JP5255683B2

JP5255683B2 - Transport device

Info

Publication number: JP5255683B2
Application number: JP2011236669A
Authority: JP
Inventors: 隆文浦谷; 大介佐渡; 英樹松尾
Original assignee: Daihen Corp
Current assignee: Daihen Corp
Priority date: 2011-10-28
Filing date: 2011-10-28
Publication date: 2013-08-07
Anticipated expiration: 2027-04-26
Also published as: JP2012030361A

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To appropriately avoid an increase in the weight of the whole linearly moving mechanism and an increase in inertia force caused by turning operation even if a travel distance is extended. SOLUTION: A conveyer A1 includes: a fixed base 1; a turning base 2 which is turnable around a vertical turning shaft Os; a linearly moving mechanism 3 supported by the turning base 2; hands 4A and 4B which are supported by the linearly moving mechanism 3 and convey a workpiece W along a horizontally linear moving route; and transmisssion hafts 25 and 26 arranged along the shaft Os for transmitting driving force from motors M3 and M4 within the fixed base 1 to the linearly moving mechanism 3. The linearly moving mechanism 3 includes: drive mechanisms 33A and 33B comprising a drive pulley 335 which is turnable around a horizontal shaft O1 and an output belt 337 arranged on the driving pulley 335 along the inside of the vertical plane; and guide rails 32A and 32B which movably support the hands 4A and 4B connected to the output belt 337. COPYRIGHT: (C)2012,JPO&INPIT

Description

本発明は、搬送装置に関し、より詳しくは、基板等の薄板状のワークを直線状に搬送することができる搬送装置に関する。 The present invention relates to a transfer device, and more particularly to a transfer device that can transfer a thin plate-like workpiece such as a substrate in a straight line.

搬送装置のうち、直線状の移動行程に沿ってハンドを移動させる機構（直線移動機構）をもつものは、いわゆる多関節型ロボットに比較して構成が簡単で安価であり、たとえば、半導体製造装置の製造工程、あるいは、液晶表示パネルの製造工程において、各処理室へのウエハ、あるいはガラス基板等の薄板状のワークの搬入あるいは搬出用として多用されている。 Among the transfer devices, one having a mechanism (linear movement mechanism) for moving the hand along a linear movement process is simpler and less expensive than a so-called articulated robot. For example, a semiconductor manufacturing apparatus In this manufacturing process or in the manufacturing process of a liquid crystal display panel, it is frequently used for loading or unloading a thin plate-like workpiece such as a wafer or a glass substrate into each processing chamber.

このような薄板状のワークを搬送するための搬送装置としては、たとえば下記の特許文献１に開示されたものがある。この搬送装置は、旋回ベースに支持された直線移動機構としてのリンクアーム機構が設けられ、このリンクアーム機構の先端部に基板等の板状ワークを水平に保持可能なハンドが設けられたものである。旋回ベースは、固定ベースに対して旋回可能に支持されており、固定ベース上でこの旋回ベースが垂直状の旋回軸線周りに旋回すると、それに伴ってリンクアーム機構が旋回させられる。固定ベースの内部には、リンクアーム機構を駆動させるための駆動源が設けられているとともに、この駆動源からの駆動力をリンクアーム機構に伝達するための伝動軸が旋回ベースの内部まで延びるように設けられている。リンクアーム機構は、複数のアームが回転可能に連結された２つの平行四辺形リンクを有する構成とされており、固定ベース内の上記駆動源からの駆動力が伝動軸を介して伝達されることによって駆動させられる。リンクアーム機構が駆動すると、ハンドに保持された板状ワークが水平面内で直線的に移動させられる。これにより、板状ワークが所定位置から他の位置へと搬送させられる。 As a conveying device for conveying such a thin plate-shaped workpiece, for example, there is one disclosed in Patent Document 1 below. This transport device is provided with a link arm mechanism as a linear movement mechanism supported by a turning base, and a hand capable of horizontally holding a plate-like workpiece such as a substrate is provided at the tip of the link arm mechanism. is there. The turning base is supported so as to be able to turn with respect to the fixed base. When the turning base turns around a vertical turning axis on the fixed base, the link arm mechanism is turned accordingly. A driving source for driving the link arm mechanism is provided inside the fixed base, and a transmission shaft for transmitting the driving force from the driving source to the link arm mechanism extends to the inside of the turning base. Is provided. The link arm mechanism has two parallelogram links in which a plurality of arms are rotatably connected, and the driving force from the driving source in the fixed base is transmitted via the transmission shaft. Driven by. When the link arm mechanism is driven, the plate-like workpiece held by the hand is linearly moved in the horizontal plane. Thereby, a plate-shaped workpiece is conveyed from a predetermined position to another position.

近年では、たとえば、液晶表示パネルの製造において取り扱うパネルサイズが大型化する傾向にある。それに伴い、搬送装置において搬送するべきワークもまた、大型化するとともに相当の重量を有するようになり、また、ワークを保持するハンドの移動距離についても長大化が求められる。 In recent years, for example, the panel size handled in the manufacture of liquid crystal display panels tends to increase. Along with this, the work to be transported in the transporting apparatus also becomes large and has a considerable weight, and the moving distance of the hand holding the work is also required to be long.

しかしながら、上記従来の搬送装置では、ワークの重量が嵩むと、これを支持するリンクアーム機構においても所定の高い剛性を備えることが必要になり、当該リンクアーム機構の重量化を招く。 However, in the above-described conventional transport device, when the workpiece is heavy, the link arm mechanism that supports the workpiece needs to have a predetermined high rigidity, which leads to an increase in the weight of the link arm mechanism.

また、ハンドの移動距離を大きくするには、リンクアーム機構を構成するアームの長さを長くする必要がある。そうすると、リンクアーム機構は、全体として上記旋回軸線から遠ざかる位置に変位することになり、これと上記リンクアーム機構の重量化とが相俟って、上記旋回ベースの旋回動作の開始時および停止時においては、旋回ベースに大きな慣性力が作用することになる。その結果、旋回用の駆動源として出力の大きいものが必要になり、好ましくない。 Further, in order to increase the moving distance of the hand, it is necessary to increase the length of the arm constituting the link arm mechanism. Then, the link arm mechanism is displaced to a position away from the swivel axis as a whole, and this and the weight of the link arm mechanism are combined to start and stop the swivel base swing operation. In this case, a large inertial force acts on the turning base. As a result, a turning drive source with a high output is required, which is not preferable.

特開２００５−１８６２５９号公報JP 2005-186259 A

本発明は、このような事情のもとで考え出されたものであって、直線移動機構によって移動させられるハンドの移動距離の長大化のニーズに対しても、直線移動機構の全体の重量化、および旋回動作にともなう慣性力の増大を適切に回避することができる搬送装置を提供することをその課題としている。 The present invention has been conceived under such circumstances, and the overall weight of the linear moving mechanism is increased in response to the need to increase the moving distance of the hand moved by the linear moving mechanism. It is an object of the present invention to provide a transport apparatus that can appropriately avoid an increase in inertia force accompanying a turning operation.

上記の課題を解決するため、本発明では、次の技術的手段を採用した。 In order to solve the above problems, the present invention employs the following technical means.

本発明によって提供される搬送装置は、固定ベースと、この固定ベースに対して垂直状の旋回軸線周りに旋回可能に支持された旋回ベースと、この旋回ベースに支持された直線移動機構と、この直線移動機構に支持され、この直線移動機構の作動によりワークを水平直線状の移動行程に沿って搬送するハンドと、上記固定ベース内に配置された駆動源と、上記旋回軸線に沿って配置され、上記駆動源からの駆動力を上記直線移動機構に伝達するための伝動軸と、を備えた搬送装置であって、上記直線移動機構は、水平軸線周りに回転可能に支持された駆動プーリを含む複数のプーリ、および、垂直面内に沿うように上記複数のプーリに掛け回され、上記移動行程の平行線に沿う所定の区間を往復動する出力ベルトを含んで構成された駆動機構と、上記ハンドを移動可能に支持するガイドレールと、を有し、上記ハンドは、連結部材を介して上記出力ベルトに連結されており、上記駆動機構は、上記伝動軸と上記駆動プーリとの間に介在させられるベベルギア機構と、上記旋回軸線の平行線に沿って配置される回転軸と、上記伝動軸の回転を上記回転軸に伝達する伝達部と、を備え、上記ベベルギア機構は、上記回転軸の一端に設けられた第１のベベルギアと、この第１のベベルギアに噛み合わされ、上記回転軸の回転を上記駆動プーリに伝達するための第２のベベルギアと、を有し、上記旋回ベースは、上下に分離可能に連結された上位部と下位部とを備えており、上記伝達部は、上記上位部に対して上記旋回軸線周りに回転可能に支持された連係部材と、上記伝動軸に対して上方から係合させられ、かつ上記連係部材に対して着脱可能に設けられた係合部材と、を備えることを特徴としている。 A conveying device provided by the present invention includes a fixed base, a swivel base that is pivotally supported around a swivel axis that is perpendicular to the fixed base, a linear movement mechanism that is supported by the swivel base, A hand that is supported by a linear movement mechanism and conveys a workpiece along a horizontal linear movement stroke by the operation of the linear movement mechanism, a drive source disposed in the fixed base, and a rotation axis. A transfer shaft for transmitting a driving force from the drive source to the linear movement mechanism, wherein the linear movement mechanism has a drive pulley supported rotatably around a horizontal axis. A drive mechanism configured to include a plurality of pulleys, and an output belt that revolves around the plurality of pulleys along a vertical plane and reciprocates in a predetermined section along a parallel line of the moving stroke. A guide rail that movably supports the hand, the hand is connected to the output belt via a connecting member, and the drive mechanism is provided between the transmission shaft and the drive pulley. A bevel gear mechanism interposed between the rotating shaft and a rotating shaft disposed along a parallel line of the swivel axis, and a transmission unit that transmits the rotation of the transmission shaft to the rotating shaft. a first bevel gear provided at one end of the shaft, mesh with the first bevel gear, the rotation of the rotating shaft have a, a second bevel gear for transmitting to the drive pulley, the pivoting base An upper part and a lower part connected to be separable in the vertical direction, and the transmission part is connected to the upper part so as to be rotatable around the turning axis, and to the transmission shaft. Upward Is engaged et engagement, and is characterized in that it comprises a, an engaging member provided detachably with respect to the coupling member.

本発明に係る搬送装置においては、ハンドは、ガイドレールに支持されるとともに、ベルト式の駆動機構により駆動させられるように構成されている。このような構成によれば、ハンドの移動距離を延長するには、ガイドレール、および出力ベルトを長尺化することにより容易に対応することが可能である。このため、ハンドの移動距離の長大化によって直線移動機構が重量化するのを適切に回避することができる。 In the transport apparatus according to the present invention, the hand is supported by the guide rail and is driven by a belt-type drive mechanism. According to such a configuration, it is possible to easily cope with extending the movement distance of the hand by elongating the guide rail and the output belt. For this reason, it is possible to appropriately avoid an increase in the weight of the linear movement mechanism due to an increase in the movement distance of the hand.

