KR20210041701A - Dispenser for delivering micro-fixed quantity - Google Patents

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Abstract

The present invention provides a dispenser for dispensing a micro-fixed quantity of liquid that is filled in a syringe by using a gas supplied from a compressed gas source. The dispenser for dispensing a micro-fixed quantity includes a first proportional control valve connected to a compressed gas source through a first pipe; a first solenoid valve having one side that is connected to the first proportional control valve through a second pipe, and an opposite side that is connected to a syringe through a third pipe, wherein the first solenoid valve determines whether the gas having a pressure adjusted through the first proportional control valve is supplied to the syringe; and a control unit for controlling operations of the first proportional control valve and the first solenoid valve. The dispenser for dispensing a micro-fixed quantity further includes a main air tank that has a predetermined surge capacity and is disposed on the first pipe, thereby supplying the gas stabilized and discharged through the main air tank to the first proportional control valve.

Description

미세 정량 토출용 디스펜서 {DISPENSER FOR DELIVERING MICRO-FIXED QUANTITY}Dispenser for fine quantitative dispensing {DISPENSER FOR DELIVERING MICRO-FIXED QUANTITY}

본 발명은 액체 토출을 위해 필요한 기체 공급압의 안정화 수준을 고도화시켜 더욱 정밀한 미세 정량 토출이 가능한 디스펜서에 관한 것이다.The present invention relates to a dispenser capable of discharging a more precise amount of fine quantity by enhancing the level of stabilization of a gas supply pressure required for discharging a liquid.

반도체를 비롯한 각종 전자기기의 부품 제조 공정에서 사용되는 공압식 디스펜서(Dispenser)는 극소량의 액체를 정량으로 토출하는 초정밀 디스펜싱 장치이다.The pneumatic dispenser used in the manufacturing process of various electronic devices including semiconductors is an ultra-precision dispensing device that discharges a very small amount of liquid in a quantitative manner.

이러한 디스펜서를 통한 토출 작업의 대상이 되는 기판의 구조는 기술적 발전에 따라 점점 집적화 및 정밀화가 이루어짐에 따라 토출에 요구되는 액체의 용량 역시 점차 미세해지며, 이와 함께 더욱 미세한 수준의 액체 극소량을 반복적으로 얼마나 정확하게 제공할 수 있는지가 디스펜서의 성능을 좌우하게 되었다.As the structure of the substrate, which is the object of discharging through such a dispenser, is gradually integrated and refined according to technological advances, the volume of liquid required for discharging is gradually becoming finer, and at the same time, a very small amount of liquid at a finer level is repeatedly performed. How accurately it can be delivered will determine the performance of the dispenser.

이에 따라, 최근에는 더욱 극소량으로 줄어든 액체 토출 요구양에 대응되어 미세 정량 토출이 정밀하게 제어 가능하도록 하기 위한 많은 연구 및 기술 개발이 진행되고 있는 실정이다.Accordingly, in recent years, a lot of research and technology development have been underway to enable precise control of fine quantitative discharge in response to the liquid discharge demand which has been further reduced to a very small amount.

여기서, 디스펜서의 미세 정량 토출 성능을 정밀하게 제어하는 것은 시린지 내 액체의 토출을 위해 압력 제공원으로 이용되는 압축성 기체의 안정화를 통한 압력 손실의 최소화를 통해 최소 오차의 맥동 범위 내에서 원하는 압력에 가장 가까운 수준이 액체의 토출에 적용될 수 있도록 하는 것을 의미한다.Here, the precise control of the fine quantitative discharge performance of the dispenser is to minimize the pressure loss through stabilization of the compressible gas used as a pressure supply source for discharging the liquid in the syringe. It means that a close level can be applied to the discharge of the liquid.

따라서 액체 토출 요구양의 수준이 점차 미세화된다는 것은 디스펜서를 통한 정량 토출을 제어함에 상당한 어려움이 존재하고, 더욱 고도한 기술력이 요구되는 것이다.Therefore, the fact that the level of the liquid discharge required amount is gradually miniaturized is that there is a considerable difficulty in controlling the quantitative discharge through the dispenser, and more advanced technology is required.

이와 관련하여, 액체 정량 토출을 정밀 제어하기 위해 마련된 종래기술에 대한 선행문헌에는 대한민국 공개특허공보 제10-2018-0034394의"액체 재료 토출 장치"(이하, '종래기술'이라고 함)이 있다.In this regard, as a prior document on the prior art prepared for precise control of the quantitative liquid discharge, there is a “liquid material discharging device” (hereinafter referred to as “prior art”) of Korean Laid-Open Patent Publication No. 10-2018-0034394.

