KR20080062805A - Transferring apparatus - Google Patents

Transferring apparatus Download PDF

Info

Publication number
KR20080062805A
KR20080062805A KR1020060138927A KR20060138927A KR20080062805A KR 20080062805 A KR20080062805 A KR 20080062805A KR 1020060138927 A KR1020060138927 A KR 1020060138927A KR 20060138927 A KR20060138927 A KR 20060138927A KR 20080062805 A KR20080062805 A KR 20080062805A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
rail
sub
sub rail
main
disposed
Prior art date
Application number
KR1020060138927A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR101340833B1 (en
Inventor
이선용
Original Assignee
엘지디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엘지디스플레이 주식회사 filed Critical 엘지디스플레이 주식회사
Priority to KR1020060138927A priority Critical patent/KR101340833B1/en
Publication of KR20080062805A publication Critical patent/KR20080062805A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101340833B1 publication Critical patent/KR101340833B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G41/00—Supporting frames or bases for conveyors as a whole, e.g. transportable conveyor frames
    • B65G41/007—Means for moving conveyor frames and control arrangements therefor
    • B65G41/008—Means for moving conveyor frames and control arrangements therefor frames mounted on wheels or caterpillar
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/062—Easels, stands or shelves, e.g. castor-shelves, supporting means on vehicles
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00—Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/02—Control or detection
    • B65G2203/0208—Control or detection relating to the transported articles
    • B65G2203/0233—Position of the article
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00—Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/04—Detection means
    • B65G2203/042—Sensors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

A conveyance apparatus is provided to separate a sub rail from a main rail by using a main structure and a sub rail driving unit, thereby loading/unloading a cassette on equipment spaced from the main rail. A conveyance apparatus(400) comprises a closed-loop rail structure(100), a conveyance unit(200), and a sub rail separation unit(300). The closed-loop rail structure includes a main rail(10) disposed to face the end portions and a sub rail interposed between the end portions of the main rail. The conveyance unit is conveyed along the rail structure. The sub rail separation unit separates the sub rail, on which the conveyance unit is loaded, from the main rail in a horizontal direction.

Description

반송 장치{TRANSFERRING APPARATUS}Carrier {TRANSFERRING APPARATUS}

도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 반송 장치를 도시한 평면도이다.1 is a plan view showing a conveying apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 I-I' 선을 따라 절단한 단면도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 1.

도 3은 도 1의 I-I' 선을 따라 절단한 단면도이다.3 is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 1.

도 4는 도 1의 II-II' 선을 따라 절단한 단면도이다.4 is a cross-sectional view taken along the line II-II 'of FIG. 1.

도 5는 도 1의 III-III' 선을 따라 절단한 단면도이다.FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line III-III ′ of FIG. 1.

본 발명은 반송 장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 반송 경로로부터 레일의 일부를 분리하여 반송 대상물을 반송 경로로부터 원거리 이격된 곳으로 반송하는 반송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a conveying apparatus. More specifically, this invention relates to the conveying apparatus which isolate | separates a part of rail from a conveyance path | route, and conveys a conveyance object to the place remotely separated from a conveyance path | route.

최근 들어, 방대한 데이터를 처리하는 정보처리장치 및 정보처리장치에서 처리된 영상을 표시하는 표시장치가 개발되고 있다.Recently, information processing apparatuses for processing massive data and display apparatuses for displaying images processed by the information processing apparatuses have been developed.

대표적인 표시장치의 예로서는 액정표시장치, 유기 광 발생 장치, 플라즈마 표시 패널 등을 들 수 있다.Examples of the typical display device include a liquid crystal display device, an organic light generating device, a plasma display panel, and the like.

이들 표시장치들을 제조하기 위해서는 모기판(mother glass)이라 불리는 대형 기판들에 복잡한 박막 처리 공정들을 수행하여 복수매의 표시패널들을 형성하는 공정 및 모기판으로부터 표시패널들을 분리하는 공정을 포함한다.In order to manufacture these display devices, a process of forming a plurality of display panels by performing complex thin film processing processes on large substrates called mother glass, and separating the display panels from the mother substrate.

