KR20160012715A

KR20160012715A - 인라인 화학기상증착시스템

Info

Publication number: KR20160012715A
Application number: KR1020140094720A
Authority: KR
Inventors: 박근노; 이문경
Original assignee: (주) 나인테크
Priority date: 2014-07-25
Filing date: 2014-07-25
Publication date: 2016-02-03
Also published as: CN105316658B; KR101608341B1; CN105316658A

Abstract

본 발명은 피증착물을 공정 온도로 정확하게 유지하면서 동시에 수평 이동 가능한 구조를 가져서 인라인 방식의 화학기상 증착 공정에 적합한 인라인 화학기상증착 시스템을 제공하는 것으로서, 본 발명에 따른 인라인 화학기상증착 시스템은, 중앙에 배치되며, 챔버 내부에서 피증착물을 수평 이동시키면서 표면에 박막을 화학기상증착하는 공정 챔버; 상기 공정 챔버의 일측에 설치되며, 상기 공정 챔버로 피증착물을 공급하는 로딩챔버; 상기 로딩 챔버의 반대측에 설치되며, 상기 공정 챔버로부터 피증착물을 전달받아서 외부로 배출하는 언로딩 챔버;를 포함한다.

Description

인라인 화학기상증착시스템{THE IN-LINE TYPE PECVD SYSTEM}

본 발명은 인라인 화학기상증착시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 피증착물을 공정 온도로 정확하게 유지하면서 동시에 수평 이동 가능한 구조를 가져서 인라인 방식의 화학기상 증착 공정에 적합한 인라인 화학기상증착 시스템을 제공하는 것이다.

화학기상증착(Chemical Vapor Deposition) 기술은 반도체, LCD 등의 정밀 제조 분야 뿐만아니라 일반 산업 분야에서도 널리 사용되는 증착 기술이며, 특히, 증착 효율이 높은 PECVD(Plasma Enhanced CVD)가 널리 사용되고 있다.

일반적으로 이러한 PECVD는 챔버 내부에 한 장 또는 다수장의 피처리물을 로딩한 상태에서 챔버 내부 전체를 진공 분위기로 만들고, 챔버 전체에 반응물질을 주입하여 화학기상증착 공정을 진행하는 매엽식 방식이 많이 사용되고 있다.

그런데 이러한 매엽식 방식의 화학기상증착 기술은 공정 자동화에 한계가 있으며, 공정 택타임(tack time) 단축도 매우 어려운 문제점이 있다.

본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 피증착물을 공정 온도로 정확하게 유지하면서 동시에 수평 이동 가능한 구조를 가져서 인라인 방식의 화학기상 증착 공정에 적합한 인라인 화학기상증착 시스템을 제공하는 것이다.

전술한 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 인라인 화학기상증착 시스템은, 중앙에 배치되며, 챔버 내부에서 피증착물을 수평 이동시키면서 표면에 박막을 화학기상증착하는 공정 챔버; 상기 공정 챔버의 일측에 설치되며, 상기 공정 챔버로 피증착물을 공급하는 로딩챔버; 상기 로딩 챔버의 반대측에 설치되며, 상기 공정 챔버로부터 피증착물을 전달받아서 외부로 배출하는 언로딩 챔버;를 포함한다.

본 발명에서 상기 피증착물은, 일정한 플레이트 형상을 가지는 장착 트레이; 상기 장착 트레이의 상면에 일정한 간격으로 배치되는 다수개의 피증착 기판;을 포함하는 것이 바람직하다.

또한 본 발명에서 상기 공정 챔버는, 내부에 일정한 진공 공간을 형성하는 챔버; 상기 챔버 내부 상측 중앙에 설치되며, 하측 방향으로 증착물질을 라인 형태로 분사하여 피증착물 표면에 증착시키는 라인 증착부; 상기 챔버 내부 중 상기 로딩 챔버 측에 설치되며, 상기 로딩 챔버에서 공급되는 피증착물을 수취하는 수취부; 상기 챔버 내부 하측에 설치되며, 상기 수취부에 수취되어 있는 피증착물을 전달받아 온도를 공정 온도로 유지한 상태에서 상기 라인 증착부 하측을 통과하도록 수평 이동시키는 수평 이동부; 상기 챔버 내부 중 상기 언로딩 챔버 측에 설치되며, 공정 완료 후 상기 수평 이동부에 의하여 전달되는 피증착물을 전달받아 상기 언로딩 챔버로 배출하는 배출부;를 포함하는 것이 바람직하다.

