 은 본 발명에 관련된 실시예에 있어서, N/(Mn ＋ Al ＋ N) 비와 O/(N ＋ O) 비의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 27 은 본 발명에 관련된 실시예에 있어서, N/(Cu ＋ Al ＋ N) 비와 O/(N ＋ O) 비의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 28 은 본 발명에 관련된 실시예에 있어서, N/(Ni ＋ Al ＋ N) 비와 O/(N ＋ O) 비의 관계를 나타내는 그래프이다.
도 29 는 본 발명에 관련된 실시예에 있어서, M = Fe 인 경우에 있어서의 단면 SEM 사진이다.
도 30 은 본 발명에 관련된 실시예에 있어서, M = Co 인 경우에 있어서의 단면 SEM 사진이다.
도 31 은 본 발명에 관련된 실시예에 있어서, M = Mn 인 경우에 있어서의 단면 SEM 사진이다.
도 32 는 본 발명에 관련된 실시예에 있어서, M = Cu 인 경우에 있어서의 단면 SEM 사진이다.
도 33 은 본 발명에 관련된 실시예에 있어서, M = Ni 인 경우에 있어서의 단면 SEM 사진이다.

이하, 본 발명에 관련된 서미스터용 금속 질화물 재료 및 그 제조 방법 그리고 필름형 서미스터 센서에 있어서의 일 실시형태를, 도 1 내지 도 7 을 참조하면서 설명한다. 또한, 이하의 설명에 사용하는 도면에서는, 각 부를 인식 가능 또는 인식 용이한 크기로 하기 위해서 필요에 따라 축척을 적절히 변경하고 있다.

본 실시형태의 서미스터용 금속 질화물 재료는, 서미스터에 사용되는 금속 질화물 재료로서, 일반식 : M_xAl_y(N₁ _- _wO_w)_z (단, M 은 Fe, Co, Mn, Cu 및 Ni 중 적어도 1 종을 나타낸다. 0.70 ≤ y/(x ＋ y) ≤ 0.98, 0.45 ≤ z ≤ 0.55, 0 ＜ w ≤ 0.35, x ＋ y ＋ z = 1) 로 나타내는 금속 질화물로 이루어지고, 그 결정 구조가, 육방정계의 우르츠광형 (공간군 P6₃mc (No.186)) 의 단상이다.

예를 들어, M = Fe 인 경우, 본 실시형태의 서미스터용 금속 질화물 재료는, 서미스터에 사용되는 금속 질화물 재료로서, 일반식 : Fe_xAl_yN_z (0.70 ≤ y/(x ＋ y) ≤ 0.98, 0.4 ≤ z ≤ 0.5, x ＋ y ＋ z = 1) 로 나타내는 금속 질화물로 이루어지고, 그 결정 구조가, 육방정계의 우르츠광형 (공간군 P6₃mc (No.186)) 의 단상이다. 즉, 이 서미스터용 금속 질화물 재료는, 도 1 에 나타내는 바와 같이, Fe-Al-N 계 3 원계상도에 있어서의 점 A, B, C, D 로 둘러싸이는 영역 내의 조성을 갖고, 결정상이 우르츠광형인 금속 질화물이다.

또, M = Co 인 경우, 본 실시형태의 서미스터용 금속 질화물 재료는, 서미스터에 사용되는 금속 질화물 재료로서, 일반식 : Co_xAl_y(N₁ _- _wO_w)_z (0.70 ≤ y/(x ＋ y) ≤ 0.98, 0.45 ≤ z ≤ 0.55, 0 ＜ w ≤ 0.35, x ＋ y ＋ z = 1) 로 나타내는 금속 질화물로 이루어지고, 그 결정 구조가, 육방정계의 우르츠광형 (공간군 P6₃mc (No.186)) 의 단상이다. 즉, 이 서미스터용 금속 질화물 재료는, 도 2 에 나타내는 바와 같이, Co-Al-(N ＋ O) 계 3 원계상도에 있어서의 점 A, B, C, D 로 둘러싸이는 영역 내의 조성을 갖고, 결정상이 우르츠광형인 금속 질화물이다.

또, M = Mn 인 경우, 본 실시형태의 서미스터용 금속 질화물 재료는, 서미스터에 사용되는 금속 질화물 재료로서, 일반식 : Mn_xAl_y(N₁ _- _wO_w)_z (0.70 ≤ y/(x ＋ y) ≤ 0.98, 0.45 ≤ z ≤ 0.55, 0 ＜ w ≤ 0.35, x ＋ y ＋ z = 1) 로 나타내는 금속 질화물로 이루어지고, 그 결정 구조가, 육방정계의 우르츠광형 (공간군 P6₃mc (No.186)) 의 단상이다. 즉, 이 서미스터용 금속 질화물 재료는, 도 3 에 나타내는 바와 같이, Mn-Al-(N ＋ O) 계 3 원계상도에 있어서의 점 A, B, C, D 로 둘러싸이는 영역 내의 조성을 갖고, 결정상이 우르츠광형인 금속 질화물이다.

또, M = Cu 인 경우, 본 실시형태의 서미스터용 금속 질화물 재료는, 서미스터에 사용되는 금속 질화물 재료로서, 일반식 : Cu_xAl_y(N₁ _- _wO_w)_z (0.70 ≤ y/(x ＋ y) ≤ 0.98, 0.45 ≤ z ≤ 0.55, 0 ＜ w ≤ 0.35, x ＋ y＋ z = 1) 로 나타내는 금속 질화물로 이루어지고, 그 결정 구조가, 육방정계의 우르츠광형 (공간군 P6₃mc (No.186)) 의 단상이다. 즉, 이 서미스터용 금속 질화물 재료는, 도 4 에 나타내는 바와 같이, Cu-Al-(N ＋ O) 계 3 원계상도에 있어서의 점 A, B, C, D 로 둘러싸이는 영역 내의 조성을 갖고, 결정상이 우르츠광형인 금속 질화물이다.