따라서, 표시장치를 제조하기 위해서는 모기판을 여러 박막 처리 장비들로 이송해야 한다. 그러나, 모기판은 깨지기 쉽고 사이즈가 매우 크기 때문에 여러 박막 처리 장비들로 이송하기 매우 어렵다.Therefore, in order to manufacture the display device, the mother substrate must be transferred to various thin film processing equipments. However, because the mother substrate is fragile and very large in size, it is very difficult to transfer to various thin film processing equipments.

이와 같은 이유로 표시패널을 제조하는 대부분 생산 공장에서는 여러 장의 모기판들을 카세트에 적재하고, 모기판들이 수납된 카세트를 여러 박막 처리 장비들로 이송하는 방법이 사용되고 있다.For this reason, in most production plants that manufacture display panels, a method of loading several mother substrates into a cassette and transferring the cassette containing the mother substrates to various thin film processing equipments is used.

카세트를 이송하기 위한 장치로는 카세트를 적재하고 지상을 따라 이동하는 자동반송대차(Auto Guided Vehicle, AGV) 및 카세트를 적재하고 공중에 설치된 레일을 통해 이동하는 OHS(Over Head Shuttle) 등이 대표적이다.Typical devices for transferring cassettes include Auto Guided Vehicles (AGVs) that load cassettes and move along the ground, and OHS (Over Head Shuttle) that loads cassettes and moves through rails installed in the air. .

이들 중 OHS는 공중에 설치된 레일, 레일을 공중에 고정하기 위해 천장(ceiling)에 설치되어 레일을 지지하는 서포트 유닛, 레일을 따라 이동하며 카세트가 배치되는 이송 유닛을 포함한다.Among them, the OHS includes a rail installed in the air, a support unit installed on a ceiling to fix the rail in the air, and a support unit supporting the rail, and a transport unit moving along the rail and arranged with a cassette.

OHS에 의하여 이송되는 카세트는 특정 박막 처리 장비에서 멈추고, 로봇 암을 이용하여 카세트를 박막 처리 장치로 언로딩 또는 박막 처리 장비에서 처리된 모기판이 수납된 카세트를 로딩한다.The cassette conveyed by the OHS is stopped at a specific thin film processing equipment, and the robot arm is used to unload the cassette into the thin film processing apparatus or to load the cassette containing the mother substrate processed in the thin film processing equipment.

그러나, 모기판이 수납된 카세트를 이송하는 OHS의 경우 OHS의 레일로부터 일정 범위 내에 박막 처리 장비가 배치되어야 하는 제약을 갖는다. OHS의 레일로부 터 일정 범위 밖에 박막 처리 장비가 배치될 경우 OHS로부터 박막 처리 장치로 카세트를 언로딩 또는 박막 처리 장비로부터 카세트를 로딩할 수 없다.However, in the case of the OHS for transporting the cassette in which the mother substrate is accommodated, the thin film processing equipment has to be disposed within a certain range from the rail of the OHS. If the thin film processing equipment is placed out of a range from the rail of the OHS, the cassette cannot be loaded or unloaded from the thin film processing equipment from the OHS.

본 발명의 목적은 레일 및 박막 처리 장비 사이의 간격 제한을 받지 않는 반송 장치를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a conveying apparatus which is not restricted by the gap between the rail and the thin film processing equipment.

본 발명의 목적을 구현하기 위한 반송 장치는 단부들이 마주보도록 배치된 메인 레일 및 상기 메인 레일의 단부들 사이에 게재된 서브 레일을 포함하는 폐루프 형상의 레일 구조물, 상기 레일 구조물을 따라 이송되는 이송 유닛 및 상기 이송 유닛이 로딩 된 상기 서브 레일을 상기 메인 레일로부터 수평 방향으로 분리시키는 서브 레일 분리 유닛을 포함한다.A conveying device for realizing the object of the present invention is a closed loop-shaped rail structure comprising a main rail disposed so that the ends face each other and a sub-rail disposed between the ends of the main rail, the conveying conveyed along the rail structure And a sub rail separating unit separating the sub rail loaded with the unit and the transfer unit in a horizontal direction from the main rail.

이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 반송 장치에 대하여 상세하게 설명하지만, 본 발명이 하기의 실시예들에 제한되는 것은 아니며, 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양한 다른 형태로 구현할 수 있을 것이다.Hereinafter, the conveying apparatus according to the embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, but the present invention is not limited to the following embodiments, and those skilled in the art will appreciate The present invention may be embodied in various other forms without departing from the spirit of the invention.

