KR101335643B1 - Magnetic levitation conveyance device having tray without power - Google Patents

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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 자기부상 반송장치는 부상하여 이동하며 자성체로 이루어진 트레이(tray)와, 상기 트레이 상에 설치되며 상기 트레이를 흡인하는 부상 전자석과, 상기 트레이에 고정 설치된 복수개의 추진용 영구자석, 및 상기 추진용 영구자석들과 대향 배치되어 추진력을 형성하는 추진 전자석를 포함한다.Magnetic levitation conveying apparatus according to an embodiment of the present invention is a floating (floating) tray made of a magnetic material, floating on the tray, the floating electromagnet suctioning the tray, and a plurality of propulsion fixed to the tray Permanent magnets, and a propulsion electromagnet disposed opposite to the propulsion permanent magnets to form a driving force.

Description

무동력 트레이를 갖는 자기부상 반송장치{MAGNETIC LEVITATION CONVEYANCE DEVICE HAVING TRAY WITHOUT POWER}Magnetic levitation conveying device having a non-powered tray {MAGNETIC LEVITATION CONVEYANCE DEVICE HAVING TRAY WITHOUT POWER}

본 발명은 자기부상 반송장치에 관한 것으로서 보다 상세하게는 무동력 트레이를 갖는 자기부상 반송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a magnetic levitation conveying apparatus, and more particularly, to a magnetic levitation conveying apparatus having a non-powered tray.

반도체 웨이퍼, PDP 패널, 또는 LCD 패널의 운반에 사용되던 종래의 자동화용 운반시스템은 벨트 컨베이어나 롤러 컨베이어 진동 컨베이어 등 주로 컨베이어 시스템을 활용하였다. 이러한 시스템은 전기 모터에 의해 회전력을 얻고 중간에 감속 시스템을 적용하여 회전 운동을 직선운동으로 변환하여 원자재 및 제품을 이송한다.Conventional automated transport systems used to transport semiconductor wafers, PDP panels, or LCD panels mainly utilize conveyor systems such as belt conveyors and roller conveyor vibration conveyors. Such a system obtains rotational force by an electric motor and applies a deceleration system in the middle to convert rotational motion into linear motion to transfer raw materials and products.

그러나 이러한 기존 시스템은 구성 기기들의 메커니즘 상 속도 증가 및 조절에 한계가 있고 기계장치들의 적용에 따라 구성품이 바뀌는 부분마다 마찰이 발생하므로 소음과 진동, 분진 발생이 필연적일 수 밖에 없다. 이러한 소음과 진동, 분진의 감소와 마모에 의한 고장을 예방하기 위해서는 수시로 해당 구성품의 점검과 부품교체, 수리 등을 주기적으로 수행해야만 하며, 유지 보수비의 증가로 이어질 수 밖에 없다. 특히 제품을 적재한 상태에서 분기를 수행하면 제품이 회전하거나 교차되며 마찰에 의해 제품에 흠집 등이 발생할 수 있다.However, these existing systems are limited in speed and regulation of the mechanism of the components and friction occurs at each component change depending on the application of the machinery, so noise, vibration and dust generation are inevitable. In order to prevent such noise, vibration, dust reduction and failure due to wear, periodic inspections of components, replacement of parts, and repairs must be performed periodically, leading to an increase in maintenance costs. In particular, if branching is performed while the product is loaded, the product may rotate or cross, and the product may be scratched by friction.

자기 부상 추진은 전기 자기력을 이용하여, 궤도로부터 일정한 높이로 부상하여 추진하는 것을 말한다. 자기부상 반송장치는 궤도와 궤도 상에서 비접촉으로 부상 및 추진하는 대차를 포함한다.Magnetic levitation propulsion refers to the propulsion by floating to a certain height from the track using the electric magnetic force. The magnetic levitation conveying device includes a track and a bogie that floats and propels in a non-contact manner on the track.

자기 부상 시스템은 대차와 궤도 사이에서 전자석에 의한 인력 또는 반발력을 응용하여, 대차를 궤도로부터 이격시킨 상태로 추진한다. 이와 같이 자기 부상 시스템은 궤도와 비접촉 상태로 추진하므로 소음 및 진동이 적고 고속 추진이 가능하다.The magnetic levitation system applies an attraction force or repulsion force by an electromagnet between the bogie and the track to propel the bogie away from the bogie. As described above, the magnetic levitation system is driven in a non-contact state with the orbit, so that it is possible to carry out the high speed propulsion with less noise and vibration.

LCD 패널의 등의 운반을 위해서는 미세분진의 발생을 최소화하고 물품에 전달되는 충격을 방지하여야 한다. 그러나 자기부상 방식으로 물품을 이송할 경우, 전력 차단 등의 원인으로 부상이 중단될 경우 물품에 충격 가해져 불량이 발생될 수 있으므로 부상이 중단된 경우에도 물품에 가해지는 충격을 최소화할 필요가 있다.In order to transport the LCD panel, it is necessary to minimize the generation of fine dust and to prevent the shock transmitted to the article. However, when the item is transported in a magnetic levitation method, if the injury is interrupted due to a power cut, etc., the product may be shocked and a defect may occur, so it is necessary to minimize the impact on the item even when the injury is stopped.

또한, LCD 패널의 등의 운반에 사용되는 트레이는 자동화 설비에 적용될 있도록 단순화되고, 무게가 가벼워야 한다. 일반적으로 LCD 패널 등은 트레이에 적재된 상태로 적층되므로 적층된 복수개의 트레이에 과도한 설비를 부착할 경우, 트레이를 운반하기 어려울 뿐만 아니라 트레이 제작 비용이 과도하게 증가하는 문제가 발생한다.In addition, the tray used for carrying the back of the LCD panel should be simplified and light in weight so as to be applied to an automation facility. In general, since LCD panels are stacked in a stacked state, when excessive equipment is attached to a plurality of stacked trays, it is difficult to transport the trays and excessively increases the tray manufacturing cost.

본 발명은 상기한 바와 같은 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 트레이의 무게를 감소시켜서 소비 전력을 감소시킬 수 있는 자기부상 반송장치를 제공하는 데 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a magnetic levitation conveying apparatus capable of reducing power consumption by reducing the weight of a tray.

