KR20150002176A - 기판 표면 연마 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 연마 장치는 기판이 안착된 지그가 투입되는 투입부, 투입부로부터 이송된 상기 기판을 연마하는 연마부; 및 연마부로부터 이송된 상기 기판을 세척하는 세척부를 포함하고, 연마부는 상기 지그에 대향하여 볼록한 곡면을 가지고, 상기 기판의 표면 상에서 회전 운동을 하여 상기 기판을 연마하는 복수 개의 롤러를 포함하며, 투입부, 연마부, 세척부는 컨베이어를 통해 연속적으로 이어진다.
본 발명에 따르면 연마 브러쉬를 격자 모양 및 서로 다른 방향으로 회전 시킴으로서 기판의 스크래치를 방지할 수 있다.

Description

기판 표면 연마 장치{Surface-grinding apparatus for substrate}

본 발명은 기판 표면 연마 장치에 대한 것이다.

종래 핸드폰에 사용되는 표시창은 가격이 저렴하고 제작이 간편한 아크릴 수지가 사용되고 있었지만, 최근 터치에 의한 핸드폰 기능 수행 방법이 점차 보급화 됨에 따라서 아크릴과 같은 합성 수지 재질로서는 스크래치 문제 (강도 문제), 열에 의한 취약성, 낮은 투과율, 휘도 유지를 위한 배터리 소모량 문제 등으로 인해서 더 이상 사용될 수 없으므로 강화 유리가 터치 패널에 사용되고 있다.

강화 유리는 원판 글라스를 카세트에 적재한 상태로 절단하여 윈도우 글라스의 외관을 갖도록 한 다음, 외각을 그라인딩 하며, 기타 홀 가공 및 면취 가공, 홀 내면을 연마하여 외형을 가공하는 공정을 거친다. 연이어 윈도우 글라스의 양면을 표면 연마하고 수세단계 및 열처리 과정 등 후공정을 거치면 윈도우 글라스의 제조가 완료된다. 강화 유리의 제조 공정 중, 윈도우 글라스의 양면에 대한 표면 연마는 판(plate) 형상의 글라스인 경우에는 비교적 단순한 공정으로 마무리 될 수 있지만, 윈도우 글라스의 표면이 곡면일 경우에는 효과적으로 표면 연마가 이루어질 수 없다.

상기한 바와 같이 윈도우 글라스를 곡면으로 가공한 후에는 광택을 내고 투명하게 하기 위한 래핑 및 폴리싱 등의 표면 연마 공정이 필요하지만, 종래 곡면 표면 연마는 수작업으로 곡면 상의 각 부위 별로 이루어졌기 때문에 표면 연마 작업으로 인한 작업 시간이 매우 길어 생산성이 현저히 저하되었고, 윈도우 글라스의 투명도도 균일하지 못하였으며, 작업 중 윈도우 글라스가 자주 파손되는 문제점이 있었다.

또한, 종래 수작업으로 곡면을 표면 연마하거나 CNC 머신으로 곡면을 표면 연마하는 경우에는, 특정 부위인 곡면(가장자리)에만 연마를 하기 때문에 연마를 하지 않은 평면 (가운데 부위)과는 색상이 달라서 색상 편차에 의한 색상 불량으로 간주될 수 있고 스크래치가 발생하여 재생작업 (Rework 작업)을 하여야 할 경우에도 가장자리인 곡면 부위가 깎이므로 평면연마기로는 연마 작업이 불가능한 문제점이 있었으며, 유리 기판의 연마 공정 중에 이용되는 연마 플레이트와 유리 기판의 접촉 시에 유리 기판의 표면에 스크래치가 발생하는 문제점이 있고, 유리 기판의 스크래치는 상기 유리 기판을 이용하는 표시 장치의 성능을 저하시키는 문제점이 있었다.

본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 기판의 연마 공정에 있어서 외부 및 내부 연마 가공을 동시에 수행할 수 있으며 곡면을 갖는 기판에 대해 효율적으로 연마 가공을 수행하고 공정을 단순화할 수 있고 생산성을 향상시킬 수 있는 기판의 연마 장치를 제공하고자 한다.

이러한 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 실시예에 따르면, 기판이 안착된 지그가 투입되는 투입부; 상기 투입부로부터 이송된 상기 기판을 연마하는 연마부; 상기 연마부로부터 이송된 상기 기판을 세척하는 세척부; 상기 연마부는 상기 지그에 대향하여 볼록한 곡면을 가지고, 상기 기판의 표면 상에서 회전 운동을 하여 상기 기판을 연마하는 복수 개의 롤러를 포함하며, 상기 투입부, 연마부, 세척부는 컨베이어를 통해 연속적으로 이어지는, 기판 표면 연마 장치를 제공한다.

