KR101811442B1 - Resin dispensing apparatus - Google Patents

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KR101811442B1
KR101811442B1 KR1020160088033A KR20160088033A KR101811442B1 KR 101811442 B1 KR101811442 B1 KR 101811442B1 KR 1020160088033 A KR1020160088033 A KR 1020160088033A KR 20160088033 A KR20160088033 A KR 20160088033A KR 101811442 B1 KR101811442 B1 KR 101811442B1
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한관영
이병철
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단국대학교 천안캠퍼스 산학협력단
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Abstract

The present invention relates to a resin coating apparatus in which the shape of a nozzle, from which a resin is discharged through an outlet, is dynamically and geometrically optimized. To achieve this, the resin coating apparatus comprises: an input unit injecting a certain amount of a coating agent to be applied into an inlet; a storage unit temporarily storing the injected coating agent; a diffusion unit guiding the stored coating agent to be diffused throughout the inside of the nozzle; a uniformity maintaining unit uniformizing the speed and pressure of the diffused coating agent; and a discharging unit discharging the uniformized resin. According to the present invention, the shape of the nozzle from which the resin is discharged through the outlet is dynamically and geometrically optimized to solve problems. In addition, the uniformity of lamination of a resin coated on a plane may be uniformized by optimizing the shape of the nozzle.

Description

레진 도포 장치{Resin dispensing apparatus}[0001] Resin dispensing apparatus [

본 발명은 레진 도포 장치에 관한 것으로서, 특히 레진(Resin)이 출구로부터 나오는 노즐(Nozzle)의 형상을 유체역학 및 기하학적으로 최적화한 노즐(Nozzle) 장치에 관한 것이다. 특히, 레진 도포 장치에 관한 것으로서, 평면상에 코팅되는 레진(Resin) 라미네이션(Lamination)의 균일도를 향상시키는 기술을 제공한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a resin coating apparatus, and more particularly, to a nozzle apparatus in which a resin fluid is mechanically and geometrically optimized in shape of a nozzle coming out from an outlet. In particular, the present invention relates to a resin coating apparatus, and provides a technique for improving the uniformity of resin lamination coated on a plane.

일반적으로 유기발광 다이오드(OLED) 혹은 플렉시블 디스플레이(Flexible Display)에 적용하고 있는 라미네이션(Lamination) 공정에서 광학성 고분자 필름(OCA)를 이용한 라미네이션(Lamination) 공정이 사용되고 있다. 이는 재료비가 비싼 단점 및 불량이 나면 재작업이 어려운 단점을 가지고 있다. 이를 해결하기 위해 슬릿(Slit) 라미네이션(Lamination) 공정개발이 필요하다. In general, a lamination process using an optical polymer film (OCA) is used in a lamination process applied to an organic light emitting diode (OLED) or a flexible display. This is disadvantageous in that it is difficult to rework if there are disadvantages and defects in materials cost. To solve this problem, it is necessary to develop a slit lamination process.

슬릿(Slit) 라미네이션(Lamination) 공정에서 중요한 특성은 코팅된 기판 평면상의 막 두께가 균일해야하는 특성이다. 그러나 종래에는 막의 균일도를 유지하기 위한 연구개발이 되고 있다. 막 균일도가 ±10%가 넘는 특성으로 생산하고 있는 현실로 디스플레이(Display)의 접합특성 및 광학특성에 종종 문제를 일으키곤 한다. An important characteristic in the slit lamination process is that the film thickness on the coated substrate plane must be uniform. However, in the past, research and development have been conducted to maintain uniformity of the film. The fact that film uniformity is more than ± 10% is a reality, which often causes problems in the junction and optical properties of displays.

이러한 문제를 해결하기 위하여 본 발명에서는 레진(Resin)이 출구로부터 나오는 노즐(Nozzle)의 형상을 유체역학 및 기하학적으로 최적화하여 문제를 해결하고자 하였다. 이렇게 함으로써 평면상에 코팅되는 레진(Resin) 라미네이션(Lamination)의 균일도를 균일하게 하여 기술의 한 단계 향상을 꾀하였다.In order to solve this problem, the present invention attempts to solve the problem by optimizing the geometry of the nozzles coming out from the outlet of the resin fluidly and geometrically. By doing so, the homogeneity of the resin lamination coated on the flat surface is made uniform, thereby improving the technology one step.

