KR20140073446A - Sealing apparatus for organic el, manufacturing apparatus for sealing roll film, and sealing system for organic el - Google Patents

Sealing apparatus for organic el, manufacturing apparatus for sealing roll film, and sealing system for organic el Download PDF

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Abstract

According to the present invention, a sealing substrate can be bonded to an OLED substrate with high precision, and this manufacturing work can be performed efficiently. An organic EL sealing apparatus (12) is configured as below. When an OLED base film (21) is grabbed by film clampers (69a, 69b), a corresponding sealed roll film (19) is grabbed on an OLED substrate (22) bonded to the OLED base film (21), by a maintaining unit, a film clamper (71a) and a guide roller (57), a lamination roller (63a) and a film clamper (71b), under the state of facing a sealed substrate (17) bonded to the sealed roll film (19). Also, an OLED substrate (22) and the sealed substrate (17) facing each other are bonded and sealed, by a sealing unit including a lower side table (66), a sealing substrate attachment tool (61), a carrier lamination tool (63), an upper side table (67) and an electrostatic chuck plate (68).

Description

유기 EL 밀봉 장치, 밀봉 롤 필름 제작 장치 및 유기 EL 밀봉 시스템{SEALING APPARATUS FOR ORGANIC EL, MANUFACTURING APPARATUS FOR SEALING ROLL FILM, AND SEALING SYSTEM FOR ORGANIC EL}TECHNICAL FIELD [0001] The present invention relates to an organic EL sealing apparatus, an apparatus for manufacturing a sealing roll film, and an organic EL sealing system. BACKGROUND ART [0002]

본 발명은, 유기 EL(Electro Luminescence) 패널에 밀봉 필름을 부착하는 유기 EL 밀봉 장치, 밀봉 롤 필름 제작 장치 및 유기 EL 밀봉 시스템에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD The present invention relates to an organic EL sealing device for attaching a sealing film to an organic EL (Electro Luminescence) panel, an apparatus for manufacturing a sealing roll film, and an organic EL sealing system.

종래, 유기 EL, 소위 유기 발광 다이오드(OLED:Organic Light-Emitting Diode)의 패널에 밀봉 기판을 부착하는 기술로서 특허문헌 1에 기재된 기술이 있다. 이 기술은, 유기 EL 조명 장치 등에 사용되는 유기 EL 패널을 제조할 때에, OLED 기판인 복수의 소자 기판을 가지는 소자 머더 기판에, 복수의 밀봉 기판을 가지는 밀봉 머더 기판을 부착한 후, 1쌍의 소자 기판 및 밀봉 기판마다 분단하여 1매의 유기 EL 패널을 얻는 것이다.Description of the Related Art [0002] Conventionally, there is a technique described in Patent Document 1 as a technique for attaching a sealing substrate to a panel of an organic EL, so-called organic light-emitting diode (OLED). In this technique, a sealing mother substrate having a plurality of sealing substrates is attached to an element mother substrate having a plurality of element substrates as an OLED substrate at the time of manufacturing an organic EL panel to be used for an organic EL lighting apparatus, The element substrate and the sealing substrate are divided to obtain one organic EL panel.

이 유기 EL 패널의 특징은, 유기 EL 소자 및 단자 영역이 형성되며, 유리 기판을 베이스로 한 소자 기판과, 그 유기 EL 소자를 피복하는 밀봉 부재와, 밀봉 부재를 통하여 소자 기판에 맞붙여진 밀봉 기판을 구비하고, 유기 EL 소자 및 단자 영역의 사이의 영역에만 배치된 제 1 스페이서를 구비하는 것에 있다. 그리고, 제 1 스페이서로, 분단 공정에 있어서의 응력 집중이나 환경 온도의 변화 등의 외적 스트레스에 의한 유기 EL 패널의 변형을 억제하고, 밀봉 부재의 박리의 발생을 억제하고 있다. 또한, 그 박리에 기인하는 밀봉 부재의 기밀성의 저하를 억제하도록 되어 있다.This organic EL panel is characterized in that an organic EL element and a terminal region are formed, and an element substrate having a glass substrate as its base, a sealing member covering the organic EL element, and a sealing substrate And a first spacer disposed only in a region between the organic EL element and the terminal region. The first spacer suppresses the deformation of the organic EL panel due to external stress such as stress concentration in the dividing step and environmental temperature change, and suppresses the occurrence of peeling of the sealing member. Further, deterioration of the airtightness of the sealing member due to the peeling is suppressed.

또한, 롤에 감긴 필름을 다른 롤에 권취하여 반송하는 롤 투 롤 법을 이용하여, 밀봉 머더 기판상에 복수의 시트 형상 밀봉재를 부착함으로써, 시트 형상 밀봉재를 복수열로 동시에 부착하여, 이 부착에 필요로 하는 택 타임이 단축 가능하게 되어 있다.Further, by adhering a plurality of sheet-shaped sealing materials on a sealing mother substrate by using a roll-to-roll method in which a film wound on a roll is wound on another roll and conveyed, the sheet- The required tact time can be shortened.

WO 2010/024006호 공보WO 2010/024006

그런데, 특허문헌 1의 유기 EL 패널에 있어서는, 롤 투 롤 법을 이용하고, 복수의 시트 형상 밀봉재를 밀봉 머더 기판상에 부착하여 제조의 효율화를 도모하고 있다. 그러나, 이것은 밀봉 기판의 제조이며, 유기 EL 패널을 제조하기 위해서는, 소자 머더 기판에 밀봉 머더 기판을 부착한 후, 분단하여 1매씩의 유기 EL 패널을 얻을 필요가 있다. 따라서, 유기 EL 패널을 효율적으로 제조할 수 없다는 문제가 있다.However, in the organic EL panel of Patent Document 1, a roll-to-roll method is used and a plurality of sheet-shaped sealing materials are adhered on a sealing mother substrate to improve the manufacturing efficiency. However, this is the production of the sealing substrate. In order to manufacture the organic EL panel, it is necessary to attach the sealing mother substrate to the element mother substrate, and then to divide the sealing mother substrate to obtain one sheet of the organic EL panel. Therefore, there is a problem that the organic EL panel can not be efficiently manufactured.

또한, 제 1 스페이서로 1매의 유기 EL 패널로 하기 위한 분단시의 외적 스트레스를 흡수하고 있으나, 분단이 필요한 한, 분단 동작에 의한 스트레스로 유기 EL패널에 어느 정도 장해가 발생할 가능성이 있다. 따라서, OLED 기판인 소자 기판에 밀봉 기판을 고정밀도로 맞붙인 밀봉 상태를 유지할 수 없다는 문제가 있다.In addition, although the first spacer absorbs the external stress at the time of division for forming one organic EL panel, there is a possibility that the organic EL panel may suffer some disturbance due to the stress caused by the division operation as long as the division is necessary. Therefore, there is a problem that the sealed state in which the sealing substrate is accurately contacted with the element substrate as the OLED substrate can not be maintained.

본 발명은, 이와 같은 사정을 감안하여 이루어진 것이며, OLED 기판에 고정밀도로 밀봉 기판을 맞붙일 수 있으며, 이 제조 작업을 효율적으로 행할 수 있는 유기 EL 밀봉 장치, 밀봉 롤 필름 제작 장치 및 유기 EL 밀봉 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such circumstances, and it is an object of the present invention to provide an organic EL sealing device, a sealing roll film production device, and an organic EL sealing system capable of efficiently attaching a sealing substrate to an OLED substrate, And to provide the above objects.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명은, 장척 형상의 제 1 필름에 복수의 OLED 기판이 부착된 OLED 기재 필름을 롤 투 롤로 반송하는 제 1 반송 수단과, 상기 반송되는 OLED 기재 필름을 정지 상태로 유지하는 제 1 유지 수단과, 장척 형상의 제 2 필름에 복수의 밀봉 기판이 부착된 밀봉 롤 필름을 롤 투 롤로 반송하는 제 2 반송 수단과, 상기 반송되는 밀봉 롤 필름을 정지 상태로 유지하는 제 2 유지 수단과, 상기 OLED 기판에 상기 밀봉 기판을 맞붙여 밀봉하는 밀봉 수단을 구비하고, 상기 제 1 유지 수단으로 상기 OLED 기재 필름이 유지되었을 때에, 당해 OLED 기재 필름에 맞붙여져 있는 OLED 기판에, 상기 밀봉 롤 필름에 맞붙여져 있는 밀봉 기판이 대향하는 상태로, 당해 밀봉 롤 필름을 상기 제 2 유지 수단으로 유지하고, 상기 밀봉 수단에 의해, 서로 대향하는 OLED 기판과 밀봉 기판을 맞붙여 밀봉하도록 하였다.In order to solve the above-described problems, the present invention provides a film forming apparatus comprising: first transporting means for transporting an OLED base film having a plurality of OLED substrates attached thereto on a first film having a long shape in roll to roll; A second conveying means for conveying a sealing roll film having a plurality of sealing substrates on a long film of the second film in a roll-to-roll state, and a second conveying means for conveying the conveying roll film in a stopped state And a sealing means for sealing the sealing substrate against the OLED substrate when the OLED substrate film is held by the first holding means, wherein the OLED substrate is bonded to the OLED substrate film, The sealing roll film is held by the second holding means in a state in which the sealing substrate which is in contact with the sealing roll film is opposed to the sealing roll film by the sealing means, The substrate and the sealing substrate were bonded together and sealed.

본 발명에 의하면, OLED 기판에 고정밀도로 밀봉 기판을 맞붙일 수 있고, 이 제조 작업을 효율적으로 행할 수 있는 유기 EL 밀봉 장치, 밀봉 롤 필름 제작 장치 및 유기 EL 밀봉 시스템을 제공할 수 있다.According to the present invention, it is possible to provide an organic EL sealing apparatus, a sealing roll film producing apparatus, and an organic EL sealing system that can bond a sealing substrate to an OLED substrate with high accuracy and can efficiently perform the manufacturing operation.

도 1은, 본 발명의 실시형태에 관련된 유기 EL 밀봉 시스템의 구성을 나타낸 블록도이다.
도 2a는, 장척 형상의 밀봉 롤 필름의 평면도이다.
도 2b는, 도 2a에 나타낸 A1-A1 단면도이다.
도 3a는, 장척 형상의 OLED 기재 필름의 평면도이다.
도 3b는, 도 3a에 나타낸 A2-A2 단면에 상당하는 유기 EL 소자의 단면도이다.
도 4는, 본 실시형태의 밀봉 롤 필름 제작 장치를 측면 방향으로부터 본 주요 구성을 나타낸 구성도이다.
도 5는, 롤 필름의 단면 구성을 나타낸 도면이다.
도 6은, 본 실시형태의 밀봉 롤 필름 제작 장치 또는 유기 EL 밀봉 장치의 동작 제어를 행하는 제어 장치의 구성을 나타낸 블록도이다.
도 7은, 본 실시형태의 유기 EL 밀봉 장치를 측면 방향으로부터 본 주요 구성을 나타낸 구성도이다.
도 8은, 유기 EL 밀봉 장치에 의한 OLED 기판으로의 밀봉 기판 맞붙임 동작의 개시 형태를 나타낸 도면이다.
도 9는, 유기 EL 밀봉 장치에 의한 OLED 기판으로의 밀봉 기판 맞붙임 동작의 종료 상태를 나타낸 도면이다.
도 10은, 유기 EL 밀봉 장치에 의한 밀봉 기판으로부터의 캐리어 필름의 박리 동작의 상태를 나타낸 도면이다.
도 11은, 밀봉 롤 필름 제작 장치에 의한 밀봉 롤 필름의 제조 동작을 설명하기 위한 플로우 차트이다.
도 12는, 유기 EL 밀봉 장치에 의한 OLED 기판으로의 밀봉 기판의 맞붙임에 의한 밀봉 동작을 설명하기 위한 플로우 차트이다.
1 is a block diagram showing a configuration of an organic EL encapsulation system according to an embodiment of the present invention.
2A is a plan view of a sealing roll film having a long shape.
FIG. 2B is a cross-sectional view taken along line A1-A1 shown in FIG. 2A.
3A is a plan view of an elongated OLED base film.
Fig. 3B is a cross-sectional view of the organic EL element corresponding to the cross section A2-A2 shown in Fig. 3A.
Fig. 4 is a configuration diagram showing a main configuration of the apparatus for manufacturing a sealing roll film of the present embodiment viewed from the side direction. Fig.
5 is a view showing a cross-sectional structure of a roll film.
Fig. 6 is a block diagram showing the configuration of a control apparatus for controlling the operation of the sealing roll film producing apparatus or the organic EL sealing apparatus according to the present embodiment.
Fig. 7 is a configuration diagram showing a main configuration of the organic EL encapsulation apparatus of the present embodiment viewed from the side direction.
Fig. 8 is a view showing a starting form of a sealing substrate striking operation to an OLED substrate by an organic EL sealing apparatus. Fig.
Fig. 9 is a view showing an end state of the sealing substrate striking operation with the OLED substrate by the organic EL sealing apparatus. Fig.
10 is a view showing the state of the peeling operation of the carrier film from the sealing substrate by the organic EL sealing apparatus.
11 is a flowchart for explaining the manufacturing operation of the sealing roll film by the sealing roll film producing apparatus.
Fig. 12 is a flowchart for explaining the sealing operation by sticking of the sealing substrate to the OLED substrate by the organic EL sealing apparatus. Fig.

이하, 본 발명의 실시형태를, 도면을 참조하여 설명한다.DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

<유기 EL 밀봉 시스템(10)의 구성>&Lt; Configuration of Organic EL Sealing System 10 >

도 1은, 본 발명의 실시형태에 관련된 유기 EL 밀봉 시스템(10)의 구성을 나타낸 블록도이다.1 is a block diagram showing a configuration of an organic EL encapsulation system 10 according to an embodiment of the present invention.

