KR20150054536A - 패널 반전 장치, 및 이를 이용한 패널 반전 방법 - Google Patents

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Abstract

패널의 일 측면을 표면 처리한 후 반대 측면을 표면 처리하기 앞서서 패널의 상하 측면을 뒤집는 패널 반전 장치, 및 이를 이용한 패널 반전 방법이 개시된다. 개시된 패널 반전 장치는, 편평한 패널(panel)을 픽업(pick-up)하여 패널의 상측면과 하측면이 뒤집어지도록 수평한 회전 축선에 대해 180° 회전시키는 반전기, 및 패널을 반전기에 의해 픽업되는 위치까지 이송하고, 반전기에 의해 뒤집어진 패널을 외부로 이송하는 패널 이송기를 구비하고, 패널 이송기는 상기 패널이 픽업되는 위치에서 패널을 함께 지지하는 한 쌍의 브릿지(bridge)를 구비하고, 한 쌍의 브릿지는, 패널을 수평 지지하도록 서로 이어진 제1 자세와, 패널이 반전기에 의해 픽업되어 회전할 때 패널과 충돌하지 않도록 기울어진 제2 자세로 전환 가능하게 구성된다.

Description

패널 반전 장치, 및 이를 이용한 패널 반전 방법{Apparatus for turning panel upside down and method for turning panel upside down using the same}
본 발명은 패널 반전 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 패널(panel)의 일 측면에 작업을 수행한 후, 타 측면에 작업을 수행하기 위하여 패널을 위아래가 바뀌도록 뒤집는 패널 반전 장치, 및 이를 이용한 패널 반전 방법에 관한 것이다.
예컨대, 디스플레이 장치, 스마트폰 등과 같은 전자기기 관련 산업에서, 유리판과 같은 패널(panel)의 양 측면에 코팅(coating), 에칭(etching), 필름(film) 부착 등과 같은 표면 처리를 수행할 경우가 발생한다. 종래에는 패널 양 측면을 코팅(coating)하기 위해서는 패널을 코팅액이 담긴 욕조에 담그는 방법이 사용되었다. 그 외의 에칭, 필름 부착 등의 표면 처리는 특정한 표면 처리 장치에 패널을 탑재하여 일 측면을 표면 처리하고, 배출된 패널을 작업자가 뒤집어서 다시 표면 처리 장치에 탑재하여 반대 측면을 표면 처리하는 방법이 사용되었다. 따라서, 패널의 양 측면을 표면 처리하는 작업을 완전 자동화할 수 없어 작업 속도가 느려지고, 생산성이 저하된다.
대한민국 등록특허공보 제10-1204575호
본 발명은, 패널의 일 측면을 표면 처리한 후 반대 측면을 표면 처리하기 앞서서 패널의 상하 측면을 뒤집는 패널 반전 장치, 및 이를 이용한 패널 반전 방법을 제공한다.
또한 본 발명은, 이동을 멈춘 채 제자리에서 패널의 상하 측면을 뒤집는 패널 반전 장치, 및 이를 이용한 패널 반전 방법을 제공한다.
본 발명은, 편평한 패널(panel)을 픽업(pick-up)하여 상기 패널의 상측면과 하측면이 뒤집어지도록 수평한 회전 축선에 대해 180° 회전시키는 반전기, 및 상기 패널을 상기 반전기에 의해 픽업되는 위치까지 이송하고, 상기 반전기에 의해 뒤집어진 패널을 외부로 이송하는 패널 이송기를 구비하고, 상기 패널 이송기는 상기 패널이 픽업되는 위치에서 상기 패널을 함께 지지하는 한 쌍의 브릿지(bridge)를 구비하고, 상기 한 쌍의 브릿지는, 상기 패널을 수평 지지하도록 서로 이어진 제1 자세와, 상기 패널이 상기 반전기에 의해 픽업되어 회전할 때 상기 패널과 충돌하지 않도록 기울어진 제2 자세로 전환 가능하게 구성된 패널 반전 장치를 제공한다.
