KR101753216B1 - Magnetic force adjusting device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 몸체프레임의 상부에 좌우 이동이 가능하도록 자력조절판을 구성하여 자력조절판의 좌우 이동에 따라 몸체프레임의 내부에 위치된 자석의 자력이 조절되도록 하는 자력조절장치를 제공한다. 본 발명은 몸체프레임의 상부 측면을 관통하여 조절나사를 구성하여 자력조절판과 나사결합되도록 함으로써 조절나사의 단순 조임 및 풀림 동작으로 자력조절판을 조절하여 몸체프레임의 내부에 위치된 자석의 자력을 용이하게 조절할 수 있도록 하는 효과가 있다.The present invention provides a magnetic force adjusting device for adjusting a magnetic force of a magnet disposed inside a body frame in accordance with a left and right movement of a magnetic force adjusting plate. According to the present invention, an adjusting screw is formed through an upper side surface of a body frame so as to be screwed with a magnetic force adjusting plate, so that a magnetic force adjusting plate is adjusted by a simple tightening and loosening operation of a adjusting screw to facilitate the magnetic force of a magnet located inside the body frame So that it can be adjusted.

Description

자력조절장치{Magnetic force adjusting device}Magnetic force adjusting device

본 발명은 자력조절장치에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 몸체프레임의 상부에 좌우 이동이 가능하도록 자력조절판을 구성하여 자력조절판의 좌우 이동에 따라 몸체프레임의 내부에 위치된 자석의 자력이 조절되도록 하는 자력조절장치에 관한 것이다.More particularly, the present invention relates to a magnetic force adjusting device, and more particularly, to a magnetic force adjusting plate for moving left and right on an upper portion of a body frame so that a magnetic force of a magnet disposed inside a body frame To a magnetic force adjusting device.

일반적으로 LCD(Liquid Crystal Display) 기판, PDP (Plasma Display Panel) 기판, OLED(Organic Light Emitting Diodes) 기판, 반도체 웨이퍼, 이송트레이, 카세트 또는 캐리어 등과 같은 이송체를 이송하는 이송 시스템으로서는 자기 부상 이송 시스템(Magnetically levitated transportation system)을 주로 적용하고 있다.BACKGROUND ART Generally, as a transfer system for transferring a transfer object such as an LCD (Liquid Crystal Display) substrate, a PDP (Plasma Display Panel) substrate, an OLED (Organic Light Emitting Diodes) substrate, a semiconductor wafer, a transfer tray, a cassette or a carrier, (Magnetically levitated transportation system).

자기 부상 이송 시스템은 파티클 발생 문제, 마찰, 마모에 따른 부품의 손상 문제, 그리고 소음 유발 문제를 해소할 수 있으면서, 동시에 피이송물을 고속으로 이송시킬 수 있는 장점이 있다.The magnetic levitation transfer system can solve the problems of particle generation, friction, abrasion of components due to abrasion, noise generation, and at the same time, it is capable of transferring the conveyed material at a high speed.

자기 부상 이송 시스템은 피이송물이 적재된 이송체를 자기력으로 부상(浮上)시켜 운행시키는 시스템으로서, 이송체와 레일 간의 기계적인 접촉이나 마찰이 없기 때문에 에너지 손실이 없고, 무소음, 저진동, 초청정 이송 시스템을 구현할 수 있다. 그리고, 이러한 자기 부상 이송 시스템은 진공 중에서도 작동이 가능하고, 인체에 위험한 기체 또는 액체 속에서도 작동이 가능하며, 따라서 다방 면에서 활용이 가능하다.The magnetic levitation transport system is a system that moves the conveyed object on which the conveyed matter is loaded by magnetic levitation. Since there is no mechanical contact or friction between the conveying body and the rail, there is no energy loss and no noise, low vibration, A transfer system can be implemented. Such a magnetic levitation transport system can operate in a vacuum, and can operate even in a gas or liquid that is dangerous to the human body, and thus can be used in many fields.

