KR20140139827A - 유기전계 발광장치의 제조방법 - Google Patents

유기전계 발광장치의 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20140139827A
KR20140139827A KR20130060428A KR20130060428A KR20140139827A KR 20140139827 A KR20140139827 A KR 20140139827A KR 20130060428 A KR20130060428 A KR 20130060428A KR 20130060428 A KR20130060428 A KR 20130060428A KR 20140139827 A KR20140139827 A KR 20140139827A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
printing
color ink
pixel defining
defining layer
Prior art date
Application number
KR20130060428A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102080731B1 (ko
Inventor
심우섭
안병선
김근탁
Original Assignee
삼성디스플레이 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성디스플레이 주식회사 filed Critical 삼성디스플레이 주식회사
Priority to KR1020130060428A priority Critical patent/KR102080731B1/ko
Priority to US14/030,837 priority patent/US9337245B2/en
Priority to CN201410122360.9A priority patent/CN104183548B/zh
Priority to TW103117607A priority patent/TW201503355A/zh
Publication of KR20140139827A publication Critical patent/KR20140139827A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102080731B1 publication Critical patent/KR102080731B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
    • H10K59/10—OLED displays
    • H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
    • H10K59/122—Pixel-defining structures or layers, e.g. banks
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B33/00—Electroluminescent light sources
    • H05B33/10—Apparatus or processes specially adapted to the manufacture of electroluminescent light sources
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/02104—Forming layers
    • H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
    • H01L21/02296—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer
    • H01L21/02318—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment
    • H01L21/02343—Forming insulating materials on a substrate characterised by the treatment performed before or after the formation of the layer post-treatment treatment by exposure to a liquid
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
    • H10K71/13—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Electroluminescent Light Sources (AREA)

Abstract

다원계 무기 산화물 박막 및 그 제조방법이 제공된다. 다원계 무기 산화물 박막은 비정질 무기 산화물 및 결정질 무기 산화물을 포함하되, 상기 비정질 무기 산화물이 박막의 전면에 분포되고, 상기 비정질 무기 산화물의 표면에서, 상기 결정질 무기 산화물이 상기 비정질 무기 산화물에 둘러싸여 비연속적으로 형성된다.

