KR20150063840A - Magnetic levitation transfer apparatus and driving method thereof - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 자기부상반송장치에 관한 것으로, 특히 자기부상을 위한 전자석의 수를 줄일 수 있는 자기부상반송장치 및 이의 동작방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
반도체 웨이퍼, PDP 패널, 또는 LCD 패널의 운반에 사용되던 종래의 자동화용 반송시스템은 벨트 컨베이어나 롤러 컨베이어 진동 컨베이어 등 주로 컨베이어 시스템을 활용하였다. 이러한 시스템은 전기 모터에 의해 회전력을 얻고 중간에 감속 시스템을 적용하여 회전 운동을 직선운동으로 변환하여 원자재 및 제품을 이송한다.BACKGROUND ART Conventional automation transport systems used for transportation of semiconductor wafers, PDP panels, or LCD panels have mainly utilized conveyor systems such as belt conveyors and roller conveyor vibration conveyors. Such a system obtains the rotational force by an electric motor and applies a deceleration system in the middle to convert the rotational motion into a linear motion to transfer the raw material and the product.
그러나 기존의 반송시스템은 구성 기기들의 메커니즘 상 속도 증가 및 조절에 한계가 있고 기계장치들의 적용에 따라 특정 부분에서 마찰이 발생하므로 소음과 진동, 분진 발생이 필연적일 수 밖에 없다. However, the conventional conveying system has limitations in the speed increase and control of the mechanism of the constituent devices, and due to the application of the mechanical devices, friction occurs at a specific portion, so that noise, vibration and dust are inevitable.
이러한 소음과 진동, 분진의 감소와 마모에 의한 고장을 예방하기 위해서는 수시로 해당 구성품의 점검과 부품교체, 수리 등을 주기적으로 수행해야만 하며, 유지 보수비의 증가로 이어질 수 밖에 없다. 특히 제품을 적재한 상태에서 발생하는 진동이나 분진 등은 제품 파손 및 흠집 등을 발생시킨다.In order to prevent noise, vibration, dust and breakdown due to wear and tear, it is necessary to periodically inspect the relevant components, replace parts, and repair them, which leads to an increase in maintenance costs. Particularly, vibration or dust generated when the product is loaded causes product breakage and scratches.
이에 따라, 기존의 기계적 반송시스템을 대체하기 위하여 자기부상 반송시스템이 제안되었다. 자기부상 반송시스템은 전자석의 전자기력을 이용하여 피반송체, 예컨대 캐리어가 궤도로부터 일정한 높이로 부상한 상태에서 반송되는 시스템이다. 이러한 자기부상 반송시스템은 캐리어가 궤도로부터 비접촉 상태로 추진되므로 소음 및 진동 발생이 적고, 고속의 추진이 가능하다.Accordingly, a magnetic levitation transport system has been proposed to replace the existing mechanical transport system. The magnetic levitation conveying system is a system in which a conveyed object, for example, a carrier, is lifted at a constant height from a trajectory by using an electromagnetic force of an electromagnet. Since the carrier is propelled from the track in a noncontact state, the magnetic levitation conveying system is less likely to generate noise and vibration and can be propelled at high speed.
도 1은 종래의 자기부상반송장치의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 2는 도 1을 Ⅱ~Ⅱ'의 선으로 절단한 단면도이다.Fig. 1 is a view schematically showing a configuration of a conventional magnetic levitation conveying apparatus, and Fig. 2 is a sectional view taken along a line II-II 'in Fig.
도면을 참조하면, 종래의 자기부상반송장치(1)는 지지플레이트(2), 캐리어(3) 및 다수의 전자석(4, 5)을 구비한다.Referring to the drawings, a conventional magnetically levitated
지지플레이트(2)에는 캐리어(3)의 이동 경로에 대응되도록 궤도(미도시)가 형성되어 있다.An orbiting (not shown) is formed in the
캐리어(3)는 상면에 반송될 제품, 예컨대 액정패널 등과 같은 피반송체(6)가 안착되어 있다. 캐리어(3)는 지지플레이트(2) 상에 배치되어 궤도를 따라 피반송체(6)를 반송시킨다. 캐리어(3)는 금속물질로 구성된다.The carrier 3 has a
다수의 전자석(4, 5)은 지지플레이트(2) 상부에 서로 대응되도록 배열되어 있다. 그리고, 캐리어(3)는 다수의 전자석(4, 5)과 지지플레이트(2) 사이에 배치된다.The plurality of
다시 말하면, 다수의 전자석(4, 5)은 지지플레이트(2)의 상부 일측에 캐리어(3)가 이동되는 방향과 나란하게 배열된 제1전자석그룹(4)과 상기 지지플레이트(2)의 상부 타측에 제1전자석그룹(4)과 나란하게 배열된 제2전자석그룹(5)을 포함한다. 여기서, 제1전자석그룹(4)의 전자석들(4a, 4b)과 제2전자석그룹(5)의 전자석들(5a, 5b)은 지지플레이트(2) 또는 캐리어(3)의 좌/우측으로 서로 대칭되도록 배치된다.In other words, the plurality of
상술한 구성의 자기부상반송장치(1)는 제어회로(미도시)로부터 다수의 전자석(4, 5)에 제공된 신호, 예컨대 전류신호에 의해 발생된 전자기력에 따라 캐리어(3)가 지지플레이트(2)로부터 소정 높이(d)로 부상되고, 그 상태에서 캐리어(3)가 이동되면서 피반송체(6)를 반송하게 된다.The magnetically levitated
즉, 다수의 전자석(4, 5)에 발생된 전자기력에 의해 전자석(4, 5)과 캐리어(3) 사이에서는 서로 끌어당기는 힘, 예컨대 인력이 발생된다. 이때, 제어회로는 캐리어(3)가 전자석(4, 5)에 붙지 않을 정도의 인력이 발생되도록 다수의 전자석(4, 5)에 인가되는 신호의 세기를 조절함으로써 캐리어(3)가 전자석(4, 5)과 지지플레이트(2) 사이에서 부상된 상태를 유지하게 된다.That is, a force, such as a pulling force, is generated between the
그러나, 종래의 자기부상반송장치(1)는 다수의 전자석(4, 5)이 캐리어(3)의 좌/우측에 대칭되도록 배열되기 때문에, 하나의 캐리어(3)에 대응되는 전자석의 개수는 짝수로 구성되어야 하며, 대략 4개 이상의 전자석이 필요하게 된다.However, in the conventional magnetically
이에 따라, 종래의 자기부상반송장치(1)는 이를 구성하기 위한 비용이 증가할 뿐만 아니라, 제어회로가 제어해야 할 전자석의 개수가 많아지게 되어 시스템의 구성이 복잡해지는 문제가 있다. Accordingly, the conventional magnetic
