KR20150138928A - 필터 유닛 및 그것을 갖는 약액 공급 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 약액을 사용하여 기판을 처리하는 처리 장치에 약액을 공급하기 위한 장치에 관한 것으로, 약액 공급 장치는 약액 공급부; 상기 약액 공급부에 저장된 약액을 순환하는 순환라인; 상기 순환라인으로부터 분기되고, 상기 처리 장치로 약액을 공급하는 공급라인; 상기 순환라인상에 설치되어 상기 약액을 필터링하기 위한 필터 유닛을 포함하되; 상기 필터 유닛은 상기 필터 유닛의 멤브레인을 통과하기 전과 후에 각각 약액 내의 버블을 벤트한다.

Description

필터 유닛 및 그것을 갖는 약액 공급 장치{ filter unit and having the same Apparatus for supplying chemical}
본 발명은 약액 공급 장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 약액 내의 버블을 효과적으로 제거하여 약액을 공급할 수 있는 필터 유닛 및 그것을 갖는 약액 공급 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자는 기판 상에 사진(photo), 확산(diffusion), 증착(deposition), 식각(etching) 및 이온 주입(ion implant) 등과 같은 공정들을 반복하여 제조한다. 이러한 각 공정에 있어서, 약액이 사용될 때에는 별도의 약액 공급 장치를 통해 공정 처리 장치에 약액이 공급된다. 이때, 해당 공정의 조건에 부합하도록 약액이 공급되어야 한다.
약액에 포함된 이물질, 기포, 두 가지 종류 이상의 약액 혼합 등에 의하여 약액이 기판에 도포될 때, 기판 상의 약액이 균일하게 도포되지 못할 수 있다. 예를 들어, 약액의 흐름 중에 발생하는 기포에 대하여는 약액 저장소에서 제거하기가 가능하지 않았다.
따라서, 연속적으로 공급되는 약액 등에서 발생하는 기포 등을 효과적으로 제거하는 장치가 필요하다.
본 발명의 실시예들은 약액 내의 기포를 벤트시 기포와 함께 배출되는 약액을 재순환시켜 다시 사용할 수 있는 필터 유닛 및 그것을 갖는 약액 공급 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 실시예들은 약액 내의 기포를 효과적으로 제거할 수 있는 필터 유닛 및 그것을 갖는 약액 공급 장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 목적은 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 약액 공급부; 상기 약액 공급부에 저장된 약액을 순환하는 순환라인; 상기 순환라인으로부터 분기되고, 상기 처리 장치로 약액을 공급하는 공급라인; 상기 순환라인상에 설치되어 상기 약액을 필터링하기 위한 필터 유닛을 포함하되; 상기 필터 유닛은 상기 필터 유닛의 멤브레인을 통과하기 전과 후에 각각 약액 내의 버블을 벤트하는 약액 공급 장치를 제공하는데 있다.
또한, 상기 필터 유닛은 필터 하우징; 및 상기 필터 하우징에 설치되는 원통형상의 멤브레인을 포함하되; 상기 필터 하우징은 약액이 유입되는 유입포트; 필터링된 약액이 배출되는 배출포트; 상기 멤브레인을 통과하기 전 약액 내의 버블이 벤트되는 업스트림 벤트 포트; 및 상기 필터 유닛의 멤브레인을 통과한 약액 내의 버블이 벤트되는 다운스트림 벤트 포트를 포함할 수 있다.
또한, 상기 필터 하우징은 상기 멤브레인에 의해 둘러싸이는 코어공간과, 상기 멤브레인을 둘러싸는 외곽 공간으로 구획되고, 상기 업스트립 벤트 포트는 상기 외곽 공간과 연결되며, 상기 다운스트림 벤트 포트는 상기 코어공간과 연결될 수 있다.
또한, 상기 필터 하우징은 상기 유입포트측과 연결되는 유입측 드레인 포트; 및 상기 배출포트측과 연결되는 배출측 드레인 포트를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 약액 공급 장치는 상기 업스트림 벤트 포트로부터 벤트되는 버블이 포함된 약액을 재사용하기 위해 상기 업스트림 벤트 포트와 상기 순환라인을 연결하는 업스트림 벤트라인을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 업스트림 벤트라인은 상기 공급라인의 분기지점을 우회하여 상기 순환라인에 연결될 수 있다.