Description

유기전계 발광장치의 제조방법 {METHOD FOR PREPARING ORGANIC ELECTROLUMINESCENCE DEVICE}
유기전계 발광장치의 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판 상에 컬러 패턴을 형성하는 단계, 상기 컬러 패턴 사이에 화소 정의막을 형성하는 단계를 포함하는 유기전계 발광장치의 제조방법에 관한 것이다.
반도체 장치, 표시 장치 또는 기타 전자 장치가 경량화, 소형화, 집적화가 요구됨에 따라 배선, 절연막 등의 미세 패턴의 중요성이 대두되고 있다. 따라서, 얼마나 저렴한 가격으로 정밀한 미세 패턴을 형성할 수 있느냐가 오늘날 기술력의 핵심으로 자리잡고 있다.
특히, 현재 각광받고 있는 유기전계 발광장치에서는 화소 정의막, 유기 발광층 등에서 정밀한 미세 패턴이 요구되어 다양한 패턴 형성 방법이 연구되고 있다.
따라서, 저렴한 가격으로 정밀한 미세 패턴을 형성하는 방법에 대한 연구가 필요하다.
이에, 본 발명이 해결하려는 과제는 유기전계 발광장치의 제조방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계 발광장치의 제조방법은 기판 상에 컬러 패턴을 형성하는 단계, 및 상기 컬러 패턴 사이에 화소 정의막을 형성하는 단계를 포함한다.
상기 과제를 달성하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계 발광장치의 제조방법은 음각으로 형성된 오목부를 포함하는 제1 인쇄기재의 상기 오목부에 컬러 잉크를 채우는 단계, 상기 제1 인쇄기재의 오목부에 채워진 상기 컬러 잉크를 제2 인쇄기재 상으로 전사하여 중간 컬러 잉크 패턴을 형성하는 단계, 상기 제2 인쇄기재의 중간 컬러 잉크 패턴을 기판에 인쇄하는 단계, 및 상기 기판 상에 형성된 컬러 잉크 패턴 사이 공간에 화소 정의막을 형성하는 단계를 포함한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.
즉, 보다 저렴한 비용으로 보다 정밀한 화소 정의막 및 유기 발광층의 미세 패턴을 형성할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계 발광장치의 제조방법의 개략적인 공정도이다.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계 발광장치의 제조 공정을 나타내는 개략적인 단면 모식도이다.
도 3a 내지 도 3b는 화소 정의막을 잉크젯 프린팅을 사용하여 기판 상에 형성하는 경우를 나타내는 단면 모식도이다.
도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계 발광장치의 제조 공정에서 컬러 패턴을 형성하는 공정을 나타내는 개략적인 단면 모식도이다.
도 5a 내지 도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계 발광장치의 제조 공정에서 화소 정의막을 형성하는 공정을 나타내는 개략적인 단면 모식도이다.
도 6는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계 발광장치의 제조방법에서 컬러 패턴을 형성하는 일 공정을 나타내는 개략적인 단면 모식도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계 발광장치의 제조방법에서 컬러 패턴을 형성하는 다른 공정을 나타내는 개략적인 단면 모식도이다.
도 8a 내지 도 8d는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계 발광장치의 제조방법에서 화소 정의막을 형성하는 공정을 나타내는 개략적인 단면 모식도이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기전계 발광장치의 제조방법에서 컬러 패턴을 형성하는 공정을 나타내는 개략적인 단면 모식도이다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기전계 발광장치의 제조방법에서 컬러 패턴을 형성하는 공정을 나타내는 개략적인 단면 모식도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층"위(on)"로 지칭되는 것은 다른 소자 바로 위에 또는 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계 발광장치의 제조방법의 개략적인 공정도이고, 도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계 발광장치의 제조 공정을 나타내는 개략적인 단면 모식도이며, 도 3a 내지 도 3b는 화소 정의막을 잉크젯 프린팅을 사용하여 기판 상에 형성하는 경우를 나타내는 단면 모식도이다.
이들 도면들을 참조하면, 유기전계 발광장치의 제조방법은 기판(10) 상에 컬러 패턴(21, 22, 23)을 형성하는 단계(S10), 및 컬러 패턴(21, 22, 23) 사이에 화소 정의막(30)을 형성하는 단계(S20)를 포함한다.
