KR20140077026A - 증착율 측정센서의 교체 기구가 개선된 증착 장치 및 그것을 이용한 증착율 측정센서의 교체 방법 - Google Patents

증착율 측정센서의 교체 기구가 개선된 증착 장치 및 그것을 이용한 증착율 측정센서의 교체 방법 Download PDF

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Abstract

증착율 측정센서의 교체 기구가 개선된 증착 장치 및 그것을 이용한 증착율 측정센서의 교체 방법이 개시된다. 개시된 증착 장치는 다수의 증착율센서를 구비하여 진공챔버 내에 설치된 센서헤드와, 센서헤드의 증착율센서를 외부로 추출할 수 있도록 진공챔버와 진공유지밸브를 개재하여 연결된 센서추출부 및, 센서헤드에 증착율센서를 투입할 수 있도록 진공챔버와 진공유지밸브를 개재하여 연결된 센서투입부를 포함한다. 이러한 구성에 의하면 진공챔버 내의 진공상태를 해제하지 않고도 증착율 센서를 신속하고 원활하게 교체할 수 있게 되므로, 이를 채용할 경우 생산 효율이 향상되고 결과적으로 제품의 품질도 안정화되는 효과를 기대할 수 있다.

Description

증착율 측정센서의 교체 기구가 개선된 증착 장치 및 그것을 이용한 증착율 측정센서의 교체 방법 {A deposition apparatus providing an improved exchanging mechanism for deposit rate measuring sensor and the exchanging method using the same}
본 발명은 증착원의 증기를 발생시켜서 기판 표면에 박막을 형성하는 증착 장치에 관한 것으로, 특히 증착율을 측정하는 센서를 효율적으로 교체할 수 있도록 개선된 증착 장치 및 그것을 이용한 증착율 측정센서의 교체 방법에 관한 것이다.
예컨대 유기 발광 디스플레이 장치의 박막 형성과 같은 박막 제조 공정에는 증착원의 증기를 발생시켜서 기판 표면에 달라붙게 하는 증착 공정이 많이 이용된다.
즉, 증착 공정을 통해 기판 상에 적정한 두께의 박막이 원하는 패턴에 따라 차례로 형성되게 하는 것이다.
그리고, 이러한 증착 공정이 진행되는 진공챔버 내에는 증착율을 측정해주는 센서가 장착되어 있다. 일반적으로 크리스탈 센서로 불리는 이 증착율 측정센서는 챔버 내에서 증착이 진행되는 정도를 감지하여 현재 기판 상에 박막의 두께가 어느 정도로 형성되고 있는지를 알려주는 역할을 한다.
그런데, 이러한 증착율 측정센서도 여러 번 사용하게 되면 수명을 다하게 되므로 새로운 것으로 계속 교체해주어야 하는데, 이를 위해서는 진공챔버 내의 진공 상황을 해제하고 센서를 교체한 후에 다시 진공상황을 만들어야 하는 번거로운 과정을 거쳐야 한다.
이렇게 되면 센서를 교체하고 다시 정상 증착 작업을 진행하기까지 시간이 너무 많이 소요되기 때문에, 작업 효율이 상당히 저하될 수 밖에 없다.
따라서, 이러한 문제를 해소하기 위해서는 증착율 측정센서의 교체작업을 보다 신속하고 원활하게 수행할 수 있게 해주는 새로운 방안이 필요하다.
본 발명의 실시예는 진공챔버 내의 진공상황을 해제하지 않고도 증착율 측정센서의 교체작업을 원활하게 수행할 수 있도록 개선된 증착 장치 및 그것을 이용한 증착율 측정 센서의 교체 방법을 제공한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치는, 증착이 진행되는 진공챔버; 다수의 증착율센서를 구비하여 상기 진공챔버 내에 설치된 센서헤드; 상기 센서헤드의 증착율센서를 외부로 추출할 수 있도록 상기 진공챔버와 진공유지밸브를 개재하여 연결된 센서추출부; 및, 상기 센서헤드에 증착율센서를 투입할 수 있도록 상기 진공챔버와 진공유지밸브를 개재하여 연결된 센서투입부를 포함한다.