상기 반전기는 상기 패널의 표면에 접촉하여 흡착(吸着)하는 복수의 흡착 노즐(suction nozzle)을 구비할 수 있다.
상기 반전기는, 상기 회전 축선을 따라 연장되고, 회전 및 승강 가능한 반전기 샤프트(shaft), 및 상기 반전기 샤프트와 교차하도록 연장되고, 서로 이격되어 배치되며, 상기 복수의 흡착 노즐이 장착된, 복수의 반전기 빔(beam)을 구비하고, 상기 한 쌍의 브릿지는 각각, 상기 반전기가 승강할 때 상기 복수의 반전기 빔과 충돌하지 않도록 서로 평행하게 이격되어 배치된 복수의 브릿지 빔(bridge beam), 및 상기 복수의 브릿지 빔에 장착된, 상기 패널을 지지하며 회전하여 상기 패널을 이송하는 복수의 패널 이송 롤러(roller)를 구비하고, 상기 한 쌍의 브릿지가 제2 자세인 때, 상기 복수의 브릿지 빔은 상기 반전기 샤프트에 가까운 일 측 단부가 타 측 단부보다 하강하는 자세로 기울어지게 구성될 수 있다.
상기 한 쌍의 브릿지가 제1 자세인 때 상기 반전기가 승강하며 상기 복수의 브릿지 빔과 충돌하지 않도록, 상기 반전기 샤프트는 상기 한 쌍의 브릿지 빔의 일 측 단부 사이의 틈으로 승강하도록 구성될 수 있다.
상기 반전기는, 상기 복수의 흡착 노즐이 상기 패널의 상측면과 접촉하여 상기 패널을 픽업하고 180° 회전하며, 상기 패널의 상측면과 하측면이 뒤집어진 채 제1 자세의 상기 한 쌍의 브릿지의 복수의 브릿지 빔 아래로 하강하여 상기 복수의 브릿지 빔에 상기 패널이 지지되고 상기 복수의 흡착 노즐은 상기 패널과 이격되도록 구성될 수 있다.
또한 본 발명은, 본 발명의 패널 반전 장치를 이용하여 패널을 반전(反轉)시키는 방법으로서, 상기 한 쌍의 브릿지를 제1 자세로 전환하고, 상기 반전기를 상기 복수의 브릿지 빔보다 높게 상승시키며, 상기 복수의 흡착 노즐을 아래로 향하도록 하는 준비 단계, 상기 패널을 상기 반전기의 아래까지 이송하는 패널 투입 단계, 상기 복수의 흡착 노즐이 상기 패널의 상측면에 접촉하도록 상기 반전기를 하강시켜 상기 패널을 픽업(pick-up)하는 패널 픽업 단계, 상기 한 쌍의 브릿지를 제2 자세로 전환하고, 상기 반전기를 180°회전시키는 패널 반전 단계, 상기 한 쌍의 브릿지를 제1 자세로 전환하고, 상기 복수의 브릿지 빔에 상기 패널이 지지되고 상기 복수의 흡착 노즐이 상기 패널과 이격되도록 상기 반전기를 상기 복수의 브릿지 빔보다 낮게 하강시키는 패널 분리 단계, 및 상기 반전기와 분리된 패널을 외부로 이송하는 패널 배출 단계를 구비하는 패널 반전 방법을 제공한다.
본 발명의 패널 반전 방법은, 상기 패널 반전 단계와 상기 패널 분리 단계 사이에 상기 복수의 흡착 노즐이 상기 패널을 흡착하지 않도록 작동을 중지시키는 흡착 중지 단계를 더 구비할 수 있다.
