KR20140133467A - 집진장치 - Google Patents

집진장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20140133467A
KR20140133467A KR20140054858A KR20140054858A KR20140133467A KR 20140133467 A KR20140133467 A KR 20140133467A KR 20140054858 A KR20140054858 A KR 20140054858A KR 20140054858 A KR20140054858 A KR 20140054858A KR 20140133467 A KR20140133467 A KR 20140133467A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
circuit
battery
dust collecting
charging
voltage
Prior art date
Application number
KR20140054858A
Other languages
English (en)
Inventor
오심근
조성훈
강병규
류성우
Original Assignee
주식회사 엘코랩
조성훈
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 엘코랩, 조성훈 filed Critical 주식회사 엘코랩
Publication of KR20140133467A publication Critical patent/KR20140133467A/ko

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B03SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03CMAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C3/00Separating dispersed particles from gases or vapour, e.g. air, by electrostatic effect
    • B03C3/02Plant or installations having external electricity supply
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B03SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03CMAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C3/00Separating dispersed particles from gases or vapour, e.g. air, by electrostatic effect

Landscapes

  • Electrostatic Separation (AREA)

Abstract

플레이트형상을 가지며, 도체형 집진판과, 집진판에 설치되며 집진판으로 직접 고압의 직류를 공급하여 정전기가 발생 되도록 하는 고전압전원부를 포함하는 것을 특징으로 하는 집진장치가 게시된다. 게시된 집진장치는 이송되는 반송부품에

