TWI403907B - 半導體處理設備的遠端存取閘道 - Google Patents

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Description

半導體處理設備的遠端存取閘道
本發明之實施例一般而言係關於半導體處理設備，且更特定言之，係關於與此設備之製程控制器建立介面(interfacing)。
隨著技術進步，需要升級陳舊設備以提供更快、更佳且更可靠之操作。然而，此設備之升級通常以操作環境之必需重新組態為代價。通常，改變操作環境並不可取，因為改變對整體任務至關重要的系統組件將存在必然風險。此危險在半導體處理領域尤其明顯，其中微小改變亦可能攪亂經仔細組態之系統，從而導致良率減少及其他製造缺陷。此風險導致許多終端使用者對升級其系統仍舊猶豫不決，還是選擇接受陳舊硬體之問題及限制。具體而言，此半導體處理設備之輸入及輸出介面中存在此類限制。輸入及輸出介面之改變要求對系統軟體進行更新，此舉將對已仔細將系統組態之使用者造成很大風險。
因此，本發明之發明者提供了一種裝置以對晶圓處理設備提供遠端存取閘道，該裝置有助於向裝置之終端使用者提供透明升級路徑。
本發明揭示了為半導體處理設備提供介面的裝置及方法。在一些實施例中，為具有介面卡之半導體處理設備提供介面之裝置包括：一顯示邏輯子系統，其用以經由控制匯流排以對一或更多個裝置(諸如視訊及資訊顯示器、光筆、鍵盤、電腦滑鼠及警告燈網路及警報器)，提供一介面；一橋接器，其用以提供對控制匯流排之存取；及一本地電腦子系統，其耦接至該橋接器及該顯示邏輯子系統，其中該本地電腦子系統提供對一或更多個遠端裝置之存取。
在一些實施例中，為具有VME介面卡之半導體處理設備提供介面之裝置可包括：一顯示邏輯子系統，其用以經由VME匯流排對一或更多個裝置(包含視訊及資訊顯示器、光筆、鍵盤、電腦滑鼠及警告燈網路及警報器)提供一介面，該顯示邏輯子系統包含一光筆記憶體，該光筆記憶體用於為本地電腦子系統提供對光筆暫存器、偏移校正或游標位置中一或多者之存取；且進一步包含一視訊記憶體，該視訊記憶體用於為本地電腦子系統提供對視訊顯示資料之存取；一第一VME橋接器，其耦接至該顯示邏輯子系統以提供對VME匯流排之存取；一本地電腦子系統，其耦接至該VME橋接器及該顯示邏輯子系統，其中該本地電腦子系統提供對一或更多個遠端裝置之存取，且其中該等遠端裝置包含本地視訊顯示器、 高速訊息發送服務介面、網路介面、第二鍵盤及滑鼠介面或外部儲存介面中至少一者；一第二VME橋接器，其耦接至該本地電腦子系統以提供對該VME匯流排之存取；一開關機制，其耦接至該本地電腦子系統以提供故障自動防護及本地切斷功能，其中該開關機制在硬體故障之情況下自動斷開遠端存取；以及一視訊介面，以供提供視訊輸出；及一光筆介面，以供為耦接至顯示邏輯子系統之光筆工具提供輸入存取。
在一些實施例中，一種為具有介面卡之半導體處理設備提供介面之方法包括：使用本地電腦子系統處理輸入及輸出中至少一者及存取顯示邏輯子系統以執行至少一輸入或輸出。下文將更詳細討論本發明之其他及進一步實施例。
本文描述了為半導體處理設備提供遠端存取閘道的裝置。本發明之裝置有利地為視訊、光筆及遠端存取能力提供介面。此外，本發明之裝置與該領域中之先前努力相比消耗較少功率且產生較少熱，同時在替換老式(legacy)設備時佔用相似之卡佔據面積。本裝置亦模擬老式視訊及光筆介面之行為及通訊，從而使得當以本裝置取代老式硬體時無需對系統控制器進行軟體改變。儘管本文結合老式系統進行描述，但是本發明亦可在新製造 之系統及/或現有非老式設備上實施。
本發明可用於諸多介面與習知遠端存取解決方法不相容之處理系統。舉例而言，歸因於非標準卡介面、視訊格式、視訊連接、使用者輸入方法、電纜、監視器及輸入裝置、視訊分佈硬體、光筆或等效物、奇怪的碟片格式、自訂作業系統及與控制、介面及可存取性有關之其他獨特專有項目中之一或更多者，該領域中之先前努力不足以提供能為此類處理系統提供遠端存取及控制的介面解決方法。本發明之至少一些實施例有利地提供了可交叉通訊之雙視訊及操作者介面、遠端連接性、每一裝置之唯一識別及藉由遠端構件對光筆暫存器及邏輯之直接驅動。