유기 EL 밀봉 시스템(10)은, 밀봉 롤 필름 제작 장치(11)와, 유기 EL 밀봉 장치(12)와, 열처리 장치(13)를 구비하여 구성되어 있다. 밀봉 롤 필름 제작 장치(11)는, 롤 투 롤로 필름 기재에 밀봉 기판(17)(도 2a 및 도 2b 참조)이 부착된 밀봉 롤 필름(19)을 제조한다. 유기 EL 밀봉 장치(12)는, 롤 투 롤로 반송되는 OLED 기재 필름(21)에 부착된 OLED 기판(22)(도 3a 및 도 3b 참조)에, 밀봉 롤 필름(19)의 밀봉 기판(17)을 롤 투 롤로 반송하면서 맞붙여 밀봉함으로써 OLED 밀봉 필름(23)을 제조한다. 열처리 장치(13)는, OLED 밀봉 필름(23)을 가열하여 밀봉 기판(17)이 OLED 기판(22)을 밀봉한 상태에서 경화시켜, 이것에 의해 제품 필름(24)을 제조한다.The organic EL sealing system 10 comprises a sealing roll film producing apparatus 11, an organic EL sealing apparatus 12 and a heat treatment apparatus 13. The sealing roll film producing apparatus 11 manufactures a sealing roll film 19 to which a sealing substrate 17 (see Figs. 2A and 2B) is attached to a roll to roll film substrate. The organic EL encapsulation apparatus 12 is provided with a sealing substrate 17 of a sealing roll film 19 on an OLED substrate 22 (see Figs. 3A and 3B) attached to an OLED base film 21 conveyed in a roll- Are adhered and sealed while being transported in a roll-to-roll process to produce an OLED sealing film 23. The heat treatment apparatus 13 heats the OLED sealing film 23 to cure the sealing substrate 17 while sealing the OLED substrate 22 to thereby produce the product film 24. [

제품 필름(24)은, 유기 EL 조명 장치 등의 전기 제품에 이용된다. 따라서, 밀봉 기판(17)은, 투명 혹은 소정의 색으로 착색된 투명 필름이며, 후술한 바와 같이 장척 형상의 밀봉 기판 필름(17a)(도 5 참조)으로부터 잘라내어져 형성된다.The product film 24 is used in an electrical product such as an organic EL lighting device. Therefore, the sealing substrate 17 is a transparent film colored transparent or colored with a predetermined color, and is formed by being cut out from a long sealing substrate film 17a (see Fig. 5) as described later.

도 2a는 장척 형상의 밀봉 롤 필름(19)의 평면도, 도 2b는 도 2a에 나타낸 A1-A1 단면도이다. 밀봉 롤 필름(19)은, 장척 형상의 필름인 세퍼레이터(15)에 점착층(16)을 개재하여 직사각형 형상의 밀봉 기판(17)이 미리 정해진 간격(L1)으로 부착되며, 또한 밀봉 기판(17)의 위에 세퍼레이터(15)의 전체면을 덮도록 캐리어 필름(18)이 부착되어 구성되어 있다. 간격(L1)은, 밀봉 기판(17)의 중심으로부터 인접하는 밀봉 기판(17)의 중심까지의 길이이다.2A is a plan view of a sealing roll film 19 in an elongated shape, and Fig. 2B is a sectional view taken along the line A1-A1 shown in Fig. 2A. The sealing roll film 19 is formed such that a rectangular sealing substrate 17 is adhered to the separator 15 which is an elongated film with an adhesive layer 16 interposed therebetween at a predetermined gap L1 and the sealing substrate 17 And a carrier film 18 is attached to cover the entire surface of the separator 15. The interval L1 is the length from the center of the sealing substrate 17 to the center of the sealing substrate 17 adjacent thereto.

도 3a는 장척 형상의 OLED 기재 필름(21)의 평면도, 도 3b는 도 3a에 나타낸 A2-A2 단면에 상당하는 유기 EL 소자의 단면도이다.3A is a plan view of an OLED base film 21 in an elongated shape, and Fig. 3B is a sectional view of an organic EL element corresponding to the A2-A2 cross section shown in Fig. 3A.

도 3b에 나타낸 바와 같이, OLED 기재 필름(21)은, 장척 형상의 기판 필름(21a)에, 양극(22a), 유기물 막(22b), 음극(22c)의 각 층을 적층하여 이루어지는 OLED 기판(22)을 미리 정해진 간격으로 복수 부착한 것이다. 또한, 음극(22c)과 양극(22a)의 사이에 전원(Va)에 의해 소저 전위의 전압이 인가되며, 이것에 의해 화살표(Y10)로 나타낸 바와 같이 발광하도록 되어 있다. 이와 같은 구성의 OLED 기판(22)의 음극(22c) 측으로부터 밀봉 기판(17)이 맞붙여지며, OLED 기판(22)이 수분이나 산소에 접촉하지 않도록 밀봉된다. 단, 밀봉 기판(17)은 후술의 도 8에 나타낸 바와 같이 점착층(16)을 개재하여 부착된다.3B, the OLED base film 21 is formed by laminating an OLED substrate (hereinafter, referred to as OLED substrate) 21 formed by laminating respective layers of an anode 22a, an organic film 22b and a cathode 22c on a long substrate film 21a 22 at a predetermined interval. A voltage of a low potential is applied between the cathode 22c and the anode 22a by the power source Va so that light is emitted as indicated by the arrow Y10. The sealing substrate 17 is stuck from the cathode 22c side of the OLED substrate 22 having such a configuration and sealed so that the OLED substrate 22 is not in contact with moisture or oxygen. However, the sealing substrate 17 is attached via the adhesive layer 16 as shown in Fig. 8 to be described later.

또한, 기판 필름(21a)에 대한 OLED 기판(22)으로의 부착 간격은, 도 3a에 나타낸 바와 같이, OLED 기판(22)의 중심으로부터 인접하는 OLED 기판(22)의 중심까지의 길이 L1이라고 한다. 또한, OLED 기재 필름(21)의 필름 폭은, 도 2a에 나타낸 밀봉 롤 필름(19)의 캐리어 필름(18)의 필름 폭 보다 약간 넓게 되어 있다.3A, the distance between the substrate film 21a and the OLED substrate 22 from the center of the OLED substrate 22 to the center of the adjacent OLED substrate 22 is L1 . The film width of the OLED base film 21 is slightly larger than the film width of the carrier film 18 of the sealing roll film 19 shown in Fig. 2A.

또한, 도 2a에 나타낸 밀봉 롤 필름(19)에 있어서의 캐리어 필름(18)으로의 밀봉 기판(17)의 부착 간격은 L1로 나타낸 바와 같이, 도 3a의 기판 필름(21a)으로의 OLED 기판(22)의 부착 간격(L1)과 동일하게 된다.The adhesion interval of the sealing substrate 17 to the carrier film 18 in the sealing roll film 19 shown in Fig. 2A is set so that the distance between the sealing substrate 17 and the substrate film 21a of the OLED substrate 22).

단, OLED 기판(22)과 밀봉 기판(17)은 상사형(相似形)이며, 밀봉 기판(17)의 쪽이, 도 3b에 나타낸 바와 같이 OLED 기판(22)을 푹 덮는 것이 가능한 큰 사이즈로 되어 있다.However, the OLED substrate 22 and the sealing substrate 17 are of a similar shape, and the sealing substrate 17 has a large size capable of covering the OLED substrate 22 as shown in Fig. 3B have.

<밀봉 롤 필름 제작 장치(11)의 구성>&Lt; Configuration of sealing roll film production apparatus 11 >

밀봉 롤 필름 제작 장치(11)에 대해 도 4를 참조하여 설명한다. 도 4는 밀봉 롤 필름 제작 장치(11)를 측면 방향으로부터 본 주요 구성을 나타낸 구성도이다.The sealing roll film producing apparatus 11 will be described with reference to Fig. 4 is a structural view showing a main configuration of the sealing roll film producing apparatus 11 viewed from the side direction.

밀봉 롤 필름 제작 장치(11)는, 롤 형상으로 감긴 롤 필름(19a)을 자유롭게 회전할 수 있도록 세트하는 최상류측의 롤 부착부(31)와, 롤 필름(19a)으로부터 후술한 바와 같이 제조되는 밀봉 롤 필름(19)을 롤 형상으로 권취하는 최하류측의 필름 권취부(32)와, 롤 부착부(31)와 필름 권취부(32)의 사이에 수평 방향으로 배치되는 가이드 롤러(33a, 33b, 33c, 33d, 33e, 33f, 33g, 33h)와, 가이드 롤러(33e∼33h)의 상방측에 배치되는 가이드 롤러(33i, 33j, 33k)를 구비한다.The sealing roll film producing apparatus 11 comprises an upstream most roll attaching section 31 for setting a roll film 19a rolled in a freely rotatable manner and a roll attaching section 31 for producing a roll film 19a A film winding portion 32 on the downstream side of winding the sealing roll film 19 in the form of a roll and guide rollers 33a and 33b arranged in the horizontal direction between the roll attaching portion 31 and the film winding portion 32, 33b, 33c, 33d, 33e, 33f, 33g, and 33h and guide rollers 33i, 33j, and 33k disposed above the guide rollers 33e to 33h.

또한, 밀봉 롤 필름 제작 장치(11)는, 상류측의 가이드 롤러(33b)와 함께, 상기 수평 방향에 대하여 수직 방향의 상하로 롤 필름(19a)을 끼우는 닙 롤러(34a) 및 하류측의 가이드 롤러(33g)와 상하로 밀봉 롤 필름(19)을 끼우는 닙 롤러(34b)와, 가이드 롤러(33b, 33c) 간의 하방에 배치된 댄서 롤러(35a), 가이드 롤러(33d, 33e) 간의 하방에 배치된 댄서 롤러(35b), 가이드 롤러(33f, 33g) 간의 하방에 배치된 댄서 롤러(35c) 및 가이드 롤러(33i, 33j) 간의 하방에 배치된 댄서 롤러(35d)를 구비한다.The sealing roll film producing apparatus 11 includes a guide roller 33b on the upstream side and a nip roller 34a for holding the roll film 19a vertically in the vertical direction with respect to the horizontal direction, The nip roller 34b sandwiching the roller 33g and the sealing roll film 19 from above and below the dancer roller 35a and the guide rollers 33d and 33e disposed below the guide rollers 33b and 33c And a dancer roller 35d disposed below the dancer roller 35c and the guide rollers 33i and 33j disposed between the disposed dancer roller 35b and the guide rollers 33f and 33g.

또한, 밀봉 롤 필름 제작 장치(11)는, 롤 형상으로 감긴 캐리어 필름(18)을 자유롭게 회전할 수 있도록 세트하는 롤 부착부(36)와, 캐리어 필름(18)의 편면에 부착되는 롤 형상으로 감긴 점착 테이프(38)를 자유롭게 회전할 수 있도록 세트하는 롤 부착부(39)와, 롤 필름(19a) 및 캐리어 필름(18)의 쌍방을 상하로 끼워 넣어 소정 온도로 가열하는 라미네이트 롤러(37a, 37b)를 구비한다.The apparatus 11 for manufacturing a sealed roll film includes a roll attaching section 36 for setting the carrier film 18 wound in a roll shape so as to be freely rotatable, A roll attaching section 39 for setting the rolled adhesive tape 38 so as to be freely rotatable and lamination rollers 37a and 37b for heating the roll film 19a and the carrier film 18 both up and down to a predetermined temperature, 37b.

캐리어 필름(18)의 편면에 부착된 점착 테이프(38)는, 라미네이트 롤러(37a, 37b)로 가열됨으로써, 롤 필름(19a)에 부착되는 성질을 가진다.The adhesive tape 38 attached to one side of the carrier film 18 has a property of being adhered to the roll film 19a by being heated by the lamination rollers 37a and 37b.

롤 필름(19a)은, 도 5에 단면 구성을 나타낸 바와 같이, 장척 형상 필름인 세퍼레이터(15)에 점착층(16)을 개재하여 세퍼레이터(15)와 동일 형상의 밀봉 기판 필름(17a)이 부착되어 구성되어 있다.The roll film 19a has a structure in which a sealing substrate film 17a having the same shape as the separator 15 is attached to the separator 15 which is a long shape film with an adhesive layer 16 interposed therebetween, .

또한, 가이드 롤러(33a∼33k), 닙 롤러(34a, 34b), 댄서 롤러(35a∼35d), 라미네이트 롤러(37a, 37b)를, 단순히 롤러(33a∼33k, 34a, 34b, 35a∼35d, 37a, 37b)라고도 한다.The rollers 33a to 33k, 34a, 34b, 35a to 35d, and 35a to 35d may be configured so that the guide rollers 33a to 33k, the nip rollers 34a and 34b, the dancer rollers 35a to 35d, and the laminate rollers 37a and 37b, 37a and 37b.

또한, 캐리어 필름(18), 롤 필름(19a), 밀봉 롤 필름(19), OLED 기재 필름(21), OLED 밀봉 필름(23), 제품 필름(24)도, 단순히 필름(18, 19a, 19, 21, 23, 24)이라고도 한다.The carrier film 18, the roll film 19a, the sealing roll film 19, the OLED base film 21, the OLED sealing film 23 and the product film 24 are also simply formed of the films 18, 19a and 19 , 21, 23, 24).

롤 부착부(31)에 세트된 롤 필름(19a)은, 각 가이드 롤러(33a∼33h), 댄서 롤러(35a∼35c) 및 닙 롤러(34a, 34b)에 당접 또는 끼워져 삽입 통과되며, 또한, 롤 부착부(36)에 세트된 캐리어 필름(18)은, 편면에 점착 테이프(38)가 부착되면서 각 가이드 롤러(33i∼33k 및 33f∼33h), 댄서 롤러(35d 및 35c), 라미네이트 롤러(37a, 37b)에 당접 또는 끼워져 삽입 통과된다. 이들 삽입 통과에 의한 통과 과정에서, 라미네이트 롤러(37a, 37b)에 의한 가열로 쌍방의 필름(19a, 18)이 점착 테이프(38)로 맞붙여지며, 이것이 밀봉 롤 필름(19)으로서 필름 권취부(32)에서 권취되는 구성으로 되어 있다.The roll film 19a set in the roll attaching section 31 is inserted into or passed through the guide rollers 33a to 33h, the dancer rollers 35a to 35c and the nip rollers 34a and 34b, The carrier film 18 set on the roll attaching portion 36 is attached to each of the guide rollers 33i to 33k and 33f to 33h, the dancer rollers 35d and 35c, the laminate roller 37a, 37b, respectively. The films 19a and 18 are stuck together with the adhesive tape 38 by the heating by the laminating rollers 37a and 37b during the passage process by the insertion and passing, (Not shown).

각 댄서 롤러(35a∼35d)는, 상기한 바와 같이 각 필름(19a, 18, 19)이 통과할 때에, 상하로 이동하여 늘어짐이 생기지 않도록 텐션을 거는 역할을 담당한다.Each of the dancer rollers 35a to 35d serves to tension the film 19a, 18, 19 so that the film 19a, 18, 19 moves up and down to prevent sagging.

또한, 밀봉 롤 필름 제작 장치(11)는, 상류측의 가이드 롤러(33a, 33b) 간에 배치된 사행 검출 센서(40a) 및 하류측의 가이드 롤러(33g, 33h) 간에 배치된 사행 검출 센서(40b)를 구비하고, 또한, 가이드 롤러(33c, 33d) 간에 상류측으로부터 하류측을 향해 순서대로 하프 컷 기구(41), 불필요한 부분 제거 기구(42), 피더(43)를 구비하여 구성되어 있다.The sealing roll film producing apparatus 11 further includes a skew detecting sensor 40b disposed between the guide rollers 33a and 33b on the upstream side and guide rollers 33g and 33h on the downstream side, And a half cut mechanism 41, an unnecessary part removing mechanism 42, and a feeder 43 in this order from the upstream side to the downstream side between the guide rollers 33c and 33d.