또, M = Ni 인 경우, 본 실시형태의 서미스터용 금속 질화물 재료는, 서미스터에 사용되는 금속 질화물 재료로서, 일반식 : Ni_xAl_y(N₁ _- _wO_w)_z (0.70 ≤ y/(x ＋ y) ≤ 0.98, 0.45 ≤ z ≤ 0.55, 0 ＜ w ≤ 0.35, x ＋ y ＋ z = 1) 로 나타내는 금속 질화물로 이루어지고, 그 결정 구조가, 육방정계의 우르츠광형 (공간군 P6₃mc (No.186)) 의 단상이다. 즉, 이 서미스터용 금속 질화물 재료는, 도 5 에 나타내는 바와 같이, Ni-Al-(N ＋ O) 계 3 원계상도에 있어서의 점 A, B, C, D 로 둘러싸이는 영역 내의 조성을 갖고, 결정상이 우르츠광형인 금속 질화물이다.

또한, 상기 점 A, B, C, D 의 각 조성비 (x,y,z)(atm％) 는, A (x, y, z = 13.5, 31.5, 55.0), B (x, y, z = 0.9, 44.1, 55.0), C (x, y, z = 1.1, 53.9, 45.0), D (x, y, z = 16.5, 38.5, 45.0) 이다.

또, 이 서미스터용 금속 질화물 재료는, 막상으로 형성되고, 상기 막의 표면에 대하여 수직 방향으로 연장되어 있는 기둥상 결정이다. 또한, 막의 표면에 대하여 수직 방향으로 a 축보다 c 축이 강하게 배향하고 있다.

또한, 막의 표면에 대하여 수직 방향 (막두께 방향) 으로 a 축 배향 (100) 이 강한지 c 축 배향 (002) 이 강한지의 판단은, X 선 회절 (XRD) 을 이용하여 결정축의 배향성을 조사하고, (100) (a 축 배향을 나타내는 hkl 지수) 와 (002) (c 축 배향을 나타내는 hkl 지수) 의 피크 강도비로부터, 「(100) 의 피크 강도」/「(002) 의 피크 강도」가 1 미만인 경우, c 축 배향이 강한 것으로 한다.

다음으로, 본 실시형태의 서미스터용 금속 질화물 재료를 사용한 필름형 서미스터 센서에 대하여 설명한다. 이 필름형 서미스터 센서 (1) 는, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 절연성 필름 (2) 과, 그 절연성 필름 (2) 상에 상기 서미스터용 금속 질화물 재료로 형성된 박막 서미스터부 (3) 와, 적어도 박막 서미스터부 (3) 상에 형성된 1 쌍의 패턴 전극 (4) 을 구비하고 있다.

상기 절연성 필름 (2) 은, 예를 들어 폴리이미드 수지 시트로 띠상으로 형성되어 있다. 또한, 절연성 필름 (2) 으로는, 그 외에 PET : 폴리에틸렌테레프탈레이트, PEN : 폴리에틸렌나프탈레이트 등이어도 상관없다.

상기 1 쌍의 패턴 전극 (4) 은, 예를 들어 Cr 막과 Au 막의 적층 금속막으로 패턴 형성되고, 박막 서미스터부 (3) 상에서 서로 대향 상태로 배치된 빗살형 패턴의 1 쌍의 빗살형 전극부 (4a) 와, 이들 빗살형 전극부 (4a) 에 선단부가 접속되고 기단부가 절연성 필름 (2) 의 단부에 배치되어 연장된 1 쌍의 직선 연장부 (4b) 를 갖고 있다.

또, 1 쌍의 직선 연장부 (4b) 의 기단부 상에는, 리드선의 인출부로서 Au 도금 등의 도금부 (4c) 가 형성되어 있다. 이 도금부 (4c) 에는, 리드선의 일단이 땜납재 등으로 접합된다. 또한, 도금부 (4c) 를 포함하는 절연성 필름 (2) 의 단부를 제외하고 그 절연성 필름 (2) 상에 폴리이미드 커버레이 필름 (5) 이 가압 접착되어 있다. 또한, 폴리이미드 커버레이 필름 (5) 대신에, 폴리이미드나 에폭시계의 수지 재료층을 인쇄로 절연성 필름 (2) 상에 형성해도 상관없다.

이 서미스터용 금속 질화물 재료의 제조 방법 및 이것을 사용한 필름형 서미스터 센서 (1) 의 제조 방법에 대하여, 도 7 을 참조하여 이하에 설명한다.

먼저, 본 실시형태의 서미스터용 금속 질화물 재료의 제조 방법은, M-Al 합금 스퍼터링 타겟 (단, M 은 Fe, Co, Mn, Cu 및 Ni 중 적어도 1 종을 나타낸다.) 을 이용하여 질소 및 산소 함유 분위기 중에서 반응성 스퍼터를 실시해 성막하는 성막 공정을 갖고 있다.

예를 들어, M = Fe 인 경우, Fe-Al 합금 스퍼터링 타겟을 이용하고, 또 M = Co 인 경우, Co-Al 합금 스퍼터링 타겟을 이용하고, 또 M = Mn 인 경우, Mn-Al 합금 스퍼터링 타겟을 이용하고, 또 M = Cu 인 경우, Cu-Al 합금 스퍼터링 타겟을 이용하고, 또한 M = Ni 인 경우, Ni-Al 합금 스퍼터링 타겟을 이용한다.

또, 상기 반응성 스퍼터에 있어서의 스퍼터 가스압을, 1.5 ㎩ 미만으로 설정 하고 있다.

또한, 상기 성막 공정 후에, 형성된 막에 질소 플라즈마를 조사하는 것이 바람직하다.

보다 구체적으로는, 예를 들어 도 7 의 (a) 에 나타내는 두께 50 ㎛ 의 폴리이미드 필름의 절연성 필름 (2) 상에, 도 7 의 (b) 에 나타내는 바와 같이, 반응성 스퍼터법으로 상기 본 실시형태의 서미스터용 금속 질화물 재료로 형성된 박막 서미스터부 (3) 를 200 ㎚ 성막한다.

M = Fe 로 한 경우, 그때의 스퍼터 조건은, 예를 들어 도달 진공도 : 5 × 10^-6 ㎩, 스퍼터 가스압 : 0.67 ㎩, 타겟 투입 전력 (출력) : 300 W 이고, Ar 가스 ＋ 질소 가스 ＋ 산소 가스의 혼합 가스 분위기하에 있어서 질소 가스 분압 : 79.8 ％, 산소 가스 분압 : 0.2 ％ 로 한다.

