KR20210004923A - Magnetic levitation transportation apparatus - Google Patents

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KR20210004923A KR1020200182637A KR20200182637A KR20210004923A KR 20210004923 A KR20210004923 A KR 20210004923A KR 1020200182637 A KR1020200182637 A KR 1020200182637A KR 20200182637 A KR20200182637 A KR 20200182637A KR 20210004923 A KR20210004923 A KR 20210004923A
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Abstract

The present invention relates to a magnetic levitation transportation device capable of fundamentally preventing the possibility of dust generation. Specifically, according to an embodiment of the present invention, the magnetic levitation transportation device comprises: a tray provided to transport a target while supporting the target; and a transfer track having an opened upper surface for the tray to be accommodated on an inner side and including a guide unit that guides movement of the tray while levitating the tray accommodated on the inner side. The guide unit comprises: a track side levitation magnet installed in a lower part; and a track side guiding magnet installed on an upper side of the track side levitation magnet. The tray comprises: a tray side levitation magnet provided at a position facing the track side levitation magnet; and a tray side guiding magnet provided at a position facing the track side guiding magnet. The tray is levitated by the magnetic force between the track side levitation magnet and the tray side levitation magnet, and vertical vibration of the tray is suppressed by the magnetic force between the track side guiding magnet and the tray side guiding magnet.

Description

자기 부상이송 장치{MAGNETIC LEVITATION TRANSPORTATION APPARATUS}Magnetic Levitation Transfer Device {MAGNETIC LEVITATION TRANSPORTATION APPARATUS}

본 발명은 자기 부상이송 장치에 대한 것이다. The present invention relates to a magnetic levitation transfer device.

일반적인 제품 생산 공장 내의 생산 라인에서 반도체 웨이퍼, LCD 패널, OLED 패널 등의 운반에 사용되던 종래의 자동화용 운반시스템은 주로 컨베이어 시스템을 활용하였다. 이러한 시스템은 전기 모터에 의해 회전력을 얻고 중간에 감속 시스템을 적용하여 회전 운동을 직선운동으로 변환하여 원자재 및 제품을 이송한다.The conventional automation transport system used for transporting semiconductor wafers, LCD panels, OLED panels, etc. in a production line in a general product manufacturing plant mainly utilized a conveyor system. Such a system obtains rotational force by an electric motor and applies a reduction system in the middle to convert rotational motion into linear motion to transfer raw materials and products.

그러나 이러한 컨베이어 시스템은 구성 기기들의 메커니즘상 속도 증가 및 조절에 한계가 있고, 기계장치들의 적용에 따라 구성품이 바뀌는 부분마다 마찰이 발생하므로 소음과 진동, 분진 발생이 필연적일 수 밖에 없다. 이러한 소음과 진동, 분진의 발생량과 마모에 의한 고장 빈도를 감소시키기 위해서는 수시로 해당 구성품의 점검과 부품교체, 수리 등을 주기적으로 수행해야만 하며, 이는 유지 보수비의 증가로 이어질 수 밖에 없다. However, such a conveyor system has limitations in speed increase and control due to the mechanism of the component devices, and the generation of noise, vibration, and dust is inevitable because friction occurs at each part where components change according to the application of mechanical devices. In order to reduce the occurrence of noise, vibration, and dust and the frequency of failure due to abrasion, it is necessary to periodically check the components, replace parts, and repair, which inevitably leads to an increase in maintenance costs.

이러한 종래의 컨베이어 시스템이 가진 문제점을 해결하기 위해, 최근 자기 부상 원리를 이용한 자기 부상 이송 시스템이 도입된 바 있다. 이와 같은 자기 부상 이송 시스템은 자기 부상을 이용한 추진 원리가 적용되어 구성되는 시스템으로서, 구체적으로 전자력이나 영구 자석을 이용하여 궤도로부터 일정한 높이로 타겟을 부상시킨 상태에서 추진력을 가해 목적지까지 이송하는 시스템이다. In order to solve the problems of such a conventional conveyor system, a magnetic levitation transfer system using a magnetic levitation principle has been recently introduced. Such a magnetic levitation transfer system is a system constructed by applying the propulsion principle using magnetic levitation. Specifically, it is a system that applies a propulsive force to the destination while the target is floated from the track to a certain height using an electromagnetic force or a permanent magnet. .

종래의 자기 부상 이송 시스템을 구성하는 자기 부상 이송 장치의 예가 특허문헌 1 및 2로서 공지된 바 있다. 먼저, 특허문헌 1에 따른 자기 부상 이송 장치는, 일 방향을 따라 이어진 궤도와, 궤도 상에 부상하여 이동하는 대차를 포함하는 구성을 갖는다. 특히, 궤도의 하면에 부착된 강자성체와 대차에 고정된 부상 전자석을 이용하여 대차를 궤도로부터 부상시키도록 구성된다. 이 경우, 동일한 부상력을 구현하기 위해 영구자석을 사용할 경우에 비해 부상력을 위한 장치의 부피가 10배 이상 커져야 하는 단점이 있으며, 부상된 상태를 유지하기 위한 많은 수의 센서가 이송방향을 따라 배치되어야 한다는 단점이 있으며, 이로 인해 장치의 소형화 및 저비용화를 달성하기가 어렵다는 문제가 있다.Examples of magnetic levitation transfer devices constituting a conventional magnetic levitation transfer system have been known as Patent Documents 1 and 2. First, the magnetic levitation transfer device according to Patent Document 1 has a configuration including a track that extends along one direction and a bogie that floats and moves on the track. In particular, it is configured to float the bogie from the track by using a ferromagnetic material attached to the lower surface of the track and a floating electromagnet fixed to the bogie. In this case, there is a disadvantage that the volume of the device for levitation must be 10 times or more larger than when using a permanent magnet to implement the same levitation force, and a large number of sensors to maintain the floating state are required along the transport direction. There is a drawback that it must be disposed, and there is a problem that it is difficult to achieve miniaturization and cost reduction of the device.

또한, 특허문헌 2에 따른 자기 부상 이송 장치는 궤도로부터 대차를 부상시키고 추진시키기 위해 영구자석만을 사용하여 구성되며, 대차의 좌우 움직임을 저감하기 위해 접촉식 가이드 베어링이 대차에 접촉되도록 제공된다. 이 경우, 상술한 특허문헌 1이 가진 문제점을 일부 극복할 수는 있으나, 대차의 부상 및 추진을 위해 영구자석만을 사용할 경우, 자력을 제어할 수 없으므로, 대차의 이송 과정에서 좌우 편하중이 발생하여 접촉식 가이드 베어링에 큰 마찰력이 작용할 수 있다. 이는 베어링의 마모 등 구성 부품의 수명을 줄이고, 베어링의 접촉에 따른 분진 발생으로 인한 전체 생산 설비의 오작동 발생률의 증가로 이어질 수 있다는 문제가 있다.In addition, the magnetic levitation transfer device according to Patent Document 2 is constructed using only a permanent magnet to levitate and propel the bogie from the track, and a contact-type guide bearing is provided to contact the bogie in order to reduce the left and right movement of the bogie. In this case, it is possible to overcome some of the problems of Patent Document 1, but if only a permanent magnet is used for the floatation and propulsion of the bogie, the magnetic force cannot be controlled, so left and right biased loads are generated during the transfer of the bogie. A large friction force can act on the contact guide bearing. This has a problem in that the lifetime of component parts such as wear of bearings can be reduced, and it can lead to an increase in the incidence of malfunction of the entire production facility due to dust generation caused by contact with the bearing.

한국등록특허 제10-1049222호 (2011.07.07. 등록)Korean Patent Registration No. 10-1049222 (registered on July 7, 2011) 한국공개특허 제10-2017-0110065호 (2017.10.10. 공개)Korean Patent Publication No. 10-2017-0110065 (published on October 10, 2017)

본 발명은 상술한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 소형화와 저비용화가 가능하고, 베어링의 접촉이 불필요하여 구성 부품의 수명을 대폭 늘릴 수 있으면서, 특히 분진 발생의 가능성을 원천적으로 차단할 수 있는 자기 부상 이송 장치를 제공하고자 한다,The present invention was conceived to solve the problems of the prior art as described above, it is possible to reduce the size and cost, and because the contact of the bearing is not necessary, the life of the component parts can be significantly increased, and in particular, the possibility of dust generation is fundamentally blocked. To provide a magnetic levitation transfer device that can

본 발명의 일 측면에 따르면, 타겟을 지지하면서, 상기 타겟을 이송시키기 위해 제공되는 트레이; 및 내측에 상기 트레이가 수용될 수 있도록 상면이 개방되고, 내측에 수용된 상기 트레이를 부상시키면서 상기 트레이의 이동을 안내하는 안내부를 포함하는 이송 궤도를 포함하고, 상기 안내부는, 하부에 제공되는 궤도측 부상 자석; 및 상기 궤도측 부상 자석의 상측에 제공되는 궤도측 안내 자석을 포함하고, 상기 트레이는, 상기 궤도측 부상 자석에 대향하는 위치에 제공되는 트레이측 부상 자석; 및 상기 궤도측 안내 자석에 대향하는 위치에 제공되는 트레이측 안내 자석를 포함하고, 상기 궤도측 부상 자석과 상기 트레이측 부상 자석 간의 자력에 의해 상기 트레이가 부상되고, 상기 궤도측 안내 자석과 상기 트레이측 안내 자석 간의 자력에 의해 상기 트레이의 수직 방향 진동이 억제되며, 상기 트레이는, 적어도 일부가 상기 안내부의 내측에 배치되는 메인 바디; 및 상기 메인 바디로부터 하방으로 돌출되되, 상기 이송 궤도의 일부가 수용되는 거더 수용공간이 형성되도록 수평방향으로 이격 배치되는 복수 개의 자석 고정부를 포함하고, 상기 이송 궤도는, 측면이 상기 복수 개의 자석 고정부와 소정의 갭을 형성하도록 적어도 일부가 상기 거더 수용공간의 내측에 배치되는 거더; 및 상기 거더의 상면에 지지되고, 자력을 통해 상기 트레이의 이동을 위한 추진력을 제공하는 추진 전자석을 포함하는, 자기 부상이송 장치가 제공될 수 있다.According to an aspect of the present invention, while supporting a target, a tray provided to transport the target; And a transfer track including a guide portion for guiding the movement of the tray while the upper surface is opened so that the tray can be accommodated inside, and the tray accommodated inside is floated, wherein the guide portion is provided at the lower side of the track Levitation magnet; And a track-side guide magnet provided on the upper side of the track-side floating magnet, wherein the tray includes: a tray-side floating magnet provided at a position opposite to the track-side floating magnet; And a tray side guide magnet provided at a position opposite to the track side guide magnet, wherein the tray is floated by magnetic force between the track side floating magnet and the tray side floating magnet, and the track side guide magnet and the tray side A vertical vibration of the tray is suppressed by magnetic force between guide magnets, and the tray includes: a main body, at least partially disposed inside the guide portion; And a plurality of magnet fixing portions protruding downward from the main body and disposed horizontally apart to form a girder accommodation space in which a part of the transfer track is accommodated, and the transfer track includes a side surface of the plurality of magnets A girder at least partially disposed inside the girder receiving space to form a predetermined gap with the fixing portion; And a propulsion electromagnet that is supported on an upper surface of the girder and provides a propulsion force for movement of the tray through magnetic force, a magnetic levitation transfer device may be provided.