상기 센서헤드는, 상기 다수의 증착율센서 중 어느 하나는 증착율 측정 지점에 위치되고 다른 하나는 교체 지점에 위치되도록 상기 진공챔버 내에서 회전가능하게 설치될 수 있다.
상기 센서헤드는 상기 증착율센서들이 탑재되는 센서플레이트와, 상기 각 증착율센서들의 전극이 설치되는 전극플레이트를 포함할 수 있다.
상기 센서플레이트는 상기 각 증착율센서와 함께 낱개로 분리 가능하게 형성될 수 있다.
상기 증착율센서는 크리스탈 센서를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착 장치는, 증착이 진행되는 진공챔버;
상기 진공챔버 내에 회전가능하게 설치되며 진공유지밸브에 의해 증착율 측정 지점과 교체 지점으로 서로 분리된 영역이 마련된 지지대; 및, 다수의 증착율센서를 구비하여 상기 지지대 위의 각 영역에 탑재되는 복수개의 센서헤드:를 포함한다.
상기 지지대에 증착율 측정 대기 지점이 더 마련되고, 상기 증착율 측정 대기 지점에도 상기 센서헤드가 탑재될 수 있다.
상기 센서헤드는 상기 증착율센서들이 탑재되는 센서플레이트와, 상기 각 증착율센서들의 전극이 설치되는 전극플레이트를 포함할 수 있다.
상기 증착율센서는 크리스탈 센서를 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 증착율 센서의 교체 방법은, 진공챔버 내에 설치된 센서헤드의 증착율센서들을 외부로 추출할 수 있도록 상기 진공챔버와 진공유지밸브를 개재하여 연결된 센서추출부 및, 상기 센서헤드에 증착율센서를 투입할 수 있도록 상기 진공챔버와 진공유지밸브를 개재하여 연결된 센서투입부를 준비하는 단계; 상기 센서헤드의 증착율센서들 중 교체 지점에 위치한 센서를 상기 센서추출부를 통해 상기 진공챔버 내의 진공이 유지된 상태로 취출해내는 단계; 및, 상기 센서헤드에 새로운 증착율센서를 상기 센서투입부를 통해 상기 진공챔버 내의 진공이 유지된 상태로 투입하는 단계;를 포함한다.
또한, 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착율 센서의 교체 방법은, 진공유지밸브에 의해 증착율 측정 지점과 교체 지점으로 서로 분리된 영역이 마련된 지지대를 진공챔버 내에 회전가능하게 설치하는 단계; 다수의 증착율센서를 구비한 복수개의 센서헤드를 상기 교체 지점에 탑재시킨 후 상기 지지대를 회전시켜서 상기 증착율 측정 지점으로 투입하여 측정을 진행하는 단계; 및, 상기 지지대를 회전시켜서 상기 교체 지점으로 돌아온 센서헤드를 새것으로 교체하는 단계;를 포함한다.
상기와 같은 본 발명에 따른 증착 장치와 증착율 센서 교체 방법에 의하면 진공챔버 내의 진공상태를 해제하지 않고도 증착율 센서를 신속하고 원활하게 교체할 수 있게 되므로, 이를 채용할 경우 생산 효율이 향상되고 결과적으로 제품의 품질도 안정화되는 효과를 기대할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 증착율 측정부가 구비된 증착 장치의 구조를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2는 도 1에 도시된 증착율 측정부의 세부 구조를 도시한 도면이다.
도 3은 도 2에 도시된 센서헤드의 세부 구조를 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 증착율 측정부의 구조를 도시한 도면이다.
이하, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
먼저, 도 1 내지 도 3을 참조하면서 본 발명의 일 실시예에 따른 증착 장치를 설명한다.
도 1에 도시된 바와 같이 본 실시예에 따른 증착 장치는 박막(미도시)이 형성될 기판(30) 및 그 기판(30)을 향해 증착 증기를 분출해주는 증착원(20)이 각각 설치되는 진공챔버(40)를 구비하고 있다. 즉, 진공이 유지되는 챔버(40) 내에 기판(30)을 설치하고 증착원(20)을 가동하여 원하는 패턴의 박막을 기판(30) 상에 형성하는 것이다.
