CN101893879B

CN101893879B - 等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制方法及系统

Info

Publication number: CN101893879B
Application number: CN2010101956832A
Authority: CN
Inventors: 王永贵
Original assignee: Beijing North Microelectronics Co Ltd
Current assignee: Beijing North Microelectronics Co Ltd
Priority date: 2010-06-01
Filing date: 2010-06-01
Publication date: 2012-08-22
Anticipated expiration: 2030-06-01
Also published as: CN101893879A

Abstract

本发明公开了一种等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制方法，所述等离子体化学气相沉积设备包括传输模块和反应腔室，所述的方法包括；传输模块升至高位与相邻的反应腔室进行当前载板传输，关闭所述传输模块降至低位的操作功能；检测当前载板是否正常传输到指定位置，若是，则开启所述传输模块降至低位的操作功能；在所述传输模块降至低位的操作功能开启的条件下，执行传输模块降至低位的操作。本发明可以防止载板摔落，提高载板传输的安全性，从而有效降低生产成本，提高生产效率。

Description

等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制方法及系统

技术领域

本发明涉及生产线设备控制的技术领域，特别是涉及一种等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制方法、一种等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制系统及一种等离子体化学气相沉积设备。

背景技术

目前，制备晶硅太阳能电池多采用等离子化学气相沉积(PECVD)工艺。而在晶硅太阳能电池制造设备中，PECVD设备多采用在线型镀膜技术(In-line PECVD，在线镀膜型等离子化学气相沉积设备)。

参考图1所示的In-line PECVD设备的结构示意图，In-line PECVD设备一般包括若干个真空密闭腔室，即图中的预热腔1、反应腔2和冷却腔3；该设备还包括用于传输的装载台4和卸载台5，装载台4和卸载台5可以升降，即可以处于高位和低位，并且只有在处于高位时，才能与相邻的腔室进行传输操作。这种In-line PECVD设备进行载板传输的过程主要包括以下步骤：

步骤S11、将硅片放置于载板上，将载板放置于处于低位的装载台4上；

步骤S12、装载台4从低位升至高位，准备将载板向预热腔1进行传输；

步骤S13、载板被搬运到预热腔1中，在预热腔1进行载板5的预热处理流程，加热载板和硅片；然后将载板搬运到工艺腔2中，进行沉积工艺。反应完成后将载板搬运到冷却腔3中进行冷却处理，然后将载板搬运到处于高位的卸载台5上，将加工完成的硅片取走；

步骤S14、卸载台5从高位降至低位，载板5通过载板回收装置(图中未示出，通常为多个伺服电机)返回装载台4。

在实际生产环境中，上述传输过程是循环往复的，即装载台4升至高位将载板a搬运到预热腔1后，会降至低位装载下一块载板b；载板a顺序在预热腔1、工艺腔2、冷却腔3完成相应工艺后(与此同时，载板b也在载板a的后一个传输周期顺序在各腔室中完成相应工艺，如当前载板a在工艺腔2中，载板b在预热腔1中；或如，当前载板a在冷却腔3中，载板b在工艺腔2中)，卸载台5会升至高位取走载板a，然后降至低位进行载板回收，载板a回收完成后，卸载台5又升至高位取走下一块载板b，然后降至低位进行载板b地回收，如此循环往复。

为了判断载板每次传输是否到位，通常在装载台、预热腔、工艺腔、冷却腔和卸载台上均设置有位置传感器，具体可以参考图2所示的载板从装载台到预热腔之间传输的示例，其中，PS1是装载台判断是否有载板的位置传感器，PS2是预热腔判断载板是否到位的位置传感器，PS1、PS2的值为1表示在相应位置检测到有载板，PS1、PS2的值为0表示在相应位置检测到无载板。

装载台从低位装载载板a后，升至高位准备进行载板传输，此时PS1检测到的值为1，表示当前装载台上装载有载板a；然后装载台传出载板a至预热腔，此时PS1检测到的值为0，表示当前装载台上没有载板；在PS1为0情况下，就可以触发装载台降至低位的操作，即装载台将从高位降至低位以装载下一块载板b。当然，在实际中，对于装载台降至低位操作的触发，往往可能设置有其它条件(跟实际生产环境相关，如装载台的伺服电机是否停转等)，则只要在PS1为0的情况下满足这些条件，就可以触发装载台降至低位的操作。

