KR20130138386A - Magnetic levitation transfer apparatus - Google Patents

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KR20130138386A
KR20130138386A KR1020120061904A KR20120061904A KR20130138386A KR 20130138386 A KR20130138386 A KR 20130138386A KR 1020120061904 A KR1020120061904 A KR 1020120061904A KR 20120061904 A KR20120061904 A KR 20120061904A KR 20130138386 A KR20130138386 A KR 20130138386A
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Abstract

The present invention relates to a magnetic levitation transfer device for transferring a transfer body along a transfer path on which two or more chambers are successively arranged. The magnetic levitation transfer device includes a first levitation magnetic material included on the rear surface of the transfer body and a second levitation magnetic material included in a chamber to face the rear surface of the transfer body in order for the transfer body to float by being magnetically interacted with the first levitation magnetic material; a transfer propulsion unit applying a transfer propulsion force to the transfer body magnetically floating by the levitation magnetic material; a compensation magnetic material included on one surface of the transfer body and which is in the opposite side to the transfer body; and a section magnetic material included in a section between the chambers to face the compensation magnetic material and be magnetically reacted with the compensation magnetic material.

Description

자기 부상 이송 장치{Magnetic levitation transfer apparatus}[0001] Magnetic levitation transfer apparatus [0002]

본 발명은 자기 부상 이송 장치에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 적어도 2개의 챔버가 연속적으로 배치되는 이송 경로를 따라 이송체를 이송하기 위한 자기 부상 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a magnetic levitation conveying apparatus, and more particularly, to a magnetic levitation conveying apparatus for conveying a conveying body along a conveying path in which at least two chambers are continuously arranged.

자기 부상 이송 장치는 이송체를 자기력으로 비접촉 지지하여 이송하는 것으로써, 진공 챔버 등에 구비될 경우 이송체를 자기력을 부상시키기 위한 부상용 자성체가 설치될 수 없는 구간이 있다. 즉, 연속적으로 구비되는 챔버와 챔버 사이에는 게이트 밸드 등과 같은 부재가 구비되기 때문에 언급한 부상용 자성체가 설치될 수 없는 것이다.The magnetic levitation conveying device is a non-contact support for conveying the conveying body by magnetic force, and when provided in a vacuum chamber or the like, there is a section in which a floating magnetic material for inducing a magnetic force to float the conveying body cannot be installed. That is, the above-mentioned floating magnetic material cannot be installed because a member such as a gate valve is provided between the chamber and the chamber that are continuously provided.

이에, 연속적으로 구비되는 챔버와 챔버 사이를 지나는 이송체는 부상되는 높이가 낮아지거나 또는 요동치는 상황이 발생할 수도 있고, 그 결과 기판과 기판을 파지하는 척 등으로 이루어지는 이송체에서 기판과 척 사이의 정렬 등이 틀어지는 원인으로 작용한다. 또한, 언급한 이송체가 부상되는 높이가 약 3 내지 5mm이기에 하드웨어적으로 접촉이 발생할 수도 있다.Thus, the conveying body passing through the chamber between the chamber and the continuously provided may be lowered or the height of the floating, and as a result, between the substrate and the chuck in the conveying body consisting of the substrate and the chuck holding the substrate, etc. It is the cause of misalignment. In addition, since the height at which the aforementioned conveying body floats is about 3 to 5 mm, contact may occur in hardware.

본 발명의 목적은 부상용 자성체가 설치될 수 없는 연속적으로 배치되는 챔버와 챔버 사이의 구간에서도 보다 안정적인 이송이 가능한 자기 부상 이송 장치를 제공하는데 있다.An object of the present invention is to provide a magnetic levitation transfer device capable of more stable transfer even in the section between the chamber and the chamber that is continuously disposed in which the floating magnetic material can not be installed.

