KR102200438B1 - Film laminating apparatus of fabrating organic light emitting diode for illumination - Google Patents

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Abstract

The present invention relates to a film laminating apparatus for fabricating an organic light emitting diode for illumination, which includes a film supply support unit for supplying a substrate and a mask to be overlapped with each other and supporting the substrate and the mask at a laminated position; an alignment fixing unit disposed on one side of the film supply support unit, in which the alignment fixing unit fixedly claims the supplied substrate and mask by inserting an alignment pin in a state in which a substrate through-hole and a mask through-hole, which are through-holes provided on both sides in the width direction of the supplied substrate and the mask, are matched; a stage unit disposed on one side of the film supply support unit, in which the stage unit moves to the other side and then moves to one side while being fixed in a moved position when the fixed state of the alignment fixing unit is released to press and laminate the film; a laminating roller unit disposed on an upper portion of the stage unit, and when the stage unit is moved to the other side in the form of a roller for pressing the overlapping substrate and the mask, the laminating roller unit moves down to press, when the stage unit is moved to one side, the laminating roller unit rotates to press and laminate the film, and when the lamination is completed, the laminating roller unit moves up; a rewind unit disposed on one side of the film supply support unit, and configured to retrieve the substrate and the mask in the form of a roll when the substrate and the mask are pressed and laminated by the laminating roller unit; and a control unit connected to the alignment fixing unit, the stage unit, the laminating roller unit, and the rewind unit to control each device.

Description

조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치 {FILM LAMINATING APPARATUS OF FABRATING ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE FOR ILLUMINATION}A laminating device for manufacturing organic light emitting devices for lighting {FILM LAMINATING APPARATUS OF FABRATING ORGANIC LIGHT EMITTING DIODE FOR ILLUMINATION}

본 발명은 조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치에 관한 것으로, 유기 발광 소자의 제조 과정에서 증착 이전에 새도우마스크를 합지하는 장치의 구조를 개선하여 횡방향과 종방향으로 정렬한 상태에서 합지가 가능함에 따라 합지 효율이 향상되는 조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a laminating device for manufacturing an organic light emitting device for lighting, and the structure of the device for laminating a shadow mask prior to deposition in the manufacturing process of the organic light emitting device is improved, so that lamination is possible in a state aligned in the transverse direction and the longitudinal direction. It relates to a laminating device for manufacturing an organic light emitting device for lighting with improved lamination efficiency.

일반적으로 유기발광소자(Organic light emitting diode, OLED)는 유기발광층에서 전자와 정공이 재결합하여 빛을 발생시키는 자발광 소자이다. In general, an organic light emitting diode (OLED) is a self-luminous device that generates light by recombining electrons and holes in an organic light emitting layer.

OLED 소자에 전류를 인가하게 되면 발광층 내부에서 재결합된 분자 엑시톤(exiton)은 단일항 엑시톤(Singlet Exiton)과 삼중항 엑시톤(Triplet Exiton)의 두 가지 형태로 존재한다. 여기서 에너지 상태가 높은 분자 엑시톤의 25%가 일중항 엑시톤에 해당되며, 삼중항 엑시톤은 에너지 상태가 낮은 분자 엑시톤으로 75%가 이에 해당된다. 단일항 엑시톤과 삼중항 엑시톤이 에너지가 낮은 기저 상태로 되돌아오며 빛(광자, Photon)이 생성되거나 열로 방출되며 소멸된다. 이때, 단일항 엑시톤에 의해 빛이 형성되는 경우를 형광발광(Fluorescence)이라 하며, 삼중항 엑시톤에 의해 빛이 생성되는 경우를 인광발광(Phosphorescence)이라 한다.When current is applied to the OLED device, molecular excitons recombined in the light emitting layer exist in two forms: singlet exiton and triplet exiton. Here, 25% of the high-energy molecular excitons correspond to singlet excitons, and the triplet excitons correspond to 75% of the low-energy molecular excitons. The singlet excitons and triplet excitons return to the low-energy ground state, and light (photon, Photon) is produced or released as heat and then dissipated. At this time, the case where light is formed by singlet excitons is referred to as fluorescence, and the case where light is generated by triplet excitons is referred to as phosphorescence.

형광 유기재료의 경우 엑시톤의 25%만이 빛의 생성으로 기여하고, 인광유기재료를 사용하는 경우에는 엑시톤의 75%에 해당하는 삼중항 엑시톤의 의해 빛이 생성된다. 나머지 25%에 해당하는 일중항 엑시톤 또한 ISC(Intersystem crossing) 경로를 통해 삼중항 엑시톤으로 에너지 전달이 일어 나면서 빛의 생성에 기여하여 엑시톤의 100% 가 빛의 에너지로 기여하게 된다.In the case of a fluorescent organic material, only 25% of the excitons contribute to light generation, and when a phosphorescent organic material is used, light is generated by triplet excitons equivalent to 75% of the excitons. The remaining 25% of singlet excitons also contribute to the generation of light as energy transfer occurs to triplet excitons through the ISC (Intersystem Crossing) path, and 100% of the excitons contribute to light energy.

OLED는 1987년 구현된 이래, 유기물 개발, 유기소재 발전, 전하수송 개선, 투명전극 개선 및 광추출 구조체 개발 등으로 비약적인 발전을 거듭하여 디스플레이 및 조명분야에 상용화 제품들이 나타나고 있다. 특히, 최근 에너지 절약 촉진 대책 등으로 인해 백열등, 형광등의 사용규제가 진행됨에 따라 OLED 광원이 각광받고 있다.Since its implementation in 1987, OLED has made rapid progress through development of organic materials, development of organic materials, improvement of charge transport, improvement of transparent electrodes, and development of light extraction structures, and commercial products are appearing in the display and lighting fields. In particular, OLED light sources are in the spotlight as the use of incandescent and fluorescent lamps is being regulated due to recent energy saving promotion measures.

또한, OLED광원은 수은, 납과 같은 중금속이 사용되지 않아 친환경적인 장점을 가지고 있다.In addition, the OLED light source has eco-friendly advantages because heavy metals such as mercury and lead are not used.

이러한 OLED 의 제조 방법에는, 일반적으로 진공 증착법이나 도포법이 알려져 있다. 이들 중에서, 구성층 형성 재료의 순도를 높일 수 있고, 긴 수명의 OLED 를 제조할 수 있다는 점에서, 진공 증착법이 주로 사용되고 있다.As a manufacturing method of such an OLED, a vacuum evaporation method and a coating method are generally known. Among these, the vacuum evaporation method is mainly used in that it is possible to increase the purity of the material for forming a constituent layer and to manufacture an OLED with a long lifetime.

이러한 진공 증착법에서는, 진공 챔버 내에서 기재와 대향하는 위치에 구비된 증착원을 사용하여 증착을 행함으로써 구성층을 형성한다. 이러한 기존의 OLED 생산 공정은 평판형 유리기판을 사용하여 제작 함으로써 기판 크기의 증가에 따라 장비의 크기를 확장시켰으며, 이는 장치, 크린룸 등과 같은 시설 투자비를 증가하여 가격 상승 요인으로 작용한다. 조명용 제품은 가격 경쟁력이 핵심이기 때문에 적은 크린룸 공간에서 많은 양을 생산하는 것이 관건이다. 이러한 목적에서 OLED 생산 공정에는 롤 프로세스가 채용되고 있다. 롤 프로세스란, 롤 형상으로 권취된 기재를 연속적으로 풀어내고, 다른 측에서 풀어내어진 기재를 다시 권취함으로써, 기재를 이동시키면서, 기재 위에 연속적으로 구성층을 증착하는 프로세스이다.In such a vacuum evaporation method, a constituent layer is formed by performing evaporation in a vacuum chamber using an evaporation source provided at a position opposite to the substrate. These existing OLED production processes are manufactured using flat glass substrates, thereby increasing the size of the equipment according to the increase in the size of the substrate, which increases the investment cost of facilities such as equipment and clean rooms, which acts as a price increase factor. Since price competitiveness is the key to lighting products, it is the key to produce large quantities in a small clean room space. For this purpose, a roll process is employed in the OLED production process. The roll process is a process of continuously unwinding a base material wound in a roll shape and rewinding the base material unwound from the other side, thereby continuously depositing a constituent layer on the base material while moving the base material.

이런, 롤 프로세서에서 연속적인 구성층을 증착하기 위해서는 각각의 구성층에 해당하는 마스크를 합지하여 증착을 실시하고, 증착 단계별로 해당되는 마스크를 회수하면서 연속적으로 증착을 실시함에 따라 순서별로 복수의 마스크를 기재에 합지하여 증착공정에 투입하여 증착을 실시한다.In order to deposit a continuous constituent layer in a roll processor, a plurality of masks are sequentially deposited by laminating the masks corresponding to each constituent layer to perform deposition, recovering the corresponding mask in each deposition step, and continuously depositing. Is laminated to the substrate and introduced into the deposition process to perform deposition.

이때, 기판과 마스크를 합지하는 종래 기술의 합지 장치는 폭방향 양측면에 각각 기설된 간격으로 떨어진 복수의 통공을 기판과 마스크를 롤 형태로 공급하여 중첩되는 위치에 상호 연통되는 통공에 핀이 삽입되어 폭방향으로 정렬한 후에 가압 상태에 합지 롤러를 통과하면서 증착장치로 공급하도록 합지하는 장치이다.At this time, in the conventional laminating apparatus for laminating the substrate and the mask, a plurality of through holes spaced at an existing interval on both sides in the width direction are supplied in the form of a roll of the substrate and the mask, and pins are inserted into the through holes communicating with each other at overlapping positions. It is a device that laminates to be supplied to the evaporation apparatus while passing through the paper roller under pressure after aligning in the width direction.

이런, 종래 기술의 합지장치는 폭방향은 핀에 의해 정렬되어 있으나, 길이방향은 정렬되지 않은 상태로 합지를 진행하면 얇은 박판 형태의 기판과 마스크 사이에 공극이 발생되거나 틀어짐에 의한 불량이 발생되는 문제점이 있었다.In this case, in the conventional laminating device, the width direction is aligned by pins, but if lamination is performed in a state that is not aligned in the length direction, a void occurs between the thin plate-shaped substrate and the mask, or defects due to distortion occur. There was a problem.