具体还可以参考图3所示的载板从冷却腔到卸载台之间传输的示例，其中，PS3是卸载台判断是否有载板的位置传感器，PS3的值为1表示在相应位置检测到有载板，PS3的值为0表示在相应位置检测到无载板。

卸载台升至高位取走载板a后，此时PS3检测到的值为1，表示当前卸载台上装载有载板a；在PS3为1情况下，就可以触发卸载台降至低位的操作，即卸载台将从高位降至低位以执行载板b的回收过程。当然，在实际中，对于卸载台降至低位操作的触发，往往也可能设置有其它条件(跟实际生产环境相关，如卸载台的伺服电机是否停转等)，则只要在PS3为1的情况下满足这些条件，就可以触发卸载台降至低位的操作。

然而，位置传感器对于有无载板的检测不一定是绝对准确的，在实际中，位置传感器可能会出现失效的情形，即其往往将实际中有载板的状态判断为无载板的状态(值为0)，或者，将实际中无载板的状态判断为有载板的状态(值为1)。

结合图2所示的例子，如果此时载板还未完全从装载台传出，位于装载台和预热腔之间，而装载台的位置传感器PS1失效，将当前有载板的状态判断为无载板的状态，于是触发了装载台降至低位的操作，这时载板将会从高处摔落，从而造成损坏；结合图3所示的例子，如果此时载板还未完全传入卸载台，位于冷却腔和卸载台之间，而卸载台的位置传感器PS3失效，将当前无载板的状态判断为有载板的状态，于是触发了卸载台降至低位的操作，这时载板也会从高处摔落，从而造成损坏。

因此，目前需要本领域技术人员迫切解决的一个技术问题就是：如何能够创新地提出一种等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制机制，用以防止载板摔落，提高载板传输的安全性，从而有效降低生产成本，提高生产效率。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制方法、系统及一种等离子体化学气相沉积设备，用以防止载板摔落，提高载板传输的安全性，从而有效降低生产成本，提高生产效率。

为了解决上述技术问题，本发明实施例公开了一种等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制方法，所述等离子体化学气相沉积设备包括传输模块和反应腔室，所述的方法包括；

传输模块升至高位与相邻的反应腔室进行当前载板传输，关闭所述传输模块降至低位的操作功能；

检测当前载板是否正常传输到指定位置，若是，则开启所述传输模块降至低位的操作功能，若否，则维持所述传输模块降至低位的操作功能的关闭状态；

在所述传输模块降至低位的操作功能开启的条件下，执行传输模块降至低位的操作。

优选的，所述传输模块为装载台，所述反应腔室为预热腔，所述预热腔设置有位置传感器；所述检测当前载板是否正常传输到指定位置的步骤包括：

由所述预热腔的位置传感器检测当前载板是否传输到预热腔的指定位置，若是，则判定当前载板正常传输到指定位置。

优选的，所述传输模块为装载台，所述反应腔室为预热腔，所述装载台和预热腔分别设置有相应的位置传感器；所述检测当前载板是否正常传输到指定位置的步骤包括：

由所述装载台的位置传感器检测当前载板是否传出装载台，并且，由所述预热腔的位置传感器检测当前载板是否传输到预热腔的指定位置，若是，则判定当前载板正常传输到指定位置。

优选的，所述传输模块为装载台，所述反应腔室为预热腔，所述装载台设置有位置传感器；所述检测当前载板是否正常传输到指定位置的步骤包括：

由所述装载台的位置传感器检测当前载板是否传出装载台，若是，则判定当前载板正常传输到指定位置。

优选的，所述传输模块为卸载台，所述反应腔室为冷却腔，所述卸载台设置有位置传感器；所述检测当前载板是否正常传输到指定位置的步骤包括：

由所述卸载台的位置传感器检测当前载板是否传输到卸载台的指定位置，若是，则判定当前载板正常传输到指定位置。

优选的，所述传输模块为卸载台，所述反应腔室为冷却腔，所述卸载台和冷却腔分别设置有位置传感器；所述检测当前载板是否正常传输到指定位置的步骤包括：

由所述冷却腔的位置传感器检测当前载板是否传出冷却腔，并且，由所述卸载台的位置传感器检测当前载板是否传输到卸载台的指定位置，若是，则判定当前载板正常传输到指定位置。