また、駆動機構において、出力ベルトは、垂直面内に沿うように駆動プーリを含む複数のプーリに掛け回されており、伝動軸から駆動プーリへの駆動力の伝達は、ベベルギア機構を介してなされる。このような構成によれば、旋回軸線の近傍にベベルギア機構や駆動プーリなどの駆動力伝達経路を効率よく配置することができる。したがって、このような構成によれば、旋回動作の開始時および停止時において、旋回ベースに作用する慣性力が増大するのを回避することができる。 In the drive mechanism, the output belt is wound around a plurality of pulleys including a drive pulley so as to be along the vertical plane, and the driving force is transmitted from the transmission shaft to the drive pulley via the bevel gear mechanism. The According to such a configuration, driving force transmission paths such as a bevel gear mechanism and a driving pulley can be efficiently arranged in the vicinity of the turning axis. Therefore, according to such a configuration, it is possible to avoid an increase in inertial force acting on the turning base at the start and stop of the turning operation.

本発明に係る搬送装置においては、上記旋回ベースは、上下に分離可能に連結された上位部と下位部とを備えており、上記伝達部は、上記上位部に対して上記旋回軸線周りに回転可能に支持された連係部材と、上記伝動軸に対して上方から係合させられ、かつ上記連係部材に対して着脱可能に設けられた係合部材と、を備える。 In the transport apparatus according to the present invention, the swivel base includes an upper part and a lower part that are detachably connected to each other, and the transmission part rotates about the swivel axis with respect to the upper part. A link member that is supported so as to be able to engage with the transmission shaft from above, and an detachable member that is detachably attached to the link member.

このような構成によれば、搬送装置を必要に応じて上下に分離することができるので、たとえば据え付け時などにおいて取り扱い易いものとなる。すなわち、移動行程の長大化にともなって直線移動機構が比較的に長尺となるところ、この直線移動機構を旋回ベースの上位部に支持させた状態で分離することが可能となるので、上記据え付け時などにおいても、搬送装置の取り扱いが容易になる。 According to such a configuration, the conveying device can be separated into upper and lower parts as necessary, so that it becomes easy to handle, for example, during installation. That is, as the moving stroke becomes longer, the linear moving mechanism becomes comparatively long. However, the linear moving mechanism can be separated while being supported by the upper part of the turning base. Even at times, handling of the transport device is facilitated.

好ましい実施の形態においては、上記ハンドは、上記移動行程に沿って相互に干渉することなく移動可能とされた第１および第２のハンドを含み、上記駆動機構は、上記第１および第２のハンドをそれぞれ駆動する第１および第２の駆動機構を含んでいるとともに、上記伝動軸は、上記第１および第２の駆動機構に対応して同軸状に配置された第１および第２の伝動軸からなっており、上記ベベルギア機構は、上記第１および第２の駆動機構、ならびに上記第１および第２の伝動軸にそれぞれ対応するように構成された第１および第２のベベルギア機構を含んでいる。 In a preferred embodiment, the hand includes first and second hands that are movable along the moving stroke without interfering with each other, and the driving mechanism includes the first and second hands. First and second transmission mechanisms including first and second drive mechanisms for driving the hands, respectively, and the transmission shaft is coaxially disposed corresponding to the first and second drive mechanisms. The bevel gear mechanism includes a first and a second drive mechanism, and a first and a second bevel gear mechanism configured to correspond to the first and second transmission shafts, respectively. It is out.

上記構成の搬送装置は、ハンドを２つ備え、当該２つのハンドが別個独立して駆動させられるいわゆる２アーム式の搬送装置においても好適に適用することができる。 The transport device having the above-described configuration can also be suitably applied to a so-called two-arm transport device in which two hands are provided and the two hands are driven separately and independently.

好ましい実施の形態においては、上記第１および第２の伝動軸は、その一方が他方に内挿通されている。 In a preferred embodiment, one of the first and second transmission shafts is inserted through the other.

本発明の参考例に係る搬送装置の全体斜視図である。It is a whole perspective view of the conveying apparatus concerning the reference example of this invention. 図１に示す搬送装置の平面図である。It is a top view of the conveying apparatus shown in FIG. 図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the III-III line of FIG. 図３の部分拡大図である。FIG. 4 is a partially enlarged view of FIG. 3. 図３のＶ−Ｖ線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the VV line of FIG. 本発明の実施形態に係る搬送装置の全体斜視図である。1 is an overall perspective view of a transport apparatus according to an embodiment of the present invention. 図６のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the VII-VII line of FIG. 図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the VIII-VIII line of FIG. 図８のＩＸ−ＩＸ線に沿う部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which follows the IX-IX line of FIG. 図８のＸ−Ｘ線に沿う部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which follows the XX line of FIG. 図７のＸＩ−ＸＩ線に沿う部分断面図である。It is a fragmentary sectional view which follows the XI-XI line of FIG. 本発明の実施形態に係る搬送装置の分離手順を説明するための部分拡大断面図である。It is a partial expanded sectional view for demonstrating the isolation | separation procedure of the conveying apparatus which concerns on embodiment of this invention.

以下、本発明に係る搬送装置の好ましい実施形態につき、図面を参照しつつ具体的に説明する。 Hereinafter, a preferred embodiment of a transport device according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

図１〜図５は、本発明の参考例に係る搬送装置を示している。搬送装置Ａ１は、たとえば液晶表示パネル用の基板等といった薄板状のワークＷを搬送するためのものである。この搬送装置Ａ１は、図１〜図３に表れているように、固定ベース１と、この固定ベース１に対して垂直状の旋回軸Ｏｓ周りに旋回可能に支持された旋回ベース２と、旋回ベース２に支持された直線移動機構３と、直線移動機構３に各別に支持された一対のハンド４Ａ，４Ｂと備えている。ハンド４Ａ，４Ｂは、上記薄板状のワークＷを水平姿勢で保持するためのものである。 1 to 5 show a transport apparatus according to a reference example of the present invention. The transport device A1 is for transporting a thin plate-like work W such as a substrate for a liquid crystal display panel, for example. As shown in FIGS. 1 to 3, the transfer device A 1 includes a fixed base 1, a swivel base 2 supported so as to be swivel around a swivel axis Os perpendicular to the fixed base 1, and a swivel A linear movement mechanism 3 supported by the base 2 and a pair of hands 4A and 4B supported separately by the linear movement mechanism 3 are provided. The hands 4A and 4B are for holding the thin plate-like workpiece W in a horizontal posture.

図３によく表れているように、固定ベース１は、底壁部１１と、円筒状の側壁部１２と天井壁１３とを備えた、略円柱状の外形を有するハウジング１Ａを備えており、天井壁１３には、中心開口１３Ａが形成されている。 As shown well in FIG. 3, the fixed base 1 includes a housing 1 A having a bottom wall portion 11, a cylindrical side wall portion 12, and a ceiling wall 13 and having a substantially columnar outer shape, A central opening 13 A is formed in the ceiling wall 13.

固定ベース１の内部には、昇降ベース１４が支持されている。昇降ベース１４は、中心開口１３Ａよりも小径の外径をもち、上下方向に所定の寸法を有する円筒部１４１と、この円筒部１４１の下端に形成された外向フランジ部１４２とを有している。ハウジング１Ａの側壁部１２の内壁には、上下方向の直線ガイドレール１５が複数取り付けられているとともに、昇降ベース１４の外向フランジ部１４２に設けた複数のガイド部材１６が直線ガイドレール１５に対して上下方向スライド移動可能に支持されている。これにより、昇降ベース１４は、固定ベース１に対し、上下方向に所定範囲内で移動可能であり、このとき、昇降ベース１４の円筒部１４１の上部がハウジング１Ａの中心開口１３Ａから出没する。 An elevating base 14 is supported inside the fixed base 1. The elevating base 14 has a cylindrical portion 141 having an outer diameter smaller than the central opening 13A and having a predetermined dimension in the vertical direction, and an outward flange portion 142 formed at the lower end of the cylindrical portion 141. . A plurality of vertical guide rails 15 in the vertical direction are attached to the inner wall of the side wall portion 12 of the housing 1 A, and a plurality of guide members 16 provided on the outward flange portion 142 of the elevating base 14 are attached to the linear guide rail 15. It is supported so that it can slide in the vertical direction. Thereby, the elevating base 14 can move within a predetermined range in the vertical direction with respect to the fixed base 1, and at this time, the upper portion of the cylindrical portion 141 of the elevating base 14 protrudes and appears from the central opening 13 A of the housing 1 A.

固定ベース１の天井壁１３と昇降ベース１４の外向フランジ部１４２との間には、この昇降ベース１４の円筒部１４１を取り囲むようにして配置されたベローズ１７の両端が連結されている。このベローズ１７は、昇降ベース１４の上下方向の移動にかかわらず、固定ベース１の天井壁１３と昇降ベース１４の外向フランジ部１４２との間を気密シールする。 Between the ceiling wall 13 of the fixed base 1 and the outward flange portion 142 of the lifting base 14, both ends of a bellows 17 disposed so as to surround the cylindrical portion 141 of the lifting base 14 are connected. The bellows 17 hermetically seals between the ceiling wall 13 of the fixed base 1 and the outward flange portion 142 of the lifting base 14 regardless of the vertical movement of the lifting base 14.

固定ベース１の内部にはまた、ベローズ１７の外側において、鉛直方向に配置されて回転するネジ軸１８１と、このネジ軸１８１に螺合され、かつ昇降ベース１４の外向フランジ部１４２に貫通状に固定されたナット部材１８２とからなるボールネジ機構１８が配置されている。ネジ軸１８１は、その下端に取付けたプーリ１８３に掛け回されたベルト１８４によってモータＭ１に連係されており、このモータＭ１の駆動により、正逆方向に回転させられる。このようにしてネジ軸１８１を回転することにより、昇降ベース１４が昇降させられる。 The fixed base 1 also has a screw shaft 181 that is arranged in the vertical direction and rotates outside the bellows 17, and is screwed into the screw shaft 181 and penetrates the outward flange portion 142 of the elevating base 14. A ball screw mechanism 18 comprising a fixed nut member 182 is disposed. The screw shaft 181 is linked to the motor M1 by a belt 184 wound around a pulley 183 attached to the lower end thereof, and is rotated in the forward and reverse directions by the driving of the motor M1. Thus, the elevating base 14 is raised and lowered by rotating the screw shaft 181.

