KR101991497B1 - Magnetic levitation transfer apparatus - Google Patents

Magnetic levitation transfer apparatus Download PDF

Info

Publication number
KR101991497B1
KR101991497B1 KR1020120061904A KR20120061904A KR101991497B1 KR 101991497 B1 KR101991497 B1 KR 101991497B1 KR 1020120061904 A KR1020120061904 A KR 1020120061904A KR 20120061904 A KR20120061904 A KR 20120061904A KR 101991497 B1 KR101991497 B1 KR 101991497B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
conveying
magnetic body
magnetic
chamber
floating
Prior art date
Application number
KR1020120061904A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20130138386A (en
Inventor
구교욱
구세훈
장윤옥
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020120061904A priority Critical patent/KR101991497B1/en
Publication of KR20130138386A publication Critical patent/KR20130138386A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101991497B1 publication Critical patent/KR101991497B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67709—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using magnetic elements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B60—VEHICLES IN GENERAL
    • B60L—PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; SUPPLYING ELECTRIC POWER FOR AUXILIARY EQUIPMENT OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRODYNAMIC BRAKE SYSTEMS FOR VEHICLES IN GENERAL; MAGNETIC SUSPENSION OR LEVITATION FOR VEHICLES; MONITORING OPERATING VARIABLES OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES; ELECTRIC SAFETY DEVICES FOR ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES
    • B60L13/00—Electric propulsion for monorail vehicles, suspension vehicles or rack railways; Magnetic suspension or levitation for vehicles
    • B60L13/10—Combination of electric propulsion and magnetic suspension or levitation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G54/00—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for
    • B65G54/02—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for electrostatic, electric, or magnetic
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16H—GEARING
    • F16H49/00—Other gearings
    • F16H49/005—Magnetic gearings with physical contact between gears

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Transportation (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Non-Mechanical Conveyors (AREA)
  • Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)

Abstract

자기 부상 이송 장치는 적어도 2개의 챔버가 연속적으로 배치되는 이송 경로를 따라 이송체를 이송하기 위한 자기 부상 이송 장치에 있어서, 상기 이송체의 이면에 구비되는 제1 부상용 자성체, 및 상기 제1 부상용 자성체와 자기적으로 작용하여 상기 이송체가 부상되도록 상기 이송체의 이면과 마주하도록 상기 챔버 내에 구비되는 제2 부상용 자성체를 포함하는 부상용 자성체;와 상기 부상용 자성체에 의해 자기 부상되는 상기 이송체에 이송 추진력을 부여하도록 구비되는 이송 추진부; 및 상기 이송체의 이면과 반대되는 상기 이송체의 일면에 구비되는 보상용 자성체, 및 상기 보상용 자성체와 자기적으로 작용하도록 상기 보상용 자성체와 마주하도록 상기 챔버와 챔버 사이의 구간에 구비되는 구간용 자성체를 포함할 수 있다.A magnetic levitation conveying apparatus is a magnetic levitation conveying apparatus for conveying a conveying member along a conveying path in which at least two chambers are continuously arranged, the apparatus comprising: a first floating magnetic member provided on a rear surface of the conveying member; A floating magnetic body including a second floating magnetic body provided in the chamber so as to face the rear surface of the transfer body so as to magnetically act on the magnetic body to float the transfer body; A conveying pushing unit provided to impart a conveying propulsion force to the sieve; And a compensating magnetic body provided on one side of the conveying body opposite to the back side of the conveying member and a section provided in a section between the chamber and the chamber so as to face the compensating magnetic body so as to act magnetically with the compensating magnetic body Magnetic material.

Description

자기 부상 이송 장치{Magnetic levitation transfer apparatus}[0001] Magnetic levitation transfer apparatus [0002]

본 발명은 자기 부상 이송 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 적어도 2개의 챔버가 연속적으로 배치되는 이송 경로를 따라 이송체를 이송하기 위한 자기 부상 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a magnetic levitation conveying apparatus, and more particularly to a levitation conveying apparatus for conveying a conveying member along a conveying path in which at least two chambers are successively arranged.

자기 부상 이송 장치는 이송체를 자기력으로 비접촉 지지하여 이송하는 것으로써, 진공 챔버 등에 구비될 경우 이송체를 자기력을 부상시키기 위한 부상용 자성체가 설치될 수 없는 구간이 있다. 즉, 연속적으로 구비되는 챔버와 챔버 사이에는 게이트 밸브 등과 같은 부재가 구비되기 때문에 언급한 부상용 자성체가 설치될 수 없는 것이다.The magnetic levitation conveying device transports the conveying member in a noncontact manner by magnetic force, and there is a section in which a floating magnetic body for raising the magnetic force of the conveying member can not be installed when the conveying member is provided in a vacuum chamber or the like. That is, since a member such as a gate valve is provided between the chamber and the chamber continuously provided, the above-mentioned floating magnetic body can not be installed.

