KR101883950B1 - Magnetic levitation transfer system - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예는 자기부상 이송되는 이송 트레이의 피칭 모션을 개선하여 이송 트레이의 부상 안정성을 향상시키는 자기부상 이송 장치를 제공하는 것이다. 본 발명의 일 측면에 따른 자기부상 이송 장치는, 일면에 자기부상 대응부재를 구비하고 다른면에 복수개의 추진용 영구자석들을 구비하는 이송 트레이, 상기 추진용 영구자석들에 대응하도록 상기 이송 트레이로부터 이격 배치되어 상기 이송 트레이에 추진력을 제공하는 추진 전자석, 및 상기 자기부상 대응부재에 대응하도록 상기 이송 트레이로부터 이격 배치되어 상기 이송 트레이에 부상력을 제공하는 부상 전자석을 포함하며, 상기 자기부상 대응부재는 상기 이송 트레이의 진행 방향으로 벋어 설치되고 상기 진행 방향에 교차하는 방향으로 설정되는 부상력 단면적을 가지며, 상기 부상력 단면적은 상기 이송 트레이의 진행 방향을 따라 가변된다.An embodiment of the present invention is to provide a magnetic levitation conveying apparatus that improves the floating stability of a conveyance tray by improving the pitching motion of the conveyance tray being conveyed in the magnetic levitation. A magnetic levitation conveying apparatus according to one aspect of the present invention includes a conveyance tray having a magnetic levitation member on one surface and a plurality of propelling permanent magnets on the other surface, And a floating electromagnet arranged to be spaced from and spaced apart from the conveyance tray so as to correspond to the magnetic levitation counterpart and to provide a levitation force to the conveyance tray, Sectional area that is set in a direction of travel of the transport tray and is set in a direction crossing the travel direction, and the flotation cross-sectional area is varied along a traveling direction of the transport tray.

Description

자기부상 이송 장치 {MAGNETIC LEVITATION TRANSFER SYSTEM}[0001] MAGNETIC LEVITATION TRANSFER SYSTEM [0002]

본 발명은 자기부상 이송 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 자기부상 이송 트레이에 자기부상 대응부재를 구비하는 자기부상 이송 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic levitation transfer apparatus, and more particularly to a magnetic levitation transfer apparatus having a magnetic levitation member on a magnetic levitation transfer tray.

종래의 자동화용 운반 시스템은 벨트 컨베이어, 롤러 컨베이어 또는 진동 컨베이어 등 주로 컨베이어 시스템을 활용하여, 반도체 웨이퍼 또는 LCD 패널 등을 운반한다. 이러한 시스템은 전기 모터에 의해 회전력을 얻고 중간에 운동 변환 시스템을 적용하여 회전 운동을 직선운동으로 변환하여 원자재 및 제품을 이송한다.BACKGROUND OF THE INVENTION [0002] Conventional automation transportation systems utilize a conveyor system such as a belt conveyor, a roller conveyor, or a vibration conveyor to convey a semiconductor wafer or an LCD panel. Such a system obtains rotational force by an electric motor and applies a motion conversion system in the middle to convert the rotational motion into a linear motion to transfer the raw material and the product.

이러한 시스템은 구성 기기들의 메커니즘 상, 속도 증가 및 조절에 한계를 가지며, 기계장치들의 적용에 따라 구성 부품이 바뀌는 부분에서 마찰을 발생시키므로 소음과 진동, 분진을 필연적으로 발생시킨다. 이러한 소음과 진동 및 분진의 감소와 구성 부품의 마모에 의한 고장을 예방하기 위해서는 수시로 해당 구성 부품을 점검하고 교체 및 수리 등을 주기적으로 수행해야만 한다. 유지 보수비가 증가 된다.Such a system has limitations in speed and control over the mechanism of the components, and it generates friction in the portion where the components are changed according to the application of the mechanical devices, so that noise, vibration and dust are inevitably generated. In order to prevent such noise, vibration and dust reduction and component parts from being damaged by wear, it is necessary to periodically check the relevant components and carry out replacement and repair periodically. Maintenance costs are increased.

자기부상 시스템은 전기 자기력에 의하여 자기부상 이송 트레이를 일정한 높이로 부상하여 추진한다. 이러한 자기부상 시스템은 자기부상 이송 트레이를 전자석과 비접촉 상태로 추진하므로 소음 및 진동을 줄이고 고속 추진을 구현할 수 있다.In the magnetic levitation system, the magnetic levitation trays are levitated with a certain height by the electromagnetic force. Such a magnetic levitation system drives the magnetic levitation conveying tray in a non-contact state with the electromagnet, thereby reducing noise and vibration and realizing high-speed propulsion.

자기부상 시스템은 자기부상 이송 트레이의 진행 방향으로 부상용 전자석을 간헐적으로 배치하고, 부상용 전자석에 대응하여 자기부상 이송 트레이에 자기부상 대응부재를 구비한다. 즉 자기부상 이송 트레이의 진행에 따라 부상력을 발생시키는 부상용 전자석이 교체된다.In the magnetic levitation system, a levitation electromagnet is intermittently arranged in the moving direction of the magnetic levitation conveying tray, and a magnetic levitation member is provided in the magnetic levitation tray in correspondence with the levitation electromagnet. That is, the floating electromagnet which generates the floating force is changed according to the progress of the magnetic levitation conveying tray.

자기부상 이송 트레이의 자기부상 대응부재에 대하여 부상용 전자석이 교체 될 때, 자기 부상력이 끊어짐에 따라 자기부상 이송 트레이에 진행 방향으로 흔들리는 피칭 모션(pitching motion)이 발생된다. 따라서 자기부상 이송 트레이의 부상 안정성이 저하될 수 있다.When the levitation electromagnet is replaced with the magnetic levitation member of the magnetic levitation conveyance tray, a pitching motion is generated in the magnetic levitation tray as the magnetic levitation force is broken. Therefore, the floating stability of the magnetic levitation transfer tray may be deteriorated.

본 발명의 일 실시예는 자기부상 이송되는 이송 트레이의 피칭 모션을 개선하여, 이송 트레이의 부상 안정성을 향상시키는 자기부상 이송 장치를 제공하는 것이다.An embodiment of the present invention is to provide a magnetic levitation conveying apparatus that improves the floating stability of a conveyance tray by improving pitching motion of a conveyance tray which is conveyed in a magnetic levitation manner.

본 발명의 일 측면에 따른 자기부상 이송 장치는, 일면에 자기부상 대응부재를 구비하고 다른면에 복수개의 추진용 영구자석들을 구비하는 이송 트레이, 상기 추진용 영구자석들에 대응하도록 상기 이송 트레이로부터 이격 배치되어 상기 이송 트레이에 추진력을 제공하는 추진 전자석, 및 상기 자기부상 대응부재에 대응하도록 상기 이송 트레이로부터 이격 배치되어 상기 이송 트레이에 부상력을 제공하는 부상 전자석을 포함하며, 상기 자기부상 대응부재는 상기 이송 트레이의 진행 방향으로 벋어 설치되고 상기 진행 방향에 교차하는 방향으로 설정되는 부상력 단면적을 가지며, 상기 부상력 단면적은 상기 이송 트레이의 진행 방향을 따라 가변된다.A magnetic levitation conveying apparatus according to one aspect of the present invention includes a conveyance tray having a magnetic levitation member on one surface and a plurality of propelling permanent magnets on the other surface, And a floating electromagnet arranged to be spaced from and spaced apart from the conveyance tray so as to correspond to the magnetic levitation counterpart and to provide a levitation force to the conveyance tray, Sectional area that is set in a direction of travel of the transport tray and is set in a direction crossing the travel direction, and the flotation cross-sectional area is varied along a traveling direction of the transport tray.