또한, 상기 트레이측 부상 자석은, 상기 자석 고정부의 하면부에 배치되고, 상기 트레이측 안내 자석은, 상기 트레이측 부상 자석의 상측에 배치되되, 상기 자석 고정부의 외측면부에 배치되며, 상기 궤도측 부상 자석은, 상기 트레이측 부상 자석의 하면과 대향하도록 배치되고, 상기 궤도측 안내 자석은, 상기 트레이측 안내 자석의 외측면과 대향하도록 배치된, 자기 부상이송 장치가 제공될 수 있다.In addition, the tray-side floating magnet is disposed on a lower surface of the magnet fixing part, and the tray-side guide magnet is disposed on an upper side of the tray-side floating magnet, and is disposed on an outer surface of the magnet fixing part, and the The track-side floating magnet is disposed to face a lower surface of the tray-side floating magnet, and the track-side guide magnet is disposed to face an outer surface of the tray-side guide magnet.

또한, 상기 궤도측 부상 자석과 상기 트레이측 안내 자석은 각각 복수 개로 제공되며, 상기 복수 개의 트레이측 안내 자석은, 각각 상기 복수 개의 자석 고정부 각각의 외측에 배치되고, 상기 복수 개의 궤도측 부상 자석은, 각각 상기 복수 개의 트레이측 안내 자석의 외측면과 대향하도록 배치되는, 자기 부상이송 장치가 제공될 수 있다.In addition, the track-side floating magnet and the tray-side guide magnet are each provided in plural, and the plurality of tray-side guide magnets are disposed outside each of the plurality of magnet fixing units, respectively, and the plurality of track-side floating magnets Silver, each of which is disposed to face the outer surface of the plurality of tray-side guide magnets, a magnetic levitation transfer device may be provided.

또한, 상기 트레이측 부상 자석은, 상기 트레이측 부상 자석의 하단부가 상기 추진 전자석의 하단부보다 하측에 배치되고, 상기 트레이측 안내 자석은, 상기 트레이측 안내 자석의 상단부가 상기 추진 전자석의 하단부보다 상측에 배치되는, 자기 부상이송 장치가 제공될 수 있다.In addition, in the tray-side floating magnet, the lower end of the tray-side floating magnet is disposed below the lower end of the propulsion electromagnet, and the tray-side guide magnet has an upper end of the tray-side guide magnet higher than the lower end of the propulsion electromagnet. Arranged in, a magnetic levitation transfer device can be provided.

또한, 상기 궤도측 부상 자석은, 상기 궤도측 부상 자석의 하단부가 상기 거더의 하단부보다 하측에 배치되고, 상기 궤도측 안내 자석은, 상기 궤도측 안내 자석의 상단부가 상기 거더의 상단부보다 상측에 배치되는, 자기 부상이송 장치가 제공될 수 있다.In addition, in the track-side floating magnet, the lower end of the track-side floating magnet is disposed below the lower end of the girder, and the track-side guide magnet is disposed at the upper end of the track-side guide magnet higher than the upper end of the girder. The magnetic levitation transfer device can be provided.

또한, 상기 자석 고정부는, 상기 메인 바디의 양 측면보다 측방으로 돌출되도록 제공되는, 자기 부상이송 장치가 제공될 수 있다.In addition, the magnet fixing part may be provided to protrude laterally than both sides of the main body, a magnetic levitation transfer device may be provided.

또한, 상기 트레이는, 적어도 일면이 상기 추진 전자석과 대향하도록 상기 메인 바디의 내면에 지지된 추진 영구 자석을 포함하고, 자기 부상이송 장치가 제공될 수 있다.In addition, the tray may include a permanent propulsion magnet supported on the inner surface of the main body such that at least one side faces the propulsion electromagnet, and a magnetic levitation transfer device may be provided.

또한, 상기 추진 영구 자석은 상기 트레이의 이동 방향을 따라 서로 다른 극성이 교번하여 배치되도록 복수 개가 배열되는, 자기 부상이송 장치가 제공될 수 있다.In addition, a plurality of the propulsion permanent magnets are arranged so that different polarities are alternately arranged along the moving direction of the tray, a magnetic levitation transfer device may be provided.

또한, 상기 안내부는, 상기 트레이가 수용되는 공간을 향해 자력을 발생시키도록 구비되는 안내 전자석을 더 포함하고, 상기 트레이는, 상기 안내 전자석에 대향하도록 상기 메인 바디의 측면에 결합되는 판형 부재를 더 포함하는, 자기 부상이송 장치가 제공될 수 있다.In addition, the guide unit further includes a guide electromagnet provided to generate a magnetic force toward a space in which the tray is accommodated, and the tray further includes a plate-shaped member coupled to a side surface of the main body to face the guide electromagnet. Including, a magnetic levitation transfer device may be provided.

또한, 상기 궤도측 부상 자석, 상기 궤도측 안내 자석, 상기 트레이측 부상 자석 및 상기 트레이측 안내 자석은 모두 영구 자석으로 구비되는, 자기 부상이송 장치가 제공될 수 있다.In addition, the track-side floating magnet, the track-side guide magnet, the tray-side floating magnet, and the tray-side guide magnet are all provided as permanent magnets, a magnetic floating transfer device may be provided.

또한, 상기 궤도측 부상 자석과 상기 트레이측 부상 자석간에는 척력이 작용하고, 상기 궤도측 안내 자석과 상기 트레이측 안내 자석간에는 인력이 작용하도록 구성되는, 자기 부상이송 장치가 제공될 수 있다.In addition, a repulsive force acts between the track-side floating magnet and the tray-side floating magnet, and an attractive force acts between the track-side guide magnet and the tray-side guide magnet, and a magnetic floating transfer device may be provided.

또한, 상기 복수 개의 궤도측 안내 자석과 상기 복수 개의 트레이측 안내 자석은, 상기 트레이의 일측에 제공된 궤도측 안내 자석과 상기 일측에 제공된 트레이측 안내 자석 간 인력이 상기 트레이의 타측에 제공된 궤도측 안내 자석과 상기 타측에 제공된 트레이측 안내 자석 간 인력보다 크도록 구성된, 자기 부상이송 장치가 제공될 수 있다.In addition, the plurality of track-side guide magnets and the plurality of tray-side guide magnets provide an attraction between the track-side guide magnets provided on one side of the tray and the tray-side guide magnets provided on one side of the tray. A magnetic levitation transfer device configured to be greater than the attractive force between the magnet and the tray-side guide magnet provided on the other side may be provided.

또한, 상기 안내부는, 상기 트레이를 향해 상기 안내부의 내벽면으로부터 돌출되도록 제공되는 댐핑 롤러를 더 포함하고, 상기 댐핑 롤러는, 상기 트레이가 상기 안내부의 내벽면에 밀착될 경우, 상기 트레이에 접촉되어 완충 작용을 하도록 구비되는, 자기 부상이송 장치가 제공될 수 있다.In addition, the guide portion further comprises a damping roller provided to protrude from the inner wall surface of the guide portion toward the tray, the damping roller, when the tray is in close contact with the inner wall surface of the guide portion, is in contact with the tray A magnetic levitation transfer device may be provided that is provided to have a buffering action.

또한, 상기 안내 전자석의 자력을 제어할 수 있는 제어부를 더 포함하고, 상기 안내부는, 상기 안내 전자석과 상기 트레이 사이의 갭을 측정하는 갭 센서를 더 포함하고, 상기 제어부는, 상기 갭 센서에 의해 센싱되는 상기 안내 전자석과 상기 트레이 사이의 갭이 소정 값 이상으로 유지되도록 상기 안내 전자석의 자력을 제어하는, 자기 부상이송 장치가 제공될 수 있다.In addition, it further includes a control unit for controlling the magnetic force of the guide electromagnet, the guide unit further comprises a gap sensor for measuring a gap between the guide electromagnet and the tray, the control unit, by the gap sensor A magnetic levitation transfer device may be provided that controls the magnetic force of the guide electromagnet so that a gap between the guide electromagnet and the tray to be sensed is maintained at a predetermined value or more.

본 발명의 실시예들에 따르면, 종래 기술에 비하여 자기 부상 이송 장치의 소형화 및 저비용화가 가능하고, 구성 부품의 수명을 대폭 늘릴 수 있으면서 분진 발생 가능성을 원천적으로 차단할 수 있다는 효과가 있다.According to the embodiments of the present invention, compared to the prior art, it is possible to reduce the size and cost of the magnetic levitation transfer device, significantly increase the life of the constituent parts, and fundamentally block the possibility of dust generation.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상이송 장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 이송 궤도를 도시한 평면도이다.
도 3은 도 1의 A-A 단면도이다.
도 4는 도 1의 B-B 단면도이다.
도 5는 도 3의 추진 영구 자석과 추진 전자석의 배열 구조를 도시한 개념도이다.1 is a perspective view showing a magnetic levitation transport apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a plan view showing a transfer trajectory of FIG. 1.
3 is an AA cross-sectional view of FIG. 1.
4 is a cross-sectional view taken along BB of FIG. 1.
5 is a conceptual diagram showing the arrangement structure of the propulsion permanent magnet and the propulsion electromagnet of Figure 3;

이하에서는 본 발명의 사상을 구현하기 위한 구체적인 실시예에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다. Hereinafter, specific embodiments for implementing the spirit of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

아울러 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. In addition, when it is determined that a detailed description of a known configuration or function related to the present invention may obscure the subject matter of the present invention, a detailed description thereof will be omitted.

또한, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 '연결', '공급'된다고 언급된 때에는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결, 공급될 수도 있지만 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.In addition, when a component is referred to as being'connected' or'supplied' to another component, it should be understood that it may be directly connected and supplied to the other component, but other components may exist in the middle.

본명세서에서 사용된 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로 본 발명을 한정하려는 의도로 사용된 것은 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다.The terms used in the present specification are only used to describe specific embodiments and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly indicates otherwise.

또한, 본 명세서에서 상측, 하측, 측면 등의 표현은 도면에 도시를 기준으로 설명한 것이며 해당 대상의 방향이 변경되면 다르게 표현될 수 있음을 미리 밝혀둔다.In addition, in the present specification, expressions such as the upper side, the lower side, and the side are described with reference to the drawings in the drawings, and it should be noted in advance that if the direction of the object is changed, it may be expressed differently.