또한, 종래 기술의 합지장치는 연속적으로 합지를 실시함에 따라 길이방향의 비틀림이나 공극에 의해 불량이 발생된 시점을 판별하기 어렵고, 불량 발생 이후에도 지속적으로 제조되는 문제점이 있었다.In addition, the conventional laminating apparatus has a problem in that it is difficult to determine when a defect occurs due to torsion or voids in the longitudinal direction as continuous lamination is performed, and it is continuously manufactured even after the defect occurs.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 조명용 유기발광소자의 제조 시 증착 이전에 기판과 마스크를 합지함에 있어 기설정된 길이를 설정하여 일회성으로 클램핑 이동하면서 폭방향과 길이방향을 정렬한 상태로 합지를 실시함에 따라 불량을 최소화하고, 기설정된 길이별로 일회성으로 합지하는 작업을 반복하면서 제작함에 따라 합지 상태를 관리할 수 있어 불량의 연속성을 방지하는 조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치를 제공하는데 있다.The present invention has been conceived to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to set a predetermined length in bonding a substrate and a mask prior to deposition when manufacturing an organic light emitting device for lighting, and move the clamping in one time while For manufacturing lighting organic light emitting devices that minimize defects by performing lamination with the longitudinal direction aligned, and manage the lamination state by repeating the one-time lamination for each preset length to prevent continuity of defects It is to provide a lamination device.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the objects mentioned above, and other objects not mentioned will be clearly understood from the following description.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명이 일 실시예에 따른 조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치는 조명용 유기 발광소자의 제조 중 증착공정에 공급하기 위해서 기판과 마스크를 합지하는 합지장치에 있어서, 상기 기판과 상기 마스크를 상호 중첩되도록 공급하여 합지되는 위치로 지지하는 합지공급지지부; 상기 합지공급지지부의 일측에 배치되어 있으며, 공급된 상기 기판과 상기 마스크의 폭방향에 양측에 구비된 통공인 기판통공과 마스크통공을 일치한 상태에서 정렬핀의 삽입에 의해 정렬한 상태에서 클램핑 고정하는 정렬고정부; 상기 합지공급지지부의 일측에 배치되어 있으며, 타측으로 이동 후 상기 정렬고정부의 고정이 해제되면 이동된 위치에 고정한 상태에서 일측으로 이동하면서 가압 합지하는 스테이지부; 상기 스테이지부의 상부에 배치되어 있으며, 중첩된 상기 기판과 상기 마스크를 가압하는 롤러 형태로 상기 스테이지부가 타측으로 이동되면 하강한 상태로 가압하고, 상기 스테이지부가 일측으로 이동되면 회전하면서 가압 합지하고, 합지를 마치면 상승되는 합지롤러부; 상기 합지공급지지부의 일측에 배치되어 있으며, 상기 기판과 상기 마스크가 상기 합지롤러부로 가압 합지 후에 롤 형태로 회수하도록 설치된 리와인드부; 및 상기 정렬고정부, 상기 스테이지부, 상기 합지롤러부, 및 상기 리와인드부에 연결되어 각각의 장치를 제어하는 제어부;를 포함한다.In order to achieve the above object, in the laminating apparatus for manufacturing an organic light emitting device for lighting according to an embodiment of the present invention, in the laminating apparatus for laminating a substrate and a mask to supply to a deposition process during manufacturing of the lighting organic light emitting device, the substrate and A paper supply support part for supplying the masks so as to overlap each other to support the masks in a laminated position; Arranged on one side of the paper supply support, clamping and fixing in a state in which the supplied substrate and the mask through holes, which are through holes provided on both sides in the width direction of the mask, are aligned by inserting an alignment pin. Alignment fixation; A stage unit which is disposed on one side of the paper supply support unit, and pressurizes the unit while moving to one side while being fixed at the moved position when the alignment fixing unit is released after moving to the other side; It is disposed on the upper part of the stage and is in the form of a roller that presses the overlapped substrate and the mask. When the stage part is moved to the other side, it is pressed in a lowered state, and when the stage part is moved to one side, it is pressed and laminated while rotating. Laminated roller unit that rises when finished; A rewind unit disposed on one side of the paper supply support unit and installed to recover the substrate and the mask in a roll form after pressing and laminating with the paper roller unit; And a control unit connected to the alignment fixing unit, the stage unit, the laminating roller unit, and the rewind unit to control respective devices.

또한, 상기 합지공급지지부는, 상기 기판이 복수회 감겨진 롤 형태로 지지되어 회전에 의해 일측으로 공급하는 기판공급체; 상기 기판공급체의 일측에 배치되어 있으며, 공급되는 상기 기판의 장력을 조절 유지하는 기판장력유지체; 상기 기판공급체의 하부에 배치되어 있으며, 상기 마스크가 복수회 감겨진 롤 형태로 지지되어 회전에 의해 일측으로 공급하는 마스크공급체; 상기 마스크공급체의 일측에 배치되어 있으며, 공급되는 상기 마스크의 장력을 조절 유지하는 마스크장력유지체; 및 상기 기판공급체와 상기 마스크공급체의 일측에 배치되어 있으며, 공급된 상기 기판과 상기 마스크가 상호 중첩된 상태로 지지되고, 일측으로 상기 정렬고정부가 설치되고, 내부에 상기 스테이지부가 설치되는 지지공간을 가지며, 상기 스테이지부 상부에 위치하는 합지롤러부가 상부 중앙에 지지되고, 일측 끝에는 합지된 상기 기판과 상기 마스크를 권회 회수하는 리와인드부가 지지되는 지지몸체;를 포함할 수 있다.In addition, the paper supply support unit, the substrate is supported in the form of a roll wound a plurality of times to supply to one side by rotation; A substrate tension holding member disposed on one side of the substrate supply member and controlling and maintaining a tension of the supplied substrate; A mask supply body disposed under the substrate supply body and supporting the mask in the form of a roll wound a plurality of times and supplying it to one side by rotation; A mask tension holding member disposed on one side of the mask supply member and controlling and maintaining a tension of the supplied mask; And a support disposed on one side of the substrate supply body and the mask supply body, the supplied substrate and the mask being supported in a state of overlapping each other, the alignment fixing part being installed on one side, and the stage part being installed therein. It may include; a support body that has a space, a paper roller part positioned above the stage part is supported in an upper center, and at one end of a support body supporting a rewind part for winding and recovering the laminated substrate and the mask.

그리고, 상기 정렬고정부는, 상기 합지공급지지부의 일측에 배치되어 있으며, 상기 기판통공과 상기 마스크통공 위치인 폭방향 양측에 각각 위치하여 상기 기판과 상기 마스크가 중첩된 상태로 공급되면 상기 기판통공과 상기 마스크통공이 연통된 상태에서 상하로 이동되면서 삽입되어 폭방향으로 정렬되는 핀 형태의 정렬핀; 상기 정렬핀의 하부에 배치되어 있으며, 상기 제어부의 작동에 의해 상기 정렬핀을 상하로 이동시키는 핀상하이동체; 상기 합지공급지지부의 일측에 배치되어 있으며, 상기 정렬핀의 일측에 위치하여 중첩된 상기 기판과 상기 마스크가 공급된 상태에서 상기 스테이지부 이동 시 클램핑 고정하고, 상기 스테이지부에 클램핑되어 이동 합지 시에 클램핑이 해제되도록 간격이 조절되는 한쌍으로 구비된 고정클램프; 및 상기 고정클램프의 간격이 조절되는 위치에 배치되어 있으며, 상기 제어부의 제어에 의해 상기 고정클램프가 클램핑하기 위한 간격을 조절하는 동력을 제공하는 고정클램프실린더;를 포함할 수 있다.In addition, the alignment fixing part is disposed on one side of the laminated supply support part, and is located at both sides of the substrate through hole and the width direction of the mask through hole, and when the substrate and the mask are supplied in an overlapping state, the substrate through hole and An alignment pin in the form of a pin that is inserted while being moved up and down while the mask hole is in communication and is aligned in the width direction; A pin up and down body disposed under the alignment pin and moving the alignment pin up and down by the operation of the control unit; It is disposed on one side of the paper supply support part, and is clamped and fixed when the stage part moves while the overlapping substrate and the mask are supplied by being located on one side of the alignment pin, and when the stage part is clamped to move and laminated Fixed clamps provided in a pair of which the interval is adjusted so that the clamping is released; And a fixed clamp cylinder disposed at a position in which the distance between the fixed clamps is adjusted, and providing power to adjust the distance for clamping by the fixed clamp under the control of the control unit.

아울러, 상기 스테이지부는, 상기 합지공급지지부의 상기 기판과 상기 마스크가 중첩 지지된 하부에 배치되어 있으며, 가압에 의해 합지하는 상기 합지롤러부의 하부에 위치하여 일측과 타측으로 이동되면서 가압되는 하부를 받치는 판 형태의 스테이지플레이트; 상기 스테이지플레이트의 하부면에 좌우측으로 하부 방향에 돌출 배치되어 있으며, 상기 스테이지플레이트가 슬라이딩 지지하도록 하부의 양측 방향으로 레일을 따라 이동하는 형태로 구비된 레일지지체; 상기 스테이지플레이트의 하부의 배치되어 있으며, 상기 플레이트레일을 슬라이딩 지지하도록 상부에 한쌍의 플레이트레일가 돌출 구비된 판 형태의 플레이트지지체; 상기 스테이지플레이트의 하부면에 연결 배치되어 있으며, 상기 제어부의 제어에 의해 상기 스테이지플레이트를 일측과 타측으로 이동시키는 동력을 제공하는 플레이트이동체; 상기 스테이지플레이트의 각 모서리 상부에 각각 배치되어 있으며, 일측과 타측에 각각 마주보는 방향으로 위치하여 일측으로 이동된 후에 중첩된 상기 기판과 상기 마스크를 클램핑하여 상기 합지롤러부 방향으로 이동하여 합지하고, 합지 후 상기 리와인드부에서 회수하도록 클램핑을 해제하도록 간격이 조절되는 한쌍으로 구비된 스테이지클램프; 및 상기 스테이지클램프의 간격이 조절되는 위치에 배치되어 있으며, 상기 제어부의 제어에 의해 상기 스테이지클램프가 클램핑하기 위한 간격을 조절하는 동력을 제공하는 스테이지클램프실린더;를 포함할 수 있다.In addition, the stage unit is disposed under the overlapping support of the substrate and the mask of the lamination supply support unit, and is located under the lamination roller unit that is laminated by pressing to support a lower portion that is pressed while moving to one side and the other side. A plate-shaped stage plate; A rail support disposed on a lower surface of the stage plate to protrude from the left and right in a lower direction, and provided in a form that moves along the rail in both directions below the stage plate to support sliding; A plate-shaped plate support disposed under the stage plate and having a pair of plate rails protruding above the plate rails to slide and support the plate rails; A plate moving body connected to the lower surface of the stage plate and providing power to move the stage plate to one side and the other side under the control of the controller; It is disposed on each edge of the stage plate, and is positioned in a direction facing each other on one side and the other side, moved to one side, and then clamped the overlapped substrate and the mask to move in the direction of the laminating roller unit to be laminated, A pair of stage clamps having an interval adjusted to release the clamping so as to be recovered from the rewind part after lamination; And a stage clamp cylinder disposed at a position in which the interval of the stage clamp is adjusted, and providing power to adjust the interval for clamping the stage clamp under the control of the control unit.

더불어, 상기 합지롤러부는, 상기 스테이지부의 상부에 배치되어 있으며, 상기 스테이지부의 타측으로 이동한 일측끝 상부에 위치하여 상하로 이동하면서 중첩된 상기 기판과 상기 마스크를 가압하여 합지하는 롤러 형태로 구비된 합지롤러; 상기 합지롤러의 양끝에 각각 배치되어 있으며, 상기 합지롤러를 상하로 이동시키는 동력을 제공하는 롤러상하이동체; 및 상기 합지공급지지부의 상부에 배치되어 있으며, 폭방향의 상부로 돌출되어 상부를 가로질러 연결하도록 구비되어 연결된 상부 양측으로 각각 상기 롤러상하이동체가 지지된 롤러지지몸체;를 포함할 수 있다.In addition, the lamination roller unit is disposed above the stage unit and is provided in the form of a roller that presses the overlapped substrate and the mask while moving up and down by being positioned above one end that has moved to the other side of the stage unit. Lamination roller; A roller up-and-down body disposed at both ends of the lamination roller and providing power to move the lamination roller up and down; And a roller support body disposed on the upper part of the paper supply support part and protruding upward in the width direction to connect across the upper part, and supporting the roller upper and lower bodies respectively on both sides of the connected upper part.

또한, 상기 리와인드부는, 상기 합지공급지지부의 일측에 배치되어 있으며, 합지된 상기 기판과 상기 마스크가 권회되어 회수되는 롤러 형태로 구비된 리와인드롤러; 및 상기 리와인드롤러의 일측에 배치되어 있으며, 상기 리와인드롤러의 합지된 상기 기판과 상기 마스크를 권회하여 회수하도록 회전되는 동력을 제공하면서 상기 제어부의 작동에 의해 회전시키는 리와인드모터;를 포함할 수 있다.In addition, the rewind part may include a rewind roller disposed on one side of the paper supply support and provided in the form of a roller in which the laminated substrate and the mask are wound and recovered; And a rewind motor that is disposed on one side of the rewind roller and rotates by the operation of the control unit while providing power to be rotated to rewind and recover the laminated substrate of the rewind roller and the mask.It may include.