이에, 연속적으로 구비되는 챔버와 챔버 사이를 지나는 이송체는 부상되는 높이가 낮아지거나 또는 요동치는 상황이 발생할 수도 있고, 그 결과 기판과 기판을 파지하는 척 등으로 이루어지는 이송체에서 기판과 척 사이의 정렬 등이 틀어지는 원인으로 작용한다. 또한, 언급한 이송체가 부상되는 높이가 약 3 내지 5mm이기에 하드웨어적으로 접촉이 발생할 수도 있다.Therefore, the height of the conveying body passing between the chamber and the chamber continuously provided may be lowered or oscillated, and as a result, there is a possibility that the substrate and the chuck between the substrate and the chuck This causes misalignment and the like. In addition, since the height of the above-mentioned transfer body is about 3 to 5 mm, the contact may occur in hardware.

본 발명의 목적은 부상용 자성체가 설치될 수 없는 연속적으로 배치되는 챔버와 챔버 사이의 구간에서도 보다 안정적인 이송이 가능한 자기 부상 이송 장치를 제공하는데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a magnetic levitation transfer apparatus capable of more stable transfer even in a section between a continuously disposed chamber and a chamber in which a floating magnetic body can not be installed.

언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치는 적어도 2개의 챔버가 연속적으로 배치되는 이송 경로를 따라 이송체를 이송하기 위한 자기 부상 이송 장치에 있어서, 상기 이송체의 이면에 구비되는 제1 부상용 자성체, 및 상기 제1 부상용 자성체와 자기적으로 작용하여 상기 이송체가 부상되도록 상기 이송체의 이면과 마주하도록 상기 챔버 내에 구비되는 제2 부상용 자성체를 포함하는 부상용 자성체;와 상기 부상용 자성체에 의해 자기 부상되는 상기 이송체에 이송 추진력을 부여하도록 구비되는 이송 추진부; 및 상기 이송체의 이면과 반대되는 상기 이송체의 일면에 구비되는 보상용 자성체, 및 상기 보상용 자성체와 자기적으로 작용하도록 상기 보상용 자성체와 마주하도록 상기 챔버와 챔버 사이의 구간에 구비되는 구간용 자성체를 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a magnetic levitation conveying apparatus for conveying a conveying body along a conveying path in which at least two chambers are continuously arranged, the apparatus comprising: And a second floating magnetic body provided in the chamber so as to face the back surface of the conveying body so as to be magnetically acting on the first floating magnetic body so that the conveying body floats, A transferring unit configured to transfer a transferring force to the transfer member magnetically levitated by the floating magnetic member; And a compensating magnetic body provided on one side of the conveying body opposite to the back side of the conveying member and a section provided in a section between the chamber and the chamber so as to face the compensating magnetic body so as to act magnetically with the compensating magnetic body Magnetic material.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치에서, 상기 구간용 자성체는 상기 보상용 자성체와 자기적으로 작용할 때 자기력의 세기를 조정할 수 있도록 상기 이송체의 움직임을 센싱하는 센서, 및 상기 자기력의 세기가 조정 가능한 전자석을 구비할 수 있다.In the magnetic levitation transfer apparatus according to an embodiment of the present invention, the section magnetic body includes a sensor for sensing the movement of the transfer body so as to adjust the intensity of the magnetic force when magnetically acting on the compensation magnetic body, And an electromagnet capable of adjusting the intensity of the magnetic force.

본 발명에 따른 자기 이송 부상 장치는 연속적으로 배치되는 챔버와 챔버 사이에 구간용 자성체를 구비시킴으로써 부상용 자성체가 설치되지 않음에도 불구하고 이송체가 부상되는 높이를 일정하게 유지시킬 수 있다.The magnetic transfer flotation apparatus according to the present invention can maintain the height at which the transfer body floats even though the floating magnetic body is not provided by providing the magnetic body for section between the chamber and the chamber continuously disposed.

이에, 이송체의 높이가 낮아지거나 요동치는 상황을 사전에 충분하게 방지함으로써 이송체의 기판과 척 사이에서 언급한 요동 등으로 인하여 발생하는 오정렬을 사전에 방지할 수 있다. 또한, 언급한 바와 같이 부상용 자성체가 설치되지 않음에도 불구하고 이송체가 부상되는 높이를 일정하게 유지시킬 수 있기 때문에 하드웨어적으로 접촉되는 상황도 사전에 방지할 수 있다.Therefore, it is possible to prevent the misalignment caused by the shaking motion mentioned above between the substrate and the chuck of the transferring body in advance by sufficiently preventing the height of the transferring member from being lowered or oscillating. In addition, as mentioned above, even though the floating magnetic body is not installed, since the lifted height of the conveying body can be kept constant, it is possible to prevent the situation of the hardware contact in advance.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 연속적으로 배치되는 챔버와 챔버 사이에서의 자기 부상 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic block diagram showing a magnetic levitation conveying apparatus according to an embodiment of the present invention; FIG.
FIG. 2 is a schematic configuration diagram showing a magnetic levitation conveying apparatus between a continuously disposed chamber and a chamber according to an embodiment of the present invention. FIG.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.While the present invention has been described in connection with certain exemplary embodiments, it is obvious to those skilled in the art that various changes and modifications may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention. It is to be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but on the contrary, is intended to cover all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, the term "comprises" or "comprising ", etc. is intended to specify that there is a stated feature, figure, step, operation, component, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

실시예Example

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 연속적으로 배치되는 챔버와 챔버 사이에서의 자기 부상 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.FIG. 1 is a schematic structural view showing a magnetic levitation conveying apparatus according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a view showing a magnetic levitation conveying apparatus between a continuously disposed chamber and a chamber according to an embodiment of the present invention. Fig.

