KR20160011201A - 적층 시스템을 위한 압력-감지 롤러 - Google Patents

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동 철 정
학 수 정
도 륜 김
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애플 인크.
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Abstract

전자 디바이스 디스플레이를 위한 디스플레이 층들을 함께 부착하기 위한 조립 시스템이 제공될 수 있다. 시스템은 조립 동작 동안 디스플레이 층들로부터 잔사를 제거하기 위한 하나 이상의 압력-감지 세척 롤러들(124)을 포함하는 기판 세척 장비를 포함할 수 있다. 압력-감지 세척 롤러(124)는 점착성 표면을 갖는 원통형 롤러 부재, 및 세척 동작 동안 디스플레이 층들에 인가되는 압력을 감지하도록 구성된 하나 이상의 압력 센서들(136)을 포함할 수 있다. 세척 롤러들(124)의 위치 및 배향은 압력 센서들을 이용하여 수집된 압력 데이터에 기초하여 세척 동작 전에 또는 세척 동작 동안에 조정될 수 있다. 압력 센서들(136)은 원통형 롤러 부재의 점착성 표면에 부착되거나, 롤러 부재의 에지에 부착되거나, 롤러 부재 내에 매립되거나, 또는 롤러 부재와 함께 이동하는 다른 장비에 부착될 수 있다.

Description

적층 시스템을 위한 압력-감지 롤러{PRESSURE-SENSING ROLLERS FOR LAMINATION SYSTEMS}
본 발명은 일반적으로 조립 시스템에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 디스플레이를 갖는 전자 디바이스를 위한 조립 시스템에 관한 것이다.
휴대형 컴퓨터 및 셀룰러 전화기와 같은 전자 디바이스에는 종종 디스플레이가 제공된다. 디스플레이는 디스플레이 및 내부 구성요소들을 보호하기 위한 커버 유리 층, 사용자로부터의 터치 입력을 수집하기 위한 터치 스크린 패널, 및 디스플레이 이미지들을 생성하는 액정 디스플레이(LCD) 구조물들의 스택과 같은 다수의 디스플레이 층들로부터 형성된다. 디스플레이 층들은 일반적으로 접착제를 사용하여 함께 적층된다.
적층 전에, 디스플레이 기판들이 기판들로부터 잔사(debris)를 제거하기 위해 세척 시스템을 통과하게 된다. 이러한 유형의 세척 시스템들은 종종, 기판의 표면을 가로질러 롤링하고 기판으로부터 잔사를 수집하는 세척 롤러들을 포함한다.
주의하지 않으면, 세척 롤러로부터의 과도한 압력이 세척 동작 동안 감응성 디스플레이 구성요소들을 손상시킬 수 있다. 이러한 유형의 손상은 디스플레이 기판들을 수리해야 하거나 폐기해야 하도록 하여, 바람직스럽지 않게 비용을 증가시키고 디스플레이 조립 동작의 효율성을 감소시킬 수 있다.
따라서, 향상된 조립 시스템을 디스플레이를 갖는 전자 디바이스에 제공할 수 있는 것이 바람직할 것이다.
전자 디바이스 디스플레이들을 조립하기 위한 조립 시스템이 제공될 수 있다. 조립 시스템은 구조물들을 함께 적층하기 위한 적층 장비, 및 적층 전에 보호 필름들을 제거하고 그리고/또는 구조물들로부터 잔사를 제거하기 위한 세척 장비와 같은 전처리 장비를 포함할 수 있다. 구조물들은 전자 디바이스 디스플레이를 위한 디스플레이 층들 또는 디스플레이 기판들, 예컨대 투과성 커버 층, 터치-감응 층, 및 액정 디스플레이 셀일 수 있다. 광학적으로 투명한 접착제(optically clear adhesive)의 시트와 같은 접착제 시트들이 기판들을 함께 적층하도록 사용될 수 있다. 광학적으로 투명한 접착제는 광학적으로 투명한 자외선-광-경화성 접착제일 수 있다.
전처리 장비는 적층 전에 구조물들로부터 잔사를 제거하는 세척 롤러들을 포함할 수 있다. 디스플레이 기판과 같은 구조물이 세척 동작 동안 두 개 이상의 세척 롤러들 사이에서 롤링될 수 있다. 세척 동작 동안 기판 상의 감응성 전자 구성요소들에 대한 잠재적 손상을 최소화하기 위해서, 세척 롤러들 중 하나 이상에는 롤러들이 기판에 대해 가압되게 하는 압력을 모니터링하는 압력 센서들이 제공될 수 있다. 압력 센서들은 세척 롤러에 장착되거나, 세척 롤러 내에 매립되거나, 또는 세척 롤러용의 작동 장비에 장착될 수 있다.
롤러들에 결합되는 컴퓨터-제어식 위치설정 장비와 같은 작동 장비는 세척 동작 동안 압력 센서들로부터 연속적으로 수집되는 압력 데이터에 기초하여 세척 롤러들의 위치 및 기울기(tilt)를 능동적으로 조정할 수 있다.
본 발명의 추가의 특징, 그의 특성 및 다양한 이점이 첨부 도면 및 바람직한 실시예의 하기의 상세한 설명으로부터 더 명백하게 될 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른, 디스플레이를 갖는 예시적인 전자 디바이스의 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 예시적인 디스플레이의 측단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른, 예시적인 디스플레이 층들 및 백라이트 구조물들의 측단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른, 적층 장비 및 전처리 장비를 갖는 예시적인 조립 시스템의 다이어그램이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른, 도 4에 도시된 유형의 조립 시스템의 예시적인 전처리 장비의 다이어그램이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른, 압력 센서들을 갖는 세척 롤러들 사이를 기판이 통과할 수 있는 방법을 도시하는 예시적인 전처리 장비의 다이어그램이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른, 압력 센서들을 갖는 세척 롤러의 위치 및 배향을 조정할 수 있는 방법을 도시하는 예시적인 전처리 장비의 다이어그램이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 예시적인 압력-감지 세척 롤러의 사시도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른, 세척될 기판의 각 측면 상에 전사 롤러 및 다수의 세척 롤러들을 갖는 예시적인 전처리 장비의 다이어그램이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른, 세척 롤러용의 압력 센서들이 세척 롤러들을 위한 작동 장비에 장착될 수 있는 방법을 도시하는 예시적인 전처리 장비의 다이어그램이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른, 압력-감지 세척 롤러들을 이용하여 디스플레이 기판들을 세척하는 데 수반되는 예시적인 단계들의 플로우 챠트이다.