한국등록특허공보 제1219737호(2013.01.02)Korean Patent Registration No. 1219737 (Feb.

이에 본 발명은 상기와 같은 종래의 제반 문제점을 해소하기 위해 제안된 것으로, 본 발명의 목적은 평면상에 코팅되는 레진(Resin) 라미네이션(Lamination)의 균일도를 균일하게 하는 기술을 제시하는 데 있다.Accordingly, the present invention has been made in order to solve the problems of the related art as described above, and it is an object of the present invention to provide a technique for uniformizing the uniformity of resin lamination coated on a plane.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 기술적 사상에 의한 레진 도포 장치는, 투입부와 저장부와 확산부와 균일도 유지부와 투출부를 포함하는 것을 그 기술적 구성상의 특징으로 한다. In order to achieve the above object, a resin coating apparatus according to the technical idea of the present invention is characterized in that it includes a charging unit, a storage unit, a diffusion unit, a uniformity maintaining unit, and a projection unit.

투입부는 투입구에 도포하고자 하는 일정 양의 도포제를 투입하고, 저장부는 투입된 도포제를 일시적으로 저장한다. 확산부는 저장된 도포제를 노즐(Nozzle) 내부 전체에 확산하도록 유도하고, 균일도 유지부는 확산된 도포제의 속도와 압력을 균일하게 한다. 투출부는 균일해진 레진(Resin)을 투출하는 것을 그 기술적 구성상의 특징으로 한다. The dosing unit injects a certain amount of the coating agent to be applied to the injection port, and the storage unit temporarily stores the applied coating agent. The diffusion part guides the stored coating agent to the entire inside of the nozzle, and the uniformity maintaining part uniformizes the speed and pressure of the dispersed coating agent. It is a technical feature of the projecting unit to emit a uniform resin.

본 발명에 있어서, 투입부는 저장부와 연결되는 높이로 노즐(Nozzle) 상측면 중앙에 부착한다.In the present invention, the charging unit is attached to the center of the upper side of the nozzle with a height connected to the storage unit.

저장부는 트랙(track) 형상이며, 폭 길이의 범위가 2mm~5mm일 때 높이 길이의 범위가 5mm~20mm이다.The storage portion is in the shape of a track and has a height range of 5 mm to 20 mm when the range of the width is 2 mm to 5 mm.

확산부는 저장부 하측에 위치하며, 저장부보다 상대적으로 체적을 작게 한 트랙(track) 형상이다. 확산부는 폭 길이의 범위가 5mm~20mm일 때 높이 길이의 범위가 10mm~40mm이다.The diffusing portion is located on the lower side of the storage portion and has a track shape in which the volume is relatively smaller than the storage portion. The diffusion portion has a height range of 10 mm to 40 mm when the range of the width is 5 mm to 20 mm.

균일도 유지부는 확산부 하측에 위치하며, 확산부보다 상대적으로 체적을 작게 한 트랙(track) 형상이다. 균일도 유지부는 폭 길이의 범위가 0.2mm~1mm일 때 높이 길이의 범위가 20mm~80mm이다.The uniformity maintaining portion is located on the lower side of the diffusion portion and has a track shape in which the volume is relatively smaller than the diffusion portion. The uniformity maintaining portion has a height length range of 20 mm to 80 mm when the range of the width length is 0.2 mm to 1 mm.

본 발명에 의한 레진 도포 장치에 따르면 다음과 같은 효과가 있게 된다.According to the resin coating apparatus of the present invention, the following effects can be obtained.

첫째, 레진(Resin)이 출구로부터 나오는 노즐(Nozzle)의 형상을 유체역학 및 기하학적으로 최적화하여 문제를 해결할 수 있다.First, Resin can solve the problem by optimizing the geometry of the nozzles coming out of the outlet fluidly and geometrically.