언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치는 적어도 2개의 챔버가 연속적으로 배치되는 이송 경로를 따라 이송체를 이송하기 위한 자기 부상 이송 장치에 있어서, 상기 이송체의 이면에 구비되는 제1 부상용 자성체, 및 상기 제1 부상용 자성체와 자기적으로 작용하여 상기 이송체가 부상되도록 상기 이송체의 이면과 마주하도록 상기 챔버 내에 구비되는 제2 부상용 자성체를 포함하는 부상용 자성체;와 상기 부상용 자성체에 의해 자기 부상되는 상기 이송체에 이송 추진력을 부여하도록 구비되는 이송 추진부; 및 상기 이송체의 이면과 반대되는 상기 이송체의 일면에 구비되는 보상용 자성체, 및 상기 보상용 자성체와 자기적으로 작용하도록 상기 보상용 자성체와 마주하도록 상기 챔버와 챔버 사이의 구간에 구비되는 구간용 자성체를 포함할 수 있다.Maglev conveying apparatus according to an embodiment of the present invention for achieving the above object is a magnetic levitation conveying device for conveying the conveying body along a conveying path in which at least two chambers are continuously arranged, Injury including a first floating magnetic body provided on the rear surface, and the second floating magnetic body provided in the chamber to face the back of the transfer body so that the transfer body is magnetically acting by the first floating magnetic body to be floating A magnetic propulsion body; and a transfer propulsion unit provided to impart a transfer propulsion force to the conveying body magnetically floated by the floating magnetic body; And a section provided between the chamber and the chamber so as to face the compensation magnetic material to magnetically act on the compensation magnetic material provided on one surface of the transport body opposite to the rear surface of the transport body. It may include a magnetic substance.

언급한 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치에서, 상기 구간용 자성체는 상기 보상용 자성체와 자기적으로 작용할 때 자기력의 세기를 조정할 수 있도록 상기 이송체의 움직임을 센싱하는 센서, 및 상기 자기력의 세기가 조정 가능한 전자석을 구비할 수 있다.In the magnetic levitation conveying apparatus according to an embodiment of the present invention, the section magnetic body is a sensor for sensing the movement of the conveying body to adjust the strength of the magnetic force when magnetically acting with the compensation magnetic material, and the The electromagnet which can adjust the intensity of magnetic force can be provided.

본 발명에 따른 자기 이송 부상 장치는 연속적으로 배치되는 챔버와 챔버 사이에 구간용 자성체를 구비시킴으로써 부상용 자성체가 설치되지 않음에도 불구하고 이송체가 부상되는 높이를 일정하게 유지시킬 수 있다.The magnetic transfer floating apparatus according to the present invention can maintain the height at which the carrier is floated even though the magnetic material for the section is not installed by providing a magnetic body for the section between the chambers and the chambers that are continuously disposed.

이에, 이송체의 높이가 낮아지거나 요동치는 상황을 사전에 충분하게 방지함으로써 이송체의 기판과 척 사이에서 언급한 요동 등으로 인하여 발생하는 오정렬을 사전에 방지할 수 있다. 또한, 언급한 바와 같이 부상용 자성체가 설치되지 않음에도 불구하고 이송체가 부상되는 높이를 일정하게 유지시킬 수 있기 때문에 하드웨어적으로 접촉되는 상황도 사전에 방지할 수 있다.Thus, by preventing the situation in which the height of the conveying body is lowered or fluctuated sufficiently in advance, misalignment caused by the mentioned fluctuation between the substrate and the chuck of the conveying body can be prevented in advance. In addition, as mentioned above, even though the magnetic material for injuries is not installed, the height at which the carrier is injured can be kept constant, so that a situation of hardware contact can be prevented in advance.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 연속적으로 배치되는 챔버와 챔버 사이에서의 자기 부상 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS FIG. 1 is a schematic block diagram showing a magnetic levitation conveying apparatus according to an embodiment of the present invention; FIG.
2 is a schematic configuration diagram showing a magnetic levitation transfer device between the chamber and the chamber disposed in succession according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.While the present invention has been described in connection with certain exemplary embodiments, it is obvious to those skilled in the art that various changes and modifications may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention. It is to be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but on the contrary, is intended to cover all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. In describing the drawings, similar reference numerals are used for similar components. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. The terminology used herein is for the purpose of describing particular example embodiments only and is not intended to be limiting of the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise. In the present application, the term "comprises" or "comprising ", etc. is intended to specify that there is a stated feature, figure, step, operation, component, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

실시예Example

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 연속적으로 배치되는 챔버와 챔버 사이에서의 자기 부상 이송 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram showing a magnetic levitation conveying apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 shows a magnetic levitation conveying apparatus between the chamber and the chamber disposed in accordance with an embodiment of the present invention It is a schematic block diagram.