도 1 및 도 2를 참조하면, 챔버(10)가 구비된다. 특히, 본 발명에서는 연속적으로 배치되는 적어도 2개의 챔버(10)가 구비될 수 있다. 도시되지 않았지만, 언급한 챔버(10)는 전면과 후면 각각에 반도체 집적회로 소자의 제조 등에 사용되는 기판 등을 이송하는 이송체(11)의 반입 및 반출이 이루어지는 반입구 및 반출구를 구비하고, 아울러 반입구 및 반출구 사이에 이송 경로를 구비할 수 있다. 또한, 언급한 챔버(10)의 반입구 및 반출구 각각은 게이트 밸브 등에 의해 개방 및 폐쇄되는 구조를 가질 수 있다.Referring to Figures 1 and 2, a chamber 10 is provided. Particularly, in the present invention, at least two chambers 10 arranged continuously may be provided. Although not shown, the above-mentioned chamber 10 has an inlet and an outlet for carrying in and out the conveying member 11 for conveying a substrate or the like used for manufacturing semiconductor integrated circuit devices or the like on the front surface and the rear surface, respectively, In addition, a conveyance path may be provided between the inlet and outlet. In addition, each of the inlet and outlet ports of the chamber 10 may have a structure that is opened and closed by a gate valve or the like.

본 발명의 자기 부상 이송 장치(200) 중 부상용 자성체는 챔버(10) 내부에 구비되는 것으로써, 이송체(11)를 비접촉 지지하여 자기 부상시키도록 제1 부상용 자성체(21) 및 제2 부상용 자성체(23)를 구비한다. 특히, 제2 부상용 자성체(23)는 언급한 챔버(10) 내부에 이송 경로를 따라 배치되도록 구비될 수 있고, 제1 부상용 자성체(21)는 제2 부상용 자성체(23)와 대응되도록 이송체(11)에 구비될 수 있다. 이에, 본 발명에서는 언급한 제2 부상용 자성체(23)를 챔버(10)의 이송 경로에 따른 챔버(10) 저면 쪽에 배치되도록 구비시킬 수 있고, 제1 부상용 자성체(21)는 제2 부상용 자성체(23)가 구비되는 챔버(10)의 저면을 바라보는 이송체(11)에 배치되도록 구비시킬 수 있다. 다시 말해, 제2 부상용 자성체(23)는 언급한 이송 경로에 따라 이송체(11)의 아래쪽에 배치되도록 구비되고, 제1 부상용 자성체(21)는 제2 부상용 자성체(23)와 마주하는 이송체(11)의 이면에 배치되도록 구비되는 것이다. 따라서 언급한 자기 부상 이송 장치(200)는 제1 부상용 자성체(21) 및 제2 부상용 자성체(23) 사이에서의 자기적 작용에 의해 챔버(10)의 이송 경로에서 자기적으로 부상할 수 있다. 또한, 언급한 제1 부상용 자성체(21) 및 제2 부상용 자성체(23) 각각은 영구 자석 등으로 구비될 수 있다. 아울러, 언급한 제1 부상용 자성체(21) 및 제2 부상용 자성체(23)는 이송체(11)를 기준으로 이송체(11) 양측 단부 이면에서 이송체(11)를 부상시킬 수 있도록 이송체(11) 양측 단부 모두에 구비될 수 있다.The floating magnetic body of the magnetic levitation conveying apparatus 200 of the present invention is provided inside the chamber 10 so that the first floating magnetic body 21 and the second floating magnetic body 21 are provided so as not to contact and support the transfer body 11, And a floating magnetic body (23). Particularly, the second floating magnetic body 23 can be arranged to be disposed along the transfer path inside the chamber 10, and the first floating magnetic body 21 can be arranged to correspond to the second floating magnetic body 23 And can be provided on the conveying member 11. Thus, the second floating type magnetic body 23 according to the present invention can be disposed on the bottom side of the chamber 10 along the transfer path of the chamber 10, and the first floating type magnetic body 21 can be provided on the second floating type And the bottom surface of the chamber 10 in which the magnetic substance body 23 is provided can be disposed on the conveying body 11 facing the body. That is, the second floating type magnetic body 23 is provided so as to be disposed below the conveying body 11 in accordance with the aforementioned conveying path, and the first floating type magnetic body 21 is provided so as to face the second floating type magnetic body 23, And is disposed on the rear surface of the conveying member 11. The magnetic levitation conveying apparatus 200 mentioned above can be magnetically levitated in the conveying path of the chamber 10 by the magnetic action between the first floating magnetic body 21 and the second floating magnetic body 23 have. Each of the first floating body 21 and the second floating body 23 mentioned above may be provided with a permanent magnet or the like. The first floating type magnetic body 21 and the second floating type magnetic body 23 mentioned above are conveyed so as to lift the conveying body 11 from the opposite sides of both ends of the conveying body 11 on the basis of the conveying body 11 It may be provided on both ends of the body 11.