所提供之子功能之間的綜效使得本發明與眾不同且優於該領域中之先前嘗試。在顯示邏輯子系統上本發明之內部可容易地存取必需之光筆暫存器、偏移校正及游標位置暫存器。因此，卡內之本地電腦子系統(遠端存取)模組能夠直接存取此等資源係非常有利的。由於未涉及轉換或底板匯流排相互作用，所以製程「無損耗」(例如，不存在外部資料或訊號轉換)同時比習知裝置快得多。本地或遠端地(藉由規則及限定)增加覆蓋(overlay)及額外人性化介面功能的能力可減少產生人員或機械危險之機會。適合製程工具之實例包括PRECISION 5000® 處理系統、200 mm CENTURA® 及ENDURA® 處理系統及一些PRODUCER®處理系統，其皆可購自Santa Clara, California之Applied Materials,Inc.。
第1圖描繪了示範性積體半導體基板處理系統(例如叢集工具)100的示意圖，該系統與200 mm CENTURA® 處理系統類似且具有根據本發明之一些實施例之遠端存取閘道。圖示中系統100包括真空密閉處理平臺101、輸入/輸出模組102及系統控制器140。平臺101通常包括處理模組110、112、114及116以及至少一個負載鎖定腔室(圖示了負載鎖定腔室121及122)，該等處理模組及該至少一個負載鎖定腔室耦接至共用真空基板移送腔室128。
負載鎖定腔室121及122保護移送腔室128免受大氣污染物。移送腔室128包含基板機器人130。在操作中，機器人130在負載鎖定腔室與處理模組之間傳送基板。
輸入/輸出模組102包含至少一塢站以接受一或更多個前開式晶圓傳送盒(FOUP)(圖示了FOUP106及107)及至少一基板機器人(圖示了兩個機器人108及120)。在一些實施例中，輸入/輸出模組102可進一步包含適用於量測形成於待處理基板上之結構之主要尺寸的測量模組126。機器人108及120在FOUP106、量測工具104及負載鎖定腔室121、122之間傳送經預處理及後處理之基板。在所描述之實施例中，測量模組126用作透通(pass-through)模組。在其他實施例中，測量模組126可為輸入/輸出模組102之周邊單元。
工廠介面124通常為一大氣壓力介面，用以在各處理 系統與半導體生產之製造區域之間傳送具有安置在FOUP106、107中之預處理及後處理基板之盒。通常，工廠介面124包含基板搬運裝置136及軌道138。在操作中，基板搬運裝置136沿軌道138行進以在叢集工具或其他處理設備之間運輸FOUP。
系統控制器140耦接至積體處理系統100之模組及裝置並對積體處理系統100之模組及裝置進行控制。系統控制器140使用系統100之模組及裝置的直接控制或者藉由控制與此等模組及裝置相關聯之電腦(或控制器)來控制系統100之操作之所有方面。在操作中，系統控制器140使得能夠對各模組(例如測量模組126)及將系統100之效能最佳化的裝置進行資料收集及回饋。
系統控制器140通常包含中央處理單元(CPU)142、記憶體144及支持電路146。CPU142可為工業設置中可用之任何形式之通用電腦處理器中之一者。支持電路146習知地耦接至CPU 142且可包含快取記憶體、時脈電路、輸入/輸出子系統、電源及其類似物。軟體常用程式在由CPU 142執行時將CPU轉換成特定用途電腦(控制器)140。軟體常用程式亦可由位於系統100之遠端之第二控制器(未圖示)儲存及/或執行。
系統控制器140進一步耦接至一或更多個外部介面150。在一實施例中，系統控制器140包含經由資料及控制匯流排介面通訊之一或更多個介面卡。介面卡通常為外部裝置提供經由資料及控制匯流排(諸如下文參考第 2圖描述之資料及控制匯流排202)存取、發送及接收資料的方式。遠端存取閘道介面卡148為(例如)佔用單槽中之6U外形因數的介面卡，其為外部介面150提供經由資料及控制匯流排對系統控制器140之存取。與將子系統分成多個卡之該領域中之先前努力相比，利用單卡具有減少卡槽佔據面積、功率消耗及成本的優點。功率消耗之減少亦導致淨熱減少。在一些實施例中，遠端存取閘道介面卡148可為VME介面卡，其中資料及控制匯流排為VME匯流排。