그리고, 상기 제어부는, 상기 합지공급지지부의 일측에 배치되어 있으며, 상기 기판과 상기 마스크가 상호 중첩된 상태로 공급되어 상기 정렬고정부의 정렬 위치에 도달하는 것을 감지하는 합지센서; 및 상기 합지공급지지부의 일측에 배치되어 있으며, 상기 합지센서에서 감지된 신호에 따라 상기 정렬고정부에서 핀정렬되는 핀정렬제어신호를 발생시키고, 핀정렬 후에 상기 정렬고정부에서 고정되는 클램핑의 작동과 상기 스테이지부의 이동 후에 고정 클램핑의 해제하는 고정클램핑제어신호를 발생시키며, 고정클램핑 상태에서 상기 스테이지부가 타측으로 이동과 상기 스테이지부에서 클램핑 고정한 상태에서 일측으로 이동하는 스테이지이동신호를 발생시키고, 상기 스테이지부의 타측 이동 시 클램핑하는 고정과 상기 스테이지 일측으로 이동 후 클램핑 고정을 해제하는 스테이지클램핑제어신호를 발생시키며, 상기 스테이지부가 타측으로 이동 후 상기 합지롤러부에 하강과 상기 스테이지부가 일측으로 이동하면서 합지를 마치면 상기 합지롤러부를 상승하는 합지롤러제어신호를 발생시키고, 상기 합지롤러부로 가압한 상태에서 상기 스테이지부의 이동 반경에 따라 합지된 넓이 만큼 상기 리와인드부로 합지된 상기 기판과 상기 마스크를 권회 회수하는 회전작동을 제어하는 리와인트회전제어신호를 발생시키는 제어체;를 포함할 수 있다.And, the control unit, the laminated sensor disposed on one side of the laminated supply support portion, the substrate and the mask are supplied in a state of overlapping each other to detect that the alignment position of the alignment fixing unit is reached; And an operation of a clamping which is disposed on one side of the laminate supply support unit, generates a pin alignment control signal that is pin aligned by the alignment fixing unit according to a signal detected by the bonding sensor, and is fixed at the alignment fixing unit after pin alignment. And a fixed clamping control signal for releasing the fixed clamping after the movement of the stage part is generated, and the stage part moves to the other side in a fixed clamping state and a stage movement signal that moves to one side from the clamping fixed state in the stage part is generated, and the When the stage part moves to the other side, it generates a fixed clamping signal and a stage clamping control signal that releases the clamping fix after moving to one side of the stage, and after the stage part moves to the other side, it descends to the laminating roller part and the stage part moves to one side and is joined. When the process is finished, a paper roller control signal is generated that rises to the paper roller part, and the substrate and the mask laminated by the rewind part are wound and recovered by the amount of the laminated area according to the moving radius of the stage part in the state of being pressed by the paper roller part. It may include; a control body for generating a rewind rotation control signal for controlling the operation.

아울러, 상기 제어체와 상기 정렬고정부를 연결하고 있으며, 상기 제어체에서 발생된 상기 핀정렬제어신호에 따라 상기 정렬핀을 상하로 이동 제어하여 중첩된 상기 기판과 상기 마스크를 정렬하는 정렬제어부; 상기 제어체와 상기 정렬고정부를 연결하고 있으며, 상기 제어체에서 발생된 상기 고정클램핑제어신호에 따라 중첩된 상기 기판과 상기 마스크를 핀 정렬 후 클램핑 고정하고, 상기 스테이지부 타측 이동 후에 고정을 해제하도록 제어하는 고정클램핑제어부; 상기 제어체와 상기 스테이지부를 연결하고 있으며, 상기 제어체에서 발생된 상기 스테이지이동신호에 따라 상기 정렬고정부에서 고정된 상태에 타측으로 이동되고, 이동 후에 상기 스테이지부에서 클램핑한 후에 일측으로 이동되도록 제어하는 스테이지이동제어부; 상기 제어체와 상기 스테이지부를 연결하고 있으며, 상기 제어체에서 발생된 상기 스테이지클램핑제어신호에 따라 상기 스테이지부 타측 이동 후에 클램핑 고정하고, 고정된 상태로 상기 스테이지부를 합지를 위해 일측으로 이동 후 클램핑 고정을 해제하도록 제어하는 스테이지클램핑제어부; 상기 제어체와 상기 합지롤러부를 연결하고 있으며, 상기 제어체에서 발생된 합지롤러제어신호에 따라 상기 스테이지부의 타측 이동 후 합지하는 가압 부분을 하강하고, 하강한 상태에서 상기 스테이지부가 일측으로 이동 후 상승하도록 상기 합지롤러부를 제어하는 합지롤러제어부; 및 상기 제어체와 상기 리와인드부를 연결하고 있으며, 상기 제어체에서 발생된 상기 리와인트회전제어신호에 따라 상기 스테이지부의 이동 반경 내의 합지된 넓이만큼 회전에 의해 권회 회수하도록 상기 리와인드부의 회전 작동을 제어하는 리와인드제어부;를 포함할 수 있다.In addition, an alignment control unit that connects the control body and the alignment fixing unit and controls the alignment pins to move up and down according to the pin alignment control signal generated from the control body to align the overlapped substrate and the mask; The control body and the alignment fixing part are connected, and the overlapping substrate and the mask according to the fixed clamping control signal generated from the control body are pinned and fixed by clamping, and the fixing is released after moving the other side of the stage part. A fixed clamping control unit controlling to be performed; The control body and the stage part are connected, and according to the stage movement signal generated by the control body, the alignment fixing part moves to the other side while being fixed, and after the movement, the stage part is clamped and moved to one side. A stage movement control unit that controls; The control body and the stage part are connected, and clamping and fixing after moving the other side of the stage part according to the stage clamping control signal generated by the control body, and moving the stage part to one side for lamination in a fixed state, and clamping fixation A stage clamping control unit that controls to release; The control body and the laminated roller part are connected, and according to the laminated roller control signal generated from the control body, the pressurized part to be laminated after moving to the other side of the stage part is lowered, and the stage part moves to one side and then rises in a lowered state. A lamination roller control unit for controlling the lamination roller unit so as to be; And the control body and the rewind part are connected, and the rotation operation of the rewind part is controlled so that the rewind part is rotated by rotation as much as the combined area within the moving radius of the stage part according to the rewind rotation control signal generated from the control body. It may include a; rewind control unit.

상기 목적을 달성하기 위한 구체적인 사항들은 첨부된 도면과 함께 상세하게 후술된 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다.Detailed matters for achieving the above object will become apparent with reference to the embodiments described later in detail together with the accompanying drawings.

그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라, 서로 다른 다양한 형태로 구성될 수 있으며, 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be configured in a variety of different forms, and these embodiments are intended to complete the disclosure of the present invention and provide common knowledge in the technical field to which the present invention pertains. It is provided to fully inform the possessor of the scope of the invention.

전술한 본 발명의 과제 해결 수단 중 하나에 의하면, 본 발명의 실시예에 따르면 조명용 유기발광소자의 제조 시 증착 이전에 기판과 마스크를 합지함에 있어 기설정된 길이를 설정하여 일회성으로 클램핑 이동하면서 폭방향과 길이방향을 정렬한 상태로 합지를 실시함에 따라 불량을 최소화하고, 기설정된 길이별로 일회성으로 합지하는 작업을 반복하면서 제작함에 따라 합지 상태를 관리할 수 있어 불량의 연속성을 방지하는 효과를 제공한다.According to one of the above-described problem solving means of the present invention, according to an embodiment of the present invention, in the manufacture of the lighting organic light emitting device, in the case of bonding the substrate and the mask before deposition, a predetermined length is set and clamping moves in one time while moving in the width direction. It minimizes defects by performing lamination in a state in which the and longitudinal directions are aligned, and it provides the effect of preventing continuity of defects as the lamination condition can be managed by repeating the one-time lamination for each preset length. .

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치를 나타내는 설치상태도이다.
도 2는 도 1의 조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치에 주요부분을 나타내는 일부 생략 평면도이다.
도 3은 도 2의 조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치를 나타내는 측면도이다.
도 4는 도 2의 조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치에 핀정렬한 상태에서 합지롤러가 하강된 상태를 나타내는 작동상태도이다.
도 5는 도 4의 조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치에 합지롤러가 하강된 상태에서 스테이지부가 일측으로 이동하면서 합지하는 상태를 나타내는 작동상태도이다.
도 6은 도 2의 조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치에 주요 구성인 고정클램프를 나타내는 부분 확대도이다.
도 7은 도 2의 조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치에 주요 구성인 스테이지부를 나타내는 일부 생략 평면도이다.
도 8은 도 2의 조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치에 주요 구성인 스테이지클램프를 나타내는 부분 확대도이다.
도 9는 도 1의 조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치에 제어상태를 나타내는 구성도이다.
1 is an installation state diagram showing a laminating device for manufacturing an organic light-emitting device for lighting according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a partially omitted plan view showing a main part of the laminating apparatus for manufacturing an organic light emitting device for lighting of FIG. 1.
3 is a side view showing a laminating device for manufacturing an organic light emitting device for lighting of FIG. 2.
FIG. 4 is an operational state diagram showing a state in which the laminating roller is lowered while pin-aligned to the laminating device for manufacturing the lighting organic light emitting device of FIG. 2.
FIG. 5 is an operational state diagram illustrating a state in which the stage part moves to one side while the laminating roller is lowered in the laminating apparatus for manufacturing the lighting organic light emitting device of FIG. 4.
6 is a partially enlarged view showing a fixing clamp that is a main component of the laminating device for manufacturing an organic light emitting device for lighting of FIG. 2.
FIG. 7 is a partially omitted plan view showing a stage part which is a main component of the laminating apparatus for manufacturing an organic light emitting device for lighting of FIG. 2.
FIG. 8 is a partially enlarged view showing a stage clamp that is a main component of the laminating apparatus for manufacturing an organic light emitting device for lighting of FIG. 2.
9 is a configuration diagram showing a control state of the laminating apparatus for manufacturing an organic light emitting device for lighting of FIG. 1.

아래에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those of ordinary skill in the art can easily implement the present invention. However, the present invention may be implemented in various different forms and is not limited to the embodiments described herein. In the drawings, parts irrelevant to the description are omitted in order to clearly describe the present invention, and similar reference numerals are assigned to similar parts throughout the specification.

또한, 도면을 참고하여 설명하면서, 같은 명칭으로 나타낸 구성일지라도 도면에 따라 도면 번호가 달라질 수 있고, 도면 번호는 설명의 편의를 위해 기재된 것에 불과하고 해당 도면 번호에 의해 각 구성의 개념, 특징, 기능 또는 효과가 제한 해석되는 것은 아니다.In addition, while describing with reference to the drawings, the drawing numbers may vary depending on the drawings even if the configuration is indicated by the same name, and the drawing numbers are only described for convenience of description, and the concept, features, and functions of each configuration Or the effect is not to be interpreted as limiting.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 "전기적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미하며, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.Throughout the specification, when a part is said to be "connected" to another part, this includes not only "directly connected" but also "electrically connected" with another element interposed therebetween. . In addition, when a part "includes" a certain component, it means that other components may be further included, and one or more other features, not excluding other components, unless specifically stated to the contrary. It is to be understood that it does not preclude the presence or addition of any number, step, action, component, part, or combination thereof.

본 발명 명세서 전체에서, "유기"라는 용어는 유기 광전자 디바이스를 제조하는 데 사용될 수 있는 소분자 유기 물질뿐만 아니라 중합체 물질을 포함한다.Throughout the present specification, the term “organic” includes polymeric materials as well as small molecule organic materials that can be used to fabricate organic optoelectronic devices.