본 발명의 자기 부상 이송 장치(200)는 자기 부상으로 비접촉 지지되는 이송체(11)에 이송 추진력을 부여하기 위한 이송 추진부를 구비할 수 있다. 특히, 본 발명에서의 이송 추진부는 별도의 동력 변환 장치를 필요로 하지 않고 직접 직선 동력을 발생할 수 있는 선형 동기 추진 방식의 선형 동기 전동기(LSM : liner synchronius motor) 등을 포함할 수 있다. 이에, 언급한 이송 추진부는 고정자(27) 및 이동자(25)를 구비할 수 있다. 특히, 본 발명에서의 이동자(25)는 이송체(11)에 구비될 수 있고, 고정자(27)는 이동자(25)와 마주보게 구비될 수 있다. 이에, 이동자(25)는 이송체(11)의 상측 일면에 구비될 수 있고, 고정자(27)는 이송체(11)의 상측 일면과 마주하는 챔버(10)의 외벽에 구비될 수 있다. 여기서, 본 발명에서는 고정자(27)를 챔버(10)의 외벽에 구비되는 것으로 설명하고 있지만, 이와 달리 고정자(27)를 이동자(25)와 마주하도록 구비할 경우에는 챔버(10)의 내벽에도 구비시킬 수 있다.The magnetic levitation conveying apparatus 200 of the present invention may be provided with a conveying propelling unit for imparting a conveying propulsion force to the conveying body 11 which is held in a non-contact manner on the magnetic levitation. In particular, the transferring propulsion unit of the present invention may include a linear synchronous propulsion type linear synchronous motor (LSM) or the like, which can directly generate linear power without requiring a separate power conversion device. The conveyance pushing unit mentioned above may include the stator 27 and the mover 25. Particularly, the mover 25 in the present invention can be provided in the conveying member 11, and the stator 27 can be provided to face the mover 25. The stator 27 may be provided on the outer wall of the chamber 10 facing the upper surface of the conveying body 11. The movable member 25 may be provided on the upper surface of the conveying member 11, In the present invention, the stator 27 is provided on the outer wall of the chamber 10. Alternatively, if the stator 27 is provided so as to face the mover 25, .

언급한 이송 추진부에서, 고정자(27)의 경우에는 1차 코일부로 마련할 수 있고, 이동자(25)의 경우에는 2차 도체부로 마련할 수 있다. 이에, 고정자(27)인 1차 코일부가 직선적으로 평행 이동하는 이동 자계를 형성하도록 결선됨에 의해, 언급한 이동 자계와 쇄교하도록 놓이는 이동자(25)인 2차 도체부에는 그 표면을 따라 소용돌이치는 와전류가 유기될 수 있다. 그리고 언급한 와전류가 유기됨에 의해 고정자(27)인 1차 코일부에 이동 자계와 이동자(25)인 2차 도체부의 와전류 상호 간에 플레밍을 왼손 법칙에 따른 전자기적 직선 추진력이 발생하고, 언급한 직선 추진력이 고정자(27)인 1차 코일부와 이동자(25)인 2차 도체부를 상대적으로 이동시키는 작용을 함에 따라 고정자(27)인 1차 코일부에 대하여 이동자(25)인 2차 도체부가 구비되는 이송체(11)가 직선 이동을 할 수 있는 것이다.In the above-mentioned conveyance propulsion unit, the stator 27 may be provided as a primary coil portion, and in the case of the mover 25, a secondary conductor portion may be provided. Thus, the primary coil portion, which is the stator 27, is connected so as to form a moving magnetic field that linearly moves in parallel. Thus, the secondary conductor portion, which is the mover 25 to be bridged with the moving magnetic field, Can be induced. Due to the induced eddy currents, electromag- netic linear propulsion is generated between the moving magnetic field and the eddy currents of the secondary conductor portion, which is the mover (25), according to the left-hand rule in the primary coil portion as the stator 27, The driving force acts to relatively move the primary coil part of the stator 27 and the secondary conductor part of the mover 25 so that the secondary conductor part which is the mover 25 with respect to the primary coil part of the stator 27 The conveying member 11 can be linearly moved.