外部介面150可包括光筆、視訊顯示器、鍵盤、滑鼠、遠端儲存裝置、電腦網路及高速訊息發送系統(HSMS)中之一或更多者。遠端存取閘道介面卡148允許使用者在系統控制器140之遠端位置對半導體處理工具101輸入命令及自其接收回饋。因此，遠端存取閘道介面卡148有利地克服了由於無法連接至系統控制器資料匯流排而導致的外部裝置無法存取內部資料及控制暫存器的習知缺陷(習知地，歸因於老式控制器I/O埠及碟片驅動匯流排之性質，其不允許任何外部裝置開始或控制對內部匯流排及記憶體資料之存取)。遠端存取閘道介面卡148進一步在無需充當匯流排主控器以能夠自由存取資料及記憶體進而實現資料上載及下載(如習知設備將有此需要(若其可連接至系統控制器資料匯流排中))之情況下有利地提供此遠端存取及控制。此為所要的，因為允許此設備充當匯流排主控器很容易導致系統資料丟失或訛 誤或命令處理故障，從而導致系統崩潰，此將極具破壞性及隱患，原因歸結於晶圓處理設備自身、併入其內之機制及設備內極常用之可燃、有毒、腐蝕性、引起畸型及自燃材料的暗含危險的主要性質。
第2圖為耦接至資料及控制匯流排202之遠端存取閘道介面卡148的方塊圖。遠端存取閘道介面卡148包含兩個處理子系統：顯示邏輯子系統204及本地電腦子系統206。每一子系統耦接至一提供對資料及控制匯流排之存取的橋接器(例如第一橋接器2221 及第二橋接器2222 ，合稱為為橋接器222)。在遠端存取閘道介面卡148為VME卡之實施例中，橋接器222可為VME橋接器。在一些實施例中，兩個處理子系統實施為位於遠端存取閘道介面卡148上一或更多個可程式化系統或裝置內的兩個虛擬電腦，例如現場可程式化閘極陣列(FPGA)。藉由用FPGA實施處理子系統，本裝置之操作壽命可延長且不再耦接至特定硬體或特殊處理環境。橋接器222允許本地電腦子系統206與主機系統控制器(CPU 142)之間的通訊以及顯示邏輯系統204與主機系統控制器(CPU 142)之間的獨立通訊路徑。遠端閘道介面148內含有之該兩個功能表現為與主機系統控制器(CPU 142)完全分離之記憶體及I/O空間。在一些實施例中，兩個橋接器222可組合為仿效兩個獨立邏輯路徑之單個閘道(例如單個橋接器)。因為兩個橋接器222佔用相同匯流排連接器且共用匯流排連接器上之相同I/O插腳， 所以任一瞬間兩個介面中僅有一者可經由資料及控制匯流排202通訊。
在一些實施例中，遠端存取閘道介面卡148可包括終端使用者不得改變之唯一識別符(諸如矽ID)。在一些實施例中，矽ID可為邏輯識別符，用於在乙太網路或網際網路通訊進行中唯一地識別特定卡。否則，若所有卡具有相同ID，則通訊網路上之訊息將不能正確投送。在一些實施例中，矽ID亦可為授權ID啟用器及/或穩固特徵結構鎖定及密碼之啟用器(例如，用於一卡之密碼將不能用於另一卡，從而使得能夠進行許可權管理。此與NIC及其他網路可用裝置上之MacID類似)。因此，遠端存取閘道介面卡148使得符合啟用遠端存取及控制所需之特殊安全性及調節設備及協定。此等標準存在於SEMI(半導體設備製造商協會)以及操作此設備之特定公司及諸操作場所。
在一些實施例中，遠端存取閘道介面卡148可包括開關機制215。開關機制215可包括密鑰鎖、保險開關或其他安全機制以限制、啟用或阻止遠端通訊、檢視、控制及資料傳送。開關機制215可實施為硬體或軟體機制。
在一些實施例中，開關機制進一步包括一系列狀態燈柱或訊號可組態標誌圖樣(藉由LED、光、LCD等形成，例如警告燈系統)，其可安裝在系統主框架及子組件托架之上方、近處或遠端。此等狀態指示器對本地人員指示遠端存取功能被禁用、啟用但非活動或啟用且活動。在 一實施例中，狀態指示器由多個三燈柱組成，該等多個三燈柱由與介面卡之連接所驅動。
在一些實施例中，當關閉本地存取開關時，指示器亮綠色(或其他顏色)或也許根本不亮。當本地存取開關打開但無通訊發生時，狀態指示器可亮(例如)藍色。當活動遠端控制占線時，狀態指示器可亮(例如)琥珀色且可閃爍。此等狀態指示器之其他實施例可包括特製標誌圖樣、視訊顯示器及其類似物。
在一些實施例中，顯示邏輯子系統204可為視訊驅動程式208及光筆介面210提供介面。視訊驅動程式208進一步輸出至視訊介面220。顯示邏輯子系統204提供與視訊/光筆/使用者介面邏輯卡(例如老式介面卡)相同之功能。以此方式，經組態以發送用於顯示在老式介面卡上之資料之外部系統無需為了與新裝置建立介面而加以改變。本裝置為老式介面卡有利地提供完全替換，該老式介面卡由於其陳舊過時而使其替換愈加困難且昂貴。
