KR20150026465A - 기판 이송 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 특히 기판의 네 모서리를 고정한 상태로 이송하는 과정에서, 스트링을 이용하여 상기 기판의 양 측면을 지지하도록 구성함으로써, 기판이 박형화되고 대형화되더라도 기판 처리 공정시, 상기 기판의 출렁거림을 최소화하고, 기판 깨짐으로 인한 파손을 최소화시킬 수 있는 기판 이송 장치에 관한 것이다.
본 발명인 기판 이송 장치를 이루는 구성수단은, 기판 이송 장치에 있어서, 기판 장착홀이 내부에 형성되고, 상기 기판 장착홀을 구획하는 네 개의 장착 측단부에 상기 기판의 각 모서리를 접촉시켜, 상기 기판을 수직하게 고정 장착하는 판 프레임, 상기 판 프레임을 이송시키는 이송 수단, 상기 기판을 가운데 두고, 상기 기판 양 측면에 각각 인접 배치되되, 텐션을 유지한 상태로 서로 평행하게 배치되는 한 쌍의 스트링을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

Description

기판 이송 장치{substrate transferring apparatus}

본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 특히 기판의 네 모서리를 고정한 상태로 이송하는 과정에서, 스트링을 이용하여 상기 기판의 양 측면을 지지하도록 구성함으로써, 기판이 박형화되고 대형화되더라도 기판 처리 공정시, 상기 기판의 출렁거림을 최소화하고, 기판 깨짐으로 인한 파손을 최소화시킬 수 있는 기판 이송 장치에 관한 것이다.

기판에 대하여 다양한 공정을 수행하기 위해서는 기판을 고정 및 적재하여 이송할 수 있는 기판 이송 장치가 필요하다. 이와 같이 고정 및 적재된 기판은 챔버 내에서 수세 공정, 에칭 공정 등 다양한 표면 처리 공정을 수행받게 된다.

이와 같은 기판 이송 장치는 기판을 안정적으로 장착하고 이송할 수 있는 구조이어야 하고, 기판을 지지 또는 고정함에 따라 기판 파손 가능성이 최소가 되어야 하며, 다양한 기판 사이즈에 대응할 수 있는 구조를 가져야 할 필요성이 있다.

그런데, 종래의 일반적인 기판 이송 장치는 도 1에 도시된 바와 같이, 상기 기판의 네 모서리만을 고정한 상태로 상기 기판을 이송하게 된다. 따라서, 기판이 박형화되고 대면적화됨에 따라, 상기 기판 이송 장치에 수직한 방향으로 고정된 기판은 기판에 대한 공정 진행시, 이송되는 과정에서 출렁거리고 흔들리게 된다. 따라서, 상기 대면적 및 박형화 기판은 공정 진행 중에 파손될 가능성이 매우 크다.

따라서, 상기 대면적 및 박형화 기판에 대한 공정 진행시, 상기 기판의 흔들림과 출렁거림을 최소화시킬 수 있는 구조가 필요한 실정에 있다. 또한 다양한 기판 사이즈에 대응할 수 있는 기판 이송 장치의 구조가 제안될 필요성이 있다.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 기판의 네 모서리를 고정한 상태로 이송하는 과정에서, 스트링을 이용하여 상기 기판의 양 측면을 지지하도록 구성함으로써, 기판이 박형화되고 대형화되더라도 기판 처리 공정시, 상기 기판의 출렁거림을 최소화하고, 기판 깨짐으로 인한 파손을 최소화시킬 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