이하, 도면를 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상이송 장치의 구체적인 구성에 대하여 설명한다. Hereinafter, a specific configuration of the magnetic levitation transfer device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치(1)는 반도체 웨이퍼, PDP 패널, LCD 패널, OLED 패널 등의 타겟(T)을 제조하기 위한 라인에 설치되어 제조 중인 타겟(T)을 이송시키는데 사용된다. 이를 위해, 자기 부상 이송 장치(1)는 이송 궤도(10), 트레이(20) 및 제어부(도 3, 30)를 포함할 수 있다. 타겟(T)은 트레이(20)에 고정되어 이송 궤도(10) 상에서 이송될 수 있으며, 자력을 이용하여 타겟(T)이 고정된 트레이(20)가 이송 궤도(10) 상에서 부상된 상태로 타겟(T)의 이송이 이루어질 수 있다.1 and 2, a magnetic levitation transfer device 1 according to an embodiment of the present invention is installed in a line for manufacturing a target T such as a semiconductor wafer, a PDP panel, an LCD panel, and an OLED panel. It is used to transport the target T being manufactured. To this end, the magnetic levitation transfer device 1 may include a transfer track 10, a tray 20, and a control unit (FIGS. 3 and 30). The target (T) is fixed to the tray 20 and can be transferred on the transfer track 10, and the tray 20 to which the target T is fixed using magnetic force is a target in a state in which the target T is floating on the transfer track 10. (T) can be transferred.

도 3 및 도 4를 참조하면, 이송 궤도(10)는 일 방향으로 길게 이어져서 형성되며, 타겟(T)이 고정된 트레이(20)를 부상시킨 상태로 이동시키도록 제공된다. 이때, 트레이(20)의 이동은 이송 궤도(10)에 의해 안내되며, 트레이(20)를 부상시키고 추진시키며 자세를 제어하는 것 모두 자력에 의해 이루어질 수 있다. 이러한 이송 궤도(10)는 기저판(110), 안내부(120) 및 레일부(130)를 포함할 수 있다. 3 and 4, the transfer track 10 is formed to extend in one direction, and is provided to move the tray 20 to which the target T is fixed in a floating state. At this time, the movement of the tray 20 is guided by the transfer orbit 10, and both of lifting and propelling the tray 20 and controlling the posture may be made by magnetic force. This transfer track 10 may include a base plate 110, a guide portion 120, and a rail portion 130.

기저판(110)은 지면에 배치되어 이송 궤도(10)의 저면을 구성하도록 제공된다. 이러한 기저판(110)은 이송 궤도(10)가 연장 형성된 전체 길이에 대하여 단일의 판으로 구성될 수도 있고, 복수 개의 판이 서로 접촉 또는 소정 간격 이격되어 이어져서 배치될 수도 있다.The base plate 110 is disposed on the ground and provided to constitute the bottom surface of the transfer track 10. The base plate 110 may be configured as a single plate with respect to the entire length in which the transfer track 10 is extended, or a plurality of plates may be arranged in contact with each other or separated by a predetermined distance.

안내부(120)는 기저판(110) 상에 제공되어 이송 궤도(10)의 양 측벽을 구성하도록 제공될 수 있다. 이때, 안내부(120)는 기저판(110)으로부터 상방으로 연장 형성되는 두 개의 평평한 판 형상으로 제공될 수도 있고, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 내측 면에 계단 형상으로 1단 이상의 단차가 형성된 형상으로 제공될 수도 있다. 또한, 안내부(120)는 내측에 트레이(20)가 수용될 수 있도록 상면이 개방되고, 내측에 수용된 트레이(20)를 부상시키면서 트레이(20)의 이동을 안내한다. 이러한 안내부(120)는 궤도측 부상 자석(122), 궤도측 안내 자석(124), 안내 전자석(126), 지지 브라켓(127), 갭 센서(128) 및 댐핑 롤러(129)를 포함할 수 있다.The guide portion 120 may be provided on the base plate 110 to constitute both sidewalls of the transfer track 10. At this time, the guide portion 120 may be provided in the shape of two flat plates extending upward from the base plate 110, and as shown in Figs. 3 and 4, a step of one or more steps is provided in a step shape on the inner surface. It may be provided in a formed shape. In addition, the guide unit 120 has an upper surface open so that the tray 20 can be accommodated therein, and guides the movement of the tray 20 while floating the tray 20 accommodated therein. The guide unit 120 may include a track-side floating magnet 122, a track-side guide magnet 124, a guide electromagnet 126, a support bracket 127, a gap sensor 128, and a damping roller 129. have.

궤도측 부상 자석(122)은 안내부(120)의 하부에 제공되고, 상면이 노출되도록 설치될 수 있다. 이러한 궤도측 부상 자석(122)은 트레이(20)를 부상시키기 위해 필요한 자력을 제공하기 위해 구비된다. 또한, 궤도측 부상 자석(122)은 영구 자석으로 제공될 수 있으며, 복수 개의 영구 자석이 이송 궤도(10)의 연장 형성된 방향을 따라 이송 궤도(10) 전체 길이에 걸쳐서 배치될 수 있다. 또한, 궤도측 부상 자석(122)은 안내부(120)의 양 측에 제공될 수 있다. 이러한 궤도측 부상 자석(122)은 상면이 트레이측 부상 자석(220)의 하면과 대향하도록 배치될 수 있다. 또한, 궤도측 부상 자석(122)은 궤도측 부상 자석(122)의 하단부가 거더(134)의 하단부보다 하측에 놓이도록 배치될 수 있다.The track-side floating magnet 122 is provided under the guide unit 120 and may be installed so that the top surface is exposed. The track-side floating magnet 122 is provided to provide a magnetic force necessary for floating the tray 20. In addition, the track-side floating magnet 122 may be provided as a permanent magnet, and a plurality of permanent magnets may be disposed over the entire length of the transfer track 10 along the extending direction of the transfer track 10. In addition, the track-side floating magnet 122 may be provided on both sides of the guide portion 120. The track side floating magnet 122 may be disposed such that the upper surface faces the bottom surface of the tray side floating magnet 220. In addition, the track-side floating magnet 122 may be disposed such that the lower end of the track-side floating magnet 122 is placed below the lower end of the girder 134.

궤도측 안내 자석(124)은 궤도측 부상 자석의 상측에 제공될 수 있으며, 내측면(안내부(120)의 내측을 향하는 면)이 노출되도록 설치될 수 있다. 예를 들어, 궤도측 안내 자석(124)은 내측면이 트레이측 안내 자석(230)의 외측면과 대향하도록 배치될 수 있다. 이를 위해, 궤도측 부상 자석(122)이 설치되는 부분과 궤도측 안내 자석(124)이 설치되는 부분은 계단식으로 단차지게 형성될 수 있다. 이러한 궤도측 안내 자석(124)은 트레이(20)의 수직 방향 진동을 억제하기 위해 제공된다. 또한, 궤도측 안내 자석(124)은 궤도측 부상 자석(122)과 마찬가지로 영구 자석으로 제공될 수 있으며, 복수 개의 영구 자석이 이송 궤도(10)의 연장 형성된 방향을 따라 이송 궤도(10) 전체 길이에 걸쳐서 배치될 수 있다. 또한, 궤도측 안내 자석(124)은 복수 개로 제공될 수 있으며, 복수 개의 궤도측 안내 자석(124)은 안내부(120)의 양 측에 제공될 수 있다. 또한, 궤도측 안내 자석(124)은 궤도측 안내 자석(124)의 상단부가 거더(134)의 상단부 보다 상측에 놓이도록 배치될 수 있다.The track-side guide magnet 124 may be provided on the upper side of the track-side floating magnet, and may be installed to expose an inner side (a side facing the inner side of the guide portion 120). For example, the track-side guide magnet 124 may be disposed so that the inner surface thereof faces the outer surface of the tray-side guide magnet 230. To this end, a portion in which the track-side floating magnet 122 is installed and a portion in which the track-side guide magnet 124 is installed may be stepped in a stepped manner. The track-side guide magnet 124 is provided to suppress the vertical vibration of the tray 20. In addition, the track-side guide magnet 124 may be provided as a permanent magnet like the track-side floating magnet 122, and a plurality of permanent magnets extends the length of the transfer track 10 along the extended direction of the transfer track 10 Can be placed across. In addition, a plurality of track-side guide magnets 124 may be provided, and a plurality of track-side guide magnets 124 may be provided on both sides of the guide portion 120. In addition, the track-side guide magnet 124 may be arranged such that the upper end of the track-side guide magnet 124 is positioned above the upper end of the girder 134.

안내 전자석(126)은 안내부(120)의 트레이(20)가 수용되는 공간을 향해 자력을 발생시키도록 구비되며, 일 예로, 궤도측 안내 자석(124)의 상측에 제공될 수 있다. 그러나 이는 예시적인 것으로서, 안내 전자석(126)의 위치는 궤도측 안내 자석(124)의 상측이 아닌 위치에 설치되도록 변형 실시되는 것도 가능하다. 이러한 안내 전자석(126)은 트레이(20)의 수평 방향 위치를 제어하기 위해 제공되며, 이를 위해 안내 전자석(126)은 안내용 코어(1262)와 안내용 코일(1264)을 포함할 수 있다.The guide electromagnet 126 is provided to generate a magnetic force toward a space in which the tray 20 of the guide unit 120 is accommodated, and may be provided above the track-side guide magnet 124, for example. However, this is exemplary, and the position of the guide electromagnet 126 may be modified to be installed at a position other than the upper side of the track side guide magnet 124. The guide electromagnet 126 is provided to control the horizontal position of the tray 20, and for this, the guide electromagnet 126 may include a guide core 1262 and a guide coil 1264.

안내용 코어(1262)는 안내부(120)의 내측 벽면으로부터 돌출되어 형성되며, 안내용 코일(1264)이 권취될 수 있다. 또한, 안내용 코일(1264)은 전력 인가를 위해 별도로 제공되는 전원 장치(미도시)와 연결되어 전력을 공급받을 수 있으며, 이에 따라 자력을 생성할 수 있다.The guiding core 1262 is formed to protrude from the inner wall surface of the guiding portion 120, and the guiding coil 1264 may be wound. In addition, the guide coil 1264 may be connected to a power supply (not shown) provided separately for power application to receive power, thereby generating magnetic force.

안내 전자석(126)은 제어부(30)와 연결되어, 제어부(30)에 의해 안내 전자석(126)의 온오프 및 자력의 세기가 제어될 수 있다. The guide electromagnet 126 is connected to the control unit 30, and the on/off of the guide electromagnet 126 and the strength of magnetic force may be controlled by the control unit 30.