상기 자기부상 대응부재는 상기 부상 전자석을 향하는 방향에 상기 진행 방향을 따라 제1부상력을 형성하는 제1부상부, 및 상기 제1부상부의 양측에 상기 진행 방향을 따라 가변하는 제2부상력을 제공하는 제2부상부를 포함할 수 있다.Wherein the magnetic levitation countermeasure member includes a first levitation portion that forms a first levitation force in the direction toward the flying electromagnet along the advancing direction and a second levitation force that varies along the advancing direction on both sides of the first levitation portion And a second floating portion for providing the second floating portion.

상기 자기부상 대응부재는 상기 부상 전자석을 향하는 방향에 상기 진행 방향을 따라 형성되는 오목홈, 및 상기 오목홈의 양측에 상기 진행 방향을 따라 형성되는 자기부상 대응부를 포함할 수 있다.The magnetic levitation coping member may include a concave groove formed along the moving direction in a direction toward the floating electromagnet and a magnetic levitation portion formed along the moving direction on both sides of the concave groove.

상기 오목홈은 상하 방향으로 설정되는 깊이를 상기 진행 방향에서 동일하게 형성하며, 상기 상하 방향에 교차하는 수평 방향으로 설정되는 폭을 상기 진행 방향의 양단에서 최대로 형성되고 점진적으로 감소되어 중간에서 최소로 형성할 수 있다.Wherein the concave groove is formed to have a depth that is set in the vertical direction to be the same in the advancing direction and a width set in a horizontal direction intersecting the up and down direction is formed maximally at both ends of the advancing direction, .

상기 자기부상 대응부는 상하 방향으로 설정되는 높이를 상기 진행 방향에서 동일하게 형성하며, 상기 상하 방향에 교차하는 수평 방향으로 설정되는 폭을 상기 진행 방향의 양단에서 최소로 형성하고 점진적으로 증대되어 중간에서 최대로 형성할 수 있다.Wherein the magnetic levitation counter is formed to have the same height in the advancing direction as the height set in the up and down direction and the width set in the horizontal direction crossing the up and down direction is minimized at both ends in the advancing direction, Can be maximized.

상기 자기부상 대응부는 상기 수평 방향으로 상기 오목홈의 반대측에서 상기 진행 방향을 따라 직선으로 형성될 수 있다.And the magnetic levitation counterpart may be formed in a straight line along the moving direction on the opposite side of the concave groove in the horizontal direction.

상기 자기부상 대응부는 상기 수평 방향으로 상기 오목홈의 반대측에서 상기 진행 방향을 따라 상기 오목홈의 반대측으로 볼록한 곡선으로 형성될 수 있다.The magnetic levitation counterpart may be formed in a convex curve on the opposite side of the concave groove in the horizontal direction and in a direction opposite to the concave groove along the traveling direction.

상기 오목홈은 상하 방향으로 설정되는 깊이를 상기 진행 방향의 양단에서 최소로 형성하고 점진적으로 증대되어 중간에서 최대로 형성하며, 상기 상하 방향에 교차하는 수평 방향으로 설정되는 폭을 상기 진행 방향에서 동일하게 형성할 수 있다.Wherein the concave groove has a depth that is set in the vertical direction to a minimum at both ends of the advancing direction and is gradually increased to form a maximum width in the middle direction and a width set in a horizontal direction crossing the up- .

상기 자기부상 대응부는 상하 방향에 교차하는 수평 방향으로 설정되는 폭을 상기 진행 방향에서 동일하게 형성하고, 상하 방향으로 설정되는 높이를 상기 진행 방향의 양단에서 최소로 형성하고 점진적으로 증대되어 중간에서 최대로 형성할 수 있다.Wherein the magnetic levitation counterparts are formed to have the same width in a horizontal direction intersecting with the up and down direction in the advancing direction and the height set in the up and down direction is minimized at both ends in the advancing direction, .

상기 자기부상 대응부는 상기 부상 전자석의 반대측에서 상기 진행 방향을 따라 상기 부상 전자석으로부터 멀어지는 방향으로 볼록한 곡선으로 형성될 수 있다.The magnetic levitation counterpart may be formed as a convex curve in a direction away from the floating electromagnet along the advancing direction on the opposite side of the floating electromagnet.

상기 이송 트레이는 사각 플레이트 모양으로 형성되어 수평 상태로 설치되며, 상기 자기부상 대응부재는 상기 이송 트레이의 상면에서 진행 방향에 교차하는 방향 양단에 쌍으로 배치되어 상기 진행 방향으로 벋어 설치될 수 있다.The transfer tray may be formed in a square plate shape and installed in a horizontal state, and the magnetic levitation copes may be installed in pairs in both ends of the transfer tray in the direction crossing the advancing direction.

상기 이송 트레이는 사각 케이스 모양으로 형성되어 수직 상태로 설치되며, 상기 자기부상 대응부재는 상기 이송 트레이의 상면에서 상기 진행 방향으로 벋어 설치될 수 있다.The conveyance tray may be formed in a rectangular shape and installed in a vertical state, and the magnetic levitation member may be installed in the advancing direction on the upper surface of the conveyance tray.

본 발명의 일 실시예는, 자기부상 대응부재의 부상력 단면적을 이송 트레이의 진행 방향에서 가변 구조로 형성하므로 이송 트레이 진행시, 자기부상 대응부재가 부상 전자석에 대응할 때, 자기부상 대응부재에는 이송 트레이의 진행 방향에 따라 가변적인 부상력을 형성한다. 즉 이송 트레이의 진행 방향에 대하여 자기부상 대응부재의 양단에서 최소의 부상력이 형성되고, 점진적으로 증가 및 감소되어 중간에서 최대의 부상력이 형성된다.According to an embodiment of the present invention, since the floating-force cross-sectional area of the magnetic levitation counterpart is formed in a variable structure in the advancing direction of the conveyance tray, when the magnetic levitation coping member corresponds to the floating electromagnet, And forms a variable lifting force according to the traveling direction of the tray. That is, the minimum lift force is formed at both ends of the magnetic levitation member with respect to the traveling direction of the transport tray, and gradually increases and decreases so that the maximum lift force in the middle is formed.