또한, 상기 약액 공급 장치는 상기 다운스트림 벤트 포트로부터 벤트되는 버블이 포함된 약액을 재사용하기 위해 상기 업스트림 벤트 포트와 상기 공급라인의 분기지점 후방의 상기 순환라인을 연결하는 다운스트림 벤트라인을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 다운스트림 벤트라인은 상기 공급라인의 분기지점을 우회하여 상기 순환라인에 연결될 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 필터 하우징; 및 상기 필터 하우징에 설치되는 원통형상의 멤브레인을 포함하되; 상기 필터 하우징은 약액이 유입되는 유입포트; 필터링된 약액이 배출되는 배출포트; 상기 멤브레인을 통과하기 전 약액 내의 버블이 벤트되는 업스트림 벤트 포트; 및 상기 필터 유닛의 멤브레인을 통과한 약액 내의 버블이 벤트되는 다운스트림 벤트 포트를 포함하는 필터 유닛을 제공하는데 있다.
또한, 상기 필터 하우징은 상기 멤브레인에 의해 둘러싸이는 코어공간과, 상기 멤브레인을 둘러싸는 외곽 공간으로 구획되고, 상기 업스트립 벤트 포트는 상기 외곽 공간과 연결되며, 상기 다운스트림 벤트 포트는 상기 코어공간과 연결될 수 있다.
또한, 상기 필터 하우징은 상기 유입포트측과 연결되는 유입측 드레인 포트; 및 상기 배출포트측과 연결되는 배출측 드레인 포트를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 의하면, 약액 내의 기포를 벤트시 기포와 함께 배출되는 약액을 재순환시켜 다시 사용할 수 있는 각별한 효과를 갖는다.
본 발명에 의하면, 멤브레인을 통과하기 전과 후에 각각 약액 내의 버블을 벤트하는 2중 버블 벤트를 통해 약액 내의 기포를 효과적으로 제거할 수 있는 각별한 효과를 갖는다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 약액 공급 장치를 보여주는 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 필터 유닛의 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 필터 유닛의 단면 사시도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시 예를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에서 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면 부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 약액 공급 장치를 보여주는 도면이고, 도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 필터 유닛의 단면도 및 단면 사시도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 약액 공급 장치(10)는 약액 공급부(20), 순환라인(30), 공급라인(40) 그리고 필터 유닛(100)을 포함한다.
약액 공급부(20)는 약액이 저장되는 탱크를 포함할 수 있다. 도시하지 않았지만, 약액 공급부(20)는 복수의 처리액들을 혼합하여 약액을 생성할 수 있다.
순환 라인(30)은 약액 공급부(20)에 저장된 약액을 순환시킨다.
공급 라인(40)들은 처리 장치(90) 각각으로 약액을 공급하기 위해 순환라인(30)으로부터 분기된다. 처리 장치(90)에서는 공급 라인(40)을 통해 제공받은 약액을 이용하여 기판을 처리한다.
필터 유닛(100)은 케미컬 필터로써 순환라인(30)상에 설치된다. 필터 유닛(100)은 약액을 필터링하는 기능 이외에 필터 유닛(100)의 멤브레인을 통과하기 전과 후에 각각 약액 내의 버블을 벤트하는 2중 버블 벤트 기능을 갖는다.
필터 유닛(100)은 필터 하우징(110;housing)과, 그 필터 하우징(110)에 내장된 멤브레인(130)을 포함하여 구성된다. 필터 하우징(110)과 멤브레인(130)은 대체로 원통형으로 제공될 수 있다.
본 발명의 필터 유닛(100)은 약액을 멤브레인(130)에 통과시켜 약액으로부터 이물이나 오염물(이하, "파티클"이라 한다)을 여과하여 정화하고, 멤브레인을 통과하기 전과 후에 각각 약액 내의 버블을 벤트한다. 여기서의 약액은 주로 액상의 케미컬, 가령 반도체 세정 공정에서 빈번히 사용되는 세정액을 대표적인 예로 들 수 있다.