도시하지 않았지만, 본 발명의 자기 부상 이송 장치(200)는 언급한 이송체(11)의 이송이 이루어질 때 이송 경로 사이에서의 간격을 일정하게 유지함과 아울러 언급한 부상용 자성체 및 이송 추진부에 의한 이송체(11)의 이송을 방해하는 힘을 상쇄시키도록 가이드 자성체를 더 구비할 수 있다. 언급한 가이드 자성체는 제1 가이드 자성체 및 제2 가이드 자성체를 구비할 수 있는 것으로써, 제1 가이드 자성체는 이송체(11)의 상측 단부에 구비되고, 제2 가이드 자성체는 제1 가이드 자성체와 대응되도록 챔버(10) 측벽에 구비될 수 있다. 즉, 제2 가이드 자성체는 제1 가이드 자성체와 마주하게 대응되도록 챔버(10) 측벽으로부터 제1 가이드 자성체를 향하게 구비될 수 있는 것이다. 또한, 언급한 제1 가이드 자성체 및 제2 가이드 자성체를 포함하는 가이드 자성체는 이송체(11)를 기준으로 이송체(11) 상측 단부 어느 한 곳에만 구비되는 것이 아니라 이송체(11) 상측 단부 양쪽 모두에 구비될 수 있다. 특히, 제1 가이드 자성체 및 제2 가이드 자성체 각각은 경사진 방향으로 서로 대응되도록 평형을 이루게 구비할 수 있다. 이에, 본 발명에서는 제1 가이드 자성체 및 제2 가이드 자성체 각각을 대각선 방향으로 서로 평형을 이루도록 구비할 수 있다. 따라서 언급한 바와 같이 제1 가이드 자성체 및 제2 가이드 자성체를 구비함으로써 이송체(11)가 이송될 때 경사, 특히 대각선 방향으로 힘을 분사시킬 수 있기 때문에 이송 경로 사이에서의 간격을 일정하게 유지할 수 있을 뿐만 아니라 부상용 자성체 및 이송 추진부에 의한 이송체(11)의 이송을 방해하는 힘을 분산시켜 상쇄시킬 수 있는 것이다. 즉, 제1 가이드 자성체 및 제2 가이드 자성체를 포함하는 가이드 자성체를 구비함으로써 부상용 자성체에 의한 부상력과 이송 추진부에 의한 횡력 등을 동시에 상쇄시킬 수 있는 것이다. 그리고 언급한 제1 가이드 자성체 및 제2 가이드 자성체 각각은 영구 자석 등으로 구비될 수 있다.Although not shown, the magnetic levitation conveying apparatus 200 of the present invention maintains a constant distance between the conveying paths when the conveying body 11 mentioned above is conveyed, and at the same time, by the above- It is possible to further provide a guide magnetic body so as to cancel the force which impedes the conveyance of the conveying member 11. [ The above-mentioned guide magnetic body may include a first guide magnetic body and a second guide magnetic body. The first guide magnetic body is provided at the upper end of the transfer body 11, and the second guide magnetic body corresponds to the first guide magnetic body And may be provided on the side wall of the chamber 10 as much as possible. That is, the second guide magnetic body may be provided so as to face the first guide magnetic body from the side wall of the chamber 10 so as to face the first guide magnetic body. The guide magnetic body including the first guide magnetic body and the second guide magnetic body mentioned above is not provided at any position on the upper side of the conveying body 11 on the basis of the conveying body 11 but is formed on both sides of the upper side of the conveying body 11 As shown in FIG. In particular, each of the first guide magnetic body and the second guide magnetic body may be equilibrated so as to correspond to each other in an inclined direction. Accordingly, in the present invention, each of the first guide magnetic body and the second guide magnetic body may be provided so as to be in equilibrium in the diagonal direction. As described above, since the first guide magnetic body and the second guide magnetic body are provided, it is possible to inject the force in a tilted direction, particularly in the diagonal direction when the conveying body 11 is conveyed, But also the force which disturbs the conveying body 11 from being conveyed by the floating magnetic body and the conveying pushing portion can be dispersed and canceled. That is, by including the guide magnetic body including the first guide magnetic body and the second guide magnetic body, the levitation force by the floating magnetic body and the lateral force by the transferring propulsion unit can be canceled at the same time. Each of the first guide magnetic body and the second guide magnetic body may be provided with a permanent magnet or the like.

본 발명의 자기 부상 이송 장치(200)는 언급한 부상용 자성체, 이송 추진부, 가이드 자성체 등을 구비함으로써 이송체(11)를 비접촉 지지하여 챔버(10) 내의 이송 경로를 따라 이송할 수 있다.The magnetic levitation conveying apparatus 200 of the present invention can transfer the conveying member 11 along the conveying path in the chamber 10 without contacting the conveying member 11 by having the floating magnetic member, the conveying pushing member, the guide magnetic member and the like.

그러나 도 2에 도시된 바와 같이 챔버(10)와 챔버(10) 사이(10a)에서는 부상용 자성체, 특히 제2 부상용 자성체(23)가 구비되지 않기 때문에 언급한 이송체(11)가 이송 경로를 따라 이송될 때 부상되는 높이가 낮아지거나 또는 요동치는 상황이 발생할 수도 있다. 이에, 본 발명에서의 자기 부상 이송 장치(200)는 챔버(10)와 챔버(10) 사이(10a)를 이송체(11)가 이송 경로를 따라 이송될 때 부상되는 높이가 낮아지거나 또는 요동치는 상황을 방지하도록 보상용 자성체(31) 및 구간용 자성체(33, 35)를 구비할 수 있다. 즉, 본 발명에서의 자기 부상 이송 장치(200)는 적어도 2개의 챔버(10)가 연속적으로 배치되는 이송 경로를 따라 이송체(11)가 이송될 때 적어도 2개의 챔버(10)와 챔버(10) 사이(10a)에서 자기적으로 작용할 수 있도록 보상용 자성체(31) 및 구간용 자성체(33, 35)를 구비하는 것이다.
다시 말해, 본 발명의 자기 부상 이송 장치(200)는 적어도 2개의 챔버가 연속적으로 배치될 때 챔버(10)와 챔버(10)가 마주하는 사이(10a)에 배치되는 이송 공간으로 이루어지는 챔버 사이부에 보상용 자성체(31) 및 구간용 자성체(33, 35)가 구비될 수 있는 것이다.However, as shown in FIG. 2, since the floating magnetic body, particularly the second floating magnetic body 23, is not provided between the chamber 10 and the chamber 10, There may be a situation in which the floating height is lowered or oscillation occurs. Accordingly, the magnetic levitation conveying apparatus 200 according to the present invention is configured such that the height between the chamber 10 and the chamber 10 is raised or lowered when the conveying body 11 is conveyed along the conveying path, The compensating magnetic body 31 and the segment magnetic bodies 33 and 35 may be provided to prevent the situation. That is, the magnetic levitation conveying apparatus 200 according to the present invention includes at least two chambers 10 and a chamber 10 (not shown) when the conveying body 11 is conveyed along a conveyance path in which at least two chambers 10 are continuously disposed. (31) and magnetic members (33, 35) for intermittent magnetization so that they can act magnetically in the space (10a) between them.
In other words, the magnetic levitation conveying apparatus 200 of the present invention has a chamber-to-chamber portion 10 comprising a transferring space disposed between the chamber 10 and the chamber 10 (10a) when at least two chambers are continuously arranged, The compensating magnetic body 31 and the segment magnetic bodies 33 and 35 may be provided.

