KR101232140B1 - Conveying aparatus - Google Patents
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Abstract
본 발명은 카세트와 카세트가 충돌함을 방지할 수 있는 이송 장치에 관한 것으로, 카세트를 이동하기 위한 컨베이어; 상기 컨베이어의 일측 끝단에 설치되어 상기 컨베이어 끝단에 카세트가 위치됨을 터치 방식으로 감지하는 터치센서; 그리고 상기 컨베이어의 일측 끝단으로부터 상기 카세트의 길이 만큼 떨어진 위치의 상기 컨베이어에 설치되어 상기 터치 센서에 의해 카세트가 위치됨이 감지되면 카세트의 유입을 방지하는 스토퍼를 구비하여 구성된 것이다.The present invention relates to a transfer apparatus capable of preventing a cassette from colliding with a cassette, comprising: a conveyor for moving a cassette; A touch sensor installed at one end of the conveyor and sensing a touch of a cassette at the end of the conveyor; And a stopper installed on the conveyor at a position separated by the length of the cassette from one end of the conveyor to prevent the introduction of the cassette when the cassette is detected by the touch sensor.
컨베이어, 스토퍼, 항온 챔버, 이송 장치, 중력 검사 시스템 Conveyors, stoppers, constant temperature chambers, transfer units, gravity inspection systems
Description
도 1은 일반적인 중력 검사 시스템의 구성도1 is a configuration diagram of a general gravity test system
도 2는 본 발명에 따른 중력 검사 시스템의 이송 장치의 구성도2 is a configuration diagram of a transfer device of the gravity inspection system according to the present invention
도 3은 본 발명에 따라 카세트가 상기 항온 챔버의 끝단에 위치된 상태를 나타낸 설명도3 is an explanatory view showing a state where a cassette is located at the end of the constant temperature chamber according to the present invention;
** 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 **** Description of symbols for the main parts of the drawing **
11: 베이스 프레임 12: 구동 롤러11: base frame 12: drive roller
13: 지지 브라켓 14: 지지 롤러13: support bracket 14: support roller
15: 센서 16: 터치 센서 15: sensor 16: touch sensor
17: 스토퍼 18 : 카세트17: stopper 18: cassette
본 발명은 액정표시소자를 제조하는 액정표시소자 제조 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid crystal display device manufacturing apparatus for manufacturing a liquid crystal display device, and more particularly to a transfer device.
일반적으로, 액정표시장치는, 화상을 표시하는 액정 패널과, 상기 액정 패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정 패널은 공간을 갖고 합착된 제 1, 제 2 기판과, 상기 제 1, 제 2 기판 사이에 주입된 액정층으로 구성된다.In general, a liquid crystal display device may be broadly divided into a liquid crystal panel displaying an image and a driving unit for applying a driving signal to the liquid crystal panel, and the liquid crystal panel may have a space between the first and second substrates. And a liquid crystal layer injected between the first and second substrates.
여기서, 상기 제 1 기판(박막트랜지스터 어레이 기판)에는, 일정 간격을 갖고 일 방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인과, 상기 각 게이트 라인과 수직한 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 복수개의 데이터 라인과, 상기 각 게이트 라인과 데이터 라인이 교차되어 정의된 각 화소영역에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극과 상기 게이트 라인의 신호에 의해 스위칭되어 상기 데이터 라인의 신호를 상기 각 화소 전극에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터가 형성되어 있다.Here, the first substrate (thin film transistor array substrate) includes a plurality of gate lines arranged in one direction at a predetermined interval, a plurality of data lines arranged at regular intervals in a direction perpendicular to the gate lines, and A plurality of pixel electrodes formed in a matrix form in each pixel region defined by crossing each gate line and data line, and a plurality of thin films that transmit signals of the data line to each pixel electrode by being switched by signals of the gate line The transistor is formed.