본 발명은 상기한 문제점을 개선하기 위한 것으로, 요구되는 전자석의 개수를 줄이면서도 안정적으로 피반송체를 반송할 수 있는 자기부상반송장치 및 이의 동작방법을 제공하고자 하는 데 있다. SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a magnetically levitated conveying device capable of conveying a conveyed object stably while reducing the number of required electromagnets and an operation method thereof.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 자기부상반송장치는, 지지플레이트; 상기 지지플레이트 상부로부터 부상되어 이동경로를 따라 이동되면서 적재된 피반송체를 반송하는 캐리어; 및 상기 캐리어의 상부 양측에 비대칭 구조로 각각 배열되고, 외부로부터 제공된 전류에 따라 상기 캐리어를 상기 지지플레이트로부터 부상시키는 다수의 부상용 전자석을 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a magnetic levitation conveying apparatus comprising: a support plate; A carrier lifted from the upper portion of the support plate and moved along the movement path to carry the loaded carrying object; And a plurality of floating electromagnets arranged on both sides of an upper portion of the carrier, each of the floating electromagnets being arranged in an asymmetrical structure and floating the carrier from the support plate in accordance with an externally provided current.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 자기부상반송장치의 동작방법은, 지지플레이트 상부에서 부상되어 이동되는 캐리어의 현재위치에 대한 위치정보를 출력하는 단계; 상기 위치정보에 따라 상기 캐리어의 이동경로를 판단하는 단계; 및 판단 결과에 따라 상기 캐리어의 상부 양측에 비대칭 구조로 각각 배열된 다수의 부상용 전자석에 서로 다른 크기의 전류를 공급하여, 상기 캐리어가 부상된 상태를 유지하도록 제어하는 단계를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of operating a magnetic levitation conveying apparatus, the method comprising: outputting position information on a current position of a carrier lifted from a top of a support plate; Determining a movement path of the carrier according to the position information; And controlling currents of different magnitudes to be supplied to the plurality of levitation electromagnets arranged in an asymmetric structure on both sides of the upper side of the carrier according to the determination result so as to maintain the lifted state of the carrier.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 자기부상반송장치의 동작방법은, 지지플레이트 상부에서 부상되어 이동되는 캐리어의 수직방향 위치정보를 출력하는 단계; 상기 위치정보에 따라 상기 캐리어의 상부 양측에 비대칭 구조로 각각 배열된 다수의 부상용 전자석과 상기 캐리어 사이의 간격을 판단하는 단계; 및 판단 결과에 따라 상기 다수의 부상용 전자석에 공급되는 전류의 크기를 조절하여 상기 캐리어가 수평을 유지하도록 제어하는 단계를 포함한다.According to another aspect of the present invention, there is provided a method of operating a magnetic levitation transport apparatus, comprising: outputting vertical position information of a carrier lifted from a top of a support plate; Determining a gap between the plurality of floating electromagnets arranged in an asymmetrical structure on both sides of the carrier according to the position information and the carriers; And controlling the magnitude of the current supplied to the plurality of levitation electromagnets so that the carrier is kept horizontal according to the determination result.
본 발명의 자기부상반송장치 및 이의 동작방법은, 피반송체의 이동 경로를 따라 좌/우측에 비대칭 구조로 최소의 전자석을 배치하고, 좌측의 전자석과 우측의 전자석에 서로 다른 크기의 전류를 인가하여 평형을 유지시킴으로써, 전자석의 개수를 줄이면서 안정적으로 피반송체를 반송시킬 수 있다.The magnetic levitation conveying apparatus and its operating method according to the present invention are characterized in that a minimum electromagnet is arranged in an asymmetrical structure on the left and right sides along the movement path of a carrying object and a current of a different magnitude is applied to the electromagnet on the left side and the electromagnet on the right side Thereby maintaining the equilibrium so that the conveyed object can be conveyed stably while reducing the number of electromagnets.
도 1은 종래의 자기부상반송장치의 구성을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2는 도 1을 Ⅱ~Ⅱ'의 선으로 절단한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 자기부상반송장치의 개략적인 사시도이다.
도 4는 도 3의 자기부상반송장치를 Ⅳa~Ⅳa' 및 Ⅳb~Ⅳb'의 선으로 절단한 단면도이다.
도 5는 도 3의 자기부상반송장치의 개략적인 평면도이다.
도 6은 도 5의 제어부의 구성을 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 자기부상반송장치의 반송동작에 대한 순서도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 자기부상반송장치의 위치제어동작에 대한 순서도이다.BRIEF DESCRIPTION OF DRAWINGS FIG. 1 is a view schematically showing a configuration of a conventional magnetic levitation carrier. FIG.
Fig. 2 is a cross-sectional view of Fig. 1 taken along line II-II '.
3 is a schematic perspective view of a magnetic levitation conveying apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a cross-sectional view of the magnetically levitated conveying apparatus of FIG. 3 taken along line IVa-IVa 'and IVb-IVb'.
Fig. 5 is a schematic plan view of the magnetically levitated conveying apparatus of Fig. 3;
Fig. 6 is a diagram showing the configuration of the control unit of Fig. 5;
FIG. 7 is a flowchart of the carrying operation of the levitated carrier according to the embodiment of the present invention.
8 is a flowchart of a position control operation of the levitated carrier according to the embodiment of the present invention.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명에 따른 자기부상반송장치 및 이의 동작방법에 대해 상세히 설명한다.
Hereinafter, a magnetic levitation carrier according to the present invention and an operation method thereof will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 자기부상반송장치의 개략적인 사시도이고, 도 4는 도 3의 자기부상반송장치를 Ⅳa~Ⅳa' 및 Ⅳb~Ⅳb'의 선으로 절단한 단면도이다.FIG. 3 is a schematic perspective view of a magnetic levitation carrier according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a cross-sectional view of the magnetically levitated carrier device of FIG. 3 taken along line IVa-IVa 'and IVb-IVb'.
또한, 도 5는 도 3의 자기부상반송장치의 개략적인 평면도이고, 도 6은 도 5의 제어부의 구성을 나타내는 도면이다.5 is a schematic plan view of the magnetically levitated conveying apparatus of Fig. 3, and Fig. 6 is a diagram showing the configuration of the control unit of Fig. 5. In Fig.