본 발명에 의하면, 면적이 넓고 무거운 유리판과 같은 패널을 자동으로 뒤집을 수 있다. 따라서, 패널의 양 측면을 표면 처리하는 작업을 완전 자동화할 수 있어 작업 속도가 빨라지고, 생산성이 향상된다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 패널 반전 장치의 평면도 및 정면도이다.
도 3은 도 1의 패널 이송 롤러를 확대 도시한 평면도이다.
도 4 내지 도 7은 도 1 및 도 2의 패널 반전 장치를 이용한 패널 반전 방법을 순차적으로 도시한 개략 정면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 패널 반전 장치 및 이를 이용한 패널 반전 방법을 상세하게 설명한다. 본 명세서에서 사용되는 용어(terminology)들은 본 발명의 바람직한 실시예를 적절히 표현하기 위해 사용된 용어들로서, 이는 사용자 또는 운용자의 의도 또는 본 발명이 속하는 분야의 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 따라서, 본 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 패널 반전 장치의 평면도 및 정면도이고, 도 3은 도 1의 패널 이송 롤러를 확대 도시한 평면도이다. 도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 패널 반전 장치(100)는 예컨대, 유리판과 같은 편평한 패널(1)(도 5 참조)의 일 측면(2)(도 5 참조)을 표면 처리한 후 반대 측면(3)(도 5 참조)을 표면 처리하기 앞서서 패널(1)의 상하 측면을 뒤집는 장치로서, 반전기(140)와 패널 이송기(102)를 구비한다. 반전기(140)는 패널(10)을 픽업(pick-up)하여 패널(1)의 상측면(2)과 하측면(3)이 뒤집어지도록 수평한 회전 축선(C1)에 대해 180° 회전시킨다. 상기 회전 축선(C1)은 Y축과 평행할 수 있다. 패널 이송기(102)는 패널(1)을 반전기(140)에 의해 픽업(pick-up)되는 위치까지 이송하고, 반전기(140)에 의해 뒤집어진 패널(1)을 패널 반전 장치(100)의 외부로 이송한다. 패널 이송기(102)는 패널(1)을 X축과 평행한 방향으로 이송할 수 있다.
반전기(140)는 회전 축선(C1)을 따라 연장된 반전기 샤프트(141), 반전기 샤프트(141)의 양 단부를 회전 가능하게 지지하는 샤프트 지지부(143), 및 반전기 샤프트(141)가 회전 축선(C1)에 대해 회전하도록 동력 전달 가능하게 연결된 반전기 회전 모터(151)를 구비한다. 패널 반전 장치(100)는 반전기 샤프트(141)를 승강시키는 반전기 승강 액추에이터(actuator)(155)를 더 구비한다. 반전기 승강 액추에이터(155)는 예컨대, 공압 또는 유압 실린더(cylinder)일 수 있고, 베이스(101)에 고정 지지된다. 구체적으로, 실린더의 보디(body)(156)는 베이스(101)에 고정되고, 실린더의 로드(rod)(157) 상단은 샤프트 지지부(143)에 체결되어, 실린더 로드(157)가 실린더 보디(156)로부터 돌출되어 상승하면 반전기 샤프트(141)를 포함한 반전기(140)가 상승하고, 반대로 실린더 로드(157)가 실린더 보디(156) 안으로 삽입되어 하강하면 반전기 샤프트(141)를 포함한 반전기(140)가 하강한다.
반전기(140)는 복수의 반전기 빔(beam)(146)과 복수의 흡착 노즐(suction nozzle)(148)을 구비한다. 복수의 반전기 빔(146)은 반전기 샤프트(141)에 지지되고 반전기 샤프트(141)와 교차하도록 연장되며, 반전기 샤프트(141)의 길이 방향을 따라 서로 이격되게 배치된다. 반전기(140)가 패널(1)(도 5 참조)을 픽업할 때를 기준으로 상기 복수의 반전기 빔(146)은 X축과 평행하게 연장된다.
