KR20150140208A - 반송장치 - Google Patents

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Abstract

[과제] 간단한 장치 구성에 의해 복수의 물품을 동시 반송 가능한 반송장치를 제공한다.
[해결수단] 매거진(80)을 파지하는 척킹장치(20)를 구비하고, 척킹장치(20)에 의해 파지되는 매거진(80)을 반송하는 천정 반송차(10)를, 척킹장치(20)에 의해 파지되는 매거진(80)을 수납하는 물품 수납부(40·41)를 구비하고, 물품 수납부(40·41)는 척킹장치(20)에 의해 파지되는 매거진(80)을 척킹장치(20)로부터 받는 선회 테이블(42·43)을 갖고, 선회 테이블(42·43)은 척킹장치(20)로부터 받은 매거진(80)을 받은 상태에서 척킹장치(20)로부터 물품 수납부(40·41)까지 이동시키도록 구성한다.

Description

반송장치{TRANSPORTATION APPARATUS}
본 발명은 반도체 기판 등의 워크, 워크를 수납한 반송 용기 등의 물품을 반송하는 반송장치에 관한 것이다.
종래, 반도체 디바이스 등의 제조 설비에 있어서는 반도체 기판 등의 워크, 워크를 수납한 반송 용기 등의 물품이 설비의 천정 가까이에 설치된 주행 레일을 따라 주행하는 천정 반송차(반송장치)에 의해 파지된 상태에서 복수의 처리장치 사이를 순차적으로 반송될 경우가 있다. 또한, 1대의 천정 반송차에 의해 복수의 물품을 동시 반송할 경우도 있다.
예를 들면, 특허문헌 1에 있어서는 패턴 전사용 마스크를 마스크 저장장치 및 기판 처리장치에 반송하기 위해서 부설된 궤도 레일에 가동으로 접속되어 상기궤도 레일을 더듬어 가서 움직일 수 있고, 또한 상기 궤도 레일에 접속되는 부분을 축으로 해서 거의 수평으로 회전할 수 있는 대차와, 패턴 전사용 마스크를 수납할 수 있는 마스크 수납 용기를 복수 파지하기 위해서 상기 대차에 구비된 파지구를 포함하는 마스크 반송장치가 개시되어 있다.
특허문헌 1의 반송장치에 있어서는, 마스크 수납 용기(물품)를 파지하기 위한 파지구를 대차에 복수개 설치하고, 각 파지구에 의해 마스크 수납 용기를 파지함으로써 복수의 마스크 수납 용기를 동시 반송한다.
일본 특허공개 2002-362737호 공보
그러나, 특허문헌 1의 반송장치에 있어서는 복수의 반송 용기(물품)를 동시반송하기 위해서 복수의 파지 수단을 대차에 설치하지 않으면 안된다. 또한, 이들 복수의 파지 수단의 모두를 구동시키기 위한 구동 수단을 설치하지 않으면 안된다. 그 때문에, 반송장치의 장치 구조가 복잡해진다고 하는 문제점이 있었다.
그래서, 본 발명은 간단한 장치 구성에 의해 복수의 물품을 동시 반송 가능한 반송장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상이며, 다음에 이 과제를 해결하기 위한 수단을 설명한다.
즉, 본 발명 중 청구항 1에 기재된 반송장치는, 물품을 파지하는 물품 파지 수단을 구비하고, 상기 물품 파지 수단에 의해 파지되는 상기 물품을 반송하는 반송장치로서, 상기 물품 파지 수단에 의해 파지되는 상기 물품을 수납하는 물품 수납부를 구비하고, 상기 물품 수납부는 상기 물품 파지 수단에 의해 파지되는 상기 물품을 상기 물품 파지 수단으로부터 받는 수취부를 갖고, 상기 수취부는 상기 물품 파지 수단으로부터 받은 물품을 받은 상태에서 상기 물품 파지 수단으로부터 상기 물품 수납부까지 이동시키는 것이다.