본 발명 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. 본 발명 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 "약", "실질적으로" 등은 언급된 의미에 고유한 제조 및 물질 허용오차가 제시될 때 그 수치에서 또는 그 수치에 근접한 의미로 사용되고, 본 발명의 이해를 돕기 위해 정확하거나 절대적인 수치가 언급된 개시 내용을 비양심적인 침해자가 부당하게 이용하는 것을 방지하기 위해 사용된다. 본 발명 명세서 전체에서 사용되는 정도의 용어 "~(하는) 단계" 또는 "~의 단계"는 "~ 를 위한 단계"를 의미하지 않는다.Throughout the present specification, when a part "includes" a certain component, it means that other components may be further included rather than excluding other components unless otherwise stated. The terms "about", "substantially", etc. of the degree used throughout the present specification are used at or close to the numerical value when manufacturing and material tolerances specific to the stated meaning are presented. For the sake of understanding, accurate or absolute figures are used to prevent unreasonable use of the stated disclosure by unscrupulous infringers. As used throughout the specification of the present invention, the term "step (to)" or "step of" does not mean "step for".

이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 일 실시예를 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, an exemplary embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치를 나타내는 설치상태도이고, 도 2는 도 1의 조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치에 주요부분을 나타내는 일부 생략 평면도이며, 도 3은 도 2의 조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치를 나타내는 측면도이고, 도 4는 도 2의 조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치에 핀정렬한 상태에서 합지롤러가 하강된 상태를 나타내는 작동상태도이며, 도 5는 도 4의 조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치에 합지롤러가 하강된 상태에서 스테이지부가 일측으로 이동하면서 합지하는 상태를 나타내는 작동상태도이고, 도 6은 도 2의 조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치에 주요 구성인 고정클램프를 나타내는 부분 확대도이며, 도 7은 도 2의 조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치에 주요 구성인 스테이지부를 나타내는 일부 생략 평면도이고, 도 8은 도 2의 조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치에 주요 구성인 스테이지클램프를 나타내는 부분 확대도이며, 도 9는 도 1의 조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치에 제어상태를 나타내는 구성도이다.1 is an installation state diagram showing a laminating device for manufacturing an organic light emitting device for lighting according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a partially omitted plan view showing the main parts of the laminating device for manufacturing an organic light emitting device for lighting of FIG. 1, and FIG. FIG. 2 is a side view showing the laminating device for manufacturing an organic light emitting device for lighting, and FIG. 4 is an operating state diagram showing a state in which the laminating roller is lowered in a pin-aligned state to the laminating device for manufacturing the lighting organic light emitting device of FIG. 4 is an operational state diagram showing a state in which the stage unit moves to one side while the laminating roller is lowered to the laminating device for manufacturing the lighting organic light-emitting device of FIG. 4, and FIG. 6 is a main component fixed to the laminating device for manufacturing the lighting organic light-emitting device of FIG. It is a partially enlarged view showing a clamp, and FIG. 7 is a partially omitted plan view showing a stage part, which is a main component of the laminating device for manufacturing an organic light emitting device for lighting of FIG. 2, and FIG. 8 is a major configuration of the laminating device for manufacturing an organic light emitting device for lighting. It is a partial enlarged view showing the stage clamp, and FIG. 9 is a configuration diagram showing a control state of the laminating apparatus for manufacturing an organic light emitting device for lighting of FIG. 1.

도 1 내지 도 9를 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치(100)는 조명용 유기 발광소자의 제조 중 증착공정에 공급하기 위해서 기판(10)과 마스크(20)를 합지 시에 기판(10)과 마스크(20)의 폭방향 양측에 통공형태의 기판통공(11)과 마스크통공(21)이 각각 구비되어 핀의 삽입으로 폭방향을 정렬하고, 기설정된 길이로 클램핑 이동하면서 길이방향으로 정렬하여 일회성으로 합지한 상태에서 권회 회수하는 작업을 반복 실시함에 따라 폭방향과 길이방향으로 정렬한 상태로 합지하여 합지 상태를 관리할 수 있고, 불량의 연속성을 방지하는 합지 장치에 관한 것이다.1 to 9, the laminate device 100 for manufacturing an organic light-emitting device for lighting according to an embodiment of the present invention includes a substrate 10 and a mask 20 for supplying to a deposition process during manufacturing of the lighting organic light-emitting device. At the time of lamination, the substrate through holes 11 and the mask through holes 21 in the form of through holes are provided on both sides of the width direction of the substrate 10 and the mask 20 to align the width direction by inserting a pin, and By repeating the work of retrieving the windings in the state of one-time lamination by aligning them in the longitudinal direction while moving the clamping, it is possible to manage the lamination state by laminating them in the state aligned in the width and length directions, and to prevent continuity of defects. It relates to the device.

이런, 조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치(100)는 합지공급지지부(110), 정렬고정부(120), 스테이지부(130), 합지롤러부(140), 리와인드부(150), 및 제어부(160)를 포함한다.In this way, the laminated device 100 for manufacturing an organic light emitting device for lighting includes a paper supply support part 110, an alignment fixing part 120, a stage part 130, a paper roller part 140, a rewind part 150, and a control part 160 ).

합지공급지지부(110)는 기판(10)과 마스크(20)를 상호 중첩되도록 공급하여 합지되는 위치로 지지하도록 구비된다.The paper supply support 110 is provided to support the substrate 10 and the mask 20 so as to overlap each other so as to support the laminated position.

이런, 합지공급지지부(110)는 기판공급체(111), 기판장력유지체(112), 마스크공급체(113), 마스크장력유지체(114), 및 지지몸체(115)를 포함한다.In this way, the laminated supply supporting unit 110 includes a substrate supplying member 111, a substrate tensioning member 112, a masking supplying member 113, a masking tensioning member 114, and a supporting body 115.

기판공급체(111)는 기판(10)이 복수회 감겨진 롤 형태로 지지되어 회전에 의해 일측으로 공급하도록 구비된다. 즉, 기판공급체(111)는 롤 형태로 기판이 복수로 권회되어 제어부(160)의 작동에 의해 회전에 의해 기판을 공급하도록 구비된다.The substrate supply body 111 is supported in the form of a roll in which the substrate 10 is wound a plurality of times, and is provided to be supplied to one side by rotation. That is, the substrate supply body 111 is provided so that a plurality of substrates are wound in the form of a roll to supply the substrate by rotation by the operation of the control unit 160.

기판장력유지체(112)는 기판공급체(111)의 일측에 배치되어 있으며, 공급되는 기판의 장력을 조절 유지하도록 구비된다. 이런, 기판장력유지체(112)는 기판이 공급되는 일측에 롤러 형태로 기판(10)이 감겨져 이동에 의해 장력을 조절하도록 구비된다.The substrate tension holding member 112 is disposed on one side of the substrate supply member 111 and is provided to control and maintain the tension of the supplied substrate. In this way, the substrate tension holding member 112 is provided to adjust the tension by moving the substrate 10 is wound in the form of a roller on one side to which the substrate is supplied.

마스크공급체(113)는 기판공급체(111)의 하부에 배치되어 있으며, 마스크(20)가 복수회 감겨진 롤 형태로 지지되어 회전에 의해 일측으로 공급하도록 구비된다. 즉, 마스크공급체(113)는 롤 형태로 마스크(20)가 복수로 권회되어 제어부(160)의 작동에 의해 회전에 의해 기판을 공급하도록 구비된다.The mask supply body 113 is disposed under the substrate supply body 111 and is supported in the form of a roll in which the mask 20 is wound multiple times and is provided to be supplied to one side by rotation. That is, the mask supply body 113 is provided so that a plurality of masks 20 are wound in the form of a roll to supply a substrate by rotation by the operation of the control unit 160.

마스크장력유지체(114)는 마스크공급체(113)의 일측에 배치되어 있으며, 공급되는 마스크(20)의 장력을 조절 유지하도록 구비된다. 즉, 마스크(20)가 공급되는 일측에 롤러 형태로 마스크(20)가 감겨져 이동에 의해 장력을 조절하도록 구비된다.The mask tension holding member 114 is disposed on one side of the mask supply member 113 and is provided to adjust and maintain the tension of the supplied mask 20. That is, the mask 20 is wound in the form of a roller on one side to which the mask 20 is supplied, and is provided to adjust the tension by movement.

지지몸체(115)는 기판공급체(111)와 마스크공급체(113)의 일측에 배치되어 있으며, 공급된 기판(10)과 마스크(20)가 상호 중첩된 상태로 지지되고, 일측으로 정렬고정부(120)가 설치되고, 내부에 스테이지부(130)가 설치되는 지지공간(116)을 가지며, 스테이지부(130) 상부에 위치하는 합지롤러부(140)가 상부 중앙에 지지되고, 일측 끝에는 합지된 기판(10)과 마스크(20)를 권회 회수하는 리와인드부(150)가 지지되도록 구비된다.The support body 115 is disposed on one side of the substrate supply body 111 and the mask supply body 113, and the supplied substrate 10 and the mask 20 are supported in an overlapping state, and are aligned to one side. The government 120 is installed, and has a support space 116 in which the stage unit 130 is installed, and the laminated roller unit 140 positioned above the stage unit 130 is supported in the upper center, and at one end A rewind part 150 for winding and recovering the laminated substrate 10 and the mask 20 is provided to be supported.

정렬고정부(120)는 지지몸체(115)의 일측에 배치되어 있으며, 공급된 기판(10)과 마스크(20)의 폭방향에 양측에 구비된 통공인 기판통공(11)과 마스크통공(21)을 일치한 상태에서 정렬핀(121)의 삽입에 의해 정렬한 상태에서 클램핑 고정하도록 구비된다.The alignment fixing part 120 is disposed on one side of the support body 115, and the substrate through hole 11 and the mask through hole 21, which are through holes provided on both sides in the width direction of the supplied substrate 10 and the mask 20. ) Is provided to fix the clamping in the aligned state by insertion of the alignment pin 121 in the matched state.

이런, 정렬고정부(120)는 정렬핀(121), 핀상하이동체(122), 고정클램프(123), 및 고정클램프실린더(124)를 포함한다.Such, the alignment fixing unit 120 includes an alignment pin 121, a pin upper and lower body 122, a fixing clamp 123, and a fixing clamp cylinder 124.

정렬핀(121)은 지지몸체(115)의 일측에 배치되어 있으며, 기판통공(11)과 마스크통공(21) 위치인 폭방향 양측에 각각 위치하여 기판(10)과 마스크(20)가 중첩된 상태로 공급되면 기판통공(11)과 마스크통공(21)이 연통된 상태에서 상하로 이동되면서 삽입되어 폭방향으로 정렬되는 핀 형태로 구비된다.The alignment pins 121 are disposed on one side of the support body 115, and are positioned on both sides of the substrate through hole 11 and the mask through hole 21 in the width direction, so that the substrate 10 and the mask 20 overlap. When supplied in the state, the substrate through hole 11 and the mask through hole 21 are provided in the form of pins that are inserted while being moved up and down in a communication state and aligned in the width direction.

핀상하이동체(122)는 정렬핀(121)의 하부에 배치되어 있으며, 제어부(160)의 작동에 의해 정렬핀(121)을 상하로 이동시키도록 구비된다. 핀상하이동체(122)는 정렬핀(121)을 제어부(160)의 작동에 의해 상하로 이동하는 것으로, 정렬핀(121)을 상부로 이동시켜 중첩된 기판통공(11)과 마스크통공(21)에 삽입되어 폭방향 정렬하고, 정렬을 마치면 정렬핀(121)을 하강시켜 이동 간섭을 최소화하도록 구비된다.The upper and lower pins 122 are disposed below the alignment pins 121 and are provided to move the alignment pins 121 up and down by the operation of the control unit 160. The upper and lower pin body 122 is to move the alignment pin 121 up and down by the operation of the control unit 160, the substrate through hole 11 and the mask through hole 21 overlapped by moving the alignment pin 121 upward It is inserted into and aligned in the width direction, and when the alignment is completed, the alignment pin 121 is lowered to minimize movement interference.