优选的，所述传输模块降至低位的操作功能的开启和关闭采用逻辑开关控制。

本发明实施例还公开了一种等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制系统，所述等离子体化学气相沉积设备包括传输模块和反应腔室，所述的系统包括；

低位功能关闭模块，用于在传输模块升至高位与相邻的反应腔室进行当前载板传输时，关闭所述传输模块降至低位的操作功能；

传输检测模块，用于检测当前载板是否正常传输到指定位置，若是，则触发低位功能开启模块；

低位功能开启模块，用于开启所述传输模块降至低位的操作功能；

低位操作模块，用于在所述传输模块降至低位的操作功能开启的条件下，执行传输模块降至低位的操作。

优选的，所述传输模块为装载台，所述反应腔室为预热腔，所述预热腔设置有位置传感器；所述传输检测模块包括：

第一检测子模块，用于由所述预热腔的位置传感器检测当前载板是否传输到预热腔的指定位置，若是，则判定当前载板正常传输到指定位置。

优选的，所述传输模块为装载台，所述反应腔室为预热腔，所述装载台和预热腔分别设置有相应的位置传感器；所述传输检测模块包括：

第二检测子模块，用于由所述装载台的位置传感器检测当前载板是否传出装载台，并且，由所述预热腔的位置传感器检测当前载板是否传输到预热腔的指定位置，若是，则判定当前载板正常传输到指定位置。

优选的，所述传输模块为装载台，所述反应腔室为预热腔，所述装载台设置有位置传感器；所述传输检测模块包括：

第三检测子模块，用于由所述装载台的位置传感器检测当前载板是否传出装载台，若是，则判定当前载板正常传输到指定位置。

优选的，所述传输模块为卸载台，所述反应腔室为冷却腔，所述卸载台设置有位置传感器；所述传输检测模块包括：

第四检测子模块，用于由所述卸载台的位置传感器检测当前载板是否传输到卸载台的指定位置，若是，则判定当前载板正常传输到指定位置。

优选的，所述传输模块为卸载台，所述反应腔室为冷却腔，所述卸载台和冷却腔分别设置有位置传感器；所述传输检测模块包括：

第五检测子模块，用于由所述冷却腔的位置传感器检测当前载板是否传出冷却腔，并且，由所述卸载台的位置传感器检测当前载板是否传输到卸载台的指定位置，若是，则判定当前载板正常传输到指定位置。

本发明实施例还公开了一种等离子体化学气相沉积设备，包括传输模块和反应腔室，所述的设备还包括；

逻辑开关模块，与传输模块连接，用于在传输模块升至高位与相邻的反应腔室进行当前载板传输时，关闭所述传输模块降至低位的操作功能；以及，在检测到当前载板正常传输到指定位置时，开启所述传输模块降至低位的操作功能；

优选的，所述传输模块为装载台，所述反应腔室为预热腔；和/或，所述传输模块为卸载台，所述反应腔室为冷却腔。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：

首先，本发明针对等离子体化学气相沉积设备中，由于传输异常，如传输模块的位置传感器失效引起的载板摔落的情况，增加针对传输模块降至低位操作功能的开启/关闭控制机制，即在载板传输的过程中，关闭传输模块的降至低位的操作功能；只有在载板正常传输到指定位置后，才开启传输模块降至低位的操作功能；并且，只有当前传输模块降至低位的操作功能开启的条件下，才能执行将传输模块降至低位的操作。应用本发明，如果当前载板没有正常传输到指定位置，则传输模块降至低位的操作功能总会处于关闭状态(只有在当前载板正常传输到指定位置时，才开启传输模块降至低位的操作功能)，由于只有在传输模块降至低位的操作功能开启的条件下，才能执行传输模块降至低位的操作，所以一旦载板传输出现异常情况，传输模块降至低位的操作功能就不会被开启，将会一直处于关闭状态，使传输模块无法执行从高位降至低位的操作，从而不会导致载板从高处摔落的情形出现，因而本发明实施例提高了载板传输的安全性，降低了生产成本，提高了生产效率。