상기 구성에서는, 물품 파지 수단에 의해 파지되는 물품을 수취부에 의해 받고, 받은 물품을 물품 파지 수단으로부터 물품 수납부까지 이동시킨다. 즉, 물품 파지 수단에 의해 파지되는 물품을 물품 파지 수단의 파지 위치로부터 다른 위치(물품 수납부)로 이동시킨다.
또한, 청구항 2에 기재된 발명은 청구항 1에 기재된 반송장치에 있어서, 상기 수취부는 상기 물품 수납부에 대하여 선회 가능하게 설치되고, 상기 수취부를 선회시킴으로써 상기 물품 파지 수단에 의해 파지되는 상기 물품을 상기 물품 파지 수단으로부터 상기 물품 수납부까지 이동시키는 것이다.
상기 구성에서는, 물품 파지 수단으로부터 물품 수납부까지의 물품의 이동을 물품을 받은 수취부를 선회시킴으로써 행한다.
또한, 청구항 3에 기재된 발명은 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 반송장치에 있어서, 상기 물품 파지 수단에 의해 파지되는 상기 물품을 상기 물품 파지 수단에 의해 파지된 상태에서 승강시키는 승강 수단을 구비하고, 상기 물품 수납부는 상기 승강 수단에 의한 상기 물품의 승강 경로를 따라 설치되는 것이다.
상기 구성에서는 물품 수납부에 있어서의 물품의 수납을 승강 수단에 의한 물품의 승강 경로를 벗어나서 행한다.
(발명의 효과)
본 발명의 반송장치에 의하면, 단일의 물품 파지 수단에 의해 파지되는 물품을 물품 수납부로 이동시킨 상태에서 물품을 반송할 수 있기 때문에 간단한 장치 구성에 의해 복수의 물품을 동시 반송할 수 있다.
도 1은 본 발명에 의한 반송장치의 일례인 천정 반송차의 정면 개략도이다.
도 2는 동 천정 반송차에 의해 반송되는 매거진의 사시도이다.
도 3의 (a)부분은 동 천정 반송차의 척킹장치의 정면 단면도, (b)부분은 동 천정 반송차의 척킹장치의 측면 단면도이다.
도 4는 동 천정 반송차의 물품 수납부 근방의 평면도이다.
도 5는 동 천정 반송차의 선회 테이블의 선회 동작을 나타내는 평면 개략도이다.
우선, 본 발명에 의한 반송장치의 일례인 천정 반송차(10)에 대하여 설명한다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 천정 반송차(10)는 반도체 기판 등의 도시하지 않은 워크(「물품」의 일례)에 대하여 소정의 처리를 행하는 복수의 처리장치(도시하지 않음)에 워크를 반송하기 위한 것이다. 천정 반송차(10)는 워크가 수납된 매거진(80)(「물품」의 일례)을 복수개(도 1에서는 3개) 수납 및 파지한 상태에서 반송한다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 천정 반송차(10)에 의해 반송되는 매거진(80)은 대략 직육면체의 상자 형상의 반송 용기이다. 매거진(80)은 내부에 복수의 워크를 수납 가능한 복수단의 적재부(81)를 구비하고 있다. 매거진(80)은 그 길이 방향의 양단부에 있어서 개구되는 수납구(82)로부터 워크를 수납 가능하게 구성되어 있다. 또한, 매거진(80)의 상면에는 척킹장치(20)의 척 부재[척 부재(24·25)]와 맞물리는 제 1 맞물림 구멍(83·83)과, 척킹장치(20)의 위치 결정 가이드[위치 결정 가이드(26·27)]와 맞물리는 제 2 맞물림 구멍(84·84)이 형성되어 있다. 또한, 매거진(80)은 도 2에 나타내는 것에 한정되는 것은 아니고, 반도체 기판 등의 워크를 수납 가능한 일반적인 형상, 크기의 매거진이면 관계없다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 천정 반송차(10)는 설비의 천정 가까이에 설치된 주행 레일(91)에 대하여 매달린 상태에서 부착되어 있다. 천정 반송차(10)는 주행 레일(91)을 따라 이동할 수 있게 구성되어 있다. 천정 반송차(10)는 반송차 본체(11)와, 횡행 구동부(12)와, 승강 구동부(13)(「승강 수단」의 일례)와, 척킹장치(20)와, 물품 수납부(40·41)로 주로 구성되어 있다.