在顯示邏輯子系統204內之視訊記憶體224內含有待輸出至視訊驅動程式208之資料。在一些實施例中，視訊記憶體224可包含4千位元組之記憶體區塊，其隨後由視訊驅動程式208讀取以輸出至視訊介面220。視訊介面220包含一顯示裝置。顯示邏輯子系統204藉由改變此記憶體區塊內所含之資料來與視訊驅動程式208互動。
顯示邏輯子系統204亦提供光筆介面210。光筆介面210負責追蹤光筆裝置之位置。光筆之水平及垂直位置保存在提供於顯示邏輯子系統204中之一對記憶體位置中一即光筆記憶體226。顯示邏輯子系統204存取此等記憶體位置以確定光筆裝置之當前位置。在一些實施例中，顯示邏輯子系統204可經由(例如)卡之下部後連接器為光筆裝置及老式視訊顯示器提供介面。
本地電腦子系統206可為本地視訊顯示器212、高速訊息發送服務(HSMS)介面213、網路214、鍵盤及滑鼠介面216，以及外部儲存裝置218提供介面。在一些實施例中，本地電腦子系統206可經由(例如)介面卡之上部後連接器提供對以上裝置之存取。
此外，本地電腦子系統206可直接與顯示邏輯子系統204互動以存取屬於視訊驅動程式208及光筆介面210之資料。本地視訊顯示器212可包含任何視訊介面，諸如標準VGA顯示器。本地電腦子系統206可存取顯示邏輯子系統204內所含之視訊記憶體224以輸出至本地視訊顯示器212。本地電腦子系統206隨後可將此資料轉化為適於輸出至本地視訊顯示器212之格式。以此方式，系統不再緊密耦接至必需與顯示邏輯子系統204相容之顯示器。本地電腦子系統206亦可寫入視訊記憶體224，且以此方式影響對視訊介面220之輸出。本地電腦子系統亦可存取光筆記憶體226。藉由讀取光筆記憶體226，本地電腦子系統206可存取光筆裝置之當前位置。 本地電腦子系統206亦可改變光筆記憶體226內所含有之資料以提供遠端介面而不要求對光筆裝置進行實體存取。
在一些實施例中，本地視訊顯示器212並不直接耦接至顯示邏輯子系統204。本地電腦子系統206可對不含在視訊記憶體224中之本地視訊顯示器212顯示額外資料。舉例而言，本地視訊顯示器212可顯示圖案模仿一「網」頁之介面螢幕以增加與系統控制器140互動之便利性，或者該顯示器可經組態以展示診斷資料以展示系統之本地及內部資料、暫存器、儲存媒體及除錯資料而無需連接至、改變或干擾敏感本地內部系統控制器資料匯流排及硬體。
在一實施例中，遠端存取閘道介面卡148進一步包含耦接至本地電腦子系統206之HSMS介面213。HSMS係獲行業認可的在乙太網路電纜上發送之基於半導體設備通訊協議(SECS-I)之訊息協議。HSMS介面213使用此協議為裝置提供輸入及輸出。本地電腦子系統206接受此類HSMS通訊且經由資料及控制匯流排202傳播通訊。該領域中之先前努力需要一獨立卡之解決方法致能HSMS介面，從而使得其不可能在無空閒介面卡槽之情況下安裝於系統中。藉由為視訊及外部介面建立提供單卡解決方法，本裝置有利地允許無空閒介面卡槽之系統升級至HSMS介面而無需安裝更大的卡架，此安裝昂貴、有破壞性，且有時為不可能之製程。
在一些實施例中，遠端存取閘道介面卡148可進一步包含耦接至本地電腦子系統206之網路介面214。網路介面214為一或更多個遠端網路電腦提供與系統控制器140互動之介面。由於具有HSMS介面213，本地電腦子系統206負責轉譯及傳送經由網路介面214在資料及控制匯流排上接收之命令。在一些實施例中，網路介面214可經由積體路由器/開關提供多IP位址之乙太網路埠連接。
在一些實施例中，遠端存取閘道介面卡148進一步包含鍵盤及滑鼠介面216。經由鍵盤及滑鼠介面216接收之指令繼而傳達至本地電腦子系統206。
在一些實施例中，遠端存取閘道介面卡148進一步包含儲存介面218。本地電腦子系統206可串流資料至儲存介面218以供儲存及處理。儲存介面218可包含用於任何適合於外部資料儲存之媒體(諸如硬碟、USB拇指碟、磁帶機、可寫入CD及其類似物)的介面。