도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 실시예에 따른 자기부상반송장치(100)는 지지플레이트(10), 캐리어(20), 다수의 전자석, 예컨대 캐리어(20)를 부상시키기 위한 다수의 부상용 전자석(30, 40) 및 제어부(60)를 포함할 수 있다.3 to 5, the
지지플레이트(10)는 다수의 부상용 전자석(30, 40)을 고정 및 지지하며, 상면에 캐리어(20)의 이동경로, 즉 캐리어(20)에 적재된 피반송체(110)의 이동경로를 따라 궤도(71)가 형성되어 있다. The
그리고, 궤도(71)에는 적어도 하나의 리니어모터(73)가 배치될 수 있다. 리니어모터(73)는 캐리어(20)가 지지플레이트(10)의 상면에서 소정 높이로 부상되어 궤도(71)를 따라 이동될 수 있도록 직선의 추진력을 제공할 수 있다.At least one
캐리어(20)는 지지플레이트(10) 상에 배치될 수 있다. 캐리어(20)는 양측이 요부 구조로 굽은 판(flat) 형태로 형성될 수 있다. 캐리어(20)는 후술될 다수의 부상용 전자석(30, 40)과 자력 결합될 수 있는 금속재질로 형성될 수 있다.The
캐리어(20)의 상면에는 피반송체(110), 예컨대 액정패널 등이 적재될 수 있다. 이러한 캐리어(20)는 지지플레이트(10) 상부에서 부상되어 궤도(71)를 따라 이동되면서 피반송체(110)를 반송시킬 수 있다.On the upper surface of the
다수의 부상용 전자석(30, 40)은 캐리어(20)의 상부 양측에 각각 배치될 수 있다. 이러한 다수의 부상용 전자석(30, 40)은 후술될 제어부(60)로부터 제공된 신호에 따라 각각 전자기력을 발생시킴으로써 캐리어(20)을 지지플레이트(10)로부터 부상시킬 수 있다. 여기서, 다수의 부상용 전자석(30, 40)은 제공된 신호의 크기에 따라 발생되는 전자기력의 크기도 증가될 수 있다. A plurality of
다수의 부상용 전자석(30, 40)은 캐리어(20)의 상부에서 그룹으로 구성될 수 있다. 예컨대, 캐리어(20)의 일측 상부에는 다수의 제1부상용 전자석(30)이 제1그룹으로 구성되어 캐리어(20)의 이동경로를 따라 나란하게 배치될 수 있다. 또한, 캐리어(20)의 타측 상부에는 다수의 제2부상용 전자석(40)의 제2그룹으로 구성되어 캐리어(20)의 이동경로를 따라 나란하게 배치될 수 있다. A plurality of
상술한 다수의 부상용 전자석, 즉 다수의 제1부상용 전자석(30)과 다수의 제2부상용 전자석(40)은 소정 개수로 묶여 캐리어(20)에 대응될 수 있다. 이때, 캐리어(20)에 대응되는 제1부상용 전자석(30)과 제2부상용 전자석(40)은 그 개수가 동일하지 않은 비대칭 구조일 수 있다.A plurality of the floating magnets described above, that is, a plurality of the first
예컨대, 다수의 제1부상용 전자석(30)은 캐리어(20)의 일측 상부에서 일정한 거리로 이격되어 일렬로 배치될 수 있다. 그리고, 다수의 제2부상용 전자석(40)은 캐리어(20)의 타측 상부에서 일정한 거리로 이격되어 일렬로 배치될 수 있다. 이때, 다수의 제2부상용 전자석(40) 각각은 다수의 제1부상용 전자석(30) 각각의 사이에 배치될 수 있다. 즉, 다수의 제1부상용 전자석(30)과 다수의 제2부상용 전자석(40)은 캐리어(20)의 상부 양측에서 교차되어 배치될 수 있다. 여기서, 다수의 제1부상용 전자석(30) 각각의 이격거리와 다수의 제2부상용 전자석(40) 각각의 이격거리는 동일할 수 있다. For example, the plurality of
상술한 바와 같이, 다수의 제1부상용 전자석(30)과 다수의 제2부상용 전자석(40)이 캐리어(20)의 상부에서 교차되어 배치되며, 이에 따라 하나의 캐리어(20)에는 홀수개의 부상용 전자석이 대응될 수 있다.As described above, a plurality of
도 5에 도시된 바와 같이, 하나의 캐리어(20)에는 총 3개의 부상용 전자석이 대응될 수 있다. 예컨대, 하나의 캐리어(20)에는 2개의 제1부상용 전자석(30)과 1개의 제2부상용 전자석(40)이 대응되거나 또는 1개의 제1부상용 전자석(30)과 2개의 제2부상용 전자석(40)이 대응될 수 있다. As shown in FIG. 5, a total of three floating electromagnets can be corresponded to one
한편, 캐리어(20)에 대응되는 부상용 전자석의 수는 캐리어(20)의 크기에 따라 달라질 수 있는데, 예컨대 캐리어(20)에는 3개, 5개, 7개 등의 부상용 전자석이 대응될 수 있으며, 이때 제1부상용 전자석(30)과 제2부상용 전자석(40)은 적어도 1개의 차이를 가질 수 있다.The number of the floating electromagnets corresponding to the
다수의 제1부상용 전자석(30)과 다수의 제2부상용 전자석(40)은 제어부(60)로부터 제공된 신호, 예컨대 제1전류신호(I1) 및 제2전류신호(I2)에 따라 각각 전자기력을 발생시켜 캐리어(20)를 지지플레이트(10)로부터 수평 부상시킬 수 있다. The plurality of
또, 도면에 도시되지는 않았으나, 다수의 제1부상용 전자석(30)과 캐리어(20) 사이에는 둘 사이의 간격을 감지할 수 있는 갭(gap) 센서(미도시)가 더 배치될 수 있다. 마찬가지로, 다수의 제2부상용 전자석(40)과 캐리어(20) 사이에도 갭 센서가 배치될 수 있다. Further, although not shown in the figure, a gap sensor (not shown) may be further disposed between the plurality of first lifting
이에, 후술될 제어부(60)는 갭 센서로부터 출력된 센싱신호(SI)에 따라 다수의 제1부상용 전자석(30)과 캐리어(20) 사이의 간격(d1)과 다수의 제2부상용 전자석(40)과 캐리어(20) 사이의 간격(d2)이 동일하도록 제1전류신호(I1)와 제2전류신호(I2)의 크기를 조절할 수 있다.Accordingly, the
한편, 본 실시예에 따른 자기부상반송장치(100)는 캐리어(20)의 위치를 감지하는 다수의 위치 센서(50)를 더 포함할 수 있다.Meanwhile, the
다수의 위치 센서(50)는 지지플레이트(10)의 양측에 배치될 수 있는데, 예컨대 다수의 제1부상용 전자석(30)과 다수의 제2부상용 전자석(40) 각각에 인접하도록 배치될 수 있다. A plurality of
다수의 위치 센서(50)는 캐리어(20)의 현재 위치를 감지하고, 그 결과를 제어부(60)로 제공할 수 있다. 제어부(60)는 다수의 위치 센서(50)로부터 제공된 센싱신호에 따라 제1부상용 전자석(30)과 제2부상용 전자석(40)에 공급되는 제1전류신호(I1) 및 제2전류신호(I2)를 차단하거나 또는 크기를 변경함으로써, 캐리어(20)가 지지플레이트(10) 상에 부상된 상태를 유지시킬 수 있다.A plurality of
또한, 자기부상반송장치(100)는 다수의 위치제어용 전자석(35, 45)을 더 포함할 수 있다. 다수의 위치제어용 전자석(35, 45)은 상술한 다수의 제1부상용 전자석(30)과 다수의 제2부상용 전자석(40)을 보조할 수 있으며, 캐리어(20)의 좌, 우측 위치를 제어할 수 있다. In addition, the magnetic levitated