반송차 본체(11)는 천정 반송차(10)의 본체 부분이다. 반송차 본체(11)는 대략 상자 형상으로 형성되어 있다. 반송차 본체(11)는 주행부(14)와, 하우징부(15)로 주로 구성된다.
주행부(14)는 천정 반송차(10)를 천정에 고정해서 부착된 주행 레일(91)을 따라 횡행 구동부(12)의 구동에 의해 주행하는 부분이다. 주행부(14)는 천정 반송차(10)의 상부에 설치된다.
하우징부(15)는 그 내부에 횡행 구동부(12)와, 승강 구동부(13)와, 척킹장치(20)와, 물품 수납부[물품 수납부(40·41)]를 수납해 지지하는 부분이다. 하우징부(15)는 중공 형상으로 형성되어 있다. 하우징부(15)는 주행부(14)에 매달린 상태에서 주행부(14)에 지지된다.
횡행 구동부(12)는 천정 반송차(10)를 주행시키기 위한 구동부이다. 횡행 구동부(12)는 하우징부(15)의 내부 상방에 설치되어 있다. 횡행 구동부(12)가 주행부(14)를 구동시킴으로써 천정 반송차(10)가 주행 레일(91)을 따라 주행한다.
승강 구동부(13)는 척킹장치(20)를 지지한 상태에서 승강하는 부분, 즉 척킹장치(20)에 의해 파지되는 매거진(80)을 승강시키는 부분이다. 승강 구동부(13)는 하우징부(15)의 내부이며 횡행 구동부(12)의 하방에 지지되어 있다. 승강 구동부(13)는 복수개의 승강 벨트(16)를 갖는다. 승강 구동부(13)는 복수개의 승강 벨트(16)를 동시에 권취 및 권출할 수 있게 구성되어 있다. 복수개의 승강 벨트(16)의 권취 및 권출을 행함으로써 승강 벨트(16)에 의해 매달려 지지된 척킹장치(20)가 대략 수평 자세를 유지하면서 승강 조작된다. 승강 구동부(13)는 척킹장치(20)를 승강시킴으로써 척킹장치(20)에 파지되는 매거진(80)이 척킹장치(20)가 강하해서 매거진(80)을 파지하기 위한 위치[매거진(80)의 파지 위치]로부터 척킹장치(20)가 선회 테이블[선회 테이블(42·43)]에 매거진(80)을 전달하기 위한 위치[매거진(80)의 전달 위치]까지의 사이[매거진(80)의 승강 경로]를 승강한다.
척킹장치(20)는 매거진(80)을 파지하는 장치이다. 척킹장치(20)는 하우징부(15)의 내부이며 승강 구동부(13)의 하방에 승강 가능하게 지지된다.
도 3에 나타내는 바와 같이, 척킹장치(20)는 매거진(80)의 상부를 끼워넣도록 매거진(80)을 파지한다. 척킹장치(20)는 장치 본체(21)와, 매거진(80)을 파지하는 파지부(22)과, 파지부(22)를 구동하는 구동부(23)로 주로 구성되어 있다.
장치 본체(21)는 척킹장치(20)의 본체 부분이다. 장치 본체(21)는 상자 형상으로 형성되어 있다. 장치 본체(21)는 그 상부에 승강 구동부(13)의 승강 벨트(16)가 부착된다. 장치 본체(21)는 승강 구동부(13)의 구동에 의해 승강 가능하게 구성되어 있다.