상기 롤러는 지그의 이송 방향에 수직 방향으로 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.

상기 지그의 기판의 배치부는 롤러에 대향하여 오목한 모양을 가질 수 있다. 이 경우, 상기 지그의 기판의 배치부는 롤러와 동일한 개수이며 롤러에 각각 대응되도록 배치되어 있다.

또한, 상기 지그의 기판의 배치부는 롤러에 대향하여 볼록한 모양을 가질 수 있다. 이 경우, 상기 지그의 기판의 배치부는 상기 지그의 이동에 따라 각 2개의 롤러 사이 사이에 대응되도록 배치되어 있다.

상기 지그의 기판의 배치부는 로딩된 글라스를 흡착 유지하기 위한 진공 유지부를 포함할 수 있다.

상기 롤러의 하부는 격자 형태의 브러쉬로 이루어질 수 있다.

상기 롤러의 하부는 연마제를 머금을 수 있는 홈을 포함할 수 있다.

상기 롤러의 브러쉬 모 직경은 0.1~0.5mm 일 수 있다.

상기 브러쉬의 모 길이는 6~10mm 일 수 있다.

상기 롤러들 중 인접한 롤러는 상호 반대 방향으로 회전할 수 있다.

상기 연마부에는 연마제의 투여부; 를 더 포함할 수 있다.

상기 세척부 이 후에 검사부 및 분리 정리부를 더 포함할 수 있다.

이상과 같이 본 발명에 따르면, 액정 디스플레이의 화면 보호용 기판이 곡면의 형상을 갖는 경우에도 하나의 연마 시스템에서 곡면부의 연마와 세척, 검사에 이르는 연마 공정을 모두 수행할 수 있는 장점이 있으며, 기판의 내주면 또는 곡면 형상을 갖는 외주면을 컨베이어의 움직임을 방해하지 않으면서 연마할 수 있는 장점이 있다.

또한, 본 발명에 따르면 연마 브러쉬를 격자 모양 및 서로 다른 방향으로 회전 시킴으로서 기판의 스크래치를 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 연마 장치의 개략도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 지그 중 롤러에 대향하여 오목한 모양을 가진 지그를 나타낸 도이다.
도 3은 도 2의 III-III의 단면선에 따른 단면도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 지그 중 롤러에 대향하여 볼록한 모양을 가진 지그를 나타낸 도이다.
도 5는 도 4의 V-V의 단면선에 따른 단면도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 연마부의 롤러를 나타낸 도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 기판(G)의 연마 단면의 형상을 나타낸 도이다[(a) 외측 연마 단면 형상, (b) 내측 연마 단면 형상].
도 8은 본 발명의 실시예에 따른 기판의 연마 시 롤러 하부 브러쉬의 접촉 형상을 나타낸 도이다.

첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.

도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.

이제 본 발명의 실시예에 따른 기판 표면 연마 장치에 대하여 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.

도 1은 일 구현예에 따른 기판 연마 장치를 도시한 단면도이다.

도 1을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 연마 장치를 설명한다.

일 실시예에 따른 기판 연마 장치는 지그(10)의 투입부(100), 및 지그(10)위 에 배치되어 있는 기판(G)을 연마하는 연마부(200), 및 세척부(300)로 구성되어 있으며, 추가로 검사부(400), 분리 정리부(500)가 포함될 수 있다.

지그(10)는 컨베이어(1000)를 통하여 투입부(100)에서 연마부(200), 세척부(300), 검사부(400), 분리정리부(500)로 차례로 이송된다.

지그의 투입부(100), 연마부(200) 및 세척부(300)는 기판(G)이 흡착되어 있는 지그(10)를 수평으로 이동시키는 컨베이어(1000)로 연결되어 있다.

투입부(100)는 기판(G)이 흡착된 지그(10)를 글라스 연마 장치에 투입하는 부분으로, 기판(G)은 기판(G)이 흡착된 지그(10)를 통하여 기판 연마 장치에 투입된다.

연마부(200)는 투입부(100)에서 컨베이어(1000)를 통하여 지그(10)에 흡착되어 이송된 기판(G)를 연마하는 부분이다.

