KR101515125B1

KR101515125B1 - Apparatus for spreading paste

Info

Publication number: KR101515125B1
Application number: KR1020130079564A
Authority: KR
Inventors: 마사타카 와타나베; 시게오 와타나베; 요시노리 도쿠야스; 아키노리 고와
Original assignee: 가부시키가이샤 히타치세이사쿠쇼
Priority date: 2012-07-10
Filing date: 2013-07-08
Publication date: 2015-04-24
Also published as: TW201420207A; CN103537404B; JP2014014790A; KR20140007755A; CN103537404A

Abstract

소자측 기판에 도포되는 유리 페이스트를 저류하는 페이스트 저류부(30)와, 유리 페이스트를 소자측 기판을 향하여 토출하는 노즐(31a)과, 페이스트 저류부(30)로부터 노즐(31a)까지 유리 페이스트가 유통되는 관로(312a)와, 관로(312a)에 편입되어, 당해 관로(312a)를 유통하는 유리 페이스트를 교반하는 교반 기구(33)를 가지고, 교반 기구(33)는, 관로(312a)에 유동 가능하게 편입되어 있는 것을 특징으로 하는 페이스트 도포 장치로 한다.A paste storage portion 30 for storing a glass paste to be applied to the element side substrate, a nozzle 31a for discharging the glass paste toward the element side substrate, and a glass paste for supplying the glass paste from the paste storage portion 30 to the nozzle 31a And a stirring mechanism 33 which stirs the glass paste which is introduced into the conduit 312a and circulates the glass paste flowing through the conduit 312a. The stirring mechanism 33 is provided with a flow channel 312a, And the paste is applied to the paste.

Description

[0001] APPARATUS FOR SPRAYING PASTE [0002]

본 발명은, 페이스트 도포 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a paste applying apparatus.

예를 들면, 유기 EL(Electro-Luminescence) 소자를 발광시켜 영상 등을 표시하는 유기 EL 패널 등의 발광 패널의 제조 공정에는, 유기 EL 소자 등의 발광 소자가 구비된 유리 기판(소자측 기판)에, 밀봉용 유리 기판(밀봉 기판)을 맞붙이는 공정이 포함된다. 이 공정에서는, 디스펜서 등의 페이스트 도포 장치에 의하여, 밀봉 기판을 고착(固着)하기 위한 유리 프릿이 포함되는 페이스트(유리 페이스트)가 소자측 기판에 도포된다.For example, in a manufacturing process of a luminescent panel such as an organic EL panel for displaying an image or the like by emitting an organic EL (Electro-Luminescence) element, a glass substrate (element side substrate) provided with a light emitting element such as an organic EL element , And a sealing glass substrate (sealing substrate). In this step, a paste (glass paste) containing glass frit for fixing the sealing substrate is applied to the element side substrate by a paste applying device such as a dispenser.

이 기술분야의 배경기술로서, 예를 들면, 특허문헌 1에는 「막대 형상체의 표면에 축방향으로 나선 형상의 플랜지를 구비하는 스크루와, 스크루를 회전시키는 회전 구동 기구와, 스크루가 삽설(揷設)되는 스크루 삽설 구멍, 스크루 삽설 구멍의 측면에 설치된 액재(液材) 공급구 및 액재 공급구와 연통(連通)하는 액재 공급 유로를 가지는 본체부와, 스크루 삽설 구멍에 배치되어, 스크루가 삽통(揷通)되는 시일 부재와, 본체부에 장착되어, 스크루 삽설 구멍과 연통하는 노즐을 설치하고, 스크루 삽설 구멍의 액재 공급구보다 상방(上方)에 방액(防液) 공간을 구성하여, 시일 부재가 젖지 않도록 액체 재료를 공급함과 함께 스크루를 정회전시켜 노즐로부터 토출하는 것을 특징으로 한다」라고 기재되어 있다(요약 참조).As a background art in this technical field, for example, Patent Document 1 discloses " a screw having a flange having a helical shape in the axial direction on the surface of a rod-like body, a rotation drive mechanism for rotating the screw, A main body portion having a screw insertion hole provided in the screw insertion hole and a liquid material supply port provided in the side of the screw insertion hole and a liquid material supply passage communicating with the liquid material supply port, And a nozzle communicating with the screw inserting hole is provided to constitute a liquid space above the liquid material supply port of the screw inserting hole so that the sealing member Characterized in that the liquid material is supplied so as not to be wetted and the screw is rotated in the normal direction to discharge the liquid material from the nozzle "(see the summary).

국제공개특허 WO 2008/126414호 공보International Publication No. WO 2008/126414

유리 페이스트와 같은 페이스트 상태의 액체 재료를 노즐로부터 토출하여 소자측 기판에 도포하는 경우, 공기압으로 노즐 내를 가압하여 밀어내는 방식이 채택되는 경우가 있다. 이와 같은 액체 재료(유리 페이스트)에는, 유리 프릿 등의 미소(微小)한 고형 입자가 혼합되어 포함되는데, 이 고형 입자(유리 프릿 등)가 모여서 괴상(塊狀)이 되면, 노즐 등의 세관(細管)부를 폐색하는 경우가 있다.When a pasty liquid material such as a glass paste is discharged from a nozzle and applied to an element-side substrate, a method of pushing and pushing the inside of the nozzle by air pressure may be adopted. Such a liquid material (glass paste) contains a mixture of fine solid particles such as glass frit. When these solid particles (glass frit, etc.) gather to form a lump, Tube) may be occluded.

따라서, 유리 페이스트는 포함되는 고형 입자(유리 프릿 등)가 확산된 상태인 것이 요구된다.Therefore, the glass paste is required to be in a state in which the solid particles (glass frit or the like) included therein are diffused.

예를 들면, 유리 페이스트를 노즐까지 안내하는 관로에서 당해 유리 페이스트를 교반함으로써, 고형 입자가 확산되는 상태를 유지할 수 있다.For example, by stirring the glass paste in a conduit for guiding the glass paste to the nozzle, it is possible to maintain the state where the solid particles are diffused.

예를 들면, 특허문헌 1에 기재되어 있는 바와 같이, 노즐(액재 공급구)까지 페이스트를 안내하는 관로(액재 공급 유로)에, 회전하는 스크루를 구비함으로써 관로 내에서 페이스트를 교반할 수 있다.For example, as described in Patent Document 1, the paste can be agitated in the pipeline by providing a rotating screw in a pipeline (liquid supply channel) for guiding the paste to the nozzle (liquid supply port).