도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 반송 장치를 도시한 평면도이다.1 is a plan view showing a conveying apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 반송 장치(400)는 레일 구조물(100), 이송 유닛(200) 및 서브 레일 분류 유닛(300)을 포함한다.Referring to FIG. 1, the conveying apparatus 400 includes a rail structure 100, a conveying unit 200, and a sub rail sorting unit 300.

레일 구조물(100)은 적어도 1 개의 메인 레일(10) 및 서브 레일(20)을 포함한다. 본 실시예에서, 메인 레일(10) 및 서브 레일(20)을 포함하는 레일 구조 물(100)은, 평면상에서 보았을 때, 폐루프(closed loop) 형상을 갖는다.The rail structure 100 includes at least one main rail 10 and a sub rail 20. In this embodiment, the rail structure 100 including the main rail 10 and the sub rail 20 has a closed loop shape when viewed in plan view.

메인 레일(10)은, 예를 들어, 한 개로 구성된다. 본 실시예에서, 메인 레일(10)이 한 개로 이루어질 경우, 메인 레일(10)들의 제1 단부(1) 및 제1 단부(1)와 대향하는 제2 단부(2)는 상호 마주보도록 배치된다. 메인 레일(10)의 제1 단부(1) 및 제2 단부(2)는 상호 소정 간격 이격된다. 이와 다르게, 메인 레일(10)들은 2 개 이상으로 구성될 경우, 각 메인 레일(10)들은 폐루프 형상으로 배치되고, 각 메인 레일(10)들의 단부들 역시 마주보도록 배치된다.The main rail 10 is comprised by one, for example. In this embodiment, when the main rail 10 consists of one, the first end 1 of the main rails 10 and the second end 2 opposite to the first end 1 are arranged to face each other. . The first end 1 and the second end 2 of the main rail 10 are spaced apart from each other by a predetermined interval. Alternatively, when the main rail 10 is composed of two or more, each main rail 10 is arranged in a closed loop shape, the ends of each of the main rail 10 is also disposed to face.

서브 레일(20)은 메인 레일(10)의 제1 단부(1) 및 제2 단부(2)의 사이에 게재된다. 서브 레일(20)은 메인 레일(10) 중 끊어진 부분을 연결하는 역할을 한다.The sub rail 20 is interposed between the first end 1 and the second end 2 of the main rail 10. The sub rail 20 serves to connect the broken portion of the main rail 10.

메인 레일(10)의 상면에는 그루브 형상의 제1 결합홈(15)이 형성되고, 서브 레일(20)의 상면에는 그루브(groove) 형상의 제2 결합홈(25)이 형성된다. 본 실시예에서, 제1 결합홈(15) 및 제2 결합홈(25)의 내부에는 각각 전자석(17)이 배치될 수 있다.Groove-shaped first coupling grooves 15 are formed in the upper surface of the main rail 10, and groove-shaped second coupling grooves 25 are formed in the upper surface of the sub rail 20. In the present embodiment, the electromagnet 17 may be disposed in the first coupling groove 15 and the second coupling groove 25, respectively.

메인 레일(10)은 지상으로부터 소정 간격 이격된 공중에 배치된다. 메인 레일(10)을 지상으로부터 소장 간격 이격된 공중에 배치하기 위해서, 레일 구조물(100)은 메인 레일 지지부재(30)를 포함한다.The main rail 10 is disposed in the air spaced a predetermined distance from the ground. In order to arrange the main rail 10 in the air spaced at a small interval from the ground, the rail structure 100 includes a main rail support member 30.

도 2는 도 1의 I-I' 선을 따라 절단한 단면도이다.FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 1.

도 2를 참조하면, 메인 레일 지지부재(30)는 메인 레일 지지부(32) 및 고정 와이어(34)를 포함한다.Referring to FIG. 2, the main rail support member 30 includes a main rail support 32 and a fixing wire 34.