연마부(200)는 컨베이어(1000) 라인 상에 이동 가능하게 결합되며, 연마 대상이 되는 기판(G)이 배치되는 지그(10)에 대향하여 볼록한 곡면을 가지는 복수개의 롤러(20)로 구성된다.

연마부(200)에는 롤러(20)와 지그(10) 사이에 배치된 기판(G)의 연마제가 투여될 수 있는 연마제 투여부가 포함될 수 있다.

연마제로는 산화세륨(CeO₂)와 같은 연마제가 사용될 수 있으며, 기판(G)의 연마 시, 브러쉬(23)와 기판(G) 사이에 연마제가 분사될 수 있다.

복수 개의 롤러(20)는 기판(G)의 표면을 연마하기 위한 연마장치로서 수 회에 걸쳐 연마가 진행될 수 있도록 컨베이어의 이송 방향에 따라 여러 단계로 배치되어 있을 수 있다.

롤러(20)는 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전하면서 기판(G)과 접촉하여, 기판(G)을 연마하는 것으로서, 롤러(20)와 기판(G)이 접촉하는 부분은 격자 형태의 브러쉬(23)로 이루어져 있다. 롤러(20) 하부의 브러쉬(23)의 모 직경은 0.1~0.5mm인 것이 바람직하며, 모 길이는 6~10mm인 것이 바람직하다. 롤러(20)의 하부는 연마부(200)에 투입되는 연마제를 머금을 수 있는 홈을 포함할 수 있다.

지그(10)의 기판 배치부(11, 12)에 안착된 기판(G)은 롤러(20)에 배치되어 있는 브러쉬(23)에 접촉하고, 롤러(20)가 회전함에 따라, 기판(G)이 연마되는데, 볼록한 기판(G)의 연마는 각 롤러(20)의 사이 공간에서 연마되고, 오목한 기판(G)의 연마는 각 롤러(20)에 각 기판(G)이 정면으로 대향하여 연마된다.

세척부(300)는 롤러(20)에 의해 연마된 기판(G)을 세척하는 부분이다. 세척부(300)에서는 기판(G)에 남아 있는 연마에 의해 발생된 연마 찌꺼기 및 연마제 등을 세정제를 사용하여 세척한다.

추가로 포함될 수 있는 검사부(400) 및 분리정리부(500)은 연마부(200) 및 세척부를 거쳐 컨베이어(1000)를 통하여 이송된 연마된 기판(G)의 연마 상태에 불량이 있는지 여부를 검사하고, 불량이 없는 기판(G)을 지그(10)로부터 기판(G)을 분리하는 부분이다. 불량이 있는 기판(G)은 불량 내용에 따라 연마, 세척을 재진행한다.

롤러(20)는 지그(10)의 이송 방향에 대해 위쪽으로 수직 방향에 배치되어 있어, 지그(10)에 흡착되어 있는 기판(G)을 위에서 아래로 접촉하여 연마할 수 있다.

이하에서는 도 2 및 도 3을 통하여 오목한 기판(G)의 연마용 지그(10a)와 그 위에 위치하는 기판(G)에 대하여 상세하게 알아본다.

도 2 및 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 지그(10) 중 롤러(20)에 대향하여 오목한 모양을 가진 지그(10a)와 오목한 모양을 가진 지그(10a)의 단면도를 나타낸 도이다.

도 2를 참고하면, 지그(10a) 위 쪽으로 기판의 배치부(11)가 형성되어 있으며, 롤러(20)에 대향하여 오목한 형상을 하고 있다. 이는 오목한 기판(G)의 표면을 연마하기 위한 지그(10a)이다.

지그(10a)는 연마부(300)에 배치된 롤러(20)와 동일한 개수로서, 각 기판(G)마다 각 롤러가 1:1로 대응되어 연마될 수 있도록 기판 배치부가 구성되어 있다. 본 실시예에서는 지그(10)에 기판(G)이 6개 안착하는 것으로 나타내고 있지만, 이에 한정하지 않고, 6개 보다 많거나 적을 수도 있다.

오목한 모양의 기판 배치부(12)를 가진 지그(10a)의 단면도는 도 3에 도시되어 있다.

도 3을 참고하면, 각 기판(G)은 지그(10a)의 각 기판 배치부(11) 각각에 배치되어 연마가 진행되며, 각 기판 배치부(11)의 곡률은 기판(G)의 곡률과 동일하다.

