JP6176633B2 - レガシーハードウェアおよびソフトウェアに対する強化された再ホスティング性能 - Google Patents
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Description
製造業者は、そのようなツールを購入する際に相当の金額の資金を支出する。製造業者は、ツールを保守する、ならびに、各々のツールにより遂行される様々な処理ステップについて、最適化する、および適格性を確認する際にもまた相当の金額の資金を支出する。特定のツールにより遂行されるプロセスが、(例えば、ICの特定の製作ステップで酸化ケイ素層を堆積させる)特定のタスクに関して、最適化された、および適格性が確認された後に、プロセスに対する何らかの変更によって、変更されたプロセスが、再度適格性が確認されるという、不経済で時間がかかるプロセスが必要になることが多い。したがって一部の事例では、特定のツールに、長年の間同じ機能を遂行させることが望ましい場合がある。
本発明の様々な実施形態を、本発明の利点および特徴の多くとともに、下記の本文および付属の図と連関して、より詳細に説明する。
一部の実施形態では、サービスおよびサポートアプリケーションインターフェース375が、ハードウェア抽象化層355と通信可能に結合され得る。サービスおよびサポートアプリケーションインターフェース375は、ハードウェア抽象化層を通して様々なレガシーハードウェア構成要素とインターフェースで接続することが可能である。
一部の実施形態では、エミュレータ層360およびハードウェア抽象化層355は同じ層であり得る。他の実施形態では、エミュレータ層360およびハードウェア抽象化層355は、分離した構成要素上に存在し得る。さらに他の実施形態では、エミュレータ層360およびハードウェア抽象化層355は、同じプロセッサ内のソフトウェア内に存在する。さらに一部の実施形態ではオペレーティングシステム350は、ハードウェア抽象化層355を通してMotorolaベースハードウェア要素と通信することが可能である。一部の実施形態ではオペレーティングシステム350は、エミュレータ層360を使用してアプリケーションおよびデータファイルと通信することが可能である。
ブロック506では、ラスタフレームの端部に達したかどうかが決定され得る。そしてそうであるならば、記憶された位置データが分析され得る。
ブロック510では、位置カウンタが有効であるかどうかが決定され得る。このことは例えば、位置カウンタがディスプレイ領域内部に当てはまるかどうかを決定することを含み得る。別の例としてこのことは、位置カウンタが、ユーザ入力オブジェクト(例えば、ボタン、スライドバー、メニュー、ラジオボタン等)に関連するディスプレイ上の位置に一致するかどうかを決定することを含み得る。
位置カウンタが有効であるならば、プロセス500はブロック516に移り、位置有効フラグ(または複数のフラグ)がセットされる。ブロック518では、最上位に記憶されたデータ対がX/Yグローバルレジスタに移送される。
[0001]ブロック520では、ライトペンスイッチが活動化されているかどうかが決定される。ライトペンスイッチが活動化されているならば、スイッチフラグがブロック522でセットされる。ライトペンスイッチが活動化されていないならば、スイッチフラグがブロック524でリセットされる。ブロック526では、スイッチフラグおよび/または位置有効フラグがグローバルレジスタに移送され得る。
AC電力は、オペレータインターフェースディスプレイ630、レガシー電力供給装置モジュール625、および/または、様々な型のアプリケーションハードウェア635(例えば、チャンバ、ロボット、ガスパネル等)に直接提供され得る。
半導体処理制御システム200は、例えば、一部またはすべてのアプリケーションハードウェア635と通信している場合がある。これらの通信チャネルは、センサデータ、制御データ、インターロック等を、アプリケーションハードウェア635から半導体処理制御システム200に伝達することが可能である。
Claims (15)
- 第1のオペレーティングシステム、
前記第1のオペレーティングシステムとは異なる第2のオペレーティングシステムを実行するように構成されたレガシー半導体プロセス制御システムと連関して動作するように開発されたレガシーアプリケーションモジュールであって、少なくとも1つの半導体処理チャンバとインターフェースで接続するように構成され、少なくとも1つの半導体処理アプリケーションを備える、レガシーアプリケーションモジュール、および、