또한, 안내 전자석(126)은 복수 개로 제공될 수 있으며, 이송 궤도(10)의 연장 형성된 방향을 따라 소정 간격으로 이격되어 이송 궤도(10) 전체 길이에 걸쳐서 배치될 수 있다. 또한, 안내 전자석(126)은 안내부(120)의 양 측에 제공될 수 있다.In addition, the guide electromagnet 126 may be provided in plural, and may be spaced apart at predetermined intervals along the extending direction of the transfer track 10 and disposed over the entire length of the transfer track 10. In addition, the guide electromagnet 126 may be provided on both sides of the guide unit 120.

갭 센서(128)는 안내 전자석(126)과 트레이(20) 사이의 갭을 측정하기 위해 제공된다. 이러한 갭 센서(128)는 트레이(20)의 수평 방향 위치를 조정하기 위해, 안내 전자석(126)과 트레이(20) 사이의 갭을 실시간 측정하여 제어부(30)로 송신할 수 있다. 제어부(30)는 센싱 값을 이용하여 안내 전자석(126)으로 흐르는 전류량을 제어함으로써 안내 전자석(126)이 후술하는 트레이(20)의 판형 부재(250)에 작용하는 자력을 제어할 수 있다. 이에 따라, 안내 전자석(126)과트레이(20) 사이의 갭이 소정 값 이상으로 유지되도록 안내 전자석(126)의 자력이 제어될 수 있다.A gap sensor 128 is provided to measure the gap between the guide electromagnet 126 and the tray 20. The gap sensor 128 may measure a gap between the guide electromagnet 126 and the tray 20 in real time to adjust the position of the tray 20 in the horizontal direction, and transmit it to the controller 30. The control unit 30 may control the amount of current flowing to the guide electromagnet 126 using the sensing value, thereby controlling the magnetic force that the guide electromagnet 126 acts on the plate-shaped member 250 of the tray 20 to be described later. Accordingly, the magnetic force of the guide electromagnet 126 may be controlled so that the gap between the guide electromagnet 126 and the tray 20 is maintained above a predetermined value.

갭 센서(128)는 지지 브라켓(127)에 의해 지지될 수 있다. 지지 브라켓(127)은 안내부(120)의 양 측벽에 형성된 홀에 고정 설치되어 갭 센서(128)가 지지되도록 제공될 수 있다.The gap sensor 128 may be supported by a support bracket 127. The support bracket 127 may be fixedly installed in a hole formed in both sidewalls of the guide part 120 and provided to support the gap sensor 128.

한편, 안내부(120)는 댐핑 롤러(129)를 포함할 수 있으며, 댐핑 롤러(129)에 대한 구체적인 구성 및 작용은 후술하겠다.On the other hand, the guide unit 120 may include a damping roller 129, a specific configuration and operation of the damping roller 129 will be described later.

레일부(130)는 안내부(120)의 내측 수용 공간에 제공되며, 기저판(110)으로부터 상방으로 돌출 형성되어 트레이(20)에 적어도 일부 수용될 수 있다. 이에 따라, 트레이(20)의 이동을 위한 추진력이 레일부(130)에 의해 발생될 수 있다. 또한, 레일부(130)는 이송 궤도(10)의 전체 길이에 걸쳐서 연장 형성될 수도 있고, 도 2에 도시된 바와 같이 복수 개로 분절되어 소정 간격으로 이격 형성되는 것도 가능하다. 또한, 이때의 이격되는 간격은 분절 형성된 각각의 레일부(130)들의 길이에 대응되거나 다소 길게 형성될 수 있다. 이 경우, 레일부(130)가 형성되지 않은 부분에서 트레이(20)가 추진력을 얻지는 못하지만, 그 부분을 통과하기 전에 받은 추진력이 관성으로 작용하여, 트레이(20)가 레일부(130) 미 형성 영역을 지나더라도 이동이 멈추게 되지는 않는다. 이러한 기능을 발휘하기 위해 레일부(130)는 지지판(132), 거더(134) 및 추진 전자석(136)을 포함할 수 있다.The rail part 130 is provided in the inner receiving space of the guide part 120 and protrudes upward from the base plate 110 to be at least partially accommodated in the tray 20. Accordingly, a thrust force for movement of the tray 20 may be generated by the rail unit 130. In addition, the rail unit 130 may be extended over the entire length of the transport track 10, or may be divided into a plurality of pieces as shown in FIG. 2 to be separated at predetermined intervals. In addition, the spaced apart at this time may correspond to the length of each of the segmented rail units 130 or may be formed somewhat longer. In this case, the tray 20 does not obtain a propulsive force in the portion where the rail portion 130 is not formed, but the propulsive force received before passing through the portion acts as an inertia, so that the tray 20 is not formed by the rail portion 130 The movement does not stop even after passing through the formation area. In order to exert this function, the rail unit 130 may include a support plate 132, a girder 134 and a propulsion electromagnet 136.

지지판(132)은 기저판(110)의 상면에 고정되어 레일부(130)의 다른 부분들을 지지하기 위해 제공된다. 거더(134)는 지지판(132)의 상면에 고정되어 지지판(132)에 의해 지지될 수 있도록 제공되며, 추진 전자석(136)의 하측에 제공되어 추진 전자석(136)을 지지하도록 구비된다. 또한, 거더(134)는 후술할 트레이(20)의 거더 수용공간(216)에 수용되는 부분이다.The support plate 132 is fixed to the upper surface of the base plate 110 and is provided to support other portions of the rail unit 130. The girder 134 is fixed to the upper surface of the support plate 132 and is provided to be supported by the support plate 132, and is provided under the propulsion electromagnet 136 to support the propulsion electromagnet 136. In addition, the girder 134 is a portion accommodated in the girder accommodation space 216 of the tray 20 to be described later.

추진 전자석(136)은 자력을 발생시켜서 트레이(20)의 이동을 위한 추진력을 제공한다. 또한, 추진 전자석(136)은 일 예로 코어리스 전자석(coreless electromagnet)으로 구성될 수 있다. 다시 말해서, 추진 전자석(136)은 거더(134)의 상면으로부터 코일이 별도의 코어 없이 복수 회 허공에서 권취된 상태로 제공될 수 있다. 이와 같이 권취된 코일은 일 예로 에폭시(epoxy) 수지로 서로 접착되어 고정될 수 있다. 만약 추진 전자석(136)에 코어가 포함될 경우, 편심 하중이 발생되어 트레이(20)의 자세 제어가 어려울 수 있으나, 추진 전자석(136)이 코어리스 전자석으로 제공되는 경우 추진 전자석(136)의 편심 하중을 제거할 수 있다는 효과가 있다.The propulsion electromagnet 136 generates a magnetic force to provide a propulsion force for movement of the tray 20. In addition, the propulsion electromagnet 136 may be configured as, for example, a coreless electromagnet. In other words, the propulsion electromagnet 136 may be provided in a state in which the coil is wound in the air a plurality of times without a separate core from the upper surface of the girder 134. The coils wound in this way may be fixed by being bonded to each other with an epoxy resin, for example. If the core is included in the propulsion electromagnet 136, it may be difficult to control the attitude of the tray 20 due to the occurrence of an eccentric load, but when the propulsion electromagnet 136 is provided as a coreless electromagnet, the eccentric load of the propulsion electromagnet 136 There is an effect that can be removed.

또한, 추진 전자석(136)은 전력 인가를 위해 별도로 제공되는 전원 장치(미도시)와 연결되어 전력을 공급받을 수 있으며, 이에 따라 자력을 생성할 수 있다. 이때, 추진 전자석(136)은 3상 구조를 갖도록 구성될 수 있으며, 이에 따라 3상 교류 전력을 전원 장치로부터 공급받도록 구비될 수 있다.In addition, the propulsion electromagnet 136 may be connected to a power supply (not shown) provided separately for power application to receive power, thereby generating magnetic force. At this time, the propulsion electromagnet 136 may be configured to have a three-phase structure, and thus may be provided to receive three-phase AC power from a power supply device.

추진 전자석(136)은 제어부(30)와 연결되어, 제어부(30)에 의해 추진 전자석(136)의 온오프 및 자력의 세기가 제어될 수 있다. The propulsion electromagnet 136 is connected to the control unit 30, and the on/off of the propulsion electromagnet 136 and the strength of the magnetic force may be controlled by the control unit 30.

한편, 트레이(20)는 타겟(T)을 지지하면서, 이송 궤도(10) 상에서 타겟(T)을 이송시키기 위해 제공된다. 또한, 트레이(20)는 하면이 개방되어 레일부(130)의 상부가 수용되는 수용공간(214, 216)이 요입 형성될 수 있다. 또한, 트레이(20)는 이송 궤도(10) 상에서 부상된 상태로 이동할 수 있다. 이를 위해, 트레이(20)는 메인 바디(210), 타겟 고정부(211), 자석 고정부(212), 트레이측 부상 자석(220), 트레이측 안내 자석(230), 추진 영구 자석(240) 및 판형 부재(250)를 포함할 수 있다.On the other hand, the tray 20 is provided to transport the target T on the transport trajectory 10 while supporting the target T. In addition, the tray 20 has an open lower surface so that the receiving spaces 214 and 216 accommodating the upper portion of the rail unit 130 may be concave. In addition, the tray 20 can be moved in a floating state on the transfer track 10. To this end, the tray 20 is a main body 210, a target fixing part 211, a magnet fixing part 212, a tray-side floating magnet 220, a tray-side guide magnet 230, a propulsion permanent magnet 240 And it may include a plate-shaped member 250.

메인 바디(210)는 측면에 판형 부재(250)가 결합되고, 내부에 자성부 수용공간(214)이 형성된다. A plate-shaped member 250 is coupled to the side of the main body 210, and a magnetic part accommodating space 214 is formed therein.

타겟 고정부(211)에는 타겟(T)이 고정될 수 있다. 또한, 타겟 고정부(211)는 메인 바디(210)의 상면에 연결된다. The target T may be fixed to the target fixing part 211. In addition, the target fixing part 211 is connected to the upper surface of the main body 210.

자석 고정부(212)에는 트레이측 부상 자석(220) 및 트레이측 안내 자석(230)이 고정 설치될 수 있다. 또한, 자석 고정부(212)는 메인 바디(210)의 하부에 연결되며, 메인 바디(210)로부터 하방으로 돌출 형성될 수 있다. 이러한 자석 고정부(212)는 복수 개로 제공될 수 있으며, 복수 개의 자석 고정부(212)는 메인 바디(210)의 양측에 배치될 수 있다. 또한, 복수 개의 자석 고정부(212)는 서로 수평방햐응로 이격 배치될 수 있다. 이때, 자석 고정부(212)의 외측면(안내부(120)를 향하는 면)은 메인 바디(210)의 외측면(안내부(120)를 향하는 면)보다 돌출되는 형상을 가질 수 있다. 즉, 자석 고정부(212)는 메인 바디(210)의 양 측면보다 측방으로 돌출되도록 제공될 수 있다.A tray side floating magnet 220 and a tray side guide magnet 230 may be fixedly installed on the magnet fixing part 212. In addition, the magnet fixing part 212 is connected to the lower portion of the main body 210 and may be formed to protrude downward from the main body 210. A plurality of magnet fixing parts 212 may be provided, and a plurality of magnet fixing parts 212 may be disposed on both sides of the main body 210. In addition, the plurality of magnet fixing parts 212 may be disposed spaced apart from each other in a horizontal direction. In this case, an outer surface of the magnet fixing part 212 (a surface facing the guide part 120) may have a shape protruding from an outer surface of the main body 210 (a surface facing the guide part 120). That is, the magnet fixing part 212 may be provided to protrude laterally than both sides of the main body 210.