M = Co 로 한 경우, 그때의 스퍼터 조건은, 예를 들어 도달 진공도 : 5 × 10^-6 ㎩, 스퍼터 가스압 : 0.67 ㎩, 타겟 투입 전력 (출력) : 300 W 이고, Ar 가스 ＋ 질소 가스 ＋ 산소 가스의 혼합 가스 분위기하에 있어서 질소 가스 분압 : 39.8 ％, 산소 가스 분압 : 0.2 ％ 로 한다.

M = Mn 으로 한 경우, 그때의 스퍼터 조건은, 예를 들어 도달 진공도 : 5 × 10^-6 ㎩, 스퍼터 가스압 : 0.4 ㎩, 타겟 투입 전력 (출력) : 300 W 이고, Ar 가스 ＋ 질소 가스 ＋ 산소 가스의 혼합 가스 분위기하에 있어서 질소 가스 분압 : 59.8 ％, 산소 가스 분압 : 0.2 ％ 로 한다.

M = Cu 로 한 경우, 그때의 스퍼터 조건은, 예를 들어 도달 진공도 : 5 × 10^-6 ㎩, 스퍼터 가스압 : 0.4 ㎩, 타겟 투입 전력 (출력) : 300 W 이고, Ar 가스 ＋ 질소 가스 ＋ 산소 가스의 혼합 가스 분위기하에 있어서 질소 가스 분압 : 19.8 ％, 산소 가스 분압 : 0.2 ％ 로 한다.

M = Ni 로 한 경우, 그때의 스퍼터 조건은, 예를 들어 도달 진공도 : 5 × 10^-6 ㎩, 스퍼터 가스압 : 0.4 ㎩, 타겟 투입 전력 (출력) : 300 W 이고, Ar 가스 ＋ 질소 가스 ＋ 산소 가스의 혼합 가스 분위기하에 있어서 질소 가스 분압 : 29.8 ％, 산소 가스 분압 : 0.2 ％ 로 한다.

또, 메탈 마스크를 이용하여 원하는 사이즈로 서미스터용 금속 질화물 재료를 성막하여 박막 서미스터부 (3) 를 형성한다. 또한, 형성된 박막 서미스터부 (3) 에 질소 플라즈마를 조사하는 것이 바람직하다. 예를 들어, 진공도 : 6.7 ㎩, 출력 : 200 W 및 N₂ 가스 분위기하에서, 질소 플라즈마를 박막 서미스터부 (3) 에 조사시킨다.

다음으로, 스퍼터법으로, 예를 들어 Cr 막을 20 ㎚ 형성하고, 추가로 Au 막을 200 ㎚ 형성한다. 또, 그 위에 레지스트액을 바 코터로 도포한 후, 110 ℃ 에서 1 분 30 초의 프리베이크를 실시하고, 노광 장치로 감광 후, 현상액으로 불필요 부분을 제거하고, 150 ℃ 에서 5 분의 포스트베이크로 패터닝을 실시한다. 그 후, 불필요한 전극 부분을 시판되는 Au 에천트 및 Cr 에천트에 의해 웨트 에칭을 실시하고, 도 7 의 (c) 에 나타내는 바와 같이, 레지스트 박리로 원하는 빗살형 전극부 (4a) 를 가진 패턴 전극 (4) 을 형성한다. 또한, 절연성 필름 (2) 상에 먼저 패턴 전극 (4) 을 형성해 두고, 그 빗살형 전극부 (4a) 상에 박막 서미스터부 (3) 를 성막해도 상관없다. 이 경우, 박막 서미스터부 (3) 의 하에 패턴 전극 (4) 의 빗살형 전극부 (4a) 가 형성되어 있다.

다음으로, 도 7 의 (d) 에 나타내는 바와 같이, 예를 들어 두께 50 ㎛ 의 접착제가 형성된 폴리이미드 커버레이 필름 (5) 을 절연성 필름 (2) 상에 얹고, 프레스기로 150 ℃, 2 ㎫ 로 10 분간 가압하여 접착시킨다. 또한, 도 7 의 (e) 에 나타내는 바와 같이, 직선 연장부 (4b) 의 단부를, 예를 들어 Au 도금액에 의해 Au 박막을 2 ㎛ 형성하여 도금부 (4c) 를 형성한다.

또한, 복수의 필름형 서미스터 센서 (1) 를 동시에 제작하는 경우, 절연성 필름 (2) 의 대판 시트에 복수의 박막 서미스터부 (3) 및 패턴 전극 (4) 을 상기 서술한 바와 같이 형성한 후에, 대판 시트로부터 각 필름형 서미스터 센서 (1) 로 절단한다.

이와 같이 하여, 예를 들어 사이즈를 25 × 3.6 ㎜ 로 하고, 두께를 0.1 ㎜ 로 한 얇은 필름형 서미스터 센서 (1) 가 얻어진다.

이와 같이 본 실시형태의 서미스터용 금속 질화물 재료에서는, 일반식 : M_xAl_y(N_1-wO_w)_z (단, M 은 Fe, Co, Mn, Cu 및 Ni 중 적어도 1 종을 나타낸다. 0.70 ≤ y/(x ＋ y) ≤ 0.98, 0.45 ≤ z ≤ 0.55, 0 ＜ w ≤ 0.35, x ＋ y ＋ z = 1) 로 나타내는 금속 질화물로 이루어지고, 그 결정 구조가, 육방정계의 우르츠광형 (공간군 P6₃mc (No.186)) 의 단상이므로, 비소성으로 양호한 B 정수가 얻어짐과 함께 높은 내열성을 갖고 있다. 특히, 산소 (O) 가 포함됨으로써, 결정 내의 질소 결함을 산소가 메우는 등의 효과에 의해 내열성이 보다 향상된다.

또, 이 서미스터용 금속 질화물 재료에서는, 막의 표면에 대하여 수직 방향으로 연장되어 있는 기둥상 결정이므로, 막의 결정성이 높고, 높은 내열성이 얻어진다.

본 실시형태의 서미스터용 금속 질화물 재료의 제조 방법에서는, M-Al 합금 스퍼터링 타겟 (단, M 은 Fe, Co, Mn, Cu 및 Ni 중 적어도 1 종을 나타낸다.) 을 이용하여 질소 및 산소 함유 분위기 중에서 반응성 스퍼터를 실시해 성막하므로, 상기 M_xAl_y(N,O)_z 로 이루어지는 상기 서미스터용 금속 질화물 재료를 비소성으로 성막할 수 있다.