파지부(22)는 매거진(80)의 상부를 끼워넣도록 매거진(80)을 파지하는 부분이다. 파지부(22)는 장치 본체(21)의 하단부에 설치된다.
파지부(22)는 2개의 척 부재[척 부재(24·25)]와, 2개의 위치 결정 가이드[위치 결정 가이드(26·27)]에 의하여 주로 구성된다. 파지부(22)는 2개의 척 부재에 의해 매거진(80)의 상부를 매거진(80)의 길이 방향으로부터 끼워넣음으로써 매거진(80)을 파지한다.
척 부재[척 부재(24·25)]는 매거진(80)의 상부를 파지하는 부재이다. 척 부재[척 부재(24·25)]는 그 일단부가 매거진(80)의 상부의 제 1 맞물림 구멍(83)에 맞물린다. 척 부재[척 부재(24·25)]는 그 타단부가 슬라이드 부재[슬라이드 부재(28·29)]의 가이드부[가이드부(33·34)]에 고정된다. 또한, 척 부재[척 부재(24·25)]의 중도부에는 매거진(80) 내에 수납되는 워크의 튀어나옴을 방지하기 위한 튀어나옴 방지 부재[튀어나옴 방지 부재(30·31)]가 설치되어 있다.
위치 결정 가이드[위치 결정 가이드 (26·27)]는 척 부재[척 부재(24·25)]가 매거진(80)을 파지하는 위치에서 매거진(80)의 위치 결정을 행하기 위한 가이드 부재이다. 위치 결정 가이드[위치 결정 가이드(26·27)]는 장치 본체(21)의 하단부에 설치되어 있다. 위치 결정 가이드[위치 결정 가이드(26·27)]는 매거진(80)의 제 2 맞물림 구멍(84)과 맞물림으로써 매거진(80)의 위치 결정을 행한다.
구동부(23)는 척 부재[척 부재(24·25)]를 매거진(80)의 길이 방향으로 이동시키기 위한 구동 부분이다. 구동부(23)는 장치 본체(21)의 내부에 설치되어 있다. 구동부(23)는 모터(32)와 슬라이드 부재[슬라이드 부재(28·29)]로 주로 구성되어 있다.
모터(32)는 슬라이드 부재[슬라이드 부재(28·29)]를 이동시키기 위한 모터이다.
슬라이드 부재[슬라이드 부재(28·29)]는 척 부재[척 부재(24·25)]를 매거진(80)의 길이 방향으로 이동시키기 위한 부재이다. 슬라이드 부재[슬라이드 부재(28·29)]는 척 부재[척 부재(24·25)]를 지지하는 가이드부[가이드부(33·34)]와, 가이드부[가이드부(33·34)]를 슬라이드시키기 위한 가이드 레일[가이드 레일(35·36)]로 구성된다. 모터(32)를 작동시킴으로써 제 1 가이드부(33)와 제 2 가이드부(34)가 서로 접근하거나 또는 이간하도록 가이드 레일[가이드 레일(35·36)] 상을 슬라이딩한다.
도 1 및 도 4에 나타내는 바와 같이, 물품 수납부[물품 수납부(40·41)]는 척킹장치(20)에 의해 파지된 매거진(80)을 수납하는 부분이다. 물품 수납부[물품 수납부(40·41)]는 하우징부(15)의 내부 하방이며 하우징부(15)의 내벽에 지지된다. 구체적으로는, 하우징부(15)의 길이 방향에 있어서의 내벽의 각각에, 제 1 물품 수납부(40)와 제 2 물품 수납부(41)가 소정의 간격을 유지해서 지지된다. 여기에서, 「소정의 간격」이란 승강 구동부(13)에 의해 매거진(80)을 승강시킬 때에 물품 수납부[물품 수납부(40·41)]가 척킹장치(20) 또는 매거진(80)에 접촉하지 않는 정도의 거리이다. 이와 같이, 제 1 물품 수납부(40)와 제 2 물품 수납부(41)를 소정의 간격으로 배치함으로써 복수의 매거진(80)을 승강 구동부(13)에 의한 매거진(80)의 승강 경로를 벗어나서 수납할 수 있고, 승강 구동부(13)가 새로운 매거진(80)을 척킹장치(20)에 의해 파지한 상태에서 하우징부(15)의 내부까지 상승시킬 수 있다.