따라서 간헐적으로 배치되는 부상 전자석들 중 자기부상 대응부재와 교체되는 두 부상 전자석들 사이에서 최소의 부상력이 형성되고, 교체 전후, 부상력이 점진적으로 감소 및 증대되므로 자기부상 대응부재에는 안정적인 부상력이 유지될 수 있다. 즉 부상력 단면적을 가변 구조로 형성하는 자기부상 대응부재를 구비한 이송 트레이의 피칭 모션이 개선되어, 이송 트레이의 부상 안정성이 향상될 수 있다.Therefore, a minimum levitation force is formed between the two levitation electromagnets which are intermittently arranged and replaced with the corresponding one of the levitation electromagnets, and the levitation force is gradually reduced and increased before and after the replacement, so that a stable levitation force Can be maintained. That is, the pitching motion of the conveyance tray provided with the magnetic levitation member that forms the floating force cross-sectional area in a variable structure is improved, so that the floating stability of the conveyance tray can be improved.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 자기부상 이송 장치를 이송 트레이의 진행 방향으로 자른 단면도이다.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선을 따라 자른 단면도이다.
도 3은 이송 트레이를 하방에서 본 사시도이다.
도 4는 이송 트레이의 사시도이다.
도 5는 도 3의 이송 트레이에 구비되는 자기부상 대응부재의 평면도이다.
도 6은 도 3의 이송 트레이의 자기부상 대응부재에 작용하는 부상력을 도시한 작동 상태도이다.
도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 자기부상 이송 장치에 적용되는 이송 트레이에 구비되는 자기부상 대응부재의 부분 평면도이다.
도 8은 도 7의 이송 트레이의 자기부상 대응부재에 작용하는 부상력을 도시한 작동 상태도이다.
도 9는 본 발명의 제3실시예에 따른 자기부상 이송 장치에 적용되는 이송 트레이의 부분 사시도이다.
도 10은 도 9의 이송 트레이의 자기부상 대응부재에 작용하는 부상력을 도시한 작동 상태도이다.
도 11은 본 발명의 제4실시예에 따른 자기부상 이송 장치에 적용되는 이송 트레이의 사시도이다.FIG. 1 is a cross-sectional view of a magnetic levitation conveying apparatus according to a first embodiment of the present invention, taken along the direction of the conveying tray.
2 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG.
3 is a perspective view of the transfer tray viewed from below.
4 is a perspective view of the transfer tray.
5 is a plan view of a magnetic levitation member provided on the conveyance tray of FIG.
Fig. 6 is an operational state view showing the levitation force acting on the magnetically levitated corresponding member of the conveyance tray of Fig. 3; Fig.
7 is a partial plan view of a magnetic levitation member provided on a conveyance tray to be applied to the magnetic levitation conveying apparatus according to the second embodiment of the present invention.
Fig. 8 is an operational state view showing the levitation force acting on the magnetically levitated corresponding member of the conveyance tray of Fig. 7; Fig.
9 is a partial perspective view of a transfer tray applied to a magnetic levitation transfer apparatus according to a third embodiment of the present invention.
10 is an operational state view showing the levitation force acting on the magnetically levitated corresponding member of the conveyance tray of Fig.
11 is a perspective view of a transfer tray applied to a magnetic levitation transfer apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and the same or similar components are denoted by the same reference numerals throughout the specification.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 자기부상 이송 장치를 이송 트레이의 진행 방향으로 자른 단면도이고, 도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ선을 따라 자른 단면도이다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 제1실시예에 따른 자기부상 이송 장치(1)는 이송할 대상 물품(미도시)을 적재하는 이송 트레이(10), 이송 트레이(10)의 양면에 대응하여 이격 배치되는 추진 전자석(20)과 부상 전자석(30)을 포함한다.FIG. 1 is a cross-sectional view of a magnetic levitation conveying apparatus according to a first embodiment of the present invention, taken along the direction of the conveying tray, and FIG. 2 is a sectional view taken along the line II-II in FIG. 1 and 2, a magnetic levitation conveying apparatus 1 according to the first embodiment includes a conveying tray 10 for loading a target article (not shown) to be conveyed, And includes a propulsion electromagnet 20 and a floating electromagnet 30 which are spaced apart from each other.

이송 트레이(10)는 일면에 자기부상 대응부재(11)를 구비하고, 다른면에 복수개의 추진용 영구자석들(12)을 구비한다. 일례로써, 이송 트레이(10)가 사각 플레이트 모양으로 형성되는 경우, 자기부상 대응부재(11)는 이송 트레이(10)의 상면에 구비되고, 추진용 영구자석들(12)은 이송 트레이(10)의 하면에 구비될 수 있다.The transfer tray 10 has a magnetic levitation member 11 on one side and a plurality of propelling permanent magnets 12 on the other side. The magnetic levitation member 11 is provided on the upper surface of the conveyance tray 10 and the propelling permanent magnets 12 are provided on the conveyance tray 10 in the case where the conveyance tray 10 is formed in the shape of a square plate, As shown in FIG.

자기부상 이송 장치(1)는 추진 전자석(20)과 부상 전자석(30)이 설치되는 챔버(40)를 더 포함한다. 일례로써, 챔버(40)는 내부 공간을 갖는 육면체 형상으로 이루어지고, 이송 트레이(10)가 출입하는 입구와 출구를 구비한다.The magnetic levitation conveying apparatus 1 further includes a chamber 40 in which the propulsion electromagnet 20 and the levitation electromagnet 30 are installed. In one example, the chamber 40 has a hexahedral shape with an internal space, and has an inlet and an outlet through which the feed tray 10 enters and exits.

챔버(40)의 입구와 출구 사이에는 챔버(40)를 개폐하는 밸브부(41)가 형성되고, 복수 개의 챔버(40)가 밸브부(41)를 사이에 두고 이어져 배치될 수 있다. 챔버(40)는 물품에 대한 대한 증착이나 에칭 등의 가공 공간을 제공한다.A valve unit 41 for opening and closing the chamber 40 may be formed between the inlet and the outlet of the chamber 40 and a plurality of chambers 40 may be disposed continuously with the valve unit 41 interposed therebetween. The chamber 40 provides a processing space for the article, such as deposition or etching.

추진 전자석(20)은 이송 트레이(10)에 구비되는 추진용 영구자석들(12)에 대응하도록 이송 트레이(10)로부터 이격 배치되어 이송 트레이(10)에 추진력을 제공한다. 일례로써, 추진 전자석(20)은 챔버(40)의 내측 바닥에 고정 설치되고, 코어(21)와 코어(21)의 외주를 감싸는 코일(22)을 포함한다. 코일(22)은 3상 구조를 이룬다. 복수 개의 코어(21)는 이송 트레이(10)의 진행 방향(x축 방향)을 따라 이격 배치된다.The propulsion electromagnet 20 is disposed apart from the conveyance tray 10 to correspond to the propelling permanent magnets 12 provided in the conveyance tray 10 to provide a driving force to the conveyance tray 10. [ As one example, the propulsion electromagnet 20 is fixed to the inner bottom of the chamber 40 and includes a core 21 and a coil 22 surrounding the outer periphery of the core 21. The coil 22 has a three-phase structure. The plurality of cores 21 are spaced apart along the moving direction (x-axis direction) of the conveyance tray 10.

부상 전자석(30)은 이송 트레이(10)에 구비되는 자기부상 대응부재(11)에 대응하도록 이송 트레이(10)로부터 이격 배치되어 이송 트레이(10)에 부상력을 제공한다. 일례로써, 부상 전자석(30)은 챔버(40)의 내측 상면에 고정 설치되고, 코어(31)와 코어(31)의 외주를 감싸는 코일(32)을 포함한다.The floating electromagnet 30 is disposed apart from the conveying tray 10 so as to correspond to the magnetic levitation member 11 provided in the conveying tray 10 to provide a levitation force to the conveying tray 10. As one example, the floating electromagnet 30 is fixed to the inner upper surface of the chamber 40 and includes a core 31 and a coil 32 surrounding the outer periphery of the core 31.

복수 개의 부상 전자석(30)이 챔버(40)에 이송 트레이(10)의 진행 방향(x축방향)으로 이격 배치된다(도 1 참조). 그리고 부상 전자석(30)은 챔버(40)의 폭 방향(y축 방향)으로 2개씩 이격 배치된다(도 2 참조). 부상 전자석(30)은 이송 트레이(10)의 자기부상 대응부재(11)를 끌어 당키는 부상력을 제공하여 이송 트레이(10)를 자기 부상시킨다.A plurality of floating electromagnets 30 are arranged in the chamber 40 in the moving direction (x-axis direction) of the transfer tray 10 (see Fig. 1). The floating electromagnets 30 are spaced apart from each other in the width direction (y-axis direction) of the chamber 40 (see FIG. 2). The levitation electromagnet 30 provides a levitation force to attract the magnetically levitated member 11 of the conveyance tray 10 to levitate the conveyance tray 10.