다수의 위치제어용 전자석(35, 45)은 부상용 전자석, 즉 다수의 제1부상용 전자석(30)과 다수의 제2부상용 전자석(40)의 개수와 동일한 개수로 형성될 수 있다. The plurality of
예컨대, 다수의 위치제어용 전자석(35, 45)은 다수의 제1부상용 전자석(30)에 인접하여 동일 개수로 배치된 다수의 제1위치제어용 전자석(35) 및 다수의 제2부상용 전자석(40)에 인접하여 동일 개수로 배치된 다수의 제2위치제어용 전자석(45)을 포함할 수 있다.For example, the plurality of
다수의 제1위치제어용 전자석(35)과 다수의 제2위치제어용 전자석(45)은 제어부(60)로부터 제공된 신호, 예컨대 제3전류신호(I3)와 제4전류신호(I4)에 따라 각각 전자기력을 발생시켜 캐리어(20)의 좌, 우측 위치를 조절할 수 있다. The plurality of first position controlling electromagnets 35 and the plurality of second
예컨대, 다수의 제1위치제어용 전자석(35) 각각은 제3전류신호(I3)에 따라 캐리어(20) 일측과의 간격을 조절할 수 있다. 또한, 다수의 제2위치제어용 전자석(45) 각각은 제4전류신호(I4)에 따라 캐리어(20) 타측과의 간격을 조절할 수 있다.For example, each of the plurality of first position control electromagnets 35 can adjust the distance from one side of the
또한, 도면에 도시되지는 않았지만, 다수의 제1위치제어용 전자석(35)과 캐리어(20)의 일측 외벽 사이에는 둘 사이의 간격을 감지할 수 있는 갭 센서(미도시)가 더 배치될 수 있다. 마찬가지로, 다수의 제2위치제어용 전자석(45)과 캐리어(20)의 타측 외벽 사이에도 갭 센서가 더 배치될 수 있다. Further, although not shown in the drawing, a gap sensor (not shown) capable of sensing the distance between the first and second position controlling electromagnets 35 and one side outer wall of the
이에, 제어부(60)는 갭 센서로부터 제공된 센싱신호(SI)에 따라 제1위치제어용 전자석(35)과 캐리어(20) 사이의 간격(d3) 및 제2위치제어용 전자석(45)과 캐리어(20) 사이의 간격(d4)이 동일하도록 제어할 수 있다. The
제어부(60)는 외부 예컨대 다수의 위치 센서(50) 또는 갭 센서로부터 제공된 센싱신호(SI)에 따라 다수의 전자석들, 즉 다수의 부상용 전자석(30, 40)과 다수의 위치제어용 전자석(35, 45)을 제어할 수 있는 신호, 예컨대 제1전류신호(I1) 내지 제4전류신호(I4)를 출력할 수 있다. The
도 6을 참조하면, 제어부(60)는 위치검출부(61), 판단부(63), 이동제어부(65) 및 위치제어부(67)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 6, the
위치검출부(61)는 다수의 위치 센서(50) 또는 다수의 갭 센서로부터 제공되는 센싱신호(SI)에 따라 캐리어(20)의 현재 위치를 검출하여 위치정보(PI)를 출력할 수 있다.The
판단부(63)는 위치검출부(61)로부터 출력된 위치정보(PI)에 따라 제1제어신호(CNT1)와 제2제어신호(CNT2)를 출력할 수 있다. The determination unit 63 may output the first control signal CNT1 and the second control signal CNT2 in accordance with the position information PI output from the
여기서, 제1제어신호(CNT1)는 다수의 부상용 전자석(30, 40)을 제어하기 위한 신호이다. 제2제어신호(CNT2)는 다수의 위치제어용 전자석(35, 45)을 제어하기 위한 신호이다.Here, the first control signal CNT1 is a signal for controlling the plurality of
이동제어부(65)는 판단부(63)로부터 출력된 제1제어신호(CNT1)에 따라 제1전류신호(I1)와 제2전류신호(I2)를 생성하여 출력할 수 있다. 제1전류신호(I1)와 제2전류신호(I2)는 다수의 제1부상용 전자석(30)과 다수의 제2부상용 전자석(40)으로 출력되어 이들의 전자기력 발생을 제어할 수 있다.The movement control unit 65 may generate and output the first current signal I1 and the second current signal I2 according to the first control signal CNT1 output from the determination unit 63. [ The first current signal I1 and the second current signal I2 are outputted to the first plurality of lifting
위치제어부(67)는 판단부(63)로부터 출력된 제2제어신호(CNT2)에 따라 제3전류신호(I3)와 제4전류신호(I4)를 생성하여 출력할 수 있다. 제3전류신호(I3)와 제4전류신호(I4)는 다수의 제1위치제어용 전자석(35)과 다수의 제2위치제어용 전자석(45)으로 출력되어 이들의 전자기력 발생을 제어할 수 있다. The
한편, 도면에 도시되었으나 설명되지 않은 도면부호 80은 다수의 전자석들, 즉 다수의 부상용 전자석(30, 40)과 다수의 위치제어용 전자석(35, 45)의 덮개이고, 도면부호 90은 스토퍼(stopper)이다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 자기부상반송장치(100)는 다수의 부상용 전자석(30, 40)으로부터 발산되는 전자기력에 의해 캐리어(20)가 부상된 상태에서 이동되어 캐리어(20)에 적재된 피반송체(110)가 원하는 목적지까지 반송될 수 있다. As described above, the magnetic levitated
그리고, 캐리어(20)가 이동되면서 다수의 부상용 전자석(30, 40)과 다수의 위치제어용 전자석(35, 45)에 공급되는 전류를 조절하면서 캐리어(20)가 수평으로 부상되어 이동될 수 있도록 캐리어(20)의 위치를 제어할 수 있다. The
이하, 본 발명에 따른 자기부상반송장치(100)의 반송동작 및 위치제어동작에 대해 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, the carrying operation and the position control operation of the
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 자기부상반송장치의 반송동작에 대한 순서도이다.FIG. 7 is a flowchart of the carrying operation of the levitated carrier according to the embodiment of the present invention.