旋回ベース２は、図３に表れているように、円筒軸２１と、その上方に一体的につながる上板２２とを備えている。円筒軸２１は、昇降ベース１４の円筒部１４１の内部にベアリング２３１を介して旋回軸線Ｏｓを中心として回転可能に支持されている。円筒部１４１と円筒軸２１との間にはまた、ベアリング２３１よりも上位に位置するシール機構２３２が介装されている。シール機構２３２は、当該シール機構２３２よりも上方の空間と、シール機構２３２よりも下方の昇降ベース１４の内側空間とを遮蔽して気密性を保持するものである。円筒軸２１の下端には、プーリ２１１が一体的に形成されており、このプーリ２１１と円筒部１４１内に支持されたモータＭ２の出力軸に取り付けたプーリとの間にベルト２４１が掛け回されている。これにより、モータＭ２を駆動させると、旋回ベース２が旋回軸線Ｏｓ周りに旋回する。 As shown in FIG. 3, the swivel base 2 includes a cylindrical shaft 21 and an upper plate 22 that is integrally connected thereabove. The cylindrical shaft 21 is supported inside the cylindrical portion 141 of the elevating base 14 via a bearing 231 so as to be rotatable about the turning axis Os. A seal mechanism 232 located above the bearing 231 is interposed between the cylindrical portion 141 and the cylindrical shaft 21. The sealing mechanism 232 shields the space above the sealing mechanism 232 and the inner space of the elevating base 14 below the sealing mechanism 232 to maintain airtightness. A pulley 211 is integrally formed at the lower end of the cylindrical shaft 21, and a belt 241 is wound around the pulley 211 and a pulley attached to the output shaft of the motor M 2 supported in the cylindrical portion 141. ing. Thereby, when the motor M2 is driven, the turning base 2 turns around the turning axis Os.

図３および図４に表れているように、旋回ベース２の円筒軸２１には、後述する第１および第２の駆動機構３３Ａ，３３Ｂに駆動力を伝達するための第１および第２の伝動軸２５，２６が旋回軸Ｏｓに沿って同軸状に挿通されている。第２の伝動軸２６は、円筒状の軸とされ、円筒軸２１の内側にベアリング２３３を介して回転可能に支持されている。第１の伝動軸２５は、第２の伝動軸２６の内側にベアリング２３４を介して回転可能に支持されている。第１の伝動軸２５の下端は、円筒部１４１内に支持されたモータＭ３の出力軸に連結されている。また、第１の伝動軸２５の上端には、ベベルギア２５２が設けられている。一方、第２の伝動軸２６の下端には、プーリ２６１が設けられており、このプーリ２６１と、円筒部１４１内に支持されたモータＭ４の出力軸に取り付けたプーリとの間にベルト２４２が掛け回されている。第２の伝動軸２６の上端には、ベベルギア２６２が設けられている。 As shown in FIGS. 3 and 4, the cylindrical shaft 21 of the swivel base 2 has first and second transmissions for transmitting a driving force to first and second drive mechanisms 33A and 33B described later. The shafts 25 and 26 are coaxially inserted along the turning axis Os. The second transmission shaft 26 is a cylindrical shaft, and is rotatably supported inside the cylindrical shaft 21 via a bearing 233. The first transmission shaft 25 is rotatably supported on the inner side of the second transmission shaft 26 via a bearing 234. The lower end of the first transmission shaft 25 is connected to the output shaft of the motor M3 supported in the cylindrical portion 141. A bevel gear 252 is provided at the upper end of the first transmission shaft 25. On the other hand, a pulley 261 is provided at the lower end of the second transmission shaft 26, and a belt 242 is provided between the pulley 261 and a pulley attached to the output shaft of the motor M4 supported in the cylindrical portion 141. It is laid around. A bevel gear 262 is provided at the upper end of the second transmission shaft 26.

直線移動機構３は、ハンド４Ａ，４Ｂを水平直線状の移動行程ＧＬに沿って搬送するためのものであり、図３に表れているように、ガイド部材３１と、このガイド部材３１上に設けられたガイドレール３２Ａ，３２Ｂと、ハンド４Ａ，４Ｂに水平方向の駆動力を伝達する第１および第２の駆動機構３３Ａ，３３Ｂとを有する。 The linear movement mechanism 3 is for conveying the hands 4A and 4B along the horizontal linear movement stroke GL, and is provided on the guide member 31 and the guide member 31 as shown in FIG. Guide rails 32A and 32B, and first and second drive mechanisms 33A and 33B that transmit horizontal driving force to the hands 4A and 4B.

ガイド部材３１は、水平方向に延びる長手軸線（移動行程ＧＬ）を有する平面視長矩形状をしているとともに、底壁３１１、側壁３１２、中壁３１３、およびカバー３１４を備えている。このガイド部材３１はまた、旋回ベース２の上板２２に固定されており、旋回ベース２が旋回させられると、これにともなって旋回する。ガイド部材３１の底壁３１１と旋回ベース２の上板２２との間は図示しないシール部材によって気密シールされている。内側の一対のガイドレール３２Ａは、中壁３１３に支持され、外側の一対のガイドレール３２Ｂは、側壁３１２に支持されている。 The guide member 31 has a rectangular shape in plan view having a longitudinal axis (movement stroke GL) extending in the horizontal direction, and includes a bottom wall 311, a side wall 312, an intermediate wall 313, and a cover 314. The guide member 31 is also fixed to the upper plate 22 of the turning base 2, and turns when the turning base 2 is turned. A space between the bottom wall 311 of the guide member 31 and the upper plate 22 of the swivel base 2 is hermetically sealed by a seal member (not shown). The pair of inner guide rails 32 A are supported by the middle wall 313, and the pair of outer guide rails 32 B are supported by the side walls 312.

ハンド４Ａは、その下部に形成された一対の支持アーム４１ａ、および支持アーム４１ａに設けられたスライダ３２１Ａを介して、一対のガイドレール３２Ａに支持されている。ハンド４Ｂは、ハンド４Ａの側方を迂回するように形成された一対の支持アーム４１ｂ、および支持アーム４１ｂに設けられたスライダ３２１Ｂを介して、一対のガイドレール３２Ｂに支持されている。各ガイドレール３２Ａ，３２Ｂの上方は、カバー３１４によって覆われている。ハンド４Ａの支持アーム４１ａは、カバー３１４の上面に形成されたスリット３１４ａを貫通しており、支持アーム４１ａには、連結部材４２ａが設けられている。連結部材４２ａは、中壁３１３に形成されたスリットを貫通して後述する第１の駆動機構３３Ａの出力ベルト３３７に連結されている。また、ハンド４Ｂにおいては、支持アーム４１ｂは、カバー３１４の側面に形成されたスリット３１４ｂを貫通しており、支持アーム４１ｂには、連結部材４２ｂが設けられている。連結部材４２ｂは、中壁３１３に形成されたスリットを貫通して第２の駆動機構３３Ｂの出力ベルト３３７に連結されている。 The hand 4A is supported by a pair of guide rails 32A via a pair of support arms 41a formed in the lower part of the hand 4A and a slider 321A provided on the support arms 41a. The hand 4B is supported by the pair of guide rails 32B via a pair of support arms 41b formed so as to bypass the side of the hand 4A and a slider 321B provided on the support arm 41b. The upper part of each guide rail 32A, 32B is covered with a cover 314. The support arm 41a of the hand 4A passes through a slit 314a formed on the upper surface of the cover 314, and a connecting member 42a is provided on the support arm 41a. The connecting member 42a passes through a slit formed in the inner wall 313 and is connected to an output belt 337 of the first drive mechanism 33A described later. In the hand 4B, the support arm 41b passes through a slit 314b formed on the side surface of the cover 314, and a connection member 42b is provided in the support arm 41b. The connecting member 42b passes through a slit formed in the inner wall 313 and is connected to the output belt 337 of the second drive mechanism 33B.

図１〜図３によく表れているように、ハンド４Ａ，４Ｂには、ガイド部材３１の長手方向に延びる複数のホーク状の保持片４３ａ，４３ｂが一体形成されており、これらの保持片４３ａ，４３ｂ上に上記薄板状のワークＷが載置保持される。なお、図３および図５においては、図１および図２と異なり、ハンド４Ａ，４Ｂの双方が固定ベース１の上方に位置する状態を示している。 1 to 3, the hands 4A and 4B are integrally formed with a plurality of fork-shaped holding pieces 43a and 43b extending in the longitudinal direction of the guide member 31, and these holding pieces 43a. , 43b, the thin plate-like workpiece W is placed and held. 3 and 5, unlike FIGS. 1 and 2, both hands 4 A and 4 B are shown above the fixed base 1.

第１および第２の駆動機構３３Ａ，３３Ｂは、ハンド４Ａ，４Ｂを各別に移動行程ＧＬに沿って移動させるためのものである。第１および第２の駆動機構３３Ａ，３３Ｂは、基本的に同様の構成を有しているので、以下に第１の駆動機構３３Ａの構成について具体的に説明し、第２の駆動機構３３Ｂについては適宜説明を省略する。 The first and second drive mechanisms 33A and 33B are for moving the hands 4A and 4B separately along the movement stroke GL. Since the first and second drive mechanisms 33A and 33B basically have the same configuration, the configuration of the first drive mechanism 33A will be specifically described below, and the second drive mechanism 33B will be described. Will be omitted as appropriate.

第１の駆動機構３３Ａは、図３〜図５に表れているように、伝動軸３３１，３３２と、ベベルギア機構３３３Ａと、減速機構３３４と、駆動プーリ３３５と、プーリ３３６ａ〜３３６ｆと、出力ベルト３３７とを備え、ガイド部材３１内に収容されている。伝動軸３３１は、ガイド部材３１によって、旋回軸線Ｏｓに対して直交する水平軸線Ｏ１周りに回転可能に支持されている。伝動軸３３１の一端（図中右側）には、ベベルギア３３１ａが設けられており、このベベルギア３３１ａは、第１の伝動軸２５の上端に設けられたベベルギア２５２と噛み合っている。ベベルギア機構３３３Ａは、ベベルギア２５２およびベベルギア３３１ａによって構成されており、第１の伝動軸２５の旋回軸線Ｏｓ周りの回転を水平軸線Ｏ１周りの回転に変換したうえで駆動プーリ３３５に伝達するためのものである。伝動軸３３１の他端は減速機構３３４の入力軸に連結されている。 As shown in FIGS. 3 to 5, the first drive mechanism 33A includes transmission shafts 331 and 332, a bevel gear mechanism 333A, a speed reduction mechanism 334, a drive pulley 335, pulleys 336a to 336f, and an output belt. 337 and is accommodated in the guide member 31. The transmission shaft 331 is supported by the guide member 31 so as to be rotatable around a horizontal axis O1 orthogonal to the turning axis Os. A bevel gear 331 a is provided at one end (right side in the drawing) of the transmission shaft 331, and this bevel gear 331 a meshes with a bevel gear 252 provided at the upper end of the first transmission shaft 25. The bevel gear mechanism 333A includes a bevel gear 252 and a bevel gear 331a, and converts the rotation of the first transmission shaft 25 around the turning axis Os into rotation around the horizontal axis O1 and transmits the rotation to the drive pulley 335. It is. The other end of the transmission shaft 331 is connected to the input shaft of the speed reduction mechanism 334.

伝動軸３３２は、ガイド部材３１によって水平軸線Ｏ１周りに回転可能に支持されている。伝動軸３３２の一端は、減速機構３３４の出力軸に連結されている。伝動軸３３２の他端（図中左側）には駆動プーリ３３５が設けられている。また、伝動軸３３２とガイド部材３１との間には、シール機構３３８が介装されている。このシール機構３３８によって、ガイド部材３１の内部から旋回ベース２を介して連通する昇降ベース１４の内側空間は、外部に対して気密シールされている。なお、必要に応じて伝動軸３３１および伝動軸３３２の間に図示しないカップリングジョイントを設けてもよい。 The transmission shaft 332 is supported by the guide member 31 so as to be rotatable around the horizontal axis O1. One end of the transmission shaft 332 is connected to the output shaft of the speed reduction mechanism 334. A drive pulley 335 is provided at the other end (left side in the figure) of the transmission shaft 332. A seal mechanism 338 is interposed between the transmission shaft 332 and the guide member 31. By this sealing mechanism 338, the inner space of the elevating base 14 communicating from the inside of the guide member 31 via the turning base 2 is hermetically sealed to the outside. A coupling joint (not shown) may be provided between the transmission shaft 331 and the transmission shaft 332 as necessary.