또한, 물품 수납부[물품 수납부(40·41)]는 매거진(80)을 적재하는 선회 테이블[선회 테이블(42·43), 「수취부」의 일례]과, 선회 테이블[선회 테이블(42·43)]에 적재된 매거진(80)을 누르기 위한 누름 부재[누름 부재(44·45)]로 주로 구성된다.
선회 테이블[선회 테이블(42·43)]은 척킹장치(20)에 의해 파지되는 매거진(80)을 척킹장치(20)로부터 수취하여 하우징부(15) 내의 소정 위치에서 매거진(80)을 보관하는 테이블이다. 선회 테이블[선회 테이블(42·43)]은 매거진(80)을 적재하기 위한 테이블부[테이블부(46·47)]와 테이블부[테이블부(46·47)]를 선회시키기 위한 선회부[선회부(48·49)]로 주로 구성된다.
테이블부[테이블부(46·47)]는 매거진(80)을 적재 가능한 크기의 판 형상의 부재이다. 테이블부[테이블부(46·47)]는 매거진(80)의 반송시에는 승강 구동부(13)에 의해 승강되는 매거진(80)의 길이 방향과 직교하는 방향으로 배치된다. 이 테이블부[테이블부(46·47)]의 배치가 매거진(80)의 보관 위치가 된다. 그리고, 척킹장치(20)로부터 매거진(80)을 수취할 때에는, 테이블부[테이블부(46·47)]는 매거진(80)의 보관 위치로부터 매거진(80)의 전달 위치까지의 약 90°의 범위를 매거진(80)을 적재시킨 상태에서 선회한다. 즉, 테이블부[테이블부(46·47)]는 승강 구동부(13)에 의한 매거진(80)의 승강 경로를 따른 위치[매거진(80)의 승강 경로로부터 벗어난 위치]에 설치되는 매거진(80)의 보관 위치로부터 매거진(80)의 전달 위치까지를 선회한다.
선회부[선회부(48·49)]는 테이블부[테이블부(46·47)]를 선회 가능하게 지지하는 부분이다. 선회부[선회부(48·49)]는 하우징부(15)의 하단부이며 하우징부(15)의 내벽에 지지된다. 선회부[선회부(48·49)]는 선회 축[선회 축(48a·49a)]에 의해 테이블부[테이블부(46·47)]의 일단 하부를 선회 가능하게 지지한다. 선회 축[선회 축(48a·49a)]은 하우징부(15) 내에 배치되는 모터(도시하지 않음)에 의해 구동된다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 누름 부재[누름 부재(44·45)]는 매거진(80)을 반송할 때에 선회 테이블[선회 테이블(42·43)]에 적재된 매거진(80)을 누르기 위한 부재이다. 누름 부재[누름 부재(44·45)]는 물품 수납부[물품 수납부(40·41)]의 상부를 형성하고, 매거진(80)의 상방을 덮도록 하우징부(15)의 내벽에 지지된다.
이어서, 천정 반송차(10)의 동작[선회 테이블(42·43)의 선회 동작]에 대하여 설명한다.
도 1에 나타내는 바와 같이, 천정 반송차(10)에 있어서는 우선, 천정 반송차(10)에 의해 반송해야 할 매거진(80)의 상방까지 천정 반송차(10)를 주행시켜서 정지시킨다. 그리고, 승강 구동부(13)에 의해 척킹장치(20)를 매거진(80)의 파지 위치까지 강하시킨다.
