KR20150049672A

KR20150049672A - 강자성 나노 금속분말

Info

Publication number: KR20150049672A
Application number: KR1020130130510A
Authority: KR
Inventors: 김재영; 안성용; 김학관; 서정욱
Original assignee: 삼성전기주식회사
Priority date: 2013-10-30
Filing date: 2013-10-30
Publication date: 2015-05-08
Also published as: US9378875B2; KR101963265B1; US20150115193A1

Abstract

본 발명은 강자성 나노 금속분말에 관한 것으로, 보다 구체적으로 마이크로 사이즈의 연자성 금속분말 사이의 공극의 비율을 감소시킴으로써 충진 밀도를 증가시키기 위한 강자성 나노 금속분말에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 연자성 금속분말을 이용하여 인덕터 등을 제조할 때 필연적으로 발생하는 공극을 충진하기 위한 강자성 나노 금속분말을 제공함으로써 높은 충진 밀도를 달성하고, 고주파수에서 높은 자성 특성을 나타낼 수 있다.

Description

강자성 나노 금속분말{FERROMAGNETIC NANO METAL POWDER}

본 발명은 강자성 나노 금속분말에 관한 것으로, 보다 구체적으로 마이크로 사이즈의 연자성 금속분말 사이의 공극의 비율을 감소시킴으로써 충진 밀도를 증가시키기 위한 강자성 나노 금속분말에 관한 것이다.

노트북 또는 스마트폰과 같은 휴대용 모바일 기기에 사용 되는 CPU는 저전원 및 저전압화에 의한 전력 절감화를 추진하고 있으나, 고사양의 기능의 탑재 및 다기능화에 의한 요구 전류 및 소비 전력도 동시에 증가하고 있다. 또한 기기의 소형화, 경량화 및 박형화에 대한 요구도 높아지고 있어 전원에 사용되는 DC-DC 컨버터용 인덕터도 고전류 및 저저항을 유지하면서 소형화 및 박형화하기 위한 연구가 이어져 오고 있다.

고주파수에 대응하기 위한 소형화 인덕터에 사용되는 재료로는　다양한 페라이트 또는 연자성 금속분말과 같은 연자성 금속 소재가 사용되고 있다. 상기 소재들은 독립적으로 사용되어 왔으나, 최근에는 인덕터 개발 추이에 따른 고효율화에 대응하기 위해서 복합 금속 분말 소재를 사용하는 추세이다. 또한, 균일한 연자성 특성, 낮은 와전류 손실(eddy current loss), 고주파에서의 상대적으로 낮은 철손(core loss) 및 열적 특성 개선 등과 같은 특성의 향상에 관심이 집중되고 있다.

그러나 인덕터의 소형화 및 박형화가 이루어짐과 동시에 인덕터 당 사용되는 연자성 금속 소재의 양이 줄어들게 되므로 자성 특성이 낮아지는 문제점이 있으며, 기기에 탑재된 인덕터의 동작 주파수가 높아짐에 따라 고주파수에서도 높은 자성 특성을 유지할 수 있는 소재의 개발을 필요로 하고 있다.

연자성 금속분말을 사용하고 있는 인덕터의 경우, Fe, Fe-Ni, Fe-base 비정질, Fe-Ni-Cr 결정질 등의 철 기반의 연자성 금속분말이 사용된다. 소형의 인덕터에 있어서 높은 자성 특성을 구현하기 위해서는 재료의 밀도를 높이는 것이 중요하다. 그러나 사용되는 바인더의 부피 또는 분말과 분말 사이에 필연적으로 생기게 되는 공극(porocity)에 의하여 충분한 금속분말의 충진 밀도를 달성하기 어렵다. 이러한 충진 밀도의 저하 문제는 자성 특성, 특히 투자율의 감소 문제를 유발하며, 인덕터 성능을 떨어뜨리게 된다.

종래 기술로는 압분 철심용 강자성 분말에 관한 한국공개특허공보 제2002-0037776호가 있다.

본 발명의 목적은 연자성 금속분말 사이의 공극을 충진하기 위한 강자성 나노 금속분말을 제공하는 것이다.