그리고 제 2 기판(칼라필터 어레이 기판)에는, 상기 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층과, 칼라 색상을 표현하기 위한 R, G, B 칼라 필터층과 화상을 구현하기 위한 공통 전극이 형성되어 있다. 물론, 횡전계 방식의 액정표시장치에서는 공통전극이 제 1 기판에 형성된다.The second substrate (color filter array substrate) includes a black matrix layer for blocking light in portions other than the pixel region, R, G, and B color filter layers for expressing color colors, and a common electrode for implementing an image. Is formed. Of course, in the transverse electric field type liquid crystal display device, the common electrode is formed on the first substrate.
이러한 액정 패널은, 하나의 기판에 하나의 액정패널을 형성하는 것이 아니라, 제 1 모 기판에 복수개의 액정패널 영역을 설계하여 각 액정패널 영역에 상술한 바와 같은 박막트랜지스터 어레이를 형성하고, 제 2 모 기판에 복수개의 액정패널 영역을 설계하여 각 액정패널 영역에 상술한 바와 같은 칼라필터 어레이를 형성한다. 그리고, 상기 제 1, 제 2 모 기판을 일정 공간을 갖도록 합착한 후, 단위 액정패널 영역별로 컷팅한다. 그리고, 컷팅된 단위 액정표시패널의 불량을 검사하여 출하한다.In such a liquid crystal panel, rather than forming one liquid crystal panel on one substrate, a plurality of liquid crystal panel regions are designed on a first mother substrate to form a thin film transistor array as described above in each liquid crystal panel region, and a second A plurality of liquid crystal panel regions are designed on the mother substrate to form the color filter array as described above in each liquid crystal panel region. The first and second mother substrates are bonded to each other to have a predetermined space, and then cut for each unit liquid crystal panel region. Then, the defect of the cut unit liquid crystal display panel is inspected and shipped.
이와 같이, 액정표시 패널의 불량을 검사하는 과정 중에는, 대부분의 액정표 시 패널이 수직으로 세워진 상태에서 화상을 표시하므로 중력을 검사하는 중력 검사 시스템을 통과하게 된다.As described above, during the process of inspecting the defect of the liquid crystal display panel, since most of the liquid crystal display panel displays an image in a vertical position, the liquid crystal display panel passes through a gravity inspection system for inspecting gravity.
도 1은 일반적인 중력 검사 시스템의 구성도이다.1 is a block diagram of a general gravity test system.
상기 중력 불량을 검사하기 위한 중력 검사 시스템은, 도 1에 도시한 바와 같이, 복수개의 액정패널이 장착된 카세트를 로딩하는 로딩부(10)와, 액정 패널의 중력 불량을 검사하기 위해 상기 액정 패널을 일정 온도로 가열하는 항온 챔버(30)와, 상기 로딩부(10)에서 상기 항온 챔버(30)의 끝단까지 복수개의 액정패널이 장착된 카세트를 이송하기 위한 이송 장치(20)와, 상기 항온 챔버(30)에서 가열된 액정 패널의 중력을 검사하는 검사부(40)를 구비하여 구성된다. The gravity inspection system for inspecting the gravity failure, as shown in Figure 1, the
이와 같이 액정패널이 장착된 카세트를 상기 항온 챔버 끝단까지 이송하는 종래의 이송 장치의 구성을 설명하면 다음과 같다.As described above, a configuration of a conventional transfer apparatus for transferring a cassette equipped with a liquid crystal panel to the end of the constant temperature chamber is as follows.
종래의 중력 검사 시스템에서 이송 장치는, 상기 로딩부(10)에서 상기 항온 챔버(30)까지 카세트를 이동하기 위한 베이스 프레임(base frame)과, 상기 베이스 프레임에 일정 간격을 갖고 복수개 설치되어 상기 카세트를 이동하는 구동 롤러와, 상기 구동롤러에 의해 상기 카세트가 이동할 때 상기 카세트를 지지하기 위해 상기 베이스 프레임상에 설치되는 지지브라켓과, 상기 지지브라켓에 설치되어 상기 카세트와 지지브라켓 사이의 마찰을 최소화 하기 위한 지지롤러와, 상기 항온 챔버(30) 내의 상기 컨베이어의 일측 끝단에 설치되어 카세트가 항온 챔버에 유입되었음을 감지하는 센서를 구비하여 구성된다. 그리고, 상기 복수개의 구동롤러를 구동하기 위한 구동 모터와, 상기 센서의 출력값에 따라 상기 구동롤러를 구동하는 구동 모 터를 제어하는 제어부를 더 포함하여 구성된다. In a conventional gravity inspection system, a transfer apparatus includes a base frame for moving a cassette from the
여기서, 상기 센서는 포토커플러(Photo-coupler) 등의 광 센서를 사용하고 있다.Here, the sensor uses an optical sensor such as a photo-coupler.
