KR20130076581A - Paste dispenser and method for controlling the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A paste dispenser can impose relatively low negative pressure, compared with the minimum negative pressure which can be controlled in a negative pressure regulator', on the inside of a syringe. CONSTITUTION: A paste dispenser includes a syringe (52) accepting paste, a out-gassing unit (80) connected with the syringe through a connection line (81), and multiple control valves (91, 92) arranged on the connection line between the syringe and the out-gassing unit. The multiple control valves respectively produce different responding signals. The out-gassing unit includes a vacuum pump (82) connected to the connection line and a negative pressure regulator (83) arranged on the connection line located in between the vacuum pump and the multiple control valves.

Description

페이스트 디스펜서 및 그 제어방법 {PASTE DISPENSER AND METHOD FOR CONTROLLING THE SAME}Paste Dispenser and Control Method {PASTE DISPENSER AND METHOD FOR CONTROLLING THE SAME}

본 발명은 기판상에 페이스트를 도포하는 페이스트 디스펜서 및 그 제어방법에 관한 것이다.The present invention relates to a paste dispenser for applying paste onto a substrate and a control method thereof.

일반적으로, 평판디스플레이(Flat Panel Display: FPD)란 브라운관을 채용한 텔레비전이나 모니터보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치이다. 평판디스플레이로는 액정디스플레이(Liquid Crystal Display; LCD), 플라즈마디스플레이(Plasma Display Panel; PDP), 전계방출디스플레이(Field Emission Display; FED), 유기발광다이오드(Organic Light Emitting Diodes; OLED) 등이 개발되어 사용되고 있다.In general, a flat panel display (FPD) is an image display device that is thinner and lighter than a television or a monitor employing a CRT. As flat panel displays, Liquid Crystal Display (LCD), Plasma Display Panel (PDP), Field Emission Display (FED), Organic Light Emitting Diodes (OLED), etc. It is used.

이 중에서, 액정디스플레이는 매트릭스형태로 배열된 액정 셀들에 화상정보에 따른 데이터신호를 개별적으로 공급하여 액정 셀들의 광투과율을 조절함으로써 원하는 화상을 표시할 수 있도록 한 표시장치이다. 액정디스플레이는 얇고 가벼우며 소비전력과 동작 전압이 낮은 장점 등이 있어 널리 이용되고 있다. 이러한 액정디스플레이에 일반적으로 채용되는 액정패널의 제조방법을 설명하면 다음과 같다.Among them, the liquid crystal display is a display device in which a desired image is displayed by individually supplying data signals according to image information to liquid crystal cells arranged in a matrix to adjust light transmittance of the liquid crystal cells. Liquid crystal displays are widely used because of their thinness, light weight, low power consumption and low operating voltage. The manufacturing method of the liquid crystal panel generally employed in such a liquid crystal display will be described.

먼저, 상부기판에 컬러필터 및 공통전극을 형성하고, 상부기판에 대응되는 하부기판에 박막트랜지스터(Thin Film Transistor; TFT) 및 화소전극을 형성한다. 이어서, 기판들에 각각 배향막을 도포한 후 이들 사이에 형성될 액정층내의 액정분자에 프리틸트 각(pre-tilt angle)과 배향방향을 제공하기 위해 배향막을 러빙(rubbing)한다.First, a color filter and a common electrode are formed on an upper substrate, and a thin film transistor (TFT) and a pixel electrode are formed on the lower substrate corresponding to the upper substrate. Subsequently, after the alignment films are applied to the substrates, the alignment films are rubbed to provide a pre-tilt angle and an orientation direction to the liquid crystal molecules in the liquid crystal layer to be formed therebetween.

그리고, 기판들 사이의 간격을 유지하는 한편 액정이 외부로 새는 것을 방지하고 기판들 사이를 밀봉시킬 수 있도록 적어도 어느 하나의 기판에 페이스트를 소정 패턴으로 도포하여 페이스트 패턴을 형성한 다음, 기판들 사이에 액정층을 형성하는 과정을 통하여 액정패널을 제조하게 된다.Then, paste is applied to at least one substrate in a predetermined pattern to form a paste pattern so as to maintain a gap between the substrates and to prevent the liquid crystal from leaking to the outside and to seal the substrates. Through the process of forming a liquid crystal layer in the liquid crystal panel is manufactured.

이와 같은 액정패널의 제조에 있어서, 기판상에 페이스트 패턴을 형성하기 위하여 페이스트 디스펜서(paste dispenser)라는 장비가 이용되고 있다. 페이스트 디스펜서는, 프레임상에 배치되며 기판이 탑재되는 스테이지와, 페이스트가 수용되는 시린지 및 시린지와 연통되는 노즐이 장착된 디스펜싱헤드유닛과, 디스펜싱헤드유닛을 지지하는 디스펜싱헤드유닛지지프레임으로 구성된다. 이와 같은 페이스트 디스펜서를 이용하여 기판상에 선형의 페이스트 패턴을 형성한다.In the manufacture of such a liquid crystal panel, a device called a paste dispenser is used to form a paste pattern on a substrate. The paste dispenser is a dispensing head unit disposed on a frame and equipped with a stage on which a substrate is mounted, a syringe containing paste, a nozzle communicating with the syringe, and a dispensing head unit supporting frame for supporting the dispensing head unit. It is composed. Using such a paste dispenser, a linear paste pattern is formed on a substrate.

기판상에 페이스트가 도포되는 동작이 진행될 때에는, 정압원으로부터 시린지의 내부로 소정의 압력의 기체가 공급되어 시린지 내부의 페이스트가 시린지와 연결된 노즐의 토출구로부터 토출되며, 이와 동시에 디스펜싱헤드유닛이 이동된다.When the paste is applied onto the substrate, a gas of a predetermined pressure is supplied from the positive pressure source into the syringe, and the paste inside the syringe is discharged from the discharge port of the nozzle connected with the syringe, and at the same time, the dispensing head unit moves. do.

그리고, 기판상에 페이스트가 도포되는 동작이 종료될 때에는, 시린지의 내부의 기체가 외부로 배기된 후, 부압원의 동작에 의하여 시린지의 내부에 소정의 부압이 작용된다. 따라서, 노즐의 토출구에 존재하는 페이스트가 시린지 쪽으로 당겨지며, 이에 따라, 노즐의 토출구에서 페이스트가 맺히거나 외부로 누출되는 현상이 방지된다.And when the operation | movement which paste is apply | coated on a board | substrate is complete | finished, after the gas inside a syringe is exhausted to the outside, predetermined | prescribed negative pressure is applied to the inside of a syringe by operation of a negative pressure source. Therefore, the paste present in the discharge port of the nozzle is pulled toward the syringe, whereby a phenomenon of forming a paste or leaking to the outside at the discharge port of the nozzle is prevented.

또한, 기판상에 페이스트가 도포되지 않는 대기상태에서도, 노즐의 토출구에서 페이스트가 맺히거나 외부로 누출되지 않도록, 시린지의 내부에는 미세한 부압이 계속적으로 작용되어야 한다. 이를 위하여, 시린지와 부압원의 사이에 부압레귤레이터를 설치하고, 부압레귤레이터에서 부압원에서 작용되는 부압을 일정한 크기로 조절하여 시린지의 내부에 작용시킨다.In addition, even in the standby state in which the paste is not applied on the substrate, minute negative pressure must be continuously applied to the inside of the syringe so that the paste does not form at the discharge port of the nozzle or leak out. To this end, a negative pressure regulator is installed between the syringe and the negative pressure source, and the negative pressure applied by the negative pressure source in the negative pressure regulator is adjusted to a predetermined size to act on the inside of the syringe.

한편, 기판상에 페이스트가 도포되지 않는 대기상태에서는 시린지의 내부에 작용되는 부압의 크기는 시린지의 내부에 수용되는 페이스트의 점도와, 시린지의 내부에 수용된 페이스트의 잔량에 따라 달라져야 한다. 페이스트의 점도가 높은 경우에는 점도가 낮은 경우에 비하여 시린지의 내부에 작용되는 부압의 크기가 커져야 하며, 페이스트의 잔량이 많은 경우에는 잔량이 적은 경우에 비하여 시린지의 내부에 작용되는 부압의 크기가 커져야 한다.On the other hand, in the atmospheric state in which the paste is not applied on the substrate, the magnitude of the negative pressure applied to the inside of the syringe must be varied depending on the viscosity of the paste contained in the syringe and the amount of the paste contained in the syringe. When the viscosity of the paste is high, the amount of negative pressure applied to the inside of the syringe should be larger than that of the case where the viscosity is low, and when the amount of the residual amount of paste is large, the amount of negative pressure applied to the inside of the syringe should be larger than when the amount of the paste is low. do.

이와 같이, 기판상에 페이스트가 도포되지 않는 대기상태에서 시린지의 내부에 작용되는 부압은 페이스트의 점도나 잔량을 포함하는 다양한 조건에 따라 미세하게 조절될 필요가 있다. 그러나, 종래의 페이스트 디스펜서에서는 부압레귤레이터에 인가되는 전압의 크기를 조절하는 하는 것을 통하여 시린지의 내부에 작용되는 부압을 조절하였기 때문에, 부압의 크기를 미세하게 조절하는 것이 어려웠으며, 특히, 부압레귤레이터에서 조절할 수 있는 최소부압의 크기(부압레귤레이터에서 조절할 수 있는 압력의 절대값의 크기)가 비교적 크기 때문에, 부압레귤레이터에서 조절할 수 있는 최소부압에 비하여 작은 크기의 부압을 시린지의 내부에 작용시킬 수 없는 한계가 있다.As such, the negative pressure acting on the inside of the syringe in the atmospheric state in which the paste is not applied on the substrate needs to be finely adjusted according to various conditions including the viscosity and the remaining amount of the paste. However, in the conventional paste dispenser, since the negative pressure applied to the inside of the syringe is controlled by adjusting the magnitude of the voltage applied to the negative pressure regulator, it is difficult to finely adjust the magnitude of the negative pressure, in particular, in the negative pressure regulator. Because the minimum adjustable negative pressure (the absolute value of the pressure that can be adjusted in the negative pressure regulator) is relatively large, the limit that cannot operate a small negative pressure inside the syringe compared to the minimum negative pressure that can be adjusted in the negative pressure regulator There is.