메인 바디(210)의 내부에는 하면이 개방된 자성부 수용공간(214)이 형성될 수 있다. 이러한 자성부 수용공간(214)의 내부에는 추진 전자석(136)이 수용될 수 있다. 또한, 복수 개의 자석 고정부(212)의 사이에는 자성부 수용공간(214)의 하측에 형성되는 거더 수용공간(216)이 형성될 수 있다. 이때, 거더 수용공간(216)은 복수 개의 자석 고정부(212)의 사이에 형성되며, 자성부 수용공간(214)은 거더 수용공간(216)보다 더 넓은 폭을 갖도록 형성될 수 있다.A magnetic part receiving space 214 with an open lower surface may be formed inside the main body 210. The propulsion electromagnet 136 may be accommodated in the magnetic part receiving space 214. In addition, a girder accommodation space 216 formed below the magnetic part accommodation space 214 may be formed between the plurality of magnet fixing parts 212. At this time, the girder accommodation space 216 is formed between the plurality of magnet fixing parts 212, and the magnetic part accommodation space 214 may be formed to have a wider width than the girder accommodation space 216.

트레이측 부상 자석(220)은 이송 궤도(10)의 궤도측 부상 자석(122)에 대향하는 위치에 제공되며, 트레이측 안내 자석(230)은 이송 궤도(10)의궤도측 안내 자석(124)에 대향하는 위치에 제공된다. 다시 말해서, 트레이측 부상 자석(220)은 하면이 노출되도록 자석 고정부(212)의 하면에 고정 설치되고, 트레이측 안내 자석(230)은 외측면(메인 바디(210)의 외측 방향을 향하는 면)이 노출되도록 자석 고정부(212)의 측면에 고정 설치될 수 있다. 이로써, 궤도측 안내 자석(124)과 트레이측 안내 자석(230) 간 자력 방향과, 궤도측 부상 자석(122)과 트레이측 부상 자석(220)간 자력 방향은 서로 교차하게 되며, 보다 상세하게는 궤도측 안내 자석(124)과 트레이측 안내 자석(230) 간 자력 방향은 수평 방향이고, 궤도측 부상 자석(122)과 트레이측 부상 자석(220) 간 자력 방향은 수직 방향일 수 있다. 트레이측 부상 자석(220)은 트레이측 부상 자석(220)의 하단부가 추진 전자석(136)의 하단부보다 하측에 놓이도록 배치될 수 있다. 또한, 트레이측 안내 자석(230)은 트레이측 안내 자석(230)의 상단부가 추진 전자석(136)의 하단부보다 상측에 놓이도록 배치될 수 있다. 이러한 트레이측 안내 자석(230)은 복수 개로 제공될 수 있으며, 복수 개의 트레이측 안내 자석(230) 각각은 복수 개의 자석 고정부(212) 각각의 외측에 배치될 수 있다.The tray side floating magnet 220 is provided in a position opposite to the track side floating magnet 122 of the transfer track 10, and the tray side guide magnet 230 is the track side guide magnet 124 of the transfer track 10. It is provided in a position opposite to. In other words, the tray-side floating magnet 220 is fixedly installed on the lower surface of the magnet fixing unit 212 so that the lower surface is exposed, and the tray-side guide magnet 230 is an outer surface (a surface facing the outside direction of the main body 210). ) May be fixedly installed on the side of the magnet fixing part 212 to be exposed. Thus, the magnetic force direction between the track-side guide magnet 124 and the tray-side guide magnet 230 and the magnetic force direction between the track-side floating magnet 122 and the tray-side floating magnet 220 cross each other, and more specifically A magnetic force direction between the track-side guide magnet 124 and the tray-side guide magnet 230 may be a horizontal direction, and a magnetic force direction between the track-side floating magnet 122 and the tray-side floating magnet 220 may be a vertical direction. The tray-side floating magnet 220 may be disposed such that the lower end of the tray-side floating magnet 220 is placed below the lower end of the propulsion electromagnet 136. In addition, the tray-side guide magnet 230 may be disposed so that the upper end of the tray-side guide magnet 230 is positioned above the lower end of the propulsion electromagnet 136. A plurality of tray-side guide magnets 230 may be provided, and each of the plurality of tray-side guide magnets 230 may be disposed outside each of the plurality of magnet fixing units 212.

트레이측 부상 자석(220)과 트레이측 안내 자석(230)은 메인 바디(210)의 양 측에 제공될 수 있다. 또한, 트레이측 부상 자석(220)과 트레이측 안내 자석(230)은 모두 영구 자석으로 구비될 수 있다.The tray side floating magnet 220 and the tray side guide magnet 230 may be provided on both sides of the main body 210. In addition, both the tray side floating magnet 220 and the tray side guide magnet 230 may be provided as permanent magnets.

이에 따라, 트레이측 부상 자석(220)과 궤도측 부상 자석(122) 간에 자력이 작용하게 되고, 트레이측 안내 자석(230)과 궤도측 안내 자석(124) 간에 자력이 작용하게 된다. 이때, 궤도측 부상 자석(122)과 트레이측 부상 자석(220) 간의 자력에 의해 트레이(20)가 부상된 상태로 유지될 수 있으며, 궤도측 안내 자석(124)과 트레이측 안내 자석(230) 간의 자력에 의해 트레이(20)의 수직 방향 진동이 억제될 수 있다. 또한, 궤도측 부상 자석(122)과 트레이측 부상 자석(220)간에는 척력이 작용하고, 궤도측 안내 자석(124)과 트레이측 안내 자석(230)간에는 인력이 작용하도록 각각의 영구 자석의 극성이 설정될 수 있다.Accordingly, a magnetic force acts between the tray-side floating magnet 220 and the track-side floating magnet 122, and a magnetic force acts between the tray-side guide magnet 230 and the track-side guide magnet 124. At this time, the tray 20 may be maintained in a floating state by magnetic force between the track side floating magnet 122 and the tray side floating magnet 220, and the track side guide magnet 124 and the tray side guide magnet 230 Vibration in the vertical direction of the tray 20 may be suppressed by the magnetic force of the liver. In addition, the polarity of each permanent magnet is such that a repulsive force acts between the track-side floating magnet 122 and the tray-side floating magnet 220, and an attractive force acts between the track-side guide magnet 124 and the tray-side guide magnet 230. Can be set.

여기서, 수직 방향 진동이란, 트레이(20)가 이송 궤도(10)를 따라 이동하면서 지면을 기준으로 상하 방향으로 흔들리는 현상을 말하며, 수직 방향 진동이 발생되는 이유는 복수의 영구 자석들로 이루어지는 궤도측 부상 자석(122)과 트레이측 부상 자석(220) 사이의 자력이 구간별로 미차가 존재하게 되어, 이러한 자력 차이로 인해 이동 중에 진동이 발생될 수 있다. 또한, 경우에 따라서는 제조 라인을 따라 배설되는 이송 궤도(10)의 일부 구간에는 궤도측 부상 자석(122)이 제공되지 않는 구간이 존재할 수 있다. 이와 같이 궤도측 부상 자석(122)이 제공되지 않는 구간을 트레이(20)가 통과할 때 급격한 자력 변화에 의해 상하 방향으로 진동이 발생될 수 있다. 나아가, 통상 수백 kg에 달하는 트레이(20)가 고속으로 이송 궤도(10) 상에서 이동하므로, 트레이(20)의 중량 및 이동 속도에 의한 진동도 상당한 수준으로 발생될 수 있다. 이러한 수직 방향 진동은 트레이(20)의 양 측에서 작용하는 궤도측 안내 자석(124)과 트레이측 안내 자석(230) 간의 인력에 의해 댐핑 작용이 이루어짐으로써 저감 내지는 제거할 수 있게 된다. 이때의 댐핑 정도는 궤도측 안내 자석(124)과 트레이측 안내 자석(230) 간에 설정된 인력의 세기에 따라 달라질 수 있다.Here, the vertical vibration refers to a phenomenon in which the tray 20 is shaken in the vertical direction with respect to the ground while moving along the transport track 10, and the reason for the vertical vibration occurs is the track side made of a plurality of permanent magnets. Since the magnetic force between the floating magnet 122 and the tray-side floating magnet 220 has a slight difference for each section, vibration may occur during movement due to the difference in magnetic force. In addition, in some cases, there may be a section in which the track side floating magnet 122 is not provided in some sections of the transfer track 10 disposed along the manufacturing line. As described above, when the tray 20 passes through the section where the track-side floating magnet 122 is not provided, vibration may be generated in the vertical direction due to a rapid magnetic force change. Further, since the tray 20, which normally weighs several hundred kg, moves on the transfer track 10 at high speed, vibration due to the weight and movement speed of the tray 20 may also be generated at a considerable level. This vertical vibration can be reduced or eliminated as a damping action is performed by the attraction between the track-side guide magnet 124 and the tray-side guide magnet 230 acting on both sides of the tray 20. The degree of damping at this time may vary depending on the strength of attraction set between the track-side guide magnet 124 and the tray-side guide magnet 230.

한편, 트레이(20)의 일 측에 제공된 궤도측 안내 자석(124)과트레이측 안내 자석(230) 간 인력이 타 측에 제공된 궤도측 안내 자석(124)과 트레이측 안내 자석(230) 간 인력보다 크게 설정될 수 있다. 이에 따라, 외부 전원 차단 등에 의해 안내 전자석(126)에서 발생되던 자력이 제거되었을 때, 인력 차이로 인해 트레이(20)가 인력이 강한 쪽으로 이동되어 안내부(120)의 내벽면에 부착될 수 있다. 이로써 장치의 동작 정지시 트레이(20)가 간편하게 보관될 수 있다. On the other hand, the attraction between the track-side guide magnet 124 and the tray-side guide magnet 230 provided on one side of the tray 20 is the attraction between the track-side guide magnet 124 and the tray-side guide magnet 230 provided on the other side. It can be set to be larger. Accordingly, when the magnetic force generated in the guide electromagnet 126 is removed due to external power cut off, etc., the tray 20 may be moved toward the strong attraction due to the difference in attraction, and may be attached to the inner wall surface of the guide unit 120 . Accordingly, the tray 20 can be conveniently stored when the device is stopped.

