JP2015511362A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 第１のオペレーティングシステム、
   前記第１のオペレーションシステムとは異なる第２のオペレーションシステムを実行するように構成されたレガシー半導体プロセス制御システムと連関して動作するように開発されたレガシーアプリケーションモジュールであって、少なくとも１つの半導体処理チャンバとインターフェースで接続するように構成され、少なくとも１つの半導体処理アプリケーションを備える、レガシーアプリケーションモジュール、および、
   前記第１のオペレーティングシステムと前記レガシーアプリケーションモジュールとの間の通信を提供するように構成され、少なくとも１つの半導体処理チャンバとインターフェースで接続するように構成される、ハードウェア抽象化モジュール
   を備え、
   前記ハードウェア抽象化モジュールは、レジスタ対レジスタベースで前記レガシー半導体プロセス制御システムをエミュレートするように構成されており、前記少なくとも１つの半導体処理アプリケーションは、前記少なくとも１つの半導体処理アプリケーションに対するソースコード変更なしに、前記レガシー半導体プロセス制御システム上で実行可能である半導体プロセス制御システム。
2. 前記ハードウェア抽象化モジュールが、前記レガシー半導体プロセス制御システムと関連する構成要素の物理的な接続箇所、名前及び機能をエミュレートすることによって前記レガシー半導体プロセス制御システムをエミュレートするように構成される、請求項１に記載の半導体プロセス制御システム。
3. 前記レガシーアプリケーションモジュールが、前記少なくとも１つの半導体処理チャンバを制御するためのコードを含む、請求項１に記載の半導体プロセス制御システム。
4. 前記ハードウェア抽象化モジュールが、前記レガシーアプリケーションモジュールにタイミング情報を提供する、請求項１に記載の半導体プロセス制御システム。
5. オペレータインターフェースと通信するように構成されるインタプリタ―モジュールを更に備えた請求項１に記載の半導体プロセス制御システム。
6. 前記第１のオペレーティングシステムが、電力およびプロセスのいずれかまたは両方のモニタを提供するように構成される、請求項１に記載の半導体プロセス制御システム。
7. 前記半導体プロセス制御システムは、前記少なくとも１つの半導体処理アプリケーションと関連する以前に開発されたプロセス及び方策を、前記以前に開発されたプロセス及び方策に対する変更なしに実行するように構成される、請求項１に記載の半導体プロセス制御システム。
8. 前記ハードウェア抽象化モジュールは、前記レガシー半導体プロセス制御システムの少なくとも一部に取って代わる、請求項１に記載の半導体プロセス制御システム。
9. マルチコアプロセッサを更に備え、前記マルチコアプロセッサの第１のプロセッサコアは、前記レガシー半導体プロセス制御システムをエミュレートするように構成され、前記マルチコアプロセッサの第２のプロセッサコアは、前記第１のオペレーティングシステムを用いて前記少なくとも１つの半導体処理チャンバを制御するように構成される、請求項１に記載の半導体プロセス制御システム。
10. 前記ハードウェア抽象化モジュールは、演算コードトランスレータ、メモリアドレス及び範囲トランスレータ、データ及びアドレスバスに対するブリッジ、割り込み及び直接メモリアドレスのブリッジドライバ及びハンドラ、並びにＣＰＵ資源管理機能の少なくとも１つを含んでいる、請求項１に記載の半導体プロセス制御システム。
11. 前記演算コードトランスレータは、ルックアップテーブル、状態機械、ルールベース又はファジィ論理、ルックアヘッド論理及びコードシーケンス処理、並びに、プロセッサ状態及びコードタイミング同期の少なくとも１つを含んでいる、請求項１０に記載の半導体プロセス制御システム。
12. 前記ハードウェア抽象化モジュールは、異なる通信プロトコル間で変換するようにさらに構成されている請求項１に記載の半導体プロセス制御システム。
13. 前記異なる通信プロトコルは、ＰＣＩ（Peripheral Component Interconnect）プロトコル及びＶＭＥ（Versa Module Europa）プロトコルを含んでいる請求項１２に記載の半導体プロセス制御システム。
14. 前記半導体処理制御システムにおいてハードウェアとソフトウェアを整合させるユニークなハードウェア及びソフトウェア保護ロックを更に備えている請求項１に記載の半導体プロセス制御システム。
15. 前記レガシー半導体プロセス制御システムは、６８ｘｘｘプロセッサを含み、前記半導体処理制御システムは、８０ｘｘｘプロセッサを含んでいる請求項１に記載の半導体プロセス制御システム。