図５に表れているように、プーリ３３６ａ〜３３６ｆは、ガイド部材３１内においてそれぞれ所定の水平軸線周りに回転可能に支持されている。出力ベルト３３７は、駆動プーリ３３５およびプーリ３３６ａ〜３３６ｆに対し、垂直面内に沿うように掛け回されている。プーリ３３６ａ，３３６ｂは、ガイド部材３１の長手方向（移動行程ＧＬに沿う方向）の両端部近傍に設けられている。一方、プーリ３３６ｃ，３３６ｄ，３３６ｅ，３３６ｆは、駆動プーリ３３５の近傍に設けられており、そのうちのプーリ３３６ｃ，３３６ｄは、出力ベルト３３７の外側に配置されている。これにより、出力ベルト３３７には、適度な張力が付与されている。出力ベルト３３７としては、たとえばタイミングベルトが好適に用いられる。 As shown in FIG. 5, the pulleys 336 a to 336 f are respectively supported in the guide member 31 so as to be rotatable around a predetermined horizontal axis. The output belt 337 is wound around the drive pulley 335 and the pulleys 336a to 336f so as to be along the vertical plane. The pulleys 336a and 336b are provided in the vicinity of both ends in the longitudinal direction of the guide member 31 (the direction along the movement stroke GL). On the other hand, the pulleys 336c, 336d, 336e, and 336f are provided in the vicinity of the drive pulley 335, and the pulleys 336c and 336d are arranged outside the output belt 337. Thereby, an appropriate tension is applied to the output belt 337. As the output belt 337, for example, a timing belt is preferably used.

このような構成により、モータＭ３を駆動させると、モータＭ３の回転駆動力は第１の伝動軸２５を介して第１の駆動機構３３Ａに伝達される。当該駆動機構３３Ａにおいては、ベベルギア機構３３３Ａによって旋回軸線Ｏｓ周りの回転から水平軸線Ｏ１周りの回転へと回転の軸方向が変換されるとともに、減速機構３３４によって減速されたうえで、駆動プーリ３３５が回転させられる。この駆動プーリ３３５の回転に伴って出力ベルト３３７が所定の垂直面内において往復動する。 With this configuration, when the motor M3 is driven, the rotational driving force of the motor M3 is transmitted to the first drive mechanism 33A via the first transmission shaft 25. In the drive mechanism 33A, the bevel gear mechanism 333A converts the rotation axial direction from rotation around the turning axis Os to rotation around the horizontal axis O1, and the drive pulley 335 is decelerated by the speed reduction mechanism 334. Rotated. As the drive pulley 335 rotates, the output belt 337 reciprocates within a predetermined vertical plane.

プーリ３３６ａ，３３６ｂは、移動行程ＧＬの平行線に沿って配置されている。そして、図５において出力ベルト３３７におけるプーリ３３６ａ，３３６ｂの上方に位置する領域は、移動行程ＧＬと平行な区間３４ａとなっており、出力ベルト３３７は、この区間３４ａにおいて往復動しうるように構成されている。出力ベルト３３７における上記区間３４ａの所定部位には、ハンド４Ａの支持アーム４１ａから延びる連結部材４２ａが連結されている。これにより、ハンド４Ａは、第１の駆動機構３３Ａの駆動により、内側２つのガイドレール３２Ａに支持されながら移動行程ＧＬに沿って水平にスライドする。 The pulleys 336a and 336b are arranged along parallel lines of the movement stroke GL. In FIG. 5, the region of the output belt 337 located above the pulleys 336a and 336b is a section 34a parallel to the travel stroke GL, and the output belt 337 is configured to reciprocate in this section 34a. Has been. A connecting member 42a extending from the support arm 41a of the hand 4A is connected to a predetermined portion of the section 34a of the output belt 337. Thereby, the hand 4A slides horizontally along the movement stroke GL while being supported by the two inner guide rails 32A by the drive of the first drive mechanism 33A.

第２の駆動機構３３Ｂにおいては、図４に表れているように、伝動軸３３１，３３２は、旋回軸線Ｏｓを挟んで第１の駆動機構３３Ａの伝動軸３３１，３３２に対向するように配置され、それぞれ水平軸線Ｏ１周りに回転可能とされている。伝動軸３３１の一端（図中左側）にはベベルギア３３１ａが設けられており、このベベルギア３３１ａは、第２の伝動軸２６の上端に設けられたベベルギア２６２と噛み合っている。これらのベベルギア２６２およびベベルギア３３１ａによってベベルギア機構３３３Ｂが構成されている。 In the second drive mechanism 33B, as shown in FIG. 4, the transmission shafts 331 and 332 are arranged so as to face the transmission shafts 331 and 332 of the first drive mechanism 33A across the turning axis Os. , Each of which can be rotated around a horizontal axis O1. A bevel gear 331 a is provided at one end (left side in the figure) of the transmission shaft 331, and this bevel gear 331 a meshes with a bevel gear 262 provided at the upper end of the second transmission shaft 26. These bevel gears 262 and bevel gear 331a constitute a bevel gear mechanism 333B.

モータＭ４を駆動させると、モータＭ４の回転駆動力は、ベルト２４２、第２の伝動軸２６を介して第２の駆動機構３３Ｂに伝達される。当該駆動機構３３Ｂにおいては、ベベルギア機構３３３Ｂによって旋回軸線Ｏｓ周りの回転から水平軸線Ｏ１周りの回転へと回転の軸方向が変換されるとともに、減速機構３３４によって減速されたうえで、駆動プーリ３３５が回転させられる。この駆動プーリ３３５の回転に伴って出力ベルト３３７が所定の垂直面内において往復動する。また、出力ベルト３３７における所定部位には、ハンド４Ｂの支持アーム４１ｂから延びる連結部材４２ｂが連結されている。これにより、ハンド４Ｂは、第２の駆動機構３３Ｂの駆動により、外側２つのガイドレール３２Ｂに支持されながら移動行程ＧＬに沿って水平にスライドする。 When the motor M4 is driven, the rotational driving force of the motor M4 is transmitted to the second drive mechanism 33B via the belt 242 and the second transmission shaft 26. In the drive mechanism 33B, the bevel gear mechanism 333B converts the rotation axial direction from rotation around the turning axis Os to rotation around the horizontal axis O1, and after the speed is reduced by the speed reduction mechanism 334, the drive pulley 335 is Rotated. As the drive pulley 335 rotates, the output belt 337 reciprocates within a predetermined vertical plane. A connecting member 42b extending from the support arm 41b of the hand 4B is connected to a predetermined portion of the output belt 337. Accordingly, the hand 4B slides horizontally along the movement stroke GL while being supported by the two outer guide rails 32B by the driving of the second drive mechanism 33B.

上記構成の搬送装置Ａ１は、たとえば液晶表示パネルの製造工程において、プロセスチャンバへワークを搬入し、あるいは搬出するために用いられる。この場合、搬送装置Ａ１は、たとえば周部に複数のプロセスチャンバが配置されたトランスポートチャンバ内に真空雰囲気下で配置される。 The transport device A1 having the above-described configuration is used for, for example, carrying a workpiece into or out of a process chamber in a manufacturing process of a liquid crystal display panel. In this case, the transfer device A1 is arranged in a vacuum atmosphere in a transport chamber in which a plurality of process chambers are arranged on the periphery, for example.

近年では、液晶表示パネルの取り扱うパネルサイズが大型化する傾向にあり、これにともなってハンド４Ａ，４Ｂの移動距離の長大化が求められる。本参考例の搬送装置Ａ１においては、ハンド４Ａ，４Ｂは、ガイドレール３２Ａ，３２Ｂに支持されているとともに、ベルト式の駆動機構３３Ａ，３３Ｂによって駆動させられるように構成されている。したがって、ハンド４Ａ，４Ｂの移動距離を延長するには、ガイドレール３２Ａ，３２Ｂ、および出力ベルト３３７を長尺化することにより容易に対応することができる。このため、たとえば本参考例とは異なるリンクアーム機構によって直線移動機構を構成する場合と比べて、上記移動距離の長大化よって直線移動機構３が重量化するのを適切に回避することができる。 In recent years, the panel size handled by the liquid crystal display panel tends to increase, and accordingly, the movement distance of the hands 4A and 4B needs to be increased. In the transport device A1 of this reference example, the hands 4A and 4B are supported by the guide rails 32A and 32B, and are configured to be driven by belt-type drive mechanisms 33A and 33B. Therefore, extending the moving distance of the hands 4A and 4B can be easily handled by elongating the guide rails 32A and 32B and the output belt 337. For this reason, for example, compared with the case where a linear movement mechanism is comprised by the link arm mechanism different from this reference example, it can avoid appropriately that the linear movement mechanism 3 increases in weight by the lengthening of the said movement distance.

また、搬送装置Ａ１においては、第１および第２の駆動機構３３Ａ，３３Ｂの駆動源であるモータＭ３，Ｍ４は、旋回動作をともなわない昇降ベース１４（固定ベース１）内に配置されているので、旋回ベース２内にモータＭ３，Ｍ４の配線類を引き回す必要がない。したがって、旋回ベース２についてはエンドレス旋回が可能であり、ワークＷの搬送をフレキシブルに行って製造効率を向上させることが期待できる。 Further, in the transport device A1, the motors M3 and M4 that are the drive sources of the first and second drive mechanisms 33A and 33B are disposed in the elevating base 14 (fixed base 1) that does not involve a turning operation. There is no need to route the wiring of the motors M3 and M4 in the turning base 2. Therefore, the turning base 2 can be turned endlessly, and it can be expected to improve the manufacturing efficiency by flexibly carrying the workpiece W.

加えて、第１および第２の駆動機構３３Ａ，３３Ｂにおいては、第１および第２の伝動軸２５，２６から駆動プーリ３３５，３３５への駆動力の伝達は、ベベルギア機構３３３Ａ，３３３Ｂを介してなされ、出力ベルト３３７，３３７は、垂直面内に沿うように掛け回されている。このような構成によれば、ベベルギア機構３３３Ａ，３３３Ｂから駆動プーリ３３５，３３５に至る駆動力伝達経路を旋回軸線Ｏｓの近傍に効率よく配置することができる。このような配置の工夫により、ハンド４Ａ，４Ｂの移動距離の長大化に対応可能なベルト方式を採用しつつ、旋回ベース２の旋回動作の開始時および終了時において、旋回ベース２に作用する慣性力が増大するのを適切に回避することができる。その結果、旋回用のモータＭ２としては比較的に出力の小さいものを採用することができ、省スペース化や省電力化にも寄与する。 In addition, in the first and second drive mechanisms 33A and 33B, the driving force is transmitted from the first and second transmission shafts 25 and 26 to the drive pulleys 335 and 335 via the bevel gear mechanisms 333A and 333B. The output belts 337 and 337 are wound around a vertical plane. According to such a configuration, the driving force transmission path from the bevel gear mechanisms 333A, 333B to the driving pulleys 335, 335 can be efficiently arranged in the vicinity of the turning axis Os. Inertia that acts on the turning base 2 at the start and end of the turning operation of the turning base 2 while adopting a belt system that can cope with an increase in the moving distance of the hands 4A and 4B by means of such arrangement. An increase in force can be appropriately avoided. As a result, a motor having a relatively small output can be adopted as the turning motor M2, which contributes to space saving and power saving.