기존에는 화소 정의막(30)을 먼저 형성한 후 화소 정의막(30)에 의해 정의되는 공간에 컬러 패턴(21, 22, 23)을 형성하였다. 이 경우, 화소 정의막(30)을 기판(10) 상에 형성 시, 포토레시즈트(PR)을 전면에 스핀(spin) 및 슬릿(slit) 코터(coater)로 코팅한 후 노광 및 현상 방식으로 패터닝한다. 이는 시간 및 재료비의 과다 로스(loss)를 야기한다.
이를 보완하기 위하여, 잉크젯 프린팅 방식으로 기판(10) 상에 화소 정의막(30)을 형성할 경우, 소망하는 화소 정의막의 형상(점선)을 형성할 수 없다. 구체적으로, 잉크젯 헤드(310)와 잉크젯 노즐(320)을 포함하는 잉크젯 프린터(300)에서, 화소 정의막용 잉크(31)가 기판(10)으로 분사되고, 기판(10) 상에서 소망하는 화소 정의막의 형상(점선)과 달리 옆으로 유동하여 넓고 낮은 형상의 화소 정의막(30)을 형성하게 된다.
잉크젯 프린팅 방식에 사용되는 잉크의 경우, 잉크젯 헤드(310)의 미세 유로(미도시)와 노즐(320)에서 안정적으로 토출되기 위해서는 낮은 점도가 요구된다. 하지만, 낮은 점도일수록 유동성이 증가하여 상기와 같은 현상이 발생하게 된다.
이 경우, 화소 정의막(30)이 화소 영역을 침범하여 화소 영역에서의 발광 효율을 저하시킬 수 있어 바람직하지 않다. 뿐만 아니라, 화소 정의막(30)의 높이가 낮아져서, 컬러 패턴 (21, 22, 23)을 형성하는 경우 서로 혼색되어 불량이 발생할 수 있어 바람직하지 않다.
따라서, 기판(10) 상의 화소 영역에 컬러 패턴(21, 22, 23)을 먼저 형성하고, 컬러 패턴(21, 22, 23)을 격벽으로 하여 화소 정의막(30)을 형성함으로써, 포토레지스트 공정으로 인한 시간 및 재료 로스(loss)를 감소시킬 수 있다.
컬러 패턴(21, 22, 23)을 형성하는 방법으로는 별도의 제한이 있는 것은 아니지만, 예를 들어, FMM(fine metal mask)법, 그라비아법, 옵셋(off-set)법, 롤투롤(Roll-to-roll)법 등을 들 수 있지만, 이들만으로 한정되는 것은 아니다.
화소 정의막(30)을 형성하는 방법으로는 잉크젯 프린팅법 또는 노즐 프린팅법을 들 수 있지만, 이들만으로 한정되는 것은 아니다.
기판(10)은 스위칭 소자(미도시) 및 애노드(anode)(미도시)를 포함하는 백플레인(B/P) 기판일 수 있다. 상기 스위칭 소자의 예로, TFT 소자를 들 수 있지만, 이것만으로 한정되는 것은 아니다.
도 4a 내지 도 4c는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계 발광장치의 제조 공정에서 컬러 패턴을 형성하는 공정을 나타내는 개략적인 단면 모식도이고, 도 5a 내지 도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계 발광장치의 제조 공정에서 화소 정의막을 형성하는 공정을 나타내는 개략적인 단면 모식도이다.
먼저, 도 4a 내지 도 4c를 참조하면, 기판(10) 상에 롤러(roller) 형상의 제2 인쇄기재(200)가 위치하고, 제2 인쇄기재(200)의 표면에는 컬러 잉크 패턴(21, 22, 23)이 일정한 간격으로 형성되어 있다. 제2 인쇄기재(200)는 기판(10) 상에서 회전하면서 기판(10)의 표면에 컬러 잉크 패턴(21, 22, 23)을 순차적으로 인쇄한다.
제2 인쇄기재(200)의 표면에 형성된 컬러 잉크 패턴(21, 22, 23)이 기판(10)의 정확한 위치에 인쇄되기 위해서, 얼라이너(미도시)를 사용하여 제2 인쇄기재(200) 및 기판(10)을 상호 지정된 위치에 정확하게 얼라인(align) 시킬 수도 있다.
도 5a 및 도 5b를 참조하면, 기판(10) 상에 기 형성된 컬러 잉크 패턴(21, 22) 사이 공간에, 잉크젯 헤드(310)와 잉크젯 노즐(320)을 포함하는 잉크젯 프린터(300)에서 화소 정의막용 잉크(31)가 분사되고, 기판(10) 상에서 컬러 잉크 패턴(21, 22)이 격벽 역할을 하여, 소망하는 형상으로 화소 정의막(30)이 형성된다.
이 경우, 컬러 잉크 패턴(21, 22, 23)에 사용되는 잉크의 점도는 화소 정의막(30)에 사용되는 잉크의 점도보다 큰 것이 바람직하다. 컬러 잉크 패턴(21, 22, 23)에 사용되는 잉크의 점도가 낮을 경우에는 롤 프린팅 자체가 불가능하고, 기판(10) 상에서 상기와 같이 격벽의 역할을 할 수 없어 바람직하지 않다.
컬러 잉크 패턴(21, 22, 23)에 사용되는 잉크의 점도는 화소 정의막(30)에 사용되는 잉크의 점도보다 큰 범위이면 별도의 제한은 없지만, 예를 들어, 70 cp 내지 110 cp 범위인 것을 들 수 있다. 컬러 잉크 패턴(21, 22, 23)에 사용되는 잉크의 점도가 70 cp 미만인 경우에는 롤 프린팅 과정에서 유동성에 의하여 그 형상이 변형될 수 있어 바람직하지 않을 수 있고, 110 cp 초과인 경우에는 공정 적응성이 저하되어 불량을 유발할 수 있어 바람직하지 않을 수 있다.
