KR100966089B1 - Thin film coating apparatus - Google Patents

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Abstract

박막 코팅 장치가 개시된다. 본 발명의 박막 코팅 장치는, 작업 대상물에 약액을 도포하는 슬릿 다이; 및 슬릿 다이에 약액을 공급하기 위한 약액 공급유닛을 포함하며, 약액 공급유닛은, 약액이 저장되는 약액 저장탱크; 및 약액 저장탱크로부터 이송되는 약액을 슬릿 다이에 주입하기 위한 튜브조립체가 내부에 마련되는 약액 주입챔버를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 슬릿 다이에 주입되는 약액의 오염을 방지하면서도 미리 정해진 양만큼의 약액을 보다 정확하고 정밀하게 슬릿 다이에 주입할 수 있다.Thin film coating apparatus is disclosed. The thin film coating apparatus of this invention is a slit die which apply | coats a chemical | medical solution to a workpiece | work object; And a chemical liquid supply unit for supplying a chemical liquid to the slit die, the chemical liquid supply unit comprising: a chemical liquid storage tank in which the chemical liquid is stored; And a chemical liquid injection chamber in which a tube assembly for injecting the chemical liquid transferred from the chemical liquid storage tank into the slit die is provided therein. According to the present invention, a predetermined amount of chemical liquid can be injected into the slit die more accurately and precisely while preventing contamination of the chemical liquid injected into the slit die.

Description

박막 코팅 장치{THIN FILM COATING APPARATUS}Thin Film Coating Equipment {THIN FILM COATING APPARATUS}

본 발명은, 슬릿 다이를 이용한 박막 코팅 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 슬릿 다이에 정량의 약액을 주입하기 위한 구조에 관한 것이다.The present invention relates to a thin film coating apparatus using a slit die, and more particularly, to a structure for injecting a chemical solution in a slit die.

일반적으로, 슬릿 다이(Slit Die)를 이용하는 박막 코팅 장치(혹은 슬릿 코터(Slit Coater)는, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Diplay Panel), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등과 같은 평판 디스플레이 패널의 제조 과정이나 태양전지 및 그 모듈의 제조 과정 등에서 작업 대상물인 기재(혹은 기판)의 표면에 슬릿 다이에 형성된 슬릿을 통해 약액(코팅액)을 도포하여 박막을 형성하는 장치를 말한다.In general, a thin film coating apparatus (or a slit coater) using a slit die is a flat panel display panel such as a liquid crystal display (LCD), a plasma diplay panel (PDP), organic light emitting diodes (OLED), or the like. Refers to an apparatus for forming a thin film by applying a chemical liquid (coating liquid) through a slit formed in a slit die on the surface of a substrate (or substrate), which is a work object, in a manufacturing process or a manufacturing process of a solar cell and the module thereof.

이러한 박막 코팅 장치의 슬릿 다이는 기재의 표면으로부터 미리 정해진 간격으로 이격 배치된 상태에서 슬릿 다이에 주입되는 약액을 슬릿을 통해 기재의 표면에 도포한다. 이때, 박막 코팅 장치는 슬릿 다이가 기재의 선단부에서 후단부를 향하여 일정 속도로 이동하거나, 슬릿 다이의 위치는 고정시키는 대신에 기재가 일정 속도로 이동하도록 구성될 수 있다.The slit die of such a thin film coating apparatus applies the chemical liquid injected into the slit die to the surface of the substrate through the slit while being spaced apart from the surface of the substrate at predetermined intervals. In this case, the thin film coating apparatus may be configured such that the slit die moves at a constant speed from the leading end of the substrate toward the rear end, or the substrate moves at a constant speed instead of fixing the position of the slit die.

한편, 슬릿 다이를 이용한 박막 코팅 장치에서 기재의 표면에 설정된 두께로 균일하게 약액을 도포하기 위해서는, 무엇보다도 슬릿 다이에 미리 정해진 양(정량)만큼의 약액이 정확하게 주입되어야 한다.On the other hand, in order to apply the chemical liquid uniformly to the thickness set on the surface of the substrate in the thin film coating apparatus using the slit die, first of all, a predetermined amount (quantity) of the chemical liquid must be accurately injected into the slit die.

그런데, 종래의 박막 코팅 장치 대부분은 약액 주입펌프를 통해 슬릿 다이에 직접 약액을 주입하는 방식을 적용하고 있기 때문에, 슬릿 다이에 약액을 주입하는 과정에서 맥동 현상이 발생할 수 있으며 슬릿 다이에 주입되는 약액의 양을 미세하게 조절할 수 없다. 이에 따라, 펌프 주입방식의 종래의 박막 코팅 장치는 슬릿 다이에 미리 정해진 양만큼의 약액을 정확하게 주입하기 어렵다는 문제점이 있었다.However, since the conventional thin film coating apparatus applies a method of directly injecting a chemical liquid into the slit die through a chemical liquid injection pump, pulsation may occur in the process of injecting the chemical liquid into the slit die and the chemical liquid injected into the slit die. You cannot finely adjust the amount of. Accordingly, the conventional thin film coating apparatus of the pump injection method has a problem that it is difficult to accurately inject a predetermined amount of the chemical liquid to the slit die.

본 발명의 목적은, 슬릿 다이에 주입되는 약액의 오염을 방지하면서도 미리 정해진 양만큼의 약액을 보다 정확하고 정밀하게 슬릿 다이에 주입할 수 있는 박막 코팅 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a thin film coating apparatus capable of injecting a predetermined amount of chemical liquid into a slit die more accurately and precisely while preventing contamination of the chemical liquid injected into the slit die.

본 발명의 다른 목적은, 하나의 슬릿 다이를 통해서도 서로 다른 성분을 갖는 두 가지 이상의 약액을 작업 대상물에 동시에 도포할 수 있는 박막 코팅 장치를 제공하는 것이다.It is another object of the present invention to provide a thin film coating apparatus capable of simultaneously applying two or more chemical liquids having different components even through one slit die to a workpiece.

상기 목적은, 작업 대상물에 약액을 도포하는 슬릿 다이; 및 상기 슬릿 다이에 상기 약액을 공급하기 위한 약액 공급유닛을 포함하며, 상기 약액 공급유닛은, 상기 약액이 저장되는 약액 저장탱크; 및 상기 약액 저장탱크로부터 이송되는 상기 약액을 상기 슬릿 다이에 주입하기 위한 튜브조립체가 내부에 마련되는 약액 주입 챔버를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅 장치에 의해서 달성된다.The object is a slit die for applying a chemical to the workpiece; And a chemical liquid supply unit for supplying the chemical liquid to the slit die, wherein the chemical liquid supply unit comprises: a chemical liquid storage tank in which the chemical liquid is stored; And a chemical liquid injection chamber in which a tube assembly for injecting the chemical liquid transferred from the chemical liquid storage tank into the slit die is provided therein.

여기서, 상기 튜브조립체는, 상기 약액 저장탱크로부터 이송되는 상기 약액이 채워지는 신축 가능한 주름식 튜브를 포함할 수 있다.Here, the tube assembly may include a stretchable corrugated tube filled with the chemical liquid transferred from the chemical liquid storage tank.

상기 튜브조립체는, 상기 주름식 튜브의 수축 동작에 의해 상기 주름식 튜브의 내부에 채워진 상기 약액을 상기 슬릿 다이에 주입할 수 있다.The tube assembly may inject the chemical liquid filled in the corrugated tube into the slit die by the contracting operation of the corrugated tube.

상기 박막 코팅 장치는, 상기 주름식 튜브를 수축시키도록 상기 약액 주입챔버의 내부에 압축기체를 공급하는 압축기체 공급기를 더 포함할 수 있다.The thin film coating apparatus may further include a compressor body supplier for supplying a compressor body into the chemical liquid injection chamber to shrink the corrugated tube.

상기 튜브조립체는, 상기 주름식 튜브의 일단부에 결합되고, 상기 약액 주입챔버의 내부에서 고정되는 고정 플레이트; 및 상기 주름식 튜브의 타단부에 결합되고, 상기 약액 주입챔버의 내부에서 상기 주름식 튜브의 길이 방향으로 이동 가능하게 마련되는 이동 플레이트를 더 포함할 수 있다.The tube assembly may include: a fixing plate coupled to one end of the corrugated tube and fixed inside the chemical injection chamber; And a moving plate coupled to the other end of the corrugated tube and provided to be movable in the longitudinal direction of the corrugated tube in the chemical liquid injection chamber.

