KR20070117312A - 발열수단을 가지는 트레이 및 이를 이용하는 기판처리장치 - Google Patents

발열수단을 가지는 트레이 및 이를 이용하는 기판처리장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 다수의 기판을 적재하여 이송하는 트레이에 있어서, 트레이몸체; 상기 트레이몸체에 설치되는 발열수단; 외부 전원이 연결되는 부분으로서, 상기 발열수단과 전기적으로 연결되는 전원연결부를 포함하는 트레이와 이를 이용하는 기판처리장치 및 기판처리시스템을 제공한다.
본 발명에 따르면, 트레이에 안치된 기판에 대한 열전달 효율이 높아지기 때문에 온도 균일성을 높여 막질을 개선할 수 있다. 또한 플레이트히터가 트레이에 설치되기 때문에 고장이 발생하더라도 간편하게 수리 또는 교체할 수 있다.
트레이, 기판처리장치, 태양전지

Description

발열수단을 가지는 트레이 및 이를 이용하는 기판처리장치{Tray having heating means and substrate processing apparatus using the same}
도 1은 종래 기판처리장치의 구성도
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 트레이의 평면도
도 3은 도 2의 측단면도
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판처리장치의 구성도
도 5는 전원연결부에 전원공급단자가 결합되는 모습을 나타낸 도면
도 6은 전원공급어셈블리가 챔버 측면부를 관통하여 설치된 모습을 나타낸 도면
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 로드락챔버의 구성도
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
10 : 기판처리장치 40 : 가이드레일
50 : 전원공급어셈블리 52 : 전원
54 : 단자구동부 56 : 전원공급단자
60 : 로드락챔버 100 : 트레이
110 : 트레이몸체 120 : 플레이트히터
122 : 코일 130 : 전원연결부
140 : 전원연결선
본 발명은 기판을 대량으로 처리하는 기판처리장치에서 기판안치수단으로 사용되는 트레이와 이를 이용하는 기판처리장치에 관한 것으로서, 구체적으로는 발열수단을 가지는 트레이와 기판처리장치에 관한 것이다.
화석자원의 고갈과 환경오염에 대처하기 위해 최근 태양력 등의 청정에너지에 대한 관심이 크게 고조되면서, 태양에너지를 전기에너지로 변환하는 태양전지에 대한 연구개발이 활력을 얻고 있다.
보통의 태양전지는 PN접합다이오드 형태로서, 태양에너지에 의해 여기된 소수캐리어가 PN 접합면을 가로질러 확산되고 이로 인해 PN접합 다이오드의 양단에서 발생하는 전압차에 의해 기전력을 발생시킨다.
따라서태양전지를 제조하기 위해서는 실리콘웨이퍼 등의 기판에 P형 또는 N형 반도체층, 반사방지막, 전극 등의 박막을 증착하는 공정과, 에너지 변환효율을 개선하는데 필요한 패턴을 형성하기 위해 증착된 박막을 식각하는 공정 등을 거쳐야 한다.
이러한 공정은 해당 공정을 위해 최적의 환경으로 설계된 챔버의 내부에서 진행되며, 도 1은 그 예로서 플라즈마를 이용하여 기판(s)에 박막을 증착하는 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 장치(10)의 개략적인 구성을 예시한 것이다.
이를 살펴보면, 일정한 반응공간을 형성하는 챔버(10)의 내부에 트레이안치대(12)가 설치되고, 트레이안치대(12)는 하부면 중앙부에 결합된 지지부(13)에 의해 지지된다.
트레이안치대(12)는 챔버 외부에서 반입된 트레이(30)가 놓여지는 곳으로서, 기판을 가열하기 위한 기판가열수단(예, 저항히터, 열선, 램프히터 등)(14)을 내부에 포함한다.
트레이(30)는 태양전지 제조용 기판처리장치에서 생산성을 높이기 위해 흔히 사용되는 기판운송수단으로서, 여러 개로 분할된 실리콘 웨이퍼(이하, 기판이라 함)가 상기 트레이(310)에 수십 내지 수백 개씩 적재된 상태에서 공정이 진행된다.