자기 부상 이송 시스템의 경우 자기부상력과 안내력, 추진력 등이 요구되는데, 보통 부상 전자석으로부터 자기부상력 및 안내력을 제공받고, 선형유도전동기 또는 선형동기전동기 등으로부터 추진력을 제공받는다.In the case of a magnetic levitation transfer system, a magnetic levitation force, a guide force, and a propulsion force are required. Normally, a levitation force and a guidance force are provided from a levitation electromagnet, and a propulsion force is provided from a linear induction motor or a linear synchronous motor.

하지만, 종래의 자기 부상 이송 시스템은 LCD나 LED 등과 같은 디스플레이 제품이 적재되는 이송체 측에 부상 전자석(전자석 코어 및 구동 권선을 포함함)이 구비되는 형태로 이루어져 있어서, 이송체의 전자석 코일에서 발생한 열이 디스플레이 제품 쪽으로 전달되어 열에 민감한 디스플레이 제품에 손상을 입히는 문제점이 있었다.However, in the conventional magnetic levitation conveying system, a floating electromagnet (including an electromagnet core and a driving coil) is provided on a conveying body side on which a display product such as an LCD or an LED is mounted, The heat is transferred to the display product, thereby damaging the heat sensitive display product.

더욱이 LCD, LED, OLED 등의 디스플레이 패널의 크기가 점차 커짐으로서, 이를 이송하는 자기 부상 이송 시스템이 감당해야 할 무게도 커지게 되었다. 일 예로, 8세대 OLED 제조공정에서는 유리기판(Glass)및 이송 이송트레이의 무게가 1 톤 이상이 될 것으로 예상되고 있으며 개별 공정별 이송 거리도 수십 m에 해당될 것으로 예상되고 있다.Furthermore, since the size of a display panel such as an LCD, an LED, and an OLED is gradually increased, the weight of a magnetic levitation conveying system for carrying the same has increased. For example, in the eighth-generation OLED manufacturing process, the glass substrate and the transfer tray are expected to weigh more than one ton, and the transfer distance for each process is expected to be several tens of meters.

따라서, 이에 따른 전자석의 크기도 더욱 커지게 되었고, 이로부터 발생되는 열도 더욱 커질 것이 예상된다. 하지만, 기존의 자기 부상 이송 시스템에 적용되는 전자석으로는 이러한 목적을 달성하는데 한계가 있었다.Therefore, the magnitude of the electromagnet becomes larger, and it is expected that the heat generated from the electromagnet becomes larger. However, the electromagnet applied to the existing magnetic levitation transport system has a limitation in achieving this purpose.

상기와 같은 문제점으로 인해 본 발명자는 출원번호 제10-2016-0171900호 '자기부상 기판 이송장치'를 제안하였는 바, 상기의 자기부상 기판 이송장치는 도 1에서 보는 바와 같이 일측이 개방된 내부공간(21)을 갖는 단면이 'ㄷ'자 형상으로 이루어지고, 하부면에 복수 개의 자석(22)이 장착되는 대차(20)와; 지면에 고정되는 고정판(31)을 갖고, 상기 고정판(31)으로부터 수직으로 형성되는 수직판(32)을 갖는 고정프레임(30)과; 일측이 상기 고정프레임(30)의 수직판(32) 상부에 설치되고, 상기 대차(20)를 이송시키기 위한 롤러유닛(40)과; 일측이 상기 고정프레임(30)의 수직판(32) 상부에 설치된 상기 롤러유닛(40)과 이격되어 설치되고, 상부에 자석(51)이 장착되며, 상기 롤러유닛(40)에 의해 상기 대차(20)가 이동시 상기 대차(20)를 부상시키기 위한 부상유닛(50)과; 상기 대차(20)의 하부에 설치되고, 외주면 상에 복수 개의 자석(61)이 장착된 롤러(62)를 갖는 구동부(60)를 포함하여 이루어진다.As a result of the above-mentioned problems, the present inventor proposed a 'Magnetic floating substrate transferring device' of Japanese Patent Application No. 10-2016-0171900, wherein the magnetic floating substrate transferring device includes an inner space A carriage 20 having a cross section with a plurality of magnets 21 and a plurality of magnets 22 mounted on a lower surface thereof; A stationary frame (30) having a stationary plate (31) fixed to the ground and having a vertical plate (32) formed vertically from the stationary plate (31); A roller unit 40 having one side mounted on the vertical plate 32 of the stationary frame 30 and for transporting the carriage 20; And a magnet 51 is mounted on the upper portion of the roller unit 40. The roller unit 40 is disposed on the upper portion of the vertical plate 32 of the fixed frame 30, A floating unit (50) for floating the vehicle (20) when the vehicle (20) is moved; And a driving unit 60 installed at a lower portion of the carriage 20 and having rollers 62 on which a plurality of magnets 61 are mounted on the outer circumferential surface.