둘째, 노즐(Nozzle)의 형상을 최적화함으로써 평면상에 코팅되는 레진(Resin) 라미네이션(Lamination)의 균일도를 균일하게 할 수 있다.Second, by optimizing the shape of the nozzle, the homogeneity of the resin lamination coated on the plane can be made uniform.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 평면상에 레진(Resin)을 도포하는 노즐(Nozzle)의 사시도
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 레진(Resin) 도포를 -Y 방향으로 하는 노즐(Nozzle) 형상의 사시도
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 노즐(Nozzle)의 측면도
도 4a는 본 발명의 일실시예에 따른 레진(Resin)의 입력 값 0.2m/s일 때 노즐(Nozzle)의 투출부에서 노즐(Nozzle)의 위치별 레진(Resin)의 이동 속도 결과
도 4b는 본 발명의 일실시예에 따른 레진(Resin)의 입력 값 0.2m/s일 때 노즐(Nozzle)의 투출부에서 노즐(Nozzle)의 위치별 레진(Resin)의 압력 결과
도 5a는 본 발명의 일실시예에 따른 레진(Resin)의 입력 값 0.25m/s일 때 노즐(Nozzle)의 투출부에서 노즐(Nozzle)의 위치별 레진(Resin)의 이동 속도 결과
도 5b는 본 발명의 일실시예에 따른 레진(Resin)의 입력 값 0.25m/s일 때 노즐(Nozzle)의 투출부에서 노즐(Nozzle)의 위치별 레진(Resin)의 압력 결과
도 6a는 본 발명의 일실시예에 따른 레진(Resin)의 입력 값 0.35m/s일 때 노즐(Nozzle)의 투출부에서 노즐(Nozzle)의 위치별 레진(Resin)의 이동 속도 결과
도 6b는 본 발명의 일실시예에 따른 레진(Resin)의 입력 값 0.35m/s일 때 노즐(Nozzle)의 투출부에서 노즐(Nozzle)의 위치별 레진(Resin)의 압력 결과
도 7a는 본 발명의 일실시예에 따른 레진(Resin)의 입력 값 0.4m/s일 때 노즐(Nozzle)의 투출부에서 노즐(Nozzle)의 위치별 레진(Resin)의 이동 속도 결과
도 7b는 본 발명의 일실시예에 따른 레진(Resin)의 입력 값 0.4m/s일 때 노즐(Nozzle)의 투출부에서 노즐(Nozzle)의 위치별 레진(Resin)의 압력 결과1 is a perspective view of a nozzle for applying a resin on a substrate plane according to an embodiment of the present invention;
FIG. 2 is a perspective view of a nozzle-like shape in which the resin application is performed in the -Y direction according to an embodiment of the present invention.
3 is a side view of a nozzle according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4A is a graph illustrating a relationship between a moving speed of a resin according to a position of a nozzle in a discharge portion of a nozzle at an input value of 0.2 m / s of a resin according to an exemplary embodiment of the present invention,
FIG. 4B is a graph showing the relationship between the pressure of the resin according to the positions of the nozzles in the discharge portion of the nozzle when the input value of the resin is 0.2 m / s according to an embodiment of the present invention,
FIG. 5A is a graph illustrating a result of comparing a moving speed of a resin according to a position of a nozzle in a nozzle of a nozzle when an input value of a resin is 0.25 m / s according to an exemplary embodiment of the present invention
FIG. 5B is a graph illustrating the relationship between the pressure of the resin according to the positions of the nozzles in the discharge portion of the nozzle when the input value of the resin is 0.25 m / s according to an embodiment of the present invention,
FIG. 6A is a graph illustrating a relationship between a moving speed of a resin according to a position of a nozzle at a nozzle of a nozzle when an input value of a resin is 0.35 m / s according to an exemplary embodiment of the present invention,
FIG. 6B is a graph illustrating the relationship between the pressure of the resin according to the positions of the nozzles in the discharge portion of the nozzle when the input value of the resin is 0.35 m / s according to an embodiment of the present invention,
FIG. 7A is a graph showing a result of comparing a moving speed of a resin according to a position of a nozzle at a nozzle of a nozzle when an input value of a resin is 0.4 m / s according to an embodiment of the present invention
FIG. 7B is a graph showing the relationship between the pressure of the resin according to the positions of the nozzles in the discharge portion of the nozzle when the input value of the resin is 0.4 m / s according to an embodiment of the present invention,

첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 의한 레진 도포 장치에 대하여 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하거나, 개략적인 구성을 이해하기 위하여 실제보다 축소하여 도시한 것이다.A resin coating apparatus according to embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. It is to be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but on the contrary, is intended to cover all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged to illustrate the present invention, and are actually shown in a smaller scale than the actual dimensions in order to understand the schematic structure.