前記第1のオペレーティングシステムと前記レガシーアプリケーションモジュールとの間の通信を提供するように構成され、少なくとも1つの半導体処理チャンバとインターフェースで接続するように構成される、ハードウェア抽象化モジュール
を備え、
前記ハードウェア抽象化モジュールは、レジスタ対レジスタベースで前記レガシー半導体プロセス制御システムをエミュレートするように構成されており、前記少なくとも1つの半導体処理アプリケーションは、前記少なくとも1つの半導体処理アプリケーションに対するソースコード変更なしに、前記レガシー半導体プロセス制御システム上で実行可能である半導体プロセス制御システム。 - 前記ハードウェア抽象化モジュールが、前記レガシー半導体プロセス制御システムと関連する構成要素の物理的な接続箇所、名前及び機能をエミュレートすることによって前記レガシー半導体プロセス制御システムをエミュレートするように構成される、請求項1に記載の半導体プロセス制御システム。
- 前記レガシーアプリケーションモジュールが、前記少なくとも1つの半導体処理チャンバを制御するためのコードを含む、請求項1に記載の半導体プロセス制御システム。
- 前記ハードウェア抽象化モジュールが、前記レガシーアプリケーションモジュールにタイミング情報を提供する、請求項1に記載の半導体プロセス制御システム。
- オペレータインターフェースと通信するように構成されるインタプリタ―モジュールを更に備えた請求項1に記載の半導体プロセス制御システム。
- 前記第1のオペレーティングシステムが、電力およびプロセスのいずれかまたは両方のモニタを提供するように構成される、請求項1に記載の半導体プロセス制御システム。
- 前記半導体プロセス制御システムは、前記少なくとも1つの半導体処理アプリケーションと関連する以前に開発されたプロセス及び方策を、前記以前に開発されたプロセス及び方策に対する変更なしに実行するように構成される、請求項1に記載の半導体プロセス制御システム。
- 前記ハードウェア抽象化モジュールは、前記レガシー半導体プロセス制御システムの少なくとも一部に取って代わる、請求項1に記載の半導体プロセス制御システム。
- マルチコアプロセッサを更に備え、前記マルチコアプロセッサの第1のプロセッサコアは、前記レガシー半導体プロセス制御システムをエミュレートするように構成され、前記マルチコアプロセッサの第2のプロセッサコアは、前記第1のオペレーティングシステムを用いて前記少なくとも1つの半導体処理チャンバを制御するように構成される、請求項1に記載の半導体プロセス制御システム。
- 前記ハードウェア抽象化モジュールは、演算コードトランスレータ、メモリアドレス及び範囲トランスレータ、データ及びアドレスバスに対するブリッジ、割り込み及び直接メモリアドレスのブリッジドライバ及びハンドラ、並びにCPU資源管理機能の少なくとも1つを含んでいる、請求項1に記載の半導体プロセス制御システム。
- 前記演算コードトランスレータは、ルックアップテーブル、状態機械、ルールベース又はファジィ論理、ルックアヘッド論理及びコードシーケンス処理、並びに、プロセッサ状態及びコードタイミング同期の少なくとも1つを含んでいる、請求項10に記載の半導体プロセス制御システム。
- 前記ハードウェア抽象化モジュールは、異なる通信プロトコル間で変換するようにさらに構成されている請求項1に記載の半導体プロセス制御システム。
- 前記異なる通信プロトコルは、PCI(Peripheral Component Interconnect)プロトコル及びVME(Versa Module Europa)プロトコルを含んでいる請求項12に記載の半導体プロセス制御システム。
- 前記半導体プロセス制御システムにおいてハードウェアとソフトウェアを整合させるユニークなハードウェア及びソフトウェア保護ロックを更に備えている請求項1に記載の半導体プロセス制御システム。
- 前記レガシー半導体プロセス制御システムは、68xxxプロセッサを含み、前記半導体プロセス制御システムは、80xxxプロセッサを含んでいる請求項1に記載の半導体プロセス制御システム。
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