메인 레일 지지부(32)는 메인 레일(10)의 하부에 배치되어 메인 레일(10)을 고정한다. 고정 와이어(34)의 일측 단부는 메인 레일 지지부(32)에 결합되고, 고정 와이어(34)의 일측 단부와 대향하는 타측 단부는 천장(ceiling;35)에 결합된다. 메인 레일 지지부(32) 및 고정 와이어(34)를 포함하는 메인 레일 지지부재(30)에 의하여 메인 레일(10)은 지상으로부터 이격된 공중에 배치된다. 본 실시예에서, 메인 레일 지지부재(30)는 메인 레일(10)에 복수개가 설치된다.The main rail support part 32 is disposed below the main rail 10 to fix the main rail 10. One end of the fixing wire 34 is coupled to the main rail support 32, and the other end opposite to one end of the fixing wire 34 is coupled to the ceiling 35. The main rail 10 is disposed in the air spaced from the ground by the main rail support member 30 including the main rail support 32 and the fixing wire 34. In the present embodiment, a plurality of main rail support members 30 are installed on the main rail 10.

도 1 및 도 2를 참조하면, 이송 유닛(200)은 메인 레일(10) 및 서브 레일(20)로 이루어진 레일 구조물(100)을 따라 이동한다. 이송 유닛(200)은, 예를 들어, 복수매의 대형 모기판들이 수납된 카세트(210)를 A 설비로부터 B 설비로 이송한다. 이와 다르게, 이송 유닛(200)은, 예를 들어, 복수매의 대형 모기판들이 수납된 카세트(210)를 B 설비로부터 A 설비로 이송한다.1 and 2, the transfer unit 200 moves along a rail structure 100 consisting of a main rail 10 and a sub rail 20. The transfer unit 200 transfers, for example, the cassette 210 containing a plurality of large mother substrates from the A facility to the B facility. Alternatively, the transfer unit 200 transfers, for example, the cassette 210 containing a plurality of large mother substrates from the B facility to the A facility.

이송 유닛(200)은 플레이트 형상을 갖고, 이송 유닛(200)의 하부면에는 메인 레일(10)의 제1 결합홈(15) 및 서브 레일(20)의 제2 결합홈(25)에 끼워지는 결합부(215)를 갖는다. 결합부(215)에는 전자석(217)이 배치된다. 이로써, 이송 유닛(200)의 전자석(217) 및 제1 및 제2 결합홈(15,25)의 전자석(17)을 이용하여 이송 유닛(200)은 레일 구조물(100)을 따라 이송된다.The transfer unit 200 has a plate shape, and fits into the first coupling groove 15 of the main rail 10 and the second coupling groove 25 of the sub rail 20 on a lower surface of the transfer unit 200. It has a coupling part 215. The electromagnet 217 is disposed in the coupling portion 215. As a result, the transfer unit 200 is transferred along the rail structure 100 using the electromagnet 217 of the transfer unit 200 and the electromagnet 17 of the first and second coupling grooves 15 and 25.

도 3은 도 1의 I-I' 선을 따라 절단한 단면도이다. 도 4는 도 1의 II-II' 선을 따라 절단한 단면도이다. 도 5는 도 1의 III-III' 선을 따라 절단한 단면도이다.3 is a cross-sectional view taken along the line II ′ of FIG. 1. 4 is a cross-sectional view taken along the line II-II 'of FIG. 1. FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line III-III ′ of FIG. 1.

도 1 및 도 3을 참조하면, 서브 레일 분리 유닛(300)은 이송 유닛(200)이 로딩 된 서브 레일(20)을 메인 레일(10)로부터 수평 방향으로 분리시킨다. 예를 들 어, 메인 레일(20)이 뻗은 방향을 제1 방향으로 정의하였을 때, 서브 레일(20)은 제1 방향과 실질적으로 수직한 제2 방향으로 이송되어 메인 레일(10)로부터 분리된다.1 and 3, the sub rail separation unit 300 separates the sub rail 20 loaded with the transfer unit 200 from the main rail 10 in a horizontal direction. For example, when the direction in which the main rail 20 extends is defined as the first direction, the sub rail 20 is moved in a second direction substantially perpendicular to the first direction to be separated from the main rail 10. .

서브 레일 분리 유닛(300)은 서브 레일 지지부재(310)를 포함한다. 서브 레일 분리 유닛(300)은 서브 레일(20)과 대응하는 위치에 배치되며, 서브 레일(20)이 낙하하는 것을 방지한다.The sub rail separating unit 300 includes a sub rail supporting member 310. The sub rail separating unit 300 is disposed at a position corresponding to the sub rail 20 and prevents the sub rail 20 from falling.