전자 디바이스는 디스플레이를 포함할 수 있다. 디스플레이는 사용자에게 이미지를 표시하도록 사용될 수 있다. 디스플레이가 제공될 수 있는 예시적인 전자 디바이스가 도 1에 도시되어 있다.
도 1에 도시된 바와 같이, 전자 디바이스(10)는 셀룰러 전화기, 음악 재생기, 게임 디바이스, 내비게이션 유닛 또는 다른 콤팩트 디바이스와 같은 핸드헬드 디바이스일 수 있다. 디바이스(10)에 대한 이러한 유형의 구성에서, 하우징(12)은 대향하는 전방 및 후방 표면들을 가질 수 있다. 디스플레이(14)는 하우징(12)의 전방 표면 상에 장착될 수 있다. 원한다면, 디스플레이(14)는 버튼(16)과 같은 구성요소들을 위한 개구(opening)를 포함하는 디스플레이 커버 층 또는 다른 외부 층을 구비할 수 있다. 개구는 또한 포트(18)와 같은 스피커 포트를 수용하도록 디스플레이 커버 층 또는 다른 디스플레이 층 내에 형성될 수 있다.
도 1의 디바이스(10)에 대한 예시적인 구성은 단지 예시적인 것이다. 일반적으로, 전자 디바이스(10)는 랩톱 컴퓨터, 내장(embedded) 컴퓨터를 포함하는 컴퓨터 모니터, 태블릿 컴퓨터, 셀룰러 전화기, 미디어 재생기, 또는 다른 핸드헬드 또는 휴대용 전자 디바이스, 손목시계 디바이스, 펜던트 디바이스, 헤드폰 또는 이어피스 디바이스, 또는 다른 착용 가능한 또는 미니어처 디바이스와 같은 소형 디바이스, 텔레비전, 내장 컴퓨터를 포함하지 않은 컴퓨터 디스플레이, 게임 디바이스, 내비게이션 디바이스, 디스플레이를 갖는 전자 장비가 키오스크(kiosk) 또는 자동차 내에 장착된 시스템과 같은 내장 시스템, 이들 디바이스 중 둘 이상의 디바이스의 기능을 구현하는 장비, 또는 다른 전자 장비일 수 있다.
디스플레이(14)는 터치 센서 층을 포함하는 터치-감응 디스플레이일 수 있거나, 터치에 대해 감응하지 않을 수 있다. 디스플레이(14)를 위한 터치 센서는 용량성 터치 센서 전극들의 어레이, 저항성 터치 어레이, 음향 터치, 광학 터치 또는 힘-기반 터치 기술에 기초한 터치 센서 구조물, 또는 터치-센서 기판 상에 형성되는 다른 적합한 터치 센서 구성요소들로부터 형성될 수 있다.
디바이스(10)를 위한 디스플레이는, 일반적으로, 발광 다이오드(LED), 유기 LED(OLED), 플라즈마 셀, 전기습윤 픽셀(electrowetting pixel), 전기영동 픽셀(electrophoretic pixel), 액정 디스플레이(LCD) 구성요소, 또는 다른 적합한 이미지 픽셀 구조물로부터 형성된 이미지 픽셀들을 포함할 수 있다. 일부 상황들에서는, 디스플레이(14)를 형성하기 위해 LCD 구성요소들을 사용하는 것이 바람직할 수 있으며, 따라서 디스플레이(14)가 액정 디스플레이인 디스플레이(14)에 대한 구성이 때때로 본 명세서에서 예로서 기술된다. 백라이트 구조물을 갖는 디스플레이(14)와 같은 디스플레이를 제공하는 것 또한 바람직할 수 있으며, 따라서 백라이트 유닛을 포함하는 디스플레이(14)에 대한 구성이 때때로 본 명세서에서 예로서 기술될 수 있다. 필요하다면, 다른 유형의 디스플레이 기술이 디바이스(10)에 사용될 수 있다. 디바이스(10)에서의 액정 디스플레이 구조물들 및 백라이트 구조물들의 사용은 단지 예시적인 것이다.
디스플레이 커버 층은 디스플레이(14)의 표면을 커버할 수 있거나, 컬러 필터 층 또는 디스플레이의 다른 부분과 같은 디스플레이 층이 디스플레이(14) 내의 최외곽(또는 거의 최외곽) 층으로 사용될 수 있다. 디스플레이 커버 층 또는 다른 외부 디스플레이 층은 투과성 유리 시트, 투명한 플라스틱 층, 또는 다른 투과성 부재로부터 형성될 수 있다.
인듐 주석 산화물과 같은 투과성 재료로부터 형성된 용량성 터치 센서 전극들의 어레이와 같은 터치 센서 구성요소들이 디스플레이 커버 층의 하면 상에 형성될 수 있거나, 유리 또는 중합체 터치 센서 기판과 같은 별도의 디스플레이 층 상에 형성될 수 있거나, 또는 다른 디스플레이 층들(예를 들어, 박막 트랜지스터 층과 같은 기판 층들) 내로 일체화될 수 있다.
디바이스(10)의 디스플레이(14)를 위해 사용될 수 있는 예시적인 구성의 측단면도가 도 2에 도시되어 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 디스플레이(14)는 커버 층(49)과 같은 커버 층에 부착된 터치-감응 층들(47)과 같은 터치-감응 구성요소들의 하나 이상의 층들을 포함할 수 있다. 커버 층(49)은 유리 또는 플라스틱과 같은 강성 또는 가요성의 투과성 재료의 시트로부터 형성될 수 있다.
터치-감응 층들(47)은 광학적으로 투명한 접착제(OCA)(43)와 같은 접착제 재료를 사용하여 커버 층(49)에 부착될 수 있다. 광학적으로 투명한 접착제(43)는 자외선 광-경화성 접착제와 같은 유연한 광-경화성 접착제의 시트, 압력-감응 접착제의 시트 또는 다른 적합한 접착제 재료로부터 형성될 수 있다. 터치-감응 층들(47)은 유리 또는 중합체 기판 상에 형성되는 인듐 주석 산화물과 같은 투과성 재료로부터 형성된 용량성 터치 센서 전극들의 어레이와 같은 터치 센서 구성요소들을 포함할 수 있다.
디스플레이(14)는, 디스플레이(14) 상에 표시되는 이미지를 생성하기 위한 이미지-생성 층들(46)(예컨대, 액정 디스플레이 셀)과 같은 디스플레이 층들을 포함할 수 있다. 이미지-생성 층들(46)은 편광기 층들, 컬러 필터 층들, 트랜지스터 층들, 접착제 층들, 액정 재료의 층들, 또는 디스플레이 이미지를 생성하기 위한 다른 층들을 포함할 수 있다. 이미지-생성 층들(46)은 광학적으로 투명한 접착제(45)와 같은 접착제를 사용하여 터치-감응 층(47)에 부착될 수 있다. 광학적으로 투명한 접착제(45)는 자외선 광-경화성 접착제와 같은 유연한 광-경화성 접착제의 시트, 압력-감응 접착제의 시트 또는 다른 적합한 접착제 재료로부터 형성될 수 있다.
