KR20220006317A - Magnetic levitation transportation apparatus - Google Patents

Magnetic levitation transportation apparatus Download PDF

Info

Publication number
KR20220006317A
KR20220006317A KR1020200084135A KR20200084135A KR20220006317A KR 20220006317 A KR20220006317 A KR 20220006317A KR 1020200084135 A KR1020200084135 A KR 1020200084135A KR 20200084135 A KR20200084135 A KR 20200084135A KR 20220006317 A KR20220006317 A KR 20220006317A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
magnet
carrier
moving
magnetic levitation
track
Prior art date
Application number
KR1020200084135A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR102439631B1 (en
Inventor
임상덕
임광윤
Original Assignee
(주)가온솔루션
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주)가온솔루션 filed Critical (주)가온솔루션
Priority to KR1020200084135A priority Critical patent/KR102439631B1/en
Publication of KR20220006317A publication Critical patent/KR20220006317A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102439631B1 publication Critical patent/KR102439631B1/en

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67709Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations using magnetic elements
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02Storage devices
    • B65G1/04Storage devices mechanical
    • B65G1/0457Storage devices mechanical with suspended load carriers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G54/00Non-mechanical conveyors not otherwise provided for
    • B65G54/02Non-mechanical conveyors not otherwise provided for electrostatic, electric, or magnetic
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706Mechanical details, e.g. roller, belt
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773Conveying cassettes, containers or carriers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02Articles
    • B65G2201/0297Wafer cassette

Abstract

The present invention relates to a magnetic levitation transfer device. Specifically, an embodiment of the present invention comprises: a carrier provided to transfer logistics; a moving track installed on a ceiling surface of a workshop to guide movement of the carrier; and a levitation unit for magnetically levitating the carrier on the moving track. The levitation unit comprises: first magnets installed on the moving track; and second magnets installed on the carrier to face the first magnet in a height direction of the moving track and forming a magnetic force so that an attractive force between the first magnets acts. The carrier comprises: a body on which the second magnets are mounted; and a moving roller installed in a body to be movable along the moving track.

Description

자기 부상 이송 장치{MAGNETIC LEVITATION TRANSPORTATION APPARATUS}MAGNETIC LEVITATION TRANSPORTATION APPARATUS

본 발명은 자기 부상 이송 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 물류의 이송시 레일에서 이탈을 방지하고, 마찰력 감소에 따른 파티클의 감소를 통해 클린 룸 라인(Clean room line)에 대한 오염을 방지할 수 있는 자기 부상 이송 장치에 대한 발명이다. The present invention relates to a magnetic levitation transport device, and more particularly, it is possible to prevent separation from a rail during transport of logistics, and to prevent contamination of a clean room line by reducing particles due to a decrease in frictional force. It is an invention for a magnetic levitation transfer device.

일반적으로, OHT(Overhead joist transport) 이송 장치는, 반도체 라인의 공장 상부에 설치된 레일을 따라 이동되면서, 장비와 장비 간 물류(웨이퍼, 웨이퍼 카세트 등) 이송을 목적으로 한다. In general, an overhead joist transport (OHT) transfer device is moved along a rail installed at an upper part of a factory of a semiconductor line, and aims to transport equipment and logistics (wafers, wafer cassettes, etc.).

예컨대, OHT 이송 장치의 경우, 캐리어 트랜스포터가 4개 이상의 롤러를 이용하여 레일과 마찰 구동되면서 이동되는데, 이때, 캐리어 트랜스포터는 ID 태그를 인식하면서 공정 순서별로 웨이퍼 카세트를 로딩 또는 언로딩한다.For example, in the case of the OHT transport device, the carrier transporter is moved while frictionally driven with the rail using four or more rollers. At this time, the carrier transporter loads or unloads wafer cassettes in each process order while recognizing the ID tag.

그런데 종래 OHT 이송 장치의 경우, 구성 기기들의 메커니즘상 속도 증가 및 조절에 한계가 있고, 기계장치들의 적용에 따라 구성품이 바뀌는 부분마다 마찰이 발생하므로, 소음과 진동, 분진 발생이 필연적일 수 밖에 없다. 또한, 소음과 진동, 분진의 발생량과 마모에 의한 고장 빈도를 감소시키기 위해서는, 수시로 해당 구성품의 점검과 부품교체, 수리 등을 주기적으로 수행해야만 하며, 이는 유지 보수비의 증가로 이어질 수 밖에 없다. However, in the case of the conventional OHT transfer device, there is a limit to speed increase and control due to the mechanism of the components, and friction occurs at each part where the components change according to the application of the mechanical devices, so noise, vibration, and dust generation are inevitable. . In addition, in order to reduce the amount of noise, vibration, dust generation, and failure frequency due to abrasion, it is necessary to periodically check the relevant components, replace parts, and repair them, which inevitably leads to an increase in maintenance costs.

이러한 종래 OHT 이송 장치의 문제점을 해결하기 위해, 자기 부상 원리를 이용한 자기 부상 이송 시스템이 OHT 이송 장치에 적용될 수 있다. 일 예로, 종래의 자기 부상 이송 장치의 예가 특허문헌 1로서 공지된 바 있다. In order to solve the problems of the conventional OHT transfer apparatus, a magnetic levitation transfer system using the magnetic levitation principle may be applied to the OHT transfer apparatus. As an example, an example of a conventional magnetic levitation transfer device is known as Patent Document 1.

특허문헌 1에 따른 자기 부상 이송 장치는, 일 방향을 따라 이어진 궤도와, 궤도 상에 부상하여 이동하는 대차를 포함하는 구성을 갖는다. 그리고 궤도의 하면에 부착된 강자성체와 대차에 고정된 부상 전자석을 이용하여 대차를 궤도로부터 부상시키도록 구성된다. The magnetic levitation transport apparatus according to Patent Document 1 has a configuration including a track connected in one direction and a bogie that floats on the track and moves. And it is configured to float the bogie from the track using a ferromagnetic material attached to the lower surface of the track and a levitation electromagnet fixed to the bogie.

그러나 종래 자기 부상 이송 장치의 경우, 부상력을 구현하기 위해 영구자석을 사용할 경우에 비해, 부상력을 위한 장치의 부피가 매우 커져야 하고, 부상된 상태를 유지하기 위한 많은 수의 센서가 이송방향을 따라 배치되어야 하므로, 장치의 소형화 및 저비용화를 달성하기가 어려울 수 있다.However, in the case of the conventional magnetic levitation transfer device, compared to the case of using a permanent magnet to implement the levitation force, the volume of the device for the levitation force must be very large, and a large number of sensors to maintain the levitated state control the transfer direction. Therefore, it may be difficult to achieve miniaturization and low cost of the device.

특허문헌 1: 한국등록특허 제10-1049222호 (2011.07.07. 등록)Patent Document 1: Korea Patent No. 10-1049222 (registered on July 7, 2011)

본 발명의 실시예들은 상기와 같은 배경에서 발명된 것으로서, 레일에 대한 캐리어의 마찰을 최소화하여, 클린 룸 라인에 대한 오염을 방지할 수 있는 자기 부상 이송 장치를 제공하고자 한다. Embodiments of the present invention have been invented in the background as described above, and to provide a magnetic levitation transport device capable of preventing contamination of a clean room line by minimizing friction of a carrier with respect to a rail.

본 발명의 일 측면에 따르면, 작업장 내에서 물류를 이송시키기 위해 제공되는 캐리어; 상기 작업장의 천장면에 설치되어, 상기 캐리어의 이동을 안내하는 이동 궤도; 및 상기 캐리어를 상기 이동 궤도 상에서 자기 부상시키는 부상 유닛을 포함하고, 상기 부상 유닛은 상기 이동 궤도에 구비되는 제1 마그넷; 및 상기 제1 마그넷에 상기 이동 궤도의 높이방향으로 대향되도록 상기 캐리어에 설치되고, 상기 제1 마그넷 간 인력이 작용하도록 자기력을 형성하는 제2 마그넷을 포함하고, 상기 캐리어는 상기 제2 마그넷이 장착된 바디; 및 상기 이동 궤도를 따라 이동 가능하도록 상기 바디에 구비되는 무빙 롤러를 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, a carrier provided for transporting logistics in the workshop; a movement track installed on the ceiling surface of the workshop to guide the movement of the carrier; and a levitating unit for magnetically levitating the carrier on the moving trajectory, wherein the levitating unit includes a first magnet provided on the moving trajectory; and a second magnet installed on the carrier to face the first magnet in the height direction of the movement track, and forming a magnetic force so that the attractive force between the first magnets acts, wherein the carrier is mounted with the second magnet old body; and a moving roller provided on the body to be movable along the movement track.

이때, 상기 이동 궤도는 상기 캐리어의 이동이 이루어지는 이동 경로; 및 상기 무빙 롤러가 지지되도록 상기 이동 경로를 사이에 두고 대향되게 배치되는 제1 레일 및 제2 레일을 포함할 수 있다.In this case, the movement trajectory may include a movement path through which the carrier moves; and a first rail and a second rail disposed to face each other with the moving path interposed therebetween so that the moving roller is supported.