본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은, 부압레귤레이터에서 조절할 수 있는 최소부압에 비하여 작은 크기의 부압을 시린지의 내부에 작용시킬 수 있는 페이스트 디스펜서 및 그 제어방법을 제공하는 데에 있다.The present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, an object of the present invention, the paste dispenser and the control method which can operate a negative pressure of a small size compared to the minimum negative pressure that can be adjusted in the negative pressure regulator inside the syringe To provide.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서는, 페이스트가 수용되는 시린지와, 상기 시린지와 연결라인을 통하여 연결되는 기체배출유닛과, 상기 시린지와 상기 기체배출유닛 사이에서 상기 연결라인상에 배치되는 복수의 제어밸브를 포함하고, 상기 복수의 제어밸브는 제어신호에 대한 응답속도가 서로 다른 것을 특징으로 한다.Paste dispenser according to the present invention for achieving the above object, the syringe containing the paste, the gas discharge unit connected via the syringe and the connection line, and the connection line between the syringe and the gas discharge unit And a plurality of control valves arranged, wherein the plurality of control valves have different response speeds to control signals.

또한, 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서는, 페이스트가 수용되는 시린지와, 상기 시린지와 연결라인을 통하여 연결되는 기체배출유닛과, 상기 시린지와 상기 기체배출유닛 사이에서 상기 연결라인상에 배치되는 복수의 제어밸브를 포함하고, 상기 복수의 제어밸브는 단위시간당 유량이 서로 다른 것을 특징으로 한다.In addition, the paste dispenser according to the present invention, the syringe containing the paste, the gas discharge unit connected via the syringe and the connection line, a plurality of controls disposed on the connection line between the syringe and the gas discharge unit Including a valve, the plurality of control valve is characterized in that the flow rate per unit time is different.

또한, 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서의 제어방법은, 기판상에 도포되는 페이스트가 수용되는 시린지와, 상기 시린지와 연결되는 기체공급유닛 및 기체배출유닛과, 상기 시린지와 상기 기체배출유닛 사이에서 병렬로 배치되는 제1제어밸브 및 제2제어밸브를 포함하고 상기 제2제어밸브는 상기 제1제어밸브에 비하여 제어신호에 대한 응답속도가 큰 페이스트 디스펜서의 제어방법에 있어서, (a) 상기 제1제어밸브 및 상기 제2제어밸브가 폐쇄된 상태에서, 상기 기체공급유닛에 의하여 상기 시린지의 내부에 정압이 작용되면서 상기 기판상에 페이스트가 도포되는 단계와, (b) 상기 기체공급유닛에 의한 정압이 차단되는 단계와, (c) 상기 제1제어밸브가 개방된 상태에서 상기 기체배출유닛에 의하여 상기 시린지의 내부에 부압이 작용되는 단계와, (d) 상기 제1제어밸브가 폐쇄된 상태에서 상기 제2제어밸브가 개방되면서 상기 시린지의 내부의 부압이 조절되는 단계를 포함하여 구성될 수 있다.In addition, the method of controlling the paste dispenser according to the present invention includes a syringe in which a paste to be applied on a substrate is accommodated, a gas supply unit and a gas discharge unit connected to the syringe, and a parallel between the syringe and the gas discharge unit. A control method of a paste dispenser comprising a first control valve and a second control valve disposed, wherein the second control valve has a higher response speed to a control signal than the first control valve, wherein: (a) the first control In a state in which the valve and the second control valve are closed, the paste is applied on the substrate while the positive pressure is applied to the inside of the syringe by the gas supply unit, and (b) the positive pressure by the gas supply unit is increased. (C) the negative pressure acting on the inside of the syringe by the gas discharge unit while the first control valve is opened; As the first and the second control valve opening in the control valve is closed, it can comprise a step in which an internal negative pressure of the control syringe.

또한, 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서의 제어방법은, 기판상에 도포되는 페이스트가 수용되는 시린지와, 상기 시린지와 연결되는 기체공급유닛 및 기체배출유닛과, 상기 시린지와 상기 기체배출유닛 사이에서 병렬로 배치되는 제1제어밸브 및 제2제어밸브를 포함하고, 상기 제2제어밸브는 상기 제1제어밸브에 비하여 단위시간당 유량이 적은 페이스트 디스펜서의 제어방법에 있어서, (a) 상기 제1제어밸브 및 상기 제2제어밸브가 폐쇄된 상태에서, 상기 기체공급유닛에 의하여 상기 시린지의 내부에 정압이 작용되면서 상기 기판상에 페이스트가 도포되는 단계와, (b) 상기 기체공급유닛에 의한 정압이 차단되는 단계와, (c) 상기 제1제어밸브가 개방된 상태에서 상기 기체배출유닛에 의하여 상기 시린지의 내부에 부압이 작용되는 단계와, (d) 상기 제1제어밸브가 폐쇄된 상태에서 상기 제2제어밸브가 개방되면서 상기 시린지의 내부의 부압이 조절되는 단계를 포함하여 구성될 수 있다.In addition, the method of controlling the paste dispenser according to the present invention includes a syringe in which a paste to be applied on a substrate is accommodated, a gas supply unit and a gas discharge unit connected to the syringe, and a parallel between the syringe and the gas discharge unit. A first control valve and a second control valve disposed, wherein the second control valve is a method of controlling a paste dispenser having a lower flow rate per unit time than the first control valve, (a) the first control valve and In the state in which the second control valve is closed, the paste is applied on the substrate while the positive pressure is applied to the inside of the syringe by the gas supply unit, and (b) the static pressure by the gas supply unit is blocked (C) a negative pressure is applied to the inside of the syringe by the gas discharge unit while the first control valve is opened; and (d) the first agent. The second control valve is opened in a state in which the valve is closed, and the negative pressure inside the syringe may be adjusted.

또한, 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서의 제어방법은, 기판상에 도포되는 페이스트가 수용되는 시린지와, 상기 시린지와 연결되는 기체공급유닛 및 기체배출유닛과, 상기 시린지와 상기 기체배출유닛의 사이에 배치되는 제1제어밸브와, 상기 시린지와 상기 제1제어밸브의 사이에서 상기 제1제어밸브와 직렬로 연결되며 상기 제1제어밸브에 비하여 제어신호에 대한 응답속도가 크거나 단위시간당 유량이 적은 제2제어밸브를 포함하는 페이스트 디스펜서의 제어방법에 있어서, (a) 상기 제1제어밸브 및 상기 제2제어밸브가 폐쇄된 상태에서, 상기 기체공급유닛에 의하여 상기 시린지의 내부에 정압이 작용되면서 상기 기판상에 페이스트가 도포되는 단계와, (b) 상기 기체공급유닛에 의한 정압이 차단되는 단계와, (c) 상기 제1제어밸브 및 상기 제2제어밸브가 개방된 상태에서 상기 기체배출유닛에 의하여 상기 시린지의 내부에 부압이 작용되는 단계와, (d) 상기 제1제어밸브가 개방된 상태에서 상기 제2제어밸브의 개폐동작이 반복적으로 수행되면서 상기 시린지의 내부의 부압이 조절되는 단계를 포함하여 구성될 수 있다.In addition, the control method of the paste dispenser according to the present invention, the syringe containing the paste to be applied on the substrate, the gas supply unit and the gas discharge unit connected to the syringe, disposed between the syringe and the gas discharge unit A first control valve, which is connected in series with the first control valve between the syringe and the first control valve, and has a higher response speed or a lower flow rate per unit time than the first control valve. In the control method of the paste dispenser comprising a two control valve, (a) while the first control valve and the second control valve is closed, while the positive pressure is applied to the interior of the syringe by the gas supply unit Applying paste on the substrate, (b) blocking the static pressure by the gas supply unit, and (c) the first control valve and the second control valve. The negative pressure is applied to the inside of the syringe by the gas discharge unit in the open state; (d) The opening and closing operation of the second control valve is repeatedly performed while the first control valve is opened. It may be configured to include a step of adjusting the negative pressure inside the syringe.

본 발명에 따른 페이스트 디스펜서 및 그 제어방법은, 부압레귤레이터에서 조절할 수 있는 최소부압에 비하여 작은 크기의 부압을 시린지의 내부에 작용시킬 수 있으므로, 시린지의 내부에 수용된 페이스트의 점도 및 페이스트의 잔량에 따라 시린지의 내부의 압력을 미세하게 조절할 수 있는 효과가 있다.The paste dispenser and its control method according to the present invention can act as a negative pressure of a small size compared to the minimum negative pressure that can be adjusted in the negative pressure regulator inside the syringe, according to the viscosity of the paste contained in the syringe and the remaining amount of the paste There is an effect that can be finely adjusted the pressure inside the syringe.

도 1은 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서가 도시된 사시도이다.
도 2는 도 1의 페이스트 디스펜서의 디스펜싱헤드유닛이 도시된 사시도이다.
도 3은 도 2의 디스펜싱헤드유닛의 시린지의 내부에 기체를 공급하고 배출하기 위한 구성이 도시된 블럭도이다.
도 4는 도 2의 디스펜싱헤드유닛의 시린지의 내부의 압력변화가 구간별로 표시된 그래프이다.
도 5는 제3실시예에 따른 페이스트 디스펜서에서, 디스펜싱헤드유닛의 시린지의 내부에 기체를 공급하고 배출하기 위한 구성이 도시된 블럭도이다.1 is a perspective view showing a paste dispenser according to the present invention.
FIG. 2 is a perspective view illustrating a dispensing head unit of the paste dispenser of FIG. 1.
3 is a block diagram illustrating a configuration for supplying and discharging gas into the syringe of the dispensing head unit of FIG. 2.
4 is a graph in which pressure changes inside the syringe of the dispensing head unit of FIG. 2 are displayed for each section.
FIG. 5 is a block diagram showing a configuration for supplying and discharging gas into the syringe of the dispensing head unit in the paste dispenser according to the third embodiment.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 페이스트 디스펜서 및 그 제어방법에 관한 바람직한 실시예에 대하여 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a preferred embodiment of the paste dispenser and its control method according to the present invention.