본 발명의 일 측면에 따르면, Fe, Co, Ni 및 이들의 합금으로 이루어진 군으로부터 선택되는 강자성 코어 입자; 및 상기 강자성 코어 입자의 표면에 코팅된 절연층;을 포함하며, 직경이 250 ~ 500 nm인 강자성 나노 금속분말이 제공될 수 있다.

일 실시예에 있어서, 상기 강자성 코어 입자는 Ni일 수 있다.

일 실시예에 있어서, 상기 강자성 나노 금속분말은 공극을 포함하는 인덕터의 공극을 충진할 수 있다.

일 실시예에 있어서, 상기 인덕터는 직경이 10 ~ 50 μm인 연자성 금속분말을 포함할 수 있다.

일 실시예에 있어서, 상기 인덕터는 공극률이 5 ~ 20%일 수 있다.

일 실시예에 있어서, 상기 공극의 직경은 300 nm ~ 1 μm 일 수 있다.

일 실시예에 있어서, 상기 연자성 금속분말의 Q_max 값은 1 MHz 이하일 수 있다.

일 실시예에 있어서, 상기 강자성 나노 금속분말은 10 MHz 이상의 주파수에서 Q 값(Quality factor)이 90 이상일 수 있다.

일 실시예에 있어서, 상기 강자성 나노 금속분말은 Q_max 값이 23 MHz 이상일 수 있다.

일 실시예에 있어서, 상기 절연층은 산화알루미늄, 산화규소, 산화티타늄, 산화아연 및 인산염으로 이루어진 군으로부터 선택되는 하나에 의한 코팅일 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 연자성 금속분말을 이용하여 인덕터 등을 제조할 때 필연적으로 발생하는 공극을 충진하기 위한 강자성 나노 금속분말을 제공함으로써 높은 충진 밀도를 달성하고, 고주파수에서 높은 자성 특성을 나타낼 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 강자성 나노 금속분말을 나타낸 것이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 강자성 나노 금속분말을 이용하여 연자성 금속분말 사이의 공극을 충진시킨 상태를 나타낸 것이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 강자성 니켈 금속분말과 연자성 금속분말의 주파수에 대한 Q 값을 나타낸 그래프이다.

본 발명을 더 쉽게 이해하기 위해 편의상 특정 용어를 본원에 정의한다. 본원에서 달리 정의하지 않는 한, 본 발명에 사용된 과학 용어 및 기술 용어들은 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 의미를 가질 것이다. 또한, 문맥상 특별히 지정하지 않는 한, 단수 형태의 용어는 그것의 복수 형태도 포함하는 것이며, 복수 형태의 용어는 그것의 단수 형태도 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

본 발명에서 사용되는 용어 "강자성(ferromagnetism)"은 외부 자기장이 없는 상태에서도 자화되는 물질의 자기적 성질을 의미한다. 강자성 하에서는 전자의 스핀이 저온에서 동일한 방향으로 정렬되어 있으며, 일반적으로 Fe, Co, Ni 등이 대표적인 강자성 물질이다.

본 발명에서 사용되는 용어 "공극(porocity)"은 인덕터를 구성하는 자성 금속분말 사이 중의 빈틈 또는 간극을 의미하여, 자성 금속분말의 직경이 클수록 또는 자성 금속분말의 직경이 고를수록 분말 사이의 틈이 많아 공극이 커지게 된다. 자성 금속분말로 이루어진 인덕터의 전체 부피 중에서 상기 공극이 차지하는 부피의 비를 백분율로 나타낸 것을 "공극률"이라 한다.

본 발명에서 사용되는 용어 "연자성(soft magnetism)"은 히스테리시스 곡선에서 보자력 및 잔류 자화가 적고, 투자율이 큰 자성을 의미한다. 강자성과는 반대로 외부 자기장을 인가하였을 때에만 자화되고, 외부 자기장을 제거하면 자화는 소실되는 특성을 가지고 있다. 대표적인 연자성 물질로는 스피넬(spinel)형 페라이트(ferrite)가 있다.

본 발명에서 사용되는 용어 "Q 값(Quality factor)"은 총 에너지 손실의 합에 대한 인덕터와 같은 리액티브 소자에 축적된 에너지의 비를 나타내는 값이다. 여기서, 상기 Q 값이 클수록 주파수 선택 특성, 즉 고주파수 영역에서의 자성 특성이 우수하다.