화소 정의막(30)에 사용되는 잉크의 점도는 잉크젯 헤드(310)의 미세 유로(미도시)와 노즐(320)에서 안정적으로 토출될 수 있는 정도면 별도의 제한은 없지만, 6 cp 내지 20 cp 범위의 점도인 것을 예로 들 수 있다. 화소 정의막(30)에 사용되는 잉크의 점도가 6 cp 미만인 경우 잉크를 경화시켜 화소 정의막(30)을 형성하는 데 시간이 오래 걸려 바람직하지 않을 수 있고, 20 cp 초과인 경우 점도가 높아 잉크젯 헤드(310)의 미세 유로 또는 노즐(320)에서 안정적으로 토출되지 않고 노즐 막힘 등을 유발할 수 있어 바람직하지 않다. 상기와 같은 이유로, 화소 정의막(30)에 사용되는 잉크의 점도는 9 cp 내지 17 cp 범위인 것이 더욱 바람직하다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계 발광장치의 제조방법에서 컬러 패턴을 형성하는 일 공정을 나타내는 개략적인 단면 모식도이다.
도 6을 참조하면, 컬러 패턴을 형성하는 공정은 잉크 공급부(250), 제1 인쇄기재(230), 제2 인쇄기재(200) 및 기판(10)을 사용한다.
제1 인쇄기재(230)는 유리, 플라스틱 또는 금속 등으로 이루어질 수 있지만, 이들만으로 한정되는 것은 아니다. 본 실시예에서는 제1 인쇄기재(230)가 오목부(231)를 포함하는 인쇄 롤러인 것을 도시하지만, 이것만으로 한정되는 것은 아니다.
오목부(231)는 사진 식각법, 금형법 또는 레이저 가공법 등에 의해 형성될 수 있지만 이들만으로 한정되는 것은 아니다. 오목부(231)는 제2 인쇄기재(200)에 전사되는 잉크 패턴(21, 22, 23)에 대응한다. 구체적으로, 오목부(231)의 길이 및/또는 폭은 컬러 잉크 패턴(21, 22, 23)의 길이 또는 폭에 대응한다.
잉크 공급부(250)로부터 제1 인쇄기재(230)의 오목부(231)에 잉크가 공급된다. 이 경우, 나타내려는 컬러에 따라 적색, 녹색, 청색을 각각 나타낼 수 있는 잉크를 번갈아 채워 넣을 수도 있고, 흰색을 나타내는 잉크로 채워 넣을 수도 있으며, 적색, 녹색, 청색 및 흰색을 각각 나타내는 잉크를 번갈아 채워 넣을 수도 있다. 도 6에서는 적색(21), 녹색(22) 및 청색(23) 잉크를 번갈아 채워 넣는 것을 도시하고 있다.
잉크의 불필요한 부분이 블레이드(240)에 의해 긁어져서 잉크는 오목부(231)에만 공급될 수 있다. 블레이드(240)는 긴 판 형상일 수 있지만 이것만으로 한정되는 것은 아니다. 블레이드(240)는 오목부(231)의 연장 방향에 대하여 일정 각도를 유지하면서 오목부(231)의 배치 방향을 따라 제1 인쇄기재(230)의 표면에 밀착하여 오목부(231)에 잉크를 채운다. 본 발명에 사용되는 컬러 잉크의 경우, 액체 상태가 아닌 상기 점도를 갖는 젤 상태일 수 있다.
제1 인쇄기재(230)의 오목부(231)에 채워진 잉크를 제2 인쇄기재(200) 상으로 전사하여 중간 컬러 잉크 패턴(21, 22, 23)을 형성한다. 제2 인쇄기재(200)는 롤러(210) 외부에 탄성고무 등과 같이 일정한 이형성을 갖는 물질을 포함하여 형성된 패드(220)가 장착되어 형성될 수 있다. 그러나, 이에 한정되는 것은 아니며, 제2 인쇄기재(200)는 롤러(210) 외부에 탄성 고무 등을 코팅하는 것에 의해 형성될 수도 있다. 상기 탄성 고무로는 예를 들어, 실리콘 고무 등이 이용될 수 있다.
잉크를 전사시키는 원리는 다음과 같다. 오목부(231)의 표면의 표면장력 또는 마찰력이 잉크의 표면장력 또는 마찰력보다 작고, 제2 인쇄기재(200)의 표면장력이나 마찰력이 잉크보다 크도록 제작하면, 제2 인쇄기재(200)가 밀착되어 이동하는 과정에서 잉크가 제2 인쇄기재(200)로 전이된다. 또한, 다른 방법으로는 오목부(231)의 표면을 양전하 또는 음전하로 대전시키고 잉크를 오목부(231)의 표면과 동일한 전하로 대전시킨다. 그러면, 반발력이 생겨 잉크는 오목부(231)의 표면에서 떨어지려고 하고, 제2 인쇄기재(200)를 잉크와 다른 전하로 대전시키면, 제2 인쇄기재(200)가 밀착되어 이동되는 과정에서 잉크가 제2 인쇄기재로 전이된다. 잉크가 전사되는 원리를 제1 인쇄기재(230)로부터 제2 인쇄기재(200)로 전사되는 과정을 예로 들어 설명했지만, 후술되는 다른 과정들에서도 잉크가 전사되는 원리는 동일하게 적용될 수 있음은 물론이다.
제2 인쇄기재(200) 상으로 전사된 중간 컬러 잉크 패턴(21, 22, 23)을 기판(10)에 인쇄하여 최종 컬러 잉크 패턴을 형성한다. 제2 인쇄기재(200) 상으로 전사된 중간 컬러 잉크 패턴(21, 22, 23)이 기판(10)의 정확한 위치에 전사되도록 하기 위해서, 얼라이너(미도시)를 사용하여 제2 인쇄기재(200) 및 기판(10)을 상호 지정된 위치에 정확하게 얼라인(align) 시킬 수 있다.
구체적인 예에서, 기판(10)은 스위칭 소자(미도시) 및 애노드(anode)(미도시)를 포함하는 백플레인(B/P) 기판일 수 있다. 상기 애노드는 스위칭 소자(미도시)와 전기적으로 연결되어 스위칭 신호를 받아 동작할 수 있다. 상기 애노드(anode)에 대응하는 위치에 컬러 잉크 패턴(21, 22, 23)이 각각 형성되어 화소 영역을 구성하는 것이 바람직하다. 이를 위해, 상기 설명한 바와 같이, 얼라이너 등을 사용하여 얼라인(align)하는 것이 요구된다.