이미지-생성 층들(46)은 백라이트 구조물들(42)과 같은 광-생성 구조물들에 의해 생성된 광을 사용하여, 디바이스(10)의 사용자에 의해 관찰되는 이미지를 형성할 수 있다. 백라이트 구조물들(42)은 발광 다이오드들, 도광(light guiding) 구조물들, 반사 구조물들, 광학 필름들 등과 같은 광-생성 구성요소들을 포함할 수 있다. 백라이트 구조물들(42)은 광학적으로 투명한 접착제(41)와 같은 광학적으로 투명한 접착제를 사용하여 이미지-생성 층들(46)에 적층될 수 있거나, 기계적 부착 부재들을 사용하여 이미지-생성 층들(46)에 부착될 수 있거나, 또는 백라이트 구조물들(42)을 디바이스(10) 내의 하나 이상의 구조적 부재들에 부착시킴으로써 층들(46)에 인접하게 장착될 수 있다.
디스플레이(14)에 대한 조립 동작 동안, 조립 시스템은 센서-온-커버-유리(sensor-on-cover-glass; CGS) 부재(30)와 같은 센서-온-커버-층 디스플레이 조립체(때때로, 센서-온-유리 조립체, 조립체, 또는 기판으로 지칭됨)를 형성하기 위해 접착제 층(43)을 사용하여 터치-감응 층(47)을 커버 층(49)에 적층하는데 사용될 수 있다. 이어서, 조립 시스템은 접착제(45)를 사용하여 이미지-생성 층들(46)을 CGS 부재(30)에 적층하기 전에 접착제(45)를 터치-감응 층(47)에 적층하는 데 사용될 수 있다.
조립 시스템은 터치-감응 층(47), 부재(30), 커버 층(49), 또는 다른 디스플레이 기판들과 같은 하나 이상의 디스플레이 층들로부터 보호 필름을 제거하거나 먼지와 같은 잔사를 제거하기 위한 전처리 장비를 포함할 수 있다. 전처리 장비는 압력-감지 세척 롤러들을 포함할 수 있다. 각각의 압력-감지 세척 롤러는 롤러가 기판의 표면을 따라 롤링할 때 잔사를 수집하는 점착성 표면을 갖는 원통형 롤러 부재에 결합되는 하나 이상의 압력 센서들을 포함할 수 있다. 압력 센서들은 세척 롤러 내에 매립되거나, 세척 롤러에 부착되거나, 또는 롤러용의 작동 장비에 부착될 수 있다. 각각의 압력-감지 세척 롤러의 위치 및 배향(기울기)은 세척 동작 전에 조정될 수 있거나, 세척 동작 동안 연속적으로 조정되어 과도한 압력이 기판에 인가되는 것을 회피할 수 있다.
디스플레이(14)의 이미지-생성 층들(46) 및 백라이트 구조물들(42)에(예를 들어, 도 2의 디스플레이, 또는 다른 적합한 디스플레이의 디스플레이 층들(46) 및 백라이트 구조물들(42)에) 사용될 수 있는 예시적인 구성의 측단면도가 도 3에 도시되어 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 디스플레이(14)는 백라이트(44)를 생성하기 위한 백라이트 유닛(42)과 같은 백라이트 구조물을 포함할 수 있다. 동작 동안에, 백라이트(44)는 외향으로 (도 3의 배향에서 차원 Z의 수직 상향으로) 이동하고, 층들(46) 내의 디스플레이 픽셀 구조물을 통과한다. 이는 사용자가 보기 위해 디스플레이 픽셀들에 의해서 생성되고 있는 임의의 이미지들을 조명한다. 예를 들어, 백라이트(44)는 방향(50)으로 뷰어(viewer)(48)가 보고 있는 이미지-생성 층들(46) 상에 이미지들을 조명할 수 있다.
이미지-생성 층들(46)은 터치-감응 층(47)에 부착하기 위한 액정 디스플레이 셀과 같은 디스플레이 모듈을 형성하기 위해 플라스틱 섀시 구조물 및/또는 금속 섀시 구조물과 같은 섀시 구조물들에 장착될 수 있다. 층들(46)은 액정 디스플레이를 형성할 수 있거나 또는 다른 유형들의 디스플레이들을 형성하는 데 사용될 수 있다.
층들(46)이 액정 디스플레이를 형성하는 데 사용되는 구성에서, 층들(46)은 액정 층(52)과 같은 액정 층을 포함할 수 있다. 액정 층(52)은 층들(58, 56)과 같은 디스플레이 층들 사이에 샌드위치될 수 있다. 층들(56, 58)은 하부 편광기 층(60)과 상부 편광기 층(54) 사이에 개재될 수 있다. 원한다면, 상부 편광기 층(54)은 커버 층(49)과 같은 외부 커버 층에, 또는 터치-센서(47)와 같은 터치-센서 층에 부착될 수 있다(도 2).
층들(58, 56)은 유리 또는 플라스틱의 투명 층들과 같은 투과성 기판 층들로부터 형성될 수 있다. 층들(56, 58)은 박막 트랜지스터 층 및/또는 컬러 필터 층과 같은 층들일 수 있다. 도전성 트레이스, 컬러 필터 요소, 트랜지스터, 및 다른 회로들과 구조물들이 (예를 들어, 박막 트랜지스터 층 및/또는 컬러 필터 층을 형성하도록) 층들(58, 56)의 기판 상에 형성될 수 있다. 터치 센서 전극들이 또한 층들(58, 56)과 같은 층들 내에 포함될 수 있고/있거나 터치 센서 전극들이 다른 기판 상에 형성될 수 있다.
예시적인 일 구성으로, 층(58)은 액정 층(52)에 전기장을 인가함으로써 디스플레이(14) 상에 이미지를 표시하기 위한, 박막 트랜지스터들의 어레이 및 연관된 전극들(디스플레이 픽셀 전극들)을 포함하는 박막 트랜지스터 층일 수 있다. 층(56)은 디스플레이(14)에 컬러 이미지들을 표시하는 능력을 제공하기 위한 컬러 필터 요소들의 어레이를 포함하는 컬러 필터 층일 수 있다. 원한다면, 층(58)은 컬러 필터 층일 수 있고, 층(56)은 박막 트랜지스터 층일 수 있다.