본 발명의 일 실시예에 따른 자기부상 반송장치는 부상하여 이동하며 자성체로 이루어진 트레이(tray)와, 상기 트레이에서 이격되어 상기 트레이의 위에 설치되며 상기 트레이를 흡인하는 부상 전자석과, 상기 트레이에 고정 설치된 복수개의 추진용 영구자석, 및 상기 추진용 영구자석들과 대향 배치되어 추진력을 형성하는 추진 전자석를 포함한다.The magnetic levitation conveying apparatus according to an embodiment of the present invention is a tray (tray) made of a magnetic material floating and floating, floating on the tray is installed on the tray and a floating electromagnet that sucks the tray, and fixed to the tray And a plurality of propulsion permanent magnets installed, and a propulsion electromagnet disposed to face the propulsion permanent magnets to form a driving force.

상기 추진 전자석은 선형 동기 모터로 이루어질 수 있으며, 상기 부상 전자석, 및 상기 추진 전자석은 내부 공간을 갖는 진공 챔버 내에 고정 설치되고, 상기 부상 전자석은 상기 진공 챔버의 상면에 고정 설치될 수 있다.The propulsion electromagnet may be formed of a linear synchronous motor, the floating electromagnet and the propulsion electromagnet may be fixedly installed in a vacuum chamber having an internal space, and the floating electromagnet may be fixedly installed on an upper surface of the vacuum chamber.

상기 진공 챔버의 양쪽 측면에는 상기 트레이의 측면을 끌어 당기는 안내용 전자석이 설치될 수 있으며, 상기 트레이의 양쪽 측면에는 안내용 영구자석이 설치되고, 상기 안내용 영구자석과 대향 배치된 제1 지상측 영구자석이 상기 진공 챔버의 측면에 설치될 수 있다.Guide electromagnets for pulling the sides of the tray may be installed on both sides of the vacuum chamber, and guide permanent magnets may be installed on both sides of the tray, and the first ground side may be disposed to face the guide permanent magnets. Permanent magnets may be installed on the side of the vacuum chamber.

상기 트레이의 하면에는 부상용 영구자석이 설치되고, 상기 진공 챔버 내에는 상기 부상용 영구자석과 대향 배치되어 상기 부상용 영구자석을 밀어 올리는 제2 지상측 영구자석이 고정 설치될 수 있다.The lower surface of the tray may be provided with a permanent permanent magnet, and the vacuum chamber may be fixed to a second ground permanent magnet disposed to face the floating permanent magnet to push up the permanent permanent magnet.

상기 추진용 영구자석은 트레이의 하면에 고정 설치되고, 상기 추진 전자석은 상기 진공 챔버의 바닥에 대하여 고정 설치될 수 있으며, 상기 트레이의 양쪽 측단에는 절곡된 지지부가 형성되고, 상기 추진용 영구자석은 상기 트레이의 일측 측면에 형성된 상기 지지부에 고정 설치되고, 상기 트레이의 타측 측면에 형성된 상기 지지부에 대향하는 안내 전자석이 챔버의 측면에 고정 설치될 수 있다.The propulsion permanent magnet is fixed to the lower surface of the tray, the propulsion electromagnet may be fixed to the bottom of the vacuum chamber, bent support portions are formed on both sides of the tray, the propulsion permanent magnet A guide electromagnet fixedly installed on the support part formed on one side of the tray and opposing the support part formed on the other side of the tray may be fixed to the side of the chamber.

본 발명의 다른 측면에 따른 자기부상 반송장치는 부상하여 이동하며 자성체로 이루어진 트레이(tray)와, 상기 트레이에서 이격되어 상기 트레이의 위에 설치되며 상기 트레이를 흡인하는 부상 전자석과 상기 트레이에 고정 설치된 도체판, 및 상기 도체판과 대향 배치되며 상기 도체판에 와전류를 형성하여 추진력을 형성하는 추진 전자석을 포함한다.The magnetic levitation conveying apparatus according to another aspect of the present invention is a floating (floating) tray made of a magnetic material, and floating on the tray and floating on the tray and the floating electromagnet suctioning the tray and the conductor fixedly fixed to the tray A plate and a propulsion electromagnet disposed opposite to the conductor plate to form an eddy current in the conductor plate to form a driving force.

상기 부상 전자석, 및 상기 추진 전자석은 내부 공간을 갖는 진공 챔버 내에 고정 설치되고, 상기 부상 전자석은 상기 진공 챔버의 상면에 고정 설치되며, 상기 트레이의 양쪽 측면에는 안내용 영구자석이 설치되고, 상기 안내용 영구자석과 대향 배치된 제1 지상측 영구자석이 상기 진공 챔버의 측면에 설치될 수 있다.The floating electromagnet and the propulsion electromagnet are fixedly installed in a vacuum chamber having an internal space, the floating electromagnet is fixedly installed on an upper surface of the vacuum chamber, and guide permanent magnets are installed on both sides of the tray. A first ground-side permanent magnet disposed opposite the contents permanent magnet may be installed on the side of the vacuum chamber.

상기 트레이의 하면에는 부상용 영구자석이 설치되고, 상기 진공 챔버 내에는 상기 부상용 영구자석과 대향 배치되어 상기 부상용 영구자석을 밀어 올리는 제2 지상측 영구자석이 고정 설치될 수 있다.The lower surface of the tray may be provided with a permanent permanent magnet, and the vacuum chamber may be fixed to a second ground permanent magnet disposed to face the floating permanent magnet to push up the permanent permanent magnet.

상기 트레이의 양쪽 측단에는 절곡된 지지부가 형성되고, 상기 추진용 영구자석은 상기 트레이의 일측 측단에 형성된 상기 지지부에 고정 설치되고, 상기 트레이의 타측 측단에 형성된 상기 지지부에 대향하는 안내 전자석이 챔버의 측면에 고정 설치될 수 있다.Bent support parts are formed at both side ends of the tray, and the propulsion permanent magnet is fixedly installed at the support part formed at one side end of the tray, and a guide electromagnet facing the support part formed at the other side end of the tray includes a chamber. Can be fixed to the side.