복수의 흡착 노즐(148)은 패널(1)(도 5 참조)의 일 표면(2)에 접촉하여 패널(1)(도 5 참조)을 흡착한다. 복수의 흡착 노즐(148)은 복수의 반전기 빔(146)에 장착된다. 도시된 실시예에서는 하나의 반전기 빔(146)에 흡착 노즐(148)이 6개씩 분포되나, 패널(1)의 크기와 무게에 따라 더 적거나 더 많은 수의 흡착 노즐(148)이 분포될 수 있다. 도시되진 않았으나, 흡착 노즐(148)을 통해 공기가 흡기되어 패널(1)의 표면에 부압(負壓)이 형성되도록, 반전기 빔(146)과 반전기 샤프트(141)의 내부에는 공기 유로가 형성되고, 상기 공기 유로의 끝에는 공기 압축기(compressor)가 구비될 수 있다.
패널 이송기(102)는 제1 자세와 제2 자세로 전환 가능하게 베이스(101)에 지지되는 제1 및 제2 브릿지(bridge)(103A, 103B)를 구비한다. 제1 자세는 패널(1)(도 5 참조)이 기울어지지 않게 수평으로 지지하도록 한 쌍의 브릿지(103A, 103B)가 서로 이어진 자세이며, 제2 자세는 패널(1)이 반전기(140)에 픽업(pick-up)되어 회전할 때 패널(1)과 충돌하지 않도록 기울어진 자세이다.
제1 및 제2 브릿지(103a, 103B)는 각각, 반전기(140)가 승강할 때 복수의 반전기 빔(146)과 충돌하지 않게 서로 평행하게 이격되어 배치된 복수의 제1 및 제2 브릿지 빔(106, 108)과, 상기 복수의 제1 및 제2 브릿지 빔(106, 108)을 연결 및 지지하는 브릿지 프레임(110)과, 상기 복수의 제1 및 제2 브릿지 빔(106, 108)이 수평한 피봇 축선(R1, R2)에 대해 회전할 수 있게 베이스(101)와 브릿지 프레임(110)을 연결하는 브릿지 힌지(hinge)(104)를 구비한다.
제1 및 제2 브릿지 빔(106, 108)은 반전기 샤프트(141)에 가까운 일 측 단부와, 그 반대의 타 측 단부가 있으며, 상기 브릿지 힌지(104)는 상기 일 측 단부보다 상기 타 측 단부에 더 가깝게 위치한다. 제1 및 제2 브릿지 빔(106, 108)은 브릿지(103A, 103B)가 제1 자세인 때를 기준으로 X축과 평행하게 연장되며, 복수의 반전기 빔(146)과 겹쳐지지 않게 배치된다. 또한, 제1 및 제2 브릿지 빔(106, 108)의 길이는 서로 같으며, 브릿지(103A, 103B)가 제1 자세인 때를 기준으로 제1 브릿지(103A)의 브릿지 빔(106, 108)의 상기 일 측 단부와, 제2 브릿지(103B)의 브릿지 빔(106, 108)의 상기 일 측 단부는 반전기 샤프트(141)의 직경보다 큰 일정한 틈을 가지며 이격된다. 반전기 샤프트(141)는 반전기(140)가 승강할 때 상기 틈 사이로 승강하도록 구성된다. 따라서, 제1 및 제2 브릿지(103A, 103B)가 제1 자세인 때 반전기(140)가 승강하더라도 반전기(140)는 제1 및 제2 브릿지(103A, 103B)와 충돌하지 않는다.
패널 반전 장치(100)는 제1 브릿지(103A)와 제2 브릿지(103B)를 제1 자세에서 제2 자세로, 그리고 제2 자세에서 제1 자세로 전환시키는 브릿지 액추에이터(actuator)(133)을 더 구비한다. 브릿지 액추에이터(133)는 예컨대, 공압 또는 유압 실린더(cylinder)일 수 있고, 베이스(101)의 하단부에 체결 지지된다. 구체적으로, 실린더의 보디(body)(134)의 하단부는 액추에이터 힌지(hinge)(136)에 의해 베이스(101)의 하단부에 회전 가능하게 체결되고, 실린더의 로드(rod)(135) 상단은 브릿지 프레임(110)에 체결된다.