도 1 및 도 2를 참조하면, 챔버(10)가 구비된다. 특히, 본 발명에서는 연속적으로 배치되는 적어도 2개의 챔버(10)가 구비될 수 있다. 도시되지 않았지만, 언급한 챔버(10)는 전면과 후면 각각에 반도체 집적회로 소자의 제조 등에 사용되는 기판 등을 이송하는 이송체(11)의 반입 및 반출이 이루어지는 반입구 및 반출구를 구비하고, 아울러 반입구 및 반출구 사이에 이송 경로를 구비할 수 있다. 또한, 언급한 챔버(10)의 반입구 및 반출구 각각은 게이트 밸브 등에 의해 개방 및 폐쇄되는 구조를 가질 수 있다.1 and 2, a chamber 10 is provided. In particular, in the present invention, at least two chambers 10 arranged in series may be provided. Although not shown, the mentioned chamber 10 has an inlet and an outlet for carrying in and out of the conveying member 11 for transporting a substrate or the like used for manufacturing a semiconductor integrated circuit device, respectively, on the front and rear surfaces thereof. In addition, it may be provided with a transfer path between the inlet and outlet. In addition, each of the inlet and the outlet of the aforementioned chamber 10 may have a structure that is opened and closed by a gate valve or the like.

본 발명의 자기 부상 이송 장치(200) 중 부상용 자성체는 챔버(10) 내부에 구비되는 것으로써, 이송체(11)를 비접촉 지지하여 자기 부상시키도록 제1 부상용 자성체(21) 및 제2 부상용 자성체(23)를 구비한다. 특히, 제2 부상용 자성체(23)는 언급한 챔버(10) 내부에 이송 경로를 따라 배치되도록 구비될 수 있고, 제1 부상용 자성체(21)는 제2 부상용 자성체(23)와 대응되도록 이송체(11)에 구비될 수 있다. 이에, 본 발명에서는 언급한 제2 부상용 자성체(23)를 챔버(10)의 이송 경로에 따른 챔버(10) 저면 쪽에 배치되도록 구비시킬 수 있고, 제1 부상용 자성체(21)는 제2 부상용 자성체(23)가 구비되는 챔버(10)의 저면을 바라보는 이송체(11)에 배치되도록 구비시킬 수 있다. 다시 말해, 제2 부상용 자성체(23)는 언급한 이송 경로에 따라 이송체(11)의 아래쪽에 배치되도록 구비되고, 제1 부상용 자성체(21)는 제2 부상용 자성체(23)와 마주하는 이송체(11)의 이면에 배치되도록 구비되는 것이다. 따라서 언급한 자기 부상 이송 장치(200)는 제1 부상용 자성체(21) 및 제2 부상용 자성체(23) 사이에서의 자기적 작용에 의해 챔버(10)의 이송 경로에서 자기적으로 부상할 수 있다. 또한, 언급한 제1 부상용 자성체(21) 및 제2 부상용 자성체(23) 각각은 영구 자석 등으로 구비될 수 있다. 아울러, 언급한 제1 부상용 자성체(21) 및 제2 부상용 자성체(23)는 이송체(11)를 기준으로 이송체(11) 양측 단부 이면에서 이송체(11)를 부상시킬 수 있도록 이송체(11) 양측 단부 모두에 구비될 수 있다.Among the magnetically levitated conveying apparatuses 200 of the present invention, the floating magnetic material is provided inside the chamber 10, and the first floating magnetic material 21 and the second floating body are magnetically floated by non-contactingly supporting the conveying body 11. A floating magnetic body 23 is provided. In particular, the second floating magnetic body 23 may be provided to be disposed along the transfer path inside the chamber 10 mentioned above, and the first floating magnetic body 21 may correspond to the second floating magnetic body 23. It may be provided in the conveying body (11). Accordingly, in the present invention, the second floating magnetic body 23 mentioned above may be provided on the bottom surface of the chamber 10 along the transfer path of the chamber 10, and the first floating magnetic body 21 is the second floating body. The magnetic body 23 may be provided to be disposed on the conveying body 11 facing the bottom of the chamber 10 is provided. In other words, the second floating magnetic body 23 is provided to be disposed below the transfer body 11 along the transfer path mentioned above, and the first floating magnetic body 21 faces the second floating magnetic body 23. It is provided to be disposed on the rear surface of the conveying body (11). Therefore, the magnetic levitation conveying apparatus 200 mentioned above may magnetically float in the transport path of the chamber 10 by the magnetic action between the first floating magnetic body 21 and the second floating magnetic body 23. have. In addition, each of the first floating magnetic body 21 and the second floating magnetic body 23 may be provided as a permanent magnet. In addition, the first floating magnetic body 21 and the second floating magnetic body 23 mentioned above are transported so that the carrier 11 may be floated on both sides of both ends of the carrier 11 based on the carrier 11. It may be provided at both ends of the sieve (11).