또한, 상기 기판의 측면에서 에칭액 등을 분사하는 방식인 사이드(side) 스프레이 방식 또는 상기 기판의 상측에서 에칭액 등을 분사하는 방식인 탑(top) 스프레이 방식 또는 침지 방식을 통하여 상기 기판에 대한 공정을 수행하는 과정에서, 상기 스트링에 의한 완충 작용으로 인하여 상기 기판의 깨짐 또는 손상을 방지할 수 있는 기판 이송 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명인 기판 이송 장치를 이루는 구성수단은, 기판 이송 장치에 있어서, 기판 장착홀이 내부에 형성되고, 상기 기판 장착홀을 구획하는 네 개의 장착 측단부에 상기 기판의 각 모서리를 접촉시켜, 상기 기판을 수직하게 고정 장착하는 판 프레임, 상기 판 프레임을 이송시키는 이송 수단, 상기 기판을 가운데 두고, 상기 기판 양 측면에 각각 인접 배치되되, 텐션을 유지한 상태로 서로 평행하게 배치되는 한 쌍의 스트링을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 한 쌍의 스트링은 수평 방향 또는 수직 방향 또는 사선 방향으로 배치되는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 네 개의 장착 측단부 중, 서로 마주보는 두 개의 장착 측단부에 각각 인접하여 상기 판 프레임 상에 텐션 유지봉이 형성되고, 상기 한 쌍의 스트링의 양 끝단은 각각 상기 텐션 유지봉에 결합되는 것을 특징으로 한다.

여기서, 상기 두 개의 장착 측단부 중, 하나의 장착 측단부에 인접하여 상기 판 프레임 상에 형성되는 텐션 유지봉은 상기 판 프레임에 고정되어 장착되고, 다른 하나의 장착 측단부에 인접하여 상기 판 프레임 상에 형성되는 텐션 유지봉은 상기 판 프레임에 회전 가능하도록 장착되며, 상기 회전 가능하도록 장착되는 텐션 유지봉은 위치 고정봉에 의하여 고정되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 한 쌍의 스트링은 상호 이격된 상태로 복수개로 구성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 네 개의 장착 측단부 중, 적어도 두 개 이상의 장착 측단부는 상기 기판 장착홀의 중심 방향과 그 반대 방향으로 왕복 이동할 수 있는 슬라이딩 구조로 상기 판 프레임에 결합되는 것을 특징으로 한다.

상기와 같은 과제 및 해결수단을 가지는 본 발명인 기판 이송 장치에 의하면, 기판의 네 모서리를 고정한 상태로 이송하는 과정에서, 스트링을 이용하여 상기 기판의 양 측면을 지지하도록 구성하기 때문에, 기판이 박형화되고 대형화되더라도 기판 처리 공정시, 상기 기판의 출렁거림을 최소화하고, 기판 깨짐으로 인한 파손을 최소화시킬 수 있는 장점이 있다.

또한, 상기 기판의 네 모서리를 각각 접촉 고정하는 네개의 장착 측단부 중, 적어도 두 개 이상의 장착 측단부를 슬라이딩 가능하도록 구성하기 때문에, 다양한 사이즈를 가지는 기판에 대해서도 안정적으로 장착하여 이송시킬 수 있는 장점이 있다.

또한, 상기 기판의 측면에서 에칭액 등을 분사하는 방식인 사이드(side) 스프레이 방식 또는 상기 기판의 상측에서 에칭액 등을 분사하는 방식인 탑(top) 스프레이 방식 또는 침지 방식을 통하여 상기 기판에 대한 공정을 수행하는 과정에서, 상기 스트링에 의한 완충 작용으로 인하여 상기 기판의 깨짐 또는 손상을 방지할 수 있는 장점이 있다.

도 1은 종래의 일반적인 기판 이송 장치의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치의 사시도이다,
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치에 적용되는 스트링의 다양한 배치 구조를 보여주는 개략도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치에 적용되는 스트링 및 텐션 유지봉의 결합 구성도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치에 적용되는 스트링, 텐션 유지봉 및 위치 고정봉의 결합 구성도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치에 적용되는 장착 측단부의 슬라이딩 구조를 설명하기 위한 개략도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 상기와 같은 과제, 해결수단 및 효과를 가지는 본 발명인 기판 이송 장치에 관한 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.

이 과정에서 도면에 도시된 구성요소의 크기나 형상 등은 설명의 명료성과 편의상 과장되게 도시될 수 있다. 또한, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 한다.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치의 사시도이다.

