KR101286132B1 - 반도체 프로세싱 설비용 원격 액세스 게이트웨이 - Google Patents
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Abstract
반도체 프로세싱 설비용 인터페이스를 제공하기 위한 장치가 개시된다. 일부 실시예에서, 인터페이스 카드를 가진 반도체 프로세싱 설비용 인터페이스 제공 장치는, 데이터 및 제어 버스를 통하여 비디오 및 정보 디스플레이, 라이트 펜, 키보드, 컴퓨터 마우스, 경고등 네트워크 및 알람과 같은 하나 또는 그 이상의 디바이스에 인터페이스를 제공하기 위한 디스플레이 로직 서브시스템; 상기 데이터 및 제어 버스에 대한 액세스를 제공하기 위한 브릿지; 및 상기 브릿지와 상기 디스플레이 로직 서브시스템에 접속된 로컬 컴퓨터 서브시스템;을 포함하며, 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템은 하나 또는 그 이상의 원격 디바이스에 대한 액세스를 제공한다.
Description
본 출원은 2008년 10월 24일자로 출원된 미국 가출원번호 제61/108,308호로부터 우선권 주장의 이익을 향유하며, 상기 명세서는 참조로서 본 명세서에 편입된다.
본 발명의 실시예는 일반적으로 반도체 프로세싱 설비에 관한 것으로, 보다 구체적으로 그러한 설비를 위한 프로세스 제어기와의 인터페이싱에 관한 것이다.
기술적 진보에 따라, 더 빠르고, 더 우수하며, 보다 안정적인 작동을 제공하기 위하여 구식 설비의 업그레이드가 요망된다. 그러나, 이러한 설비의 업그레이드에는 작동 환경의 구조변경이 종종 불가피하다. 흔히, 작동 환경에 변화를 주는 것은 임무수행에 필수적인 시스템 부품을 변경시킬 위험이 내재되어 있기 때문에 바람직하지 않다. 이러한 위험은, 작은 변화가 정밀하게 구성된 시스템을 교란하여 수율을 감소시키고 다른 제조상의 결함을 야기할 수 있는 반도체 프로세싱 분야에서 특히 뚜렷하다. 이러한 위험은 많은 실사용자가 그들 시스템에 대한 업그레이드를 주저하게 만들고, 대신에 구식 하드웨어의 문제점과 한계를 수용하도록 만든다. 특히, 이러한 한계는 위와 같은 반도체 프로세싱 설비의 입력 및 출력 인터페이스에서 발견된다. 입력 및 출력 인터페이스에 대한 변경은 시스템 소프트웨어의 업데이트를 필요로 하고, 이는 정밀하게 구성된 시스템을 가진 사용자에게 큰 위험이 된다.
따라서, 본 발명자는, 디바이스의 실사용자에게 명료한 업그레이드 경로를 용이하게 제공할 수 있는, 웨이퍼 프로세싱 설비에 대한 원격 액세스 게이트웨이를 제공하는 장치를 고안하였다.
반도체 프로세싱 설비용 인터페이스를 제공하기 위한 장치 및 방법이 개시된다. 일부 실시예에서, 인터페이스 카드를 가진 반도체 프로세싱 설비용 인터페이스 제공 장치는, 제어 버스를 통하여 비디오 및 정보 디스플레이, 라이트 펜, 키보드, 컴퓨터 마우스, 경고등 네트워크 및 알람과 같은 하나 또는 그 이상의 디바이스에 인터페이스를 제공하기 위한 디스플레이 로직 서브시스템; 상기 제어 버스에 대한 액세스를 제공하기 위한 브릿지; 및 상기 브릿지와 상기 디스플레이 로직 서브시스템에 접속된 로컬 컴퓨터 서브시스템;을 포함하며, 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템은 하나 또는 그 이상의 원격 디바이스에 대한 액세스를 제공한다.
일부 실시예에서, Versa Module European (VME) 인터페이스 카드를 가진 반도체 프로세싱 설비용 인터페이스 제공 장치는, VME 버스를 통하여 비디오 및 정보 디스플레이, 라이트 펜, 키보드, 컴퓨터 마우스, 경고등 네트워크 및 알람을 포함하는 하나 또는 그 이상의 디바이스에 인터페이스를 제공하기 위한 디스플레이 로직 서브시스템으로서, 라이트 펜 레지스터, 오프셋 칼리브레이션 또는 커서 위치 중 하나 또는 그 이상에 대한 액세스를 로컬 컴퓨터 서브시스템에 제공하는 라이트 펜 메모리를 포함하고, 비디오 디스플레이 데이터에 대한 액세스를 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템에 제공하는 비디오 메모리를 더 포함하는 디스플레이 로직 서브시스템; 상기 디스플레이 로직 서브시스템에 접속되어 상기 VME 버스에 대한 액세스를 제공하기 위한 제 1 VME 브릿지; 상기 VME 브릿지와 상기 디스플레이 로직 서브시스템에 접속된 로컬 컴퓨터 서브시스템으로서, 로컬 비디오 디스플레이, 고속 메시징 서비스 인터페이스, 네트워크 인터페이스, 보조 키보드와 마우스 인터페이스 또는 외부 스토리지 인터페이스 중 적어도 하나를 포함하는 하나 또는 그 이상의 원격 디바이스에 대한 액세스를 제공하는 로컬 컴퓨터 서브시스템; 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템에 접속되어 상기 VME 버스에 대한 액세스를 제공하기 위한 제 2 VME 브릿지; 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템에 접속되어 고장안전 및 로컬 컷오프 기능을 제공하고, 하드웨어가 고장나는 경우, 원격 액세스를 자동으로 끊는 스위치 메카니즘; 및 상기 디스플레이 로직 서브시스템에 접속된 라이트 펜 툴을 위한 입력 액세스를 제공하는 라이트 펜 인터페이스와 비디오 출력을 제공하는 비디오 인터페이스;를 포함할 수 있다.
일부 실시예에서, 인터페이스 카드를 가진 반도체 프로세싱 설비용 인터페이스 제공 방법은, 로컬 컴퓨터 서브시스템을 이용하여 입력과 출력 중 적어도 하나를 프로세싱하는 단계와, 상기 적어도 하나의 입력 또는 출력을 실행하기 위하여 디스플레이 로직 서브시스템에 액세스하는 단계를 포함한다. 이하에서, 본 발명의 다른 그리고 추가 실시예들이 보다 구체적으로 논의된다.
본 발명의 상술한 특징이 더 상세하게 이해될 수 있도록, 그 일부를 첨부도면에 도시한 실시예를 참조함으로써, 위에서 간략하게 요약된 본 발명의 보다 구체적인 설명이 이루어질 것이다. 그러나, 첨부도면은 본 발명의 대표적인 실시예만을 도시하였고, 따라서 그 범위를 한정하는 것으로 이해되어서는 안되며, 본 발명은 동등한 효과를 가진 다른 실시예를 포함할 수 있다는 것을 유의해야 한다.
도 1은 반도체 프로세싱 툴의 시스템 제어기와의 인터페이싱 하기 위해 본 발명의 실시예를 이용하는 시스템을 도시한 블럭도이고,
도 2는 데이터 및 제어 버스와 본 발명의 실시예를 도시한 블럭도이며,
도 3은 본 발명의 로컬 컴퓨터 시스템 부품의 실시예를 도시한 블럭도이고,
도 4는 반도체 프로세싱 설비에 원격 액세스를 가능하게 하는 방법의 실시예를 도시한 흐름도이다.
이들 도면은 명료함을 위하여 단순화되었으며 척도에 따라 도시되지 않았다. 용이한 이해를 위하여, 도면에서 공통의 동일한 요소를 지정하기 위해 가능한 동일한 참조번호를 사용하였다. 일실시예의 일부 요소들이 다른 실시예에 유용하게 통합될 수 있다고 생각된다.
도 1은 반도체 프로세싱 툴의 시스템 제어기와의 인터페이싱 하기 위해 본 발명의 실시예를 이용하는 시스템을 도시한 블럭도이고,
도 2는 데이터 및 제어 버스와 본 발명의 실시예를 도시한 블럭도이며,
도 3은 본 발명의 로컬 컴퓨터 시스템 부품의 실시예를 도시한 블럭도이고,
도 4는 반도체 프로세싱 설비에 원격 액세스를 가능하게 하는 방법의 실시예를 도시한 흐름도이다.