따라서, 본 실시형태의 서미스터용 금속 질화물 재료를 사용한 필름형 서미스터 센서 (1) 에서는, 절연성 필름 (2) 상에 상기 서미스터용 금속 질화물 재료로 박막 서미스터부 (3) 가 형성되어 있으므로, 비소성으로 형성되고 고 B 정수이고 내열성이 높은 박막 서미스터부 (3) 에 의해, 수지 필름 등의 내열성이 낮은 절연성 필름 (2) 을 사용할 수 있음과 함께, 양호한 서미스터 특성을 가진 박형이고 플렉시블한 서미스터 센서가 얻어진다.

또, 종래, 알루미나 등의 세라믹스를 사용한 기판 재료가 자주 이용되고, 예를 들어 두께 0.1 ㎜ 로 얇게 하면 매우 물러 깨지기 쉽다는 등의 문제가 있었지만, 본 실시형태에 있어서는 필름을 사용할 수 있으므로, 예를 들어 두께 0.1 ㎜ 의 매우 얇은 필름형 서미스터 센서를 얻을 수 있다.

실시예

다음으로, 본 발명에 관련된 서미스터용 금속 질화물 재료 및 그 제조 방법 그리고 필름형 서미스터 센서에 대하여, 상기 실시형태에 기초하여 제작한 실시예에 의해 평가한 결과를, 도 8 내지 도 33 을 참조하여 구체적으로 설명한다.

＜막평가용 소자의 제작＞

본 발명의 실시예 및 비교예로서, 도 8 에 나타내는 막평가용 소자 (121) 를다음과 같이 제작하였다.

먼저, 반응성 스퍼터법으로, 여러 가지 조성비의 Fe-Al 합금 타겟, Co-Al 합금 타겟, Mn-Al 합금 타겟, Cu-Al 합금 타겟, Ni-Al 합금 타겟을 이용하여, Si 기판 (S) 이 되는 열산화막이 형성된 Si 웨이퍼 상에, 두께 500 ㎚ 의 표 1 내지 표 5 에 나타내는 여러 가지 조성비로 형성된 서미스터용 금속 질화물 재료의 박막 서미스터부 (3) 를 형성하였다. 그때의 스퍼터 조건은, 도달 진공도 : 5 × 10^-6 ㎩, 스퍼터 가스압 : 0.1 ∼ 1.5 ㎩, 타겟 투입 전력 (출력) : 100 ∼ 500 W 이고, Ar 가스 ＋ 질소 가스 ＋ 산소 가스의 혼합 가스 분위기하에 있어서, 질소 가스 분압을 10 ∼ 100 ％, 산소 가스 분압을 0 ∼ 3 ％ 로 변경하여 제작하였다.

다음으로, 상기 박막 서미스터부 (3) 상에, 스퍼터법으로 Cr 막을 20 ㎚ 형성하고, 추가로 Au 막을 200 ㎚ 형성하였다. 또, 그 위에 레지스트액을 스핀 코터로 도포한 후, 110 ℃ 에서 1 분 30 초의 프리베이크를 실시하고, 노광 장치로 감광 후, 현상액으로 불필요 부분을 제거하고, 150 ℃ 에서 5 분의 포스트베이크로 패터닝을 실시하였다. 그 후, 불필요한 전극 부분을 시판되는 Au 에천트 및 Cr 에천트에 의해 웨트 에칭을 실시하고, 레지스트 박리로 원하는 빗살형 전극부 (124a) 를 갖는 패턴 전극 (124) 을 형성하였다. 그리고, 이것을 칩상으로 다이싱하여, B 정수 평가 및 내열성 시험용의 막평가용 소자 (121) 로 하였다.

또한, 비교로서 M_xAl_y(N,O)_z (단, M 은 Fe, Co, Mn, Cu 및 Ni 중 적어도 1 종을 나타낸다.) 의 조성비가 본 발명의 범위 밖이고 결정계가 상이한 비교예에 대해서도 동일하게 제작해 평가를 실시하였다.

＜막의 평가＞

(1) 조성 분석

반응성 스퍼터법으로 얻어진 박막 서미스터부 (3) 에 대하여, X 선 광전자 분광법 (XPS) 으로 원소 분석을 실시하였다. 이 XPS 에서는, Ar 스퍼터에 의해, 최표면으로부터 깊이 20 ㎚ 의 스퍼터면에 있어서, 정량 분석을 실시하였다. 그 결과를 표 1 내지 표 5 에 나타낸다. 또한, 이하의 표 중의 조성비는 「원자％」로 나타내고 있다. 일부의 샘플에 대하여, 최표면으로부터 깊이 100 ㎚ 의 스퍼터면에 있어서의 정량 분석을 실시하여, 깊이 20 ㎚ 의 스퍼터면과 정량 정밀도의 범위 내에서 동일한 조성인 것을 확인하고 있다.

또한, 상기 X 선 광 전자 분광법 (XPS) 은, X 선원을 MgKα (350 W) 로 하고, 패스 에너지 : 58.5 eV, 측정 간격 : 0.125 eV, 시료면에 대한 광 전자 취출각 : 45 deg, 분석 에리어를 약 800 ㎛φ 의 조건하에서 정량 분석을 실시하였다. 또한, 정량 정밀도에 대하여, N/(M ＋ Al ＋ N ＋ O), O/(M ＋ Al ＋ N ＋ O) 의 정량 정밀도는 ±2 ％, Al/(M ＋ Al) 의 정량 정밀도는 ±1 ％ 이다 (단, M 은 Fe, Co, Mn, Cu 및 Ni 중 적어도 1 종을 나타낸다.).

(2) 비저항 측정

반응성 스퍼터법으로 얻어진 박막 서미스터부 (3) 에 대하여, 4 단자법으로 25 ℃ 에서의 비저항을 측정하였다. 그 결과를 표 1 내지 표 5 에 나타낸다.

(3) B 정수 측정

막평가용 소자 (121) 의 25 ℃ 및 50 ℃ 의 저항값을 항온조 내에서 측정하고, 25 ℃ 와 50 ℃ 의 저항값으로부터 B 정수를 산출하였다. 그 결과를 표 1 내지 표 5 에 나타낸다. 또, 25 ℃ 와 50 ℃ 의 저항값으로부터 부 (負) 의 온도 특성을 갖는 서미스터인 것을 확인하고 있다.