また、ベベルギア機構３３３Ａ，３３３Ｂを構成するベベルギア２５２，２６２は、第１および第２の伝動軸２５，２６の上端にそれぞれ設けられている。かかる構成によれば、駆動プーリ３３５，３３５を旋回軸線Ｏｓに対してより近傍に配置することが可能になり、旋回ベース２に作用する慣性力が増大するのを回避するうえで好適である。また、減速機構３３４は、比較的に重量が嵩む傾向にあるところ、本参考例ではベベルギア３３１ａと駆動プーリ３３５との間に設けられており、旋回軸線Ｏｓの比較的に近傍に配置されている。このような構成は、駆動機構３３Ａ，３３Ｂに対応する減速機構３３４を設ける場合においても、旋回ベース２に対する慣性力が増大するのを回避するうえで好適である。 The bevel gears 252 and 262 constituting the bevel gear mechanisms 333A and 333B are provided at the upper ends of the first and second transmission shafts 25 and 26, respectively. According to such a configuration, the drive pulleys 335 and 335 can be disposed closer to the turning axis Os, which is suitable for avoiding an increase in inertial force acting on the turning base 2. Further, the speed reduction mechanism 334 tends to be relatively heavy. In this reference example, the speed reduction mechanism 334 is provided between the bevel gear 331a and the drive pulley 335, and is disposed relatively close to the turning axis Os. . Such a configuration is suitable for avoiding an increase in the inertial force with respect to the turning base 2 even when the speed reduction mechanism 334 corresponding to the drive mechanisms 33A and 33B is provided.

図６〜図１１は、本発明の実施形態に係る搬送装置Ａ２を示している。なお、図６以降の図面においては、上記参考例と同一または類似の要素には同一の符号を付しており、適宜説明を省略する。 6 to 11 show a transport apparatus A2 according to the embodiment of the present invention. In FIG. 6 and subsequent drawings, the same or similar elements as those in the reference example are given the same reference numerals, and the description thereof will be omitted as appropriate.

本実施形態に係る搬送装置Ａ２は、図６および図７に表れているように、固定ベース１と、旋回ベース２’と、直線移動機構３’と、一対のハンド４Ａ，４Ｂとを備え、上記参考例の搬送装置Ａ１と同様に、薄板状のワークＷを直線状の移動行程ＧＬに沿って搬送するためのものである。なお、図７および図１１においては、図６と異なり、ハンド４Ａ，４Ｂの双方が固定ベース１の上方に位置する状態を示している。 As shown in FIGS. 6 and 7, the transport device A2 according to the present embodiment includes a fixed base 1, a turning base 2 ′, a linear movement mechanism 3 ′, and a pair of hands 4A and 4B. Similar to the transport device A1 of the reference example, the thin plate-shaped workpiece W is transported along the linear movement stroke GL. 7 and 11, unlike FIG. 6, both hands 4 A and 4 B are shown above the fixed base 1.

本実施形態の搬送装置Ａ２は、上下に分離可能に構成されたものであり、これに伴って主として旋回ベース２’および直線移動機構３’において種々の変更が施されている点において上記参考例における搬送装置Ａ１と相違している。 The transport device A2 of the present embodiment is configured to be separable in the vertical direction, and the reference example described above in that various changes are made mainly in the swivel base 2 ′ and the linear movement mechanism 3 ′. This is different from the transfer device A1 in FIG.

旋回ベース２’は、図７によく表れているように、円筒軸２１’（下位部）とその上方につながるハウジング２２’（上位部）とを備えている。円筒軸２１’とハウジング２２’とは、複数の締結ボルト２７（図７においては１つのみが示されている）を介して連結されており、上下に分離可能となっている。ハウジング２２’が円筒軸２１’に連結された状態において、円筒軸２１’とハウジング２２’との間は図示しないシール部材によって気密シールされている。円筒軸２１’の上部には位置決め用の複数のノックピン２１２（図７においては１つのみが示されている）が立設されており、当該ノックピン２１２は、ハウジング２２’に形成されたピン孔２２１に嵌入されている。 The swivel base 2 ′ is provided with a cylindrical shaft 21 ′ (lower part) and a housing 22 ′ (upper part) connected to the upper side as shown in FIG. 7. The cylindrical shaft 21 ′ and the housing 22 ′ are connected via a plurality of fastening bolts 27 (only one is shown in FIG. 7) and can be separated vertically. In a state where the housing 22 ′ is connected to the cylindrical shaft 21 ′, the cylindrical shaft 21 ′ and the housing 22 ′ are hermetically sealed by a seal member (not shown). A plurality of positioning knock pins 212 (only one is shown in FIG. 7) is erected on the upper portion of the cylindrical shaft 21 ′, and the knock pins 212 are pin holes formed in the housing 22 ′. 221 is inserted.

ハウジング２２’は、後述する駆動機構３３Ａ’，３３Ｂ’の一部を収容保持する部分である。ハウジング２２’の中央上部には開口２２２が形成されており、この開口２２２の下方に環状の支持部材２２３が連結固定されている。また、図９に表れているように、支持部材２２３の所定部位には、旋回軸線Ｏｓの平行線に沿う貫通孔２２４が形成されている。 The housing 22 'is a part that accommodates and holds a part of drive mechanisms 33A' and 33B 'to be described later. An opening 222 is formed at the upper center of the housing 22 ′, and an annular support member 223 is connected and fixed below the opening 222. Further, as shown in FIG. 9, a through hole 224 is formed at a predetermined portion of the support member 223 along the parallel line of the turning axis Os.

第１および第２の伝動軸２５，２６は、その上端の構成が上記参考例と異なる。本実施形態においては、図９によく表れているように、第１および第２の伝動軸２５，２６の上端には、それぞれ、ベベルギア２５２，２６２に代えてスプライン軸部２５３，２６３が形成されている。 The first and second transmission shafts 25 and 26 are different from the reference example in the configuration of the upper ends thereof. In this embodiment, as clearly shown in FIG. 9, spline shaft portions 253 and 263 are formed at the upper ends of the first and second transmission shafts 25 and 26 in place of the bevel gears 252 and 262, respectively. ing.

直線移動機構３’は、ガイド部材３１と、ガイドレール３２Ａ，３２Ｂと、第１および第２の駆動機構３３Ａ’，３３Ｂ’とを有する。 The linear movement mechanism 3 'includes a guide member 31, guide rails 32A and 32B, and first and second drive mechanisms 33A' and 33B '.

図７に表れているように、ガイド部材３１においては、中壁３１３の中央部に開口３１３Ａが形成されており、この開口３１３Ａには、この開口３１３Ａを気密状態で塞ぐ蓋体３１５が着脱可能に取り付けられている。カバー３１４には、中央部に開口３１４Ａが形成されており、この開口３１４Ａには、この開口３１４Ａを塞ぐ蓋体３１６が着脱可能に取り付けられている。このガイド部材３１はまた、旋回ベース２’のハウジング２２’に固定されている。 As shown in FIG. 7, in the guide member 31, an opening 313A is formed at the center of the middle wall 313, and a lid 315 for closing the opening 313A in an airtight state can be attached to and detached from the opening 313A. Is attached. The cover 314 has an opening 314A at the center, and a lid 316 that closes the opening 314A is detachably attached to the opening 314A. The guide member 31 is also fixed to the housing 22 'of the turning base 2'.

第１および第２の駆動機構３３Ａ’，３３Ｂ’は、上記参考例における第１および第２の駆動機構３３Ａ，３３Ｂに比べて、第１および第２の連係部材３５，３６、第１および第２の係合部材３７，３８、ならびに回転軸３３９，３３９を追加的に備えている点が主な相違点である。第１および第２の駆動機構３３Ａ’，３３Ｂ’は、類似の構成を有しているので、以下に主として第１の駆動機構３３Ａ’について説明し、第２の駆動機構３３Ｂ’については適宜説明を省略する。 The first and second drive mechanisms 33A ′ and 33B ′ are different from the first and second drive mechanisms 33A and 33B in the above reference example in that the first and second linkage members 35 and 36, the first and second The main difference is that two engaging members 37 and 38 and rotating shafts 339 and 339 are additionally provided. Since the first and second drive mechanisms 33A ′ and 33B ′ have similar configurations, the first drive mechanism 33A ′ will be mainly described below, and the second drive mechanism 33B ′ will be appropriately described. Is omitted.

図９によく表れているように、第１および第２の連係部材３５，３６は、ハウジング２２’の支持部材２２３に対し、旋回軸線Ｏｓに沿って同軸状に挿通されている。第１の連係部材３５は、円筒軸３５１と、この円筒軸３５１に対して周方向外方に突出する鍔部３５２とを有し、支持部材２２３の内側にベアリングを介して回転可能に支持されている。鍔部３５２は、第１の連係部材３５の回転面内において、上記支持部材２２３の下方に重なるように設けられている。鍔部３５２の周縁には、プーリ３５３が設けられている。また、鍔部３５２の所定部位には、旋回軸線Ｏｓの平行線に沿う貫通孔３５４が形成されている。 As clearly shown in FIG. 9, the first and second linking members 35 and 36 are coaxially inserted along the turning axis Os with respect to the support member 223 of the housing 22 '. The first linkage member 35 includes a cylindrical shaft 351 and a flange portion 352 that protrudes outward in the circumferential direction with respect to the cylindrical shaft 351, and is rotatably supported inside the support member 223 via a bearing. ing. The flange portion 352 is provided so as to overlap the lower portion of the support member 223 within the rotation surface of the first linkage member 35. A pulley 353 is provided on the periphery of the flange portion 352. Further, a through hole 354 is formed at a predetermined portion of the flange portion 352 along the parallel line of the turning axis Os.

第２の連係部材３６は、円筒軸３６１と、この円筒軸３６１に対して周方向外方に突出する鍔部３６２とを有し、第１の連係部材３５の円筒軸３５１にベアリングを介して回転可能に支持されている。円筒軸３６１は、第１の連係部材３５の円筒軸３５１の内側に位置している。鍔部３６２は、第２の連係部材３６の回転面内において、上記支持部材２２３および鍔部３５２の下方に重なるように設けられている。鍔部３６２の周縁には、プーリ３６３が設けられている。また、鍔部３６２の所定部位には、旋回軸線Ｏｓの平行線に沿う貫通孔３６４が形成されている。 The second linking member 36 has a cylindrical shaft 361 and a flange 362 that protrudes outward in the circumferential direction with respect to the cylindrical shaft 361, and the cylindrical shaft 351 of the first linking member 35 is interposed via a bearing. It is rotatably supported. The cylindrical shaft 361 is located inside the cylindrical shaft 351 of the first linkage member 35. The flange portion 362 is provided so as to overlap below the support member 223 and the flange portion 352 within the rotation surface of the second linkage member 36. A pulley 363 is provided on the periphery of the flange portion 362. Further, a through hole 364 is formed in a predetermined portion of the flange portion 362 along the parallel line of the turning axis Os.