이들 도면은 명료함을 위하여 단순화되었으며 척도에 따라 도시되지 않았다. 용이한 이해를 위하여, 도면에서 공통의 동일한 요소를 지정하기 위해 가능한 동일한 참조번호를 사용하였다. 일실시예의 일부 요소들이 다른 실시예에 유용하게 통합될 수 있다고 생각된다.
반도체 프로세싱 설비용 원격 액세스 게이트웨이 제공 장치가 본 명세서에 개시된다. 유리하게도, 본 발명에 따른 장치는 비디오, 라이트 펜 및 원격 액세스 능력을 위한 인터페이스를 제공한다. 아울러, 본 발명에 따른 장치는 본 기술분야의 종래 기술보다 더 적은 전력을 소비하고 더 적은 열을 발생시키면서도, 대체되는 레거시 설비와 유사한 카드 풋프린트를 점유한다. 또한, 본 발명에 따른 장치는 레거시 비디오 및 라이트 펜 인터페이스의 거동과 통신을 시뮬레이션함으로써, 레거시 하드웨어가 본 장치로 대체될 때 시스템 제어기에 대한 소프트웨어 변경이 필요없게끔 한다. 비록 본 명세서에서 레거시 시스템과 연관하여 설명하였으나, 본 발명은 신규하게 제조된 시스템 및/또는 기존의 비 레거시(non-legacy) 설비에서도 역시 구현될 수 있다.
본 발명은 통상의 원격 액세스 솔루션과 호환성이 없는 인터페이스를 가진 수많은 프로세싱 시스템에 유리하게 이용될 수 있다. 예를 들어, 비표준 카드 인터페이스, 비디오 포맷, 비디오 커넥션, 사용자 입력 방법, 케이블, 모니터 및 입력 디바이스, 비디오 분배 하드웨어, 라이트 펜 또는 그 등가물, 오드(odd) 디스크 포맷, 주문제작형 작동 시스템, 그리고 제어, 인터페이스 및 접근성과 관련된 기타의 고유하고 독점적인 아이템들 중 하나 또는 그 이상으로 인하여, 본 기술분야의 종래 기술은 상기 프로세싱 시스템을 위한 원격 액세스 및 제어를 제공하는 인터페이스 솔루션을 제시하기에 부적합하다. 유리하게도, 본 발명의 적어도 일부 실시예는 교차 통신, 원격 접속, 각 디바이스에 대한 고유의 식별, 및 원격 수단에 의한 라이트 펜 레지스터와 로직의 직접 구동이 가능한 오퍼레이터 인터페이스 및 듀얼 비디오를 제공한다.
본 발명에 의해 제공된 부가 기능들간의 시너지 효과로 인하여 본 발명은 본 기술분야의 종래 기술에 비해 우수하고 신규하다. 필요한 라이트 펜 레지스터, 오프셋 칼리브레이션 및 커서 위치 레지스터가 디스플레이 로직 서브시스템에 관한 본 발명에 용이하게 내부적으로 액세스할 수 있다. 따라서, 카드 내부의 로컬 컴퓨터 서브시스템(원격 액세스) 모듈이 이 리소스들에 직접 액세스할 수 있다는 것은 매우 큰 장점이 된다. 컨버전 또는 백플레인 버스 상호작용이 없기 때문에, 프로세스가 통상의 장치에 비해 훨씬 더 빠를 뿐만 아니라 "무손실"(예를 들면, 외부 데이터 또는 신호 컨버전이 없음)이다. (규칙과 자격조건(rules and qualifications)으로) 로컬 또는 원격으로 오버레이와 휴먼 인터페이스 기능을 추가할 수 있는 능력은 사용자 또는 기계적인 위험(personnel or machinery hazards) 가능성을 감소시킨다. 적합한 프로세스 툴의 예로서, PRECISION 5000® 프로세싱 시스템, 200㎜ CENTURA® 및 ENDURA® 프로세싱 시스템, 및 일부 PRODUCER® 프로세싱 시스템이 포함될 수 있으며, 이들은 모두 캘리포니아주 산타 클라라에 소재한 어플라이드 머티어리얼사로부터 이용가능하다.
도 1은, 본 발명의 일부 실시예에 따른 원격 액세스 게이트웨이를 갖고, 200㎜ CENTURA® 프로세싱 시스템과 유사한, 예시적인 집적 반도체 기판 프로세싱 시스템(예를 들어, 클러스터 툴)(100)을 도시한 개략도이다. 도시한 바와 같이, 상기 시스템(100)은 진공밀봉 프로세싱 플랫폼(101), 입력/출력 모듈(102) 및 시스템 제어기(140)를 포함한다. 일반적으로, 상기 플랫폼(101)은 프로세싱 모듈(110,112,114,116)과, 적어도 하나의 로드락 챔버(로드락 챔버(121,122)가 도시됨)를 포함하며, 이들은 공통의 진공 기판 이송 챔버(128)에 접속되어 있다.
상기 로드락 챔버(121,122)는 주위의 오염물질로부터 상기 이송 챔버(128)를 보호한다. 상기 이송 챔버(128)는 기판 로봇(130)을 포함한다. 작동 중에, 상기 로봇(130)은 로드락 챔버와 프로세싱 모듈 간에 기판을 이송한다.
상기 입력/출력 모듈(102)은 적어도 하나의 기판 로봇(2개의 로봇(108,120)이 도시됨)과, 하나 또는 그 이상의 FOUP(전면 개방형 규격 포드)(FOUP(106,107)가 도시됨)를 수용하는 적어도 하나의 도킹 스테이션(docking station)을 포함한다. 일부 실시예에서, 상기 입력/출력 모듈(102)은 프로세싱되고 있는 기판상에 형성된 구조물의 임계치수를 측정하기에 적합한 계측 모듈(126)을 더 포함할 수 있다. 상기 로봇(108,120)은 프리(pre)-프로세싱 기판과 포스트(post)-프로세싱 기판을 FOUP(106), 측정 툴(104) 및 로드락 챔버(121,122)간에 이송한다. 도시된 실시예에서, 상기 계측 모듈(126)은 통과 모듈(pass-through module)로서 사용된다. 다른 실시예에서, 상기 계측 모듈(126)은 상기 입력/출력 모듈(102)의 주변 기기가 될 수 있다.
팩토리 인터페이스(124)는 일반적으로 대기압 인터페이스이고, FOUP(106,107)에 배치된 프리-프로세싱 기판과 포스트-프로세싱 기판을 가진 카세트를 반도체 제조공장의 제조 구역과 다양한 프로세싱 시스템간에 이송하기 위해 사용된다. 일반적으로, 상기 팩토리 인터페이스(124)는 기판 핸들링 디바이스(136)와 트랙(138)을 포함한다. 작동 중에, 상기 기판 핸들링 디바이스(136)는 트랙(138)을 따라 이동하여 상기 FOUP를 클러스터 툴 또는 다른 프로세싱 설비간에 운반한다.
상기 집적 프로세싱 시스템(100)의 모듈 및 장치에 시스템 제어기(140)가 접속되어 이들을 제어한다. 상기 시스템 제어기(140)는 상기 시스템(100)의 모듈 및 장치의 직접 제어를 이용하거나, 대안적으로 이들 모듈 및 장치와 연관된 컴퓨터(또는 제어기)를 제어함으로써, 상기 시스템(100)의 모든 작동 양태를 제어한다. 작동 중에, 상기 시스템 제어기(140)는 각 모듈(예를 들어, 계측 모듈(126))과 장치로부터 데이터 수집과 피드백을 가능하게 함으로써, 시스템(100)의 성능을 최적화한다.