또한, 상기 캐리어는 상기 이동 궤도의 하부를 지지하도록 상기 바디의 상부에 장착되는 가이드 롤러를 더 포함할 수 있다.In addition, the carrier may further include a guide roller mounted on the upper portion of the body to support the lower portion of the movement track.

또한, 상기 부상 유닛은 상기 캐리어가 코너링되는 상기 이동 궤도의 내측 코너부에 구비되는 제3 마그넷; 및 상기 제3 마그넷에 상기 이동 궤도의 폭방향으로 대향되도록 상기 캐리어에 설치되고, 상기 제3 마그넷 간 인력이 작용하도록 자기력을 형성하는 제4 마그넷을 포함할 수 있다.In addition, the levitation unit is a third magnet provided in the inner corner of the moving track to which the carrier is cornered; and a fourth magnet installed on the carrier to face the third magnet in the width direction of the movement track, and forming a magnetic force so that an attractive force between the third magnets acts.

또한, 상기 부상 유닛은 상기 캐리어가 코너링되는 상기 이동 궤도의 외측 코너부에 구비되는 제5 마그넷; 및 상기 제5 마그넷에 상기 이동 궤도의 폭방향으로 대향되도록 상기 캐리어에 설치되고, 상기 제5 마그넷 간 척력이 작용하도록 자기력을 형성하는 제6 마그넷을 포함할 수 있다.In addition, the levitation unit may include a fifth magnet provided at the outer corner of the moving track to which the carrier is cornered; and a sixth magnet installed on the carrier to face the fifth magnet in the width direction of the movement track, and forming a magnetic force so that a repulsive force between the fifth magnets acts.

또한, 상기 무빙 롤러는 상기 캐리어의 전단부 및 후단부에 마련되고, 상기 캐리어의 전후방향으로 동일 선상에 위치되는 복수 개로 제공되고, 상기 가이드 롤러는 상기 복수 개의 무빙 롤러 사이에 배치될 수 있다.In addition, the moving rollers may be provided at the front end and the rear end of the carrier, and provided in plurality positioned on the same line in the front and rear directions of the carrier, and the guide roller may be disposed between the plurality of moving rollers.

또한, 상기 바디는 상기 물류를 로딩 또는 언로딩하기 위한 적재부; 상기 무빙 롤러가 회전 가능하게 장착되도록 상기 적재부의 상측 중심부에서 돌출 형성되는 롤러 지지부; 및 상기 롤러 지지부를 사이에 두고 상기 적재부의 상부에서 이격 배치되는 한 쌍으로 제공되고, 단부에 상기 제2 마그넷이 장착되는 마그넷 지지부를 포함할 수 있다.In addition, the body may include a loading unit for loading or unloading the logistics; a roller support protruding from the upper center of the loading unit so that the moving roller is rotatably mounted; and a magnet support part provided in a pair spaced apart from the upper part of the loading part with the roller support part therebetween, and the second magnet being mounted at an end thereof.

또한, 상기 한 쌍의 마그넷 지지부는 상기 캐리어가 상기 이동 궤도에서 이동될 때, 상기 제1 마그넷 및 상기 제2 마그넷 간 인력 작용에 의해 상기 캐리어의 중심부가 상기 이동 궤도의 센터 라인에 위치되도록, 상기 롤러 지지부를 사이에 두고 동일 거리에 이격되어 배치될 수 있다.In addition, the pair of magnet support parts, when the carrier is moved in the movement orbit, the center of the carrier by the attractive action between the first magnet and the second magnet is located at the center line of the movement orbit, the The roller support may be disposed to be spaced apart from each other at the same distance.

본 발명의 일 측면에 따르면, 작업장 내에서 물류를 이송시키기 위해 제공되는 캐리어; 상기 작업장의 천장면에 설치되어, 상기 캐리어의 이동을 안내하는 이동 궤도; 및 상기 캐리어를 상기 이동 궤도 상에서 자기 부상시키는 부상 유닛을 포함하고, 상기 부상 유닛은 상기 이동 궤도에 구비되는 제7 마그넷; 및 상기 제7 마그넷의 상측에 대향되게 위치되도록 상기 캐리어에 설치되고, 상기 제7 마그넷 간 척력이 작용하도록 자기력을 형성하는 제8 마그넷을 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, a carrier provided for transporting logistics in the workshop; a movement track installed on the ceiling surface of the workshop to guide the movement of the carrier; and a levitation unit for magnetically levitating the carrier on the moving trajectory, wherein the levitating unit includes a seventh magnet provided on the moving trajectory; and an eighth magnet installed on the carrier so as to be positioned opposite to the upper side of the seventh magnet, and forming a magnetic force such that a repulsive force between the seventh magnets acts.

이때, 상기 캐리어는 상기 제8 마그넷이 장착된 바디; 및 상기 이동 궤도를 따라 상기 바디를 안내하도록 상기 바디에 구비되는 가이드 롤러를 포함할 수 있다.In this case, the carrier may include a body on which the eighth magnet is mounted; and a guide roller provided on the body to guide the body along the movement trajectory.

본 발명의 실시예들에 따르면, 캐리어의 상부와 레일 간에 자기력에 의한 인력 또는 척력을 작용함으로써, 캐리어의 슬립 현상없이, 캐리어를 고속으로 이동시킬 수 있으며, 물류 및 캐리어의 부하를 상쇄할 수 있다는 효과가 있다. According to embodiments of the present invention, by applying an attractive or repulsive force due to magnetic force between the upper portion of the carrier and the rail, it is possible to move the carrier at high speed without the slip phenomenon of the carrier, and to offset the load of logistics and the carrier. It works.

또한, 본 발명의 실시예들에 따르면, 캐리어의 마그넷과 레일의 마그넷 간 인력 또는 척력이 작용하므로, 캐리어가 이동 궤도를 코너링할 때, 캐리어의 레일 이탈을 방지하고, 레일의 코너부에서도 캐리어의 센터링을 유지할 수 있다는 효과가 있다. In addition, according to the embodiments of the present invention, since the attractive or repulsive force between the magnet of the carrier and the magnet of the rail acts, when the carrier corners the moving track, the rail departure of the carrier is prevented, and even at the corner of the rail, the carrier's It has the effect of maintaining centering.

또한, 본 발명의 실시예들에 따르면, 레일에 대한 캐리어의 마찰을 최소화함으로써, 마찰력 감소를 통한 파티클의 감소로 클린 룸 라인(Clean room line)에 대한 오염을 방지할 수 있고, 캐리어의 안정적인 이송을 구현할 수 있으며, 자기 부상 이송 장치의 반 영구적 사용이 가능하다는 효과가 있다. In addition, according to embodiments of the present invention, by minimizing the friction of the carrier with respect to the rail, it is possible to prevent contamination of the clean room line due to the reduction of particles through the reduction of frictional force, and the stable transport of the carrier can be implemented, and there is an effect that semi-permanent use of the magnetic levitation transfer device is possible.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치를 나타낸 정면도이다.
도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치를 나타낸 측면도이다.
도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치를 나타낸 정면도이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치를 나타낸 측면도이다.
도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치를 나타낸 정면도이다.
도 6은 도 5의 "A-A"선부를 절개하여 도시한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제4 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치를 나타낸 정면도이다.
도 8은 도 7의 "B-B"선부를 절개하여 도시한 단면도이다.
도 9는 본 발명의 제5 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치를 나타낸 정면도이다.
도 10은 도 9의 "C-C"선부를 절개하여 도시한 단면도이다.
도 11은 본 발명의 제6 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치를 나타낸 정면도이다.
도 12는 본 발명의 제6 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치를 나타낸 측면도이다.
도 13은 본 발명의 제7 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치를 나타낸 정면도이다.
도 14는 본 발명의 제7 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치를 나타낸 측면도이다.
1 is a front view showing a magnetic levitation transfer device according to a first embodiment of the present invention.
Figure 2 is a side view showing the magnetic levitation transfer device according to the first embodiment of the present invention.
Figure 3 is a front view showing a magnetic levitation transfer device according to a second embodiment of the present invention.
Figure 4 is a side view showing a magnetic levitation transfer device according to a second embodiment of the present invention.
Figure 5 is a front view showing a magnetic levitation transfer device according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a line "AA" of FIG. 5 by cutting it.
Figure 7 is a front view showing a magnetic levitation transfer device according to a fourth embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a cross-sectional view illustrating a line “BB” of FIG. 7 by cutting it.
Figure 9 is a front view showing a magnetic levitation transfer device according to a fifth embodiment of the present invention.
FIG. 10 is a cross-sectional view illustrating a line “CC” of FIG. 9 by cutting it.
11 is a front view showing a magnetic levitation transfer device according to a sixth embodiment of the present invention.
12 is a side view showing a magnetic levitation transfer device according to a sixth embodiment of the present invention.
13 is a front view showing a magnetic levitation transfer device according to a seventh embodiment of the present invention.
14 is a side view showing a magnetic levitation transfer device according to a seventh embodiment of the present invention.