또한, 제1 및 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 한편, 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Also, the terms first and second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component. On the other hand, unless otherwise defined, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 평면상에 레진(Resin)을 도포하는 노즐(Nozzle)의 사시도이고, 1 is a perspective view of a nozzle for applying a resin on a substrate plane according to an embodiment of the present invention,

도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 레진(Resin) 도포를 -Y 방향으로 하는 노즐(Nozzle) 형상의 사시도이고, FIG. 2 is a perspective view of a nozzle shape in which a resin is applied in the -Y direction according to an embodiment of the present invention,

도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 노즐(Nozzle)의 측면도이고, 3 is a side view of a nozzle according to an embodiment of the present invention,

도 4a는 본 발명의 일실시예에 따른 레진(Resin)의 입력 값 0.2m/s일 때 노즐(Nozzle)의 투출부에서 노즐(Nozzle)의 위치별 레진(Resin)의 이동 속도 결과이고, 4A is a result of a moving speed of a resin according to a position of a nozzle in a discharge portion of a nozzle when an input value of a resin is 0.2 m / s according to an embodiment of the present invention,

도 4b는 본 발명의 일실시예에 따른 레진(Resin)의 입력 값 0.2m/s일 때 노즐(Nozzle)의 투출부에서 노즐(Nozzle)의 위치별 레진(Resin)의 압력 결과이고,4B is a pressure result of a resin according to a position of a nozzle in a discharge portion of a nozzle when an input value of a resin is 0.2 m / s according to an embodiment of the present invention,

도5a는 본 발명의 일실시예에 따른 레진(Resin)의 입력 값 0.25m/s일 때 노즐(Nozzle)의 투출부에서 노즐(Nozzle)의 위치별 레진(Resin)의 이동 속도 결과이고, 5A is a result of the movement speed of the resin according to the position of the nozzle in the discharge part of the nozzle when the input value of the resin is 0.25 m / s according to the embodiment of the present invention,

도 5b는 본 발명의 일실시예에 따른 레진(Resin)의 입력 값 0.25m/s일 때 노즐(Nozzle)의 투출부에서 노즐(Nozzle)의 위치별 레진(Resin)의 압력 결과이고, 5B is a pressure result of a resin according to a position of a nozzle in a discharge portion of a nozzle when an input value of a resin is 0.25 m / s according to an embodiment of the present invention,

도 6a는 본 발명의 일실시예에 따른 레진(Resin)의 입력 값 0.35m/s일 때 노즐(Nozzle)의 투출부에서 노즐(Nozzle)의 위치별 레진(Resin)의 이동 속도 결과이고, FIG. 6A is a result of a moving speed of a resin according to a position of a nozzle in a discharge portion of a nozzle when an input value of a resin is 0.35 m / s according to an embodiment of the present invention,

도 6b는 본 발명의 일실시예에 따른 레진(Resin)의 입력 값 0.35m/s일 때 노즐(Nozzle)의 투출부에서 노즐(Nozzle)의 위치별 레진(Resin)의 압력 결과이고, 6B is a pressure result of a resin according to a position of a nozzle in a discharge portion of a nozzle when an input value of a resin is 0.35 m / s according to an embodiment of the present invention,

도 7a는 본 발명의 일실시예에 따른 레진(Resin)의 입력 값 0.4m/s일 때 노즐(Nozzle)의 투출부에서 노즐(Nozzle)의 위치별 레진(Resin)의 이동 속도 결과이고, 7A is a result of a moving speed of a resin according to a position of a nozzle in a discharge portion of a nozzle when an input value of a resin is 0.4 m / s according to an embodiment of the present invention,

도 7b는 본 발명의 일실시예에 따른 레진(Resin)의 입력 값 0.4m/s일 때 노즐(Nozzle)의 투출부에서 노즐(Nozzle)의 위치별 레진(Resin)의 압력 결과이다.7B is a pressure result of a resin according to a position of a nozzle in a discharge portion of a nozzle when an input value of a resin is 0.4 m / s according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 레진 도포 장치의 노즐(Nozzle)(130)은, 투입구(131), 상단부의 노즐(Nozzle) 저장부(133), 중단부의 노즐(Nozzle) 확산부(135), 하단부의 노즐(Nozzle) 균일도 유지부(137), 투출구(139)로 구성된다.1 to 3, a nozzle 130 of a resin coating apparatus according to an embodiment of the present invention includes an inlet 131, a nozzle storage 133 at an upper end, (Nozzle) diffusion portion 135, a nozzle uniformity maintaining portion 137 at the lower end portion, and a discharge port 139.