사행 검출 센서(40a, 40b)는, 각 필름(19a, 19)의 사행을 검출하고, 도시하지 않은 사행 보정부를 구비하여 사행을 보정하는 사행 검출 보정 수단이다.The skew detection sensors 40a and 40b are skew detection correction means for detecting skew of each of the films 19a and 19 and correcting skew by providing a skew correction unit (not shown).

하프 컷 기구(41)는, 필름(19a)의 상방측에 타발 칼날인 톰슨 칼날(41a), 하방측에 받침대(4lb)를 구비하고, 톰슨 칼날(41a)이 받침대(4lb) 방향으로 하강하여 필름(19a)의 상측 2층의 밀봉 기판 필름(17a) 및 점착층(16)을, 도 2a에 파선으로 나타낸 직사각형 형상으로 타발하도록 구성되어 있다. 이 때, 직사각형 형상으로 타발되는 밀봉 기판(17)의 반송 방향의 양단부에 후술하는 위치 결정용의 마크가 첨부되도록 구성해도 된다. 본 실시형태에서는, 그 마크로서 밀봉 기판(17)의 양단 에지를 적용하도록 되어 있다.The half cut mechanism 41 has a Thomson blade 41a as a cutting edge blade on the upper side of the film 19a and a pedestal 4lb on the lower side thereof so that the Thompson blade 41a descends in the direction of the pedestal 4lb The sealing substrate film 17a and the adhesive layer 16 on the upper two layers of the film 19a are punched out in a rectangular shape shown by the broken line in Fig. At this time, a positioning mark to be described later may be attached to both ends of the sealing substrate 17 which is punched out in a rectangular shape in the carrying direction. In this embodiment, both edges of the sealing substrate 17 are applied as the marks.

또한, 톰슨 칼날(41a)로 타발한 밀봉 기판(17)의 형상은, 본 실시형태에서는 직사각형 형상으로 하고 있으나, 사각, 원, 삼각, 별 등의 임의 형상이어도 된다. 이들의 형상은, 밀봉 기판(17)을 맞붙이기 전의 기판 형상(OLED 기판(22)의 형상)과 동일한 형상으로 이루어진다. 또한, 톰슨 칼날(41a) 대신, 도시하지 않은 로터리 커터를 사용해도 된다.The shape of the sealing substrate 17 formed by the Thompson blade 41a is rectangular in the present embodiment, but may be any shape such as a square, a circle, a triangle, or a star. These shapes are the same shape as the substrate shape (the shape of the OLED substrate 22) before the sealing substrate 17 is bonded. Instead of the Thompson blade 41a, a rotary cutter (not shown) may be used.

불필요한 부분 제거 기구(42)는, 필름(19a)의 상방측에 상하동이 자유로운 점착 테이프부(42a), 하방측에 받침대(42b)를 구비하고, 점착 테이프부(42a)가 받침대(42b) 방향으로 하강하여 밀봉 기판 필름(17a)의 직사각형 형상 이외의 불필요한 부분에 점착하여, 이 점착 부분을 들어올려 벗기도록 구성되어 있다. 그 벗김에 의해, 세퍼레이터(15) 상에 밀봉 기판(17)이 제조된다.The unnecessary part removing mechanism 42 is provided with an adhesive tape portion 42a capable of vertically moving up and down on the upper side of the film 19a and a pedestal 42b on the lower side of the film 19a and the adhesive tape portion 42a is moved in the direction of the pedestal 42b And is adhered to an unnecessary portion other than the rectangular shape of the sealing substrate film 17a, and this adhesive portion is lifted and peeled off. By the peeling, the sealing substrate 17 is produced on the separator 15.

피더(43)는, 필름(19a)을 끼운 상하측에 배치되어 있고, 필름(19a)을 미리 정해진 길이 화살표(Y1)로 나타낸 하류 방향으로 한 구획씩 내보내는 것이다. 그 미리 정해진 길이는, 본 실시형태에서는, 도 2a에 나타낸 길이(L1)라고 한다.The feeder 43 is disposed on the upper and lower sides sandwiching the film 19a and feeds the film 19a one by one in the downstream direction indicated by the predetermined length arrow Y1. The predetermined length is referred to as the length L1 shown in Fig. 2A in the present embodiment.

단, 각 필름(19a, 18, 19)의 반송 동작, 사행 검출 센서(40a, 40b)에서의 사행 검출에 의한 사행 보정 동작, 하프 컷 기구(41), 불필요한 부분 제거 기구(42) 및 피더(43)의 각 동작, 라미네이트 롤러(37a, 37b)의 온도 조절 동작 등의 밀봉 롤 필름 제작 장치(11)에 관련된 동작 제어는, 도 6에 나타낸 제어 장치(101)에 의해 행해진다.It is to be noted that the feeding operation of each film 19a, 18 and 19, the skew correction operation by skew detection in the skew detection sensors 40a and 40b, the half cut mechanism 41, the unnecessary part removing mechanism 42, 43 and the temperature control operation of the lamination rollers 37a, 37b are performed by the control device 101 shown in Fig.

즉, 제어 장치(101)는, CPU(Central Processing Unit)(101a), ROM(Read Only Memory)(10lb), RAM(Random Access Memory)(101c), 기억 장치(HDD:Hard Disk Drive 등)(101d)를 구비하고, 이들(101a∼101d)이 버스(102)에 접속된 일반적인 구성으로 되어 있다. 이와 같은 구성에 있어서, 예를 들면 CPU(101a)가 ROM(101b)에 기록된 프로그램(101f)을 실행하여, 제어 장치(101)의 제어를 실현하도록 되어 있다.That is, the control apparatus 101 includes a CPU (Central Processing Unit) 101a, a ROM (Read Only Memory) 101b, a RAM (Random Access Memory) 101c, a storage device 101d, and these units 101a to 101d are connected to the bus 102 in a general configuration. In such a configuration, for example, the CPU 101a executes the program 101f recorded in the ROM 101b to realize the control of the control apparatus 101. [

<유기 EL 밀봉 장치(12)의 구성>&Lt; Configuration of Organic EL Sealing Device 12 >

도 7은 유기 EL 밀봉 장치(12)를 측면 방향으로부터 본 주요 구성을 나타낸 구성도이다.7 is a structural view showing a main configuration of the organic EL encapsulation apparatus 12 viewed from the side direction.

유기 EL 밀봉 장치(12)는, 진공 환경 중에 배치되는 것이며, 밀봉 롤 필름 제작 장치(11)로 제조된 밀봉 롤 필름(19)을 자유롭게 회전할 수 있도록 세트하는 최상류측의 롤 부착부(51)와, 밀봉 롤 필름(19)으로부터 후술한 바와 같이 세퍼레이터(15) 및 밀봉 기판(17)이 박리된 후에 남는 캐리어 필름(18)을 롤 형상으로 권취하는 최하류측의 필름 권취부(52)와, 롤 부착부(51)와 필름 권취부(52)의 사이에 배치되는, 세퍼레이터 박리 롤러(53)와, 박리된 세퍼레이터(15)를 롤 형상으로 권취하는 필름 권취부(54)와, 가이드 롤러(55, 57, 58)와, 댄서 롤러(56)와, 밀봉 기판 부착 기구(61)의 부착 롤러(61a)와, 캐리어 박리 기구(63)의 박리 롤러(63a, 63b)와, 닙 롤러(64)를 구비한다.The organic EL encapsulation device 12 is disposed in a vacuum environment and includes an uppermost roll attaching portion 51 for freely rotating the sealing roll film 19 made of the encapsulating roll film producing device 11, A film winding portion 52 on the downstream side of winding up the carrier film 18 in the form of a roll, which is left after the separator 15 and the sealing substrate 17 are peeled off from the sealing roll film 19 as described later, A separator peeling roller 53 disposed between the roll attaching section 51 and the film winding section 52, a film winding section 54 for winding the separated separator 15 in the form of a roll, The peeling rollers 63a and 63b of the carrier peeling mechanism 63 and the peeling rollers 63a and 63b of the nip rollers 55 and 57, 64).

단, 유기 EL 밀봉 장치(12)는, 진공 환경 중에 배치되나, 이것은 후술하는 OLED 기판(22)이 수분이나 산소로 열화하는 것에 더해, OLED 기판(22)에 밀봉 기판(17)을 맞붙일 때, 그 밀착성을 향상시키는 것을 하나의 목적으로 하고 있다. 또한, 유기 EL 밀봉 장치(12)는, 진공 환경 중 이외에, 질소(N2) 환경 중에 배치되어도 된다. 즉, OLED 기판(22) 및 밀봉 기판(17)이 공기와 수분에 접촉하지 않는 환경이면 된다. 단, 유기 EL 밀봉 장치(12)의 배치 환경이 진공 중인 경우, OLED 기재 필름(21)이 반송되어 오는 진공 환경의 전(前) 공정으로부터, 그대로 반송되는 구성(진공 중에서 진공 중으로의 반송 구성)으로 하면 되므로, 반송 및 밀봉 작업 환경을 용이하게 구성할 수 있다.Note that the organic EL encapsulation device 12 is disposed in a vacuum environment, but this is because the OLED substrate 22 to be described later is deteriorated by moisture or oxygen, and when the sealing substrate 17 is stuck to the OLED substrate 22 , And its object is to improve its adhesion. Further, the organic EL encapsulation device 12 may be disposed in a nitrogen (N2) environment in addition to a vacuum environment. That is, it is only required that the OLED substrate 22 and the sealing substrate 17 do not contact air and moisture. However, when the arrangement environment of the organic EL encapsulation device 12 is in a vacuum state, the configuration (conveyance configuration from vacuum to vacuum) from the previous step in the vacuum environment in which the OLED base film 21 is conveyed, It is possible to easily configure the transportation and sealing working environment.

또한, 가이드 롤러(55, 57, 58), 댄서 롤러(56), 부착 롤러(61a), 박리 롤러(63a, 63b), 닙 롤러(64)를, 단순히, 롤러(55∼58, 61a, 63a, 63b, 64)라고도 한다.The rollers 55 to 58, 61a, 63a, 63a, 63a, 63a, 63a, 63a, 63a, , 63b, and 64, respectively.

세퍼레이터 박리 롤러(53)는, 롤 부착부(51)의 상방에, 가이드 롤러(55)와 인접 배치되어 있고, 롤러(53, 55) 간에 밀봉 롤 필름(19)을 통과시켜, 이 밀봉 롤 필름(19)의 세퍼레이터(15)를 롤러(53)의 원호를 따르게 하면서 필름 권취부(54)에서 권취한다. 또한, 캐리어 필름(18) 및 당해 캐리어 필름(18)에 점착 테이프(38)로 부착된 밀봉 기판(17)은 가이드 롤러(55)를 통해 화살표(Y2) 방향의 하류측으로 보내지도록 되어 있다.The separator peeling roller 53 is disposed adjacent to the guide roller 55 above the roll attaching portion 51 and allows the sealing roll film 19 to pass between the rollers 53 and 55, The separator 15 of the roller 19 is wound around the film winding portion 54 while following the arc of the roller 53. The sealing substrate 17 attached to the carrier film 18 and the carrier film 18 with the adhesive tape 38 is fed to the downstream side in the direction of the arrow Y2 through the guide roller 55. [

이 보내지는 밀봉 기판(17)이 부착된 캐리어 필름(18)은, 롤러(56, 57)를 통해 부착 롤러(61a)로 향하는 도중에, 후술과 같이 밀봉 기판(17)이 OLED 기판(22)에 부착되어 캐리어 필름(18)으로부터 OLED 기판(22)으로 이행하고, 이 후에 남은 캐리어 필름(18)이, 롤러(61a, 63a, 63b, 58, 64)를 통해 필름 권취부(52)에 권취되는 구성으로 되어 있다.The carrier film 18 to which the sealing substrate 17 to which the sealing substrate 17 to be sent is adhered is moved toward the attachment roller 61a through the rollers 56 and 57 so that the sealing substrate 17 is moved to the OLED substrate 22 The carrier film 18 is transferred from the carrier film 18 to the OLED substrate 22 and then the remaining carrier film 18 is wound on the film winding portion 52 through the rollers 61a, 63a, 63b, 58, .

밀봉 기판 부착 기구(61) 및 캐리어 박리 기구(63)는, 유기 EL 밀봉 장치(12)의 하방측에 수평으로 배치된 하측 테이블(66)의 상면에, 쌍방 화살표(Y3)로 나타낸 바와 같이, 밀봉 기판(17)이 부착된 캐리어 필름(18)을 따라, 하류측으로부터 상류측으로, 또는 상류측으로부터 하류측으로 자유롭게 이동 가능하며, 또한 상하 방향으로도 이동 가능하게 부착되어 있다.The sealing substrate attaching mechanism 61 and the carrier peeling mechanism 63 are provided on the upper surface of the lower table 66 horizontally arranged on the lower side of the organic EL encapsulation device 12, Is freely movable from the downstream side to the upstream side or from the upstream side to the downstream side along the carrier film 18 to which the sealing substrate 17 is attached and is movably attached to the up and down direction.

또한, 유기 EL 밀봉 장치(12)는, 하측 테이블(66)로부터 보아 상방측의 OLED 기재 필름(21)을 끼운 대향 위치에, 상측 테이블(67)에 고정된 정전 척판(68)을 구비한다. 상측 테이블(67)은 상하동 가능하게 되어 있다.The organic EL encapsulation apparatus 12 is provided with an electrostatic chuck plate 68 fixed to the upper table 67 at an opposed position where the OLED base film 21 on the upper side is sandwiched from the lower table 66. The upper table 67 is vertically movable.

정전 척판(68)은, 전압 인가 수단을 구비하는 유전판이며, 이 유전판과 피흡착물인 OLED 기판(22) 및 밀봉 기판(17)의 상호 간에 전압 인가 수단으로 전압을 인가하고, 이 인가에 의해 상호 간에 발생한 정전기력에 의해 OLED 기판(22)을 흡착하는 것이다.The electrostatic chucking plate 68 is a dielectric plate having a voltage applying means and a voltage is applied between the dielectric plate and the OLED substrate 22 and the sealing substrate 17 as voltage applying means by voltage applying means, So that the OLED substrate 22 is attracted by the electrostatic force generated between them.