이하에서는 본 발명의 사상을 구현하기 위한 구체적인 실시예에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명하도록 한다. Hereinafter, specific embodiments for implementing the spirit of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

아울러 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. In addition, in the description of the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known configuration or function may obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.

또한, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 '연결', '지지', '공급', '전달', '접촉'된다고 언급된 때에는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결, 지지, 공급, 전달, 접촉될 수도 있지만 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.In addition, when it is mentioned that a component is 'connected', 'supported', 'supplied', 'transferred', or 'contacted' to another component, it may be directly connected, supported, supplied, transmitted, or contacted with the other component. However, it should be understood that other components may exist in the middle.

본 명세서에서 사용된 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로 본 발명을 한정하려는 의도로 사용된 것은 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함한다.The terminology used herein is only used to describe specific embodiments and is not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise.

또한, 본 명세서에서 상측, 하측, 측면 등의 표현은 도면에 도시를 기준으로 설명한 것이며 해당 대상의 방향이 변경되면 다르게 표현될 수 있음을 미리 밝혀둔다. 마찬가지의 이유로 첨부 도면에 있어서 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 또는 개략적으로 도시되었으며, 각 구성요소의 크기는 실제 크기를 전적으로 반영하는 것이 아니다.In addition, in the present specification, the expressions of the upper side, the lower side, the side, etc. are described with reference to the drawings, and it is to be noted in advance that if the direction of the corresponding object is changed, it may be expressed differently. For the same reason, some components are exaggerated, omitted, or schematically illustrated in the accompanying drawings, and the size of each component does not fully reflect the actual size.

또한, 제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 해당 구성요소들은 이와 같은 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 이 용어들은 하나의 구성요소들을 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.Also, terms including an ordinal number such as 1st, 2nd, etc. may be used to describe various components, but the components are not limited by these terms. These terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another.

명세서에서 사용되는 "포함하는"의 의미는 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소 및/또는 성분을 구체화하며, 다른 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소, 성분 및/또는 군의 존재나 부가를 제외시키는 것은 아니다.The meaning of "comprising," as used herein, specifies a particular characteristic, region, integer, step, operation, element and/or component, and other specific characteristic, region, integer, step, operation, element, component, and/or group. It does not exclude the existence or addition of

이하, 도 1 내지 도 10을 참조하여 본 발명에 따른 자기 부상 이송 장치의 구체적인 구성에 대하여 설명한다. Hereinafter, a detailed configuration of the magnetic levitation transfer device according to the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 10 .

본 발명에 따른 자기 부상 이송 장치는, 반도체 라인(클린 룸 포함)에서 물류(웨이퍼 등)를 이송하는데 적용됨으로써, 캐리어에 장착되어 있는 무빙 롤러의 레일에 대한 마찰을 최소할 수 있고, 마찰력 감소를 통한 파티클의 감소로 클린 룸 라인에 대한 오염을 방지할 수 있으며, 캐리어의 안정적인 이송을 구현할 수 있다. The magnetic levitation transport apparatus according to the present invention is applied to transport materials (wafers, etc.) in a semiconductor line (including a clean room), thereby minimizing the friction of the moving roller mounted on the carrier against the rail, and reducing the frictional force. It is possible to prevent contamination of the clean room line by reducing particles, and it is possible to realize stable transport of carriers.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치를 나타낸 정면도이고, 도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치를 나타낸 측면도이다. Figure 1 is a front view showing a magnetic levitation transfer apparatus according to a first embodiment of the present invention, Figure 2 is a side view showing a magnetic levitation transfer apparatus according to a first embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 2를 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치(10)는, 캐리어(100)와, 캐리어(100)의 이동을 안내하는 이동 궤도(200)와, 인력에 의해 캐리어(100)를 이동 궤도(200) 상에서 자기 부상시키는 부상 유닛(300)을 포함할 수 있다. 1 to 2, the magnetic levitation transport apparatus 10 according to the first embodiment of the present invention, the carrier 100, and the movement trajectory 200 for guiding the movement of the carrier 100, and the attractive force It may include a levitation unit 300 for magnetically levitating the carrier 100 on the moving trajectory 200 by the.

구체적으로, 캐리어(100)는 이동 궤도(200)를 따라 반도체 제조를 위한 클린 룸 라인(Clean room line)을 이동할 수 있다. 캐리어(100)는 물류(웨이퍼 등)를 클린 룸 라인에서 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading)할 수 있다.Specifically, the carrier 100 may move a clean room line for semiconductor manufacturing along the movement trajectory 200 . The carrier 100 may load or unload materials (such as wafers) in a clean room line.

캐리어(100)는 바디(110)와 무빙 롤러(120)를 포함할 수 있다. 바디(110)는 무빙 롤러(120)를 통해 이동 궤도(200)을 따라 이동될 수 있다. 바디(110)에는 이동 궤도(200)의 제1 마그넷(310)과 자기력을 형성하는 제2 마그넷(320)이 장착될 수 있다. 바디(110)의 상부에는 무빙 롤러(120)가 회전 가능하게 장착될 수 있다. The carrier 100 may include a body 110 and a moving roller 120 . The body 110 may be moved along the moving track 200 through the moving roller 120 . The body 110 may be equipped with a first magnet 310 of the movement track 200 and a second magnet 320 forming a magnetic force. The moving roller 120 may be rotatably mounted on the upper portion of the body 110 .

이러한 바디(110)는 적재부(111)와, 적재부(111)의 상측 중심부에서 돌출 형성되는 롤러 지지부(112)와, 적재부(111)의 상부에서 마련되는 마그넷 지지부(113)를 포함할 수 있다. 여기서, 적재부(111)는 물류를 로딩 또는 언로딩하기 위한 클램핑 기능을 제공할 수 있고, 물류의 수용이 가능한 적재 공간을 제공할 수 있다. This body 110 includes a loading part 111, a roller support 112 protruding from the upper center of the loading part 111, and a magnet support 113 provided at the top of the loading part 111. can Here, the loading unit 111 may provide a clamping function for loading or unloading the logistics, and may provide a loading space capable of accommodating the logistics.

그리고 롤러 지지부(112)는 무빙 롤러(120)가 회전 가능하게 장착되는 지지 프레임 형태일 수 있다. 마그넷 지지부(113)의 상단부에는 제1 마그넷(310)에 대향되도록 제2 마그넷(320)이 장착될 수 있다. And the roller support 112 may be in the form of a support frame on which the moving roller 120 is rotatably mounted. The second magnet 320 may be mounted on the upper end of the magnet support 113 to face the first magnet 310 .

또한, 마그넷 지지부(113)는 롤러 지지부(112)를 사이에 두고 적재부(111)의 상부에서 이격 배치되는 한 쌍으로 제공될 수 있다. 한 쌍의 마그넷 지지부(113)는 롤러 지지부(112)를 사이에 두고 동일 거리에 이격 배치되므로, 캐리어(100)가 이동 궤도(200)에서 이동될 때, 제1 마그넷(310) 및 제2 마그넷(320) 간 인력 작용에 의해, 캐리어(100)의 중심부는 이동 궤도(200)의 센터 라인에 위치될 수 있다.In addition, the magnet support 113 may be provided as a pair spaced apart from the upper portion of the loading portion 111 with the roller support 112 interposed therebetween. Since the pair of magnet support 113 are spaced apart from each other at the same distance with the roller support 112 interposed therebetween, when the carrier 100 is moved on the moving track 200 , the first magnet 310 and the second magnet By the attraction action between the 320 , the center of the carrier 100 may be located on the center line of the moving orbit 200 .

캐리어(100)의 무빙 롤러(120)는 이동 궤도(200)를 따라 이동 가능하도록 바디(110)에 장착될 수 있다. 무빙 롤러(120)는 이동 궤도(200)에 지지 가능한 한 쌍의 롤러를 포함할 수 있다. 한 쌍의 롤러는 롤러축을 매개로 서로 연결될 수 있다. The moving roller 120 of the carrier 100 may be mounted on the body 110 to be movable along the moving track 200 . The moving roller 120 may include a pair of rollers capable of being supported on the moving track 200 . A pair of rollers may be connected to each other via a roller shaft.

무빙 롤러(120)는 바디(110)의 전단부 및 후단부에 이격하여 배치될 수 있다. 무빙 롤러(120)는 바디(110)의 전단부 및 후단부에 이격 배치됨으로써, 캐리어(100)가 이동 궤도(200)를 따라 이동할 때, 캐리어(100)는 전후방향으로 안정적인 균형 유지가 가능하다. 무빙 롤러(120)는 구동 장치(140)로부터 구동력을 제공받을 수 있다.The moving roller 120 may be disposed to be spaced apart from the front and rear ends of the body 110 . The moving roller 120 is spaced apart from the front end and the rear end of the body 110, so that when the carrier 100 moves along the moving track 200, the carrier 100 can maintain a stable balance in the front and rear directions. . The moving roller 120 may receive a driving force from the driving device 140 .