또한 본 발명에서 상기 피증착물 수평 이동부는, 피증착물을 상면에 장착하며, 상기 피증착물을 일정한 온도로 가열하는 가열 지그; 상기 가열 지그를 수평 방향으로 왕복 구동시키는 수평 이동수단; 상기 수평 이동수단의 하부와 연결되어 설치되며, 상기 수평 이동수단을 상하 방향으로 구동시키는 상하 구동수단;을 포함하는 것이 바람직하다.

그리고 상기 수평 이동수단은, 상기 가열 지그를 상면에 장착한 상태에서 수평 방향으로 왕복시키는 벨트; 상기 벨트를 양측에서 회전시키는 회전롤러; 상기 회전 롤러를 구동하는 회전동력 제공부;를 포함하는 것이 바람직하다.

또한 본 발명에서 상하 구동수단은, 상기 수평 이동수단의 하부에 결합되며, 상기 챔버 하벽을 관통하여 챔버 외부로 연결하는 수직 연결부; 상기 수직 연결부의 하단과 연결되어 설치되는 수평 플레이트; 상기 수평 플레이트를 상하 방향으로 구동시키는 수직 구동 동력 제공부;를 포함하는 것이 바람직하다.

또한 본 발명에서 상기 회전동력 제공부는 상기 수평 플레이트 상에 설치되는 것이 바람직하다.

또한 본 발명에서 상기 가열 지그는, 플레이트 형상의 지그 본체; 상기 지그 본체 내에 설치되며, 외부에서 공급되는 전원을 이용하여 발열하는 히터; 상기 지그 본체의 수직 및 수평 구동에 병행하여 이동하면서 상기 히터와 연결되며, 상기 히터에 전원을 공급하는 전원 공급부;를 포함하는 것이 바람직하다.

그리고 본 발명에서 상기 전원 공급부는, 상기 챔버 하벽을 관통하여 설치되며, 중앙에 전원선 설치공이 형성되는 수직축; 상기 수직축의 하단에 결합되어 설치되며, 상기 수직축을 상하 방향으로 구동시키는 수직축 상하 구동수단; 상기 수직축의 상단과 상기 지그 본체를 연결하며, 다축 로봇 구조를 가져서 상기 지그 본체의 수평 이동을 따라 이동하면서 전원선의 연결을 제공하는 가변 연결부;를 포함하는 것이 바람직하다.

본 발명의 인라인 화학기상증착 시스템은 피증착물을 라인 증착부 하측에서 반복적으로 수평 이동하면서 증착 공정을 수행하므로, 인라인 방식으로 전체 시스템을 구성할 수 있을 뿐만아니라, 공정 수행 중에 피증착물의 온도를 균일하게 유지할 수 있어서 매우 정확학 화학기상 증착 공정을 수행할 수 있는 장점이 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 화학기상증착 시스템의 구조를 도시하는 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 피증착물의 구조를 도시하는 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 수평 이동부의 구조 및 동작을 도시하는 도면이다.
도 4 내지 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 화학기상증착 시스템의 작동 과정을 도시하는 도면들이다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다.