도 6의 구조와 같이 컬러 잉크 패턴(21, 22, 23)을 인쇄하는 경우에는 인-시츄(in-situ)로 수행될 수 있다. 즉, 기판(10)이 화살표 방향으로 이동하고, 잉크 공급부(250)에서 공급된 컬러 잉크 패턴(21, 22, 23)이 제1 인쇄기재(230) 및 제2 인쇄기재(200)를 경유하여 기판(10) 상에 연속적으로 인쇄될 수 있다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계 발광장치의 제조방법에서 컬러 패턴을 형성하는 다른 공정을 나타내는 개략적인 단면 모식도이다.
도 7을 참조하면, 제1 인쇄기재(260)는 오목부(261)를 포함하는 인쇄판이다.
제1 인쇄기재(260)은 오목부(261)를 포함하고, 오목부(261)에는 컬러 잉크가 채워져 있다. 도 7에서는 별도로 도시하지 않았지만, 도 6의 잉크 공급부(250) 및 블레이드(240)을 사용하여 오목부(261)에 컬러 잉크를 채워넣을 수 있다. 또한, 제1 인쇄기재(260)의 오목부(261)에 채워진 잉크를 제2 인쇄기재(200) 상으로 전사하여 중간 컬러 잉크 패턴(21, 22, 23)을 형성한다.
제1 인쇄기재(260)의 형상이 인쇄판 형상이라는 것을 제외하고는, 도 6의 대응하는 구성과 동일하므로, 중복되는 설명은 생략한다.
도 8a 내지 도 8d는 본 발명의 다른 실시예에 따른 유기전계 발광장치의 제조방법에서 화소 정의막을 형성하는 공정을 나타내는 개략적인 단면 모식도이다.
이들 도면들을 참조하면, 기판(10) 상에 기 형성된 컬러 잉크 패턴(21, 22) 사이 공간에, 잉크젯 헤드(310)와 잉크젯 노즐(320)을 포함하는 제1 잉크젯 프린터(300)에서 제1 화소 정의막용 잉크(31)가 분사되고, 기판(10) 상에서 컬러 잉크 패턴(21, 22)이 격벽 역할을 하여, 제1 화소 정의막(301)을 형성한다. 그 후, 잉크젯 헤드(311)와 잉크젯 노즐(321)을 포함하는 제2 잉크젯 프린터(300a)에서 제2 화소 정의막용 잉크(32)가 분사되고, 제1 화소 정의막(301) 상에서 컬러 잉크 패턴(21, 22)이 격벽 역할을 하여, 제2 화소 정의막(302)을 형성한다.
제1 화소 정의막(301) 및 제2 화소 정의막(302)의 특성을 다르게 하여야할 필요가 있는 경우, 본 발명의 제조방법이 특히 유리하다.
예를 들어, 도 8a 내지 도 8d에서와 같이, 화소 정의막(301, 302)을 2층으로 구성할 때, 기존 PR법을 사용할 경우, 코팅, 노광, 현상, 세척 등의 과정을 2번 거쳐야 하고, 경우에 따라서는 평탄화 공정을 추가하여야 하므로, 시간적 및 재료적 손실이 매우 크다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기전계 발광장치의 제조방법에서 컬러 패턴을 형성하는 공정을 나타내는 개략적인 단면 모식도이다.
도 9를 참조하면, 제2 인쇄기재(200) 상에 형성된 중간 컬러 잉크 패턴(21, 22, 23)을 기판(10)에 인쇄하여 최종 컬러 잉크 패턴을 형성하는 단계를 나타내고 있다.
잉크가 전사되는 원리는 상기에서 설명한 바와 같지만, 제2 인쇄기재(200)에서 기판(10)으로 인쇄를 보다 원활하게 하기 위하여, 필러(peeler)(201)를 사용하여 제2 인쇄기재(200)의 표면에서 컬러 잉크 패턴(21, 22, 23)을 박리할 수 있다. 이 경우, 필러(201)는 긴 판 형상일 수 있지만 이것만으로 한정되는 것은 아니다. 필러(201)는 기판(10)과 제2 인쇄기재(200)의 근접점에서 일정 각도를 유지하면서 중간 컬러 잉크 패턴(21, 22, 23)의 배치 방향을 따라 제2 인쇄기재(200)의 표면에 밀착하여 중간 컬러 잉크 패턴(21, 22, 23)을 제2 인쇄기재(200)로부터 박리시킨다.
필러(201)를 추가로 사용하는 것을 제외하고는, 도 6의 대응하는 구성과 동일하므로, 중복되는 설명은 생략한다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 유기전계 발광장치의 제조방법에서 컬러 패턴을 형성하는 공정을 나타내는 개략적인 단면 모식도이다.
도 10을 참조하면, 제2 인쇄기재(200)를 사이에 개재하고, 서로 대향하여 제1 인쇄기재(260)와 기판(10)이 위치한다. 제1 인쇄기재(260)는 인쇄판 형상이고, 제1 인쇄기재(260)와 기판(10)은 서로 반대 방향으로 진행한다.
제2 인쇄기재는 롤러 형상으로, 일측에서 제1 인쇄기재(260)와 맞닿아 있고, 상기 일측에 대향하는 타측에서 기판(10)과 맞닿아 있어, 제1 인쇄기재(260)의 오목부(261)에 채워져 있는 컬러 잉크 패턴(21, 22, 23)을 기판(10) 표면으로 전사한다.
제2 인쇄기재(200)에서 기판(10)으로 컬러 잉크 패턴(21, 22, 23)이 인쇄될 때, 필러(201)를 사용하여 제2 인쇄기재(200)의 표면에서 컬러 잉크 패턴(21, 22, 23)을 박리할 수 있다.
상기 구성을 제외하고는, 도 7 및 도 9의 대응하는 구성과 동일하므로, 중복되는 설명은 생략한다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
10: 기판
21, 22, 23: 컬러 잉크 패턴
30, 301, 302: 화소 정의막
200: 제2 인쇄기재
201: 필러(peeler)
300, 300a: 잉크젯 프린터
230, 260: 제1 인쇄기재
240: 블레이더
250: 잉크 공급부