이상 설명한 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 반송장치는 트레이에 전력 설비를 장착하지 아니하므로 트레이의 무게를 최소화할 수 있으며 이에 따라 소비 전력을 최소화할 수 있다.As described above, the conveying apparatus according to the exemplary embodiment of the present invention does not equip the tray with power equipment, thereby minimizing the weight of the tray and thus minimizing power consumption.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 자기부상 반송장치를 길이 방향으로 잘라 본 단면도이다.
도 2는 도 1에서 Ⅱ-Ⅱ선을 따라 잘라 본 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 트레이를 도시한 사시도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 자기부상 반송장치를 폭 방향으로 잘라 본 단면도이다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 자기부상 반송장치를 도시한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 자기부상 반송장치를 도시한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제4 실시예에 따른 자기부상 반송장치를 도시한 단면도이다.1 is a cross-sectional view taken along the longitudinal direction of the magnetic levitation conveying apparatus according to the first embodiment of the present invention.
2 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG.
3 is a perspective view illustrating a tray according to a first embodiment of the present invention.
4 is a cross-sectional view of the magnetic levitation conveying apparatus according to the second embodiment of the present invention, cut in the width direction.
5 is a cross-sectional view showing a magnetic levitation conveying apparatus according to a third embodiment of the present invention.
6 is a cross-sectional view showing a magnetic levitation conveying apparatus according to a third embodiment of the present invention.
7 is a cross-sectional view showing a magnetic levitation conveying apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those skilled in the art can easily carry out the present invention. The present invention may, however, be embodied in many different forms and should not be construed as limited to the embodiments set forth herein. In order to clearly illustrate the present invention, parts not related to the description are omitted, and the same or similar components are denoted by the same reference numerals throughout the specification.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 자기부상 반송장치를 폭방향으로 잘라 본 단면도이고, 도 2는 도 1에서 Ⅱ-Ⅱ선을 따라 잘라 본 단면도이다.1 is a cross-sectional view of the magnetic levitation conveying apparatus according to the first embodiment of the present invention cut in the width direction, Figure 2 is a cross-sectional view taken along the line II-II in FIG.

도 1 및 도 2를 참조하여 설명하면, 본 실시예에 따른 자기부상 반송장치(100)는 물품(112)이 적재되는 트레이(110)와 트레이(110) 상에 배치되어 트레이(110)를 끌어 당기는 부상 전자석(140)과 트레이(110)의 하면에 고정 설치된 복수개의 추진용 영구자석(115), 및 추진용 영구자석들(115)과 대향 배치되며 추진력을 형성하는 추진 전자석(150)을 포함한다.Referring to FIGS. 1 and 2, the magnetic levitation conveying apparatus 100 according to the present embodiment is disposed on the tray 110 and the tray 110 on which the article 112 is loaded, and pulls the tray 110. A pulling electromagnet 140 and a plurality of propulsion permanent magnets 115 fixedly installed on the lower surface of the tray 110, and a propulsion electromagnet 150 disposed to face the propulsion permanent magnets 115 and forming a driving force. do.

부상 전자석(140)과 추진 전자석(150)은 진공 챔버(121) 내에 설치되는 바, 진공 챔버(121)는 내부 공간을 갖는 육면체 형상으로 이루어지고, 입구와 출구를 갖는다. 진공 챔버(121)의 입구와 출구 사이에는 진공 챔버(121)를 개폐하는 밸브부(131)가 형성되고, 복수 개의 진공 챔버(121)가 밸브부(131)를 사이에 두고 이어져 배치되다. 진공 챔버(121)는 물품(112)에 대한 증착, 에칭 등의 가공이 진행되는 공간을 제공한다.The floating electromagnet 140 and the propelling electromagnet 150 are installed in the vacuum chamber 121, and the vacuum chamber 121 has a hexahedron shape having an internal space, and has an inlet and an outlet. A valve unit 131 is formed between the inlet and the outlet of the vacuum chamber 121 to open and close the vacuum chamber 121, and the plurality of vacuum chambers 121 are disposed to be connected with the valve unit 131 interposed therebetween. The vacuum chamber 121 provides a space in which processing such as deposition, etching, or the like of the article 112 proceeds.

부상 전자석(140)은 진공 챔버(121)의 상면에 고정 설치되며, 코어(141)와 코어(141)의 외주를 감싸는 코일(143)을 포함한다. 복수 개의 부상 전자석(140)이 진공 챔버(121)의 길이방향으로 이격 배치되며 진공 챔버(121)의 폭 방향으로는 2개의 부상 전자석(140)이 이격 배치된다. 부상 전자석(140)은 자성체로 이루어진 트레이(110)를 끌어 당겨서 트레이(110)를 부상시킨다.The floating electromagnet 140 is fixedly installed on the upper surface of the vacuum chamber 121 and includes a core 141 and a coil 143 surrounding the outer circumference of the core 141. The plurality of floating electromagnets 140 are spaced apart in the longitudinal direction of the vacuum chamber 121, and two floating electromagnets 140 are spaced apart in the width direction of the vacuum chamber 121. The floating electromagnet 140 pulls the tray 110 made of a magnetic material to float the tray 110.

한편, 진공 챔버(121) 내에서는 부상 전자석(140)과 트레이(110)의 간격을 측정하는 갭 센서(145)가 설치되다. 갭 센서(145)는 지지부재를 매개로 진공 챔버(121) 내에 부착 설치되며 갭 센서(145)에 의하여 측정된 정보를 바탕으로 부상 전자석(140)의 자기력 세기를 조절한다.Meanwhile, in the vacuum chamber 121, a gap sensor 145 is installed to measure a distance between the floating electromagnet 140 and the tray 110. The gap sensor 145 is attached to the vacuum chamber 121 via a support member and adjusts the magnetic force strength of the floating electromagnet 140 based on the information measured by the gap sensor 145.

추진 전자석(150)은 진공 챔버(121)의 바닥면에 고정 설치되고 코어(151)와 코어에 코어(151)의 외주를 감싸는 코일(152)을 포함하며, 코일(152)은 3상 구조를 이룬다. 복수 개의 코어(151)는 트레이(110)의 이동 방향을 따라 이격 배열된다.Propulsion electromagnet 150 is fixed to the bottom surface of the vacuum chamber 121 and includes a core 151 and a coil 152 surrounding the outer periphery of the core 151 on the core, the coil 152 has a three-phase structure Achieve. The plurality of cores 151 are spaced apart along the moving direction of the tray 110.