트레이안치대(12)의 상부에는 챔버 내부로 RF전력을 공급하는 플라즈마 전극(16)이 설치되고, 상기 플라즈마 전극(16)에는 RF전원(19)이 연결된다,
플라즈마 전극(16)과 RF전원(19)의 사이에는 임피던스를 정합하는 매칭회로(18)가 설치된다.
플라즈마 전극(16)의 하부에는 다수의 분사홀을 가지는 가스분배판(15)이 소정 간격 이격되어 설치되며, 플라즈마 전극(16)의 중앙부에는 가스공급관(17)이 관통하여 결합된다.
챔버(11)의 하부에는 잔류가스를 배기하는 배기구(20)가 설치된다.
이와 같은 구조의 PECVD장치(10)에서 가스공급관(17)을 통해 원료물질을 분사하고 플라즈마 전극(16)에 RF전력을 인가하면, 플라즈마 전극(16)과 접지된 트레이안치대(12) 사이에 형성되는 RF전기장에 의하여 가속된 전자가 중성기체와 충돌함으로써 이온 및 활성종의 혼합체인 플라즈마가 발생한다.
이렇게 생성된 이온 또는 활성종이 트레이(30)에 안치된 기판(s)에 입사하여 증착됨으로써 박막이 형성된다.
그런데 종래의 태양전지 제조용 기판처리장치는 다음과 같은 문제점을 안고 있다.
첫째, 기판가열수단(14)이 기판(s)을 직접 가열하는 것이 아니라 트레이(30)를 통해 열전달이 이루어지므로 열효율이 낮다.
둘째, 트레이(30)와 트레이안치대(12) 사이에 미세한 간극이 발생할 수 있기 때문에 이로 인해 온도편차가 발생하여 공정특성의 불균일을 초래할 수 있다.
셋째, 기판가열수단(14)에 고장이 발생하면 이를 수리하거나 교체하기 위해서는 챔버를 분해하여야 하므로 유지관리에 많은 시간과 비용이 소요된다.
넷째, 공정속도를 높이기 위해서는 기판처리장치(10)에 반입하기 전에 미리 기판(s)을 가열해 주어야 하므로, 기판처리장치(10)에 연결되는 로드락챔버에도 기판가열수단을 별도로 설치해야 하고 이 때문에 장치의 제작 비용이 증가할 수밖에 없다.
이러한 문제점은 태양전지 제조용 기판처리장치에만 국한되는 것은 아니고 트레이(30)를 이용하여 대량의 기판을 한꺼번에 처리하는 모든 종류의 기판처리장치에서 공통되는 것이다.
본 발명은 이러한 문제를 해결하기 위한 것으로서, 대량의 기판을 처리하는 기판처리장치에서 기판에 대한 가열효율과 온도 균일성을 높이는데 목적이 있다.
또한 고장발생시에도 간편하게 수리 또는 교체할 수 있는 기판가열수단을 제공하는데 목적이 있다.
또한 기판가열수단을 중복 설치할 필요가 없도록 하는데 목적이 있다.
본 발명은 상기 목적을 달성하기 위하여, 다수의 기판을 적재하여 이송하는 트레이에 있어서, 트레이몸체; 상기 트레이몸체에 설치되는 발열수단; 외부 전원이 연결되는 부분으로서, 상기 발열수단과 전기적으로 연결되는 전원연결부를 포함하는 트레이를 제공한다.
상기 발열수단은, 코일 상기 코일을 둘러싸는 절연재를 포함하는 평판형태의 플레이트히터일 수 있다.
상기 플레이트히터는 2개 이상 설치될 수 있으며, 이때 상기 각 플레이트히 터의 코일은 상기 트레이몸체의 내부에 설치되는 전원연결선에 의해 서로 연결될 수 있다.
상기 전원연결부는 상기 트레이몸체의 하면부 또는 측면부에 설치될 수 있다.
상기 트레이몸체는 하부몸체와 상부몸체로 구분되며, 상기 발열수단은 상기 하부몸체와 상부몸체의 사이에 설치될 수 있다. 이때 상기 하부몸체는 SUS재질이고, 상기 상부몸체는 SiC코팅된 그래파이트 재질일 수 있다.