그리고, 이러한 박막이 형성되는 상황을 측정하기 위한 증착율 측정부(10)가 진공챔버(40) 내에 장착되어 있다. 이 증착율 측정부(10)에서 증착원(20)으로부터 공급되는 증착 증기의 양을 감지하여 그로부터 기판(30)에 형성되는 박막의 두께를 측정하게 된다.
도 2 및 도 3은 이 증착율 측정부(10)에 구비된 센서헤드(100)를 도시한 것으로, 증착율센서들(101)의 교체 작업이 효율적으로 수행될 수 있도록 다음과 같이 구성되어 있다.
우선, 센서헤드(100)는 도 3에 도시된 바와 같이 다수의 증착율센서(101)들이 설치된 센서플레이트(100a)와, 각 증착율센서(101)들과 접속하는 전극들(102)이 배설된 전극플레이트(100b)가 결합된 구조로 이루어져 있으며, 센서플레이트(100a)는 각 증착율센서(101)와 함께 낱개로 분리될 수 있는 조각 형태로 구성되어 있다. 따라서, 필요 시 원하는 조각을 추출해내고, 다시 추출된 자리에 새 조각을 장착할 수 있게 되어 있다. 상기 각 증착율센서(101)는 크리스탈 센서로 이루어져 있으며, 도 2에 도시된 것처럼 센서헤드(100)가 회전함에 따라 측정지점(P1)에 위치한 센서(101)가 증착율 측정을 진행하고, 교체 위치(P2)에 위치한 센서(101)는 교체 대상이 되며, 나머지 센서들(101)은 사용 또는 교체 대기 상태에 있게 된다.
그리고, 이 진공챔버(40)에 연결된 센서추출부(110)와 센서투입부(120)가 구비되어 있는데, 이들은 각각 진공유지밸브(111,112)(121,122)에 의해 진공챔버(40) 내의 진공 상태를 해제하지 않고도 상기 센서헤드(100)로부터 센서(101)를 추출해내거나 투입할 수 있게 연결되어 있다. 즉, 일반적으로 진공챔버(40) 내부에 장착된 증착율센서(101)를 외부로 빼내거나 외부의 증착율센서(101)를 안으로 투입하려면 진공챔버(40) 내의 진공 분위기를 해제해야 하는데, 여기서는 상기 진공유지밸브(111,112)(121,122)를 이용해서 진공을 유지한 상태로 교체가 가능하도록 하고 있다.
예를 들어 증착율센서(101)를 센서추출부(110)를 통해 빼낼 때에는, 센서추출부(110)의 두 진공유지밸브(111)(112) 중 안쪽 밸브(111)를 열고 바깥 쪽 밸브(112)는 닫은 상태에서 두 밸브 사이로 센서(101)를 먼저 빼낸다. 그리고, 두 밸브(111)(112) 사이에 센서(101)가 위치되면, 이번에는 안쪽 밸브(111)를 닫고 바깥 쪽 밸브(112)를 열어서 외부의 폐센서저장소(113)와 통하도록 오픈시킨다. 이렇게 하면 진공챔버(40) 내의 진공 분위기를 해치지 않은 상태로 교체할 센서(101)를 추출해낼 수 있게 된다. 이때 센서의 픽업과 이동은 일반적인 로봇암과 이송트레이 등으로 수행할 수 있으며, 이것은 통상적으로 알려진 기구이므로 상세한 설명은 생략한다.
그리고, 새 센서저장소(123)의 증착율센서(101)를 센서투입부(120)를 통해 진공챔버(40) 안으로 투입할 때에는, 센서투입부(120)의 두 진공유지밸브(121)(122) 중 바깥 쪽 밸브(122)를 열고 안쪽 밸브(121)는 닫은 상태에서 두 밸브(121)(122) 사이로 센서(101)를 먼저 투입한다. 그리고, 두 밸브(121)(122) 사이에 센서(101)가 위치되면, 이번에는 바깥 쪽 밸브(122)를 닫고 안쪽 밸브(121)를 열어서 진공챔버(40)와 통하게 한다. 이렇게 하면 진공챔버(40) 내의 진공 분위기를 해치지 않은 상태로 교체할 센서(101)를 투입할 수 있게 된다. 이때 센서의 이송과 탑재 역시 일반적인 로봇암과 이송트레이 등으로 수행할 수 있다.