도 3은 본 발명의 제1 실시예에 따른 트레이를 도시한 사시도이다. 도 3을 참조하여 설명하면 트레이(110)는 사각판 형상의 자성체로 이루어지며 특히 강자성체로 이루어질 수 있다. 3 is a perspective view illustrating a tray according to a first embodiment of the present invention. Referring to FIG. 3, the tray 110 may be formed of a magnetic body having a rectangular plate shape, and in particular, may be formed of a ferromagnetic material.

트레이(110)의 하면에는 복수 개의 추진용 영구자석들(115)이 고정 설치되는 데, 추진용 영구자석들(115)은 트레이(110)의 폭방향 가장자리에 고정 설치된다. 또한, 복수 개의 추진용 영구자석들(115)은 트레이(110)의 길이 방향으로 이격 배치된다. 추진용 영구자석들(115)은 추진 전자석(150)과 마주하도록 배치되므로, 추진 전자석(150)에 3상 교류 전류가 공급되면, 추진 전자석(150)이 추진용 영구자석(115)을 끌어 당기는 바, 이에 따라 흡인력과 추진력이 발생한다.A plurality of propulsion permanent magnets 115 are fixed to the bottom surface of the tray 110, and the propulsion permanent magnets 115 are fixed to the widthwise edge of the tray 110. In addition, the plurality of propulsion permanent magnets 115 are spaced apart in the longitudinal direction of the tray 110. Since the propulsion permanent magnets 115 are disposed to face the propulsion electromagnet 150, when a three-phase alternating current is supplied to the propulsion electromagnet 150, the propulsion electromagnet 150 pulls the propulsion permanent magnet 115. Bar, thus, suction and propulsion force are generated.

추진용 영구자석들(115)의 내측에는 지상에 회전 가능하도록 설치된 비상 롤러(170)와 맞닿는 가이드부(113)가 형성된다. 비상 롤러(170)는 트레이(110)의 하부에 설치되어 트레이(110)가 부상을 중단할 때, 가이드부(113)와 맞닿아 트레이(110)를 이송한다.Inside the propulsion permanent magnets 115 is formed a guide portion 113 abuts with the emergency roller 170 is installed to be rotatable on the ground. The emergency roller 170 is installed at the lower portion of the tray 110 so that when the tray 110 stops injuring, the emergency roller 170 abuts on the guide portion 113 and transfers the tray 110.

한편, 진공 챔버(121)의 측면에는 트레이(110)의 측단을 끌어 당기는 안내 전자석(160)이 설치된다. 안내 전자석(160)은 트레이(110)의 측면과 마주보는 진공 챔버(121)의 양쪽 측면에 설치되며, 코어(161)와 코어(161)를 감싸는 코일(162)을 포함한다. 안내 전자석(160)은 트레이(110)의 측면을 끌어당겨 트레이(110)가 폭방향으로 치우치지 아니하고 설정된 위치에 있도록 트레이(110)를 제어한다. 트레이(110)는 자성체로 이루어지므로 안내 전자석(160)이 트레이(110)를 흡인하여 트레이(110)를 안내할 수 있다.On the other hand, the side of the vacuum chamber 121 is provided with a guide electromagnet 160 to pull the side end of the tray 110. The guide electromagnet 160 is installed at both sides of the vacuum chamber 121 facing the side of the tray 110 and includes a core 161 and a coil 162 surrounding the core 161. The guide electromagnet 160 pulls the side of the tray 110 to control the tray 110 so that the tray 110 is in a set position without being biased in the width direction. Since the tray 110 is made of a magnetic material, the guide electromagnet 160 may suck the tray 110 to guide the tray 110.

상기한 바와 같이 본 실시예에 따르면 부상 전자석(140)과 추진 전자석(150)을 진공 챔버(121) 내에 고정 설치하므로 이동체인 트레이(110)에 어떠한 전기적인 장치를 설치하지 아니하고 무동력인 트레이(110)를 부상 이동시킬 수 있다. 이에 따라 트레이(110)의 무게를 최소화할 수 있을 뿐 만 아니라 무동력 트레이(110)에 급전 장치를 설치할 필요가 없으므로 트레이(110)의 구성을 단순화할 수 있다.As described above, since the floating electromagnet 140 and the propelling electromagnet 150 are fixedly installed in the vacuum chamber 121, the tray 110 which is non-powered without installing any electrical device on the tray 110 is moved. ) Can be moved injured. Accordingly, not only the weight of the tray 110 can be minimized, but also it is not necessary to install the feeder in the non-powered tray 110, so that the configuration of the tray 110 can be simplified.

또한, 진공 챔버(121) 내에서 자기력을 이용하여 물품(112)을 부상 이동 시키므로 복잡한 설비 없이 간단한 방법으로 물품(112)을 이송할 수 있으며, 분진이나 진동의 발생 없이 물품(112)을 안정적으로 이송할 수 있다.In addition, by floating the article 112 by using a magnetic force in the vacuum chamber 121, it is possible to transfer the article 112 in a simple manner without complicated equipment, and stably transport the article 112 without generating dust or vibration Can be transported

도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 자기부상 반송장치를 도시한 단면도이다.4 is a cross-sectional view showing a magnetic levitation conveying apparatus according to a second embodiment of the present invention.

도 4를 참조하여 설명하면, 본 실시예에 따른 자기부상 반송장치(200)는 물품(112)을 이송하는 트레이(110)와 진공 챔버(121) 내에 설치된 부상 전자석(140), 추진 전자석(210), 및 안내 전자석(160)을 포함한다. 또한, 트레이(110)에는 추진 전자석(210)과 대향하는 부분에 도체판(230)이 설치된다.Referring to FIG. 4, the magnetic levitation conveying apparatus 200 according to the present embodiment includes a tray 110 for transferring the article 112, a floating electromagnet 140 installed in the vacuum chamber 121, and a propelling electromagnet 210. ), And guide electromagnet 160. In addition, the tray 110 is provided with a conductor plate 230 at a portion facing the propulsion electromagnet 210.