이동 궤도(200)는 작업장의 천장면(W)에 설치될 수 있다. 이동 궤도(200)는 캐리어(100)의 이동을 안내하는 레일 형태로 제공될 수 있다. 이동 궤도(200)는 캐리어(100)의 이동이 이루어지는 이동 경로(210)와, 이동 경로(210)를 사이에 두고 대향되게 배치되는 제1 레일(220) 및 제2 레일(230)을 포함할 수 있다. The moving track 200 may be installed on the ceiling surface (W) of the workshop. The moving track 200 may be provided in the form of a rail for guiding the movement of the carrier 100 . The moving track 200 may include a moving path 210 through which the carrier 100 moves, and a first rail 220 and a second rail 230 disposed to face each other with the moving path 210 interposed therebetween. can

제1 레일(220) 및 제2 레일(230)은 이동 경로(210)를 사이에 두고 나란하게 배치될 수 있다. 제1 레일(220) 및 제2 레일(230)의 적어도 일 지지면에는, 무빙 롤러(120)가 지지될 수 있다. 일 예로, 제1 레일(220) 및 제2 레일(230)은 이동 경로(210)를 사이에 두도록 배치되는 "ㄷ"자 형태로 제공될 수 있다. 그리고 제1 레일(220) 및 제2 레일(230)의 내측 지지면에는 무빙 롤러(120)가 지지될 수 있고, 제1 레일(220) 및 제2 레일(230)의 하부에는 제1 마그넷(310)이 장착될 수 있다.The first rail 220 and the second rail 230 may be arranged in parallel with the movement path 210 interposed therebetween. The moving roller 120 may be supported on at least one supporting surface of the first rail 220 and the second rail 230 . As an example, the first rail 220 and the second rail 230 may be provided in a “C” shape disposed to sandwich the movement path 210 therebetween. In addition, the moving roller 120 may be supported on the inner support surfaces of the first rail 220 and the second rail 230 , and a first magnet ( 310) may be installed.

부상 유닛(300)은 캐리어(100)를 이동 궤도(200) 상에서 자기 부상시킬 수 있다. 이를 위해, 부상 유닛(300)은 이동 궤도(200)에 구비되는 제1 마그넷(310)과, 캐리어(100)에 설치되어 제1 마그넷(310) 간 인력이 작용하도록 자기력을 형성하는 제2 마그넷(320)을 포함할 수 있다. The levitation unit 300 may magnetically levitate the carrier 100 on the moving orbit 200 . To this end, the levitation unit 300 is a first magnet 310 provided on the moving track 200, and a second magnet installed on the carrier 100 to form a magnetic force so that the attractive force between the first magnet 310 acts. 320 may be included.

이들 제1 마그넷(310) 및 제2 마그넷(320)은 이동 궤도(200)의 높이방향으로 서로 대향되게 배치될 수 있다. 이때, 제1 마그넷(310)은 바디(110)의 롤러 지지부(112)를 사이에 두고 제1 레일(220) 및 제2 레일(230)에 이격되게 배치되는 한 쌍으로 구성될 수 있다. 제2 마그넷(320)은 롤러 지지부(112)를 사이에 두고 마그넷 지지부(113)에 이격 배치되는 한 쌍으로 구성될 수 있다. The first magnet 310 and the second magnet 320 may be disposed to face each other in the height direction of the movement track 200 . In this case, the first magnet 310 may be configured as a pair disposed to be spaced apart from the first rail 220 and the second rail 230 with the roller support 112 of the body 110 interposed therebetween. The second magnet 320 may be configured as a pair spaced apart from the magnet support 113 with the roller support 112 interposed therebetween.

이와 같이, 제1 마그넷(310) 및 제2 마그넷(320)은 롤러 지지부(112)를 사이에 두고 동일 간격으로 이격 배치됨으로써, 제1 마그넷(310) 및 제2 마그넷(320) 간 인력 작용시, 캐리어(100)의 중심부는 이동 궤도(200)의 센터 라인에 위치될 수 있다.In this way, the first magnet 310 and the second magnet 320 are spaced apart at the same interval with the roller support 112 interposed therebetween. , the center of the carrier 100 may be located on the center line of the movement orbit (200).

그리고 제1 마그넷(310) 및 제2 마그넷(320)은 서로 다른 극성을 갖는 자석일 수 있다. 일 예로, 제1 마그넷(310)은 S극성을 갖는 자석일 수 있고, 제2 마그넷(320)은 N극성을 갖는 자석일 수 있다. 이들 제1 마그넷(310) 및 제2 마그넷(320) 사이에는, 인력이 작용될 수 있다. 제1 마그넷(310) 및 제2 마그넷(320) 간 인력의 작용에 의해, 이동 궤도(200) 상에서 캐리어(100)의 이탈 및 진동이 방지될 수 있고, 캐리어(100)의 이송시 발생되는 마찰력이 최소화될 수 있다.In addition, the first magnet 310 and the second magnet 320 may be magnets having different polarities. For example, the first magnet 310 may be a magnet having an S polarity, and the second magnet 320 may be a magnet having an N polarity. An attractive force may be applied between the first magnet 310 and the second magnet 320 . By the action of the attractive force between the first magnet 310 and the second magnet 320 , separation and vibration of the carrier 100 on the moving track 200 may be prevented, and frictional force generated during transport of the carrier 100 . This can be minimized.

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치를 나타낸 정면도이고, 도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치를 나타낸 측면도이다.Figure 3 is a front view showing a magnetic levitation transfer apparatus according to a second embodiment of the present invention, Figure 4 is a side view showing a magnetic levitation transfer apparatus according to a second embodiment of the present invention.

도 3 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따르면, 캐리어(100)는 캐리어(100)는 바디(110), 무빙 롤러(120) 및 가이드 롤러(130)를 포함할 수 있다. 여기서, 가이드 롤러(130)를 제외한 나머지 구성은, 상술한 제1 실시예에서 설명한 구성과 동일하므로, 이하에서는 차이점을 위주로 설명하며, 동일한 설명 및 도면부호는 원용한다. 3 to 4 , according to the second embodiment of the present invention, the carrier 100 may include a body 110 , a moving roller 120 , and a guide roller 130 . . Here, since the rest of the configuration except for the guide roller 130 is the same as the configuration described in the above-described first embodiment, the differences will be mainly described below, and the same description and reference numerals are used.

가이드 롤러(130)는 이동 궤도(200)의 하부를 지지하도록 바디(110)의 상부에 장착될 수 있다. 가이드 롤러(130)는 바디(110)의 롤러 지지부(112)에 롤러축을 매개로 회전 가능하게 장착될 수 있다. 이때, 가이드 롤러(130)는 복수 개의 무빙 롤러(120) 사이에 배치될 수 있다.The guide roller 130 may be mounted on the upper portion of the body 110 to support the lower portion of the moving track 200 . The guide roller 130 may be rotatably mounted to the roller support 112 of the body 110 via a roller shaft. In this case, the guide roller 130 may be disposed between the plurality of moving rollers 120 .

가이드 롤러(130)는 캐리어(100)가 이동 궤도(200)를 이동할 때, 이동 궤도(200)의 하부를 지지함으로써, 캐리어(100)의 상하 요동을 방지할 수 있고, 결국, 캐리어(100)의 안정적인 이동이 이동 궤도(200) 상에서 구현될 수 있다.The guide roller 130 can prevent the vertical movement of the carrier 100 by supporting the lower portion of the moving track 200 when the carrier 100 moves the moving track 200 , and eventually, the carrier 100 . Stable movement of may be implemented on the movement trajectory 200 .

도 5는 본 발명의 제3 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치를 나타낸 정면도이고, 도 6은 도 5의 "A-A"선부를 절개하여 도시한 단면도이다. Figure 5 is a front view showing a magnetic levitation transport apparatus according to a third embodiment of the present invention, Figure 6 is a cross-sectional view showing the cut "A-A" line of Figure 5.

도 5 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 제3 실시예에 따르면, 부상 유닛(300)은 제1 마그넷(310), 제2 마그넷(320), 제3 마그넷(330) 및 제4 마그넷(340)을 포함할 수 있다.5 to 6, according to the third embodiment of the present invention, the floating unit 300 is a first magnet 310, a second magnet 320, a third magnet 330 and a fourth magnet ( 340) may be included.

본 발명의 제3 실시예를 설명함에 있어서, 상술한 제2 실시예와 비교하였을 때, 캐리어(100)가 이동 궤도(200)의 내측 코너부에서 코너링되는 경우, 제3 마그넷(330) 및 제4 마그넷(340) 간에 인력이 작용되므로, 캐리어(100)의 안정적인 이동이 구현될 수 있다는 점에 차이가 있으므로, 이하에서는 차이점을 위주로 설명하며, 동일한 설명 및 도면부호는 원용한다. In describing the third embodiment of the present invention, when compared with the above-described second embodiment, when the carrier 100 is cornered at the inner corner of the moving track 200, the third magnet 330 and the third Since there is a difference in that the attractive force is applied between the 4 magnets 340, the stable movement of the carrier 100 can be implemented. Hereinafter, the differences will be mainly described, and the same description and reference numerals are used.