도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 제1실시예에 따른 페이스트 디스펜서는, 프레임(10)과, 프레임(10)상에 설치되며 기판(S)이 탑재되는 스테이지(20)와, 스테이지(20)의 양측에 설치되고 Y축방향으로 연장되는 한 쌍의 가이드레일(30)과, 한 쌍의 가이드레일(30)에 양단이 지지되어 스테이지(20)의 상부에 설치되고 X축방향으로 연장되는 디스펜싱헤드유닛지지프레임(40)과, 디스펜싱헤드유닛지지프레임(40)에 X축방향으로 이동이 가능하게 설치되며 노즐(53)이 구비되는 디스펜싱헤드유닛(50)과, 페이스트의 도포를 위하여 각 구성의 동작을 제어하는 제어유닛(미도시)을 포함하여 구성될 수 있다.1 and 2, the paste dispenser according to the first embodiment includes a frame 10, a stage 20 mounted on the frame 10, on which the substrate S is mounted, and a stage ( A pair of guide rails 30 installed on both sides of the 20 and extending in the Y-axis direction and both ends of the pair of guide rails 30 are supported on the stage 20 and installed in the upper portion of the stage 20 and extend in the X-axis direction. The dispensing head unit support frame 40 and the dispensing head unit support frame 40 are installed to be movable in the X-axis direction, and the dispensing head unit 50 is provided with a nozzle 53 and paste. It may be configured to include a control unit (not shown) for controlling the operation of each component for the application.

프레임(10)상에는, 스테이지(20)를 X축방향으로 이동시키는 X축테이블(21)과 스테이지(20)를 Y축방향으로 이동시키는 Y축테이블(22)이 설치될 수 있다. 이에 따라, 스테이지(20)는 X축테이블(21) 및 Y축테이블(22)에 의하여 X축방향 및 Y축방향으로 이동될 수 있다. 물론, X축테이블(21) 및 Y축테이블(22) 중 어느 하나만이 적용되어, 스테이지(20)를 X축방향 및 Y축방향 중 어느 한 쪽 방향으로만 이동시키는 구성이 적용될 수 있다.On the frame 10, an X-axis table 21 for moving the stage 20 in the X-axis direction and a Y-axis table 22 for moving the stage 20 in the Y-axis direction may be provided. Accordingly, the stage 20 can be moved in the X-axis direction and the Y-axis direction by the X-axis table 21 and the Y-axis table 22. Of course, only one of the X-axis table 21 and the Y-axis table 22 is applied, so that the configuration for moving the stage 20 only in either of the X-axis direction and the Y-axis direction can be applied.

디스펜싱헤드유닛지지프레임(40)의 양단에는 가이드레일(30)과 연결되는 가동자(41)가 설치될 수 있다. 가이드레일(30)과 가동자(41)의 상호작용에 의하여 디스펜싱헤드유닛지지프레임(40)이 가이드레일(30)의 길이방향, 즉, Y축방향으로 이동될 수 있다. 이에 따라, 디스펜싱헤드유닛(50)은 디스펜싱헤드유닛지지프레임(40)의 Y축방향으로의 이동에 의하여 Y축방향으로 이동될 수 있다.Both ends of the dispensing head unit support frame 40 may have a movable member 41 connected to the guide rail 30. By the interaction of the guide rail 30 and the mover 41, the dispensing head unit support frame 40 may be moved in the longitudinal direction of the guide rail 30, that is, in the Y-axis direction. Accordingly, the dispensing head unit 50 may be moved in the Y-axis direction by the movement in the Y-axis direction of the dispensing head unit support frame 40.

디스펜싱헤드유닛지지프레임(40)에는 X축방향으로 배치되는 헤드이동가이드(42)가 설치될 수 있고, 디스펜싱헤드유닛(50)에는 디스펜싱헤드유닛지지프레임(40)의 헤드이동가이드(42)와 연결되는 헤드이동장치(51)가 설치될 수 있다. 헤드이동가이드(42)와 헤드이동장치(51)의 상호작용에 의하여 디스펜싱헤드유닛(50)이 디스펜싱헤드유닛지지프레임(40)의 길이방향, 즉, X축방향으로 이동될 수 있다.The dispensing head unit support frame 40 may be provided with a head moving guide 42 disposed in the X-axis direction, and the dispensing head unit 50 may include a head moving guide of the dispensing head unit supporting frame 40. A head moving device 51 connected with 42 may be installed. The dispensing head unit 50 may be moved in the longitudinal direction of the dispensing head unit support frame 40, that is, in the X-axis direction by the interaction of the head moving guide 42 and the head moving device 51.

이와 같이, 디스펜싱헤드유닛(50)은 X축 및 Y축으로 규정되는 XY장비좌표계에 따라 X축방향 및/또는 Y축방향으로 이동될 수 있다.As such, the dispensing head unit 50 may be moved in the X-axis direction and / or the Y-axis direction according to the XY equipment coordinate system defined by the X-axis and the Y-axis.

한편, 제1실시예에 따른 페이스트 디스펜서에서는, 디스펜싱헤드유닛(50)이 정지된 상태에서 스테이지(20)가 이동되거나, 스테이지(20)가 정지된 상태에서 디스펜싱헤드유닛(50)이 이동되면서 기판(S)상에 페이스트가 도포될 수 있다. 이하, 이와 같은 스테이지(20)와 디스펜싱헤드유닛(50)의 상대이동을 기판(S)에 대한 노즐(53)의 상대이동이라 정의한다.On the other hand, in the paste dispenser according to the first embodiment, the stage 20 is moved while the dispensing head unit 50 is stopped, or the dispensing head unit 50 is moved while the stage 20 is stopped. While the paste can be applied to the substrate (S). Hereinafter, such relative movement of the stage 20 and the dispensing head unit 50 is defined as relative movement of the nozzle 53 with respect to the substrate S.

도 2에 도시된 바와 같이, 디스펜싱헤드유닛(50)은, 페이스트가 수용되는 시린지(52)와, 시린지(52)와 연통되며 페이스트가 토출되는 노즐(53)과, 노즐(53)에 인접되게 배치되어 노즐(53)과 기판(S) 사이의 간격을 측정하기 위한 변위센서(54)와, 노즐(53) 및 변위센서(54)를 Y축방향으로 이동시키는 Y축구동유닛(55)과, 노즐(53) 및 변위센서(54)를 Z축방향으로 이동시키는 Z축구동유닛(56)을 포함하여 구성될 수 있다.As shown in FIG. 2, the dispensing head unit 50 includes a syringe 52 in which the paste is accommodated, a nozzle 53 in communication with the syringe 52 and in which the paste is discharged, and adjacent to the nozzle 53. Displaced sensor 54 for measuring the distance between the nozzle 53 and the substrate (S), and Y-axis drive unit 55 for moving the nozzle 53 and the displacement sensor 54 in the Y-axis direction And, it may be configured to include a Z-axis drive unit 56 for moving the nozzle 53 and the displacement sensor 54 in the Z-axis direction.

변위센서(54)는 레이저를 발광하는 발광부(541)와, 발광부(541)와 소정의 간격으로 이격되며 기판(S)에서 반사된 레이저가 수광되는 수광부(542)로 구성되며, 발광부(541)에서 발광되고 기판(S)에서 반사된 후 수광부(542)에 결상되는 레이저의 결상위치에 따른 전기신호를 제어유닛으로 출력하며, 제어유닛은 이러한 전기신호를 근거로 하여 기판(S)과 노즐(53) 사이의 간격을 계측한다.The displacement sensor 54 includes a light emitting unit 541 for emitting a laser, and a light receiving unit 542 spaced apart from the light emitting unit 541 at a predetermined interval and receiving a laser beam reflected from the substrate S. The light emitting unit After the light emitted from 541 and reflected from the substrate S is reflected, the electrical signal according to the imaging position of the laser image formed in the light receiving unit 542 is output to the control unit, the control unit based on the electrical signal based on the substrate (S) And the gap between the nozzle 53 is measured.

또한, 디스펜싱헤드유닛(50)에는 기판(S)에 형성된 페이스트 패턴(P)의 단면적을 측정하는 단면적센서(57)가 설치될 수 있다. 이와 같은 단면적센서(57)는 기판(S)으로 레이저를 연속적으로 방출하여 페이스트 패턴(P)을 스캔하는 것을 통하여 페이스트 패턴(P)의 단면적을 측정한다. 단면적센서(57)로부터 측정된 페이스트 패턴(P)의 단면적에 관한 데이터는 페이스트 패턴(P)의 불량여부를 측정하는 데에 이용될 수 있다.In addition, the dispensing head unit 50 may be provided with a cross-sectional area sensor 57 for measuring the cross-sectional area of the paste pattern (P) formed on the substrate (S). The cross-sectional area sensor 57 measures the cross-sectional area of the paste pattern P by continuously emitting a laser to the substrate S and scanning the paste pattern P. FIG. Data relating to the cross-sectional area of the paste pattern P measured from the cross-sectional area sensor 57 may be used to measure whether the paste pattern P is defective.

또한, 디스펜싱헤드유닛(50)에는 노즐(53)과 인접한 부위에 기판(S)을 향하도록 설치되는 촬상장치(58)가 구비될 수 있다. 디스펜싱헤드유닛지지프레임(40)의 Y축방향으로의 이동 및 디스펜싱헤드유닛(50)의 X축방향으로의 이동에 의하여 노즐(53)이 이동할 때, 이러한 촬상장치(58)는 노즐(53)의 현재의 위치를 측정하는 데에 이용될 수 있다.In addition, the dispensing head unit 50 may be provided with an imaging device 58 installed to face the substrate S at a portion adjacent to the nozzle 53. When the nozzle 53 is moved by the movement of the dispensing head unit support frame 40 in the Y-axis direction and the movement of the dispensing head unit 50 in the X-axis direction, such an imaging device 58 is connected to the nozzle ( 53 can be used to measure the current position of the instrument.

도 3에 도시된 바와 같이, 시린지(52)에는, 시린지(52)의 내부로 기체를 공급하는 기체공급유닛(70)과, 시린지(52)의 내부의 기체를 배출하는 기체배출유닛(80)이 연결될 수 있다.As shown in FIG. 3, the syringe 52 includes a gas supply unit 70 for supplying gas into the syringe 52, and a gas discharge unit 80 for discharging gas in the syringe 52. This can be connected.