ここで、支持部材２２３の貫通孔２２４、ならびに第１および第２の連係部材３５，３６の貫通孔３５４，３６４は、それぞれその中心が、旋回軸線Ｏｓを共通中心とする同心円上に位置するように配置されている。これにより、これらの貫通孔２２４，３５４，３６４は、鉛直軸線Ｏｓに沿う一直線上に並ぶ状態とすることが可能である。図９に表れているように、この状態において貫通孔２２４，３５４，３６４にピン５１を挿通することにより、第１および第２の連係部材３５，３６の支持部材２２３に対する相対回転が阻止される。 Here, the centers of the through hole 224 of the support member 223 and the through holes 354 and 364 of the first and second linking members 35 and 36 are located on concentric circles having a common center on the turning axis Os. Is arranged. Thereby, these through-holes 224, 354, and 364 can be arranged on a straight line along the vertical axis Os. As shown in FIG. 9, by inserting the pin 51 through the through holes 224, 354, 364 in this state, relative rotation of the first and second linkage members 35, 36 with respect to the support member 223 is prevented. .

第１の連係部材３５の円筒軸３５１の上端には、第１の係合部材３７が取付ボルト５２を介して着脱可能に設けられている。より具体的には、第１の係合部材３７は、円筒軸３７１と、この円筒軸３７１の上端に設けられ、第１の連係部材３５の円筒軸３５１に重ね合わされた外向フランジ部３７２とを有する。円筒軸３７１の下端には、上記第１の伝動軸２５の上端に形成されたスプライン軸部２５３に係合するスプラインボス部３７３が形成されている。これにより、第１の係合部材３７は、第１の伝動軸２５に対し、上方から係合させることが可能となっている。 A first engagement member 37 is detachably provided on the upper end of the cylindrical shaft 351 of the first linkage member 35 via a mounting bolt 52. More specifically, the first engagement member 37 includes a cylindrical shaft 371 and an outward flange portion 372 provided on the upper end of the cylindrical shaft 371 and superimposed on the cylindrical shaft 351 of the first linkage member 35. Have. A spline boss portion 373 that engages with a spline shaft portion 253 formed at the upper end of the first transmission shaft 25 is formed at the lower end of the cylindrical shaft 371. Thereby, the first engagement member 37 can be engaged with the first transmission shaft 25 from above.

第２の連係部材３６の円筒軸３６１の上端には、第２の係合部材３８が取付ボルト５３を介して着脱可能に設けられている。より具体的には、第２の係合部材３８は、円筒軸３８１と、この円筒軸３８１の上端に設けられ、第２の連係部材３６の円筒軸３６１に重ね合わされた外向フランジ部３８２とを有する。円筒軸３８１の下端には、上記第２の伝動軸２６の上端に形成されたスプライン軸部２６３に係合するスプラインボス部３８３が形成されている。これにより、第２の係合部材３８は、第２の伝動軸２６に対し、上方から係合させることが可能となっている。ここで、円筒軸３８１は、第１の係合部材３７の円筒軸３７１の外側、かつ第２の連係部材３６の円筒軸３６１の内側に配置されている。このため、第２の係合部材３８を第２の連係部材３６から取り外した状態においては、第２の伝動軸２６のスプライン軸部２６３と第２の連係部材３６の円筒軸３６１との間には、円筒軸３８１の厚みに相当する隙間がある。 A second engagement member 38 is detachably provided on the upper end of the cylindrical shaft 361 of the second linkage member 36 via a mounting bolt 53. More specifically, the second engagement member 38 includes a cylindrical shaft 381 and an outward flange portion 382 provided at the upper end of the cylindrical shaft 381 and superimposed on the cylindrical shaft 361 of the second linkage member 36. Have. A spline boss portion 383 that engages with a spline shaft portion 263 formed at the upper end of the second transmission shaft 26 is formed at the lower end of the cylindrical shaft 381. Thereby, the second engaging member 38 can be engaged with the second transmission shaft 26 from above. Here, the cylindrical shaft 381 is disposed outside the cylindrical shaft 371 of the first engaging member 37 and inside the cylindrical shaft 361 of the second linkage member 36. For this reason, in a state where the second engaging member 38 is removed from the second linkage member 36, it is between the spline shaft portion 263 of the second transmission shaft 26 and the cylindrical shaft 361 of the second linkage member 36. Has a gap corresponding to the thickness of the cylindrical shaft 381.

第１の駆動機構３３Ａ’において、回転軸３３９は、旋回ベース２’のハウジング２２’上部から垂下する円筒状の支持部２２５によって垂直軸線Ｏ２周りに回転可能に支持されている。この垂直軸線Ｏ２は、旋回軸線Ｏｓに対し、移動行程ＧＬに沿う方向に変位した位置に設定されている。回転軸３３９の下端には、プーリ３３９ａが設けられており、このプーリ３３９ａと、第１の連係部材３５のプーリ３５３との間にベルト３９１が掛け回されている。一方、回転軸３３９の上端には、ベベルギア３３９ｂが設けられている。 In the first drive mechanism 33A ', the rotation shaft 339 is supported rotatably around the vertical axis O2 by a cylindrical support portion 225 depending from the upper portion of the housing 22' of the turning base 2 '. The vertical axis O2 is set at a position displaced in the direction along the movement stroke GL with respect to the turning axis Os. A pulley 339 a is provided at the lower end of the rotating shaft 339, and a belt 391 is wound around the pulley 339 a and the pulley 353 of the first linkage member 35. On the other hand, a bevel gear 339 b is provided at the upper end of the rotating shaft 339.

伝動軸３３１は、図１０によく表れているように、支持部２２５によって水平軸線Ｏ３周りに回転可能に支持されている。伝動軸３３１の一端に設けられたベベルギア３３１ａは、回転軸３３９の上端のベベルギア３３９ｂと噛み合っている。ベベルギア３３９ｂおよびベベルギア３３１ａによってベベルギア機構３３３Ａ’が構成されている。 As clearly shown in FIG. 10, the transmission shaft 331 is supported by the support portion 225 so as to be rotatable around the horizontal axis O3. A bevel gear 331 a provided at one end of the transmission shaft 331 meshes with a bevel gear 339 b at the upper end of the rotation shaft 339. A bevel gear mechanism 333A 'is configured by the bevel gear 339b and the bevel gear 331a.

伝動軸３３２は、ハウジング２２’に取り付けられた支持部材２２６によって水平軸線Ｏ３周りに回転可能に支持されている。支持部材２２６とハウジング２２’との間は図示しないシール部材によって気密シールされている。 The transmission shaft 332 is rotatably supported around the horizontal axis O3 by a support member 226 attached to the housing 22 '. The support member 226 and the housing 22 'are hermetically sealed by a seal member (not shown).

図８または図１１に表れているように、出力ベルト３３７は、駆動プーリ３３５、およびプーリ３３６ａ〜３３６ｄに掛け回されている。プーリ３３６ａ，３３６ｂは、ガイド部材３１の長手方向（移動行程ＧＬに沿う方向）の両端部近傍に設けられている。一方、プーリ３３６ｃ，３３６ｄは、駆動プーリ３３５の近傍に設けられており、かつ、出力ベルト３３７の外側に配置されている。これにより、出力ベルト３３７には、適度な張力が付与されている。 As shown in FIG. 8 or FIG. 11, the output belt 337 is wound around the drive pulley 335 and the pulleys 336a to 336d. The pulleys 336a and 336b are provided in the vicinity of both ends in the longitudinal direction of the guide member 31 (the direction along the movement stroke GL). On the other hand, the pulleys 336 c and 336 d are provided in the vicinity of the drive pulley 335 and are disposed outside the output belt 337. Thereby, an appropriate tension is applied to the output belt 337.

このような構成により、モータＭ３を駆動させると、モータＭ３の回転駆動力は、第１の伝動軸２５を介して第１の駆動機構３３Ａ’に伝達され、当該駆動機構３３Ａ’においては、第１の係合部材３７、第１の連係部材３５、およびベルト３９１の連係によってベベルギア機構３３３Ａ’に伝達される。そして、ベベルギア機構３３３Ａ’によって旋回軸線Ｏｓ周りの回転から水平軸線Ｏ３周りの回転へと回転の軸方向が変換されるとともに、減速機構３３４によって減速されたうえで、駆動プーリ３３５が回転させられる。この駆動プーリ３３５の回転に伴って出力ベルト３３７が所定の垂直面内において往復動する。また、出力ベルト３３７における所定部位には、ハンド４Ａの支持アーム４１ａから延びる連結部材４２ａが連結されている。これにより、ハンド４Ａは、第１の駆動機構３３Ａ’の駆動により、内側２つのガイドレール３２Ａに支持されながら移動行程ＧＬに沿って水平にスライドする。 With this configuration, when the motor M3 is driven, the rotational driving force of the motor M3 is transmitted to the first drive mechanism 33A ′ via the first transmission shaft 25, and the drive mechanism 33A ′ 1 is transmitted to the bevel gear mechanism 333A ′ by the linkage of the first engagement member 37, the first linkage member 35, and the belt 391. Then, the bevel gear mechanism 333A ′ converts the rotation axial direction from the rotation around the turning axis Os to the rotation around the horizontal axis O3, and after the speed is reduced by the speed reduction mechanism 334, the drive pulley 335 is rotated. As the drive pulley 335 rotates, the output belt 337 reciprocates within a predetermined vertical plane. Further, a connecting member 42a extending from the support arm 41a of the hand 4A is connected to a predetermined portion of the output belt 337. Accordingly, the hand 4A slides horizontally along the movement stroke GL while being supported by the two inner guide rails 32A by the drive of the first drive mechanism 33A '.

第２の駆動機構３３Ｂ’においては、図９に表れているように、回転軸３３９は、垂直軸線Ｏ４周りに回転可能に支持されている。この垂直軸線Ｏ４は、旋回軸線Ｏｓを挟んで上記垂直軸線Ｏ２に対向して位置する。回転軸３３９（図中右側）の下端には、プーリ３３９ａが設けられており、このプーリ３３９ａと、第２の連係部材３６のプーリ３６３との間にベルト３９２が掛け回されている。回転軸３３９の上端には、ベベルギア３３９ｂが設けられている。第２の駆動機構３３Ｂ’の伝動軸３３１は、水平軸線Ｏ５周りに回転可能に支持されており、この伝動軸３３１の一端に設けられたベベルギア３３１ａは、上記ベベルギア３３９ｂと噛み合っている。ベベルギア３３９ｂおよびベベルギア３３１ａによってベベルギア機構３３３Ｂ’が構成されている。 In the second drive mechanism 33B ', as shown in FIG. 9, the rotation shaft 339 is supported so as to be rotatable about the vertical axis O4. The vertical axis O4 is located opposite to the vertical axis O2 with the turning axis Os interposed therebetween. A pulley 339a is provided at the lower end of the rotation shaft 339 (right side in the figure), and a belt 392 is wound around the pulley 339a and the pulley 363 of the second linkage member 36. A bevel gear 339 b is provided at the upper end of the rotating shaft 339. The transmission shaft 331 of the second drive mechanism 33B 'is supported rotatably around the horizontal axis O5, and a bevel gear 331a provided at one end of the transmission shaft 331 is engaged with the bevel gear 339b. A bevel gear mechanism 333B 'is configured by the bevel gear 339b and the bevel gear 331a.