고정클램프(123)는 지지몸체(115)의 일측에 배치되어 있으며, 정렬핀(121)의 일측에 위치하여 중첩된 기판(10)과 마스크(20)가 공급된 상태에서 스테이지부(130) 이동 시 클램핑 고정하고, 스테이지부(130)에 클램핑되어 이동 합지 시에 클램핑이 해제되도록 간격이 조절되는 한쌍으로 구비된다. 즉, 고정클램프(123)는 집게 형상으로 구비되어 간격이 조절되면서 중첩된 기판(10)과 마스크(20)를 클램핑 고정하거나 고정을 해제하도록 구비된다.The fixing clamp 123 is disposed on one side of the support body 115 and is positioned on one side of the alignment pin 121 to move the stage unit 130 while the overlapped substrate 10 and the mask 20 are supplied. When clamping is fixed, it is clamped to the stage unit 130 and provided as a pair of which the interval is adjusted so that the clamping is released when moving and laminating. That is, the fixing clamp 123 is provided in the shape of tongs and is provided to clamp or release the overlapping substrate 10 and the mask 20 while adjusting the gap.

고정클램프실린더(124)는 고정클램프(123)의 간격이 조절되는 위치에 배치되어 있으며, 제어부(160)의 제어에 의해 고정클램프(123)가 클램핑하기 위한 간격을 조절하는 동력을 제공한다. 즉, 고정클램프실린더(124)는 제어부(160)의 작동에 따라 집게 형태의 고정클램프(123)의 간격을 조절하는 실린더 형태로 구비된다. 이런, 고정클램프실린더(124)는 정렬핀(121)으로 폭 방향으로 정렬한 후에 스테이지부(130) 이동 시 유동을 방지하기 위해서 클램핑 고정하고, 합지를 위해서 스테이지부(130)에서 클램핑을 실시하면 클램핑을 해제시키도록 작동된다.The fixed clamp cylinder 124 is disposed at a position where the distance between the fixed clamps 123 is adjusted, and provides power to adjust the distance for clamping by the fixed clamp 123 under the control of the controller 160. That is, the fixed clamp cylinder 124 is provided in the form of a cylinder that adjusts the spacing of the clamp-type fixed clamp 123 according to the operation of the control unit 160. In this way, after the fixed clamp cylinder 124 is aligned in the width direction with the alignment pin 121, clamping is fixed to prevent flow when the stage unit 130 moves, and clamping is performed at the stage unit 130 for lamination. It is operated to release the clamping.

스테이지부(130)는 지지몸체(115)의 일측에 배치되어 있으며, 타측으로 이동 후 정렬고정부(120)의 고정이 해제되면 이동된 위치에 고정한 상태에서 일측으로 이동하면서 가압 합지하도록 구비된다.The stage unit 130 is disposed on one side of the support body 115, and when the alignment fixing unit 120 is released after moving to the other side, the stage unit 130 is provided to be pressed and bonded while moving to one side while being fixed at the moved position.

이런, 스테이지부(130)는 스테이지플레이트(131), 레일지지체(132), 플레이트지지체(133), 플레이트이동체(135), 스테이지클램프(136), 및 스테이지클램프실린더(137)를 포함한다.As such, the stage unit 130 includes a stage plate 131, a rail support 132, a plate support 133, a plate moving body 135, a stage clamp 136, and a stage clamp cylinder 137.

스테이지플레이트(131)는 지지몸체(115)의 기판(10)과 마스크(20)가 중첩 지지된 하부에 배치되어 있으며, 가압에 의해 합지하는 합지롤러부(140)의 하부에 위치하여 일측과 타측으로 이동되면서 가압되는 하부를 받치는 판 형태로 구비된다.The stage plate 131 is disposed below the substrate 10 of the support body 115 and the mask 20 overlapping and supported, and is positioned under the laminating roller unit 140 to be laminated by pressing, so that one side and the other It is provided in the form of a plate that supports the lower part that is pressed while moving to the side.

레일지지체(132)는 스테이지플레이트(131)의 하부면에 좌우측으로 하부 방향에 돌출 배치되어 있으며, 스테이지플레이트(131)가 슬라이딩 지지하도록 하부의 양측 방향으로 레일을 따라 이동하는 형태로 구비된다.The rail support 132 is disposed to protrude from the lower surface of the stage plate 131 in the left and right directions in the lower direction, and is provided in a form that moves along the rail in both directions below the stage plate 131 to support sliding.

양측 방향으로 돌출된 레일 형태로 구비된다.It is provided in the form of a rail protruding in both directions.

플레이트지지체(133)는 스테이지플레이트(131)의 하부의 배치되어 있으며, 플레이트레일(132)을 슬라이딩 지지하도록 상부에 한쌍의 플라이트레일(134)이 돌출 구비된 판 형태로 구비된다.The plate support 133 is disposed below the stage plate 131 and is provided in the form of a plate in which a pair of flight trails 134 protrude on the upper portion to support the plate rail 132 by sliding.

플레이트이동체(135)는 스테이지플레이트(131)의 하부면에 연결 배치되어 있으며, 제어부(160)의 제어에 의해 스테이지플레이트(131)를 일측과 타측으로 이동시키는 동력을 제공하도록 구비된다. The plate moving body 135 is connected to the lower surface of the stage plate 131 and is provided to provide power to move the stage plate 131 to one side and the other side under the control of the controller 160.

여기서, 스테이지플레이트(131)는 플레이트레일(134)에 레일지지체 (132)가 삽입 구비되어 레일 방식을 통해서 슬라이딩 이동하는 구성을 제시한 것은 설명의 편의를 위한 것이다. 다시 말해서, 스테이지플레이트(131)가 슬라이딩되는 모든 수단이 포함될 수 있는 것은 당업자에게 자명하다.Here, the stage plate 131 is provided with a rail support 132 inserted into the plate rail 134 to provide a configuration in which sliding movement through a rail method is provided for convenience of explanation. In other words, it is obvious to those skilled in the art that all means by which the stage plate 131 is slid can be included.

스테이지클램프(136)는 스테이지플레이트(131)의 각 모서리 상부에 각각 배치되어 있으며, 일측과 타측에 각각 마주보는 방향으로 위치하여 일측으로 이동된 후에 중첩된 기판(10)과 마스크(20)를 클램핑하여 합지롤러부(140) 방향으로 이동하여 합지하고, 합지 후 리와인드부(150)에서 회수하도록 클램핑을 해제하도록 간격이 조절되는 한쌍으로 구비된다. 즉, 스테이지클램프(136)는 스테이지플레이트(131) 각 모서리 상부에 서로 마주보는 위치에 각각 집게 형태로 배치되어 스테이지플레이트(131) 이동 후에 클램핑 고정한 상태에서 일측으로 이동하면서 합지를 실시하도록 구비된다. The stage clamps 136 are disposed above each corner of the stage plate 131, and are positioned on one side and the other side in a direction facing each other and move to one side, and then clamp the overlapped substrate 10 and the mask 20. Thus, it moves in the direction of the lamination roller unit 140 and is laminated, and after lamination, it is provided as a pair of which the interval is adjusted to release the clamping so as to be recovered from the rewind unit 150. That is, the stage clamp 136 is disposed in the form of clamps at positions facing each other on the top of each corner of the stage plate 131 and is provided to perform lamination while moving to one side while the stage plate 131 is fixed and clamped.

스테이지클램프실린더(137)는 스테이지클램프(136)의 간격이 조절되는 위치에 배치되어 있으며, 제어부(160)의 제어에 의해 스테이지클램프(136)가 클램핑하기 위한 간격을 조절하는 동력을 제공하도록 구비된다. 즉, 스테이지클램프실린더(137)는 집게 형태의 스테이지클램프(136)의 간격을 조절하는 위치에 설치되어 클램핑 고정과 해제되는 작동을 제어부의 조작에 의해 제어하도록 작동된다.The stage clamp cylinder 137 is disposed at a position where the interval of the stage clamp 136 is adjusted, and is provided to provide power to adjust the interval for clamping the stage clamp 136 under the control of the controller 160 . That is, the stage clamp cylinder 137 is installed at a position to adjust the interval of the clamp-shaped stage clamp 136 and is operated to control the clamping fixing and releasing operation by the operation of the controller.

합지롤러부(140)는 스테이지부(130)의 상부에 배치되어 있으며, 중첩된 기판(10)과 마스크(20)를 가압하는 롤러 형태로 스테이지부(130)가 타측으로 이동되면 하강한 상태로 가압하고, 스테이지부(130)가 일측으로 이동되면 회전하면서 가압 합지하고, 합지를 마치면 상승되도록 구비된다.The laminating roller unit 140 is disposed above the stage unit 130 and is in a lowered state when the stage unit 130 is moved to the other side in the form of a roller that presses the overlapped substrate 10 and the mask 20. It is pressurized, and when the stage unit 130 is moved to one side, it is pressed and laminated while rotating, and is provided to rise when the lamination is finished.

이런, 합지롤러부(140)는 합지롤러(141), 롤러상하이동체(142), 및 롤러지지몸체(143)를 포함한다.Such, the laminated roller unit 140 includes a laminated roller 141, a roller upper and lower body 142, and a roller support body 143.

합지롤러(141)는 스테이지플레이트(131)의 상부에 배치되어 있으며, 스테이지플레이트(131)가 타측으로 이동한 일측끝 상부에 위치하여 상하로 이동하면서 중첩된 기판(10)과 마스크(20)를 가압하여 합지하는 롤러 형태로 구비된다.The lamination roller 141 is disposed on the top of the stage plate 131, and is positioned above one end of the stage plate 131 moved to the other side, and moves up and down to form the overlapped substrate 10 and the mask 20. It is provided in the form of a roller that is pressed and laminated.

롤러상하이동체(142)는 합지롤러(141)의 양끝에 각각 배치되어 있으며, 합지롤러(141)를 상하로 이동시키는 동력을 제공하도록 구비된다.The roller upper and lower body 142 is disposed at both ends of the paper roller 141, and is provided to provide power to move the paper roller 141 up and down.

롤러지지몸체(143)는 지지몸체(115)의 상부에 배치되어 있으며, 폭방향의 상부로 돌출되어 상부를 가로질러 연결하도록 구비되어 연결된 상부 양측으로 각각 롤러상하이동체(142)가 지지되도록 구비된다.The roller support body 143 is disposed on the upper part of the support body 115, and is provided to protrude upward in the width direction and connect across the upper part, so that the roller upper and lower body 142 is supported on both sides of the connected upper part. .

리와인드부(150)는 지지몸체(115)의 일측에 배치되어 있으며, 기판(10)과 마스크(20)가 합지롤러(141)로 가압 합지 후에 롤 형태로 회수하도록 설치된다.The rewind part 150 is disposed on one side of the support body 115 and is installed to recover in a roll form after the substrate 10 and the mask 20 are pressed and laminated with a paper roller 141.

이런, 리와인드부(150)는 리와인드롤러(151), 및 리와인드모터(152)를 포함한다.As such, the rewind unit 150 includes a rewind roller 151 and a rewind motor 152.

리와인드롤러(151)는 지지몸체(115)의 일측에 배치되어 있으며, 합지된 기판(10)과 마스크(20)가 권회되어 회수되는 롤러 형태로 구비된다.The rewind roller 151 is disposed on one side of the support body 115 and is provided in the form of a roller in which the laminated substrate 10 and the mask 20 are wound and recovered.