정전 척판(68)의 상류 및 하류의 양측에는, OLED 기재 필름(21)을 정지 상태로 파지(클램프:유지)하는 필름 클램퍼(69a, 69b)를 구비한다. 또한, 하측 테이블(66)의 상방의 가이드 롤러(57)의 상류측에, 밀봉 기판(17)이 부착된 캐리어 필름(18)을 롤러(57)와 한 쌍이 되어 정지 상태로 파지(유지)하는 필름 클램퍼(71a) 및 박리 롤러(63a)의 하류측에 박리 롤러(63a)와 한 쌍이 되어 정지 상태로 파지(유지)하는 필름 클램퍼(7lb)를 구비한다. 단, 상류측의 필름 클램퍼(71a)는, 캐리어 필름(18)에 부착된 밀봉 기판(17)을 피하는 위치를 파지하는 구조로 되어 있다.On both sides of the upstream and downstream sides of the electrostatic chuck plate 68 are provided film clampers 69a and 69b for holding the OLED base film 21 in a stationary state (clamping). The carrier film 18 with the sealing substrate 17 is paired with the roller 57 and held (held) in a stationary state on the upstream side of the guide roller 57 above the lower table 66 And a film clamper 71b which is held on the downstream side of the film clamper 71a and the peeling roller 63a in a stationary state by pairing with the peeling roller 63a. However, the film clamper 71a on the upstream side has a structure for gripping the position where the sealing substrate 17 attached to the carrier film 18 is avoided.

또한, 유기 EL 밀봉 장치(12)는, 정전 척판(68)의 대향 위치에 밀봉 기판(17)이 배치되었을 때에, 밀봉 기판(17)의 반송 방향 양측에 미리 부착된 마크(여기에서는 마크로서 양측 에지)와, OLED 기판(22)의 미리 부착된 마크(여기에서는 마크로서 양측 에지)를 촬영하는 위치 결정 카메라(72a, 72b)를 구비한다.When the sealing substrate 17 is disposed at the opposite positions of the electrostatic chuck plate 68, the organic EL sealing device 12 is provided with a mark (in this case, And positioning cameras 72a and 72b for photographing pre-attached marks (both side edges as marks here) of the OLED substrate 22.

즉, 위치 결정 카메라(72a, 72b)는, 밀봉 기판(17)의 양측 에지를 촬영함과 함께, 밀봉 기판(17)을 투과하여 OLED 기판(22)의 양측 에지를 촬영한다. 이 촬영에 의해 밀봉 기판(17)의 양측 에지(마크)가 OLED 기판(22)의 양측 에지(마크)에 일치하고 있는지의 여부를 확인하기 위한 것이다.That is, the positioning cameras 72a and 72b capture the edges of both sides of the sealing substrate 17 and also transmit the sealing substrate 17 to capture both edges of the OLED substrate 22. (Mark) of the sealing substrate 17 coincides with both edges (mark) of the OLED substrate 22 by this photographing.

하측 테이블(66)은, 쌍방 화살표(Y3)로 나타낸 양측 방향(X) 및 당해 방향(X)과 직교 방향(Y) 및 하측 테이블(66)의 수평면 중심을 축으로서 수평 상태에 시계 방향 또는 반시계 방향으로 소정 각도(θ) 회전하는 XYθ 이동 기능을 가진다.The lower table 66 is configured to horizontally rotate clockwise or counterclockwise in the horizontal direction around the center of the horizontal plane of the lower table 66 as the axis in both the lateral directions X, X, Y, And has an XY &amp;thetas; movement function to rotate clockwise by a predetermined angle [theta].

이 XYθ 이동 기능에 의해, 도 8에 나타낸 바와 같이, 필름 클램퍼(71a) 및 가이드 롤러(57)와, 박리 롤러(63a) 및 필름 클램퍼(7lb)로 파지된 캐리어 필름(18) 상의 밀봉 기판(17)이, XYθ 이동되도록 되어 있다.8, the film clamper 71a and the guide roller 57 and the sealing substrate (not shown) on the carrier film 18 gripped by the peeling roller 63a and the film clamper 71b 17 are moved in the XY &amp;thetas;

이 XYθ 이동시에는, 도 8에 나타낸 바와 같이, OLED 기재 필름(21)도 필름 클램퍼(69a, 69b)에 의해 파지되어 있고, 상측 테이블(67)이 화살표(Y5)로 나타낸 하측 방향으로 이동하고, 정전 척판(68)이 OLED 기재 필름(21)을 밀어 내림으로써, OLED 기재 필름(21)이 화살표(Y6, Y7)로 나타낸 역방향에 소정의 텐션으로 잡아 당겨진 상태에서 유지 고정되어 있다. 단, 필름 클램퍼(69a, 69b)는, OLED 기재 필름(21)을 파지할 때는, OLED 기판(22) 이외의 부분을 파지하도록 되어 있다.8, the OLED base film 21 is also gripped by the film clamper 69a, 69b, and the upper table 67 is moved in the downward direction indicated by the arrow Y5, The OLED base film 21 is held and fixed in a state in which the OLED base film 21 is stretched in a predetermined tension in the reverse direction indicated by the arrows Y6 and Y7 by the electrostatic chuck plate 68 pushing down the OLED base film 21. [ However, the film clamper 69a, 69b is designed to hold a portion other than the OLED substrate 22 when gripping the OLED base film 21.

즉, 도 7에 나타낸 위치 결정 카메라(72a, 72b)로 밀봉 기판(17)과 OLED 기판(22)의 쌍방의 마크의 불일치가 촬영된 경우, 하측 테이블(66)은 XYθ 이동 기능에 의해 밀봉 기판(17)을 이동함으로써, 밀봉 기판(17)의 양측 에지를 도 8에 나타낸 OLED 기판(22)의 양측 에지에 일치시킨다. 즉, 밀봉 기판(17)을 OLED 기판(22)의 소정 위치에 일치시킨다.That is, when the inconsistencies of marks on both the sealing substrate 17 and the OLED substrate 22 are photographed by the positioning cameras 72a and 72b shown in Fig. 7, the lower table 66 is moved by the XY & The edges of both sides of the sealing substrate 17 are aligned with the edges of both sides of the OLED substrate 22 shown in Fig. That is, the sealing substrate 17 is aligned with the predetermined position of the OLED substrate 22.

이 일치 후에, 밀봉 기판 부착 기구(61)를 화살표(Y8)로 나타낸 상측 방향으로 이동시키면서, 부착 롤러(61a)를 캐리어 필름(18)에 당접하여 누르고, 밀봉 기판(17) 면의 하류측 단부를 OLED 기판(22) 면의 대향 단부에 소정의 힘으로 누른다.The fixing roller 61a is brought into contact with the carrier film 18 so as to be pressed against the downstream side end portion of the surface of the sealing substrate 17 while moving the sealing substrate attaching mechanism 61 in the upward direction indicated by the arrow Y8, Is pressed against the opposite end of the surface of the OLED substrate 22 with a predetermined force.

이 후에, 부착 롤러(61a)로 밀봉 기판(17)의 단부가 OLED 기판(22)의 단부를 누른 상태에서, 밀봉 기판 부착 기구(61)를 화살표(Y9)로 나타낸 상류 방향으로 이동시킨다. 이것에 의해, 도 9에 나타낸 바와 같이, 밀봉 기판 부착 기구(61)가 상측 테이블(67) 보다 상류측까지 이동하면, 정전 척판(68)의 정전기력 등에 의해 OLED 기판(22)에 밀봉 기판(17)이 맞붙여진 상태가 된다.Thereafter, the sealing substrate attaching mechanism 61 is moved in the upstream direction indicated by the arrow Y9 while the end portion of the sealing substrate 17 presses the end portion of the OLED substrate 22 with the attaching roller 61a. 9, when the sealing substrate attaching mechanism 61 moves to the upstream side from the upper table 67, the sealing substrate 17 (not shown) is attached to the OLED substrate 22 by the electrostatic force of the electrostatic chuck plate 68 or the like ) Are in an engaged state.

이 때, 부착 롤러(61a)는, 밀봉 기판(17)의 단부를 OLED 기판(22)에 누르면서 서서히 대향 단부까지 이동하고, 밀봉 기판(17)을 OLED 기판(22)에 정전기력으로 맞붙이므로, 도 3b에 나타낸 바와 같이 맞붙임 면에 부분적인 극간 등이 생기지 않아 완전히 밀착 상태로 맞붙여진다. 이 때, 도 9에 나타낸 상측 테이블(67)이 화살표(Y5)의 하측 방향으로 정전 척판(68)을 통하여 OLED 기재 필름(21)을 내리누르고, 화살표(Y6, Y7)로 나타낸 역방향으로 잡아 당겨지는 유지 고정의 힘이, 정전기력에 가해진다. 이 합력(合力)(F0)은, 밀봉 기판(17)과 OLED 기판(22)을 맞붙이는 점착층(16)의 점착력(F1) 보다 강하다. 또한, 점착력(F1)은, 캐리어 필름(18)과 밀봉 기판(17)을 맞붙이고 있는 점착 테이프(38)(도 4 참조)의 점착력(F2) 보다 강하다. 따라서, F0>F1>F2의 관계로 되어 있다.At this time, since the attaching roller 61a gradually moves to the opposite end while pressing the end portion of the sealing substrate 17 against the OLED substrate 22 and applies the sealing substrate 17 to the OLED substrate 22 with an electrostatic force, As shown in Fig. 3b, a partial gap or the like does not occur on the fitting surface, so that they are brought into a completely close contact state. At this time, the upper table 67 shown in Fig. 9 pushes the OLED base film 21 downward through the electrostatic chuck plate 68 in the downward direction of the arrow Y5, pulls it in the reverse direction indicated by the arrows Y6 and Y7 The force of holding and fixing is applied to the electrostatic force. This resultant force F0 is stronger than the adhesive force F1 of the adhesive layer 16 that sticks the sealing substrate 17 and the OLED substrate 22 together. The adhesive force F1 is stronger than the adhesive force F2 of the adhesive tape 38 (see Fig. 4) in which the carrier film 18 and the sealing substrate 17 are in contact with each other. Therefore, the relation of F0 > F1 > F2 is established.

따라서, 맞붙임 후에, 도 10에 나타낸 바와 같이, 캐리어 박리 기구(63)를 화살표(Y9)로 나타낸 상류측으로 이동시킴으로써, 캐리어 필름(18)을 박리 롤러(63a, 63b)로 잡아당기면서, 파선(18)에서 실선(18)으로 나타낸 바와 같이, 밀봉 기판(17)으로부터 박리할 수 있다. 단, 밀봉 기판 부착 기구(61)에 의한 밀봉 기판(17)의 맞붙임 및 캐리어 박리 기구(63)에 의한 캐리어 필름(18)의 박리는, 화살표(Y9)와 역방향으로 행해도 된다.10, the carrier peeling mechanism 63 is moved to the upstream side indicated by the arrow Y9 so as to pull the carrier film 18 with the peeling rollers 63a and 63b, It can be peeled off from the sealing substrate 17 as indicated by the solid line 18 in Fig. However, the sealing substrate 17 may be stitched by the sealing substrate attaching mechanism 61 and the carrier film 18 may be peeled by the carrier peeling mechanism 63 in the opposite direction to the arrow Y9.

또한, 각 필름(19, 18)의 반송 동작, 각 필름 클램퍼(69a, 69b, 71a, 7lb)의 파지 동작, 위치 결정 카메라(72a, 72b)의 촬영 동작, 하측 테이블(66)의 XYθ 이동 기능의 동작, 상측 테이블(67)의 이동 동작, 밀봉 기판 부착 기구(61) 및 캐리어 박리 기구(63)의 이동 동작 등의 유기 EL 밀봉 장치(12)에 관련된 동작 제어는, 상술한 도 6에 나타낸 제어 장치(101)에서 행해진다. 즉, 도 6의 제어 장치(101)는, 유기 EL 밀봉 장치(12)의 제어 장치와, 밀봉 롤 필름 제작 장치(11)의 제어 장치의 쌍방을 대표하여 나타낸 것이다.The gripping operation of each film clamper 69a, 69b, 71a, and 71b, the shooting operation of the positioning cameras 72a and 72b, and the XY? Movement of the lower table 66 Operation control related to the organic EL encapsulation device 12 such as the operation of the upper table 67, the operation of the sealing substrate attaching mechanism 61, and the movement of the carrier peeling mechanism 63, And is performed in the control apparatus 101. [ That is, the control device 101 shown in Fig. 6 represents both the control device of the organic EL encapsulation device 12 and the control device of the sealing roll film production device 11 as representatives.

<밀봉 롤 필름 제작 장치(11)의 동작>&Lt; Operation of sealing roll film producing apparatus 11 >

다음으로, 상술한 밀봉 롤 필름 제작 장치(11)에 의한 밀봉 롤 필름(19)의 제조 동작을, 도 11에 나타낸 플로우 차트를 참조하여 설명한다. 또한, 설명 중의 각 동작 제어는, 제어 장치(101)에서 행해지는 것으로 한다.Next, the manufacturing operation of the sealing roll film 19 by the above-described sealing roll film producing apparatus 11 will be described with reference to the flowchart shown in Fig. In addition, it is assumed that each operation control in the explanation is performed by the control apparatus 101. [

단계(S1)에 있어서, 도 4에 나타낸 밀봉 롤 필름 제작 장치(11)에 롤 필름(19a) 및 점착 테이프(38)와 함께 캐리어 필름(18)을 세트한다. 즉, 최상류측의 롤 부착부(31)에 롤 필름(19a)을 세트하고, 이 롤 필름(19a)을, 가이드 롤러(33a∼33h), 댄서 롤러(35a∼35c) 및 닙 롤러(34a, 34b) 및 사행 검출 센서(40a, 40b), 하프 컷 기구(41), 불필요한 부분 제거 기구(42) 및 피더(43)에, 상류측으로부터 순서대로 통과시켜, 최하류측의 필름 권취부(32)에서 권취되어 세트한다.In step S1, the carrier film 18 is set together with the roll film 19a and the adhesive tape 38 in the sealing roll film producing apparatus 11 shown in Fig. That is, the roll film 19a is set on the most upstream roll attaching section 31 and the roll film 19a is wound around the guide rollers 33a to 33h, the dancer rollers 35a to 35c and the nip rollers 34a, 34b and the meander detection sensors 40a, 40b, the half cut mechanism 41, the unnecessary part removing mechanism 42 and the feeder 43 in this order from the upstream side to the downstreammost film winding section 32 ).

이것과 동시에, 롤 부착부(36)에 세트한 캐리어 필름(18)의 편면에, 롤 부착부(39)에 세트한 점착 테이프(38)를 부착하면서, 각 가이드 롤러(33i∼33k 및 33f∼33h), 댄서 롤러(35d 및 35c), 라미네이트 롤러(37a, 37b)에 상류측으로부터 순서대로 통과시켜, 필름 권취부(32)에서 권취되어 세트한다.At the same time, while the adhesive tape 38 set on the roll attaching portion 39 is attached to one side of the carrier film 18 set on the roll attaching portion 36, the guide rollers 33i to 33k and 33f- 33h, the dancer rollers 35d and 35c and the lamination rollers 37a and 37b from the upstream side in this order and wound around the film winding portion 32 to be set.