기체공급유닛(70)은, 제1연결라인(71)을 통하여 시린지(52)와 연결되어 시린지(52)로 기체를 공급하는 기체공급기(72)를 포함하여 구성될 수 있다. 이러한 기체공급유닛(70)은 공급밸브(73)를 통하여 시린지(52)와 연결될 수 있다. 기체공급기(72)로는 예를 들면 송풍기나 압축기 등이 이용될 수 있다. 공급밸브(73)로는 솔레노이드가 구비되는 전자밸브가 이용되는 것이 바람직하다. 한편, 기체공급기(72)와 공급밸브(73)의 사이에는 기체공급기(72)로부터 공급되는 기체의 압력을 일정하게 조절하는 정압레귤레이터(74)가 구비될 수 있다. 이러한 기체공급유닛(70)은 시린지(52)의 내부로 기체를 소정의 압력으로 공급하며, 이에 따라, 시린지(52)의 내부에는 정압이 형성되어, 시린지(52)의 내부에 수용된 페이스트가 노즐(53)의 토출구를 통하여 토출될 수 있다.The gas supply unit 70 may include a gas supplier 72 connected to the syringe 52 through the first connection line 71 to supply gas to the syringe 52. The gas supply unit 70 may be connected to the syringe 52 through the supply valve 73. As the gas supplier 72, for example, a blower or a compressor may be used. As the supply valve 73, a solenoid valve having a solenoid is preferably used. Meanwhile, a constant pressure regulator 74 may be provided between the gas supplier 72 and the supply valve 73 to constantly adjust the pressure of the gas supplied from the gas supplier 72. The gas supply unit 70 supplies the gas to the interior of the syringe 52 at a predetermined pressure. Accordingly, a positive pressure is formed inside the syringe 52, so that the paste contained in the syringe 52 has a nozzle. It can be discharged through the discharge port of 53.

기체배출유닛(80)은, 제2연결라인(81)을 통하여 시린지(52)와 연결되는 진공펌프(82)를 포함하여 구성될 수 있다. 이러한 기체배출유닛(80)은 제2연결라인(81)상에 병렬로 배치되는 복수의 제어밸브(90)를 통하여 시린지(52)와 연결될 수 있다. 여기에서, 복수의 제어밸브(90)는, 예를 들면, 제1제어밸브(91)와 제2제어밸브(92)로 구성될 수 있다.The gas discharge unit 80 may include a vacuum pump 82 connected to the syringe 52 through the second connection line 81. The gas discharge unit 80 may be connected to the syringe 52 through a plurality of control valves 90 arranged in parallel on the second connection line (81). Here, the plurality of control valves 90 may be configured of, for example, a first control valve 91 and a second control valve 92.

제1제어밸브(91) 및 제2제어밸브(92)와 진공펌프(82)의 사이에는 부압레귤레이터(83)가 구비되고, 제1제어밸브(91) 및 제2제어밸브(92)는 부압레귤레이터(83)를 통하여 진공펌프(82)와 연결될 수 있다. 이러한 부압레귤레이터(83)는 진공펌프(82)에 의하여 배출되는 기체의 압력을 일정하게 조절하는 역할을 수행한다.A negative pressure regulator 83 is provided between the first control valve 91 and the second control valve 92 and the vacuum pump 82, and the first control valve 91 and the second control valve 92 are negative pressure. It may be connected to the vacuum pump 82 through the regulator (83). The negative pressure regulator 83 serves to constantly adjust the pressure of the gas discharged by the vacuum pump 82.

제1제어밸브(91)와 제2제어밸브(92)로는 솔레노이드가 구비되는 전자밸브가 이용될 수 있다. 제2제어밸브(92)는 제1제어밸브(91)에 비하여 제어신호에 대한 응답속도가 크다. 따라서, 제2제어밸브(92)는 제1제어밸브(91)에 비하여 제2연결라인(81)을 신속하게 개폐할 수 있다. 제2제어밸브(92)가 제1제어밸브(91)에 제어신호에 대한 응답속도가 커질 수 있도록, 제2제어밸브(92)의 솔레노이드의 자기력이 제1제어밸브(91)의 솔레노이드의 자기력에 비하여 클 수 있다. 이를 위하여, 예를 들어, 제2제어밸브(92)의 솔레노이드에 구비되는 전자코일의 권선수가 제1제어밸브(91)의 솔레노이드에 구비되는 전자코일의 권선수에 비하여 클 수 있다. 또한, 예를 들면, 제2제어밸브(92)에서 오리피스를 개폐하기 위하여 요구되는 부하가 제1제어밸브(91)에서 오리피스를 개폐하기 위하여 요구되는 부하에 비하여 작을 수 있다.As the first control valve 91 and the second control valve 92, a solenoid valve having a solenoid may be used. The second control valve 92 has a higher response speed to the control signal than the first control valve 91. Therefore, the second control valve 92 can open and close the second connection line 81 more quickly than the first control valve 91. The magnetic force of the solenoid of the first control valve 91 is the magnetic force of the solenoid of the first control valve 91 so that the response speed of the second control valve 92 to the first control valve 91 increases. It can be larger than that. For this purpose, for example, the number of turns of the electromagnetic coil provided in the solenoid of the second control valve 92 may be larger than the number of turns of the electromagnetic coil provided in the solenoid of the first control valve 91. Also, for example, the load required for opening and closing the orifice in the second control valve 92 may be smaller than the load required for opening and closing the orifice in the first control valve 91.

한편, 시린지(52)에는 시린지(52)의 내부의 압력을 측정하는 압력센서(110)가 구비될 수 있다. 또한, 시린지(52)의 내부의 압력을 대기압과 동일하게 하기 위해 시린지(52)의 내부로 기체가 공급되거나 시린지(52)의 내부로부터 기체가 배기되는 배기밸브(120)가 연결될 수 있다.On the other hand, the syringe 52 may be provided with a pressure sensor 110 for measuring the pressure inside the syringe (52). In addition, in order to make the pressure inside the syringe 52 equal to the atmospheric pressure, an exhaust valve 120 through which gas is supplied into the syringe 52 or gas is exhausted from the inside of the syringe 52 may be connected.

이하, 도 4를 참조하여, 제1실시예에 따른 페이스트 디스펜서의 제어방법에 대하여 설명한다.Hereinafter, a method of controlling the paste dispenser according to the first embodiment will be described with reference to FIG. 4.

먼저, 페이스트를 기판(S)상에 도포하기 위하여, 제1제어밸브(91) 및 제2제어밸브(92)가 모두 폐쇄된 상태에서, 기체공급기(72)가 동작되는 것과 함께 공급밸브(73)가 개방되면서 기체공급기(72)로부터 공급되는 기체가 제1연결라인(71)을 따라 시린지(52)의 내부로 공급된다(S1). 이때, 시린지(52)의 내부로 공급되는 기체의 압력은 정압레귤레이터(74)에서 일정하게 조절될 수 있다.First, in order to apply the paste onto the substrate S, in a state where both the first control valve 91 and the second control valve 92 are closed, the gas supply 72 is operated together with the supply valve 73. Open gas is supplied from the gas supplier 72 is supplied into the syringe 52 along the first connection line 71 (S1). In this case, the pressure of the gas supplied into the syringe 52 may be constantly adjusted by the positive pressure regulator 74.

시린지(52)의 내부로 공급되는 기체에 의하여, 시린지(52)의 내부의 정압이 도포압력(PA)으로 되면, 시린지(52)의 내부에 수용된 페이스트가 노즐(53)쪽으로 압출되며, 이에 따라, 페이스트가 노즐(53)의 토출구를 통하여 기판(S)상으로 토출된다. 이와 동시에 기판(S)에 대하여 노즐(53)이 상대적으로 이동되면서 기판(S)상에는 소정의 패턴으로 페이스트가 도포된다(S2).When the positive pressure inside the syringe 52 becomes the application pressure PA by the gas supplied into the syringe 52, the paste contained in the syringe 52 is extruded toward the nozzle 53, thereby. The paste is discharged onto the substrate S through the discharge port of the nozzle 53. At the same time, the paste is applied on the substrate S in a predetermined pattern while the nozzle 53 is moved relative to the substrate S (S2).

기판(S)상에 페이스트가 도포되는 동작이 완료되면, 공급밸브(73)의 폐쇄동작에 의하여 제1연결라인(71)이 폐쇄되고, 배기밸브(120)가 개방되면서 시린지(52)의 내부의 기체가 외부로 배기되며, 이에 따라, 시린지(52)의 내부의 압력이 대기압(Patm)과 동일한 상태로 될 수 있다(S3).When the operation of applying the paste onto the substrate S is completed, the first connection line 71 is closed by the closing operation of the supply valve 73, and the exhaust valve 120 is opened to open the interior of the syringe 52. Gas is exhausted to the outside, and thus, the pressure inside the syringe 52 may be in the same state as the atmospheric pressure Patm (S3).

그리고, 배기밸브(120)가 폐쇄되고, 진공펌프(82)가 동작되는 상태에서 제1제어밸브(91)가 개방되면서 시린지(52)의 내부의 기체가 제2연결라인(81)을 따라 배출되며(S4), 이에 따라, 시린지(52)의 내부에는 1차적인 부압(P1)이 작용된다(S5). 여기에서, 배기밸브(120)가 폐쇄된 후 제1제어밸브(91)가 개방될 수 있고, 제1제어밸브(91)가 개방된 후 배기밸브(120)가 폐쇄될 수 있으며, 배기밸브(120)가 폐쇄되는 것과 동시에 제1제어밸브(91)가 개방될 수 있다. 이때, 제2제어밸브(92)는 폐쇄된 상태를 유지할 수 있으며, 이에 따라, 시린지(52)의 내부의 기체는 제1제어밸브(91)만을 통하여 배출될 수 있다. 다만, 시린지(52)의 내부에 1차적인 부압(P1)이 작용되는 데까지 소요되는 시간을 줄이기 위하여, 즉, 시린지(52)의 내부로부터 배출되는 기체의 양을 크게 하기 위하여, 제2제어밸브(92)가 제1제어밸브(91)와 함께 개방될 수 있다. 여기에서, 제2제어밸브(92)의 개폐여부는 시린지(52)에 수용된 페이스트의 점도 및/또는 페이스트의 잔량에 따라 결정될 수 있다.In addition, the exhaust valve 120 is closed and the first control valve 91 is opened while the vacuum pump 82 is operated, and gas inside the syringe 52 is discharged along the second connection line 81. (S4), and thus, the primary negative pressure P1 is applied to the inside of the syringe 52 (S5). Here, the first control valve 91 may be opened after the exhaust valve 120 is closed, and the exhaust valve 120 may be closed after the first control valve 91 is opened, and the exhaust valve ( At the same time as the 120 is closed, the first control valve 91 may be opened. In this case, the second control valve 92 may maintain a closed state, and thus, the gas inside the syringe 52 may be discharged only through the first control valve 91. However, in order to reduce the time required to apply the primary negative pressure P1 to the inside of the syringe 52, that is, to increase the amount of gas discharged from the inside of the syringe 52, the second control valve 92 may be opened with the first control valve 91. Here, whether the second control valve 92 is opened or closed may be determined according to the viscosity of the paste contained in the syringe 52 and / or the remaining amount of the paste.