本地電腦子系統206亦耦接至一或更多個橋接器222。耦接至橋接器有利地允許遠端存取閘道介面卡148作為匯流排主控器工作及自由存取資料及記憶體以實現資料上載及下載，又提供完全定址整個記憶體空間之能力。藉由提供經由本地電腦子系統206之存取，外部裝置可能安全執行此類資料傳送。當外部裝置試圖直接存取資料及控制匯流排時，該領域中之先前努力可能容易導致系統資料丟失、資料訛誤及/或命令處理故障。如上 所述，此等故障可能導致極具破壞性及隱患之系統崩潰。在一些實施例中，本地電腦子系統206可與顯示邏輯子系統204耦接至相同之橋接器(例如，橋接器2221 )。耦接至此橋接器2221 有利地允許本地電腦子系統206直接存取與視訊記憶體224及光筆記憶體226相關聯之記憶體以啟用遠端存取，從而促進用於遠端檢視之視訊輸出資料的收集且亦允許遠端使用者控制光筆暫存器(如同其實際處於該工具處)。
第3圖為本地電腦子系統206之詳細方塊圖。本地電腦子系統206通常包含中央處理單元(CPU)300、記憶體304及支持電路302。CPU 300可為工業設置中可用之任何形式之通用電腦處理器中之一者。支持電路302習知地耦接至CPU 300且可包含快取記憶體、時脈電路、輸入/輸出子系統、電源及其類似物。記憶體304可包含隨機存取記憶體、唯讀記憶體、可移式儲存器、光碟儲存器、磁碟機儲存器及其組合。記憶體304含有某些軟體常用程式，包含作業系統306、遠端存取軟體308及網際網路小型應用程式(applet)310。在操作中，CPU 300執行一或更多個作業系統306(諸如DOS、WINDOWS、LINUX或專有作業系統)，以控制本地電腦子系統206之一般利用及功能。在一些實施例中，本地電腦子系統206亦可模擬一或更多個作業系統306之執行概況，以允許設計用於特殊架構之軟體在非標準作業環境中執行。
記憶體304亦含有遠端存取軟體308。遠端存取軟體308提供一介面，使用者可經由該介面從遠端終端與系統控制器140互動。遠端存取軟體308可經組態以接收來自HSMS介面213、網路介面214及/或鍵盤及滑鼠介面216之輸入。遠端存取軟體308剖析來自以上外部介面150之一或更多者的輸入且相應地改變顯示邏輯子系統204內及資料及控制匯流排202上之資料。舉例而言，遠端存取軟體308可經組態以經由鍵盤及滑鼠介面216接受滑鼠輸入作為對光筆指令之替代。遠端存取軟體308將轉譯來自滑鼠之輸入且相應地改變光筆記憶體226。以此方式，由於輸入指令可經顯示邏輯子系統204轉譯，故可能在無需對系統控制軟體進行任何改變之情況下向遠端使用者提供系統存取。
遠端存取軟體308亦可提供存取控制及使用者驗證，從而防止未經授權之系統存取。此等控制可包括指示使用者何時在遠端存取系統的警告燈、使得出入計算裝置及本地區域網路之通訊將在發生故障時自動恢復的至網際網路或其他網路的故障自動防護連接切換或用以限制、啟用或阻止遠端通訊檢視、控制及資料傳送的其他構件。在一實施例中，用於控制之此構件可包括遠端存取閘道卡148自身上之實體鎖或保險開關。在一些實施例中，遠端連接經由繼電器或其他類似裝置投送，因此若本地開關關閉或支持遠端存取連接之軟體發生故障，則將自動恢復與系統控制器之「正常」連接。在一 些實施例中，由於所有硬體駐留於匯流排內之單個卡上，故若該卡自身發生故障，則預設為正常連接失敗。然而，在本地密鑰開關關閉之任何時候若要主動切斷用於遠端功能之網際網路存取則需要一繼電器。
在一些實施例中，遠端存取軟體308可為系統控制器提供「網路」介面或另一本地常駐之軟體應用程式以允許遠端使用者執行遠端存取、控制及資料傳送。
記憶體304可進一步包含網際網路小型應用程式310。網際網路小型應用程式310為經設計以自遠端電腦上之網路瀏覽器內執行的程式。可用網路可執行指令碼語言(諸如JAVASCRIPT)來編碼網際網路小型應用程式310。網際網路小型應用程式310提供一機制以經由標準瀏覽器介面與遠端存取軟體建立介面。
在一特殊非限制性實例中，遠端存取閘道介面卡可經提供為包括計算裝置，該計算裝置之架構、作業系統及特徵設置將提供一非常特定之實體與計算能力之組合，其包括(但不限於)以下之至少一些：
1.佔用單槽之VME 6U卡外形因數