이와 같이 트레이(20)가 안내부(120)의 내벽면을 향해 이동될 때, 안내부(120)의 내벽면과의 충돌을 최소화하기 위해, 안내부(120)에 댐핑 롤러(129)가 제공될 수 있다. 댐핑 롤러(129)는 트레이(20)를 향해 안내부(120)의 내벽면으로부터 돌출되도록 제공된다. 이에 따라, 트레이(20)가 안내부(120)의 내벽면을 향해 이동할 때 댐핑 롤러(129)가 트레이(20)와 가장 먼저 맞닿음으로써 완충 작용이 이루어질 수 있다.In this way, when the tray 20 is moved toward the inner wall surface of the guide unit 120, a damping roller 129 is provided on the guide unit 120 to minimize collision with the inner wall surface of the guide unit 120 Can be. The damping roller 129 is provided so as to protrude from the inner wall surface of the guide portion 120 toward the tray 20. Accordingly, when the tray 20 moves toward the inner wall surface of the guide unit 120, the damping roller 129 first comes into contact with the tray 20, thereby providing a buffering action.

한편, 메인 바디(210)의 측면에는 판형 부재(250)가 결합되며, 판형 부재(250)는안내 전자석(126)에 대향하는 위치에 제공된다. 또한, 안내 전자석(126)이 판형 부재(250)에 작용하는 자력에 의해 트레이(20)의 수평 방향 위치가 제어될 수 있다.Meanwhile, a plate-shaped member 250 is coupled to a side surface of the main body 210, and the plate-shaped member 250 is provided at a position opposite to the guide electromagnet 126. In addition, the position of the tray 20 in the horizontal direction may be controlled by the magnetic force that the guide electromagnet 126 acts on the plate member 250.

여기서, 수평 방향 위치란, 트레이(20)가 이송 궤도(10)를 따라 이동할 때 이동 방향을 기준으로 좌측 또는 우측 방향으로 치우쳐진 위치를 말하며, 원칙적으로는 트레이(20)가 안내부(120)의 수평 방향 중심에 위치한 상태에서 이동하는 것이 바람직하나, 트레이(20) 양 측의 궤도측 안내 자석(124)과 트레이측 안내 자석(230) 간의 인력 차이에 따라 트레이(20)가 미세하게 좌측 또는 우측 방향으로 치우쳐질 수 있다. 이러한 수평 방향 위치는 트레이(20)의 양 측에서안내 전자석(126)이 판형 부재(250)에 작용하는 자력의 세기를 제어함으로써 조정될 수 있다.Here, the horizontal position refers to a position that is skewed to the left or right with respect to the moving direction when the tray 20 moves along the transport track 10, and in principle, the tray 20 is the guide unit 120 It is preferable to move in a state located in the center of the horizontal direction of the tray 20, but depending on the difference in attraction between the track-side guide magnet 124 and the tray-side guide magnet 230 on both sides of the tray 20, the tray 20 is slightly left or It can be skewed to the right. This horizontal position can be adjusted by controlling the strength of the magnetic force applied to the plate-shaped member 250 by the guide electromagnets 126 on both sides of the tray 20.

추진 영구 자석(240)은 안내부(120)의 추진 전자석(136)의 양 측에 대향하는 위치에 제공되며, 트레이(20)의 수용공간(214, 216)의 내측벽에 고정될 수 있다. 더욱 상세하게는, 트레이(20)의 내부에 형성되는 자성부 수용공간(214)의 내측 벽에 고정 설치될 수 있다. 이러한 추진 영구 자석(240)은 레일부(130)의 추진 전자석(136)에서 발생되는 자력의 영향을 받아 추진력을 발생시킬 수 있으며, 이렇게 발생된 추진력에 의해 트레이(20)가 이동할 수 있다.The permanent propulsion magnet 240 is provided at a position opposite to both sides of the propulsion electromagnet 136 of the guide 120 and may be fixed to the inner walls of the receiving spaces 214 and 216 of the tray 20. In more detail, it may be fixedly installed on the inner wall of the magnetic portion receiving space 214 formed inside the tray 20. This permanent propulsion magnet 240 may generate a propulsive force under the influence of the magnetic force generated from the propulsion electromagnet 136 of the rail unit 130, and the tray 20 may move by the propulsion force thus generated.

이하에서는 추진 영구 자석(240)과 추진 전자석(136)에 의해 트레이(20)가 추진력을 받아서 이동하는 원리를 도 5를 참조하여 설명하겠다.Hereinafter, a principle in which the tray 20 moves by receiving the propulsion force by the propulsion permanent magnet 240 and the propulsion electromagnet 136 will be described with reference to FIG. 5.

도 5를 참조하면, 이러한 추진 영구 자석(240)은 복수 개의 영구 자석이 배열된 형태로 구성될 수 있으며, 트레이(20)의 이동 방향을 따라 서로 다른 극성의 영구 자석들이 교번하여 배치될 수 있다. 이에 따라, 추진 전자석(136)에 3상 교류 전류가 공급되면, 추진 전자석(136)에 의한 자기장이 형성되고, 형성된 자기장이 추진 영구 자석(240)에 영향을 미치면서 추진 영구 자석(240)은 추진 전자석(136)으로부터 흡인력과 반발력을 받게 된다. 이렇게 작용하는 흡인력과 반발력에 의해 추진력이 발생되며, 이렇게 발생되는 추진력에 의해 트레이(20)가 이동하게 된다. 다시 말해서, 추진 영구 자석(240)과 추진 전자석(136)은 리니어 모터(linear motor)의 원리로 트레이(20)를 이동시키기 위한 추진력을 발생시킬 수 있다.5, the propulsion permanent magnet 240 may be configured in a form in which a plurality of permanent magnets are arranged, and permanent magnets of different polarities may be alternately disposed along the moving direction of the tray 20. . Accordingly, when the three-phase alternating current is supplied to the propulsion electromagnet 136, a magnetic field is formed by the propulsion electromagnet 136, and the formed magnetic field affects the propulsion permanent magnet 240 while the propulsion permanent magnet 240 is A suction force and a repulsion force are received from the propulsion electromagnet 136. A driving force is generated by the suction force and repulsive force acting in this way, and the tray 20 is moved by the driving force generated in this way. In other words, the permanent propulsion magnet 240 and the propulsion electromagnet 136 may generate a propulsion force for moving the tray 20 by the principle of a linear motor.

다시 도 3 및 도 4로 돌아오면, 판형 부재(250)는 메인 바디(102)의 양 측벽에 제공되고, 안내 전자석(126)에 대향하는 위치에 설치될 수 있다. 이러한 판형 부재(250)는 금속 등 자력에 노출되면 자성을 띄는 물체로서 제공될 수 있으며, 일 예로 철판으로 구성될 수 있다. 판형 부재(250)는 안내 전자석(126)에 의해 형성되는 자기장의 영향을 받아서 인력 또는 척력을 받을 수 있으며, 양 측으로부터 받는 힘으로 인해 트레이(20)의 이동 중 수평 방향 위치가 조정 및 유지될 수 있다.Returning to FIGS. 3 and 4 again, the plate-shaped member 250 is provided on both side walls of the main body 102 and may be installed at a position opposite to the guide electromagnet 126. The plate-shaped member 250 may be provided as an object exhibiting magnetism when exposed to magnetic force such as metal, and may be formed of an iron plate as an example. The plate-shaped member 250 may receive attractive force or repulsive force under the influence of the magnetic field formed by the guide electromagnet 126, and the horizontal position during the movement of the tray 20 due to the force received from both sides can be adjusted and maintained. I can.

제어부(30)는 추진 전자석(136) 및 안내 전자석(126)으로의 전력 공급을 제어할 수 있으며, 갭 센서(128)로부터 안내 전자석(126)과 트레이(20) 사이의 갭에 관한 센싱 결과를 수신하여 이를 안내 전자석(126)의 제어에 이용하도록 구성될 수 있다. 이를 위해 제어부(30)는 예컨대 소형 내장형 컴퓨터로 이루어질 수 있고, 프로그램, 메모리, CPU로 이루어지는 데이터 처리부 등을 구비할 수 있다. 제어부(30)의 프로그램은, 갭 센서(128)로부터 센싱 정보를 수신받아서 안내 전자석(126)으로 인가되는 전류 값을제어하기 위한 알고리즘을 포함할 수 있다. 또한, 제어부(30)의 프로그램은 기 설정되었거나 별도로 제공되는 입력 장치(미도시)에 의해 입력된 정보 및/또는 별도로 제공되는 센서 장치(미도시)에 의해 센싱된 정보를 기반으로 추진 전자석(136)으로 인가되는전류 값을 제어하여 트레이(20)의 이동 속도 및 방향을 제어하기 위한 알고리즘을 포함할 수 있다. 이러한 제어부(30)의 프로그램은, 컴퓨터 기억 매체 예컨대 플렉시블 디스크, 컴팩트 디스크, 하드 디스크, MO(광자기 디스크) 등의 메모리에 저장되어 제어부(30)에 설치될 수 있다. The control unit 30 can control the power supply to the propulsion electromagnet 136 and the guide electromagnet 126, and the sensing result of the gap between the guide electromagnet 126 and the tray 20 from the gap sensor 128 It may be configured to receive and use it for control of the guide electromagnet 126. To this end, the control unit 30 may be formed of, for example, a small built-in computer, and may include a program, a memory, and a data processing unit including a CPU. The program of the control unit 30 may include an algorithm for receiving sensing information from the gap sensor 128 and controlling a current value applied to the guide electromagnet 126. In addition, the program of the control unit 30 is based on information input by a preset or separately provided input device (not shown) and/or information sensed by a separately provided sensor device (not shown), the propulsion electromagnet 136 ) May include an algorithm for controlling the moving speed and direction of the tray 20 by controlling the current value applied to it. The program of the control unit 30 may be stored in a memory such as a computer storage medium, such as a flexible disk, a compact disk, a hard disk, or a magneto-optical disk (MO), and installed in the control unit 30.

이하에서는, 상술한 바와 같은 구성을 갖는 본 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치(1)의 작용 및 효과에 대하여 설명하겠다.Hereinafter, the operation and effect of the magnetic levitation transfer device 1 according to the present embodiment having the configuration as described above will be described.

본 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치(1)는 반도체 웨이퍼, PDP 패널, LCD 패널 등의 타겟(T)을 제조하기 위한 라인상에 설치되어 제조 중인 타겟(T)을 제조 라인을 따라 이송시키기 위해 제공된다. 이때, 타겟(T)이 고정된 트레이(20)가 이송 궤도(10) 상에서 부상된 상태로 이송 궤도(10)에 의해 안내되면서 추진력을 받아 이동할 수 있다.The magnetic levitation transfer device 1 according to this embodiment is installed on a line for manufacturing a target T such as a semiconductor wafer, a PDP panel, an LCD panel, etc. to transfer the target T being manufactured along the manufacturing line. Is provided. At this time, while the tray 20 to which the target T is fixed is guided by the transfer track 10 in a state floating on the transfer track 10, it may be moved by receiving a driving force.