再者，本发明在载板传输正常时，传输模块降至低位的操作功能会被开启，在传输模块降至低位的操作功能开启状态下，并不会影响传输模块降至低位的操作，因而本发明并不会影响或干扰正常的载板传输过程。

并且，本发明无需增加硬件，占用资源较少，且易于实现。

附图说明

图1是一种In-line PECVD设备的结构示意图；

图2是在In-line PECVD设备中载板从装载台到预热腔之间进行传输的示意图；

图3是在In-line PECVD设备中载板从冷却腔到卸载台之间进行传输的示意图；

图4是本发明的一种等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制方法实施例1的步骤流程图；

图5是本发明的一种等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制方法实施例2的步骤流程图；

图6是本发明的一种等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制方法实施例3的步骤流程图；

图7是本发明的本发明的一种等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制系统实施例的结构框图；

图8是本发明的一种等离子体化学气相沉积设备的结构框图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

本发明可用于众多通用或专用的计算系统环境或配置中。例如：多处理器系统、服务器、网络PC、小型计算机、大型计算机、包括以上任何系统或设备的分布式计算环境等等。

本发明可以在由计算机执行的计算机可执行指令的一般上下文中描述，例如程序单元。一般地，程序单元包括执行特定任务或实现特定抽象数据类型的例程、程序、对象、组件、数据结构等等。也可以在分布式计算环境中实践本发明，在这些分布式计算环境中，由通过通信网络而被连接的远程处理设备来执行任务。在分布式计算环境中，程序单元可以位于包括存储设备在内的本地和远程计算机存储介质中。

本发明实施例的核心构思之一在于，增加针对传输模块降至低位的操作功能的开启/关闭控制机制，即在载板传输的过程中，关闭传输模块的降至低位的操作功能；只有在载板正常传输到指定位置后，才开启传输模块降至低位的操作功能；并且，只有当前传输模块降至低位的操作功能开启的条件下，才能执行将传输模块降至低位的操作。

参考图4，示出了本发明的一种等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制方法实施例1的步骤流程图，其中，所述等离子体化学气相沉积设备包括传输模块和反应腔室，本实施例具体可以包括以下步骤：

步骤401、传输模块升至高位与相邻的反应腔室进行当前载板传输，关闭所述传输模块降至低位的操作功能；

步骤402、检测当前载板是否正常传输到指定位置，若是，则开启所述传输模块降至低位的操作功能；

步骤403、在所述传输模块降至低位的操作功能开启的条件下，执行传输模块降至低位的操作。

应用本发明，如果当前载板没有正常传输到指定位置，则传输模块降至低位的操作功能总会处于关闭状态(只有在当前载板正常传输到指定位置时，才开启传输模块降至低位的操作功能)，由于只有在传输模块降至低位的操作功能开启的条件下，才能执行传输模块降至低位的操作，所以一旦载板传输出现异常情况，传输模块降至低位的操作功能就不会被开启，将会一直处于关闭状态，使传输模块无法执行从高位降至低位的操作，从而不会导致载板从高处摔落的情形出现，因而本发明实施例提高了载板传输的安全性，降低了生产成本，提高了生产效率。

参考图5，示出了本发明的一种等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制方法实施例2的步骤流程图，其中，所述等离子体化学气相沉积设备包括装载台和预热腔，所述装载台和预热腔分别设置有位置传感器，本实施例具体可以包括以下步骤：

步骤501、装载台升至高位与预热腔进行当前载板传输，关闭所述装载台降至低位的操作功能；

步骤502、检测当前载板是否正常传输到指定位置，若是，则执行步骤503；否则，执行步骤504；

步骤503、开启所述装载台降至低位的操作功能；

步骤504、维持所述装载台降至低位的操作功能的关闭状态；

步骤505、在所述装载台降至低位的操作功能开启的条件下，执行装载台降至低位的操作。

在本实施例中，所述检测当前载板是否正常传输到指定位置的方法有如下几种：

方法1：

例如，结合图2所示的载板从装载台到预热腔之间传输的示例，当装载台从低位装载载板a后，升至高位将载板a传输至预热腔，此时，预热腔的位置传感器PS2检测到载板a正常传输到其指定位置，即PS2＝1，则开启所述装载台降至低位的操作功能；在这种情况下，如无其它低位操作条件，装载台就可以降至低位装载下一块载板b。