실린더 로드(135)가 실린더 보디(134)로부터 돌출되면 브릿지 프레임(110)을 들어 올려 제1 및 제2 브릿지(103A, 103B)가 브릿지 힌지(104)를 중심으로 회전하여 제2 자세에서 제1 자세로 전환된다. 반대로, 실린더 로드(135)가 실린더 보디(134) 안으로 삽입되면 브릿지 프레임(110)을 끌어내려 제1 및 제2 브릿지(103A, 103B)가 브릿지 힌지(104)를 중심으로 회전하여 제1 자세에서 제2 자세로 전환된다. 제1 및 제2 브릿지(103A, 103B)가 제2 자세인 때 복수의 브릿지 빔(106, 108)은 반전기 샤프트(141)에 가까운 상기 일 측 단부가 그 반대측인 타 측 단부보다 하강하는 자세로 기울어지게 된다.
각각의 제1 브릿지 빔(106)에는 패널(1)(도 5 참조)을 지지하며 회전하여 패널(1)을 X축과 평행한 방향으로 이송하는 복수의 패널 이송 롤러(120)가 장착된다. 복수의 패널 이송 롤러(120)에 회전 동력을 제공하는 롤러 구동 모터(112)는 한 쌍의 브릿지 프레임(110)에 각각 설치된다. 롤러 구동 모터(112)는 도 2에는 생략되어 있다.
도 3을 참조하면, 패널 이송 롤러(120)는 제1 브릿지 빔(106)에 결합된 롤러 샤프트(123)와, 롤러 샤프트(123)를 회전 중심으로 하여 회전하는 롤러 보디(121)와, 롤러 보디(121)와 제1 브릿지 빔(106) 사이에 벨트 체결 기어(125)를 구비한다. 롤러 보디(121)는 예컨대, 고무와 같은 탄성 소재로 형성되어 패널(1)(도 5 참조)과 접촉되어 회전할 때 패널(1)이 롤러 보디(121)와의 마찰력에 의해 끌려 이동되게 한다. 벨트 체결 기어(125)는 롤러 보디(121)와 동축(同軸) 회전하며, 하나의 제1 브릿지 빔(106)에 장착된 벨트 이송 롤러(120)들은 폐곡선을 형성하는 하나의 타이밍 벨트(117)에 체결된다. 상기 타이밍 벨트(117)는 또한, 롤러 구동 모터(112)(도 1 참조)의 동력에 의해 회전하는 롤러 구동 샤프트(114)(도 1 참조)에 마련된 벨트 풀리(belt pulley)(미도시)에 체결된다. 상기 롤러 구동 샤프트(114)에는 제1 브릿지 빔(106)에 일대일로 대응되는 벨트 풀리가 마련된다.
이와 같은 구성으로, 제1 및 제2 브릿지(103A, 103B)가 제1 자세인 때 롤러 구동 모터(112)가 동작하면 롤러 구동 샤프트(114)가 회전하고, 타이밍 벨트(117)가 복수의 벨트 체결 기어(125)와 상기 벨트 풀리를 경유하는 경로를 따라 움직여 벨트 이송 롤러(120)가 회전한다.
도 1을 다시 참조하면, 각각의 제2 브릿지 빔(108)에는 복수의 가이드 롤러(130)가 장착된다. 가이드 롤러(130)는 패널(1)(도 5 참조)이 X축과 평행한 방향으로 이송되면서 접촉하면 마찰에 의해 아이들링(idling) 회전하며, 패널(1)이 X축과 평행한 경로를 벗어나지 않도록 안내한다.