이때, 트레이(20)의 부상은 이송 궤도(10)의 안내부(120)에 제공된 궤도측 부상 자석(122)과 트레이(20)에 제공된 트레이측 부상 자석(220) 간에 작용하는 자력(척력)에 의해 이루어질 수 있다. 또한, 트레이(20)는 이송 궤도(10) 상에서 부상하는 상태로 항상 유지될 수 있다. 따라서, 트레이(20)는 외부 전원 차단 등에 의해 안내 전자석(126)에서 발생되던 자력이 제거되었을 때에도 부상하는 상태로 유지될 수 있다.At this time, the floating of the tray 20 is a magnetic force (repulsive force) acting between the track-side floating magnet 122 provided on the guide portion 120 of the transfer track 10 and the tray-side floating magnet 220 provided on the tray 20 Can be done by In addition, the tray 20 can always be maintained in a state floating on the transfer track 10. Accordingly, the tray 20 may be maintained in a floating state even when the magnetic force generated in the guide electromagnet 126 is removed due to an external power cut off or the like.

트레이(20)가 이동하는 중에 궤도측 부상 자석(122)과트레이측 부상 자석(220) 간에 작용하는 자력이 이동 방향을 따라 일정하지 않고 미차가 존재할 수 있다. 이에 따라 트레이(20)에 수직 방향 진동이 발생될 수 있다. 이러한 수직 방향 진동은, 이송 궤도(10)의 안내부(120)에 제공된 궤도측 안내 자석(124)과 트레이(20)에 제공된 트레이측 안내 자석(230) 간에 작용하는 자력(인력)에 의해 저감 내지는 억제될 수 있다.While the tray 20 is moving, the magnetic force acting between the track-side floating magnet 122 and the tray-side floating magnet 220 is not constant along the moving direction and may have a slight difference. Accordingly, vertical vibration may occur in the tray 20. This vertical vibration is reduced by magnetic force (manpower) acting between the track side guide magnet 124 provided on the guide portion 120 of the transfer track 10 and the tray side guide magnet 230 provided on the tray 20 Can be suppressed.

이때, 트레이(20)의 양 측에 대하여 작용하는 자력이 서로 차이가 발생되는 경우가 있을 수 있다. 이러한 자력 차이는 트레이(20)의 수평 방향 위치를 이송 궤도(10)의 중앙으로부터 좌측 또는 우측으로 치우쳐지도록 하는 원인이 된다. 이러한 트레이(20)의 수평 방향 위치를 조정하기 위해 이송 궤도(10)의 안내부(120)에는 안내 전자석(126)이 제공되고, 트레이(20)에는 판형 부재(250)가 제공될 수 있다. 판형 부재(250)는 안내 전자석(126)에서 형성되는 자기장의 영향을 받아 자성을 띄게 되며, 안내 전자석(126)으로부터 자력을 받게 된다. 이에 따라, 트레이(20)의 양 측에 대향하여 제공되는 안내 전자석(126)에 의해 발생되는 자기장의 세기를 조절함으로써, 트레이(20)의 수평 방향 위치가 조정될 수 있다.At this time, there may be a case in which magnetic forces acting on both sides of the tray 20 differ from each other. This difference in magnetic force causes the horizontal position of the tray 20 to be skewed to the left or right from the center of the transfer track 10. In order to adjust the position of the tray 20 in the horizontal direction, a guide electromagnet 126 may be provided on the guide portion 120 of the transfer track 10 and a plate-shaped member 250 may be provided on the tray 20. The plate-shaped member 250 becomes magnetic under the influence of a magnetic field formed in the guide electromagnet 126 and receives magnetic force from the guide electromagnet 126. Accordingly, by adjusting the strength of the magnetic field generated by the guide electromagnet 126 provided opposite to both sides of the tray 20, the horizontal position of the tray 20 may be adjusted.

이러한 수평 방향 위치 조절에 있어서, 갭 센서(128)가 이용될 수 있으며, 구체적으로 갭 센서(128)가 센싱한 안내 전자석(126)과 트레이(20) 사이의 갭이 소정 거리로 유지되도록 제어부(30)에서 안내 전자석(126)의 공급 전력을 제어할 수 있다.In this horizontal position adjustment, the gap sensor 128 may be used, and in detail, the control unit (the control unit) so that the gap between the guide electromagnet 126 sensed by the gap sensor 128 and the tray 20 is maintained at a predetermined distance. In 30), the power supply of the guide electromagnet 126 can be controlled.

한편, 트레이(20)의 이동을 위한 추진력은 이송 궤도(10)의 레일부(130)에 제공된 추진 전자석(136)과 트레이(20)에 제공된 추진 영구 자석(240) 간에 작용하는 흡인력과 반발력에 의해 발생된다. 다시 말해서, 추진 전자석(136)과 추진 영구 자석(240)은 리니어 모터를 구성할 수 있다. 또한, 추진 전자석(136)의 공급 전력이 제어부(30)에 의해 제어됨에 따라, 트레이(20)를 이동시키기 위한 추진력이 제어될 수 있다.On the other hand, the propulsion force for the movement of the tray 20 is the suction force and the repulsive force acting between the propulsion electromagnet 136 provided on the rail portion 130 of the transfer track 10 and the propulsion permanent magnet 240 provided on the tray 20 Is caused by In other words, the propulsion electromagnet 136 and the propulsion permanent magnet 240 may constitute a linear motor. In addition, as the power supplied from the propulsion electromagnet 136 is controlled by the controller 30, the propulsion force for moving the tray 20 may be controlled.

자기 부상 이송 장치(1)의 가동이 중지될 때, 즉 안내 전자석(126)과 추진 전자석(136)에 공급되는 전력의 공급이 중지될 때, 트레이(20)의 수평 방향 위치를 제어하던 안내 전자석(126)의 자기장이 제거된다. 이에 따라 트레이(20)는 양 측 중 안내 자석들(124, 230) 간의 인력이 더 강한 측 방향으로 이동되어 안내부(120)의 내측 벽면에 부착되어 보관될 수 있다. 이 때에도 부상 자석들(122, 220) 간의 자력은 유지되므로, 부상된 상태로 부착되어 보관된다. 또한, 트레이(20)가 안내부(120)에 부착될 때 댐핑 롤러(129)에 의해 완충되어 충격에 의한 파손이 방지될 수 있다.When the operation of the magnetic levitation transfer device 1 is stopped, that is, when the supply of power supplied to the guide electromagnet 126 and the propulsion electromagnet 136 is stopped, the guide electromagnet that controls the horizontal position of the tray 20 The magnetic field of (126) is removed. Accordingly, the tray 20 may be moved in a direction in which the attraction between the guide magnets 124 and 230 among both sides is stronger, and may be attached to and stored on the inner wall of the guide unit 120. Even at this time, since the magnetic force between the floating magnets 122 and 220 is maintained, it is attached and stored in a floating state. In addition, when the tray 20 is attached to the guide part 120, it is buffered by the damping roller 129, so that damage due to impact may be prevented.

본 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치(1)에 따르면, 종래의 이송 장치들에 비하여 전자석의 사용이 대폭 줄어들게 되어 장치의 소형화 및 저비용화가 가능하고, 접촉식 베어링 대신 궤도측 안내 자석(124)과 트레이측 안내 자석(230) 간의 자력 및 안내 전자석(126)과 판형 부재(250) 간의 자력에 의해 트레이(20)의 위치가 조정 및 유지되므로, 접촉식 베어링 부재의 마모 등에 의해 구성 부품의 수명이 줄어드는 것을 차단할 수 있고, 분진 발생 가능성 또한 원천적으로 차단할 수 있다는 효과가 있다. According to the magnetic levitation transfer device 1 according to the present embodiment, the use of electromagnets is significantly reduced compared to conventional transfer devices, so that the device can be miniaturized and cost-effective, and the track-side guide magnet 124 and Since the position of the tray 20 is adjusted and maintained by the magnetic force between the guide magnet 230 on the tray side and the magnetic force between the guide electromagnet 126 and the plate member 250, the life of the component parts is reduced due to wear of the contact type bearing member, etc. There is an effect that it can block the reduction, and the possibility of dust generation can also be fundamentally blocked.

이상 본 발명의 실시예들을 구체적인 실시 형태로서 설명하였으나, 이는 예시에 불과한 것으로서, 본 발명은 이에 한정되지 않는 것이며, 본 명세서에 개시된 기초 사상에 따르는 최광의 범위를 갖는 것으로 해석되어야 한다. 당업자는 개시된 실시형태들을 조합/치환하여 적시되지 않은 형상의 패턴을 실시할 수 있으나, 이 역시 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 것이다. 이외에도 당업자는 본 명세서에 기초하여 개시된 실시형태를 용이하게 변경 또는 변형할 수 있으며, 이러한 변경 또는 변형도 본 발명의 권리범위에 속함은 명백하다.The embodiments of the present invention have been described above as specific embodiments, but these are only examples, and the present invention is not limited thereto, and should be construed as having the widest scope in accordance with the basic idea disclosed herein. A person skilled in the art may combine/substitute the disclosed embodiments to implement a pattern of a shape not indicated, but this also does not depart from the scope of the present invention. In addition, those skilled in the art can easily change or modify the disclosed embodiments based on the present specification, and it is clear that such changes or modifications also belong to the scope of the present invention.