モータＭ４を駆動させると、駆動モータＭ４の回転駆動力は、ベルト２４２および第２の伝動軸２６を介して第２の駆動機構３３Ｂ’に伝達され、当該駆動機構３３Ｂ’においては、第２の係合部材３８、第２の連係部材３６、およびベルト３９２の連係によってベベルギア機構３３３Ｂ’に伝達される。そして、ベベルギア機構３３３Ｂ’によって旋回軸線Ｏｓ周りの回転から水平軸線Ｏ５周りの回転へと回転の軸方向が変換されるとともに、減速機構３３４によって減速されたうえで、駆動プーリ３３５が回転させられる。この駆動プーリ３３５の回転に伴って出力ベルト３３７が所定の垂直面内において往復動する。また、出力ベルト３３７における所定部位には、ハンド４Ｂの支持アーム４１ｂから延びる連結部材４２ｂが連結されている。これにより、ハンド４Ｂは、第２の駆動機構３３Ｂ’の駆動により、外側２つのガイドレール３２Ｂに支持されながら移動行程ＧＬに沿って水平にスライドする。 When the motor M4 is driven, the rotational driving force of the drive motor M4 is transmitted to the second drive mechanism 33B ′ via the belt 242 and the second transmission shaft 26. In the drive mechanism 33B ′, the second drive mechanism 33B ′ It is transmitted to the bevel gear mechanism 333B ′ by the linkage of the engaging member 38, the second linkage member 36, and the belt 392. Then, the bevel gear mechanism 333B 'converts the rotation axial direction from the rotation around the turning axis Os to the rotation around the horizontal axis O5, and the drive pulley 335 is rotated after being decelerated by the speed reduction mechanism 334. As the drive pulley 335 rotates, the output belt 337 reciprocates within a predetermined vertical plane. A connecting member 42b extending from the support arm 41b of the hand 4B is connected to a predetermined portion of the output belt 337. Accordingly, the hand 4B slides horizontally along the movement stroke GL while being supported by the two outer guide rails 32B by the drive of the second drive mechanism 33B '.

本実施形態の搬送装置Ａ２においては、ハンド４Ａ，４Ｂは、ガイドレール３２Ａ，３２Ｂに支持されているとともに、ベルト式の駆動機構３３Ａ’，３３Ｂ’によって駆動させられるように構成されている。したがって、ハンド４Ａ，４Ｂの移動距離を延長するには、ガイドレール３２Ａ，３２Ｂ、および出力ベルト３３７を長尺化することにより容易に対応することができる。このため、たとえば本実施形態とは異なるリンクアーム機構によって直線移動機構を構成する場合と比べて、上記移動距離の長大化によって直線移動機構３’が重量化するのを適切に回避することができる。 In the transport device A2 of the present embodiment, the hands 4A and 4B are supported by guide rails 32A and 32B, and are driven by belt-type drive mechanisms 33A 'and 33B'. Therefore, extending the moving distance of the hands 4A and 4B can be easily handled by elongating the guide rails 32A and 32B and the output belt 337. For this reason, for example, compared with the case where a linear movement mechanism is comprised by the link arm mechanism different from this embodiment, it can avoid appropriately that the linear movement mechanism 3 'increases in weight by the lengthening of the said movement distance. .

搬送装置Ａ２においては、第１および第２の駆動機構３３Ａ’，３３Ｂ’の駆動源であるモータＭ３，Ｍ４は、旋回動作をともなわない昇降ベース１４内に配置されている。このため、旋回ベース２’についてはエンドレス旋回が可能であり、ワークＷの搬送をフレキシブルに行って製造効率を向上させることが期待できる。 In the transport device A2, the motors M3 and M4 that are the drive sources of the first and second drive mechanisms 33A 'and 33B' are disposed in the elevating base 14 that does not involve a turning motion. For this reason, endless turning is possible for the turning base 2 ′, and it can be expected that the work W is transported flexibly and the manufacturing efficiency is improved.

また、第１および第２の駆動機構３３Ａ’，３３Ｂ’においては、第１および第２の伝動軸２５，２６から駆動プーリ３３５，３３５への動力の伝達は、ベベルギア機構３３３Ａ’，３３３Ｂ’を介してなされ、出力ベルト３３７，３３７は、垂直面内に沿うように掛け回されている。このような構成によれば、ベベルギア機構３３３Ａ’，３３３Ｂ’から駆動プーリ３３５，３３５に至る駆動力伝達経路を旋回軸線Ｏｓの近傍に効率よく配置することができる。このような配置の工夫により、ハンド４Ａ，４Ｂの移動距離の長大化に対応可能なベルト方式を採用しつつ、旋回ベース２’の旋回動作の開始時および終了時において、旋回ベース２’に作用する慣性力が増大するのを適切に回避することができる。その結果、旋回用のモータＭ２としては比較的に出力の小さいものを採用することができ、省スペース化や省電力化にも寄与する。 In the first and second drive mechanisms 33A ′ and 33B ′, power is transmitted from the first and second transmission shafts 25 and 26 to the drive pulleys 335 and 335 using the bevel gear mechanisms 333A ′ and 333B ′. The output belts 337 and 337 are wound around along a vertical plane. According to such a configuration, the driving force transmission path from the bevel gear mechanisms 333A ′ and 333B ′ to the driving pulleys 335 and 335 can be efficiently arranged in the vicinity of the turning axis Os. By such a device arrangement, a belt system that can cope with an increase in the moving distance of the hands 4A and 4B is adopted, and at the start and end of the turning operation of the turning base 2 ′, it acts on the turning base 2 ′. It is possible to appropriately avoid an increase in inertial force. As a result, a motor having a relatively small output can be adopted as the turning motor M2, which contributes to space saving and power saving.

さらに、本実施形態の搬送装置Ａ２においては、たとえば据え付け時などの際には、直線移動機構３’を支持するとともに鉛直軸線Ｏｓ周りに旋回する旋回ベース２’は、上述したように、上位部であるハウジング２２’と下位部である円筒軸２１’とに分離することができる。 Furthermore, in the transport device A2 of the present embodiment, for example, at the time of installation, the turning base 2 ′ that supports the linear movement mechanism 3 ′ and turns around the vertical axis Os is, as described above, the upper portion. Can be separated into a housing 22 ′ and a cylindrical shaft 21 ′ as a lower part.

円筒軸２１’からハウジング２２’を分離する際には、たとえば図１２を参照して説明する以下の手順によって行う。まず、ハンド４Ａ，４Ｂの支持アーム４１ａ，４１ｂをそれぞれ蓋体３１６の上方から退避させたうえで、蓋体３１６および蓋体３１５を取り外す。 When the housing 22 ′ is separated from the cylindrical shaft 21 ′, for example, the following procedure described with reference to FIG. 12 is performed. First, the support arms 41a and 41b of the hands 4A and 4B are retracted from above the lid body 316, and then the lid body 316 and the lid body 315 are removed.

次に、モータＭ３，Ｍ４を駆動させることにより第１および第２の連係部材３５，３６をそれぞれ支持部材２２３に対して回転させて、支持部材２２３の貫通孔２２４、ならびに第１および第２の連係部材３５，３６の貫通孔３５４，３６４が一直線上に並ぶ状態にする。この状態でこれらの貫通孔２２４，３５４，３６４にピン５１を挿通する。これにより、第１および第２の連係部材３５，３６は、支持部材２２３に対して回転不能となる。 Next, by driving the motors M3 and M4, the first and second linking members 35 and 36 are rotated with respect to the support member 223, respectively, and the through holes 224 of the support member 223, and the first and second The through holes 354 and 364 of the linkage members 35 and 36 are arranged in a straight line. In this state, the pin 51 is inserted into the through holes 224, 354, 364. As a result, the first and second linking members 35 and 36 cannot rotate with respect to the support member 223.

次に、取付ボルト５２を緩めて第１の係合部材３７を第１の連係部材３５から取り外し、この第１の係合部材３７を、ハウジング２２’の開口２２２およびガイド部材３１の開口３１３Ａ，３１４Ａを通じて上方に引き抜く。これにより、第１の伝動軸２５と第１の連係部材３５との連係が解除される。次に、取付ボルト５３を緩めて第２の係合部材３８を第２の連係部材３６から取り外し、この第２の係合部材３８を、ハウジング２２’の開口２２２およびガイド部材３１の開口３１３Ａ，３１４Ａを通じて上方に引き抜く。これにより、第２の伝動軸２６と第２の連係部材３６との連係が解除される。 Next, the mounting bolt 52 is loosened and the first engagement member 37 is removed from the first linkage member 35, and the first engagement member 37 is attached to the opening 222 of the housing 22 ′ and the openings 313A, 313A of the guide member 31. Pull upward through 314A. Thereby, the linkage between the first transmission shaft 25 and the first linkage member 35 is released. Next, the mounting bolt 53 is loosened to remove the second engagement member 38 from the second linkage member 36, and the second engagement member 38 is attached to the opening 222 of the housing 22 ′ and the openings 313A, 313A, of the guide member 31. Pull upward through 314A. Thereby, the linkage between the second transmission shaft 26 and the second linkage member 36 is released.

次に、締結ボルト２７を緩めて旋回ベース２’の円筒軸２１’およびハウジング２２’の連結状態を解除する。 Next, the fastening bolt 27 is loosened to release the connection between the cylindrical shaft 21 'of the turning base 2' and the housing 22 '.

次いで、たとえばガイド部材３１の上部の適所に図示しない吊りフックを係止させ、当該吊りフックを引き上げることにより、旋回ベース２’のハウジング２２’、およびハウジング２２’に支持された直線移動機構３’について、これらが一体となった状態で、固定ベース１側から分離することができる。 Next, for example, a suspension hook (not shown) is locked at a proper position on the upper portion of the guide member 31, and the suspension hook is pulled up, whereby the housing 22 ′ of the turning base 2 ′ and the linear movement mechanism 3 ′ supported by the housing 22 ′. Can be separated from the fixed base 1 side in a state where they are integrated.

円筒軸２１’（下位部）に対するハウジング２２’（上位部）の連結は、分離の際とは逆の手順によって行うことができる。すなわち、まず、ハウジング２２’を円筒軸２１’に載置し、締結ボルト２７を締めつけることにより、ハウジング２２’と円筒軸２１’とを連結する。ここで、ノックピン２１２によって円筒軸２１’に対するハウジング２２’の位置決めが高精度でなされており、分離前とほぼ同じ相対位置関係を維持することができる。次いで、第２の係合部材３８を第２の連係部材３６に取り付け、その後に第１の係合部材３７を第１の連係部材３５に取り付ける。次いで、ピン５１を取り外し、第１および第２の連係部材３５，３６を支持部材２２３に対して相対回転可能な状態にする。 The connection of the housing 22 ′ (upper part) to the cylindrical shaft 21 ′ (lower part) can be performed by the reverse procedure of the separation. That is, first, the housing 22 ′ is placed on the cylindrical shaft 21 ′, and the fastening bolt 27 is tightened to connect the housing 22 ′ and the cylindrical shaft 21 ′. Here, the positioning of the housing 22 ′ with respect to the cylindrical shaft 21 ′ is performed with high accuracy by the knock pin 212, and the same relative positional relationship as before separation can be maintained. Next, the second engagement member 38 is attached to the second linkage member 36, and then the first engagement member 37 is attached to the first linkage member 35. Next, the pin 51 is removed, and the first and second linking members 35 and 36 are brought into a state in which they can rotate relative to the support member 223.

このような構成の搬送装置Ａ２によれば、ハンド４Ａ，４Ｂの移動距離を延長するのに際してガイド部材３１やガイドレール３２Ａ，３２Ｂを含む直線移動機構３’の長手方向寸法を長尺化しても、上記のように直線移動機構３’を旋回ベース２’のハウジング２２’に支持させた状態で分離することができるため、据え付け時などにおいても、搬送装置Ａ２の取り扱いが容易になる。 According to the transporting apparatus A2 having such a configuration, even if the longitudinal dimension of the linear moving mechanism 3 ′ including the guide member 31 and the guide rails 32A and 32B is extended when extending the moving distance of the hands 4A and 4B, As described above, since the linear movement mechanism 3 ′ can be separated while being supported by the housing 22 ′ of the turning base 2 ′, the handling of the transport device A2 is facilitated even during installation.

また、搬送装置Ａ２においては、第１および第２の係合部材３７，３８を取り外した状態において、第１および第２の伝動軸２５，２６のうち外側に位置する第２の伝動軸２６と、第１および第２の連係部材３５，３６のうち内側に位置する第２の連係部材３６との間には、鉛直軸線Ｏｓの周方向に第２の係合部材３８の円筒軸３８１の厚み相当量の間隙空間Ｓ１が確保される。このため、旋回ベース２’のハウジング２２’（上位部）を円筒軸２１’（下位部）に対して分離し、あるいは連結する際に、ハウジング２２’を上下移動させたとしても第２の伝動軸２６と第２の連係部材３８とが接触するのを回避することができ、これらの部材がこじる、あるいは変形するといった問題が生じることもない。 Further, in the transport device A2, the second transmission shaft 26 located outside the first and second transmission shafts 25 and 26 with the first and second engagement members 37 and 38 removed. The thickness of the cylindrical shaft 381 of the second engaging member 38 in the circumferential direction of the vertical axis Os is between the first and second linking members 35, 36 and the second linking member 36 located inside. A considerable amount of gap space S1 is secured. Therefore, when the housing 22 ′ (upper part) of the turning base 2 ′ is separated from or connected to the cylindrical shaft 21 ′ (lower part), even if the housing 22 ′ is moved up and down, the second transmission is performed. Contact between the shaft 26 and the second linkage member 38 can be avoided, and there is no problem that these members are twisted or deformed.

また、搬送装置Ａ２においては、旋回ベース２’のハウジング２２’（上位部）を円筒軸２１’（下位部）に対して分離する際に、上述したように、支持部材２２３ならびに第１および第２の連係部材３５，３６のそれぞれに形成された貫通孔２２４，３５４，３６４に対して共通のピン５１を挿通しておくことにより、第１および第２の連係部材３５，３６のそれぞれをハウジング２２’に対して回転不能となるように仮固定しておくことができる。このとき、第１および第２の伝動軸２５，２６については、モータＭ３，Ｍ４のブレーキ機能によってその回転が阻止されている。このため、第１および第２の係合部材３７，３８を第１および第２の連係部材３５，３６に取り付ける際に、第１の連係部材３５と第１の伝動軸２５、および第２の連係部材３６と第２の伝動軸２６のそれぞれの位置関係が変化することはない。したがって、第１および第２の係合部材３７，３８を取り付ける際に位置合わせなどの調整が不要となり、取り扱いの面で好適である。 Further, in the transport device A2, when the housing 22 ′ (upper part) of the turning base 2 ′ is separated from the cylindrical shaft 21 ′ (lower part), as described above, the support member 223 and the first and first members By inserting a common pin 51 into the through holes 224, 354, 364 formed in each of the two linking members 35, 36, the first and second linking members 35, 36 are respectively housed. It can be temporarily fixed so that it cannot rotate with respect to 22 '. At this time, the first and second transmission shafts 25 and 26 are prevented from rotating by the brake function of the motors M3 and M4. Therefore, when the first and second engaging members 37, 38 are attached to the first and second linking members 35, 36, the first linking member 35, the first transmission shaft 25, and the second The positional relationship between the linkage member 36 and the second transmission shaft 26 does not change. Therefore, when the first and second engaging members 37 and 38 are attached, adjustment such as alignment is unnecessary, which is preferable in terms of handling.

以上、本発明の実施形態を説明したが、本発明の技術的範囲は上記した実施形態に限定されるものではない。本発明に係る搬送装置の各部の具体的な構成は、発明の思想から逸脱しない範囲内で種々な変更が可能である。 Although the embodiment of the present invention has been described above, the technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiment. Various modifications can be made to the specific configuration of each part of the transport device according to the present invention without departing from the spirit of the invention.

ワークを載置するハンドとしては、上記実施形態のように２つのハンド４Ａ，４Ｂを備えるものに限定されず、たとえば、１つのハンドのみを備えたいわゆるワンハンド式の構成としてもよい。 The hand on which the workpiece is placed is not limited to the one having the two hands 4A and 4B as in the above-described embodiment. For example, a so-called one-hand configuration having only one hand may be used.

上記実施形態では、出力ベルト３３７はタイミングベルトとされているが、これに限定されず、たとえば、平ベルトやスチールベルト、あるいはワイヤを用いて構成してもよい。 In the above embodiment, the output belt 337 is a timing belt. However, the output belt 337 is not limited to this. For example, a flat belt, a steel belt, or a wire may be used.

上記実施形態では、真空雰囲気下で用いることを前提として説明をしたが、もちろん、本発明に係る搬送装置は、大気圧下で用いるものとして構成することも可能である。 Although the above embodiment has been described on the assumption that it is used in a vacuum atmosphere, it is needless to say that the transfer device according to the present invention can be configured to be used under atmospheric pressure.

Ａ１，Ａ２搬送装置
ＧＬ移動行程
Ｍ３モータ（駆動源）
Ｍ４モータ（駆動源）
Ｏｓ旋回軸線
Ｏ１，Ｏ３，Ｏ５水平軸線
Ｗワーク
１固定ベース
２，２’ 旋回ベース
３，３’ 直線移動機構
４Ａハンド（第１の）
４Ｂハンド（第２の）
２１’ 円筒軸（下位部）
２２’ ハウジング（上位部）
２５第１の伝動軸
２６第２の伝動軸
３２Ａ，３２Ｂガイドレール
３３Ａ，３３Ａ’ 第１の駆動機構
３３Ｂ，３３Ｂ’ 第２の駆動機構
３４ａ区間
３５第１の連係部材
３６第２の連係部材
３７第１の係合部材
３８第２の係合部材
４２ａ，４２ｂ連結部材
２５２，２６２ベベルギア（第１のベベルギア）
３３１ａベベルギア（第２のベベルギア）
３３３Ａ，３３３Ａ’ ベベルギア機構（第１のベベルギア機構）
３３３Ｂ，３３３Ｂ’ ベベルギア機構（第２のベベルギア機構）
３３４減速機構
３３５駆動プーリ
３３６ａ〜３３６ｆプーリ
３３７出力ベルト
３３９回転軸
３３９ｂベベルギア（第１のベベルギア） A1, A2 Transport device GL Movement stroke M3 Motor (drive source)
M4 motor (drive source)
Os slewing axis O1, O3, O5 horizontal axis W work 1 fixed base 2, 2 'slewing base 3, 3' linear movement mechanism 4A hand (first)
4B hand (second)
21 'cylindrical shaft (lower part)
22 'Housing (upper part)
25 1st transmission shaft 26 2nd transmission shaft 32A, 32B Guide rail 33A, 33A '1st drive mechanism 33B, 33B' 2nd drive mechanism 34a Section 35 1st linkage member 36 2nd linkage member 37 First engaging member 38 Second engaging members 42a and 42b Connecting members 252 and 262 Bevel gear (first bevel gear)
331a Bevel gear (second bevel gear)
333A, 333A 'bevel gear mechanism (first bevel gear mechanism)
333B, 333B 'bevel gear mechanism (second bevel gear mechanism)
334 Deceleration mechanism 335 Drive pulleys 336a to 336f Pulley 337 Output belt 339 Rotating shaft 339b Bevel gear (first bevel gear)

Claims

A fixed base, a swivel base supported to be swivel around a swivel axis perpendicular to the fixed base, a linear movement mechanism supported by the swivel base, and a linear movement mechanism supported by the linear movement mechanism. A hand that conveys a workpiece along a horizontal linear movement stroke by the operation of the mechanism, a drive source disposed in the fixed base, and a swing axis that is disposed along the pivot axis, and the driving force from the drive source is A transfer device including a transmission shaft for transmitting to a linear movement mechanism,
The linear movement mechanism includes a plurality of pulleys including a drive pulley that is rotatably supported around a horizontal axis, and is wound around the plurality of pulleys along a vertical plane, along a parallel line of the moving stroke. A drive mechanism configured to include an output belt that reciprocates in a predetermined section, and a guide rail that supports the hand movably,
The hand is connected to the output belt via a connecting member,
The drive mechanism transmits a bevel gear mechanism interposed between the transmission shaft and the drive pulley, a rotation shaft disposed along a parallel line of the turning axis, and rotation of the transmission shaft to the rotation shaft. And a transmission unit
The bevel gear mechanism includes a first bevel gear provided at one end of the rotating shaft, and a second bevel gear that is meshed with the first bevel gear and transmits the rotation of the rotating shaft to the drive pulley. Yes, and
The swivel base includes an upper part and a lower part that are separably connected to each other vertically,
The transmission part is engaged with the upper part so as to be rotatable around the pivot axis, and is engaged with the transmission shaft from above, and is detachably attached to the linkage member. An engaging member .

The hand includes first and second hands that are movable along the moving stroke without interfering with each other;
The drive mechanism includes first and second drive mechanisms for driving the first and second hands, respectively.
The transmission shaft is composed of first and second transmission shafts arranged coaxially corresponding to the first and second drive mechanisms,
The bevel gear mechanism includes the first and second driving mechanisms, and first and second bevel gear mechanism configured so as to correspond respectively to the first and second transmission shaft, according to claim 1 The conveying apparatus as described in.

The transfer apparatus according to claim 2 , wherein one of the first and second transmission shafts is inserted into the other.