투입구(131)는 투입구에 도포하고자 하는 일정 양의 레진(Resin)을 투입한다.The charging port 131 is charged with a certain amount of resin to be applied to the charging port.

노즐(Nozzle) 저장부(133)는 투입된 레진(Resin)을 일시적으로 저장한다.The nozzle storage unit 133 temporarily stores the loaded resin Resin.

노즐(Nozzle) 확산부(135)는 저장된 레진(Resin)을 노즐(Nozzle) 내부 전체에 확산하도록 유도한다.A nozzle diffuser 135 guides the stored resin to diffuse throughout the nozzle.

노즐(Nozzle) 균일도 유지부(137)는 확산된 레진(Resin)의 속도와 압력을 균일하게 한다.The nozzle uniformity holding unit 137 uniformizes the velocity and pressure of the diffused resin.

투출구(139)는 균일해진 레진(Resin)을 투출한다.The discharge port 139 discharges a uniform resin.

먼저 레진(Resin)은 투입구(131)로 투입한 후, 노즐(Nozzle)(130) 내부로 공급하여 노즐(Nozzle) 저장부(133), 노즐(Nozzle) 확산부(135) 및 노즐(Nozzle) 균일도 유지부(137)를 거친 다음, 투출구(139)로 투출하여 기판 표면을 코팅한다. 세부적으로 설명하면 레진 도포 장치는 x축 길이 방향으로 노즐(Nozzle)(130)의 부피를 형성하고, y축 길이 방향으로 노즐(Nozzle)(130)의 높이를 형성하고, z축 길이 방향으로 투입구(131)를 부착한다. First, the resin is injected into the injection port 131 and then supplied into the nozzle 130 to be supplied to the nozzle storage section 133, the nozzle diffusion section 135, and the nozzle (nozzle) After passing through the uniformity maintaining unit 137, the coating solution is discharged to the discharge port 139 to coat the surface of the substrate. Specifically, the resin application device forms the nozzle 130 in the longitudinal direction of the x-axis, forms the height of the nozzle 130 in the longitudinal direction of the y-axis, (131).

이 때, 투입구(131)는 노즐(Nozzle) 저장부(133)와 연결되는 높이로 노즐(Nozzle) 상측면 중앙에 부착한다. At this time, the injection port 131 is attached to the center of the upper side of the nozzle with the height connected to the nozzle storage part 133.

노즐(Nozzle) 저장부(133)는 점성을 가진 레진(Resin)이 모이도록 투입구(131)와 이어지는 부분은 곡선 형태이고 투출구(139) 방향으로 이어지는 부분은 직선 형태인 트랙(track) 형상이다. 이 때, 노즐(Nozzle) 저장부(133)는 노즐(Nozzle)(130) 입구로부터 레진(Resin)이 들어가서 노즐(Nozzle) 저장부(133) 내부에 전체적으로 퍼지도록 폭 길이의 범위를 5mm~20mm, 높이 길이의 범위를 10mm~40mm로 한다. 하지만 다양한 변화와 변경을 고려함에 따라 폭 길이의 범위가 변경될 경우, 높이 길이의 범위 또한 일정한 비율로 변하는 것을 고려해야한다.The nozzle storage portion 133 has a curve shape in which the resin 131 is connected to the inlet 131 so that the resin having viscosity can be collected and a track portion in the shape of a straight line leading to the discharge opening 139 . In this case, the nozzle storage portion 133 is formed to have a width ranging from 5 mm to 20 mm so that resin enters from the inlet of the nozzle 130 and spreads in the nozzle storage portion 133 as a whole. , And the height length range is 10 mm to 40 mm. However, considering the various changes and changes, if the range of the width length is changed, the range of the height length also needs to be changed at a constant rate.