리와인드모터(152)는 리와인드롤러(151)의 일측에 배치되어 있으며, 리와인드롤러(151)의 합지된 기판(10)과 마스크(20)를 권회하여 회수하도록 회전되는 동력을 제공하면서 제어부(160)의 작동에 의해 회전시키도록 구비된다.The rewind motor 152 is disposed on one side of the rewind roller 151, and the control unit 160 provides rotational power to wind and recover the laminated substrate 10 and the mask 20 of the rewind roller 151. It is provided to rotate by the operation of.

제어부(160)는 정렬고정부(120), 스테이지부(130), 합지롤러부(140), 및 리와인드부(150)에 연결되어 각각의 장치를 제어하도록 구비된다.The control unit 160 is connected to the alignment fixing unit 120, the stage unit 130, the laminate roller unit 140, and the rewind unit 150 to control respective devices.

이런, 제어부(160)는 합지센서(161), 제어체(162), 정렬제어부(163), 고정클램핑제어부(164), 스테이지이동제어부(165), 스테이지클램핑제어부(166), 합지롤러제어부(167), 및 리와인드제어부(168)를 포함한다.In this way, the control unit 160 includes a laminate sensor 161, a control body 162, an alignment control unit 163, a fixed clamping control unit 164, a stage movement control unit 165, a stage clamping control unit 166, a laminate roller control unit ( 167), and a rewind control unit 168.

합지센서(161)는 지지몸체(115)의 일측에 배치되어 있으며, 기판(10)과 마스크(20)가 상호 중첩된 상태로 공급되어 정렬핀(121)의 정렬 위치에 도달하는 것을 감지하도록 구비된다.The lamination sensor 161 is disposed on one side of the support body 115, and is provided in a state in which the substrate 10 and the mask 20 overlap each other and is provided to detect reaching the alignment position of the alignment pin 121 do.

제어체(162)는 지지몸체(115)의 일측에 배치되어 있으며, 합지센서(161)에서 감지된 신호에 따라 핀상하이동체(122)에서 정렬핀(121)의 상하 이동에 의해 폭방향으로 정렬되는 핀정렬제어신호를 발생시키고, 핀정렬 후에 고정클램프실린더(124)의 작동으로 고정클램프(123)로 고정되는 클램핑의 작동과 스테이지플레이트(131)의 이동 후에 고정 클램핑의 해제하는 고정클램핑제어신호를 발생시킨다.The control body 162 is disposed on one side of the support body 115 and is aligned in the width direction by vertical movement of the alignment pin 121 in the pin up and down body 122 according to a signal detected by the bonding sensor 161 A fixed clamping control signal that generates a pin alignment control signal and releases the fixed clamping after the operation of the fixed clamp 123 and the movement of the stage plate 131 by the operation of the fixed clamp cylinder 124 after pin alignment. Occurs.

또한, 제어체(162)는 고정클램핑 상태에서 스테이지플레이트(131)의 타측으로 이동과 스테이지클램프(136)에서 클램핑 고정한 상태에서 일측으로 이동하도록 플레이트이동체(135)를 작동시키는 스테이지이동신호를 발생시킨다.In addition, the control body 162 generates a stage movement signal that operates the plate moving body 135 to move to the other side of the stage plate 131 in a fixed clamping state and move to one side in a clamping fixed state in the stage clamp 136. .

그리고, 제어체(162)는 스테이지플레이트(131)의 타측 이동 시 클램핑하는 고정과 스테이지플레이트(131) 일측으로 이동 후 클램핑 고정을 해제하도록 스테이지클램프실린더(137)를 작동시키는 스테이지클램핑제어신호를 발생시킨다.Then, the control body 162 generates a stage clamping control signal that operates the stage clamp cylinder 137 to release the clamping after fixing clamping when the stage plate 131 moves to the other side and moving to one side of the stage plate 131 Let it.

아울러, 제어체(162)는 스테이지플레이트(131)의 타측으로 이동 후 합지롤러(141)를 하강시키고, 스테이지클램프(136)로 클램핑 된 상태에서 스테이지플레이트(131)의 일측 이동으로 가압 합지를 마친후 합지롤러(141)를 상승시키는 롤러상하이동체(142)를 제어하는 신호인 합지롤러제어신호를 발생시킨다.In addition, the control body 162 moves to the other side of the stage plate 131 and then lowers the lamination roller 141, and in the state clamped by the stage clamp 136, the pressure lamination is completed by moving one side of the stage plate 131. After that, a laminated roller control signal, which is a signal for controlling the roller up and down moving body 142 that raises the laminated roller 141, is generated.

더불어, 제어체(162)는 합지롤러(141)의 하강에 의해 가압한 상태에서 스테이지플레이트(131)의 이동 반경에 따라 합지된 넓이만큼 리와인드롤러(151)로 합지된 기판(10)과 마스크(20)를 권회 회수하도록 리와인드모터(152)의 회전작동을 제어하는 리와인트회전제어신호를 발생시킨다.In addition, the control body 162 is the substrate 10 and the mask laminated by the rewind roller 151 by the amount of the laminated area according to the moving radius of the stage plate 131 in a state pressed by the lowering of the paper roller 141. A rewind rotation control signal for controlling the rotational operation of the rewind motor 152 is generated so as to recover 20).

정렬제어부(163)는 제어체(162)와 핀상하이동체(122)를 연결하고 있으며, 제어체(162)에서 발생된 핀정렬제어신호에 따라 정렬핀(121)을 상하 이동을 제어하여 중첩된 기판(10)과 마스크(20)를 정렬하도록 구비된다.The alignment control unit 163 connects the control body 162 and the pin up and down body 122, and controls the vertical movement of the alignment pin 121 according to the pin alignment control signal generated from the control body 162 to overlap It is provided to align the substrate 10 and the mask 20.

고정클램핑제어부(164)는 제어체(162)와 고정클램프실린더(124)를 연결하고 있으며, 제어체(162)에서 발생된 고정클램핑제어신호에 따라 중첩된 기판(10)과 마스크(20)를 핀 정렬 후 클램핑 고정하고, 스테이지플레이트(131)의 타측 이동 후에 고정클램프실린더(124)를 작동하여 고정클램프(123)의 고정을 해제하도록 제어한다.The fixed clamping control unit 164 connects the control body 162 and the fixed clamp cylinder 124, and overlaps the substrate 10 and the mask 20 according to the fixed clamping control signal generated from the control body 162. After the pins are aligned and clamped, the fixed clamp cylinder 124 is operated after the stage plate 131 is moved to the other side to release the fixed clamp 123.

스테이지이동제어부(165)는 제어체(162)와 플레이트이동체(135)를 연결하고 있으며, 제어체(162)에서 발생된 스테이지이동신호에 따라 고정클램프(123)에서 고정된 상태에 스테이지플레이트(131)를 타측으로 이동하고, 이동 후에 고정클램프(123)의 고정을 해제하면서 스테이지클램프(136)로 클램핑한 상태에서 플레이트이동체(135)를 작동시켜 일측으로 이동하도록 제어한다.The stage movement control unit 165 connects the control body 162 and the plate movement body 135, and the stage plate 131 is fixed by the fixing clamp 123 according to the stage movement signal generated from the control body 162. ) Is moved to the other side, and the plate moving body 135 is operated in a state clamped by the stage clamp 136 while releasing the fixing of the fixing clamp 123 after the movement to control the movement to one side.

스테이지클램핑제어부(166)는 제어체(162)와 스테이지클램프실린더(137)를 연결하고 있으며, 제어체(162)에서 발생된 스테이지클램핑제어신호에 따라 스테이지플레이트(131) 타측 이동 후에 스테이지클램프실린더(137)의 작동으로 스테이지클램프(136)로 클램핑 고정하고, 고정된 상태로 스테이지플레이트(131)가 합지를 위해 일측으로 이동 후 스테이지클램프의 클램핑을 해제하도록 제어한다.The stage clamping control unit 166 connects the control body 162 and the stage clamp cylinder 137, and according to the stage clamping control signal generated from the control body 162, the stage clamping cylinder ( The stage clamp 136 is clamped and fixed by the operation of 137, and the stage plate 131 moves to one side for lamination in a fixed state, and then the clamping of the stage clamp is released.

합지롤러제어부(167)는 제어체(162)와 롤러상하이동체(142)를 연결하고 있으며, 제어체(162)에서 발생된 합지롤러제어신호에 따라 스테이지플레이트(131)의 타측 이동 후 합지하는 합지롤러(141)를 하강하고, 하강한 상태에서 스테이지플레이트(131)가 일측으로 이동 후 합지롤러(141)를 상승하도록 롤러상하이동체(142)를 제어한다.The paper roller control unit 167 connects the control body 162 and the roller up-and-down body 142, and is laminated after moving the other side of the stage plate 131 according to the paper roller control signal generated from the control body 162. The roller 141 is lowered, and the stage plate 131 moves to one side in a lowered state, and then the roller up and down body 142 is controlled to raise the lamination roller 141.

리와인드제어부(168)는 제어체(162)와 리와인드모터(152)를 연결하고 있으며, 제어체(162)에서 발생된 리와인트회전제어신호에 따라 스테이지플레이트(131)의 이동 반경 내의 합지된 넓이만큼 회전에 의해 권회 회수하도록 리와인드모터(152)의 회전 작동을 제어하도록 구비된다.The rewind control unit 168 connects the control body 162 and the rewind motor 152, and the combined area within the moving radius of the stage plate 131 according to the rewind rotation control signal generated from the control body 162 It is provided to control the rotational operation of the rewind motor 152 so as to recover the number of turns by rotation.

상술한 바와 같이, 기판공급체(111)에서 공급되는 기판(10)과 마스크공급체(113)에서 공급되는 마스크(20)를 지지몸체(115)의 상부로 폭방향에 통공 형태로 구비된 기판통공(11)과 마스크통공(21)을 연통한 상태에서 중첩 공급한다.As described above, the substrate 10 supplied from the substrate supply body 111 and the mask 20 supplied from the mask supply body 113 are provided in the form of a through hole in the width direction above the support body 115 In a state in which the through hole 11 and the mask through hole 21 are in communication, overlapping is supplied.

이렇게, 기판(10)과 마스크(20)를 중첩 공급하여 합지센서(161)에서 센싱되면 제어부(160)에서 핀정렬제어신호에 따라 핀상하이동체(122)의 작동으로 정렬핀(121)이 상승하면서 기판통공(11)과 마스크통공(21)에 삽입되어 폭방향으로 정렬한다.In this way, when the substrate 10 and the mask 20 are overlapped and sensed by the lamination sensor 161, the alignment pin 121 is raised by the operation of the pin up and down body 122 according to the pin alignment control signal from the control unit 160 While being inserted into the substrate through hole 11 and the mask through hole 21 and aligned in the width direction.

정렬을 마치면 제어체(162)의 고정클램핑제어신호에 따라 고정클램프실린더(124)를 작동시켜 고정클램프(123)로 중첩된 기판(10)과 마스크(20)를 고정클램프(123)로 클램핑 고정하고, 고정한 상태에서 정렬핀(121)을 하강하여 이동 간섭을 최소화한다.When the alignment is complete, the fixed clamp cylinder 124 is operated according to the fixed clamping control signal of the control body 162 to clamp the substrate 10 and the mask 20 overlapped with the fixed clamp 123 with the fixed clamp 123 And, in a fixed state, the alignment pin 121 is lowered to minimize movement interference.

기판(10)과 마스크(20)가 클램핑 고정된 상태에서 제어체(162)의 스테이지이동신호에 따라 플레이트이동체(135)를 작동시켜 스테이지플레이트(131)를 타측으로 이동시키고, 이동을 마치면 고정클램프(123)의 클램핑 고정을 해제한 상태에서 스테이지클램핑제어신호에 따라 스테이지클램프실린더(137)의 작동에 의해 스테이지클램프(136)로 중첩된 기판(10)과 마스크(20)를 클램핑 고정한다.In a state in which the substrate 10 and the mask 20 are clamped and fixed, the plate moving body 135 is operated according to the stage movement signal of the control body 162 to move the stage plate 131 to the other side, and when the movement is completed, the fixed clamp In a state in which the clamping fixing of 123 is released, the substrate 10 overlapped with the stage clamp 136 and the mask 20 are clamped and fixed by the operation of the stage clamp cylinder 137 according to the stage clamping control signal.