상기 이동 플레이트는, 상기 약액 주입챔버의 내부에 상기 압축기체가 공급됨에 따라 상기 고정 플레이트 쪽 방향으로 이동하여 상기 주름식 튜브를 수축시킬 수 있다.The moving plate may move in a direction toward the fixed plate to contract the corrugated tube as the compressor body is supplied into the chemical injection chamber.

상기 이동 플레이트는, 상기 약액 주입챔버의 내부를 2개의 내부공간으로 구획하고, 상기 압축기체 공급기는, 상기 2개의 내부공간 중 상기 주름식 튜브가 배치되지 않은 내부공간에 압축기체를 공급할 수 있다.The moving plate may divide the inside of the chemical liquid injection chamber into two internal spaces, and the compressor body supplier may supply a compressor body to an internal space in which the corrugated tube is not disposed among the two internal spaces.

상기 박막 코팅 장치는, 상기 튜브조립체의 위치를 감지하도록 상기 약액 주입챔버에 마련되는 센서 모듈을 더 포함할 수 있다.The thin film coating apparatus may further include a sensor module provided in the chemical liquid injection chamber to detect the position of the tube assembly.

상기 다른 목적은, 본 발명에 따라, 작업 대상물에 제1 약액 및 제2 약액을 도포하는 슬릿 다이; 상기 슬릿 다이에 상기 제1 약액을 공급하기 위한 제1 약액 공급유닛; 및 상기 슬릿 다이에 상기 제2 약액을 공급하기 위한 제2 약액 공급유닛을 포함하며, 상기 제1 약액 공급유닛 및 상기 제2 약액 공급유닛 각각은, 상기 제1 약액 또는 제2 약액이 저장되는 약액 저장탱크; 및 상기 약액 저장탱크로부터 이송되는 상기 제1 약액 또는 상기 제2 약액을 상기 슬릿 다이에 주입하기 위한 튜브조립체가 내부에 마련되는 약액 주입챔버를 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅 장치에 의해 달성된다.The other object is, according to the present invention, a slit die for applying the first chemical and the second chemical to the workpiece; A first chemical liquid supply unit for supplying the first chemical liquid to the slit die; And a second chemical liquid supply unit for supplying the second chemical liquid to the slit die, wherein each of the first chemical liquid supply unit and the second chemical liquid supply unit includes a chemical liquid in which the first chemical liquid or the second chemical liquid is stored. Storage tank; And a chemical liquid injection chamber in which a tube assembly for injecting the first chemical liquid or the second chemical liquid transferred from the chemical liquid storage tank into the slit die is provided therein.

여기서, 상기 슬릿 다이는, 상기 제1 약액이 토출되는 제1 슬릿을 갖는 제1 다이블록과, 상기 제1 다이블록과 일체로 형성되고 상기 제2 약액이 토출되는 제2 슬릿을 갖는 제2 다이블록을 포함하며, 상기 제1 슬릿과 상기 제2 슬릿은, 상기 제1 약액과 상기 제2 약액이 서로 섞이지 않도록 상호 분리 형성되고, 상기 제1 약액과 상기 제2 약액은, 서로 다른 성분을 가질 수 있다.Here, the slit die is a second die having a first die block having a first slit through which the first chemical liquid is discharged, and a second slit formed integrally with the first die block and through which the second chemical liquid is discharged. And a block, wherein the first slit and the second slit are formed to be separated from each other so that the first and second chemicals do not mix with each other, and the first and second chemicals have different components. Can be.

상기 제2 다이블록은, 상기 제1 다이블록의 일단부로부터 상기 다이블록의 길이 방향으로 연장될 수 있다.The second die block may extend in a length direction of the die block from one end of the first die block.

상기 튜브조립체는, 상기 약액 저장탱크로부터 이송되는 상기 제1 약액 또는 상기 제2 약액이 채워지는 신축 가능한 주름식 튜브를 포함할 수 있다.The tube assembly may include a flexible corrugated tube filled with the first chemical liquid or the second chemical liquid transferred from the chemical liquid storage tank.

상기 튜브조립체는, 상기 주름식 튜브의 수축 동작에 의해 상기 주름식 튜브의 내부에 채워진 상기 제1 약액 또는 상기 제2 약액을 상기 슬릿 다이에 주입할 수 있다.The tube assembly may inject the first chemical liquid or the second chemical liquid filled into the corrugated tube by the contracting operation of the corrugated tube into the slit die.

상기 박막 코팅 장치는, 상기 주름식 튜브를 수축시키도록 상기 약액 주입챔 버의 내부에 압축기체를 공급하는 압축기체 공급기를 더 포함할 수 있다.The thin film coating apparatus may further include a compressor body supplier for supplying a compressor body into the chemical liquid injection chamber to shrink the corrugated tube.

상기 슬릿 다이는 상기 작업 대상물에 제3 약액을 더 도포하며, 상기 박막 코팅 장치는 상기 슬릿 다이에 상기 제3 약액을 공급하기 위한 제3 약액 공급유닛을 더 포함할 수 있다.The slit die may further apply a third chemical liquid to the workpiece, and the thin film coating apparatus may further include a third chemical liquid supply unit for supplying the third chemical liquid to the slit die.

본 발명은, 약액 주입펌프를 통해 슬릿 다이에 직접 약액을 주입하는 종래 기술과 다르게, 약액 주입챔버의 내부에 설치되고 신축 가능한 주름식 튜브를 포함한 튜브조립체를 통해 슬릿 다이에 약액을 주입함으로써, 약액 주입시 맥동 현상이 발생하지 않으며 슬릿 다이에 주입되는 약액의 양을 미세하게 조절할 수 있으므로, 미리 정해진 양만큼의 약액을 보다 정확하고 정밀하게 슬릿 다이에 주입할 수 있다.The present invention, unlike the prior art that injects the chemical directly into the slit die through the chemical injection pump, by injecting the chemical into the slit die through a tube assembly including a flexible corrugated tube installed inside the chemical injection chamber, Since the pulsation phenomenon does not occur during injection and the amount of the chemical liquid injected into the slit die can be finely adjusted, a predetermined amount of chemical liquid can be injected into the slit die more accurately and precisely.

또한, 본 발명은, 약액 주입챔버의 내부에 설치된 튜브조립체의 주름식 튜브를 수축시키기 위한 구동력을 약액 주입챔버의 내부에 공급되는 압축기체에 의해 제공함으로써, 미세한 압력으로 주름식 튜브의 수축 정도를 조절할 수 있으므로, 미리 정해진 양만큼의 약액을 보다 정확하고 정밀하게 슬릿 다이에 주입할 수 있다.In addition, the present invention provides a driving force for shrinking the corrugated tube of the tube assembly provided inside the chemical liquid injection chamber by the compressor body supplied inside the chemical liquid injection chamber, thereby reducing the degree of shrinkage of the corrugated tube at a minute pressure. Since it is adjustable, a predetermined amount of chemical liquid can be injected into the slit die more accurately and precisely.

또한, 본 발명은, 압축기체가 공급되는 약액 주입챔버의 내부에 약액이 직접 채워지는 것이 아니라, 약액 주입챔버의 내부에 별도로 설치된 튜브조립체에 약액이 채워지도록 구성함으로써, 약액 주입챔버의 내부에서 약액이 압축기체와 접촉 반응하여 오염되는 것을 방지할 수 있는 한편, 약액 주입챔버의 벽면에 고가인 약 액이 묻어서 발생하는 손실을 없애고, 주기적으로 약액 주입챔버의 내부를 세척해야하는 불편함을 해결할 수 있다. 아울러, 필요시 튜브조립체만을 교체하여 다양한 종류의 약액을 슬릿 다이에 주입하는 것이 가능하다.In addition, the present invention is configured to fill the chemical liquid in the tube assembly provided separately in the chemical liquid injection chamber, rather than directly filling the chemical liquid in the chemical liquid injection chamber to which the compressor body is supplied, thereby providing a chemical liquid in the chemical liquid injection chamber. Contamination can be prevented by contacting with the compressor body, while eliminating the loss caused by the expensive chemical liquid on the wall of the chemical liquid injection chamber, and solving the inconvenience of periodically cleaning the interior of the chemical liquid injection chamber. . In addition, it is possible to inject various types of chemical liquid into the slit die by replacing only the tube assembly if necessary.