본 발명에서 사용되는 용어 "Q_max값"은 상기 Q 값이 최대가 되는 주파수의 값을 나타내는 것으로서, Q_max 값이 높을수록, 즉 높은 주파수 영역에 존재할수록 고주파수 영역에서의 자성 특성을 기대할 수 있다.

일 실시예에 있어서, 상기 강자성 코어 입자는 Fe, CO, Ni 및 이들의 합금인 Fe-Ni, Fe-Co, Ni-Co, Fe-Ni-Co 등으로 이루어진 군으로부터 적절히 선택될 수 있으며, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다. 상기 강자성 코어 입자는 미립화 공정, 전기 분해 공정 또는 분쇄 공정을 통해 제조될 수 있으며, 상기 강자성 코어 입자를 제조하는 방법은 본 발명이 속하는 기술분야에 잘 알려져 있다. 일 실시예에 있어서, 상기 강자성 코어 입자는 구형 또는 불규칙한 형상일 수 있다.

일 실시예에 있어서, 상기 강자성 나노 금속분말의 직경은 바람직하게는 250 ~ 500 nm, 보다 바람직하게는 300 ~ 350 nm일 수 있다. 상기 강자성 나노 금속분말의 직경이 250 nm 미만이거나 500 nm 초과일 경우, Qmax 값이 20 MHz 미만으로 떨어지므로, 상대적으로 20 MHz 보다 높은 주파수 영역대에서의 자성 특성을 기대할 수가 없다. 또한, 상기 강자성 나노 금속분말의 직경이 250 nm 미만일 경우, 보자력이 커지고, 공극 충진을 위해 금속분말을 분산시키기가 어려우며, 500 nm 초과일 경우, 와전류가 증가하며, 연자성 금속분말 사이의 공극 충진이 잘 이루어질 수 없다. 상기 범위 내의 직경을 가지는 강자성 나노 금속분말은 체질(sieve) 등을 사용하여 분류할 수 있다.

일 실시예에 있어서, 상기 강자성 나노 금속분말은 공극을 포함하는 인덕터의 공극을 충진할 수 있다. 예를 들어, 직경이 10 ~ 50 μm인 연자성 금속분말을 포함하는 인덕터에 있어서, 필연적으로 발생하는 상기 연자성 금속분말 사이의 공극을 충진하기 위하여 상기 강자성 나노 금속분말을 사용할 수 있다.

일 실시예에 있어서, 상기 인덕터는 공극률이 5 ~ 20%일 수 있다. 전술한 바와 같이, 상기 공극률은 상기 인덕터의 전체 부피 중에서 상기 공극이 차지하는 부피의 비를 백분율로 나타낸 것이다. 상기 강자성 나노 금속분말은 상기 인덕터의 공극을 충진하여 상기 인덕터의 공극률을 바람직하게는 5% 이하, 보다 바람직하게는 3% 이하, 보다 더 바람직하게는 1.5% 이하로 감소시킬 수 있다.

일 실시예에 있어서, 상기 공극의 직경은 300 nm ~ 1 μm 일 수 있다. 상기 공극의 직경은 상기 인덕터에 포함되는 상기 연자성 금속분말의 직경에 의존한다. 또한, 상기 공극의 직경은 바람직하게는 상기 강자성 나노 금속분말의 직경보다 크며, 상기 연자성 금속분말의 직경보다 작다.

일 실시예에 있어서, 상기 인덕터에 포함되는 상기 연자성 금속분말의 금속분말의 Q_max 값은 1 MHz 이하일 수 있다. Q_max 값이 1 MHz 이하인 연자성 금속분말을 포함하는 인덕터는 10 MHz 이상에서 높은 Q 값에 의한 고주파수에서의 자성 특성을 나타내기 어렵기 때문에, 10 MHz 이상의 고주파수에서도 자성 특성을 나타낼 수 있는 상기 강자성 나노 금속분말을 병용함으로써 Q_max 값을 향상시킬 수 있다.