Claims (17)

  1. 기판 상에 컬러 패턴을 형성하는 단계; 및
    상기 컬러 패턴 사이에 화소 정의막을 형성하는 단계
    를 포함하는 유기전계 발광장치의 제조방법.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 컬러 패턴은 FMM(fine metal mask)법, 그라비아법, 옵셋(off-set)법 및 롤투롤(Roll-to-roll)법으로 이루어진 군에서 선택되는 방법으로 형성하는 유기전계 발광장치의 제조방법.
  3. 제1 항에 있어서,
    화소 정의막은 잉크젯 프린팅법 또는 노즐 프린팅법으로 형성하는 유기전계 발광장치의 제조방법.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 컬러 패턴에 사용되는 잉크는 상기 화소 정의막에 사용되는 잉크보다 점도가 큰 유기전계 발광장치의 제조방법.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 컬러 패턴에 사용되는 잉크의 점도는 70 cp 내지 110 cp 범위인 유기전계 발광장치의 제조방법.
  6. 제4 항에 있어서,
    상기 화소 정의막에 사용되는 잉크의 점도는 6 cp 내지 20 cp 범위인 유기전계 발광장치의 제조방법.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 화소 정의막은 다층 구조로 형성하는 유기전계 발광장치의 제조방법.
  8. 음각으로 형성된 오목부를 포함하는 제1 인쇄기재의 상기 오목부에 컬러 잉크를 채우는 단계;
    상기 제1 인쇄기재의 오목부에 채워진 상기 컬러 잉크를 제2 인쇄기재 상으로 전사하여 중간 컬러 잉크 패턴을 형성하는 단계;
    상기 제2 인쇄기재의 중간 컬러 잉크 패턴을 기판에 인쇄하는 단계; 및
    상기 기판 상에 형성된 컬러 잉크 패턴 사이 공간에 화소 정의막을 형성하는 단계
    를 포함하는 유기전계 발광장치의 제조방법.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 제1 인쇄기재는 인쇄 롤러인 유기전계 발광장치의 제조방법.
  10. 제8 항에 있어서,
    상기 제1 인쇄기재는 인쇄판인 유기전계 발광장치의 제조방법.
  11. 제8 항에 있어서,
    상기 제2 인쇄기재는 인쇄 롤러인 유기전계 발광장치의 제조방법.
  12. 제8 항에 있어서,
    상기 화소 정의막은 잉크젯 프린팅법 또는 노즐 프린팅법으로 형성되는 유기전계 발광장치의 제조방법.
  13. 제8 항에 있어서,
    상기 제2 인쇄기재의 중간 컬러 잉크 패턴을 기판에 인쇄하는 단계 전에, 얼라이너를 사용하여 상기 제2 인쇄기재 상의 중간 컬러 잉크 패턴과 상기 기판을 상호 지정된 위치에 얼라인(align) 시키는 단계를 더욱 포함하는 유기전계 발광장치의 제조방법.
  14. 제8 항에 있어서,
    상기 제2 인쇄기재의 중간 컬러 잉크 패턴을 기판에 인쇄하는 단계는 필러(peeler)로 상기 중간 컬러 잉크 패턴을 제2 인쇄기재에서 박리시키는 유기전계 발광장치의 제조방법.
  15. 제8 항에 있어서,
    상기 컬러 잉크 패턴을 기판에 인쇄하는 단계들은 인-시츄(in-situ)로 수행되는 유기전계 발광장치의 제조방법.
  16. 제15 항에 있어서,
    상기 컬러 잉크 패턴을 기판에 인쇄하는 단계들은,
    상기 제1 인쇄기재 및 기판이 상기 제2 인쇄기재를 사이에 개재하고,
    상기 제1 인쇄기재의 오목부에서 컬러 잉크가 제2 인쇄기재로 전사되고,
    상기 제2 인쇄기재에서 상기 기판으로 컬러 잉크가 인쇄되는 유기전계 발광장치의 제조방법.
  17. 제8 항에 있어서,
    상기 화소 정의막은 다층 구조로 형성하는 유기전계 발광장치의 제조방법.
KR1020130060428A 2013-05-28 2013-05-28 유기전계 발광장치의 제조방법 KR102080731B1 (ko)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130060428A KR102080731B1 (ko) 2013-05-28 2013-05-28 유기전계 발광장치의 제조방법
US14/030,837 US9337245B2 (en) 2013-05-28 2013-09-18 Method of manufacturing organic electroluminescence device
CN201410122360.9A CN104183548B (zh) 2013-05-28 2014-03-28 制造有机电致发光设备的方法
TW103117607A TW201503355A (zh) 2013-05-28 2014-05-20 製造有機電致發光裝置之方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130060428A KR102080731B1 (ko) 2013-05-28 2013-05-28 유기전계 발광장치의 제조방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20140139827A true KR20140139827A (ko) 2014-12-08
KR102080731B1 KR102080731B1 (ko) 2020-02-25