도 5 내지 도 7을 참조하면, 다수의 위치 센서(50)가 캐리어(20)의 현재위치를 센싱하여 센싱신호(SI)를 출력하면, 제어부(60)의 위치검출부(61)는 캐리어(20)의 현재위치에 대한 위치정보(PI)를 출력할 수 있다(S10).5 to 7, when a plurality of
여기서, 위치검출부(61)가 출력하는 위치정보(PI)는 지지플레이트(10) 상에서 이동되는 캐리어(20)의 현재위치에 대한 정보일 수 있다. 또한, 다수의 위치 센서(50)는 캐리어(20)의 끝단 위치를 감지하여 센싱신호(SI)를 출력할 수 있다.The position information PI output from the
판단부(63)는 위치검출부(61)로부터 출력된 위치정보(PI)에 따라 캐리어(20)의 현재위치 및 이동경로를 판단할 수 있다(S20). The determination unit 63 may determine the current position and the movement path of the
예컨대, 판단부(63)는 위치정보(PI)에 따라 캐리어(20)의 현재위치 및 이에 대응된 부상용 전자석의 수, 즉 제1부상용 전자석(30)과 제2부상용 전자석(40)의 수를 판단할 수 있다.For example, the determination unit 63 determines the current position of the
도 5를 참조하면, 판단부(63)는 위치정보(PI)에 따라 캐리어(20)가 현재 A위치에 위치하고 있고, 이때 캐리어(20)에 대응되는 부상용 전자석은 2개의 제1부상용 전자석(30)과 1개의 제2부상용 전자석(40)이라는 것을 판단할 수 있다.5, the determination unit 63 determines that the
그리고, 판단부(63)는 캐리어(20)의 이동경로를 판단할 수 있다. 예컨대, 판단부(63)는 캐리어(20)의 이동경로, 예컨대 화살표 방향에 따라 캐리어(20)가 이동되는 것을 판단할 수 있다.Then, the determination unit 63 can determine the movement path of the
계속해서, 판단부(63)는 캐리어(20)의 이동경로에 따라 새롭게 대응되는 부상용 전자석의 수를 비교하고, 비교 결과에 따라 제1제어신호(CNT1)를 출력할 수 있다(S30).Subsequently, the judging unit 63 compares the number of the floating electromagnets newly corresponding to the movement route of the
예컨대, 도 5에 도시된 바와 같이, 캐리어(20)가 A위치에서 A'위치로 이동하면, 판단부(63)는 캐리어(20)의 A'위치에서 대응되는 제1부상용 전자석(30)과 제2부상용 전자석(40)의 개수를 비교할 수 있다.5, when the
판단부(63)의 비교결과, 제1부상용 전자석(30)의 개수가 제2부상용 전자석(40)의 개수보다 많으면(N), 판단부(63)는 이동제어부(65)로 제1제어신호(CNT1)를 출력할 수 있다. When the number of the
그리고, 이동제어부(65)는 제1제어신호(CNT1)에 응답하여 제1전류신호(I1)와 상기 제1전류신호(I1)보다 작은 크기의 제2전류신호(I2)를 각각 생성할 수 있다. The movement controller 65 may generate the first current signal I1 and the second current signal I2 smaller in magnitude than the first current signal I1 in response to the first control signal CNT1 have.
이어, 이동제어부(65)는 제1전류신호(I1)를 다수의 제1부상용 전자석(30)으로 출력하고, 제2전류신호(I2)를 다수의 제2부상용 전자석(40)으로 출력하여 캐리어(20)의 이동을 제어할 수 있다(S40). The movement control unit 65 then outputs the first current signal I1 to the first plurality of
여기서, 캐리어(20)가 A'위치로 이동될 때 대응되는 제2부상용 전자석(40)의 수는 제1부상용 전자석(30)의 수보다 2배이므로, 제1전류신호(I1)는 제2전류신호(I2)의 2배의 크기로 생성될 수 있다.Here, since the number of the corresponding second floating-
또한, 캐리어(20)가 A위치에서 A''위치로 이동하면, 판단부(63)는 캐리어(20)의 A''위치에서 대응되는 제1부상용 전자석(30)과 제2부상용 전자석(40)의 개수를 비교할 수 있다.When the
판단부(63)의 비교결과, 제1부상용 전자석(30)의 개수가 제2부상용 전자석(40)의 개수보다 적으면(Y), 판단부(63)는 이동제어부(65)로 제1제어신호(CNT1)를 출력할 수 있다. When the number of the
그리고, 이동제어부(65)는 제1제어신호(CNT1)에 응답하여 제1전류신호(I1)와 상기 제1전류신호(I1)보다 큰 크기의 제2전류신호(I2)를 각각 생성할 수 있다. The movement controller 65 may generate the first current signal I1 and the second current signal I2 having a magnitude larger than the first current signal I1 in response to the first control signal CNT1 have.
이어, 이동제어부(65)는 제1전류신호(I1)를 다수의 제1부상용 전자석(30)으로 출력하고, 제2전류신호(I2)를 다수의 제2부상용 전자석(40)으로 출력하여 캐리어(20)의 이동을 제어할 수 있다(S50). The movement control unit 65 then outputs the first current signal I1 to the first plurality of
여기서, 캐리어(20)가 A''위치로 이동될 때 대응되는 제2부상용 전자석(40)의 수는 제1부상용 전자석(30)의 수보다 1/2배이므로, 제1전류신호(I1)는 제2전류신호(I2)의 1/2배의 크기로 생성될 수 있다.Here, the number of the corresponding second floating-
상술한 바와 같이, 본 실시예에 따른 자기부상반송장치(100)는 캐리어(20)의 위치, 즉 현재위치 및 이동경로에 따라 캐리어(20)에 대응되는 부상용 전자석의 개수를 비교하고, 비교 결과에 따라 부상용 전자석에 공급되는 전류의 크기를 조절함으로써, 캐리어(20)가 지지플레이트(10)로부터 수평한 상태로 부상되어 안정적으로 이동될 수 있도록 한다.As described above, the
따라서, 본 실시예에 따른 자기부상반송장치(100)는 종래의 자기부상반송장치와 대비하여 캐리어(20)에 대응되는 부상용 전자석의 개수를 줄이면서도 안정적으로 캐리어(20)를 이동시킬 수 있다.Therefore, the
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 자기부상반송장치의 위치제어동작에 대한 순서도이다.8 is a flowchart of a position control operation of the levitated carrier according to the embodiment of the present invention.
먼저, 본 실시예에 따른 자기부상반송장치의 수직방향 위치제어동작에 대해 설명하기로 한다.First, the vertical position control operation of the magnetic levitation carrier according to the present embodiment will be described.