일반적으로, 상기 시스템 제어기(140)는 중앙처리장치(CPU)(142), 메모리(144) 및 지원 회로(146)를 포함한다. 상기 CPU(142)는 산업환경에서 사용될 수 있는 범용 컴퓨터 프로세서의 임의의 한 형태일 수 있다. 상기 지원 회로(146)는 통상적으로 CPU(142)에 접속되며, 캐시, 클록, 회로, 입력/출력 서브시스템 및 파워 서플라이 등을 포함할 수 있다. 상기 CPU(142)에 의해 실행되었을 때, 소프트웨어 루틴들은 상기 CPU를 특수목적 컴퓨터(제어기)(140)로 변환시킨다. 상기 소프트웨어 루틴들은 또한 시스템(100)으로부터 원격에 위치한 제 2 제어기(미도시)에 의해 실행되거나 및/또는 저장될 수 있다.
상기 시스템 제어기(140)는 하나 또는 그 이상의 외부 인터페이스(150)에 더 접속된다. 일실시예에서, 상기 시스템 제어기(140)는 데이터 및 제어 버스 인터페이스를 통하여 통신하는 하나 또는 그 이상의 인터페이스 카드를 포함한다. 통상적으로, 인터페이스 카드는 외부 디바이스가 (도 2를 참조하여 이하에서 설명되는 데이터 및 제어 버스(202)와 같은) 데이터 및 제어 버스를 통하여 데이터를 액세스, 전송 및 수신하도록 하는 통로를 제공한다. 상기 원격 액세스 게이트웨이 인터페이스 카드(148)는 예를 들어, 단일 슬롯 내에 6U 폼 팩터를 점유하는 인터페이스 카드이며, 이는 데이터 및 제어 버스를 통한 시스템 제어기(140)로의 액세스를 외부 인터페이스(150)에 제공한다. 단일의 카드를 사용하면, 서브시스템을 다수의 카드로 분할하려는 본 기술분야의 종래 기술에 비해, 카드 슬롯 풋프린트, 전력 소비 및 비용이 감소되는 이점이 있다. 또한, 전력 소비의 감소는 순열(net heat) 감소를 가져온다. 일부 실시예에서, 상기 데이터 및 제어 버스가 VME 버스이면, 상기 원격 액세스 게이트웨이 인터페이스 카드(148)는 VME(Versa Module European) 인터페이스 카드일 수 있다.
외부 인터페이스(150)는 라이트 펜, 비디오 디스플레이, 키보드, 마우스, 원격 스토리지 디바이스, 컴퓨터 네트워크 및 고속 메시징 시스템(HSMS) 중 하나 또는 그 이상을 포함할 수 있다. 상기 원격 액세스 게이트웨이 인터페이스 카드(148)는 사용자가 시스템 제어기(140)로부터 멀리 떨어진 위치에서 상기 반도체 프로세싱 툴(101)에 명령을 입력하거나 그로부터 피드백을 수신할 수 있도록 한다. 따라서, 상기 원격 액세스 게이트웨이 인터페이스 카드(148)는, 통상의 외부 디바이스가 시스템 제어기 데이터 버스에 접속할 수 없어서(통상적으로, 상기 시스템 제어기 데이터 버스는 레거시 제어기 I/O 포트와 디스크 드라이브 버스의 특성으로 인하여 임의의 외부 디바이스가 내부 버스 및 메모리 데이터에 대한 액세스를 개시 또는 제어하도록 허용하지 않는다), 내부 데이터 및 제어 레지스터에 대한 액세스가 배제되었던 문제를 유리하게 극복한다. 유리하게도, 상기 원격 액세스 게이트웨이 인터페이스 카드(148)는 (시스템 제어기 데이터 버스에 접속할 수 있었다면 통상의 설비에서는 필요하였을) 데이터 업로드와 다운로드를 실행하기 위해 데이터 및 메모리에 자유롭게 액세스할 수 있는 버스 마스터로서 기능할 것에 대한 필요없이 그러한 원격 액세스와 제어를 더 제공한다. 이는 바람직한 것인데, 그 이유는 상기 설비가 버스 마스터로서 기능하게끔 하는 것은 시스템 데이터 손실 또는 손상과 명령 프로세싱 오류, 그로 인한 시스템 충돌을 쉽게 야기할 수 있고, 이는 웨이퍼 프로세싱 설비 자체의 치명적이고 잠재적인 위험 특성, 내부에 설치된 메커니즘들, 그리고 설비 내에서 매우 흔하게 사용되는 가연성, 독성, 부식성, 기형발생적이면서 인화성인 물질로 인하여 매우 파괴적이고 곤란하기 때문이다.
도 2는 데이터 및 제어 버스(202)에 접속된 상기 원격 액세스 게이트웨이 인터페이스 카드(148)의 블럭도이다. 상기 원격 액세스 게이트웨이 인터페이스 카드(148)는 2개의 프로세싱 서브시스템, 즉 디스플레이 로직 서브시스템(204)과 로컬 컴퓨터 서브시스템(206)을 포함한다. 각 서브시스템은 상기 데이터 및 제어 버스에 대한 액세스를 제공하는 브릿지(예를 들어, 제 1 브릿지(2221)와 제 2 브릿지(2222), 브릿지(222)라 통칭함)에 접속된다. 상기 원격 액세스 게이트웨이 인터페이스 카드(148)가 VME 카드인 실시예에서, 상기 브릿지(222)는 VME 브릿지일 수 있다. 일부 실시예에서, 상기 2개의 프로세싱 서브시스템들은 원격 액세스 게이트웨이 인터페이스 카드(148)상에 존재하는 하나 또는 그 이상의 프로그램가능한 시스템 또는 디바이스, 예를 들어, 현장 프로그래머블 게이트 어레이(FPGA) 내에 배치된 2개의 가상 컴퓨터로서 구현된다. FPGA를 통하여 상기 프로세싱 서브시스템들을 구현함으로써, 장치의 작동 수명이 연장될 수 있고, 특수한 하드웨어 또는 특정 프로세싱 환경에 더 이상 접속되지 않는다. 상기 브릿지(222)는 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템(206)과 호스트 시스템 제어기(CPU(142))간의 통신 뿐만 아니라, 상기 디스플레이 로직 시스템(204)과 호스트 시스템 제어기(CPU(142))간의 독립된 통신 경로를 고려한 것이다. 상기 원격 게이트웨이 인터페이스(148) 내에 포함된 2가지 기능은, 호스트 시스템 제어기(CPU(142))에 대하여 완벽하게 분리된 메모리 및 I/O 공간으로서 구현된다. 일부 실시예에서, 상기 2개의 브릿지(222)는 2개의 분리된 로직 경로처럼 보이는 단일의 게이트웨이(예를 들어, 단일의 브릿지)로 통합될 수 있다. 상기 2개의 브릿지(222)가 동일한 버스 커넥터를 점유하고, 버스 커넥터 상의 동일한 I/O 핀을 공유하기 때문에, 2개의 인터페이스중 오직 하나만 임의의 한 순간에 상기 데이터 및 제어 버스(202)를 통하여 통신할 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 원격 액세스 게이트웨이 인터페이스 카드(148)는 실리콘 ID와 같이 실사용자가 변형할 수 없는 고유한 식별자를 포함할 수 있다. 일부 실시예에서, 상기 실리콘 ID는 이더넷 또는 인터넷 통신이 진행 중일 때마다 특정 카드를 고유하게 식별하기 위한 목적의 논리적 식별자일 수 있다. 그렇지 않고, 모든 카드가 동일한 ID를 가질 경우, 통신 네트워크상의 메시지가 제대로 라우팅되지 않을 것이다. 일부 실시예에서, 상기 실리콘 ID는 보증 ID 이네이블러(warranty ID enabler) 및/또는 강력한 잠금기능과 패스워드를 가진 이네이블러일 수도 있다(예를 들어, 어느 한 카드의 패스코드는 다른 카드에 대해서 적용되지 않고, 따라서 라이센스 관리를 가능하게 한다. 이는 다른 네트워크 가능한 디바이스 및 NIC 상의 MacID와 유사하다.). 따라서, 상기 원격 액세스 게이트웨이 인터페이스 카드(148)는 원격 액세스 및 제어를 가능하게 하기 위해 요구되는 특수한 안전 및 규제 설비 및 프로토콜에 대한 적합성을 제공한다. 이러한 기준은 SEMI(반도체 설비 제조자 협회) 뿐만 아니라 그러한 설비를 작동하는 특정 회사와 그 작동이 이루어지는 지역 내에도 존재한다.