1: 자기 부상이송 장치 10: 이송 궤도
110: 기저판 120: 안내부
122: 궤도측 부상 자석 124: 궤도측 안내 자석
126: 안내 전자석 1262: 안내용 코어
1264: 안내용 코일 127: 지지 브라켓
128: 갭 센서 129: 댐핑 롤러
130: 레일부 132: 지지판
134: 거더 136: 추진 전자석
20: 트레이 210: 메인 바디
211: 타겟 고정부 212: 자석 고정부
214: 자성부 수용공간 216: 거더 수용공간
220: 트레이측 부상 자석 230: 트레이측 안내 자석
240: 추진 영구 자석 250: 판형 부재1: magnetic levitation transfer device 10: transfer track
110: base plate 120: guide
122: track side floating magnet 124: track side guide magnet
126: guide electromagnet 1262: guide core
1264: guide coil 127: support bracket
128: gap sensor 129: damping roller
130: rail part 132: support plate
134: girder 136: propulsion electromagnet
20: tray 210: main body
211: target fixing part 212: magnet fixing part
214: magnetic part accommodation space 216: girder accommodation space
220: tray side floating magnet 230: tray side guide magnet
240: propulsion permanent magnet 250: plate member

Claims (14)

타겟을 지지하면서, 상기 타겟을 이송시키기 위해 제공되는 트레이; 및
내측에 상기 트레이가 수용될 수 있도록 상면이 개방되고, 내측에 수용된 상기 트레이를 부상시키면서 상기 트레이의 이동을 안내하는 안내부를 포함하는 이송 궤도를 포함하고,
상기 안내부는,
하부에 제공되는 궤도측 부상 자석; 및
상기 궤도측 부상 자석의 상측에 제공되는 궤도측 안내 자석을 포함하고,
상기 트레이는,
상기 궤도측 부상 자석에 대향하는 위치에 제공되는 트레이측 부상 자석; 및
상기 궤도측 안내 자석에 대향하는 위치에 제공되는 트레이측 안내 자석를 포함하고,
상기 궤도측 부상 자석과 상기 트레이측 부상 자석 간의 자력에 의해 상기 트레이가 부상되고, 상기 궤도측 안내 자석과 상기 트레이측 안내 자석 간의 자력에 의해 상기 트레이의 수직 방향 진동이 억제되며,
상기 트레이는,
적어도 일부가 상기 안내부의 내측에 배치되는 메인 바디; 및
상기 메인 바디로부터 하방으로 돌출되되, 상기 이송 궤도의 일부가 수용되는 거더 수용공간이 형성되도록 수평방향으로 이격 배치되는 복수 개의 자석 고정부를 포함하고,
상기 이송 궤도는,
측면이 상기 복수 개의 자석 고정부와 소정의 갭을 형성하도록 적어도 일부가 상기 거더 수용공간의 내측에 배치되는 거더; 및
상기 거더의 상면에 지지되고, 자력을 통해 상기 트레이의 이동을 위한 추진력을 제공하는 추진 전자석을 포함하는,
자기 부상이송 장치.A tray provided for transferring the target while supporting the target; And
The upper surface is opened so that the tray can be accommodated inside, and a transfer track including a guide portion for guiding the movement of the tray while floating the tray accommodated inside,
The guide unit,
A track-side floating magnet provided in the lower portion; And
It includes a track-side guide magnet provided on the upper side of the track-side floating magnet,
The tray,
A tray side floating magnet provided at a position opposite to the track side floating magnet; And
And a tray-side guide magnet provided at a position opposite to the track-side guide magnet,
The tray is floated by a magnetic force between the track side floating magnet and the tray side floating magnet, and vertical vibration of the tray is suppressed by magnetic force between the track side guide magnet and the tray side guide magnet,
The tray,
A main body at least partially disposed inside the guide portion; And
It protrudes downward from the main body, and includes a plurality of magnet fixing portions disposed horizontally apart to form a girder accommodation space in which a part of the transfer track is accommodated,
The conveying trajectory,
A girder at least partially disposed inside the girder accommodating space so that a side surface forms a predetermined gap with the plurality of magnet fixing portions; And
It is supported on the upper surface of the girder, comprising a propulsion electromagnet that provides a propulsion force for the movement of the tray through magnetic force,
Magnetic levitation transfer device. 제 1 항에 있어서,
상기 트레이측 부상 자석은, 상기 자석 고정부의 하면부에 배치되고,
상기 트레이측 안내 자석은, 상기 트레이측 부상 자석의 상측에 배치되되, 상기 자석 고정부의 외측면부에 배치되며,
상기 궤도측 부상 자석은, 상기 트레이측 부상 자석의 하면과 대향하도록 배치되고,
상기 궤도측 안내 자석은, 상기 트레이측 안내 자석의 외측면과 대향하도록 배치된,
자기 부상이송 장치.The method of claim 1,
The tray-side floating magnet is disposed on a lower surface of the magnet fixing part,
The tray-side guide magnet is disposed on the upper side of the tray-side floating magnet, and is disposed on the outer surface of the magnet fixing part,
The track side floating magnet is disposed so as to face a lower surface of the tray side floating magnet,
The track-side guide magnet is disposed to face an outer surface of the tray-side guide magnet,
Magnetic levitation transfer device. 제 2 항에 있어서,
상기 궤도측 부상 자석과 상기 트레이측 안내 자석은 각각 복수 개로 제공되며,
상기 복수 개의 트레이측 안내 자석 각각은, 상기 복수 개의 자석 고정부 각각의 외측에 배치되고,
상기 복수 개의 궤도측 부상 자석은, 각각 상기 복수 개의 트레이측 안내 자석의 외측면과 대향하도록 배치되는,
자기 부상이송 장치.The method of claim 2,
Each of the track side floating magnet and the tray side guide magnet is provided in plural,
Each of the plurality of tray-side guide magnets is disposed outside each of the plurality of magnet fixing parts,
The plurality of track-side floating magnets are each disposed to face an outer surface of the plurality of tray-side guide magnets,
Magnetic levitation transfer device. 제 1 항에 있어서,
상기 트레이측 부상 자석은, 상기 트레이측 부상 자석의 하단부가 상기 추진 전자석의 하단부보다 하측에 배치되고,
상기 트레이측 안내 자석은, 상기 트레이측 안내 자석의 상단부가 상기 추진 전자석의 하단부보다 상측에 배치되는,
자기 부상이송 장치.The method of claim 1,
In the tray-side floating magnet, a lower end of the tray-side floating magnet is disposed below a lower end of the propulsion electromagnet,
The tray-side guide magnet, the upper end of the tray-side guide magnet is disposed above the lower end of the propulsion electromagnet,
Magnetic levitation transfer device. 제 1 항에 있어서,
상기 궤도측 부상 자석은, 상기 궤도측 부상 자석의 하단부가 상기 거더의 하단부보다 하측에 배치되고,
상기 궤도측 안내 자석은, 상기 궤도측 안내 자석의 상단부가 상기 거더의 상단부보다 상측에 배치되는,
자기 부상이송 장치.The method of claim 1,
In the track-side floating magnet, a lower end of the track-side floating magnet is disposed below the lower end of the girder,
The track-side guide magnet, the upper end of the track-side guide magnet is disposed above the upper end of the girder,
Magnetic levitation transfer device. 제 1 항에 있어서,
상기 자석 고정부는, 상기 메인 바디의 양 측면보다 측방으로 돌출되도록 제공되는,
자기 부상이송 장치.The method of claim 1,
The magnet fixing part is provided to protrude laterally than both sides of the main body,
Magnetic levitation transfer device. 제 1 항에 있어서,
상기 트레이는, 적어도 일면이 상기 추진 전자석과 대향하도록 상기 메인 바디의 내면에 지지된 추진 영구 자석을 포함하고,
자기 부상이송 장치.The method of claim 1,
The tray includes a permanent propulsion magnet supported on the inner surface of the main body such that at least one side faces the propulsion electromagnet,
Magnetic levitation transfer device. 제 7 항에 있어서,
상기 추진 영구 자석은 상기 트레이의 이동 방향을 따라 서로 다른 극성이 교번하여 배치되도록 복수 개가 배열되는,
자기 부상이송 장치.The method of claim 7,
A plurality of the propulsion permanent magnets are arranged so that different polarities are alternately disposed along the moving direction of the tray,
Magnetic levitation transfer device. 제 1 항에 있어서,
상기 안내부는, 상기 트레이가 수용되는 공간을 향해 자력을 발생시키도록 구비되는 안내 전자석을 더 포함하고,
상기 트레이는, 상기 안내 전자석에 대향하도록 상기 메인 바디의 측면에 결합되는 판형 부재를 더 포함하는,
자기 부상이송 장치.The method of claim 1,
The guide unit further includes a guide electromagnet provided to generate a magnetic force toward a space in which the tray is accommodated,
The tray further comprises a plate-shaped member coupled to a side surface of the main body to face the guide electromagnet,
Magnetic levitation transfer device. 제 1 항에 있어서,
상기 궤도측 부상 자석, 상기 궤도측 안내 자석, 상기 트레이측 부상 자석 및 상기 트레이측 안내 자석은 모두 영구 자석으로 구비되는,
자기 부상이송 장치.The method of claim 1,
The track side floating magnet, the track side guide magnet, the tray side floating magnet and the tray side guide magnet are all provided as permanent magnets,
Magnetic levitation transfer device. 제 1 항에 있어서,
상기 궤도측 부상 자석과 상기 트레이측 부상 자석 간에는 척력이 작용하고, 상기 궤도측 안내 자석과 상기 트레이측 안내 자석 간에는 인력이 작용하도록 구성되는,
자기 부상이송 장치.The method of claim 1,
It is configured such that a repulsive force acts between the track side floating magnet and the tray side floating magnet, and an attractive force acts between the track side guide magnet and the tray side guide magnet,
Magnetic levitation transfer device. 제 3 항에 있어서,
상기 복수 개의 궤도측 안내 자석과 상기 복수 개의 트레이측 안내 자석은,
상기 트레이의 일측에 제공된 궤도측 안내 자석과 상기 일측에 제공된 트레이측 안내 자석 간 인력이 상기 트레이의 타측에 제공된 궤도측 안내 자석과 상기 타측에 제공된 트레이측 안내 자석 간 인력보다 크도록 구성된,
자기 부상이송 장치.The method of claim 3,
The plurality of track-side guide magnets and the plurality of tray-side guide magnets,
The attraction between the track-side guide magnet provided on one side of the tray and the tray-side guide magnet provided on the one side is configured to be greater than the attraction between the track-side guide magnet provided on the other side of the tray and the tray-side guide magnet provided on the other side,
Magnetic levitation transfer device. 제 12 항에 있어서,
상기 안내부는, 상기 트레이를 향해 상기 안내부의 내벽면으로부터 돌출되도록 제공되는 댐핑 롤러를 더 포함하고,
상기 댐핑 롤러는, 상기 트레이가 상기 안내부의 내벽면에 밀착될 경우, 상기 트레이에 접촉되어 완충 작용을 하도록 구비되는,
자기 부상이송 장치.The method of claim 12,
The guide portion further comprises a damping roller provided to protrude from the inner wall surface of the guide portion toward the tray,
The damping roller, when the tray is in close contact with the inner wall surface of the guide portion, is provided to be in contact with the tray to act as a buffer,
Magnetic levitation transfer device. 제 9 항에 있어서,
상기 안내 전자석의 자력을 제어할 수 있는 제어부를 더 포함하고,
상기 안내부는,
상기 안내 전자석과 상기 트레이 사이의 갭을 측정하는 갭 센서를 더 포함하고,
상기 제어부는,
상기 갭 센서에 의해 센싱되는 상기 안내 전자석과 상기 트레이 사이의 갭이 소정 값 이상으로 유지되도록 상기 안내 전자석의 자력을 제어하는,
자기 부상이송 장치.The method of claim 9,
Further comprising a control unit capable of controlling the magnetic force of the guide electromagnet,
The guide unit,
Further comprising a gap sensor for measuring a gap between the guide electromagnet and the tray,
The control unit,
Controlling the magnetic force of the guide electromagnet so that the gap between the guide electromagnet sensed by the gap sensor and the tray is maintained above a predetermined value,
Magnetic levitation transfer device.
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