또한, 본 발명은, 하나의 슬릿 다이와, 이에 두 가지 이상의 약액을 각각 공급하는 둘 이상의 약액 공급유닛을 포함함으로써, 하나의 슬릿 다이를 통해서도 서로 다른 성분을 갖는 두 가지 이상의 약액을 작업 대상물에 동시에 도포할 수 있다.In addition, the present invention includes one slit die and two or more chemical liquid supply units respectively supplying two or more chemical liquids, thereby simultaneously applying two or more chemical liquids having different components through one slit die to the workpiece. can do.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, the operational advantages of the present invention, and the objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention and the contents described in the accompanying drawings.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 다만, 본 발명을 설명함에 있어서 이미 공지된 기능 혹은 구성에 대한 설명은, 본 발명의 요지를 명료하게 하기 위하여 생략하기로 한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the following description, well-known functions or constructions are not described in order to avoid unnecessary obscuration of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 코팅 장치의 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1의 박막 코팅 장치에서 슬릿 다이의 개략적인 사시도이며, 도 3은 튜브조립체의 수축 상태에서 도 1의 약액 주입챔버의 개략적인 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram of a thin film coating apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2 is a schematic perspective view of a slit die in the thin film coating apparatus of Figure 1, Figure 3 is a contraction state of the tube assembly Figure 1 It is a schematic block diagram of the chemical liquid injection chamber.

도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 박막 코팅 장치(1)는, 작업 대상물(W, 혹은 기재)에 약액(혹은 코팅액)을 도포하는 슬릿 다이(10, Slit Die)와, 슬릿 다 이(10)에 약액을 미리 정해진 양(정량)으로 공급하기 위한 약액 공급유닛(100)을 포함한다. 약액 공급유닛(100)은 약액이 저장되는 약액 저장탱크(110)와, 약액 저장탱크(110)로부터 이송되는 약액을 슬릿 다이(10)에 주입하기 위한 튜브조립체(140)가 내부에 마련되는 약액 주입챔버(130)와, 약액 저장탱크(110)에 저장된 약액을 튜브조립체(140)로 이송시키는 약액 이송펌프(120)와, 약액 주입챔버(130)의 내부에 압축기체를 공급하는 압축기체 공급기(150)를 포함한다.Referring to FIG. 1, the thin film coating apparatus 1 according to the present embodiment includes a slit die 10 and a slit die for applying a chemical liquid (or a coating liquid) to a work object W or a substrate. 10) a chemical liquid supply unit 100 for supplying the chemical liquid in a predetermined amount (quantity). The chemical liquid supply unit 100 is a chemical liquid storage tank 110 in which the chemical liquid is stored, and a tube assembly 140 for injecting the chemical liquid transferred from the chemical liquid storage tank 110 into the slit die 10 is provided therein. Injection chamber 130, the chemical liquid storage pump 110 for transferring the chemical liquid stored in the chemical storage tank 110 to the tube assembly 140, and the compressor body feeder for supplying a compressor body in the chemical liquid injection chamber 130 And 150.

도 1 및 도 2를 참조하면, 슬릿 다이(10)는 작업 대상물(W)의 표면으로부터 미리 정해진 간격으로 이격 배치되고, 작업 대상물(W)의 선단부에서 후단부를 향하여 일정 속도로 이동하면서 작업 대상물(W)의 표면에 약액을 도포한다. 이와 다르게, 슬릿 다이(10)는 위치 고정되고 작업 대상물(W)이 이동하도록 구성될 수 있다.1 and 2, the slit die 10 is spaced apart from the surface of the workpiece W at a predetermined interval, and moves at a predetermined speed from the leading end of the workpiece W toward the rear end thereof. The chemical liquid is applied to the surface of W). Alternatively, the slit die 10 may be fixed in position and configured to allow the workpiece W to move.

슬릿 다이(10)는 긴 막대 형상으로, 약액 공급유닛(100)의 약액 주입관(101)이 결합되는 주입구(10b)와, 소정의 간극(gap)으로 형성되어 주입구(10b)를 통해 주입되는 약액을 작업 대상물(W)의 표면에 토출하는 슬릿(10a)을 포함한다. 이때, 약액 주입관(101)은 슬릿 다이(10)와 약액 주입챔버(130)의 튜브조립체(140)를 연결한다. 약액 주입관(101) 상에는 그 유로를 개폐시키기 위한 제1 밸브(102)와 약액 주입관(101)을 통해 주입되는 약액의 유량을 측정하기 위한 유량계(107)가 설치된다. 제1 밸브(102)는 전자석의 코일에 전류를 흘리면 가동 철편이 당겨져 밸브가 열리고, 전류를 끊으면 용수철의 복원력으로 밸브가 닫히는 전자 밸브로 마련될 수 있다.The slit die 10 has an elongated rod shape, and is formed with an injection hole 10b to which the chemical liquid injection tube 101 of the chemical liquid supply unit 100 is coupled, and a predetermined gap, and is injected through the injection hole 10b. The slit 10a which discharges a chemical | medical solution on the surface of the workpiece | work object W is included. In this case, the chemical injection tube 101 connects the slit die 10 and the tube assembly 140 of the chemical injection chamber 130. On the chemical liquid inlet tube 101, a first valve 102 for opening and closing the flow path and a flow meter 107 for measuring the flow rate of the chemical liquid injected through the chemical liquid inlet tube 101 are provided. The first valve 102 may be provided as a solenoid valve in which a moving iron piece is pulled open when a current flows through a coil of an electromagnet, and a valve is closed by restoring force of a spring when the current is cut off.

여기서, '작업 대상물(W)'은 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Diplay Panel), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등과 같은 평판 디스플레이 패널의 제조에 사용되는 기판이거나 태양전지 및 태양전지 모듈의 제조에 사용되는 기판 등일 수 있다. 그리고, '약액'은 작업 대상물(W)의 표면에 박막을 형성하기 위한 액체 상태의 물질로, 예컨대 작업 대상물(W)에 식각 공정을 수행하기 위해 작업 대상물(W)의 표면에 도포되는 포토 레지스트(Photo Resistor)이거나 작업 대상물(W)의 표면에 박막 전극을 형성하기 위한 전도성 물질, 광 흡수층 물질 등일 수 있다.Here, the 'work object (W)' is a substrate used in the manufacture of flat panel display panels such as liquid crystal displays (LCDs), plasma diplay panels (PDPs), organic light emitting diodes (OLEDs), or the like of solar cells and solar cell modules. Substrates used for manufacturing, and the like. In addition, the 'chemical liquid' is a liquid substance for forming a thin film on the surface of the workpiece W, for example, a photoresist applied to the surface of the workpiece W to perform an etching process on the workpiece W. Or a conductive material for forming a thin film electrode on the surface of the workpiece W, a light absorbing layer material, or the like.

도 1을 참조하면, 약액 저장탱크(110)는 그 내부에 액체 상태의 약액이 저장되며, 약액 이송관(103)을 통해 약액 주입챔버(130)의 튜브조립체(140)와 연결된다. 이때, 약액이 소정의 점성을 갖는 경우, 약액 저장탱크(110)에는 그 내부에 저장된 약액을 일정 간격으로 휘저어주는 교반기(미도시)가 설치되는 것이 바람직하다. 약액 이송펌프(120)는 약액 저장탱크(110)와 약액 주입챔버(130)의 튜브조립체(140)를 연결하는 약액 이송관(103) 상에 설치된다. 약액 이송펌프(120)는 약액 저장탱크(110)에 저장된 약액을 약액 이송관(103)을 따라 튜브조립체(140)로 이송시킨다. 즉, 약액 이송펌프(120)는 약액 저장탱크(110)에 저장된 약액을 튜브조립체(140)로 이송시키기 위한 소정을 압력을 제공한다.Referring to FIG. 1, the chemical liquid storage tank 110 stores a chemical liquid in a liquid state and is connected to the tube assembly 140 of the chemical liquid injection chamber 130 through the chemical liquid transport tube 103. At this time, when the chemical liquid has a predetermined viscosity, the chemical liquid storage tank 110 is preferably provided with a stirrer (not shown) to stir the chemical liquid stored therein at a predetermined interval. The chemical liquid delivery pump 120 is installed on the chemical liquid delivery pipe 103 connecting the chemical liquid storage tank 110 and the tube assembly 140 of the chemical liquid injection chamber 130. The chemical liquid pump 120 transfers the chemical liquid stored in the chemical liquid storage tank 110 to the tube assembly 140 along the chemical liquid transport tube 103. That is, the chemical liquid transfer pump 120 provides a predetermined pressure for transferring the chemical liquid stored in the chemical liquid storage tank 110 to the tube assembly 140.