그러나, 상기의 기술은 부상유닛의 상부에 자력을 조절하기 위한 자력조절구가 단순 구성되어 있어 자석의 자력을 효과적으로 조절하지 못하는 문제점이 있었다.However, the above-mentioned technique has a problem that the magnetic force of the magnet can not be effectively controlled since the magnetic force adjusting means for adjusting the magnetic force is simply formed on the upper portion of the floating unit.

특허문헌 1 : 국내특허출원공보 출원번호 제10-2016-0171900호 '자기부상 기판 이송장치'Patent Document 1: Korean Patent Application Publication No. 10-2016-0171900 'Magnetic floating substrate transfer device'

따라서 본 발명은 이와 같은 종래 문제점을 개선하기 위해 제안된 것으로, 몸체프레임의 상부에 좌우 이동이 가능하도록 자력조절판을 구성하여 자력조절판의 좌우 이동에 따라 몸체프레임의 내부에 위치된 자석의 자력이 조절되도록 하는 자력조절장치를 제공하는 것을 해결하고자 하는 과제로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a magnetic force adjusting plate for moving left and right on an upper portion of a body frame, And to provide a magnetostrictive control device for controlling the magnetostrictive force.

특히, 몸체프레임의 상부 측면을 관통하여 조절나사를 구성하여 자력조절판과 나사결합되도록 함으로써 조절나사의 단순 조임 및 풀림 동작으로 자력조절판을 조절하여 몸체프레임의 내부에 위치된 자석의 자력을 용이하게 조절할 수 있도록 하는 자력조절장치를 제공하는 것을 해결하고자 하는 다른 과제로 한다.Particularly, since the adjusting screw is formed by passing through the upper side surface of the body frame and screwed to the magnetic force adjusting plate, the magnetic force adjusting plate is adjusted by the simple tightening and loosening operation of the adjusting screw to easily adjust the magnetic force of the magnet located inside the body frame The present invention is directed to a magnetic force adjusting device that is provided with a magnetic force adjusting device.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 대차(20)의 주행레일(21) 상부에 이격되어 위치되는 몸체프레임(30)과; 상기 몸체프레임(30)의 내부에 길이방향으로 위치되는 자석(40)과; 상기 몸체프레임(30)의 상부에 위치되고, 상기 자석(40)과 수직되는 방향으로 좌우 이동가능하게 형성되는 자력조절판(50)과; 상기 몸체프레임(30)의 상부 측면을 관통하여 상기 자력조절판(50)과 나사결합되고, 상기 자력조절판(50)의 위치를 조절하기 위한 조절나사(60)를 포함하여, 상기 조절나사(60)에 의해 상기 자력조절판(50)이 상기 몸체프레임(30)의 일측으로 이동하여 상기 자석(40)과 가까워지면 상기 자석(40)의 자력은 상기 대차(20)의 주행레일(21)과 상기 자력조절판(50)으로 분산되어 상기 자석(40)의 자력은 약해지고, 상기 자력조절판(50)이 상기 몸체프레임(30)의 타측으로 이동하여 상기 자석(40)과 멀어지면 상기 자석(40)의 자력은 상기 대차(20)의 주행레일(21)에 집중되어 상기 자석(40)의 자력은 강해지는 것을 특징으로 한다.According to an aspect of the present invention for achieving the above-mentioned object, there is provided a railcar comprising: a body frame (30) spaced apart from an upper portion of a running rail (21) of a truck (20); A magnet (40) positioned longitudinally inside the body frame (30); A magnetic force control plate (50) positioned above the body frame (30) and movable to the left and right in a direction perpendicular to the magnet (40); And an adjusting screw 60 penetrating an upper side surface of the body frame 30 to be screwed with the magnetic force adjusting plate 50 and adjusting the position of the magnetic force adjusting plate 50, When the magnetic force regulating plate 50 moves toward one side of the body frame 30 and comes close to the magnet 40, the magnetic force of the magnet 40 is transmitted to the driving rail 21 of the carriage 20, The magnetic force of the magnet 40 is dispersed in the throttle plate 50 so that the magnetic force regulating plate 50 moves to the other side of the body frame 30 and moves away from the magnet 40, Is concentrated on the running rail (21) of the truck (20), so that the magnetic force of the magnet (40) is strengthened.