시린지(52)의 내부에 작용되는 1차적인 부압(P1)에 의하여 노즐(53)의 토출구에 존재하는 페이스트가 시린지(52) 쪽으로 당겨지며, 이에 따라, 노즐(53)의 토출구에 존재하는 페이스트가 노즐(53)의 토출구에 맺히거나 외부로 누출되는 현상이 방지될 수 있다.The paste present in the discharge port of the nozzle 53 is pulled toward the syringe 52 by the primary negative pressure P1 applied to the inside of the syringe 52, and thus, the paste present in the discharge port of the nozzle 53. Can be prevented from condensing to the discharge port of the nozzle 53 or leaking to the outside.

그리고, 기판(S)상으로 페이스트가 도포되지 않는 대기상태를 유지하기 위하여, 시린지(52)의 내부에는 미세한 크기의 2차적인 부압(P2)이 작용되어야 한다. 이를 위하여, 먼저, 제1제어밸브(91)가 폐쇄되고(이전 단계(S4)(S5)에서 제2제어밸브(92)가 제1제어밸브(91)와 함께 개방된 경우에는 제2제어밸브(92)도 폐쇄된다.) 배기밸브(120)가 개방되며, 이에 따라, 시린지(52)의 내부로 기체가 유입된다. 따라서, 시린지(52)의 내부의 부압이 점차적으로 감소한다(S6).In order to maintain the standby state in which the paste is not applied onto the substrate S, the secondary negative pressure P2 having a minute size should be applied to the inside of the syringe 52. To this end, first, the first control valve 91 is closed (if the second control valve 92 is opened together with the first control valve 91 in the previous step (S4) (S5), the second control valve is closed. 92 is also closed.) The exhaust valve 120 is opened, whereby gas is introduced into the syringe 52. Therefore, the negative pressure inside the syringe 52 gradually decreases (S6).

그리고, 시린지(52)의 내부의 압력이 대기압과 동일한 압력이 되기 이전에, 배기밸브(120)가 폐쇄되고 제1제어밸브(91)가 폐쇄된 상태에서 제2제어밸브(92)가 개방된다. 여기에서, 배기밸브(120)가 폐쇄된 후 제2제어밸브(92)가 개방될 수 있고, 제2제어밸브(92)가 개방된 후 배기밸브(120)가 폐쇄될 수 있으며, 배기밸브(120)가 폐쇄되는 것과 동시에 제2제어밸브(92)가 개방될 수 있다.Then, before the pressure inside the syringe 52 becomes the same as the atmospheric pressure, the second control valve 92 is opened while the exhaust valve 120 is closed and the first control valve 91 is closed. . Here, the second control valve 92 may be opened after the exhaust valve 120 is closed, and the exhaust valve 120 may be closed after the second control valve 92 is opened, and the exhaust valve ( At the same time as the 120 is closed, the second control valve 92 may be opened.

이때, 제2제어밸브(92)가 계속적으로 개방되는 경우에는, 시린지(52)의 내부의 압력이 계속적으로 낮아질 수 있으므로, 제2제어밸브(92)는 개방동작 및 폐쇄동작이 반복적으로 수행된다. 이때, 제어유닛은 압력센서(110)에서 감지한 시린지(52)의 내부의 압력을 근거로 하여 제2제어밸브(92)의 개방동작 및 폐쇄동작을 제어한다. 이와 같이, 제2제어밸브(92)의 반복적인 개방동작 및 폐쇄동작이 수행되면서, 시린지(52)의 내부에는 2차적인 부압(P2)으로 유지된다(S7).At this time, when the second control valve 92 is continuously opened, since the pressure inside the syringe 52 may be continuously lowered, the second control valve 92 is repeatedly opened and closed. . At this time, the control unit controls the opening and closing operations of the second control valve 92 based on the pressure inside the syringe 52 detected by the pressure sensor 110. As described above, while the repeated opening and closing operations of the second control valve 92 are performed, the inside of the syringe 52 is maintained at the secondary negative pressure P2 (S7).

이때, 부압레귤레이터(83)에 인가되는 전압의 크기를 최소화한 상태에서, 즉, 부압레귤레이터(83)에서 제어할 수 있는 부압의 크기를 최소화한 상태에서, 제2제어밸브(92)의 개방동작 및 폐쇄동작을 반복적으로 수행하면, 부압레귤레이터(83)에서 조절할 수 있는 최소부압의 크기에 비하여 작은 크기의 부압(P2)을 시린지(52)의 내부에 작용시킬 수 있다.At this time, the operation of opening the second control valve 92 while minimizing the magnitude of the voltage applied to the negative pressure regulator 83, that is, while minimizing the magnitude of the negative pressure that can be controlled by the negative pressure regulator 83. When the closing operation is repeatedly performed, the negative pressure P2 having a smaller size than the minimum negative pressure that can be adjusted by the negative pressure regulator 83 may be applied to the interior of the syringe 52.

이와 같이, 제1실시예에 따른 페이스트 디스펜서는, 부압레귤레이터(83)에서 조절할 수 있는 최소부압에 비하여 작은 크기의 부압을 시린지(52)의 내부에 작용시킬 수 있으므로, 시린지(52)의 내부에 수용된 페이스트의 점도 및 페이스트의 잔량에 따라 시린지(52)의 내부의 압력을 미세하게 조절할 수 있는 효과가 있다.As described above, since the paste dispenser according to the first embodiment may operate a negative pressure having a smaller magnitude than the minimum negative pressure that can be adjusted by the negative pressure regulator 83, the inside of the syringe 52. The pressure inside the syringe 52 can be finely adjusted according to the viscosity of the contained paste and the remaining amount of the paste.

이하, 제2실시예에 따른 페이스트 디스펜서 및 그 제어방법에 대하여 설명한다. 전술한 제1실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, the paste dispenser according to the second embodiment and a control method thereof will be described. The same reference numerals are given to the same portions as those described in the first embodiment, and a detailed description thereof will be omitted.

제2실시예에 따른 페이스트 디스펜서에서, 복수의 제어밸브(90)는, 제1제어밸브(91)와, 제1제어밸브에 비하여 단위시간당 유량이 적은 제2제어밸브(92)를 포함하여 구성될 수 있다.In the paste dispenser according to the second embodiment, the plurality of control valves 90 includes a first control valve 91 and a second control valve 92 having a lower flow rate per unit time than the first control valve. Can be.

제1제어밸브(91)와 제2제어밸브(92)로는 솔레노이드가 구비되는 전자밸브가 이용될 수 있다. 제2제어밸브(92)를 통과하는 기체의 단위시간당 유량은 제1제어밸브(91)를 통과하는 기체의 단위시간당 유량에 비하여 적다. 제2제어밸브(92)의 단위시간당 유량이 제1제어밸브(91)의 단위시간당 유량에 비하여 적을 수 있도록, 예를 들어, 제2제어밸브(92)에서 기체가 통과하는 오리피스의 크기가 제1제어밸브(91)에서 기체가 통과하는 오리피스의 크기에 비하여 작을 수 있다.As the first control valve 91 and the second control valve 92, a solenoid valve having a solenoid may be used. The flow rate per unit time of the gas passing through the second control valve 92 is less than the flow rate per unit time of the gas passing through the first control valve 91. For example, the size of the orifice through which the gas passes through the second control valve 92 may be reduced so that the flow rate per unit time of the second control valve 92 may be smaller than the flow rate per unit time of the first control valve 91. The control valve 91 may be smaller than the size of the orifice through which the gas passes.

제2실시예에 따른 페이스트 디스펜서의 다른 구성은 제1실시예에 따른 페이스트 디스펜서의 구성과 같다.The other configuration of the paste dispenser according to the second embodiment is the same as that of the paste dispenser according to the first embodiment.

제2실시예에 따른 페이스트 디스펜서에서는, 페이스트를 도포하는 과정을 종료할 때, 제1제어밸브(91)가 개방되어 시린지(52)의 내부에 1차적인 부압(P1)이 형성된다(S5). 이때, 전술한 제1실시예에서와 마찬가지로, 제2제어밸브(92)는 폐쇄된 상태를 유지할 수 있으며, 제1제어밸브(91)와 함께 개방될 수 있다.In the paste dispenser according to the second embodiment, when the process of applying the paste is finished, the first control valve 91 is opened to form a primary negative pressure P1 inside the syringe 52 (S5). . In this case, as in the above-described first embodiment, the second control valve 92 may maintain a closed state and may be opened together with the first control valve 91.

그리고, 제1제어밸브(91)가 폐쇄되고 배기밸브(120)가 개방되며, 이에 따라, 시린지(52)의 내부로 기체가 유입된다(S6). 그리고, 시린지(52)의 내부의 압력이 대기압과 동일한 압력이 되기 이전에, 배기밸브(120)가 폐쇄되고 제2제어밸브(92)가 개방된다.In addition, the first control valve 91 is closed and the exhaust valve 120 is opened, whereby gas is introduced into the syringe 52 (S6). Then, before the pressure inside the syringe 52 becomes the same as the atmospheric pressure, the exhaust valve 120 is closed and the second control valve 92 is opened.

그리고, 기판(S)상으로 페이스트가 도포되지 않는 대기상태를 유지하기 위하여, 제1제어밸브(91)가 폐쇄된 상태에서, 제1제어밸브(91)에 비하여 단위시간당 유량이 적은 제2제어밸브(92)가 개방되면서, 시린지(52)의 내부에는 2차적인 부압(P2)이 형성된다. 이때, 시린지(52)의 내부의 압력이 미세하게 조절될 수 있도록, 제어유닛은 압력센서(110)에서 감지한 시린지(52)의 내부의 압력을 근거로 하여 제2제어밸브(92)의 개방동작 및 폐쇄동작이 반복적으로 수행되도록 제어한다.In order to maintain the standby state in which the paste is not applied onto the substrate S, the second control having a smaller flow rate per unit time than the first control valve 91 while the first control valve 91 is closed. As the valve 92 is opened, a secondary negative pressure P2 is formed inside the syringe 52. At this time, the control unit opens the second control valve 92 based on the pressure inside the syringe 52 detected by the pressure sensor 110 so that the pressure inside the syringe 52 can be finely adjusted. Controls the operation and the closing operation to be performed repeatedly.