서브 레일 분리 유닛(300)은 가이드 레일(320) 및 서브 레일 구동 장치(330)를 포함한다.The sub rail separating unit 300 includes a guide rail 320 and a sub rail driving device 330.

가이드 레일(320)은 서브 레일 지지부재(310)의 상면에 적어도 2 개가 배치된다. 각 가이드 레일(320)은 서브 레일(10)의 이송 방향과 평행한 방향으로 배치되고, 가이드 레일(320)에 대응하는 서브 레일(10)의 후면에는 가이드 레일(320)과 결합되는 가이드 홈(18)이 형성된다. 서브 레일(10)은 가이드 레일(320)을 따라서 슬라이드 된다.At least two guide rails 320 are disposed on an upper surface of the sub rail support member 310. Each guide rail 320 is disposed in a direction parallel to the conveying direction of the sub rail 10, and a guide groove coupled to the guide rail 320 on the rear surface of the sub rail 10 corresponding to the guide rail 320 ( 18) is formed. The sub rail 10 slides along the guide rail 320.

서브 레일 구동 장치(330)는 서브 레일(20)을 가이드 레일(320)을 따라 이송시킨다.The sub rail driving device 330 transfers the sub rail 20 along the guide rail 320.

본 실시예에서, 서브 레일 구동 장치(330)는 서브 레일 지지부재(310)상에 배치되며 회전축(332)을 갖는 모터(334)를 포함할 수 있다. 모터(334)의 회전축(332)은 서브 레일(20)의 하면으로부터 돌출된 보스(26)에 나사 결합되어, 회전축(332)의 정/역회전에 따라 서브 레일(20)은 가이드 레일(320)을 따라 직선 왕복 운동할 수 있다.In the present exemplary embodiment, the sub rail driving device 330 may include a motor 334 disposed on the sub rail supporting member 310 and having a rotation shaft 332. The rotating shaft 332 of the motor 334 is screwed to the boss 26 protruding from the lower surface of the sub rail 20, so that the sub rail 20 is guide rail 320 according to the forward / reverse rotation of the rotating shaft 332. Can reciprocate linearly.

이와 다르게, 서브 레일 구동 장치(330)는 서브 레일 지지부재(310)상에 고정되며 서브 레일(20)에 결합 된 유압 실린더(미도시)를 포함할 수 있다. 서브 레일 지지부재(310)에 고정된 유압 실린더에 의하여 서브 레일(20)은 가이드 레일(320)을 따라 직선 왕복 운동할 수 있다.Alternatively, the sub rail drive device 330 may include a hydraulic cylinder (not shown) fixed on the sub rail support member 310 and coupled to the sub rail 20. The sub rail 20 may linearly reciprocate along the guide rail 320 by a hydraulic cylinder fixed to the sub rail support member 310.

한편, 서브 레일 구동 장치(330)를 이용하여 가이드 레일(320)을 따라 서브 레일(20)을 이송하여, 예를 들어, 도 1에 도시된 B 설비로 카세트(210)를 언로딩 또는 B 설비로부터 카세트(210)를 로딩받기 위해서, 서브 레일(20) 및 B 설비에는 각각 광 통신 유닛(360)이 배치될 수 있다.Meanwhile, the sub-rail 20 is transferred along the guide rail 320 using the sub-rail driving device 330, for example, to unload the cassette 210 to the B facility shown in FIG. 1 or to the B facility. In order to load the cassette 210 from the sub-rail 20 and B equipment, the optical communication unit 360 may be disposed respectively.

또한, 도 4를 참조하면, 레일 구조물(100)상에는 복수개의 이송 유닛(200)이 운행될 수 있고, 서브 레일(20)이 메인 레일(10)로부터 분리된 상태에서 이송 유닛(200)이 운행될 경우, 메인 레일(10)의 분리된 부분을 통해 추락할 수 있다. 본 실시예에서는 이송 유닛(200)의 낙하를 방지하기 위해, 서브 레일(20)이 메인 레일(10)로부터 분리된 상태에서 이송 유닛(200)이 메인 레일(10)의 분리된 부분으로 접근할 경우 이송 유닛(200)의 접근을 감지하는 감지 센서(370)를 포함한다. 감지 센서(370)에 이송 유닛(200)이 감지될 경우, 인터락 신호를 발생시켜 이송 유닛(200)을 강제로 정지시킨다. 본 실시예에서, 감지 센서(370)의 예로서는 초음파 센서 및 근접 센서 등을 들 수 있다.In addition, referring to FIG. 4, a plurality of transfer units 200 may be driven on the rail structure 100, and the transfer unit 200 may be driven while the sub rail 20 is separated from the main rail 10. If possible, it can fall through the separated portion of the main rail (10). In this embodiment, in order to prevent the falling of the transfer unit 200, the transfer unit 200 may approach the separated portion of the main rail 10 while the sub-rail 20 is separated from the main rail 10. In this case, it includes a detection sensor 370 for detecting the approach of the transfer unit 200. When the transfer unit 200 is detected by the detection sensor 370, an interlock signal is generated to forcibly stop the transfer unit 200. In this embodiment, examples of the sensing sensor 370 include an ultrasonic sensor and a proximity sensor.