도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 이송 장치(100)는 공정받을 기판을 수직으로 고정 적재한 후, 이를 이송시키기 위한 구성으로 이루어져 있다. 즉, 상기 본 발명에 따른 기판 이송 장치(100)는 기판(1)을 고정 장착하는 판 프레임(10)과 상기 판 프레임(10)을 이송시키는 이송 수단(30) 및 상기 수직으로 장착된 기판(1)의 양 측면을 지지하기 위한 한 쌍의 스트링(21)으로 구성된다.

상기 기판(1)을 고정 장착한 상기 판 프레임(10)은 상기 이송 수단(30)에 의하여 이송된다. 상기 이송 수단(30)은 상기 판 프레임(10)의 하단을 고정한 상태로 상기 기판(1)을 이송하기 위한 구성수단이다. 따라서, 상기 이송 수단(30)은 다양한 형태로 구성될 수 있다.

상기 이송 수단(30)이 상기 판 프레임(10)의 하단을 고정한 상태로 이송하게 되는 과정에서, 상기 판 프레임(10)은 수직한 상태를 유지해야 한다. 따라서, 상기 판 프레임(10)의 상단은 가이드 수단(50)에 결합된다.

결과적으로, 상기 판 프레임(10)은 상기 이송 수단(30)의 구동에 의하여 이송되되, 상단이 상기 가이드 수단(50)에 가이딩된 상태로 이동됨에 따라, 수직한 상태를 유지하면서 이송될 수 있다.

상기 이송 수단(30) 및 가이드 수단(50)은 다양한 구조 및 형태로 구성될 수 있고, 이 다양한 구조 및 형태 중, 어느 하나를 채택하면 된다. 따라서, 이하에서는 본 발명의 핵심적 구성에 해당하는 상기 판 프레임(10)의 구성과 상기 한 쌍의 스트링(21)에 대하여 상세하게 설명한다.

상기 판 프레임(10)은 도 2에 도시된 바와 같이, 전체적으로 사각 형상을 가지고 있고, 내부에 기판 장착홀(11)이 형성되어 있다. 상기 기판 장착홀(11) 역시 다양한 형상으로 형성될 수 있는데, 상기 기판(1)의 형상에 대응하여 사각 형상인 것이 바람직하다.

상기 기판 장착홀(11)은 네 개의 장착 측단부(13)에 의하여 구획된다. 상기 네 개의 장착 측단부(13)는 각각 상기 기판(1)의 네 모서리(네 측단)에 일대일 대응하고, 상기 기판(1)의 각 모서리는 상기 대응되는 장착 측단부(13)에 접촉된 상태로 장착된다. 결과적으로, 상기 기판(1)은 상기 장착 측단부(13)에 접촉된 상태로 고정 장착된다.

상기 장착 측단부(13)는 상기 기판(1)의 모서리(측단)가 접촉된 상태로 장착되어, 상기 기판(1)의 모서리가 이탈되지 못하도록 하기 위하여 긴 홈 형상으로 형성된다. 후술하겠지만, 상기 네 개의 장착 측단부(13) 중, 적어도 두 개 이상의 장착 측단부(13)는 수평 또는 수직 이동이 가능하도록 형성됨으로써, 상기 기판(1)이 상기 네 개의 측단부(13)에 안정적으로 장착 고정될 수 있도록 한다.

상기 판 프레임(10)이 수직한 상태로 이송되고, 상기 기판(1)이 상기 기판 장착홀(11)에 장착 고정되기 때문에, 상기 기판(1)은 상기 판 프레임(10)에 의하여 수직하게 고정 장착된다.

정리하면, 상기 판 프레임(10)은 상기 기판 장착홀(11)이 내부에 형성된 구조를 가지고, 상기 기판 장착홀(11)을 구획하는 네 개의 장착 측단부(13)에 상기 기판(1)의 각 모서리를 접촉시켜, 상기 기판(1)을 수직하게 고정 장착한다.