또한, 부상 전자석(30)과 이송 트레이(10)의 부상 간격을 측정하는 갭 센서(43)가 챔버(40) 내에 설치된다. 갭 센서(43)는 지지부재를 매개로 챔버(40) 내에 부착 설치된다. 갭 센서(43)에 의하여 측정된 정보는 부상 전자석(30)의 자기력 세기를 조절하는 데 사용된다.Further, a gap sensor 43 for measuring the floating distance between the floating electromagnet 30 and the transfer tray 10 is installed in the chamber 40. The gap sensor 43 is mounted in the chamber 40 via a supporting member. The information measured by the gap sensor 43 is used to adjust the magnetic force intensity of the floating electromagnet 30. [

도 3은 이송 트레이를 하방에서 본 사시도이다. 도 3을 참조하면, 복수 개의 추진용 영구자석들(12)은 이송 트레이(10)의 하면에 고정 설치된다. 추진용 영구자석들(12)은 이송 트레이(10)의 폭 방향(y축 방향) 가장자리에 고정 설치된다. 또한, 복수 개의 추진용 영구자석들(12)은 이송 트레이(10)의 진행 방향(x축 방향)을 따라 가면서 이격 배치된다.3 is a perspective view of the transfer tray viewed from below. Referring to FIG. 3, a plurality of propelling permanent magnets 12 are fixedly mounted on the lower surface of the conveyance tray 10. The propelling permanent magnets 12 are fixed to the edge of the conveyance tray 10 in the width direction (y-axis direction). In addition, the plurality of propelling permanent magnets 12 are disposed apart from each other along the traveling direction (x-axis direction) of the conveyance tray 10.

추진용 영구자석들(12)은 추진 전자석(20)과 마주하도록 배치되므로, 추진 전자석(20)에 3상 교류 전류가 공급되면, 추진 전자석(20)이 추진용 영구자석(12)을 끌어 당기는 바, 이에 따라, 흡인력과 추진력이 발생되어 이송 트레이(10)가 이송된다.Since the propelling permanent magnets 12 are disposed to face the propelling electromagnet 20 so that when the propelling electromagnet 20 is supplied with three-phase alternating current, the propelling electromagnet 20 attracts the propelling permanent magnet 12 As a result, a suction force and a propelling force are generated and the conveying tray 10 is conveyed.

이송 트레이(10)는 폭 방향(y축 방향)에서 추진용 영구자석들(12)의 가이드부(13)를 구비한다. 가이드부(13)는 챔버(40)의 내측 바닥에 회전 가능하도록 설치된 비상 롤러(14)와 맞닿도록 마주하여 배치된다. 따라서 이송 트레이(10)가 부상을 중단할 때, 비상 롤러(14)는 하강한 이송 트레이(10)의 가이드부(13)와 맞닿아 이송 트레이(10)를 이송한다.The conveyance tray 10 has a guide portion 13 of the propelling permanent magnets 12 in the width direction (y-axis direction). The guide portion 13 is arranged to face the emergency roller 14 rotatably installed on the inner bottom of the chamber 40. [ Therefore, when the conveyance tray 10 stops lifting, the emergency roller 14 abuts against the guide portion 13 of the lowered conveyance tray 10 to convey the conveyance tray 10.

또한, 챔버는 측면에 안내 전자석(미도시)을 더 구비할 수 있다. 안내 전자석은 이송 트레이의 측단(y축 방향 양단)을 끌어 당기도록 이송 트레이의 측단에 마주하여 설치된다.Further, the chamber may further include a guiding electromagnet (not shown) on its side surface. The electromagnet is installed to face the side end of the conveyance tray so as to pull the side end (both ends in the y-axis direction) of the conveyance tray.

이때, 안내 전자석은 부상 전자석이 자기부상 대응부재에 작용하는 부상력을 방해하지 않으면서 이송 트레이의 측면을 끌어당길 수 있도록 설치되어 이송 트레이가 챔버 내에서 폭 방향(y축 방향)으로 치우치지 않게 한다.At this time, the electromagnet is installed so that the floating electromagnet can pull out the side surface of the conveying tray without interfering with the levitation force acting on the magnetic levitation member, so that the conveying tray is not biased in the width direction (y axis direction) do.

도 5는 도 3의 이송 트레이에 구비되는 자기부상 대응부재의 평면도이고, 도 6은 도 3의 이송 트레이의 자기부상 대응부재에 작용하는 부상력을 도시한 작동 상태도이다.Fig. 5 is a plan view of a magnetic levitation member provided in the conveyance tray of Fig. 3, and Fig. 6 is an operational state view showing the levitation force acting on the magnetically levitation member of the conveyance tray of Fig.

도 4 내지 도 6을 참조하면, 자기부상 대응부재(11)는 이송 트레이(10)의 진행 방향(x축 방향)으로 벋어 설치되고, 진행 방향에 교차하는 방향(yz 방향)으로 부상력 단면적, 최대, 최소 부상력 단면적(Smax, Smin)을 가진다. 부상력 단면적은 최대, 최소 부상력 단면적(Smax, Smin) 사이에서 이송 트레이(10)의 진행 방향(x축 방향)을 따라 가변 된다.4 to 6, the magnetic levitation member 11 is installed in the moving direction (x-axis direction) of the conveyance tray 10 and has a floating force sectional area in a direction (yz direction) (Smax, Smin) of the maximum lift force. The floating force cross sectional area is varied along the moving direction (x-axis direction) of the conveyance tray 10 between the maximum and minimum floating force sectional areas Smax and Smin.

자기부상 대응부재(11)는 부상 전자석(30)을 향하는 방향(z축 방향)에 진행 방향(x축 방향)을 따라 제1부상력을 형성하는 제1부상부, 및 제1부상부의 양측에 진행 방향(x축 방향)을 따라 가변하는 제2부상력을 제공하는 제2부상부를 포함한다. 부상 전자석(30)에 의하여 자기부상 대응부재(11)에 형성되는 부상력은 제1, 제2부상부의 제1, 제2부상력의 합으로 설정된다.The magnetic levitation member 11 includes a first floating portion forming a first floating force along a moving direction (x-axis direction) in a direction (z-axis direction) toward the floating electromagnet 30 and a second floating portion formed on both sides of the first floating portion And a second lifting portion for providing a second lifting force varying along the traveling direction (x-axis direction). The levitation force formed on the levitation element 11 by the levitation electromagnet 30 is set to the sum of the first and second levitation forces of the first and second levitation portions.

일례를 들면, 제1부상부는 오목홈(111)으로 형성되고, 제2부상부는 오목홈(111)의 양측에 진행 방향(x축 방향)을 따라 형성되는 자기부상 대응부(112)로 형성될 수 있다. 즉 부상 전자석(30)에 의하여 자기부상 대응부재(11)에 형성되는 부상력은 오목홈(111)과 자기부상 대응부(112)에 형성되는 제1, 제2부상력의 합으로 설정된다.For example, the first lifting portion is formed by the concave groove 111 and the second lifting portion is formed by the magnetic levitation portion 112 formed on both sides of the concave groove 111 along the moving direction (x-axis direction) . That is, the levitation force formed on the levitation element 11 by the levitation electromagnet 30 is set to the sum of the first and second levitation forces formed on the concave groove 111 and the magnetically levitated portion 112.

오목홈(111)은 상하 방향(z축 방향)으로 설정되는 깊이(D)를 진행 방향(x축 방향)에서 동일하게 형성하며, 상하 방향(z축 방향)에 교차하는 수평 방향(y축 방향)으로 설정되는 폭(W1)을 진행 방향(x축 방향)의 양단에서 최대로 형성되고 점진적으로 감소되어 중간에서 최소로 형성한다.The concave groove 111 has a depth D set in the vertical direction (z-axis direction) in the same direction in the advancing direction (x-axis direction) ) Is formed at the maximum at both ends of the traveling direction (x-axis direction) and is gradually decreased to form the middle to the minimum.