백라이트 구조물들(42)은 도광판(78)과 같은 백라이트 도광판을 포함할 수 있다. 도광판(78)은 투명 유리 또는 플라스틱과 같은 투과성 재료로부터 형성될 수 있다. 백라이트 구조물(42)의 동작 동안에, 광원(72)과 같은 광원이 도광판(78)의 에지 내로 도입되는 광(74)을 생성할 수 있다. 광원(72)은, 예를 들어 발광 다이오드들의 어레이일 수 있다.
도광판(78)으로부터 방향 Z로 상향으로 산란하는 광(74)은 디스플레이(14)를 위한 백라이트(44)로서의 역할을 할 수 있다. 하향으로 산란하는 광(74)은 반사기(80)에 의해 상향 방향으로 다시 반사될 수 있다. 반사기(80)는 백색 플라스틱 또는 다른 빛나는 재료들의 층과 같은 반사성 재료로부터 형성될 수 있다.
백라이트 구조물들(42)은, 백라이트(44)를 균질화(homogenize)하는 것을 돕기 위한 확산기 층들과 같은 광학 필름들(70), 축외 관찰(off-axis viewing)을 개선하기 위한 보상 필름들, 및 백라이트(44)를 시준(collimating)하기 위한 휘도 개선 필름들(때때로, 터닝 필름(turning film)으로도 지칭됨)을 포함할 수 있다. 도 4는 디스플레이(14)를 위한 디스플레이 층들과 같은 강성 구조물들 또는 다른 기판들을 함께 적층하기 위해 사용될 수 있는 예시적인 조립 시스템의 다이어그램이다. 디바이스(10)의 디스플레이(14)에 대한 조립 동작 동안, 조립 시스템(100)과 같은 제조 시스템이 이미지-생성 층들(46), 커버 층(49), 터치 센서(47), 및, 원한다면, 백라이트 유닛(42)을 조립하여 디스플레이(14)를 형성하는 데 사용될 수 있다.
도 4에 도시된 바와 같이, 조립 시스템(100)은 전처리 장비(102)를 포함할 수 있다. 전처리 장비(102)는 적층 전에 기판을 세척하거나, 적층 전에 기판으로부터 보호 필름을 제거하거나, 또는 달리 적층 동작 전에 하나 이상의 강성 또는 가요성 기판들을 전처리하는 데 사용될 수 있다.
시스템(100)은 하드-하드 적층 장비(hard-to-hard lamination equipment)(110) 및 소프트-하드(soft-to-hard) 적층 장비(112)와 같은 적층 장비(108)를 포함할 수 있다. 하드-하드 적층 장비(110)는 이미지-생성 층들(46) 및 센서-온-유리 조립체(30)와 같은 두 개의 강성 구조물들을 함께 적층하는 데 사용될 수 있다. 소프트-하드 적층 장비(112)는 광학적으로 투명한 광-경화 접착제의 시트와 같은 연질 기판을 센서-온-유리 조립체(30)와 같은 강성 기판 상에 부착하는 데 사용될 수 있다. 시스템(100)은 진공 챔버(116)와 같은 배기부를 포함할 수 있다. 적층 장비(108)의 일부 또는 전부가 진공 챔버(116) 내에 형성될 수 있어서, 적층 동작 동안 기포와 같은 결함의 위험성이 추가로 감소될 수 있다.
시스템(100)은 로딩 장비(104) 및 적층 장비(108) 내의 기판들을 위치설정하기 위한 정렬 장비(106)와 같은 다른 장비를 포함할 수 있다. 시스템(100)은 또한, 적층 동작 동안 적층 장비(108), 로딩 장비(104), 정렬 장비(106), 및 전처리 장비(102)를 제어하기 위한 컴퓨팅 장비(114)를 포함할 수 있다.
도 5는 도 4의 시스템(100)과 같은 시스템에서 사용될 수 있는 유형의 전처리 장비의 다이어그램이다. 도 5에 도시된 바와 같이, 전처리 장비(102)는 필름 제거 장비(118) 및 기판 세척 장비(120)를 포함할 수 있다. 필름 제거 장비(118)는 조립된 디스플레이 내로의 기판들의 조립 전에 디스플레이 기판들과 같은 기판들로부터 하나 이상의 보호 필름들을 제거하기 위한 기계식, 로봇식, 수동식, 또는 자동식 장비를 포함할 수 있다. 보호 필름들은 조립 설비들로의 운반을 위해 터치-센서 기판 또는 액정 디스플레이 셀과 같은 디스플레이 기판들 상에 제공될 수 있다.
임의의 보호 필름들의 제거에 이어서, 각각의 기판이 기판 세척 장비(120)를 이용하여 세척될 수 있다. 기판 세척 장비는 압력-감지 세척 롤러와 같은 하나 이상의 세척 롤러들을 포함할 수 있다. 디스플레이 기판과 같은 기판이 세척 동작 동안 두 개 이상의 압력 감지 세척 롤러들 사이를 통과하게 되어 기판의 적층 전에 기판으로부터 잔사를 제거할 수 있다.
도 6에 도시된 바와 같이, 세척 장비(120)는 컴퓨터-제어식 위치설정 장비(122)에 결합되는 컴퓨팅 장비(114)를 포함할 수 있다. 컴퓨터-제어식 위치설정 장비(122)는 압력-감지 세척 롤러들(124)에 결합될 수 있다. 장비(120)는 기판(126)과 같은 기판의 각 표면을 따라 롤링하는 하나 이상의 세척 롤러들(124)을 포함할 수 있다. 도 6의 예에서, 장비(120)는 기판(126)의 표면(130)을 따라 롤링하는 하나의 롤러, 및 기판(126)의 표면(128)과 같은 반대편 표면을 따라 롤링하는 하나의 롤러를 포함한다. 롤러들(124)은 기판(126)이 롤러들(124) 사이를 통과할 때 방향(134)으로 회전할 수 있다.
기판(126)은 임의의 적합한 유리, 중합체, 규소, 또는 기타 기판일 수 있다. 예로서, 기판(126)은 터치 센서(47), 커버 층(49), 이미지-생성 층들(46), 백라이트 구조물들(42), 터치 센서(47), 커버 층(49), 이미지-생성 층들(46), 또는 백라이트 구조물들(42) 중 임의의 것과 연관된 중합체 또는 유리 기판, 또는 기판 상에 또는 기판 내에 감응성 전자장치를 갖는 임의의 다른 디스플레이 기판일 수 있다.