또한, 본 발명에 있어서의 B 정수 산출 방법은, 상기 서술한 바와 같이 25 ℃ 와 50 ℃ 의 각각의 저항값으로부터 이하의 식에 의해 구하고 있다.

B 정수 (K) = In(R25/R50)/(1/T25 - 1/T50)

R25 (Ω) : 25 ℃ 에 있어서의 저항값

R50 (Ω) : 50 ℃ 에 있어서의 저항값

T25 (K) : 298.15 K 25 ℃ 를 절대 온도 표시

T50 (K) : 323.15 K 50 ℃ 를 절대 온도 표시

이들 결과로부터 알 수 있는 바와 같이, M_xAl_y(N,O)_z (단, M 은 Fe, Co, Mn, Cu 및 Ni 중 적어도 1 종을 나타낸다.) 의 조성비가 도 1 내지 도 5 에 나타내는 3원계의 삼각도에 있어서, 점 A, B, C, D 로 둘러싸이는 영역 내, 즉 「0.70 ≤ y/(x ＋ y) ≤ 0.98, 0.45 ≤ z ≤ 0.55, 0 ＜ w ≤ 0.35, x ＋ y ＋ z = 1」이 되는 영역 내의 실시예 전부에서, 저항률 : 70 Ω㎝ 이상, B 정수 : 1100 K 이상의 서미스터 특성이 달성되고 있다.

상기 결과로부터 25 ℃ 에서의 저항률과 B 정수의 관계를 나타낸 그래프를, 도 9 내지 도 13 에 나타낸다. 또, Al/(Fe ＋ Al) 비와 B 정수의 관계를 나타낸 그래프를, 도 14 에 나타낸다. 또, Al/(Co ＋ Al) 비와 B 정수의 관계를 나타낸 그래프를, 도 15 에 나타낸다. 또, Al/(Mn ＋ Al) 비와 B 정수의 관계를 나타낸 그래프를, 도 16 에 나타낸다. 또, Al/(Cu ＋ Al) 비와 B 정수의 관계를 나타낸 그래프를, 도 17 에 나타낸다. 또, Al/(Ni ＋ Al) 비와 B 정수의 관계를 나타낸 그래프를, 도 18 에 나타낸다.

이들 그래프로부터, Al/(Fe ＋ Al) = 0.7 ∼ 0.98, 또한 (N ＋ O)/(Fe ＋ Al ＋ N ＋ O) = 0.45 ∼ 0.55 의 영역에서, 결정계가 육방정의 우르츠광형의 단일상인 것은, 25 ℃ 에 있어서의 비저항값이 70 Ω㎝ 이상, B 정수가 1100 K 이상인 고저항 또한 고 B 정수의 영역이 실현되어 있다.

또, 이들 그래프로부터, Al/(Co ＋ Al) = 0.7 ∼ 0.98, 또한 (N ＋ O)/(Co ＋ Al ＋ N ＋ O) = 0.45 ∼ 0.55 의 영역에서, 결정계가 육방정의 우르츠광형의 단일상인 것은, 25 ℃ 에 있어서의 비저항값이 70 Ω㎝ 이상, B 정수가 1100 K 이상의 고저항 또한 고 B 정수의 영역이 실현되어 있다.

또, 이들 그래프로부터, Al/(Mn ＋ Al) = 0.7 ∼ 0.98, 또한 (N ＋ O)/(Mn ＋ Al ＋ N ＋ O) = 0.45 ∼ 0.55 의 영역에서, 결정계가 육방정의 우르츠광형의 단일상인 것은, 25 ℃ 에 있어서의 비저항값이 70 Ω㎝ 이상, B 정수가 1100 K 이상의 고저항 또한 고 B 정수의 영역이 실현되어 있다.

또, 이들 그래프로부터, Al/(Cu ＋ Al) = 0.7 ∼ 0.98, 또한 (N ＋ O)/(Cu ＋ Al ＋ N ＋ O) = 0.45 ∼ 0.55 의 영역에서, 결정계가 육방정의 우르츠광형의 단일상인 것은, 25 ℃ 에 있어서의 비저항값이 70 Ω㎝ 이상, B 정수가 1100 K 이상의 고저항 또한 고 B 정수의 영역이 실현되어 있다.

또, 이들 그래프로부터, Al/(Ni ＋ Al) = 0.7 ∼ 0.98, 또한 (N ＋ O)/(Ni ＋ Al ＋ N ＋ O) = 0.45 ∼ 0.55 의 영역에서, 결정계가 육방정의 우르츠광형의 단일상인 것은, 25 ℃ 에 있어서의 비저항값이 70 Ω㎝ 이상, B 정수가 1100 K 이상의 고저항 또한 고 B 정수의 영역이 실현되어 있다.

또한, 도 14 내지 도 18 의 데이터에 있어서, 동일한 Al/(Fe ＋ Al) 비, 동일한 Al/(Co ＋ Al) 비, 동일한 Al/(Mn ＋ Al) 비, 동일한 Al/(Cu ＋ Al) 비, 또는 동일한 Al/(Ni ＋ Al) 비에 대하여, B 정수가 불규칙한 것은, 결정 중의 질소량과 산소량이 상이하거나, 혹은 질소 결함, 산소 결함 등의 격자 결함량이 상이하기 때문이다.

M = Fe 인 경우인 표 1 에 나타내는 비교예 2, 3 은, Al/(Fe ＋ Al) ＜ 0.7 의 영역이고, 결정계는 입방정의 NaCl 형이 되어 있다. 이와 같이, Al/(Fe ＋ Al) ＜ 0.7 의 영역에서는, 25 ℃ 에 있어서의 비저항값이 70 Ω㎝ 미만, B 정수가 1100 K 미만이고, 저저항 또한 저 B 정수의 영역이었다.

표 1 에 나타내는 비교예 1 은, (N ＋ O)/(Fe ＋ Al ＋ N ＋ O) 가 40 ％ 에 미치지 않는 영역이고, 금속이 질화 부족의 결정 상태로 되어 있다. 이 비교예 1 은, NaCl 형도, 우르츠광형도 아닌, 매우 결정성이 열등한 상태였다. 또, 이들 비교예에서는, B 정수 및 저항값이 모두 매우 작고, 금속적 움직임에 가까운 것을 알 수 있었다.