본 발명의 자기 부상 이송 장치(200)는 자기 부상으로 비접촉 지지되는 이송체(11)에 이송 추진력을 부여하기 위한 이송 추진부를 구비할 수 있다. 특히, 본 발명에서의 이송 추진부는 별도의 동력 변환 장치를 필요로 하지 않고 직접 직선 동력을 발생할 수 있는 선형 동기 추진 방식의 선형 동기 전동기(LSM : liner synchronius motor) 등을 포함할 수 있다. 이에, 언급한 이송 추진부는 고정자(27) 및 이동자(25)를 구비할 수 있다. 특히, 본 발명에서의 이동자(25)는 이송체(11)에 구비될 수 있고, 고정자(27)는 이동자(25)와 마주보게 구비될 수 있다. 이에, 이동자(25)는 이송체(11)의 상측 일면에 구비될 수 있고, 고정자(27)는 이송체(11)의 상측 일면과 마주하는 챔버(10)의 외벽에 구비될 수 있다. 여기서, 본 발명에서는 고정자(27)를 챔버(10)의 외벽에 구비되는 것으로 설명하고 있지만, 이와 달리 고정자(27)를 이동자(25)와 마주하도록 구비할 경우에는 챔버(10)의 내벽에도 구비시킬 수 있다.The magnetic levitation conveying apparatus 200 of the present invention may be provided with a conveying propelling unit for imparting a conveying propulsion force to the conveying body 11 which is held in a non-contact manner on the magnetic levitation. In particular, the transferring propulsion unit of the present invention may include a linear synchronous propulsion type linear synchronous motor (LSM) or the like, which can directly generate linear power without requiring a separate power conversion device. Thus, the mentioned transfer propulsion may have a stator 27 and a mover 25. In particular, the mover 25 in the present invention may be provided on the conveying body 11, the stator 27 may be provided to face the mover (25). Thus, the mover 25 may be provided on one side of the upper side of the conveying body 11, and the stator 27 may be provided on the outer wall of the chamber 10 facing the upper side of the conveying body 11. Here, in the present invention, the stator 27 is described as being provided on the outer wall of the chamber 10. Alternatively, when the stator 27 is provided to face the mover 25, the stator 27 is also provided on the inner wall of the chamber 10. You can.

언급한 이송 추진부에서, 고정자(27)의 경우에는 1차 코일부로 마련할 수 있고, 이동자(25)의 경우에는 2차 도체부로 마련할 수 있다. 이에, 고정자(27)인 1차 코일부가 직선적으로 평행 이동하는 이동 자계를 형성하도록 결선됨에 의해, 언급한 이동 자계와 쇄교하도록 놓이는 이동자(25)인 2차 도체부에는 그 표면을 따라 소용돌이치는 와전류가 유기될 수 있다. 그리고 언급한 와전류가 유기됨에 의해 고정자(27)인 1차 코일부에 이동 자계와 이동자(25)인 2차 도체부의 와전류 상호 간에 플레밍을 왼손 법칙에 따른 전자기적 직선 추진력이 발생하고, 언급한 직선 추진력이 고정자(27)인 1차 코일부와 이동자(25)인 2차 도체부를 상대적으로 이동시키는 작용을 함에 따라 고정자(27)인 1차 코일부에 대하여 이동자(25)인 2차 도체부가 구비되는 이송체(11)가 직선 이동을 할 수 있는 것이다.In the transfer propulsion mentioned above, in the case of the stator 27, it can be provided as a primary coil part, and in the case of the mover 25, it can be provided as a secondary conductor part. As a result, the primary coil portion, which is the stator 27, is connected to form a moving magnetic field that moves in parallel linearly, so that the secondary conductor portion, which is the mover 25 placed so as to bridge the aforementioned moving magnetic field, swirls along the surface thereof. Can be organic. And by releasing the eddy current mentioned above, the electromagnetic linear propulsion force according to the left-hand rule is generated between the moving field and the eddy current of the secondary conductor part of the mover 25 by the primary coil part of the stator 27. As the driving force acts to relatively move the primary coil part, which is the stator 27, and the secondary conductor part, which is the mover 25, the secondary conductor part, which is the mover 25, is provided with respect to the primary coil part, which is the stator 27. The conveying body 11 is to be able to move linearly.