도 1을 참조하면, 약액 주입챔버(130)는 그 하부벽과 측벽을 형성하는 챔버몸체(131)와, 챔버몸체(131)의 상부를 덮도록 챔버몸체(131)에 결합되어 약액 주입챔버(130)의 상부벽을 형성하는 챔버덮개(133)를 포함한다. 약액 주입챔버(130)는 그 하부벽, 측벽 및 상부벽에 의해 한정되는 내부공간을 제공하며, 그 내부공간에 는 튜브조립체(140)가 설치된다.Referring to FIG. 1, the chemical injection chamber 130 is coupled to the chamber body 131 forming a lower wall and a sidewall thereof, and coupled to the chamber body 131 to cover an upper portion of the chamber body 131. Chamber cover 133 forming an upper wall of 130. The chemical liquid injection chamber 130 provides an inner space defined by the lower wall, the side wall, and the upper wall, and a tube assembly 140 is installed in the inner space.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 튜브조립체(140)는 약액 저장탱크(110)로부터 이송되는 약액이 채위지는 신축 가능한 주름식 튜브(141)와, 주름식 튜브(141)의 일단부(슬릿 다이(10)에 가까운 쪽 단부)에 결합되는 고정 플레이트(143)와, 주름식 튜브(141)의 타단부(압축기체 공급기(150)에 가까운 쪽 단부)에 결합되는 이동 플레이트(145)를 포함한다.1 to 3, the tube assembly 140 includes a flexible corrugated tube 141 filled with a chemical liquid transferred from the chemical liquid storage tank 110, and one end (slit die) of the corrugated tube 141. A fixing plate 143 coupled to the end closer to 10) and a moving plate 145 coupled to the other end of the corrugated tube 141 (an end closer to the compressed gas supplier 150). .

주름식 튜브(141)는 신장 및 수축이 가능한 구조로, 흔히 '자바라 튜브' 혹은 '자바라 호스'라고도 한다. 주름식 튜브(141)는 약액 이송관(103)과 연결되어 약액 저장탱크(110)로부터 이송되는 약액이 주름식 튜브(141)의 내부에 채워지는데, 약액이 채워짐에 따라 주름식 튜브(141)는 이동 플레이트(145) 쪽 방향(도 1 및 도 3에서 우측 방향)으로 신장할 수 있다. 주름식 튜브(141)의 내부에 소정의 양의 약액이 채워지면, 도 3에 도시된 바와 같이, 주름식 튜브(141)는 고정 플레이트(143) 쪽 방향(도 1 및 도 3에서 좌측 방향)으로 수축하여 그 내부에 채워진 약액을 약액 주입관(101)을 통해 슬릿 다이(10)에 주입한다. 즉, 튜브조립체(140)는 주름식 튜브(141)의 수축 동작에 의해 주름식 튜브(141)의 내부에 채원진 약액을 슬릿 다이(10)에 주입하는 것이다. 한편, 본 실시예에서 주름식 튜브(141)를 수축시키기 위한 구동력은 압축기체 공급기(150)에 의해 약액 주입챔버(130)의 내부에 공급되는 압축기체에 의해 제공되는데, 이에 대한 자세한 설명은 후술하기로 한다.Corrugated tube 141 is a structure that can be stretched and contracted, it is also commonly referred to as a 'Java tube' or 'Java' hose. The corrugated tube 141 is connected to the chemical liquid delivery tube 103 and the chemical liquid transferred from the chemical liquid storage tank 110 is filled in the interior of the corrugated tube 141. As the chemical liquid is filled, the corrugated tube 141 is filled. May extend in the direction toward the moving plate 145 (the right direction in FIGS. 1 and 3). When a predetermined amount of the chemical liquid is filled inside the corrugated tube 141, as shown in FIG. 3, the corrugated tube 141 is directed toward the fixing plate 143 (left side in FIGS. 1 and 3). And the chemical liquid filled therein is injected into the slit die 10 through the chemical liquid injection tube 101. That is, the tube assembly 140 injects the medicated liquid into the slit die 10 inside the corrugated tube 141 by the contracting operation of the corrugated tube 141. Meanwhile, in the present embodiment, the driving force for contracting the corrugated tube 141 is provided by the compressor body supplied into the chemical liquid injection chamber 130 by the compressor body supply 150, which will be described later. Let's do it.

고정 플레이트(143)는 주름식 튜브(141)의 일단부(도 1에서 좌측단부)에 결합되는 한편, 약액 주입챔버(130)의 좌측벽에 결합되어 약액 주입챔버(130)의 내부 에서 고정된다. 즉, 고정 플레이트(143)는 주름식 튜브(141)의 일단부를 약액 주입챔버(130)에 고정시키는 기능을 한다. 한편, 고정 플레이트(143)에는 일단부가 약액 저장탱크(110)와 연결되는 약액 이송관(103)의 타단부가 주름식 튜브(141)와 연결될 수 있도록 약액 이송관(103)이 관통하는 공급홀(미도시)과, 일단부가 슬릿 다이(10)와 연결되는 약액 주입관(101)의 타단부가 주름식 튜브(141)와 연결될 수 있도록 약액 주입관(101)이 관통하는 배출홀(미도시)이 형성된다.The fixing plate 143 is coupled to one end (left end in FIG. 1) of the corrugated tube 141 and is fixed to the inside of the chemical liquid injection chamber 130 by being coupled to the left wall of the chemical liquid injection chamber 130. . That is, the fixing plate 143 serves to fix one end of the corrugated tube 141 to the chemical liquid injection chamber 130. Meanwhile, the fixing plate 143 has a supply hole through which the chemical liquid delivery tube 103 passes so that one end thereof may be connected to the corrugated tube 141 at one end of the chemical delivery tube 103 connected to the chemical storage tank 110. (Not shown), and the discharge hole (not shown) through which the chemical liquid injection tube 101 penetrates so that the other end of the chemical liquid injection tube 101 connected to the slit die 10 may be connected to the corrugated tube 141. ) Is formed.

이동 플레이트(145)는 주름식 튜브(141)의 타단부(도 1에서 우측단부)에 결합되고, 약액 주입챔버(130)의 내부에서 주름식 튜브(141)의 길이 방향으로 이동 가능하게 마련된다. 이때, 약액 주입챔버(130)의 내부에서 이동 플레이트(145)가 안정적이고 원활하게 이동할 수 있도록, 이동 플레이트(145)의 상단부와 약액 주입챔버(130)의 상부벽 사이 및 이동 플레이트(145)의 하단부와 약액 주입챔버(130)의 하부벽 사이에는 가이드 레일과 함께 롤러 구조, 베어링 구조 등이 채용될 수 있다. 이러한 이동 플레이트(145)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 압축기체 공급기(150)에 의해 약액 주입챔버(130)의 내부에 압축기체가 공급됨에 따라 고정 플레이트(143) 쪽 방향으로 이동하여 주름식 튜브(141)를 수축시키는 기능을 한다. 한편, 이동 플레이트(145)는 약액 주입챔버(130)의 내부를 2개의 내부공간(S1,S2)으로 구획하는데, 제1 내부공간(S1, 도 1에서 좌측 내부공간)에는 주름식 튜브(141)가 배치되는 한편, 제2 내부공간(S2, 도 1에서 우측 내부공간)에는 압축기체 공급기(150)에 의해 압축기체가 공급된다.The moving plate 145 is coupled to the other end (right end in FIG. 1) of the corrugated tube 141, and is provided to be movable in the longitudinal direction of the corrugated tube 141 inside the chemical liquid injection chamber 130. . In this case, the movable plate 145 may be stably and smoothly moved within the chemical liquid injection chamber 130, between the upper end of the movable plate 145 and the upper wall of the chemical liquid injection chamber 130 and of the movable plate 145. A roller structure, a bearing structure, etc. may be employed between the lower end portion and the lower wall of the chemical liquid injection chamber 130 together with the guide rail. As shown in FIG. 3, the moving plate 145 is moved toward the fixing plate 143 toward the fixing plate 143 as the compressor is supplied into the chemical liquid injection chamber 130 by the compressor body supply 150. It functions to contract the tube 141. Meanwhile, the moving plate 145 divides the inside of the chemical liquid injection chamber 130 into two internal spaces S1 and S2, and the corrugated tube 141 is formed in the first internal space S1 (the left internal space in FIG. 1). ) Is arranged, and the compressor body is supplied to the second internal space S2 (the right inner space in FIG. 1) by the compressor body supplier 150.