척킹장치(20)에 의해 매거진(80)이 파지되면, 도 5(a)에 나타내는 바와 같이 승강 구동부(13)는 척킹장치(20)를 상승시킴으로써 매거진(80)을 전달 위치까지 끌어 올린다.
도 5(b)에 나타내는 바와 같이, 매거진(80)이 전달 위치까지 상승되면 제 1 선회 테이블(42)이 전달 위치까지 선회된다. 그리고, 매거진(80)에 있어서의 척킹장치(20)의 파지가 해제되어 매거진(80)이 제 1 선회 테이블(42)에 적재된다. 매거진(80)이 적재되면 제 1 선회 테이블(42)은 매거진(80)을 적재한 상태(받은 상태)에서 매거진(80)을 매거진(80)의 전달 위치로부터 매거진(80)의 보관 위치까지 선회한다. 이것에 의해, 도 5(c)에 나타내는 바와 같이 첫번째의 매거진(80)이 제 1 물품 수납부(40)에 보관된다.
도 5(d)에 나타내는 바와 같이, 첫번째의 매거진(80)이 제 1 물품 수납부(40)에 보관되면 제 1 물품 수납부(40)와 제 2 물품 수납부(41) 사이에 있어서의 매거진(80)의 승강 경로가 비기 때문에, 승강 구동부(13)는 다시 척킹장치(20)를 매거진(80)의 파지 위치까지 강하시킨다. 그리고, 척킹장치(20)에 의해 매거진(80)이 파지되면, 승강 구동부(13)는 척킹장치(20)를 상승시킴으로써 매거진(80)을 전달 위치까지 끌어 올린다.
도 5(e)에 나타내는 바와 같이, 매거진(80)이 전달 위치까지 상승되면 제 2 선회 테이블(43)이 전달 위치까지 선회된다. 그리고, 매거진(80)에 있어서의 척킹장치(20)의 파지가 해제되어 매거진(80)이 제 2 선회 테이블(43)에 적재된다. 매거진(80)이 적재되면, 제 2 선회 테이블(43)은 매거진(80)을 적재한 상태(받은 상태)에서 매거진(80)을 매거진(80)의 전달 위치로부터 매거진(80)의 보관 위치까지 선회한다. 이것에 의해, 도 5(f)에 나타내는 바와 같이 두번째의 매거진(80)이 제 2 물품 수납부(41)에 보관된다.
도 5(g)에 나타내는 바와 같이, 두번째의 매거진(80)이 제 2 물품 수납부(41)에 보관되면, 승강 구동부(13)는 다시 척킹장치(20)를 매거진(80)의 파지 위치까지 강하시킨다. 그리고, 척킹장치(20)에 의해 매거진(80)이 파지되면, 승강 구동부(13)는 척킹장치(20)를 상승시킴으로써 매거진(80)을 전달 위치까지 끌어 올린다. 이것에 의해, 세번째 매거진(80)이 척킹장치(20)에 파지된 상태에서 전달 위치에 있어서 유지된다.
이와 같이, 천정 반송차(10)에 있어서는 물품 수납부[물품 수납부(40·41)]에 있어서 적재된 상태(받은 상태)에서 2개의 매거진(80)이 보관되고, 척킹장치(20)에 있어서 파지된 상태에서 1개의 매거진(80)이 유지되어서 반송된다.
이상과 같이, 천정 반송차(10)에 있어서는 척킹장치(20)에 의해 파지되는 매거진(80)을 선회 테이블(42·43)에 의해 받고, 받은 매거진(80)을 척킹장치(20)로부터 물품 수납부(40·41)까지 이동시킨다. 즉, 척킹장치(20)에 의해 파지되는 매거진(80)을 척킹장치(20)의 파지 위치로부터 다른 위치[물품 수납부(40·41)]로 이동시킨다. 이 때문에, 단일의 척킹장치(20)에 의해 파지되는 매거진(80)을 물품 수납부(40·41)에 수납시킨 상태에서 복수의 매거진(80)을 반송할 수 있기 때문에, 간단한 장치 구성에 의해 복수의 매거진(80)을 동시 반송할 수 있다.