본 실시예에 따른 자기부상 반송장치(200)는 추진 전자석(210)과 도체판(230)의 구조를 제외하고는 상기한 제1 실시예에 따른 자기부상 반송장치와 동일한 구조로 이루어지므로 동일한 구조에 대한 중복 설명은 생략한다.The magnetic levitation conveying apparatus 200 according to the present embodiment has the same structure as the magnetic levitation conveying apparatus according to the first embodiment except for the structures of the propulsion electromagnet 210 and the conductive plate 230. Duplicate description of the description will be omitted.

본 실시예에 따른 추진 전자석(210)은 진공 챔버(121)의 바닥에 대하여 고정 설치되고 코어(211)와 코어(211)에 설치된 코일(213)을 포함한다. 코어(211)에는 복수 개의 돌기(211a)가 형성되고, 이 돌기(211a) 사이에 형성된 홈에 코일(213)이 삽입 설치된다. 코일(213)은 3개가 설치되며 3개의 코일들(213)이 서로 번갈아 홈에 삽입되어 사행 형상을 이룬다. 도체판(230)은 트레이(110)의 바닥에 고정 설치되며 트레이(110)의 이동 방향으로 이어져 형성된다. 도체판(230)은 트레이(110)의 폭방향 양쪽 가장자리에 배치된다.The propulsion electromagnet 210 according to the present embodiment is fixed to the bottom of the vacuum chamber 121 and includes a core 211 and a coil 213 installed on the core 211. A plurality of protrusions 211a are formed in the core 211, and a coil 213 is inserted into and installed in the groove formed between the protrusions 211a. Three coils 213 are installed, and the three coils 213 are alternately inserted into the grooves to form a meandering shape. The conductor plate 230 is fixedly installed at the bottom of the tray 110 and is formed in the moving direction of the tray 110. The conductor plate 230 is disposed at both edges in the width direction of the tray 110.

도체판(230)이 이동할 때, 추진 전자석(210)에 의하여 시간적 공간적으로 이동하는 자속이 발생하여 도체판(230)에는 와전류가 형성된다. 이 와전류와 공극 자속이 로렌츠의 힘 방정식으로 표현되는 상호 작용에 의하여 추진력이 발생한다.When the conductor plate 230 is moved, magnetic fluxes that are moved in time and space by the propulsion electromagnet 210 are generated, and an eddy current is formed in the conductor plate 230. The interaction between the eddy currents and the air magnetic flux is represented by Lorentz's force equation.

본 실시예와 같이 지상에 고정된 진공 챔버(121)의 바닥에 추진 전자석(210)을 설치하면 트레이(110)에 도체판(230)을 설치하는 것 만으로 트레이(110)에 추진력을 작용시킬 수 있다. 이에 따라 트레이(110)에 별도의 전기적인 장치를 설치하지 아니하고도 트레이(110)를 부상 이동시킬 수 있다.When the propulsion electromagnet 210 is installed at the bottom of the vacuum chamber 121 fixed to the ground as in the present embodiment, the propulsion force can be applied to the tray 110 only by installing the conductor plate 230 on the tray 110. have. Accordingly, the tray 110 may be floated and moved without installing a separate electrical device on the tray 110.

도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 자기부상 반송장치를 도시한 단면도이고, 도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 자기부상 반송장치를 도시한 단면도이다.5 is a cross-sectional view showing a magnetic levitation conveying apparatus according to a third embodiment of the present invention, Figure 6 is a cross-sectional view showing a magnetic levitation conveying apparatus according to a third embodiment of the present invention.

도 5 및 도 6을 참조하여 설명하면, 본 실시예에 따른 자기부상 반송장치(300)는 물품(320)이 장착되는 트레이(310)와 트레이(310) 상에 배치되어 트레이(310)를 끌어 당기는 부상 전자석(340)과 트레이(310)의 일측 측단에 고정 설치된 복수 개의 추진용 영구자석(314)과, 추진용 영구자석들(314)과 대향 배치되며 추진력을 형성하는 추진 전자석(360) 타측 측단과 대향 배치되어 트레이(310)를 끌어 당기는 안내 전자석(370)을 포함한다.Referring to FIGS. 5 and 6, the magnetic levitation conveying apparatus 300 according to the present exemplary embodiment is disposed on the tray 310 and the tray 310 on which the article 320 is mounted to pull the tray 310. A plurality of propulsion permanent magnets 314 fixed to one side end of the pulling floating electromagnet 340 and the tray 310 and the propulsion electromagnet 360 disposed opposite to the propulsion permanent magnets 314 and forming a driving force, the other side A guide electromagnet 370 disposed opposite the side end and pulling the tray 310 is included.

부상 전자석(340)과 추진 전자석(360)은 진공 챔버(121) 내에 설치되는 바, 진공 챔버(121)는 내부 공간을 갖는 육면체 형상으로 이루어지고, 입구와 출구를 갖는다. 진공 챔버(121)의 입구와 출구 사이에는 진공 챔버(121)를 개폐하는 밸브부(131)가 형성된다.The floating electromagnet 340 and the propelling electromagnet 360 are installed in the vacuum chamber 121, and the vacuum chamber 121 has a hexahedron shape having an internal space, and has an inlet and an outlet. A valve unit 131 is formed between the inlet and the outlet of the vacuum chamber 121 to open and close the vacuum chamber 121.

부상 전자석(340)은 진공 챔버(121)의 상면에 고정 설치되며, 코어(341)와 코어(341)의 외주를 감싸는 코일(343)을 포함한다. 복수 개의 부상 전자석(340)이 진공 챔버(121)의 상면에서 트레이(310)의 길이 방향으로 이격 배치되어 트레이(310)를 끌어 당겨서 트레이(310)를 부상시킨다.The floating electromagnet 340 is fixedly installed on the upper surface of the vacuum chamber 121, and includes a core 341 and a coil 343 surrounding the outer circumference of the core 341. A plurality of floating electromagnets 340 are spaced apart in the longitudinal direction of the tray 310 from the upper surface of the vacuum chamber 121 to pull the tray 310 to injure the tray 310.