기판(G)은 유리로 이루어질 수 있고, 중앙부가 오목하게 구부러진 곡면을 포함할 수 있다. 지그(10)는 곡면을 포함하는 기판(G)이 흡착될 수 있도록, 기판 배치부(11)는 오목부(11)를 포함하며, 각 기판 배치부(11)는 로딩된 기판(G)을 흡착 유지하기 위한 진공 유지부를 추가로 포함할 수 있다.

이하에서는 도 4 및 도 5을 통하여 오목한 기판(G)의 연마용 지그(10a)와 그 위에 위치하는 기판(G)에 대하여 상세하게 알아본다.

도 4 및 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 지그(10) 중 롤러(20)에 대향하여 볼록한 모양을 가진 지그(10b) 및 볼록한 모양을 가진 지그(10b)의 단면도를 나타낸 도이다.

도 4를 참고하면, 지그(10b) 위 쪽으로 기판의 배치부(12)가 형성되어 있으며, 2개 이상의 롤러(20)의 가장자리의 오목한 부분에 대향하여 볼록한 형상을 하고 있다. 이는 볼록한 기판(G)의 표면을 연마하기 위한 지그(10b)이다.

지그(10b)는 연마부(300)에 배치된 2개 이상의 롤러(20) 사이 사이에 대응되도록 배치되어 연마될 수 있도록 기판 배치부(12)가 구성되어 있다.

볼록한 모양의 기판 배치부(12)를 가진 지그(10b)의 단면도는 도 5에 도시되어 있다.

도 5를 참고하면, 각 기판(G)은 지그(10b)의 각 기판 배치부(12) 각각에 배치되어 연마가 진행되며, 각 기판 배치부(12)의 곡률은 기판(G)의 곡률과 동일하다.

기판(G)은 유리로 이루어질 수 있고, 중앙부가 볼록하게 구부러진 곡면을 포함할 수 있다. 지그(10b)는 곡면을 포함하는 기판(G)이 흡착될 수 있도록, 기판 배치부(12)는 볼록부(12)를 포함하며, 각 기판 배치부(12)는 로딩된 기판(G)을 흡착 유지하기 위한 진공 유지부를 추가로 포함할 수 있다.

지그(10a)의 오목부(11)에는 기판(G)의 제1 표면(이 후 뒷면이라고 함)이 접촉하여 기판(G)이 안착되고, 지그(10b)의 볼록부(12)에는 기판(G)의 뒷면에 대해 반대 쪽인 기판(G)의 제2 표면(이 후 앞면이라고 함)이 접촉하여 기판(G)이 안착된다.

즉, 지그(10)의 오목부(11)에서는 기판(G)의 앞면이 노출되고, 지그(10)의 볼록부(12)에서는 기판(G)의 뒷면이 노출된다. 이와 같이, 지그(10)의 오목부(11) 및 볼록부(12)에 안착된 기판(G)은 각각 앞면 및 뒷면을 노출시켜, 기판(G)의 앞면 및 뒷면을 연마시킨다.

이하에서는 도 6을 통하여 연마부(200)의 롤러(20)에 대하여 상세하게 알아본다.

도 6은 본 발명의 실시예에 따른 연마부의 롤러를 나타낸 도이다.

롤러(20)는 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전하면서 기판(G)과 접촉하여, 기판(G)을 연마하는 것으로서, 롤러(20)와 기판(G)이 접촉하는 부분은 격자 형태의 브러쉬(23)로 이루어져 있다. 브러쉬(23)가 일자 모양일 때는 브러쉬(23)가 한 방향으로만 회전하게 되어 기판(G)의 표면에 스크래치(scratch)가 생길 가능성이 있는데, 브러쉬(23)를 격자 형태의 브러쉬(23)로 롤러(20)의 하부를 구성하여 기판(G)의 스크래치를 방지할 수 있는 효과가 있다.

롤러(20) 하부의 브러쉬(23)의 모 직경은 0.1~0.5mm인 것이 바람직하며, 이는 모 직경이 0.1mm 미만인 경우 기판(G)의 표면이 연마가 잘 되지 않으며, 모 직경이 0.5mm 초과인 경우 기판(G)의 표면에 데미지가 발생할 수 있기 때문이다.

롤러(20) 하부의 브러쉬(23)의 모 길이는 6~10mm인 것이 바람직한데, 상기 범위의 모 길이를 가짐으로써, 롤러(20)에 적당한 압력을 통해 브러쉬(23)의 끝 부분이 눌리도록 하여 브러쉬(23)의 측면으로 연마를 할 수 있어 스크래치를 방지할 수 있는 효과가 있다.