이와 같은 구성의 증착율 센서 교체 기구를 구비한 증착 장치는 다음과 같이 운용될 수 있다.
일단, 증착을 진행할 증착원(20)과 기판(30)을 진공챔버(40) 내에 각각 준비한 후 진공챔버(40) 안을 진공 분위기로 만든다.
진공챔버(40) 내의 진공 분위기 준비가 완료되면, 곧 이어서 상기 증착원(20)을 가동하여 증착을 진행한다. 이때, 상기 증착율 측정부(10)의 센서헤드(100)에 설치된 다수의 증착율센서(101)들 중 측정지점(P1)에 위치한 증착율센서(101)가 증착챔버(40) 내의 증착율을 측정하게 된다. 즉, 증착원(20)으로부터 공급되는 증착 증기의 양을 감지하여 그로부터 기판(30)에 형성되는 박막의 두께를 측정한다.
그리고, 그 동안 센서헤드(100)의 교체지점(P2)에 위치한 증착율센서(101)에 대해서 필요 시 교체 작업을 진행한다. 물론, 교체지점(P2)에 위치한 증착율센서(101)가 아직 사용 전인 것이라면 교체를 진행하지 않고 다른 센서들과 같이 사용 대기한다. 그러나, 이미 사용된 후 센서헤드(100)의 회전에 따라 교체지점(P2)으로 돌아온 것이라면, 상기 센서추출부(110)와 센서투입부(120)를 가동하여 해당 센서(101)를 새 것으로 교체한다. 교체 시에는 전술한 바대로 센서추출부(110)를 먼저 가동하여 해당 센서(101)를 폐센서저장소(113)로 빼낸 후, 다시 센서투입부(120)를 가동하여 새로운 센서(101)를 해당 위치에 투입하게 된다. 다시 한번 설명하면, 먼저 센서추출부(110)의 두 진공유지밸브(111)(112) 중 안쪽 밸브(111)를 열고 바깥 쪽 밸브(112)는 닫은 상태에서 두 밸브 사이로 해당 센서(101)를 빼낸다. 빼낼 때에는 센서플레이트(100a)의 해당 조각도 센서(101)와 함께 들어낸다. 그리고, 두 밸브(111)(112) 사이에 센서(101)가 위치되면, 이번에는 안쪽 밸브(111)를 닫고 바깥 쪽 밸브(112)를 열어서 외부의 폐센서저장소(113)와 통하도록 오픈시키며, 이 상태에서 해당 센서(101)를 폐센서저장소(113)로 추출해낸다.
이어서, 센서투입부(120)의 두 진공유지밸브(121)(122) 중 바깥 쪽 밸브(122)를 열고 안쪽 밸브(121)는 닫은 상태에서 두 밸브(121)(122) 사이로 센서(101)를 투입한다. 물론, 이때에도 센서플레이트(100a)의 조각과 함께 새 센서(101)가 투입된다. 그리고, 두 밸브(121)(122) 사이에 센서(101)가 위치되면, 이번에는 바깥 쪽 밸브(122)를 닫고 안쪽 밸브(121)를 열어서 진공챔버(40)와 통하게 한 후 새로운 센서(101)를 앞선 센서헤드(100)의 빈 자리에 투입한다.
이렇게 되면, 진공챔버(40) 내의 진공 분위기를 해제시키지 않고 증착이 진행되는 동안에도 증착율센서(101)의 교체가 가능해제므로, 센서 교체 작업이 매우 효율적으로 이루어지게 되며, 작업을 중단할 필요가 없으므로 생산성이 크게 향상된다.
한편, 본 실시예에서는 각 센서(101) 단위로 교체를 하는 경우를 예시하였는데, 다른 실시예로서 도 4에 도시된 바와 같이 아예 센서헤드(210,220,230) 단위로 교체를 하도록 구성할 수도 있다.