도시하지 않았지만, 본 발명의 자기 부상 이송 장치(200)는 언급한 이송체(11)의 이송이 이루어질 때 이송 경로 사이에서의 간격을 일정하게 유지함과 아울러 언급한 부상용 자성체 및 이송 추진부에 의한 이송체(11)의 이송을 방해하는 힘을 상쇄시키도록 가이드 자성체를 더 구비할 수 있다. 언급한 가이드 자성체는 제1 가이드 자성체 및 제2 가이드 자성체를 구비할 수 있는 것으로써, 제1 가이드 자성체는 이송체(11)의 상측 단부에 구비되고, 제2 가이드 자성체는 제1 가이드 자성체와 대응되도록 챔버(10) 측벽에 구비될 수 있다. 즉, 제2 가이드 자성체는 제1 가이드 자성체와 마주하게 대응되도록 챔버(10) 측벽으로부터 제1 가이드 자성체를 향하게 구비될 수 있는 것이다. 또한, 언급한 제1 가이드 자성체 및 제2 가이드 자성체를 포함하는 가이드 자성체는 이송체(11)를 기준으로 이송체(11) 상측 단부 어느 한 곳에만 구비되는 것이 아니라 이송체(11) 상측 단부 양쪽 모두에 구비될 수 있다. 특히, 제1 가이드 자성체 및 제2 가이드 자성체 각각은 경사진 방향으로 서로 대응되도록 평형을 이루게 구비할 수 있다. 이에, 본 발명에서는 제1 가이드 자성체 및 제2 가이드 자성체 각각을 대각선 방향으로 서로 평형을 이루도록 구비할 수 있다. 따라서 언급한 바와 같이 제1 가이드 자성체 및 제2 가이드 자성체를 구비함으로써 이송체(11)가 이송될 때 경사, 특히 대각선 방향으로 힘을 분사시킬 수 있기 때문에 이송 경로 사이에서의 간격을 일정하게 유지할 수 있을 뿐만 아니라 부상용 자성체 및 이송 추진부에 의한 이송체(11)의 이송을 방해하는 힘을 분산시켜 상쇄시킬 수 있는 것이다. 즉, 제1 가이드 자성체 및 제2 가이드 자성체를 포함하는 가이드 자성체를 구비함으로써 부상용 자성체에 의한 부상력과 이송 추진부에 의한 횡력 등을 동시에 상쇄시킬 수 있는 것이다. 그리고 언급한 제1 가이드 자성체 및 제2 가이드 자성체 각각은 영구 자석 등으로 구비될 수 있다.Although not shown, the magnetic levitation conveying apparatus 200 according to the present invention maintains a constant distance between the conveying paths when the conveying body 11 is conveyed, and the magnetic levitation magnetic body and the conveying propulsion unit mentioned above. The guide magnetic body may be further provided to cancel the force that hinders the transfer of the conveying body 11. The guide magnetic material mentioned above may include a first guide magnetic material and a second guide magnetic material, wherein the first guide magnetic material is provided at an upper end of the transfer member 11, and the second guide magnetic material corresponds to the first guide magnetic material. It may be provided on the side wall of the chamber (10). That is, the second guide magnetic material may be provided to face the first guide magnetic material from the sidewall of the chamber 10 so as to face the first guide magnetic material. In addition, the guide magnetic material including the first guide magnetic material and the second guide magnetic material mentioned above are not provided at any one of the upper end portions of the conveying body 11 with respect to the conveying body 11, and both the upper ends of the conveying body 11 are provided. It may be provided in. In particular, each of the first guide magnetic material and the second guide magnetic material may be provided in an equilibrium to correspond to each other in an inclined direction. Thus, in the present invention, the first guide magnetic body and the second guide magnetic body may be provided to equilibrate with each other in the diagonal direction. Therefore, as mentioned above, by providing the first guide magnetic material and the second guide magnetic material, it is possible to maintain a constant distance between the conveying paths because the force can be injected in an inclined, especially diagonal direction when the conveying body 11 is conveyed. In addition, it is possible to dissipate by dispersing the force hindering the transfer of the conveying body 11 by the floating magnetic material and the conveying propulsion unit. That is, by providing a guide magnetic body including the first guide magnetic body and the second guide magnetic body, it is possible to simultaneously offset the floating force by the floating magnetic body and the lateral force by the transfer propulsion unit. Each of the first guide magnetic material and the second guide magnetic material may be provided as a permanent magnet.