본 실시예에 따른 인라인 화학기상증착 시스템(1)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 공정 챔버(100), 로딩 챔버(200) 및 언로딩 챔버(300)를 포함하여 구성될 수 있다. 여기에서 상기 공정 챔버(100)는 도 1에 도시된 바와 같이, 전체 시스템(1)의 중앙에 배치되며, 챔버 내부에서 피증착물을 수평 이동시키면서 표면에 박막을 화학기상증착하는 구성요소이다. 그리고 상기 로딩 챔버(loading chamber, 200)는 상기 공정 챔버(100)의 일측에 설치되며, 상기 공정 챔버(100)로 피증착물을 공급하고, 상기 언로딩 챔버(unloading chamber, 300)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 로딩 챔버(200)의 반대측에 설치되며, 상기 공정 챔버(100)로부터 피증착물을 전달받아서 외부로 배출하는 것이다.

본 실시예에서 상기 로딩 챔버(200)에는 챔버 내부를 진공 상태로 만들 수 있는 진공 펌프(도면에 미도시)가 구비되고, 챔버 내부를 외부와 연통시키는 게이트(210)가 형성된다. 그리고 상기 게이트(210)에는 이 게이트를 단속할 수 있는 게이트 밸브(220)가 구비된다. 또한 상기 공정 챔버(100)와 접하는 챔버 측벽에도 피증착물이 이동할 수 있는 게이트(230)가 형성되며, 게이트 밸브(240)가 구비되어 이를 단속한다.

또한 상기 로딩 챔버(200) 내에는 외부에서 공급되는 피증착물(400)을 전달받고, 공정 챔버(100)로 전달하기 위한 피증착물 이동수단(250)이 구비된다. 본 실시예에서 상기 피증착물 이동수단(250)은 다양한 구조로 구현될 수 있으며, 도 1에 도시된 바와 같이, 롤러 구조를 가질 수 있다.

다음으로 본 실시예에서 상기 피증착물(400)은 직사각형 형상의 유리기판, 원형의 웨이퍼 등 다양한 디바이스가 적용가능하며, 예를 들어 도 2, 3에 도시된 바와 같이, 장착 트레이(410)와 피증착 기판(420)을 포함하여 구성될 수 있다. 여기에서 상기 장착 트레이(410)는 도 2에 도시된 바와 같이, 직사각형 형상 등 일정한 플레이트(plate) 형상을 가지는 구성요소이며, 그 상면에 다수개의 피증착 기판(420)이 장착될 수 있는 장착홈(도면에 미도시) 등이 형성될 수 있다.

그리고 상기 피증착 기판(420)은 도 2, 3에 도시된 바와 같이, 상기 장착 트레이(410)의 상면에 일정한 간격으로 배치되며, 실제로 박막이 증착되는 피증착 대상물이 되는 것이다. 본 실시예에서 상기 피증착 기판(420)은 상기 장착 트레이(410)에 다수개의 기판이 매트릭스 형태로 배치되어 한 번의 공정에 의하여 다수개의 피증착 기판(420)이 처리되는 형태를 취하는 것이 바람직하다. 이때 상기 피증착 기판(420)은 상기 장착 트레이(410) 상에 최대한 밀착된 상태로 장착되는 것이 바람직하다.

다음으로 본 실시예에서 상기 공정 챔버(100)는 도 1에 도시된 바와 같이, 챔버(110), 라인 증착부(120), 수취부(130), 수평 이동부(140) 및 배출부(150)를 포함하여 구성될 수 있다. 먼저 상기 챔버(110)는 내부에 일정한 진공 공간을 형성하는 구성요소이다. 따라서 상기 챔버(110)에는 내부 기체를 흡입 배출하여 진공 상태로 만들 수 있는 진공 펌프(도면에 미도시) 등이 구비된다. 그리고 상기 챔버(110)의 좌우측에는 피증착물(400)이 통과할 수 있는 게이트(112, 114)가 형성되며, 이 게이트(112, 114)는 각각 게이트 밸브에 의하여 단속된다.

다음으로 상기 라인 증착부(120)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 챔버(110) 내부 상측 중앙에 설치되며, 하측 방향으로 증착물질을 라인 형태로 분사하여 피증착물(400) 표면에 증착시키는 구성요소이다. 이러한 라인 증착부(120)는 상기 피증착물(400)의 폭만큼 증착물질을 라인 형태로 분사하며, 그 하측을 피증착물(400)이 통과하면서 증착 공정이 진행되는 것이다. 본 실시예에서 상기 라인 증착부(120)는 상용품으로 구현될 수 있으므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.