2.滿載匯流排主控器之連接性及能力
3.老式視訊及光筆連接性
4.兩個獨立且互斥之視訊子系統
5.以硬體或軟體實施之光筆介面
6.多IP位址之乙太網路埠連接(一體式路由器/開關)
7.計算核心，其用於操作機載硬體同時允許複數個作業系統，該等作業系統包括但不限於：DOS、Windows、Linux及其他(諸如Applied Materials之專有OS)，其中通常有至少兩者將同時使用
8.一體式大量儲存構件，諸如旋轉式磁碟機、快閃記憶體或其他形式之非揮發性記憶體
9.非常高速通訊埠致使能夠使用有類似能力之外部裝置進行共同處理及遠端處理從而產生的擴展能力
10.老式視訊功能之全部模仿，包括單獨適合於老式工具之使用、安裝及周邊硬體(諸如老式操作者介面終端)之：增強之記憶體對映圖形、螢幕屬性、與光柵圖像同步之光筆、游標產生及特殊線驅動器及接收器功能
11.在受控狀態下定址整個VME記憶體空間及將其部分傳輸至遠端位置或自遠端位置接收其部分的能力
12.基於網際網路(亦稱作「網路」)之瀏覽器或其他本地常駐之軟體應用程式，其允許由實際存在於世界任何地方的使用者(其可能遠離本文所描述之計算裝置及裏面安裝了該計算裝置的基板處理工具)執行遠端存取、控制及資料傳送功能
13.網際網路(亦稱作「網路」)瀏覽器小型應用程式，本發明能夠經由遠端連接將其發送從而允許由實際存在於世界任何地方之使用者(其可能遠離本文所描述之計算裝置及裏面安裝了該計算裝置的基板處理工具)執行遠端存取、控制及資料傳送功能
14.外部硬體裝置，其能夠與計算裝置進行本地且專有之通訊
15.如12中之裝置，其具有在計算裝置之遠端控制功能占線期間驅動一組本地之警告燈、警示器或其他指示裝置的能力
16.如12中之裝置，其具有在晶圓處理工具上對本地顯示器執行自半透明至不透明範圍之視訊覆蓋(包括但不限於通訊、資訊顯示器、安全介面及警告及安全目的)的能力
17.如12中之裝置，其具有至網際網路或其他資料通訊網路的故障自動防護連接切換構件，從而使得出入計算裝置及本地資料網路之通訊將在發生故障時自動恢復
18.如12中之裝置，其具有密鑰鎖、保險開關或其他安全構件以限制、啟用或阻止遠端通訊、檢視、控制及資料傳送
19.矽ID或其他唯一識別構件，終端使用者不能改變、跳過或消除。
第4圖係為使用本地電腦子系統及顯示邏輯子系統組成之遠端介面卡之半導體處理設備提供遠端存取閘道的方法400之流程圖。方法400始於步驟402，之後是接收輸入或輸出命令。在步驟404，本地電腦子系統206接收來自耦接至半導體處理設備之遠端裝置之輸入或向其輸出。此輸入或輸出可包含接收自鍵盤/滑鼠介面216之命令、來自高速訊息發送服務介面213或網路介面214 之訊息、至外部儲存介面218之寫出、用於本地視訊顯示器212之新顯示及其類似物。
在步驟406，本地電腦子系統206藉由以上文參考第2圖及第3圖描述之方式存取顯示邏輯子系統204來執行輸入或輸出操作。舉例而言，若接收滑鼠輸入，則本地電腦子系統206可操縱光筆記憶體226中之暫存器以將滑鼠輸入轉譯為光筆輸入。若操作為輸出至本地視訊顯示器212，則本地電腦子系統206可讀取視訊記憶體224且處理資料以輸出至本地視訊顯示器212。在已完成輸入/輸出操作之後，該方法結束於步驟408。
因此，已經提供了為半導體處理設備提供遠端存取閘道的方法及裝置。本發明之裝置藉由提供對老式視訊卡及光筆之功能及連接的全部模仿，有利地處理了與其相關聯之陳舊過時的問題。本發明之裝置為老式設備有利地提供了額外能力而無需對系統控制器進行任何軟體改變。
雖然上文係關於本發明之實施例，但是在不脫離本發明之基本範疇之情況下可設計本發明之其他及進一步實施例。
100‧‧‧示範性積體半導體基板處理系統
101‧‧‧真空密閉處理平臺/半導體處理工具
102‧‧‧輸入/輸出模組
104‧‧‧量測工具
106‧‧‧前開式晶圓傳送盒(FOUP)
107‧‧‧前開式晶圓傳送盒(FOUP)
108‧‧‧機器人
110‧‧‧處理模組
112‧‧‧處理模組
114‧‧‧處理模組
116‧‧‧處理模組
120‧‧‧機器人
121‧‧‧負載鎖定腔室
122‧‧‧負載鎖定腔室
124‧‧‧工廠介面
126‧‧‧測量模組