스테이지클램프(136)로 클램핑 고정하면, 합지롤러제어신호에 따라 롤러상하이동체(142)를 작동시켜 합지롤러(141)를 중첩된 기판(10)과 마스크(20)의 상부를 가압하도록 하강한다.When the stage clamp 136 is clamped and fixed, the roller upper and lower body 142 is operated according to the laminated roller control signal to lower the laminated roller 141 to press the upper portion of the overlapped substrate 10 and the mask 20.

합지롤러(141)가 하강된 상태에서 제어체(162)의 스테이지이동신호에 따라 플레이트이동체(135)의 작동에 의해 스테이지클램프(136)로 고정된 스테이지플레이트(131)가 일측으로 이동하면 스테이지플레이트(131)와 합지롤러(141) 사이에 가압된 기판(10)과 마스크(20)가 이동에 의해 합지된다.When the stage plate 131 fixed by the stage clamp 136 moves to one side by the operation of the plate moving body 135 in response to the stage moving signal of the control body 162 in the lowered state, the stage plate The substrate 10 and the mask 20 pressed between the 131 and the laminating roller 141 are laminated by movement.

가압 합지를 마치면 합지롤러제어신호에 따라 롤러상하이동체(142)를 작동시켜 합지롤러(141)를 상승하고, 스테이지클램프(136)의 클램프 고정을 해제하여 합지를 완료한다.When the pressure lamination is completed, the lamination roller 141 is lifted by operating the roller upper and lower body 142 according to the lamination roller control signal, and the lamination is completed by releasing the clamp of the stage clamp 136.

합지가 완료된 상태에서 리와인드회전제어신호에 따라 리와인드모터(152)를 회전 작동시켜 리와인드롤러(151)에 합지가 완료된 기판(10)과 마스크(20)를 회수하여 합지공정을 마친다.In a state in which lamination is completed, the rewind motor 152 is rotated according to the rewind rotation control signal to recover the substrate 10 and the mask 20 that have been laminated to the rewind roller 151 to complete the lamination process.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다.The above description is merely illustrative of the technical idea of the present invention, and those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains will be able to make various modifications and variations without departing from the essential characteristics of the present invention.

따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다.Accordingly, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention, but to explain the technical idea, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments.

본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The scope of protection of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 기판 11 : 기판통공
20 : 마스크 21 : 마스크통공
100 : 합지장치 110 : 합지공급지지부
111 : 기판공급체 112 : 기판장력유지체
113 : 마스크공급체 114 : 마스크장력유지체
115 : 지지몸체 116 : 지지공간
120 : 정렬고정부 121 : 정렬핀
122 : 핀상하이동체 123 : 고정클램프
124 : 고정클램프실린더 130 : 스테이지부
131 : 스테이지플레이트 132 : 레일지지체
133 : 플레이트지지체 134 : 플레이트레일
135 : 플레이트이동체 136 : 스테이지클램프
137 : 스테이지클램프실린더 140 : 합지롤러부
141 : 합지롤러 142 : 롤러상하이동체
143 : 롤러지지몸체 150 : 리와인드부
151 : 리와인드롤러 152 : 리와인드모터
160 : 제어부 161 : 합지센서
162 : 제어체 163 : 정렬제어부
164 : 고정클램핑제어부 165 : 스테이지이동제어부
166 : 스테이지클램핑제어부 167 : 합지롤러제어부
168 : 리와인드회전제어부
<Explanation of symbols for major parts of drawings>
10: substrate 11: substrate through hole
20: mask 21: mask hole
100: paper device 110: paper supply support
111: substrate supply member 112: substrate tension retaining member
113: mask supply body 114: mask tension retaining body
115: support body 116: support space
120: alignment fixing unit 121: alignment pin
122: pin upper body 123: fixed clamp
124: fixed clamp cylinder 130: stage part
131: stage plate 132: rail support
133: plate support 134: plate rail
135: plate moving body 136: stage clamp
137: stage clamp cylinder 140: laminate roller part
141: laminated roller 142: roller upper body
143: roller support body 150: rewind part
151: rewind roller 152: rewind motor
160: control unit 161: laminated sensor
162: control body 163: alignment control unit
164: fixed clamping control unit 165: stage movement control unit
166: stage clamping control unit 167: laminating roller control unit
168: Rewind rotation control unit

Claims (8)