다음으로 상기 수취부(130)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 챔버(110) 내부 중 상기 로딩 챔버(200) 측에 설치되며, 상기 로딩 챔버(200)에서 공급되는 피증착물(400)을 수취하는 구성요소이다. 전술한 바와 같이, 상기 로딩 챔버(200)에서는 롤러 형태의 피증착물 이동수단(250)이 게이트(230)를 통하여 피증착물(400)을 공정 챔버(100) 방향으로 공급한다. 그러면 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 수취부(130)가 수평 이동되는 피증착물(400)을 수취하는 것이다. 따라서 상기 수취부(130)도 롤러 구조를 가지는 것이 바람직하다.

다음으로 상기 피증착물 수평 이동부(140)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 챔버(110) 내부 하측에 설치되며, 상기 수취부(130)에 수취되어 있는 피증착물(400)을 전달받아 온도를 공정 온도로 유지한 상태에서 상기 라인 증착부(120) 하측을 통과하도록 수평 이동시키는 구성요소이다. 즉, 본 실시예에서 상기 수평 이동부(140)는 인라인 화학기상증착 공정이 진행되는 동안 상기 피증착물(400)을 그 상부에 장착한 상태에서, 상기 라인 증착부(120) 하측으로 1회 이상 반복적으로 수평 이동시키는 것이다. 물론 이렇게 피증착물(400)을 수평이동시키기 전에는 상기 수취부(130)로부터 피증착물(400)을 전달받아야 하며, 증착 공정이 완료된 후에는 상기 배출부(150)에 피증착물(400)을 전달하여야 한다.

이를 위하여 본 실시예에서는 상기 피증착물 수평 이동부(140)를 구체적으로 가열 지그(160), 수평 이동수단(170) 및 상하 구동수단(180)을 포함하여 구성할 수 있다.

먼저 상기 가열 지그(160)는 도 2에 도시된 바와 같이, 피증착물(400)을 상면에 장착하며, 상기 피증착물을 일정한 온도로 가열하는 구성요소이다. 이를 위하여 본 실시예에서는 구체적으로 상기 가열 지그(160)를 도 1, 3에 도시된 바와 같이, 지그 본체(162), 히터(163) 및 전원 공급부(161)를 포함하여 구성될 수 있다.

먼저 상기 지그 본체(162)는 플레이트 형상의 구성요소이다. 즉, 상기 지그 본체(162)는 전체적으로 직사각형 판넬 형상을 가지며, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 장착 트레이(410)보다 작은 폭을 가진다. 따라서 상기 피증착물(400)을 수취부로부터 전달받을 때, 하측에서 상측으로 이동하면서 피증착물(400)을 전달받을 수 있으며, 이 과정에서 수취부(130)와의 간섭 현상을 피할 수 있다.

그리고 상기 히터(163)는 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 지그 본체(162) 내에 설치되며, 외부에서 공급되는 전원을 이용하여 발열하는 구성요소이다. 이 히터(163)에 의하여 상기 지그 본체(162) 상에 장착된 피증착물(400)이 공정 온도로 가열되어 적절한 화학기상증착 공정이 가능한 것이다. 상기 히터(163)는 상기 지그 본체(162) 내에 다양한 형상으로 배치될 수 있으며, 상기 지그 본체(162)의 전면에 대하여 균일하게 온도를 유지할 수 이는 형태이면 충분하다.

다음으로 상기 전원 공급부(161)는 도 1, 3에 도시된 바와 같이, 상기 지그 본체(162)의 수직 및 수평 구동에 병행하여 이동하면서 상기 히터(163)와 연결되며, 상기 히터(163)에 전원을 공급하는 구성요소이다. 즉, 본 실시예에서 상기 전원 공급부(161)는 상기 히터(163)에 전원을 공급하되, 상기 히터(163)를 내부에 구비한 지그 본체(162)가 상하 좌우 방향으로 이동하는 구성요소이므로, 상기 전원 공급부(161) 역시도 상기 지그 본체(162)의 상하 좌우 이동에 병행하여 이동하면서 전원을 안정적으로 공급할 수 있는 구조를 가져야 하는 것이다.