도 4 내지 도 6 및 도 8을 참조하면, 다수의 갭 센서가 캐리어(20)의 현재위치를 센싱하여 센싱신호(SI)를 출력하면, 제어부(60)의 위치검출부(61)는 캐리어(20)의 현재위치에 대한 위치정보(PI)를 출력할 수 있다(S110). 4 to 6 and 8, when the plurality of gap sensors sense the current position of the
여기서, 다수의 갭 센서는 다수의 부상용 전자석(30, 40)과 캐리어(20) 사이에 배치된 센서이고, 위치검출부(61)가 출력하는 위치정보(PI)는 캐리어(20)와 다수의 부상용 전자석(30, 40) 사이의 간격(d1, d2)에 대한 수직방향 위치정보일 수 있다. The plurality of gap sensors are sensors disposed between the plurality of
판단부(63)는 위치검출부(61)로부터 출력된 위치정보(PI)로부터 캐리어(20)와 전자석들 사이의 간격을 판단할 수 있다(S120). 그리고, 판단부(63)는 캐리어(20)와 전자석들 사이의 간격을 서로 비교할 수 있다(S130).The determination unit 63 can determine the distance between the
도 4를 참조하면, 판단부(63)는 캐리어(20)와 제1부상용 전자석(30) 사이의 간격, 즉 제1간격(d1)과, 캐리어(20)와 제2부상용 전자석(40) 사이의 간격, 즉 제2간격(d2)을 비교할 수 있다.4, the determination unit 63 determines the distance between the
판단부(63)의 비교결과, 제1간격(d1)과 제2간격(d2)이 동일하면(Y), 판단부(63)는 위치제어부(67)로 제2제어신호(CNT2)를 출력할 수 있다. If the first interval d1 and the second interval d2 are equal to each other (Y) as a result of the comparison by the determination unit 63, the determination unit 63 outputs the second control signal CNT2 to the
그리고, 위치제어부(67)는 제2제어신호(CNT2)에 응답하여 현재 제1부상용 전자석(30)과 제2부상용 전자석(40)에 공급되고 있는 전류, 예컨대 제1전류신호(I1)와 제2전류신호(I2)의 공급량을 유지시킬 수 있다(S140). The
그러나, 판단부(63)의 비교결과, 제1간격(d1)과 제2간격(d2)이 동일하지 않으면(N), 판단부(63)는 위치제어부(67)로 제2제어신호(CNT2)를 출력하고, 위치제어부(67)는 제2제어신호(CNT2)에 응답하여 제1부상용 전자석(30)과 제2부상용 전자석(40)에 공급되는 전류의 공급량을 변경시킬 수 있다(S150).If the first interval d1 and the second interval d2 are not equal to each other (N) as a result of the determination by the determination unit 63, the determination unit 63 determines that the second control signal CNT2 And the
다시 말하면, 부상용 전자석들(30, 40)과 캐리어(20) 사이의 간격인 제1간격(d1)과 제2간격(d2)이 동일하지 않다고 판단된 경우는 캐리어(20)가 지지플레이트(10)의 상부에서 수평을 유지하지 못하고 있기 때문이다.In other words, if it is determined that the first gap d1 and the second gap d2, which are the gaps between the floating
이에 따라, 판단부(63)는 캐리어(20)의 수평 유지를 위하여 그 간격이 큰 쪽, 예컨대 제1간격(d1)과 제2간격(d2) 중 큰 크기의 간격을 가지는 부분의 부상용 전자석에 좀 더 큰 세기의 전류신호가 제공되도록 제2제어신호(CNT2)를 출력할 수 있다. Accordingly, in order to maintain the
그리고, 위치제어부(67)는 제2제어신호(CNT2)에 따라 제1전류신호(I1)와 제2전류신호(I2) 중 하나의 크기를 변경시켜 출력함으로써, 캐리어(20)가 지지플레이트(10)로부터 수평이 되도록 제어할 수 있다.The
다음으로, 본 실시예에 따른 자기부상반송장치의 수평방향 위치제어동작에 대해 설명하기로 한다.Next, the horizontal position control operation of the magnetic levitation carrier according to the present embodiment will be described.
도 4 내지 도 6 및 도 8을 참조하면, 다수의 갭 센서가 캐리어(20)의 현재위치를 센싱하여 센싱신호(SI)를 출력하면, 제어부(60)의 위치검출부(61)는 캐리어(20)의 현재위치에 대한 위치정보(PI)를 출력할 수 있다(S110). 4 to 6 and 8, when the plurality of gap sensors sense the current position of the
여기서, 다수의 갭 센서는 다수의 위치제어용 전자석(35, 45)과 캐리어(20) 사이에 배치된 센서이고, 위치검출부(61)가 출력하는 위치정보(PI)는 캐리어(20)와 다수의 위치제어용 전자석(35, 45) 사이의 간격(d3, d4)에 대한 수평방향 위치정보일 수 있다.The plurality of gap sensors are sensors disposed between the plurality of
판단부(63)는 위치검출부(61)로부터 출력된 위치정보(PI)로부터 캐리어(20)와 전자석들 사이의 간격을 판단할 수 있다(S120). 그리고, 판단부(63)는 캐리어(20)와 전자석들 사이의 간격을 서로 비교할 수 있다(S130).The determination unit 63 can determine the distance between the
도 4를 참조하면, 판단부(63)는 캐리어(20)와 제1위치제어용 전자석(35) 사이의 간격, 즉 제1간격(d3)과, 캐리어(20)와 제2위치제어용 전자석(45) 사이의 간격, 즉 제2간격(d4)을 서로 비교할 수 있다.4, the determination unit 63 determines the distance between the
판단부(63)의 비교결과, 제1간격(d3)과 제2간격(d4)이 동일하면(Y), 판단부(63)는 위치제어부(67)로 제2제어신호(CNT2)를 출력할 수 있다. If the first interval d3 and the second interval d4 are equal to each other (Y) as a result of the comparison by the determination unit 63, the determination unit 63 outputs the second control signal CNT2 to the
그리고, 위치제어부(67)는 제2제어신호(CNT2)에 응답하여 현재 제1위치제어용 전자석(35)과 제2위치제어용 전자석(45)에 공급되고 있는 전류, 예컨대 제3전류신호(I3)와 제4전류신호(I4)의 공급량을 유지시킬 수 있다(S140). The
그러나, 판단부(63)의 비교결과, 제1간격(d3)과 제2간격(d4)이 동일하지 않으면(N), 판단부(63)는 위치제어부(67)로 제2제어신호(CNT2)를 출력하고, 위치제어부(67)는 제2제어신호(CNT2)에 응답하여 제1위치제어용 전자석(35)과 제2위치제어용 전자석(45)에 공급되는 전류의 공급량을 변경시킬 수 있다(S150).If the first interval d3 and the second interval d4 are not equal to each other (N) as a result of the comparison by the determination unit 63, the determination unit 63 determines that the second control signal CNT2 And the
다시 말하면, 다수의 위치제어용 전자석들(35, 45)과 캐리어(20) 사이의 간격인 제1간격(d3)과 제2간격(d4)이 동일하지 않다고 판단된 경우는 캐리어(20)가 지지플레이트(10)의 상부에서 한쪽으로 치우쳐 있기 때문이다.In other words, if it is determined that the first gap d3 and the second gap d4, which are the distances between the plurality of
이에 따라, 판단부(63)는 제1간격(d3)과 제2간격(d4) 중 큰 크기의 간격을 가지는 부분의 위치제어용 전자석에 좀 더 큰 세기의 전류신호가 공급되도록 제2제어신호(CNT2)를 출력할 수 있다.Accordingly, the determination unit 63 determines that the second control signal (e.g., the first control signal) is supplied to the position control electromagnet having the larger interval of the first gap d3 and the second gap d4, CNT2.