M = Co 인 경우인 표 2 에 나타내는 비교예 2 는, Al/(Co ＋ Al) ＜ 0.7 의 영역이고, 결정계는 입방정의 NaCl 형으로 되어 있다. 이와 같이, Al/(Co ＋ Al) ＜ 0.7 의 영역에서는, 25 ℃ 에 있어서의 비저항값이 70 Ω㎝ 미만, B 정수가 1100 K 미만이고, 저저항 또한 저 B 정수의 영역이었다.

표 2 에 나타내는 비교예 1 은, (N ＋ O)/(Co ＋ Al ＋ N ＋ O) 가 40 ％ 에 미치지 않는 영역이고, 금속이 질화 부족의 결정 상태가 되어 있다. 이 비교예 1 은, NaCl 형도, 우르츠광형도 아닌, 매우 결정성이 열등한 상태였다. 또, 이들 비교예에서는, B 정수 및 저항값이 모두 매우 작고, 금속적 움직임에 가까운 것을 알 수 있었다.

M = Mn 인 경우인 표 3 에 나타내는 비교예 2 는, Al/(Mn ＋ Al) ＜ 0.7 의 영역이고, 결정계는 입방정의 NaCl 형으로 되어 있다. 이와 같이, Al/(Mn ＋ Al) ＜ 0.7 의 영역에서는, 25 ℃ 에 있어서의 비저항값이 70 Ω㎝ 미만, B 정수가 1100 K 미만이고, 저저항 또한 저 B 정수의 영역이었다.

표 3 에 나타내는 비교예 1 은, (N ＋ O)/(Mn ＋ Al ＋ N ＋ O) 가 40 ％ 에 미치지 않는 영역이고, 금속이 질화 부족의 결정 상태가 되어 있다. 이 비교예 1 은, NaCl 형도, 우르츠광형도 아닌, 매우 결정성이 열등한 상태였다. 또, 이들 비교예에서는, B 정수 및 저항값이 모두 매우 작고, 금속적 움직임에 가까운 것을 알 수 있었다.

M = Cu 인 경우인 표 4 에 나타내는 비교예 2 는, Al/(Cu ＋ Al) ＜ 0.7 의 영역이고, 결정계는 입방정의 NaCl 형으로 되어 있다. 이와 같이, Al/(Cu ＋ Al) ＜ 0.7 의 영역에서는, 25 ℃ 에 있어서의 비저항값이 70 Ω㎝ 미만, B 정수가 1100 K 미만이고, 저저항 또한 저 B 정수의 영역이었다.

표 4 에 나타내는 비교예 1 은, (N ＋ O)/(Cu ＋ Al ＋ N ＋ O) 가 40 ％ 에 미치지 않는 영역이고, 금속이 질화 부족의 결정 상태가 되어 있다. 이 비교예 1 은, NaCl 형도, 우르츠광형도 아닌, 매우 결정성이 열등한 상태였다. 또, 이들 비교예에서는, B 정수 및 저항값이 모두 매우 작고, 금속적 움직임에 가까운 것을 알 수 있었다.

M = Ni 인 경우인 표 5 에 나타내는 비교예 2 는, Al/(Ni ＋ Al) ＜ 0.7 의 영역이고, 결정계는 입방정의 NaCl 형으로 되어 있다. 이와 같이, Al/(Ni ＋ Al) ＜ 0.7 의 영역에서는, 25 ℃ 에 있어서의 비저항값이 70 Ω㎝ 미만, B 정수가 1100 K 미만이고, 저저항 또한 저 B 정수의 영역이었다.

표 5 에 나타내는 비교예 1 은, (N ＋ O)/(Ni ＋ Al ＋ N ＋ O) 가 40 ％ 에 미치지 않는 영역이고, 금속이 질화 부족의 결정 상태가 되어 있다. 이 비교예 1 은, NaCl 형도, 우르츠광형도 아닌, 매우 결정성이 열등한 상태였다. 또, 이들 비교예에서는, B 정수 및 저항값이 모두 매우 작고, 금속적 움직임에 가까운 것을 알 수 있었다.

(4) 박막 X 선 회절 (결정상의 동정)

반응성 스퍼터법으로 얻어진 박막 서미스터부 (3) 를, 시사각 입사 X 선 회절 (Grazing Incidence X-ray Diffraction) 에 의해, 결정상을 동정하였다. 이 박막 X 선 회절은, 미소각 X 선 회절 실험이고, 관구를 Cu 로 하고, 입사각을 1 도로 함과 함께 2θ = 20 ∼ 130 도의 범위에서 측정하였다. 일부의 샘플에 대해서는, 입사각을 0 도로 하고, 2θ = 20 ∼ 100 도의 범위에서 측정하였다.

그 결과, Al/(M ＋ Al) ≥ 0.7 (단, M 은 Fe, Co, Mn, Cu 및 Ni 중 적어도 1 종을 나타낸다.) 의 영역에 있어서는, 우르츠광형 상 (육방정, AlN 과 동일한 상) 이고, Al/(M ＋ Al) ＜ 0.65 의 영역에 있어서는, NaCl 형 상 (입방정, FeN, CoN, MnN, CuN, NiN 과 동일한 상) 이었다. 또, 0.65 ＜ Al/(M ＋ Al) ＜ 0.7 에 있어서는, 우르츠광형 상과 NaCl 형 상이 공존하는 결정상이라고 생각된다.

이와 같이 M_xAl_y(N,O)_z계 (단, M 은 Fe, Co, Mn, Cu 및 Ni 중 적어도 1 종을 나타낸다.) 에 있어서는, 고저항 또한 고 B 정수의 영역은, Al/(M ＋ Al) ≥ 0.7 의 우르츠광형 상에 존재하고 있다. 또한, 본 발명의 실시예에서는, 불순물상은 확인되지 않고, 우르츠광형의 단일상이다.

또한, 표 1 내지 표 5 에 나타내는 비교예 1 은, 상기 서술한 바와 같이 결정상이 우르츠광형 상도 NaCl 형 상도 아니어서, 본 시험에 있어서는 동정할 수 없었다. 또, 이들 비교예는, XRD 의 피크폭이 매우 넓은 점에서, 매우 결정성이 열등한 재료이었다. 이것은, 전기 특성에 의해 금속적 움직임에 가까우므로, 질화 부족의 금속상이 되어 있다고 생각된다.