롤러(20) 하부의 곡면은 기판(G)의 앞면과 대응되며, 2개의 롤러(20)의 하부가 만나는 지점의 곡면은 기판(G)의 뒷면과 대응된다. 롤러(20) 하부의 브러쉬(23)에 의해 기판(G)이 연마되기 때문에 롤러(20) 하부의 곡면과 기판(G)의 곡면이 정확히 일치하지 않아도 되며, 곡면의 곡률에 일정 수준의 오차가 있어도 연마가 가능하다.

롤러(20)의 하부는 연마부(200)에 투입되는 연마제를 머금을 수 있는 홈을 포함할 수 있는데, 롤러(20)의 브러쉬(23) 안 쪽에 홈을 파서 연마제를 효과적으로 머금을 수 있다.

롤러(20)는 연마부(200)에 복수개가 배치되어 있는데, 인접한 롤러는 상호 각각 시계 방향과 반시계 방향으로 반대 방향으로 회전한다.

이하에서는 도 7을 통하여 상기 롤러(20)에 의한 기판(G)의 연마 형상에 대해 상세하게 알아본다.

도 7은 일 실시예에 따른 기판(G)의 연마 단면의 형상의 단면도를 나타낸 것으로, (a)는 외측 연마 단면 형상으로서, 볼록한 기판(G)의 연마 시의 단면을 나타낸 것이고; (b)는 내측 연마 단면 형상으로서, 오목한 기판(G)의 연마 시의 단면을 나타낸 것이다.

도 7을 참고하면, 기판(G)이 안착된 지그(10)가 투입부(100)에서 컨베이어(1000)를 통해 연마부(200)로 이송되면, 연마부(200)의 롤러(20)에 의해 기판(G)의 표면이 연마된다.

지그(10)의 기판 배치부(11, 12)에 안착된 기판(G)은 롤러(20)에 배치되어 있는 브러쉬(23)에 접촉하고, 롤러(20)가 회전함에 따라, 기판(G)이 연마된다. 이 때, 브러쉬(23)와 기판(G) 사이에 연마제가 분사될 수 있다.

볼록한 기판(G)의 연마는 각 롤러(20)의 사이 공간에서 연마되고(a), 오목한 기판(G)의 연마는 각 롤러(20)에 각 기판(G)이 정면으로 대향하여 연마된다(b).

도 7(a)를 참고하면, 기판(G)의 볼록한 부분에 해당하는 뒷면의 연마 형상으로서 각 기판(G)은 각 롤러(20) 사이에 위치하고, 각 기판(G)의 사이에 롤러(20)의 중앙부가 위치한 상태에서 연마된다. 이 때 하나의 기판(G)에 맞닿아 있는 각 롤러(20)는 반대 방향으로 회전하면서 기판(G)을 연마한다.

도 7(b)를 참고하면, 기판(G)의 오목한 부분에 해당하는 앞면의 연마 형상으로서 각 기판(G)은 각 롤러(20)와 정면으로 대향한 상태에서 한 개의 롤러(20) 당 하나의 기판(G)이 대응되어, 롤러(20)의 회전에 의해 기판(G)이 연마된다.

또한, 기판(G)은 지그(10)에 안착되어 컨베이어(1000)를 통하여 이동하면서 연마된다. 즉, 기판(G)은 복수 개의 롤러(20)를 지나면서, 연마가 완료되는데, 이 때, 컨베이어(1000)는 10초 이상 멈추어서는 안 된다. 컨베이어(1000)가 10초 이상 멈추었을 때, 즉, 기판(G)이 이동하지 않고 10초 이상 멈추었을 때, 롤러(20)는 계속 회전하면서, 기판(G)을 연마하고 있기 때문에 기판(G)의 표면에 데미지가 발생할 수 있다.

도 8은 일 실시예에 따른 롤러(20) 하부의 브러쉬(23)가 기판(G) 연마 시의 접촉 형상을 나타낸 도이다.

도 8을 참고하면, 롤러(20) 하부의 브러쉬(23)의 측면이 기판(G)에 접촉되어 연마가 수행되는 것을 볼 수 있다.

기판(G)의 연마 시, 브러쉬(23)의 끝부분과 기판(G)의 표면을 접촉시킨 후, 약 3mm 정도 롤러(20)를 기판(G) 방향으로 수직 이동 시킨다. 이 때, 브러쉬(23)의 하부가 기판(G)의 표면에 접촉하여 롤러(20)가 회전함에 따라, 롤러(20) 하부의 브러쉬(23)의 측면을 이용하여 기판(G)의 표면을 연마시킨다.