方法2：

例如，结合图2所示的载板从装载台到预热腔之间传输的示例，当装载台从低位装载载板a后，升至高位将载板a传输至预热腔，此时，如果装载台的位置传感器PS1检测到载板a已传出装载台，即PS1＝0；并且，预热腔的位置传感器PS2检测到载板a正常传输到其指定位置，即PS2＝1，则开启所述装载台降至低位的操作功能；在这种情况下，如无其它低位操作条件，装载台就可以降至低位装载下一块载板b。

方法3：

例如，结合图2所示的载板从装载台到预热腔之间传输的示例，当装载台从低位装载载板a后，升至高位将载板a传输至预热腔，此时，如果装载台的位置传感器PS1检测到载板a已传出装载台，即PS1＝0，则开启所述装载台降至低位的操作功能；在这种情况下，如无其它低位操作条件，装载台就可以降至低位装载下一块载板b。

在具体实现中，对于装载台降至低位操作的触发，往往可能设置有其它低位操作条件，为使本领域技术人员更好地理解本发明，以下提供一种实际生产环境中应用本发明实施例的具体示例。

结合图2所示的载板从装载台到预热腔之间传输的示例，图2中所示M1、M2是驱动装载台上载板传动的伺服电机；M3、M4是驱动预热腔上载板传动的伺服电机；PS1是装载台检测有无载板的位置传感器；PS2是预热腔判断载板是否到达其指定位置的位置传感器，位置传感器的值为1表示在相应位置检测到有载板，为0表示在相应位置检测到无载板。

当载板从装载台传至预热腔时，M1、M2、M3、M4四个伺服电机将顺时针转动，从而带动载板从左至右传至预热腔，传输是否到位的判断是以PS2为1为标志，即PS2为1表示载板正常从装载台传输到预热腔，在载板正常传输到位时，M1、M2、M3、M4四个伺服电机将停止转动。

PS2为0表示载板未正常从装载台传输到预热腔。在实际生产中，对于载板在In-line PECVD设备各个模块之间的传输都分别设置有超时控制机制，如果在规定的时间内载板没有正常传输到位，设备将会发出超时报警信号。例如，假设设置载板从装载台至预热腔的传输时间为30秒，如果经过30秒后，PS2仍为0，则会触发超时报警信号。在这种情况下，M1、M2、M3、M4四个伺服电机也将停止转动。

基于这种生产环境，应用本发明实施例将载板从装载台传输至预热腔的具体过程为：

步骤S31、装载台升至高位准备向预热腔传输载板，此时关闭控制装载台下降的逻辑开关，以禁止装载台降至低位；

步骤S32、启动装载台和预热腔的伺服电机M1、M2、M3和M4，开始进行载板传输；

步骤S33、预热腔的位置传感器PS2是否为1(载板是否在预置时间内传输至指定位置)，若为1，则执行步骤S34；若为0，则执行步骤S35；

步骤S34、停止伺服电机M1、M2、M3和M4，并且，打开控制装载台下降的逻辑开关；

步骤S35、发出超时报警信息，停止伺服电机M1、M2、M3和M4，保持控制装载台下降的逻辑开关的关闭状态；

步骤S36、判断PS1是否为0，且PS2是否为1；若是，则执行下一步骤；否则，不执行装载台降至低位的操作；

步骤S37、判断装载台的伺服电机M1和M2是否停止，若是，则执行下一步骤；否则，不执行装载台降至低位的操作；

步骤S38、判断控制装载台下降的逻辑开关是否打开，若是，则执行步骤S39；否则，不执行装载台降至低位的操作；

步骤S39、将装载台降至低位以装载下一块载板。

参考图6，示出了本发明的一种等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制方法实施例3的步骤流程图，其中，所述等离子体化学气相沉积设备包括卸载台和冷却腔，所述卸载台和冷却腔分别设置有位置传感器，本实施例具体可以包括以下步骤：