본 발명의 자기 부상 이송 장치(200)는 언급한 부상용 자성체, 이송 추진부, 가이드 자성체 등을 구비함으로써 이송체(11)를 비접촉 지지하여 챔버(10) 내의 이송 경로를 따라 이송할 수 있다.The magnetic levitation conveying apparatus 200 of the present invention may be provided along the conveying path in the chamber 10 by non-contact supporting the conveying body 11 by providing the above-mentioned floating magnetic body, the conveying propulsion unit, the guide magnetic body, and the like.

그러나 도 2에 도시된 바와 같이 챔버(10)와 챔버(10) 사이(10a)에서는 부상용 자성체, 특히 제2 부상용 자성체(23)가 구비되지 않기 때문에 언급한 이송체(11)가 이송 경로를 따라 이송될 때 부상되는 높이가 낮아지거나 또는 요동치는 상황이 발생할 수도 있다. 이에, 본 발명에서의 자기 부상 이송 장치(200)는 챔버(10)와 챔버(10) 사이(10a)를 이송체(11)가 이송 경로를 따라 이송될 때 부상되는 높이가 낮아지거나 또는 요동치는 상황을 방지하도록 보상용 자성체(31) 및 구간용 자성체(33, 35)를 구비할 수 있다. 즉, 본 발명에서의 자기 부상 이송 장치(200)는 적어도 2개의 챔버(10)가 연속적으로 배치되는 이송 경로를 따라 이송체(11)가 이송될 때 적어도 2개의 챔버(10)와 챔버(10) 사이(10a)에서 자기적으로 작용할 수 있도록 보상용 자성체(31) 및 구간용 자성체(33, 35)를 구비하는 것이다.However, as shown in FIG. 2, since the floating magnetic material, in particular, the second floating magnetic material 23 is not provided between the chamber 10 and the chamber 10, the mentioned conveying body 11 is a transfer path. When transported along the surface, the height of the injury may be lowered or oscillated. Thus, the magnetic levitation conveying device 200 according to the present invention is lowered or oscillated when the conveying body 11 is transported along the conveyance path between the chamber 10 and the chamber 10a. The compensation magnetic material 31 and the section magnetic materials 33 and 35 may be provided to prevent the situation. That is, the magnetic levitation conveying apparatus 200 according to the present invention includes at least two chambers 10 and a chamber 10 when the conveying body 11 is conveyed along a conveying path in which at least two chambers 10 are continuously arranged. Compensation magnetic body 31 and the section magnetic body 33, 35 so as to act magnetically between (10a).

언급한 보상용 자성체(31)는 이송체(11)의 일면에 구비될 수 있다. 즉, 보상용 자성체(31)는 제1 부상용 자성체(21)가 구비되는 이송체(11)의 이면과 반대되는 이송체(11)의 일면에 구비될 수 있는 것이다. 그리고 언급한 구간용 자성체(33, 35)는 보상용 자성체(31)와 자기적으로 작용하도록 보상용 자성체(31)와 마주하게 구비될 수 있다. 특히, 언급한 구간용 자성체(33, 35)는 챔버(10)와 챔버(10) 사이(10a)의 구간에 구비될 수 있다. 다시 말해, 구간용 자성체(33, 35)는 제2 부상용 자성체(23)가 구비되지 못하는 구간인 챔버(10)와 챔버(10) 사이(10a)의 구간에서 보상용 자성체(31)와 자기적으로 작용하도록 구비되는 것이다.The aforementioned compensating magnetic body 31 may be provided on one surface of the conveying body 11. That is, the compensating magnetic body 31 may be provided on one surface of the conveying body 11 opposite to the rear surface of the conveying body 11 on which the first floating magnetic body 21 is provided. In addition, the aforementioned section magnetic materials 33 and 35 may be provided to face the compensation magnetic material 31 to act magnetically with the compensation magnetic material 31. In particular, the magnetic section 33 and 35 for the section may be provided in the section between the chamber 10 and the chamber (10a). In other words, the section magnetic material 33 and 35 are magnetically compensated magnetic material 31 and the magnetic material in the section 10a between the chamber 10 and the chamber 10, which are sections in which the second floating magnetic material 23 is not provided. It is provided to act as an enemy.