한편, 약액 주입챔버(130)에는, 도 1에 도시된 바와 같이, 압축기체가 공급 되는 그 내부공간(S2)의 압력을 측정하기 위한 제1 압력계(135)가 설치된다.Meanwhile, as shown in FIG. 1, the chemical liquid injection chamber 130 is provided with a first pressure gauge 135 for measuring the pressure of the internal space S2 to which the compressor body is supplied.

도 1을 참조하면, 압축기체 공급기(150)는 그 내부에 소정의 압력으로 압축된 기체가 저장되며, 압축기체 이송관(105)을 통해 약액 주입챔버(130)와 연결된다. 이때, 압축기체는 압축공기, 압축질소 등일 수 있다. 이러한 압축기체 공급기(150)는 약액 주입챔버(130)의 내부, 보다 구체적으로 이동 플레이트(145)의 우측에 위치한 제2 내부공간(S2)에 압축기체를 공급한다. 이에 따라, 이동 플레이트(145)는 압축기체의 압력에 의해 좌측 방향(고정 플레이트(143) 쪽 방향)으로 이동하고, 주름식 튜브(141)는 수축하여 그 내부에 채워진 약액을 약액 주입관(101)을 통해 슬릿 다이(10)에 주입한다. 즉, 압축기체 공급기(150)는 주름식 튜브(141)의 내부에 채워진 약액이 슬릿 다이(10)에 주입될 수 있도록, 주름식 튜브(141)를 수축시키는 구동력을 제공한다. 한편, 주름식 튜브(141)를 수축시키기 위한 구동력을 제공하는 수단은 본 실시예의 압축기체 공급기(150)에 한정되지 아니하고, 예컨대, 실린더 구동 방식 등이 채택될 수 있다. 다만, 본 실시예에서 채택되고 있는 압축기체 구동 방식은 미세한 압력으로 주름식 튜브(141)의 수축 정도를 조절할 수 있으므로, 미리 정해진 양만큼의 약액을 보다 정확하고 정밀하게 슬릿 다이(10)에 주입할 수 있다는 이점이 있다.Referring to FIG. 1, the compressed gas supplier 150 stores gas compressed at a predetermined pressure therein and is connected to the chemical liquid injection chamber 130 through the compressed gas delivery tube 105. In this case, the compressor body may be compressed air, compressed nitrogen, or the like. The compressor body supplyer 150 supplies the compressor body to the second internal space S2 located inside the chemical liquid injection chamber 130, more specifically, to the right of the moving plate 145. Accordingly, the moving plate 145 moves to the left direction (the fixing plate 143 side direction) by the pressure of the compressor body, and the corrugated tube 141 contracts and fills the chemical liquid filled therein with the chemical liquid injection tube 101. ) Into the slit die 10. That is, the compressor body feeder 150 provides a driving force to contract the corrugated tube 141 so that the chemical liquid filled in the corrugated tube 141 can be injected into the slit die 10. On the other hand, the means for providing a driving force for shrinking the corrugated tube 141 is not limited to the compressor body feeder 150 of the present embodiment, for example, a cylinder drive method may be adopted. However, the compressor body driving method adopted in the present embodiment can adjust the contraction degree of the corrugated tube 141 at a minute pressure, so that a predetermined amount of chemical liquid is injected into the slit die 10 more accurately and precisely. The advantage is that you can.

한편, 압축기체 공급기(150)에는 그 내부압력을 측정하기 위한 제2 압력계(151)가 설치되고, 압축기체 공급기(150)와 약액 주입챔버(130)를 연결하는 압축기체 이송관(105) 상에는 그 유로를 개폐시키기 위한 제2 밸브(106)가 설치된다. 이때, 전술한 약액 주입챔버(130)에 설치된 제1 압력계(135)와 압축기체 공급 기(150)에 설치된 제2 압력계(151)에 의해 측정된 값들은 제2 밸브(106)의 동작을 제어하는데 기초가 되는 데이터로 사용될 수 있다. 그리고, 제2 밸브(106)는, 전술한 제1 밸브(102)와 마찬가지로, 전자석의 코일에 전류를 흘리면 가동 철편이 당겨져 밸브가 열리고, 전류를 끊으면 용수철의 복원력으로 밸브가 닫히는 전자 밸브로 마련될 수 있다.On the other hand, the compressor body feeder 150 is provided with a second pressure gauge 151 for measuring its internal pressure, and on the compressor body feed pipe 105 connecting the compressor body feeder 150 and the chemical liquid injection chamber 130. A second valve 106 for opening and closing the flow path is provided. At this time, the values measured by the first pressure gauge 135 installed in the chemical liquid injection chamber 130 and the second pressure gauge 151 installed in the compressor body supply 150 control the operation of the second valve 106. It can be used as the data on which it is based. And like the 1st valve 102 mentioned above, the 2nd valve 106 is provided with the solenoid valve which draws a movable iron piece when a current flows through the coil of an electromagnet, and opens a valve, and closes a valve by restoring force of a spring when an electric current is cut off. Can be.

도 1 및 도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 약액 공급유닛(100)은 튜브조립체(140)의 위치를 감지하기 위한 센서 모듈(160)을 더 포함한다. 센서 모듈(160)은 주름식 튜브(141)의 신장 및 수축 정도에 따라 달라지는 튜브조립체(140)의 위치(보다 정확하게는 이동 플레이트(145)의 위치)를 감지한다. 센서 모듈(160)에 의해 감지된 튜브조립체(140)의 위치 정보는 주름식 튜브(141)의 신축 동작을 제어하기 위한 데이터로 사용될 수 있다. 이를 통해, 슬릿 다이(10)에는 미리 정해진 양만큼의 약액이 보다 정확하고 정밀하게 주입될 수 있게 된다.1 and 3, the chemical supply unit 100 according to the present embodiment further includes a sensor module 160 for detecting a position of the tube assembly 140. The sensor module 160 senses the position of the tube assembly 140 (more precisely, the position of the moving plate 145) depending on the degree of extension and contraction of the corrugated tube 141. The position information of the tube assembly 140 sensed by the sensor module 160 may be used as data for controlling the stretching operation of the corrugated tube 141. Through this, the slit die 10 can be injected more accurately and precisely by a predetermined amount of the chemical liquid.