다음으로, 본 발명의 실시예는 모두 우르츠광형 상의 막이고, 배향성이 강한 점에서, Si 기판 (S) 상에 수직인 방향 (막두께 방향) 의 결정축에 있어서 a 축 배향성과 c 축 배향성의 어느 쪽이 강한지, XRD 를 이용하여 조사하였다. 이때, 결정축의 배향성을 조사하기 위해서, (100) (a 축 배향을 나타내는 hkl 지수) 와 (002) (c 축 배향을 나타내는 hkl 지수) 의 피크 강도비를 측정하였다.

그 결과, 본 발명의 실시예는, 모두 (100) 보다 (002) 의 강도가 매우 강하여, a 축 배향성보다 c 축 배향성이 강한 막이었다.

또한, 동일한 성막 조건으로 폴리이미드 필름으로 성막해도, 동일하게 우르츠광형의 단일상이 형성되어 있는 것을 확인하고 있다. 또, 동일한 성막 조건으로 폴리이미드 필름으로 성막해도, 배향성은 변함없는 것을 확인하고 있다.

본 발명의 실시예의 XRD 프로파일의 일례를, 도 19 내지 도 23 에 나타낸다. 도 19 의 실시예는, Al/(Fe ＋ Al) = 0.92 (우르츠광형 육방정) 이고, 입사각을 1 도로 하여 측정하였다. 또, 도 20 의 실시예는, Al/(Co ＋ Al) = 0.89 (우르츠광형, 육방정) 이고, 입사각을 1 도로 하여 측정하였다. 또, 도 21 의 실시예는, Al/(Mn ＋ Al) = 0.95 (우르츠광형, 육방정) 이고, 입사각을 1 도로 하여 측정하였다. 또, 도 22 의 실시예는, Al/(Cu ＋ Al) = 0.89 (우르츠광형, 육방정) 이고, 입사각을 1 도로 하여 측정하였다. 또, 도 23 의 실시예는, Al/(Ni ＋ Al) = 0.75 (우르츠광형, 육방정) 이고, 입사각을 1 도로 하여 측정하였다.

이들 결과로부터 알 수 있는 바와 같이, 이들 실시예에서는, (100) 보다 (002) 의 강도가 매우 강해져 있다.

또한, 그래프 중 (*) 는 장치 유래 및 열산화막이 형성된 Si 기판 유래의 피크이고, 샘플 본체의 피크, 혹은 불순물상의 피크가 아닌 것을 확인하고 있다. 또, 입사각을 0 도로 하여, 대칭 측정을 실시하고, 그 피크가 소실되어 있는 것을 확인하고, 장치 유래 및 열산화막이 형성된 Si 기판 유래의 피크인 것을 확인하였다.

본 발명의 실시예의 우르츠광형 재료에 관해서, 추가로 질소량과 산소량의 상관을 조사하였다. 도 8 에는, N/(Fe ＋ Al ＋ N) 비와 O/(N ＋ O) 비의 관계를 조사한 결과를 나타낸다. 이 결과로부터 알 수 있는 바와 같이, N/(Fe ＋ Al ＋ N) 이 적은 샘플일수록, O/(N ＋ O) 량이 많은 경향이 있다.

＜결정 형태의 평가＞

다음으로, 박막 서미스터부 (3) 의 단면에 있어서의 결정 형태를 나타내는 일례로서, M = Fe 인 경우로서, 열산화막이 형성된 Si 기판 (S) 상에 450 ㎚ 정도 성막된 실시예 (Al/(Fe ＋ Al) = 0.92, 우르츠광형 육방정, c 축 배향성이 강하다) 의 박막 서미스터부 (3) 에 있어서의 단면 SEM 사진을, 도 24 에 나타낸다.

M = Co 인 경우로서, 열산화막이 형성된 Si 기판 (S) 상에 450 ㎚ 정도 성막 된 실시예 (Al/(Co ＋ Al) = 0.89, 우르츠광형 육방정, c 축 배향성이 강하다) 의 박막 서미스터부 (3) 에 있어서의 단면 SEM 사진을, 도 25 에 나타낸다.

M = Mn 인 경우로서, 열산화막이 형성된 Si 기판 (S) 상에 180 ㎚ 정도 성막 된 실시예 (Al/(Mn ＋ Al) = 0.95, 우르츠광형 육방정, c 축 배향성이 강하다) 의 박막 서미스터부 (3) 에 있어서의 단면 SEM 사진을, 도 26 에 나타낸다.

M = Cu 인 경우로서, 열산화막이 형성된 Si 기판 (S) 상에 480 ㎚ 정도 성막 된 실시예 (Al/(Cu ＋ Al) = 0.94, 우르츠광형 육방정, c 축 배향성이 강하다) 의 박막 서미스터부 (3) 에 있어서의 단면 SEM 사진을, 도 27 에 나타낸다.

M = Ni 인 경우로서, 열산화막이 형성된 Si 기판 (S) 상에 300 ㎚ 정도 성막 된 실시예 (Al/(Ni ＋ Al) = 0.93, 우르츠광형 육방정, c 축 배향성이 강하다) 의 박막 서미스터부 (3) 에 있어서의 단면 SEM 사진을, 도 28 에 나타낸다.

이들 실시예의 샘플은, Si 기판 (S) 을 벽개 파단한 것을 사용하고 있다. 또, 45° 의 각도로 경사 관찰한 사진이다.

이들 사진으로부터 알 수 있는 바와 같이, 본 발명의 실시예는 치밀한 기둥상 결정으로 형성되어 있다. 즉, 기판면에 수직인 방향으로 기둥상의 결정이 성장하고 있는 모습이 관측되고 있다. 또한, 기둥상 결정의 파단은, Si 기판 (S) 을 벽개 파단했을 때에 생긴 것이다.