추진 전자석(360)은 진공 챔버(121)의 일측 측면에 고정 설치되고 코어(361)와 코어(361)의 외주를 감싸는 코일(362)을 포함한다. 복수 개의 추진 전자석(360)이 트레이(310)의 이동 방향을 따라 이격 배열된다.The propulsion electromagnet 360 includes a coil 362 fixedly installed at one side of the vacuum chamber 121 and surrounding the outer circumference of the core 361 and the core 361. The plurality of propulsion electromagnets 360 are spaced apart along the moving direction of the tray 310.

트레이(310)는 사각판 형상의 자성체로 이루어지며 특히 강자성체로 이루어진다. 트레이(310)의 측단에는 아래로 절곡 형성된 지지부(315)가 형성된다. 지지부(315)는 트레이(310)의 폭방향 양쪽 측단에 형성된다.The tray 310 is made of a magnetic body having a rectangular plate shape, and particularly made of a ferromagnetic material. At the side end of the tray 310 is formed a support 315 bent downward. The support portions 315 are formed at both side ends of the tray 310 in the width direction.

트레이(310)의 일측 측면에는 복수 개의 추진용 영구자석들(314)이 고정 설치되는 데, 추진용 영구자석들(314)은 지지부에 고정 설치된다. 또한, 복수 개의 추진용 영구자석들(314)은 트레이(310)의 길이 방향(트레이의 이동 방향)으로 이격 배치된다. A plurality of propulsion permanent magnets 314 are fixedly installed on one side of the tray 310, and the propulsion permanent magnets 314 are fixedly installed on the support. In addition, the plurality of propulsion permanent magnets 314 may be spaced apart in the longitudinal direction of the tray 310 (the moving direction of the tray).

추진용 영구자석들(314)은 추진 전자석(360)과 마주하도록 배치되며, 추진 전자석(360)은 추진용 영구자석(314)을 끌어 당기는 바, 이에 따라 흡인력과 추진력이 발생한다. 넓은 면적을 갖는 지지부(315)가 형성되므로 추진용 영구자석(314)의 면적을 넓게 형성하여 추진용 영구자석(314)과 추진 전자석(360) 사이의 자기력을 증가시킬 수 있다.The propulsion permanent magnets 314 are disposed to face the propulsion electromagnet 360, and the propulsion electromagnet 360 attracts the propulsion permanent magnet 314, thereby generating suction and propulsion force. Since the support portion 315 having a large area is formed, the area of the propulsion permanent magnet 314 may be broadly formed to increase the magnetic force between the propulsion permanent magnet 314 and the propulsion electromagnet 360.

한편, 진공 챔버(121)의 타측 측면에는 트레이(310)의 지지부(315)를 끌어 당기는 안내 전자석(370)이 설치된다. 안내 전자석(370)은 트레이(310)의 지지부(315)와 마주보는 진공 챔버(121)의 측면에 설치되는 데, 추진 전자석(360)이 설치된 측면과 대향하는 측면에 고정 설치된다.On the other hand, the other side of the vacuum chamber 121 is provided with a guide electromagnet 370 that pulls the support 315 of the tray 310. The guide electromagnet 370 is installed on the side of the vacuum chamber 121 facing the support 315 of the tray 310, and is fixedly installed on the side opposite to the side on which the propulsion electromagnet 360 is installed.

안내 전자석(370)은 코어(371)와 코어(371)를 감싸는 코일(372)을 포함한다. 안내 전자석(370)은 추진 전자석(360)에 의하여 이끌리는 트레이(310)가 폭방향으로 치우치지 아니하고 설정된 위치에 있도록 트레이(310)를 제어한다.The guide electromagnet 370 includes a core 371 and a coil 372 surrounding the core 371. The guide electromagnet 370 controls the tray 310 such that the tray 310 guided by the propelling electromagnet 360 is in a set position without being biased in the width direction.

본 실시예에 따르면 지지부(315)가 형성되어 안내 전자석(370)과 지지부(315) 사이의 대향 면적이 증가하므로 안내 전자석(370)과 지지부(315) 사이의 자기력을 증가시킬 수 있다.According to the present embodiment, since the support part 315 is formed to increase the opposing area between the guide electromagnet 370 and the support part 315, the magnetic force between the guide electromagnet 370 and the support part 315 may be increased.

본 실시예와 같이 진공 챔버(121)의 일측 측면에 추진 전자석(360)이 설치되고, 타측 측면에 안내 전자석(370)이 설치되면 추진 전자석(360)과 안내 전자석(370) 모두 트레이(310)를 끌어 당기므로 하나의 안내 전자석(370)으로 트레이(310)를 안내할 수 있다.When the propulsion electromagnet 360 is installed on one side of the vacuum chamber 121 and the guide electromagnet 370 is installed on the other side as in this embodiment, both the propulsion electromagnet 360 and the guide electromagnet 370 are trays 310. Since pulling the guide may guide the tray 310 to one guide electromagnet 370.

트레이(310)의 바닥면에는 부상용 영구자석(312)이 설치되고 진공 챔버(121)의 바닥에는 부상용 영구자석(312)과 대향하여 부상용 영구자석(312)을 밀어내는 지상측 영구자석(350)이 설치된다. 부상용 영구자석(312)과 지상측 영구자석(350)은 트레이(310)의 이동 방향을 따라 이어져 배치된다. 부상용 영구자석(312)과 지상측 영구자석(350)은 서로 척력을 작용하도록 설치되어 부상력을 형성한다.Floating permanent magnet 312 is installed on the bottom surface of the tray 310, and the ground permanent magnet 312 pushing the floating permanent magnet 312 against the floating permanent magnet 312 at the bottom of the vacuum chamber 121 350 is installed. The floating permanent magnet 312 and the ground permanent magnet 350 are disposed to extend along the moving direction of the tray 310. The floating permanent magnet 312 and the ground permanent magnet 350 is installed to act on each other repulsive force to form a floating force.