노즐(Nozzle) 확산부(135)는 노즐(Nozzle) 저장부(133) 하측에 위치한다. 이 때, 노즐(Nozzle) 확산부(135)는 노즐(Nozzle) 저장부(133)에서 확산된 레진(Resin)이 균일한 속도와 압력을 가지도록 노즐(Nozzle) 저장부(133)보다 상대적으로 체적을 작게 한 트랙(track) 형상을 가진다. 이 때, 노즐(Nozzle) 확산부(135)는 노즐(Nozzle)(130) 내부에서 레진(Resin)의 전체적인 확산을 유도하며 노즐(Nozzle) 확산부(135)로 레진(Resin)이 퍼지도록 폭 길이의 범위를 2mm~5mm, 높이 길이의 범위를 5mm~20mm로 한다. 하지만 다양한 변화와 변경을 고려함에 따라 폭 길이의 범위가 변경될 경우, 높이 길이의 범위 또한 일정한 비율로 변하는 것을 고려해야한다.The nozzle diffusion portion 135 is located below the nozzle storage portion 133. In this case, the nozzle diffusion unit 135 is formed so that the resin diffused in the nozzle storage unit 133 is relatively in contact with the nozzle storage unit 133 so as to have a uniform velocity and pressure And has a track shape with a reduced volume. At this time, the nozzle diffuser 135 induces the overall diffusion of the resin in the nozzle 130, and diffuses the resin into the nozzle diffuser 135, The range of the length is 2 mm to 5 mm, and the range of the height is 5 mm to 20 mm. However, considering the various changes and changes, if the range of the width length is changed, the range of the height length also needs to be changed at a constant rate.

노즐(Nozzle) 균일도 유지부(137)는 노즐(Nozzle) 확산부(135) 하측에 위치한다. 노즐(Nozzle) 균일도 유지부(137)는 노즐(Nozzle) 확산부(135)보다 상대적으로 체적을 작게 한 트랙(track) 형상을 가진다. 이 때, 노즐(Nozzle) 균일도 유지부(137)는 레진(Resin)이 점성으로 인하여 저절로 -y축 방향을 향해 흘러내리지 않도록 폭 길이의 범위를 0.2mm~1mm, 높이 길이의 범위를 20mm~80mm로 한다. 하지만 다양한 변화와 변경을 고려함에 따라 폭 길이의 범위가 변경될 경우, 높이 길이의 범위 또한 일정한 비율로 변하는 것을 고려해야한다.The nozzle uniformity maintaining section 137 is located below the nozzle diffusion section 135. The nozzle uniformity maintaining section 137 has a track shape that is relatively smaller in volume than the nozzle diffusion section 135. In this case, the nozzle uniformity holding portion 137 is formed so that the range of the width length is 0.2 mm to 1 mm and the range of the height length is 20 mm to 80 mm so that the Resin does not spontaneously flow down toward the -y axis direction owing to viscosity. . However, considering the various changes and changes, if the range of the width length is changed, the range of the height length also needs to be changed at a constant rate.

도 4a 내지 도 4b를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 레진 도포 장치는 레진(Resin)의 입력 값이 0.2m/s일 때, 노즐(Nozzle)의 투출구(139)에서 노즐(Nozzle)의 위치별 레진(Resin)의 이동 속도 분포가 0.086m/s~0.096m/s로 균일하게 분포하며, 노즐(Nozzle)의 투출구(139)에서 노즐(Nozzle)의 위치별 레진(Resin)의 압력 분포는 3.6pascal~4.4pascal로 균일하게 분포한다.4A and 4B, a resin coating apparatus according to an embodiment of the present invention includes a nozzle (not shown) at a discharge port 139 of a nozzle when an input value of a resin is 0.2 m / s, And the resin is distributed uniformly at 0.096 m / s to 0.096 m / s, and the resin is distributed uniformly in the discharge port 139 of the nozzle at the position of the nozzle. The pressure distribution is uniformly distributed from 3.6 pascal to 4.4 pascal.

도 5a 내지 도 5b를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 레진 도포 장치는 레진(Resin)의 입력 값이 0.25m/s일 때, 노즐(Nozzle)의 투출구(139)에서 노즐(Nozzle)의 위치별 레진(Resin)의 이동 속도 분포가 0.11m/s~0.12m/s로 균일하게 분포하며, 노즐(Nozzle)의 투출구(139)에서 노즐(Nozzle)의 위치별 레진(Resin)의 압력 분포는 5.5pascal~6.8pascal로 균일하게 분포한다.5A and 5B, a resin coating apparatus according to an embodiment of the present invention includes a nozzle (not shown) at a discharge port 139 of a nozzle when an input value of a resin is 0.25 m / And the resin is distributed uniformly at a rate of 0.11 m / s to 0.12 m / s, and resin is injected at a discharge port 139 of the nozzle at a position of the nozzle, The pressure distribution is uniformly distributed from 5.5 pascal to 6.8 pascal.

도 6a 내지 도 6b를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 레진 도포 장치는 레진(Resin)의 입력 값이 0.35m/s일 때, 노즐(Nozzle)의 투출구(139)에서 노즐(Nozzle)의 위치별 레진(Resin)의 이동 속도 분포가 0.15m/s~0.17m/s로 균일하게 분포하며, 노즐(Nozzle)의 투출구(139)에서 노즐(Nozzle)의 위치별 레진(Resin)의 압력 분포는 11pascal~13pascal로 균일하게 분포한다.6A and 6B, a resin coating apparatus according to an embodiment of the present invention includes a nozzle (not shown) at a discharge port 139 of a nozzle when an input value of a resin is 0.35 m / s, ) Is uniformly distributed in the range of 0.15 m / s to 0.17 m / s, and the resin distribution of the nozzle (nozzle) The pressure distribution is uniformly distributed from 11 pascal to 13 pascal.

도 7a 내지 도 7b를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 레진 도포 장치는 레진(Resin)의 입력 값이 0.4m/s일 때, 노즐(Nozzle)의 투출구(139)에서 노즐(Nozzle)의 위치별 레진(Resin)의 이동 속도 분포가 0.17m/s~0.19m/s로 균일하게 분포하며, 노즐(Nozzle)의 투출구(139)에서 노즐(Nozzle)의 위치별 레진(Resin)의 압력 분포는 14pascal~17pascal로 균일하게 분포한다.7A and 7B, a resin coating apparatus according to an embodiment of the present invention includes a nozzle (not shown) at a discharge port 139 of a nozzle when an input value of a resin is 0.4 m / s, And the resin is distributed uniformly at a rate of 0.17 m / s to 0.19 m / s. Resin of the nozzles is positioned at a discharge port 139 of the nozzle, The pressure distribution is uniformly distributed from 14 pascal to 17 pascal.

도 4a 내지 도 7b를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 레진 도포 장치의 막 두께의 균일도 편차는 ±2% 이내로 ±10%인 기존 노즐의 막 두께의 균일도 편차와 비교했을 때 기존 노즐보다 일정한 박막의 균일도를 가진다.4A to 7B, it can be seen that the unevenness in film thickness uniformity of the resin coating apparatus according to the embodiment of the present invention is less than ± 10% And has uniform thickness uniformity.

이상에서 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였으나, 본 발명은 다양한 변화와 변경 및 균등물을 사용할 수 있다. 본 발명은 상기 실시예를 적절히 변형하여 동일하게 응용할 수 있음이 명확하다. 따라서 상기 기재 내용은 하기 특허청구범위의 한계에 의해 정해지는 본 발명의 범위를 한정하는 것이 아니다. While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. It is clear that the present invention can be suitably modified and applied in the same manner. Therefore, the above description does not limit the scope of the present invention, which is defined by the limitations of the following claims.

130 : 노즐(Nozzle) 131 : 투입구
133 : 노즐(Nozzle) 저장부 135 : 노즐(Nozzle) 확산부
137 : 노즐(Nozzle) 균일도 유지부 139 : 투출구130: Nozzle 131: Inlet port
133: Nozzle storage part 135: Nozzle diffusion part
137: Nozzle uniformity maintaining unit 139:

Claims (10)