도면을 참조하면, 증착 챔버(40) 내에 삼각형 모양의 지지대(200)를 회전가능하게 설치하고, 지지대(200)에 측정지점(P1)과 교체지점(P2) 및 대기지점(P3)를 형성한다. 특히 교체지점(P2)은 진공유지밸브(240)에 의해 다른 지점들과 분리되어 있다. 증착 진행 시에는 진공유지밸브(240)가 오픈되어 있어서 증착 챔버(40)와 교체지점(P2)이 같은 진공 분위기가 되며, 교체를 수행할 때에는 진공유지밸브(240)가 닫혀서 증착 챔버(40)와 교체지점(P2)이 분리된다. 본 실시예의 증착율센서(211,221,231)도 크리스탈센서를 사용할 수 있으며, 각 센서헤드(210,220,230)들은 도 3에서 예시한 바와 같이 센서플레이트와 전극플레이트가 결합된 구조로 형성될 수 있다.
이와 같은 구성의 증착율 센서 교체 기구를 구비한 증착 장치는 다음과 같이 운용될 수 있다.
일단, 증착을 진행할 증착원(20)과 기판(30)을 진공챔버(40) 내에 각각 준비한 후 진공챔버(40) 안을 진공 분위기로 만든다.
진공챔버(40) 내의 진공 분위기 준비가 완료되면, 곧 이어서 상기 증착원(20)을 가동하여 증착을 진행한다. 이때, 상기 지지대(200)의 측정지점(P1)에 위치한 센서헤드(210)의 증착율센서(211)들이 돌아가면서 증착챔버(40) 내의 증착율을 측정하게 된다. 즉, 한 센서(211)의 수명이 다 되면 다음 센서(211)로 측정을 이어간다. 그리고, 그 동안 지지판(200)의 교체지점(P2)에 위치한 센서헤드(220)에 대해서는 필요에 따라 교체 작업을 진행한다. 물론, 교체지점(P2)에 위치한 센서헤드(220)가 아직 사용 전인 것이라면 교체를 진행하지 않고 대기지점(P3)의 센서헤드(230)와 같이 사용 대기한다. 그러나, 이미 사용된 후 지지판(200)의 회전에 따라 교체지점(P2)으로 돌아온 것이라면, 해당 센서헤드(220)를 새 것으로 교체한다. 교체 시에는 진공유지밸브(240)를 닫아서 진공챔버(40) 내부와 교체지점(P2)을 분리시킨다. 그 다음에 교체지점(P2)의 진공을 해제하고 해당 센서헤드(220)를 새로운 증착율센서(221)들이 탑재된 새 것으로 교체한다. 교체가 되면, 다시 교체지점(P2)을 진공 분위기로 만든 후 상기 진공유지밸브(240)를 오픈시킨다. 그러면, 진공챔버(40) 내의 진공 분위기를 전혀 해치지 않은 상태로 센서헤드(220)의 교체 작업이 완료된다. 이후, 측정지점(P1)에 있던 센서헤드(210)의 수명이 다 되면, 지지대(200)를 회전시켜서 사용된 센서헤드(210)가 교체지점(P2)으로 돌아가게 한다. 그러면 대기지점(P3)에 있던 센서헤드(230)가 측정지점(P1)으로 이동하여 그 위에 탑재된 증착율센서(231)들이 돌아가면서 증착율을 측정하게 되며, 교체지점(P2)에 있던 새로운 센서헤드(220)는 대기지점(P3)으로 이동하여 사용 대기하게 된다. 그리고, 그 동안 상기 사용한 센서헤드(210)는 교체지점(P2)에서 같은 과정을 통해 새 것으로 교체된다.
이렇게 되면, 진공챔버(40) 내의 진공 분위기를 해제시키지 않고 증착이 진행되는 동안에도 센서헤드들(210)(220)(230)의 교체가 가능해제므로, 센서 교체 작업이 매우 효율적으로 이루어지게 되며, 작업을 중단할 필요가 없으므로 생산성이 크게 향상된다.