그러나, 특허문헌 1에 기재된 구성에서는 스크루를 지지하는 구성, 스크루를 회전시키는 구성 등이 필요하게 되기 때문에, 액체 재료를 도포하는 장치의 구조가 복잡해진다는 문제가 있다.However, in the structure described in Patent Document 1, there is a problem that the structure for supporting the screw, the structure for rotating the screw, and the like are required, which complicates the structure of the apparatus for applying the liquid material.

그래서, 본 발명은, 간단한 구조에 의해, 노즐로부터 토출되기 전의 페이스트를 교반할 수 있는 페이스트 도포 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is therefore an object of the present invention to provide a paste applying device capable of stirring a paste before being discharged from a nozzle by a simple structure.

상기 과제를 해결하기 위하여 본 발명은, 기판에 도포되는 페이스트 상태의 액체 재료를 저류(貯留)하는 저류부로부터 액체 재료를 토출하는 노즐까지 액체 재료가 유통되는 관로에 당해 액체 재료를 교반하는 교반 기구가 구비되는 페이스트 도포 장치로 한다. 그리고, 당해 교반 기구는, 관로에 유동(遊動) 가능하게 편입되어 있다는 특징을 가진다.According to an aspect of the present invention, there is provided a liquid container comprising: a stirring device for stirring a liquid material to a pipe through which a liquid material flows from a storage part for storing paste liquid material to be coated on a substrate to a nozzle for discharging the liquid material; And a paste applying device. Further, the stirring mechanism is characterized in that it is incorporated in a channel so as to be free to move.

본 발명에 의하면, 간단한 구조에 의해, 노즐로부터 토출되기 전의 페이스트를 교반할 수 있는 페이스트 도포 장치를 제공할 수 있다.According to the present invention, it is possible to provide a paste applying device capable of stirring a paste before being discharged from a nozzle by a simple structure.

도 1은, 본 발명의 실시예에 관련된 페이스트 도포 장치를 나타내는 사시도이다.
도 2의 (a)는, 시린지(syringe) 헤드의 측면도, (b)는 노즐 홀더의 구성을 나타내는 단면도이다.
도 3은, 교반 기구를 구성하는 요소의 일례를 나타내는 도면이다.
도 4의 (a)는, 밀봉 부재가 분리된 상태를 나타내는 아암부의 단면도, (b)는 교반 기구가 삽입되는 상태를 나타내는 아암부의 단면도, (c)는 밀봉 부재에 의해 관로의 개방단(開放端)이 폐색된 상태를 나타내는 아암부의 단면도이다.1 is a perspective view showing a paste applying apparatus according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 (a) is a side view of a syringe head, and Fig. 2 (b) is a sectional view showing the structure of a nozzle holder.
Fig. 3 is a view showing an example of elements constituting a stirring mechanism. Fig.
Fig. 4A is a cross-sectional view of the arm portion showing a state in which the sealing member is separated, Fig. 4B is a cross-sectional view of the arm portion showing a state in which the stirring mechanism is inserted, End of the arm portion is closed.

이하, 적절히 도면를 참조하여 본 발명의 실시예를 상세하게 설명한다. 또한, 이하의 설명에서는 유기 EL 패널을 발광 패널의 일례로 하고 있지만, 본 발명은 유기 EL 패널 외의 발광 패널에도 적용할 수 있다. 유기 EL 패널 외의 발광 패널로서 플라즈마 디스플레이 패널, 액정 표시 패널 등이 있다. 본 발명은, 유기 EL 패널에 한정되지 않고, 2매의 유리 기판을 유리 페이스트에 포함되는 유리 프릿의 소성(燒成)으로 고착하는 구성의 발광 패널에 널리 적용할 수 있다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as appropriate. In the following description, the organic EL panel is an example of a luminescent panel, but the present invention can be applied to a luminescent panel other than the organic EL panel. As a luminescent panel other than the organic EL panel, there are a plasma display panel and a liquid crystal display panel. The present invention is not limited to an organic EL panel, and can be widely applied to a luminescent panel having two glass substrates bonded together by firing a glass frit contained in a glass paste.

(실시예)(Example)

도 1은 본 실시예에 관련된 페이스트 도포 장치를 나타내는 사시도, 도 2의 (a)는 시린지 헤드의 측면도, (b)는 노즐 홀더의 구성을 나타내는 단면도이다. Fig. 1 is a perspective view showing a paste applying apparatus according to the present embodiment, Fig. 2 (a) is a side view of a syringe head, and Fig. 2 (b) is a sectional view showing the configuration of a nozzle holder.

도 1에 나타낸 바와 같이, 본 실시예의 페이스트 도포 장치(1)는, 발광면(10a)이 형성된 유리 기판 등의 기판(소자측 기판(10))이 탑재되는 테이블(2)을 가지고, 테이블(2)에 탑재된 소자측 기판(10)에 소정의 형상(도포 패턴)으로 유리 페이스트(액체 재료)를 도포한다.1, the paste applying device 1 of the present embodiment has a table 2 on which a substrate such as a glass substrate on which a light emitting surface 10a is formed (element side substrate 10) Glass paste (liquid material) is applied to the element-side substrate 10 mounted on the substrate 2 in a predetermined shape (coating pattern).

소자측 기판(10)은, 예를 들면, 유기 EL 패널을 구성하는 요소이고, 발광면(10a)은, 도시하지 않은 유기 EL 소자를 포함한 회로가 배치되는 면이다. 이러한 유기 EL 소자를 포함한 회로는 도시하지 않은 제어부에 의해 유기 EL 소자의 발광이 제어된다.The element-side substrate 10 is, for example, an element constituting an organic EL panel, and the light-emitting surface 10a is a surface on which a circuit including an organic EL element (not shown) is disposed. In a circuit including such an organic EL element, the emission of the organic EL element is controlled by a control unit (not shown).

테이블(2)은, 페이스트 도포 장치(1)의 스테이지(1a)에 배치되고, 이동 장치(2a, 2b)에 의해, 스테이지(1a)가 되는 평면 상에서, 교차하는 2방향으로 이동 가능하게 구성된다.The table 2 is arranged on the stage 1a of the paste application device 1 and is movable by the moving devices 2a and 2b in two directions intersecting each other on a plane that becomes the stage 1a .

즉, 본 실시예의 페이스트 도포 장치(1)의 스테이지(1a)는, 소자측 기판(10)이 탑재되는 평면이 된다.That is, the stage 1a of the paste coating apparatus 1 of the present embodiment is a plane on which the element-side substrate 10 is mounted.

스테이지(1a)에는, 테이블(2)이 이동하는 2방향을 각각 X축, Y축으로 하는 좌표축이 설정되고, 테이블(2)은 이동 장치(2a)에 의해 X축을 따른 방향(X축 방향)으로 이동하고, 이동 장치(2b)에 의해 Y축을 따른 방향(Y축 방향)으로 이동하도록 구성된다.The table 2 is moved in the X-axis direction (X-axis direction) by the moving device 2a, and the table 2 is moved to the X- , And is configured to move in the direction along the Y axis (Y axis direction) by the mobile device 2b.