이와 같은 본 발명에 따른 자력조절장치에서 상기 몸체프레임(30)은 하측에 상기 대차(20)의 주행레일(21)과 이격되어 부상하도록 부상부(31)가 형성되고, 상기 부상부(31)의 상측에 길이방향으로 관통하여 상기 자석(40)이 위치되는 공간부(32)가 형성되며, 상기 공간부(32)의 상측에 상부가 개방되어 상기 자력조절판(50)이 위치되는 이동공간(33)이 형성되는 것을 특징으로 한다.In the magnetic force adjusting apparatus according to the present invention, the body frame 30 is formed with a floating portion 31 on the lower side so as to be spaced apart from the running rail 21 of the bogie 20, A space portion 32 through which the magnet 40 penetrates is formed on the upper side of the space portion 32 and an upper portion of the space portion 32 is opened to allow the magnetic force control plate 50 to be positioned 33 are formed.

이상과 같이 본 발명에 따른 자력조절장치에 의하면, 몸체프레임의 상부에 좌우 이동이 가능하도록 자력조절판을 구성하여 자력조절판의 좌우 이동에 따라 몸체프레임의 내부에 위치된 자석의 자력이 조절되도록 하는 효과가 있다.As described above, according to the magnetic force adjusting apparatus of the present invention, the magnetic force adjusting plate is configured to move left and right on the upper part of the body frame, so that the magnetic force of the magnet located inside the body frame can be controlled .

특히, 몸체프레임의 상부 측면을 관통하여 조절나사를 구성하여 자력조절판과 나사결합되도록 함으로써 조절나사의 단순 조임 및 풀림 동작으로 자력조절판을 조절하여 몸체프레임의 내부에 위치된 자석의 자력을 용이하게 조절할 수 있도록 하는 효과가 있다.Particularly, since the adjusting screw is formed by passing through the upper side surface of the body frame and screwed to the magnetic force adjusting plate, the magnetic force adjusting plate is adjusted by the simple tightening and loosening operation of the adjusting screw to easily adjust the magnetic force of the magnet located inside the body frame There is an effect to be able to.

도 1은 종래 기술을 설명하기 위한 도면,
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 자력조절장치의 사시도,
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 자력조절장치의 분리사시도,
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 자력조절장치에서 자력조절판의 이동에 따른 자석의 자력이 발생되는 상태를 보여주는 도면이다.1 is a view for explaining a conventional technique,
2 is a perspective view of a magnetic force adjusting apparatus according to a preferred embodiment of the present invention,
3 is an exploded perspective view of a magnetic force adjusting device according to a preferred embodiment of the present invention,
4 is a view showing a state in which a magnetic force of a magnet is generated according to movement of a magnetic force adjusting plate in a magnetic force adjusting apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명하며, 도 2 내지 도 4에 있어서 동일한 기능을 수행하는 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 번호를 병기한다. 한편, 도면의 도시 및 상세한 설명에 있어서 본 발명의 기술적 특징과 직접적으로 연관되지 않는 요소의 구체적인 기술적 구성 및 작용에 대한 상세한 설명 및 도시는 생략하고, 본 발명과 관련되는 기술적 구성만을 간략하게 도시하거나 설명하였다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In FIGS. 2 to 4, the same reference numerals are assigned to components performing the same function. In the drawings and the detailed description, detailed description of specific elements and functions of elements not directly related to the technical features of the present invention will be omitted. .

