KR101338817B1 - Apparatus for detecting glass - Google Patents
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Abstract
글래스 감지 장치가 개시되어 있다. 글래스 감지 장치는 베이스 몸체, 상기 베이스 몸체에 설치되어 상기 베이스 몸체를 따라 이송되는 이송 몸체, 상기 이송 몸체에 제1 단부가 설치되며 상기 베이스 몸체에 대하여 수직한 지지부재, 상기 지지부재에 설치되며 상기 지지부재와 평행하게 배치된 센서 지지부재 및 상기 센서 지지 부재 상에 일정 간격으로 복수개가 배치되어 카세트에 적층 수납된 각 글래스들을 감지하는 맵핑 센서들을 갖는 맵핑 유닛 및 상기 지지부재의 상기 제1 단부와 대향하는 제2 단부에 결합 되어 상기 센서 유닛의 흔들림을 방지하는 고정 부재를 포함한다.A glass sensing device is disclosed. The glass sensing device is installed on the base body, the transfer body which is installed on the base body and is transferred along the base body, the first end is installed on the transfer body and is perpendicular to the base body, and is installed on the support member. A mapping unit having a sensor support member disposed in parallel with the support member, and a plurality of sensors disposed at regular intervals on the sensor support member to detect respective glasses stacked in a cassette, and the first end of the support member; And a fixing member coupled to an opposite second end portion to prevent shaking of the sensor unit.
글래스, 감지 장치, 맵핑 유닛, 고정 부재 Glass, sensing device, mapping unit, fixing member
Description
도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 글래스 감지 장치를 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a glass sensing apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 2는 도 1에 도시된 맵핑 센서의 평면도이다.FIG. 2 is a plan view of the mapping sensor shown in FIG. 1.
도 3은 본 발명의 일실시예에 의한 글래스 감지 장치의 작동을 설명하기 위한 단면도이다.3 is a cross-sectional view for explaining the operation of the glass detecting apparatus according to an embodiment of the present invention.
본 발명은 글래스 감지 장치에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 진동 및 충격에 의하여 글래스 또는 글래스를 감지하는 센서의 파손을 방지한 글래스 감지 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a glass sensing device. More specifically, the present invention relates to a glass sensing apparatus which prevents breakage of a glass or a sensor sensing the glass by vibration and shock.
최근 들어, 방대한 정보를 처리하는 정보처리장치 및 정보처리장치에서 처리된 전기적 포맷 형태의 정보를 영상으로 표시하는 표시장치가 개발되고 있다.Recently, an information processing apparatus for processing a large amount of information and a display apparatus for displaying an information in an electrical format processed by the information processing apparatus as an image have been developed.
영상을 표시하는 대표적인 표시장치로는 액정표시장치, 유기 광 발생 장치 및 플라즈마 표시 패널 등을 들 수 있다.Representative display devices for displaying an image include a liquid crystal display device, an organic light generating device and a plasma display panel.
이들 표시장치들을 제조하기 위해서는 모기판(mother glass)이라 불리는 대형 기판들에 복잡한 박막 처리 공정들을 수행하여 복수매의 표시패널들을 형성하는 공정 및 모기판으로부터 표시패널들을 분리하는 공정을 포함한다.In order to manufacture these display devices, a process of forming a plurality of display panels by performing complex thin film processing processes on large substrates called mother glass, and separating the display panels from the mother substrate.
따라서, 표시장치를 제조하기 위해서는 모기판을 여러 박막 처리 장비, 예를 들면, 증착 장비, 포토 장비, 에칭 장비, 검사 장비들로 이송해야 한다. 그러나, 모기판은 깨지기 쉽고 사이즈가 매우 크기 때문에 상기 박막 처리 장비들로 이송하기 매우 어렵다.Therefore, in order to manufacture the display device, the mother substrate must be transferred to various thin film processing equipment, for example, deposition equipment, photo equipment, etching equipment, and inspection equipment. However, because the mother substrate is fragile and very large in size, it is very difficult to transfer to the thin film processing equipments.
이와 같은 이유로 표시패널을 제조하는 대부분 생산 공장에서는 여러 장의 모기판들을 카세트에 적재하고, 모기판들이 수납된 카세트를 상기 박막 처리 장비들로 이송하는 방법이 사용되고 있다.For this reason, in most production plants that manufacture display panels, a method of loading a plurality of mother substrates into a cassette and transferring the cassette containing the mother substrates to the thin film processing equipment is used.