또한, 도면 중의 기둥상 결정 사이즈에 대하여, M = Fe 인 경우인 도 24 의 실시예는, 입경이 15 ㎚φ (±5 ㎚φ), 길이 310 ㎚ 정도였다. 또, M = Co 인 경우인 도 25 의 실시예는, 입경이 15 ㎚φ (±10 ㎚φ), 길이 340 ㎚ 정도였다. 또, M = Mn 인 경우인 도 26 의 실시예는, 입경이 12 ㎚φ (±5 ㎚φ), 길이 180 ㎚ 정도였다. M = Cu 인 경우인 도 27 의 실시예는, 입경이 20 ㎚φ (±10 ㎚φ), 길이 480 ㎚ 정도였다. 또, M = Ni 인 경우인 도 28 의 실시예는, 입경이 20 ㎚φ (±10 ㎚φ), 길이 300 ㎚ (±50 ㎚) 였다.

또한, 여기서의 입경은, 기판면 내에 있어서의 기둥상 결정의 직경이고, 길이는, 기판면에 수직인 방향의 기둥상 결정의 길이 (막두께) 이다.

기둥상 결정의 어스펙트비를 (길이) ÷ (입경) 으로서 정의하면, 본 실시예는 10 이상의 큰 어스펙트비를 갖고 있다. 기둥상 결정의 입경이 작은 것에 의해, 막이 치밀하게 되어 있다고 생각된다.

또한, 열산화막이 형성된 Si 기판 (S) 상에 200 ㎚, 500 ㎚, 1000 ㎚ 의 두께로 각각 성막된 경우에도, 상기와 마찬가지로, 치밀한 기둥상 결정으로 형성되어 있는 것을 확인하고 있다.

＜내열 시험 평가＞

표 1 내지 표 5 에 나타내는 실시예 및 비교예의 일부에 있어서, 대기 중, 125 ℃, 1000 h 의 내열 시험 전후에 있어서의 저항값 및 B 정수를 평가하였다. 그 결과를 표 6 내지 표 10 에 나타낸다. 또한, 비교로서 종래의 Ta-Al-N 계 재료에 의한 비교예도 동일하게 평가하였다. 또, 참고로서 산소 가스를 함유하지 않는 질소 가스와 Ar 가스의 혼합 가스 분위기 중에서 반응성 스퍼터를 실시하고, M-Al-N (단, M 은 Fe, Co, Mn, Cu 및 Ni 중 적어도 1 종을 나타낸다.) 계 재료 (에 의한 박막 서미스터부 (3) 를 형성한 참고예 1 (우르츠광형 육방정, c 축 배향이 강하다) 에 대해서도 동일하게 내열 시험을 실시한 결과를, 표 6 내지 표 10 에 아울러 나타낸다.

이들 결과로부터 알 수 있는 바와 같이, Al 농도 및 질소 농도는 상이하지만, Ta-Al-N 계인 비교예와 동일 정도량의 B 정수를 갖는 실시예로 비교했을 때, M_xAl_y(N,O)_z (단, M 은 Fe, Co, Mn, Cu 및 Ni 중 적어도 1 종을 나타낸다.) 계가 저항값 상승률, B 정수 상승률이 모두 작고, 내열 시험 전후에 있어서의 전기 특성 변화로 보았을 때의 내열성은, M_xAl_y(N,O)_z (단, M 은 Fe, Co, Mn, Cu 및 Ni 중 적어도 1 종을 나타낸다.) 계가 우수하다.

또, 산소를 적극적으로 함유시키지 않은 M-Al-N (단, M 은 Fe, Co, Mn, Cu 및 Ni 중 적어도 1 종을 나타낸다.) 계 재료에 의한 참고예 1 은, 비교예보다 내열성이 우수하지만, 이 참고예 1 에 비해, 산소를 적극적으로 함유시킨 본 발명의 M-Al-N-O (단, M 은 Fe, Co, Mn, Cu 및 Ni 중 적어도 1 종을 나타낸다.) 계 재료에 의한 실시예가 저항값 상승률이 작고, 더 내열성이 우수한 것을 알 수 있다.

또한, Ta-Al-N 계 재료에서는, Ta 의 이온 반경이 Fe, Co, Mn, Cu 및 Ni 나 Al 에 비하여 매우 크기 때문에, 고농도 Al 영역에서 우르츠광형 상을 제작할 수 없다. TaAlN 계가 우르츠광형 상이 아니므로, 우르츠광형의 M-Al-N (단, M 은 Fe, Co, Mn, Cu 및 Ni 중 적어도 1 종을 나타낸다.) 계나 M-Al-N-O (단, M 은 Fe, Co, Mn, Cu 및 Ni 중 적어도 1 종을 나타낸다.) 계가 내열성이 양호하다라고 생각된다.

또한, 본 발명의 기술 범위는 상기 실시형태 및 실시예에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에 있어서 여러 가지 변경을 가하는 것이 가능하다.

1 : 필름형 서미스터 센서
2 : 절연성 필름
3 : 박막 서미스터부
4, 124 : 패턴 전극

Claims

서미스터에 사용되는 금속 질화물 재료로서,
일반식 : M_xAl_y(N_1-wO_w)_z (단, M 은 Fe, Co, Mn, Cu 및 Ni 중 적어도 1 종을 나타낸다. 0.70 ≤ y/(x ＋ y) ≤ 0.98, 0.45 ≤ z ≤ 0.55, 0 ＜ w ≤ 0.35, x ＋ y ＋ z = 1) 로 나타내는 금속 질화물로 이루어지고,
그 결정 구조가, 육방정계의 우르츠광형의 단상인 것을 특징으로 하는 서미스터용 금속 질화물 재료.
제 1 항에 있어서,
막상으로 형성되고,
상기 막의 표면에 대하여 수직 방향으로 연장되어 있는 기둥상 결정인 것을 특징으로 하는 서미스터용 금속 질화물 재료.
절연성 필름과,
그 절연성 필름 상에 제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 서미스터용 금속 질화물 재료로 형성된 박막 서미스터부와,
적어도 상기 박막 서미스터부의 상 또는 하에 형성된 1 쌍의 패턴 전극을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 필름형 서미스터 센서.
제 1 항 또는 제 2 항에 기재된 서미스터용 금속 질화물 재료를 제조하는 방법으로서,
M-Al 합금 스퍼터링 타겟 (단, M 은 Fe, Co, Mn, Cu 및 Ni 중 적어도 1 종을 나타낸다.) 을 이용하여 질소 및 산소 함유 분위기 중에서 반응성 스퍼터를 실시해 성막하는 성막 공정을 갖고 있는 것을 특징으로 하는 서미스터용 금속 질화물 재료의 제조 방법.