또한, 천정 반송차(10)에 있어서는 척킹장치(20)로부터 물품 수납부(40·41)까지의 매거진(80)의 이동을 매거진(80)을 받은 선회 테이블(42·43)을 선회시킴으로써 행하기 때문에, 매거진(80)을 직선적으로 이동시킬 경우와 비교하여 매거진(80)의 이동을 좁은 스페이스에서 행할 수 있다. 이 때문에, 천정 반송차(10)[반송차 본체(11)] 전체를 소형화하면서 복수의 매거진(80)을 반송할 수 있다. 또한, 천정 반송차(10)[반송차 본체(11)]에 있어서의 매거진(80)의 이동 기구를, 매거진(80)을 직선적으로 이동시킬 경우와 비교하여 간이한 기구로 구성할 수 있다.
또한, 천정 반송차(10)에 있어서는 물품 수납부(40·41)에 있어서의 매거진(80)의 수납을 승강 구동부(13)에 의한 매거진(80)의 승강 경로를 벗어나서 행하기 때문에, 단일의 척킹장치(20)에 의해 복수의 매거진(80)을 동시 반송할 수 있다.
또한, 본 실시형태에 있어서는 선회 테이블(42·43)에 의해 매거진(80)을 선회 이동시키는 선회 기구를 사용하고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 슬라이드 기구, 또는 팬터그래프 기구를 사용한 직선 이동에 의한 방식이여도 상관없다.
또한, 본 실시형태에 있어서는 매거진(80)과 같은 반송 용기를 반송 대상으로 하고 있지만 이것에 한정되는 것은 아니고, 트레이 등의 자재를 단쌓기한 상태의 물품을 반송 대상으로 해도 관계없다.
또한, 본 실시형태에 있어서는 반송장치를 천정 주행 형식의 천정 반송차(10)로 하고 있지만 이것에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면 바닥 주행 형식의 주행차 본체에 척킹장치(20) 및 물품 수납부(40·41)를 설치한 반송장치로 해도 관계없다.
10 : 천정 반송차(반송장치) 13 : 승강 구동부(승강 수단)
20 : 척킹장치(물품 파지 수단) 40, 41 : 물품 수납부
42, 43 : 선회 테이블(수취부) 80 : 매거진(물품)

Claims (3)

  1. 물품을 파지하는 물품 파지 수단을 구비하고, 상기 물품 파지 수단에 의해 파지되는 상기 물품을 반송하는 반송장치로서,
    상기 물품 파지 수단에 의해 파지되는 상기 물품을 수납하는 물품 수납부를 구비하고,
    상기 물품 수납부는 상기 물품 파지 수단에 의해 파지되는 상기 물품을 상기 물품 파지 수단으로부터 받는 수취부를 갖고,
    상기 수취부는 상기 물품 파지 수단으로부터 받은 물품을 받은 상태에서 상기 물품 파지 수단으로부터 상기 물품 수납부까지 이동시키는 것을 특징으로 하는 반송장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 수취부는 상기 물품 수납부에 대하여 선회 가능하게 설치되고,
    상기 수취부를 선회시킴으로써 상기 물품 파지 수단으로부터 받은 물품을 상기 물품 파지 수단으로부터 상기 물품 수납부까지 이동시키는 것을 특징으로 하는 반송장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 물품 파지 수단에 의해 파지되는 상기 물품을 상기 물품 파지 수단에 의해 파지된 상태에서 승강시키는 승강 수단을 구비하고,
    상기 물품 수납부는 상기 승강 수단에 의한 상기 물품의 승강 경로를 따라 설치되는 것을 특징으로 하는 반송장치.
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