제3 마그넷(330)은 캐리어(100)가 코너링되는 이동 궤도(200), 보다 자세하게, 제1 레일(220)의 내측 코너부에 구비될 수 있다. 제3 마그넷(330)은 제1 레일(220)의 내측 코너부를 따라 굴곡지게 형성되는 띠 형태의 마그넷일 수 있다. 본 실시예에서, 제3 마그넷(330)은 제1 레일(220)의 내측 코너부에 구비되지만, 이에 한정되지는 아니하며, 제3 마그넷(330)은 내측 코너부 이외에, 제1 레일(220)에 전체적으로 설치될 수 있음은 물론이다.The third magnet 330 may be provided at the inner corner of the moving track 200 on which the carrier 100 is cornered, more specifically, the first rail 220 . The third magnet 330 may be a band-shaped magnet bent along the inner corner of the first rail 220 . In this embodiment, the third magnet 330 is provided at the inner corner of the first rail 220, but is not limited thereto, and the third magnet 330 is provided at the inner corner of the first rail 220 in addition to the inner corner. Of course, it can be installed as a whole in the

제4 마그넷(340)은 제3 마그넷(330)에 대향되는 캐리어(100)의 롤러 지지부(112)에 설치될 수 있다. 캐리어(100)가 제1 레일(220)의 내측 코너부에 위치될 때, 제4 마그넷(340)은 제3 마그넷(330) 간 인력이 작용하도록 자기력을 형성할 수 있다.The fourth magnet 340 may be installed on the roller support 112 of the carrier 100 opposite to the third magnet 330 . When the carrier 100 is positioned at the inner corner of the first rail 220 , the fourth magnet 340 may form a magnetic force such that the attractive force between the third magnets 330 acts.

이들 제3 마그넷(330) 및 제4 마그넷(340)은 서로 다른 극성을 갖는 자석일 수 있다. 일 예로, 제3 마그넷(330)은 S극성을 갖는 자석일 수 있고, 제4 마그넷(340)은 N극성을 갖는 자석일 수 있다. 이들 제3 마그넷(330) 및 제4 마그넷(340) 사이에는, 인력이 작용될 수 있다.The third magnet 330 and the fourth magnet 340 may be magnets having different polarities. For example, the third magnet 330 may be a magnet having an S polarity, and the fourth magnet 340 may be a magnet having an N polarity. An attractive force may be applied between the third magnet 330 and the fourth magnet 340 .

캐리어(100)가 제1 레일(220)의 내측 코너부를 통과할 때, 캐리어(100)는 이동 궤도(200)의 코너부에서 원심력에 의해, 코너부의 외측으로 이동하려는 관성력이 작용하게 되는데, 이때, 제3 마그넷(330) 및 제4 마그넷(340) 간 인력이 작용되므로, 캐리어(100)는 원심력에 무관하게 이동 궤도(200)의 코너부에서 안정적으로 이동될 수 있다.When the carrier 100 passes through the inner corner of the first rail 220 , the carrier 100 is subjected to an inertial force to move to the outside of the corner by centrifugal force at the corner of the moving track 200 , at this time , since the attractive force between the third magnet 330 and the fourth magnet 340 acts, the carrier 100 can be stably moved at the corner of the movement track 200 irrespective of the centrifugal force.

도 7은 본 발명의 제4 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치를 나타낸 정면도이고, 도 8은 도 7의 "B-B"선부를 절개하여 도시한 단면도이다. Figure 7 is a front view showing a magnetic levitation transfer apparatus according to a fourth embodiment of the present invention, Figure 8 is a cross-sectional view showing the cut "B-B" line of FIG.

도 7 내지 도 8을 참조하면, 본 발명의 제4 실시예에 따르면, 부상 유닛(300)은 제1 마그넷(310), 제2 마그넷(320), 제5 마그넷(350) 및 제6 마그넷(360)을 포함할 수 있다.7 to 8, according to the fourth embodiment of the present invention, the floating unit 300 is a first magnet 310, a second magnet 320, a fifth magnet 350 and a sixth magnet ( 360) may be included.

본 발명의 제4 실시예를 설명함에 있어서, 상술한 제2 실시예와 비교하였을 때, 캐리어(100)가 이동 궤도(200)의 외측 코너부에서 코너링되는 경우, 제5 마그넷(350) 및 제6 마그넷(360) 간에 척력이 작용되므로, 캐리어(100)의 안정적인 이동이 구현될 수 있다는 점에 차이가 있으므로, 이하에서는 차이점을 위주로 설명하며, 동일한 설명 및 도면부호는 원용한다. In describing the fourth embodiment of the present invention, compared with the above-described second embodiment, when the carrier 100 is cornered at the outer corner of the moving track 200, the fifth magnet 350 and the second Since the repulsive force is applied between the six magnets 360, there is a difference in that stable movement of the carrier 100 can be implemented.

제5 마그넷(350)은 캐리어(100)가 코너링되는 이동 궤도(200), 보다 자세하게, 제2 레일(230)의 외측 코너부에 구비될 수 있다. 제5 마그넷(350)은 제2 레일(230)의 외측 코너부를 따라 굴곡지게 형성되는 띠 형태의 마그넷일 수 있다. 본 실시예에서, 제5 마그넷(350)은 제2 레일(230)의 외측 코너부에 구비되지만, 이에 한정되지는 아니하며, 제5 마그넷(350)은 내측 코너부 이외에, 제2 레일(230)에 전체적으로 설치될 수 있음은 물론이다.The fifth magnet 350 may be provided at the outer corner of the moving track 200 on which the carrier 100 is cornered, more specifically, the second rail 230 . The fifth magnet 350 may be a magnet in the form of a band bent along the outer corner of the second rail 230 . In this embodiment, the fifth magnet 350 is provided at the outer corner of the second rail 230, but is not limited thereto, and the fifth magnet 350 includes the second rail 230 in addition to the inner corner. Of course, it can be installed as a whole in the

제6 마그넷(360)은 제5 마그넷(350)에 대향되는 캐리어(100)의 롤러 지지부(112)에 설치될 수 있다. 캐리어(100)가 제2 레일(230)의 외측 코너부에 위치될 때, 제6 마그넷(360)은 제5 마그넷(350) 간 척력이 작용하도록 자기력을 형성할 수 있다.The sixth magnet 360 may be installed on the roller support 112 of the carrier 100 opposite to the fifth magnet 350 . When the carrier 100 is positioned at the outer corner of the second rail 230 , the sixth magnet 360 may form a magnetic force such that a repulsive force between the fifth magnets 350 acts.

이들 제5 마그넷(350) 및 제6 마그넷(360)은 서로 같은 극성을 갖는 자석일 수 있다. 일 예로, 제5 마그넷(350)은 N극성을 갖는 자석일 수 있고, 제6 마그넷(360)도 N극성을 갖는 자석일 수 있다. 이들 제5 마그넷(350) 및 제6 마그넷(360) 사이에는, 척력이 작용될 수 있다.The fifth magnet 350 and the sixth magnet 360 may be magnets having the same polarity. For example, the fifth magnet 350 may be a magnet having an N polarity, and the sixth magnet 360 may also be a magnet having an N polarity. A repulsive force may be applied between the fifth magnet 350 and the sixth magnet 360 .

캐리어(100)가 제2 레일(230)의 외측 코너부를 통과할 때, 캐리어(100)는 이동 궤도(200)의 코너부에서 원심력에 의해, 코너부의 외측으로 이동하려는 관성력이 작용하게 되는데, 이때, 제5 마그넷(350) 및 제6 마그넷(360) 간 척력이 작용되면, 캐리어(100)는 원심력에 영향을 받지 아니한 상태에서, 이동 궤도(200)의 코너부에서 안정적으로 이동될 수 있다.When the carrier 100 passes through the outer corner of the second rail 230 , the carrier 100 is subjected to an inertial force to move to the outside of the corner by centrifugal force at the corner of the moving track 200 , at this time , when a repulsive force is applied between the fifth magnet 350 and the sixth magnet 360 , the carrier 100 may be stably moved at the corner of the movement track 200 without being affected by the centrifugal force.

도 9는 본 발명의 제5 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치를 나타낸 정면도이고, 도 10은 도 9의 "C-C"선부를 절개하여 도시한 단면도이다. Figure 9 is a front view showing a magnetic levitation transport apparatus according to a fifth embodiment of the present invention, Figure 10 is a cross-sectional view showing the cut "C-C" line of Figure 9.

도 9 내지 도 10을 참조하면, 본 발명의 제5 실시예에 따르면, 부상 유닛(300)은 제1 마그넷(310), 제2 마그넷(320), 제3 마그넷(330), 제4 마그넷(340), 제5 마그넷(350) 및 제6 마그넷(360)을 포함할 수 있다.9 to 10, according to the fifth embodiment of the present invention, the floating unit 300 is a first magnet 310, a second magnet 320, a third magnet 330, a fourth magnet ( 340 ), a fifth magnet 350 , and a sixth magnet 360 may be included.