Family

ID=51964492

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130060428A KR102080731B1 (ko) 2013-05-28 2013-05-28 유기전계 발광장치의 제조방법

Country Status (4)

Country Link
US (1) US9337245B2 (ko)
KR (1) KR102080731B1 (ko)
CN (1) CN104183548B (ko)
TW (1) TW201503355A (ko)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102400483B1 (ko) * 2015-10-02 2022-05-23 삼성디스플레이 주식회사 유기 발광 디스플레이 장치용 제조 장치와, 이를 이용한 유기 발광 디스플레이 장치의 제조 방법
US10581030B2 (en) * 2018-03-30 2020-03-03 Wuhan China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. Manufacturing method for OLED panel and OLED manufacturing apparatus

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003234182A (ja) * 2002-02-06 2003-08-22 Fuji Photo Film Co Ltd 転写材料及び有機薄膜素子の製造方法
JP2004356026A (ja) * 2003-05-30 2004-12-16 Hitachi Displays Ltd 有機エレクロトルミネセンス表示装置の製造方法
JP2006018204A (ja) * 2003-07-23 2006-01-19 Seiko Epson Corp カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、吐出方法、表示装置、液晶表示装置の製造方法、電気光学装置、電子機器および電子機器の製造方法
KR20080021023A (ko) * 2005-05-16 2008-03-06 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 발광층 형성 방법 및 유기 발광 디바이스