이때, 부압레귤레이터(83)에 인가되는 전압의 크기를 최소화한 상태에서, 즉, 부압레귤레이터(83)에서 제어할 수 있는 부압의 크기를 최소화한 상태에서, 제2제어밸브(92)의 개방동작 및 폐쇄동작을 반복적으로 수행하면, 부압레귤레이터(83)에서 조절할 수 있는 최소부압의 크기에 비하여 작은 크기의 부압(P2)을 시린지(52)의 내부에 작용시킬 수 있다.At this time, the operation of opening the second control valve 92 while minimizing the magnitude of the voltage applied to the negative pressure regulator 83, that is, while minimizing the magnitude of the negative pressure that can be controlled by the negative pressure regulator 83. When the closing operation is repeatedly performed, the negative pressure P2 having a smaller size than the minimum negative pressure that can be adjusted by the negative pressure regulator 83 may be applied to the interior of the syringe 52.

이와 같이, 제2실시예에 따른 페이스트 디스펜서는, 부압레귤레이터(83)에서 조절할 수 있는 최소부압에 비하여 작은 크기의 부압을 시린지(52)의 내부에 작용시킬 수 있으므로, 시린지(52)의 내부에 수용된 페이스트의 점도 및 페이스트의 잔량에 따라 시린지(52)의 내부의 압력을 미세하게 조절할 수 있는 효과가 있다.As described above, since the paste dispenser according to the second embodiment may operate a negative pressure having a smaller magnitude than the minimum negative pressure that can be adjusted by the negative pressure regulator 83, the inside of the syringe 52. The pressure inside the syringe 52 can be finely adjusted according to the viscosity of the contained paste and the remaining amount of the paste.

이하, 제2실시예에 따른 페이스트 디스펜서의 작용 및 효과는 전술한 제1실시예에 따른 페이스트 디스펜서의 작용 및 효과와 같다.Hereinafter, the action and effect of the paste dispenser according to the second embodiment is the same as the action and effect of the paste dispenser according to the first embodiment described above.

한편, 제1실시예 및 제2실시예에서는, 기판(S)상으로 페이스트가 도포되지 않는 대기상태에서, 시린지(52)의 내부의 압력을, 부압레귤레이터(83)에서 조절할 수 있는 최소부압에 비하여 작은 크기의 2차적인 부압(P2)으로 유지하기 위하여, 제1제어밸브(91)를 폐쇄한 상태에서 제2제어밸브(92)가 개폐하는 동작을 수행하는 과정에 대하여 제시하였다. 다만, 다른 실시예로서, 페이스트의 점도가 높거나 시린지의 잔량이 많아, 시린지(52)의 내부에 작용되어야 하는 2차적인 부압(P)이 부압레귤레이터(83)에서 조절할 수 있는 최소부압에 비하여 큰 경우에는, 제2제어밸브(92)가 폐쇄된 상태에서 제1제어밸브(91)가 개폐되면서 시린지(52)의 내부의 압력이 2차적인 부압(P2)으로 조절될 수 있다. 이와 같이, 시린지(52)의 내부에 수용된 페이스트의 점도 및/또는 페이스트의 잔량에 따라 제1제어밸브(91) 및 제2제어밸브(92)의 개폐동작을 제어하면서, 시린지(52)의 내부를 2차적인 부압(P2)으로 조절할 수 있다.On the other hand, in the first and second embodiments, in the standby state in which the paste is not applied onto the substrate S, the pressure inside the syringe 52 is adjusted to the minimum negative pressure that can be adjusted by the negative pressure regulator 83. In contrast, in order to maintain the secondary negative pressure P2 having a smaller size, a process of opening and closing the second control valve 92 while the first control valve 91 is closed has been described. However, as another embodiment, the viscosity of the paste is high or the residual amount of the syringe is large, so that the secondary negative pressure P, which should be acted on the inside of the syringe 52, is lower than the minimum negative pressure that the negative pressure regulator 83 can control. In a large case, the pressure inside the syringe 52 may be adjusted to the secondary negative pressure P2 while the first control valve 91 is opened and closed while the second control valve 92 is closed. In this way, the inside of the syringe 52 is controlled while controlling the opening and closing operations of the first control valve 91 and the second control valve 92 according to the viscosity of the paste contained in the syringe 52 and / or the remaining amount of the paste. Can be adjusted to the secondary negative pressure (P2).

또한, 제1실시예에서는 제2제어밸브(92)가 제1제어밸브(91)에 비하여 제어신호에 대한 응답속도가 큰 구성을 제시하였고, 제2실시예에서는 제2제어밸브(92)가 제1제어밸브(91)에 비하여 단위시간당 유량이 작은 구성을 제시하였다. 다만, 다른 실시예로서, 제2제어밸브(92)가 제1제어밸브(91)에 비하여 제어신호에 대한 응답속도가 크면서도 단위시간당 유량이 작은 구성을 적용하여, 본 발명의 페이스트 디스펜서의 작용효과를 달성할 수 있다.In addition, in the first embodiment, the second control valve 92 has a configuration in which the response speed to the control signal is larger than that of the first control valve 91. In the second embodiment, the second control valve 92 Compared to the first control valve 91, a configuration in which the flow rate per unit time is small is presented. However, as another embodiment, the second control valve 92 has a larger response speed to the control signal and a smaller flow rate per unit time than the first control valve 91, so that the paste dispenser of the present invention operates. Effect can be achieved.

또한, 제1실시예 및 제2실시예에서는, 복수의 제어밸브(90)로 두 개의 제1제어밸브(91) 및 제2제어밸브(92)가 구비되는 구성을 제시하였다. 다만, 다른 실시예로서, 복수의 제어밸브(90)로, 제어신호에 대한 응답속도 및/또는 단위시간당 유량이 서로 다른 세 개 이상의 제어밸브(90)가 병렬로 연결되고, 시린지(52)의 내부에 1차적인 부압(P1) 및 2차적인 부압(P2)을 형성하기 위해 세 개 이상의 제어밸브(90)가 각각 독립적으로 개폐되는 구성이 적용될 수 있다.In addition, in the first embodiment and the second embodiment, a configuration in which two first control valves 91 and second control valves 92 are provided as the plurality of control valves 90 is provided. However, in another embodiment, the plurality of control valves 90, three or more control valves 90 having different response speeds and / or flow rate per unit time with respect to the control signal is connected in parallel, the syringe 52 of the In order to form a primary negative pressure P1 and a secondary negative pressure P2 therein, a configuration in which three or more control valves 90 are independently opened and closed may be applied.

이하, 도 5를 참조하여, 제3실시예에 따른 페이스트 디스펜서 및 그 제어방법에 대하여 설명한다. 전술한 제1실시예 내지 제2실시예에서 설명한 부분과 동일한 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.Hereinafter, the paste dispenser and the control method thereof according to the third embodiment will be described with reference to FIG. 5. The same parts as those described in the above-described first to second embodiments are denoted by the same reference numerals and detailed description thereof will be omitted.

도 5에 도시된 바와 같이, 제3실시예에 따른 페이스트 디스펜서는, 제1제어밸브(91) 및 제2제어밸브(92)가 제2연결라인(81)상에 직렬로 연결된다. 즉, 제1제어밸브(91)는 시린지(52)와 기체배출유닛(80)의 사이에 배치되며, 제2제어밸브(92)는 시린지(52)와 제1제어밸브(91) 사이에서 제1제어밸브(91)와 직렬로 연결된다. 제1실시예에서 설명한 바와 마찬가지로, 제2제어밸브(92)는 제1제어밸브(91)에 비하여 제어신호에 대한 응답속도가 클 수 있으며, 제2실시예에서 설명한 바와 마찬가지로, 제2제어밸브(92)는 제1제어밸브(91)에 비하여 단위시간당 유량이 작을 수 있다. 또한, 다른 실시예로서, 제2제어밸브(92)가 제1제어밸브(91)에 비하여 제어신호에 대한 응답속도가 크면서도 단위시간당 유량이 작을 수 있다.As shown in FIG. 5, the paste dispenser according to the third embodiment has a first control valve 91 and a second control valve 92 connected in series on a second connection line 81. That is, the first control valve 91 is disposed between the syringe 52 and the gas discharge unit 80, and the second control valve 92 is disposed between the syringe 52 and the first control valve 91. 1 is connected in series with the control valve (91). As described in the first embodiment, the second control valve 92 may have a higher response speed to the control signal than the first control valve 91. As described in the second embodiment, the second control valve 92 may have a smaller flow rate per unit time than the first control valve 91. In another embodiment, the second control valve 92 may have a higher response speed to the control signal and a smaller flow rate per unit time than the first control valve 91.

또한, 제3실시예에서는, 복수의 제어밸브(90)로 두 개의 제1제어밸브(91) 및 제2제어밸브(92)가 구비되는 구성을 제시하였다. 다만, 다른 실시예로서, 복수의 제어밸브(90)로, 제어신호에 대한 응답속도 및/또는 단위시간당 유량이 서로 다른 세 개 이상의 제어밸브(90)가 직렬로 연결되고, 시린지(52)의 내부에 1차적인 부압(P1) 및 2차적인 부압(P2)을 형성하기 위해 세 개 이상의 제어밸브(90)가 각각 독립적으로 개폐되는 구성이 적용될 수 있다.In addition, in the third embodiment, a configuration in which two first control valves 91 and a second control valve 92 are provided as the plurality of control valves 90 is provided. However, as another embodiment, the plurality of control valves 90, three or more control valves 90 having different response speed and / or flow rate per unit time to the control signal is connected in series, the syringe 52 of the In order to form a primary negative pressure P1 and a secondary negative pressure P2 therein, a configuration in which three or more control valves 90 are independently opened and closed may be applied.

이하, 제3실시예에 따른 페이스트 디스펜서의 제어방법에 대하여 설명한다.Hereinafter, a control method of the paste dispenser according to the third embodiment will be described.

시린지(52)의 내부로 정압이 공급되어 기판(S)상에 페이스트가 도포되는 과정은 전술한 제1실시예에서 설명한 바와 같다.The process of applying the paste onto the substrate S by supplying a positive pressure into the syringe 52 is as described in the above-described first embodiment.