Description

집진장치{A DUST COLLECTOR}
본 발명은 패널 생산 공정에서 패널의 이송경로 상에 발생하는 미세이물을 전기 집진방식에 의해 제거하기 위한 집진장치에 관한 것이다.
FPD(Flat Panel Display) 글라스( 이하 '반송 부품' 이라 함)를 처리하는 공정으로는 건식공정과 습윤공정 등이 있는데, 이러한 각각의 공정을 위해서는 컨베이어 수단과 같은 이송수단에 의해 소정 경로를 이동하면서 각 공정을 거치게 된다.
그런데 상기 이송수단을 오랜 시간 사용하게 되면, 미세이물 등이 발생하고, 내부 및 외부에서 발생한 미세이물이 반송부품에 부착되게 되어 반송부품이 오염되는 문제점이 있다.
이와 같이 반송과정에서 반송부품에 부착된 미세이물을 제거하기 위해서는 반송 부품의 이송경로 상에 집진장치를 설치해야 하는데, 복잡한 구조의 이송경로 상에 집진장치를 설치하는 것이 용이하지 않으며, 특히 사용교류 전원을 사용하는데 있어서 어려움이 있다.
또한, 반송 부품의 이송경로가 길게 형성될 경우에, 이송경로 전체에 걸쳐서 집진장치를 설치하는 데는 한계가 있기 때문에 이송경로 상에서 발생하는 미세이물에 의한 반송 부품의 오염을 방지하기 어려운 문제점이 있다.
대한민국 등록특허 제10-1289629호(집진장치를 구비한 카세트 반송 장비 및 그 집진방법)
본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 창안된 것으로서, 반송부품과 함께 이동하면서 반송부품에 부착된 미세이물를 제거할 수 있는 집진장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 집진장치는, 플레이트형상을 가지며, 도체형 집진판과; 상기 집진판에 설치되며, 상기 집진판으로 직접 고압의 직류를 공급하여 정전기가 발생되도록 하는 고전압전원부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 집진장치에 따르면, 반송부품과 함께 반송 부품의 이송경로(생산공정)를 따라 이동하면서 반송부품에 부착된 미세이물을 정전기의 인력을 이용하여 흡착시켜 제거할 수 있게 된다.
따라서 반송부품의 이송시 미세이물로 인한 반송부품의 불량요인을 제거할 수 있게 된다.
특히, 집진장치가 자체적으로 고전압을 공급할 수 있도록 하는 고전압 전원부를 포함하여 특정 장소에 고정설치하지 않고도 이동하면서도 정전압에 의한 집진기능을 할 수 있게 됨으로써, 반송부품의 이송경로를 따라 이동하면서도 집진기능을 할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 집진장치를 나타내 보인 개략적인 도면이다.
도 2는 도 1의 고전압전원부를 설명하기 위한 구성도이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 따른 집진장치를 자세히 설명하기로 한다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시 예에 따른 집진장치(100)는, 집진판(110)과, 집진판(110)에 고전압을 공급하기 위한 고전압 전원부(120)를 구비한다.
상기 집진판(110)은 얇은 플레이트구조를 가지며, 도체로 형성된다. 이 집진판(110)은 고전압 전원부(120)로부터 ±6kv ∼ ±10kv의 고전압펄스를 제공받아 정전기를 띄게 되어 주변의 미세이물을 흡착하는 기능을 한다. 상기 집진판(110)에 고전압 전원부(120)가 직접 설치된다. 따라서 집진판(110)은 패널 타입의 생산공정에서 반송부품에 놓이게 되면, 그 반송부품과 함께 이동하면서 반송부품에 부착된 미세이물을 흡착하여 제거할 수 있게 된다.
상기 고전압 전원부(120)는 충전배터리(121)와, 배터리 보호회로(122), 충전회로(123), 정전압회로(124), 스위칭회로(125), 배터리 정류회로(126), 진공파우치(127) 및 스위치(128)를 구비한다.
충전배터리(121)는 충전할 수 있는 2차 전지로서 직류동작 전원을 제공하고, 배터리 보호회로(122)에 의해 보호되며, 충전회로(123)에 연결되어 외부전원을 통해 전원을 충전하여 반복적으로 사용할 수 있게 된다.
상기 정전압회로(124)는 스위치(128)의 스위치동작에 따라 충전배터리(121)의 전원을 고압직류로 승압하여 스위칭회로(125)로 전달한다.
스위칭회로(125)와 대응되게 설치되는 배터리 정류회로(126)는 스위칭회로(125)에서 인가되는 고압직류를 집진판(110)으로 출력함으로써 집진판(110)에서 출력 정전기가 발생 되도록 유도한다.
상기 진공파우치(127)는 상기 충전배터리(121), 배터리 보호회로(122), 충전회로(123), 정전압회로(124), 스위칭회로(125), 배터리 정류회로(126) 전체를 내진공 상태로 유지하도록 실링 처리하도록 구성되며, 바람직하게는 실리콘재질로 고전압공급부(120)의 외부를 전체적으로 실링 처리하여 구성되는 것이 좋다.
즉, 진공상태에서 정전압을 유지하면서 집진판(110)에 안정적인 고전압을 공급할 수 있기 때문에, 진공파우치(127)에 의해 고전압공급부(120) 전체가 내진공상태로 실링처리된다.
상기 구성을 가지는 본 발명의 집진장치(100)는 충전식 고압트랜스 즉, 고전압공급부(120)를 별도로 집진판(110)에 부착하여 집진판(110)에 직접 고압의 직류를 공급하여 집진판(110)에서 정전기가 발생 되도록 할 수 있다.
따라서, 이러한 집진판(110)을 디스플레이 패널 등을 포함하는 반송부품에 올려놓고 반송부품과 함께 이송경로를 이동하도록 하면, 이송경로 상에서 반송부품에 부착되는 미세이물을 정전기에 의해 집진판(110)에서 흡착하여 제거할 수 있게 된다.
즉, 본 발명의 집진장치(100)는 별도의 전원공급장치를 필요로 하지 않고, 자체적으로 집진판(110)에 부착된 전원공급부(120)를 통해 전원을 공급받아 구동되는 구성이므로, 패널(반송부품) 생산공정에서 유입되는 미세이물을 이송경로 모든 구간에서 제거할 수 있게 되어, 반송부품이 미세이물에 오염되어 불량이 발생 되는 것을 방지할 수 있게 된다.
또한, 상기와 같은 구성을 가지는 집진장치(100)는 집진판(110)의 표면에 부착된 미세이물을 간단한 세정을 통해 반복하여 재사용이 가능하게 되므로, 사용하고자 하는 사용처에서 편리하게 사용할 수 있게 된다.
100..집진장치 110..집진판
120..고전압전원부