컴퓨터-제어식 위치설정 장비(122)는 롤러들(124) 사이에서 기판(126)을 구동시키기 위해 롤러들(124)을 방향(134)으로 회전시키는 하나 이상의 모터들을 포함할 수 있거나, 또는 롤러들(124)은 방향(132)으로의 기판(126)의 움직임에 응답하여 방향(134)으로 회전할 수 있다. 각 롤러(124)는 점착성이 있는 표면을 가져서, 롤러가 그 표면 위를 롤링할 때 표면들(128 또는 130) 상의 먼지와 같은 잔사가 롤러들(124) 중 하나에 접착하게 할 수 있다. 컴퓨터-제어식 위치설정 장비(122)는 세척 롤러들(124)을 이동시키고, 회전시키고, 선회시키고, 활주시키고, 기울이고 또는 달리 위치설정하기 위해 하나 이상의 모터들, 레버들, 유압 피스톤과 같은 피스톤들, 포스트들, 플랫폼들, 또는 기타 장비를 포함할 수 있다.
세척 동작 동안에 기판(126)에 대한 손상을 방지하기 위해서, 각 롤러(124)는 하나 이상의 대응하는 압력 센서들(136)을 포함할 수 있다. 압력 센서들(136)은 기판(126)의 표면에 대해 롤러가 가압되게 하는 압력을 감지하도록, 롤러(124)의 단부에 부착되거나, 롤러(124)의 표면에 부착되거나, 롤러(124) 내에 매립되거나, 롤러(124)를 위한 작동 장비에 부착되거나, 롤러(124)를 위한 장착 구조물에 부착되거나, 또는 달리 적합하게 위치설정될 수 있다.
압력 센서들(136)은 용량성 압력 센서들, 압전형 압력 센서들, 마이크로전자기계 시스템(microelectromechanical system; MEMS) 기반 압력 센서들, 압력 변환기들, 규소-기반 압력 센서들, 스트레인 게이지들, 용량성 압력 센서들, 광학 압력 센서들, 유도성 압력 센서들, 또는 다른 적합한 압력 감지 기술을 이용하여 구현된 압력 센서들을 포함할 수 있다.
압력 센서들(136)은 세척 롤러 상의 별개 위치들에 형성될 수 있거나, 또는 세척 롤러의 모두 또는 사실상 모두의 주위를 연장하는 세척 롤러의 압력 감지 외부 표면을 형성할 수 있다.
세척 동작 동안, 컴퓨팅 장비(114)는 (예컨대, 센서들(136)과 컴퓨팅 장비(114) 사이의 유선 또는 무선 접속을 통해) 롤러들(124)의 압력 센서들(136)로부터 압력 신호들을 수신할 수 있다. 센서들(136)로부터의 압력 신호들은 롤러가 기판(126)에 대해 가압되는 동안 (예컨대, 압력 센서의 위치에서) 기판(126)의 표면(예컨대, 표면(128) 또는 표면(130))에 인가되는 압력의 양에 비례할 수 있다.
컴퓨팅 장비(114)는 압력 신호들을 압력 데이터로 전환하고 이 압력 데이터를 기판(126)의 안전한 세척을 위한 공지된 목표 압력들과 비교할 수 있다. 공지된 목표 압력들은 기판(126)의 손상 없이 기판(126)을 안전하게 세척할 수 있게 하는 절대 압력 범위들 및/또는 세척 동작 동안 기판(126)을 가로질러 압력이 고르게(균일하게) 인가되고 있음을 나타내는 상대 압력들을 포함할 수 있다.
컴퓨팅 장비(114)는, 위치설정 장비(122)에게, 기판(126)의 표면들을 따라 롤러들(124)을 롤링하는 동안 그리고 압력 센서들(136)로부터의 압력 데이터와 공지된 목표 압력들의 비교에 기초하여 롤러들(124)의 위치 및 배향을 조정하는 동안 기판(126)에 대해 롤러들(124)을 가압하라고 명령할 수 있다.
도 7에 도시된 바와 같이, 컴퓨터-제어식 위치설정 장비(122)는 롤러(124)와 위치설정 장비(122) 사이에 부착되는 구조물(140)과 같은 지지 구조물을 이용하여 롤러(124)와 같은 세척 롤러에 부착될 수 있다. 컴퓨팅 장비(114)(예컨대, 도 6 참조)로부터의 신호들은, 장비(122)에게, 롤러(124)를 선회 이동시키라고, 롤러(124)를 횡방향으로(즉, 도 7의 x-y 평면으로) 이동시키라고, 수직으로(즉, 화살표(142)로 나타낸 바와 같이 도 7의 양 또는 음의 z-방향으로) 이동시키라고, 또는 롤러(124)를 회전(예컨대, 화살표(144)로 나타낸 바와 같이 도 7의 x-y 평면 내에서 또는 x-y 평면에서 벗어나 롤러(124)를 회전)시키라고 명령할 수 있다.
예를 들어, 압력 센서들(136)로부터의 압력 신호들에 응답하여, 컴퓨팅 장비(114)는 장비(121)에게 롤러(124)를 수직으로 위 또는 아래로 이동시키라고 명령하여, 롤러(124)에 의해 기판(126)의 표면(128) 상에 방향(146)으로 인가되는 압력이 최대 압력을 초과하지 않게 할 수 있다. 이런 방식으로, 세척 롤러들(124)에 의한 기판(126)에의 손상이 방지될 수 있다.
도 8은 시스템(100)의 세척 장비(120)에서 사용될 수 있는 유형의 압력-감지 세척 롤러의 사시도이다. 도 8에 도시된 바와 같이, 압력 센서들(136)은 롤러(124)의 원통형 롤러 부재(125)와 같은 롤러 부재 상에 형성될 수 있다. 압력 센서들(136)은 롤러(124)의 원통형 롤러 부재(125)의 에지(151) 상에 형성될 수 있거나, 원통형 롤러 부재(125)의 표면(148) 상에서 롤러(124)의 일부 둘레를 감싸거나 표면(148) 상에서 롤러 부재(125)를 따라 종방향으로 연장되는 하나 이상의 압력-감응 스트립 회로들을 포함할 수 있거나, 또는 매립된 압력 센서들(136)을 포함할 수 있다. 그러나, 이는 단지 예시적인 것이다. 원한다면, 세척 롤러들(124)에 대한 압력 센서들은 지지 구조물(140)(도 5 참조) 상에 또는 컴퓨터-제어식 작동 장비(122)의 작동부들 상에 장착될 수 있다. 표면(148)은, 표면(148)이 기판의 표면에 대해 롤링될 때 먼지와 같은 잔사가 접착하게 되는 점착성(접착성) 표면일 수 있다.
도 9에 도시된 바와 같이, 장비(120)는 기판(126)의 각 표면(128, 130)을 따라 롤링하는 하나 초과의 세척 롤러(124), 및 각 표면을 따라 롤링하는 세척 롤러들과 연관된 전사 롤러들(150) 중 하나와 같은 전사 롤러를 포함할 수 있다.