일부 실시예에서, 상기 원격 액세스 게이트웨이 인터페이스 카드(148)는 스위치 메카니즘(215)을 포함할 수 있다. 상기 스위치 메카니즘(215)은 키 락(key lock), 안전 스위치(guarded switch) 또는 원격 통신, 열람, 제어 및 데이터 전송을 제한, 허용 혹은 금지하는 다른 보안 메커니즘을 포함하여 이루어질 수 있다. 상기 스위치 메카니즘(215)은 하드웨어 또는 소프트웨어 메커니즘 중 어느 하나로 구현될 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 스위치 메카니즘은 시스템 메인프레임 및 서브컴포넌트 랙(예를 들어, 경고등 시스템)상에, 그들 부근에 또는 그들로부터 원격으로 장착될 수 있는 일련의 상태 표시줄(status light bar) 또는 (LED, 빛, LCD 등으로) 신호 변경가능한 신호체계를 더 포함하여 이루어질 수 있다. 이러한 상태 표시기들은 원격 액세스 기능이 사용불가능 상태인지, 사용가능하지만 비활성 상태인지, 또는 사용가능하면서 활성 상태인지를 로컬 사용자에게 표시할 수 있다. 일실시예에서, 상기 상태 표시기들은 인터페이스 카드와의 접속에 의해 구동되는 다수의 삼색 표시줄을 포함하여 이루어진다.
일부 실시예에서, 로컬 액세스 스위치가 꺼지면, 표시기는 녹색(또는 일부 다른 색)을 점등하거나, 경우에 따라서는 어떠한 색도 점등하지 않는다. 로컬 액세스 스위치는 켜졌지만 통신이 발생하지 않을 경우, 상기 상태 표시기는 예를 들면 청색을 점등할 수 있다. 활성 원격 제어가 이루어지는 경우, 상기 상태 표시기는 예를 들면 황색을 점등할 수 있고, 점멸할 수도 있다. 이러한 상태 표시기의 다른 실시예는 특수 목적으로 만들어진 신호체계 및 비디오 디스플레이 등을 포함할 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 디스플레이 로직 서브시스템(204)은 비디오 드라이버(208)용 인터페이스와 라이트 펜 인터페이스(210)를 제공할 수 있다. 상기 비디오 드라이버(208)는 비디오 인터페이스(220)에 추가로 출력한다. 상기 디스플레이 로직 서브시스템(204)은 비디오/라이트 펜/사용자 인터페이스 로직 카드(예를 들어, 레거시 인터페이스 카드)와 동일한 기능을 제공한다. 이러한 방식으로, 레거시 인터페이스 카드상의 디스플레이를 위한 데이터를 전송하도록 구성된 외부 시스템은 새로운 장치와의 인터페이싱을 위해 변경될 필요가 없다. 유리하게도, 상기 장치는 그의 노후화로 인해 점점 교체가 어렵게 되고, 교체 비용이 많이 소요되게 되는 레거시 인터페이스 카드를 완벽하게 대체할 수 있다.
상기 비디오 드라이버(208)로 출력될 데이터는 디스플레이 로직 서브시스템(204) 내에 저장된 비디오 메모리(224)에 포함된다. 일부 실시예에서, 상기 비디오 메모리(224)는 4 킬로바이트 메모리 블럭을 포함할 수 있는데, 이는 이후에 비디오 인터페이스(220)로 출력되도록 비디오 드라이버(208)에 의해 읽혀진다. 상기 비디오 인터페이스(220)는 디스플레이 디바이스를 포함한다. 상기 디스플레이 로직 서브시스템(204)은 이 메모리 블럭 내에 저장된 데이터를 변경함으로써 상기 비디오 드라이버(208)와 상호작용한다.
상기 디스플레이 로직 서브시스템(204)은 라이트 펜 인터페이스(210)를 또한 제공한다. 상기 라이트 펜 인터페이스(210)는 라이트 펜 디바이스의 위치를 추적하는 기능을 담당한다. 라이트 펜의 수직 및 수평 위치가 디스플레이 로직 서브시스템(204) 내에 제공된 한 쌍의 메모리 위치, 즉 라이트 펜 메모리(226)에 저장된다. 상기 디스플레이 로직 서브시스템(204)은 이들 메모리 위치에 액세스하여 라이트 펜 디바이스의 현재 위치를 결정한다. 일부 실시예에서, 상기 디스플레이 로직 서브시스템(204)은 예를 들어 상기 카드의 하위 후방 커넥터를 통해 라이트 펜 디바이스와 레거시 비디오 디스플레이를 위한 인터페이스를 제공할 수 있다.
상기 로컬 컴퓨터 서브시스템(206)은 로컬 비디오 디스플레이(212), 고속 메시징 서비스(HSMS) 인터페이스(213), 네트워크(214), 키보드와 마우스 인터페이스(216) 및 외부 스토리지 디바이스(218)를 위한 인터페이스를 제공할 수 있다. 일부 실시예에서, 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템(206)은 예를 들어 상기 인터페이스 카드의 상위 후방 커넥터를 통해 상술한 디바이스에 대한 액세스를 제공할 수 있다.
아울러, 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템(206)은, 비디오 드라이버(208)와 라이트 펜 인터페이스(210)에 관련된 데이터에 액세스하기 위해, 상기 디스플레이 로직 서브시스템(204)과 직접 상호작용할 수 있다. 상기 로컬 비디오 디스플레이(212)는 표준 VGA 디스플레이와 같은 임의의 비디오 인터페이스를 포함할 수 있다. 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템(206)은 로컬 비디오 디스플레이(212)로의 출력을 위해 디스플레이 로직 서브시스템(204) 내에 포함된 비디오 메모리(224)에 액세스할 수 있다. 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템(206)은 이후 로컬 비디오 디스플레이(212)로의 출력에 적합한 포맷으로 상기 데이터를 변환할 수 있다. 이러한 방식으로, 상기 시스템은 디스플레이 로직 서브시스템(204)과의 호환성이 필수적인 디스플레이에 더 이상 긴밀하게 접속되지 않는다. 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템(206)은 또한 비디오 메모리(224)에 기록할 수도 있으며, 이러한 방식으로 비디오 인터페이스(220)로의 출력에 영향을 준다. 또한, 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템은 라이트 펜 메모리(226)에 액세스할 수 있다. 라이트 펜 메모리(226)를 읽음으로써, 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템(206)은 라이트 펜 디바이스의 현재 위치에 액세스할 수 있다. 또한, 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템(206)은 라이트 펜 메모리(226) 내에 포함된 데이터를 변경하여, 라이트 펜 디바이스에 대한 물리적 액세스를 필요로 하지 않고 원격 인터페이스를 제공한다.
일부 실시예에서, 상기 로컬 비디오 디스플레이(212)는 디스플레이 로직 서브시스템(204)에 직접 접속되지 않는다. 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템(206)은 비디오 메모리(224) 내에 포함되지 않은 로컬 비디오 디스플레이(212)에 추가적인 데이터를 디스플레이할 수 있다. 예를 들어, 상기 로컬 비디오 디스플레이(212)는 시스템 제어기(140)와의 상호작용을 더 용이하게 하기 위해 "웹" 페이지 뒤에 패턴화된 인터페이스 스크린을 표시할 수 있으며, 또는 상기 디스플레이는 민감한 로컬 내부 시스템 제어기 데이터 버스와 하드웨어에 접속하거나, 이를 변경하는 일 없이 또는 그렇지 않아도 이를 교란하는 일 없이 시스템의 로컬 및 내부 데이터, 레지스터, 스토리지 미디어 및 디버깅 데이터를 나타내는 진단 데이터를 표시하도록 구성될 수 있다.
일 실시예에서, 상기 원격 액세스 게이트웨이 인터페이스 카드(148)는 로컬 컴퓨터 서브시스템(206)에 접속된 HSMS 인터페이스(213)를 더 포함한다. HSMS는 이더넷 케이블류로 송신되는 반도체 설비 통신 프로토콜(SECS-I)에 기반한 것으로 당업계에서 인정된 메시지 프로토콜이다. 상기 HSMS 인터페이스(213)는 이 프로토콜을 사용하는 디바이스에 입력과 출력을 제공한다. 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템(206)은 이러한 HSMS 통신들을 받아들여 데이터 및 제어 버스(202)를 통해 상기 통신들을 전파시킨다. 본 기술분야의 종래 기술에서는 HSMS 인터페이스를 가능하게 하는 별도의 카드 솔루션이 필요하였는데, 이는 빈 인터페이스 카드 슬롯이 없으면 시스템에 설치가 불가능하게끔 만들었다. 비디오 및 외부 인터페이싱을 위한 단일의 카드 솔루션을 제공함으로써, 상기 장치는, 고가이면서 지장을 주며 다소 불가능한 프로세스인 대형 카드 케이지를 설치할 필요없이, 빈 인터페이스 카드 슬롯이 없는 시스템을 HSMS 인터페이스로 유리하게 업그레이드할 수 있도록 한다.
일부 실시예에서, 상기 원격 액세스 게이트웨이 인터페이스 카드(148)는 로컬 컴퓨터 서브시스템(206)에 접속된 네트워크 인터페이스(214)를 더 포함할 수 있다. 상기 네트워크 인터페이스(214)는 시스템 제어기(140)와 상호작용하도록 하나 또는 그 이상의 원격 네트워크 컴퓨터를 위한 인터페이스를 제공한다. HSMS 인터페이스(213)와 마찬가지로, 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템(206)은 데이터 및 제어 버스로 네트워크 인터페이스(214)를 통해 수신된 명령을 해석하여 전송하는 기능을 담당한다. 일부 실시예에서, 상기 네트워크 인터페이스(214)는 통합된 루터/스위치를 통해 다중 IP 어드레스 이더넷 포트 접속성을 제공할 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 원격 액세스 게이트웨이 인터페이스 카드(148)는 키보드와 마우스 인터페이스(216)를 더 포함한다. 상기 키보드와 마우스 인터페이스(216)를 통해 수신된 명령은 이후 로컬 컴퓨터 서브시스템(206)으로 통신된다.
일부 실시예에서, 상기 원격 액세스 게이트웨이 인터페이스 카드(148)는 스토리지 인터페이스(218)를 더 포함한다. 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템(206)은 스토리지와 프로세싱을 위해 스토리지 인터페이스(218)에 데이터를 스트림 처리할 수 있다. 상기 스토리지 인터페이스(218)는 하드디스크, USB 플래쉬 드라이브, 테이프 드라이브 또는 기록 가능한(writable) CD 등과 같은 외부 데이터 스토리지에 적합한 임의의 미디어와의 인터페이스를 포함할 수 있다.
또한, 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템(206)은 하나 또는 그 이상의 브릿지(222)에 접속된다. 유리하게도, 상기 브릿지와의 접속으로 인하여, 상기 원격 액세스 게이트웨이 인터페이스 카드(148)는 버스 마스터로서 작동할 수 있고, 데이터 업로드와 다운로드를 실행하기 위해 데이터 및 메모리에 자유롭게 액세스할 수 있음과 아울러, 전체 메모리 공간을 완벽하게 어드레스할 수 있는 능력을 제공할 수 있다. 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템(206)을 통한 액세스를 제공함으로써, 외부 디바이스는 위와 같은 데이터 전송을 안전하게 실행할 수 있다. 본 기술분야의 종래 기술에서는, 외부 디바이스가 데이터 및 제어 버스에 직접 액세스를 시도할 경우, 시스템 데이터 손실, 데이터 손상, 및/또는 명령 프로세싱 오류를 쉽게 야기할 수 있었다. 그러한 오류는 전술한 바와 같이 매우 파괴적이고 곤란할 수 있는 시스템 충돌을 야기할 가능성이 있다. 일부 실시예에서, 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템(206)은 디스플레이 로직 서브시스템(204)과 동일한 브릿지(예를 들어, 브릿지(2221))에 접속될 수 있다. 유리하게도, 이 브릿지(2221)와의 접속으로 인하여, 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템(206)은 원격 액세스가 가능하도록 비디오 메모리(224) 및 라이트 펜 메모리(226)와 연관된 메모리에 직접 액세스할 수 있으며, 그에 따라 원격 열람을 위한 비디오 출력 데이터 수집이 용이해지고, 또한 원격 사용자가 라이트 펜 레지스터를 실제 툴에 있는 것처럼 제어할 수 있게 된다.
도 3은 로컬 컴퓨터 서브시스템(206)의 세부 블럭도이다. 일반적으로, 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템(206)은 중앙처리장치(CPU)(300), 메모리(304) 및 지원회로(302)를 포함한다. 상기 CPU(300)는 산업환경에서 사용될 수 있는 범용 컴퓨터 프로세서의 임의의 한 형태일 수 있다. 상기 지원 회로(302)는 캐시, 클록 회로, 입력/출력 서브시스템 및 파워 서플라이 등을 포함할 수 있다. 상기 메모리(304)는 RAM(random access memory), ROM(read only memory), 삭제가능한 스토리지, 광디스크 스토리지, 디스크 드라이브 스토리지 및 이들의 조합을 포함할 수 있다. 상기 메모리(304)는, 작동 시스템(306), 원격 액세스 소프트웨어(308) 및 인터넷 애플릿(304)을 포함하는 소정의 소프트웨어 루틴을 포함한다. 작동 중에, 상기 CPU(300)는 도스, 윈도우, 리눅스 또는 독점적인 작동 시스템과 같은 하나 또는 그 이상의 작동 시스템(306)을 실행하여, 로컬 컴퓨터 서브시스템(206)의 일반적인 이용과 기능을 제어한다. 일부 실시예에서, 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템(206)은, 특수한 아키텍처(architecture)용으로 설계된 소프트웨어가 비표준 작동 환경에서 작동할 수 있도록, 하나 또는 그 이상의 작동 시스템(306)의 실행 프로파일을 시뮬레이션할 수도 있다.
또한, 상기 메모리(304)는 원격 액세스 소프트웨어(308)를 포함한다. 상기 원격 액세스 소프트웨어(308)는 인터페이스를 제공하며, 이 인터페이스를 통해 사용자는 원격 터미널로부터 시스템 제어기(140)와 상호작용할 수 있다. 상기 원격 액세스 소프트웨어(308)는 HSMS 인터페이스(213), 네트워크 인터페이스(214) 및/또는 키보드와 마우스 인터페이스(216)로부터의 입력을 수용하도록 구성될 수 있다. 상기 원격 액세스 소프트웨어(308)는 상술된 외부 인터페이스(150)들 중 하나 또는 그 이상으로부터의 입력을 분석하고, 그에 따라 디스플레이 로직 서브시스템(204) 내의 그리고 데이터 및 제어 버스(202) 상의 데이터를 변경한다. 예를 들어, 상기 원격 액세스 소프트웨어(308)는 라이트 펜 명령 대신 키보드와 마우스 인터페이스(216)를 통한 마우스 입력을 수용하도록 구성될 수 있다. 상기 원격 액세스 소프트웨어(308)는 마우스로부터의 입력을 해석하고, 그에 따라 라이트 펜 메모리(226)를 변경한다. 이러한 방식으로, 디스플레이 로직 서브시스템(204)을 통해 입력된 명령이 해석됨으로써, 시스템 제어 소프트웨어에 어떠한 변경을 가할 필요없이 원격 사용자에 대한 시스템 액세스를 제공하는 것이 가능하다.
또한, 상기 원격 액세스 소프트웨어(308)는 인가되지 않은 시스템 액세스를 방지하는 액세스 제어 및 사용자 인증을 제공할 수 있다. 이러한 제어에는, 사용자가 원격으로 시스템에 액세스하고 있는 경우를 표시하는 경고등, 컴퓨팅 디바이스와 LAN(local area network)로의 그리고 이들로부터의 통신이 오류 발생시 자동으로 복구될 수 있도록 인터넷 또는 다른 네트워크에 대한 고장안전(fail-safe) 접속 스위칭, 또는 원격 통신 열람, 제어 및 데이터 전송을 제한, 허용 혹은 금지하는 다른 수단을 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 그러한 제어 수단에는 원격 액세스 게이트웨이 카드(148) 자체의 안전 스위치 또는 물리적인 락(lock)이 포함될 수 있다. 일부 실시예에서, 원격 접속이 릴레이 또는 다른 유사한 디바이스를 통해 라우팅됨으로써, 로컬 스위치가 꺼지거나 원격 액세스 접속을 지원하는 소프트웨어가 고장나면, 시스템 제어기에 대한 "정상" 접속이 자동으로 복구된다. 일부 실시예에서, 모든 하드웨어가 버스내의 단일 카드에 배치되므로, 카드 자체가 고장나면, 기본적으로 상기 정상 접속에 장애가 있을 것이다. 그러나, 릴레이는 로컬 키 스위치가 꺼질지라도 원격 기능을 위해 인터넷 액세스를 전적으로 차단하는 것이 요구될 수 있다.
일부 실시예에서, 상기 원격 액세스 소프트웨어(308)는 원격 사용자에 의해 원격 액세스, 제어 및 데이터 전송이 실행될 수 있도록 "웹" 인터페이스, 또는 시스템 제어기를 위한 다른 로컬 상주(locally resident) 소프트웨어 어플리케이션을 제공할 수 있다.
상기 메모리(304)는 인터넷 애플릿(310)을 더 포함할 수 있다. 상기 인터넷 애플릿(310)은 원격 컴퓨터상의 웹 브라우저로부터 실행되도록 설계된 프로그램이다. 상기 인터넷 애플릿(310)은 자바스크립트와 같이 웹에서 실행가능한 스크립트 언어로 코딩될 수 있다. 상기 인터넷 애플릿(310)은 표준 브라우저 인터페이스를 통해 원격 액세스 소프트웨어와의 인터페이싱을 위한 메카니즘을 제공한다.
하나의 특수한 비한정적 실시예에서, 아키텍처, 작동 시스템 및 기능셋(feature set)이 매우 특수한 물리적 능력과 컴퓨터 능력의 조합을 제공하는 컴퓨팅 디바이스를 포함하는 원격 액세스 게이트웨이 인터페이스 카드가 제공될 수 있으며, 그 능력은 하기된 사항들 중 적어도 일부를 포함하되 이에 한정되지 않는다.
1. 단일의 슬롯을 점유하는 VME 6U 카드 폼 펙터
2. 풀 버스 마스터 접속성 및 능력
3. 레거시 비디오 및 라이트 펜 접속성
4. 2개의 독립적이고 상호 배타적인 비디오 서브시스템
5. 하드웨어 및 소프트웨어로 구현되는 라이트 펜 인터페이스
6. 다중 IP 어드레스 이더넷 포트 접속성(통합형 라우터/스위치)
7. 도스, 윈도우, 리눅스 및 다른 OS(이를 테면, 어플라이드 머티어리얼사의 독점적인 OS)를 포함하지만, 이들에 한정되지는 않고, 이들 중 적어도 2가지가 통상적으로 동시에 사용되는, 복수의 작동 시스템을 허용하면서, 온보드 하드웨어를 작동시키기 위한 컴퓨팅 코어
8. 회전식 디스크 드라이브, 플래쉬 메모리 및 다른 형태의 비휘발성 메모리와 같은 통합형의 대형 스토리지 수단
9. 비슷한 능력을 가진 외부 디바이스들을 이용하여 동시 프로세싱과 원격 프로세싱이 가능하도록 하는 초고속 통신포트에 의한 확장 능력
10. 강화된 메모리 매핑 그래픽, 스크린 속성, 래스터 이미지에 대한 라이트 팬 동기화, 커서 생성을 포함하는 레거시 비디오 기능과, 레거시 툴, 그 부속기기 및 레거시 오퍼레이터 인터페이스 터미널과 같은 주변 하드웨어와 함께 사용하기에 고유하게 적합한 특수한 라인 드라이버 및 리시버 기능의 풀 에뮬레이션
11. 전체 VME 메모리 공간을 어드레스하고, 제어된 조건하에서 그 일부를 원격 위치에 또는 원격 위치로부터 전송하거나 수신하는 능력
12. 본 명세서에 개시된 컴퓨팅 디바이스와 이 디바이스가 설치된 기판 프로세싱 툴로부터 경우에 따라서는 멀리 떨어진, 사실상 전세계 모든 지역에서도 사용자가 원격 액세스, 제어 및 데이터 전송 기능을 실행하는 것을 가능하게 하는 ("웹"으로 알려진) 인터넷 기반 브라우저 또는 다른 로컬 상주 소프트웨어 어플리케이션
13. 본 명세서에 개시된 컴퓨팅 디바이스와 이 디바이스가 설치된 기판 프로세싱 툴로부터 경우에 따라서는 멀리 떨어진, 사실상 전세계 모든 지역에서도 사용자가 원격 액세스, 제어 및 데이터 전송 기능을 실행하는 것을 가능하게 하는, 원격 접속을 통하여 본원발명이 전송할 수 있는 ("웹"으로 알려진) 인터넷 브라우저 애플릿
13. 본 명세서에 개시된 컴퓨팅 디바이스와 이 디바이스가 설치된 기판 프로세싱 툴로부터 경우에 따라서는 멀리 떨어진, 사실상 전세계 모든 지역에서도 사용자가 원격 액세스, 제어 및 데이터 전송 기능을 실행하는 것을 가능하게 하는, 원격 접속을 통하여 본원발명이 전송할 수 있는 ("웹"으로 알려진) 인터넷 브라우저 애플릿
삭제
14. 컴퓨팅 디바이스와의 로컬 통신과 사설 통신이 가능한 외부 하드웨어 디바이스
15. 상기 컴퓨팅 디바이스가 원격 제어 기능일 때, 로컬 경고등 세트, 표시기(annunciators) 또는 다른 표시 디바이스를 드라이브하는 능력을 가지는 상기 12 항목에 개시한 디바이스
16.통신, 정보 디스플레이, 안전 인터페이스 및 경고, 및 보안 목적을 포함하지만 이에 한정되지 않는, 웨이퍼 프로세싱 툴에서 로컬 디스플레이로 반투명에서 불투명 범위의 비디오 오버레이(overlays)를 실행하는 능력을 가지는 상기 12 항목에 개시한 디바이스
17. 상기 컴퓨팅 디바이스 및 로컬 데이터 네트워크로의 그리고 이들로부터의 통신이 오류 발생시 자동으로 복구될 수 있도록 인터넷 또는 다른 데이터 통신 네트워크에 대한 고장안전 접속 스위칭 수단을 갖는 상기 12 항목에 개시한 디바이스
18. 키 락, 안전 스위치 또는 원격 통신, 열람, 제어 및 데이터 전송을 제한, 허용 혹은 금지하는 다른 보안 수단을 갖는 상기 12 항목에 개시한 디바이스
19. 실사용자에 의해 변경되거나, 우회될 수 없는 또는 그렇지 않아도 파괴될 수 없는 실리콘 ID 또는 다른 고유의 식별수단
도 4는 로컬 컴퓨터 서브시스템과 디스플레이 로직 서브시스템을 포함하여 이루어지는 원격 인터페이스 카드를 이용한 반도체 프로세싱 설비용 원격 액세스 게이트웨이 제공 방법(400)의 흐름도이다. 상기 방법(400)은, 입력 또는 출력 명령을 수신하기에 앞서서, 단계(402)에서 시작한다. 단계 404에서, 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템(206)은 반도체 프로세싱 설비에 접속된 원격 디바이스로부터의 입력 또는 그에 대한 출력을 수신한다. 이러한 입력 또는 출력에는 키보드/마우스 인터페이스(216)로부터 수신된 명령, 고속 메시징 서비스 인터페이스(213) 또는 네트워크 인터페이스(214)로부터의 메시지, 외부 스토리지 인터페이스(218)에 대한 기록(write out) 및 로컬 비디오 디스플레이(212)를 위한 새로운 디스플레이 등이 포함될 수 있다.