이와 같이 구성된 종래의 중력 검사 시스템 및 이송 장치의 동작을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the conventional gravity inspection system and the transfer device configured as described above are as follows.
상기 로딩부(10)에 카세트가 투입되면 상기 구동 모터에 의해 상기 구동롤러가 회전하여 상기 카세트를 항온 챔버(30)쪽으로 이송한다. 이 때, 상기 카세트가 항온 챔버의 끝단에 이송 완료되면 상기 센서가 이를 감지하여 상기 구동롤러의 구동을 정지시킨다. When the cassette is inserted into the
그러나, 이와 같은 종래의 중력 검사 시스템의 이송 장치에 있어서는 다음과 같은 문제점이 있었다. However, the transfer device of such a conventional gravity test system has the following problems.
즉, 상기 센서가 항온 챔버에 카세트가 이송되어 있음을 감지하여 다음에 로딩되는 카세트의 이송을 중지하도록 하여야 한다. 그러나, 상기 센서는 광 센서를 이용한 것으로, 항온 챔버내의 열 등으로 인해 잦은 고장을 일으켜 상기 카세트가 항온 챔버(30)에 이송되어 있음을 감지하지 못한다. That is, the sensor should detect that the cassette is transferred to the constant temperature chamber and stop the transfer of the next loaded cassette. However, the sensor uses an optical sensor, which causes frequent failure due to heat in the constant temperature chamber, and thus cannot detect that the cassette is transferred to the
따라서, 구동롤러가 계속 구동되어 다음 카세트를 항온 챔버로 이송하게 되고, 결국 항온 챔버내에서 카세트와 카세트가 충돌하게 되므로 카세트에 장착된 액정패널이 파손되고, 파손된 액정 패널 등을 제거하기 위해서는 장 시간 동안 중력 검사 시스템의 가동을 중지하여야 한다.Therefore, the driving roller is continuously driven to transfer the next cassette to the constant temperature chamber, and the cassette and the cassette collide with each other in the constant temperature chamber. Thus, the liquid crystal panel mounted on the cassette is damaged, and in order to remove the broken liquid crystal panel, etc. Gravity check systems should be shut down for a period of time.
본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 컨베이어부의 일측 끝단에 카세트가 위치됨을 감지하기 위한 터치 센서를 설치하고, 상기 컨베이터의 일측 끝단으로부터 카세트의 길이에 상응하는 부분의 컨베이어부에 스토퍼(stopper)를 설치하여 상기 터치 센서에 의해 카세트가 항온 챔버에 위치되었음을 감지하여 상기 스토퍼가 상승하여 구동롤러가 구동되어 다음 카세트가 항온 챔버내로 이송되더라고 상기 스토퍼가 다음 카세트의 이송을 차단하여 카세트와 카세트가 충돌함을 방지할 수 있는 이송 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is to solve the above problems, install a touch sensor for detecting the location of the cassette at one end of the conveyor unit, and a stopper (conveyor part of the portion corresponding to the length of the cassette from one end of the conveyor) a stopper to detect that the cassette is located in the constant temperature chamber by the touch sensor, and the stopper is raised to drive the driving roller so that the next cassette is transferred into the constant temperature chamber. It is an object of the present invention to provide a transfer device capable of preventing a cassette from colliding.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 이송 장치는, 카세트를 이동하기 위한 컨베이어; 상기 컨베이어의 일측 끝단에 설치되어 상기 컨베이어 끝단에 카세트가 위치됨을 터치 방식으로 감지하는 터치센서; 그리고 상기 컨베이어의 일측 끝단으로부터 상기 카세트의 길이 만큼 떨어진 위치의 상기 컨베이어에 설치되어 상기 터치 센서에 의해 카세트가 위치됨이 감지되면 카세트의 유입을 방지하는 스토퍼를 구비하여 구성됨에 그 특징이 있다.Conveying apparatus according to the present invention for achieving the above object, a conveyor for moving the cassette; A touch sensor installed at one end of the conveyor and sensing a touch of a cassette at the end of the conveyor; And it is characterized in that it is provided on the conveyor at a position separated by the length of the cassette from one end of the conveyor is provided with a stopper for preventing the introduction of the cassette when the cassette is detected by the touch sensor.