또한, 자기부상 대응부(112)는 상하 방향으로 설정되는 높이(H)를 진행 방향(x축 방향)에서 동일하게 형성하며, 상하 방향(z축 방향)에 교차하는 수평 방향(y축 방향)으로 설정되는 폭(W2)을 진행 방향(x축 방향)의 양단에서 최소로 형성하고 점진적으로 증대되어 중간에서 최대로 형성한다. 그리고 자기부상 대응부(112)는 수평 방향(y축 방향)으로 오목홈(111)의 반대측에서 진행 방향(x축 방향)을 따라 직선으로 형성된다.The magnetic levitation counterpart 112 is formed to have the same height H in the vertical direction (x-axis direction) and in the horizontal direction (y-axis direction) The width W2 is set to be minimum at both ends of the moving direction (x-axis direction) and is gradually increased to form the maximum width at the middle. The magnetic levitation counterpart 112 is formed in a straight line along the moving direction (x-axis direction) on the opposite side of the concave groove 111 in the horizontal direction (y-axis direction).

따라서 이송 트레이(10)가 x축 방향으로 진행할 때, 제1실시예의 자기부상 대응부(112)는 x축 방향 중간에서 최대 부상력 단면적(Smax)을 형성하고, 최대 부상력 단면적(Smax)에서 양단으로 가면서 점진적으로 감소되어 양단에서 최소 부상력 단면적(Smin)을 형성한다(도 3 참조).Therefore, when the conveying tray 10 advances in the x-axis direction, the magnetic levitation counterpart 112 of the first embodiment forms the maximum floating-force sectional area Smax in the middle of the x-axis direction, and the maximum floating-force sectional area Smax Gradually decreasing as it goes to both ends to form the minimum flotation force cross-section Smin at both ends (see FIG. 3).

이와 같이, 부상력 단면적이 최대 내지 최소 부상력 단면적(Smax ~ Smin) 내에서 가변 됨에 따라 부상 전자석들(301, 302, 303)에 마주하는 자기부상 대응부(112)는 x축 방향 중간에서 최대 부상력(Fmax)을 형성하고, 양단으로 가면서 점진적으로 감소되어 양단에서 최소 부상력(Fmin)을 형성한다(도 6 참조).As described above, the magnetic levitation counterpart 112 facing the levitation electromagnets 301, 302, and 303 varies in the x axis direction in the middle of the x axis direction as the cross sectional area of the levitation force varies within the maximum to minimum lifting force cross sectional area Smax to Smin. The floating force Fmax is formed, and gradually decreases at both ends to form a minimum floating force Fmin at both ends (refer to FIG. 6).

이송 트레이(10)의 부상 진행으로 이송 트레이(10)의 양단이 2개의 부상 전자석(301, 302) 사이에 위치할 때, 자기부상 대응부(112)는 양단에 대응하는 부상 전자석(301, 302)의 인력에 의한 최소 부상력(Fmin)에 의하여 최소로 영향을 받고, 중간에 대응하는 부상 전자석(303)의 인력에 의한 최대 부상력(Fmax)에 의하여 최대로 영향을 받는다.When the both ends of the conveyance tray 10 are positioned between the two floating electromagnets 301 and 302 due to the advancing of the conveying tray 10, the corresponding floatation counterparts 112 are connected to the corresponding floating electromagnets 301 and 302 The minimum lifting force Fmin by the attraction force of the lifting electromagnet 303 and the maximum lifting force Fmax by the attraction force of the lifting electromagnet 303 corresponding to the middle lifting force Fmax.

즉 이송 트레이(10)는 교체되지 않는 부상 전자석(303)에서 영향을 주로 받고, 교체되는 부상 전자석(301, 302)에서 영향을 최소로 받는다. 따라서 이송 트레이(10)가 진행 방향(x축 방향)으로 흔들리는 피칭 모션(pitching motion)이 최소화 될 수 있다. 즉 자기부상 이송 트레이(10)의 부상 안정성이 향상될 수 있다.That is, the transfer tray 10 is mainly influenced by the floating electromagnet 303 that is not replaced, and is minimally affected by the floating electromagnet 301, 302 to be replaced. Therefore, the pitching motion in which the conveyance tray 10 is shaken in the advancing direction (x-axis direction) can be minimized. The floating stability of the magnetic levitation conveyance tray 10 can be improved.

이하 본 발명의 다양한 실시예에 대하여 설명한다. 제1실시예 및 기 설명된 실시예와 비교하여 동일한 구성에 대한 설명을 생략하고 서로 다른 구성에 대하여 설명한다.Various embodiments of the present invention will be described below. The description of the same configuration as that of the first embodiment and the previously described embodiments will be omitted and different configurations will be described.

도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 자기부상 이송 장치에 적용되는 이송 트레이에 구비되는 자기부상 대응부재의 부분 평면도이고, 도 8은 도 7의 이송 트레이의 자기부상 대응부재에 작용하는 부상력을 도시한 작동 상태도이다.7 is a partial plan view of a magnetic levitation member provided on a conveyance tray to be applied to a magnetic levitation conveying apparatus according to a second embodiment of the present invention, Fig.

도 7 및 도 8을 참조하면, 제2실시예의 자기부상 이송 장치(2)에 적용되는 이송 트레이(210)에 구비되는 자기부상 대응부재(71)에서, 자기부상 대응부(712)는 수평 방향(y축 방향)으로 오목홈(111)의 반대측에서 진행 방향(x축 방향)을 따라 오목홈(111)의 반대측으로 볼록한 곡선으로 형성된다. 즉 자기부상 대응부(712)는 오목홈(111)의 양측에서 각각 x축 방향을 설정되는 중심선(CL)을 기준으로 대칭 구조를 형성한다.7 and 8, in the magnetic levitation member 71 provided in the conveyance tray 210 applied to the magnetic levitation conveying apparatus 2 of the second embodiment, the magnetic levitation counterpart 712 has a horizontal direction (x-axis direction) on the opposite side of the concave groove 111 in the direction of the axis (y-axis). That is, the magnetic levitation counterpart 712 forms a symmetrical structure with respect to the center line CL which is set in the x axis direction on both sides of the concave groove 111.

이송 트레이(210)가 x축 방향으로 진행할 때, 자기부상 대응부(712)가 y축 방향에서, 제1실시예의 자기부상 대응부(112)의 최대 폭(W2)과 동일한 최대 폭(W22)을 형성하는 경우, 제2실시예의 자기부상 대응부(712)는 x축 방향 중간에 형성되는 최대 부상력 단면적(Smax2)과 최대 부상력 단면적(Smax2)에서 양단으로 가면서 점진적으로 감소되어 양단에 형성되는 최소 부상력 단면적(Smin2)의 차이를 제1실시예의 자기부상 대응부(112)에서보다 더 크게 할 수 있다((Smax-Smin) < (Smax2-Smin2)).When the conveyance tray 210 advances in the x-axis direction, the magnetic levitation counterpart 712 generates a maximum width W22 equal to the maximum width W2 of the magnetic levitation counterpart 112 of the first embodiment in the y- , The magnetic levitation counterpart 712 of the second embodiment is gradually reduced from the maximum floating force sectional area Smax2 and the maximum floating force sectional area Smax2 formed in the middle in the x axis direction to both ends to be formed at both ends (Smax-Smin) < (Smax2-Smin2)) of the minimum lifting force cross-sectional area Smin2 of the first embodiment can be made larger than that of the first embodiment.