또한, 이동 장치(2a)에 테이블(2)의 X축 방향으로의 이동 거리를 검출하는 센서(위치 검출 센서 등)가 구비되고, 이동 장치(2b)에 테이블(2)의 Y축 방향으로의 이동 거리를 검출하는 센서(위치 검출 센서 등)가 구비되는 구성이 바람직하다.The moving device 2a is provided with a sensor (position detection sensor or the like) for detecting the moving distance of the table 2 in the X-axis direction and is provided with the moving device 2b in the Y- And a sensor (position detection sensor or the like) for detecting the movement distance is preferably provided.

또한, 페이스트 도포 장치(1)에는, 테이블(2)에 탑재된 소자측 기판(10)에, 상방으로부터 유리 페이스트를 도포하는 시린지 헤드(3)가 구비된다. 시린지 헤드(3)는, 스테이지(1a)의 상방에 가로로 놓여지는 갠트리(4)에 부착되고, 하방의 스테이지(1a) 상에서 2방향(X축 방향, Y축 방향)으로 이동하는 테이블(2)을 향하여 유리 페이스트를 도포하도록 구성된다.The paste applying apparatus 1 is also provided with a syringe head 3 for applying glass paste from above to the element side substrate 10 mounted on the table 2. The syringe head 3 is attached to a gantry 4 placed horizontally above the stage 1a and includes a table 2 that moves in two directions (X-axis direction and Y-axis direction) on the lower stage 1a As shown in FIG.

또한, 도 1에는 1개의 시린지 헤드(3)가 구비되는 페이스트 도포 장치(1)가 도시되어 있지만, 2 이상의 시린지 헤드(3)가 구비되는 구성의 페이스트 도포 장치(1)여도 된다.1 shows a paste applying apparatus 1 having one syringe head 3, it may be a paste applying apparatus 1 having a configuration in which two or more syringe heads 3 are provided.

또한, 본 실시예에서는, 이동 장치(2a, 2b)에 의해 테이블(2)이 스테이지(1a) 상에서 이동하고, 시린지 헤드(3)가 부착되는 갠트리(4)는 스테이지(1a)에 대하여 고정된다.In this embodiment, the table 2 is moved on the stage 1a by the moving devices 2a and 2b and the gantry 4 to which the syringe head 3 is attached is fixed to the stage 1a .

이 구성에서는, 테이블(2)이 이동 장치(2a, 2b)에 의해 이동함으로써, 테이블(2)에 탑재되는 소자측 기판(1O)과 시린지 헤드(3)를 상대적으로 이동시킬 수 있다.In this configuration, the table 2 can be moved by the moving devices 2a and 2b to move the element-side substrate 10 mounted on the table 2 and the syringe head 3 relatively.

즉, 이동 장치(2a, 2b)는, 소자측 기판(10)과 시린지 헤드(3)를 상대적으로 이동시키는 기능을 가진다.That is, the moving devices 2a and 2b have a function of relatively moving the element-side substrate 10 and the syringe head 3.

이와 같은 구성 외에, 시린지 헤드(3)나 갠트리(4)가 X축 방향 및 Y축 방향으로 이동하는 구성이어도 된다. 또는, 테이블(2)이 X축 방향과 Y축 방향의 일방(一方)으로 이동하고, 시린지 헤드(3)(갠트리(4))가 X축 방향과 Y축 방향의 타방(他方)으로 이동하는 구성이어도 된다.In addition to such a configuration, the syringe head 3 and the gantry 4 may be configured to move in the X-axis direction and the Y-axis direction. Alternatively, when the table 2 is moved in one direction (one direction) in the X-axis direction and the Y-axis direction and the syringe head 3 (gantry 4) is moved in the other direction in the X-axis direction and the Y- .

어느 구성이더라도, 시린지 헤드(3)와 테이블(2)(소자측 기판(1O))을 상대적으로 이동시키는 것이 가능하다.It is possible to relatively move the syringe head 3 and the table 2 (element side substrate 10) regardless of the configuration.

페이스트 도포 장치(1)는, 제어 장치(5)에 의해 제어된다. 제어 장치(5)는, 이동 장치(2a, 2b)를 제어하여 테이블(2)을 적절히 이동한다. 또한, 제어 장치(5)는, 시린지 헤드(3)를 제어하여 유리 페이스트의 도포를 ON/OFF한다.The paste applying device 1 is controlled by the control device 5. [ The control device 5 controls the mobile devices 2a and 2b to move the table 2 appropriately. Further, the control device 5 controls the syringe head 3 to turn on / off the application of the glass paste.

또한, 제어 장치(5)는, 테이블(2)의 X축 방향 및 Y축 방향의 이동 거리를 센서에 의해 취득하고, 테이블(2)을 임의의 위치로 이동하도록 이동 장치(2a, 2b)를 제어한다.The control device 5 also acquires the moving distance of the table 2 in the X-axis direction and the Y-axis direction by the sensor and moves the moving devices 2a and 2b to move the table 2 to an arbitrary position .

이와 같이 구성되는 페이스트 도포 장치(1)에서는, 테이블(2)에 탑재되는 소자측 기판(10)에 시린지 헤드(3)로 유리 페이스트를 도포한다.In the paste applying apparatus 1 thus configured, glass paste is applied to the element-side substrate 10 mounted on the table 2 with the syringe head 3.

페이스트 도포 장치(1)에는, 전(前) 공정에서, 발광면(10a)이 형성된 소자측 기판(10)이 반송 수단(20)에 의해 반송된다.In the paste applying apparatus 1, the element side substrate 10 on which the light emitting surface 10a is formed is transported by the transporting means 20 in the previous step.

또한, 소자측 기판(10)의 형상(발광면(10a)의 형상)은 직사각형에 한정되지 않는다.The shape of the element-side substrate 10 (the shape of the light-emitting surface 10a) is not limited to a rectangle.

예를 들면, 원형이나 타원형의 소자측 기판(10)(발광면(1Oa))이어도 되고, n각형(n은 3 이상의 자연수)의 소자측 기판(10)이어도 된다.For example, the element-side substrate 10 (light-emitting surface 10a) of a circular or elliptical shape or the element-side substrate 10 of an n-type (n is a natural number of 3 or more) may be used.

또한, 반송 수단(20)은, 예를 들면, 도 1에 나타낸 바와 같이 반송 컨베이어 로 하면 되지만, 반송 로봇 등이어도 되고, 반송 수단(20)의 구성은 한정되지 않는다.The conveying means 20 may be, for example, a conveying conveyor as shown in Fig. 1, but may be a conveying robot or the like, and the configuration of the conveying means 20 is not limited.

도 1에 나타낸 바와 같이, 반송 수단(20)에 의해 페이스트 도포 장치(1)에 반송된 소자측 기판(10)은 테이블(2)에 탑재되어 적절히 고정된다. 테이블(2)에 소자측 기판(10)을 고정하는 구성은 한정되는 것이 아니다. 예를 들면, 테이블(2) 측으로부터 소자측 기판(10)을 흡인하여 고정하는 구성으로 하면 된다.As shown in Fig. 1, the element-side substrate 10 conveyed to the paste applying device 1 by the conveying means 20 is mounted on the table 2 and fixed appropriately. The structure for fixing the element-side substrate 10 to the table 2 is not limited. For example, the element-side substrate 10 may be sucked and fixed from the table 2 side.

제어 장치(5)는 테이블(2)에 소자측 기판(10)이 탑재(고정)되면, 이동 장치(2a, 2b)를 제어하여 테이블(2)을 이동하고, 소자측 기판(10)을 소정의 도포 개시 위치로 이동한다. 도포 개시 위치는, 시린지 헤드(3)에 의한 유리 페이스트의 도포를 개시하는 소정의 위치이며, 적절히 설정되어 있는 것이 바람직하다. 그리고, 제어 장치(5)는, 시린지 헤드(3)로부터 유리 페이스트를 도포하면서 테이블(2)을 이동하여, 소정의 도포 패턴을 그리도록, 소자측 기판(10)에 유리 페이스트를 도포한다.When the element-side substrate 10 is mounted (fixed) on the table 2, the controller 5 controls the moving devices 2a and 2b to move the table 2, To the application start position of the coating film. The application start position is a predetermined position for starting the application of the glass paste by the syringe head 3, and is preferably set appropriately. The controller 5 then moves the table 2 while applying the glass paste from the syringe head 3 and applies glass paste to the element side substrate 10 so as to draw a predetermined coating pattern.

또한, 페이스트 도포 장치(1)에는, 테이블(2)에 탑재된 소자측 기판(10)을 소정의 기준 위치로 이동시키기 위한 위치 결정 수단이 구비되는 것이 바람직하다.The paste applying apparatus 1 is preferably provided with positioning means for moving the element-side substrate 10 mounted on the table 2 to a predetermined reference position.

위치 결정 수단의 구성은 한정되는 것이 아니다. 예를 들면, 소자측 기판(10)에 미리 마킹된 기준점 G1, G2를 화상 인식용 카메라 등으로 판독하고, 판독한 기준점 G1, G2가 소정의 위치가 되도록 제어 장치(5)가 테이블(2)을 이동하는 구성으로 하면 된다. 이와 같이, 마킹된 기준점 G1, G2가 소정의 위치가 되는 소자측 기판(10)의 위치가 소자측 기판(10)의 기준 위치가 된다.The configuration of the positioning means is not limited. For example, the reference points G1 and G2 previously marked on the element-side substrate 10 are read by an image recognition camera or the like, and the controller 5 reads the table 2 so that the read reference points G1 and G2 are at predetermined positions. As shown in Fig. As described above, the position of the element-side substrate 10 at which the marked reference points G1 and G2 are at the predetermined positions becomes the reference position of the element-

또한, 예를 들면, 소자측 기판(10)에 2개 이상의 기준점 G1, G2가 마킹되고, 테이블(2)이 스테이지(1a)에 평행한 면 내에서 회전 가능한 구성으로 하면, 제어 장치(5)는, 모든 기준점 G1, G2가 소정의 위치가 되도록 테이블(2)을 회전시킬 수 있다. 이것에 의해, 직사각형으로 형성되는 발광면(1Oa)의 1변을 스테이지(1a)에 설정되는 좌표축(X축, Y축)과 평행하게 할 수 있다.If two or more reference points G1 and G2 are marked on the element side substrate 10 and the table 2 is rotatable in a plane parallel to the stage 1a, The table 2 can be rotated such that all of the reference points G1 and G2 are at predetermined positions. Thus, one side of the light-emitting surface 10a formed in a rectangular shape can be made parallel to a coordinate axis (X axis, Y axis) set on the stage 1a.

그리고, 제어 장치(5)는, 테이블(2)을 X축 방향 및 Y축 방향으로 적절히 이동하여, 발광면(1Oa)의 주위에 유리 페이스트를 도포할 수 있다.Then, the control device 5 can appropriately move the table 2 in the X-axis direction and the Y-axis direction and apply glass paste around the light-emitting surface 10a.

또한, 시린지 헤드(3)가 상하 이동 가능하게 갠트리(4)에 부착되고, 또한, 시린지 헤드(3)에 소자측 기판(10)과 노즐(31a)(도 2의 (b) 참조)과의 거리를 계측하는 센서(레이저광을 사용하는 광학식 변위계 등)가 설치되는 구성으로 해도 된다.The syringe head 3 is attached to the gantry 4 in a vertically movable manner and the syringe head 3 is connected to the element side substrate 10 and the nozzle 31a (see FIG. 2 (b) A sensor for measuring the distance (an optical displacement meter using laser light, etc.) may be provided.

이와 같은 구성이면, 제어 장치(5)는, 유리 페이스트를 도포할 때에, 노즐(31a)과 소자측 기판(10)의 거리를 계측할 수 있다. 그리고, 제어 장치(5)는, 시린지 헤드(3)를 상하 이동시킴으로써, 노즐(31a)과 소자측 기판(10)을 알맞은 거리로 유지할 수 있다.With this configuration, the control device 5 can measure the distance between the nozzle 31a and the element-side substrate 10 when applying the glass paste. The control device 5 can maintain the nozzle 31a and the element side substrate 10 at a proper distance by moving the syringe head 3 up and down.

도 2의 (a)는 시린지 헤드의 측면도, (b)는 노즐 홀더의 구성을 나타내는 단면도이다.Fig. 2 (a) is a side view of the syringe head, and Fig. 2 (b) is a sectional view showing the structure of the nozzle holder.

도 2의 (a)에 나타낸 바와 같이, 본 실시예의 시린지 헤드(3)는, 공동(空洞)의 원통으로 이루어져 유리 페이스트를 저류하는 저류부(페이스트 저류부(30))와, 페이스트 저류부(30)의 일단(一端)에 부착되는 노즐 홀더(31)를 포함하여 구성된다. 또한, 페이스트 저류부(30)에는, 노즐 홀더(31)가 부착되는 일단과 마주보는 타단(他端)에 공기 가압부(32)가 구비된다.2 (a), the syringe head 3 of the present embodiment includes a storage section (paste storage section 30) made of a hollow cylinder and storing glass paste, a paste storage section And a nozzle holder 31 attached to one end of the nozzle holder 30. The paste storage portion 30 is provided with an air pressing portion 32 at the other end opposite to one end to which the nozzle holder 31 is attached.