步骤601、卸载台升至高位与冷却腔进行当前载板传输，关闭所述卸载台降至低位的操作功能；

步骤602、检测当前载板是否正常传输到指定位置，若是，则执行步骤603；否则，执行步骤604；

步骤603、开启所述卸载台降至低位的操作功能；

步骤604、维持所述卸载台降至低位的操作功能的关闭状态；

步骤605、在所述卸载台降至低位的操作功能开启的条件下，执行卸载台降至低位的操作。

方法1：

例如，结合图3所示的载板从冷却腔到卸载台之间传输的示例，当卸载台从高位取到载板a后，如果卸载台的位置传感器PS3检测到载板a正常传输到其指定位置，即PS3＝1，则开启所述卸载台降至低位的操作功能；在这种情况下，如无其它低位操作条件，卸载台就可以降至低位装载下一块载板b。

方法2：

例如，结合图3所示的载板从装载台到预热腔之间传输的示例，当载板a从冷却腔传出，再传入位于高位的卸载台后，如果冷却腔的位置传感器PS4检测到载板a已传出装载台，即PS4＝0；并且，卸载台的位置传感器PS3检测到载板a正常传输到其指定位置，即PS3＝1，则开启所述卸载台降至低位的操作功能；在这种情况下，如无其它低位操作条件，卸载台就可以降至低位装载下一块载板b。

在实际中，对于卸载台降至低位操作的触发，往往可能设置有其它低位操作条件，为使本领域技术人员更好地理解本发明，以下提供一种实际生产环境中应用本发明实施例的具体示例。

结合图3所示的载板从冷却腔到卸载台之间传输的示例，图3中所示M5、M6是驱动冷却腔上载板传动的伺服电机；M7、M8是驱动卸载台上载板传动的伺服电机；PS3是卸载台检测有无载板的位置传感器；PS4是冷却腔判断载板是否到达其指定位置的位置传感器，位置传感器的值为1表示在相应位置检测到有载板，为0表示在相应位置检测到无载板。

当载板从冷却腔传至卸载台时，M5、M6、M7、M8四个伺服电机将顺时针转动，从而带动载板从左至右传至卸载台，传输是否到位的判断是以PS3为1为标志，即PS3为1表示载板正常从冷却腔传输到卸载台，在载板正常传输到位时，M5、M6、M7、M8四个伺服电机将停止转动。

PS3为0表示载板未正常从冷却腔传输到卸载台。在实际生产中，对于载板在In-line PECVD设备各个模块之间的传输都分别设置有超时控制机制，如果在规定的时间内载板没有正常传输到位，设备将会发出超时报警信号。例如，假设设置载板从冷却腔至卸载台的传输时间为30秒，如果经过30秒后，PS3仍为0，则会触发超时报警信号。在这种情况下，M5、M6、M7、M8四个伺服电机也将停止转动。

基于这种生产环境，应用本发明实施例将载板从冷却腔传输至卸载台的具体过程为：

步骤S41、卸载台升至高位准备接收冷却腔传出的载板，此时关闭控制卸载台下降的逻辑开关，以禁止卸载台降至低位；

步骤S42、启动冷却腔和卸载台的伺服电机M5、M6、M7和M8，开始进行载板传输；

步骤S43、卸载台的位置传感器PS3是否为1(载板是否在预置时间内传输至指定位置)，若为1，则执行步骤S44；若为0，则执行步骤S45；

步骤S44、停止伺服电机M5、M6、M7和M8，并且，打开控制卸载台下降的逻辑开关；

步骤S45、发出超时报警信息，停止伺服电机M5、M6、M7和M8，保持控制卸载台下降的逻辑开关的关闭状态；

步骤S46、判断PS4是否为0，且PS3是否为1；若是，则执行下一步骤；否则，不执行卸载台降至低位的操作；

步骤S47、判断卸载台的伺服电机M7和M8是否停止，若是，则执行下一步骤；否则，不执行卸载台降至低位的操作；

步骤S48、判断控制卸载台下降的逻辑开关是否打开，若是，则执行步骤S49；否则，不执行卸载台降至低位的操作；

步骤S49、将卸载台降至低位以接收下一块载板。

在实际中，对于In-line PECVD设备中的装载台和卸载台而言，可以分别对其降至低位的操作功能进行控制，如针对装载台降至低位的操作功能配置第一逻辑开关，针对卸载台降至低位的操作功能配置第二逻辑开关，在载板传输过程中，通过该第一逻辑开关和第二逻辑开关，分别对装载台降至低位的操作功能和卸载台降至低位的操作功能进行关闭/开启控制。