평판 디스플레이 기판에 대하여 레진을 도포제로 하여 도포하는 레진 도포 장치에 있어서,
투입구를 구비하여 도포하고자 하는 일정 양의 도포제를 투입할 수 있도록 한 투입부;
상기 투입부를 통해 투입된 도포제를 일시적으로 저장하는 저장부;
상기 저장부의 하측으로 연장 형성되어 상기 저장부에서 일시적으로 저장되었던 도포제를 공급받되, 상기 저장부보다 좁은 폭과 작은 체적을 갖도록 형성되어 상기 저장부에서 공급되는 도포제가 내부 전체에 확산되도록 유도하는 확산부;
상기 확산부의 하측으로 연장 형성되어 상기 확산부에서 확산된 도포제를 공급받으며, 상기 확산부보다 좁은 폭을 갖도록 형성되되 상기 확산부에서 공급되는 도포제가 저절로 흘러내리지 않는 일정 폭 이하의 폭으로 형성되어 도포제의 속도와 압력을 균일하게 형성하는 균일도 유지부;
및 투출구를 구비하여 상기 균일도 유지부에서 속도와 압력이 균일해진 레진(Resin)을 투출하는 투출부;를 포함하며,
상기 투입부는 수평하게 형성되어 상기 저장부의 상단부 중앙에 직교하게 연결되며,
상기 저장부는, 상기 투입부와 연결된 상단부가 하측으로 갈수록 점진적으로 폭이 넓어지는 곡면으로 형성되고 상기 확산부와 연결된 하단부는 하측으로 갈수록 점진적으로 폭이 좁아지는 곡면으로 형성되며, 상단부와 하단부 중간에는 일정한 폭으로 유지되는 영역이 형성된 트랙(track) 형상으로 이루어지며,
상기 확산부는, 상단부로부터 하단부에 이르기까지 일정 폭을 유지하다가 하단부에 이르러서는 점진적으로 폭이 좁아지는 곡면으로 형성되어 도포제를 균일도 유지부로 안내하도록 하며,
상기 저장부는 폭 길이의 범위가 5mm~20mm에 속하고, 상기 확산부 폭은 상기 저장부 폭의 25%~40% 범위에 속하며, 상기 균일도 유지부 폭은 상기 확산부 폭의 10%~20% 범위에 속하도록 형성된 것을 특징로 하는 레진 도포 장치.A resin coating apparatus for coating a flat display substrate with resin as a coating agent,
A charging unit having a charging port for charging a predetermined amount of a coating agent to be applied;
A storage unit for temporarily storing the coating agent introduced through the charging unit;
A diffusion which is formed to extend downward from the storage part and is supplied with the coating agent temporarily stored in the storage part and has a smaller width and a smaller volume than the storage part to induce diffusion of the coating agent supplied from the storage part part;
The diffusion member is formed to extend downward from the diffusion unit and is supplied with the diffusion agent diffused by the diffusion unit. The diffusion agent is formed to have a narrower width than the diffusion unit. The diffusion agent has a width less than a predetermined width, A uniformity maintaining unit for uniformly forming a velocity and a pressure of the fluid;
And a discharging unit having a discharge port for discharging a resin having a uniform velocity and pressure in the uniformity maintaining unit,
Wherein the charging unit is formed horizontally and connected to the center of the upper end of the storage unit at right angles,
The storage unit may be formed as a curved surface that gradually increases in width as the upper end connected to the charging unit is lowered, and a lower end connected to the diffusion unit is formed as a curved surface that gradually decreases in width toward the lower side. And is formed in a track shape in which a region maintained at a constant width is formed,
The diffusion portion is formed to be a curved surface which gradually keeps a width from the upper end portion to the lower end portion and gradually narrows down to the lower end portion, thereby guiding the coating agent to the uniformity maintaining portion,
Wherein the width of the reservoir is in the range of 25% to 40% of the width of the reservoir, the width of the reservoir is in the range of 10% to 20% of the width of the reservoir, Of the resin coating device. 삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 확산부는, 폭 길이의 범위가 2mm~5mm일 때 높이 길이의 범위가 5mm~20mm인 것을 특징으로 하는 레진 도포 장치.The method according to claim 1,
Wherein the diffusion section has a height length range of 5 mm to 20 mm when the width is in the range of 2 mm to 5 mm. 삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 저장부는, 폭 길이의 범위가 5mm~20mm일 때 높이 길이의 범위가 10mm~40mm에 속한 것을 특징으로 하는 레진 도포 장치.The method according to claim 1,
Wherein the storage unit has a height ranging from 10 mm to 40 mm when the width is in the range of 5 mm to 20 mm. 삭제delete 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 균일도 유지부는, 폭 길이의 범위가 0.2mm~1mm일 때 높이 길이의 범위가 20mm~80mm에 속한 것을 특징으로 하는 레진 도포 장치.


The method according to claim 1,
Wherein the uniformity holding section has a height ranging from 20 mm to 80 mm when the width is in the range of 0.2 mm to 1 mm.


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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2000051777A (en) * 1998-08-11 2000-02-22 Kao Corp Coating method
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