일 실시예에 있어서, 10 MHz 이상의 주파수에서 상기 강자성 나노 금속분말의 Q 값(Quality factor)은 90 이상일 수 있다. 본 발명의 실시예에 따른 강자성 나노 금속분말은 10 MHz 이상에서 Q 값이 90 이상의 큰 값을 가지게 되므로, 인덕터의 제조에 연자성 금속분말과 같이 사용할 경우 고주파수에서의 자성 특성을 기대할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 상기 강자성 나노 금속분말의 Q_max 값은 23 MHz 이상일 수 있다. 또한, 상기 강자성 나노 금속분말은 바람직하게는 10 MHz ~ 100 MHz의 동작 주파수 영역에서 일정한 투자율을 가질 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 강자성 니켈 금속분말과 연자성 금속분말의 주파수에 대한 Q 값을 나타낸 도 3을 참조하면, 일반적인 마이크로 사이즈의 연자성 금속분말(Fe-Si-Cr-B)과 강자성 나노 금속분말(Ni)의 Q 값 및 Q_max 값의 비교할 수 있다. 예를 들어, 직경이 24 μm인 연자성 금속분말의 Q 값은 약 60 정도이며, 0.9 MHz에서 최대의 Q 값을 나타낸다. 반면, 직경이 300 nm인 강자성 니켈 금속분말의 Q 값은 약 95 정도이며, 30 MHz에서 최대의 Q 값을 나타낸다. 상기 Q 값이 최대가 되는 주파수, 즉 Q_max 값이 고주파수 영역에 존재할수록 상기 연자성 금속분말을 사용하는 인덕터를 고주파수 영역에서 사용할 수 있다. 따라서, 연자성 금속분말을 사용하여 인덕터를 제조할 때, Q_max 값이 상대적으로 연자성 금속분말보다 고주파수 영역에 존재하는 강자성 나노 금속분말을 공극 충진을 위해 사용함으로써 제조된 인덕터의 Q_max 값을 향상시킬 수 있다. 예를 들어, 직경이 24 μm인 연자성 금속분말을 포함하는 인덕터의 공극 충진용으로 본 발명의 일 실시예에 따른 300 nm의 강자성 니켈 금속분말을 사용할 경우, 기대할 수 있는 Q_max 값은 약 11 MHz이다.

상기 절연층은 유기, 무기 물질 또는 유기 및 무기 물질의 혼합물에 의한 코팅층일 수 있다. 일 실시예에 있어서, 상기 절연층이 유기 물질에 의한 코팅층일 경우, 상기 절연층은 페놀 수지 또는 실리콘 수지의 열 또는 광 경화에 의한 코팅일 수 있다. 상기 페놀 수지는 예를 들어, 상업적으로 이용 가능한 페놀, 크레졸, 자일레놀, 노볼락 및 비스페놀 수지로부터 선택될 수 있으며, 반드시 이에 제한되는 것은 아니다.

일 실시예에 있어서, 상기 절연층이 무기 물질에 의한 코팅층일 경우, 상기 절연층은 산화알루미늄, 산화규소, 산화티타늄, 산화아연 및 인산염으로 이루어진 군으로부터 선택되는 하나에 의한 코팅일 수 있다. 무기 물질을 이용한 금속분말을 코팅하는 방법은 본 발명이 속하는 기술분야에 잘 알려져 있다.

예를 들어, 상기 무기 물질이 산화티타늄인 경우, 음전하로 하전된 무정형 산화티타늄이 유기 용매에 분산되어 있는 콜로이드성 용액 형태로 사용하는 것이 바람직하다. 상기와 같이 무기 물질이 균일하게 분산되어 있는 콜로이드성 용액을 사용함으로써 강자성 코어 입자에 균일한 절연 피막을 형성할 수 있다. 여기서, 상기 무기 물질의 직경은 바람직하게는 5 내지 100 nm, 보다 바람직하게는 5 내지 50 nm, 보다 더 바람직하게는 5 내지 25 nm 인 것이 바람직하다.

일 실시예에 있어서, 상기 절연층이 유기 및 무기 물질의 혼합물에 의한 코팅층일 경우, 상기 혼합물은 강자성 코어 입자의 표면에 균일한 코팅을 형성하기 위해 25 ℃에서 100 내지 3000 cps의 점도를 가지도록 혼합 용액 상태로 만들어 사용하는 것이 바람직하다.