在本发明实施例中，对于所述传输模块的降至低位的操作功能的开启和关闭可以采用实际中任一种方法，例如，除上述设置逻辑开关的方法外，还可以通过设置可用状态或和不可用状态进行控制，即将传输模块的降至低位的操作功能置为不可用状态则关闭所述降至低位的操作功能，将传输模块的降至低位的操作功能置为可用状态则开启所述降至低位的操作功能，本发明对此无需加以限制。

需要说明的是，本说明书中的各个方法实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。并且，对于前述的各方法实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动作组合，但是本领域技术人员应该知悉，本发明并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本发明，某些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于优选实施例，所涉及的动作和单元并不一定是本发明所必须的。

参考图7，示出了本发明的一种等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制系统实施例的结构框图，其中，所述等离子体化学气相沉积设备包括传输模块和反应腔室，本实施例具体可以包括以下模块；

低位功能关闭模块71，用于在传输模块升至高位与相邻的反应腔室进行当前载板传输时，关闭所述传输模块降至低位的操作功能；

传输检测模块72，用于检测当前载板是否正常传输到指定位置，若是，则触发低位功能开启模块73；

低位功能开启模块73，用于开启所述传输模块降至低位的操作功能；

低位操作模块74，用于在所述传输模块降至低位的操作功能开启的条件下，执行传输模块降至低位的操作。

作为一种具体应用的示例，所述传输模块可以为装载台，所述反应腔室可以为预热腔，所述预热腔设置有位置传感器；在这种情况下，所述传输检测模块可以包括以下子模块：

作为另一种具体应用的示例，所述传输模块可以为装载台，所述反应腔室可以为预热腔，所述装载台和预热腔分别设置有相应的位置传感器；在这种情况下，所述传输检测模块可以包括以下子模块：

作为另一种具体应用的示例，所述传输模块可以为装载台，所述反应腔室可以为预热腔，所述装载台设置有位置传感器；在这种情况下，所述传输检测模块可以包括以下子模块：

作为另一种具体应用的示例，所述传输模块可以为卸载台，所述反应腔室可以为冷却腔，所述卸载台设置有位置传感器；在这种情况下，所述传输检测模块可以包括以下子模块：

作为另一种具体应用的示例，所述传输模块可以为为卸载台，所述反应腔室可以为冷却腔，所述卸载台和冷却腔分别设置有位置传感器；在这种情况下，所述传输检测模块可以包括以下子模块：

在具体实现中，所述传输模块降至低位的操作功能的开启和关闭可以采用逻辑开关控制。

由于本发明的系统实施例基本相应于前述方法实施例，故上述系统实施例中的描述未详尽之处，可以参见前述方法实施例中的相关说明，在此就不赘述了。

参考图8，示出了本发明的一种等离子体化学气相沉积设备的结构框图，具体可以包括：

传输模块801和反应腔室802；

逻辑开关模块803，与传输模块801连接，用于在传输模块升至高位与相邻的反应腔室进行当前载板传输时，关闭所述传输模块降至低位的操作功能；以及，在检测到当前载板正常传输到指定位置时，开启所述传输模块降至低位的操作功能；

低位操作模块804，用于在所述传输模块降至低位的操作功能开启的条件下，执行传输模块降至低位的操作。

在具体实现中，若检测到当前载板未能正常传输到指定位置，逻辑开关模块将维持所述传输模块降至低位的操作功能的关闭状态。

对于In-line PECVD设备而言，所述传输模块可以为装载台，所述反应腔室可以为预热腔，所述装载台和预热腔均设置有位置传感器，在这种情况下，逻辑开关模块开启装载台降至低位的操作功能所依赖的条件：检测当前载板是否正常传输到指定位置，则可以采用如下几种方法确定：