필터 하우징(110)은 필터 유닛(100)의 전체적인 외관을 이룬다. 필터 하우징(110)은 원통형 측벽(112;cylindrical side wall)의 상하에 각각 상부벽(114;top wall)과 하부벽(116;bottom wall)이 결합된 밀폐된 구조이다.
상부벽(114)에는 업스트림 벤트(upstream vent) 포트(122)와 다운스트림(downstream vent) 벤트 포트(124)가 마련된다. 그리고 하부벽(116)에는 약액이 유입되는 유입포트(126)와 필터링된 약액이 배출되는 배출포트(127), 유입포트(126) 측과 연결되는 유입측 드레인 포트 (128)및 배출포트(127)측과 연결되는 배출측 드레인 포트(129)가 마련된다.
약액은 유입 포트(130)를 통해 필터 하우징(110) 내부로 유입된다. 필터 하우징(110) 내부로 유입된 약액은 멤브레인(130)에 의해 여과된다. 필터 하우징(110) 내부에서 멤브레인(130)에 의해 여과된 약액은 배출 포트(127)를 통해 필터 하우징(110) 내부로부터 유출된다.
필터 하우징(110)은 멤브레인(130)에 의해 둘러싸이는 코어공간(CA)과, 멤브레인을 둘러싸는 외곽 공간(OA)으로 구획된다. 업스트립 벤트 포트(122)는 외곽 공간(CA)과 연결되며, 다운스트림 벤트 포트(124)는 코어공간(OA)과 연결된다.
즉, 유입 포트(130)를 통해 필터 하우징(110) 내부로 유입된 약액은 멤브레인(130)을 둘러싸는 외곽 공간(OA)으로 흘러가고, 이때 약액에 포함된 버블이나 에어는 업스트립 벤트 포트(122)를 통해 필터 유닛(100)으로부터 배출된다. 업스트립 벤트 포트(122)에는 업스트림 벤트라인(이하, 제1벤트라인이라고 함)(70)이 연결된다. 제1벤트라인(70)은 업스트림 벤트 포트(122)로부터 벤트되는 버블이 포함된 약액을 재사용할 수 있도록 순환라인(30)으로 재공급한다. 제1벤트라인(70)은 공급라인(40)의 분기지점 및 순환라인(300에 설치된 정압 밸브(32)를 우회하여 순환라인(30)에 연결된다.
그리고, 멤브레인(130)을 통과한 약액은 멤브레인(130)에 의해 둘러싸이는 코어 공간(CA)으로 흘러가고, 이때 약액에 포함된 버블이나 에어는 다운스트립 벤트 포트(124)를 통해 필터 유닛(100)으로부터 배출된다. 다운스트립 벤트 포트(124)에는 다운스트림 벤트라인(이하, 제2벤트라인이라고 함)(80)이 연결된다. 제2벤트라인(80)은 다운스트림 벤트 포트(124)로부터 벤트되는 버블이 포함된 약액을 재사용할 수 있도록 순환라인(30)으로 재공급한다. 제2벤트라인(80)은 공급라인(40)의 분기지점 및 순환라인(30)에 설치된 정압 밸브(32)를 우회하여 순환라인에 연결된다. 이처럼, 본 발명의 약액 공급 장치는 필터 유닛에서 벤트시 기포와 함께 배출되는 약액을 재순환시켜 다시 사용할 수 있다.
제1벤트라인(70)과 제2벤트라인(80)에는 각각 니들(needle;72,82) 밸브가 제공된다.
일 예로, 업스트림 벤트 포트(122)와 다운스트림 벤트 포트(124)는 홀(hole)을 가진 원통형의 돌출부(cylindrical protrusion)로 형성될 수 있다. 그 돌출부의 일부는 특정 배관에 연결되기에 적합한 형상의 연결부를 이룬다. 일례로, 연결부는 나사 형상일 수 있다. 업스트림 벤트 포트(122)와 다운스트림 벤트 포트(124)는 위에서 상술한 형상 이외에 다른 형상일 수 있음에 유의하여야 할 것이다.
멤브레인(130)은 필터 하우징(110) 내부에서 약액의 흐름 경로상, 즉 유입 포트(126)와 배출 포트(127) 사이에 놓인다. 멤브레인(130)은 원통형상으로 필터 하우징(110) 내부에 설치된다. 유입 포트(126)를 통해 필터 하우징(110)의 외곽 공간(OA)으로 유입된 약액은 멤브레인(130)을 통과한다. 멤브레인(130)을 통과한 약액은 코어 공간(CA)으로 이동되어 배출 포트(127)를 통해 필터 유닛(100)으로부터 배출된다. 약액이 멤브레인(130)을 통과하는 과정에서 약액에 함유된 파티클은 멤브레인(130)에서 여과된다. 멤브레인(130)은 불소수지(fluororesin), 예를 들어, PTFE(폴리테트라플루오르에틸렌) 혹은 PCTFE(폴리클로로트리플루오로에틸렌) 혹은 PVDF(폴리비닐리덴플루오라이드) 혹은 PVF(폴리비닐플루오라이드) 등으로 제작될 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
10 : 약액 공급 장치 20 : 약액 공급부
30 : 순환 라인 100 : 필터 유닛
110 : 필터 하우징 130 : 멤브레인