이들 세트 시에 각 필름(19a, 18, 19)이 통과할 때, 단계(S2)에 있어서, 사행 검출 센서(40a, 40b)에서 필름 사행이 검출되면서 각 필름(19a, 18, 19)이 사행하지 않도록 반송된다. 즉, 사행 보정이 행해지면서 반송된다. 또한, 각 댄서 롤러(35a∼35d)로, 각 필름(19a, 18, 19)에 늘어짐이 생기지 않도록 텐션이 걸린다. 또한, 상기의 사행 보정은, 후술한 밀봉 기판(17)의 형성 동작에 의한 필름 반송에 있어서도 상시 실행된다.When the films 19a, 18, and 19 pass through these sets, the film skew detection is detected by the skew detection sensors 40a and 40b in step S2, and the films 19a, 18, . That is, skew correction is carried out while being carried out. Further, tension is applied to each of the films 19a, 18, and 19 by the respective dancer rollers 35a to 35d so as to prevent sagging. The above meandering correction is always carried out also in film transport by the operation of forming the sealing substrate 17, which will be described later.

다음으로, 단계(S3)에 있어서, 하프컷 기구(41)의 톰슨 칼날(41a)이, 정지 중의 롤 필름(19a)을 개재하여 받침대(4lb)로 눌러진다. 이 누름에 의해, 필름(19a)의 상측 2층의 밀봉 기판 필름(17a) 및 점착층(16)이, 세퍼레이터(15)를 제외하고, 도 2a에 파선으로 나타낸 직사각형 형상의 밀봉 기판(17)의 프레임형으로 타발된다.Next, in step S3, the Thompson blade 41a of the half-cut mechanism 41 is pressed by the pedestal 41b via the roll film 19a in the stop state. The sealing substrate film 17a and the adhesive layer 16 on the upper two layers of the film 19a are bonded to the sealing substrate 17 in a rectangular shape shown by the broken line in Fig. As shown in FIG.

이 후에, 단계(S4)에 있어서, 도 4에 나타낸 피더(43)에 의해 롤 필름(19a)이 길이(L1){도 2a 참조}만큼, 화살표(Y1)로 나타낸 하류측으로 내보내진다.Thereafter, in step S4, the roll film 19a is discharged to the downstream side indicated by the arrow Y1 by the length L1 (see Fig. 2A) by the feeder 43 shown in Fig.

다음으로, 단계(S5)에 있어서, 불필요한 부분 제거 기구(42)의 점착 테이프부(42a)가 받침대(42b) 방향으로 하강되어, 밀봉 기판 필름(17a)의 밀봉 기판(17) 이외의 불필요한 부분에 점착된다. 이 후에, 점착 테이프부(42a)가 상승되어, 그 점착된 불필요한 부분이 들어 올려져 벗겨지며, 세퍼레이터(15) 상에 밀봉 기판(17)이 제조된다. 또한, 벗겨진 불필요한 부분은 도시하지 않은 회수 기구에 의해 회수된다.Next, in step S5, the adhesive tape portion 42a of the unnecessary part removing mechanism 42 is lowered in the direction of the pedestal 42b, so that an unnecessary portion other than the sealing substrate 17 of the sealing substrate film 17a . Thereafter, the adhesive tape portion 42a is lifted up, and the unnecessary adhesive portion is lifted and peeled off, and the sealing substrate 17 is produced on the separator 15. In addition, unnecessary portions that have been peeled off are recovered by a recovery mechanism (not shown).

이와 같은 단계(S4와 S5)의 동작이 순차 반복되며, 이것에 의해, 세퍼레이터(15) 상에 점착층(16)으로 부착된 밀봉 기판(17)이 형성되고, 세퍼레이터(15)에 점착 상태에서 하류측으로 반송된다.The operations of the steps S4 and S5 are sequentially repeated so that the sealing substrate 17 adhered with the adhesive layer 16 is formed on the separator 15 and the sealing substrate 17 adhered to the separator 15 And is conveyed downstream.

이 반송시, 단계(S6)에 있어서, 라미네이트 롤러(37a, 37b)로, 세퍼레이터(15)에 점착된 밀봉 기판(17)의 위에 점착 테이프(38)를 통하여 캐리어 필름(18)이 합쳐진 상태로 가열된다. 이 가열에 의해, 캐리어 필름(18)이 점착 테이프(38)로 밀봉 기판(17) 상에 부착된다. 이것에 의해, 밀봉 롤 필름(19)이 제조되어, 롤 부착부(32)에 권취된다.The carrier film 18 is put on the sealing substrate 17 adhered to the separator 15 through the adhesive tape 38 by the lamination rollers 37a and 37b And heated. By this heating, the carrier film 18 is adhered onto the sealing substrate 17 with the adhesive tape 38. Thus, the sealing roll film 19 is produced and wound around the roll attaching portion 32.

<유기 EL 밀봉 장치(12)의 동작>&Lt; Operation of organic EL encapsulation device 12 >

다음으로, 도 7에 나타낸 유기 EL 밀봉 장치(12)에 의한 OLED 기판(22)으로의 밀봉 기판(17)의 맞붙임에 의한 밀봉 동작을, 도 12에 나타낸 플로우 차트를 참조하여 설명한다. 또한, 설명 중의 각 동작 제어는, 도 6에 나타낸 제어 장치(101)에서 행해지는 것으로 한다.Next, a sealing operation by sticking the sealing substrate 17 to the OLED substrate 22 by the organic EL sealing apparatus 12 shown in Fig. 7 will be described with reference to the flowchart shown in Fig. In addition, it is assumed that each operation control in the explanation is performed by the control apparatus 101 shown in Fig.

도 12에 나타낸 단계(S11)에 있어서, 상술한 밀봉 롤 필름 제작 장치(11)에서 제조된 밀봉 롤 필름(19)을, 도 7에 나타낸 최상류측의 롤 부착부(51)와 최하류측의 필름 권취부(52)를 포함하는 사이에 세트한다. 이 때, 밀봉 롤 필름(19)을 세퍼레이터 박리 롤러(53)와 가이드 롤러(55)의 사이에 통과시켜, 밀봉 롤 필름(19) 중의 세퍼레이터(15)를 롤러(53)의 원호를 따르게 하면서 필름 권취부(54)에서 권취되어 세트한다. 또한, OLED 기재 필름(21)을 각 필름 클램퍼(69a, 69b)에 삽입 통과하여 세트한다.In the step S11 shown in Fig. 12, the sealing roll film 19 produced by the above-described sealing roll film producing apparatus 11 is placed on the most upstream side of the roll attaching portion 51, The film take-up part 52 is included. At this time, the sealing roll film 19 is passed between the separator peeling roller 53 and the guide roller 55, and the separator 15 in the sealing roll film 19 is moved along the arc of the roller 53, Wound around the winding portion 54 and set. Further, the OLED base film 21 is inserted into each film clamper 69a, 69b and set.

다음으로, 단계(S12)에 있어서, 화살표(Y4) 방향으로 이동된 OLED 기재 필름(21)이 필름 클램퍼(69a, 69b)로 클램프되며, 당해 OLED 기재 필름(21)에 부착된 OLED 기판(22)이, 정전 척판(68)의 전면의 소정 위치에 세트된다. 또한, 세퍼레이터(15)의 박리 후의 밀봉 기판(17)이 부착된 캐리어 필름(18)이 화살표(Y2) 방향으로 이동되어, 필름 클램퍼(71a, 7lb) 및 롤러(57, 63a)로 클램프됨으로써, 밀봉 기판(17)이 OLED 기판(22)의 대향 위치에 세트된다.Next, in step S12, the OLED base film 21 moved in the direction of the arrow Y4 is clamped by the film clamper 69a, 69b, and the OLED substrate 22 attached to the OLED base film 21 Is set at a predetermined position on the front surface of the electrostatic chuck plate 68. [ The carrier film 18 with the sealing substrate 17 after peeling the separator 15 is moved in the direction of the arrow Y2 and clamped by the film clamper 71a and 71b and the rollers 57 and 63a, The sealing substrate 17 is set at the opposite position of the OLED substrate 22.

다음으로, 단계(S13)에 있어서, 도 8에 나타낸 바와 같이, 상측 테이블(67)이 화살표(Y5)로 나타낸 하측 방향으로 이동하고, 정전 척판(68)이 OLED 기재 필름(21)을 내리누름으로써, OLED 기재 필름(21)이 화살표(Y6, Y7)로 나타낸 역방향에 소정의 텐션으로 잡아당겨진 상태로 유지 고정된다.8, the upper table 67 is moved in the downward direction indicated by the arrow Y5, and the electrostatic chuck plate 68 is pressed down on the OLED base film 21. At this step S13, , The OLED base film 21 is held and fixed in a state in which it is stretched in a predetermined tension in the reverse direction indicated by the arrows Y6 and Y7.

이 후에, 단계(S14)에 있어서, 각 위치 결정 카메라(72a, 72b)에 의해 밀봉 기판(17)의 양측 에지가 촬영됨과 함께, 밀봉 기판(17)을 투과하여 OLED 기판(22)의 양측 에지가 촬영된다.The edges of both sides of the sealing substrate 17 are photographed by the respective positioning cameras 72a and 72b and transmitted through the sealing substrate 17 to the both sides of the OLED substrate 22 .

단계(S15)에 있어서, 그 촬영에 의해 밀봉 기판(17)의 양측 에지가 OLED 기판(22)의 양측 에지에 일치하고 있는지의 여부가 판단된다. 단, 그 양측 에지의 일치란, 상술한 바와 같이 밀봉 기판(17)의 쪽이 OLED 기판(22) 보다 크므로, 그 부착대(代)를 고려한 것이다. 바꿔 말하면, 밀봉 기판(17)이 OLED 기판(22)의 소정 위치에 일치하고 있는지의 여부가 판단된다.It is judged in step S15 whether both edges of the sealing substrate 17 coincide with both edges of the OLED substrate 22 by the photographing. However, since the sealing substrate 17 is larger than the OLED substrate 22 as described above, the matching of both edges is taken into consideration. In other words, it is determined whether or not the sealing substrate 17 coincides with the predetermined position of the OLED substrate 22.

이 판단 결과, 일치하고 있지 않다고 판단(No)된 경우, 단계(S16)에 있어서, 하측 테이블(66)의 XYθ 이동 기능에 의해, 필름 클램퍼(71a, 7lb)로 클립 고정된 캐리어 필름(18) 상의 밀봉 기판(17)이, OLED 기판(22)의 소정 위치에 일치하도록 XYθ 이동된다.(No), the carrier film 18 fixed with the clips by the film clamper 71a, 71b is moved by the XY? Moving function of the lower table 66 in step S16, The sealing substrate 17 on the OLED substrate 22 is moved in the XY &amp;thetas;

이 후에, 재차, 단계(S14)에 있어서, 밀봉 기판(17) 및 OLED 기판(22)의 양측 에지가 촬영되며, 단계(S15)에 있어서, 밀봉 기판(17)이 OLED 기판(22)의 소정 위치에 일치하고 있는지의 여부가 판단된다.The sealing substrate 17 and the edges of both sides of the OLED substrate 22 are photographed again in step S14 and the sealing substrate 17 is placed on the predetermined side of the OLED substrate 22 It is judged whether or not the position coincides with the position.

이 판단 결과, 일치하고 있다고 판단(Yes)된 경우, 단계(S17)에 있어서, 도 8에 나타낸 바와 같이, 밀봉 기판 부착 기구(61)가 화살표(Y8)로 나타낸 상방향으로 이동하면서, 부착 롤러(61a)가 캐리어 필름(18)에 당접되어 눌러지며, 밀봉 기판(17) 면의 하류측 단부가 OLED 기판(22) 면의 대향 단부에 소정의 힘으로 눌린다.If it is determined as a result of the determination (Yes), in step S17, as shown in Fig. 8, the sealing substrate attaching mechanism 61 moves upward in the direction indicated by the arrow Y8, The downstream end of the sealing substrate 17 surface is pressed against the opposite end of the surface of the OLED substrate 22 with a predetermined force.

이 후에, 단계(S18)에 있어서, 상기의 누름 상태에서, 밀봉 기판 부착 기구(61)가 부착 롤러(61a)와 함께 화살표(Y9)로 나타낸 상류 방향으로 이동되며, 도 9에 나타낸 바와 같이, 밀봉 기판 부착 기구(61)가 부착 롤러(61a)와 함께 상측 테이블(67) 보다 상류측까지 이동된다. 이 이동시에 부착 롤러(61a)의 가압력으로 밀봉 기판(17)이 OLED 기판(22)에 눌러지며, 이 때, 정전 척판(68)의 정전기력에 의해 OLED 기판(22)에 밀봉 기판(17)이 맞붙여진다.Subsequently, in step S18, the sealing substrate attaching mechanism 61 is moved in the upstream direction indicated by the arrow Y9 together with the attaching roller 61a in the above-described depressed state, and as shown in Fig. 9, The sealing substrate attaching mechanism 61 is moved to the upstream side of the upper table 67 together with the attaching roller 61a. The sealing substrate 17 is pressed against the OLED substrate 22 by the pressing force of the attaching roller 61a at this time and the sealing substrate 17 is pressed against the OLED substrate 22 by the electrostatic force of the electrostatic chuck plate 68 Is attached.

다음으로, 단계(S19)에 있어서, 도 10에 나타낸 바와 같이, 캐리어 박리 기구(63)가 화살표(Y9)로 나타낸 상류측으로 이동되며, 이것에 의해 캐리어 필름(18)이 박리 롤러(63a, 63b)로 잡아 당겨지면서 밀봉 기판(17)으로부터 박리된다. 이 때, 정전 척판(68)에 OLED 기판(22)을 맞붙이고 있는 합력(F9) 및 OLED 기판(22)에 밀봉 기판(17)을 맞붙이고 있는 점착력(F1)이, 캐리어 필름(18)과 밀봉 기판(17)을 맞붙이고 있는 점착 테이프(38)의 점착력(F2) 보다 강하므로, 캐리어 필름(18)이 밀봉 기판(17)으로부터 박리된다.10, the carrier peeling mechanism 63 is moved to the upstream side indicated by the arrow Y9 so that the carrier film 18 is peeled off from the peeling rollers 63a and 63b And is peeled from the sealing substrate 17. At this time, the resultant force F9 of the OLED substrate 22 against the electrostatic chuck plate 68 and the adhesive force F1 of the sealing substrate 17 against the OLED substrate 22 are applied to the carrier film 18 The carrier film 18 is peeled from the sealing substrate 17 because the sealing film 17 is stronger than the adhesive force F2 of the adhesive tape 38 to which the sealing substrate 17 is bonded.

이것에 의해, 단계(S20)에 있어서, 밀봉 기판(17)에 의해 표면이 밀봉된 OLED 기판(22)이 점착 탑재된 OLED 밀봉 필름(23)이 제조된다.Thereby, in step S20, the OLED sealing film 23 on which the OLED substrate 22 having the surface sealed by the sealing substrate 17 is adhered is manufactured.