方法1：由所述预热腔的位置传感器检测当前载板是否传输到预热腔的指定位置，若是，则判定当前载板正常传输到指定位置；

方法2：由所述装载台的位置传感器检测当前载板是否传出装载台，并且，由所述预热腔的位置传感器检测当前载板是否传输到预热腔的指定位置，若是，则判定当前载板正常传输到指定位置；

方法3：由所述装载台的位置传感器检测当前载板是否传出装载台，若是，则判定当前载板正常传输到指定位置。

对于In-line PECVD设备而言，所述传输模块还可以为卸载台，所述反应腔室还可以为冷却腔，所述冷却腔和卸载台均设置有位置传感器；在这种情况下，逻辑开关模块开启卸载台降至低位的操作功能所依赖的条件：检测当前载板是否正常传输到指定位置，则可以采用如下几种方法确定：

方法4：由所述卸载台的位置传感器检测当前载板是否传输到卸载台的指定位置，若是，则判定当前载板正常传输到指定位置。

方法5：由所述冷却腔的位置传感器检测当前载板是否传出冷却腔，并且，由所述卸载台的位置传感器检测当前载板是否传输到卸载台的指定位置，若是，则判定当前载板正常传输到指定位置。

对于上述装置实施例而言，由于其与方法实施例基本相似，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。

最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个......”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上对本发明所提供的一种等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制方法、一种等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制系统及一种等离子体化学气相沉积设备进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims

1.一种等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制方法，其特征在于，所述等离子体化学气相沉积设备包括传输模块和反应腔室，所述的方法包括；

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述传输模块为装载台，所述反应腔室为预热腔，所述预热腔设置有位置传感器；所述检测当前载板是否正常传输到指定位置的步骤包括：

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述传输模块为装载台，所述反应腔室为预热腔，所述装载台和预热腔分别设置有相应的位置传感器；所述检测当前载板是否正常传输到指定位置的步骤包括：

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述传输模块为装载台，所述反应腔室为预热腔，所述装载台设置有位置传感器；所述检测当前载板是否正常传输到指定位置的步骤包括：

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述传输模块为卸载台，所述反应腔室为冷却腔，所述卸载台设置有位置传感器；所述检测当前载板是否正常传输到指定位置的步骤包括：

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述传输模块为卸载台，所述反应腔室为冷却腔，所述卸载台和冷却腔分别设置有位置传感器；所述检测当前载板是否正常传输到指定位置的步骤包括：

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述传输模块降至低位的操作功能的开启和关闭采用逻辑开关控制。

8.一种等离子体化学气相沉积设备的载板传输控制系统，其特征在于，所述等离子体化学气相沉积设备包括传输模块和反应腔室，所述的系统包括；

9.如权利要求8所述的系统，其特征在于，所述传输模块为装载台，所述反应腔室为预热腔，所述预热腔设置有位置传感器；所述传输检测模块包括：

10.如权利要求8所述的系统，其特征在于，所述传输模块为装载台，所述反应腔室为预热腔，所述装载台和预热腔分别设置有相应的位置传感器；所述传输检测模块包括：

11.如权利要求8所述的系统，其特征在于，所述传输模块为装载台，所述反应腔室为预热腔，所述装载台设置有位置传感器；所述传输检测模块包括：

12.如权利要求8所述的系统，其特征在于，所述传输模块为卸载台，所述反应腔室为冷却腔，所述卸载台设置有位置传感器；所述传输检测模块包括：

13.如权利要求8所述的系统，其特征在于，所述传输模块为卸载台，所述反应腔室为冷却腔，所述卸载台和冷却腔分别设置有位置传感器；所述传输检测模块包括：

14.如权利要求8所述的系统，其特征在于，所述传输模块降至低位的操作功能的开启和关闭采用逻辑开关控制。

15.一种等离子体化学气相沉积设备，其特征在于，包括传输模块和反应腔室，所述的设备还包括；

16.如权利要求15所述的等离子体化学气相沉积设备，其特征在于，所述传输模块为装载台，所述反应腔室为预热腔；和/或，所述传输模块为卸载台，所述反应腔室为冷却腔。