한편, 모기판들이 수납된 카세트가 박막 처리 장비로 이송되면 카세트에 수납된 글래스를 박막 처리 장비로 이송하기 이전에 카세트 내의 글래스 유무를 맵핑 유닛을 이용하여 먼저 감지한다.Meanwhile, when the cassette containing the mother substrates is transferred to the thin film processing equipment, the presence or absence of glass in the cassette is first detected using the mapping unit before the glass stored in the cassette is transferred to the thin film processing equipment.
종래 맵핑 유닛은 하단이 고정된 지지대, 지지대에 배치되며 카세트에 수납된 글래스들의 사이로 제공되어 글래스의 유무를 감지하는 맵핑 센서를 포함한다.The conventional mapping unit includes a support having a lower end fixed thereto, a mapping sensor disposed between the supports and provided between the glasses housed in the cassette to detect the presence or absence of the glass.
그러나, 종래 맵핑 유닛의 상단이 고정되어 있지 않기 때문에 지지대가 왕복 운동하거나 외부에서 충격 및/또는 진동이 가해질 경우 맵핑 유닛의 맵핑 센서가 글래스와 충돌하여 글래스에 스크래치를 발생 또는 맵핑 센서가 파손되는 문제점을 갖는다.However, since the upper end of the conventional mapping unit is not fixed, the mapping sensor of the mapping unit collides with the glass, causing scratches on the glass or the mapping sensor is damaged when the support is reciprocated or when external shocks and / or vibrations are applied. Has
본 발명의 하나의 목적은 맵핑 유닛을 고정하여 맵핑 센서 및 글래스의 충돌을 방지하여 글래스 및/또는 맵핑 센서의 파손을 방지한 글래스 감지 장치를 제공 함에 있다.One object of the present invention is to provide a glass sensing device to prevent the damage of the glass and / or the mapping sensor by fixing the mapping unit to prevent the collision between the mapping sensor and the glass.
본 발명의 목적을 구현하기 위한 글래스 감지 장치는 베이스 몸체, 상기 베이스 몸체에 설치되어 상기 베이스 몸체를 따라 이송되는 이송 몸체, 상기 이송 몸체에 제1 단부가 설치되며 상기 베이스 몸체에 대하여 수직한 지지부재, 상기 지지부재에 설치되며 상기 지지부재와 평행하게 배치된 센서 지지부재 및 상기 센서 지지 부재 상에 일정 간격으로 복수개가 배치되어 카세트에 적층 수납된 각 글래스들을 감지하는 맵핑 센서들을 갖는 맵핑 유닛 및 상기 지지부재의 상기 제1 단부와 대향하는 제2 단부에 결합 되어 상기 센서 유닛의 흔들림을 방지하는 고정 부재를 포함한다.Glass sensing device for realizing the object of the present invention is a base body, a transfer body installed on the base body is transferred along the base body, a first end is installed on the transfer body and the support member perpendicular to the base body And a mapping unit installed on the support member and having a plurality of sensor support members disposed in parallel with the support member, and a plurality of mapping sensors disposed on the sensor support member at predetermined intervals to detect respective glasses stacked in a cassette. And a fixing member coupled to a second end of the supporting member opposite to the first end to prevent shaking of the sensor unit.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 글래스 감지 장치에 대하여 상세하게 설명하지만, 본 발명이 하기의 실시예들에 제한되는 것은 아니며, 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양한 다른 형태로 구현할 수 있을 것이다.Hereinafter, a glass sensing apparatus according to embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, but the present invention is not limited to the following embodiments. The present invention may be embodied in various other forms without departing from the spirit of the invention.