상기와 같은 특징을 갖는 본 발명에 따른 이송 장치를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.Referring to the transfer device according to the invention having the features as described above in more detail with reference to the accompanying drawings as follows.
도 2는 본 발명에 따른 중력 검사 시스템의 이송 장치의 구성도이다.2 is a configuration diagram of a transfer device of a gravity inspection system according to the present invention.
본 발명에 따른 액정 중력 검사 시스템은, 도 1에서 도시한 바와 같은 구성을 갖고, 상기 중력 검사 시스템을 구성하는 본 발명에 따른 이송 장치는, 도 2에 도시한 바와 같이, 상기 로딩부(10)에서 상기 항온 챔버(30)까지 카세트를 이동하 기 위한 베이스 프레임(base frame)(11)과, 상기 베이스 프레임(11)에 일정 간격을 갖고 복수개 설치되어 상기 카세트를 이동하는 복수개의 구동 롤러(12)와, 상기 구동롤러(12)에 의해 상기 카세트가 이동할 때 상기 카세트를 지지하기 위해 상기 베이스 프레임(11)의 일측 상에 설치되는 지지브라켓(13)과, 상기 지지브라켓(13)에 설치되어 상기 카세트와 지지브라켓 사이의 마찰을 최소화 하기 위한 복수개의 지지롤러(14)와, 상기 항온 챔버(30) 내의 상기 베이스 프레임(11)에 설치되어 카세트가 항온 챔버에 유입되었음을 감지하는 센서(15)를 구비하여 컨베이어를 구성한다. 그리고, 상기 베이스 프레임(11)의 일측 끝단에 설치되어 상기 항온 챔버(30)내의 컨베이어 끝단에 카세트가 위치됨을 터치 방식으로 감지하는 터치센서(16)와, 상기 컨베이어의 일측 끝단으로부터 상기 카세트의 길이 만큼 떨어진 위치의 상기 컨베이어에 설치되어 상기 터치 센서(16)에 의해 카세트가 위치됨이 감지되면 상승하여 다음 카세트의 유입을 방지하는 스토퍼(17)를 구비하여 구성된다.The liquid crystal gravity test system according to the present invention has the configuration as shown in FIG. 1, and the transport apparatus according to the present invention constituting the gravity test system has the
물론, 도면에는 도시되지 않았지만, 상기 복수개의 구동롤러(12)를 구동하기 위한 구동 모터와, 상기 센서(15)의 출력값에 따라 상기 구동롤러를 구동하는 구동 모터를 제어하고, 상기 터치 센서(16)의 출력값에 따라 상기 스토퍼를 구동하는 제어부를 더 포함하여 구성된다. Of course, although not shown in the drawings, the drive motor for driving the plurality of
여기서, 상기 센서(15)는 포토 커플러 등의 광 센서이고 터치 센서(16)는 직접 센싱하는 리미트 스위치(limit switch) 등을 사용한다.Here, the
그리고, 상기 도 2에서 알 수 있는 바와 같이, 상기 이송 장치(20)는 일정한각도로 틸트되어 있다. 즉, 상기 지지브라켓(13)과 복수개의 지지롤러(14)가 형성 된 베이스 프레임(11)의 일측이 상기 지지브라켓(13)과 복수개의 지지롤러(14)가 형성되지 않은 베이스 프레임(11)의 타측보다 더 낮게 설치되어, 상기 카세트가 이송될 때, 상기 지지브라켓(13)과 복수개의 지지롤러(14)에 의해 지지되도록 일정 각도 기울어져 있다. And, as can be seen in Figure 2, the
이와 같이 구성된 본 발명에 따른 중력 검사 시스템의 동작을 설명하면 다음과 같다. Referring to the operation of the gravity test system according to the present invention configured as described above are as follows.