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100868310B1 (ko) 2002-01-03 2008-11-12 엘지전자 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널 제조방법
KR20030079558A (ko) 2002-04-04 2003-10-10 엘지전자 주식회사 플라즈마 디스플레이 패널 제조방법
KR100840679B1 (ko) 2002-06-25 2008-06-24 엘지디스플레이 주식회사 횡전계 방식의 액정표시장치의 제조방법
CN100490212C (zh) * 2002-09-24 2009-05-20 夏普株式会社 有源矩阵型有机el显示体、其制造方法及其制造装置、液晶阵列及其制造方法、以及滤色片衬底、其制造方法及其制造装置
KR100945349B1 (ko) * 2002-12-28 2010-03-08 엘지디스플레이 주식회사 액정표시소자의 칼라필터 제조방법
KR100652061B1 (ko) * 2004-11-04 2006-12-06 엘지.필립스 엘시디 주식회사 컬러필터 기판 및 그 제조방법, 및 그를 이용한액정표시소자 및 그 제조방법
KR101136358B1 (ko) * 2004-12-10 2012-04-18 삼성전자주식회사 컬러필터용 잉크 조성물 및 이를 이용하여 제조된컬러필터 기판, 및 이를 이용한 컬러필터 기판의 제조 방법
KR101166826B1 (ko) * 2005-11-29 2012-07-19 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치의 컬러필터 기판 제조방법
KR101335422B1 (ko) * 2006-12-29 2013-11-29 엘지디스플레이 주식회사 유기전계발광소자의 제조방법
US20090141218A1 (en) * 2007-10-26 2009-06-04 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for curing pixel matrix filter materials
JP5192828B2 (ja) * 2008-01-08 2013-05-08 住友化学株式会社 有機エレクトロルミネッセンス表示素子及びその製造方法
JP4946971B2 (ja) * 2008-05-20 2012-06-06 セイコーエプソン株式会社 有機発光装置および電子機器
KR101084191B1 (ko) 2010-02-16 2011-11-17 삼성모바일디스플레이주식회사 유기 발광 디스플레이 장치 및 그 제조 방법
US20110225799A1 (en) * 2010-03-18 2011-09-22 Casio Computer Co., Ltd. Production apparatus and production method of light emitting device
JP2012024979A (ja) * 2010-07-21 2012-02-09 Sony Corp 版胴、印刷装置及び版胴の成形方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003234182A (ja) * 2002-02-06 2003-08-22 Fuji Photo Film Co Ltd 転写材料及び有機薄膜素子の製造方法
JP2004356026A (ja) * 2003-05-30 2004-12-16 Hitachi Displays Ltd 有機エレクロトルミネセンス表示装置の製造方法
JP2006018204A (ja) * 2003-07-23 2006-01-19 Seiko Epson Corp カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、吐出方法、表示装置、液晶表示装置の製造方法、電気光学装置、電子機器および電子機器の製造方法
KR20080021023A (ko) * 2005-05-16 2008-03-06 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤 발광층 형성 방법 및 유기 발광 디바이스

Also Published As

Publication number Publication date
US20140356994A1 (en) 2014-12-04
CN104183548A (zh) 2014-12-03
TW201503355A (zh) 2015-01-16
US9337245B2 (en) 2016-05-10
CN104183548B (zh) 2019-01-01
KR102080731B1 (ko) 2020-02-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110047866B (zh) 阵列基板、显示面板及微型led的转移方法
US10784322B2 (en) Array substrate, manufacturing method, and display device
CN107452782B (zh) 一种基板及其制备方法、显示面板
JP4322226B2 (ja) 印刷方式を利用したパターン形成方法
JP5147201B2 (ja) パターン形成方法及びこれを用いた液晶表示素子の製造方法
WO2017012309A1 (zh) 有机电致发光显示基板及制备方法、显示面板、显示装置
CN101093349B (zh) 薄膜图案制造装置及方法
KR101844412B1 (ko) 잉크젯 프린팅 기법을 이용하여 기판의 표면에 도전성 패턴을 형성하는 방법
JP2005270725A (ja) パターン基板、パターン基板の製造方法、及びパターン基板の製造装置
KR20140139827A (ko) 유기전계 발광장치의 제조방법
US20140020580A1 (en) Printing method and printing apparatus
JP2007256312A (ja) カラーフィルタの製造方法、有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法及びこれに用いるインクジェット塗工装置
CN110993646B (zh) Oled背板的制备方法及oled背板
JP2010040323A (ja) 液滴吐出装置および液滴吐出方法ならびに有機ｅｌ素子の製造方法
JP5217133B2 (ja) 印刷用凸版の製造方法
JP2010023393A (ja) 印刷方法及び印刷装置
JP2008198519A (ja) 印刷用凸版及びエレクトロルミネセンス素子の製造方法
KR20030057065A (ko) 금속패턴 형성방법
JP2011073269A (ja) 凸版印刷機
JP2011216198A (ja) 凸版印刷装置及び有機ｅｌパネルの製造方法
JP2009096073A (ja) 印刷方法、カラーフィルターの製造方法およびカラーフィルター
JP5899752B2 (ja) 凸版印刷装置及び有機ｅｌパネルの製造方法
JP6295509B2 (ja) 凸版印刷装置
JP6035807B2 (ja) 凸版印刷装置
WO2022224963A1 (ja) 表示装置の製造方法、および表示装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant