KR20140007755A - Apparatus for spreading paste - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은, 페이스트 도포 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a paste coating device.
예를 들면, 유기 EL(Electro-Luminescence) 소자를 발광시켜 영상 등을 표시하는 유기 EL 패널 등의 발광 패널의 제조 공정에는, 유기 EL 소자 등의 발광 소자가 구비된 유리 기판(소자측 기판)에, 밀봉용 유리 기판(밀봉 기판)을 맞붙이는 공정이 포함된다. 이 공정에서는, 디스펜서 등의 페이스트 도포 장치에 의하여, 밀봉 기판을 고착(固着)하기 위한 유리 프릿이 포함되는 페이스트(유리 페이스트)가 소자측 기판에 도포된다.For example, in a manufacturing process of a light emitting panel such as an organic EL panel which emits an organic EL (Electro-Luminescence) element to display an image, etc., a glass substrate (element side substrate) provided with light emitting elements such as an organic EL element is provided. The process of sticking the glass substrate for sealing (sealing substrate) is included. In this step, a paste (glass paste) containing a glass frit for fixing the sealing substrate is applied to the element side substrate by a paste coating device such as a dispenser.
이 기술분야의 배경기술로서, 예를 들면, 특허문헌 1에는 「막대 형상체의 표면에 축방향으로 나선 형상의 플랜지를 구비하는 스크루와, 스크루를 회전시키는 회전 구동 기구와, 스크루가 삽설(揷設)되는 스크루 삽설 구멍, 스크루 삽설 구멍의 측면에 설치된 액재(液材) 공급구 및 액재 공급구와 연통(連通)하는 액재 공급 유로를 가지는 본체부와, 스크루 삽설 구멍에 배치되어, 스크루가 삽통(揷通)되는 시일 부재와, 본체부에 장착되어, 스크루 삽설 구멍과 연통하는 노즐을 설치하고, 스크루 삽설 구멍의 액재 공급구보다 상방(上方)에 방액(防液) 공간을 구성하여, 시일 부재가 젖지 않도록 액체 재료를 공급함과 함께 스크루를 정회전시켜 노즐로부터 토출하는 것을 특징으로 한다」라고 기재되어 있다(요약 참조).As a background art of this technical field, for example, Patent Document 1 describes, "A screw having a helical flange in the axial direction on the surface of a rod, a rotation drive mechanism for rotating the screw, and a screw are inserted. (I) a main body portion having a screw insertion hole to be connected, a liquid material supply port provided on the side of the screw insertion hole, and a liquid material supply flow path communicating with the liquid material supply port, and a screw insertion hole disposed in the screw insertion hole ( The sealing member and the nozzle which are attached to the main body part are provided, and the nozzle which communicates with a screw insertion hole is provided, and a liquid-proof space is formed above the liquid material supply opening of a screw insertion hole, and a sealing member is The liquid is supplied so as not to get wet, and the screw is rotated forward to discharge from the nozzle ”(see summary).
유리 페이스트와 같은 페이스트 상태의 액체 재료를 노즐로부터 토출하여 소자측 기판에 도포하는 경우, 공기압으로 노즐 내를 가압하여 밀어내는 방식이 채택되는 경우가 있다. 이와 같은 액체 재료(유리 페이스트)에는, 유리 프릿 등의 미소(微小)한 고형 입자가 혼합되어 포함되는데, 이 고형 입자(유리 프릿 등)가 모여서 괴상(塊狀)이 되면, 노즐 등의 세관(細管)부를 폐색하는 경우가 있다.In the case where a liquid material in a paste state such as glass paste is discharged from the nozzle and applied to the element-side substrate, a method of pressing and pushing the inside of the nozzle by air pressure may be adopted. In such a liquid material (glass paste), fine solid particles such as glass frit are mixed and contained, and when these solid particles (glass frit and the like) are collected and become agglomerate, a fine tube such as a nozzle ( The pipe may be blocked.
따라서, 유리 페이스트는 포함되는 고형 입자(유리 프릿 등)가 확산된 상태인 것이 요구된다.Therefore, the glass paste is required to be in a state where the solid particles (glass frit and the like) contained therein are diffused.
예를 들면, 유리 페이스트를 노즐까지 안내하는 관로에서 당해 유리 페이스트를 교반함으로써, 고형 입자가 확산되는 상태를 유지할 수 있다.For example, a state in which solid particles are diffused can be maintained by stirring the glass paste in a pipe leading the glass paste to the nozzle.
예를 들면, 특허문헌 1에 기재되어 있는 바와 같이, 노즐(액재 공급구)까지 페이스트를 안내하는 관로(액재 공급 유로)에, 회전하는 스크루를 구비함으로써 관로 내에서 페이스트를 교반할 수 있다.For example, as described in Patent Literature 1, the paste can be stirred in the conduit by providing a rotating screw in a conduit (liquid supply channel) that guides the paste to the nozzle (liquid supply port).
그러나, 특허문헌 1에 기재된 구성에서는 스크루를 지지하는 구성, 스크루를 회전시키는 구성 등이 필요하게 되기 때문에, 액체 재료를 도포하는 장치의 구조가 복잡해진다는 문제가 있다.However, in the structure of patent document 1, since the structure which supports a screw, the structure which rotates a screw, etc. are needed, there exists a problem that the structure of the apparatus which apply | coats a liquid material becomes complicated.
그래서, 본 발명은, 간단한 구조에 의해, 노즐로부터 토출되기 전의 페이스트를 교반할 수 있는 페이스트 도포 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.Then, this invention makes it a subject to provide the paste application apparatus which can stir the paste before discharged from a nozzle by a simple structure.
상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명은, 기판에 도포되는 페이스트 상태의 액체 재료를 저류(貯留)하는 저류부로부터 액체 재료를 토출하는 노즐까지 액체 재료가 유통되는 관로에 당해 액체 재료를 교반하는 교반 기구가 구비되는 페이스트 도포 장치로 한다. 그리고, 당해 교반 기구는, 관로에 유동(遊動) 가능하게 편입되어 있다는 특징을 가진다.MEANS TO SOLVE THE PROBLEM In order to solve the said subject, this invention is a stirring mechanism which stirs the said liquid material in the pipeline | path through which the liquid material flows from the storage part which stores the liquid material of the paste state apply | coated to a board | substrate to the nozzle which discharges a liquid material. It is set as the paste coating apparatus provided with. And the said stirring mechanism has the characteristic that it was incorporated in a pipe line so that flow was possible.
본 발명에 의하면, 간단한 구조에 의해, 노즐로부터 토출되기 전의 페이스트를 교반할 수 있는 페이스트 도포 장치를 제공할 수 있다.According to this invention, the paste application apparatus which can stir the paste before discharged from a nozzle by a simple structure can be provided.
도 1은, 본 발명의 실시예에 관련된 페이스트 도포 장치를 나타내는 사시도이다.
도 2의 (a)는, 시린지(syringe) 헤드의 측면도, (b)는 노즐 홀더의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 3은, 교반 기구를 구성하는 요소의 일례를 나타내는 도면이다.
도 4의 (a)는, 밀봉 부재가 분리된 상태를 나타내는 아암부의 단면도, (b)는 교반 기구가 삽입되는 상태를 나타내는 아암부의 단면도, (c)는 밀봉 부재에 의해 관로의 개방단(開放端)이 폐색된 상태를 나타내는 아암부의 단면도이다.1 is a perspective view showing a paste coating device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2A is a side view of the syringe head, and FIG. 2B is a cross-sectional view showing the configuration of the nozzle holder.
3 is a diagram illustrating an example of elements constituting the stirring mechanism.
(A) is sectional drawing of the arm part which shows the state in which the sealing member was separated, (b) is sectional drawing of the arm part which shows the state in which the stirring mechanism is inserted, (c) is the open end of a pipe line by a sealing member. It is sectional drawing of the arm part which shows the state where iv) is occluded.
이하, 적절히 도면를 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는 유기 EL 패널을 발광 패널의 일례로 하고 있지만, 본 발명은 유기 EL 패널 외의 발광 패널에도 적용할 수 있다. 유기 EL 패널 외의 발광 패널로서 플라즈마 디스플레이 패널, 액정 표시 패널 등이 있다. 본 발명은, 유기 EL 패널에 한정되지 않고, 2매의 유리 기판을 유리 페이스트에 포함되는 유리 프릿의 소성(燒成)으로 고착하는 구성의 발광 패널에 널리 적용할 수 있다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, the Example of this invention is described in detail with reference to drawings suitably. In addition, in the following description, although an organic electroluminescent panel is made an example of a light emitting panel, this invention can be applied also to light emitting panels other than an organic electroluminescent panel. As light emitting panels other than the organic EL panel, there are a plasma display panel, a liquid crystal display panel, and the like. This invention is not limited to an organic electroluminescent panel, It is applicable widely to the light emitting panel of the structure which adheres two glass substrates by baking of the glass frit contained in a glass paste.
(실시예)(Example)
도 1은 본 실시예에 관련된 페이스트 도포 장치를 나타내는 사시도, 도 2의 (a)는 시린지 헤드의 측면도, (b)는 노즐 홀더의 구성을 나타내는 단면도이다. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The perspective view which shows the paste application apparatus which concerns on a present Example, (a) is a side view of a syringe head, (b) is sectional drawing which shows the structure of a nozzle holder.
도 1에 나타낸 바와 같이, 본 실시예의 페이스트 도포 장치(1)는, 발광면(10a)이 형성된 유리 기판 등의 기판(소자측 기판(10))이 탑재되는 테이블(2)을 가지고, 테이블(2)에 탑재된 소자측 기판(10)에 소정의 형상(도포 패턴)으로 유리 페이스트(액체 재료)를 도포한다.As shown in Fig. 1, the paste coating device 1 of the present embodiment has a table 2 on which a substrate (element side substrate 10), such as a glass substrate, on which a
소자측 기판(10)은, 예를 들면, 유기 EL 패널을 구성하는 요소이고, 발광면(10a)은, 도시하지 않은 유기 EL 소자를 포함한 회로가 배치되는 면이다. 이러한 유기 EL 소자를 포함한 회로는 도시하지 않은 제어부에 의해 유기 EL 소자의 발광이 제어된다.The
테이블(2)은, 페이스트 도포 장치(1)의 스테이지(1a)에 배치되고, 이동 장치(2a, 2b)에 의해, 스테이지(1a)가 되는 평면 상에서, 교차하는 2방향으로 이동 가능하게 구성된다.The table 2 is arrange | positioned at the
즉, 본 실시예의 페이스트 도포 장치(1)의 스테이지(1a)는, 소자측 기판(10)이 탑재되는 평면이 된다.That is, the
스테이지(1a)에는, 테이블(2)이 이동하는 2방향을 각각 X축, Y축으로 하는 좌표축이 설정되고, 테이블(2)은 이동 장치(2a)에 의해 X축을 따른 방향(X축 방향)으로 이동하고, 이동 장치(2b)에 의해 Y축을 따른 방향(Y축 방향)으로 이동하도록 구성된다.In the
또한, 이동 장치(2a)에 테이블(2)의 X축 방향으로의 이동 거리를 검출하는 센서(위치 검출 센서 등)가 구비되고, 이동 장치(2b)에 테이블(2)의 Y축 방향으로의 이동 거리를 검출하는 센서(위치 검출 센서 등)가 구비되는 구성이 바람직하다.In addition, the
또한, 페이스트 도포 장치(1)에는, 테이블(2)에 탑재된 소자측 기판(10)에, 상방으로부터 유리 페이스트를 도포하는 시린지 헤드(3)가 구비된다. 시린지 헤드(3)는, 스테이지(1a)의 상방에 가로로 놓여지는 갠트리(4)에 부착되고, 하방의 스테이지(1a) 상에서 2방향(X축 방향, Y축 방향)으로 이동하는 테이블(2)을 향하여 유리 페이스트를 도포하도록 구성된다.In addition, the paste application apparatus 1 is provided with the
또한, 도 1에는 1개의 시린지 헤드(3)가 구비되는 페이스트 도포 장치(1)가 도시되어 있지만, 2 이상의 시린지 헤드(3)가 구비되는 구성의 페이스트 도포 장치(1)여도 된다.In addition, although the paste application apparatus 1 with one
또한, 본 실시예에서는, 이동 장치(2a, 2b)에 의해 테이블(2)이 스테이지(1a) 상에서 이동하고, 시린지 헤드(3)가 부착되는 갠트리(4)는 스테이지(1a)에 대하여 고정된다.In addition, in this embodiment, the table 2 is moved on the
이 구성에서는, 테이블(2)이 이동 장치(2a, 2b)에 의해 이동함으로써, 테이블(2)에 탑재되는 소자측 기판(1O)과 시린지 헤드(3)를 상대적으로 이동시킬 수 있다.In this structure, by moving the table 2 by the moving
즉, 이동 장치(2a, 2b)는, 소자측 기판(10)과 시린지 헤드(3)를 상대적으로 이동시키는 기능을 가진다.That is, the
이와 같은 구성 외에, 시린지 헤드(3)나 갠트리(4)가 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동하는 구성이어도 된다. 또는, 테이블(2)이 X축 방향과 Y축 방향의 일방(一方)으로 이동하고, 시린지 헤드(3)(갠트리(4))가 X축 방향과 Y축 방향의 타방(他方)으로 이동하는 구성이어도 된다.In addition to such a structure, the structure which the syringe head 3 and the
어느 구성이더라도, 시린지 헤드(3)와 테이블(2)(소자측 기판(1O))을 상대적으로 이동시키는 것이 가능하다.In either configuration, it is possible to move the
페이스트 도포 장치(1)는, 제어 장치(5)에 의해 제어된다. 제어 장치(5)는, 이동 장치(2a, 2b)를 제어하여 테이블(2)을 적절히 이동한다. 또한, 제어 장치(5)는, 시린지 헤드(3)를 제어하여 유리 페이스트의 도포를 ON/OFF한다.The paste application device 1 is controlled by the
또한, 제어 장치(5)는, 테이블(2)의 X축 방향 및 Y축 방향의 이동 거리를 센서에 의해 취득하고, 테이블(2)을 임의의 위치로 이동하도록 이동 장치(2a, 2b)를 제어한다.Moreover, the
이와 같이 구성되는 페이스트 도포 장치(1)에서는, 테이블(2)에 탑재되는 소자측 기판(10)에 시린지 헤드(3)로 유리 페이스트를 도포한다.In the paste application apparatus 1 comprised in this way, the glass paste is apply | coated with the
페이스트 도포 장치(1)에는, 전(前) 공정에서, 발광면(10a)이 형성된 소자측 기판(10)이 반송 수단(20)에 의해 반송된다.In the pasting device 1, the
또한, 소자측 기판(10)의 형상(발광면(10a)의 형상)은 직사각형에 한정되지 않는다.In addition, the shape of the element side substrate 10 (the shape of the
예를 들면, 원형이나 타원형의 소자측 기판(10)(발광면(1Oa))이어도 되고, n각형(n은 3 이상의 자연수)의 소자측 기판(10)이어도 된다.For example, the element side substrate 10 (
또한, 반송 수단(20)은, 예를 들면, 도 1에 나타낸 바와 같이 반송 컨베이어 로 하면 되지만, 반송 로봇 등이어도 되고, 반송 수단(20)의 구성은 한정되지 않는다.In addition, although the conveying means 20 should just be a conveying conveyor as shown in FIG. 1, you may be a conveying robot etc., and the structure of the
도 1에 나타낸 바와 같이, 반송 수단(20)에 의해 페이스트 도포 장치(1)에 반송된 소자측 기판(10)은 테이블(2)에 탑재되어 적절히 고정된다. 테이블(2)에 소자측 기판(10)을 고정하는 구성은 한정되는 것이 아니다. 예를 들면, 테이블(2) 측으로부터 소자측 기판(10)을 흡인하여 고정하는 구성으로 하면 된다.As shown in FIG. 1, the element side board |
제어 장치(5)는 테이블(2)에 소자측 기판(10)이 탑재(고정)되면, 이동 장치(2a, 2b)를 제어하여 테이블(2)을 이동하고, 소자측 기판(10)을 소정의 도포 개시 위치로 이동한다. 도포 개시 위치는, 시린지 헤드(3)에 의한 유리 페이스트의 도포를 개시하는 소정의 위치이며, 적절히 설정되어 있는 것이 바람직하다. 그리고, 제어 장치(5)는, 시린지 헤드(3)로부터 유리 페이스트를 도포하면서 테이블(2)을 이동하여, 소정의 도포 패턴을 그리도록, 소자측 기판(10)에 유리 페이스트를 도포한다.When the
또한, 페이스트 도포 장치(1)에는, 테이블(2)에 탑재된 소자측 기판(10)을 소정의 기준 위치로 이동시키기 위한 위치 결정 수단이 구비되는 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable that the paste application apparatus 1 is equipped with the positioning means for moving the element side board |
위치 결정 수단의 구성은 한정되는 것이 아니다. 예를 들면, 소자측 기판(10)에 미리 마킹된 기준점 G1, G2를 화상 인식용 카메라 등으로 판독하고, 판독한 기준점 G1, G2가 소정의 위치가 되도록 제어 장치(5)가 테이블(2)을 이동하는 구성으로 하면 된다. 이와 같이, 마킹된 기준점 G1, G2가 소정의 위치가 되는 소자측 기판(10)의 위치가 소자측 기판(10)의 기준 위치가 된다.The configuration of the positioning means is not limited. For example, the reference point G1 and G2 previously marked on the element side board |
또한, 예를 들면, 소자측 기판(10)에 2개 이상의 기준점 G1, G2가 마킹되고, 테이블(2)이 스테이지(1a)에 평행한 면 내에서 회전 가능한 구성으로 하면, 제어 장치(5)는, 모든 기준점 G1, G2가 소정의 위치가 되도록 테이블(2)을 회전시킬 수 있다. 이것에 의해, 직사각형으로 형성되는 발광면(1Oa)의 1변을 스테이지(1a)에 설정되는 좌표축(X축, Y축)과 평행하게 할 수 있다.For example, when two or more reference points G1 and G2 are marked on the
그리고, 제어 장치(5)는, 테이블(2)을 X축 방향 및 Y축 방향으로 적절히 이동하여, 발광면(1Oa)의 주위에 유리 페이스트를 도포할 수 있다.And the
또한, 시린지 헤드(3)가 상하 이동 가능하게 갠트리(4)에 부착되고, 또한, 시린지 헤드(3)에 소자측 기판(10)과 노즐(31a)(도 2의 (b) 참조)과의 거리를 계측하는 센서(레이저광을 사용하는 광학식 변위계 등)가 설치되는 구성으로 해도 된다.In addition, the
이와 같은 구성이면, 제어 장치(5)는, 유리 페이스트를 도포할 때에, 노즐(31a)과 소자측 기판(10)의 거리를 계측할 수 있다. 그리고, 제어 장치(5)는, 시린지 헤드(3)를 상하 이동시킴으로써, 노즐(31a)과 소자측 기판(10)을 알맞은 거리로 유지할 수 있다.If it is such a structure, the
도 2의 (a)는 시린지 헤드의 측면도, (b)는 노즐 홀더의 구성을 나타내는 단면도이다.(A) is a side view of a syringe head, (b) is sectional drawing which shows the structure of a nozzle holder.
도 2의 (a)에 나타낸 바와 같이, 본 실시예의 시린지 헤드(3)는, 공동(空洞)의 원통으로 이루어져 유리 페이스트를 저류하는 저류부(페이스트 저류부(30))와, 페이스트 저류부(30)의 일단(一端)에 부착되는 노즐 홀더(31)를 포함하여 구성된다. 또한, 페이스트 저류부(30)에는, 노즐 홀더(31)가 부착되는 일단과 마주보는 타단(他端)에 공기 가압부(32)가 구비된다.As shown in Fig. 2A, the
페이스트 저류부(30)에는 소자측 기판(10)(도 1 참조)에 도포되는 유리 페이스트가 저류되고, 공기 가압부(32)에 의해 페이스트 저류부(30)의 내부가 가압되었을 때, 유리 페이스트는 페이스트 저류부(30)로부터 노즐 홀더(31)에 밀어내어져, 노즐 홀더(31)에 구비되는 노즐(31a)로부터 토출된다.When the glass paste applied to the element side substrate 10 (refer FIG. 1) is stored in the
공기 가압부(32)는, 예를 들면, 도시하지 않은 공기 압축기(컴프레서)로 압축된 압축 공기(또는 질소 가스 등)를 페이스트 저류부(30)의 내부로 보내는 구성으로 하면 된다.The
시린지 헤드(3)는, 페이스트 저류부(30)의 축방향이 상하 방향으로 되어 노즐 홀더(31)가 하방(下方)이 되도록 갠트리(4)(도 1 참조)에 부착된다. 그리고, 공기 가압부(32)로부터 보내지는 압축 공기에 의해 페이스트 저류부(30)로부터 밀어내어져, 노즐(31a)로부터 토출되는 유리 페이스트가, 하방의 스테이지(1a)(도 1 참조) 상에서 이동하는 소자측 기판(10)(도 1 참조)에 도포되도록 구성된다. The
도 2의 (b)에 나타낸 바와 같이, 노즐 홀더(31)는, 페이스트 저류부(30)의 일단에 연결되는 동체부(胴體部)(311)와, 페이스트 저류부(30)의 축방향과 수직인 방향으로 동체부(311)로부터 연장되는 아암부(312)를 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 2B, the
그리고, 시린지 헤드(3)는, 아암부(312)가 스테이지(1a)(도 1 참조)를 형성하는 평면과 평행이 되도록 갠트리(4)(도 1 참조)에 부착된다.And the
또한, 동체부(311)의 내부에는 유리 페이스트가 유통되는 관로(311a)가 형성되고, 아암부(312)의 내부에는 유리 페이스트가 유통되는 관로(312a)가 형성된다. 그리고, 동체부(311)의 관로(311a)와 아암부(312)의 관로(312a)는 코너부(313a)를 통하여 연통한다.In addition, a
아암부(312)의 관로(312a)는, 아암부(312)의 축방향으로 연장되는 관로이고, 아암부(312)의 선단부(312b)(동체부(311) 측과 마주보는 측의 단부)를 관통하도록 구성된다. 즉, 선단부(312b)에는 관로(312a)의 개방단(312c)이 형성된다. 그리고, 관로(312a)의 선단부(312b)에는, 관로(312a)의 개방단(312c)을 폐색하는 밀봉 부재(31c)가 끼워 넣어진다.The
밀봉 부재(31c)는, 예를 들면, 관로(312a)의 선단부(312b)측(관로(312a)의 개방단(312c))에 형성되는 암나사에 나사 결합하는 나사 부재이며, 착탈 가능하게 구성되는 것이 바람직하다.The sealing
또한, 밀봉 부재(31c)와 아암부(312)의 선단부(312b) 사이에 도시하지 않은 시일 부재가 배치되어, 밀봉 부재(31c)와 선단부(312b)의 사이가 밀봉되는 구성이 바람직하다.Moreover, the structure which the sealing member which is not shown in figure is arrange | positioned between the sealing
또한, 아암부(312)에는 노즐(31a)이 부착된다. 노즐(31a)은, 도 1에 나타낸 갠트리(4)에 시린지 헤드(3)가 부착되었을 때에 하방을 향하여 유리 페이스트를 토출하는 방향에 부착된다.In addition, a
예를 들면, 페이스트 저류부(30)의 축방향이 상하 방향이 되도록 시린지 헤드(3)가 부착되는 경우, 노즐(31a)은 축방향이 페이스트 저류부(30)의 축방향과 평행이 되어 하방이 개구하도록 부착된다. 그리고, 노즐(31a)과 아암부(312)의 관로(312a)는 연통한다.For example, when the
시린지 헤드(3)가 도 2의 (a), (b)에 나타낸 바와 같이 구성되면, 공기 가압부(32)로부터 압축 공기가 보내져 페이스트 저류부(30)의 내부가 가압되었을 때, 유리 페이스트는 페이스트 저류부(30)로부터 노즐 홀더(31)에 밀어내어져, 동체부(311)의 관로(311a)를 유통한다. 또한, 유리 페이스트는, 코너부(313a)를 경유하여 아암부(312)의 관로(312a)를 유통하여, 노즐(31a)로부터 토출된다.When the
또한, 본 실시예의 페이스트 도포 장치(1)(도 1 참조)에는, 노즐 홀더(31)의 아암부(312)의 관로(312a)에 교반 기구(33)가 편입된다.In addition, in the paste application device 1 (refer FIG. 1) of this embodiment, the stirring
교반 기구(33)는, 예를 들면, 관로(312a)를 따라 흐르는 유리 페이스트를, 관로(312a)의 내벽(312a1)의 둘레 방향을 따라 선회시키는 기능을 가지는 날개 형상 부재인 것이 바람직하다.It is preferable that the
도 3은 교반 기구를 구성하는 요소의 일례를 나타내는 도면이다.It is a figure which shows an example of the element which comprises a stirring mechanism.
교반 기구(33)는, 예를 들면, 도 3에 나타낸 바와 같이, 관로(312a)에서의 유리 페이스트(Gp)의 흐름의 상류에서 보아, 관로(312a)의 내벽(312a1)을 따른 우측 방향의 선회력을 유리 페이스트(Gp)에 부여하는 우측 엘리먼트(33a)와, 관로(312a)의 내벽(312a1)을 따른 좌측 방향의 선회력을 유리 페이스트(Gp)에 부여하는 좌측 엘리먼트(33b)가 각각 복수, 직렬로 배치된 형상의 스태틱 믹서인 것이 바람직하다.For example, as shown in FIG. 3, the stirring
도 3에 나타낸 바와 같이, 교반 기구(33)(스태틱 믹서)가 축방향으로 편입된 관로(312a)를 유통하는 유리 페이스트(Gp)는, 교반 기구(33)에 의해 관로(312a)의 내벽(312a1)의 둘레 방향을 따라 선회하여 교반된다. 따라서, 유리 페이스트(Gp)에 포함되는 유리 프릿 등의 고형 입자는 확산된 상태가 유지되어 괴상이 되는 것이 억제된다.As shown in FIG. 3, the glass paste Gp which distribute | circulates the
또한, 도 3에 나타낸 우측 엘리먼트(33a)와 좌측 엘리먼트(33b)의 형상은, 교반 기구(33)의 기능을 설명하기 위하여 예시한 것이지, 교반 기구(33)(스태틱 믹서)의 형상을 한정하는 것이 아니다.In addition, the shape of the
도 4의 (a)∼(c)는, 교반 기구가 아암부의 관로에 편입되는 단계를 나타내는 도면이다.(A)-(c) is a figure which shows the step of incorporating a stirring mechanism into the pipeline of an arm part.
도 4의 (a)에 나타낸 바와 같이, 아암부(312)의 관로(312a)는 선단부(312b)를 관통하고, 선단부(312b)에 관로(312a)의 개방단(312c)이 형성되어 있다. 따라서, 밀봉 부재(31c)가 분리되면 관로(312a)는 선단부(312b) 측이 개방된다.As shown in Fig. 4A, the
또한, 밀봉 부재(31c)를 나사 부재로 함으로써, 아암부(312)로부터 용이하게 분리 가능하게 구성할 수 있다.Moreover, by using the sealing
그리고, 예를 들면, 도 4의 (b)에 나타낸 바와 같이, 교반 기구(33)는, 관로(312a)가 개구되어 있는 개방단(312c)으로부터, 관로(312a)의 내측에 용이하게 진입 가능하다. 즉, 교반 기구(33)를 편입하는 작업자는, 선단부(312b)의 개방단(312c)으로부터 관로(312a)에 교반 기구(33)를 용이하게 삽입할 수 있다.For example, as shown in FIG.4 (b), the stirring
그 후, 도 4의 (c)에 나타낸 바와 같이, 밀봉 부재(31c)가 아암부(312)의 선단부(312b)에 부착되면 관로(312a)의 개방단(312c)은 폐색되고, 교반 기구(33)는 관로(312a)에 넣고 봉해져 관로(312a)에 편입된다.Then, as shown in FIG.4 (c), when the sealing
또한, 교반 기구(33)는, 관로(312a)의 개방단(312c)으로부터 삽입된 상태에 있어, 관로(312a)의 내벽(312a1)이나 그 밖의 기구, 구조물에 의해 구속받지 않는 상태로 편입된다. 이것에 의해, 교반 기구(33)는, 관로(312a) 내를 자유롭게 이동 가능(유동 가능)하게 편입된다.Moreover, the stirring
바꿔 말하면, 관로(312a)의 구성을, 교반 기구(33)를 지지하기 위한 기구나 구조물을 필요로 하지 않는 간소한 구성으로 할 수 있다.In other words, the structure of the
또한, 도 2의 (b)에 나타낸 바와 같이, 관로(312a)의 동체부(311) 측에는 코너부(313a)가 형성되어 페이스트 저류부(30) 측에 만곡되어 있다. 따라서, 아암부(312)의 관로(312a) 내의 교반 기구(33)는, 코너부(313a)의 위치까지밖에 이동할 수 없어, 아암부(312)의 관로(312a)로부터 다른 곳으로 이동하는 경우는 없다.In addition, as shown in Fig. 2B, a
이와 같이, 교반 기구(33)는, 매우 용이한 작업으로 아암부(312)의 관로(312a)에 편입된다.In this way, the stirring
또한, 본 실시예의 페이스트 도포 장치(1)(도 1 참조)는, 페이스트 저류부(30)(도 2의 (a) 참조)에 구비되는 공기 가압부(32)(도 2의 (a) 참조)가 페이스트 저류부(30)를 가압하여 유리 페이스트(Gp)(도 3 참조)를 밀어내어, 아암부(312)의 노즐(31a)(도 2의 (b) 참조)로부터 토출되는 구성이다.In addition, the paste coating apparatus 1 (refer FIG. 1) of this embodiment is the air press part 32 (refer FIG. 2 (a)) provided in the paste storage part 30 (refer FIG. 2 (a)). ) Pressurizes the
공기 가압부(32)가 페이스트 저류부(30)를 가압하면 아암부(312)의 관로(312a)(도 2의 (b) 참조)는 코너부(313a) 측으로부터 가압되어, 교반 기구(33)(도 2의 (b) 참조)는 밀봉 부재(31c)(도 2의 (b) 참조) 측으로 밀어붙여진다. 이와 같이, 교반 기구(33)는 밀봉 부재(31c)에 밀어붙여짐으로써 회전이 억제되기 때문에, 관로(312a)를 유리 페이스트(Gp)가 유통할 때의 교반 기구(33)의 회전이 억제되어, 교반 기구(33)는 효과적으로 유리 페이스트(Gp)를 교반할 수 있다.When the
이상과 같이, 본 실시예의 페이스트 도포 장치(1)(도 1 참조)는, 소자측 기판(10)(도 1 참조)에 도포하는 유리 페이스트(Gp)(도 3 참조)가 유통되는 관로(312a)(도 2의 (b) 참조)에 스태틱 믹서 등의 교반 기구(33)(도 2의 (b) 참조)가 편입되어 있다. 그리고, 유리 페이스트(Gp)를 교반하면서 노즐(31a)(도 2의 (b) 참조)까지 유통시키고, 노즐(31a)로부터 토출시켜 소자측 기판(10)에 도포할 수 있다. 따라서, 유리 페이스트(Gp)에 포함되는 유리 프릿 등의 고형 입자가 확산된 상태를 유지할 수 있어, 유리 프릿 등의 고형 입자에 의해 노즐(31a) 등의 세관부가 막히는 것을 억제할 수 있다.As described above, the paste coating device 1 (see FIG. 1) of the present embodiment is a
또한, 교반 기구(33)를 스태틱 믹서로 함으로써, 교반 기구(33)를 구동하는 압축 공기 이외의 동력원도 불필요하여, 매우 간소한 구조로 유리 페이스트(Gp)를 교반할 수 있다.Moreover, by using the
또한, 작업자들이 교반 기구(33)를 아암부(312)의 관로(312a)(도 2의 (b) 참조)에 편입하는 작업도 매우 용이하여, 페이스트 도포 장치(1)를 관리하는 작업자들이 용이하게 교반 기구(33)를 편입할 수 있다.In addition, it is also very easy for workers to incorporate the
또한, 본 실시예의 교반 기구(33)(도 2의 (b) 참조, 스태틱 믹서 등)는, 페이스트 도포 장치(1)의 스테이지(1a)(도 1 참조)와 평행하게 연장되는 아암부(312)의 관로(312a)(도 2의 (b) 참조)에 편입된다.In addition, the stirring mechanism 33 (refer FIG.2 (b), a static mixer etc.) of this embodiment is the
그리고, 스테이지(1a)가 대략 수평이 되도록 페이스트 도포 장치(1)가 설치되는 경우, 아암부(312)는 대략 수평 방향으로 연장되고, 관로(312a) 내를 유통하는 유리 페이스트(Gp)(도 3 참조)는 대략 수평 방향으로 유통된다.And when the paste application apparatus 1 is provided so that the
따라서, 아암부(312)의 관로(312a)에 편입된 교반 기구(33)에 의해 관로(312a)의 내벽(312a1)(도 3 참조)의 둘레 방향을 따라 선회하는 유리 페이스트(Gp)는 상하 방향으로 교반되게 된다. 이것에 의해, 밀도의 차이에 의한 침전 등으로 유리 프릿이 괴상이 되기 쉬운 유리 페이스트(Gp)를 알맞게 교반할 수 있어, 유리 프릿이 확산된 상태를 알맞게 유지할 수 있다.Therefore, the glass paste Gp which rotates along the circumferential direction of the inner wall 312a1 (refer FIG. 3) of the
또한, 본 발명은 상기한 실시예나 변형례에 한정되는 것이 아니다. 예를 들면, 상기한 실시예는 본 발명을 이해하기 쉽게 설명하기 위하여 상세하게 설명한 것이고, 반드시 설명한 모든 구성을 구비하는 것에 한정되는 것이 아니다.In addition, this invention is not limited to an Example and a modification which were mentioned above. For example, the above-described embodiments are described in detail for easy understanding of the present invention, and are not necessarily limited to those having all the configurations described.