본 실시예에서, 센서 모듈(160)은 이동 플레이트(145)의 상단부에 설치되는 마그네트(161)와, 약액 주입챔버(130)의 챔버덮개(133)에 설치되되 튜브조립체(140)의 길이 방향으로 상호 이격 배치되 3개의 자기센서(162)를 포함한다. 센서 모듈(160)은 약액 주입챔버(130)의 챔버덮개(133)에 설치된 자기센서(162)가 이동 플레이트(145)와 함께 길이 방향을 이동하는 마그네트(161)에 의한 자기장의 세기를 감지하는 것에 의해 튜브조립체(140)의 위치를 감지할 수 있다. 다만, 센서 모듈(160)을 구성하는 마그네트(161) 및 자기센서의 설치 위치 및 개수는 본 실시예에 한정되지 아니하고 적절히 변경될 수 있을 것이다.In the present embodiment, the sensor module 160 is installed on the magnet 161 which is installed at the upper end of the moving plate 145 and the chamber cover 133 of the chemical injection chamber 130, but the longitudinal direction of the tube assembly 140. It includes three magnetic sensors 162 arranged to be spaced apart from each other. The sensor module 160 detects the strength of the magnetic field by the magnetic sensor 162 installed in the chamber cover 133 of the chemical liquid injection chamber 130 and the magnet 161 moving in the longitudinal direction together with the moving plate 145. By doing so, the position of the tube assembly 140 can be detected. However, the installation position and the number of the magnet 161 and the magnetic sensor constituting the sensor module 160 are not limited to this embodiment and may be appropriately changed.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시예에 따른 박막 코팅 장치(1)는, 약액 주입펌프를 통해 슬릿 다이(10)에 직접 약액을 주입하는 종래 기술과 다르게, 약액 주입챔버(130)의 내부에 설치되고 신축 가능한 주름식 튜브(141)를 포함한 튜브조립체(140)를 통해 슬릿 다이(10)에 약액을 주입함으로써, 약액 주입시 맥동 현상이 발생하지 않으며 슬릿 다이(10)에 주입되는 약액의 양을 미세하게 조절할 수 있으므로, 미리 정해진 양만큼의 약액을 보다 정확하고 정밀하게 슬릿 다이(10)에 주입할 수 있다.As described above, the thin film coating apparatus 1 according to the present embodiment is installed inside the chemical liquid injection chamber 130, unlike the conventional technology of directly injecting the chemical liquid into the slit die 10 through the chemical liquid injection pump. By injecting the chemical solution into the slit die 10 through the tube assembly 140 including the flexible corrugated tube 141, the pulsation phenomenon does not occur when the chemical solution is injected and the amount of the chemical liquid injected into the slit die 10 is fine. Since it can be adjusted, the predetermined amount of chemical liquid can be injected into the slit die 10 more accurately and precisely.

또한, 본 실시예에 따른 박막 코팅 장치(1)는, 약액 주입챔버(130)의 내부에 설치된 튜브조립체(140)의 주름식 튜브(141)를 수축시키기 위한 구동력을 약액 주입챔버(130)의 내부에 공급되는 압축기체에 의해 제공함으로써, 미세한 압력으로 주름식 튜브(141)의 수축 정도를 조절할 수 있으므로, 미리 정해진 양만큼의 약액을 보다 정확하고 정밀하게 슬릿 다이(10)에 주입할 수 있다.In addition, the thin film coating apparatus 1 according to the present embodiment has a driving force for contracting the corrugated tube 141 of the tube assembly 140 installed inside the chemical injection chamber 130 of the chemical injection chamber 130. By providing by the compressor body supplied therein, the degree of shrinkage of the corrugated tube 141 can be adjusted by minute pressure, so that a predetermined amount of chemical liquid can be injected into the slit die 10 more accurately and precisely. .

또한, 본 실시예에 따른 박막 코팅 장치(1)는, 압축기체가 공급되는 약액 주입챔버(130)의 내부에 약액이 직접 채워지는 것이 아니라, 약액 주입챔버(130)의 내부에 별도로 설치된 튜브조립체(140)에 약액이 채워지도록 구성함으로써, 약액 주입챔버(130)의 내부에서 약액이 압축기체와 접촉 반응하여 오염되는 것을 방지할 수 있는 한편, 약액 주입챔버(130)의 벽면에 고가인 약액이 묻어서 발생하는 손실을 없애고, 주기적으로 약액 주입챔버(130)의 내부를 세척해야하는 불편함을 해결할 수 있다. 아울러, 필요시 튜브조립체(140)만을 교체하여 다양한 종류의 약액을 슬릿 다이(10)에 주입하는 것이 가능하다.In addition, the thin film coating apparatus 1 according to the present embodiment is not directly filled with the chemical liquid inside the chemical liquid injection chamber 130 to which the compressor body is supplied, but a tube assembly separately installed in the chemical liquid injection chamber 130. By configuring the chemical liquid to be filled in the 140, it is possible to prevent the chemical liquid from being contaminated by contact reaction with the compressor body inside the chemical liquid injection chamber 130, while expensive chemical liquid is formed on the wall surface of the chemical liquid injection chamber 130. Eliminating the loss caused by burying, and can solve the inconvenience of having to periodically clean the inside of the chemical injection chamber 130. In addition, it is possible to inject a variety of chemical liquids to the slit die 10 by replacing only the tube assembly 140, if necessary.

이하, 도 4 내지 도 6을 참조하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 박막 코팅 장치를 전술한 실시예와 상이한 점을 중심으로 설명한다.Hereinafter, a thin film coating apparatus according to another embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 4 to FIG. 6.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 박막 코팅 장치의 개략적인 구성 블록도이고, 도 5는 도 4의 박막 코팅 장치에서 슬릿 다이의 개략적인 사시도이며, 도 6은 도 5의 A-A선 및 B-B선에 따른 슬릿 다이의 개략적인 단면도이다.4 is a schematic block diagram of a thin film coating apparatus according to another embodiment of the present invention, FIG. 5 is a schematic perspective view of a slit die in the thin film coating apparatus of FIG. 4, and FIG. 6 is a line AA and BB of FIG. 5. A schematic cross sectional view of a slit die along a line.

도 4를 참조하면, 본 실시예에 따른 박막 코팅 장치(2)는 작업 대상물(W)에 제1 약액, 제2 약액 및 제3 약액을 도포하는 슬릿 다이(20)와, 슬릿 다이(20)에 제1 약액을 미리 정해진 양으로 공급하기 위한 제1 약액 공급유닛(100-1)과, 슬릿 다이(20)에 제2 약액을 미리 정해진 양으로 공급하기 위한 제2 약액 공급유닛(100-2)과, 슬릿 다이(20)에 제3 약액을 미리 정해진 양으로 공급하기 위한 제3 약액 공급유닛(100-3)을 포함한다.Referring to FIG. 4, the thin film coating apparatus 2 according to the present embodiment includes a slit die 20 for applying a first chemical liquid, a second chemical liquid and a third chemical liquid to the workpiece W, and a slit die 20. The first chemical liquid supply unit 100-1 for supplying the first chemical liquid to a predetermined amount to the second chemical liquid supply unit 100-2 for supplying the second chemical liquid to the slit die 20 in a predetermined amount. And a third chemical liquid supply unit 100-3 for supplying the third chemical liquid to the slit die 20 in a predetermined amount.

본 실시예에 따른 박막 코팅 장치(2)에서 제1 내지 제3 약액 공급유닛(100-1,100-2,100-3) 각각은, 전술한 실시예에 따른 박막 코팅 장치(1)에서 약액 공급유닛(100)의 구성과 실질적으로 동일한 구성을 그대로 포함하고 있으므로, 이에 대한 설명은 전술한 실시예를 준용하기로 한다. 다만, 본 실시예에 따른 박막 코팅 장치(2)에서, 제1 약액 공급유닛(100-1)에 의해 슬릿 다이(20)에 공급되는 제1 약액, 제2 약액 공급유닛(100-2)에 의해 슬릿 다이(20)에 공급되는 제2 약액, 및 제3 약액 공급유닛(100-3)에 의해 슬릿 다이(20)에 공급되는 제3 약액은 서로 다른 성분을 갖는다.Each of the first to third chemical liquid supply units 100-1, 100-2, and 100-3 in the thin film coating apparatus 2 according to the present embodiment is a chemical liquid supply unit 100 in the thin film coating apparatus 1 according to the above-described embodiment. Since the configuration substantially the same as the configuration of) as it is, the description thereof will apply mutatis mutandis to the above-described embodiment. However, in the thin film coating apparatus 2 according to the present embodiment, the first chemical liquid and the second chemical liquid supply unit 100-2 supplied to the slit die 20 by the first chemical liquid supply unit 100-1 are provided. The second chemical liquid supplied to the slit die 20 by the slit die 20 and the third chemical liquid supplied to the slit die 20 by the third chemical liquid supply unit 100-3 have different components.

도 5 및 도 6을 참조하면, 슬릿 다이(20)는 전체적으로 긴 막대 형상으로, 작업 대상물(W)의 표면으로부터 미리 정해진 간격으로 이격 배치되고, 작업 대상물(W)의 선단부에서 후단부를 향하여 일정 속도로 이동하면서 작업 대상물(W)의 표면에 제1 내지 제3 약액을 도포한다. 슬릿 다이(20)는 제1 다이블록(21), 제2 다이블록(22) 및 제3 다이블록(23)를 포함한다. 이때, 제1 내지 제3 다이블록(21~23) 모두는 일체로 형성된다. 구체적으로, 제2 다이블록(22)는 제1 다이블록(21)의 일단부로부터 그 길이 방향으로 연장되고, 제3 다이블록(23)는 제2 다이블록(22)의 일단부로부터 그 길이 방향으로 연장된다. 다만, 제1 내지 제3 다이블록(21~23)의 상호 배치 형상은, 길이 방향으로 연장되는 본 실시예에 한정되지 아니하고 적절히 변경될 수 있을 것이다.5 and 6, the slit die 20 has a long rod shape as a whole and is spaced apart from the surface of the workpiece W at predetermined intervals, and has a constant speed from the tip of the workpiece W toward the rear end. The first to third chemical liquids are applied to the surface of the workpiece W while moving to. The slit die 20 includes a first die block 21, a second die block 22, and a third die block 23. At this time, all of the first to third die blocks 21 to 23 are integrally formed. Specifically, the second die block 22 extends from one end of the first die block 21 in its length direction, and the third die block 23 has its length from one end of the second die block 22. Extend in the direction. However, the mutual arrangement shape of the first to third die blocks 21 to 23 is not limited to this embodiment extending in the longitudinal direction and may be appropriately changed.

제1 다이블록(21)은 제1 약액 공급유닛(100-1)의 약액 주입관(101-1)이 결합되는 제1 주입구(21b)와, 소정의 간극으로 형성되어 제1 주입구(21b)를 통해 주입되는 제1 약액을 작업 대상물(W)의 표면에 토출하는 제1 슬릿(21a)을 포함하고, 제2 다이블록(22)은 제2 약액 공급유닛(100-2)의 약액 주입관(101-2)이 결합되는 제2 주입구(22b)와, 소정의 간극으로 형성되어 제2 주입구(22b)를 통해 주입되는 제1 약액을 작업 대상물(W)의 표면에 토출하는 제2 슬릿(22a)을 포함하며, 제3 다이블록(23)은 제3 약액 공급유닛(100-3)의 약액 주입관(101-3)이 결합되는 제3 주입구(23b)와, 소정의 간극으로 형성되어 제3 주입구(23b)를 통해 주입되는 제1 약액을 작업 대상물(W)의 표면에 토출하는 제3 슬릿(23a)을 포함한다.The first die block 21 is formed with a predetermined gap between the first injection hole 21b to which the chemical liquid injection tube 101-1 of the first chemical liquid supply unit 100-1 is coupled, and the first injection hole 21b. And a first slit 21a for discharging the first chemical liquid injected through the surface of the work object W, and the second die block 22 includes a chemical liquid injection tube of the second chemical liquid supply unit 100-2. The second injection hole 22b to which the 101-2 is coupled and the second slit formed with a predetermined gap to discharge the first chemical liquid injected through the second injection hole 22b to the surface of the work object W ( 22a), and the third die block 23 is formed with a third injection hole 23b to which the chemical liquid injection tube 101-3 of the third chemical liquid supply unit 100-3 is coupled, and has a predetermined gap. And a third slit 23a for discharging the first chemical liquid injected through the third injection hole 23b to the surface of the work object W.

여기서, 제1 슬릿(21a), 제2 슬릿(22a) 및 제3 슬릿(23a)은, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 토출되는 제1 약액, 제2 약액 및 제3 약액이 서로 섞이지 않도 록, 상호 분리되어 형성된다.Here, the first slit 21a, the second slit 22a, and the third slit 23a, as shown in Figs. 5 and 6, the first chemical liquid, the second chemical liquid and the third chemical liquid discharged from each other They are formed separately from each other so that they do not mix.

한편, 본 실시예의 슬릿 다이(20)는 상호 분리된 3개의 슬릿(21a~23a)이 각각 형성된 3개의 다이블록(21~23)으로 구성되지만, 본 발명은 이에 한정되지 아니하고, 작업 대상물(W)에 형성하고자 하는 박막의 형태, 패턴 등에 따라 2개의 다이블록 또는 4개 이상의 다이블록으로 구성될 수 있음은 물론이다.On the other hand, the slit die 20 of the present embodiment is composed of three die blocks 21 to 23 formed with three slits 21a to 23a separated from each other, but the present invention is not limited thereto, and the workpiece W Of course, it may be composed of two die blocks or four or more die blocks according to the shape, pattern, etc. of the thin film to be formed in.

이상 설명한 바와 같이, 본 실시예에 따른 박막 코팅 장치(2)는, 3개의 슬릿(21a~23a)이 분리 형성된 하나의 슬릿 다이(20)와, 이에 제1 약액, 제2 약액 및 제3 약액을 각각 공급하는 제1 약액 공급유닛(100-1), 제2 약액 공급유닛(100-2) 및 제3 약액 공급유닛(100-3)을 포함함으로써, 하나의 슬릿 다이(20)를 통해서도 서로 다른 성분을 갖는 3가지 약액을 작업 대상물(W)에 동시에 도포할 수 있다.As described above, the thin film coating apparatus 2 according to the present embodiment includes one slit die 20 in which three slits 21a to 23a are separated, and thus the first chemical, the second chemical and the third chemical. By including the first chemical liquid supply unit (100-1), the second chemical liquid supply unit (100-2) and the third chemical liquid supply unit (100-3) for supplying the respective, even through one slit die 20 Three chemical liquids having different components can be applied to the workpiece W at the same time.

또한, 본 실시예에 따른 박막 코팅 장치(2)에서 제1 내지 제3 약액 공급유닛(100-1,100-2,100-3) 각각은, 전술한 실시예에 따른 박막 코팅 장치(1)에서 약액 공급유닛(100)의 구성과 실질적으로 동일한 구성을 그대로 포함하고 있으므로, 본 실시예에 따른 박막 코팅 장치(2)는 전술한 실시예에 따른 박막 코팅 장치(1)가 갖는 이점들을 그대로 포함한다.In addition, each of the first to third chemical liquid supply units 100-1, 100-2, and 100-3 in the thin film coating apparatus 2 according to the present embodiment is a chemical liquid supply unit in the thin film coating apparatus 1 according to the above-described embodiment. Since the structure substantially the same as the structure of 100 is included as it is, the thin film coating apparatus 2 which concerns on this embodiment includes the advantages which the thin film coating apparatus 1 which concerns on the above-mentioned embodiment has as it is.

본 발명은 전술한 실시예들에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.It is apparent to those skilled in the art that the present invention is not limited to the above-described embodiments, and that various modifications and changes can be made without departing from the spirit and scope of the present invention. Therefore, such modifications or variations will have to be belong to the claims of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 박막 코팅 장치의 개략적인 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram of a thin film coating apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 박막 코팅 장치에서 슬릿 다이의 개략적인 사시도이다.FIG. 2 is a schematic perspective view of a slit die in the thin film coating apparatus of FIG. 1.

도 3은 튜브조립체의 수축 상태에서 도 1의 약액 주입챔버의 개략적인 구성도이다.FIG. 3 is a schematic configuration diagram of the chemical liquid injection chamber of FIG. 1 in a contracted state of the tube assembly. FIG.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 박막 코팅 장치의 개략적인 구성 블록도이다.4 is a schematic structural block diagram of a thin film coating apparatus according to another embodiment of the present invention.

도 5는 도 4의 박막 코팅 장치에서 슬릿 다이의 개략적인 사시도이다.5 is a schematic perspective view of a slit die in the thin film coating apparatus of FIG. 4.