이를 위해 본 실시예에서는 구체적으로 상기 전원 공급부(161)를 수직축(164), 수직축 상하 구동수단(165) 및 가변 연결부(166)를 포함하여 구성할 수 있다. 여기에서 상기 수직축(164)은 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 챔버(110) 하벽을 관통하여 설치되며, 중앙에 전원선 설치공(도면에 미도시)이 형성되는 구성요소이다. 그리고 상기 수직축 상하 구동수단(165)은 상기 수직축(164)의 하단에 결합되어 설치되며, 상기 수직축(164)을 상하 방향으로 구동시키는 구성요소이다. 즉, 상기 수직축 상하 구동수단(165)은 챔버(110) 외측에 설치되며, 상기 지그 본체(162)의 상하 구동에 연동하여 상기 수직축(164)을 상하 방향으로 이동시키는 구성요소이다.

그리고 상기 가변 연결부(166)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 수직축(164)의 상단과 상기 지그 본체(162)를 연결하며, 다축 로봇 구조를 가져서 상기 지그 본체(162)의 수평 이동을 따라 이동하면서 전원선의 연결을 제공하는 구성요소이다. 즉, 상기 가변 연결부(166)는 상기 지그 본체(162)의 수평 이동에 연동하여 가변하면서 상기 히터(163)에 전원을 공급하는 것이다.

이렇게 상기 가변 연결부(166)가 다축 로봇 구조를 가지면, 다축 로봇 구조에 의하여 지그 본체(162)의 수평 이동 스트로크를 커버할 수 있으며, 별도의 동력 수단 없이 수동적인 움직에 의해서도 지그 본체(162)의 수평 이동에 연동하여 움직일 수 있는 장점이 있다.

다음으로 상기 수평 이동수단(170)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 가열 지그(160)를 수평 방향으로 왕복 구동시키는 구성요소이다. 이를 위해 본 실시예에서는 상기 수평 이동수단(170)을 구체적으로 벨트(172), 회전롤러(174) 및 회전동력 제공부(176)로 구성할 수 있다. 물론 이러한 벨트 구조 이외에 상기 가열 지그(160)을 수평 왕복 구동시킬 수 있는 다양한 구동 메카니즘이 적용될 수도 있을 것이다.

상기 벨트(172)는 회전 롤러(174)에 의하여 무한 궤도를 회전하는 구성요소이며, 상기 벨트(172) 상에 상기 지그 본체(162)가 장착된다. 그리고 상기 회전 롤러(174)는 상기 벨트(172)를 일정한 구간 내에서 구동시킨다. 또한 상기 회전동력 제공부(176)는 상기 챔버(110) 외측에 설치되며, 벨트 구동을 위한 회전 동력을 상기 회전 롤러(174)에 제공한다.

다음으로 상기 상하 구동수단(180)은, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 수평 이동수단(170)의 하부와 연결되어 설치되며, 상기 수평 이동수단(170)을 상하 방향으로 구동시키는 구성요소이다. 본 실시예에서는 상기 상하 구동수단(180)을 구체적으로 수직 연결부(182), 수평 플레이트(184) 및 수직구동 동력 제공부(186)로 구성할 수 있다.

여기에서 상기 수직 연결부(182)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 수평 이동수단(170)의 하부에 결합되며, 상기 챔버(110) 하벽을 관통하여 챔버 외부로 연결하는 구성요소이다. 그리고 상기 수평 플레이트(184)는 도 1에 도시된 바와 같이, 다수개의 수직 연결부(182)의 하단과 연결되어 다수개의 수직 연결부(182)를 동일하게 설치하고 상하 구동시키기 위한 구성요소이다.