상기와 같은 기판 장착홀(11)을 구획하는 상기 네 개의 장착 측단부(13)에 상기 기판(1)의 모서리를 접촉 고정함으로써, 상기 기판(1)은 상기 기판 장착홀(11)에 고정 장착될 수 있다. 이와 같이 상기 판 프레임(10)에 장착된 기판(1)은 상기 이송 수단(30)의 구동에 의하여 이송될 수 있다.

그런데, 이와 같은 기판(1) 이송 과정에서, 상기 기판(1)이 박형이면서 대형이면, 상기 기판(1)은 흔들거리거나 출렁거릴 수 있다. 결과적으로, 상기 기판(1)은 출렁거림 현상 또는 흔들거림 현상 때문에, 파손될 가능성이 있다.

따라서, 본 발명에서는 상기 기판(1)의 출렁거림 또는 흔들거림 현상을 최소화하기 위하여 상기 기판(1)의 양 측면에 스트링(21)을 배치한다. 구체적으로, 상기 기판(1)의 양 측면에 평행하게 배치되는 한 쌍의 스트링(21)을 배치함으로써, 상기 기판(1)의 출렁거림 또는 흔들거림 현상에 따른 기판 파손 가능성을 최소화시킬 수 있다.

정리하면, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 한 쌍의 스트링(21)은 상기 기판(1)을 가운데 두고, 상기 기판(1) 양 측면에 각각 인접 배치되되, 텐션을 유지한 상태로 서로 평행하게 배치된다.

상기 한 쌍의 스트링(21)이 상기 기판(1)의 양 측면에 인접 배치되기 때문에, 상기 기판(1)은 이송 과정 중에, 흔들거림 또는 출렁거림 현상이 방지되고, 결과적으로 기판의 깨짐 또는 파손을 방지할 수 있다.

상기 한 쌍의 스트링(21)은 상기 기판(1)의 양 측면에 각각 인접하여 배치되어, 상기 기판(1)의 흔들거림 또는 출렁거림을 최소화할 수 있다면, 다양한 구조 및 개수로 배치될 수 있다.

즉, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 한 쌍의 스트링(21)은 수평 방향 또는 수직 방향 또는 사선 방향으로 배치될 수 있다. 구체적으로, 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이, 상기 한 쌍의 스트링(21)은 수평 방향으로 배치될 수 있고, 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이, 수직 방향으로도 배치될 수 있으며, 도 3의 (c)에 도시된 바와 같이 사선 방향으로도 배치될 수 있다.

더 나아가, 상기 한 쌍의 스트링(21)은 도 3의 (d)에 도시된 바와 같이, 서로 이격된 상태로 복수개가 배치될 수도 있다. 즉, 상기 한 쌍의 스트링(21)은 상기 기판의 사이즈가 큰 경우, 수평 방향 또는 수직 방향 또는 사선 방향으로 배치되되, 복수개가 배치될 수 있고, 복수개의 한 쌍의 스트링(21)은 서로 소정 간격 이격된 상태로 배치될 수 있다.

한편, 상기 한 쌍의 스트링(21)은 텐션을 유지한 상태로 상기 기판(1)의 양 측면에 배치되어야 한다. 따라서 본 발명에서는 상기 한 쌍의 스트링(21)의 양 끝단을 텐션 유지봉(23)에 결합하고, 이를 통하여 상기 한 쌍의 스트링(21)이 텐션을 유지할 수 있도록 한다.

상기 텐션 유지봉(23)은 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 네 개의 장착 측단부(13) 중, 서로 마주보는 두 개의 장착 측단부(13)에 각각 인접하여 하나씩 형성되되, 상기 텐션 유지봉(23)은 상기 판 프레임(10) 상에 형성된다. 이와 같은 상기 텐션 유지봉(23)은 상기 한 쌍의 스트링(21)의 양 끝단을 각각 결합한 상태로 유지한다.

정리하면, 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 네 개의 장착 측단부(13) 중, 서로 마주보는 두 개의 장착 측단부(13)에 각각 인접하여 상기 판 프레임(10) 상에 텐션 유지봉(23)이 형성되고, 상기 한 쌍의 스트링(21)의 양 끝단은 각각 상기 텐션 유지봉(23)에 결합된다.