본 발명에서 사용되는 용어의 하나인 "글래스"는 작업 대상물로, "글래스"는 액정표시장치, 유기 광 발생 장치 및 플라즈마 표시패널에 사용되는 모기판(mother glass)일 수 있다. 또한, 본 발명에서 사용되는 용어의 하나인 "카세트"는 작업 대상물로 복수매의 "글래스"를 적층 수납한다. 본 발명에서 각 "글래스"에는 참조부호 1을 부여하기로 하고, "카세트"에는 참조부호 2를 부여하기로 한다.As used herein, the term “glass” may be a work object, and “glass” may be a mother glass used in a liquid crystal display, an organic light generating device, and a plasma display panel. In addition, "cassette", which is one of the terms used in the present invention, stacks a plurality of "glass" as a work object. In the present invention, each "glass" is given the
도 1은 본 발명의 일실시예에 의한 글래스 감지 장치를 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing a glass sensing apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 글래스 감지 장치(100)는 베이스 몸체(10), 맵핑 유닛(20) 및 고정부재(30)를 포함한다.Referring to FIG. 1, the
맵핑 유닛(20)은 베이스 몸체(10) 상에 배치된다.The
맵핑 유닛(20)은 이송 몸체(21), 지지부재(23), 센서 지지부재(25) 및 맵핑 센서(27)를 포함한다.The
이송 몸체(21)는 베이스 몸체(10) 상에 배치되며, 이송 몸체(21)는 베이스 몸체(10)의 표면을 따라 직선 왕복 운동한다.The
본 실시예에서, 이송 몸체(21)는 유체 실린더를 이용하여 베이스 몸체(10)의 표면을 따라 직선 왕복 운동할 수 있다. 이와 다르게, 이송 몸체(21)는 다양한 직선 왕복 운동 기구에 의하여 직선 왕복 운동할 수 있다. 예를 들어, 이송 몸체(21)는 볼-스크류 직선 운동 기구에 의하여 직선 왕복 운동할 수 있다.In this embodiment, the
지지부재(23)는 이송 몸체(21)와 결합 되고, 이 결과 지지부재(23)는 이송 몸체(21)와 함께 이송된다. 본 실시예에서, 지지부재(23)는 제1 단부 및 제2 단부를 갖는 로드(road) 형상을 갖고, 베이스 몸체(10)에 대하여 실질적으로 수직한 방향으로 배치된다. 본 실시예에서, 지지부재(23)의 제1 단부는 이송 몸체(21)와 결합된다.The
센서 지지부재(25)는 지지부재(23) 상에 설치된다. 센서 지지부재(25)는 지지부재(23)에 고정 클립(24) 등을 통해 고정되며, 지지부재(23)와 평행하게 형성된다.The
맵핑 센서(27)는 센서 지지부재(25) 상에 배치된다. 본 실시예에서, 맵핑 센 서(27)는 카세트(2)에 적층 수납된 글래스(1)의 사이에 삽입되도록 센서 지지부재(25) 상에 배치된다.The
도 2는 도 1에 도시된 맵핑 센서의 평면도이다.FIG. 2 is a plan view of the mapping sensor shown in FIG. 1.
도 2를 참조하면, 맵핑 센서(27)는 발광부(27a) 및 수광부(27b)를 갖는다.Referring to FIG. 2, the
맵핑 센서(27)의 발광부(27a)는 맵핑 센서(27)의 상부에 배치된 글래스(1)로 광을 제공하고, 맵핑 센서(27)의 수광부(27b)는 글래스(1)로부터 반사된 광을 수광한다.The
본 실시예에서, 발광부(27a)로부터 반사된 광이 수광부(27b)로 입사될 경우, 카세트(2)의 지정된 위치에 글래스(1)가 배치된 상태이고, 발광부(27a)로부터 반사된 광이 수광부(27b)로 입사되지 않을 경우 카세트(2)의 지정된 위치에 글래스(1)가 배치되지 않은 상태이다.In the present embodiment, when light reflected from the
본 실시예에서, 센서 지지부재(25)에 배치된 맵핑 센서(27)는 이송 유닛(21)에 의하여 카세트(2)의 글래스(1)들 사이로 로딩 또는 언로딩 된다.In this embodiment, the
도 1을 다시 참조하면, 맵핑 센서(27)가 인접하게 배치된 한 쌍의 카세트(2)의 글래스(1)를 감지할 수 있도록 하기 위해 지지부재(23) 및 이송 유닛(21)의 사이에는 회전 장치(26)가 개재될 수 있다. 회전 장치(26)는, 예를 들어, 스텝 모터일 수 있다. 회전 장치(26)에 의하여, 맵핑 센서(27)는 360°회전할 수 있다.Referring back to FIG. 1, between the
고정 부재(30)는 고정 몸체(31) 및 고정 몸체(31)로부터 슬라이딩 되는 슬라이드부(33) 및 피봇 부재(35)를 포함한다.The fixed
고정 몸체(31)는, 예를 들어, 플레이트 형상을 갖고, 글래스 감지 장치(100) 의 일부에 견고하게 고정된다.The
슬라이드부(33)는 고정 몸체(31)에 결합되어 지지부재(23)의 직선 왕복 운동에 대응하여 고정 몸체(31) 상에서 슬라이드 된다.The
피봇 부재(35)는 슬라이드부(33)에 결합되며, 피봇 부재(35)는 지지부재(23)중 이송 유닛(21)과 결합되는 제1 단부와 대향하는 제2 단부와 피봇 결합 된다. 피봇 부재(35)는 지지부재(23)의 제2 단부를 부드럽게 회전시키기 위한 베어링(34)을 포함할 수 있다.The