다음으로 상기 수직 구동 동력제공부(186)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 수평 플레이트(184)의 하부에 설치되며, 상기 수평 플레이트(184)를 상하 방향으로 구동시키는 구성요소이다. 이렇게 상기 수평 플레이트(184)를 상하 방향으로 구동시키면, 이에 연결되어 있는 수직 연결부(182) 및 수평 이동수단(170) 등이 모두 상하 방향으로 구동되는 것이다. 구체적으로 상기 수직 구동 동력 제공부(186)는 상기 수평 플레이트(184)의 이동 방향을 안내하는 가이드와 모터 구동 메카니즘으로 구성될 수 있다.

그리고 본 실시예에서 상기 회전동력 제공부(176)는 상기 수평 플레이트(184) 상에 설치되는 것이 바람직하다. 이렇게 회전동력 제공부(176)가 상기 수평 플레이트(184) 상에 설치되면, 상기 수평 플레이트(184)의 상하 구동에 연동되어 상기 회전동력 제공부(176)도 상하 방향으로 이동하므로, 별도의 동력 제공 없이 상하 구동이 가능하기 때문이다.

다음으로 상기 배출부(150)는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 챔버(110) 내부 중 상기 언로딩 챔버(300) 측에 설치되며, 공정 완료 후 상기 수평 이동부(140)에 의하여 전달되는 피증착물(400)을 전달받아 상기 언로딩 챔버(300)로 배출하는 구성요소이다. 상기 배출부(150)의 구체적인 구조는 전술한 수취부(130)의 구조와 실질적으로 동일하므로 이에 대한 반복 설명은 생략한다.

이하에서는 본 실시예에 따른 인라인 화학기상증착 시스템(1)을 이용하여 공정을 진행하는 과정을 설명한다.

먼저 도 4에 도시된 바와 같이, 피증착물(400)을 로딩 챔버(200)에서 공정 챔버(100) 내부로 반입하는 과정으로 시작된다. 이 과정에서는 제2 게이트 밸브(240)가 개방되고, 로딩 챔버(200)와 공정 챔버(100)에 형성되어 있는 게이트(112)를 통하여 피증착물(400)이 수평 이동된다.

피증착물의 수평 이동이 완료되면, 게이트 밸브(240)를 구동시켜 게이트(112)를 차단시킨 후, 상기 수평 이동부(140)를 상하 방향으로 구동시켜, 도 5에 도시된 바와 같이, 피증착물(400)을 상측으로 이동시킨다. 이때 상기 피증착물(400)이 상승하는 높이는 상가 라인 증착부(120)에 의하여 박막 증착이 가장 효율적으로 이루어질 수 있는 높이이다.

그리고 도 6, 7에 도시된 바와 같이, 상기 수평 이동부(140)에 의하여 상기 피증착물(400)을 상기 라인 증착부(120) 하측을 다수번 왕복하여 이동시키면서 화학 기상증착 공정을 반복적으로 진행한다.

충분한 박막 증착이 완료되면, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 수평 이동부가 하강하면서 장착되어 있는 피증착물(400)을 상기 배출부(150) 상에 내려 놓는다.

그리고 나면 도 9에 도시된 바와 같이, 게이트(114)를 개방시키고, 상기 배출부(150)를 구동시켜 피증착물(400)을 언로딩 챔버(300)로 수평 이동시킨다. 그리고 나서 언로딩 챔버(300)에서는 증착 공정이 완료된 피증착물(400)을 외부로 반출한다.

1 : 본 발명의 일 실시예에 따른 인라인 화학기상증착 시스템
100 : 공정 챔버 200 : 로딩 챔버
300 : 언로딩 챔버 400 : 피증착물
110 : 챔버 120 : 라인 증착부
130 : 수취부 140 : 피증착물 수평 이동부
150 : 배출부