도 9의 예에서, 장비(120)는 기판(126)의 각 측면 상에서 기판의 해당 측면 상의 두 개의 세척 롤러들(124)과 접촉하는 전사 롤러(150)를 포함한다. 컴퓨터-제어식 위치설정 장비(122)는 전사 롤러들(150)이 세척 롤러들(124)에 대해 롤링하도록 전사 롤러들(150)을 방향(152)으로 회전 구동시킬 수 있으며, 그에 의해 세척 롤러들(124)이 기판(126)을 따라 회전 구동되고 기판(126)이 방향(132)으로 이동된다.
전사 롤러들(150) 각각은 세척 롤러들(124)의 점착성 표면과 접촉하는 점착성 표면을 가질 수 있다. 이런 방식으로, 세척 롤러들(124)에 의해 수집되는 잔사가 전사 롤러들(150)로 전달된다. 원한다면, 전사 롤러들(150)은 세척 롤러들(124)이 표면들(128 및/또는 130)에 대해 가압되게 하는 압력을 감지하기 위한 하나 이상의 압력 센서들(136)을 포함할 수 있다.
도 10은 세척 롤러들(124) 및 전사 롤러(150)가 부재(164)와 같은 수평 지지 부재 및 롤러들(124, 150)의 반대편 에지들 상에 위치되는 수직 지지 부재들(169)로 형성된 지지 구조물 내에 어떻게 장착될 수 있는지를 보여주는, 도 9에 도시된 유형의 세척 장비(120)의 측면도이다. 롤러들(124, 150) 각각은 수직 지지 부재들(169) 상의 개구를 통해 연장되는 각자의 돌출 에지부들(124P, 150P)을 포함할 수 있다. 지지 부재(169)를 통해 연장되는 돌출부들(124P, 150P)은 이 돌출부들이 개구 내에서 회전할 수 있게 하는 원통형 형상을 가질 수 있다.
도 10에 도시된 바와 같이, 돌출부(150P)는 이 돌출부(150P)를 수평 지지 부재(164)에 탄성적으로 부착시키는 스프링 부재(170)와 같은 탄성 부재들에 결합될 수 있다. 이런 방식으로, 롤러들(150, 124)을 포함하는 롤러 패키지가 지지 부재(164)를 향해 상향으로 당겨질 수 있다.
롤러들(150, 124)을 수직으로 위치시키기 위해서, 컴퓨터-제어식 위치설정 장비(122)는 부재(164)로부터 멀리 하향으로 롤러(150)를 밀어주는(그리고, 그에 따라 롤러들(124)을 밀어주는) 작동 부재(172)에 결합될 수 있다. 이런 방식으로, 탄성 부재(170) 및 작동 부재(172)는, 조합하여, 세척되는 기판에 대해 롤러들(150) 및 롤러들(124)을 수직으로 위치시키도록 사용될 수 있다.
도 10의 예에서, 압력 센서들(136)은 전자 압력 조절기들(174, 166)을 이용하여 구현될 수 있다. 압력 조절기들(174 및/또는 166)은 경로(162)와 같은 통신 경로들을 거쳐 조절기 컴퓨팅 장비(160)와 같은 컴퓨팅 장비에 결합될 수 있다. 조절기 컴퓨팅 장비(160)는, 예를 들어, 도 6의 컴퓨팅 장비(114)의 일부를 형성할 수 있다.
압력 조절기들(174)은 수평 지지 부재(164)와 롤러(150) 사이의 압력을 감지하도록 구성될 수 있다. 압력 조절기들(166)은 수평 부재(164)로부터 분리되어, 조절기들(166) 중 하나가 부재(164)와 접촉하는 경우, 장비(160)에 의해 신호가 생성되게 할 수 있다. 장비(160)에 의해 생성된 신호는, 장비(120)로 하여금, 세척 동작들을 정지하게 하거나, 롤러들(150, 124)의 위치를 조정하게 하거나, 또는 세척 동작들을 시작하게 할 수 있다. 압력 신호들은 조절기들(174 또는 166) 중 어느 하나에 의해 생성될 수 있으며, 세척 동작 동안 세척되는 기판에 대한 롤러들(124, 150)의 위치를 제어하는 데 사용될 수 있다.
도 6, 도 7, 도 8, 도 9, 및/또는 도 10에 도시된 유형의 압력-감지 세척 롤러들을 갖는 세척 장비를 이용하여 전자 디바이스 디스플레이의 디스플레이 층 또는 반도체 기판과 같은 구조물로부터 먼지와 같은 잔사를 제거하는 데 사용될 수 있는 예시적인 단계들이 도 11에 도시되어 있다.
단계 190에서, 전자 디바이스 디스플레이를 위한 디스플레이 층과 같은 기판이 적어도 제1 및 제2 압력-감지 세척 롤러들 사이에 배치될 수 있다. 원한다면, 기판은 기판의 각 측면 상의 다수의 압력-감지 세척 롤러들 사이에 배치될 수 있다.
단계 192에서, 컴퓨팅 장비(114)(예컨대, 도 6 참조)와 같은 컴퓨팅 장비가 제1 및/또는 제2 세척 롤러들의 압력 센서들(예컨대, 압력-감지 세척 롤러들 중 하나 이상과 연관된 장비 또는 구조물 상에 위치되거나, 그 내부에 매립되거나, 또는 그에 부착되는 압력 센서들)을 이용하여 압력 데이터를 수집할 수 있다. 원한다면, 세척 롤러들의 위치 및 배향은 압력 데이터에 기초하여 수정될 수 있다.
단계 194에서, 기판이 제1 및 제2 압력-감지 세척 롤러들 사이를 이동할 때 압력-감지 세척 롤러들이 기판의 하나 이상의 표면들을 따라 회전(롤링)될 수 있다. 회전하는 롤러들은 롤러들 사이의 공간을 통해 기판을 구동시키는 데 사용될 수 있거나, 또는 다른 장비가 롤러들 사이의 공간을 통해 기판을 밀기 위해 사용될 수 있다.
단계 196에서, 기판 표면을 따라 압력-감지 세척 롤러들을 회전시키는 동안 압력 센서들을 이용하여 추가 압력 데이터가 수집될 수 있다.