도 3은 본 발명의 일실시예에 의한 글래스 감지 장치의 작동을 설명하기 위한 단면도이다.3 is a cross-sectional view for explaining the operation of the glass detecting apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 글래스(1)가 적층 수납된 카세트(2)가 지정된 위치에 로딩되면, 글래스 감지 장치(100)의 이송 유닛(21)의 작동에 의하여 맵핑 센서(27)는 카세트(2)를 향해 이송되어 맵핑 센서(27)는 카세트(2)에 적층 수납된 글래스(1)들의 사이에 배치된다. 이때, 맵핑 센서(27)는 지지부재(23)의 제1 단부 및 제2 단부가 각각 이송 유닛(21) 및 고정 부재(30)에 결합된 상태이기 때문에 흔들림 없이 글래스(1)들 사이에 배치되고, 이로 인해 맵핑 센서(27) 및 글래스(1)의 접촉은 완전히 방지된다.1 to 3, when the
이어서, 각 맵핑 센서(27)의 발광부(27a)로부터는 발광부(27a)의 상부에 배치된 글래스(1)를 향해 광을 조사하고, 맵핑 센서(27)의 수광부(27b)는 글래스(1)로부터 반사된 광의 입력 유무를 확인하여 글래스(1)의 존재 여부와 관련된 센싱 신호를 발생하여 글래스(1)의 유무를 감지한다.Subsequently, light is radiated from the
이상에서 상세하게 설명한 바에 의하면 맵핑 센서가 장착되는 지지부재의 하단 및 하단과 대응하는 상단을 견고하게 고정한 상태에서 지지부재의 맵핑 센서를 준비된 카세트의 내부에 적층 배치된 글래스들 사이에 배치시킨 후 글래스의 유무를 확인함으로써 맵핑 센서 및 글래스의 충돌을 방지하여 맵핑 센서 및/또는 글래스의 파손을 방지할 수 있다.According to the above description, the mapping sensor of the support member is disposed between the glasses stacked on the inside of the prepared cassette in a state where the lower end and the lower end of the support member on which the mapping sensor is mounted and the corresponding upper end are firmly fixed. By checking the presence or absence of the mapping sensor and the glass to prevent the collision of the mapping sensor and / or glass can be prevented.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the detailed description of the present invention has been described with reference to the embodiments of the present invention, those skilled in the art or those skilled in the art will have the spirit and scope of the present invention as set forth in the claims below. It will be appreciated that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the scope of the art.
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Families Citing this family (2)
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11145244A (en) * | 1997-11-13 | 1999-05-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Wafer processor |
KR20050050737A (en) * | 2003-11-26 | 2005-06-01 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Apparatus for sensing substrate and sensing method using the same |
KR20060020471A (en) * | 2004-08-31 | 2006-03-06 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Apparatus for sensing an existence of the substrate in the cassette |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11145244A (en) * | 1997-11-13 | 1999-05-28 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | Wafer processor |
KR20050050737A (en) * | 2003-11-26 | 2005-06-01 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Apparatus for sensing substrate and sensing method using the same |
KR20060020471A (en) * | 2004-08-31 | 2006-03-06 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Apparatus for sensing an existence of the substrate in the cassette |
KR20060077868A (en) * | 2004-12-31 | 2006-07-05 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | Rack master of stocker |
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