이 후에는, OLED 밀봉 필름(23)이 도 1에 나타낸 열처리 장치(13)로 가열되며, 이것에 의해 밀봉 기판(17)이 OLED 기판(22)을 밀봉 상태로 경화하여, 제품 필름(24)이 제조된다.Thereafter, the OLED sealing film 23 is heated by the heat treatment apparatus 13 shown in Fig. 1, whereby the sealing substrate 17 hardens the OLED substrate 22 in a sealed state, .

<유기 EL 밀봉 장치(12)의 효과>&Lt; Effect of Organic EL Sealing Device 12 >

본 실시형태의 도 7에 나타낸 유기 EL 밀봉 장치(12)에 의하면, 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.According to the organic EL encapsulation apparatus 12 shown in Fig. 7 of the present embodiment, the following effects can be obtained.

유기 EL 밀봉 장치(12)는, 장척 형상의 제 1 필름으로서의 기판 필름(21a)에 복수의 OLED 기판(22)이 부착된 OLED 기재 필름(21)을 롤 투 롤로 반송하는 제 1 반송 수단과, 그 반송되는 OLED 기재 필름(21)을 정지 상태로 유지하는 필름 클램퍼(69a, 69b)인 제 1 유지 수단과, 장척 형상의 제 2 필름으로서의 캐리어 필름(18)에 복수의 밀봉 기판(17)이 부착된 밀봉 롤 필름(19)을 롤 투 롤로 반송하는 제 2 반송 수단과, 제 2 반송 수단으로 반송되는 밀봉 롤 필름(19)을 정지 상태로 유지하는, 필름 클램퍼(71a) 및 가이드 롤러(57)와, 박리 롤러(63a) 및 필름 클램퍼(7lb)에 의한 제 2 유지 수단과, OLED 기판(22)에 밀봉 기판(17)을 맞붙여 밀봉하는 밀봉 수단을 구비한다.The organic EL encapsulation device 12 includes first transport means for transporting the OLED base film 21 having a plurality of OLED substrates 22 attached thereto on a substrate film 21a as a first film of a long shape in a roll- A first holding means which is a film clamper 69a, 69b for holding the transported OLED base film 21 in a stopped state and a plurality of sealing substrates 17 on a carrier film 18 as a long film, A second conveying means for conveying the attached sealing roll film 19 in a roll to roll state and a film clamper 71a and a guide roller 57 for holding the sealing roll film 19 conveyed by the second conveying means in a stationary state A second holding means by a peeling roller 63a and a film clamper 71b and a sealing means for sealing and sealing the sealing substrate 17 to the OLED substrate 22. [

단, 제 1 반송 수단은, 필름 클램퍼(69a, 69b)의 양측에 배치되는 도시하지 않은 롤러 기구에 의해 구성되어 있다.However, the first conveying means is constituted by roller mechanisms (not shown) arranged on both sides of the film clamper 69a, 69b.

제 2 반송 수단은, 롤 부착부(51)와, 세퍼레이터 박리 롤러(53)와, 필름 권취부(54)와, 가이드 롤러(55, 57, 58)와, 댄서 롤러(56)와, 부착 롤러(61a)와, 박리 롤러(63a, 63b)와, 닙 롤러(64)와, 필름 권취부(52)를 포함하여 구성되어 있다.The second conveying means includes a roll attachment portion 51, a separator peeling roller 53, a film winding portion 54, guide rollers 55, 57 and 58, a dancer roller 56, A nip roller 64, and a film take-up portion 52. The peeling roller 63a, 63b, the nip roller 64,

밀봉 수단은, 하측 테이블(66)과, 밀봉 기판 부착 기구(61)와, 캐리어 박리 기구(63)와, 상측 테이블(67)과, 정전 척판(68)을 포함하여 구성되어 있다.The sealing means includes a lower table 66, a sealing substrate attaching mechanism 61, a carrier peeling mechanism 63, an upper table 67, and an electrostatic chuck plate 68.

그리고, 유기 EL 밀봉 장치(12)는, 제 1 유지 수단으로 OLED 기재 필름(21)이 유지되었을 때에, OLED 기재 필름(21)에 맞붙여져 있는 OLED 기판(22)에, 밀봉 롤러 필름(19)에 맞붙여진 밀봉 기판(17)이 대향하는 상태에, 당해 밀봉 롤 필름(19)을 제 2 유지 수단으로 유지하고, 밀봉 수단에 의해, 서로 대향하는 OLED 기판(22)과 밀봉 기판(17)을 맞붙여 밀봉하도록 구성되어 있다.The organic EL encapsulation device 12 is provided with an encapsulation roller film 19 on the OLED substrate 22 bonded to the OLED base film 21 when the OLED base film 21 is held by the first holding means. The sealing roll film 19 is held by the second holding means in a state in which the sealing substrate 17 bonded to the sealing substrate 17 faces the OLED substrate 22 and the sealing substrate 17 opposed to each other Thereby sealing and sealing them.

이 구성에 의하면, OLED 기판(22)에 밀봉 기판(17)을 맞붙여 밀봉하는 제조 작업을, 롤 투 롤로 연속적으로 행할 수 있으므로, 그 제조 작업의 택 타임을 단축할 수 있다. 따라서, 그 제조 작업을 효율적으로 행할 수 있다.According to this configuration, since the manufacturing operation for sealing and sealing the sealing substrate 17 to the OLED substrate 22 can be performed continuously with the roll-to-roll operation, the manufacturing time for the manufacturing operation can be shortened. Therefore, the manufacturing work can be performed efficiently.

또한, 유기 EL 밀봉 장치(12)는, 서로 대향하는 OLED 기판(22)과 밀봉 기판(17)의 위치를 촬영하는 촬영 수단으로서의 위치 결정 카메라(72a, 72b)와, 제 2 유지 수단으로 유지된 밀봉 롤 필름(19)에 맞붙여져 있는 밀봉 기판(17)을, 수평면 상에서 종횡 및 회전 방향(XYθ 이동)으로 이동시키는 이동 수단으로서의 하측 테이블(66)과, 위치 결정 카메라(72a, 72b)로 촬영된 OLED 기판(22)과 밀봉 기판(17)의 상호 위치가 소정 위치에 일치하고 있지 않은 경우, 하측 테이블(66)로 밀봉 기판(17)을 소정 위치에 일치시키는 XYθ 이동을 행하도록 제어하는 제어 수단으로서의 제어 장치(101)를 더 구비하는 구성으로 하였다.The organic EL encapsulation apparatus 12 further includes positioning cameras 72a and 72b as imaging means for capturing the positions of the OLED substrate 22 and the sealing substrate 17 facing each other, A lower table 66 as a moving means for moving the sealing substrate 17 which is in contact with the sealing roll film 19 in vertical and horizontal directions and in the rotating direction (XY? Movement) on the horizontal plane, Control in which the XY &amp;thetas; movement of aligning the sealing substrate 17 with a predetermined position is performed by the lower table 66 when the mutual positions of the OLED substrate 22 and the sealing substrate 17 are not coincident with each other, And a control device 101 as a means.

이 구성에 의하면, OLED 기판(22)에 밀봉 기판(17)을 고정밀도로 위치 맞춤을 행할 수 있으므로, 고정밀도로 맞붙일 수 있다.According to this configuration, since the sealing substrate 17 can be aligned with the OLED substrate 22 with high precision, it can be stuck with high accuracy.

또한, OLED 기재 필름(21)에 있어서의 복수의 OLED 기판(22)의 부착 간격과, 밀봉 롤 필름(19)에 있어서의 복수의 밀봉 기판(17)의 부착 간격을 일치시키는 구성으로 하였다.The arrangement interval of the plurality of OLED substrates 22 in the OLED base film 21 coincides with the deposition intervals of the plurality of sealing substrates 17 in the sealing roll film 19.

일치시키는 구성에 한정될 일은 없으나 일치시키는 구성에 의하면, 롤 투 롤 기구에 있어서, OLED 기판(22)과 밀봉 기판(17)을 용이하게 대향시킬 수 있다.But the OLED substrate 22 and the sealing substrate 17 can be easily opposed to each other in the roll-to-roll mechanism.

또한, OLED 기판(22)과 밀봉 기판(17)의 형상은, 상술한 바와 같이 밀봉 기판(17)의 쪽이 큰 상사형이다.In addition, the shape of the OLED substrate 22 and the sealing substrate 17 is a top-like shape of the sealing substrate 17 as described above.

이것에 의해, OLED 기판(22)과 밀봉 기판(17)의 쌍방을 대향시킬 때에, 쌍방이 상사형이므로 쌍방의 중심이 맞도록 하면 위치 맞춤을 고정밀도로 행할 수 있다.As a result, when both the OLED substrate 22 and the sealing substrate 17 are opposed to each other, since the both are top-shaped, alignment can be performed with high precision if the centers of both are matched.

또한, 밀봉 수단은, 정전 척판(68)이 전압 인가 수단 및 유전판을 구비하고, 당해 유전판을 OLED 기판(22)에 누르면서 OLED 기판(22)을 밀봉 기판(17)에 당접시켜, 이들 당접한 상호 간에 당해 전압 인가 수단으로 전압을 인가하고, 이 인가에 의해 상호 간에 발생하는 정전기력과, 상기 누름력에 의해 당해 OLED 기판(22)이 부착된 OLED 기재 필름(21)에 생기는 텐션력과의 합력(F0)으로 당해 OLED 기판(22) 및 당해 밀봉 기판(17)을 맞붙이는 구성으로 하였다.The sealing means is a sealing means in which the electrostatic chucking plate 68 is provided with a voltage application means and a dielectric plate and the OLED substrate 22 is brought into contact with the sealing substrate 17 while pressing the dielectric plate against the OLED substrate 22, A voltage is applied to the OLED base film 21 by the application of the voltage, and the electrostatic force generated between the OLED substrate film 21 and the OLED substrate 22 by the pressing force And the OLED substrate 22 and the sealing substrate 17 are brought into contact with the resultant force F0.

이 구성에 의하면, OLED 기판(22)에 밀봉 기판(17)을 정전기와 텐션력의 합력(F0)으로 용이하고도 적확하게 맞붙일 수 있다.According to this configuration, the sealing substrate 17 can be easily and accurately attached to the OLED substrate 22 by the resultant force F0 of the static electricity and the tension force.

또한, 밀봉 수단은, 부착 롤러를 구비하고, 정전기력에 의해 OLED 기판(22) 및 밀봉 기판(17)을 흡착시킬 때에, 부착 롤러를 당해 밀봉 기판(17)의 하측면의 일단부로부터 타단부로 누르면서 이동시킴으로써, 밀봉 기판(17) 및 OLED 기판(22)의 쌍방을 맞붙이는 구성으로 하였다.The sealing means is provided with an attaching roller and is capable of moving the attaching roller from one end of the lower side of the sealing substrate 17 to the other end when the OLED substrate 22 and the sealing substrate 17 are attracted by the electrostatic force The sealing substrate 17 and the OLED substrate 22 are brought into contact with each other.

이 구성에 의하면, OLED 기판(22)과 밀봉 기판(17)의 접합면에 부분적인 극간 등이 생기지 않아, 완전히 밀착 상태로 맞붙일 수 있다.According to this configuration, since a partial gap or the like does not occur on the bonding surface of the OLED substrate 22 and the sealing substrate 17, the bonding can be performed in a completely close contact state.

또한, 밀봉 기판(17) 및 OLED 기판(22)의 쌍방을 맞붙이는 힘은, 캐리어 필름(18)에 밀봉 기판(17)을 맞붙이는 힘보다 강하게 되어 있는 구성으로 하였다. 또한, 밀봉 수단은, 캐리어 필름(18)을 밀봉 기판(17)으로부터 박리하는 박리 수단으로서의 캐리어 박리 기구(63)를 구비하고, 밀봉 기판(17) 및 OLED 기판(22)의 쌍방이 맞붙여진 후에, 캐리어 박리 기구(63)로 밀봉 기판(17)으로부터 캐리어 필름(18)을 박리하는 구성으로 하였다.The biasing force of both the sealing substrate 17 and the OLED substrate 22 is made stronger than the force of the sealing substrate 17 against the carrier film 18. [ The sealing means is provided with a carrier peeling mechanism 63 as a peeling means for peeling the carrier film 18 from the sealing substrate 17. After the sealing substrate 17 and the OLED substrate 22 are both engaged , And the carrier peeling mechanism 63 peels the carrier film 18 from the sealing substrate 17. [

이들의 구성에 의하면, OLED 기판(22)에 밀봉 기판(17)을 맞붙인 후에, 밀봉 기판(17)에 부착되어 있는 캐리어 필름(18)을 벗길 때에, 캐리어 필름(18) 만을 용이하게 벗길 수 있다.According to these configurations, when the carrier film 18 adhering to the sealing substrate 17 is peeled off after the sealing substrate 17 is stuck to the OLED substrate 22, only the carrier film 18 can be easily peeled off have.

<밀봉 롤 필름 제작 장치(11)의 효과>&Lt; Effects of the sealing roll film producing apparatus 11 >

본 실시형태의 도 4에 나타낸 밀봉 롤 필름 제작 장치(11)는, 장척 형상의 제 1 필름으로서의 세퍼레이터(15)에, 장척 형상의 밀봉 기판 필름(17a)이 부착된 롤 필름(19a)을, 미리 정해진 간격으로 한 구획씩 롤 투 롤로 반송하는 제 3 반송 수단과, 반송되는 롤 필름(19a)의 한 구획에 있어서의 정지시에, 당해 롤 필름(19a)에 부착된 밀봉 기판 필름(17a) 만(세퍼레이터(15)를 제외)을 미리 정해진 프레임형으로 컷하는 컷 수단으로서의 하프 컷 기구(41)와, 밀봉 기판 필름(17a)에 있어서의 컷 된 프레임형 이외의 불필요한 부분을, 롤 필름(19a)으로부터 제거하는 제거 수단으로서의 불필요한 부분 제거 기구(42)와, 제거 후에 롤 필름에 남은 프레임형에 의한 밀봉 기판(17)의 위로부터, 장척 형상의 제 2 필름으로서의 캐리어 필름(18)을 롤 투 롤로 맞붙임으로써 밀봉 롤 필름(19)을 제조하는 제 4 반송 수단을 구비하는 구성으로 하였다.The sealing roll film producing apparatus 11 shown in Fig. 4 of the present embodiment has a roll film 19a with a long sealing substrate film 17a attached to the separator 15 as the first long film, A third conveying means for conveying the roll film 19a by a predetermined interval in a roll-to-roll manner; and a third conveying means for conveying the seal substrate film 17a attached to the roll film 19a, A half cut mechanism 41 as a cut means for cutting only the cut film (except for the separator 15) into a predetermined frame type and an unnecessary portion other than the cut frame type in the seal substrate film 17a, And a carrier film 18 as a second film of a long shape is formed on the roll substrate from the top of the sealing substrate 17 by the frame type remaining on the roll film after the removal, Seal roll fill by sticking to roll (19) to a structure having a fourth transfer means for producing.