구체적으로, 상기 각각의 텐션 유지봉(23)은 상기 판 프레임(10)에 고정 부착되거나, 상기 판 프레임(10)을 관통한 상태로 장착된다. 결과적으로, 상기 텐션 유지봉(23)은 상기 판 프레임(10)의 양측면에서 각각 돌출되도록 형성될 수 있다.

이와 같이 상기 판 프레임(10) 상에 형성되는 상기 텐션 유지봉(23)은 상기 한 쌍의 스트링(21)을 각각 텐션이 유지된 상태로 고정한다.

구체적으로, 상기 두 개의 장착 측단부(13) 중, 하나의 장착 측단부(13)에 인접하여 상기 판 프레임(10)에 장착되는 텐션 유지봉(23, "제1 텐션 유지봉")은 상기 판 프레임(10)의 양 측면에서 각각 돌출된 형태로 장착되고, 상기 다른 하나의 장착 측단부(13)에 인접하여 상기 판 프레임(10)에 장착되는 텐션 유지봉(23, 제2 텐션 유지봉") 역시 상기 판 프레임(10)의 양 측면에서 각각 돌출된 형태로 장착된다.

따라서, 상기 한 쌍의 스트링(21) 중, 하나의 스트링(21)은 상기 제1 텐션 유지봉의 일측 부분(상기 판 프레임(10)의 양 측면 중, 하나의 측면에서 돌출된 부분)과 상기 제2 텐션 유지봉의 일측 부분(상기 판 프레임(10)의 양 측면 중, 하나의 측면에서 돌출된 부분)에 각 끝단이 결합되어 텐션을 유지한 상태로 고정된다.

그리고, 상기 한 쌍의 스트링(21) 중, 다른 하나의 스트링(21)은 상기 제1 텐션 유지봉의 타측 부분(상기 판 프레임(10)의 양 측면 중, 다른 하나의 측면에서 돌출된 부분)과 상기 제2 텐션 유지봉의 타측 부분(상기 판 프레임(10)의 양 측면 중, 다른 하나의 측면에서 돌출된 부분)에 각 끝단이 결합되어 텐션을 유지한 상태로 고정된다.

결과적으로, 상기 한 쌍의 스트링(21)은 상기 서로 대응되어 상기 판 프레임(10)에 장착되는 한 쌍의 텐션 유지봉(제1 텐션 유지봉과 제2 텐션 유지봉)에 각각의 끝단이 고정 결합됨으로써, 텐션을 유지할 수 있다.

한편, 상기 스트링(21)은 시간이 지나면서 텐션이 약해질 수 있기 때문에, 다시 소정의 텐션을 유지할 수 있도록 하는 구조가 필요할 수 있다. 더 나아가, 필요에 따라 상기 스트링(21)의 텐션은 조정될 필요가 있다. 따라서, 본 발명에서는 상기 스트링(21)의 텐션을 조정할 수 있는 구조를 더 구비한다.

즉, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 두 개의 장착 측단부(13) 중, 하나의 장착 측단부(13)에 인접하여 상기 판 프레임(10) 상에 형성되는 텐션 유지봉(23)은 상기 판 프레임(10)에 고정되어 장착되고, 다른 하나의 장착 측단부(13)에 인접하여 상기 판 프레임(10) 상에 형성되는 텐션 유지봉(23)은 상기 판 프레임(10)에 회전 가능하도록 장착되며, 상기 회전 가능하도록 장착되는 텐션 유지봉(23)은 위치 고정봉(25)에 의하여 고정될 수 있는 구조를 채택한다.

구체적으로, 상기 서로 대응되는 한 쌍의 텐션 유지봉(23) 중, 하나의 텐션 유지봉(23)은 상기 판 프레임(10)에 고정된 상태로 장착된다. 그리고, 다른 하나의 텐션 유지봉(23)은 상기 판 프레임(10)에 회전 가능하도록 장착된다.