조명용 유기 발광소자의 제조 중 증착공정에 공급하기 위해서 기판과 마스크를 합지하는 합지장치에 있어서,
상기 기판과 상기 마스크를 상호 중첩되도록 공급하여 합지되는 위치로 지지하는 합지공급지지부;
상기 합지공급지지부의 일측에 배치되어 있으며, 공급된 상기 기판과 상기 마스크의 폭방향에 양측에 구비된 통공인 기판통공과 마스크통공을 일치한 상태에서 정렬핀의 삽입에 의해 정렬한 상태에서 클램핑 고정하는 정렬고정부;
상기 합지공급지지부의 일측에 배치되어 있으며, 타측으로 이동 후 상기 정렬고정부의 고정이 해제되면 이동된 위치에 고정한 상태에서 일측으로 이동하면서 가압 합지하는 스테이지부;
상기 스테이지부의 상부에 배치되어 있으며, 중첩된 상기 기판과 상기 마스크를 가압하는 롤러 형태로 상기 스테이지부가 타측으로 이동되면 하강한 상태로 가압하고, 상기 스테이지부가 일측으로 이동되면 회전하면서 가압 합지하고, 합지를 마치면 상승되는 합지롤러부;
상기 합지공급지지부의 일측에 배치되어 있으며, 상기 기판과 상기 마스크가 상기 합지롤러부로 가압 합지 후에 롤 형태로 회수하도록 설치된 리와인드부; 및
상기 정렬고정부, 상기 스테이지부, 상기 합지롤러부, 및 상기 리와인드부에 연결되어 각각의 장치를 제어하는 제어부;를 포함하는
조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치.
In a laminating apparatus for laminating a substrate and a mask to supply to a deposition process during manufacturing of an organic light emitting device for lighting,
A lamination supply support unit for supplying the substrate and the mask so as to overlap each other to support a lamination position;
Arranged on one side of the paper supply support, clamping and fixing in a state in which the supplied substrate and the mask through holes, which are through holes provided on both sides in the width direction of the mask, are aligned by inserting an alignment pin. Alignment fixation;
A stage unit which is disposed on one side of the paper supply support unit, and pressurizes the unit while moving to one side while being fixed at the moved position when the alignment fixing unit is released after moving to the other side;
It is disposed on the upper part of the stage and is in the form of a roller that presses the overlapped substrate and the mask. When the stage part is moved to the other side, it is pressed in a lowered state, and when the stage part is moved to one side, it is pressed and laminated while rotating. Laminated roller unit that rises when finished;
A rewind unit disposed on one side of the paper supply support unit and installed to recover the substrate and the mask in a roll form after pressing and laminating with the paper roller unit; And
And a control unit connected to the alignment fixing unit, the stage unit, the laminating roller unit, and the rewind unit to control respective devices;
A laminating device for manufacturing an organic light emitting device for lighting.
제 1 항에 있어서,
상기 합지공급지지부는,
상기 기판이 복수회 감겨진 롤 형태로 지지되어 회전에 의해 일측으로 공급하는 기판공급체;
상기 기판공급체의 일측에 배치되어 있으며, 공급되는 상기 기판의 장력을 조절 유지하는 기판장력유지체;
상기 기판공급체의 하부에 배치되어 있으며, 상기 마스크가 복수회 감겨진 롤 형태로 지지되어 회전에 의해 일측으로 공급하는 마스크공급체;
상기 마스크공급체의 일측에 배치되어 있으며, 공급되는 상기 마스크의 장력을 조절 유지하는 마스크장력유지체; 및
상기 기판공급체와 상기 마스크공급체의 일측에 배치되어 있으며, 공급된 상기 기판과 상기 마스크가 상호 중첩된 상태로 지지되고, 일측으로 상기 정렬고정부가 설치되고, 내부에 상기 스테이지부가 설치되는 지지공간을 가지며, 상기 스테이지부 상부에 위치하는 합지롤러부가 상부 중앙에 지지되고, 일측 끝에는 합지된 상기 기판과 상기 마스크를 권회 회수하는 리와인드부가 지지되는 지지몸체;를 포함하는
조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치.
The method of claim 1,
The laminated supply support unit,
A substrate supply body supporting the substrate in the form of a roll wound a plurality of times and supplying the substrate to one side by rotation;
A substrate tension holding member disposed on one side of the substrate supply member and controlling and maintaining a tension of the supplied substrate;
A mask supply body disposed under the substrate supply body and supporting the mask in the form of a roll wound a plurality of times and supplying it to one side by rotation;
A mask tension holding member disposed on one side of the mask supply member and controlling and maintaining a tension of the supplied mask; And
A support space disposed on one side of the substrate supply body and the mask supply body, the supplied substrate and the mask are supported in an overlapping state, the alignment fixing part is installed on one side, and the stage part is installed therein And a support body that has a laminated roller part positioned above the stage part and is supported at an upper center, and at one end of which a rewind part for winding and recovering the laminated substrate and the mask is supported;
A laminating device for manufacturing an organic light emitting device for lighting.
제 1 항에 있어서,
상기 정렬고정부는,
상기 합지공급지지부의 일측에 배치되어 있으며, 상기 기판통공과 상기 마스크통공 위치인 폭방향 양측에 각각 위치하여 상기 기판과 상기 마스크가 중첩된 상태로 공급되면 상기 기판통공과 상기 마스크통공이 연통된 상태에서 상하로 이동되면서 삽입되어 폭방향으로 정렬되는 핀 형태의 정렬핀;
상기 정렬핀의 하부에 배치되어 있으며, 상기 제어부의 작동에 의해 상기 정렬핀을 상하로 이동시키는 핀상하이동체;
상기 합지공급지지부의 일측에 배치되어 있으며, 상기 정렬핀의 일측에 위치하여 중첩된 상기 기판과 상기 마스크가 공급된 상태에서 상기 스테이지부 이동 시 클램핑 고정하고, 상기 스테이지부에 클램핑되어 이동 합지 시에 클램핑이 해제되도록 간격이 조절되는 한쌍으로 구비된 고정클램프; 및
상기 고정클램프의 간격이 조절되는 위치에 배치되어 있으며, 상기 제어부의 제어에 의해 상기 고정클램프가 클램핑하기 위한 간격을 조절하는 동력을 제공하는 고정클램프실린더;를 포함하는
조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치.
The method of claim 1,
The alignment fixing unit,
The substrate through hole and the mask through hole are in communication when the substrate through the substrate and the mask are supplied in an overlapping state by being disposed on one side of the laminated supply support part and respectively located on both sides in the width direction, which is the position of the substrate through-hole and the mask through-hole. Alignment pins in the form of pins that are inserted while being moved up and down in the width direction;
A pin up and down body disposed under the alignment pin and moving the alignment pin up and down by the operation of the control unit;
It is disposed on one side of the paper supply support part, and is clamped and fixed when the stage part moves while the overlapping substrate and the mask are supplied by being located on one side of the alignment pin, and when the stage part is clamped to move and laminated Fixed clamps provided in a pair of which the interval is adjusted so that the clamping is released; And
A fixed clamp cylinder disposed at a position in which the distance between the fixed clamps is adjusted, and providing power to adjust the distance for clamping by the fixed clamp under the control of the control unit;
A laminating device for manufacturing an organic light emitting device for lighting.
제 1 항에 있어서,
상기 스테이지부는,
상기 합지공급지지부의 상기 기판과 상기 마스크가 중첩 지지된 하부에 배치되어 있으며, 가압에 의해 합지하는 상기 합지롤러부의 하부에 위치하여 일측과 타측으로 이동되면서 가압되는 하부를 받치는 판 형태의 스테이지플레이트;
상기 스테이지플레이트의 하부면에 좌우측으로 하부 방향에 돌출 배치되어 있으며, 상기 스테이지플레이트가 슬라이딩 지지하도록 하부의 양측 방향으로 레일을 따라 이동하는 형태로 구비된 레일지지체;
상기 스테이지플레이트의 하부의 배치되어 있으며, 상기 플레이트레일을 슬라이딩 지지하도록 상부에 한쌍의 플레이트레일가 돌출 구비된 판 형태의 플레이트지지체;
상기 스테이지플레이트의 하부면에 연결 배치되어 있으며, 상기 제어부의 제어에 의해 상기 스테이지플레이트를 일측과 타측으로 이동시키는 동력을 제공하는 플레이트이동체;
상기 스테이지플레이트의 각 모서리 상부에 각각 배치되어 있으며, 일측과 타측에 각각 마주보는 방향으로 위치하여 일측으로 이동된 후에 중첩된 상기 기판과 상기 마스크를 클램핑하여 상기 합지롤러부 방향으로 이동하여 합지하고, 합지 후 상기 리와인드부에서 회수하도록 클램핑을 해제하도록 간격이 조절되는 한쌍으로 구비된 스테이지클램프; 및
상기 스테이지클램프의 간격이 조절되는 위치에 배치되어 있으며, 상기 제어부의 제어에 의해 상기 스테이지클램프가 클램핑하기 위한 간격을 조절하는 동력을 제공하는 스테이지클램프실린더;를 포함하는
조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치.
The method of claim 1,
The stage part,
A stage plate in the form of a plate disposed below the substrate and the mask of the paper supply support unit and supported under the overlapping support, and positioned under the paper roller unit to be laminated by pressing and moving to one side and the other side to support the lower portion being pressed;
A rail support disposed on a lower surface of the stage plate to protrude from the left and right in a lower direction, and provided in a form that moves along the rail in both directions below the stage plate to slide and support the stage plate;
A plate-shaped plate support disposed under the stage plate and having a pair of plate rails protruding above the plate rails to slide and support the plate rails;
A plate moving body connected to the lower surface of the stage plate and providing power to move the stage plate to one side and the other side under the control of the controller;
It is disposed on each edge of the stage plate, and is positioned in a direction facing each other on one side and the other side, moved to one side, and then clamped the overlapped substrate and the mask to move in the direction of the laminating roller unit to be laminated, A pair of stage clamps having an interval adjusted to release the clamping so as to be recovered from the rewind part after lamination; And
A stage clamp cylinder disposed at a position in which the interval of the stage clamp is adjusted, and providing power to adjust the interval for clamping the stage clamp under the control of the control unit;
A laminating device for manufacturing an organic light emitting device for lighting.
제 1 항에 있어서,
상기 합지롤러부는,
상기 스테이지부의 상부에 배치되어 있으며, 상기 스테이지부의 타측으로 이동한 일측끝 상부에 위치하여 상하로 이동하면서 중첩된 상기 기판과 상기 마스크를 가압하여 합지하는 롤러 형태로 구비된 합지롤러;
상기 합지롤러의 양끝에 각각 배치되어 있으며, 상기 합지롤러를 상하로 이동시키는 동력을 제공하는 롤러상하이동체; 및
상기 합지공급지지부의 상부에 배치되어 있으며, 폭방향의 상부로 돌출되어 상부를 가로질러 연결하도록 구비되어 연결된 상부 양측으로 각각 상기 롤러상하이동체가 지지된 롤러지지몸체;를 포함하는
조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치.
The method of claim 1,
The laminated roller part,
A laminating roller disposed above the stage unit and provided in the form of a roller that is positioned above one end of the stage unit moved to the other side of the stage unit and moves up and down to press the overlapped substrate and the mask to be laminated;
A roller up-and-down body disposed at both ends of the lamination roller and providing power to move the lamination roller up and down; And
Containing; a roller support body disposed on the upper part of the paper supply support part, and provided to be connected across the upper side by protruding upward in the width direction, and supporting the roller upper and lower body respectively on both sides of the connected upper part;
A laminating device for manufacturing an organic light emitting device for lighting.
제 1 항에 있어서,
상기 리와인드부는,
상기 합지공급지지부의 일측에 배치되어 있으며, 합지된 상기 기판과 상기 마스크가 권회되어 회수되는 롤러 형태로 구비된 리와인드롤러; 및
상기 리와인드롤러의 일측에 배치되어 있으며, 상기 리와인드롤러의 합지된 상기 기판과 상기 마스크를 권회하여 회수하도록 회전되는 동력을 제공하면서 상기 제어부의 작동에 의해 회전시키는 리와인드모터;를 포함하는
조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치.
The method of claim 1,
The rewind part,
A rewind roller disposed on one side of the paper supply support and provided in the form of a roller in which the laminated substrate and the mask are wound and recovered; And
A rewind motor disposed on one side of the rewind roller and rotating by the operation of the control unit while providing power to be rotated to rewind and recover the laminated substrate and the mask of the rewind roller.
A laminating device for manufacturing an organic light emitting device for lighting.
제 1 항에 있어서,
상기 제어부는,
상기 합지공급지지부의 일측에 배치되어 있으며, 상기 기판과 상기 마스크가 상호 중첩된 상태로 공급되어 상기 정렬고정부의 정렬 위치에 도달하는 것을 감지하는 합지센서; 및
상기 합지공급지지부의 일측에 배치되어 있으며, 상기 합지센서에서 감지된 신호에 따라 상기 정렬고정부에서 핀정렬되는 핀정렬제어신호를 발생시키고, 핀정렬 후에 상기 정렬고정부에서 고정되는 클램핑의 작동과 상기 스테이지부의 이동 후에 고정 클램핑의 해제하는 고정클램핑제어신호를 발생시키며, 고정클램핑 상태에서 상기 스테이지부가 타측으로 이동과 상기 스테이지부에서 클램핑 고정한 상태에서 일측으로 이동하는 스테이지이동신호를 발생시키고, 상기 스테이지부의 타측 이동 시 클램핑하는 고정과 상기 스테이지 일측으로 이동 후 클램핑 고정을 해제하는 스테이지클램핑제어신호를 발생시키며, 상기 스테이지부가 타측으로 이동 후 상기 합지롤러부에 하강과 상기 스테이지부가 일측으로 이동하면서 합지를 마치면 상기 합지롤러부를 상승하는 합지롤러제어신호를 발생시키고, 상기 합지롤러부로 가압한 상태에서 상기 스테이지부의 이동 반경에 따라 합지된 넓이 만큼 상기 리와인드부로 합지된 상기 기판과 상기 마스크를 권회 회수하는 회전작동을 제어하는 리와인트회전제어신호를 발생시키는 제어체;를 포함하는
조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치.
The method of claim 1,
The control unit,
A lamination sensor disposed on one side of the lamination supply support unit, and sensing that the substrate and the mask are supplied in an overlapping state to reach the alignment position of the alignment fixing unit; And
It is disposed on one side of the laminate supply support unit, generates a pin alignment control signal that is pin aligned in the alignment fixing unit according to a signal detected by the bonding sensor, and operates the clamping fixed at the alignment fixing unit after pin alignment. Generates a fixed clamping control signal for releasing the fixed clamping after moving the stage unit, and generates a stage movement signal that moves the stage unit to the other side in a fixed clamping state and a stage movement signal that moves to one side while clamping at the stage unit, and the stage When the other side of the negative is moved, the clamping is fixed and a stage clamping control signal is generated for releasing the clamping after moving to one side of the stage. Upon completion, a rotational operation of generating a laminated roller control signal that raises the laminated roller part, and winding and recovering the substrate and the mask laminated by the rewind part as much as the laminated width according to the moving radius of the stage part in a state of being pressed by the laminated roller part Containing; a control body for generating a rewind rotation control signal for controlling
A laminating device for manufacturing an organic light emitting device for lighting.
제 7 항에 있어서,
상기 제어체와 상기 정렬고정부를 연결하고 있으며, 상기 제어체에서 발생된 상기 핀정렬제어신호에 따라 상기 정렬핀을 상하로 이동 제어하여 중첩된 상기 기판과 상기 마스크를 정렬하는 정렬제어부;
상기 제어체와 상기 정렬고정부를 연결하고 있으며, 상기 제어체에서 발생된 상기 고정클램핑제어신호에 따라 중첩된 상기 기판과 상기 마스크를 핀 정렬 후 클램핑 고정하고, 상기 스테이지부 타측 이동 후에 고정을 해제하도록 제어하는 고정클램핑제어부;
상기 제어체와 상기 스테이지부를 연결하고 있으며, 상기 제어체에서 발생된 상기 스테이지이동신호에 따라 상기 정렬고정부에서 고정된 상태에 타측으로 이동되고, 이동 후에 상기 스테이지부에서 클램핑한 후에 일측으로 이동되도록 제어하는 스테이지이동제어부;
상기 제어체와 상기 스테이지부를 연결하고 있으며, 상기 제어체에서 발생된 상기 스테이지클램핑제어신호에 따라 상기 스테이지부 타측 이동 후에 클램핑 고정하고, 고정된 상태로 상기 스테이지부를 합지를 위해 일측으로 이동 후 클램핑 고정을 해제하도록 제어하는 스테이지클램핑제어부;
상기 제어체와 상기 합지롤러부를 연결하고 있으며, 상기 제어체에서 발생된 합지롤러제어신호에 따라 상기 스테이지부의 타측 이동 후 합지하는 가압 부분을 하강하고, 하강한 상태에서 상기 스테이지부가 일측으로 이동 후 상승하도록 상기 합지롤러부를 제어하는 합지롤러제어부; 및
상기 제어체와 상기 리와인드부를 연결하고 있으며, 상기 제어체에서 발생된 상기 리와인트회전제어신호에 따라 상기 스테이지부의 이동 반경 내의 합지된 넓이만큼 회전에 의해 권회 회수하도록 상기 리와인드부의 회전 작동을 제어하는 리와인드제어부;를 포함하는
조명용 유기 발광소자 제조용 합지 장치.
The method of claim 7,
An alignment control unit connecting the control body and the alignment fixing unit, and controlling the alignment pin to move up and down according to the pin alignment control signal generated from the control body to align the overlapped substrate and the mask;
The control body and the alignment fixing part are connected, and the overlapping substrate and the mask according to the fixed clamping control signal generated from the control body are pinned and fixed by clamping, and the fixing is released after moving the other side of the stage part. A fixed clamping control unit controlling to be performed;
The control body and the stage part are connected, and according to the stage movement signal generated by the control body, the alignment fixing part moves to the other side while being fixed, and after the movement, the stage part is clamped and moved to one side. A stage movement control unit that controls;
The control body and the stage part are connected, and clamping and fixing after moving the other side of the stage part according to the stage clamping control signal generated by the control body, and moving the stage part to one side for lamination in a fixed state, and clamping fixation A stage clamping control unit that controls to release;
The control body and the laminated roller part are connected, and according to the laminated roller control signal generated from the control body, the pressurized part to be laminated after moving to the other side of the stage part is lowered, and the stage part moves to one side and then rises in a lowered state. A lamination roller control unit for controlling the lamination roller unit so as to be; And
The control body and the rewind part are connected, and the rotation operation of the rewind part is controlled so that the rewind part is rotated by rotation as much as the combined area within the moving radius of the stage part according to the rewind rotation control signal generated from the control body. Rewind control unit; including
A laminating device for manufacturing an organic light emitting device for lighting.
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