CN102197454B - 半导体处理设备的远程访问网关 - Google Patents

Abstract

本发明揭示一种为半导体处理设备提供接口的装置。在一些实施例中，一种用于为具有适配卡的半导体处理设备提供接口的装置包括：显示逻辑子系统，其用以经由数据及控制总线以对一或多个装置(诸如视频及信息显示器、光笔、键盘、计算机鼠标及警告灯网络及警报器)提供接口；桥接器，其用以提供对该数据及控制总线的存取；及本地(local)计算机子系统，其连接至该桥接器及该显示逻辑子系统，其中该本地计算机子系统是提供对一或多个远程装置的存取。

Description

半导体处理设备的远程访问网关

关联申请的交叉引用

本申请基于2008年10月24日递交的美国临时专利申请序列号61/108,308，通过引用将其结合于此。

技术领域

本发明的实施例一般而言是关于半导体处理设备，且更特定言，是关于与此设备的处理控制器建立接口(interfacing)。

背景技术

随着技术进步，需要升级陈旧设备以提供更快、更佳且更可靠的操作。然而，设备的升级通常以操作环境必需重新构造为代价。通常，改变操作环境并不可取，因为改变对整体任务至关重要的系统组件将存在必然风险。此危险在半导体处理领域尤其明显，其中微小改变亦可能搅乱经仔细构造的系统，从而导致产量减少及其它制造缺陷。此风险导致许多终端使用者对升级其系统仍旧犹豫不决，相反选择接受陈旧硬件的问题及限制。具体而言，此半导体处理设备的输入及输出接口中存在此类限制。输入及输出接口的改变要求对系统软件进行更新，这将对仔细构造了系统的使用者造成很大风险。

因此，本发明的发明者提供了一种装置以对晶圆处理设备提供远程访问网关，该装置有助于向装置的终端使用者提供透明升级路径。

发明内容

本发明揭示了为半导体处理设备提供接口的装置及方法。在一些实施例中，为具有适配卡的半导体处理设备提供接口的装置包括：显示逻辑子系统，其用以经由控制总线以对一或多个装置(诸如视频及信息显示器、光笔、键盘、计算机鼠标及警告灯网络及警报器)提供接口；桥接器，其用以提供对控制总线的存取；及本地计算机子系统，其连接至该桥接器及该显示逻辑子系统，其中该本地计算机子系统提供对一或多个远程装置的存取。

在一些实施例中，为具有欧洲通用模块(VME)适配卡的半导体处理设备提供接口的装置可包括：显示逻辑子系统，其用以经由VME总线对一或多个装置(包含视频及信息显示器、光笔、键盘、计算机鼠标及警告灯网络及警报器)提供接口，该显示逻辑子系统包含光笔内存，用于为本地计算机子系统提供对光笔缓存器、偏移校正或游标位置中一或多者的存取；且进一步包含视频内存，用于为本地计算机子系统提供对视频显示数据的存取；第一VME桥接器，其连接至该显示逻辑子系统以提供对VME总线的存取；本地计算机子系统，其连接至该VME桥接器及该显示逻辑子系统，其中该本地计算机子系统提供对一或多个远程装置的存取，且其中该等远程装置包含本地视频显示器、高速讯息发送服务接口、网络接口、第二键盘及鼠标接口或外部储存接口中至少一者；第二VEM桥接器，其连接至该本地计算机子系统以提供对该VEM总线的存取；开关机制，其连接至该本地计算机子系统以提供故障保险及本地切断功能，其中该开关机制在硬件故障的情况下自动断开远程访问；以及视频接口，以供提供视频输出；及光笔接口，以供为连接至显示逻辑子系统的光笔工具提供输入存取。

在一些实施例中，一种为具有适配卡的半导体处理设备提供接口的方法包括：使用本地计算机子系统处理输入及输出中至少一者，及存取显示逻辑子系统以执行至少一个输入或输出。下文将更详细讨论本发明的其它及进一步实施例。