도 2 내지 도 4를 참고하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 자력조절장치(10)는 대차(20)의 주행레일(21) 상부에 이격되어 위치되는 몸체프레임(30)과, 몸체프레임(30)의 내부에 길이방향으로 위치되는 자석(40)과, 몸체프레임(30)의 상부에 위치되고, 자석(40)과 수직되는 방향으로 좌우 이동가능하게 형성되는 자력조절판(50)과, 몸체프레임(30)의 상부 측면을 관통하여 자력조절판(50)과 나사결합되고, 자력조절판(50)의 위치를 조절하기 위한 조절나사(60)를 포함하여, 조절나사(60)에 의해 자력조절판(50)이 몸체프레임(30)의 일측으로 이동하여 자석(40)과 가까워지면 자석(40)의 자력은 대차(20)의 주행레일(21)과 자력조절판(50)으로 분산되어 자석(40)의 자력은 약해지고, 자력조절판(50)이 몸체프레임(30)의 타측으로 이동하여 자석(40)과 멀어지면 자석(40)의 자력은 대차(20)의 주행레일(21)에 집중되어 자석(40)의 자력은 강해지는 것을 특징으로 하는 자력조절장치에 관한 것이다.2 to 4, the magnetic force adjusting apparatus 10 according to the preferred embodiment of the present invention includes a body frame 30 spaced from an upper portion of a running rail 21 of a truck 20, A magnetic force control plate 50 positioned above the body frame 30 and movable left and right in a direction perpendicular to the magnet 40; And an adjusting screw 60 screwed with the magnetic force adjusting plate 50 through the upper side surface of the frame 30 to adjust the position of the magnetic force adjusting plate 50. The magnetic force adjusting plate 50 The magnetic force of the magnet 40 is dispersed to the running rail 21 and the magnetic force control plate 50 of the carriage 20 so that the magnet 40 can be separated from the magnet 40 by moving to the one side of the body frame 30, The magnetic force of the magnet 40 is weakened when the magnetic force regulating plate 50 is moved to the other side of the body frame 30 and away from the magnet 40, And the magnetic force of the magnet (40) is concentrated on the running rail (21) of the truck (20).

먼저, 대차(20)는 기판을 이송하기 위한 것으로, 대차(20)의 주행레일(21)은 양측이 상부로 돌출되고, 중심측에 홈이 형성된 형상인 'U'자 형상으로 이루어진다. 한편, 대차(20)의 주행레일(21)은 금속재로 이루어진다.First, the carriage 20 is for transporting a substrate. The carriage rail 21 of the carriage 20 has a U-shaped configuration with both sides protruding upward and grooves formed on the center side. On the other hand, the running rail 21 of the truck 20 is made of a metal material.

몸체프레임(30)은 대차(20)의 주행레일(21) 상부에 이격되어 위치되는 것으로, 하측에 대차(20)의 주행레일(21)과 이격되어 부상하도록 부상부(31)가 형성되고, 부상부(31)의 상측에 길이방향으로 관통하여 자석(40)이 위치되는 공간부(32)가 형성되며, 공간부(32)의 상측에 상부가 개방되어 자력조절판(50)이 위치되는 이동공간(33)이 형성되어 진다.The body frame 30 is spaced apart from the upper part of the running rail 21 of the truck 20 and is formed on the lower side of the truck 20 so as to be spaced apart from the running rail 21 of the truck 20, A space portion 32 through which the magnet 40 penetrates in the longitudinal direction is formed on the upper side of the floating portion 31 and an upper portion of the space portion 32 is opened to allow movement of the magnetic force control plate 50 A space 33 is formed.