기판(S)상에 페이스트가 도포되는 동작이 완료되면, 공급밸브(73)의 동작에 의하여 제1연결라인(71)이 폐쇄되고, 배기밸브(120)가 개방되면서 시린지(52)의 내부의 기체가 외부로 배기되며, 이에 따라, 시린지(52)의 내부의 압력이 대기압(Patm)과 동일한 상태로 될 수 있다(S3).When the operation of applying the paste onto the substrate S is completed, the first connection line 71 is closed by the operation of the supply valve 73, and the exhaust valve 120 is opened to open the interior of the syringe 52. The gas is exhausted to the outside, whereby the pressure inside the syringe 52 may be in the same state as the atmospheric pressure Patm (S3).

그리고, 배기밸브(120)가 폐쇄되고, 진공펌프(82)가 동작되는 상태에서, 제1제어밸브(91) 및 제2제어밸브(92)가 개방되면서 시린지(52)의 내부의 기체가 제2연결라인(81)을 따라 배출되며(S4), 이에 따라, 시린지(52)의 내부에는 1차적인 부압(P1)이 작용된다(S5). 여기에서, 배기밸브(120)가 폐쇄된 후 제1제어밸브(91) 및 제2제어밸브(92)가 개방될 수 있고, 제1제어밸브(91) 및 제2제어밸브(92)가 개방된 후 배기밸브(120)가 폐쇄될 수 있으며, 배기밸브(120)가 폐쇄되는 것과 동시에 제1제어밸브(91) 및 제2제어밸브(92)가 개방될 수 있다.Then, while the exhaust valve 120 is closed and the vacuum pump 82 is operated, the first control valve 91 and the second control valve 92 are opened, and the gas inside the syringe 52 is removed. It is discharged along the second connection line 81 (S4), thereby, the primary negative pressure (P1) is applied to the interior of the syringe 52 (S5). Here, after the exhaust valve 120 is closed, the first control valve 91 and the second control valve 92 may be opened, and the first control valve 91 and the second control valve 92 may be opened. After the exhaust valve 120 may be closed, the first control valve 91 and the second control valve 92 may be opened at the same time as the exhaust valve 120 is closed.

시린지(52)의 내부에 작용되는 1차적인 부압(P1)에 의하여 노즐(53)의 토출구에 존재하는 페이스트가 시린지(52) 쪽으로 당겨지며, 이에 따라, 노즐(53)의 토출구에 존재하는 페이스트가 노즐(53)의 토출구에 맺히거나 외부로 누출되는 현상이 방지된다.The paste present in the discharge port of the nozzle 53 is pulled toward the syringe 52 by the primary negative pressure P1 applied to the inside of the syringe 52, and thus, the paste present in the discharge port of the nozzle 53. Is prevented from sticking to the discharge port of the nozzle 53 or leaking to the outside.

그리고, 기판(S)상으로 페이스트가 도포되지 않는 대기상태에서, 시린지(52)의 내부에 미세한 크기의 2차적인 부압(P2)을 작용시키기 위하여, 제1제어밸브(91) 및 제2제어밸브(92)가 폐쇄되고 배기밸브(120)가 개방되며, 이에 따라, 시린지(52)의 내부로 기체가 유입된다. 따라서, 시린지(52)의 내부의 부압이 점차적으로 감소한다(S6).The first control valve 91 and the second control are then operated in order to apply the secondary negative pressure P2 of minute size to the inside of the syringe 52 in the standby state in which the paste is not applied onto the substrate S. FIG. The valve 92 is closed and the exhaust valve 120 is opened, whereby gas is introduced into the syringe 52. Therefore, the negative pressure inside the syringe 52 gradually decreases (S6).

그리고, 시린지(52)의 내부의 압력이 대기압과 동일한 압력이 되기 이전에, 배기밸브(120)가 폐쇄되고 제1제어밸브(91) 및 제2제어밸브(92)가 개방된다. 여기에서, 배기밸브(120)가 폐쇄된 후 제1제어밸브(91) 및 제2제어밸브(92)가 개방될 수 있고, 제1제어밸브(91) 및 제2제어밸브(92)가 개방된 후 배기밸브(120)가 폐쇄될 수 있으며, 배기밸브(120)가 폐쇄되는 것과 동시에 제1제어밸브(91) 및 제2제어밸브(92)가 개방될 수 있다.Then, before the pressure inside the syringe 52 becomes equal to the atmospheric pressure, the exhaust valve 120 is closed and the first control valve 91 and the second control valve 92 are opened. Here, after the exhaust valve 120 is closed, the first control valve 91 and the second control valve 92 may be opened, and the first control valve 91 and the second control valve 92 may be opened. After the exhaust valve 120 may be closed, the first control valve 91 and the second control valve 92 may be opened at the same time as the exhaust valve 120 is closed.

이때, 제1제어밸브(91) 및 제2제어밸브(92)가 계속적으로 개방되는 경우에는, 시린지(52)의 내부의 압력이 계속적으로 낮아질 수 있으므로, 제1제어밸브(91)가 개방된 상태에서 제2제어밸브(92)는 개방동작 및 폐쇄동작이 반복적으로 수행된다. 이때, 제어유닛은 압력센서(110)에서 감지한 시린지(52)의 내부의 압력을 근거로 하여 제2제어밸브(92)의 반복적인 개방동작 및 폐쇄동작을 제어한다. 이와 같이, 제2제어밸브(92)의 반복적인 개방동작 및 폐쇄동작이 수행되면서, 시린지(52)의 내부에는 2차적인 부압(P2)으로 유지된다(S7).At this time, when the first control valve 91 and the second control valve 92 are continuously opened, since the pressure inside the syringe 52 may be continuously lowered, the first control valve 91 is opened. In the state, the second control valve 92 is repeatedly opened and closed. In this case, the control unit controls the repetitive opening and closing operations of the second control valve 92 based on the pressure inside the syringe 52 detected by the pressure sensor 110. As described above, while the repeated opening and closing operations of the second control valve 92 are performed, the inside of the syringe 52 is maintained at the secondary negative pressure P2 (S7).

이때, 부압레귤레이터(83)에 인가되는 전압의 크기를 최소화한 상태에서, 즉, 부압레귤레이터(83)에서 제어할 수 있는 부압의 크기를 최소화한 상태에서, 제2제어밸브(92)의 개방동작 및 폐쇄동작을 반복적으로 수행하면, 부압레귤레이터(83)에서 조절할 수 있는 최소부압의 크기에 비하여 작은 크기의 부압(P2)을 시린지(52)의 내부에 작용시킬 수 있다.At this time, the operation of opening the second control valve 92 while minimizing the magnitude of the voltage applied to the negative pressure regulator 83, that is, while minimizing the magnitude of the negative pressure that can be controlled by the negative pressure regulator 83. When the closing operation is repeatedly performed, the negative pressure P2 having a smaller size than the minimum negative pressure that can be adjusted by the negative pressure regulator 83 may be applied to the interior of the syringe 52.

이와 같이, 제3실시예에 따른 페이스트 디스펜서는, 부압레귤레이터(83)에서 조절할 수 있는 최소부압에 비하여 작은 크기의 부압을 시린지(52)의 내부에 작용시킬 수 있으므로, 시린지(52)의 내부에 수용된 페이스트의 점도 및 페이스트의 잔량에 따라 시린지(52)의 내부의 압력을 미세하게 조절할 수 있는 효과가 있다.As described above, since the paste dispenser according to the third embodiment may operate a negative pressure having a smaller magnitude than the minimum negative pressure that can be adjusted by the negative pressure regulator 83, the syringe 52 may be applied to the inside of the syringe 52. The pressure inside the syringe 52 can be finely adjusted according to the viscosity of the contained paste and the remaining amount of the paste.

한편, 제1실시예 내지 제3실시예에서는, 제1제어밸브(91) 및 제2제어밸브(92)로 솔레노이드가 구비되는 전자밸브가 적용되는 구성을 제시하였다. 다만, 제1제어밸브(91) 및 제2제어밸브(92)로 압전소자가 구비되는 전자밸브와 같이 제어신호에 의하여 동작하는 다양한 밸브가 이용될 수 있다.On the other hand, in the first to third embodiments, a configuration in which a solenoid valve provided with a solenoid is applied to the first control valve 91 and the second control valve 92. However, as the first control valve 91 and the second control valve 92, various valves operated by a control signal, such as an electromagnetic valve having a piezoelectric element, may be used.

52: 시린지 53: 노즐
70: 기체공급유닛 80: 기체배출유닛
91: 제1제어밸브 92: 제2제어밸브52: syringe 53: nozzle
70: gas supply unit 80: gas discharge unit
91: first control valve 92: second control valve

Claims (9)