언급한 보상용 자성체(31)는 이송체(11)의 일면에 구비될 수 있다. 즉, 보상용 자성체(31)는 제1 부상용 자성체(21)가 구비되는 이송체(11)의 이면과 반대되는 이송체(11)의 일면에 구비될 수 있는 것이다. 그리고 언급한 구간용 자성체(33, 35)는 보상용 자성체(31)와 자기적으로 작용하도록 보상용 자성체(31)와 마주하게 구비될 수 있다. 특히, 언급한 구간용 자성체(33, 35)는 챔버(10)와 챔버(10) 사이(10a)의 구간에 구비될 수 있다. 다시 말해, 구간용 자성체(33, 35)는 제2 부상용 자성체(23)가 구비되지 못하는 구간인 챔버(10)와 챔버(10) 사이(10a)의 구간에서 보상용 자성체(31)와 자기적으로 작용하도록 구비되는 것이다.Mentioned compensating magnetic body 31 may be provided on one side of the conveying member 11. [ That is, the compensating magnetic body 31 may be provided on one surface of the conveying member 11 opposite to the back surface of the conveying member 11 provided with the first floating magnetic member 21. The aforementioned section magnetic bodies 33 and 35 may be provided so as to face the compensating magnetic body 31 so as to act magnetically with the compensating magnetic body 31. [ Particularly, the above-mentioned section magnetic bodies 33 and 35 may be provided in a section between the chamber 10 and the chamber 10 (10a). In other words, the section magnetic bodies 33 and 35 are provided between the compensating magnetic body 31 and the magnetic body 10 in the section between the chamber 10 and the chamber 10, in which the second floating magnetic body 23 is not provided, As shown in FIG.

이에, 본 발명의 자기 부상 이송 장치(200)는 언급한 보상용 자성체(31)와 구간용 자성체(33, 35)를 구비함으로써 이송체(11)가 챔버(10)와 챔버(10) 사이(10a)를 지날 때 보상용 자성체(31)와 구간용 자성체(33, 35) 사이에서 발생하는 자기적 작용에 의해 이송체(11)가 부상되는 높이가 낮아지거나 또는 요동치는 상황을 방지할 수 있다.Thus, the magnetic levitation conveying apparatus 200 of the present invention is provided with the compensating magnetic body 31 and the section magnetic bodies 33 and 35 so that the conveying body 11 is sandwiched between the chamber 10 and the chamber 10 It is possible to prevent a situation in which the height at which the conveying member 11 is lifted by the magnetic action generated between the compensating magnetic body 31 and the section magnetic members 33 and 35 is lowered or oscillated .

그리고 언급한 구간용 자성체(33, 35)의 경우에는 센서(33) 및 전자석(35)을 구비할 수 있다. 즉, 구간용 자성체(33, 35)는 이송체(11)의 움직임을 센싱하는 센서(33) 및 자기력의 세기가 조정 가능한 전자석(35)을 구비할 수 있는 것이다. 이에, 언급한 센서(33) 및 전자석(35)을 구비하는 구간용 자성체(33, 35)는 보상용 자성체(31)와 자기적으로 작용할 때 자력의 세기를 조정할 수 있다. 다시 말해, 언급한 센서(33)를 사용하여 이송체(11)의 움직임을 센싱하고, 그리고 센서(33)의 센싱 신호에 의해 전자석(35)에 원하는 세기의 자력이 형성되도록 전원을 공급함으로써 보상용 자성체(31)와 자기적으로 작용할 때 자력의 세기를 조정할 수 있는 것이다.In the case of the above-mentioned section magnetic bodies 33 and 35, the sensor 33 and the electromagnet 35 may be provided. That is, the section magnetic bodies 33 and 35 may include a sensor 33 for sensing the movement of the conveying member 11 and an electromagnet 35 for adjusting the intensity of the magnetic force. Thus, the magnetic elements 33 and 35 for sections provided with the sensor 33 and the electromagnet 35 can adjust the intensity of the magnetic force when they act magnetically with the compensating magnetic body 31. [ In other words, the movement of the conveying member 11 is sensed using the sensor 33 mentioned above, and power is supplied to the electromagnet 35 by a sensing signal of the sensor 33 so that a magnetic force of a desired strength is formed, It is possible to adjust the intensity of the magnetic force when magnetically acting with the magnet body 31.