Claims

중앙에 배치되며, 챔버 내부에서 피증착물을 수평 이동시키면서 표면에 박막을 화학기상증착하는 공정 챔버;
상기 공정 챔버의 일측에 설치되며, 상기 공정 챔버로 피증착물을 공급하는 로딩챔버;
상기 로딩 챔버의 반대측에 설치되며, 상기 공정 챔버로부터 피증착물을 전달받아서 외부로 배출하는 언로딩 챔버;를 포함하는 인라인 화학기상증착 시스템.
제1항에 있어서, 상기 피증착물은,
일정한 플레이트 형상을 가지는 장착 트레이;
상기 장착 트레이의 상면에 일정한 간격으로 배치되는 다수개의 피증착 기판;을 포함하는 것을 특징으로 하는 인라인 화학기상증착 시스템.
제2항에 있어서, 상기 공정 챔버는,
내부에 일정한 진공 공간을 형성하는 챔버;
상기 챔버 내부 상측 중앙에 설치되며, 하측 방향으로 증착물질을 라인 형태로 분사하여 피증착물 표면에 증착시키는 라인 증착부;
상기 챔버 내부 중 상기 로딩 챔버 측에 설치되며, 상기 로딩 챔버에서 공급되는 피증착물을 수취하는 수취부;
상기 챔버 내부 하측에 설치되며, 상기 수취부에 수취되어 있는 피증착물을 전달받아 온도를 공정 온도로 유지한 상태에서 상기 라인 증착부 하측을 통과하도록 수평 이동시키는 수평 이동부;
상기 챔버 내부 중 상기 언로딩 챔버 측에 설치되며, 공정 완료 후 상기 수평 이동부에 의하여 전달되는 피증착물을 전달받아 상기 언로딩 챔버로 배출하는 배출부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 인라인 화학기상증착 시스템.
제3항에 있어서, 상기 피증착물 수평 이동부는,
피증착물을 상면에 장착하며, 상기 피증착물을 일정한 온도로 가열하는 가열 지그;
상기 가열 지그를 수평 방향으로 왕복 구동시키는 수평 이동수단;
상기 수평 이동수단의 하부와 연결되어 설치되며, 상기 수평 이동수단을 상하 방향으로 구동시키는 상하 구동수단;을 포함하는 것을 특징으로 하는 인라인 화학기상증착 시스템.
제4항에 있어서, 상기 수평 이동수단은,
상기 가열 지그를 상면에 장착한 상태에서 수평 방향으로 왕복시키는 벨트;
상기 벨트를 양측에서 회전시키는 회전롤러;
상기 회전 롤러를 구동하는 회전동력 제공부;를 포함하는 인라인 화학기상증착 시스템.
제5항에 있어서, 상하 구동수단은,
상기 수평 이동수단의 하부에 결합되며, 상기 챔버 하벽을 관통하여 챔버 외부로 연결하는 수직 연결부;
상기 수직 연결부의 하단과 연결되어 설치되는 수평 플레이트;
상기 수평 플레이트를 상하 방향으로 구동시키는 수직 구동 동력 제공부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 인라인 화학기상증착 시스템.
제6항에 있어서,
상기 회전동력 제공부는 상기 수평 플레이트 상에 설치되는 것을 특징으로 하는 인라인 화학기상증착 시스템.
제4항에 있어서, 상기 가열 지그는,
플레이트 형상의 지그 본체;
상기 지그 본체 내에 설치되며, 외부에서 공급되는 전원을 이용하여 발열하는 히터;
상기 지그 본체의 수직 및 수평 구동에 병행하여 이동하면서 상기 히터와 연결되며, 상기 히터에 전원을 공급하는 전원 공급부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 인라인 화학기상증착 시스템.
제8항에 있어서, 상기 전원 공급부는,
상기 챔버 하벽을 관통하여 설치되며, 중앙에 전원선 설치공이 형성되는 수직축;
상기 수직축의 하단에 결합되어 설치되며, 상기 수직축을 상하 방향으로 구동시키는 수직축 상하 구동수단;
상기 수직축의 상단과 상기 지그 본체를 연결하며, 다축 로봇 구조를 가져서 상기 지그 본체의 수평 이동을 따라 이동하면서 전원선의 연결을 제공하는 가변 연결부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 인라인 화학기상증착 시스템.