附图说明

所以，上述简介的本发明的特征可参考对本发明更具体描述的实施例进一步理解和叙述，部分实施例示出于附图中。然而要指出的是，附图仅说明本发明的典型实施例，因此不应被视为其范围的限制，本发明亦适用于其它具有同等功效的实施例。

图1示出使用本发明的实施例与半导体处理工具的系统控制器建立接口的系统的方块图。

图2示出本发明的实施例和数据及控制总线的方块图。

图3示出本发明的本地计算机系统组件的实施例的方块图。

图4示出使得能够远程访问半导体处理设备的方法的实施例的流程图。

为清晰起见已简化且未按比例绘制附图。为了便于理解，已经在可能的情况下，使用相同的组件符号指示各图中相同的组件。意即，在一个实施例中所揭示的组件亦可有利地用于其它实施例。

具体实施方式

本文描述了为半导体处理设备提供远程访问网关的装置。本发明的装置有利地为视频、光笔及远程访问能力提供接口。此外，本发明的装置与该领域中的先前努力相比消耗较少功率且产生较少热，同时在替换老式(legacy)设备时占用相似的卡占据面积。本装置亦仿真老式视频及光笔接口的行为及通讯，从而使得当以本装置取代老式硬件时无需对系统控制器进行软件改变。尽管本文结合老式系统进行描述，但是本发明亦可在新制造的系统及/或现有非老式设备上实施。

本发明可用于接口与传统远程访问解决方法不兼容的诸多处理系统。举例而言，归因于非标准卡接口、视频格式、视频连接、使用者输入方法、电缆、监视器及输入装置、视频分布硬件、光笔或等效物、光盘驱动(odd)盘片格式、顾客操作系统及与控制、接口及可存取性有关的其它独特专有项目中的一或多者，该领域中的先前努力不足以提供能为此类处理系统提供远程访问及控制的接口解决方法。本发明的至少一些实施例有利地提供了可交叉通讯的双视频及操作者接口、远程连接性、每一装置的唯一识别及远程构件对光笔缓存器及逻辑的直接驱动。

所提供的子功能之间的协同使得本发明与众不同且优于该领域中的先前尝试。在显示逻辑子系统上本发明的内部可容易地存取必需的光笔缓存器、偏移校正及游标位置缓存器。因此，卡内的本地计算机子系统(远程访问)模块能够直接存取这些资源是非常有利的。由于未涉及转换或底板总线相互作用，所以处理是“无损耗”的(例如，不存在外部数据或讯号转换)且比传统装置快得多。本地或远程地(通过规则及限定)增加覆盖(overlay)及额外人性接口功能的能力可减少产生人员或机械危险的机会。适合处理工具的实例包括PRECISION 5000

处理系统、200mmCENTURA

及ENDURA

处理系统及一些PRODUCER处理系统，其皆可购自Santa Clara，California的Applied Materials，Inc.。

图1示出示范性集成半导体基板处理系统(例如丛集(cluster)工具)100的示意图，该系统与200mm CENTURA

处理系统类似且具有根据本发明的一些实施例的远程访问网关。图标中系统100包括真空密闭处理平台101、输入/输出模块102及系统控制器140。平台101通常包括连接至共享真空基板移送腔室128的处理模块110、112、114及116以及至少一个负载锁定腔室(示出了负载锁定腔室121及122)。

负载锁定腔室121及122保护移送腔室128免受大气污染物。移送腔室128包含基板机器人130。在操作中，机器人130在负载锁定腔室与处理模块之间移送基板。

输入/输出模块102包含至少一个坞站(docking)以接受一或多个前开式晶圆传送盒(FOUP)(图示了FOUPs 106及107)及至少一个基板机器人(图示了两个机器人108及120)。在一些实施例中，输入/输出模块102可进一步包含适用于量测形成于待处理基板上的结构的主要尺寸的测量模块126。机器人108及120在FOUPs 106、量测工具104及负载锁定腔室121、122之间移送经预处理及后处理的基板。在所描述的实施例中，测量模块126用作为通过型(pass-through)模块。在其它实施例中，测量模块126可为输入/输出模块102的周边单元。