이에, 본 발명의 자기 부상 이송 장치(200)는 언급한 보상용 자성체(31)와 구간용 자성체(33, 35)를 구비함으로써 이송체(11)가 챔버(10)와 챔버(10) 사이(10a)를 지날 때 보상용 자성체(31)와 구간용 자성체(33, 35) 사이에서 발생하는 자기적 작용에 의해 이송체(11)가 부상되는 높이가 낮아지거나 또는 요동치는 상황을 방지할 수 있다.Accordingly, the magnetic levitation conveying apparatus 200 of the present invention includes the aforementioned compensating magnetic material 31 and the section magnetic materials 33 and 35, so that the conveying body 11 is disposed between the chamber 10 and the chamber 10 ( When passing through 10a), a magnetic action generated between the compensating magnetic body 31 and the section magnetic bodies 33 and 35 may prevent a situation in which the height of the conveying member 11 is lowered or swings. .

그리고 언급한 구간용 자성체(33, 35)의 경우에는 센서(33) 및 전자석(35)을 구비할 수 있다. 즉, 구간용 자성체(33, 35)는 이송체(11)의 움직임을 센싱하는 센서(33) 및 자기력의 세기가 조정 가능한 전자석(35)을 구비할 수 있는 것이다. 이에, 언급한 센서(33) 및 전자석(35)을 구비하는 구간용 자성체(33, 35)는 보상용 자성체(31)와 자기적으로 작용할 때 자력의 세기를 조정할 수 있다. 다시 말해, 언급한 센서(33)를 사용하여 이송체(11)의 움직임을 센싱하고, 그리고 센서(33)의 센싱 신호에 의해 전자석(35)에 원하는 세기의 자력이 형성되도록 전원을 공급함으로써 보상용 자성체(31)와 자기적으로 작용할 때 자력의 세기를 조정할 수 있는 것이다.In the case of the aforementioned section magnetic material 33 and 35, the sensor 33 and the electromagnet 35 may be provided. That is, the section magnetic bodies 33 and 35 may include a sensor 33 for sensing the movement of the conveying body 11 and an electromagnet 35 whose intensity of magnetic force is adjustable. Accordingly, the section magnetic bodies 33 and 35 including the aforementioned sensor 33 and the electromagnet 35 may adjust the strength of the magnetic force when they magnetically work with the compensating magnetic body 31. In other words, the sensor 33 is used to sense the movement of the conveying body 11 and is compensated by supplying power such that the magnetic force of the desired intensity is formed on the electromagnet 35 by the sensing signal of the sensor 33. When magnetically acting with the magnetic magnetic material 31, it is possible to adjust the strength of the magnetic force.

또한, 도시하지 않았지만 언급한 구간용 자성체(33, 35)는 전자석(35)에 자력이 형성되도록 전원을 공급하는 전원 공급부를 더 구비할 수 있다. 아울러, 센서(33)로부터 입력되는 센싱 신호에 의해 언급한 전원 공급부를 제어할 수 있는 제어부도 더 구비할 수 있다.In addition, although not shown, the above-mentioned section magnetic bodies 33 and 35 may further include a power supply unit supplying power to form a magnetic force on the electromagnet 35. In addition, a control unit for controlling the power supply mentioned by the sensing signal input from the sensor 33 may be further provided.