그리고, 위치제어부(67)는 제2제어신호(CNT2)에 따라 제3전류신호(I3)와 제4전류신호(I4) 중 하나의 크기를 변경시켜 출력함으로써, 캐리어(20)가 지지플레이트(10) 상부에서 치우치지 않도록 제어할 수 있다.The
상술한 바와 같이, 본 실시예에 따른 자기부상반송장치(100)는 캐리어(20)의 위치정보(PI)에 따라 다수의 부상용 전자석(30, 40) 또는 다수의 위치제어용 전자석(35, 45)에 공급되는 전류의 세기를 유지하거나 변경시킴으로써, 지지플레이트(10) 상부에서 캐리어(20)가 정확한 위치에서 이동될 수 있도록 제어할 수 있다. As described above, the magnetic levitated
전술한 설명에 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나 이것은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. 따라서 발명은 설명된 실시예에 의하여 정할 것이 아니고 특허청구범위와 특허청구범위에 균등한 것에 의하여 정하여져야 한다.While a number of embodiments have been described in detail above, it should be construed as being illustrative of preferred embodiments rather than limiting the scope of the invention. Therefore, the invention should not be construed as limited to the embodiments described, but should be determined by equivalents to the appended claims and the claims.
100: 자기부상반송장치
10: 지지플레이트
20: 캐리어
30, 40: 부상용 전자석
35, 45: 위치제어용 전자석
50: 위치센서
60: 제어부100: magnetic levitation conveying device 10: support plate
20:
35, 45: Electromagnet for position control 50: Position sensor
60:
Claims (13)
상기 지지플레이트 상부로부터 부상되어 이동경로를 따라 이동되면서 적재된 피반송체를 반송하는 캐리어; 및
상기 캐리어의 상부 양측에 비대칭 구조로 각각 배열되고, 외부로부터 제공된 전류에 따라 상기 캐리어를 상기 지지플레이트로부터 부상시키는 다수의 부상용 전자석을 포함하는 자기부상반송장치.A support plate;
A carrier lifted from the upper portion of the support plate and moved along the movement path to carry the loaded carrying object; And
And a plurality of levitation electromagnets arranged on both sides of an upper portion of the carrier in an asymmetrical structure and floating the carrier from the support plate in accordance with an externally supplied current.
상기 캐리어의 상부 일측에 배치된 다수의 제1부상용 전자석; 및
상기 캐리어의 상부 타측에 배치된 다수의 제2부상용 전자석을 포함하고,
상기 다수의 제2부상용 전자석 각각은 상기 다수의 제1부상용 전자석 각각의 사이에 배치되는 자기부상반송장치.2. The apparatus according to claim 1, wherein the plurality of floating electromagnets comprise:
A plurality of first floating magnets disposed on one side of the carrier; And
And a plurality of second floating magnets arranged on the other side of the upper side of the carrier,
And each of the plurality of second floating magnets is disposed between each of the plurality of first floating magnets.
상기 캐리어의 이동경로를 판단하여 상기 다수의 제1부상용 전자석과 상기 다수의 제2부상용 전자석에 서로 다른 크기의 전류를 공급하는 제어부를 더 포함하는 자기부상반송장치.3. The method of claim 2,
Further comprising a control unit for determining a movement path of the carrier to supply currents of different magnitudes to the first and second lifting electromagnets.
상기 제어부는 상기 캐리어에 대응되는 상기 다수의 제1부상용 전자석과 상기 제2부상용 전자석의 개수에 따라 상기 다수의 제1부상용 전자석과 상기 다수의 제2부상용 전자석에 서로 다른 크기의 전류를 공급하는 자기부상반송장치.The method of claim 3,
Wherein the controller controls the currents of different magnitudes in the plurality of first floating magnets and the plurality of second floating magnets in accordance with the number of the first and second floating magnets corresponding to the carrier, To the magnetic levitation conveying device.
상기 캐리어의 위치정보를 출력하는 위치검출부;
상기 위치정보에 따라 상기 캐리어의 현재위치 및 이동경로를 판단하고, 상기 이동경로에 따라 상기 캐리어의 다음위치에서 대응되는 상기 다수의 제1부상용 전자석과 상기 다수의 제2부상용 전자석의 개수를 판단하는 판단부; 및
상기 판단부의 판단결과에 따라 서로 다른 크기를 가지는 제1전류신호와 제2전류신호를 생성하여 상기 다수의 제1부상용 전자석과 상기 다수의 제2부상용 전자석에 각각 출력하는 이동제어부를 포함하고,
상기 제1전류신호와 상기 제2전류신호 중 하나는 다른 하나보다 2배의 크기를 가지는 자기부상반송장치.The apparatus of claim 3,
A position detector for outputting position information of the carrier;
Determining a current position and a travel route of the carrier according to the position information, and determining the number of the first plurality of first lifting electromagnets and the plurality of second lifting electromagnets corresponding to the next position of the carrier A judging unit for judging; And
And a movement controller for generating a first current signal and a second current signal having different magnitudes according to a result of the determination by the determination unit and outputting the first current signal and the second current signal to the first plurality of lifting electromagnets and the plurality of second lifting electromagnets, ,
Wherein one of the first current signal and the second current signal has a magnitude twice that of the other one.
상기 캐리어에 대응되는 상기 다수의 부상용 전자석의 개수는 홀수개인 자기부상반송장치. The method according to claim 1,
Wherein the number of the floating electromagnets corresponding to the carrier is an odd number.
상기 다수의 부상용 전자석에 인접하여 동일 개수로 배치되며, 상기 캐리어의 수직 위치 및 수평 위치를 조절하는 다수의 위치제어용 전자석; 및
상기 다수의 부상용 전자석과 상기 캐리어 사이의 간격 또는 상기 다수의 위치제어용 전자석과 상기 캐리어 사이의 간격을 감지하는 적어도 하나의 갭 센서를 더 포함하는 자기부상반송장치.The method according to claim 1,
A plurality of position-controlling electromagnets arranged in the same number as adjacent to the plurality of levitation electromagnets and adjusting a vertical position and a horizontal position of the carrier; And
And at least one gap sensor for sensing an interval between the plurality of levitation electromagnets and the carrier or an interval between the plurality of position controlling electromagnets and the carrier.