단계 198에서, 컴퓨터-제어식 위치설정 장비가 수집된 압력 데이터 및 수집된 추가 압력 데이터에 기초하여 제1 및/또는 제2 세척 롤러들(또는 세척 롤러들의 세트들)의 위치 및 배향을 조정하기 위해 사용될 수 있다. 압력-감지 세척 롤러들의 위치 및 배향은 기판의 표면을 따라 압력-감지 세척 롤러들이 회전(롤링)되기 전 및/또는 회전(롤링)되는 동안 조정될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 전자 디바이스 디스플레이를 위한 조립 시스템이 제공되는데, 이 조립 시스템은 기판의 표면으로부터 잔사를 제거하기 위한 세척 롤러, 제1 세척 롤러에 결합되는 압력 센서, 압력 센서로부터의 압력 신호를 수신하는 컴퓨팅 장비, 및 세척 롤러에 결합되는 컴퓨터-제어식 위치설정 장비를 포함하고, 여기서
컴퓨팅 장비는 컴퓨터-제어식 위치설정 장비에게 수신된 압력 데이터에 기초하여 세척 롤러를 이동시키라고 명령하도록 구성된다.
다른 실시예에 따르면, 압력 센서는 세척 롤러에 부착된다.
다른 실시예에 따르면, 조립 시스템은 기판의 반대 표면으로부터 추가의 잔사를 제거하기 위한 추가 세척 롤러를 추가로 포함한다.
다른 실시예에 따르면, 조립 시스템은 추가 세척 롤러에 결합되는 추가 압력 센서를 추가로 포함한다.
다른 실시예에 따르면, 조립 시스템은 세척 롤러와 접촉 상태로 장착되는 전사 롤러를 추가로 포함한다.
다른 실시예에 따르면, 조립 시스템은 추가 세척 롤러와 접촉 상태로 장착되는 추가 전사 롤러를 추가로 포함한다.
다른 실시예에 따르면, 조립 시스템은 수평 지지 부재 및 수평 지지 부재에 부착되는 제1 및 제2 수직 지지 부재들을 추가로 포함하고, 여기서 세척 롤러 및 전사 롤러는 각각 제1 및 제2 수직 지지 부재들에 장착된다.
다른 실시예에 따르면, 전사 롤러는 제1 및 제2 수직 지지 부재들 내의 개구를 통해 연장되는 돌출 에지 부재들을 포함하고, 조립 시스템은 돌출 에지 부재들과 수평 지지 부재 사이에 결합되는 적어도 하나의 탄성 부재를 추가로 포함한다.
다른 실시예에 따르면, 압력 센서는 전사 롤러와 수평 지지 부재 사이에 개재된다.
일 실시예에 따르면, 기판의 표면으로부터 잔사를 제거하기 위한 압력-감지 세척 롤러가 제공되는데, 이 압력-감지 세척 롤러는 점착성 표면 - 점착성 표면은 점착성 표면이 기판의 표면에 대해 롤링되는 경우 기판의 표면으로부터 잔사를 수집함 - 을 갖는 원통형 롤러 부재, 및 원통형 롤러 부재에 결합되며 점착성 표면과 기판의 표면 사이에서의 접촉에 응답하여 압력 신호를 생성하도록 구성되는 적어도 하나의 압력 센서를 포함한다.
다른 실시예에 따르면, 기판은 전자 디바이스 디스플레이의 적어도 하나의 층을 포함한다.
다른 실시예에 따르면, 전자 디바이스 디스플레이는 액정 디스플레이를 포함한다.
다른 실시예에 따르면, 전자 디바이스 디스플레이의 적어도 하나의 층은 터치-감응 층을 포함한다.
다른 실시예에 따르면, 적어도 하나의 압력 센서는 원통형 롤러 부재의 에지에 부착된다.
다른 실시예에 따르면, 적어도 하나의 압력 센서는 원통형 롤러 부재의 점착성 표면에 부착된다.
다른 실시예에 따르면, 적어도 하나의 압력 센서는 원통형 롤러 부재 내에 매립된다.
일 실시예에 따르면, 제1 및 제2 압력-감지 세척 롤러들, 적어도 하나의 압력 센서, 및 제1 및 제2 압력-감지 세척 롤러들을 위한 컴퓨터-제어식 위치설정 장비를 포함하는 기판 세척 장비를 이용하여 기판을 세척하는 방법이 제공되는데, 이 방법은 제1 및 제2 압력-감지 세척 롤러들 사이에 기판을 배치하는 단계, 적어도 하나의 압력 센서를 이용하여 압력 데이터를 수집하는 단계, 수집된 압력 데이터에 기초하여 제1 압력-감지 세척 롤러의 위치를 조정하는 단계, 및 기판의 제1 및 제2 표면들 각각을 따라 제1 및 제2 압력-감지 세척 롤러들을 롤링하는 단계를 포함한다.
다른 실시예에 따르면, 방법은 수집된 압력 데이터에 기초하여 제2 압력-감지 세척 롤러의 위치를 조정하는 단계를 추가로 포함한다.
다른 실시예에 따르면, 수집된 압력 데이터에 기초하여 제1 압력-감지 세척 롤러의 위치를 조정하는 단계는, 기판의 제1 및 제2 표면들 각각을 따라 제1 및 제2 압력-감지 세척 롤러들을 롤링하는 단계 동안 제1 압력-감지 세척 롤러의 위치를 조정하는 단계를 포함한다.
다른 실시예에 따르면, 수집된 압력 데이터에 기초하여 제1 압력-감지 세척 롤러의 위치를 조정하는 단계는, 기판의 제1 및 제2 표면들 각각을 따라 제1 및 제2 압력-감지 세척 롤러들을 롤링하는 단계 전에 제1 압력-감지 세척 롤러의 위치를 조정하는 단계를 포함한다.
다른 실시예에 따르면, 기판 세척 장비는 제1 압력-감지 세척 롤러와 접촉 상태로 장착되는 전사 롤러를 추가로 포함하고, 방법은 제1 압력-감지 세척 롤러로부터 잔사를 제거하기 위해 제1 압력-감지 세척 롤러의 표면에 대해 전사 롤러를 롤링하는 단계를 추가로 포함한다.
다른 실시예에 따르면, 방법은 수집된 압력 데이터에 기초하여 기판의 제1 표면에 대해 제1 압력-감지 세척 롤러가 가압되게 하는 압력을 결정하는 단계, 및 결정된 압력이 최대 압력을 초과하는지 여부를 판정하는 단계를 추가로 포함한다.
전술한 사항은 단지 본 발명의 원리를 예시하는 것이며, 본 발명의 범주 및 사상으로부터 벗어남이 없이 다양한 수정들이 당업자에 의해 이루어질 수 있다.