이와 같은 몸체프레임(30)의 구성을 상세히 설명하면, 수직방향으로 형성되는 측면프레임(34)과, 단면이 'ㄴ'자 형상으로 이루어져 측면프레임(34)과 결합되고, 자기부상 이송장치에 고정되는 고정프레임(35)으로 구성된다. 이때, 고정프레임(35)은 측면프레임(34)과 결합되는 일측의 중심측에 홈 형상 즉, 공간부(32)가 길이방향으로 형성되도록 한다.The body frame 30 may include a side frame 34 formed in a vertical direction and a side frame 34 joined to the side frame 34 in a cross- As shown in Fig. At this time, the fixed frame 35 is formed with a groove shape, that is, the space portion 32 is formed in the longitudinal direction on the center side of one side coupled with the side frame 34.

한편, 측면프레임(34)의 상부와 고정프레임(35)의 타측 상부는 고정프레임(350의 'ㄴ'자 형상의 평면부에 비해 상부로 돌출되도록 형성되고, 고정프레임(35)의 평면부가 자력조절판(50)이 위치되는 이동공간(33)이 된다. 그리고, 고정프레임(35)의 타측의 돌출된 상부에는 관통홀(36)이 형성되어 조절나사(60)가 관통되어 자력조절판(50)과 나사체결되도록 한다.The upper portion of the side frame 34 and the upper portion of the other side of the fixed frame 35 are formed so as to protrude upward from the flat portion of the fixed frame 350, A through hole 36 is formed in a protruded upper portion of the other side of the fixed frame 35 so that the adjusting screw 60 penetrates the magnetic force adjusting plate 50, .

상술한 바와 같이 몸체프레임(30)을 구성함으로써 자석(40)은 공간부(32)에 위치될 시 고정프레임(35)의 공간부(32)에 먼저 위치된 후 측면프레임(34)이 고정프레임(35)에 결합되도록 하여 자석(40)이 몸체프레임(30)의 공간부(32)에 용이하게 위치될 수 있을 것이다.When the magnet 40 is positioned in the space portion 32, the rear side frame 34, which is first positioned in the space portion 32 of the stationary frame 35, So that the magnet 40 can be easily positioned in the space portion 32 of the body frame 30. [

자석(40)은 몸체프레임(30)의 공간부(32)에 위치되어 자력을 발생시키는 것으로, 본 발명의 바람직한 실시예에서는 영구자석으로 구성하였지만, 이는 일실시예일 뿐 다양하게 구성될 수 있을 것이다.The magnet 40 is disposed in the space portion 32 of the body frame 30 to generate a magnetic force. In the preferred embodiment of the present invention, the magnet 40 is made of a permanent magnet, .

자력조절판(50)은 사각형상의 판으로 이루어져 몸체프레임(30)의 이동공간(33)에 위치되어 몸체프레임(30)의 측면프레임(34)과 고정프레임(35)의 돌출된 상부 사이에서 좌우 이동가능하게 형성되는 것으로, 일측에서 타측으로 관통공(51)이 형성되어 진다.The magnetic force regulating plate 50 is formed of a rectangular plate and positioned in the moving space 33 of the body frame 30 to move left and right between the side frame 34 of the body frame 30 and the protruded upper portion of the stationary frame 35 The through hole 51 is formed from one side to the other side.

조절나사(60)는 몸체프레임(30)의 고정프레임(35)의 관통홀(36)을 통해 삽입되어 자력조절판(50)의 관통공(51)에 나사 체결되어 자력조절판(50)을 몸체프레임(30)의 이동공간(33) 상에서 좌우 이동시키도록 한다.The adjusting screw 60 is inserted through the through hole 36 of the fixing frame 35 of the body frame 30 and is screwed to the through hole 51 of the magnetic force adjusting plate 50 so that the magnetic force adjusting plate 50 is inserted into the through- To move left and right on the moving space (33) of the main body (30).

이상과 같이 본 발명에 따른 자력조절장치(10)에 의하면, 몸체프레임(30)의 상부에 좌우 이동이 가능하도록 자력조절판(50)을 구성하여 자력조절판(50)의 좌우 이동에 따라 몸체프레임(30)의 내부에 위치된 자석(40)의 자력이 조절되도록 하는 효과가 있다.As described above, according to the magnetic force adjusting device 10 of the present invention, the magnetic force regulating plate 50 is configured to be movable in the upper part of the body frame 30 to the left and right, The magnetic force of the magnet 40 positioned inside the magnet 30 can be controlled.