Claims (3)

  1. 플레이트형상을 가지며, 도체형 집진판과;
    상기 집진판에 설치되며, 상기 집진판으로 직접 고압의 직류를 공급하여 정전기가 발생 되도록 하는 고전압전원부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 집진장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 고전압전원부는,
    충전배터리와;
    상기 충전배터리에 연결되어 상기 충전배터리를 보호하기 위한 배터리 보호회로와;
    상기 보호회로와 연결되며 상기 충전배터리를 충전을 위한 충전회로;
    상기 충전회로와 스위치에 의해 연결되며, 상기 스위치의 스위칭동작에 따라 상기 충전배터리의 전원을 고압직류로 승압하여 스위칭회로로 전달하는 정전압회로;
    상기 스위칭회로와 대응되게 설치되어 상기 스위칭회로에서 인가되는 고압직류를 상기 집진판으로 출력하는 배터리 정류회로;를 포함하는 것을 특징으로 하는 집진장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 고압전원부는 상기 충전배터리, 배터리 보호회로, 충전회로, 정전압회로 및 배터리 정류회로를 감싸서 실링처리하는 진공파우리를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 집진장치
KR20140054858A 2013-05-08 2014-05-08 집진장치 KR20140133467A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020130052060 2013-05-08
KR20130052060 2013-05-08

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20140133467A true KR20140133467A (ko) 2014-11-19

Family

ID=52454094

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR20140054858A KR20140133467A (ko) 2013-05-08 2014-05-08 집진장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20140133467A (ko)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN112640042A (zh) 洗净装置
JP2011040464A (ja) 異物除去装置、露光装置及びデバイス製造方法
KR101849916B1 (ko) 흡입형 부유물 포집 장치
US8961693B2 (en) Component supporting device
JP2008091145A (ja) 除電装置
JP2000025948A5 (ja) 静電浮上搬送装置および静電浮上搬送装置付ロボット
JP2000311797A (ja) 静電気除去装置および静電気除去方法
US20180257116A1 (en) Method and apparatus for backside cleaning of substrates
KR20140133467A (ko) 집진장치
JP4986191B2 (ja) 除電装置及び除電方法
JP6609735B2 (ja) 静電式ワーク保持方法,静電式ワーク保持システム及びワーク保持装置
JPH09192209A (ja) X線による気体の電離においてプラスイオン、マイナスイオ ンの混合比を簡便に調節する方法とその方法を適用せる空気 浄化装置並びに静電気帯電を除去もしくは付与する装置。
CN104368563A (zh) 一种静电去绒装置
WO2014015485A1 (zh) 器件承载装置
JP2003312842A (ja) 基板の搬送装置
KR20020091337A (ko) 기판 표면의 입자성 오염물 제거 방법 및 그 제거장치
JPH11329783A (ja) 帯電々荷中和方法及び帯電々荷中和装置
KR200477646Y1 (ko) 기준전극 일체형 필터 조립체를 구비한 코로나 방전식 정전기 제거장치
KR20150051356A (ko) 용접 작업용 멀티 집진 시스템
CN114364111A (zh) 一种除静电装置
JP2005000745A (ja) イオン搬送式局所除塵システム
CN108470851A (zh) 基板处理方法和基板处理装置
JPH0745397A (ja) 静電気除去装置
CN110899246A (zh) 光罩缺陷的清洁装置及清洁方法
Levit et al. Relevance of Electrostatic Discharge Controls to Particle Contamination in Cleanroom Environments

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application