도 4는 로컬 컴퓨터 서브시스템과 디스플레이 로직 서브시스템을 포함하여 이루어지는 원격 인터페이스 카드를 이용한 반도체 프로세싱 설비용 원격 액세스 게이트웨이 제공 방법(400)의 흐름도이다. 상기 방법(400)은, 입력 또는 출력 명령을 수신하기에 앞서서, 단계(402)에서 시작한다. 단계 404에서, 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템(206)은 반도체 프로세싱 설비에 접속된 원격 디바이스로부터의 입력 또는 그에 대한 출력을 수신한다. 이러한 입력 또는 출력에는 키보드/마우스 인터페이스(216)로부터 수신된 명령, 고속 메시징 서비스 인터페이스(213) 또는 네트워크 인터페이스(214)로부터의 메시지, 외부 스토리지 인터페이스(218)에 대한 기록(write out) 및 로컬 비디오 디스플레이(212)를 위한 새로운 디스플레이 등이 포함될 수 있다.
삭제
단계 406에서, 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템(206)은 도 2 및 도 3을 참조하여 전술한 바와 같은 방법으로 디스플레이 로직 서브시스템(204)에 액세스함로써 입력 또는 출력 작동을 실행한다. 예를 들어, 마우스 입력이 수신되면, 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템(206)은 라이트 펜 메모리(226) 내의 레지스터를 조작하여 마우스 입력을 라이트 펜 입력으로 해석할 수 있다. 작동이 로컬 비디오 디스플레이(212)에 대한 출력이면, 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템(206)은 비디오 메모리(224)를 읽어 로컬 비디오 디스플레이(212)에 대한 출력을 위해 데이터를 프로세싱할 수 있다. 입력/출력 작동이 완료된 후, 상기 방법은 단계 408에서 종료된다.
따라서, 반도체 프로세싱 설비용 원격 액세스 게이트웨이 제공 장치 및 이의 방법이 제공되었다. 유리하게도, 본 발명에 따른 장치는 레거시 비디오 카드와 라이트 펜과 관련된 노후화 문제를 그들의 기능과 접속에 대한 풀 에뮬레이션을 제공함으로써 해소한다. 유리하게도, 본 발명에 따른 장치는 시스템 제어기에 대한 어떠한 소프트웨어 변경을 필요로 하지 않고 레거시 설비에 부가적인 기능을 제공한다.
이상 본 발명의 실시예와 관련하여 상술하였으나, 본 발명의 기본적인 범위를 벗어나지 않는 본 발명의 다른 그리고 추가 실시예가 고안될 수 있다.
Claims (20)
- 인터페이스 카드를 가지는 반도체 프로세싱 설비용 인터페이스 제공 장치로서,
상기 인터페이스 카드는,
데이타 및 제어 버스를 통하여, 라이트 펜과 하나 또는 그 이상의 비디오 및 정보 디스플레이에 인터페이스를 제공하기 위한 디스플레이 로직 서브시스템;
상기 디스플레이 로직 서브시스템에 접속되어 상기 데이타 및 제어 버스에 대한 액세스를 제공하기 위한 제 1 브릿지;
상기 제 1 브릿지와 상기 디스플레이 로직 서브시스템에 접속되고, 하나 또는 그 이상의 원격 디바이스에 대한 액세스를 제공하기 위한 로컬 컴퓨터 서브시스템; 및
상기 로컬 컴퓨터 서브시스템에 접속되어 상기 데이타 및 제어 버스에 대한 액세스를 제공하기 위한 제 2 브릿지를 포함하는,
반도체 프로세싱 설비용 인터페이스 제공 장치.
- 제 1 항에 있어서,
상기 하나 또는 그 이상의 비디오 및 정보 디스플레이에 비디오 출력을 제공하는 비디오 인터페이스; 및
상기 라이트 펜을 위한 입력 액세스를 제공하는 라이트 펜 인터페이스를 더 포함하고,
상기 비디오 인터페이스 및 상기 라이트 펜 인터페이스는 상기 디스플레이 로직 서브시스템에 접속되는,
반도체 프로세싱 설비용 인터페이스 제공 장치.
- 제 1 항에 있어서,
상기 하나 또는 그 이상의 원격 디바이스는,
상기 로컬 컴퓨터 서브시스템에 접속된 로컬 비디오 디스플레이, 고속 메시징 서비스 인터페이스, 네트워크 인터페이스, 보조 키보드와 마우스 인터페이스 및 외부 스토리지 인터페이스 중 하나 이상을 더 포함하는,
반도체 프로세싱 설비용 인터페이스 제공 장치.
- 제 1 항에 있어서,
상기 디스플레이 로직 서브시스템은,
라이트 펜 레지스터, 오프셋 칼리브레이션 및 커서 위치 중 하나 또는 그 이상에 대한 액세스를 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템에 제공하는 라이트 펜 메모리를 더 포함하는,
반도체 프로세싱 설비용 인터페이스 제공 장치.
- 제 1 항에 있어서,
상기 디스플레이 로직 서브시스템은,
비디오 디스플레이 데이타에 대한 액세스를 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템에 제공하는 비디오 메모리를 더 포함하는,
반도체 프로세싱 설비용 인터페이스 제공 장치.
- 제 5 항에 있어서,
상기 로컬 컴퓨터 서브시스템은 상기 비디오 디스플레이 데이타에 대한 오버레이와 추가적인 휴먼 인터페이스 기능을 제공하기 위해 비디오 포스트 프로세싱을 실행하는,
반도체 프로세싱 설비용 인터페이스 제공 장치.
- 제 1 항에 있어서,
상기 로컬 컴퓨터 서브시스템은,
원격 액세스, 제어 및 데이타 전송 기능을 가능하게 하는 웹 기반 브라우저 또는 다른 로컬 상주 소프트웨어 어플리케이션을 제공하는,
반도체 프로세싱 설비용 인터페이스 제공 장치.
- 제 1 항에 있어서,
상기 로컬 컴퓨터 서브시스템은,
네트워크 접속으로 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템에 액세스한 사용자에 의해 실행될 원격 액세스, 제어 및 데이타 전송 기능을 가능하게 하도록, 원격 디바이스 상에서 실행될 수 있는 애플릿을 제공하는,
반도체 프로세싱 설비용 인터페이스 제공 장치.
- 제 1 항에 있어서,
상기 로컬 컴퓨터 서브시스템에 접속되어 고장안전 및 로컬 컷오프 기능을 제공하기 위한 스위치 메카니즘을 더 포함하는,
반도체 프로세싱 설비용 인터페이스 제공 장치.
- 제 1 항에 있어서,
상기 데이타 및 제어 버스는 VME(Versa Module European) 버스인,
반도체 프로세싱 설비용 인터페이스 제공 장치.
- 제 1 항에 있어서,
원격 액세스 기능이 사용 불가능 상태, 사용 가능하지만 비활성 상태, 및 사용 가능하면서 활성 상태 중 하나 이상의 상태라는 것을 표시하기 위한 하나 또는 그 이상의 경고등을 더 포함하는,
반도체 프로세싱 설비용 인터페이스 제공 장치.
- 로컬 컴퓨터 서브시스템과 디스플레이 로직 서브시스템을 포함하는 인터페이스 카드를 가진 반도체 프로세싱 설비용 인터페이스 제공 방법으로서,
상기 로컬 컴퓨터 서브시스템을 이용하여 입력 및 출력 중 하나 이상을 프로세싱하는 단계; 및
상기 입력 및 출력 중 하나 이상을 실행하기 위해 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템을 이용하여 상기 디스플레이 로직 서브시스템에 액세스하는 단계를 포함하고,
상기 로컬 컴퓨터 서브시스템은 상기 반도체 프로세싱 설비와 하나 또는 그 이상의 원격 디바이스 간의 액세스를 제공하며,
상기 디스플레이 로직 서브시스템은 비디오 메모리와 라이트 펜 메모리를 포함하는,
반도체 프로세싱 설비용 인터페이스 제공 방법.
- 제 12 항에 있어서,
상기 하나 또는 그 이상의 원격 디바이스로부터 입력을 수신하는 단계를 더 포함하는,
반도체 프로세싱 설비용 인터페이스 제공 방법.