일 실시예에 있어서, 상기 절연층은 전체 강자성 나노 금속분말에 대하여 0.1 ~ 10 vol% 인 것이 바람직하며, 보다 바람직하게는 0.5 ~ 5 vol% 인 것이 바람직하다. 상기 절연층이 0.1 vol% 보다 적을 경우, 강자성 코어 입자에 절연층이 효과적으로 생성될 수 없어 외부에 노출되게 되므로, 절연이 약화되거나 강자성 코어 입자의 산화에 의한 자성 특성 상실을 야기할 수 있다. 반대로, 10 vol%를 초과할 경우, 자성 성분(강자성 코어 입자)에 대한 비자성 성분의 비율이 증가하게 되어 마찬가지로 자성 특성 상실을 야기할 수 있다.

일 실시예에 있어서, 직경이 10 ~ 50 μm인 연자성 금속분말과 직경이 250 ~ 500 nm인 강자성 나노 금속분말을 혼합하여 인덕터를 제조할 수 있다. 마이크로미터 크기의 연자성 금속분말과 나노미터 크기의 강자성 나노 금속분말을 혼합하여 사용함으로써, 연자성 금속분말을 단독으로 사용하는 경우보다 공극의 비율을 감소시켜 인덕터의 충진 밀도를 향상시킬 수 있다. 또한, 와전류를 억제함으로써 인덕터의 투자율을 증가시키고 고주파수에서 높은 Q 값을 구현할 수 있다. 게다가, 고주파수에서도 높은 Q 값을 가지는(즉, Q_max 값이 높은) 강자성 나노 금속분말을 인덕터의 제조에 사용함으로써 10 MHz 이상의 고주파수에서도 인덕터의 높은 자성 특성을 기대할 수 있다.

이하에서는 실시예를 통하여 본 발명을 더욱 상세히 설명하고자 한다. 다만, 이들 실시예는 오로지 본 발명을 예시하기 위한 것으로서, 본 발명의 범위가 이들 실시예에 의해 제한되는 것으로 해석되지는 않는다 할 것이다.

실시예

1. 강자성 나노 금속분말의 제조 방법

강자성 나노 금속분말 자체의 산화에 의한 투자율 및 자속 밀도 저하를 방지하기 위하여 비활성 대기(아르곤) 조건 하에서, 유기 용매(다이페닐에터)에 니켈 염(니켈 아세틸아세토네이트), 알킬아민(옥틸아민) 및 표면 안정제(트라이뷰틸 포스파인)를 첨가한 후 30분 동안 교반하여 혼합물을 생성하였다. 이 후, 절연 피막의 생성을 위해 상기 혼합물은 150 ℃에서 30분 및 250 ℃에서 1시간 동안 열처리되었다. 이 때, 상기 절연 피막의 생성을 위한 절연 물질로는 인산염이 사용되었다. 열처리된 혼합물은 상온으로 냉각되었으며, 원심 분리 및 에탄올에 의한 세척으로 유기 용매를 제거한 후 진공 상태에서 건조되었다.

생성된 금속분말 입자의 직경은 전기 현미경으로 관찰 결과, 입자 분포가 좁은 250 ~ 500 nm 인 것으로 확인되었으며, 원하는 직경의 강자성 나노 금속분말을 선택하기 위하여 밀링 및 체질을 추가적으로 수행하였다.

2. 강자성 나노 금속분말의 자성 특성

실시예 1에 따라 제조된 직경이 300 nm인 강자성 니켈 나노금속분말과 직경이 24 μm인 연자성 금속분말(Fe-Si-Cr-B)과 강자성 나노 금속분말(Ni)의 Q 값 및 Q_max 값의 비교하였다. 상기 비교 결과는 도 3에 나타나 있다.

도 3을 참조하면, 직경이 24 μm인 연자성 금속분말의 Q 값은 약 60 정도이며, 0.9 MHz에서 최대의 Q 값을 나타낸 반면, 직경이 300 nm인 강자성 니켈 금속분말의 Q 값은 약 95 정도이며, 30 MHz에서 최대의 Q 값을 나타내었다.

따라서, 종래 방식에 따른 연자성 금속분말을 사용하여 인덕터를 제조할 때, Q_max 값이 0.9 MHz에 불과하여 상대적으로 고주파수 영역에서 사용이 제한되는 것을 확인할 수 있었다.

하기의 표 1에는 실시예 1에 따라 제조된 강자성 나노 금속분말의 직경의 차이에 따른 Q_max 값의 분포가 기재되어 있다.