도 8을 참고하면, 도 8(a)는 기판(G)의 연마 시 브러쉬(23)의 끝부분과 기판(G)의 표면이 접촉한 상태에 해당하며, 도 8(b)는 브러쉬(23)의 끝부분과 기판(G)의 표면이 접촉된 상태에서 약 3mm 정도 롤러(20)를 기판(G) 방향으로 수직 이동시켜 브러쉬(23)가 대략 3mm정도 눌려서 브러쉬(23)의 측면과 기판(G)의 표면이 맞닿아 있는 상태에 해당한다.

기판(G)의 연마는 도 8(b)와 같은 브러쉬(20)의 상태에서 이루어진다.

이상과 같이 본 발명에 따르면, 액정 디스플레이의 화면 보호용 기판이 곡면의 형상을 갖는 경우에도 하나의 연마 시스템에서 곡면부의 연마와 세척, 검사에 이르는 연마 공정을 모두 수행할 수 있는 장점이 있으며, 기판의 내주면 또는 곡면 형상을 갖는 외주면을 컨베이어의 움직임을 방해하지 않으면서 연마할 수 있는 장점이 있다.

또한, 본 발명에 따르면 연마 브러쉬를 격자 모양 및 서로 다른 방향으로 회전 시킴으로서 기판의 스크래치를 방지할 수 있다.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.

100: 지그 투입구 10: 지그
10a: 오목한 형상 지그 10b: 볼록한 형상 지그
200: 연마부 20: 롤러
300: 세척부 11: 오목한 기판 배치부
400: 검사부 12: 볼록한 기판 배치부
500: 분리 및 정리부 24: 회전부
1000: 컨베이어 G: 기판
23: 롤러 브러쉬 26: 롤러 몸체

Claims (14)

1. 기판이 안착된 지그가 투입되는 투입부;
   상기 투입부로부터 이송된 상기 기판을 연마하는 연마부; 및
   상기 연마부로부터 이송된 상기 기판을 세척하는 세척부를 포함하고,
   상기 연마부는 상기 지그에 대향하여 볼록한 곡면을 가지고, 상기 기판의 표면 상에서 회전 운동을 하여 상기 기판을 연마하는 복수 개의 롤러를 포함하며,
   상기 투입부, 연마부, 세척부는 컨베이어를 통해 연속적으로 이어지는, 기판 표면 연마 장치.
2. 제1항에서,
   상기 롤러는 상기 지그의 이송 방향에 수직 방향으로 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 표면 연마 장치.
3. 제2항에서,
   상기 지그의 글라스의 기판 배치부는 상기 롤러에 대향하여 오목한 것을 특징으로 하는 기판 표면 연마 장치.
4. 제3항에서,
   상기 지그의 곡면 글라스의 배치부는 상기 롤러와 동일한 개수로, 상기 롤러에 각각 정면으로 대향하도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 표면 연마 장치.
5. 제2항에서,
   상기 지그의 상기 기판의 배치부는 상기 롤러에 대향하여 볼록한 것을 특징으로 하는 기판 표면 연마 장치.
6. 제5항에서,
   상기 지그의 상기 기판의 배치부는 상기 지그의 이동에 따라 각각 상기 2개의 롤러 사이에 대응되며, 각 롤러의 중앙부는 기판 배치부의 사이에 대응되도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 표면 연마 장치.
7. 제3항 내지 제6항 중 어느 한 항에서,
   상기 지그의 상기 기판의 배치부는 로딩된 상기 기판을 흡착 유지하기 위한 진공 유지부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 표면 연마 장치.
8. 제1항에서,
   상기 롤러의 하부는 격자 형태의 브러쉬로 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 표면 연마 장치.
9. 제8항에서,
   상기 롤러의 하부는 연마제를 머금을 수 있는 홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 표면 연마 장치.
10. 제8항에서,
    상기 브러쉬의 모 직경은 0.1~0.5mm인 것을 특징으로 하는 기판 표면 연마 장치.
11. 제8항에서,
    상기 브러쉬의 모 길이는 6~10mm인 것을 특징으로 하는 기판 표면 연마 장치.
12. 제8항에서,
    상기 인접한 롤러는 상호 반대 방향으로 회전하는 것을 특징으로 하는 기판 표면 연마 장치.
13. 제1항에서,
    상기 연마부는 연마제의 투여부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 표면 연마 장치.
14. 제1항에서,
    상기 세척부 이 후에 검사부; 및
    분리 정리부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 표면 연마 장치.

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