상기 스트링(21)은 상기 하나의 텐션 유지봉(23)과 다른 하나의 텐션 유지봉(23)에 고정된 상태로 결합되고, 상기 다른 하나의 텐션 유지봉(23)이 회전될 수 있기 때문에, 상기 다른 하나의 텐션 유지봉(23)을 회전시킴으로써, 상기 스트링(21)의 텐션(장력)은 조정될 수 있다.

상기 다른 하나의 텐션 유지봉(23)을 회전시켜서 상기 스트링의 텐션을 조정한 후에는 상기 다른 하나의 텐션 유지봉(23)이 회전되지 않고 고정될 수 있어야 한다. 따라서, 상기 다른 하나의 텐션 유지봉(23)의 둘레면은 요철 구조로 형성하고, 상기 요철 구조의 오목부(23a)에 상기 위치 고정봉(25)을 삽입한 후, 상기 위치 고정봉(25)을 상기 판 프레임(10)에 관통시킴으로써, 상기 다른 하나의 텐션 유지봉(23)이 회전되지 않도록 한다.

상기 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 다른 하나의 텐션 유지봉(23)의 둘레면은 오목부(23a)와 볼록부(3b)가 반복 형성된 요철 구조를 가진다. 그리고, 상기 다른 하나의 텐션 유지봉(23)에 인접한 상기 판 프레임(10)에는 상기 위치 고정봉(25)이 관통할 수 있는 관통홀(미도시)이 형성된다. 물론, 상기 관통홀을 형성하지 않고, 상기 관통홀이 형성되어야 할 부분에 상기 위치 고정봉(25)이 삽입될 수 있는 고정홈(미도시)을 상기 판 프레임(10) 상에 형성시킬 수도 있다.

따라서, 상기 다른 하나의 텐션 유지봉(23)을 회전시켜서 상기 스트링을 감은 후(텐션을 조정한 후), 상기 위치 고정봉(25)을 상기 텐션 유지봉의 둘레면에 형성된 오목부(23a)에 접촉 삽입한 후, 상기 판 프레임(10) 상에 형성된 고정홈(미도시) 또는 관통홀(미도시)에 삽입함으로써, 상기 다른 하나의 텐션 유지봉을 더 이상 회전되지 않도록 고정할 수 있다. 결과적으로, 텐션을 조정한 상태로 상기 텐션 유지봉을 고정할 수 있다.

이와 같이 구성되는 상기 한 쌍의 스트링은 상호 이격된 상태로 복수개로 구성될 수 있다(도 3의 (d) 참조). 물론 이와 같이, 상기 한 쌍의 스트링을 복수개로 구성하는 경우, 상기 각각의 한 쌍의 스트링에 대응하는 상기 텐션 유지봉(23) 역시 복수개로 구성된다.

한편, 상술한 바와 같이, 상기 기판(1)은 상기 네 개의 장착 측단부(13)에 접촉 고정된 상태로 장착 고정된다. 그리고, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 네 개의 장착 측단부(13) 중, 적어도 두 개 이상의 장착 측단부(13)는 상기 기판 장착홀(11)의 중심 방향과 그 반대 방향으로 왕복 이동할 수 있는 슬라이딩 구조로 상기 판 프레임(10)에 결합되도록 구성할 수 있다.

구체적으로, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 네 개의 장착 측단부(13) 중, 상하 장착 측단부 중, 어느 하나와 좌우 장착 측단부 중, 어느 하나는 슬라이딩 가능 구조로 구성할 수 있다. 결과적으로, 다양한 사이즈의 기판을 상기 네개의 장착 측단부(13)에 고정 장착할 수 있다.