도 4 내지 도 7은 도 1 및 도 2의 패널 반전 장치를 이용한 패널 반전 방법을 순차적으로 도시한 개략 정면도로서, 이하에서 도 1 내지 도 3을 참조하여 설명한 패널 반전 장치(100)를 이용한 패널 반전 방법을 순차적으로 설명한다. 본 발명의 실시예에 따른 패널 반전 방법은 준비 단계, 패널 투입 단계, 패널 픽업 단계, 패널 반전 단계, 흡착 중지 단계, 패널 분리 단계, 및 패널 배출 단계를 구비한다.
도 1, 도 2, 및 도 4를 함께 참조하면, 상기 준비 단계는 제1 및 제2 브릿지(103A, 103B)를 제1 자세로 전환하고, 반전기(140)를 복수의 제1 및 제2 브릿지 빔(106, 108)보다 높게 상승시키며, 반전기(140)의 복수의 흡착 노즐(148)을 아래로 향하도록 하는 단계이다. 반전기(140)의 반전기 빔(146)들은 X축과 평행한 방향으로 연장되게 배열되며, 복수의 흡착 노즐(148)과 제1 및 제2 브릿지 빔(106, 108) 사이에는 패널(1)(도 5 참조)이 개재될 수 있는 간격이 형성된다.
상기 패널 투입 단계는 상기 준비 단계 후에 제1 브릿지(103A)의 바깥으로부터 X축 양(+)의 방향과 평행하게 패널(1)을 투입하여 반전기(140)의 아래까지 이송하는 단계이다. 패널 이송 롤러(120)가 패널(1)을 지지한 채 회전하여 패널(1)을 이송하게 되며, 패널(1)은 반전기(140)의 아래에 정렬되면 이동을 멈춘다.
도 1, 도 2, 및 도 5를 함께 참조하면, 상기 패널 픽업 단계는, 상기 패널 투입 단계 후에 복수의 흡착 노즐(148)이 패널(1)의 상측면(2)에 접촉하도록 반전기(140)를 하강시켜 패널(1)을 픽업(pick-up)하는 단계이다. 이때 흡착 노즐(148)이 패널(1)을 흡착하도록 상기 공기 압축기(미도시)가 작동하게 된다.
도 1, 도 2, 및 도 6을 함께 참조하면, 상기 패널 반전 단계는, 상기 패널 픽업 단계 후에 제1 및 제2 브릿지(103A, 103B)를 제2 자세로 전환하고 반전기(140)를 180°만큼 회전시키는 단계이다. 제1 및 제2 브릿지(103A, 103B)가 제2 자세로 전환되므로 패널(1)이 반전기(140)와 함께 180° 회전하는 경로에서 벗어나 있다. 따라서, 패널(1)이 제1 및 제2 브릿지(103A, 103B)와 충돌하지 않고 뒤집어져, 흡착 노즐(148)에 흡착되는 패널(1)의 일 측 표면(2)이 하측면이 되고 그 반대측 표면(3)이 상측면이 된다. 이와 같이 반전된 패널(1)은 흡착 노즐(148)의 위에서 흡착 노즐(148)에 접촉 지지된다.
상기 흡착 중지 단계는, 상기 패널 반전 단계 후에 복수의 흡착 노즐(148)이 패널(1)을 흡착하지 않도록 상기 공기 압축기(미도시)의 작동을 중지시키는 단계이다. 패널(1)의 자중(自重)으로 인해 흡착 노즐(148)이 작동하지 않아도 패널(1)이 반전기(140)에 의해 지지될 수 있기 때문이다.