이상에서 상세하게 설명한 바에 의하면, 메인 레인들 사이에 게재된 서브 레인들로 이루어진 레인 구조물 및 서브 레인을 메인 레인으로부터 분리하는 서브 레 인 구동 장치를 이용하여 메인 레인으로부터 서브 레인을 분리할 수 있도록 하여 서브 레인에 카세트를 적재한 이송 유닛을 로딩한 상태에서 메인 레인으로부터 서브 레인을 분리하여 메인 레인과 이격된 설비에 카세트를 로딩 또는 언로딩할 수 있도록 한다.As described above in detail, it is possible to separate the sub lanes from the main lane by using a lane structure consisting of sub lanes placed between the main lanes and a sub lane driving device that separates the sub lanes from the main lanes. The sub lane is separated from the main lane while the transfer unit having the cassette loaded in the sub lane is loaded so that the cassette can be loaded or unloaded in a facility spaced apart from the main lane.

앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the detailed description of the present invention has been described with reference to the embodiments of the present invention, those skilled in the art or those skilled in the art will have the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below. It will be appreciated that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the scope of the art.

Claims (9)

단부들이 마주보도록 배치된 메인 레일 및 상기 메인 레일의 단부들 사이에 게재된 서브 레일을 포함하는 폐루프 형상의 레일 구조물;A closed loop shaped rail structure comprising a main rail disposed so that the ends face each other and a sub rail disposed between the ends of the main rail; 상기 레일 구조물을 따라 이송되는 이송 유닛; 및A conveying unit conveyed along the rail structure; And 상기 이송 유닛이 로딩 된 상기 서브 레일을 상기 메인 레일로부터 수평 방향으로 분리시키는 서브 레일 분리 유닛을 포함하는 반송 장치.And a sub rail separating unit for separating the sub rail loaded with the transfer unit from the main rail in a horizontal direction. 제1항에 있어서, 상기 레일 구조물은 상기 메인 레일들을 지지하기 위해 천장(ceiling)에 연결된 메인 레일 지지부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.2. The transport apparatus of claim 1, wherein the rail structure includes a main rail support member connected to a ceiling for supporting the main rails. 제1항에 있어서, 상기 서브 레일의 하부에는 상기 서브 레일을 지지하는 서브 레일 지지부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.The conveying apparatus of claim 1, further comprising: a sub rail support member supporting the sub rail at a lower portion of the sub rail. 제3항에 있어서, 상기 서브 레일 지지부재 상에는 상기 서브 레일 분리 유닛이 배치된 것을 특징으로 하는 반송 장치.4. The conveying apparatus according to claim 3, wherein the sub rail separating unit is disposed on the sub rail supporting member. 제3항에 있어서, 상기 서브 레일 분리 유닛은The method of claim 3, wherein the sub rail separation unit 상기 서브 레일 및 상기 서브 레일 지지부재 사이에 게재되며, 상기 서브 레 일에 결합된 가이드 레일; 및A guide rail disposed between the sub rail and the sub rail support member and coupled to the sub rail; And 상기 서브 레일을 상기 가이드 레일을 따라 이송시키는 서브 레일 구동 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.And a sub rail driving device for transferring the sub rail along the guide rail. 제5항에 있어서, 상기 서브 레일 구동 장치는The method of claim 5, wherein the sub rail drive device 상기 서브 레일 지지부재에 배치되며 회전축을 갖는 모터; 및A motor disposed on the sub rail support member and having a rotation shaft; And 상기 서브 레일을 이송하기 위하여 상기 회전축 및 상기 서브 레일을 연결하는 스크류를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.And a screw connecting the rotating shaft and the sub rail to transport the sub rail. 제5항에 있어서, 상기 서브 레일 구동 장치는The method of claim 5, wherein the sub rail drive device 상기 서브 레일 지지부재에 고정되며 상기 서브 레일에 결합 된 유압 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 반송 장치.And a hydraulic cylinder fixed to the sub rail support member and coupled to the sub rail. 제1항에 있어서, 상기 이송 유닛에는 광 통신 유닛이 배치된 것을 특징으로 하는 반송 장치.The conveying apparatus according to claim 1, wherein an optical communication unit is disposed in the conveying unit. 제1항에 있어서, 상기 서브 레일과 인접한 각 메인 레일에는 상기 이송 유닛의 위치를 감지하는 위치 감지 센서가 배치된 것을 특징으로 하는 반송 장치.The conveying apparatus of claim 1, wherein a position detecting sensor for detecting a position of the transfer unit is disposed on each main rail adjacent to the sub rail.
KR1020060138927A 2006-12-29 2006-12-29 Transferring apparatus KR101340833B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060138927A KR101340833B1 (en) 2006-12-29 2006-12-29 Transferring apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060138927A KR101340833B1 (en) 2006-12-29 2006-12-29 Transferring apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080062805A true KR20080062805A (en) 2008-07-03
KR101340833B1 KR101340833B1 (en) 2013-12-11