128‧‧‧共用真空基板傳送腔室
130‧‧‧基板機器人
136‧‧‧基板搬運裝置
138‧‧‧軌道
140‧‧‧系統控制器
142‧‧‧中央處理單元(CPU)
144‧‧‧記憶體
146‧‧‧支持電路
148‧‧‧遠端存取閘道介面卡
150‧‧‧外部介面
202‧‧‧資料及控制匯流排
204‧‧‧顯示邏輯子系統
206‧‧‧本地電腦子系統
208‧‧‧視訊驅動程式
210‧‧‧光筆介面
212‧‧‧本地視訊顯示器
213‧‧‧高速訊息發送服務(HSMS)介面
214‧‧‧網路介面
215‧‧‧開關機制
216‧‧‧鍵盤及滑鼠介面
218‧‧‧外部儲存介面
220‧‧‧視訊介面
2221 ‧‧‧第一橋接器
2222 ‧‧‧第二橋接器
224‧‧‧視訊記憶體
226‧‧‧光筆記憶體
300‧‧‧中央處理單元(CPU)
302‧‧‧支持電路
304‧‧‧記憶體
306‧‧‧作業系統
308‧‧‧遠端存取軟體
310‧‧‧網際網路小型應用程式
400‧‧‧方法
402‧‧‧步驟
404‧‧‧步驟
406‧‧‧步驟
408‧‧‧步驟
因此，可詳細理解本發明之上述特徵結構之方式，即上文簡要概述之本發明之更特定描述可參照實施例進 行，一些實施例圖示於附加圖式中。然而，應注意，附加圖式僅圖示本發明之典型實施例，且因此不欲視為其範疇之限制，因為本發明可允許其他同等有效之實施例。
第1圖描繪了使用本發明之一實施例與半導體處理工具之系統控制器建立介面之系統的方塊圖。
第2圖描繪了本發明之一實施例及資料及控制匯流排的方塊圖。
第3圖描繪了本發明之本地電腦子系統組件之一實施例的方塊圖。
第4圖描繪了使得能夠遠端存取半導體處理設備之方法之一實施例的流程圖。
為清晰起見已簡化且未按比例繪製圖式。為了促進理解，在任何可能之狀況下，已使用相同元件符號來指示諸圖共用之相同元件。不難想見，一實施例之一些元件可有利地併入其他實施例。
100‧‧‧示範性積體半導體基板處理系統
101‧‧‧真空密閉處理平臺/半導體處理工具
102‧‧‧輸入/輸出模組
104‧‧‧量測工具
106‧‧‧前開式晶圓傳送盒(FOUP)
107‧‧‧前開式晶圓傳送盒(FOUP)
108‧‧‧機器人
110‧‧‧處理模組
112‧‧‧處理模組
114‧‧‧處理模組
116‧‧‧處理模組
120‧‧‧機器人
121‧‧‧負載鎖定腔室
122‧‧‧負載鎖定腔室
124‧‧‧工廠介面
126‧‧‧測量模組
128‧‧‧共用真空基板移送腔室
130‧‧‧基板機器人
136‧‧‧基板搬運裝置
138‧‧‧軌道
140‧‧‧系統控制器
142‧‧‧中央處理單元(CPU)
144‧‧‧記憶體
146‧‧‧支持電路
148‧‧‧遠端存取閘道介面卡
150‧‧‧外部介面

Claims (20)

  1. 一種用於為一具有一介面卡之半導體處理設備提供介面之裝置，該介面卡包含：一顯示邏輯子系統，該顯示邏輯子系統用以經由一資料及控制匯流排對一光筆及一或更多個視訊及資訊顯示器提供一介面；一第一橋接器，該第一橋接器耦接至該顯示邏輯子系統以提供對該資料及控制匯流排之存取；一本地(local)電腦子系統，該本地電腦子系統耦接至該第一橋接器及該顯示邏輯子系統，其中該本地電腦子系統提供對一或更多個遠端裝置之存取；以及一第二橋接器，該第二橋接器耦接至該本地電腦子系統以提供對該資料及控制匯流排之存取。
  2. 如申請專利範圍第1項之裝置，其進一步包含：一視訊介面，該視訊介面提供視訊輸出至該一或更多個視訊及資訊顯示器；及一光筆介面，該光筆介面為該光筆提供輸入存取，其中該視訊介面及該光筆介面耦接至該顯示邏輯子系統。
  3. 如申請專利範圍第1項之裝置，其中該一或更多個遠端裝置進一步包含以下各項至少一者：一本地視訊顯示器、一高速訊息發送服務介面、一網路介面、一第二鍵盤及滑鼠介面或耦接至該本地電腦子系統之一外部儲存介面。
  4. 如申請專利範圍第1項之裝置，其中該顯示邏輯子系 統進一步包含一光筆記憶體，該光筆記憶體用於為該本地電腦子系統提供對光筆暫存器、偏移校正或游標位置中之一或更多者之存取。
  5. 如申請專利範圍第1項之裝置，其中該顯示邏輯子系統進一步包含一視訊記憶體，該視訊記憶體用於為該本地電腦子系統提供對視訊顯示資料之存取。