도 1, 도 2, 및 도 7을 함께 참조하면, 상기 패널 분리 단계는, 상기 흡착 중지 단계 후에 제1 및 제2 브릿지(103A, 103B)를 제1 자세로 다시 전환하고, 반전기(140)를 복수의 제1 및 제2 브릿지 빔(106, 108)보다 낮게 하강시키는 단계이다. 반전기 샤프트(141)를 Z축의 음(-)의 방향과 평행하게 아래로 하강시키면 복수의 반전기 빔(146)은 제1 및 제2 브릿지 빔(106, 108)과 교차하지 않게 배열되어 있으므로 충돌하지 않으며, 이에 따라 반전기(140)는 제1 및 제2 브릿지 빔(106, 108)보다 아래로 내릴 수 있다. 그러나, 패널(1)은 제1 및 제2 브릿지 빔(106, 108)을 통과하지 못한다. 따라서, 패널(1)은 제1 및 제2 브릿지 빔(106, 108), 구체적으로는 복수의 패널 이송 롤러(120)와 가이드 롤러(130)에 접촉 지지되고, 패널(1)과 흡착 노즐(148)은 이격된다.
상기 패널 배출 단계는, 상기 패널 분리 단계 후에 패널(1)을 패널 반전 장치(100)의 외부로 이송하는 단계이다. 복수의 패널 이송 롤러(120)가 패널(1)을 지지한 채 회전하여 패널(1)을 X축 양(+)의 방향과 평행하게 이송하여 제2 브릿지(103B)의 바깥으로 배출한다. 패널(1)이 제2 브릿지(103B)의 바깥으로 배출된 후에는 패널 이송 롤러(120)의 회전이 중지된다.
연속적으로 패널(1)이 공급되는 경우에, 다음 회차 패널(1)의 반전(反轉) 작업을 수행하기 위하여 준비 단계가 다시 수행될 수 있다. 구체적으로, 패널 반전 장치(100)를 도 4에 도시된 상태로 되돌리기 위하여, 반전기(140)를 복수의 제1 및 제2 브릿지 빔(106, 108)보다 높게 상승시키고, 제1 및 제2 브릿지(103A, 103B)를 제2 자세로 전환하고, 반전기(140)를 180° 만큼 회전하고, 다시 제1 및 제2 브릿지(103A, 103B)를 제1 자세로 전환하는 과정 순차적으로 수행될 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해서만 정해져야 할 것이다.
1: 패널 100: 패널 반전 장치
102: 패널 이송기 103A, 103B: 브릿지
106, 108: 브릿지 빔 120: 패널 이송 롤러
130: 패널 가이드 롤러 133: 브릿지 액추에이터
140: 반전기 141: 반전기 샤프트
146: 반전기 빔 148: 흡착 노즐

Claims (7)

  1. 편평한 패널(panel)을 픽업(pick-up)하여 상기 패널의 상측면과 하측면이 뒤집어지도록 수평한 회전 축선에 대해 180° 회전시키는 반전기; 및,
    상기 패널을 상기 반전기에 의해 픽업되는 위치까지 이송하고, 상기 반전기에 의해 뒤집어진 패널을 외부로 이송하는 패널 이송기;를 구비하고,
    상기 패널 이송기는 상기 패널이 픽업되는 위치에서 상기 패널을 함께 지지하는 한 쌍의 브릿지(bridge)를 구비하고,
    상기 한 쌍의 브릿지는, 상기 패널을 수평 지지하도록 서로 이어진 제1 자세와, 상기 패널이 상기 반전기에 의해 픽업되어 회전할 때 상기 패널과 충돌하지 않도록 기울어진 제2 자세로 전환 가능하게 구성된 것을 특징으로 하는 패널 반전 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 반전기는 상기 패널의 표면에 접촉하여 흡착(吸着)하는 복수의 흡착 노즐(suction nozzle)을 구비하는 것을 특징으로 하는 패널 반전 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 반전기는, 상기 회전 축선을 따라 연장되고, 회전 및 승강 가능한 반전기 샤프트(shaft); 및, 상기 반전기 샤프트와 교차하도록 연장되고, 서로 이격되어 배치되며, 상기 복수의 흡착 노즐이 장착된, 복수의 반전기 빔(beam);을 구비하고,