페이스트 저류부(30)에는 소자측 기판(10)(도 1 참조)에 도포되는 유리 페이스트가 저류되고, 공기 가압부(32)에 의해 페이스트 저류부(30)의 내부가 가압되었을 때, 유리 페이스트는 페이스트 저류부(30)로부터 노즐 홀더(31)에 밀어내어져, 노즐 홀더(31)에 구비되는 노즐(31a)로부터 토출된다.When the glass paste to be applied to the element side substrate 10 (see FIG. 1) is stored in the paste storage section 30 and the inside of the paste storage section 30 is pressed by the air pressing section 32, Is pushed out of the paste storage portion 30 into the nozzle holder 31 and discharged from the nozzle 31a provided in the nozzle holder 31. [

공기 가압부(32)는, 예를 들면, 도시하지 않은 공기 압축기(컴프레서)로 압축된 압축 공기(또는 질소 가스 등)를 페이스트 저류부(30)의 내부로 보내는 구성으로 하면 된다.The air pressurizing portion 32 may be configured to send compressed air (or nitrogen gas or the like) compressed by an air compressor (compressor) (not shown) to the inside of the paste storage portion 30, for example.

시린지 헤드(3)는, 페이스트 저류부(30)의 축방향이 상하 방향으로 되어 노즐 홀더(31)가 하방(下方)이 되도록 갠트리(4)(도 1 참조)에 부착된다. 그리고, 공기 가압부(32)로부터 보내지는 압축 공기에 의해 페이스트 저류부(30)로부터 밀어내어져, 노즐(31a)로부터 토출되는 유리 페이스트가, 하방의 스테이지(1a)(도 1 참조) 상에서 이동하는 소자측 기판(10)(도 1 참조)에 도포되도록 구성된다. The syringe head 3 is attached to the gantry 4 (see Fig. 1) such that the axial direction of the paste storage portion 30 is the vertical direction and the nozzle holder 31 is downward. The glass paste discharged from the nozzle 31a is moved on the lower stage 1a (see FIG. 1) by being pushed out from the paste storage portion 30 by the compressed air sent from the air pressurizing portion 32, Side substrate 10 (see Fig. 1).

도 2의 (b)에 나타낸 바와 같이, 노즐 홀더(31)는, 페이스트 저류부(30)의 일단에 연결되는 동체부(胴體部)(311)와, 페이스트 저류부(30)의 축방향과 수직인 방향으로 동체부(311)로부터 연장되는 아암부(312)를 포함하여 구성된다.2 (b), the nozzle holder 31 includes a body portion 311 connected to one end of the paste storage portion 30, and a body portion 311 connected to one end of the paste storage portion 30, And an arm portion 312 extending from the trunk portion 311 in the vertical direction.

그리고, 시린지 헤드(3)는, 아암부(312)가 스테이지(1a)(도 1 참조)를 형성하는 평면과 평행이 되도록 갠트리(4)(도 1 참조)에 부착된다.The syringe head 3 is attached to the gantry 4 (see Fig. 1) so that the arm portion 312 is parallel to the plane forming the stage 1a (see Fig. 1).

또한, 동체부(311)의 내부에는 유리 페이스트가 유통되는 관로(311a)가 형성되고, 아암부(312)의 내부에는 유리 페이스트가 유통되는 관로(312a)가 형성된다. 그리고, 동체부(311)의 관로(311a)와 아암부(312)의 관로(312a)는 코너부(313a)를 통하여 연통한다.A conduit 311a through which the glass paste flows is formed in the body 311 and a conduit 312a through which the glass paste flows is formed in the interior of the arm 312. [ The channel 311a of the trunk section 311 and the channel 312a of the arm section 312 communicate with each other through the corner section 313a.

아암부(312)의 관로(312a)는, 아암부(312)의 축방향으로 연장되는 관로이고, 아암부(312)의 선단부(312b)(동체부(311) 측과 마주보는 측의 단부)를 관통하도록 구성된다. 즉, 선단부(312b)에는 관로(312a)의 개방단(312c)이 형성된다. 그리고, 관로(312a)의 선단부(312b)에는, 관로(312a)의 개방단(312c)을 폐색하는 밀봉 부재(31c)가 끼워 넣어진다.The channel 312a of the arm portion 312 is a channel extending in the axial direction of the arm portion 312 and is connected to the tip portion 312b of the arm portion 312 As shown in FIG. That is, the open end 312c of the channel 312a is formed at the tip end 312b. A seal member 31c for closing the open end 312c of the channel 312a is fitted to the tip end 312b of the channel 312a.

밀봉 부재(31c)는, 예를 들면, 관로(312a)의 선단부(312b)측(관로(312a)의 개방단(312c))에 형성되는 암나사에 나사 결합하는 나사 부재이며, 착탈 가능하게 구성되는 것이 바람직하다.The sealing member 31c is a screw member that is screwed to a female screw formed at the tip end 312b side of the conduit 312a (the open end 312c of the conduit 312a) .

또한, 밀봉 부재(31c)와 아암부(312)의 선단부(312b) 사이에 도시하지 않은 시일 부재가 배치되어, 밀봉 부재(31c)와 선단부(312b)의 사이가 밀봉되는 구성이 바람직하다.It is preferable that a sealing member not shown is disposed between the sealing member 31c and the tip end portion 312b of the arm portion 312 so as to seal between the sealing member 31c and the tip end portion 312b.

또한, 아암부(312)에는 노즐(31a)이 부착된다. 노즐(31a)은, 도 1에 나타낸 갠트리(4)에 시린지 헤드(3)가 부착되었을 때에 하방을 향하여 유리 페이스트를 토출하는 방향에 부착된다.Further, the arm portion 312 is attached with a nozzle 31a. The nozzle 31a is attached in the direction of discharging the glass paste downward when the syringe head 3 is attached to the gantry 4 shown in Fig.

예를 들면, 페이스트 저류부(30)의 축방향이 상하 방향이 되도록 시린지 헤드(3)가 부착되는 경우, 노즐(31a)은 축방향이 페이스트 저류부(30)의 축방향과 평행이 되어 하방이 개구하도록 부착된다. 그리고, 노즐(31a)과 아암부(312)의 관로(312a)는 연통한다.For example, when the syringe head 3 is attached so that the axial direction of the paste storage portion 30 is vertical, the axial direction of the nozzle 31a is parallel to the axial direction of the paste storage portion 30, As shown in Fig. The nozzle 31a and the channel 312a of the arm portion 312 communicate with each other.

시린지 헤드(3)가 도 2의 (a), (b)에 나타낸 바와 같이 구성되면, 공기 가압부(32)로부터 압축 공기가 보내져 페이스트 저류부(30)의 내부가 가압되었을 때, 유리 페이스트는 페이스트 저류부(30)로부터 노즐 홀더(31)에 밀어내어져, 동체부(311)의 관로(311a)를 유통한다. 또한, 유리 페이스트는, 코너부(313a)를 경유하여 아암부(312)의 관로(312a)를 유통하여, 노즐(31a)로부터 토출된다.When the syringe head 3 is constructed as shown in Figs. 2A and 2B, when compressed air is sent from the air pressurizing portion 32 and the inside of the paste storage portion 30 is pressed, Is pushed out from the paste storage section 30 to the nozzle holder 31 and flows through the pipeline 311a of the body section 311. [ The glass paste flows through the channel 312a of the arm portion 312 via the corner portion 313a and is discharged from the nozzle 31a.

또한, 본 실시예의 페이스트 도포 장치(1)(도 1 참조)에는, 노즐 홀더(31)의 아암부(312)의 관로(312a)에 교반 기구(33)가 편입된다.The agitation mechanism 33 is incorporated in the paste applying device 1 (see Fig. 1) of the present embodiment in the piping 312a of the arm portion 312 of the nozzle holder 31. Fig.

교반 기구(33)는, 예를 들면, 관로(312a)를 따라 흐르는 유리 페이스트를, 관로(312a)의 내벽(312a1)의 둘레 방향을 따라 선회시키는 기능을 가지는 날개 형상 부재인 것이 바람직하다.The stirring mechanism 33 is preferably a blade member having a function of turning the glass paste flowing along the conduit 312a along the circumferential direction of the inner wall 312a1 of the conduit 312a.

도 3은 교반 기구를 구성하는 요소의 일례를 나타내는 도면이다.3 is a view showing an example of elements constituting a stirring mechanism.

교반 기구(33)는, 예를 들면, 도 3에 나타낸 바와 같이, 관로(312a)에서의 유리 페이스트(Gp)의 흐름의 상류에서 보아, 관로(312a)의 내벽(312a1)을 따른 우측 방향의 선회력을 유리 페이스트(Gp)에 부여하는 우측 엘리먼트(33a)와, 관로(312a)의 내벽(312a1)을 따른 좌측 방향의 선회력을 유리 페이스트(Gp)에 부여하는 좌측 엘리먼트(33b)가 각각 복수, 직렬로 배치된 형상의 스태틱 믹서인 것이 바람직하다.3, the agitating mechanism 33 has a structure in which the agitating mechanism 33 is disposed in the rightward direction along the inner wall 312a1 of the conduit 312a as viewed from the upstream of the flow of the glass paste Gp in the conduit 312a, A right element 33a for imparting the turning force to the glass paste Gp and a left element 33b for applying the turning force in the left direction along the inner wall 312a1 of the conduit 312a to the glass paste Gp, It is preferable to be a static mixer of a shape arranged in series.

도 3에 나타낸 바와 같이, 교반 기구(33)(스태틱 믹서)가 축방향으로 편입된 관로(312a)를 유통하는 유리 페이스트(Gp)는, 교반 기구(33)에 의해 관로(312a)의 내벽(312a1)의 둘레 방향을 따라 선회하여 교반된다. 따라서, 유리 페이스트(Gp)에 포함되는 유리 프릿 등의 고형 입자는 확산된 상태가 유지되어 괴상이 되는 것이 억제된다.3, the glass paste Gp that flows through the channel 312a in which the stirring mechanism 33 (static mixer) is incorporated in the axial direction is fed to the inner wall of the channel 312a by the stirring mechanism 33 312a1 in the circumferential direction. Therefore, solid particles such as glass frit contained in the glass paste Gp are prevented from being dispersed and becoming massive.

또한, 도 3에 나타낸 우측 엘리먼트(33a)와 좌측 엘리먼트(33b)의 형상은, 교반 기구(33)의 기능을 설명하기 위하여 예시한 것이지, 교반 기구(33)(스태틱 믹서)의 형상을 한정하는 것이 아니다.The shapes of the right element 33a and the left element 33b shown in Fig. 3 are exemplified for explaining the function of the stirring mechanism 33, and the shapes of the stirring mechanism 33 (static mixer) It is not.

도 4의 (a)∼(c)는, 교반 기구가 아암부의 관로에 편입되는 단계를 나타내는 도면이다.4 (a) to 4 (c) are views showing a step in which the stirring mechanism is incorporated into the channel of the arm portion.

도 4의 (a)에 나타낸 바와 같이, 아암부(312)의 관로(312a)는 선단부(312b)를 관통하고, 선단부(312b)에 관로(312a)의 개방단(312c)이 형성되어 있다. 따라서, 밀봉 부재(31c)가 분리되면 관로(312a)는 선단부(312b) 측이 개방된다.4A, the channel 312a of the arm portion 312 penetrates the distal end portion 312b, and the open end 312c of the conduit 312a is formed at the distal end portion 312b. Therefore, when the sealing member 31c is separated, the channel 312a is opened at the tip end 312b side.

또한, 밀봉 부재(31c)를 나사 부재로 함으로써, 아암부(312)로부터 용이하게 분리 가능하게 구성할 수 있다.Further, the sealing member 31c can be made to be easily detachable from the arm portion 312 by using a screw member.

그리고, 예를 들면, 도 4의 (b)에 나타낸 바와 같이, 교반 기구(33)는, 관로(312a)가 개구되어 있는 개방단(312c)으로부터, 관로(312a)의 내측에 용이하게 진입 가능하다. 즉, 교반 기구(33)를 편입하는 작업자는, 선단부(312b)의 개방단(312c)으로부터 관로(312a)에 교반 기구(33)를 용이하게 삽입할 수 있다.4 (b), the stirring mechanism 33 can easily enter the inside of the pipeline 312a from the open end 312c where the pipeline 312a is opened, for example, Do. That is, the worker incorporating the stirring mechanism 33 can easily insert the stirring mechanism 33 into the pipe line 312a from the open end 312c of the tip end portion 312b.

그 후, 도 4의 (c)에 나타낸 바와 같이, 밀봉 부재(31c)가 아암부(312)의 선단부(312b)에 부착되면 관로(312a)의 개방단(312c)은 폐색되고, 교반 기구(33)는 관로(312a)에 넣고 봉해져 관로(312a)에 편입된다.4 (c), when the sealing member 31c is attached to the distal end portion 312b of the arm portion 312, the open end 312c of the conduit 312a is closed, and the stirring mechanism 33 are inserted into the duct 312a and inserted into the sealed duct 312a.