도 6은 도 5의 A-A선 및 B-B선에 따른 슬릿 다이의 개략적인 단면도이다.FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of the slit die taken along lines A-A and B-B of FIG. 5.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

1,2 : 박막 코팅 장치1,2: thin film coating device

10,20 : 슬릿 다이10,20: Slit Die

100 : 약액 공급유닛100: chemical supply unit

110 : 약액 저장탱크110: chemical storage tank

120 : 약액 이송펌프120: chemical liquid transfer pump

130 : 약액 주입챔버130: chemical injection chamber

140 : 튜브조립체140: tube assembly

141 : 주름식 튜브141: corrugated tube

150 : 압축기체 공급기150: compressor body feeder

160 : 센서 모듈160: sensor module

Claims (15)

작업 대상물에 약액을 도포하는 슬릿 다이; 및A slit die for applying a chemical to the workpiece; And 상기 슬릿 다이에 상기 약액을 공급하기 위한 약액 공급유닛을 포함하며,A chemical liquid supply unit for supplying the chemical liquid to the slit die, 상기 약액 공급유닛은,The chemical liquid supply unit, 상기 약액이 저장되는 약액 저장탱크; 및A chemical storage tank in which the chemical liquid is stored; And 상기 약액 저장탱크로부터 이송되는 상기 약액을 상기 슬릿 다이에 주입하기 위한 튜브조립체가 내부에 마련되는 약액 주입챔버를 포함하며,A chemical liquid injection chamber provided therein with a tube assembly for injecting the chemical liquid transferred from the chemical liquid storage tank to the slit die, 상기 튜브조립체는, 상기 약액 저장탱크로부터 이송되는 상기 약액이 채워지는 신축 가능한 주름식 튜브를 포함하며,The tube assembly includes a flexible corrugated tube filled with the chemical liquid conveyed from the chemical liquid storage tank, 상기 약액 공급유닛은, 상기 주름식 튜브를 수축시키도록 상기 약액 주입챔버의 내부에 압축기체를 공급하는 압축기체 공급기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅 장치.The chemical liquid supply unit, the thin film coating apparatus further comprises a compressor body supply for supplying a compressor body in the chemical liquid injection chamber to shrink the corrugated tube. 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 튜브조립체는,The tube assembly, 상기 주름식 튜브의 수축 동작에 의해 상기 주름식 튜브의 내부에 채워진 상기 약액을 상기 슬릿 다이에 주입하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅 장치.And coating the chemical liquid filled in the inside of the corrugated tube into the slit die by the contracting operation of the corrugated tube. 삭제delete 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 튜브조립체는,The tube assembly, 상기 주름식 튜브의 일단부에 결합되고, 상기 약액 주입챔버의 내부에서 고정되는 고정 플레이트; 및A fixing plate coupled to one end of the corrugated tube and fixed inside the chemical injection chamber; And 상기 주름식 튜브의 타단부에 결합되고, 상기 약액 주입챔버의 내부에서 상기 주름식 튜브의 길이 방향으로 이동 가능하게 마련되는 이동 플레이트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅 장치.And a moving plate coupled to the other end of the corrugated tube and provided to be movable in the longitudinal direction of the corrugated tube in the chemical liquid injection chamber. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 이동 플레이트는,The moving plate, 상기 약액 주입챔버의 내부에 상기 압축기체가 공급됨에 따라 상기 고정 플레이트 쪽 방향으로 이동하여 상기 주름식 튜브를 수축시키는 것을 특징으로 하는 박막 코팅 장치.Thin film coating apparatus characterized in that to move in the direction toward the fixed plate to shrink the corrugated tube as the compressor body is supplied to the inside of the chemical liquid injection chamber. 제5항에 있어서,The method of claim 5, 상기 이동 플레이트는, 상기 약액 주입챔버의 내부를 2개의 내부공간으로 구 획하고,The moving plate, the inside of the chemical liquid injection chamber is partitioned into two internal spaces, 상기 압축기체 공급기는, 상기 2개의 내부공간 중 상기 주름식 튜브가 배치되지 않은 내부공간에 압축기체를 공급하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅 장치.The compressor body feeder, the thin film coating apparatus, characterized in that for supplying the compressor body in the inner space of the corrugated tube is not disposed of the two inner spaces. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 튜브조립체의 위치를 감지하도록 상기 약액 주입챔버에 마련되는 센서 모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅 장치.Thin film coating apparatus further comprises a sensor module provided in the chemical liquid injection chamber to sense the position of the tube assembly. 작업 대상물에 제1 약액 및 제2 약액을 도포하는 슬릿 다이;A slit die for applying the first chemical liquid and the second chemical liquid to the workpiece; 상기 슬릿 다이에 상기 제1 약액을 공급하기 위한 제1 약액 공급유닛; 및A first chemical liquid supply unit for supplying the first chemical liquid to the slit die; And 상기 슬릿 다이에 상기 제2 약액을 공급하기 위한 제2 약액 공급유닛을 포함하며,A second chemical liquid supply unit for supplying the second chemical liquid to the slit die, 상기 제1 약액 공급유닛 및 상기 제2 약액 공급유닛 각각은,Each of the first chemical liquid supply unit and the second chemical liquid supply unit, 상기 제1 약액 또는 제2 약액이 저장되는 약액 저장탱크; 및A chemical storage tank in which the first chemical liquid or the second chemical liquid is stored; And 상기 약액 저장탱크로부터 이송되는 상기 제1 약액 또는 상기 제2 약액을 상기 슬릿 다이에 주입하기 위한 튜브조립체가 내부에 마련되는 약액 주입챔버를 포함하며,And a chemical liquid injection chamber having a tube assembly provided therein for injecting the first chemical liquid or the second chemical liquid transferred from the chemical liquid storage tank into the slit die. 상기 튜브조립체는, 상기 약액 저장탱크로부터 이송되는 상기 제1 약액 또는 상기 제2 약액이 채워지는 신축 가능한 주름식 튜브를 포함하며,The tube assembly includes a flexible corrugated tube filled with the first chemical liquid or the second chemical liquid conveyed from the chemical liquid storage tank, 상기 제1 약액 공급유닛 및 상기 제2 약액 공급유닛 각각은, 상기 주름식 튜브를 수축시키도록 상기 약액 주입챔버의 내부에 압축기체를 공급하는 압축기체 공급기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅 장치.Each of the first chemical liquid supply unit and the second chemical liquid supply unit further comprises a compressor body feeder for supplying a compressor body into the chemical liquid injection chamber to shrink the corrugated tube. . 제9항에 있어서,10. The method of claim 9, 상기 슬릿 다이는, 상기 제1 약액이 토출되는 제1 슬릿을 갖는 제1 다이블록 과, 상기 제1 다이블록과 일체로 형성되고 상기 제2 약액이 토출되는 제2 슬릿을 갖는 제2 다이블록을 포함하며,The slit die may include a first die block having a first slit for discharging the first chemical liquid, and a second die block having a second slit formed integrally with the first die block and for discharging the second chemical liquid. Include, 상기 제1 슬릿과 상기 제2 슬릿은, 상기 제1 약액과 상기 제2 약액이 서로 섞이지 않도록 상호 분리 형성되고,The first slit and the second slit are formed to be separated from each other so that the first chemical liquid and the second chemical liquid do not mix with each other, 상기 제1 약액과 상기 제2 약액은, 서로 다른 성분을 갖는 것을 특징으로 하는 박막 코팅 장치.The thin film coating apparatus, wherein the first chemical liquid and the second chemical liquid have different components. 제10항에 있어서,The method of claim 10, 상기 제2 다이블록은,The second die block, 상기 제1 다이블록의 일단부로부터 상기 다이블록의 길이 방향으로 연장되는 것을 특징으로 하는 박막 코팅 장치.Thin film coating apparatus, characterized in that extending in the longitudinal direction of the die block from one end of the first die block. 삭제delete 제9항에 있어서,10. The method of claim 9, 상기 튜브조립체는,The tube assembly, 상기 주름식 튜브의 수축 동작에 의해 상기 주름식 튜브의 내부에 채워진 상기 제1 약액 또는 상기 제2 약액을 상기 슬릿 다이에 주입하는 것을 특징으로 하는 박막 코팅 장치.And the first chemical liquid or the second chemical liquid filled in the corrugated tube by the contracting operation of the corrugated tube is injected into the slit die. 삭제delete 제9항에 있어서,10. The method of claim 9, 상기 슬릿 다이는 상기 작업 대상물에 제3 약액을 더 도포하며,The slit die further applies a third chemical to the workpiece, 상기 슬릿 다이에 상기 제3 약액을 공급하기 위한 제3 약액 공급유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 박막 코팅 장치.And a third chemical liquid supply unit for supplying the third chemical liquid to the slit die.
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