결론적으로, 이상에서 설명한 바와 같은 증착 장치를 이용하면, 진공챔버 내의 진공상태를 해제하지 않고도 증착율 센서를 신속하고 원활하게 교체할 수 있게 되므로, 이를 채용할 경우 생산 효율이 향상되고 결과적으로 제품의 품질도 안정화되는 효과를 기대할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시 예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
10:증착율 측정부 20:증착원
30:기판 40:챔버
100,210,220,230:센서헤드 101,211,221,231:증착율센서
110:센서추출부 120:센서투입부
111,112,121,122,240:진공유지밸브

Claims (11)

  1. 증착이 진행되는 진공챔버;
    다수의 증착율센서를 구비하여 상기 진공챔버 내에 설치된 센서헤드;
    상기 센서헤드의 증착율센서를 외부로 추출할 수 있도록 상기 진공챔버와 진공유지밸브를 개재하여 연결된 센서추출부; 및,
    상기 센서헤드에 증착율센서를 투입할 수 있도록 상기 진공챔버와 진공유지밸브를 개재하여 연결된 센서투입부를 포함하는 증착 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 센서헤드는, 상기 다수의 증착율센서 중 어느 하나는 증착율 측정 지점에 위치되고 다른 하나는 교체 지점에 위치되도록 상기 진공챔버 내에서 회전가능하게 설치된 증착 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 센서헤드는 상기 증착율센서들이 탑재되는 센서플레이트와, 상기 각 증착율센서들의 전극이 설치되는 전극플레이트를 포함하는 증착 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 센서플레이트는 상기 각 증착율센서와 함께 낱개로 분리 가능하게 형성된 증착 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 증착율센서는 크리스탈 센서를 포함하는 증착 장치.
  6. 증착이 진행되는 진공챔버;
    상기 진공챔버 내에 회전가능하게 설치되며 진공유지밸브에 의해 증착율 측정 지점과 교체 지점으로 서로 분리된 영역이 마련된 지지대; 및,
    다수의 증착율센서를 구비하여 상기 지지대 위의 각 영역에 탑재되는 복수개의 센서헤드:를 포함하는 증착 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 지지대에 증착율 측정 대기 지점이 더 마련되고, 상기 증착율 측정 대기 지점에도 상기 센서헤드가 탑재된 증착 장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 센서헤드는 상기 증착율센서들이 탑재되는 센서플레이트와, 상기 각 증착율센서들의 전극이 설치되는 전극플레이트를 포함하는 증착 장치.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 증착율센서는 크리스탈 센서를 포함하는 증착 장치.
  10. 진공챔버 내에 설치된 센서헤드의 증착율센서들을 외부로 추출할 수 있도록 상기 진공챔버와 진공유지밸브를 개재하여 연결된 센서추출부 및, 상기 센서헤드에 증착율센서를 투입할 수 있도록 상기 진공챔버와 진공유지밸브를 개재하여 연결된 센서투입부를 준비하는 단계;
    상기 센서헤드의 증착율센서들 중 교체 지점에 위치한 센서를 상기 센서추출부를 통해 상기 진공챔버 내의 진공이 유지된 상태로 취출해내는 단계; 및,
    상기 센서헤드에 새로운 증착율센서를 상기 센서투입부를 통해 상기 진공챔버 내의 진공이 유지된 상태로 투입하는 단계;를 포함하는 증착율 측정센서의 교체 방법.
  11. 진공유지밸브에 의해 증착율 측정 지점과 교체 지점으로 서로 분리된 영역이 마련된 지지대를 진공챔버 내에 회전가능하게 설치하는 단계;
    다수의 증착율센서를 구비한 복수개의 센서헤드를 상기 교체 지점에 탑재시킨 후 상기 지지대를 회전시켜서 상기 증착율 측정 지점으로 투입하여 측정을 진행하는 단계; 및,
    상기 지지대를 회전시켜서 상기 교체 지점으로 돌아온 센서헤드를 새것으로 교체하는 단계;를 포함하는 증착율 측정센서의 교체방법.
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