Claims (22)

  1. 전자 디바이스 디스플레이를 위한 조립 시스템으로서,
    기판의 표면으로부터 잔사를 제거하기 위한 세척 롤러;
    상기 세척 롤러에 결합되는 압력 센서;
    상기 압력 센서로부터의 압력 신호를 수신하는 컴퓨팅 장비; 및
    상기 세척 롤러에 결합되는 컴퓨터-제어식 위치설정 장비를 포함하고,
    상기 컴퓨팅 장비는 상기 컴퓨터-제어식 위치설정 장비에게 상기 수신된 압력 데이터에 기초하여 상기 세척 롤러를 이동시키라고 명령하도록 구성되는, 조립 시스템.
  2. 제1항에 있어서, 상기 압력 센서는 상기 세척 롤러에 부착되는, 조립 시스템.
  3. 제1항에 있어서, 상기 기판의 반대 표면으로부터 추가의 잔사를 제거하기 위한 추가 세척 롤러를 추가로 포함하는, 조립 시스템.
  4. 제3항에 있어서, 상기 추가 세척 롤러에 결합되는 추가 압력 센서를 추가로 포함하는, 조립 시스템.
  5. 제4항에 있어서, 상기 세척 롤러와 접촉 상태로 장착되는 전사 롤러를 추가로 포함하는, 조립 시스템.
  6. 제5항에 있어서, 상기 추가 세척 롤러와 접촉 상태로 장착되는 추가 전사 롤러를 추가로 포함하는, 조립 시스템.
  7. 제6항에 있어서, 수평 지지 부재 및 상기 수평 지지 부재에 부착되는 제1 및 제2 수직 지지 부재들을 추가로 포함하고, 상기 세척 롤러 및 상기 전사 롤러는 각각 상기 제1 및 제2 수직 지지 부재들에 장착되는, 조립 시스템.
  8. 제7항에 있어서, 상기 전사 롤러는 상기 제1 및 제2 수직 지지 부재들 내의 개구를 통해 연장되는 돌출 에지 부재들을 포함하고, 상기 조립 시스템은 상기 돌출 에지 부재들과 상기 수평 지지 부재 사이에 결합되는 적어도 하나의 탄성 부재를 추가로 포함하는, 조립 시스템.
  9. 제8항에 있어서, 상기 압력 센서는 상기 전사 롤러와 상기 수평 지지 부재 사이에 개재되는, 조립 시스템.
  10. 기판의 표면으로부터 잔사를 제거하기 위한 압력-감지 세척 롤러로서,
    점착성 표면 - 점착성 표면은 상기 점착성 표면이 상기 기판의 표면에 대해 롤링되는 경우 상기 기판의 표면으로부터 잔사를 수집함 - 을 갖는 원통형 롤러 부재; 및
    상기 원통형 롤러 부재에 결합되며, 상기 점착성 표면과 상기 기판의 표면 사이에서의 접촉에 응답하여 압력 신호를 생성하도록 구성되는 적어도 하나의 압력 센서를 포함하는, 압력-감지 세척 롤러.
  11. 제10항에 있어서, 상기 기판은 전자 디바이스 디스플레이의 적어도 하나의 층을 포함하는, 압력-감지 세척 롤러.
  12. 제11항에 있어서, 상기 전자 디바이스 디스플레이는 액정 디스플레이를 포함하는, 압력-감지 세척 롤러.
  13. 제11항에 있어서, 상기 전자 디바이스 디스플레이의 상기 적어도 하나의 층은 터치-감응 층을 포함하는, 압력-감지 세척 롤러.
  14. 제10항에 있어서, 상기 적어도 하나의 압력 센서는 상기 원통형 롤러 부재의 에지에 부착되는, 압력-감지 세척 롤러.
  15. 제10항에 있어서, 상기 적어도 하나의 압력 센서는 상기 원통형 롤러 부재의 상기 점착성 표면에 부착되는, 압력-감지 세척 롤러.
  16. 제10항에 있어서, 상기 적어도 하나의 압력 센서는 상기 원통형 롤러 부재 내에 매립되는, 압력-감지 세척 롤러.
  17. 제1 및 제2 압력-감지 세척 롤러들, 적어도 하나의 압력 센서, 및 상기 제1 및 제2 압력-감지 세척 롤러들을 위한 컴퓨터-제어식 위치설정 장비를 포함하는 기판 세척 장비를 이용하여 기판을 세척하는 방법으로서,
    상기 제1 및 제2 압력-감지 세척 롤러들 사이에 상기 기판을 배치하는 단계;
    상기 적어도 하나의 압력 센서를 이용하여 압력 데이터를 수집하는 단계;
    상기 수집된 압력 데이터에 기초하여 상기 제1 압력-감지 세척 롤러의 위치를 조정하는 단계; 및
    상기 기판의 제1 및 제2 표면들 각각을 따라 상기 제1 및 제2 압력-감지 세척 롤러들을 롤링하는 단계를 포함하는, 방법.
  18. 제17항에 있어서, 상기 수집된 압력 데이터에 기초하여 상기 제2 압력-감지 세척 롤러의 위치를 조정하는 단계를 추가로 포함하는, 방법.
  19. 제17항에 있어서, 상기 수집된 압력 데이터에 기초하여 상기 제1 압력-감지 세척 롤러의 위치를 조정하는 단계는, 상기 기판의 제1 및 제2 표면들 각각을 따라 상기 제1 및 제2 압력-감지 세척 롤러들을 롤링하는 단계 동안 상기 제1 압력-감지 세척 롤러의 위치를 조정하는 단계를 포함하는, 방법.
  20. 제17항에 있어서, 상기 수집된 압력 데이터에 기초하여 상기 제1 압력-감지 세척 롤러의 위치를 조정하는 단계는, 상기 기판의 제1 및 제2 표면들 각각을 따라 상기 제1 및 제2 압력-감지 세척 롤러들을 롤링하는 단계 전에 상기 제1 압력-감지 세척 롤러의 위치를 조정하는 단계를 포함하는, 방법.
  21. 제17항에 있어서, 상기 기판 세척 장비는 상기 제1 압력-감지 세척 롤러와 접촉 상태로 장착되는 전사 롤러를 추가로 포함하고, 상기 방법은 상기 제1 압력-감지 세척 롤러로부터 잔사를 제거하기 위해 상기 제1 압력-감지 세척 롤러의 표면에 대해 상기 전사 롤러를 롤링하는 단계를 추가로 포함하는, 방법.
  22. 제17항에 있어서,
    상기 수집된 압력 데이터에 기초하여 상기 기판의 상기 제1 표면에 대해 상기 제1 압력-감지 세척 롤러가 가압되게 하는 압력을 결정하는 단계; 및
    상기 결정된 압력이 최대 압력을 초과하는지 여부를 판정하는 단계를 추가로 포함하는, 방법.
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