단, 제 3 반송 수단은, 최상류측의 롤 부착부(31)와 최하류측의 필름 권취부(32)와, 이들 롤 부착부(31)와 필름 권취부(32)의 사이에, 가이드 롤러(33a, 33b, 33c, 33d, 33e, 33f, 33g, 33h)와, 닙 롤러(34a, 34b)와, 댄서 롤러(35a, 35b, 35c)와, 라미네이트 롤러(37a, 37b)를 포함하여 구성된다.It should be noted that the third conveying means is provided between the most upstream roll attaching portion 31 and the downstream most film winding portion 32 and between the roll attaching portion 31 and the film winding portion 32, The nip rollers 34a and 34b and the dancer rollers 35a and 35b and the lamination rollers 37a and 37b and the nip rollers 35a and 35b and the nip rollers 35a and 35b, do.

제 4 반송 수단은, 롤 부착부(36, 39)와, 가이드 롤러(33i, 33j, 33k)와, 댄서 롤러(35d, 35c)와, 라미네이트 롤러(37a, 37b)와, 가이드 롤러(33f, 33g, 33h)와, 닙 롤러(34b)와, 필름 권취부(32)를 포함하여 구성된다.The fourth conveying means includes rollers 36 and 39, guide rollers 33i and 33j and 33k, dancer rollers 35d and 35c, lamination rollers 37a and 37b, guide rollers 33f and 33f, 33g, and 33h, a nip roller 34b, and a film take-up portion 32. [

이 구성에 의하면, 롤 투 롤로 밀봉 기판(17)을 연속적으로 제조하면서, 이들의 밀봉 기판(17)이 캐리어 필름(18)에 부착된 밀봉 롤 필름(19)을 효율적으로 제조할 수 있다.With this configuration, it is possible to efficiently manufacture the sealing roll film 19 to which the sealing substrate 17 is adhered to the carrier film 18, while continuously manufacturing the roll-to-roll sealing substrate 17.

또한, 상기의 프레임형의 형상은, 밀봉 기판(17)을 맞붙이는 기판 형상과 동일하게 하였다. 이것에 의해, 밀봉 기판(17)을 맞붙이기 전의 기판에 대향시키기 쉬워져, 쌍방 기판의 위치 맞춤을 고정밀도로 행하기 쉬워진다.The shape of the frame was the same as that of the substrate to which the sealing substrate 17 was attached. As a result, the sealing substrate 17 can easily be opposed to the substrate before it is stuck, so that it is easy to perform alignment of the two substrates with high accuracy.

또한, 밀봉 롤 필름 제작 장치(11)의 제 3 반송 수단으로 반송되는 롤 필름(19a)의 사행을 검출하여 사행 보정을 행하는 사행 검출 센서(40a, 40b)를 포함하는 사행 검출 보정 수단을 더 구비하는 구성으로 하였다.The apparatus further includes a skew detection correcting means including skew detection sensors (40a, 40b) for detecting skew of the roll film (19a) conveyed to the third conveying means of the sealing roll film producing apparatus (11) .

이 구성에 의하면, 롤 투 롤로 롤 필름(19a)을 반송할 때에, 사행하지 않으므로, 적정하게 반송할 수 있고, 또한, 밀봉 기판(17)을 연속적으로 제조할 때에도 적정하게 제조할 수 있다.According to this configuration, when the roll-to-roll roll film 19a is transported, it is not skewed, so that it can be transported properly and it can be properly manufactured even when the sealing substrate 17 is continuously manufactured.

<유기 EL 밀봉 시스템의 효과><Effect of Organic EL Sealing System>

본 실시형태의 도 1에 나타낸 유기 EL 밀봉 시스템(10)은, 상기의 유기 EL 밀봉 장치(12) 및 밀봉 롤 필름 제작 장치(11)와, 유기 EL 밀봉 장치(12)에 의해 OLED 기판(22)에 밀봉 기판(17)을 맞붙여 밀봉한 상태에서, 가열하여 경화시키는 열처리 장치(13)를 구비하는 구성으로 하였다.The organic EL encapsulation system 10 shown in Fig. 1 of the present embodiment is an organic EL encapsulation system in which the organic EL encapsulation device 12 and the encapsulating roll film production device 11 described above and the organic EL encapsulation device 12 are connected to the OLED substrate 22 And a heat treatment apparatus (13) for heating and curing the sealing substrate (17) in a sealed state.

이 구성에 의하면, OLED 기판(22)에 밀봉 기판(17)을 맞붙여 밀봉한 후에, 가열하여 경화시키므로, 제품 필름(24)을 적정하게 제조할 수 있다.According to this configuration, since the sealing substrate 17 is stuck to the OLED substrate 22 and sealed, and then heated and cured, the product film 24 can be properly manufactured.

단, 열처리 장치(13)에서의 열 경화 대신, 자외선(UV)에 의해 UV 경화하여 제품 필름(24)을 작성하도록 해도 된다. 이 경우, OLED 기판(22)과 밀봉 기판(17)의 사이에 고르게 UV 도포제를 도포하는 것이 필요하게 된다.However, instead of thermal curing in the heat treatment apparatus 13, the product film 24 may be formed by UV curing by ultraviolet rays (UV). In this case, it is necessary to uniformly apply a UV coating agent between the OLED substrate 22 and the sealing substrate 17.

또한, 본 발명은 상기한 실시형태에 한정되는 것이 아니고, 여러 가지 변형예가 포함된다. 예를 들면, 상기한 실시형태는 본 발명을 알기 쉽게 설명하기 위해 상세하게 설명한 것이며, 반드시 설명한 모든 구성을 구비하는 것에 한정되는 것은 아니다. 또한, 어떤 실시형태의 구성의 일부를 다른 실시형태의 구성으로 치환하는 것도 가능하며, 또한, 어떤 실시형태의 구성에 다른 실시형태의 구성을 더하는 것도 가능하다. 또한, 각 실시형태의 구성의 일부에 대해, 다른 구성의 추가·삭제·치환을 하는 것이 가능하다.The present invention is not limited to the above-described embodiment, but includes various modifications. For example, the above-described embodiments have been described in detail in order to facilitate understanding of the present invention, and are not limited to those having all the configurations described above. It is also possible to replace some of the configurations of certain embodiments with those of other embodiments, and it is also possible to add configurations of other embodiments to the configurations of certain embodiments. In addition, it is possible to add, delete, or substitute another configuration with respect to a part of the configuration of each embodiment.

또한, 상기의 각 구성, 기능, 처리부(제어부), 처리 수단 등은, 그들의 일부 또는 전부를, 예를 들면 집적 회로로 설계하는 등에 의해 하드웨어로 실현해도 된다. 또한, 상기의 각 구성, 기능 등은, 프로세서가 각각의 기능을 실현하는 프로그램을 해석하고, 실행함으로써 소프트웨어로 실현해도 된다. 각 기능을 실현하는 프로그램, 테이블, 파일 등의 정보는, 메모리나, 하드 디스크, SSD(Solid State Drive) 등의 기록 장치, 또는, IC(Integrated Circuit) 카드, SD(Secure Digital memory) 카드, DVD(Digital Versatile Disc) 등의 기록 매체에 둘 수 있다.The above-described components, functions, processing units (control units), processing means, and the like may be realized by hardware by designing a part or all of them with, for example, an integrated circuit. Further, the above-described respective configurations, functions, and the like may be realized by software by analyzing and executing a program that realizes the respective functions of the processor. Information such as a program, a table, and a file that realize each function may be recorded in a memory, a hard disk, a recording device such as a solid state drive (SSD), or an IC (Integrated Circuit) card, a SD (Digital Versatile Disc) or the like.

또한, 제어선이나 정보선은 설명상 필요하다고 생각되는 것을 나타내고 있으며, 제품상 반드시 모든 제어선이나 정보선을 나타내고 있다고는 할 수 없다. 실제로는 거의 모든 구성이 서로 접속되어 있다고 생각해도 된다.In addition, the control lines and information lines indicate that they are deemed necessary for explanation, and not all control lines and information lines are necessarily indicated on the product. In practice, it can be considered that almost all configurations are connected to each other.

10: 유기 EL 밀봉 시스템 11: 밀봉 롤 필름 제작 장치
12: 유기 EL 밀봉 장치 13: 열처리 장치
15: 세퍼레이터 16: 점착층
17: 밀봉 기판 18: 캐리어 필름
19: 밀봉 롤 필름 19a: 롤 필름
21: OLED 기재 필름 21a: 기판 필름
22: OLED 기판 22a: 양극
22b: 유기물 막 22c: 음극
23: OLED 밀봉 필름 24: 제품 필름
31, 36, 39, 51: 롤 부착부(제 2∼제 4 반송 수단)
32, 52: 필름 권취부(제 2∼제 4 반송 수단)
33a, 33b, 33c, 33d, 33e, 33f, 33g, 33h, 33i, 33j, 33k, 55, 57, 58: 가이드 롤러(제 2∼제 4 반송 수단)
34a, 34b, 64: 닙 롤러(제 2∼제 4 반송 수단)
35a, 35b, 35c, 35d, 56: 댄서 롤러(제 2∼제 4 반송 수단)
37a, 37b: 라미네이트 롤러 38: 점착테이프
40a, 40b: 사행 검출 센서(사행 검출 보정 수단)
41: 하프 컷 기구 41a: 톰슨 칼날
4lb, 42b: 받침대
42: 불필요한 부분 제거 기구(제거 수단) 42a: 점착 테이프부
43: 피더 53: 세퍼레이터 박리 롤러
54: 필름 권취부
61: 밀봉 기판 부착 기구(밀봉 수단) 61a: 부착 롤러
63: 캐리어 박리 기구(밀봉 수단) 63a, 63b: 박리 롤러
66: 하측 테이블(밀봉 수단)(이동 수단) 67: 상측 테이블(밀봉 수단)
68: 정전 척판(밀봉 수단)
69a, 69b, 71a, 7lb: 필름 클램퍼(제 1 및 제 2 유지 수단)
72a, 72b: 위치 결정 카메라(촬영 수단) 101: 제어 장치(제어 수단)
10: Organic EL sealing system 11: Sealing roll film production apparatus
12: organic EL sealing apparatus 13: heat treatment apparatus
15: separator 16: adhesive layer
17: sealing substrate 18: carrier film
19: sealing roll film 19a: roll film
21: OLED base film 21a: substrate film
22: OLED substrate 22a: anode
22b: organic film 22c: cathode
23: OLED sealing film 24: product film
31, 36, 39, 51: roll attachment portions (second to fourth transport means)
32, 52: film wound section (second to fourth conveying means)
(Second to fourth conveying means) 33a, 33b, 33c, 33d, 33e, 33f, 33g, 33h, 33i, 33j, 33k, 55,
34a, 34b, 64: nip rollers (second to fourth conveying means)
35a, 35b, 35c, 35d, 56: dancer rollers (second to fourth conveying means)
37a, 37b: Laminate roller 38: Adhesive tape
40a, 40b: a meander detection sensor (meander detection correction means)
41: half-cut mechanism 41a: Thompson blade
4lb, 42b: pedestal
42: unnecessary part removing mechanism (removing means) 42a: adhesive tape part
43: feeder 53: separator peeling roller
54:
61: sealing substrate attaching mechanism (sealing means) 61a: attaching roller
63: carrier peeling mechanism (sealing means) 63a, 63b: peeling roller
66: lower table (sealing means) (moving means) 67: upper table (sealing means)
68: Electrostatic plate (sealing means)
69a, 69b, 71a, and 71b: film clamper (first and second holding means)
72a, 72b: positioning camera (photographing means) 101: control device (control means)

Claims (12)