특히, 몸체프레임(30)의 상부 측면을 관통하여 조절나사(60)를 구성하여 자력조절판(50)과 나사결합되도록 함으로써 조절나사(60)의 단순 조임 및 풀림 동작으로 자력조절판(50)을 조절하여 몸체프레임(30)의 내부에 위치된 자석(40)의 자력을 용이하게 조절할 수 있도록 하는 효과가 있다.Particularly, the adjustment screw 60 is formed to pass through the upper side surface of the body frame 30 so as to be screwed with the magnetic force adjusting plate 50, thereby adjusting the magnetic force adjusting plate 50 by the simple tightening and loosening operation of the adjusting screw 60 So that the magnetic force of the magnet 40 positioned inside the body frame 30 can be easily adjusted.

이와 같은 구성을 갖는 자력조절장치(10)에서 자력조절판(50)의 이동에 따른 자석(40)의 자력이 발생되는 상태를 도 4를 참조하여 설명하면, 조절나사(60)를 오른쪽으로 회전시키면 자력조절판(50)은 몸체프레임(30)의 이동공간(33)에서 일측(좌측)으로 이동하게 된다. 이때, 몸체프레임(30)의 공간부(32)에 위치된 자석(40)에서 발생되는 자력은 약해진다. 즉, 자석(40)에서 발생되는 자력은 몸체프레임(30)의 하부에 위치된 대차(20)와 몸체프레임(30)의 상부에 위치된 자력조절판(50)으로 분산되기 때문에 자석(40)의 자력은 약해지게 된다. 그리고, 조절나사(60)를 왼쪽으로 회전시키면 자력조절판(50)은 몸체프레임(30)의 이동공간(33)에서 타측(우측)으로 이동하게 된다. 이때, 몸체프레임(30)의 공간부(32)에 위치된 자석(40)에서 발생되는 자력은 강해진다. 즉, 자석(40)에서 발생되는 자력은 몸체프레임(30)의 하부에 위치된 대차(20)로만 발생하기 때문에 자석(40)의 자력은 강해져 몸체프레임(30)의 공간부(32)에 위치한 자석(40)은 대차 방향으로 강한 자력을 발생하게 되는 것이다.Referring to FIG. 4, a state in which the magnetic force of the magnet 40 is generated by the movement of the magnetic force adjusting plate 50 in the magnetic force adjusting apparatus 10 having the above-described configuration will be described. When the adjusting screw 60 is rotated to the right The magnetic force control plate 50 is moved to one side (left side) in the movement space 33 of the body frame 30. [ At this time, the magnetic force generated in the magnet (40) located in the space (32) of the body frame (30) weakens. That is, since the magnetic force generated in the magnet 40 is dispersed by the bogie 20 positioned at the lower portion of the body frame 30 and the magnetic force regulating plate 50 located at the upper portion of the body frame 30, The magnetic force is weakened. When the adjusting screw 60 is rotated to the left, the magnetic force adjusting plate 50 is moved from the moving space 33 of the body frame 30 to the other side (right side). At this time, the magnetic force generated in the magnet (40) located in the space portion (32) of the body frame (30) becomes strong. That is, since the magnetic force generated by the magnet 40 is generated only by the bogie 20 positioned at the lower portion of the body frame 30, the magnetic force of the magnet 40 becomes stronger and the magnetic force generated in the space portion 32 of the body frame 30 The magnet 40 generates a strong magnetic force in the transverse direction.

상술한 바와 같은, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 자력조절장치를 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만, 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능하다는 것을 이 분야의 통상적인 기술자들은 잘 이해할 수 있을 것이다.While the present invention has been shown and described with reference to certain embodiments thereof, it will be understood by those skilled in the art that various changes and modifications may be made without departing from the spirit of the invention As will be appreciated by those of ordinary skill in the art.

