KR20160004927A - Workpiece conveying apparatus - Google Patents

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KR20160004927A
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켄타로 오카모토
준 이우라
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가부시키가이샤 다이헨
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Abstract

Provided is a workpiece conveying apparatus which enables workpiece transport in a vacuum environment, can expand the degree of freedom set for a transport path of a workpiece and reduce the occupied area, and allows high-speed transfer of a workpiece. The workpiece conveying apparatus provided according to the present invention comprises: a support base unit (200); a support arm (300) connected to be pivoted around a main pivot axis (X1) with respect to the support base unit (200); a hand maintaining arm (400) connected to be pivoted around an elbow joint axis (X2) with respect to the support arm (300); and at least two hands connected to be pivoted around a wrist joint axis (X3) with respect to the hand maintaining arm (400).

Description

가공물 반송장치{WORKPIECE CONVEYING APPARATUS}WORKPIECE CONVEYING APPARATUS [0001]

본 발명은, 진공환경에 있어서 유리 기판이나 웨이퍼 등의 박판 형상 가공물을 반송하는데 적합한 가공물 반송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a workpiece conveyance device suitable for conveying a thin plate workpiece such as a glass substrate or a wafer in a vacuum environment.

도 17에 나타낸 바와 같이, 트랜스퍼 챔버의 주위에 프로세스 챔버가 방사상으로 배치된 처리 시스템에 있어서는, 프로세스 챔버 간의 가공물의 이송을 위하여 트랜스퍼 챔버 내에 배치되는 가공물 반송장치는, 평면에서 보아서 가공물을 방사 방향으로 직진 이동시킬 수 있으면 되기 때문에, 예를 들면, 특허문헌 1에 나타낸 바와 같은, 평행 링크 기구를 조합시킨 관절 암식의 반송장치를 이용할 수 있다. 이러한 반송장치는, 평행 링크 기구가 가지는 기능에 의해, 적은 동력원에 의해, 가공물을 유지하는 핸드의 자세를 유지하면서, 평면에서 보아서 이 핸드를 직진 이동시킬 수 있다.As shown in Fig. 17, in the processing system in which the process chambers are arranged radially around the transfer chamber, the workpiece conveyance device disposed in the transfer chamber for transferring the workpiece between the process chambers is configured to move the workpiece in the radial direction It is possible to use a joint-arm type transfer device in which a parallel link mechanism is combined as shown in Patent Document 1, for example. Such a carrying device can move the hand straight from a plan view while keeping the posture of the hand holding the workpiece by a small power source owing to the function of the parallel link mechanism.

그러나, 처리 시스템의 점유 면적을 축소해서 컴팩트화를 도모하기 위하여, 도 18에 나타낸 바와 같이, 트랜스퍼 챔버(TC)를 직사각형으로 하는 동시에, 그 대향하는 장변을 따라서 복수(도시한 예에서는 2개)의 직사각형 프로세스 챔버(PC)를 배치하는 바와 같은 신처리 시스템이 제안되어 있다. 이러한 신처리 시스템에서는, 장변에 대한 핸드의 자세를 동등하게 유지하면서, 이 장변을 따른 2개의 프로세스 챔버(PC) 간의 가공물 이송을 행할 필요가 있으므로, 방사 방향으로의 직진 이동이 가능한 것에 지나지 않는 특허문헌 1에 나타낸 바와 같은 가공물 반송장치를 채용할 수 없다.However, in order to reduce the area occupied by the processing system and make it compact, as shown in Fig. 18, the transfer chamber TC is made rectangular, and a plurality of (two in the illustrated example) A new process system such as a rectangular process chamber PC is proposed. In this new processing system, it is necessary to transfer workpieces between two process chambers (PC) along the long side while keeping the attitude of the hand to the long side equally, so that a patent which is merely capable of linear movement in the radial direction The workpiece conveying device as shown in Document 1 can not be employed.

도 18에 나타낸 바와 같은 처리 시스템에 있어서는, 예를 들면, 특허문헌 2에 나타낸 바와 같은 반송장치를 이용하는 것이 고려된다. 이 특허문헌 2에 나타낸 반송장치는, 지지 베이스부에 대해서 선회 가능한 제1 암과, 제1 암에 대해서 선회 가능한 제2 암과, 제2 암에 선회 가능한 핸드를 구비하여 구성되어 있다. 그리고, 지지 베이스부에 대한 제1 암의 선회, 제1 암에 대한 제2 암의 선회 및 제2 암에 대한 핸드의 선회가 각각 독립적으로 행해지므로, 핸드의 자세 및 핸드의 이동 경로의 설정의 자유도가 높고, 그 때문에 특허문헌 2에 나타낸 바와 같은 반송장치는, 도 18에 나타낸 바와 같은 처리 시스템에 있어서, 프로세스 챔버 간의 가공물의 이송을 행하는 것이 가능할 가능성이 있다.In the processing system as shown in Fig. 18, for example, a transfer device as shown in Patent Document 2 may be used. The transport apparatus shown in Patent Document 2 includes a first arm which can be pivoted with respect to the support base, a second arm which is pivotable with respect to the first arm, and a hand which can be pivoted to the second arm. Since the turning of the first arm with respect to the support base, the turning of the second arm with respect to the first arm, and the turning of the hand with respect to the second arm are performed independently of each other, The degree of freedom is high. Therefore, in the transporting apparatus as shown in Patent Document 2, it is possible that the workpiece can be transported between the process chambers in the processing system as shown in Fig.

그러나, 특허문헌 2에 나타낸 반송장치는, 진공환경에 대응가능한 구성으로는 되어 있지 않으므로, 실제에 있어서, 예를 들면, 차세대 유기 EL 패널 제조에 있어서의 처리 시스템 등, 진공환경에서의 패널 반송이 요구될 경우에 이용할 수 없다.However, since the transporting apparatus shown in Patent Document 2 is not structured to be able to cope with a vacuum environment, in actuality, the panel transportation in a vacuum environment such as a processing system in the next generation organic EL panel manufacturing, Can not be used if requested.

JPJP 2011-1019122011-101912 AA JPJP 2012-1618582012-161858 AA

본 발명은, 전술한 사정에 기초하여 안출된 것으로, 진공환경에 있어서 가공물 반송이 가능함과 동시에, 가공물의 반송 경로의 설정 자유도를 확대할 수 있고, 또한 점유 면적을 축소해서 처리 시스템의 컴팩트화가 가능하여, 가공물의 고속반송이 가능한 가공물 반송장치를 제공하는 것을 그 과제로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is conceived based on the above-described circumstances, and it is an object of the present invention to provide a work machine capable of carrying workpieces in a vacuum environment and capable of increasing the degree of freedom of setting a conveyance path of the workpieces, And to provide a workpiece transporting device capable of transporting a workpiece at a high speed.

상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에서는 다음의 기술적 수단을 채용하였다.In order to solve the above problems, the following technical means are adopted in the present invention.

본 발명에 의해 제공되는 가공물 반송장치는, 지지 베이스부와, 이 지지 베이스부에 대해서 주선회축 주위에 선회 가능하게 연결된 지지암과, 이 지지암에 대해서 팔꿈치관절축 주위에 회동 가능하게 연결된 핸드 유지암과, 이 핸드 유지암에 대해서 손목관절축 주위에 회동 가능하게 연결된 적어도 2개의 핸드를 포함하는 가공물 반송장치에 있어서, 상기 지지 베이스부에 대해서 상기 지지암을 선회시키기 위한 지지암용 모터는 상기 지지 베이스부 내에 배치되어 있고, 상기 지지암에 대해서 상기 핸드 유지암을 회동시키기 위한 핸드 유지암용 모터는 상기 지지 베이스부 내 또는 상기 지지암 내에 배치되어 있으며, 상기 핸드 유지암에 대해서 상기 핸드를 회동시키기 위한 핸드용 모터는 상기 지지암 내에 배치되고, 상기 팔꿈치관절축에는, 상기 지지암에 대해서 상기 핸드 유지암을 회동 가능하게 하기 위한 관절축과, 상기 핸드를 회동시키기 위한 동력을 전달하는 적어도 2개의 전동축이 동축 형상으로 배치되어 있으며, 상기 지지 베이스부, 상기 주선회축, 상기 지지암 및 상기 팔꿈치관절축에는, 상기 지지 베이스부 내에 있어서의 상기 지지암용 모터가 배치되는 영역 및 상기 지지암 내를 기밀 유지하는 기밀구조가 설치되어 있는 것을 특징으로 한다.A workpiece conveying apparatus provided by the present invention includes a support base, a support arm pivotably connected to the support base about the axis of the pivot, a hand holding member rotatably connected to the support arm about the axis of the elbow joint, A workpiece conveyance device comprising a arm and at least two hands rotatably connected to the hand-held arm around a wrist joint axis, wherein a motor for the support arm for pivoting the support arm with respect to the support base portion is supported by the support Wherein a motor for a hand holding arm for rotating the hand holding arm with respect to the support arm is disposed in the support base or in the support arm and is configured to rotate the hand relative to the hand holding arm Wherein a hand motor for the elbow joint is disposed in the support arm, A joint shaft for making the hand holding arm rotatable with respect to the arm and at least two transmission shafts for transmitting power for rotating the hand are coaxially arranged and the support base, The support arm and the elbow joint shaft are provided with a hermetic structure for hermetically sealing the inside of the support arm and a region in which the motor for the support arm is disposed in the support base portion.