상기 위치정보에 따라 상기 캐리어의 이동경로를 판단하는 단계; 및
판단 결과에 따라 상기 캐리어의 상부 양측에 비대칭 구조로 각각 배열된 다수의 부상용 전자석에 서로 다른 크기의 전류를 공급하여, 상기 캐리어가 부상된 상태를 유지하도록 제어하는 단계를 포함하는 자기부상반송장치의 동작방법.Outputting positional information on a current position of the carrier lifted and moved above the support plate;
Determining a movement path of the carrier according to the position information; And
And controlling the plurality of levitation electromagnets arranged in an asymmetrical structure on both sides of the upper side of the carrier so as to maintain a floating state of the carrier according to a result of the determination, Lt; / RTI >
상기 다수의 부상용 전자석은 상기 캐리어의 상부 일측에 배치된 다수의 제1부상용 전자석 및 상기 캐리어의 상부 타측에 배치된 다수의 제2부상용 전자석을 포함하고,
상기 캐리어의 이동경로를 판단하는 단계는, 상기 이동경로에 따라 상기 캐리어의 다음위치에서 대응되는 상기 다수의 제1부상용 전자석과 상기 다수의 제2부상용 전자석의 개수를 비교하는 단계를 더 포함하는 자기부상반송장치의 동작방법.9. The method of claim 8,
The plurality of levitation electromagnets include a plurality of first levitation electromagnets disposed on one side of the upper side of the carrier and a plurality of second levitation electromagnets disposed on the other side of the upper side of the carrier,
The step of judging the movement path of the carrier further includes a step of comparing the number of the plurality of first floating type electromagnets corresponding to the plurality of second floating type electromagnets corresponding to the next position of the carrier according to the movement path Wherein the magnetic levitation conveying device is a magnetic levitation conveying device.
상기 다수의 부상용 전자석에 서로 다른 크기의 전류를 공급하는 단계는,
비교 결과 상기 캐리어의 다음위치에서 대응되는 상기 다수의 제1부상용 전자석의 개수가 상기 다수의 제2부상용 전자석의 개수보다 많으면, 상기 다수의 제1부상용 전자석 보다 상기 다수의 제2부상용 전자석에 더 큰 크기의 전류를 공급하는 자기부상반송장치의 동작방법.10. The method of claim 9,
Wherein the step of supplying currents of different magnitudes to the plurality of levitation electromagnets comprises:
When the number of the first plurality of the floating electromagnets corresponding to the next position of the carrier is larger than the number of the plurality of second floating electromagnets as a result of comparison, A method of operating a magnetically levitated conveyance device that supplies a larger magnitude current to an electromagnet.
상기 다수의 제2부상용 전자석에 공급되는 전류는 상기 다수의 제1부상용 전자석에 공급되는 전류의 2배인 자기부상반송장치의 동작방법.11. The method of claim 10,
Wherein a current supplied to said plurality of second levitation electromagnets is twice as large as a current supplied to said plurality of first levitation electromagnets.
상기 캐리어에 대응되는 상기 다수의 부상용 전자석의 개수는 홀수개인 자기부상반송장치의 동작방법.9. The method of claim 8,
Wherein the number of the floating electromagnets corresponding to the carrier is an odd number.
상기 위치정보에 따라 상기 캐리어의 상부 양측에 비대칭 구조로 각각 배열된 다수의 부상용 전자석과 상기 캐리어 사이의 간격을 판단하는 단계; 및
판단 결과에 따라 상기 다수의 부상용 전자석에 공급되는 전류의 크기를 조절하여 상기 캐리어가 수평을 유지하도록 제어하는 단계를 포함하는 자기부상반송장치의 동작방법.Outputting vertical position information of a carrier lifted from the upper portion of the support plate;
Determining a gap between the plurality of floating electromagnets arranged in an asymmetrical structure on both sides of the carrier according to the position information and the carriers; And
And controlling the magnitude of a current supplied to the plurality of levitation electromagnets according to a result of the determination to control the carrier to maintain a horizontal state.
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160132884A (en) * | 2014-03-19 | 2016-11-21 | 메카트로닉스 아게 | Transportation apparatus for moving and/or positioning objects |
CN109643680A (en) * | 2017-07-21 | 2019-04-16 | 应用材料公司 | The method of magnetic suspension system, the carrier for magnetic suspension system and operation magnetic suspension system |
CN113678238A (en) * | 2019-03-27 | 2021-11-19 | 应用材料公司 | Magnetic levitation system and method for measuring the distance between at least one electromagnetic actuator and a ferromagnetic element |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR920006157A (en) * | 1990-09-12 | 1992-04-27 | 전성원 | 2-axis 5-speed transmission mechanism of automatic transmission |
KR20040013829A (en) * | 2002-08-08 | 2004-02-14 | 삼성전자주식회사 | Spinner equipment having improved having arm transferring apparatus |
KR20130063901A (en) * | 2011-12-07 | 2013-06-17 | 한국기계연구원 | Magnetic levitation conveyance device having tray without power |
KR101322716B1 (en) * | 2012-07-04 | 2013-10-28 | 주식회사 선익시스템 | Substrate transferring apparatus using magnetic substance |
-
2013
- 2013-12-02 KR KR1020130148706A patent/KR102200021B1/en active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR920006157A (en) * | 1990-09-12 | 1992-04-27 | 전성원 | 2-axis 5-speed transmission mechanism of automatic transmission |
KR20040013829A (en) * | 2002-08-08 | 2004-02-14 | 삼성전자주식회사 | Spinner equipment having improved having arm transferring apparatus |
KR20130063901A (en) * | 2011-12-07 | 2013-06-17 | 한국기계연구원 | Magnetic levitation conveyance device having tray without power |
KR101322716B1 (en) * | 2012-07-04 | 2013-10-28 | 주식회사 선익시스템 | Substrate transferring apparatus using magnetic substance |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20160132884A (en) * | 2014-03-19 | 2016-11-21 | 메카트로닉스 아게 | Transportation apparatus for moving and/or positioning objects |
KR101865166B1 (en) * | 2014-03-19 | 2018-06-08 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | Transportation apparatus for moving and/or positioning objects |
CN109643680A (en) * | 2017-07-21 | 2019-04-16 | 应用材料公司 | The method of magnetic suspension system, the carrier for magnetic suspension system and operation magnetic suspension system |
CN109643680B (en) * | 2017-07-21 | 2023-03-28 | 应用材料公司 | Magnetic levitation system, carrier for a magnetic levitation system and method for operating a magnetic levitation system |
CN113678238A (en) * | 2019-03-27 | 2021-11-19 | 应用材料公司 | Magnetic levitation system and method for measuring the distance between at least one electromagnetic actuator and a ferromagnetic element |
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