이와 같이, 부상력 단면적이 최대 내지 최소 부상력 단면적(Smax2 ~ Smin2)으로 가변 됨에 따라, 부상 전자석들(301, 302, 303)에 마주하는 자기부상 대응부(712)는 제1실시예와 비교할 때, x축 방향 중간에 형성되는 최대 부상력(Fmax2)과 양단으로 가면서 점진적으로 감소되어 양단에 형성되는 최소 부상력(Fmin2)의 차이를 제1실시예의 자기부상 대응부(112)에서보다 더 증대할 수 있다((Fmax-Fmin) < (Fmax2-Fmin2)).As described above, the magnetic levitation portion 712 facing the levitation electromagnets 301, 302, and 303 is different from the first embodiment in that the levitation force cross-sectional area is varied from the maximum to the minimum lifting force cross-sectional areas Smax2 to Smin2 , The difference between the maximum lifting force Fmax2 formed in the middle in the x-axis direction and the minimum lifting force Fmin2 gradually reduced toward both ends and the minimum lifting force Fmin2 formed at both ends is greater than that in the magnetic levitation portion 112 of the first embodiment ((Fmax-Fmin) < (Fmax2-Fmin2)).

이송 트레이(210)의 부상 진행으로 이송 트레이(210)의 양단이 2개의 부상 전자석(301, 302) 사이에 위치할 때, 제1실시예의 자기부상 대응부(112)와 비교할 때, 자기부상 대응부(712)는 양단에 대응하는 부상 전자석(301, 302)의 인력에 의한 최소 부상력(Fmin2)에 더 작은 영향을 받고, 중간에 대응하는 부상 전자석(303)의 인력에 의한 최대 부상력(Fmax2)에 더 큰 영향을 받을 수 있다.When the both ends of the conveyance tray 210 are positioned between the two floating electromagnets 301 and 302 due to the advancing of the conveyance tray 210, compared with the magnetic levitation counterpart 112 of the first embodiment, The portion 712 is more affected by the minimum lifting force Fmin2 due to the attractive force of the floating electromagnets 301 and 302 corresponding to both ends and the maximum lifting force Fmin2 by the attraction force of the corresponding floating electromagnet 303 Fmax2).

즉 이송 트레이(210)는 교체되지 않는 부상 전자석(303)에서 영향을 주로 받고, 교체되는 부상 전자석(301, 302)에서 영향을 최소로 받는다. 따라서 이송 트레이(210)가 진행 방향(x축 방향)으로 흔들리는 피칭 모션(pitching motion)이 더욱 최소화 할 수 있다. 즉 자기부상 이송 트레이(210)의 부상 안정성이 더욱 향상될 수 있다.That is, the transfer tray 210 is mainly influenced by the floating electromagnet 303 which is not replaced, and is minimally affected by the floating electromagnets 301 and 302 to be replaced. Therefore, the pitching motion in which the conveyance tray 210 is shaken in the advancing direction (x-axis direction) can be further minimized. The floating stability of the magnetic levitation conveyance tray 210 can be further improved.

도 9는 본 발명의 제3실시예에 따른 자기부상 이송 장치에 적용되는 이송 트레이의 부분 사시도이고, 도 10은 도 9의 이송 트레이의 자기부상 대응부재에 작용하는 부상력을 도시한 작동 상태도이다.FIG. 9 is a partial perspective view of a conveyance tray applied to a magnetic levitation conveying apparatus according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 10 is an operational state diagram showing an levitation force acting on a magnetically levitation member of the conveyance tray of FIG. 9 .

도 9 및 도 10을 참조하면, 제3실시예의 자기부상 이송 장치(3)에 적용되는 이송 트레이(310)에 구비되는 자기부상 대응부재(91)에서, 오목홈(911)은 상하 방향(z축 방향)으로 설정되는 깊이(D3)를 진행 방향(x축 방향)의 양단에서 최소로 형성하고 점진적으로 증대되어 중간에서 최대로 형성하며, 상하 방향(z축 방향)에 교차하는 수평 방향(y축 방향)으로 설정되는 폭(W13)을 진행 방향(x축 방향)에서 동일하게 형성한다.9 and 10, in the magnetic levitation member 91 provided in the conveyance tray 310 applied to the magnetic levitation conveying apparatus 3 of the third embodiment, the concave groove 911 is formed in the vertical direction z (Z-axis direction) intersecting in the vertical direction (z-axis direction), and the depth D3 set in the vertical direction (axial direction) is minimized at both ends of the advancing direction Axis direction) is set to be the same in the traveling direction (x-axis direction).

자기부상 대응부(912)는 상하 방향(z축 방향)에 교차하는 수평 방향(y축 방향)으로 설정되는 폭(W23)을 진행 방향(x축 방향)에서 동일하게 형성하고, 상하 방향(z축 방향)으로 설정되는 높이(H3)를 진행 방향(x축 방향)의 양단에서 최소로 형성하고 점진적으로 증대되어 중간에서 최대로 형성한다. 즉 자기부상 대응부(912)는 부상 전자석(30)의 반대측에서 진행 방향(x축 방향)을 따라 부자 전자석(30)으로부터 멀어지는 방향으로 볼록한 곡선으로 형성된다.The magnetic levitation counterpart 912 is formed to have the same width W23 set in the horizontal direction (y-axis direction) crossing the up-and-down direction (z-axis direction) Axis direction) is set to a minimum at both ends of the moving direction (x-axis direction) and is gradually increased to form the middle to the maximum. That is, the magnetic levitation counterpart 912 is formed in a convex curve in a direction away from the auxiliary electromagnet 30 along the traveling direction (x-axis direction) on the opposite side of the floating electromagnet 30. [

제1실시예의 자기부상 대응부(112)에서 최대, 최소 부상력 단면적(Smax, Smin)은 높이(H)가 일정하고 폭(W2)이 가변되고, 제3실시예의 자기부상 대응부(912)에서 최대, 최소 부상력 단면적(Smax3, Smin3)은 높이(H3)가 가변되고 폭(W23)이 일정하다.The maximum and minimum lift force cross sections Smax and Smin of the magnetic levitation counterpart 112 of the first embodiment are such that the height H is constant and the width W2 is varied and the magnetic levitation counterpart 912 of the third embodiment, The maximum and minimum lift force cross sections Smax3 and Smin3 are varied in height H3 and width W23.

따라서 이송 트레이(310)가 x축 방향으로 진행할 때, 제3실시예의 자기부상 대응부(912)는 x축 방향 중간에서 최대 부상력 단면적(Smax3)을 형성하고, 최대 부상력 단면적(Smax3)에서 양단으로 가면서 점진적으로 감소되어 양단에서 최소 부상력 단면적(Smin3)을 형성한다(도 9 참조).Therefore, when the conveyance tray 310 advances in the x-axis direction, the magnetic levitation portion 912 of the third embodiment forms the maximum lifting force cross-sectional area Smax3 in the middle of the x-axis direction, and the maximum lifting force cross-sectional area Smax3 And gradually decreases at both ends to form a minimum lift force cross-sectional area Smin3 at both ends (see FIG. 9).

이와 같이, 부상력 단면적이 최대 내지 최소 부상력 단면적(Smax3 ~ Smin3) 내에서 가변 됨에 따라 부상 전자석들(301, 302, 303)에 마주하는 자기부상 대응부(912)는 x축 방향 중간에서 최대 부상력(Fmax3)을 형성하고, 양단으로 가면서 점진적으로 감소되어 양단에서 최소 부상력(Fmin3)을 형성한다(도 10 참조).As such, the magnetic levitation counterpart 912 facing the levitation electromagnets 301, 302, and 303 varies in the x axis direction in the middle of the x axis direction as the lifting force cross sectional area is varied within the maximum to minimum lifting force cross sectional areas Smax3 to Smin3. The floating force Fmax3 is formed, and gradually decreases at both ends to form a minimum floating force Fmin3 at both ends (see Fig. 10).