工厂接口124通常为大气压力接口，用以在各处理系统与半导体生产的制造区域之间移送具有安置在FOUPs 106、107中的预处理及后处理的基板的盒。通常，工厂接口124包含基板搬运装置136及轨道138。在操作中，基板搬运装置136沿轨道138行进以在丛集工具或其它处理设备之间运输FOUPs。

系统控制器140连接至积体处理系统100的模块及装置并对其进行控制。系统控制器140使用系统100的模块及装置的直接控制或者通过控制与这些模块及装置相关联的计算机(或控制器)来控制系统100的操作的所有方面。在操作中，系统控制器140使得能够对最佳化系统100的效能的各模块(例如测量模块126)及装置进行数据收集及反馈。

系统控制器140通常包含中央处理单元(CPU)142、内存144及支持电路146。CPU 142可为工业设置中可用的任何形式的通用计算机处理器中的一者。支持电路146传统地连接至CPU 142且可包含高速缓存、时钟电路、输入/输出子系统、电源及其类似物。软件常用程序在由CPU 142执行时将CPU转换成特定用途计算机(控制器)140。软件常用程序亦可由位于系统100的远程的第二控制器(未图标)储存及/或执行。

系统控制器140进一步连接至一或多个外部接口150。在一实施例中，系统控制器140包含经由数据及控制总线接口通讯的一或多个适配卡。适配卡通常为外部装置提供经由数据及控制总线(诸如下文参考图2描述的数据及控制总线202)存取、发送及接收数据的方式。远程访问网关适配卡148为(例如)占用单槽中的6U外形因子的适配卡，其为外部接口150提供经由数据及控制总线对系统控制器140的存取。与将子系统分成多个卡的该领域中的先前努力相比，利用单卡具有减少卡槽占据面积、功率消耗及成本的优点。功率消耗的减少亦导致净热减少。在一些实施例中，远程访问网关适配卡148可为欧洲通用模块(VME)适配卡，其中数据及控制总线为VME总线。

外部接口150可包括光笔、视频显示器、键盘、鼠标、远程储存装置、计算机网络及高速讯息发送系统(HSMS)中的一或多者。远程访问网关适配卡148允许使用者在系统控制器140的远程位置对半导体处理工具101输入命令及自其接收反馈。因此，远程访问网关适配卡148有利地克服了由于无法连接至系统控制器数据总线而导致的外部装置无法存取内部数据及控制缓存器的传统缺陷(传统地，归因于老式控制器I/O端口及盘片驱动总线的性质，其不允许任何外部装置开始或控制对内部总线及内存数据的存取)。远程访问网关适配卡148进一步在无需充当总线主控器以能够自由存取数据及内存进而实现数据上载及下载(如传统设备将有此需要(若其可连接至系统控制器数据总线中))的情况下有利地提供此远程访问及控制。这是需要的，因为允许此设备充当总线主控器很容易导致系统数据丢失或讹误或命令处理故障，从而导致系统崩溃，此将极具破坏性及隐患，原因归结于晶圆处理设备自身的、并入其内的机制及设备内极常用的可燃、有毒、腐蚀性、引起畸型及自燃材料的暗含危险的主要性质。

图2为连接至数据及控制总线202的远程访问网关适配卡148的方块图。远程访问网关适配卡148包含两个处理子系统：显示逻辑子系统204及本地计算机子系统206。每一子系统连接至对数据及控制总线提供存取的桥接器(例如第一桥接器222₁及第二桥接器222₂，合称为为桥接器222)。在远程访问网关适配卡148为VME卡的实施例中，桥接器222可为VME桥接器。在一些实施例中，两个处理子系统实施为位于远程访问网关适配卡148上的一或多个可程序化系统或装置内的两个虚拟计算机，例如现场可编程门阵列(FPGA)。通过用FPGA实施处理子系统，本装置的操作寿命可延长且不再连接至特定硬件或特殊处理环境。桥接器222允许本地计算机子系统206与主机系统控制器(CPU 142)之间的通讯以及显示逻辑系统204与主机系统控制器(CPU 142)之间的独立通讯路径。远程网关接口148内含有的该两个菜单现为与主机系统控制器(CPU142)完全分离的内存及I/O空间。在一些实施例中，两个桥接器222可组合为仿效两个独立逻辑路径的单个网关(例如单个桥接器)。因为两个桥接器222占用相同总线连接器且共享总线连接器上的相同I/O插脚，所以任一瞬间两个接口中仅有一者可经由数据及控制总线202通讯。

在一些实施例中，远程访问网关适配卡148可包括终端使用者不得改变的唯一识别符(诸如硅ID)。在一些实施例中，硅ID可为逻辑识别符，用于在以太网络或网际网络通讯进行中唯一地识别特定卡。否则，若所有卡具有相同ID，则通讯网路上的讯息将不能正确投送。在一些实施例中，硅ID亦可为授权ID启用器及/或稳固特征结构锁定及密码的启用器(例如，用于一个卡的密码将不能用于另一卡，从而使得能够进行权限管理。此与NICs及其它网络可用装置上的MacID类似)。因此，远程访问网关适配卡148使得符合启用远程访问及控制所需的特殊安全性及调节设备及协议。这些标准存在于SEMI(半导体设备制造商协会)以及操作此设备的特定公司及操作场所。

在一些实施例中，远程访问网关适配卡148可包括开关机制215。开关机制215可包括密钥锁、保险开关或其它安全机制以限制、启用或阻止远程通讯、检视、控制及数据移送。开关机制215可实施为硬件或软件机制。

在一些实施例中，开关机制进一步包括一系列状态灯柱或讯号可构造标志图样(通过LED、光、LCD等形成，例如警告灯系统)，其可安装在系统主框架及子组件托架的上方、近处或远程。这些状态指示器对本地人员指示远程访问功能被禁用、启用但非活动或启用且活动。在一实施例中，状态指示器由多个三灯柱组成，其由与适配卡的连接所驱动。

在一些实施例中，当关闭本地存取开关时，指示器亮绿色(或其它颜色)或也许根本不亮。当本地存取开关打开但无通讯发生时，状态指示器可亮(例如)蓝色。当活动远程控制占线时，状态指示器可亮(例如)琥珀色且可闪烁。这些状态指示器的其它实施例可包括特制标志图样、视频显示器及其类似物。

在一些实施例中，显示逻辑子系统204可为视频驱动程序208及光笔接口210提供接口。视频驱动程序208进一步输出至视频接口220。显示逻辑子系统204提供与视频/光笔/使用者接口逻辑卡(例如老式适配卡)相同的功能。以此方式，经构造以发送数据以显示在老式适配卡上的外部系统无需为了与新装置建立接口而加以改变。本装置为老式适配卡有利地提供完全替换，该老式适配卡由于其陈旧过时而使其替换愈加困难且昂贵。

在显示逻辑子系统204内的视频内存224内含有待输出至视频驱动程序208的数据。在一些实施例中，视频内存224可包含4千字节的内存区块，其随后由视频驱动程序208读取以输出至视频接口220。视频接口220包含显示装置。显示逻辑子系统204通过改变此内存区块内所含的数据来与视频驱动程序208动。

显示逻辑子系统204亦提供光笔接口210。光笔接口210负责追踪光笔装置的位置。光笔的水平及垂直位置保存在一对内存位置中，即提供于显示逻辑子系统204中的光笔内存226。显示逻辑子系统204存取这些内存位置以确定光笔装置的当前位置。在一些实施例中，显示逻辑子系统204可经由(例如)卡的下部的后连接器为光笔装置及老式视频显示器提供接口。

本地计算机子系统206可为本地视频显示器212、高速讯息发送服务(HSMS)接口213、网络214、键盘及鼠标接口216，以及外部储存装置218提供接口。在一些实施例中，本地计算机子系统206可经由(例如)适配卡的上部的后连接器提供对以上装置的存取。

此外，本地计算机子系统206可直接与显示逻辑子系统204动以存取属于视频驱动程序208及光笔接口210的数据。本地视频显示器212可包含任何视频接口，诸如标准VGA显示器。本地计算机子系统206可存取显示逻辑子系统204内所含的视频内存224以输出至本地视频显示器212。本地计算机子系统206随后可将此数据转化为适于输出至本地视频显示器212的格式。以此方式，系统不再紧密连接至必需与显示逻辑子系统204兼容的显示器。本地计算机子系统206亦可写入视频内存224，且以此方式影响对视频接口220的输出。本地计算机子系统亦可存取光笔内存226。通过读取光笔内存226，本地计算机子系统206可存取光笔装置的当前位置。本地计算机子系统206亦可改变光笔内存226内所含有的数据以提供远程接口而不要求对光笔装置进行实体存取。

在一些实施例中，本地视频显示器212并不直接连接至显示逻辑子系统204。本地计算机子系统206可对不含在视频内存224中的本地视频显示器212显示额外数据。举例而言，本地视频显示器212可显示图案模仿“网”页的接口屏幕以增加与系统控制器140互动的便利性，或者该显示器可经构造以展示诊断数据，以展示系统的本地及内部数据、缓存器、储存媒体及除错数据而无需连接至、改变或干扰敏感的本地内部系统控制器数据总线及硬件。

在一实施例中，远程访问网关适配卡148进一步包含连接至本地计算机子系统206的HSMS接口213。HSMS是获行业认可的在以太网络电缆上发送的基于半导体设备通讯协议(SECS-I)的讯息协议。HSMS接口213使用此协议为装置提供输入及输出。本地计算机子系统206接受此类HSMS通讯且经由数据及控制总线202传播通讯。该领域中的先前努力需要独立的卡的解决方法来使能(enable)HSMS接口，从而使得其不可能在无空闲适配卡槽的情况下安装于系统中。通过为视频及外部接口提供单卡的解决方法，本装置有利地允许无空闲适配卡槽的系统升级至HSMS接口而无需安装更大的卡架，此安装昂贵、有破坏性，且有时为不可能的处理。

在一些实施例中，远程访问网关适配卡148可进一步包含连接至本地计算机子系统206的网络接口214。网络接口214为一或多个远程网络计算机提供与系统控制器140互动的接口。由于具有HSMS接口213，本地计算机子系统206负责转译及传送经由网络接口214在数据及控制总线上接收的命令。在一些实施例中，网络接口214可经由集成路由器/开关提供多IP地址的以太网络端口连接。

在一些实施例中，远程访问网关适配卡148进一步包含键盘及鼠标接口216。经由键盘及鼠标接口216接收的指令继而传达至本地计算机子系统206。

在一些实施例中，远程访问网关适配卡148进一步包含储存接口218。本地计算机子系统206可使数据流至储存接口218以供储存及处理。储存接口218可包含用于任何适合于外部数据储存的媒体(诸如硬盘、USB快闪驱动、磁带驱动、可写入CD及其类似物)的接口。

本地计算机子系统206还连接至一或多个桥接器222。连接至桥接器有利地允许远程访问网关适配卡148作为总线主控器工作及自由存取数据及内存，以实现数据上载及下载，又提供完全寻址整个内存空间的能力。通过提供经由本地计算机子系统206的存取，外部装置可能安全执行此类数据移送。当外部装置试图直接存取数据及控制总线时，该领域中的先前努力可能容易导致系统数据丢失、数据讹误及/或命令处理故障。如上所述，这些故障可能导致极具破坏性及隐患的系统崩溃。在一些实施例中，本地计算机子系统206可与显示逻辑子系统204连接至相同的桥接器(例如，桥接器222₁)。连接至此桥接器222₁有利地允许本地计算机子系统206直接存取与视频内存224及光笔内存226相关联的内存以启用远程访问，从而促进用于远程检视的视频输出数据的收集且亦允许远程使用者控制光笔缓存器(如同其实际处于该工具处)。

图3为本地计算机子系统206的详细方块图。本地计算机子系统206通常包含中央处理单元(CPU)300、内存304及支持电路302。CPU 300可为工业设置中可用的任何形式的通用计算机处理器中的一者。支持电路302传统地连接至CPU 300且可包含高速缓存、时钟电路、输入/输出子系统、电源及其类似物。内存304可包含随机存取内存、只读存储器、可移式储存器、光盘储存器、磁盘驱动器储存器及其组合。内存304含有某些软件常用程序，包含操作系统306、远程访问软件308及网际网络小型应用程序(applet)310。在操作中，CPU 300执行一或多个操作系统306(诸如DOS、WINDOWS、LINUX或专有操作系统)，以控制本地计算机子系统206的一般利用及功能。在一些实施例中，本地计算机子系统206亦可仿真一或多个操作系统306的执行概况，以允许设计用于特殊架构的软件在非标准作业环境中执行。

内存304亦含有远程访问软件308。远程访问软件308提供接口，使用者可经由该接口与来自远程终端的系统控制器140互动。远程访问软件308可经构造以接收来自HSMS接口213、网络接口214及/或键盘及鼠标接口216的输入。远程访问软件308剖析来自以上外部接口150的一或多者的输入且相应地改变显示逻辑子系统204内及数据及控制总线202上的数据。举例而言，远程访问软件308可经构造以经由键盘及鼠标接口216接受鼠标输入作为对光笔指令的替代。远程访问软件308将转译来自鼠标的输入且相应地改变光笔内存226。以此方式，由于输入指令可经显示逻辑子系统204转译，故可能在无需对系统控制软件进行任何改变的情况下向远程使用者提供系统存取。

远程访问软件308亦可提供存取控制及使用者鉴认，从而防止未经授权的系统存取。这些控制可包括在使用者远程访问系统时指示的警告灯、使得出入计算装置及本地局域网络的通讯将在发生故障时自动恢复至网际网络或其它网络的故障保险连接切换，或用以限制、启用或阻止远程通讯检视、控制及数据移送的其它构件。在一实施例中，用于控制的构件可包括远程访问网关卡148自身上的实体锁或保险开关。在一些实施例中，远程连接经由继电器或其它类似装置投送，因此若本地开关关闭或支撑远程访问连接的软件发生故障，则将自动恢复与系统控制器的“正常”连接。在一些实施例中，由于所有硬件驻留于总线内的单个卡上，故若该卡自身发生故障，则预设为正常连接失败。然而，在本地密钥开关关闭的任何时候若要主动切断用于远程功能的网际网络存取，则需要继电器。

在一些实施例中，远程访问软件308可为系统控制器提供“网络”接口或另一本地驻留的软件应用程序，以允许远程使用者执行远程访问、控制及数据移送。

内存304可进一步包含网际网络小型应用程序310。网际网络小型应用程序310为经设计以从远程计算机上的网络浏览器内执行的程序。可用网络可执行指令码语言(诸如JAVASCRIPT)来编码网际网络小型应用程序310。网际网络小型应用程序310提供机制以经由标准浏览器接口与远程访问软件建立接口。

在一特殊非限制性实例中，远程访问网关适配卡可包括计算装置，该计算装置的架构、操作系统及特征设置将提供实体与计算能力的非常特定的组合，其包括(但不限于)以下的至少一些：

1.占用单槽的VME 6U卡外形因子

2.满载总线主控器的连接性及能力

3.老式视频及光笔连接性

4.两个独立且互斥的视频子系统

5.以硬件或软件实施的光笔接口

6.多IP地址的以太网络端口连接(一体式路由器/开关)

7.计算核心，其用于操作机载硬件同时允许多个操作系统，该操作系统包括但不限于：DOS、Windows、Linux及其它(诸如AppliedMaterials的专有OS)，其中通常有至少两者将同时使用

8.一体式大量储存构件，诸如旋转式磁盘驱动器、闪存或其它形式的非挥发性内存

9.非常高速通讯端口致使能够使用有类似能力的外部装置进行共同处理及远程处理从而产生的扩展能力

10.老式视频功能的全部模仿，包括独特地适合于老式工具的使用、安装及周边硬件(诸如老式操作者接口终端)的：增强的内存对映图形、屏幕属性、与光栅图像同步的光笔、游标产生及特殊线驱动器及接收器功能

11.在受控状态下寻址整个VME内存空间及将其部分传输至远程位置或自远程位置接收其部分的能力

12.基于网际网络(亦称作“网络”)的浏览器或其它本地驻留的软件应用程序，其允许由实际存在于世界任何地方的使用者(其可能远离本文所描述的计算装置及里面安装了该计算装置的基板处理工具)执行远程访问、控制及数据移送功能

13.网际网络(亦称作“网络”)浏览器小型应用程序，本发明能够经由远程连接将其发送，从而允许由实际存在于世界任何地方的使用者(其可能远离本文所描述的计算装置及里面安装了该计算装置的基板处理工具)执行远程访问、控制及数据移送功能

14.外部硬件装置，其能够与计算装置进行本地且专有的通讯

15.如12中的装置，其具有在计算装置的远程控制功能占线期间驱动一组本地的警告灯、警示器或其它指示装置的能力

16.如12中的装置，其具有在晶圆处理工具上对本地显示器执行从半透明至不透明范围的视频覆盖(包括但不限于通讯、信息显示器、安全接口及警告及安全目的)的能力

17.如12中的装置，其具有至网际网络或其它数据通讯网络的故障保险连接切换构件，从而使得出入计算装置及本地数据网络的通讯将在发生故障时自动恢复

18.如12中的装置，其具有密钥锁、保险开关或其它安全构件以限制、启用或阻止远程通讯、检视、控制及数据移送

19.硅ID或其它唯一识别构件，终端使用者不能改变、跳过或消除。

图4是为使用本地计算机子系统及显示逻辑子系统组成的远程适配卡的半导体处理设备提供远程访问网关的方法400的流程图。方法400始于步骤402，之后是接收输入或输出命令。在步骤404，本地计算机子系统206接收来自连接至半导体处理设备的远程装置的输入或向其输出。此输入或输出可包含接收自键盘/鼠标接口216的命令、来自高速讯息发送服务接口213或网络接口214的讯息、至外部储存接口218的写出、用于本地视频显示器212的新显示及其类似物。

在步骤406，本地计算机子系统206通过以上文参考图2及图3描述的方式存取显示逻辑子系统204来执行输入或输出操作。举例而言，若接收鼠标输入，则本地计算机子系统206可操纵光笔内存226中的缓存器以将鼠标输入转译为光笔输入。若操作为输出至本地视频显示器212，则本地计算机子系统206可读取视频内存224并且处理数据以输出至本地视频显示器212。在已完成输入/输出操作之后，该方法结束于步骤408。

因此，已经提供了为半导体处理设备提供远程访问网关的方法及装置。本发明的装置通过提供对老式视频卡及光笔的功能及连接的全部模仿，有利地处理了与其相关联的陈旧过时的问题。本发明的装置为老式设备有利地提供了额外能力而无需对系统控制器进行任何软件改变。

虽然前文针对本发明的实施例，但是在不脱离本发明的基本范围的情况下，可设计本发明的其它及另外实施例。

Claims (15)