직경(nm)	Q_max (MHz)
150	14
200	21
225	22
250	27
300	30
350	29
400	28
450	26
500	25
525	22
550	16
600	13

상기 표 1을 참조하면, 강자성 나노 금속분말의 직경의 차이에 따라 Q_max 값이 확연하게 변화하였으며, 특히 직경이 250 ~ 500 nm의 범위에서 25 ~ 30 MHz의 Q_max 값을 나타낸 것을 확인할 수 있었다.

본 발명의 실시예에 따른 강자성 나노 금속분말을 인덕터의 제조에 사용할 경우, 고주파수에서 인덕터의 자성 특성의 개선 효과가 있는지 확인하기 위하여, 직경이 24 μm인 연자성 금속분말(Fe-Si-Cr-B)과 강자성 나노 금속분말(Ni)을 혼합하여 성형한 후 Q 값 및 Q_max 값을 측정하였다. 상기 측정 결과는 하기의 표 2에 기재되어 있다.

강자성 나노 금속분말의 직경(nm)	10 MHz에서의 Q 값	Q_max (MHz)
150	66	2
200	72	3
225	77	6
250	86	10
300	93	11
350	92	9
400	88	9
450	86	8
500	85	8
525	77	5
550	76	3
600	62	3

상기 표 2를 참조하면, 직경이 24 μm인 연자성 금속분말(Fe-Si-Cr-B)과 서로 다른 직경을 가진 강자성 나노 금속분말(Ni)을 혼합할 때, 공극 충진을 위하여 사용한 강자성 나노 금속분말의 직경에 따라 10 MHz에서의 Q 값 및 Q_max 값이 변하는 것을 확인할 수 있었다.

상기 강자성 나노 금속분말의 직경이 250 ~ 500 nm일 경우, 85 이상의 10 MHz에서의 Q 값 및 8 MHz 이상의 Q_max 값을 나타내어, 직경이 24 μm인 연자성 금속분말(Fe-Si-Cr-B)만을 사용한 경우(약 60의 Q 값 및 약 0.9 MHz의 Q_max 값)보다 고주파 영역에서의 더 높은 자성 특성을 기대할 수 있었다.

상술한 바와 같이, 연자성 금속분말로 인덕터 등을 제조할 때 필연적으로 발생하는 공극을 본 발명의 실시예에 따른 직경이 250 ~ 500 nm인 강자성 나노 금속분말로 충진함으로써 충진 밀도를 향상시키고, 와전류의 생성을 억제할 수 있다. 이에 따라 제조된 인덕터의 투자율 향상 및 고주파수에서의 높은 자성 특성을 기대할 수 있다.

이상, 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.

Claims

Fe, Co, Ni 및 이들의 합금으로 이루어진 군으로부터 선택되는 강자성 코어 입자; 및 상기 강자성 코어 입자의 표면에 코팅된 절연층;을 포함하며,
직경이 250 ~ 500 nm인 강자성 나노 금속분말.
제1항에 있어서,
상기 강자성 코어 입자는 Ni인 강자성 나노 금속분말.
제1항에 있어서,
상기 강자성 나노 금속분말은 공극을 포함하는 인덕터의 공극을 충진하기 위한 강자성 나노 금속분말.
제3항에 있어서,
상기 인덕터는 직경이 10 ~ 50 μm인 연자성 금속분말을 포함하는 강자성 나노 금속분말.
제4항에 있어서,
상기 인덕터는 공극률이 5 ~ 20%인 강자성 나노 금속분말.
제3항에 있어서,
상기 공극의 직경은 300 nm ~ 1 μm 인 강자성 나노 금속분말.
제4항에 있어서,
상기 연자성 금속분말의 Q_max 값은 1 MHz 이하인 강자성 나노 금속분말.
제1항에 있어서,
상기 강자성 나노 금속분말은 10 MHz 이상의 주파수에서 Q 값(Quality factor)이 90 이상인 강자성 나노 금속분말.
제1항에 있어서,
상기 강자성 나노 금속분말은 Q_max 값이 23 MHz 이상인 강자성 나노 금속분말.
제1항에 있어서,
상기 절연층은 산화알루미늄, 산화규소, 산화티타늄, 산화아연 및 인산염으로 이루어진 군으로부터 선택되는 하나에 의한 코팅인 강자성 나노 금속분말.