- 제 13 항에 있어서,
상기 하나 또는 그 이상의 원격 디바이스는 고속 메시징 서비스 인터페이스, 외부 스토리지 인터페이스, 키보드 인터페이스, 마우스 인터페이스 및 네트워크 인터페이스 중 하나 이상을 포함하는,
반도체 프로세싱 설비용 인터페이스 제공 방법.
- 제 12 항에 있어서,
상기 하나 또는 그 이상의 원격 디바이스에 출력을 제공하는 단계를 더 포함하는,
반도체 프로세싱 설비용 인터페이스 제공 방법.
- 제 15 항에 있어서,
상기 하나 또는 그 이상의 원격 디바이스는 고속 메시징 서비스 인터페이스, 외부 스토리지 인터페이스, 비디오 디스플레이 및 네트워크 인터페이스 중 하나 이상을 포함하는,
반도체 프로세싱 설비용 인터페이스 제공 방법.
- 제 12 항에 있어서,
상기 액세스하는 단계는, 상기 반도체 프로세싱 설비에 접속되는 시스템 제어기에 입력을 제공하도록 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템을 이용하여 상기 라이트 펜 메모리를 변경하는 단계를 더 포함하는,
반도체 프로세싱 설비용 인터페이스 제공 방법.
- 제 12 항에 있어서,
상기 액세스하는 단계는, 출력을 제공하도록 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템을 이용하여 상기 비디오 메모리를 읽는 단계를 더 포함하는,
반도체 프로세싱 설비용 인터페이스 제공 방법.
- 제 12 항에 있어서,
상기 반도체 프로세싱 설비에 대한 원격 액세스를 위하여 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템을 통해 웹 어플리케이션 인터페이스를 제공하는 단계를 더 포함하는,
반도체 프로세싱 설비용 인터페이스 제공 방법.
- VME(Versa Module European) 인터페이스 카드를 가지는 반도체 프로세싱 설비용 인터페이스 제공 장치로서,
VME 버스를 통하여 비디오 및 정보 디스플레이, 라이트 펜, 키보드, 컴퓨터 마우스, 및 경고등 네트워크와 알람을 포함하는 하나 또는 그 이상의 디바이스에 인터페이스를 제공하기 위한 디스플레이 로직 서브시스템으로서, 상기 디스플레이 로직 서브시스템은, 라이트 펜 레지스터, 오프셋 칼리브레이션 및 커서 위치 중 하나 또는 그 이상에 대한 액세스를 로컬 컴퓨터 서브시스템에 제공하는 라이트 펜 메모리를 포함하고, 비디오 디스플레이 데이타에 대한 액세스를 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템에 제공하는 비디오 메모리를 더 포함하는, 디스플레이 로직 서브시스템;
상기 디스플레이 로직 서브시스템에 접속되어 상기 VME 버스에 대한 액세스를 제공하기 위한 제 1 VME 브릿지;
상기 제 1 VME 브릿지와 상기 디스플레이 로직 서브시스템에 접속되는 로컬 컴퓨터 서브시스템으로서, 상기 로컬 컴퓨터 서브시스템은 하나 또는 그 이상의 원격 디바이스에 대한 액세스를 제공하며, 상기 하나 또는 그 이상의 원격 디바이스는 로컬 비디오 디스플레이, 고속 메시징 서비스 인터페이스, 네트워크 인터페이스, 보조 키보드와 마우스 인터페이스 및 외부 스토리지 인터페이스 중 하나 이상을 포함하는, 로컬 컴퓨터 서브시스템;
상기 로컬 컴퓨터 서브시스템에 접속되어 상기 VME 버스에 대한 액세스를 제공하기 위한 제 2 VME 브릿지;
상기 로컬 컴퓨터 서브시스템에 접속되어 고장안전 및 로컬 컷오프 기능을 제공하고, 하드웨어가 고장나는 경우, 원격 액세스를 자동으로 끊기 위한 스위치 메카니즘; 및
비디오 출력을 제공하는 비디오 인터페이스와, 상기 디스플레이 로직 서브시스템에 접속된 라이트 펜을 위한 입력 액세스를 제공하는 라이트 펜 인터페이스를 포함하는,
반도체 프로세싱 설비용 인터페이스 제공 장치.
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Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8135560B2 (en) | 2009-01-30 | 2012-03-13 | Applied Materials, Inc. | Sensor system for semiconductor manufacturing apparatus |
| WO2013025557A1 (en) | 2011-08-16 | 2013-02-21 | Plasmability, Llc | Crt light pen interface for flat panel displays |
| KR102077460B1 (ko) * | 2012-02-21 | 2020-02-14 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 레거시 하드웨어 및 소프트웨어를 위한 향상된 리호스팅 능력 |
| JP2014010857A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Hitachi-Lg Data Storage Inc | 光ディスク装置及びディスクマガジン |
| KR101548345B1 (ko) * | 2014-04-10 | 2015-09-01 | 피에스케이 주식회사 | 기판 처리 장치, 기판 처리 방법, 그리고 기록 매체 |
| US10067905B2 (en) | 2015-05-26 | 2018-09-04 | Plasmability, Llc | Digital interface for manufacturing equipment |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100808341B1 (ko) | 2000-04-28 | 2008-03-06 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 웨이퍼 제조 데이터 획득 및 관리 시스템 |
Family Cites Families (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6068703A (en) * | 1997-07-11 | 2000-05-30 | Applied Materials, Inc. | Gas mixing apparatus and method |
| BR9815131A (pt) * | 1997-12-02 | 2005-05-31 | Cash Technologies Inc | Rede de transação automatizada, terminal de transação automatizado e, processo para realizar uma transação com um de diversos provedores de serviços a partir de um terminal de transação automatizado |
| US6360685B1 (en) * | 1998-05-05 | 2002-03-26 | Applied Materials, Inc. | Sub-atmospheric chemical vapor deposition system with dopant bypass |
| KR100279941B1 (ko) | 1999-01-29 | 2001-01-15 | 정문술 | 반도체 제조공정 관리장치 및 방법 |
| US6345239B1 (en) * | 1999-08-31 | 2002-02-05 | Accenture Llp | Remote demonstration of business capabilities in an e-commerce environment |
| US6622286B1 (en) * | 2000-06-30 | 2003-09-16 | Lam Research Corporation | Integrated electronic hardware for wafer processing control and diagnostic |
| US6618628B1 (en) * | 2000-10-05 | 2003-09-09 | Karl A. Davlin | Distributed input/output control systems and methods |
| GB2385438A (en) * | 2002-02-19 | 2003-08-20 | Mitel Knowledge Corp | Remote programming of serialised semiconductor devices |
| US7306696B2 (en) * | 2002-11-01 | 2007-12-11 | Applied Materials, Inc. | Interferometric endpoint determination in a substrate etching process |
| KR100514104B1 (ko) | 2003-04-10 | 2005-09-09 | 한미반도체 주식회사 | 에스이시에스 컨트롤러 및 이를 이용한 반도체장비네트워킹 시스템 |
| JP4384093B2 (ja) * | 2004-09-03 | 2009-12-16 | 株式会社東芝 | プロセス状態管理システム、管理サーバ、プロセス状態管理方法及びプロセス状態管理用プログラム |
| KR20060064095A (ko) | 2004-12-08 | 2006-06-13 | 삼성전자주식회사 | 반도체 제조설비의 관리시스템 |
| US8821099B2 (en) * | 2005-07-11 | 2014-09-02 | Brooks Automation, Inc. | Load port module |
| JP2007052501A (ja) * | 2005-08-15 | 2007-03-01 | Canon Inc | 通信制御装置、通信制御方法、露光装置、並びにデバイス製造方法 |
| KR100719375B1 (ko) * | 2005-10-12 | 2007-05-17 | 삼성전자주식회사 | 반도체 설비의 페일오버 시스템 및 방법 |
| TWI330027B (en) * | 2006-07-17 | 2010-09-01 | Acer Inc | Remote data transmission system and method thereof |
| US8527080B2 (en) * | 2008-10-02 | 2013-09-03 | Applied Materials, Inc. | Method and system for managing process jobs in a semiconductor fabrication facility |
-
2009
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Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100808341B1 (ko) | 2000-04-28 | 2008-03-06 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 웨이퍼 제조 데이터 획득 및 관리 시스템 |
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