    상기 한 쌍의 브릿지는 각각, 상기 반전기가 승강할 때 상기 복수의 반전기 빔과 충돌하지 않도록 서로 평행하게 이격되어 배치된 복수의 브릿지 빔(bridge beam); 및, 상기 복수의 브릿지 빔에 장착된, 상기 패널을 지지하며 회전하여 상기 패널을 이송하는 복수의 패널 이송 롤러(roller);를 구비하고,
    상기 한 쌍의 브릿지가 제2 자세인 때, 상기 복수의 브릿지 빔은 상기 반전기 샤프트에 가까운 일 측 단부가 타 측 단부보다 하강하는 자세로 기울어지게 구성된 것을 특징으로 하는 패널 반전 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 한 쌍의 브릿지가 제1 자세인 때 상기 반전기가 승강하며 상기 복수의 브릿지 빔과 충돌하지 않도록, 상기 반전기 샤프트는 상기 한 쌍의 브릿지 빔의 일 측 단부 사이의 틈으로 승강하도록 구성된 것을 특징으로 하는 패널 반전 장치.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 반전기는, 상기 복수의 흡착 노즐이 상기 패널의 상측면과 접촉하여 상기 패널을 픽업하고 180° 회전하며, 상기 패널의 상측면과 하측면이 뒤집어진 채 제1 자세의 상기 한 쌍의 브릿지의 복수의 브릿지 빔 아래로 하강하여 상기 복수의 브릿지 빔에 상기 패널이 지지되고 상기 복수의 흡착 노즐은 상기 패널과 이격되도록 구성된 것을 특징으로 하는 패널 반전 장치.
  6. 제4 항의 패널 반전 장치를 이용하여 패널을 반전(反轉)시키는 방법으로서,
    상기 한 쌍의 브릿지를 제1 자세로 전환하고, 상기 반전기를 상기 복수의 브릿지 빔보다 높게 상승시키며, 상기 복수의 흡착 노즐을 아래로 향하도록 하는 준비 단계;
    상기 패널을 상기 반전기의 아래까지 이송하는 패널 투입 단계;
    상기 복수의 흡착 노즐이 상기 패널의 상측면에 접촉하도록 상기 반전기를 하강시켜 상기 패널을 픽업(pick-up)하는 패널 픽업 단계;
    상기 한 쌍의 브릿지를 제2 자세로 전환하고, 상기 반전기를 180°회전시키는 패널 반전 단계;
    상기 한 쌍의 브릿지를 제1 자세로 전환하고, 상기 복수의 브릿지 빔에 상기 패널이 지지되고 상기 복수의 흡착 노즐이 상기 패널과 이격되도록 상기 반전기를 상기 복수의 브릿지 빔보다 낮게 하강시키는 패널 분리 단계; 및,
    상기 반전기와 분리된 패널을 외부로 이송하는 패널 배출 단계;를 구비하는 것을 특징으로 하는 패널 반전 방법.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 패널 반전 단계와 상기 패널 분리 단계 사이에 상기 복수의 흡착 노즐이 상기 패널을 흡착하지 않도록 작동을 중지시키는 흡착 중지 단계를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 패널 반전 방법.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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KR102536454B1 (ko) * 2022-10-21 2023-05-26 이재환 진공단열재 반전 이송장치

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100936992B1 (ko) * 2009-02-17 2010-01-15 에스엔티코리아 주식회사 기판반전장치

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114229468A (zh) * 2021-12-03 2022-03-25 蚌埠中光电科技有限公司 一种液晶玻璃基板加工的自动转向机构
CN114229468B (zh) * 2021-12-03 2024-03-15 蚌埠中光电科技有限公司 一种液晶玻璃基板加工的自动转向机构
KR102536454B1 (ko) * 2022-10-21 2023-05-26 이재환 진공단열재 반전 이송장치

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