본 발명의 제5 실시예를 설명함에 있어서, 상술한 제2 실시예와 비교하였을 때, 캐리어(100)가 이동 궤도(200)의 코너부에서 코너링되는 경우, 제3 마그넷(330) 및 제4 마그넷(340) 간에 인력이 작용되고, 제5 마그넷(350) 및 제6 마그넷(360) 간에 척력이 작용되므로, 캐리어(100)의 안정적인 이동이 구현될 수 있다는 점에 차이가 있으므로, 이하에서는 차이점을 위주로 설명하며, 동일한 설명 및 도면부호는 원용한다In describing the fifth embodiment of the present invention, when compared with the above-described second embodiment, when the carrier 100 is cornered at the corner of the movement track 200 , the third magnet 330 and the fourth Since the attractive force is applied between the magnets 340 and the repulsive force is applied between the fifth magnet 350 and the sixth magnet 360, there is a difference in that stable movement of the carrier 100 can be implemented. will be mainly described, and the same description and reference numerals will be used.

제3 마그넷(330)은 캐리어(100)가 코너링되는 이동 궤도(200), 보다 자세하게, 제1 레일(220)의 내측 코너부에 구비될 수 있다. 제3 마그넷(330)은 제1 레일(220)의 내측 코너부를 따라 굴곡지게 형성되는 띠 형태의 마그넷일 수 있다. The third magnet 330 may be provided at the inner corner of the moving track 200 on which the carrier 100 is cornered, more specifically, the first rail 220 . The third magnet 330 may be a band-shaped magnet bent along the inner corner of the first rail 220 .

제4 마그넷(340)은 제3 마그넷(330)에 대향되는 캐리어(100)의 롤러 지지부(112)에 설치될 수 있다. 이에 따라, 캐리어(100)가 제1 레일(220)의 코너부를 이동할 때, 제3 마그넷(330) 및 제4 마그넷(340) 사이에 자기력에 의한 인력이 작용될 수 있다.The fourth magnet 340 may be installed on the roller support 112 of the carrier 100 opposite to the third magnet 330 . Accordingly, when the carrier 100 moves the corner of the first rail 220 , an attractive force may be applied between the third magnet 330 and the fourth magnet 340 .

제5 마그넷(350)은 캐리어(100)가 코너링되는 이동 궤도(200), 보다 자세하게, 제2 레일(230)의 외측 코너부에 구비될 수 있다. 제5 마그넷(350)은 제2 레일(230)의 외측 코너부를 따라 굴곡지게 형성되는 띠 형태의 마그넷일 수 있다.The fifth magnet 350 may be provided at the outer corner of the moving track 200 on which the carrier 100 is cornered, more specifically, the second rail 230 . The fifth magnet 350 may be a magnet in the form of a band bent along the outer corner of the second rail 230 .

제6 마그넷(360)은 제5 마그넷(350)에 대향되는 캐리어(100)의 롤러 지지부(112)에 설치될 수 있다. 이에 따라, 캐리어(100)가 제2 레일(230)의 코너부를 이동할 때, 제5 마그넷(350) 및 제6 마그넷(360) 사이에 자기력에 의한 척력이 작용될 수 있다.The sixth magnet 360 may be installed on the roller support 112 of the carrier 100 opposite to the fifth magnet 350 . Accordingly, when the carrier 100 moves the corner of the second rail 230 , a repulsive force may be applied between the fifth magnet 350 and the sixth magnet 360 .

이와 같이, 캐리어(100)가 제2 레일(230)의 코너부를 이동할 때, 캐리어(100)와 이동 궤도(200) 간에는, 제3 마그넷(330) 및 제4 마그넷(340) 간 자기력에 의한 인력과 함께, 제5 마그넷(350) 및 제6 마그넷(360) 간 자기력에 의한 척력이 작용되므로, 캐리어(100)는 이동 궤도(200)의 코너부를 이동할 때에도, 캐리어(100)는 이동 궤도(200)의 코너부에서 안정적으로 이동될 수 있다.As such, when the carrier 100 moves the corner of the second rail 230 , between the carrier 100 and the moving track 200 , the third magnet 330 and the fourth magnet 340 are attractive by magnetic force. In addition, since the repulsive force by the magnetic force between the fifth magnet 350 and the sixth magnet 360 acts, even when the carrier 100 moves the corner of the moving orbit 200 , the carrier 100 moves the moving orbit 200 ) can be moved stably at the corner.

도 11은 본 발명의 제6 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치를 나타낸 정면도이고, 도 12는 본 발명의 제6 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치를 나타낸 측면도이다.11 is a front view showing a magnetic levitation transfer apparatus according to a sixth embodiment of the present invention, Figure 12 is a side view showing a magnetic levitation transfer apparatus according to a sixth embodiment of the present invention.

도 11 내지 도 12를 참조하면, 본 발명의 제6 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치(10)는, 캐리어(100)와, 캐리어(100)의 이동을 안내하는 이동 궤도(200)와, 척력에 의해 캐리어(100)를 이동 궤도(200) 상에서 자기 부상시키는 부상 유닛(300)을 포함할 수 있다.11 to 12 , the magnetic levitation transport apparatus 10 according to the sixth embodiment of the present invention includes a carrier 100 and a movement trajectory 200 for guiding the movement of the carrier 100, and a repulsive force. It may include a levitation unit 300 for magnetically levitating the carrier 100 on the moving trajectory 200 by the.

구체적으로, 캐리어(100)는 바디(110)를 포함할 수 있다. 바디(110)에는 이동 궤도(200)의 제8 마그넷(380)이 장착될 수 있다. Specifically, the carrier 100 may include a body 110 . The body 110 may be equipped with an eighth magnet 380 of the movement track 200 .

바디(110)는 적재부(111)와, 적재부(111)의 상측 중심부에서 돌출 형성되는 마그넷 지지부(113)를 포함할 수 있다. 여기서, 적재부(111)는 물류를 로딩 또는 언로딩하기 위한 클램핑 기능을 제공할 수 있고, 물류의 수용이 가능한 적재 공간을 제공할 수 있다. The body 110 may include a loading part 111 and a magnet support part 113 protruding from the upper center of the loading part 111 . Here, the loading unit 111 may provide a clamping function for loading or unloading the logistics, and may provide a loading space capable of accommodating the logistics.

마그넷 지지부(113)는 적재부(111)의 상부에서 돌출 형성될 수 있다. 마그넷 지지부(113)의 상단부는 이동 궤도(200)의 내측 공간에 위치될 수 있다. 이동 궤도(200)의 내측 공간 내 위치한 마그넷 지지부(113)의 상단부에는 제7 마그넷(370)에 대응되도록 제8 마그넷(380)이 구비될 수 있다. The magnet support part 113 may be formed to protrude from the upper part of the loading part 111 . The upper end of the magnet support 113 may be located in the inner space of the movement track 200 . An eighth magnet 380 may be provided at an upper end of the magnet support 113 located in the inner space of the moving track 200 to correspond to the seventh magnet 370 .

부상 유닛(300)은 척력에 의해 캐리어(100)를 이동 궤도(200) 상에서 자기 부상시킬 수 있다. 이를 위해, 부상 유닛(300)은 이동 궤도(200)에 구비되는 제7 마그넷(370)과, 캐리어(100)에 설치되어 제7 마그넷(370) 간 척력이 작용하도록 자기력을 형성하는 제8 마그넷(380)을 포함할 수 있다. The levitation unit 300 may magnetically levitate the carrier 100 on the movement trajectory 200 by repulsive force. To this end, the levitation unit 300 is a seventh magnet 370 provided on the moving track 200 and an eighth magnet installed on the carrier 100 to form a magnetic force so that a repulsive force between the seventh magnet 370 acts. (380).

이들 제7 마그넷(370) 및 제8 마그넷(380)은 이동 궤도(200)의 높이방향으로 서로 대향되게 배치될 수 있다. 이때, 제8 마그넷(380)은 제7 마그넷(370)의 상부에 위치될 수 있다. 그리고 제7 마그넷(370)은 바디(110)의 마그넷 지지부(113)를 사이에 두고 제1 레일(220) 및 제2 레일(230)에 이격되게 배치되는 한 쌍으로 구성될 수 있다. 제8 마그넷(380)은 제7 마그넷(370)에 대향되도록 마그넷 지지부(113)에 이격 배치되는 한 쌍으로 구성될 수 있다. The seventh magnet 370 and the eighth magnet 380 may be disposed to face each other in the height direction of the movement track 200 . In this case, the eighth magnet 380 may be positioned above the seventh magnet 370 . In addition, the seventh magnet 370 may be configured as a pair disposed to be spaced apart from the first rail 220 and the second rail 230 with the magnet support 113 of the body 110 interposed therebetween. The eighth magnet 380 may be configured as a pair spaced apart from the magnet support 113 to face the seventh magnet 370 .