  6. 如申請專利範圍第5項之裝置，其中該本地電腦子系統執行視訊後處理(video post-processing)以向該視訊顯示資料提供覆蓋(overlay)及額外人性化介面功能。
  7. 如申請專利範圍第1項之裝置，其中該本地電腦子系統提供一基於網路之瀏覽器或其他本地常駐軟體應用程式以允許遠端存取、控制及資料傳送功能。
  8. 如申請專利範圍第1項之裝置，其中該本地電腦子系統提供一小型應用程式(applet)，該小型應用程式能夠在一遠端裝置上執行從而使得經由一網路連接存取該本地電腦子系統之一使用者能夠執行遠端存取、控制及資料傳送功能。
  9. 如申請專利範圍第1項之裝置，其進一步包含：一開關機制，該開關機制耦接至該本地電腦子系統以提供故障自動防護及本地切斷功能。
  10. 如申請專利範圍第1項之裝置，其中該資料及控制匯流排為一VME(Versa Module European)匯流排。
  11. 如申請專利範圍第1項之裝置，其進一步包含：一或更多個警告燈，該一或更多個警告燈用以指示以 下至少一種狀況：遠端存取功能處於停用、啟用但非活動、或啟用且活動。
  12. 一種為具有一介面卡之半導體處理設備提供一介面的方法，該介面卡包括一本地電腦子系統及一顯示邏輯子系統，該方法包含下列步驟：使用該本地電腦子系統處理至少一個輸入或一個輸出，該本地電腦子系統提供該半導體處理設備與一或更多個遠端裝置之間的存取；以及使用該本地電腦子系統存取該顯示邏輯子系統以執行該至少一個輸入或輸出，其中該顯示邏輯子系統包含一視訊記憶體及一光筆記憶體。
  13. 如申請專利範圍第12項之方法，其進一步包含自該一或更多個遠端裝置接收該輸入之步驟。
  14. 如申請專利範圍第13項之方法，其中該一或更多個遠端裝置包含一高速訊息發送服務介面、一外部儲存介面、一鍵盤介面、一滑鼠介面或一網路介面中至少一者。
  15. 如申請專利範圍第12項之方法，其進一步包含提供該輸出至該一或更多個遠端裝置之步驟。
  16. 如申請專利範圍第15項之方法，其中該一或更多個遠端裝置包含一高速訊息發送服務介面、一外部儲存介面、一視訊顯示器或一網路介面中至少一者。
  17. 如申請專利範圍第12項之方法，其中該存取步驟進一步包含使用該本地電腦子系統改變該光筆記憶體以提供該輸入至一系統控制器之步驟，該系統控制器耦接至 該半導體處理設備。
  18. 如申請專利範圍第12項之方法，其中該存取步驟進一步包含使用該本地電腦子系統讀取該視訊記憶體以提供該輸出之步驟。
  19. 如申請專利範圍第12項之方法，其進一步包含下列步驟：經由該本地電腦子系統提供一網路應用程式介面以用於對該半導體處理設備之遠端存取。
  20. 一種用於為具有一VME介面卡之半導體處理設備提供一介面之裝置，該裝置包含：一顯示邏輯子系統，該顯示邏輯子系統用以經由一VME匯流排對一或更多個裝置提供一介面，該一或更多個裝置包含視訊及資訊顯示器、光筆、鍵盤、電腦滑鼠及警告燈網路及警報器；該顯示邏輯子系統包含一光筆記憶體，該光筆記憶體用於為該本地電腦子系統提供對光筆暫存器、偏移校正或游標位置中一或更多者之存取，且該顯示邏輯子系統進一步包含一視訊記憶體，用於為該本地電腦子系統提供對視訊顯示資料之存取；一第一VME橋接器，該第一VME橋接器耦接至該顯示邏輯子系統以提供對該VME匯流排之存取；一本地電腦子系統，該本地電腦子系統耦接至該第一VME橋接器及該顯示邏輯子系統，其中該本地電腦子系統提供對一或更多個遠端裝置之存取，且其中該一或更多個遠端裝置包含一本地視訊顯示器、一高速訊息發送 服務介面、一網路介面、一第二鍵盤及滑鼠介面或一外部儲存介面中至少一者；一第二VME橋接器，該第二VME橋接器耦接至該本地電腦子系統以提供對該VME匯流排之存取；一開關機制，該開關機制耦接至該本地電腦子系統以提供故障自動防護及本地切斷功能，其中該開關機制在一硬體故障之情況下自動斷開遠端存取；及一視訊介面及一光筆介面，該視訊介面提供視訊輸出，該光筆介面為一耦接至該顯示邏輯子系統之光筆工具提供輸入存取。
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