이송 트레이(310)의 부상 진행으로 이송 트레이(310)의 양단이 2개의 부상 전자석(301, 302) 사이에 위치할 때, 자기부상 대응부(912)는 양단에 대응하는 부상 전자석(301, 302)의 인력에 의한 최소 부상력(Fmin3)에 의하여 최소로 영향을 받고, 중간에 대응하는 부상 전자석(303)의 인력에 의한 최대 부상력(Fmax3)에 의하여 최대로 영향을 받는다.When the both ends of the conveyance tray 310 are positioned between the two levitation electromagnets 301 and 302 due to the advancing of the conveyance tray 310, the levitation counterparts 912 correspond to the corresponding floating electromagnets 301 and 302 The minimum lifting force Fmin3 by the attraction force of the lifting electromagnet 303 and the maximum lifting force Fmax3 by the lifting force of the lifting electromagnet 303 corresponding to the intermediate lifting force Fmax3.

즉 이송 트레이(310)는 교체되지 않는 부상 전자석(303)에서 영향을 주로 받고, 교체되는 부상 전자석(301, 302)에서 영향을 최소로 받는다. 따라서 이송 트레이(310)가 진행 방향(x축 방향)으로 흔들리는 피칭 모션(pitching motion)이 최소화 될 수 있다. 즉 자기부상 이송 트레이(310)의 부상 안정성이 향상될 수 있다.That is, the transfer tray 310 is mainly influenced by the non-replaced floating electromagnet 303, and is minimally affected by the replaced floating electromagnet 301, 302. Therefore, the pitching motion in which the conveyance tray 310 is shaken in the advancing direction (x-axis direction) can be minimized. The floating stability of the magnetic levitation conveyance tray 310 can be improved.

제1, 제2 및 제3실시예에서, 이송 트레이(10, 210, 310)는 사각 플레이트 모양으로 형성되어 수평 상태로 설치되어, 수평 상면에 이송 대상물을 적재할 수 있게 한다.In the first, second, and third embodiments, the transfer trays 10, 210, and 310 are formed in the shape of a square plate and installed horizontally so that the transfer object can be loaded on the horizontal upper surface.

제1, 제2 및 제3실시예의 자기부상 대응부재(11, 71, 91)는 이송 트레이(10, 210, 310)의 상면에서 진행 방향(x축 방향)에 교차하는 방향(y축 방향)의 양단에 쌍으로 배치되어, 진행 방향(x축 방향)으로 벋어 설치된다.The magnetic levitation member 11, 71, 91 of the first, second, and third embodiments are arranged in a direction (y-axis direction) crossing the advancing direction (x-axis direction) (X-axis direction), and are installed in pairs.

도 11은 본 발명의 제4실시예에 따른 자기부상 이송 장치에 적용되는 이송 트레이의 사시도이다. 도 11을 참조하면, 제4실시예의 자기부상 이송 장치(4)에 적용되는 이송 트레이(410)는 사각 케이스 모양으로 형성되어 수직 상태로 설치되어, 그 내부에 이송 대상물을 적재할 수 있게 한다.11 is a perspective view of a transfer tray applied to a magnetic levitation transfer apparatus according to a fourth embodiment of the present invention. Referring to FIG. 11, a conveyance tray 410 applied to the magnetic levitation conveying device 4 of the fourth embodiment is formed in a rectangular case-like shape, and is vertically installed, so that the conveyance object can be loaded therein.

자기부상 대응부재(91)는 이송 트레이(410)의 상면에서 진행 방향(x축 방향)으로 벋어 설치된다. 도시하지 않았으나, 추진용 영구자석들은 이송 트레이(410)의 하면에 구비될 수 있고, 제4실시예의 이송 트레이(410)에 제1, 제2실시예의 자기부상 대응부재(11, 71)가 적용될 수도 있다. 제4실시예의 자기부상 대응부재(91)는 이송 트레이(410)의 y축 방향 폭이 좁은 경우에 효과적으로 사용될 수 있다.The magnetic levitation member 91 is disposed in the advancing direction (x-axis direction) on the upper surface of the conveyance tray 410. Although not shown, the propelling permanent magnets may be provided on the lower surface of the transfer tray 410, and the magnetic levitation member 11, 71 of the first and second embodiments is applied to the transfer tray 410 of the fourth embodiment It is possible. The magnetic levitation member 91 of the fourth embodiment can be effectively used in the case where the width of the conveyance tray 410 in the y axis direction is narrow.

도 10을 참조하면, 제3실시예의 이송 트레이(310)는 제4실시예의 이송 트레이(410)에 대응된다. 즉 이송 트레이(410; 310)은 교체되지 않는 부상 전자석(303)에서 영향을 주로 받고, 교체되는 부상 전자석(301, 302)에서 영향을 최소로 받는다. 따라서 이송 트레이(410; 310)가 진행 방향(x축 방향)으로 흔들리는 피칭 모션(pitching motion)이 최소화 될 수 있다. 즉 자기부상 이송 트레이(410; 310)의 부상 안정성이 향상될 수 있다.Referring to Fig. 10, the conveyance tray 310 of the third embodiment corresponds to the conveyance tray 410 of the fourth embodiment. That is, the transfer trays 410 and 310 are mainly influenced by the non-replaced floating electromagnet 303 and are minimally influenced by the replaced floating electromagnet 301 and 302. Therefore, the pitching motion in which the transport trays 410 and 310 are shaken in the traveling direction (x-axis direction) can be minimized. That is, the flying stability of the magnetic levitation trays 410 and 310 can be improved.

이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형 또는 변경하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but many variations and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the invention. And it goes without saying that they belong to the scope of the present invention.

1, 2, 3, 4: 자기부상 이송 장치 10, 210, 310, 410: 이송 트레이
11, 71, 91: 자기부상 대응부재 12: 추진용 영구자석
13: 가이드부 14: 비상 롤러
20: 추진 전자석 21: 코어
22: 코일 30, 301, 302, 303: 부상 전자석
40: 챔버 41: 밸브부
43: 갭 센서 111, 911: 오목홈
112, 712, 912: 자기부상 대응부 CL: 중심선
D, D3: 깊이 Fmax, Fmax2, Fmax3: 최대 부상력
Fmin, Fmin2, Fmin3: 최소 부상력 H, H3: 높이
Smax, Smax2, Smax3: 최대 부상력 단면적
Smin, Smin2, Smin3: 최소 부상력 단면적
W1, W13: 폭 W2, W22, W23: 폭1, 2, 3, 4: Magnetic levitation conveying device 10, 210, 310, 410:
11, 71, 91: Magnetic levitation member 12: Propulsion permanent magnet
13: Guide part 14: Emergency roller
20: Propulsion electromagnet 21: Core
22: coils 30, 301, 302, 303: floating electromagnets
40: chamber 41: valve part
43: gap sensor 111, 911: concave groove
112, 712, 912: magnetic levitation counter CL: center line
D, D3: Depth Fmax, Fmax2, Fmax3: Maximum lifting force
Fmin, Fmin2, Fmin3: Minimum lift force H, H3: Height
Smax, Smax2, Smax3: Maximum floating force cross-sectional area
Smin, Smin2, Smin3: Minimum lift force cross-sectional area
W1, W13: width W2, W22, W23: width

Claims (12)