제7 마그넷(370) 및 제8 마그넷(380)은 서로 같은 극성을 갖는 자석일 수 있다. 일 예로, 제7 마그넷(370) 및 제8 마그넷(380)은 N극성을 갖는 자석일 수 있다. 이때, 이들 제7 마그넷(370) 및 제8 마그넷(380) 사이에는, 척력이 작용될 수 있다. 캐리어(100)가 이동 궤도(200)를 이동할 때, 제7 마그넷(370) 및 제8 마그넷(380) 간에 척력이 작용하므로, 캐리어(100)의 이동시 발생되는 마찰력이 최소화될 수 있다.The seventh magnet 370 and the eighth magnet 380 may be magnets having the same polarity. For example, the seventh magnet 370 and the eighth magnet 380 may be magnets having an N polarity. At this time, a repulsive force may be applied between the seventh magnet 370 and the eighth magnet 380 . When the carrier 100 moves on the movement trajectory 200 , a repulsive force acts between the seventh magnet 370 and the eighth magnet 380 , so that frictional force generated when the carrier 100 moves can be minimized.

도 13은 본 발명의 제7 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치를 나타낸 정면도이고, 도 14는 본 발명의 제7 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치를 나타낸 측면도이다.Figure 13 is a front view showing a magnetic levitation transfer apparatus according to a seventh embodiment of the present invention, Figure 14 is a side view showing a magnetic levitation transfer apparatus according to a seventh embodiment of the present invention.

도 13 내지 도 14를 참조하면, 본 발명의 제7 실시예에 따른 자기 부상 이송 장치(10)에서, 캐리어(100)는 바디(110)와 가이드 롤러(150)를 포함할 수 있다.13 to 14 , in the magnetic levitation transport apparatus 10 according to the seventh embodiment of the present invention, the carrier 100 may include a body 110 and a guide roller 150 .

본 발명의 제7 실시예를 설명함에 있어서, 상술한 제6 실시예와 비교하였을 때, 캐리어(100)가 이동 궤도(200)를 이동할 때, 가이드 롤러(150)에 의해 안내될 수 있다는 점에 차이가 있으므로, 이하에서는 차이점을 위주로 설명하며, 동일한 설명 및 도면부호는 원용한다In describing the seventh embodiment of the present invention, compared with the above-described sixth embodiment, when the carrier 100 moves the moving track 200 , it can be guided by the guide roller 150 . Since there is a difference, the following will mainly describe the difference, and the same description and reference numerals are used.

가이드 롤러(150)는 바디(110)의 마그넷 지지부(113) 상부에 설치될 수 있다. 가이드 롤러(150)는 이동 궤도(200)의 제1 레일(220) 및 제2 레일(230)에 각각 지지되는 한 쌍으로 제공될 수 있다.The guide roller 150 may be installed on the magnet support 113 of the body 110 . The guide roller 150 may be provided as a pair supported by the first rail 220 and the second rail 230 of the moving track 200 , respectively.

한 쌍의 가이드 롤러(150)는 캐리어(100)가 이동 궤도(200) 상에서 이동될 때, 제1 레일(220) 및 제2 레일(230)에 각각 지지되므로, 제7 마그넷(370) 및 제8 마그넷(380) 간 척력 작용시, 캐리어(100)의 중심부는 이동 궤도(200)의 센터 라인에 위치될 수 있다.Since the pair of guide rollers 150 are respectively supported on the first rail 220 and the second rail 230 when the carrier 100 is moved on the moving track 200, the seventh magnet 370 and the second When a repulsive force is applied between the 8 magnets 380 , the center of the carrier 100 may be located on the center line of the movement track 200 .

상술한 바와 같이, 본 발명은 캐리어의 상부와 레일 간에 자기력에 의한 인력 또는 척력이 작용되므로, 캐리어의 슬립 현상없이, 캐리어를 고속으로 이동시킬 수 있으며, 물류 및 캐리어의 부하를 상쇄할 수 있다. 아울러, 본 발명은 캐리어의 마그넷과 레일의 마그넷 간 인력 또는 척력이 작용하므로, 캐리어가 이동 궤도를 코너링할 때, 캐리어의 레일 이탈을 방지하고, 레일 상에서 캐리어의 센터링을 유지할 수 있으며, 레일에 대한 캐리어의 마찰을 최소화하여, 마찰력 감소를 통한 파티클의 감소로 클린 룸 라인에 대한 오염을 방지할 수 있고, 캐리어의 안정적인 이송을 구현할 수 있으며, 자기 부상 이송 장치의 반 영구적 사용이 가능하다는 등의 우수한 장점을 갖는다.As described above, in the present invention, since attractive or repulsive force by magnetic force is applied between the upper portion of the carrier and the rail, it is possible to move the carrier at high speed without the slip phenomenon of the carrier, and to offset the load of logistics and the carrier. In addition, in the present invention, since the attractive or repulsive force between the magnet of the carrier and the magnet of the rail acts, when the carrier corners the moving track, it is possible to prevent the carrier from leaving the rail, and to maintain the centering of the carrier on the rail, By minimizing the friction of the carrier, it is possible to prevent contamination of the clean room line by reducing particles through frictional force reduction, to realize stable transport of the carrier, and to use the semi-permanent magnetic levitation transport device. have an advantage

이상 본 발명의 실시예들을 구체적인 실시 형태로서 설명하였으나, 이는 예시에 불과한 것으로서, 본 발명은 이에 한정되지 않는 것이며, 본 명세서에 개시된 기초 사상에 따르는 최광의 범위를 갖는 것으로 해석되어야 한다. 당업자는 개시된 실시형태들을 조합/치환하여 적시되지 않은 형상의 패턴을 실시할 수 있으나, 이 역시 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 것이다. 이외에도 당업자는 본 명세서에 기초하여 개시된 실시형태를 용이하게 변경 또는 변형할 수 있으며, 이러한 변경 또는 변형도 본 발명의 권리범위에 속함은 명백하다.Although the embodiments of the present invention have been described as specific embodiments, these are merely examples, and the present invention is not limited thereto, and should be construed as having the widest scope according to the basic idea disclosed in the present specification. A person skilled in the art may implement a pattern of a shape not specified by combining/substituting the disclosed embodiments, but this also does not depart from the scope of the present invention. In addition, those skilled in the art can easily change or modify the disclosed embodiments based on the present specification, and it is clear that such changes or modifications also fall within the scope of the present invention.

100 :캐리어 110 :바디
111 :적재부 112 :롤러 지지부
113 :마그넷 지지부 120 :무빙 롤러
130 :가이드 롤러 200 :이동 궤도
210 :이동 경로 220 :제1 레일
230 :제2 레일 300: 부상 유닛
310: 제1 마그넷 320: 제2 마그넷
330: 제3 마그넷 340: 제4 마그넷
350: 제5 마그넷 360: 제6 마그넷
370: 제7 마그넷 380: 제8 마그넷
100: carrier 110: body
111: loading part 112: roller support part
113: magnet support 120: moving roller
130: guide roller 200: moving track
210: movement path 220: first rail
230: second rail 300: floating unit
310: first magnet 320: second magnet
330: third magnet 340: fourth magnet
350: fifth magnet 360: sixth magnet
370: seventh magnet 380: eighth magnet

Claims (10)