또한, 교반 기구(33)는, 관로(312a)의 개방단(312c)으로부터 삽입된 상태에 있어, 관로(312a)의 내벽(312a1)이나 그 밖의 기구, 구조물에 의해 구속받지 않는 상태로 편입된다. 이것에 의해, 교반 기구(33)는, 관로(312a) 내를 자유롭게 이동 가능(유동 가능)하게 편입된다.The stirring mechanism 33 is inserted from the open end 312c of the conduit 312a so as not to be restrained by the inner wall 312a1 of the conduit 312a or other mechanism or structure . Thereby, the stirring mechanism 33 is incorporated so as to be freely movable (flowable) in the channel 312a.

바꿔 말하면, 관로(312a)의 구성을, 교반 기구(33)를 지지하기 위한 기구나 구조물을 필요로 하지 않는 간소한 구성으로 할 수 있다.In other words, the structure of the channel 312a can be a simple structure that does not require a mechanism or structure for supporting the stirring mechanism 33. [

또한, 도 2의 (b)에 나타낸 바와 같이, 관로(312a)의 동체부(311) 측에는 코너부(313a)가 형성되어 페이스트 저류부(30) 측에 만곡되어 있다. 따라서, 아암부(312)의 관로(312a) 내의 교반 기구(33)는, 코너부(313a)의 위치까지밖에 이동할 수 없어, 아암부(312)의 관로(312a)로부터 다른 곳으로 이동하는 경우는 없다.2 (b), a corner portion 313a is formed on the side of the trunk portion 311 of the channel 312a, and is curved toward the paste storage portion 30 side. Therefore, when the stirring mechanism 33 in the channel 312a of the arm portion 312 can only move to the position of the corner portion 313a and moves from the channel 312a of the arm portion 312 to another position none.

이와 같이, 교반 기구(33)는, 매우 용이한 작업으로 아암부(312)의 관로(312a)에 편입된다.Thus, the stirring mechanism 33 is incorporated into the channel 312a of the arm portion 312 with a very easy operation.

또한, 본 실시예의 페이스트 도포 장치(1)(도 1 참조)는, 페이스트 저류부(30)(도 2의 (a) 참조)에 구비되는 공기 가압부(32)(도 2의 (a) 참조)가 페이스트 저류부(30)를 가압하여 유리 페이스트(Gp)(도 3 참조)를 밀어내어, 아암부(312)의 노즐(31a)(도 2의 (b) 참조)로부터 토출되는 구성이다.The paste applying apparatus 1 (see Fig. 1) of the present embodiment is provided with an air pressing portion 32 (refer to Fig. 2 (a)) provided in the paste storing portion 30 (Refer to FIG. 2) of the arm portion 312 by pressing the paste storage portion 30 to push out the glass paste Gp (see FIG. 3).

공기 가압부(32)가 페이스트 저류부(30)를 가압하면 아암부(312)의 관로(312a)(도 2의 (b) 참조)는 코너부(313a) 측으로부터 가압되어, 교반 기구(33)(도 2의 (b) 참조)는 밀봉 부재(31c)(도 2의 (b) 참조) 측으로 밀어붙여진다. 이와 같이, 교반 기구(33)는 밀봉 부재(31c)에 밀어붙여짐으로써 회전이 억제되기 때문에, 관로(312a)를 유리 페이스트(Gp)가 유통할 때의 교반 기구(33)의 회전이 억제되어, 교반 기구(33)는 효과적으로 유리 페이스트(Gp)를 교반할 수 있다.2 (b)) of the arm portion 312 is pressed from the side of the corner portion 313a and the agitating mechanism 33 (see Fig. 2 (b)) is pushed by the air pressurizing portion 32, (See Fig. 2 (b)) is pushed toward the sealing member 31c (see Fig. 2 (b)). Thus, since the stirring mechanism 33 is pressed against the sealing member 31c to inhibit the rotation, the rotation of the stirring mechanism 33 when the glass paste Gp flows through the channel 312a is suppressed , The stirring mechanism 33 can stir the glass paste Gp effectively.

이상과 같이, 본 실시예의 페이스트 도포 장치(1)(도 1 참조)는, 소자측 기판(10)(도 1 참조)에 도포하는 유리 페이스트(Gp)(도 3 참조)가 유통되는 관로(312a)(도 2의 (b) 참조)에 스태틱 믹서 등의 교반 기구(33)(도 2의 (b) 참조)가 편입되어 있다. 그리고, 유리 페이스트(Gp)를 교반하면서 노즐(31a)(도 2의 (b) 참조)까지 유통시키고, 노즐(31a)로부터 토출시켜 소자측 기판(10)에 도포할 수 있다. 따라서, 유리 페이스트(Gp)에 포함되는 유리 프릿 등의 고형 입자가 확산된 상태를 유지할 수 있어, 유리 프릿 등의 고형 입자에 의해 노즐(31a) 등의 세관부가 막히는 것을 억제할 수 있다.As described above, the paste applying device 1 (see Fig. 1) of the present embodiment is provided with the channel 312a (see Fig. 1) through which the glass paste Gp (see Fig. 3) to be applied to the element side substrate 10 (See Fig. 2 (b)) such as a static mixer is incorporated in the tank (see Fig. The glass paste Gp can be circulated up to the nozzle 31a (see FIG. 2 (b)) while being stirred, and discharged from the nozzle 31a to be applied to the element-side substrate 10. Therefore, the solid particles such as the glass frit contained in the glass paste Gp can be maintained in the diffused state, and the solid particles such as the glass frit can be prevented from clogging the fine tubules such as the nozzle 31a.

또한, 교반 기구(33)를 스태틱 믹서로 함으로써, 교반 기구(33)를 구동하는 압축 공기 이외의 동력원도 불필요하여, 매우 간소한 구조로 유리 페이스트(Gp)를 교반할 수 있다.By using the static mixer as the stirring mechanism 33, a power source other than the compressed air for driving the stirring mechanism 33 is also unnecessary, and the glass paste Gp can be stirred with a very simple structure.

또한, 작업자들이 교반 기구(33)를 아암부(312)의 관로(312a)(도 2의 (b) 참조)에 편입하는 작업도 매우 용이하여, 페이스트 도포 장치(1)를 관리하는 작업자들이 용이하게 교반 기구(33)를 편입할 수 있다.It is also very easy for workers to incorporate the stirring mechanism 33 into the pipeline 312a (see FIG. 2 (b)) of the arm portion 312, so that the workers who manage the paste applying apparatus 1 can easily The stirring mechanism 33 can be incorporated.

또한, 본 실시예의 교반 기구(33)(도 2의 (b) 참조, 스태틱 믹서 등)는, 페이스트 도포 장치(1)의 스테이지(1a)(도 1 참조)와 평행하게 연장되는 아암부(312)의 관로(312a)(도 2의 (b) 참조)에 편입된다.The stirring mechanism 33 (see FIG. 2 (b), static mixer, etc.) of the present embodiment is provided with an arm portion 312 extending in parallel with the stage 1a of the paste applying device 1 (Refer to Fig. 2 (b)) of the water supply pipe 312a.

그리고, 스테이지(1a)가 대략 수평이 되도록 페이스트 도포 장치(1)가 설치되는 경우, 아암부(312)는 대략 수평 방향으로 연장되고, 관로(312a) 내를 유통하는 유리 페이스트(Gp)(도 3 참조)는 대략 수평 방향으로 유통된다.When the paste applying apparatus 1 is installed so that the stage 1a is substantially horizontal, the arm portion 312 extends in the substantially horizontal direction and the glass paste Gp 3) flows in a substantially horizontal direction.

따라서, 아암부(312)의 관로(312a)에 편입된 교반 기구(33)에 의해 관로(312a)의 내벽(312a1)(도 3 참조)의 둘레 방향을 따라 선회하는 유리 페이스트(Gp)는 상하 방향으로 교반되게 된다. 이것에 의해, 밀도의 차이에 의한 침전 등으로 유리 프릿이 괴상이 되기 쉬운 유리 페이스트(Gp)를 알맞게 교반할 수 있어, 유리 프릿이 확산된 상태를 알맞게 유지할 수 있다.Therefore, the glass paste Gp rotating in the circumferential direction of the inner wall 312a1 (see FIG. 3) of the channel 312a by the agitating mechanism 33 incorporated in the channel 312a of the arm portion 312 flows upward and downward Direction. This makes it possible to appropriately stir the glass paste (Gp), which is liable to be a lump, due to precipitation due to the difference in density or the like, and to properly maintain the diffused state of the glass frit.

또한, 본 발명은 상기한 실시예나 변형례에 한정되는 것이 아니다. 예를 들면, 상기한 실시예는 본 발명을 이해하기 쉽게 설명하기 위하여 상세하게 설명한 것이고, 반드시 설명한 모든 구성을 구비하는 것에 한정되는 것이 아니다.The present invention is not limited to the above-described embodiment and modifications. For example, the above-described embodiments have been described in detail in order to facilitate understanding of the present invention, and are not limited to those having all the configurations described above.

또한, 어떤 실시예의 구성의 일부를 다른 실시예의 구성으로 치환하는 것도 가능하고, 또한, 어떤 실시예의 구성에 다른 실시예의 구성을 더하는 것도 가능하다.It is also possible to replace some of the configurations of some embodiments with those of other embodiments, and the configurations of other embodiments may be added to the configurations of some embodiments.

예를 들면, 교반 기구(33)(도 2의 (b) 참조)는 스태틱 믹서에 한정되지 않는다. 예를 들면, 가늘고 긴 평판이 1방향으로 꼬여서 형성되는 부재여도 된다. 이 경우, 아암부(312)의 관로(312a)(도 2의 (b) 참조)를 유통하는 유리 페이스트(Gp)(도 3 참조)는 1방향으로 선회하면서 유통된다. 상류에서 보아 좌우 양쪽으로 선회하는 경우에 비하여, 유리 페이스트(Gp)에 포함되는 고형 입자가 확산되는 효과는 작지만, 고형 입자를 확산시키는 효과를 얻을 수 있다. 또한, 스태틱 믹서에 비하여 저렴한 부재를 교반 기구(33)로 할 수 있다.For example, the stirring mechanism 33 (see Fig. 2 (b)) is not limited to the static mixer. For example, it may be a member formed by twisting an elongated flat plate in one direction. In this case, the glass paste Gp (see FIG. 3) flowing through the channel 312a (see FIG. 2 (b)) of the arm portion 312 circulates while circulating in one direction. The effect of diffusing the solid particles contained in the glass paste Gp is small, but the effect of diffusing the solid particles can be obtained as compared with the case of swinging to the left and right as seen from the upstream. In addition, an inexpensive member can be used as the stirring mechanism 33 as compared with the static mixer.

또는, 아암부(312)의 관로(312a)(도 2의 (b) 참조)를 유통하는 유리 페이스트(Gp)(도 3 참조)를, 내벽(312a1)(도 2의 (b) 참조)의 둘레 방향을 따라 선회시키는 기능을 가지는 복수의 날개 형상 부재가 관로(312a)에 삽입된 구성의 교반 기구(33)(도 2의 (b) 참조)여도 된다.2) of the inner wall 312a1 (see FIG. 2 (b)) for distributing the glass paste Gp (see FIG. 3) that flows through the channel 312a of the arm portion 312 (See Fig. 2 (b)) in which a plurality of vane-shaped members having a function of turning along the circumferential direction are inserted into the channel 312a.

1 : 페이스트 도포 장치
1a : 스테이지(기판이 탑재되는 평면)
2 : 테이블
3 : 시린지 헤드
10 : 소자측 기판(기판)
30 : 페이스트 저류부(저류부)
31a : 노즐
31c : 밀봉 부재
33 : 교반 기구(스태틱 믹서)
312 : 아암부
312a : 관로
312a1 : 내벽
312c : 개방단
Gp : 유리 페이스트(액체 재료)1: Paste application device
1a: stage (plane on which the substrate is mounted)
2: Table
3: Syringe Head
10: Element side substrate (substrate)
30: paste storage part (storage part)
31a: nozzle
31c:
33: stirring device (static mixer)
312:
312a:
312a1: inner wall
312c: open end
Gp: Glass paste (liquid material)

Claims

A storage section for storing the paste-like liquid material applied to the substrate,
A nozzle for discharging the liquid material toward the substrate,
A conduit through which the liquid material flows from the storage portion to the nozzle,
And a stirring mechanism which stirs the liquid material, which is introduced into the conduit and circulates through the conduit, along the circumferential direction of the inner wall of the conduit,
Wherein the conduit is configured to flow the liquid material in a direction parallel to the plane on which the substrate is mounted by being curved through the reservoir portion and the corner portion,
Wherein the stirring mechanism is a static mixer incorporated in the pipe so as to be free to move and has a function of stirring the inner wall of the pipe in the vertical direction.

The method according to claim 1,
Wherein the stirring mechanism is provided in a state of being inserted into the pipe from the open end of the pipe,
Wherein the open end is closed by a detachable sealing member.

The method according to claim 1,
Wherein the liquid material in the paste state includes a mixture of solid particles.

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