장척 형상의 제 1 필름에 복수의 OLED 기판이 부착된 OLED 기재 필름을 롤 투 롤로 반송하는 제 1 반송 수단과,
상기 반송되는 OLED 기재 필름을 정지 상태로 유지하는 제 1 유지 수단과,
장척 형상의 제 2 필름에 복수의 밀봉 기판이 부착된 밀봉 롤 필름을 롤 투 롤로 반송하는 제 2 반송 수단과,
상기 반송되는 밀봉 롤 필름을 정지 상태로 유지하는 제 2 유지 수단과,
상기 OLED 기판에 상기 밀봉 기판을 맞붙여 밀봉하는 밀봉 수단을 구비하고,
상기 제 1 유지 수단으로 상기 OLED 기재 필름이 유지되었을 때에, 당해 OLED 기재 필름에 맞붙여져 있는 OLED 기판에, 상기 밀봉 롤 필름에 맞붙여져 있는 밀봉 기판이 대향하는 상태로, 당해 밀봉 롤 필름을 상기 제 2 유지 수단으로 유지하고, 상기 밀봉 수단에 의해, 서로 대향하는 OLED 기판과 밀봉 기판을 맞붙여 밀봉하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 밀봉 장치.
A first conveying means for conveying the OLED base film having a plurality of OLED substrates attached thereto on a first film having a long shape in a roll-
First holding means for holding the transported OLED base film in a stationary state,
A second conveying means for conveying a sealing roll film having a plurality of sealing substrates attached to a second film having a long shape to a roll-
Second holding means for holding the conveying roll film in a stopped state,
And sealing means for sealing and sealing the sealing substrate to the OLED substrate,
Wherein when the OLED substrate film is held by the first holding means, the sealing roll film is brought into contact with the OLED substrate which is in contact with the OLED substrate film, 2 holding means, and sealing the OLED substrate and the sealing substrate facing each other by sealing with each other by the sealing means.
제 1항에 있어서,
상기 서로 대향하는 OLED 기판과 밀봉 기판의 위치를 촬영하는 촬영 수단과,
상기 밀봉 롤 필름이 상기 제 2 유지 수단으로 유지된 상태에서 당해 밀봉 롤 필름에 맞붙여진 밀봉 기판을, 수평면 상에서 종횡 및 회전 방향으로 이동시키는 이동 수단과,
상기 촬영 수단으로 촬영된 OLED 기판과 밀봉 기판의 상호 위치가 소정 위치에 일치하고 있지 않은 경우, 상기 이동 수단으로 당해 밀봉 기판을 당해 소정 위치에 일치시키는 이동을 행하도록 제어하는 제어 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 밀봉 장치.
The method according to claim 1,
An imaging means for imaging the positions of the opposing OLED substrate and the sealing substrate,
Moving means for moving the sealing substrate, which is in contact with the sealing roll film in a state in which the sealing roll film is held by the second holding means, in the horizontal and vertical directions,
Further comprising control means for controlling the movement means to move the sealing substrate to the predetermined position when the mutual position of the OLED substrate photographed by the photographing means and the sealing substrate does not coincide with a predetermined position Wherein the organic EL device is an organic EL device.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 OLED 기재 필름에 있어서의 상기 복수의 OLED 기판의 부착 간격과, 상기 밀봉 롤 필름에 있어서의 상기 복수의 밀봉 기판의 부착 간격은 일치하고 있는 것을 특징으로 하는 유기 EL 밀봉 장치.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein an adhesion interval of the plurality of OLED substrates in the OLED base film and an adhesion interval of the plurality of sealing substrates in the sealing roll film coincide with each other.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 OLED 기판과 상기 밀봉 기판은, 당해 밀봉 기판의 쪽이 큰 상사형(相似形)인 것을 특징으로 하는 유기 EL 밀봉 장치.
3. The method according to claim 1 or 2,
Wherein the OLED substrate and the sealing substrate have a large similar shape to that of the sealing substrate.
제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 밀봉 수단은, 전압 인가 수단 및 유전판을 구비하고, 당해 유전판을 상기 OLED 기판에 누르면서 당해 OLED 기판을 상기 밀봉 기판에 당접시켜, 이들 당접한 상호 간에 당해 전압 인가 수단으로 전압을 인가하고, 이 인가에 의해 상호 간에 발생하는 정전기력과, 상기 누름력에 의해 당해 OLED 기판이 부착된 OLED 기재 필름에 생기는 텐션력과의 합력(合力)으로 당해 OLED 기판 및 당해 밀봉 기판을 맞붙이는 것을 특징으로 하는 유기 EL 밀봉 장치.
3. The method according to claim 1 or 2,
The sealing means includes a voltage applying means and a dielectric plate. The OLED substrate is brought into contact with the sealing substrate while pressing the dielectric plate onto the OLED substrate, and a voltage is applied between the OLED substrate and the sealing substrate, And the OLED substrate and the sealing substrate are brought into contact with each other by a resultant force of an electrostatic force generated between the OLED substrate and the OLED base film to which the OLED substrate is attached by the pressing force. Organic EL sealing device.
제 5항에 있어서,
상기 밀봉 수단은, 부착 롤러를 구비하고, 상기 정전기력에 의해 상기 OLED 기판 및 상기 밀봉 기판을 맞붙일 때에, 상기 부착 롤러를 당해 밀봉 기판의 하면의 일단부로부터 타단부로 누르면서 이동시킴으로써, 당해 밀봉 기판 및 당해 OLED 기판의 쌍방을 맞붙이는 것을 특징으로 하는 유기 EL 밀봉 장치.
6. The method of claim 5,
Wherein the sealing means includes an attaching roller and moves while pressing the attaching roller from one end to the other end of the lower surface of the sealing substrate when the OLED substrate and the sealing substrate are brought into contact with each other by the electrostatic force, And attaching both of the OLED substrates to each other.
제 6항에 있어서,
상기 밀봉 기판 및 상기 OLED 기판의 쌍방을 맞붙이는 힘은, 상기 제 2 필름에 상기 밀봉 기판을 맞붙이는 힘보다 강하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 유기 EL 밀봉 장치.
The method according to claim 6,
Wherein a force for attaching both the sealing substrate and the OLED substrate is stronger than a force for attaching the sealing substrate to the second film.
제 7항에 있어서,
상기 밀봉 수단은, 상기 제 2 필름을 상기 밀봉 기판으로부터 박리하는 박리 수단을 구비하고, 상기 OLED 기판에 상기 밀봉 기판이 맞붙여진 후에, 당해 박리 수단으로 당해 밀봉 기판으로부터 당해 제 2 필름을 박리하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 밀봉 장치.
8. The method of claim 7,
The sealing means includes a peeling means for peeling the second film from the sealing substrate and peeling the second film from the sealing substrate by the peeling means after the sealing substrate is stuck to the OLED substrate Wherein the organic EL sealing device comprises:
장척 형상의 제 1 필름에, 장척 형상의 밀봉 기판 필름이 부착된 롤 필름을, 미리 정해진 간격으로 한 구획씩 롤 투 롤로 반송하는 제 3 반송 수단과,
상기 반송되는 롤 필름의 한 구획에 있어서의 정지시에, 당해 롤 필름에 부착된 밀봉 기판 필름만을 미리 정해진 밀봉 기판의 프레임형으로 컷하는 컷 수단과,
상기 밀봉 기판 필름에 있어서의 상기 컷 된 프레임형 이외의 불필요한 부분을, 상기 롤 필름으로부터 제거하는 제거 수단과,
상기 제거 후에 상기 롤 필름에 남은 프레임형에 의한 밀봉 기판의 위로부터, 장척 형상의 제 2 필름을 롤 투 롤로 맞붙임으로써 밀봉 롤 필름을 제조하는 제 4 반송 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 밀봉 롤 필름 제작 장치.
A third conveying means for conveying the roll film having the elongated sealing substrate film adhered to the elongated first film in a roll-to-roll manner by a predetermined interval,
A cutting means for cutting only the sealing substrate film attached to the roll film to a frame shape of a predetermined sealing substrate at the time of stopping the roll film being conveyed in one compartment,
Removing means for removing unnecessary portions other than the cut-out frame type from the roll film in the sealing substrate film;
And fourth conveying means for producing a sealing roll film by sticking the elongated second film to the roll-to-roll film from above the sealing substrate by the frame type remaining in the roll film after the removal. Film production apparatus.
제 9항에 있어서,
상기 프레임형의 형상은, 당해 프레임형에 의한 밀봉 기판을 맞붙이는 기판형상과 동일한 것을 특징으로 하는 밀봉 롤 필름 제작 장치.
10. The method of claim 9,
Wherein the shape of the frame-like shape is the same as the shape of the substrate on which the sealing substrate of the frame type is fitted.
제 9항 또는 제 10항에 있어서,
상기 제 3 반송 수단으로 반송되는 롤 필름의 사행을 검출하여 사행 보정을 행하는 사행 검출 보정 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 밀봉 롤 필름 제작 장치.
11. The method according to claim 9 or 10,
And serpentine detection correcting means for detecting skew of the roll film conveyed to said third conveying means and performing skew correction.
장척 형상의 제 1 필름에 복수의 OLED 기판이 부착된 OLED 기재 필름을 롤 투 롤로 반송하는 제 1 반송 수단과,
상기 반송되는 OLED 기재 필름을 정지 상태로 유지하는 제 1 유지 수단과,
장척 형상의 제 2 필름에 복수의 밀봉 기판이 부착된 밀봉 롤 필름을 롤 투 롤로 반송하는 제 2 반송 수단과,
상기 반송되는 밀봉 롤 필름을 정지 상태로 유지하는 제 2 유지 수단과,
상기 OLED 기판에 상기 밀봉 기판을 맞붙여 밀봉하는 밀봉 수단을 구비하고,
상기 제 1 유지 수단으로 상기 OLED 기재 필름이 유지되었을 때에, 당해 OLED 기재 필름에 맞붙여져 있는 OLED 기판에, 상기 밀봉 롤 필름에 맞붙여져 있는 밀봉 기판이 대향하는 상태로, 당해 밀봉 롤 필름을 상기 제 2 유지 수단으로 유지하고, 상기 밀봉 수단에 의해, 서로 대향하는 OLED 기판과 밀봉 기판을 맞붙여 밀봉하는 유기 EL 밀봉 장치와,
장척 형상의 제 1 필름에, 장척 형상의 밀봉 기판 필름이 부착된 롤 필름을, 미리 정해진 간격으로 한 구획씩 롤 투 롤로 반송하는 제 3 반송 수단과,
상기 반송되는 롤 필름의 한 구획에 있어서의 정지시에, 당해 롤 필름에 부착된 밀봉 기판 필름만을 미리 정해진 밀봉 기판의 프레임형으로 컷하는 컷 수단과,
상기 밀봉 기판 필름에 있어서의 상기 컷 된 프레임형 이외의 불필요한 부분을, 상기 롤 필름으로부터 제거하는 제거 수단과,
상기 제거 후에 상기 롤 필름에 남은 프레임형에 의한 밀봉 기판의 위로부터, 장척 형상의 제 2 필름을 롤 투 롤로 맞붙임으로써 밀봉 롤 필름을 제조하는 제 4 반송 수단을 구비하는 밀봉 롤 필름 제작 장치와,
상기 유기 EL 밀봉 장치에 의해 상기 OLED 기판에 상기 밀봉 기판을 맞붙여 밀봉한 상태에서, 가열하여 경화시키는 열처리 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 유기 EL 밀봉 시스템.
A first conveying means for conveying the OLED base film having a plurality of OLED substrates attached thereto on a first film having a long shape in a roll-
First holding means for holding the transported OLED base film in a stationary state,
A second conveying means for conveying a sealing roll film having a plurality of sealing substrates attached to a second film having a long shape to a roll-
Second holding means for holding the conveying roll film in a stopped state,
And sealing means for sealing and sealing the sealing substrate to the OLED substrate,
Wherein when the OLED substrate film is held by the first holding means, the sealing roll film is brought into contact with the OLED substrate which is in contact with the OLED substrate film, 2 holding means for sealing the OLED substrate and the sealing substrate facing each other by the sealing means,
A third conveying means for conveying the roll film having the elongated sealing substrate film adhered to the elongated first film in a roll-to-roll manner by a predetermined interval,
A cutting means for cutting only the sealing substrate film attached to the roll film to a frame shape of a predetermined sealing substrate at the time of stopping the roll film being conveyed in one compartment,
Removing means for removing unnecessary portions other than the cut-out frame type from the roll film in the sealing substrate film;
And a fourth conveying means for producing a sealing roll film by sticking the elongated second film from the top of the sealing substrate of the frame type remaining in the roll film after the removal to the roll to roll, ,
And a heat treatment apparatus for heating and curing the sealing substrate while sealing the sealing substrate to the OLED substrate by the organic EL sealing apparatus.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102200438B1 (en) * 2020-01-06 2021-01-11 주식회사 로티 Film laminating apparatus of fabrating organic light emitting diode for illumination
KR102353024B1 (en) * 2020-07-21 2022-01-20 주식회사 한송네오텍 Screen type laminator for OLED panel and laminating method using thereof

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2015142149A1 (en) 2014-03-21 2015-09-24 주식회사 엘지화학 Encapsulating laminated body, organic light-emitting device and production methods for said body and device
JP6551400B2 (en) * 2014-04-04 2019-07-31 コニカミノルタ株式会社 OLED substrate cutting apparatus and OLED substrate manufacturing method
CN104409384B (en) * 2014-10-20 2017-06-09 上海技美电子科技有限公司 Film sticking device for wafers
CN106469768B (en) * 2015-08-18 2018-02-02 江苏诚睿达光电有限公司 A kind of special-shaped organic siliconresin light conversion body fitting encapsulation LED change system
JP2017162725A (en) * 2016-03-10 2017-09-14 住友化学株式会社 Method for manufacturing organic device
JP2019194936A (en) * 2016-09-05 2019-11-07 住友化学株式会社 Method for manufacturing organic device
KR102642197B1 (en) * 2016-10-21 2024-03-05 삼성디스플레이 주식회사 Apparatus and method for manufacturing display apparatus
JP6836908B2 (en) * 2017-01-10 2021-03-03 住友化学株式会社 Manufacturing method of organic device
JP2019087566A (en) * 2017-11-02 2019-06-06 Liande・J・R&D株式会社 Support equipment, and sticking system including the same

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004361741A (en) * 2003-06-05 2004-12-24 Fuji Photo Film Co Ltd Optical film pasting device and method
JP2007187926A (en) * 2006-01-13 2007-07-26 Sharp Corp Manufacturing apparatus for display element and manufacturing method for display element
JP2008233207A (en) * 2007-03-16 2008-10-02 Sharp Corp Device and method for manufacturing liquid crystal display panel
KR20090015553A (en) * 2007-08-09 2009-02-12 엘지디스플레이 주식회사 Apparatus and method manufacturing display device substrate
WO2010024006A1 (en) 2008-09-01 2010-03-04 シャープ株式会社 Organic electroluminescence panel, organic electroluminescence display, organic electroluminescence illumination and method for manufacturing such panel, display and illumination

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4069640B2 (en) * 2002-02-12 2008-04-02 セイコーエプソン株式会社 Electro-optical device and electronic apparatus
US6695030B1 (en) * 2002-08-20 2004-02-24 Eastman Kodak Company Apparatus for permitting transfer of organic material from a donor web to form a layer in an OLED device
JP4325248B2 (en) * 2003-03-31 2009-09-02 凸版印刷株式会社 Method for manufacturing organic electroluminescence element
JP2006150882A (en) * 2004-12-01 2006-06-15 Seiko Epson Corp Electro-optical device, image forming apparatus, and image reader
KR100882178B1 (en) * 2005-06-15 2009-02-06 가부시키가이샤 알박 Sealing device and sealing method
JP2009110785A (en) * 2007-10-30 2009-05-21 Toppan Printing Co Ltd Organic el element panel and its manufacturing method
JP2010097803A (en) * 2008-10-16 2010-04-30 Konica Minolta Holdings Inc Construction method of organic electronics element, organic electronics element and organic electroluminescent element
JP5326098B2 (en) * 2009-02-05 2013-10-30 シャープ株式会社 Substrate surface sealing device and organic EL panel manufacturing method
WO2011021622A1 (en) * 2009-08-20 2011-02-24 コニカミノルタホールディングス株式会社 Method for forming pattern thin film
JP5247641B2 (en) * 2009-09-18 2013-07-24 富士フイルム株式会社 Method for bonding gas barrier film and electronic device, electronic device and method for manufacturing the same
WO2012032907A1 (en) * 2010-09-07 2012-03-15 リンテック株式会社 Adhesive sheet and electronic device
JP2012079419A (en) * 2010-09-30 2012-04-19 Dainippon Printing Co Ltd Organic electroluminescent panel and manufacturing method for the same
CN102184935B (en) * 2011-04-02 2012-08-08 东莞宏威数码机械有限公司 OLED (Organic Light Emitting Diode) display screen packaging equipment and compression packaging method

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004361741A (en) * 2003-06-05 2004-12-24 Fuji Photo Film Co Ltd Optical film pasting device and method
JP2007187926A (en) * 2006-01-13 2007-07-26 Sharp Corp Manufacturing apparatus for display element and manufacturing method for display element
JP2008233207A (en) * 2007-03-16 2008-10-02 Sharp Corp Device and method for manufacturing liquid crystal display panel
KR20090015553A (en) * 2007-08-09 2009-02-12 엘지디스플레이 주식회사 Apparatus and method manufacturing display device substrate
WO2010024006A1 (en) 2008-09-01 2010-03-04 シャープ株式会社 Organic electroluminescence panel, organic electroluminescence display, organic electroluminescence illumination and method for manufacturing such panel, display and illumination

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102200438B1 (en) * 2020-01-06 2021-01-11 주식회사 로티 Film laminating apparatus of fabrating organic light emitting diode for illumination
KR102353024B1 (en) * 2020-07-21 2022-01-20 주식회사 한송네오텍 Screen type laminator for OLED panel and laminating method using thereof

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Publication number Publication date
TW201440279A (en) 2014-10-16
CN103855327A (en) 2014-06-11
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