상기 절연재는 세라믹 또는 카본 재질일 수 있다.
또한 본 발명은, 발열수단, 상기 발열수단에 전기적으로 연결되는 전원연결부를 구비하는 트레이에 다수의 기판을 안치한 채 상기 기판에 대한 공정을 진행하는 기판처리장치에 있어서, 일정한 반응공간을 형성하는 챔버; 상기 챔버의 내부에 설치되며, 상기 트레이가 놓여지는 트레이안치대; 상기 트레이안치대의 상부로 원료물질을 분사하는 가스공급수단; 상기 트레이의 전원연결부로 전원을 공급하는 전원공급어셈블리를 포함하는 기판처리장치를 제공한다.
상기 트레이안치대는 승강운동이 가능할 수 있다.
상기 트레이안치대의 주변부에는 상기 트레이를 이송하기 위한 인라인형 이송수단이 설치될 수 있다.
상기 인라인형 이송수단은 가이드레일 또는 롤러일 수 있다.
상기 전원공급어셈블리는, 전원 상기 전원과 전기적으로 연결되는 전원공급 단자; 상기 전원공급단자를 상기 트레이의 전원연결부에 결합 또는 분리시키기 위하여 상기 전원공급단자를 이동시키는 단자구동부를 포함할 수 있다.
상기 전원공급단자는 상기 트레이안치대를 상하로 관통하여 설치될 수 있다.
상기 트레이의 전원연결부는 상기 트레이의 측면부에 형성되고, 상기 전원공급단자는 상기 단자구동부에 의하여 수평방향으로 구동할 수 있다.
또한 본 발명은, 발열수단, 상기 발열수단에 전기적으로 연결되는 전원연결부를 구비하는 트레이에 다수의 기판을 안치된 채 공정을 진행하는 공정챔버; 상기 공정챔버의 내부로 상기 트레이를 반입하거나 상기 기판처리장치에서 상기 트레이를 반출하는 로드락챔버를 포함하는 기판처리장치에 있어서, 상기 공정챔버 및 상기 로드락챔버에는 상기 트레이의 전원연결부로 전원을 공급하는 전원공급어셈블리가 설치될 수 있다.
상기 전원공급어셈블리는, 전원 상기 전원과 전기적으로 연결되는 전원공급단자; 상기 전원공급단자를 상기 트레이의 전원연결부에 결합 또는 분리시키기 위하여 상기 전원공급단자를 이동시키는 단자구동부를 포함할 수 있다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 2 및 도 3은 각각 본 발명의 실시예에 따른 트레이(100)의 평면도 및 측 단면도이다.
본 발명의 실시예에서는 기판을 가열하기 위한 기판가열수단으로서 플레이트히터(120)를 이용하며, 이를 트레이(100)의 내부에 설치한 점에 특징이 있다.
즉, 트레이(100)는 트레이몸체(110)와 트레이몸체(110)의 내부에 설치되는 플레이트히터(120)를 포함한다.
트레이몸체(110)는 하부몸체(110a)와 상부몸체(110b)로 구분하여 제조하는 것이 바람직하며, 보다 바람직하게는 하부몸체(110a)는 SUS 재질로 제조하고, 상부몸체(110b)는 열전달율이 높은 재질, 예를 들어 SiC 코팅된 그래파이트(graphite) 재질로 제조한다.
플레이트히터(120)는 세라믹, 카본 등의 절연재 내부에 발열을 위한 코일(122)을 설치하여 제조되며, 하부몸체(110a)와 상부몸체(110b)의 사이에 위치하는 것이 바람직하다.
트레이몸체(110)에 하나의 플레이트히터(120)만을 설치할 수도 있지만, 도 2에 도시된 바와 같이 작은 크기의 플레이트히터(120)를 여러 개 설치하는 것이 보다 바람직하다.
이것은 첫째, 대면적의 플레이트히터를 제작하는 것보다 작은 크기의 플레이트히터를 제작하는 것이 불량률을 낮추고 제작속도를 높일 수 있어 대량생산에 유리하기 때문이고, 둘째, 플레이트히터가 너무 커지면 열에 의한 변형이 발생하여 기판의 온도 균일성이 악화될 위험이 높아지기 때문이다.
물론 플레이트히터(120)의 개수가 도시된 것처럼 4개로 한정되거나 그 형상 이 사각형에 한정되는 것은 아니므로, 트레이(100)의 크기나 형상에 따라 플레이트히터(120)의 개수나 형상이 달라질 수도 있다.
한편, 트레이(100)에 설치된 플레이트히터(120)가 발열하기 위해서는 외부의 전원과 코일(122)이 연결될 수 있어야 한다. 따라서 트레이몸체(110)에는 상기 플레이트히터(120)의 코일(122)과 전기적으로 연결되는 전원연결부(130)를 설치한다.
전원연결부(130)는 후술하는 전원공급어셈블리의 전원공급단자가 결합하여 전원을 공급받는 부분이며, 트레이몸체(110)에 내삽되는 포트형태인 것이 바람직하지만 그 형상을 특별히 제한할 필요는 없다.
전원연결부(130)의 위치는 도시된 것처럼 트레이몸체(110)의 하면부에 한정되는 것은 아니며 측면부에 형성될 수도 있다. 어떤 위치에 형성되든지 간에 플레이트히터(120)의 코일(122)과 전기적으로 연결되어야 한다.
플레이트히터(120)가 2개 이상인 경우에는 모든 플레이트히터(120)에 전원을 공급하여야 한다.
이를 위해 각 플레이트히터(120)와 일대일로 대응하는 다수의 전원연결부(130)를 설치할 수도 있다. 그러나 이 경우에는 설비가 매우 복잡해진다.
따라서 트레이몸체(110)에는 전원연결부(130)를 하나만 설치하고, 트레이몸체(110)의 내부에서 각 플레이트히터(120)의 코일(122)을 서로 전기적으로 연결하는 것이 보다 바람직하다.
이때 각 플레이트히터(120)의 코일(122)을 서로 연결하기 위해서는 트레이몸체(110)의 내부에 각 코일(122)을 연결하는 전원연결선(140)을 설치하여야 하며, 상기 전원연결선(140)과 트레이몸체(110)를 전기적으로 절연시키기 위하여 각 전원연결선(140)의 주위에는 절연커버(미도시)를 설치하는 것이 바람직하다.
도 4는 전술한 트레이(100)를 수용하여 기판(s)에 대한 공정을 수행하는 PECVD장치(10)의 단면 구성도로서, 종래와 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 도면부호를 사용하였다. 이하에서는 중복을 피하기 위해 종래와 차별되는 부분을 중점적으로 설명한다.
상기 PECVD장치(10)는 챔버(11) 내부에 트레이안치대(12)가 설치되고, 트레이안치대(12)의 상부에 가스분배판(15)과 플라즈마 전극(16)이 설치되는 점은 종래와 동일하다.
본 발명의 실시예에서는 트레이(100)가 놓여지는 트레이안치대(12)에 기판가열수단을 설치하지 않으며, 트레이안치대(12)는 공정이 진행되는 동안 트레이(100)를 지지하는 역할만을 한다.
다만 공정 균일도나 공정 특성에 따라서 트레이(100)를 승강시킬 필요가 있으므로 본 발명에서는 트레이안치대(12)를 지지하는 지지대(13)를 구동수단을 이용하여 승강시킬 수 있도록 한다.
또한 트레이안치대(12)는 상부에 위치하는 플라즈마 전극(16)의 대향전극의 역할을 하므로 접지시키는 것이 바람직하다.
본 발명의 실시예에서는, 트레이(100)를 인라인 방식으로 이송하기 위해 챔버(11)의 내부에 가이드레일(40)을 설치한다. 따라서 트레이(100)는 가이드레일(40)의 구동에 의하여 챔버(11) 내부로 반입되거나 챔버(11)로부터 반출된다.
이와 같이 챔버(11) 내부에 가이드레일(40)을 설치하면, 챔버(11)의 외부에도 상기 가이드레일(40)과 연계하는 인라인형 이송수단을 설치하여야 한다.
일반적으로 기판처리장치(10)는 기판의 교환을 위해 대기압상태와 진공상태를 반복하는 로드락챔버와 연결되는 경우가 많다. 따라서 로드락챔버의 내부에도 인라인형 이송수단을 설치하여 트레이(100)의 반입과 반출을 인라인 방식으로 진행하는 것이 바람직하다.
인라인형 이송수단은 가이드레일(40)에 한정되는 것은 아니어서, 롤러 등과 같이 다른 이송수단이 이용될 수도 있다.
인라인형 이송수단 대신에 반도체나 LCD 등의 제조장치에서 흔히 사용하는 이송로봇을 이용하여 트레이(100)를 챔버(11) 내부로 반입하거나 챔버(11)로부터 반출시키는 것도 가능하다.
한편, 본 발명의 실시예에서 이용되는 트레이(100)는 내부에 플레이트히터(120)를 구비하므로 트레이안치대(12)에 트레이(100)가 놓여지면 외부에서 상기 플레이트히터(120)에 전원을 공급해주어야 한다.
본 발명에서는 이를 위해 기판처리장치(10)에 트레이안치대(12)를 관통하는 전원공급어셈블리(50)를 설치하였다.
상기 전원공급어셈블리(50)는 전원(52)과, 상기 트레이안치대(12)를 관통하여 설치되며 상기 전원(52)와 전기적으로 연결되는 전원공급단자(56)와, 상기 전원공급단자(56)를 승강시키는 단자구동부(54)를 포함한다.
상기 단자구동부(54)는 구동모터와 상기 구동모터의 구동력을 전원공급단자(56)로 전달하는 동력전달부재 등으로 구성될 수 있다. 구동모터는 장치의 제어부에 의하여 자동으로 작동할 수도 있고 작업자가 스위치를 조작하여 수동으로 작동시킬 수도 있다.
따라서 트레이(100)가 반입되어 트레이안치대(12)에 놓여지면 단자구동부(54)가 전원공급단자(56)를 상승시켜 도 5에 도시된 바와 같이 전원공급단자(56)를 트레이(100)의 전원연결부(130)에 결합시키고, 공정을 마치고 트레이(100)를 반출하기 직전에는 단자구동부(54)가 전원공급단자(56)를 하강시켜 트레이(100)의 전원연결부(130)에서 분리시킨다.
전원공급단자(56)는 트레이의 전원연결부(130)와 연결되는 부분이므로 전원연결부(130)의 형태에 대응하여 그 단부의 형상이 정해진다.
도 4 및 도 5에서는 전원공급단자(56)가 트레이안치대(12)의 하부에서 상부로 관통하여 상기 트레이(100)의 전원연결부(130)에 연결되는 것으로 도시하였으나 전원공급단자(56)의 결합 방향이 이에 한정되는 것은 아니다.
즉, 도 6에 도시된 바와 같이, 트레이몸체(110)의 측면부에 전원연결부(130)를 형성하고, 상기 전원연결부(130)에 결합하는 전원공급단자(56)가 수평방 향으로 이동할 수 있도록 전원공급어셈블리(50)를 구성할 수도 있다.
이하에서는 이러한 기판처리장치(10)에서 공정이 진행되는 과정을 도 4를 참조하여 설명하기로 한다.
먼저 수십 내지 수백 개의 기판(s)을 적재한 트레이(100)가 미도시된 출입구를 통해 기판처리장치(10)의 내부로 진입하여 트레이안치대(12)에 놓여진다.
이때 챔버 내부에 설치된 가이드레일(40)이 구동하여 트레이(100)를 인라인 방식으로 이송한다.
트레이(100)가 트레이안치대(12)의 상부에 도착하면, 도착위치에서 공정을 진행할 수도 있으나, 트레이안치대(12)를 상승시켜 트레이(100)와 접지된 트레이안치대(12)를 밀착시키는 것이 보다 바람직하다.
트레이(100)가 정해진 위치에 도달하면, 전원공급어셈블리(50)의 전원공급단자(56)가 상승하여 트레이(100)의 전원연결부(130)에 결합된다.
이어서 진공배기를 통해 챔버 내부의 압력을 조절한 다음, 플라즈마 전극(16)에 RF전력을 인가하여 챔버 내부에 RF전기장을 발생시킨다.
이 상태에서 가스분배판(15)을 통해 원료물질을 분사하면 트레이(100)의 상부에 플라즈마가 발생하며, 플라즈마 속의 활성종 또는 이온이 기판으로 입사하여 박막을 증착하게 된다.
공정을 마친 이후에는 전원공급단자(56)를 하강시킨다. 이어서 트레이안치대(12)를 하강시키면 트레이(100)가 가이드레일(40)에 놓여지면서 트레이안치 대(12)로부터 분리된다. 이어서 가이드레일(40)이 구동하여 미도시된 기판출입구를 통해 트레이(100)를 반출한다.
이상에서는 PECVD장치의 경우를 예를 들었으나, 플라즈마를 이용하지 않는 일반적인 CVD장치에서도 기판을 가열할 필요가 있으므로 전술한 바와 같이 플레이트히터(120)가 내장된 트레이(100)를 이용할 수 있다.
또한 증착된 박막을 식각하는 장치에서도 본 발명의 실시예에 따른 트레이(100)를 이용할 수 있다.
한편 공정속도의 향상을 위해서는 본 발명의 실시예에 따른 트레이(100)는 기판처리장치(10)에 진입하기 전에 적절히 예열되어야 한다. 따라서 만일 기판처리장치(10)의 측면부에 대기압 또는 진공상태를 반복하는 로드락챔버가 연결되어 있는 경우에는 상기 로드락챔버에서 이러한 예열과정이 진행되어야 한다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 로드락챔버(60)의 구성을 나타낸 도면으로서, 트레이(100)의 전원연결부(130)에 전원을 공급하는 전원공급어셈블리(50)가 설치된 점에 특징이 있다.
이를 통해 기판처리장치(10)의 내부로 반입하기 전에 트레이(100)를 예열하는 것이 가능해진다.
이와 같이 전원공급단자를 트레이(100)의 전원연결부에 선택적으로 결합 또는 분리시킬 수 있는 전원공급어셈블리(50)를 설치하면, 로드락챔버(60)의 내부에 트레이 가열을 위한 트레이안치대를 설치할 필요가 없어져 챔버의 제조가 간편해지는 장점이 있다.
로드락챔버(60)는 일정한 공간을 형성하는 챔버(61), 상기 챔버(61)의 내부에 설치되어 트레이(100)를 운송하는 가이드레일(62), 그리고 전원공급어셈블리(50)를 포함한다.
또한 로드락챔버(60)는 대기압 상태의 외부공간과 진공상태의 기판처리장치(10)의 사이에서 트레이(100)와 기판(s)을 교환하는 역할을 하므로 상기 챔버(11)에는 내부압력을 대기압 상태로 전환하기 위한 가압 벤팅라인(63)과 진공압력으로 전환하기 위한 진공펌핑라인(64)이 각각 연결된다.
이를 이용하여 외부에서 트레이(100)를 반입할 때는 로드락챔버(60)의 내부를 대기압상태로 전환하고, 기판처리장치(10)의 내부로 트레이를 반입할 때는 내부를 진공상태로 전환한다.
본 발명에 따르면, 트레이에 안치된 기판에 대한 열전달 효율이 높아지기 때문에 온도 균일성을 높여 막질을 개선할 수 있다.
또한 플레이트히터가 트레이에 설치되기 때문에 고장이 발생하더라도 간편하게 수리 또는 교체할 수 있다.
또한 공정챔버나 로드락챔버 등에 플레이트히터를 중복 설치할 필요가 없고, 단지 트레이의 플레이트히터에 전원을 공급해주는 전원공급어셈블리만 설치하 면 되기 때문에 기판처리장치의 제작비용을 크게 낮출 수 있다.

Claims (17)

  1. 다수의 기판을 적재하여 이송하는 트레이에 있어서,
    트레이몸체;
    상기 트레이몸체에 설치되는 발열수단;
    외부 전원이 연결되는 부분으로서, 상기 발열수단과 전기적으로 연결되는 전원연결부;
    를 포함하는 트레이
  2. 제1항에 있어서,
    상기 발열수단은,
    코일;
    상기 코일을 둘러싸는 절연재;
    를 포함하는 평판형태의 플레이트히터인 것을 특징으로 하는 트레이
  3. 제2항에 있어서,
    상기 플레이트히터는 2개 이상 설치되는 것을 특징으로 하는 트레이
  4. 제3항에 있어서,
    상기 각 플레이트히터의 코일은 상기 트레이몸체의 내부에 설치되는 전원연결선에 의해 서로 연결되는 트레이
  5. 제2항에 있어서,
    상기 전원연결부는 상기 트레이몸체의 하면부 또는 측면부에 설치되는 것을 특징으로 하는 트레이
  6. 제1항에 있어서,
    상기 트레이몸체는 하부몸체와 상부몸체로 구분되며, 상기 발열수단은 상기 하부몸체와 상부몸체의 사이에 설치되는 트레이
  7. 제6항에 있어서,
    상기 하부몸체는 SUS재질이고, 상기 상부몸체는 SiC 코팅된 그래파이트 재질인 것을 특징으로 하는 트레이
  8. 제2항에 있어서,
    상기 절연재는 세라믹 또는 카본 재질인 것을 특징으로 하는 트레이
  9. 발열수단, 상기 발열수단에 전기적으로 연결되는 전원연결부를 구비하는 트레이에 다수의 기판을 안치한 채 상기 기판에 대한 공정을 진행하는 기판처리장치에 있어서,
    일정한 반응공간을 형성하는 챔버;
    상기 챔버의 내부에 설치되며, 상기 트레이가 놓여지는 트레이안치대;
    상기 트레이안치대의 상부로 원료물질을 분사하는 가스공급수단;
    상기 트레이의 전원연결부로 전원을 공급하는 전원공급어셈블리;
    를 포함하는 기판처리장치
  10. 제9항에 있어서,
    상기 트레이안치대는 승강운동이 가능한 것을 특징으로 하는 기판처리장치
  11. 제9항에 있어서,
    상기 트레이안치대의 주변부에는 상기 트레이를 이송하기 위한 인라인형 이송수단이 설치되는 기판처리장치
  12. 제11항에 있어서,
    상기 인라인형 이송수단은 가이드레일 또는 롤러인 것을 특징으로 하는 기판처리장치
  13. 제9항에 있어서,
    상기 전원공급어셈블리는,
    전원;
    상기 전원과 전기적으로 연결되는 전원공급단자;
    상기 전원공급단자를 상기 트레이의 전원연결부에 결합 또는 분리시키기 위하여 상기 전원공급단자를 이동시키는 단자구동부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치
  14. 제13항에 있어서,
    상기 전원공급단자는 상기 트레이안치대를 상하로 관통하여 설치되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치
  15. 제13항에 있어서,
    상기 트레이의 전원연결부는 상기 트레이의 측면부에 형성되고,
    상기 전원공급단자는 상기 단자구동부에 의하여 수평방향으로 구동하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치
  16. 발열수단, 상기 발열수단에 전기적으로 연결되는 전원연결부를 구비하는 트레이에 다수의 기판을 안치된 채 공정을 진행하는 공정챔버;
    상기 공정챔버의 내부로 상기 트레이를 반입하거나 상기 기판처리장치에서 상기 트레이를 반출하는 로드락챔버;
    를 포함하는 기판처리장치에 있어서,
    상기 공정챔버 및 상기 로드락챔버에는 상기 트레이의 전원연결부로 전원을 공급하는 전원공급어셈블리가 설치되는 것을 특징으로 하는 기판처리장치
  17. 제16항에 있어서,
    상기 전원공급어셈블리는,
    전원;
    상기 전원과 전기적으로 연결되는 전원공급단자;
    상기 전원공급단자를 상기 트레이의 전원연결부에 결합 또는 분리시키기 위하여 상기 전원공급단자를 이동시키는 단자구동부;
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치
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