Claims (11)

  1. 약액을 사용하여 기판을 처리하는 처리 장치에 약액을 공급하기 위한 장치에 있어서:
    약액 공급부;
    상기 약액 공급부에 저장된 약액을 순환하는 순환라인;
    상기 순환라인으로부터 분기되고, 상기 처리 장치로 약액을 공급하는 공급라인;
    상기 순환라인상에 설치되어 상기 약액을 필터링하기 위한 필터 유닛을 포함하되;
    상기 필터 유닛은
    상기 필터 유닛의 멤브레인을 통과하기 전과 후에 각각 약액 내의 버블을 벤트하는 약액 공급 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 필터 유닛은
    필터 하우징; 및
    상기 필터 하우징에 설치되는 원통형상의 멤브레인을 포함하되;
    상기 필터 하우징은
    약액이 유입되는 유입포트; 필터링된 약액이 배출되는 배출포트; 상기 멤브레인을 통과하기 전 약액 내의 버블이 벤트되는 업스트림 벤트 포트; 및 상기 필터 유닛의 멤브레인을 통과한 약액 내의 버블이 벤트되는 다운스트림 벤트 포트를 포함하는 약액 공급 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 필터 하우징은
    상기 멤브레인에 의해 둘러싸이는 코어공간과, 상기 멤브레인을 둘러싸는 외곽 공간으로 구획되고,
    상기 업스트립 벤트 포트는 상기 외곽 공간과 연결되며, 상기 다운스트림 벤트 포트는 상기 코어공간과 연결되는 약액 공급 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 필터 하우징은
    상기 유입포트측과 연결되는 유입측 드레인 포트; 및
    상기 배출포트측과 연결되는 배출측 드레인 포트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 장치.
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 약액 공급 장치는
    상기 업스트림 벤트 포트로부터 벤트되는 버블이 포함된 약액을 재사용하기 위해 상기 업스트림 벤트 포트와 상기 순환라인을 연결하는 업스트림 벤트라인을 더 포함하는 약액 공급 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 업스트림 벤트라인은 상기 공급라인의 분기지점을 우회하여 상기 순환라인에 연결되는 약액 공급 장치.
  7. 제 2 항에 있어서,
    상기 약액 공급 장치는
    상기 다운스트림 벤트 포트로부터 벤트되는 버블이 포함된 약액을 재사용하기 위해 상기 업스트림 벤트 포트와 상기 공급라인의 분기지점 후방의 상기 순환라인을 연결하는 다운스트림 벤트라인을 더 포함하는 약액 공급 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 다운스트림 벤트라인은 상기 공급라인의 분기지점을 우회하여 상기 순환라인에 연결되는 약액 공급 장치.
  9. 필터 유닛에 있어서:
    필터 하우징; 및
    상기 필터 하우징에 설치되는 원통형상의 멤브레인을 포함하되;
    상기 필터 하우징은
    약액이 유입되는 유입포트; 필터링된 약액이 배출되는 배출포트; 상기 멤브레인을 통과하기 전 약액 내의 버블이 벤트되는 업스트림 벤트 포트; 및 상기 필터 유닛의 멤브레인을 통과한 약액 내의 버블이 벤트되는 다운스트림 벤트 포트를 포함하는 필터 유닛.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 필터 하우징은
    상기 멤브레인에 의해 둘러싸이는 코어공간과, 상기 멤브레인을 둘러싸는 외곽 공간으로 구획되고,
    상기 업스트립 벤트 포트는 상기 외곽 공간과 연결되며, 상기 다운스트림 벤트 포트는 상기 코어공간과 연결되는 필터 유닛.
  11. 제 8 항에 있어서,
    상기 필터 하우징은
    상기 유입포트측과 연결되는 유입측 드레인 포트; 및
    상기 배출포트측과 연결되는 배출측 드레인 포트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 필터 유닛.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230030129A (ko) 2021-08-24 2023-03-06 세메스 주식회사 필터 세정 방법

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050024959A (ko) * 2003-09-05 2005-03-11 한국디엔에스 주식회사 반도체 제조 설비에서 사용되는 약액 공급 장치 및 방법
KR20060030689A (ko) * 2004-10-06 2006-04-11 삼성전자주식회사 기판 세정 장치
KR20090013556A (ko) * 2007-08-02 2009-02-05 웅진코웨이주식회사 고탁도 필터
KR20130094755A (ko) * 2012-02-16 2013-08-26 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 액 처리 방법 및 필터 내의 기체의 제거 장치
KR20140018130A (ko) * 2012-08-03 2014-02-12 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 처리액 공급 장치의 운전 방법, 처리액 공급 장치 및 기억 매체

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20050024959A (ko) * 2003-09-05 2005-03-11 한국디엔에스 주식회사 반도체 제조 설비에서 사용되는 약액 공급 장치 및 방법
KR20060030689A (ko) * 2004-10-06 2006-04-11 삼성전자주식회사 기판 세정 장치
KR20090013556A (ko) * 2007-08-02 2009-02-05 웅진코웨이주식회사 고탁도 필터
KR20130094755A (ko) * 2012-02-16 2013-08-26 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 액 처리 방법 및 필터 내의 기체의 제거 장치
KR20140018130A (ko) * 2012-08-03 2014-02-12 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 처리액 공급 장치의 운전 방법, 처리액 공급 장치 및 기억 매체

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230030129A (ko) 2021-08-24 2023-03-06 세메스 주식회사 필터 세정 방법

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