도 3은 본 발명에 따라 카세트가 상기 항온 챔버의 끝단에 위치된 상태를 나타낸 것이다.Figure 3 shows a state in which the cassette is located at the end of the constant temperature chamber in accordance with the present invention.
먼저, 상기 로딩부(10)에 카세트(18)가 투입되면 상기 구동 모터에 의해 상기 구동롤러(12)가 회전하여 상기 카세트를 항온 챔버(30)쪽으로 이송한다. 이 때, 상기 카세트(18)가 항온 챔버(30)의 끝단에 이송 완료되면 상기 센서(15)가 이를 감지하여 상기 제어부로 출력한다. 그러면 상기 제어부는 상기 구동롤러(12)를 구동하는 구동 모터에 정지신호를 출력하여 상기 구동 롤러(12)의 구동을 정지시킨다. First, when the
그리고, 상기 터치 센서(16)도 상기 카세트(18)가 항온 챔버(30)의 끝단에 이송 완료되면 이를 센싱하여 그 신호를 상기 제어부로 출력한다. 상기 제어부는 상기 스토퍼(17)가 상기 구동롤러(12)의 표면보다 더 높게 상승하도록 상기 스토퍼(17)를 구동한다.The
이와 같이, 상기 센서(15)에 의해 상기 구동롤러(12)의 구동이 제어되고, 상기 센서(15)에 고장이 발생하여 카세트(18)가 상기 항온 챔버내에 위치되어 있음에 도 불구하고, 상기 구동롤러(12)가 계속 작동하더라도, 상기 터치 센서(16)가 상기 카세트가 항온 챔버(30)내에 이송되었음을 감지하여 상기 스토퍼(17)를 상승시키므로 상기 스토퍼(17)가 다음 이송되는 카세트의 이송을 블로킹한다. As described above, although the driving of the
따라서, 상기 구동롤러가 계속 구동되더라도 상기 스토퍼(17)가 설치된 영역 이상으로 카세트(18)가 이송되지 않으므로 카세트와 카세트가 충돌함을 방지할 수 있고, 카세트의 충돌로 인한 액정패널의 파손을 방지할 수 있다. Therefore, even if the driving roller continues to be driven, the
이상에서 설명한 바와 같은 본 발명에 따른 이송 장치에 있어서는 다음과 같은 효과가 있다.The transfer device according to the present invention as described above has the following effects.
즉, 항온 챔버의 끝단에 카세트가 위치되어 있음에도 불구하고, 구동롤러가 계속 구동되더라도, 상기 스토퍼가 상기 항온 챔버의 끝단쪽으로 카세트가 이송됨을 방지하므로 카세트와 카세트가 충돌함을 예방할 수 있다.That is, even though the cassette is located at the end of the constant temperature chamber, even if the driving roller continues to be driven, the stopper prevents the cassette from being transferred toward the end of the constant temperature chamber, thereby preventing the cassette from colliding with the cassette.
따라서, 카세트의 충돌이 방지됨으로써 카세트의 충돌로 인한 카세트에 장착된 액정 패널의 파손을 방지할 수 있다.Therefore, the collision of the cassette is prevented, thereby preventing damage to the liquid crystal panel mounted on the cassette due to the collision of the cassette.
뿐만 아니라, 액정 패널이 항온 챔버내에서 파손됨을 예방하므로 이로인한 중력 검사 시스템의 로스를 최소화 할 수 있다.In addition, since the liquid crystal panel is prevented from being broken in the constant temperature chamber, the loss of the gravity inspection system can be minimized.
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Families Citing this family (1)
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Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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2005
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Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR19980051481A (en) * | 1996-12-23 | 1998-09-15 | 서두칠 | Escapement Device of Probe Board |
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