이와 같이, 본 발명에서의 자기 부상 이송 장치(200)는 언급한 보상용 자성체(31) 및 구간용 자성체(33, 35)를 구비함으로써 챔버(10)와 챔버(10) 사이(10a)에서의 이송체(11)의 부상 높이 변화, 요동 등을 방지할 수 있는 것이다.As described above, the magnetic levitation conveying apparatus 200 according to the present invention includes the above-mentioned compensating magnetic material 31 and the section magnetic materials 33 and 35 so that the magnetic levitation conveying device 200 may be separated between the chamber 10 and the chamber 10a. It is possible to prevent the floating height of the conveying body 11, swinging and the like.

이에, 본 발명의 자기 부상 이송 장치를 사용할 경우 이송체의 높이가 낮아지거나 요동치는 상황을 사전에 충분하게 방지함으로써 자기 부상 이송 장치를 사용하는 제조 현장에서 발생할 수 있는 오정렬, 접촉 사고 등을 사전에 방지할 수 있다. 따라서 본 발명의 자기 부상 이송 장치를 반도체 집적회로 소자의 제조 등에 적용할 경우 제조에 따른 신뢰성을 충분히 확보할 수 있다.Therefore, when using the magnetic levitation conveying apparatus of the present invention to prevent the situation that the height of the conveying body is lowered or shaken sufficiently in advance, misalignment, contact accidents, etc. that may occur in the manufacturing site using the magnetic levitation conveying apparatus in advance It can prevent. Therefore, when the magnetic levitation conveying apparatus of the present invention is applied to the manufacture of semiconductor integrated circuit devices or the like, the reliability according to the manufacture can be sufficiently secured.

10 : 챔버 11 : 이송체
21 : 제1 부상용 자성체 23 : 제2 부상용 자성체
25 : 이동자 27 : 고정자
31 : 보상용 자성체 33 : 센서
35 : 전자석 200 : 자기 부상 이송 장치10 chamber 11 carrier
21: first floating magnetic material 23: second floating magnetic material
25: mover 27: stator
31: magnetic material for compensation 33: sensor
35: electromagnet 200: magnetic levitation transfer device

Claims (2)

적어도 2개의 챔버가 연속적으로 배치되는 이송 경로를 따라 이송체를 이송하기 위한 자기 부상 이송 장치에 있어서,
상기 이송체의 이면에 구비되는 제1 부상용 자성체, 및 상기 제1 부상용 자성체와 자기적으로 작용하여 상기 이송체가 부상되도록 상기 이송체의 이면과 마주하도록 상기 챔버 내에 구비되는 제2 부상용 자성체를 포함하는 부상용 자성체;
상기 부상용 자성체에 의해 자기 부상되는 상기 이송체에 이송 추진력을 부여하도록 구비되는 이송 추진부; 및
상기 이송체의 이면과 반대되는 상기 이송체의 일면에 구비되는 보상용 자성체, 및 상기 보상용 자성체와 자기적으로 작용하도록 상기 보상용 자성체와 마주하도록 상기 챔버와 챔버 사이의 구간에 구비되는 구간용 자성체를 포함하는 자기 부상 이송 장치.A magnetic levitation conveying apparatus for conveying a conveying body along a conveying path in which at least two chambers are continuously arranged,
The first floating magnetic body provided on the rear surface of the conveying body, and the second floating magnetic body provided in the chamber to face the back surface of the conveying body so that the conveying body floats by magnetically acting with the first floating magnetic body. Floating magnetic body comprising a;
A transfer propulsion unit provided to give a transfer propulsion force to the transfer body that is magnetically floated by the floating magnetic body; And
Compensation magnetic material provided on one surface of the conveying body opposite to the back surface of the conveying body, and the section provided in the section between the chamber and the chamber to face the compensating magnetic body to act magnetically with the compensating magnetic body Magnetic levitation transfer device comprising a magnetic body. 제1 항에 있어서, 상기 구간용 자성체는 상기 보상용 자성체와 자기적으로 작용할 때 자기력의 세기를 조정할 수 있도록 상기 이송체의 움직임을 센싱하는 센서, 및 상기 자기력의 세기가 조정 가능한 전자석을 구비하는 것을 특징으로 하는 자기 부상 이송 장치.The magnetic body of claim 1, wherein the section magnetic body includes a sensor for sensing a movement of the conveying body to adjust the strength of the magnetic force when the section magnetic body magnetically acts on the compensating magnetic body, and an electromagnet having an adjustable intensity of the magnetic force. Maglev conveying device, characterized in that.
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