10 : 자력조절장치
20 : 대차 21 : 주행레일
30 : 몸체프레임 31 : 부상부
32 : 공간부 33 : 이동공간
34 : 측면프레임 35 : 고정프레임
36 : 관통홀 40 : 자석
50 : 자력조절판 51 : 관통공
60 : 조절나사10: magnetic force adjusting device
20: Truck 21: Running rail
30: Body frame 31: Floating part
32: space part 33: moving space
34: side frame 35: fixed frame
36: Through hole 40: Magnet
50: magnetic force adjusting plate 51: through hole
60: Adjusting screw

Claims (2)

대차(20)의 주행레일(21) 상부에 이격되어 위치되는 몸체프레임(30)과;
상기 몸체프레임(30)의 내부에 길이방향으로 위치되는 자석(40)과;
상기 몸체프레임(30)의 상부에 위치되고, 상기 자석(40)과 수직되는 방향으로 좌우 이동가능하게 형성되는 자력조절판(50)과;
상기 몸체프레임(30)의 상부 측면을 관통하여 상기 자력조절판(50)과 나사결합되고, 상기 자력조절판(50)의 위치를 조절하기 위한 조절나사(60)를 포함하여,
상기 조절나사(60)에 의해 상기 자력조절판(50)이 상기 몸체프레임(30)의 일측으로 이동하여 상기 자석(40)과 가까워지면 상기 자석(40)의 자력은 상기 대차(20)의 주행레일(21)과 상기 자력조절판(50)으로 분산되어 상기 자석(40)의 자력은 약해지고, 상기 자력조절판(50)이 상기 몸체프레임(30)의 타측으로 이동하여 상기 자석(40)과 멀어지면 상기 자석(40)의 자력은 상기 대차(20)의 주행레일(21)에 집중되어 상기 자석(40)의 자력은 강해지는 것을 특징으로 하는 자력조절장치.
A body frame (30) spaced from the upper part of the running rail (21) of the truck (20);
A magnet (40) positioned longitudinally inside the body frame (30);
A magnetic force control plate (50) positioned above the body frame (30) and movable to the left and right in a direction perpendicular to the magnet (40);
And an adjusting screw (60) penetrating the upper side surface of the body frame (30) to be screwed with the magnetic force adjusting plate (50) and adjusting the position of the magnetic force adjusting plate (50)
When the magnetic force adjusting plate 50 is moved toward one side of the body frame 30 by the adjusting screw 60 and is brought close to the magnet 40, the magnetic force of the magnet 40 is transmitted to the driving rail The magnetic force of the magnet 40 is weakened when the magnetic force regulating plate 50 is moved to the other side of the body frame 30 and is distant from the magnet 40, Wherein the magnetic force of the magnet (40) is concentrated on the running rail (21) of the carriage (20) so that the magnetic force of the magnet (40) is strengthened.
제 1 항에 있어서,
상기 몸체프레임(30)은 하측에 상기 대차(20)의 주행레일(21)과 이격되어 부상하도록 부상부(31)가 형성되고, 상기 부상부(31)의 상측에 길이방향으로 관통하여 상기 자석(40)이 위치되는 공간부(32)가 형성되며, 상기 공간부(32)의 상측에 상부가 개방되어 상기 자력조절판(50)이 위치되는 이동공간(33)이 형성되는 것을 특징으로 하는 자력조절장치.The method according to claim 1,
The body frame 30 has a floating portion 31 formed on a lower side thereof so as to be spaced apart from the running rail 21 of the bogie 20 and penetrates in the longitudinal direction on the floating portion 31, Wherein the magnetic force regulating plate is formed with a space portion in which the magnetic force adjusting plate is positioned and an upper portion of the space is opened to define a magnetic space for the magnetic force adjusting plate. Regulating device.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220156250A (en) 2021-05-18 2022-11-25 충남대학교산학협력단 Wedge-type magnetic adjustment module
CN115057236A (en) * 2022-08-08 2022-09-16 河南工业职业技术学院 Material feeding unit for machine-building
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