또한, 어떤 실시예의 구성의 일부를 다른 실시예의 구성으로 치환하는 것도 가능하고, 또한, 어떤 실시예의 구성에 다른 실시예의 구성을 더하는 것도 가능하다.It is also possible to replace part of the configuration of one embodiment with the configuration of another embodiment, and it is also possible to add the configuration of another embodiment to the configuration of an embodiment.
예를 들면, 교반 기구(33)(도 2의 (b) 참조)는 스태틱 믹서에 한정되지 않는다. 예를 들면, 가늘고 긴 평판이 1방향으로 꼬여서 형성되는 부재여도 된다. 이 경우, 아암부(312)의 관로(312a)(도 2의 (b) 참조)를 유통하는 유리 페이스트(Gp)(도 3 참조)는 1방향으로 선회하면서 유통된다. 상류에서 보아 좌우 양쪽으로 선회하는 경우에 비하여, 유리 페이스트(Gp)에 포함되는 고형 입자가 확산되는 효과는 작지만, 고형 입자를 확산시키는 효과를 얻을 수 있다. 또한, 스태틱 믹서에 비하여 저렴한 부재를 교반 기구(33)로 할 수 있다.For example, the stirring mechanism 33 (refer FIG.2 (b)) is not limited to a static mixer. For example, a member in which an elongated flat plate is twisted in one direction may be formed. In this case, the glass paste Gp (refer FIG. 3) which distribute | circulates the
또는, 아암부(312)의 관로(312a)(도 2의 (b) 참조)를 유통하는 유리 페이스트(Gp)(도 3 참조)를, 내벽(312a1)(도 2의 (b) 참조)의 둘레 방향을 따라 선회시키는 기능을 가지는 복수의 날개 형상 부재가 관로(312a)에 삽입된 구성의 교반 기구(33)(도 2의 (b) 참조)여도 된다.Or the glass paste Gp (refer FIG. 3) which distribute | circulates the
1 : 페이스트 도포 장치
1a : 스테이지(기판이 탑재되는 평면)
2 : 테이블
3 : 시린지 헤드
10 : 소자측 기판(기판)
30 : 페이스트 저류부(저류부)
31a : 노즐
31c : 밀봉 부재
33 : 교반 기구(스태틱 믹서)
312 : 아암부
312a : 관로
312a1 : 내벽
312c : 개방단
Gp : 유리 페이스트(액체 재료)1: paste applicator
1a: Stage (plane on which board is mounted)
2: table
3: syringe head
10: element side substrate (substrate)
30: paste storage part (storage part)
31a: nozzle
31c: sealing member
33: stirring mechanism (static mixer)
312 arm part
312a: pipeline
312a1: inner wall
312c: open end
Gp: glass paste (liquid material)
Claims (5)
상기 액체 재료를 상기 기판을 향하여 토출하는 노즐과,
상기 저류부로부터 상기 노즐까지 상기 액체 재료가 유통되는 관로와,
상기 관로에 편입되어 당해 관로를 유통하는 상기 액체 재료를 교반하는 교반 기구를 가지고,
상기 교반 기구는, 상기 관로에 유동(遊動) 가능하게 편입되어 있는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 장치.A storage portion for storing a liquid material in a paste state applied to the substrate;
A nozzle for discharging the liquid material toward the substrate;
A pipeline through which the liquid material flows from the reservoir to the nozzle;
A stirring mechanism for agitating the liquid material incorporated in the pipeline and circulating the pipeline,
The stirring mechanism is incorporated into the pipe so as to flow.
상기 교반 기구는 상기 관로의 개방단으로부터 당해 관로에 삽입된 상태로 구비되고,
상기 개방단은, 착탈 가능한 밀봉 부재로 폐색되어 있는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 장치.The method of claim 1,
The stirring mechanism is provided in a state inserted into the pipeline from the open end of the pipeline,
The said open end is closed by the removable sealing member, The paste coating apparatus characterized by the above-mentioned.
상기 관로는, 상기 기판이 탑재되는 평면과 대략 평행하게 상기 액체 재료를 유통시키도록 구성되고,
상기 교반 기구는, 상기 관로의 내벽의 둘레 방향을 따라 상기 액체 재료를 선회시키는 기능을 가지는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 장치.The method of claim 1,
The conduit is configured to circulate the liquid material substantially parallel to a plane on which the substrate is mounted;
And said stirring mechanism has a function of pivoting said liquid material along the circumferential direction of the inner wall of said conduit.
상기 교반 기구가 스태틱 믹서인 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 장치.The method of claim 1,
Paste application apparatus, characterized in that the stirring mechanism is a static mixer.
상기 교반 기구가 스태틱 믹서인 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 장치.The method of claim 3, wherein
Paste application apparatus, characterized in that the stirring mechanism is a static mixer.
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