Family

ID=39814880

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060138927A KR101340833B1 (en) 2006-12-29 2006-12-29 Transferring apparatus

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101340833B1 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200067256A (en) * 2017-01-31 2020-06-12 가부시키가이샤 다이후쿠 Article transport facility
KR20210087210A (en) * 2020-01-02 2021-07-12 세메스 주식회사 Overhead hoist transport device

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018028902A1 (en) 2016-08-11 2018-02-15 Lisec Austria Gmbh Method and device for sealing insulated glass blanks

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11322049A (en) * 1998-05-11 1999-11-24 Shinko Electric Co Ltd Conveying system
KR100292029B1 (en) * 1998-08-07 2001-06-01 윤종용 Automated Transfer Balance System and Carrier Transfer Method
KR20050066317A (en) * 2003-12-26 2005-06-30 엘지.필립스 엘시디 주식회사 Clean space carrier and method for operating the same

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200067256A (en) * 2017-01-31 2020-06-12 가부시키가이샤 다이후쿠 Article transport facility
KR20210087210A (en) * 2020-01-02 2021-07-12 세메스 주식회사 Overhead hoist transport device

Also Published As

Publication number Publication date
KR101340833B1 (en) 2013-12-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7393159B2 (en) Inline transfer system and method
US20060245860A1 (en) Cassette storage equipment
KR20010006331A (en) Integrated intrabay buffer, delivery, and stocker system
KR101203890B1 (en) Transferring system
KR20070008192A (en) Transfer system for manufacturing plat panel display
KR20160007946A (en) Carriage for stocker conveyor
KR101340833B1 (en) Transferring apparatus
KR101340786B1 (en) Delivering equipment using over head shuttle
KR20050038134A (en) Glass substrate stocking system
KR102474713B1 (en) Substrate treatment apparatus and substrate treatment method
KR102525265B1 (en) Substrate processing apparatus and substrate processing method
KR101526436B1 (en) Transport carriage
KR100523290B1 (en) Auto guided vehicle system
KR20080048364A (en) Inter stk conveyor for inter bay system using thereof
KR101338817B1 (en) Apparatus for detecting glass
KR20160081619A (en) Apparatus for aligning transport carriage
JPH09272095A (en) Plate-shaped object conveying robot
KR101264686B1 (en) A cassette loader and a stocker including the same
KR100959127B1 (en) Stocker with multi-access port for automatic guided vehicle
CN110620077B (en) Stage and transport device
KR101232140B1 (en) Conveying aparatus
KR20080049280A (en) Automated guided system
KR20080000117A (en) Stocker and transferring method of cassette thereof
KR101026813B1 (en) Glass substrate alignment system and aligning method using the same
KR20090024412A (en) Transfer apparatus of panel

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161118

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171116

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20181114

Year of fee payment: 6