일면에 자기부상 대응부재를 구비하고 다른면에 복수개의 추진용 영구자석들을 구비하는 이송 트레이;
상기 추진용 영구자석들에 대응하도록 상기 이송 트레이로부터 이격 배치되어 상기 이송 트레이에 추진력을 제공하는 추진 전자석; 및
상기 자기부상 대응부재에 대응하도록 상기 이송 트레이로부터 이격 배치되어 상기 이송 트레이에 부상력을 제공하는 부상 전자석
을 포함하며,
상기 자기부상 대응부재는
상기 이송 트레이의 진행 방향으로 벋어 설치되고 상기 진행 방향에 교차하는 방향으로 부상력 단면적을 가지며,
상기 부상력 단면적은
상기 이송 트레이의 진행 방향을 따라 가변되고,
상기 부상력 단면적은
상기 진행 방향의 중간에서 최대로 형성되고 점진적으로 감소되어 양단에서 최소로 형성되는 자기부상 이송 장치.A transfer tray having a magnetic levitation member on one surface and a plurality of propelling permanent magnets on the other surface;
A propulsion electromagnet disposed apart from the conveyance trays to provide propulsion to the conveyance trays to correspond to the propulsion permanent magnets; And
And a floating electromagnetic coil which is disposed apart from the conveyance tray so as to correspond to the magnetic levitation member and which provides a levitation force to the conveyance tray,
/ RTI &gt;
The magnetic levitation member
A trailing edge portion provided in the moving direction of the conveyance tray and having a floating force cross sectional area in a direction crossing the moving direction,
The floating force cross-
Wherein the conveyance tray is movable along a moving direction of the conveyance tray,
The floating force cross-
Wherein the magnetic flux is formed at a maximum in the middle of the traveling direction and is gradually decreased to be formed at a minimum at both ends. 제1항에 있어서,
상기 자기부상 대응부재는
상기 부상 전자석을 향하는 방향에 상기 진행 방향을 따라 제1부상력을 형성하는 제1부상부, 및
상기 제1부상부의 양측에 상기 진행 방향을 따라 가변하는 제2부상력을 제공하는 제2부상부
를 포함하는 자기부상 이송 장치.The method according to claim 1,
The magnetic levitation member
A first floating portion that forms a first floating force along the traveling direction in a direction toward the floating electromagnet,
And a second floating portion provided on both sides of the first floating portion to provide a second floating force varying along the moving direction,
And the magnetic levitation conveying device. 제1항에 있어서,
상기 자기부상 대응부재는
상기 부상 전자석을 향하는 방향에 상기 진행 방향을 따라 형성되는 오목홈, 및
상기 오목홈의 양측에 상기 진행 방향을 따라 형성되는 자기부상 대응부
를 포함하는 자기부상 이송 장치.The method according to claim 1,
The magnetic levitation member
A concave groove formed along the traveling direction in a direction toward the floating electromagnet, and
And a magnetic levitation counterpart formed on both sides of the concave groove along the moving direction,
And the magnetic levitation conveying device. 제3항에 있어서,
상기 오목홈은
상하 방향으로 설정되는 깊이를 상기 진행 방향에서 동일하게 형성하며,
상기 상하 방향에 교차하는 수평 방향으로 설정되는 폭을 상기 진행 방향의 양단에서 최대로 형성되고 점진적으로 감소되어 중간에서 최소로 형성하는 자기부상 이송 장치.The method of claim 3,
The concave groove
The depth set in the vertical direction is formed to be the same in the traveling direction,
Wherein a width set in a horizontal direction intersecting with the up and down direction is formed at a maximum at both ends of the advancing direction and gradually decreases to form a middle to a minimum. 제3항에 있어서,
상기 자기부상 대응부는
상하 방향으로 설정되는 높이를 상기 진행 방향에서 동일하게 형성하며,
상기 상하 방향에 교차하는 수평 방향으로 설정되는 폭을 상기 진행 방향의 양단에서 최소로 형성하고 점진적으로 증대되어 중간에서 최대로 형성하는 자기부상 이송 장치.The method of claim 3,
The magnetic levitation counterpart
The height set in the vertical direction is formed to be the same in the traveling direction,
Wherein a width set in a horizontal direction intersecting in the up-and-down direction is minimized at both ends in the advancing direction and gradually increased to form a maximum in the middle. 제5항에 있어서,
상기 자기부상 대응부는
상기 수평 방향으로 상기 오목홈의 반대측에서 상기 진행 방향을 따라 직선으로 형성되는 자기부상 이송 장치.6. The method of claim 5,
The magnetic levitation counterpart
And is formed in a straight line along the traveling direction on the opposite side of the concave groove in the horizontal direction. 제6항에 있어서,
상기 자기부상 대응부는
상기 수평 방향으로 상기 오목홈의 반대측에서 상기 진행 방향을 따라 상기 오목홈의 반대측으로 볼록한 곡선으로 형성되는 자기부상 이송 장치.The method according to claim 6,
The magnetic levitation counterpart
And a convex curve formed on the opposite side of the concave groove in the horizontal direction along the advancing direction to the opposite side of the concave groove. 제3항에 있어서,
상기 오목홈은
상하 방향으로 설정되는 깊이를 상기 진행 방향의 양단에서 최소로 형성하고 점진적으로 증대되어 중간에서 최대로 형성하며,
상기 상하 방향에 교차하는 수평 방향으로 설정되는 폭을 상기 진행 방향에서 동일하게 형성하는 자기부상 이송 장치.The method of claim 3,
The concave groove
The depth set in the vertical direction is minimized at both ends of the advancing direction and is gradually increased to form the middle to the maximum,
And the widths set in the horizontal direction intersecting with the up and down directions are made equal in the moving direction. 제3항에 있어서,
상기 자기부상 대응부는
상하 방향에 교차하는 수평 방향으로 설정되는 폭을 상기 진행 방향에서 동일하게 형성하고,
상하 방향으로 설정되는 높이를 상기 진행 방향의 양단에서 최소로 형성하고 점진적으로 증대되어 중간에서 최대로 형성하는 자기부상 이송 장치.The method of claim 3,
The magnetic levitation counterpart
A width set in a horizontal direction intersecting with a vertical direction is formed to be the same in the traveling direction,
Wherein a height set in a vertical direction is minimized at both ends of the advancing direction and gradually increases to form a maximum in the middle. 제9항에 있어서,
상기 자기부상 대응부는
상기 부상 전자석의 반대측에서 상기 진행 방향을 따라 상기 부상 전자석으로부터 멀어지는 방향으로 볼록한 곡선으로 형성되는 자기부상 이송 장치.10. The method of claim 9,
The magnetic levitation counterpart
And a convex curve formed in a direction away from the floating electromagnet along the advancing direction on the opposite side of the floating electromagnet. 제1항에 있어서,
상기 이송 트레이는
사각 플레이트 모양으로 형성되어 수평 상태로 설치되며,
상기 자기부상 대응부재는
상기 이송 트레이의 상면에서 진행 방향에 교차하는 방향 양단에 쌍으로 배치되어 상기 진행 방향으로 벋어 설치되는 자기부상 이송 장치.The method according to claim 1,
The feed tray
And is formed in a square plate shape and installed in a horizontal state,
The magnetic levitation member
Wherein the pair of conveying trays are disposed in pairs in both ends of the conveying tray in a direction intersecting the advancing direction, and are installed in the advancing direction. 제1항에 있어서,
상기 이송 트레이는
사각 케이스 모양으로 형성되어 수직 상태로 설치되며,
상기 자기부상 대응부재는
상기 이송 트레이의 상면에서 상기 진행 방향으로 벋어 설치되는 자기부상 이송 장치.The method according to claim 1,
The feed tray
And is formed in a rectangular shape and installed in a vertical state,
The magnetic levitation member
And is installed in the advancing direction on the upper surface of the conveyance tray.
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