1.一种用于为具有适配卡的半导体处理设备提供接口的装置，所述适配卡包含：

显示逻辑子系统，其用以经由数据及控制总线对光笔及一或多个视频及信息显示器提供接口；

第一桥接器，其连接至所述显示逻辑子系统以提供对所述数据及控制总线的存取；

本地计算机子系统，其连接至所述第一桥接器及所述显示逻辑子系统，其中，所述本地计算机子系统提供对一或多个远程装置的存取；以及

第二桥接器，其连接至所述本地计算机子系统以提供对所述数据及控制总线的存取。

2.根据权利要求1所述的装置，其进一步包含：

视频接口，提供视频输出；及光笔接口，为所述光笔提供输入存取；其中，所述视频接口和所述光笔接口连接至所述显示逻辑子系统。

3.根据权利要求1所述的装置，其中，所述一或多个远程装置进一步包含：

连接至所述本地计算机子系统的本地视频显示器、高速讯息发送服务接口、网络接口、第二键盘及鼠标接口或外部储存接口中至少一者。

4.根据权利要求1所述的装置，其中所述显示逻辑子系统进一步包含以下至少一者：

光笔内存，其用于为所述本地计算机子系统提供对光笔缓存器、偏移校正或游标位置中的一或多者的存取；或

视频内存，其用于为所述本地计算机子系统提供对视频显示数据的存取。

5.根据权利要求4所述的装置，其中，所述本地计算机子系统执行视频后处理以向所述视频显示数据提供覆盖及额外人性接口功能。

6.根据权利要求1所述的装置，其中，所述本地计算机子系统提供以下至少一者：

基于网络的浏览器或其它本地驻留的软件应用程序，以允许远程访问、控制及数据移送功能；或

小型应用程序，其能够在远程装置上执行，从而使得经由网络连接存取所述本地计算机子系统的使用者能够执行远程访问、控制及数据移送功能。

7.根据权利要求1所述的装置，其进一步包含以下至少一者：

开关机制，其连接至所述本地计算机子系统以提供故障保险及本地切断功能；或

一或多个警告灯，其用以指示远程访问功能处于禁用、启用但非活动或启用且活动中的至少一种状况。

8.根据权利要求1所述的装置，其中，所述数据及控制总线为欧洲通用模块（VME）总线。

9.根据权利要求1所述的装置，其中，所述接口设置在欧洲通用模块（VME）适配卡上，并且其中：

所述数据及控制总线为VME总线；

所述显示逻辑子系统经由VME总线对一或多个装置提供接口，所述一或多个装置包含：视频及信息显示器、光笔、键盘、计算机鼠标及警告灯网络及警报器；

光笔内存，用于为所述本地计算机子系统提供对光笔缓存器、偏移校正或游标位置中的一或多者的存取；

视频内存，用于为所述本地计算机子系统提供对视频显示数据的存取；

所述第一桥接器是第一VME桥接器，其连接至所述显示逻辑子系统以提供对所述VME总线的存取；

所述本地计算机子系统连接至所述VME桥接器及所述显示逻辑子系统；

其中，所述本地计算机子系统提供对所述一或多个远程装置的存取，所述一或多个远程装置包含本地视频显示器、高速讯息发送服务接口、网络接口、第二键盘及鼠标接口或外部储存接口中至少一者；

所述第二桥接器是第二VME桥接器，其连接至所述本地计算机子系统以提供对所述VME总线的存取；

开关机制，其连接至所述本地计算机子系统以提供故障保险及本地切断功能，其中，所述开关机制在硬件故障的情况下自动断开远程访问；及

视频接口，提供视频输出及光笔接口，为连接至所述显示逻辑子系统的光笔工具提供输入存取。

10.一种为具有适配卡的半导体处理设备提供接口的方法，所述适配卡包括本地计算机子系统及显示逻辑子系统，所述方法包含下列步骤：

使用所述本地计算机子系统处理至少一个输入或输出，所述本地计算机子系统提供所述半导体处理设备与一或多个远程装置之间的存取；以及

使用所述本地计算机子系统存取所述显示逻辑子系统以执行所述至少一个输入或输出，其中，所述显示逻辑子系统包含视频内存及光笔内存。

11.根据权利要求10所述的方法，其进一步包含从所述一或多个远程装置接收所述输入的步骤，其中，所述一或多个远程装置包含高速讯息发送服务接口、外部储存接口、键盘接口、鼠标接口或网络接口中至少一者。

12.根据权利要求10所述的方法，其进一步包含提供所述输出至所述一或多个远程装置的步骤，其中，所述一或多个远程装置包含高速讯息发送服务接口、外部储存接口、视频显示器或网络接口中至少一者。

13.根据权利要求10所述的方法，其中，所述存取步骤进一步包含使用所述本地计算机子系统改变所述光笔内存以对连接到所述半导体处理设备的系统控制器提供所述输入的步骤。

14.根据权利要求10所述的方法，其中，所述存取步骤进一步包含使用所述本地计算机子系统读取所述视频内存以提供所述输出的步骤。

15.根据权利要求10所述的方法，其进一步包含下列步骤：

经由所述本地计算机子系统提供网络应用程序接口以用于所述半导体处理设备的远程访问。

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