본 실시예와 같이 부상용 영구자석(312)과 지상측 영구자석(350)을 설치하면 전력이 차단된 경우에도 트레이(310)가 진공 챔버(121)의 바닥에 착지하지 아니하므로 물품(320)을 안정적으로 이송할 수 있다. 또한, 영구자석에 의한 부상력이 작용하므로 부상 전자석(340)에 의하여 소모되는 전력을 최소화할 수 있다.When the permanent permanent magnet 312 and the ground permanent magnet 350 is installed as in the present embodiment, even when the power is cut off, the tray 310 does not land on the bottom of the vacuum chamber 121. Can be transported stably. In addition, since the floating force by the permanent magnet acts, it is possible to minimize the power consumed by the floating electromagnet 340.

도 7은 본 발명의 제4 실시예에 따른 자기부상 반송장치를 도시한 단면도이다.7 is a cross-sectional view showing a magnetic levitation conveying apparatus according to a fourth embodiment of the present invention.

도 7을 참조하여 설명하면 본 실시예에 따른 자기부상 반송장치(400)는 물품(420)이 장착되는 트레이(410)와 트레이(410) 상에 배치되어 트레이(410)를 끌어 당기는 부상 전자석(440)과 트레이(410)의 바닥에 고정 설치된 복수 개의 추진용 영구자석(415)과, 추진용 영구자석들(415)과 대향 배치되며 추진력을 형성하는 추진 전자석(450), 및 트레이(410)의 측단에 배치된 안내용 영구자석(472)과 안내용 영구자석(472)에 대향 배치된 제1 지상측 영구자석(471)을 포함한다.Referring to FIG. 7, the magnetic levitation conveying apparatus 400 according to the present embodiment is disposed on the tray 410 on which the article 420 is mounted and on the tray 410, and the floating electromagnet pulling the tray 410 ( 440 and a plurality of propulsion permanent magnets 415 fixed to the bottom of the tray 410, the propulsion electromagnet 450 and the tray 410 are disposed to face the propulsion permanent magnets 415 to form a propulsion force The guide includes a permanent magnet 472 disposed at a side end of the guide permanent magnet 472 and the first ground-side permanent magnet 471 disposed opposite.

부상 전자석(440)과 추진 전자석(450)은 진공 챔버(121) 내에 설치되는 바, 부상 전자석(440)은 진공 챔버(121)의 상면에 고정 설치되며, 코어(441)와 코어(441)의 외주를 감싸는 코일(443)을 포함한다.The floating electromagnet 440 and the propelling electromagnet 450 are installed in the vacuum chamber 121, and the floating electromagnet 440 is fixedly installed on the upper surface of the vacuum chamber 121, and the core 441 and the core 441 are separated from each other. A coil 443 is wrapped around the outer circumference.

복수 개의 부상 전자석(440)이 진공 챔버(121)의 상면에서 트레이(410)의 이동 방향으로 이격 배치되어 트레이(410)를 끌어 당겨서 트레이(410)를 부상시킨다.The plurality of floating electromagnets 440 are spaced apart from the upper surface of the vacuum chamber 121 in the moving direction of the tray 410 to pull the tray 410 to float the tray 410.

추진 전자석(450)은 진공 챔버(121)의 바닥면에 고정 설치되고 코어(451)와 코어(451)의 외주를 감싸는 코일(453)을 포함한다. 복수 개의 추진 전자석(450)이 트레이(410)의 이동 방향을 따라 이격 배열된다.The propulsion electromagnet 450 includes a coil 453 fixedly installed at the bottom surface of the vacuum chamber 121 and surrounding the outer circumference of the core 451 and the core 451. The plurality of propulsion electromagnets 450 are spaced apart along the moving direction of the tray 410.

트레이(410)는 사각판 형상의 자성체로 이루어지며 특히 강자성체로 이루어진다. 트레이(410)에는 복수 개의 추진용 영구자석들(415)이 고정 설치되는 데, 추진용 영구자석들(415)은 트레이(410)의 하면에서 폭방향으로 이격되어 2줄로 고정 설치된다. 또한, 복수 개의 추진용 영구자석들(415)은 트레이(410)의 길이 방향으로 이격 배치된다. 추진용 영구자석들(415)은 추진 전자석(450)과 마주하도록 배치되며, 추진 전자석(450)은 추진용 영구자석(415)을 끌어 당기는 바, 이에 따라 흡인력과 추진력이 발생한다.The tray 410 is made of a magnetic plate of a rectangular plate shape, in particular made of a ferromagnetic material. A plurality of propulsion permanent magnets 415 are fixed to the tray 410, and the propulsion permanent magnets 415 are spaced apart in the width direction from the lower surface of the tray 410 and fixed in two rows. In addition, the plurality of propulsion permanent magnets 415 are spaced apart in the longitudinal direction of the tray 410. The propulsion permanent magnets 415 are disposed to face the propulsion electromagnet 450, and the propulsion electromagnet 450 attracts the propulsion permanent magnet 415, thereby generating suction and propulsion force.

트레이(410)의 양쪽 측면에는 안내용 영구자석(472)이 배치되고, 진공 챔버(121)의 내측 측벽에는 안내용 영구자석(472)과 대향하는 제1 지상측 영구자석(471)이 설치된다. 안내용 영구자석(472)은 트레이(410)의 길이방향으로 이어져 설치되며, 제1 지상측 영구자석(471)은 트레이(410)의 이동 방향을 따라 이어져 형성된다.Guide permanent magnets 472 are disposed on both sides of the tray 410, and first ground-side permanent magnets 471 opposed to the guide permanent magnets 472 are installed on the inner sidewall of the vacuum chamber 121. . The guide permanent magnet 472 is installed in the longitudinal direction of the tray 410, the first ground-side permanent magnet 471 is formed along the moving direction of the tray 410.

안내용 영구자석(472)과 제1 지상측 영구자석(471)은 서로 밀어 내도록 설치되어 트레이(410)가 폭방향으로 치우치지 아니하고 설정된 위치에 있도록 트레이(410)를 제어한다.The guide permanent magnet 472 and the first ground-side permanent magnet 471 are installed to push each other to control the tray 410 so that the tray 410 is in a set position without biasing in the width direction.