상기 슬라이딩 구조를 가지는 장착 측단부(13)는 슬라이딩 판(17)이 상기 판 프레임(10) 상에서 슬라이딩될 수 있도록 구성한다. 구체적으로, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 판 프레임(10) 상에 슬라이딩 홀(15)을 형성하고, 고정 볼트(19)를 상기 슬라이딩 판(17)에 관통 결합하고, 상기 고정 볼트(19)를 상기 슬라이딩 홀(15)에 삽입시킨 상태에서, 상기 슬라이딩 판(17)을 왕복 이동시킴으로써, 상기 슬라이딩 판(17)의 위치를 조정할 수 있으며, 상기 위치 조정된 슬라이딩 판(17)은 상기 고정 볼트(19)의 끝단에 고정 너트(19a)를 결합함으로써, 상기 판 프레임(10)에 고정될 수 있다.

상기 슬라이딩 판(17)의 전단이 상기 장착 측단부(13)에 해당된다. 따라서, 도 6에 도시된 바와 같이, 상측 장착 측단부와 좌측 장착 측단부를 슬라이딩 구조 가능하게 형성하게 되면, 상기 기판을 우선적으로 상기 우측 장착 측단부와 하측 장착 측단부에 각각 대응하는 기판의 모서리를 접촉시키고, 상기 슬라이딩 구조로 형성된 상기 상측 장착 측단부와 좌측 장착 측단부를 슬라이딩시킴으로써, 상기 기판의 대응되는 나머지 모서리을 접촉 고정할 수 있다. 결과적으로, 상기 기판은 상기 기판 장착홀에서 상기 네개의 장착 측단부에 의하여 고정 장착될 수 있다.

이상에서 본 발명에 따른 실시예들이 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 분야에서 통상적 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 범위의 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 다음의 특허청구범위에 의해서 정해져야 할 것이다.

1 : 기판 10 : 판 프레임
11 : 기판 장착홀 13 : 장착 측단부
15 : 슬라이딩 홀 17 : 슬라이딩 판
19 : 고정 볼트 19a : 고정 너트
21 : 스트링 23 : 텐션 유지봉
23a : 오목부 23b : 볼록부
25 : 위치 고정봉 30 : 이송 수단
50 : 가이드 수단 100 : 기판 이송 장치

Claims (6)

1. 기판 이송 장치에 있어서,
   기판 장착홀이 내부에 형성되고, 상기 기판 장착홀을 구획하는 네 개의 장착 측단부에 상기 기판의 각 모서리를 접촉시켜, 상기 기판을 수직하게 고정 장착하는 판 프레임;
   상기 판 프레임을 이송시키는 이송 수단;
   상기 기판을 가운데 두고, 상기 기판 양 측면에 각각 인접 배치되되, 텐션을 유지한 상태로 서로 평행하게 배치되는 한 쌍의 스트링을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
   
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 한 쌍의 스트링은 수평 방향 또는 수직 방향 또는 사선 방향으로 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
   
3. 청구항 2에 있어서,
   상기 네 개의 장착 측단부 중, 서로 마주보는 두 개의 장착 측단부에 각각 인접하여 상기 판 프레임 상에 텐션 유지봉이 형성되고, 상기 한 쌍의 스트링의 양 끝단은 각각 상기 텐션 유지봉에 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
   
4. 청구항 3에 있어서,
   상기 두 개의 장착 측단부 중, 하나의 장착 측단부에 인접하여 상기 판 프레임 상에 형성되는 텐션 유지봉은 상기 판 프레임에 고정되어 장착되고, 다른 하나의 장착 측단부에 인접하여 상기 판 프레임 상에 형성되는 텐션 유지봉은 상기 판 프레임에 회전 가능하도록 장착되며, 상기 회전 가능하도록 장착되는 텐션 유지봉은 위치 고정봉에 의하여 고정되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
   
5. 청구항 1 내지 청구항 4 중, 어느 한 항에 있어서,
   상기 한 쌍의 스트링은 상호 이격된 상태로 복수개로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.
   
6. 청구항 1 내지 청구항 4 중, 어느 한 항에 있어서,
   상기 네 개의 장착 측단부 중, 적어도 두 개 이상의 장착 측단부는 상기 기판 장착홀의 중심 방향과 그 반대 방향으로 왕복 이동할 수 있는 슬라이딩 구조로 상기 판 프레임에 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 이송 장치.

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