바람직한 실시형태에서는, 상기 팔꿈치관절축에 있어서, 상기 관절축은 중공축고, 상기 동축 형상의 전동축은 상기 관절축의 내부에 삽입 통과되어 있으며, 상기 관절축과 이것을 회동 가능하게 지지하는 부재 사이, 상기 전동축과 상기 관절축 사이, 그리고 상기 전동축 사이에는, 기밀 시일(seal)이 설치되어 있다.In a preferred embodiment, in the elbow joint shaft, the articulated shaft is a hollow shaft, the coaxial electric shaft is inserted into the articulated shaft, between the articulated shaft and a member rotatably supporting the articulated shaft, And between the joint shaft and the transmission shaft, a hermetic seal is provided.

바람직한 실시형태에서는, 상기 기밀 시일은 자성 유체 시일이다.In a preferred embodiment, the hermetic seal is a magnetic fluid seal.

바람직한 실시형태에서는, 상기 지지암용 모터의 출력을 감속시키는 제1 감속 기구를 구비하되, 해당 제1 감속 기구는, 상기 지지 베이스부 내에 배치되어 있으며, 상기 핸드 유지암용 모터의 출력을 감속시키는 제2 감속 기구를 구비하되, 해당 제2 감속 기구는, 상기 지지 베이스부 내 또는 상기 지지암 내에 배치되어 있으며, 상기 핸드용 모터의 출력을 감속시키는 제3 감속 기구를 구비하되, 해당 제3 감속 기구는, 상기 지지암 내 또는 상기 핸드 유지암 내에 배치되어 있다.According to a preferred embodiment of the present invention, there is provided a first deceleration mechanism for decelerating the output of the motor for the support arm, wherein the first deceleration mechanism is disposed in the support base portion, Wherein the second deceleration mechanism includes a third deceleration mechanism disposed in the support base or in the support arm for decelerating the output of the hand motor, , And is disposed in the support arm or in the hand holding arm.

바람직한 실시형태에서는, 상기 적어도 2개의 핸드는, 상기 핸드 유지암에 대해서, 1개의 상기 손목관절축 주위에 동축 형상으로 회동 가능하다.In a preferred embodiment, the at least two hands are rotatable coaxially around one wrist joint axis with respect to the hand holding arm.

바람직한 실시형태에서는, 상기 지지암은, 서로 회동 가능하게 연결된 2 또는 그 이상의 지지암 부재에 의해서 구성되어 있고, 최선단측의 지지암 부재에 상기 팔꿈치관절축이 위치하고 있다.In a preferred embodiment, the support arm is constituted by two or more support arm members rotatably connected to each other, and the elbow joint axis is located on the support arm member on the best-end side.

바람직한 실시형태에서는, 상기 핸드 유지암은, 서로 회동 가능하게 연결된 2 또는 그 이상의 핸드 유지암 부재에 의해서 구성되어 있고, 최선단측의 핸드 유지암 부재에 상기 손목관절축이 위치하고 있다.In a preferred embodiment, the hand holding arm is constituted by two or more hand holding arm members rotatably connected to each other, and the wrist joint axis is located on the hand holding arm member on the best-end side.

상기 구성을 구비하는 본 발명의 가공물 반송장치에 따르면, 지지 베이스부에 대해서 지지암이, 지지암에 대해서 핸드 유지암이, 핸드 지지암에 대해서 2개 이상의 핸드가, 독립적으로 선회 혹은 회동 가능하므로, 복수의 프로세스 챔버 간의 가공물의 반송을 보다 효율적으로 행할 수 있고, 게다가, 점유 면적을 축소하여, 처리 시스템의 컴팩트화 및 처리의 고속화를 도모할 수 있다.According to the workpiece conveying apparatus of the present invention having the above-described configuration, since the supporting arm is supported by the supporting base portion, the hand holding arm is supported by the supporting arm, and two or more hands are independently pivotable or pivotable with respect to the hand supporting arm , It is possible to more efficiently carry the workpiece between the plurality of process chambers, and further, the occupied area can be reduced, thereby making the processing system compact and speeding up the processing.

본 발명의 그 밖의 특징 및 이점은, 도면을 참조해서 이하에 행하는 상세한 설명으로부터 보다 명백해질 것이다.Other features and advantages of the present invention will become more apparent from the following detailed description with reference to the drawings.

도 1은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 가공물 반송장치(10A)의 개략 측면도;
도 2는 도 1에 나타낸 가공물 반송장치(10A)의 개략 평면도;
도 3은 도 1에 나타낸 가공물 반송장치(10A)의 개략 종단면도;
도 4는 도 3의 IV-IV선을 따른 개략 단면도;
도 5는 도 3의 V-V선을 따른 개략 단면도;
도 6은 도 4의 VI-VI선을 따른 확대 단면도;
도 7은 본 발명의 제2 실시형태에 따른 가공물 반송장치(10B)의 개략 단면도;
도 8은 도 7의 VIII-VIII선을 따른 개략 단면도;
도 9는 도 7의 IX-IX선을 따른 개략 단면도;
도 10은 본 발명의 제3 실시형태에 따른 가공물 반송장치(10C)의 개략 종단면도;
도 11은 본 발명의 제4 실시형태에 따른 가공물 반송장치(10D)의 개략 종단면도;
도 12는 도 11에 나타낸 가공물 반송장치(10D)의 개략 평면도;
도 13은 도 11에 나타낸 가공물 반송장치(10D)의 개략 평면도;
도 14는 본 발명의 제1의 참고예에 따른 가공물 반송장치(10E)의 개략 종단면도;
도 15는 도 14에 나타낸 가공물 반송장치(10E)의 개략 평면도;
도 16은 도 14에 나타낸 가공물 반송장치(10E)의 개략 평면도;
도 17은 프로세스 처리 시스템의 배치예의 설명도;
도 18은 프로세스 처리 시스템의 다른 배치예의 설명도.1 is a schematic side view of a workpiece carrying apparatus 10A according to a first embodiment of the present invention;
Fig. 2 is a schematic plan view of the workpiece carrying apparatus 10A shown in Fig. 1; Fig.
3 is a schematic vertical cross-sectional view of the workpiece conveyance apparatus 10A shown in Fig. 1; Fig.
4 is a schematic cross-sectional view taken along line IV-IV of Fig. 3;
5 is a schematic cross-sectional view along the line VV in Fig. 3;
6 is an enlarged sectional view taken along the line VI-VI of FIG. 4;
7 is a schematic sectional view of a workpiece carrying apparatus 10B according to a second embodiment of the present invention;
8 is a schematic cross-sectional view taken along line VIII-VIII in Fig. 7;
9 is a schematic cross-sectional view taken along line IX-IX of Fig. 7;
Fig. 10 is a schematic vertical sectional view of a workpiece carrying apparatus 10C according to a third embodiment of the present invention; Fig.
11 is a schematic longitudinal sectional view of a workpiece carrying apparatus 10D according to a fourth embodiment of the present invention;
12 is a schematic plan view of the workpiece conveyance apparatus 10D shown in Fig. 11; Fig.
13 is a schematic plan view of the workpiece conveyance apparatus 10D shown in Fig. 11; Fig.
Fig. 14 is a schematic vertical cross-sectional view of a workpiece carrying apparatus 10E according to the first reference example of the present invention; Fig.
Fig. 15 is a schematic plan view of the workpiece carrying apparatus 10E shown in Fig. 14; Fig.
16 is a schematic plan view of the workpiece conveyance apparatus 10E shown in Fig. 14; Fig.
17 is an explanatory diagram of an example of arrangement of a process processing system;
18 is an explanatory diagram of another arrangement example of a process processing system;

이하, 본 발명의 바람직한 실시형태에 대해, 도면을 참조해서 구체적으로 설명한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 1 내지 도 6은 본 발명의 제1 실시형태에 따른 가공물 반송장치(10A)를 나타낸다. 이 가공물 반송장치(10A)는, 고정 베이스부(100)와, 지지 베이스부(200)와, 지지암(300)과, 핸드 유지암(400)과, 2개의 핸드(510, 520)를 구비한다. 이 가공물 반송장치(10A)는, 예를 들면, 진공환경에서 행하는 처리 시스템에 있어서의 트랜스퍼 챔버 내에 설치된다.1 to 6 show a workpiece transport apparatus 10A according to a first embodiment of the present invention. This workpiece conveyance apparatus 10A includes a fixed base portion 100, a supporting base portion 200, a supporting arm 300, a hand holding arm 400, and two hands 510 and 520 do. The workpiece transport apparatus 10A is installed in a transfer chamber in a processing system, for example, performed in a vacuum environment.