트레이(410)의 바닥면에는 부상용 영구자석(462)이 설치되고 진공 챔버(121)의 바닥에는 부상용 영구자석(462)과 대향하여 부상용 영구자석(462)을 밀어내는 제2 지상측 영구자석(461)이 설치된다. 부상용 영구자석(462)과 제2 지상측 영구자석(461)은 트레이(410)의 이동 방향을 따라 이어져 배치된다. 부상용 영구자석(462)과 제2 지상측 영구자석(461)은 서로 척력을 작용하도록 설치되어 부상력을 형성한다.Floating permanent magnet 462 is installed on the bottom surface of the tray 410 and the second ground side for pushing the floating permanent magnet 462 against the floating permanent magnet 462 on the bottom of the vacuum chamber 121 The permanent magnet 461 is installed. The floating permanent magnet 462 and the second ground-side permanent magnet 461 are disposed to extend along the moving direction of the tray 410. The floating permanent magnet 462 and the second ground-side permanent magnet 461 are installed to exert a repulsive force to form a floating force.

본 실시예와 같이 안내용 영구자석(472)과 제1 지상측 영구자석(471)을 설치하면 전력을 소모하지 아니하고도 트레이(410)를 안정적으로 안내할 수 있다. 또한, By installing the guide permanent magnet 472 and the first ground-side permanent magnet 471 as in this embodiment, it is possible to guide the tray 410 stably without consuming power. Also,

부상용 영구자석(462)과 제2 지상측 영구자석(461)을 설치하면 전력이 차단된 경우에도 트레이(410)가 진공 챔버(121)의 바닥에 착지하지 아니하므로 물품(420)에 가해지는 충격을 최소화하여 물품(420)을 안정적으로 이송할 수 있다. 또한, 부상용 영구자석(462)에 의한 부상력이 적용되므로 부상 전자석(440)에 의하여 소모되는 전력을 최소화할 수 있다.When the permanent permanent magnet 462 and the second ground permanent magnet 461 are installed, the tray 410 does not land on the bottom of the vacuum chamber 121 even when the power is cut off. The article 420 may be stably transported by minimizing an impact. In addition, since the floating force by the floating permanent magnet 462 is applied, the power consumed by the floating electromagnet 440 can be minimized.

이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형 또는 변경하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments, but many variations and modifications may be made without departing from the spirit and scope of the invention. And it goes without saying that they belong to the scope of the present invention.

100, 200, 300, 400: 자기부상 반송장치
110, 310, 410: 트레이 112, 320, 420: 물품
113: 가이드부 115, 314, 415: 추진용 영구자석
121: 진공 챔버 131: 밸브부
140, 340, 440: 부상 전자석
141, 151, 161, 211, 341, 361, 371, 441, 451: 코어
143, 152, 162, 213, 343, 362, 372, 443, 453: 코일
145: 갭 센서 150, 210, 360, 450: 추진 전자석
160, 370: 안내 전자석 170: 비상 롤러
211a: 돌기 230: 도체판
312, 462: 부상용 영구자석 315: 지지부
350: 지상측 영구자석 471: 제1 지상측 영구자석
461: 제2 지상측 영구자석 472: 안내용 영구자석100, 200, 300, 400: magnetic levitation conveying device
110, 310, 410: Tray 112, 320, 420: Goods
113: guide section 115, 314, 415: propulsion permanent magnet
121: vacuum chamber 131: valve portion
140, 340, 440: floating electromagnet
141, 151, 161, 211, 341, 361, 371, 441, 451: core
143, 152, 162, 213, 343, 362, 372, 443, 453: coil
145: gap sensor 150, 210, 360, 450: propulsion electromagnet
160, 370: guide electromagnet 170: emergency roller
211a: protrusion 230: conductor plate
312, 462: floating permanent magnet 315: support
350: ground-side permanent magnet 471: first ground-side permanent magnet
461: second ground permanent magnet 472: guide permanent magnet

Claims (12)

부상하여 이동하며 자성체로 이루어진 무동력 트레이(tray); 및
상기 트레이에서 이격되어 상기 트레이의 위에 설치되며 상기 트레이를 흡인하는 부상 전자석;
을 포함하며,
상기 무동력 트레이는 내부 공간을 갖는 진공 챔버 내에 설치되고,
상기 트레이의 양쪽 측단에는 지지부가 고정 설치되며, 상기 트레이의 일측 측단에 형성된 상기 지지부에는 복수개의 추진용 영구자석이 설치되고,
상기 진공 챔버의 내벽에는 상기 추진용 영구자석과 마주하는 추진 전자석이 설치되며,
상기 진공 챔버의 내벽에는 상기 트레이의 타측 측단에 고정된 상기 지지부를 끌어 당기는 안내 전자석이 설치된 자기부상 반송장치.A non-powered tray which floats and moves and is made of magnetic material; And
A floating electromagnet spaced apart from the tray and installed on the tray and sucking the tray;
/ RTI >
The non-powered tray is installed in a vacuum chamber having an internal space,
Support portions are fixedly installed at both side ends of the tray, and a plurality of permanent magnets are provided at the support portions formed at one side side of the tray.
The inner wall of the vacuum chamber is provided with a propulsion electromagnet facing the propulsion permanent magnet,
Magnetic levitation conveying apparatus is provided on the inner wall of the vacuum chamber is provided with a guide electromagnet for pulling the support fixed to the other side end of the tray. 제1 항에 있어서,
상기 추진 전자석은 선형 동기 모터로 이루어진 자기부상 반송장치.The method according to claim 1,
The propulsion electromagnet is a magnetic levitation conveying device made of a linear synchronous motor. 제1 항에 있어서,
상기 부상 전자석은 상기 진공 챔버의 상면에 고정 설치된 자기부상 반송장치.The method according to claim 1,
The floating electromagnet is a magnetic levitation conveying device fixed to the upper surface of the vacuum chamber. 삭제delete 삭제delete 제3 항에 있어서,
상기 트레이의 하면에는 부상용 영구자석이 설치되고, 상기 진공 챔버 내에는 상기 부상용 영구자석과 대향 배치되어 상기 부상용 영구자석을 밀어 올리는 제2 지상측 영구자석이 고정 설치된 자기부상 반송장치.The method of claim 3,
A magnetic levitation conveying device having a floating permanent magnet installed on a lower surface of the tray, and having a second ground permanent magnet fixed to the floating permanent magnet in the vacuum chamber to face the floating permanent magnet. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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