페이스트가 수용되는 시린지;
상기 시린지와 연결라인을 통하여 연결되는 기체배출유닛; 및
상기 시린지와 상기 기체배출유닛 사이에서 상기 연결라인상에 배치되는 복수의 제어밸브를 포함하고,
상기 복수의 제어밸브는 제어신호에 대한 응답속도가 서로 다른 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서.Syringes in which the paste is accommodated;
A gas discharge unit connected to the syringe through a connection line; And
And a plurality of control valves disposed on the connection line between the syringe and the gas discharge unit.
The plurality of control valves paste dispenser, characterized in that the response speed is different from the control signal. 페이스트가 수용되는 시린지;
상기 시린지와 연결라인을 통하여 연결되는 기체배출유닛; 및
상기 시린지와 상기 기체배출유닛 사이에서 상기 연결라인상에 배치되는 복수의 제어밸브를 포함하고,
상기 복수의 제어밸브는 단위시간당 유량이 서로 다른 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서.Syringes in which the paste is accommodated;
A gas discharge unit connected to the syringe through a connection line; And
And a plurality of control valves disposed on the connection line between the syringe and the gas discharge unit.
The plurality of control valves paste dispenser, characterized in that different flow rate per unit time. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 복수의 제어밸브는 상기 연결라인상에 병렬로 배치되는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서.The method according to claim 1 or 2,
And the plurality of control valves are disposed in parallel on the connection line. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 기체배출유닛은,
상기 연결라인과 연결되는 진공펌프; 및
상기 진공펌프와 상기 복수의 제어밸브 사이에서 상기 연결라인상에 배치되는 부압레귤레이터를 포함하는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서.The method according to claim 1 or 2,
The gas discharge unit,
A vacuum pump connected to the connection line; And
And a negative pressure regulator disposed on the connection line between the vacuum pump and the plurality of control valves. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 시린지의 내부의 압력을 측정하는 압력센서가 더 구비되고,
상기 압력센서에서 측정된 상기 시린지의 내부의 압력을 기준으로 상기 복수의 제어밸브의 동작이 제어되는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서.The method according to claim 1 or 2,
A pressure sensor for measuring the pressure inside the syringe is further provided,
Paste dispenser, characterized in that the operation of the plurality of control valve is controlled based on the pressure inside the syringe measured by the pressure sensor. 기판상에 도포되는 페이스트가 수용되는 시린지와, 상기 시린지와 연결되는 기체공급유닛 및 기체배출유닛과, 상기 시린지와 상기 기체배출유닛 사이에서 병렬로 배치되는 제1제어밸브 및 제2제어밸브를 포함하고, 상기 제2제어밸브는 상기 제1제어밸브에 비하여 제어신호에 대한 응답속도가 큰 페이스트 디스펜서의 제어방법에 있어서,
(a) 상기 제1제어밸브 및 상기 제2제어밸브가 폐쇄된 상태에서, 상기 기체공급유닛에 의하여 상기 시린지의 내부에 정압이 작용되면서 상기 기판상에 페이스트가 도포되는 단계;
(b) 상기 기체공급유닛에 의한 정압이 차단되는 단계;
(c) 상기 제1제어밸브가 개방된 상태에서 상기 기체배출유닛에 의하여 상기 시린지의 내부에 부압이 작용되는 단계; 및
(d) 상기 제1제어밸브가 폐쇄된 상태에서 상기 제2제어밸브가 개방되면서 상기 시린지의 내부의 부압이 조절되는 단계를 포함하는 페이스트 디스펜서의 제어방법.A syringe containing paste applied on a substrate, a gas supply unit and a gas discharge unit connected to the syringe, and a first control valve and a second control valve disposed in parallel between the syringe and the gas discharge unit. In the control method of the paste dispenser, the second control valve has a greater response speed to the control signal than the first control valve,
(a) applying a paste onto the substrate while a positive pressure is applied to the inside of the syringe by the gas supply unit while the first control valve and the second control valve are closed;
(b) blocking the static pressure by the gas supply unit;
(c) a negative pressure applied to the inside of the syringe by the gas discharge unit while the first control valve is opened; And
(d) controlling the paste dispenser including adjusting the negative pressure inside the syringe while the second control valve is opened while the first control valve is closed. 기판상에 도포되는 페이스트가 수용되는 시린지와, 상기 시린지와 연결되는 기체공급유닛 및 기체배출유닛과, 상기 시린지와 상기 기체배출유닛 사이에서 병렬로 배치되는 제1제어밸브 및 제2제어밸브를 포함하고, 상기 제2제어밸브는 상기 제1제어밸브에 비하여 단위시간당 유량이 적은 페이스트 디스펜서의 제어방법에 있어서,
(a) 상기 제1제어밸브 및 상기 제2제어밸브가 폐쇄된 상태에서, 상기 기체공급유닛에 의하여 상기 시린지의 내부에 정압이 작용되면서 상기 기판상에 페이스트가 도포되는 단계;
(b) 상기 기체공급유닛에 의한 정압이 차단되는 단계;
(c) 상기 제1제어밸브가 개방된 상태에서 상기 기체배출유닛에 의하여 상기 시린지의 내부에 부압이 작용되는 단계; 및
(d) 상기 제1제어밸브가 폐쇄된 상태에서 상기 제2제어밸브가 개방되면서 상기 시린지의 내부의 부압이 조절되는 단계를 포함하는 페이스트 디스펜서의 제어방법.A syringe containing paste applied on a substrate, a gas supply unit and a gas discharge unit connected to the syringe, and a first control valve and a second control valve disposed in parallel between the syringe and the gas discharge unit. In the control method of the paste dispenser, the second control valve has a lower flow rate per unit time than the first control valve,
(a) applying a paste onto the substrate while a positive pressure is applied to the inside of the syringe by the gas supply unit while the first control valve and the second control valve are closed;
(b) blocking the static pressure by the gas supply unit;
(c) a negative pressure applied to the inside of the syringe by the gas discharge unit while the first control valve is opened; And
(d) controlling the paste dispenser including adjusting the negative pressure inside the syringe while the second control valve is opened while the first control valve is closed. 제6항 또는 제7항에 있어서,
상기 (d)단계에서 상기 제2제어밸브의 개방동작 및 폐쇄동작이 반복적으로 수행되는 것을 특징으로 하는 페이스트 디스펜서.8. The method according to claim 6 or 7,
The paste dispenser, characterized in that the opening operation and the closing operation of the second control valve is repeatedly performed in the step (d). 기판상에 도포되는 페이스트가 수용되는 시린지와, 상기 시린지와 연결되는 기체공급유닛 및 기체배출유닛과, 상기 시린지와 상기 기체배출유닛의 사이에 배치되는 제1제어밸브와, 상기 시린지와 상기 제1제어밸브의 사이에서 상기 제1제어밸브와 직렬로 연결되며 상기 제1제어밸브에 비하여 제어신호에 대한 응답속도가 크거나 단위시간당 유량이 적은 제2제어밸브를 포함하는 페이스트 디스펜서의 제어방법에 있어서,
(a) 상기 제1제어밸브 및 상기 제2제어밸브가 폐쇄된 상태에서, 상기 기체공급유닛에 의하여 상기 시린지의 내부에 정압이 작용되면서 상기 기판상에 페이스트가 도포되는 단계;
(b) 상기 기체공급유닛에 의한 정압이 차단되는 단계;
(c) 상기 제1제어밸브 및 상기 제2제어밸브가 개방된 상태에서 상기 기체배출유닛에 의하여 상기 시린지의 내부에 부압이 작용되는 단계; 및
(d) 상기 제1제어밸브가 개방된 상태에서 상기 제2제어밸브의 개폐동작이 반복적으로 수행되면서 상기 시린지의 내부의 부압이 조절되는 단계를 포함하는 페이스트 디스펜서의 제어방법.A syringe containing a paste applied on a substrate, a gas supply unit and a gas discharge unit connected to the syringe, a first control valve disposed between the syringe and the gas discharge unit, the syringe and the first In the control method of the paste dispenser comprising a second control valve connected in series with the first control valve between the control valve and a response speed to the control signal or a flow rate per unit time is lower than the first control valve. ,
(a) applying a paste onto the substrate while a positive pressure is applied to the inside of the syringe by the gas supply unit while the first control valve and the second control valve are closed;
(b) blocking the static pressure by the gas supply unit;
(c) a negative pressure applied to the inside of the syringe by the gas discharge unit in a state in which the first control valve and the second control valve are opened; And
and (d) controlling the negative pressure inside the syringe while repeatedly opening and closing the second control valve while the first control valve is opened.
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Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150079002A (en) 2013-12-31 2015-07-08 이구환 Dispenser for high copacity jet
KR20150106538A (en) * 2014-03-12 2015-09-22 에이피시스템 주식회사 Apparatus for protecting dispenser condensation and method for operating the same
KR101588017B1 (en) 2015-08-31 2016-01-25 이구환 Dispenser-nozzle for high-pressure injection
KR101703730B1 (en) 2015-10-16 2017-02-07 이구환 High-precision dispenser
CN106423726A (en) * 2015-08-13 2017-02-22 玛珂系统分析和开发有限公司 Method and device for quantitative coating
JP2018526210A (en) * 2015-08-31 2018-09-13 ノードソン コーポレーションＮｏｒｄｓｏｎ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ Automatic piezoelectric stroke adjustment
KR20210041701A (en) * 2019-10-08 2021-04-16 주식회사 지오테크놀로지 Dispenser for delivering micro-fixed quantity
KR20220000521A (en) * 2020-06-26 2022-01-04 주식회사 지오테크놀로지 Dispenser and method for delivering micro-fixed quantity according to liquid level in syringe
KR20230003621A (en) * 2015-07-24 2023-01-06 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤 Liquid material discharge device

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200182140Y1 (en) * 1999-12-31 2000-05-15 아남반도체주식회사 Vacuum system of low pressure chemical vapor deposition equipment
JP2006192371A (en) * 2005-01-13 2006-07-27 Shinwa Shokai:Kk Quantitative liquid discharge apparatus and its controlling method
JP2010194490A (en) * 2009-02-26 2010-09-09 Micronics Japan Co Ltd Coating device
JP2010279895A (en) * 2009-06-04 2010-12-16 Panasonic Corp Paste application device

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200182140Y1 (en) * 1999-12-31 2000-05-15 아남반도체주식회사 Vacuum system of low pressure chemical vapor deposition equipment
JP2006192371A (en) * 2005-01-13 2006-07-27 Shinwa Shokai:Kk Quantitative liquid discharge apparatus and its controlling method
JP2010194490A (en) * 2009-02-26 2010-09-09 Micronics Japan Co Ltd Coating device
JP2010279895A (en) * 2009-06-04 2010-12-16 Panasonic Corp Paste application device

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20150079002A (en) 2013-12-31 2015-07-08 이구환 Dispenser for high copacity jet
KR20150106538A (en) * 2014-03-12 2015-09-22 에이피시스템 주식회사 Apparatus for protecting dispenser condensation and method for operating the same
TWI660792B (en) * 2014-03-12 2019-06-01 南韓商Ａｐ系統股份有限公司 Method and apparatus for preventing liquid condensation in dispenser
KR20230003621A (en) * 2015-07-24 2023-01-06 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤 Liquid material discharge device
CN106423726A (en) * 2015-08-13 2017-02-22 玛珂系统分析和开发有限公司 Method and device for quantitative coating
KR101588017B1 (en) 2015-08-31 2016-01-25 이구환 Dispenser-nozzle for high-pressure injection
DE102016216319A1 (en) 2015-08-31 2017-03-02 Gu-Hwan LEE Dispensing nozzle for high-pressure spraying
JP2018526210A (en) * 2015-08-31 2018-09-13 ノードソン コーポレーションＮｏｒｄｓｏｎ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ Automatic piezoelectric stroke adjustment
US10119510B2 (en) 2015-08-31 2018-11-06 Gu-Hwan LEE Dispenser nozzle for high pressure injection
KR101703730B1 (en) 2015-10-16 2017-02-07 이구환 High-precision dispenser
KR20210041701A (en) * 2019-10-08 2021-04-16 주식회사 지오테크놀로지 Dispenser for delivering micro-fixed quantity
KR20220000521A (en) * 2020-06-26 2022-01-04 주식회사 지오테크놀로지 Dispenser and method for delivering micro-fixed quantity according to liquid level in syringe

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