도 3에 잘 나타나 있는 바와 같이, 고정 베이스부(100)는 지지 베이스부(200)를 승강가능하게 수용 유지하고 있다. 지지 베이스부(200)는, 그 상부가 고정 베이스부(100)의 천정판(101)에 설치한 개구부(102)로부터 돌출하도록 하고, 상하 방향 가이드(도시 생략)에 의해서 승강 이동가능하게 지지된다. 또한, 이 지지 베이스부(200)는, 승강용 모터(103)의 회전이 벨트·풀리 전동기구(104)를 개재해서 전달되는 볼 나사 기구(105)에 의해서 승강된다.3, the fixed base portion 100 accommodates and holds the support base portion 200 so as to be able to move up and down. The upper portion of the support base portion 200 is supported so as to be able to move up and down by a vertical guide (not shown) so as to protrude from the opening portion 102 provided in the ceiling plate 101 of the fixed base portion 100 . The support base portion 200 is lifted and lowered by a ball screw mechanism 105 that transmits the rotation of the lifting motor 103 via the belt-pulley transmission mechanism 104.

지지 베이스부(200)는 또한, 통형상의 외곽벽(201)과, 밑판(202)과, 후술하는 제1 진공 밀봉 유닛(250)으로 둘러싸인 공간(S2)을 갖는다. 고정 베이스부(100)는, 통형상 외곽벽(106)과, 밑판(107)과, 천정판(101)과, 상기 지지 베이스부(200)의 밑판(202)과, 천정판(101)과 상기 지지 베이스부(200)의 밑판(202) 사이에 개재된 자바라 부재(108)로 둘러싸인 공간(S1)을 갖는다. 이들 공간(S1, S2)은, 연통되어 있고, 또한 트랜스퍼 챔버 밖의 대기압이 도입되지만, 제1 진공 밀봉 유닛(250) 및 자바라 부재(108)에 의해, 트랜스퍼 챔버(TC) 내의 진공압으로부터 차단된다.The support base portion 200 also has a space S2 surrounded by a tubular outer wall 201, a base plate 202 and a first vacuum sealing unit 250 to be described later. The fixed base portion 100 includes a tubular outer wall 106, a bottom plate 107, a top plate 101, a bottom plate 202 of the supporting base portion 200, a top plate 101, And a space S1 surrounded by a bellows member 108 interposed between the bottom plates 202 of the support base unit 200. [ These spaces S1 and S2 are communicated and an atmospheric pressure outside the transfer chamber is introduced but is blocked from the vacuum pressure in the transfer chamber TC by the first vacuum sealing unit 250 and the bellows member 108 .

지지 베이스부(200)의 내부에는, 지지암(300)을 연직방향으로 뻗는 주선회축(X1) 주위에 선회시키기 위한 지지암용 모터(220) 및 이 지지암용 모터(220)의 회전을 감속시키는 제1 감속기(221)와, 핸드 유지암(400)을 후술하는 팔꿈치관절축(X2) 주위에 회동시키기 위한 핸드 유지암용 모터(230) 및 이 핸드 유지암용 모터(230)의 회전을 감속시키는 제2 감속기(231)가 수용되어 있다. 제1 감속기(221) 및 제2 감속기(231)는, 예를 들면, 유성기어기구를 내장한 공지의 구조의 것을 이용할 수 있다.A support arm motor 220 for pivoting the support arm 300 about the pivot axis X1 extending in the vertical direction and a motor 302 for reducing the rotation of the support arm motor 220 are provided in the support base 200, 1 decelerator 221 for decelerating the rotation of the hand holding arm motor 230 and a motor 230 for a hand holding arm for rotating the hand holding arm 400 around the elbow joint axis X2 to be described later, The speed reducer 231 is accommodated. As the first reduction gear 221 and the second reduction gear 231, for example, those having a known structure incorporating a planetary gear mechanism can be used.

지지암(300)은, 제1 진공 밀봉 유닛(250)을 개재해서 지지 베이스부(200)에 대해서 주선회축(X1) 주위에 선회 가능하게 지지되어 있다. 제1 진공 밀봉 유닛(250)은, 지지 베이스부(200) 측의 통형상 축(도시 생략)에 대해서 지지암(300) 측의 통형상 축(도시 생략)을 회전 가능하게 지지하는 동시에, 이들 통형상 축 간에, 예를 들면, 자성 유체 시일로 이루어진 제1밀봉 구조(도시 생략)를 설치한 것으로서 구성된다. 본 실시형태에 있어서, 이 제1 진공 밀봉 유닛(250)은, 주선회축(X1)을 따라서 상하 방향으로 관통하는 중공부(251)를 구비하고 있고, 이 중공부(251)를 개재해서 제2 감속기(231)의 출력부에 의해서 회전되는 제1 전동축(232)이 지지암(300) 내에 뻗고 있다.The support arm 300 is pivotally supported about the pivot shaft X1 with respect to the support base 200 via the first vacuum seal unit 250. [ The first vacuum sealing unit 250 rotatably supports a tubular shaft (not shown) on the support arm 300 side with respect to a tubular shaft (not shown) on the support base 200 side, And a first sealing structure (not shown) made of, for example, a magnetic fluid seal is provided between the cylindrical shafts. In this embodiment, the first vacuum sealing unit 250 has a hollow portion 251 penetrating in the vertical direction along the first axis X1. Through the hollow portion 251, The first transmission shaft 232 rotated by the output portion of the speed reducer 231 extends into the support arm 300.

지지암(300)은, 수평방향으로 뻗는 기밀구조를 가진 케이스(301)를 구비한다. 이 지지암(300) 내에는, 2개의 핸드(510, 520)를 후술하는 손목관절축(X3) 주위에 회동시키기 위한 2개의 핸드용 모터(310, 320)와, 각 핸드용 모터(310, 320)의 회전을 감속시키는 2개의 제3 감속기(311, 321)가 수용되어 있다. 2개의 제3 감속기(311, 321)의 각 출력부에는, 풀리(322)(감속기(311)의 출력 축에 설치되는 풀리는 도면에 도시하지 않음. 이하 동일)가 설치되어 있다. 또, 제3 감속기(311, 321)도 또한, 예를 들면, 유성기어기구를 내장한 공지의 구조의 것을 이용할 수 있다.The support arm 300 has a case 301 having a gas-tight structure extending in the horizontal direction. Two hand motors 310 and 320 for turning the two hands 510 and 520 about the wrist joint axis X3 to be described later and two hand motors 310 and 320 for rotating the hand motors 310 and 320 are provided in the support arm 300, Two third speed reducers 311 and 321 for decelerating the rotation of the first to third reduction gears 320 and 320 are accommodated. The pulleys 322 (the pulleys provided on the output shaft of the speed reducer 311, not shown in the drawing, the same applies hereinafter) are provided in the respective output portions of the two third reduction gears 311 and 321. The third reduction gears 311 and 321 may also be of a known construction incorporating, for example, a planetary gear mechanism.

지지암(300)의 선단부(300a)와 핸드 유지암(400)의 기단부(400a) 사이에는, 지지암(300)에 대해서 핸드 유지암(400)을 팔꿈치관절축(X2) 주위에 회동 가능하게 연결하는 동시에, 2개의 핸드(510, 520)를 회동시키기 위한 동력을 전달한다, 팔꿈치관절축(X2)과 동축 형상의 제2, 제3 전동축(354, 356)을 포함하는 제2 진공 밀봉 유닛(350)이 설치되어 있다.The hand holding arm 400 is rotatably supported about the elbow joint axis X2 with respect to the supporting arm 300 between the distal end portion 300a of the supporting arm 300 and the proximal end portion 400a of the hand holding arm 400 And a second vacuum seal 362 including second and third axes 354 and 356 coaxial with the elbow joint axis X2. Unit 350 is provided.

제2 진공 밀봉 유닛(350)은, 도 6에 상세히 나타낸 바와 같이, 지지암(300) 측의 통축부(351)의 안쪽에 핸드 유지암(400) 측의 통축부(352)(관절축)를 회동 가능하게 지지하는 동시에, 이들 통축부(351, 352) 사이에 제2 밀봉 구조(353)를 설치하고, 핸드 유지암(400) 측의 통축부(352)의 안쪽에 중공 형태의 제2 전동축(354)을 회전 가능하게 지지하는 동시에, 이들 통축부(352)와 제2 전동축(354) 사이에 제3밀봉 구조(355)를 설치하고, 제2 전동축(354)의 중공부에 중실(solid) 형태의 제3 전동축(356)을 회전 가능하게 지지하는 동시에, 이들 제2 전동축(354)과 제3 전동축(356) 사이에 제4 밀봉 구조(357)를 설치해서 구성된다. 제3 전동축(356)이 중실 형태이므로, 제2, 제3, 제4 밀봉 구조(353, 355, 357)의 작용에 의해, 지지암(300)의 내부공간(S3)은 기밀 시일된다. 또, 제2, 제3, 제4 밀봉 구조(353, 355, 357)는, 예를 들면, 자성 유체 시일로 하는 것이 적당하다.6, the second vacuum sealing unit 350 includes a tubular shaft portion 352 (joint shaft) on the hand holding arm 400 side inside the barrel shaft portion 351 on the side of the support arm 300, A second sealing structure 353 is provided between the barrel shafts 351 and 352 and a second sealing structure 353 is provided on the inside of the barrel shafts 352 on the hand holding arm 400 side, A third sealing structure 355 is provided between the cylinder shaft portion 352 and the second transmission shaft 354 and the third sealing structure 355 is provided between the cylinder shaft portion 352 and the second transmission shaft 354, And a fourth sealing structure 357 is provided between the second transmission shaft 354 and the third transmission shaft 356 so as to be rotatable about the third transmission shaft 356, . The inner space S3 of the support arm 300 is hermetically sealed by the action of the second, third, and fourth sealing structures 353, 355, and 357 since the third power shaft 356 is in a solid shape. The second, third, and fourth sealing structures 353, 355, and 357 are suitably made of, for example, a magnetic fluid seal.

이것에 의해, 고정 베이스부(100)의 내부공간(S1), 지지 베이스부(200)의 내부공간(S2) 및 지지암(300)의 내부공간(S3)이 연통 형태로 되는 동시에, 기밀 시일되어, 트랜스퍼 챔버(TC)의 진공압으로부터 차단된다.As a result, the internal space S1 of the fixed base portion 100, the internal space S2 of the support base portion 200, and the internal space S3 of the support arm 300 are communicated with each other, And is shut off from the vacuum pressure of the transfer chamber TC.

지지암(300)의 내부공간(S3)에 있어서, 제1 전동축(232)에 설치한 풀리(233)와 핸드 유지암(400) 측의 통축부(352)에 설치한 풀리(361) 사이에 무단 벨트(362)가 걸려 돌아간다. 이것에 의해, 지지 베이스부(200) 내에 설치한 핸드 유지암용 모터(230)의 회전 출력이 제1 감속기(231), 제1 전동축(232) 내지 전술한 벨트·풀리 전동기구(360)를 개재해서 핸드 유지암(400) 측의 통축부(352)에 전달되어, 지지암(300)에 대해서 팔꿈치관절축(X2)을 중심으로 해서 핸드 유지암(400)을 회동시킬 수 있다.Between the pulley 233 provided on the first power shaft 232 and the pulley 361 provided on the cylinder shaft 352 on the side of the hand holding arm 400 in the internal space S3 of the support arm 300, The endless belt 362 is hooked back. As a result, the rotation output of the motor 230 for the hand holding arm provided in the support base portion 200 is transmitted to the first reduction gear 231, the first transmission shaft 232, and the belt / pulley transmission mechanism 360 The hand holding arm 400 can be rotated with respect to the support arm 300 about the elbow joint axis X2.

또한, 지지암(300)의 내부에 있어서, 핸드용 모터(310, 320)에 각각 부속되는 제3 감속기(311, 321)에 부속되는 풀리(312, 322)와, 제2 전동축 및 제3 전동축(354, 356)의 하단에 설치된 풀리(364, 366)사이에는, 각각, 무단 벨트(365, 367)가 걸려 돌아가, 벨트·풀리 전동기구(371, 372)가 형성된다. 이것에 의해, 핸드용 모터(310, 320)의 회전 동력에 의해, 제2 전동축 및 제3 전동축(354, 356)을 독립적으로 회전시킬 수 있다.The pulleys 312 and 322 attached to the third speed reducers 311 and 321 attached to the hand motors 310 and 320 and the pulleys 312 and 322 attached to the second power shafts 311 and 321, Endless belts 365 and 367 are engaged between the pulleys 364 and 366 provided at the lower ends of the transmission shafts 354 and 356 to form belt-pulley transmission mechanisms 371 and 372, respectively. As a result, the second and third power shafts 354 and 356 can be independently rotated by the rotational power of the hand motors 310 and 320.

핸드 유지암(400)은 수평방향으로 뻗는 케이스(410)를 구비한다. 이 케이스(410)는, 지지암(300)의 케이스(301)와 달리, 기밀 구조로 할 필요는 없다. 핸드 유지암(400)의 선단부에는, 손목관절축(X3)을 중심으로 해서, 2개의 핸드(510, 520)가 동축 형상으로 회동 가능하게 지지되어 있다. 구체적으로는, 아래쪽의 제2 핸드(520)로부터 뻗는 중공 지축(521)이 케이스(410)의 윗벽(411)을 관통하도록 해서 이 윗벽(411)에 대해서 회전 가능하게 지지되고, 위쪽의 제1 핸드(510)로부터 뻗는 중실 지축(511)이 상기 중공 지축(521) 내를 삽입 통과되도록 해서 해당 중공 지축(521)에 대해서 회동 가능하게 지지되어 있다. 중공 지축(521)의 하단에 설치한 풀리(522)와 상기 제3 전동축(356)의 상단에 설치한 풀리(541) 사이에 무단 벨트(542)가 걸려 돌아가고, 중실 지축(511)의 하단에 설치한 풀리(512)와 상기 제2 전동축(354)의 상단에 설치한 풀리(551) 사이에 무단 벨트(552)가 걸려 돌아간다. 부호 (421), (422)는, 각각 무단 벨트(542), (552)에 접촉해서 이들 무단 벨트(542), (552)에 장력을 부여하는 장력 풀리이다.The hand holding arm 400 has a case 410 that extends in the horizontal direction. Unlike the case 301 of the support arm 300, the case 410 is not required to have an airtight structure. Two hands 510 and 520 are rotatably supported coaxially on the distal end of the hand holding arm 400 with the wrist axis X3 as the center. More specifically, the hollow shaft 521 extending from the lower second hand 520 is rotatably supported by the upper wall 411 so as to pass through the upper wall 411 of the case 410, And a solid ground support shaft 511 extending from the hand 510 is inserted and passed through the hollow support shaft 521 to be rotatably supported with respect to the hollow shaft 521. The endless belt 542 is hooked between the pulley 522 provided at the lower end of the hollow support shaft 521 and the pulley 541 provided at the upper end of the third transmission shaft 356 and the lower end The endless belt 552 is caught between the pulley 512 provided at the upper end of the second transmission shaft 354 and the pulley 551 provided at the upper end of the second transmission shaft 354. [ Reference numerals 421 and 422 denote tension pulleys that contact the endless belts 542 and 552 and apply tension to the endless belts 542 and 552, respectively.

이것에 의해, 위쪽의 제1 핸드(510)는, 핸드용 모터(310)의 회전 출력이, 제3 감속기(311), 풀리, 무단 벨트(365), 풀리(364), 제2 전동축(354), 풀리(551), 무단 벨트(552), 풀리(512)를 개재해서 중실 지축(511)에 전달되는 회전력에 의해, 손목관절축(X3)을 중심으로 해서 회동된다. 아래쪽의 제2 핸드(520)는, 핸드용 모터(320)의 회전 출력이, 제3 감속기(321), 풀리(322), 무단 벨트(367), 풀리(366), 제3 전동축(356), 풀리(541), 무단 벨트(542), 풀리(521)를 개재해서 중공 지축(521)에 전달되는 회전력에 의해, 손목관절축(X3)을 중심으로 해서 회동된다.Thus, the first hand 510 on the upper side is configured such that the rotation output of the hand motor 310 is transmitted to the third reduction gear 311, the pulley, the endless belt 365, the pulley 364, And is rotated around the wrist joint axis X3 by the rotational force transmitted to the solid ground shaft 511 via the pulley 551, the endless belt 552 and the pulley 512. [ The second hand 520 on the lower side is configured such that the rotation output of the hand motor 320 is transmitted to the third reduction gear 321, the pulley 322, the endless belt 367, the pulley 366, the third transmission shaft 356 And is rotated around the wrist joint axis X3 by the rotational force transmitted to the hollow shaft 521 via the pulley 541, the endless belt 542 and the pulley 521. [

사용에 있어서, 본 실시형태의 가공물 반송장치(10A)는, 예를 들면, 유기EL기판에 대해서 프로세스 처리를 행하는 시스템에 있어서의 트랜스퍼 챔버(TC)에 설치된다. 구체적으로는, 이 가공물 반송장치(10A)는, 고정 베이스부(100)의 천정판(101)이 트랜스퍼 챔버(TC)의 밑면의 일부를 구성하고, 지지암(300), 핸드 유지암(400) 및 핸드(510, 520)가 트랜스퍼 챔버(TC)의 내부에 위치하도록 설치된다. 전술한 바와 같이, 고정 베이스부(100)의 내부공간(S1), 지지 베이스부(200)의 내부공간(S2) 및 지지암(300)의 내부공간(S3)은 서로 연통 형상으로 되어 있는 동시에 기밀 밀봉되어 있으므로, 이들 내부공간은, 트랜스퍼 챔버(TC) 내가 진공환경이 되어도, 대기압으로 유지될 수 있다. 그 때문에, 이들 공간에 승강용 모터(103), 지지암용 모터(220), 제1 감속기(221), 2개의 핸드용 모터(310, 320), 제2, 제3 감속기(231, 311, 321)를 문제 없이 배치할 수 있다.In use, the workpiece conveyance apparatus 10A of the present embodiment is installed, for example, in a transfer chamber TC in a system that performs process processing on an organic EL substrate. Specifically, in the workpiece carrying apparatus 10A, the ceiling plate 101 of the fixed base unit 100 constitutes a part of the bottom surface of the transfer chamber TC, and the supporting arm 300, the hand holding arm 400 And hands 510 and 520 are positioned inside the transfer chamber TC. As described above, the inner space S1 of the fixed base portion 100, the inner space S2 of the support base portion 200, and the inner space S3 of the support arm 300 are in communication with each other Since these are air-tightly sealed, these inner spaces can be maintained at atmospheric pressure even when the transfer chamber TC is in a vacuum environment. Therefore, the elevation motor 103, the support arm motor 220, the first reduction gear 221, the two hand motors 310 and 320, and the second and third reduction gears 231, 311 and 321 ) Can be arranged without problems.

승강용 모터(103)의 작동에 의해, 지지 베이스부(200) 및 이것에 연결되는 지지암(300), 핸드 유지암(400) 내지 2개의 핸드(510, 520)까지의 구성을 연직방향으로 승강시킬 수 있다. 지지암용 모터(220)의 작동에 의해, 지지 베이스부(200)에 대해서 지지암(300)을 주선회축(X1) 주위에 선회시킬 수 있다. 핸드 유지암용 모터(230)의 작동에 의해, 지지암(300)에 대해서 핸드 유지암(400)을 팔꿈치관절축(X2) 주위에 회동시킬 수 있다. 또한, 핸드용 모터(310, 320)의 작동에 의해, 핸드 유지암(400)에 대해서 2개의 핸드(510, 520)를 손목관절축(X3) 주위에 회동시킬 수 있다.The operation of the elevating motor 103 allows the configuration of the supporting base 200 and the supporting arm 300 connected thereto and the hand holding arm 400 to the two hands 510 and 520 to be vertical It can be raised and lowered. The support arm 300 can be pivoted about the pivot axis X1 with respect to the support base portion 200 by the operation of the support arm motor 220. [ The hand holding arm 400 can be rotated about the elbow joint axis X2 with respect to the support arm 300 by the operation of the hand holding arm motor 230. [ The two hands 510 and 520 can be pivoted about the wrist joint axis X3 with respect to the hand holding arm 400 by the operation of the hand motors 310 and 320. [

상기로부터 명확한 바와 같이, 지지 베이스부(200)에 대해서 지지암(300)을 선회시키기 위한 동력 전달 경로, 지지암(300)에 대해서 핸드 유지암(400)을 회동시키기 위한 동력 전달 경로, 및 2개의 핸드(510, 520)를 핸드 유지암(400)에 대해서 회동시키기 위한 동력 전달 경로는 서로 독립해서 구성되어 있다. 따라서, 지지 베이스부(200)에 대한 지지암(300)의 선회, 지지암(300)에 대한 핸드 유지암(400) 의 회동, 및 핸드 유지암(400)에 대한 2개의 핸드(510, 520)의 회동을 독립적으로 제어함으로써, 주선회축(X1)에 대한 2개의 핸드(510, 520)의 이동 경로, 및 핸드(510, 520)의 자세의 선택 자유도가 높아진다. 따라서, 도 18에 나타낸 처리 시스템과 같이, 트랜스퍼 챔버(TC)의 중심에 대해서 각 프로세스 챔버(PC)의 길이방향 중심축(CL)이 어긋나 있는 바와 같을 경우에 있어서도, 문제 없이, 핸드(510, 520)를 각 프로세스 챔버의 길이방향 중심선을 따라서 투입, 또한 인출된다고 하는 동작이 가능해진다. 또, 평면에서 보았을 때의 지지암(300)에 대한 핸드 유지암(400)의 회동각도, 및 핸드 유지암(400)에 대한 2개의 핸드(510, 520)의 회동각도를 적절하게 선택함으로써, 이 가공물 반송장치(10A)에 있어서의 지지암(300)보다 상위의 구성부재의 최소 선회 반경을 축소할 수 있고, 이 가공물 반송장치(10A) 자체의 트랜스퍼 챔버(TC) 내에서의 점유 면적을 축소할 수 있다.A power transmission path for pivoting the support arm 300 relative to the support base portion 200, a power transmission path for pivoting the hand retention arm 400 relative to the support arm 300, The power transmission paths for rotating the hands 510 and 520 with respect to the hand holding arm 400 are configured independently of each other. The rotation of the support arm 300 relative to the support base unit 200 and the rotation of the hand support arm 400 relative to the support arm 300 and the rotation of the two hands 510, The degree of freedom of choice of the movement path of the two hands 510 and 520 and the posture of the hands 510 and 520 with respect to the lead axis X1 is increased. 18, even when the longitudinal center axis CL of each process chamber PC is shifted relative to the center of the transfer chamber TC, the hand 510, 520) along the longitudinal center line of each of the process chambers and is also drawn out. By appropriately selecting the angle of rotation of the hand holding arm 400 with respect to the support arm 300 when viewed in plan and the angle of rotation of the two hands 510 and 520 with respect to the hand holding arm 400, It is possible to reduce the minimum turning radius of the constituent members higher than the support arm 300 in the workpiece conveyance apparatus 10A and to reduce the occupied area in the transfer chamber TC of the workpiece conveyance apparatus 10A itself Can be reduced.

또한, 독립적으로 회동 가능한 핸드(510, 520)가 2개 설치되어 있으므로, 예를 들면, 소정의 프로세스 챔버에 다음에 장전해야 할 미처리 가공물을 제2 핸드(520)에 싣고, 해당프로세스 챔버에 간섭하지 않도록 제2 핸드(520)를 퇴피 회동 시킨 채, 제1 핸드(510)를 해당 프로세스 챔버에 투입하고, 처리 완료된 가공물을 수취해서 인출하고, 제1 핸드(510)를 퇴피 회동시킨 상태에서, 상기 제2 핸드(520)를 해당 프로세스 챔버에 차입해서 미처리 가공물을 해당 프로세스 챔버에 장전한다고 하는 일련의 동작을 행함으로써, 해당 프로세스 챔버로부터의 처리 완료된 가공물의 취출 및 미처리 가공물의 장전을 효율적으로 행할 수 있다.In addition, since two independently rotatable hands 510 and 520 are provided, for example, unprocessed workpieces to be loaded next to a predetermined process chamber are loaded on the second hand 520, and interference The first hand 510 is put into the corresponding process chamber while the second hand 520 is retracted and rotated so that the processed workpiece is received and taken out and the first hand 510 is retracted and rotated, The second hand 520 is loaded into the corresponding process chamber and the unprocessed workpiece is loaded into the corresponding process chamber so that the unloading of the processed workpiece from the process chamber and the loading of the unprocessed workpiece can be performed efficiently .

상기와 같은 작동이 가능해지는 결과, 가공물 반송장치(10A)를 설치하는 처리 시스템의 점유 면적을 축소하여, 처리 시스템의 컴팩트화를 도모할 수 있다.As a result of the above-described operation, it is possible to reduce the occupied area of the processing system in which the workpiece carrying apparatus 10A is provided, and to reduce the processing system.

도 7 내지 도 9는 본 발명의 제2 실시형태에 따른 가공물 반송장치(10B)를 나타낸다. 이들 도면에 있어서, 제1 실시형태에 따른 가공물 반송장치(10A)와 동일 또는 동등한 부재 또는 부분에는, 동일한 부호를 붙이고, 상세한 설명은 생략한다.Figs. 7 to 9 show a workpiece carrying apparatus 10B according to a second embodiment of the present invention. In these drawings, the same or equivalent members or parts as those of the workpiece carrying apparatus 10A according to the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and a detailed description thereof will be omitted.

이 가공물 반송장치(10B)는, 핸드 유지암(400)에 대해서 3개의 핸드(제1, 제2, 제3 핸드(510, 520, 530))를 동축 형상으로 회동시키도록 하고 있다. 그 때문에, 지지암(300) 내에는, 3개의 핸드용 모터(310, 320, 330) 및 각 모터(310, 320, 330)에 부속되는 제3 감속기(311, 321, 331)가 설치된다. 또, 제2 진공 밀봉 유닛(350)은, 지지암(300)에 대해서 핸드 유지암(400)을 팔꿈치관절축(X2) 주위에 회동 가능하게 연결하는 동시에, 3개의 핸드(510, 520, 530)를 회동시키기 위한 동력을 전달하는, 팔꿈치관절축(X2)과 동축 형상의 제2, 제3 및 제4 전동축(354, 356, 358)을 포함하도록 구성된다.This workpiece conveyance apparatus 10B coaxially rotates three hands (first, second and third hands 510, 520, and 530) with respect to the hand holding arm 400. [ Therefore, three hand motors 310, 320, and 330 and third speed reducers 311, 321, and 331 attached to the motors 310, 320, and 330 are installed in the support arm 300. The second vacuum sealing unit 350 rotatably connects the hand holding arm 400 with respect to the support arm 300 about the elbow joint axis X2 and rotatably supports the three hands 510, Third, and fourth power shafts 354, 356, 358 coaxial with the elbow joint axis X2, which transmit power to rotate the elbow joint axis X2.

핸드 유지암(400)의 선단부에는, 손목관절축(X3)을 중심으로 해서, 3개의 핸드(510, 520, 530)가 동축 형상으로 회동 가능하게 지지되어 있다. 3개의 핸드(510, 520, 530)로부터 뻗는 지축은, 동축 형상으로 되어서 서로 회전 가능하게 되어 있다. 3개의 핸드(510, 520, 530)가, 3개의 핸드용 모터(310, 320, 330)의 회전 출력에 의해, 지지암(300) 내의 벨트·풀리 전동기구, 제2, 제3 및 제4 전동축(354, 356, 358) 내지 핸드 유지암(400) 내의 벨트·풀리 전동기구를 거쳐서, 독립적으로 회동되는 점은, 제1 실시형태에 따른 가공물 반송장치(10A)와 근사하다.Three hands 510, 520, and 530 are rotatably supported on the distal end portion of the hand holding arm 400 around the wrist axis X3. The support shafts extending from the three hands 510, 520, and 530 are coaxial and rotatable with respect to each other. The three hands 510, 520 and 530 are rotated by the rotation outputs of the three hand motors 310, 320 and 330 so that the belt-pulley transmission mechanism in the support arm 300, the second, third and fourth The workpiece conveyance apparatus 10A according to the first embodiment is similar to the workpiece conveyance apparatus 10A according to the first embodiment in that it rotates independently via the belt-pulley transmission mechanism in the transmission shafts 354, 356, 358 to the hand-

이 가공물 반송장치(10B)에 대해서도, 가공물 반송장치(10A)에 대해서 전술한 것과 마찬가지의 이점을 얻을 수 있지만, 독립적으로 회동되는 핸드가 3개 설치되어 있기 때문에, 프로세스 챔버 간의 가공물 반송을 보다 효율적으로 행할 수 있다.Although the same advantages as those described above can be obtained with respect to the workpiece conveyance apparatus 10B, the number of the hands to be independently rotated is three, so that the workpiece conveyance apparatus 10B can be more efficiently conveyed .

도 10은 본 발명의 제3 실시형태에 따른 가공물 반송장치(10C)를 나타낸다. 이 도면에 있어서, 제1 실시형태에 따른 가공물 반송장치(10A)와 동일 또는 동등한 부재 또는 부분에는, 동일한 부호를 붙이고, 상세한 설명은 생략한다.Fig. 10 shows a workpiece carrying apparatus 10C according to the third embodiment of the present invention. In this drawing, the same or equivalent members or parts as those of the workpiece carrying apparatus 10A according to the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and a detailed description thereof will be omitted.

이 가공물 반송장치(10C)는, 핸드 유지암용 모터(230) 및 이것에 부속되는 제2 감속기(231)가 지지암(300) 내에 설치되어 있다. 이것에 따라, 제2 감속기(231)의 출력부에 설치한 풀리(233)와 핸드 유지암(400) 측의 통축부(352)(관절축)에 설치한 풀리(361) 사이에 무단 벨트(362)가 걸려 돌아간다. 이것에 의해, 핸드 유지암용 모터(230)의 회전이 제2 감속기(231) 내지 벨트·풀리 전동기구(360)를 개재해서 핸드 유지암(400)에 전달되어, 지지암(300)에 대해서 팔꿈치관절부 축(X2)을 중심으로 해서 핸드 유지암(400)을 회동시킬 수 있다.In the workpiece carrying apparatus 10C, a motor 230 for a hand holding arm and a second reducer 231 attached thereto are provided in the support arm 300. [ The pulley 233 provided at the output portion of the second reduction gear 231 and the pulley 361 provided at the shaft portion 352 (joint shaft) of the hand holding arm 400 side are provided with an endless belt 362). The rotation of the motor 230 for the hand holding arm is transmitted to the hand holding arm 400 via the second speed reducer 231 to the belt pulley transmission mechanism 360, The hand holding arm 400 can be rotated about the joint axis X2.

이 가공물 반송장치(10C)에 대해서도, 가공물 반송장치(10A)에 대해서 전술한 것과 마찬가지의 이점을 얻을 수 있다.The same advantages as described above can be obtained with respect to the workpiece conveyance device 10A with respect to the workpiece conveyance device 10C.

도 11 내지 도 13은, 본 발명의 제4 실시형태에 따른 가공물 반송장치(10D)를 나타낸다. 이 도면에 있어서, 제1 실시형태에 따른 가공물 반송장치(10A)와 동일 또는 동등한 부재 또는 부분에는, 동일한 부호를 붙이고, 상세한 설명은 생략한다.11 to 13 show a workpiece carrying apparatus 10D according to a fourth embodiment of the present invention. In this drawing, the same or equivalent members or parts as those of the workpiece carrying apparatus 10A according to the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and a detailed description thereof will be omitted.

이 가공물 반송장치(10D)는, 지지암(300)에 대해서 팔꿈치관절축(X2)을 중심으로 해서 회동 가능하게 연결되어 있는 핸드 유지암(400)이, 두 갈래 형태로 나뉘어져 있고, 두 갈래 형태로 나뉘어진 암부(400A, 400B)의 각 선단부에 대해서, 각각 1개의 핸드(510, 520)가 손목관절축(X3) 주위에 회동 가능하게 연결되어 있다. 핸드 유지암(400) 내에 있어서의 각 핸드(510, 520)에의 동력전달은, 제1 실시형태와 마찬가지의 벨트·풀리 전동기구에 의해 행해진다.The workpiece carrying apparatus 10D includes a hand holding arm 400 rotatably connected to the supporting arm 300 about the elbow joint axis X2 as a bifurcated shape, One hand 510 and 520 are rotatably connected around the wrist joint axis X3 with respect to the respective distal ends of the arm portions 400A and 400B divided into the arm portions 400A and 400B. Power transmission to the hands 510 and 520 in the hand holding arm 400 is performed by the same belt-pulley transmission mechanism as in the first embodiment.

이 가공물 반송장치(10D)에 대해서도, 핸드 유지암(400)에 대해서 2개의 핸드(510, 520)가 회동 가능하게 연결되어 있으므로, 제1 실시형태에 따른 가공물 반송장치(10A)에 대해서 상술한 것과 마찬가지의 이점을 얻을 수 있다.Since the two hand 510 and 520 are rotatably connected to the hand holding arm 400 with respect to the work carrying apparatus 10D as well, the work carrying apparatus 10D according to the first embodiment The same advantages can be obtained.

도 14 내지 도 16은, 본 발명의 제5 실시형태에 따른 가공물 반송장치(10E)를 나타낸다. 이 가공물 반송장치(10E)는, 제2 실시형태에 따른 가공물 반송장치(10B)의 변형예이며, 도 14 내지 도 16에 있어서, 제2 실시형태에 따른 가공물 반송장치(10B)와 동일 또는 동등한 부재 또는 부분에는, 동일한 부호를 붙이고, 상세한 설명은 생략한다.Figs. 14 to 16 show a workpiece carrying apparatus 10E according to a fifth embodiment of the present invention. The workpiece conveyance apparatus 10E according to the second embodiment is a modification of the workpiece conveyance apparatus 10B according to the second embodiment and is the same as or equivalent to the workpiece conveyance apparatus 10B according to the second embodiment Members or portions are denoted by the same reference numerals, and a detailed description thereof will be omitted.

이 가공물 반송장치(10E)는, 핸드 유지암(400)을, 팔꿈치관절축(X2) 주위에 회동하는 제1 핸드 유지암(400C)과, 해당 제1 핸드 유지암(400C)의 선단에 대해서 회동 가능하게 연결된 제2 핸드 유지암(400D)으로 분할하고, 제2 핸드 유지암(400D)의 선단부에 있어서 손목관절축(X3) 주위에 2개의 핸드(510, 520)를 회동 가능하게 연결해서 구성되어 있다.The workpiece carrying apparatus 10E includes a first hand holding arm 400C for rotating the hand holding arm 400 around the elbow joint axis X2 and a second hand holding arm 400C for rotating the first hand holding arm 400C And two hands 510 and 520 are rotatably connected around the wrist joint axis X3 at the distal end portion of the second hand holding arm 400D Consists of.

즉, 제2, 제3 및 제4 전동축(354, 356, 358)에 의해 제1 핸드 유지암(400C) 내에 도입된 3계통의 동력 전달 경로의 1개를 제1 핸드 유지암(400C)에 대한 제2 핸드 유지암(400D)의 회동에 이용하고, 나머지의 2개를 제2 핸드 유지암(400D)에 대한 핸드(510, 520)의 회동에 이용하고 있다. 본 실시형태의 경우, 제1 핸드 유지암(400C) 내에 있어서, 제4 전동축(358)의 상단에 설치한 풀리(541)와 제2 핸드 유지암(400D)와 일체적인 지축(412)에 설치한 풀리(413) 사이에 무단 벨트(414)가 걸려 돌아가고, 제3 전동축(356)의 상단에 설치한 풀리(551)와 상기 지축(412)을 축방향으로 관통하는 동시에 해당 지축(412)과 동축 형상의 지축(415)에 설치한 풀리(416) 사이에 무단 벨트(417)가 걸려 돌아간다. 또한, 제2 전동축(354)의 상단에 설치한 풀리(561)와, 상기 지축(415)을 축방향으로 관통하는 동시에 해당 지축(415)과 동축 형상의 지축(418)에 설치한 풀리(419) 사이에 무단 벨트(420)가 걸려 돌아간다. 그리고, 제2 핸드 유지암(400D) 내에 있어서, 상기 지축(415)에 설치한 풀리(430)와 핸드(510)와 일체적인 지축(511)에 설치한 풀리(512) 사이에 무단 벨트(552)가 걸려 돌아가고, 상기 지축(418)에 설치한 풀리(432)와, 핸드(520)와 일체적인 지축(521)에 설치한 풀리(522) 사이에 무단 벨트(553)가 걸려 돌아간다. 본 실시형태의 경우, 지지암(300) 내에 배치되어, 제1 핸드 유지암(400C)의 내부를 향해서 동력을 전달하기 위한 3개의 모터(310, 320, 330) 중, 부호 (330)으로 나타낸 모터는, 제1 핸드 유지암(400C)에 대해서 제2 핸드 유지암(400D)을 회동시키기 위한 모터로서 기능하고, 부호 (310, 320)로 나타낸 모터는, 제2 핸드 유지암(400D)에 대해서 핸드(510, 520)를 회동시키기 위한 모터로서 기능하게 된다.One of the three power transmission paths introduced into the first hand holding arm 400C by the second, third and fourth power transmission shafts 354, 356 and 358 is connected to the first hand holding arm 400C, And the remaining two are used for the rotation of the hands 510 and 520 with respect to the second hand holding arm 400D. The pulley 541 provided on the upper end of the fourth power transmission shaft 358 and the support shaft 412 integrally formed with the second hand retention arm 400D are provided in the first hand retention arm 400C, The endless belt 414 is caught between the installed pulleys 413 so that the pulley 551 provided at the upper end of the third transmission shaft 356 and the shaft 412 pass through in the axial direction, And the pulley 416 provided on the coaxial shaft 415 of the coaxial shape. A pulley 561 provided on the upper end of the second transmission shaft 354 and a pulley 561 provided on a shaft 418 coaxial with the shaft 415, The endless belt 420 is hooked back. An endless belt 552 is provided between the pulley 430 provided on the supporting shaft 415 and the pulley 512 provided on the supporting shaft 511 integrated with the hand 510 in the second hand holding arm 400D. The endless belt 553 is caught between the pulley 432 provided on the support shaft 418 and the pulley 522 provided on the support shaft 521 integrated with the hand 520. [ In this embodiment, of the three motors 310, 320, and 330 for transmitting power to the inside of the first hand holding arm 400C, The motor functions as a motor for rotating the second hand holding arm 400D with respect to the first hand holding arm 400C and the motor indicated by reference numerals 310 and 320 functions as a motor for rotating the second hand holding arm 400D And functions as a motor for rotating the hands 510 and 520 with respect to each other.

이 가공물 반송장치(10E)에 있어서는, 도 15에 나타낸 바와 같이, 지지암(300), 제1 핸드 유지암(400C), 제2 핸드 유지암(400D) 및 핸드(510, 520)(도 15, 도 16에 있어서, 이 핸드(520)는, 핸드(510)의 아래쪽에 은폐되어 있음)를 접은 상태에 있어서, 최소의 선회 반경을 달성하면서, 도 16에 나타낸 바와 같이, 주선회축(X1)에 대해서 핸드(510, 520)를 보다 먼 곳까지 연장시킬 수 있는 동시에, 핸드(510, 520)의 이동 경로의 선택 자유도를 보다 높일 수 있다.15, the supporting arm 300, the first hand holding arm 400C, the second hand holding arm 400D, and the hands 510, 520 (Fig. 15 16, this hand 520 is hidden in the lower part of the hand 510), while the minimum turning radius is being achieved, and as shown in Fig. 16, The hand 510 and 520 can be extended to a further distance with respect to the hand 510 and 520 and the degree of freedom of the movement path of the hand 510 and 520 can be further increased.

물론, 본 발명의 범위는 전술한 실시형태로 한정되는 것은 아니고, 각 청구항에 기재한 사항의 범위 내에서의 모든 변경은, 모두 본 발명의 범위에 포함된다.It is needless to say that the scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments, and all modifications within the scope of the claims are included in the scope of the present invention.

예를 들면, 지지암(300)으로서, 기밀성을 보유한 복수의 지지암 부재를 서로 회동 가능하게 연결한 것과 같은 구성으로 하는 것도 가능하다. 즉, 지지 베이스부(200)에 대해서 제1 지지암을 주선회축(X1) 주위에 선회 가능하게 접속하고, 이 제1 지지암에 대해서 제2 지지암을 회동 가능하게 접속하며, 지지 베이스부(200), 제1의 지지암, 및 제2 지지암을 서로 연통시키는 동시에, 이들의 내부의 압력을 대기압으로 유지하는 것이 가능하도록 기밀성을 유지하고, 제2 지지암에 대해서 기밀성을 유지하지 않는 핸드 유지암(400)을 팔꿈치관절축(X2) 주위에 회동 가능하게 접속하며, 이 핸드 유지암(400)에 대해서 핸드(510, 520)를 제2 지지암 선단의 손목관절축(X3) 주위에 회동 가능하게 접속하는 구성으로 해도 된다. 이 경우, 지지 베이스부(200)에 대해서 지지암(300)을 선회 가능하게 하기 위한 구성으로서, 소정의 제1 진공 밀봉 유닛(250)이 이용되고, 제2 지지암에 대해서 핸드 유지암(400)을 회동 가능하게 하기 위한 구성으로서, 소정의 제2 진공 밀봉 유닛(350)이 이용되게 된다.For example, as the support arm 300, it is also possible to adopt a configuration in which a plurality of support arm members having airtightness are rotatably connected to each other. That is, the first support arm is pivotally connected to the support base portion 200 about the pivot axis X1, the second support arm is pivotally connected to the first support arm, and the support base portion 200), the first support arm, and the second support arm, while maintaining the airtightness so that the pressure inside the first support arm and the second support arm can be maintained at atmospheric pressure, and the airtightness is not maintained with respect to the second support arm The holding arm 400 is rotatably connected around the elbow joint axis X2 and the hands 510 and 520 are connected to the hand holding arm 400 around the wrist axis X3 at the distal end of the second supporting arm Or may be configured to be rotatably connected. In this case, a predetermined first vacuum sealing unit 250 is used as the structure for pivoting the support arm 300 with respect to the support base unit 200, and the hand holding arm 400 A predetermined second vacuum sealing unit 350 is used.

또한, 핸드용 모터(310, 320)의 출력을 감속시키는 제3 감속기(321)로서는, 입력 측의 풀리에 대해서 출력 측의 풀리를 대 직경으로 하고, 이들 풀리 간에 무단 벨트를 걸어 돌리는 바와 같은, 벨트·풀리 전동기구를 채용하는 것도 가능하고, 이러한 형식의 감속기로 할 경우, 이 제3 감속기(321)는 내부에 진공압이 작용하는 핸드 유지암(400) 내에 형성하는 것이 가능해진다.As the third speed reducer 321 for decelerating the output of the hand motors 310 and 320, there is a configuration in which the pulley on the output side has a larger diameter than the pulley on the input side, It is possible to employ a belt-pulley transmission mechanism. In the case of this type of speed reducer, the third speed reducer 321 can be formed in the hand retention arm 400 in which vacuum pressure acts.

X1: 주선회축 X2: 팔꿈치관절축
X3: 손목관절축
10A: 가공물 반송장치(제1 실시형태)
10B: 가공물 반송장치(제2 실시형태)
10C: 가공물 반송장치(제3 실시형태)
10D: 가공물 반송장치(제4 실시형태)
10E: 가공물 반송장치(제1 참고예)
10F: 가공물 반송장치(제2 참고예)
100: 고정 베이스부 103: 승강용 모터
104: 벨트·풀리 전동기구 105: 볼 나사 기구
108: 자바라 부재 200: 지지 베이스부
220: 지지암용 모터 221: 제1 감속기
230: 핸드 유지암용 모터 231: 제2 감속기
232: 제1 전동축 250: 제1 진공 밀봉 유닛
300: 지지암 310: 핸드용 모터
311: 제3 감속기 320: 핸드용 모터
321: 제3 감속기 350: 제2 진공 밀봉 유닛
400: 핸드 유지암 510: 제1 핸드
520: 제2 핸드X1: Joint axis X2: Elbow joint axis
X3: Wrist joint axis
10A: Workpiece conveying device (first embodiment)
10B: Workpiece transport device (second embodiment)
10C: Workpiece conveyance device (third embodiment)
10D: Workpiece transport device (fourth embodiment)
10E: Workpiece transport device (first reference example)
10F: Workpiece transport device (second reference example)
100: fixed base portion 103: elevating motor
104: belt / pulley transmission mechanism 105: ball screw mechanism
108: bellows member 200: support base part
220: motor for supporting arm 221: first reduction gear
230: Hand holding arm motor 231: Second reduction gear
232: first transmission shaft 250: first vacuum sealing unit
300: Support arm 310: Hand motor
311: Third speed reducer 320: Hand motor
321: Third reduction gear unit 350: Second vacuum sealing unit
400: hand holding arm 510: first hand
520: second hand

Claims (7)

지지 베이스부와, 이 지지 베이스부에 대해서 주선회축 주위에 선회 가능하게 연결된 지지암과, 이 지지암에 대해서 팔꿈치관절축 주위에 회동 가능하게 연결된 핸드 유지암과, 이 핸드 유지암에 대해서 손목관절축 주위에 회동 가능하게 연결된 적어도 2개의 핸드를 포함하는 가공물 반송장치에 있어서,
상기 지지 베이스부에 대해서 상기 지지암을 선회시키기 위한 지지암용 모터는, 상기 지지 베이스부 내에 배치되어 있고,
상기 지지암에 대해서 상기 핸드 유지암을 회동시키기 위한 핸드 유지암용 모터는, 상기 지지 베이스부 내 또는 상기 지지암 내에 배치되어 있으며,
상기 핸드 유지암에 대해서 상기 핸드를 회동시키기 위한 핸드용 모터는, 상기 지지암 내에 배치되고,
상기 팔꿈치관절축에는, 상기 지지암에 대해서 상기 핸드 유지암을 회동 가능하게 하기 위한 관절축과, 상기 핸드를 회동시키기 위한 동력을 전달하는 적어도 2개의 전동축이 동축 형상으로 배치되어 있으며,
상기 지지 베이스부, 상기 주선회축, 상기 지지암 및 상기 팔꿈치관절축에는, 상기 지지 베이스부 내에 있어서의 상기 지지암용 모터가 배치되는 영역 및 상기 지지암 내를 기밀 유지하는 기밀구조가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는, 가공물 반송장치.A hand holding arm rotatably connected to the support arm about an elbow joint axis; a hand holding arm rotatably connected to the hand holding arm about a wrist joint; A workpiece conveyance device comprising at least two hands rotatably connected around an axis,
Wherein the support arm motor for pivoting the support arm with respect to the support base portion is disposed in the support base portion,
Wherein the hand holding arm motor for rotating the hand holding arm with respect to the support arm is disposed within the support base or within the support arm,
A hand motor for rotating the hand with respect to the hand holding arm is disposed in the support arm,
Wherein the elbow joint shaft is provided with a joint shaft for making the hand holding arm rotatable with respect to the support arm and at least two transmission shafts for transmitting the power for rotating the hand,
The support base portion, the pivot shaft, the support arm, and the elbow joint shaft are provided with a hermetic structure for hermetically sealing the inside of the support arm and the region where the support arm motor is disposed in the support base portion Wherein the workpiece conveying device comprises: 제1항에 있어서, 상기 팔꿈치관절축에 있어서, 상기 관절축은 중공축이며, 상기 동축 형상의 전동축은 상기 관절축의 내부에 삽입되어 있고, 상기 관절축과 이것을 회동 가능하게 지지하는 부재 사이, 상기 전동축과 상기 관절축 사이, 그리고 상기 전동축 사이에는, 기밀 시일(seal)이 설치되어 있는, 가공물 반송장치.The articulated joint according to claim 1, wherein, in the elbow joint axis, the articulated shaft is a hollow shaft, the coaxial electric power shaft is inserted in the joint shaft, between the joint shaft and a member rotatably supporting the joint shaft, Wherein an airtight seal is provided between the coaxial shaft and the joint shaft and between the coaxial shaft. 제2항에 있어서, 상기 기밀 시일은 자성 유체 시일인, 가공물 반송장치.The workpiece carrying apparatus according to claim 2, wherein the hermetic seal is a magnetic fluid seal. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 지지암용 모터의 출력을 감속시키는 제1 감속 기구를 구비하되, 해당 제1 감속 기구는 상기 지지 베이스부 내에 배치되어 있고,
상기 핸드 유지암용 모터의 출력을 감속시키는 제2 감속 기구를 구비하되, 해당 제2 감속 기구는 상기 지지 베이스부 내 또는 상기 지지암 내에 배치되어 있으며,
상기 핸드용 모터의 출력을 감속시키는 제3 감속 기구를 구비하되, 해당 제3 감속 기구는 상기 지지암 내 또는 상기 핸드 유지암 내에 배치되어 있는, 가공물 반송장치.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
And a first reduction mechanism that decelerates the output of the motor for the support arm, wherein the first reduction mechanism is disposed in the support base portion,
And a second deceleration mechanism for decelerating the output of the motor for the hand holding arm, wherein the second deceleration mechanism is disposed in the support base or in the support arm,
And a third deceleration mechanism for decelerating the output of the hand motor, wherein the third deceleration mechanism is disposed in the support arm or in the hand holding arm. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 적어도 2개의 핸드는, 상기 핸드 유지암에 대해서, 1개의 상기 손목관절축 주위에 동축 형상으로 회동 가능한, 가공물 반송장치.The workpiece carrying apparatus according to any one of claims 1 to 4, wherein the at least two hands are rotatable coaxially around one wrist joint axis with respect to the hand holding arm. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 지지암은, 서로 회동 가능하게 연결된 2 또는 그 이상의 지지암 부재에 의해서 구성되어 있고, 최선단측의 지지암 부재에 상기 팔꿈치관절축이 위치하고 있는, 가공물 반송장치.6. The method according to any one of claims 1 to 5, wherein the support arm is constituted by two or more support arm members rotatably connected to each other, and the elbow joint axis is located on the support arm member on the best-end side The workpiece transport device. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 핸드 유지암은, 서로 회동 가능하게 연결된 2 또는 그 이상의 핸드 유지암 부재에 의해서 구성되어 있고, 최선단측의 핸드 유지암 부재에 상기 손목관절축이 위치하고 있는, 가공물 반송장치.The hand holding arm according to any one of claims 1 to 6, wherein the hand holding arm is constituted by two or more hand holding arm members rotatably connected to each other, And the shaft is located.
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