작업장 내에서 물류를 이송시키기 위해 제공되는 캐리어;
상기 작업장의 천장면에 설치되어, 상기 캐리어의 이동을 안내하는 이동 궤도; 및
상기 캐리어를 상기 이동 궤도 상에서 자기 부상시키는 부상 유닛을 포함하고,
상기 부상 유닛은
상기 이동 궤도에 구비되는 제1 마그넷; 및
상기 제1 마그넷에 상기 이동 궤도의 높이방향으로 대향되도록 상기 캐리어에 설치되고, 상기 제1 마그넷 간 인력이 작용하도록 자기력을 형성하는 제2 마그넷을 포함하고,
상기 캐리어는
상기 제2 마그넷이 장착된 바디; 및
상기 이동 궤도를 따라 이동 가능하도록 상기 바디에 구비되는 무빙 롤러를 포함하는,
자기 부상 이송 장치.
a carrier provided for transporting materials within the workshop;
a movement track installed on the ceiling surface of the workshop to guide the movement of the carrier; and
and a levitation unit for magnetically levitating the carrier on the moving trajectory,
the injured unit
a first magnet provided on the moving track; and
and a second magnet installed on the carrier so as to face the first magnet in the height direction of the movement track, and forming a magnetic force so that an attractive force between the first magnets acts,
the carrier
a body on which the second magnet is mounted; and
Containing a moving roller provided in the body so as to be movable along the movement track,
Magnetic levitation transfer device.
제 1 항에 있어서,
상기 이동 궤도는
상기 캐리어의 이동이 이루어지는 이동 경로; 및
상기 무빙 롤러가 지지되도록 상기 이동 경로를 사이에 두고 대향되게 배치되는 제1 레일 및 제2 레일을 포함하는,
자기 부상 이송 장치.
The method of claim 1,
The moving trajectory is
a movement path through which the carrier moves; and
Comprising a first rail and a second rail disposed to face each other with the moving path therebetween so that the moving roller is supported,
Magnetic levitation transfer device.
제 1 항에 있어서,
상기 캐리어는
상기 이동 궤도의 하부를 지지하도록 상기 바디의 상부에 장착되는 가이드 롤러를 더 포함하는,
자기 부상 이송 장치.
The method of claim 1,
the carrier
Further comprising a guide roller mounted on the upper portion of the body to support the lower portion of the moving track,
Magnetic levitation transfer device.
제 1 항에 있어서,
상기 부상 유닛은
상기 캐리어가 코너링되는 상기 이동 궤도의 내측 코너부에 구비되는 제3 마그넷; 및
상기 제3 마그넷에 상기 이동 궤도의 폭방향으로 대향되도록 상기 캐리어에 설치되고, 상기 제3 마그넷 간 인력이 작용하도록 자기력을 형성하는 제4 마그넷을 포함하는,
자기 부상 이송 장치.
The method of claim 1,
the injured unit
a third magnet provided at an inner corner of the moving track at which the carrier is cornered; and
Comprising a fourth magnet installed on the carrier so as to face the third magnet in the width direction of the movement track, and forming a magnetic force so that the attractive force between the third magnets acts,
Magnetic levitation transfer device.
제 1 항 또는 제 4 항에 있어서,
상기 부상 유닛은
상기 캐리어가 코너링되는 상기 이동 궤도의 외측 코너부에 구비되는 제5 마그넷; 및
상기 제5 마그넷에 상기 이동 궤도의 폭방향으로 대향되도록 상기 캐리어에 설치되고, 상기 제5 마그넷 간 척력이 작용하도록 자기력을 형성하는 제6 마그넷을 포함하는,
자기 부상 이송 장치.
5. The method of claim 1 or 4,
the injured unit
a fifth magnet provided at an outer corner of the moving track at which the carrier is cornered; and
Comprising a sixth magnet installed on the carrier to face the fifth magnet in the width direction of the movement track, and forming a magnetic force such that a repulsive force between the fifth magnets acts,
Magnetic levitation transfer device.
제 3 항에 있어서,
상기 무빙 롤러는
상기 캐리어의 전단부 및 후단부에 마련되고, 상기 캐리어의 전후방향으로 동일 선상에 위치되는 복수 개로 제공되고,
상기 가이드 롤러는
상기 복수 개의 무빙 롤러 사이에 배치되는,
자기 부상 이송 장치.
4. The method of claim 3,
The moving roller is
It is provided at the front end and the rear end of the carrier, and a plurality of pieces are provided on the same line in the front and rear direction of the carrier,
The guide roller is
disposed between the plurality of moving rollers,
Magnetic levitation transfer device.
제 1 항에 있어서,
상기 바디는
상기 물류를 로딩 또는 언로딩하기 위한 적재부;
상기 무빙 롤러가 회전 가능하게 장착되도록 상기 적재부의 상측 중심부에서 돌출 형성되는 롤러 지지부; 및
상기 롤러 지지부를 사이에 두고 상기 적재부의 상부에서 이격 배치되는 한 쌍으로 제공되고, 단부에 상기 제2 마그넷이 장착되는 마그넷 지지부를 포함하는,
자기 부상 이송 장치.
The method of claim 1,
the body is
a loading unit for loading or unloading the logistics;
a roller support protruding from the upper center of the loading unit so that the moving roller is rotatably mounted; and
Provided as a pair spaced apart from the upper portion of the loading portion with the roller support therebetween, and comprising a magnet support portion on which the second magnet is mounted at an end portion,
Magnetic levitation transfer device.
제 7 항에 있어서,
상기 한 쌍의 마그넷 지지부는
상기 캐리어가 상기 이동 궤도에서 이동될 때, 상기 제1 마그넷 및 상기 제2 마그넷 간 인력 작용에 의해 상기 캐리어의 중심부가 상기 이동 궤도의 센터 라인에 위치되도록, 상기 롤러 지지부를 사이에 두고 동일 거리에 이격되어 배치되는,
자기 부상 이송 장치.
8. The method of claim 7,
The pair of magnet support parts
When the carrier is moved on the moving track, the center of the carrier is positioned at the center line of the moving track by the attractive action between the first magnet and the second magnet at the same distance with the roller support interposed therebetween. spaced apart,
Magnetic levitation transfer device.
작업장 내에서 물류를 이송시키기 위해 제공되는 캐리어;
상기 작업장의 천장면에 설치되어, 상기 캐리어의 이동을 안내하는 이동 궤도; 및
상기 캐리어를 상기 이동 궤도 상에서 자기 부상시키는 부상 유닛을 포함하고,
상기 부상 유닛은
상기 이동 궤도에 구비되는 제7 마그넷; 및
상기 제7 마그넷의 상측에 대향되게 위치되도록 상기 캐리어에 설치되고, 상기 제7 마그넷 간 척력이 작용하도록 자기력을 형성하는 제8 마그넷을 포함하는,
자기 부상 이송 장치.
a carrier provided for transporting materials within the workshop;
a movement track installed on the ceiling surface of the workshop to guide the movement of the carrier; and
and a levitation unit for magnetically levitating the carrier on the moving trajectory,
the injured unit
a seventh magnet provided on the moving track; and
It is installed on the carrier so as to be positioned opposite to the upper side of the seventh magnet, comprising an eighth magnet forming a magnetic force so that a repulsive force between the seventh magnets acts,
Magnetic levitation transfer device.
제 9 항에 있어서,
상기 캐리어는
상기 제8 마그넷이 장착된 바디; 및
상기 이동 궤도를 따라 상기 바디를 안내하도록 상기 바디에 구비되는 가이드 롤러를 포함하는,
자기 부상 이송 장치.
10. The method of claim 9,
the carrier
a body on which the eighth magnet is mounted; and
Comprising a guide roller provided on the body to guide the body along the movement trajectory,
Magnetic levitation transfer device.
KR1020200084135A 2020-07-08 2020-07-08 Magnetic levitation transportation apparatus KR102439631B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200084135A KR102439631B1 (en) 2020-07-08 2020-07-08 Magnetic levitation transportation apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200084135A KR102439631B1 (en) 2020-07-08 2020-07-08 Magnetic levitation transportation apparatus

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20220006317A true KR20220006317A (en) 2022-01-17
KR102439631B1 KR102439631B1 (en) 2022-09-05

Family

ID=80051814

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200084135A KR102439631B1 (en) 2020-07-08 2020-07-08 Magnetic levitation transportation apparatus

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102439631B1 (en)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06245328A (en) * 1993-02-18 1994-09-02 Hitachi Kiden Kogyo Ltd Magnetic levitation transfer system employing linear motor
JPH1023612A (en) * 1996-07-02 1998-01-23 Toshiba Mechatronics Kk Magnetically levitating transporting equipment
KR101049222B1 (en) 2009-11-17 2011-07-13 한국기계연구원 Magnetic levitation conveying device using vertical linear motor
KR20120004865A (en) * 2010-07-07 2012-01-13 한국기계연구원 Magnetic levitation conveyance system having spring
KR20180059081A (en) * 2016-11-25 2018-06-04 세메스 주식회사 Magnetic levitation transfer apparatus

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06245328A (en) * 1993-02-18 1994-09-02 Hitachi Kiden Kogyo Ltd Magnetic levitation transfer system employing linear motor
JPH1023612A (en) * 1996-07-02 1998-01-23 Toshiba Mechatronics Kk Magnetically levitating transporting equipment
KR101049222B1 (en) 2009-11-17 2011-07-13 한국기계연구원 Magnetic levitation conveying device using vertical linear motor
KR20120004865A (en) * 2010-07-07 2012-01-13 한국기계연구원 Magnetic levitation conveyance system having spring
KR20180059081A (en) * 2016-11-25 2018-06-04 세메스 주식회사 Magnetic levitation transfer apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
KR102439631B1 (en) 2022-09-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101854034B1 (en) Contactless driving module and transfer apparatus having the same
KR101288599B1 (en) Apparatus for transferring substrates
KR101049222B1 (en) Magnetic levitation conveying device using vertical linear motor
KR101957960B1 (en) Magnetic levitation transfer apparatus
KR20110049936A (en) Magnetically levitated transportation system
KR20120059933A (en) Magnetic levitation conveyance system having enhanced stop performance
KR102439631B1 (en) Magnetic levitation transportation apparatus
KR20200136323A (en) Article transport body
JP2018197163A5 (en)
KR101753216B1 (en) Magnetic force adjusting device
KR102232179B1 (en) Magnetic levitation transportation apparatus
KR101883950B1 (en) Magnetic levitation transfer system
JPS60261302A (en) Article conveyor in high vacuum
KR102213655B1 (en) Magnetic levitation transportation apparatus
JP2003087909A (en) Magnetic levitation transport device and its control method
JP2008266010A (en) Air-floating carrying device using travel passage with guide groove
JPS6392205A (en) Carrier equipment for magnetic levitation for vacuum apparatus
WO2023218757A1 (en) Overhead conveying vehicle
JPS6146756A (en) Conveyor
JP2765595B2 (en) Transfer device
JPS6293120A (en) Load transport device using linear motor
Puci Magnetically levitated and guided systems
JP2003087910A (en) Magnetic levitation transport device and its controlling method
KR20230035953A (en) Overhead Hoist transport device
JPH04222402A (en) Magnetic levitation carrier and branch mechanism thereof

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
X091 Application refused [patent]
AMND Amendment
X701 Decision to grant (after re-examination)
GRNT Written decision to grant