또한, 도시하지 않았지만 언급한 구간용 자성체(33, 35)는 전자석(35)에 자력이 형성되도록 전원을 공급하는 전원 공급부를 더 구비할 수 있다. 아울러, 센서(33)로부터 입력되는 센싱 신호에 의해 언급한 전원 공급부를 제어할 수 있는 제어부도 더 구비할 수 있다.In addition, although not shown, the section magnetic bodies 33 and 35 may further include a power supply unit for supplying power to the electromagnet 35 so as to generate magnetic force. The controller 33 may further include a controller for controlling the power supply unit according to a sensing signal input from the sensor 33.

이와 같이, 본 발명에서의 자기 부상 이송 장치(200)는 언급한 보상용 자성체(31) 및 구간용 자성체(33, 35)를 구비함으로써 챔버(10)와 챔버(10) 사이(10a)에서의 이송체(11)의 부상 높이 변화, 요동 등을 방지할 수 있는 것이다.As described above, the magnetic levitation conveying apparatus 200 according to the present invention includes the compensating magnetic body 31 and the section magnetic bodies 33 and 35, It is possible to prevent a change in the flying height of the conveying member 11, fluctuation, and the like.

이에, 본 발명의 자기 부상 이송 장치를 사용할 경우 이송체의 높이가 낮아지거나 요동치는 상황을 사전에 충분하게 방지함으로써 자기 부상 이송 장치를 사용하는 제조 현장에서 발생할 수 있는 오정렬, 접촉 사고 등을 사전에 방지할 수 있다. 따라서 본 발명의 자기 부상 이송 장치를 반도체 집적회로 소자의 제조 등에 적용할 경우 제조에 따른 신뢰성을 충분히 확보할 수 있다.Therefore, when the magnetic levitation conveying apparatus of the present invention is used, it is possible to sufficiently prevent a situation in which the height of the conveying member is lowered or fluctuating beforehand, so that misalignment and contact accidents that may occur at the manufacturing site using the magnetic levitation conveying apparatus . Therefore, when the magnetic levitation conveying apparatus of the present invention is applied to the manufacture of a semiconductor integrated circuit device or the like, reliability according to manufacture can be sufficiently secured.

10 : 챔버 11 : 이송체
21 : 제1 부상용 자성체 23 : 제2 부상용 자성체
25 : 이동자 27 : 고정자
31 : 보상용 자성체 33 : 센서
35 : 전자석 200 : 자기 부상 이송 장치10: chamber 11:
21: first float magnetic body 23: second float magnetic body
25: mover 27: stator
31: compensating magnetic body 33: sensor
35: electromagnet 200: magnetic levitation conveying device

Claims (7)

적어도 2개의 챔버가 연속적으로 배치되는 이송 경로를 따라 이송체를 이송하기 위한 자기 부상 이송 장치에 있어서,
상기 적어도 2개의 챔버가 연속적으로 배치될 때 상기 챔버와 챔버가 마주하는 사이에 배치되는 이송 공간으로 이루어지는 챔버 사이부;
상기 챔버 내에서 상기 이송체의 이송이 이루어지도록 상기 이송체의 이면에 구비되는 제1 부상용 자성체, 및 상기 제1 부상용 자성체와 자기적으로 작용하여 상기 이송체가 부상되도록 상기 이송체의 이면과 마주하도록 상기 챔버 내에만 구비되는 제2 부상용 자성체를 포함하는 부상용 자성체;
상기 부상용 자성체에 의해 자기 부상되는 상기 이송체에 이송 추진력을 부여하도록 구비되는 이송 추진부; 및
상기 이송체의 이면과 반대되는 상기 이송체의 일면에 구비되는 보상용 자성체, 및 상기 보상용 자성체와 자기적으로 작용하도록 상기 보상용 자성체와 마주하도록 상기 챔버와 챔버 사이의 이송 공간으로 이루어지는 챔버 사이부에만 구비되는 구간용 자성체를 포함하는 자기 부상 이송 장치.1. A magnetic levitation conveying apparatus for conveying a conveying member along a conveying path in which at least two chambers are successively arranged,
A chamber interposed between the chambers and a transfer space disposed between the chamber and the chambers when the at least two chambers are continuously disposed;
A first floating magnetic body provided on a rear surface of the conveying member so that the conveying member is conveyed in the chamber, and a second floating magnetic body provided on the back surface of the conveying member so as to be magnetically acting on the conveying member, A floating magnetic body including a second floating magnetic body provided only in the chamber so as to face the first floating magnetic body;
A transfer propulsion unit for imparting a transfer propulsion force to the transfer body magnetically levitated by the floating magnetic body; And
A compensating magnetic body provided on one surface of the conveying body opposite to the back surface of the conveying member and a chamber constituted of a conveying space between the chamber and the chamber so as to face the compensating magnetic body magnetically acting on the compensating magnetic body Wherein the first magnetic body is provided only on the second magnetic body. 제1 항에 있어서, 상기 구간용 자성체는 상기 보상용 자성체와 자기적으로 작용할 때 자기력의 세기를 조정할 수 있도록 상기 이송체의 움직임을 센싱하는 센서, 및 상기 자기력의 세기가 조정 가능한 전자석을 구비하는 것을 특징으로 하는 자기 부상 이송 장치.[2] The apparatus according to claim 1, wherein the section magnetic body includes a sensor for sensing movement of the conveying member so as to adjust the intensity of the magnetic force when magnetically acting on the compensating magnetic body, and an electromagnet capable of adjusting the intensity of the magnetic force And the magnetic levitation conveying device. 제1 항에 있어서, 상기 이송 추진부는 상기 이송체의 상측 일면에 구비되는 이동자, 및 상기 이동자와 마주하도록 상기 챔버의 외벽 또는 내벽에 구비되는 고정자를 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 부상 이송 장치.The apparatus according to claim 1, wherein the transferring unit includes a mover provided on an upper surface of the conveying member, and a stator provided on an outer wall or an inner wall of the chamber to face the mover. 제3 항에 있어서, 상기 고정자는 코일부로 이루어지고, 상기 이동자는 도체부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 자기 부상 이송 장치.4. The magnetic levitation conveying device according to claim 3, wherein the stator is made of a coil part, and the mover is made of a conductor part. 제1 항에 있어서, 상기 부상용 자성체 및 상기 이송 추진부에 의해 생성되어 상기 이송체의 이송을 방해하는 힘을 상쇄하여 상기 이송체가 이송 경로를 따라 이송되도록 상기 이송체의 상측 단부에 구비되는 제1 가이드 자성체 및 상기 제1 가이드 자성체와 마주하도록 상기 챔버의 측벽에 구비되는 제2 가이드 자성체를 구비하는 가이드 자성체를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 부상 이송 장치.2. The apparatus according to claim 1, further comprising: a magnetic member provided at an upper end of the conveying member to convey the conveying member along the conveying path by canceling a force generated by the floating magnetic member and the conveying member, 1 guide magnetic body and a second guide magnetic body provided on a side wall of the chamber so as to face the first guide magnetic body. 제5 항에 있어서, 상기 제1 가이드 자성체 및 상기 제2 가이드 자성체 각각은 경사진 방향으로 서로 대응되도록 평형을 이루게 구비되는 것을 특징으로 하는 자기 부상 이송 장치.The magnetic levitation conveying device according to claim 5, wherein each of the first guide magnetic body and the second guide magnetic body is formed to be in equilibrium so as to correspond to each other in an inclined direction. 제2 항에 있어서, 상기 전자석에 자력이 형성되도록 전원을 공급하는 전원 공급부, 및 상기 센서로부터 입력되는 센싱 신호에 의해 상기 전원 공급부를 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기 부상 이송 장치.The magnetic levitation conveying apparatus according to claim 2, further comprising: a power supply for supplying power to the electromagnet to generate a magnetic force; and a controller for controlling the power supply by a sensing signal input from the sensor.
KR1020120061904A 2012-06-11 2012-06-11 Magnetic levitation transfer apparatus KR101991497B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120061904A KR101991497B1 (en) 2012-06-11 2012-06-11 Magnetic levitation transfer apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120061904A KR101991497B1 (en) 2012-06-11 2012-06-11 Magnetic levitation transfer apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20130138386A KR20130138386A (en) 2013-12-19
KR101991497B1 true KR101991497B1 (en) 2019-06-21

Family

ID=49984091

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120061904A KR101991497B1 (en) 2012-06-11 2012-06-11 Magnetic levitation transfer apparatus

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101991497B1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102176246B1 (en) * 2014-02-19 2020-11-10 삼성디스플레이 주식회사 Deposition system
JP6863788B2 (en) * 2017-03-21 2021-04-21 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス Filter coupling device and substrate processing device equipped with this

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100675559B1 (en) * 2005-10-19 2007-02-02 세메스 주식회사 Magnetic levitation transfer apparatus

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0797049A (en) * 1993-09-30 1995-04-11 Ebara Corp Carrying device
KR101386685B1 (en) * 2012-04-20 2014-04-24 세메스 주식회사 Apparatus for processing substrate

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100675559B1 (en) * 2005-10-19 2007-02-02 세메스 주식회사 Magnetic levitation transfer apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
KR20130138386A (en) 2013-12-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100560463C (en) Magnet unit and elevator guiding apparatus
KR101531656B1 (en) Magnetically levitated transportation apparatus
KR100699271B1 (en) Transporting appratus
JP2019205342A (en) Device for holding, positioning and moving object
CN109392303B (en) Closing device, vacuum system with closing device and method for operating closing device
KR20140024818A (en) Conveying system
KR20110049936A (en) Magnetically levitated transportation system
KR101991497B1 (en) Magnetic levitation transfer apparatus
KR101939352B1 (en) Magnetic levitation transfer apparatus
KR102005275B1 (en) Magnetic levitation transfer apparatus
KR960010485A (en) Maglev Carrier
JP2013185691A (en) Magnetic floating device
KR101753216B1 (en) Magnetic force adjusting device
KR20110122517A (en) Waterproof linear motor stage
JP5353107B2 (en) Transport device
KR102200021B1 (en) Magnetic levitation transfer apparatus and driving method thereof
KR102232179B1 (en) Magnetic levitation transportation apparatus
KR102439631B1 (en) Magnetic levitation transportation apparatus
KR100835201B1 (en) Maglev clean lift
KR102213655B1 (en) Magnetic levitation transportation apparatus
JP2006084034A (en) Linear guide device with hydrostatic air bearing
CN101875463B (en) Magnetic guiding device
JP5439762B2 (en) Transport device
KR20140077254A (en) Magnetic levitation transfer apparatus
KR20240133018A (en) Tower lift for substrate processing

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right