하지만, 종래기술을 비롯한 기존의 정량 토출용 디스펜서들의 경우, 액체의 토출을 위해 압력 제공원으로 이용되는 압축성 기체의 이동 경로가 되는 배관 구조상의 직경 혹은 길이 등을 조절하거나, 맥동 안정화와 관련한 별도의 장치를 배관 상에 추가 설치하거나, 압축성 기체의 이동 공간 상의 부피를 고려한 별도의 버퍼성 부재를 추가 설치하여 극소량으로 줄어든 액체 정량 토출의 정밀 제어가 가능하도록 시도하였으나 해당 정밀 제어 수준이 미미하였다.However, in the case of conventional dispensers for quantitative dispensing including the prior art, the diameter or length of the piping structure, which is the movement path of the compressible gas used as a pressure supply source for discharging liquid, is adjusted, or separate An attempt was made to enable precise control of the quantitative discharge of liquid reduced to a very small amount by additionally installing an apparatus on the pipe or by installing a separate buffer member in consideration of the volume in the moving space of the compressible gas, but the level of precise control was insignificant.

또한, 종래기술을 비롯한 기존의 정량 토출용 디스펜서들의 경우, 토출 작업의 초반에 비해 반복적으로 토출 작업이 진행되어 시린지 내 채워진 액체의 양이 점차 줄어들어감에 따라 미세 정량 토출을 위한 정밀 제어 성능이 저하되는 문제점이 있었다.In addition, in the case of conventional dispensers for quantitative dispensing including the prior art, the amount of liquid filled in the syringe gradually decreases due to the repetitive dispensing operation compared to the beginning of the discharging operation, resulting in a decrease in the precision control performance for fine dispensing There was a problem to become.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 창작된 것으로써, 본 발명의 목적은 디스펜서를 통해 더욱 극소량으로 줄어든 액체 토출 요구양에 대응되어 미세 정량 토출이 더욱 정밀하게 제어 가능하도록 하는 기술을 제공하는데 있다.The present invention was created to solve the above problem, and an object of the present invention is to provide a technology that enables more precise control of fine quantitative discharge in response to the liquid discharge request amount reduced to a very small amount through a dispenser.

또한, 본 발명의 또 다른 목적은 디스펜서를 통해 미세 정량 토출이 반복 진행되어 시린지 내 채워진 액체의 양이 점차 줄어 들어가더라도 미세 정량 토출을 정밀하게 제어하는 기능의 수준이 저하되는 문제를 확연히 줄일 수 있는 기술을 제공하는데 있다. In addition, another object of the present invention is to significantly reduce the problem of deteriorating the level of the function of precisely controlling the fine-quantity discharge even if the amount of liquid filled in the syringe gradually decreases due to the repeated progress of the fine quantitative discharge through the dispenser. It is in providing technology.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 미세 정량 토출용 디스펜서는, 압축 기체원으로부터 공급되는 기체를 이용해 시린지(Syringe) 내에 충진된 액체를 토출시키는 미세 정량 토출용 디스펜서에 있어서, 상기 압축 기체원과 제1배관을 통해 연결되는 제1비례제어밸브; 일측이 상기 제1비례제어밸브와 제2배관을 통해 연결되고, 타측이 상기 시린지와 제3배관을 통해 연결되어, 상기 제1비례제어밸브를 통해 조정된 압력을 갖춘 기체의 상기 시린지로의 공급 여부를 결정하는 제1솔레노이드 밸브; 및 상기 제1비례제어밸브 및 제1솔레노이드 밸브의 동작을 제어하는 제어부;를 포함하며, 상기 미세 정량 토출용 디스펜서는 소정의 서지(Surge) 용량을 갖추어 상기 제1배관 상에 배치되는 주 에어탱크를 더 포함하여 상기 제1비례제어밸브에 상기 주 에어탱크를 통해 안정화되어 배출되는 기체가 공급되도록 한다.In order to achieve the above object, the dispenser for discharging a fine quantitative quantity of the present invention is a dispenser for discharging a liquid filled in a syringe (Syringe) using a gas supplied from a compressed gas source, wherein the compressed gas source and the agent A first proportional control valve connected through one pipe; One side is connected through the first proportional control valve and a second pipe, and the other side is connected through the syringe and a third pipe, and supply of gas having a pressure adjusted through the first proportional control valve to the syringe A first solenoid valve to determine whether or not; And a control unit for controlling the operation of the first proportional control valve and the first solenoid valve, wherein the dispenser for fine quantitative discharge has a predetermined surge capacity and is a main air tank disposed on the first pipe. Including a further so that the gas stabilized and discharged through the main air tank is supplied to the first proportional control valve.

여기서, 상기 미세 정량 토출용 디스펜서는, 상기 제1배관 상 상기 주 에어탱크와 상기 압축 기체원 사이 일측에 배치되며, 상기 주 에어탱크에 비해 적은 서지 용량을 갖춘 제1보조 에어탱크; 상기 제1배관 상 상기 주 에어탱크와 상기 제1보조 에어탱크 사이 일측에 연결되어, 상기 압축 기체원을 통해 상기 제1보조 에어탱크 내부에 충진된 기체의 상기 주 에어탱크로의 공급 여부를 결정하는 제4솔레노이드 밸브;를 더 포함하며, 상기 제어부는 상기 제4솔레노이드 밸브의 동작을 제어할수 있다.Here, the dispenser for discharging the fine quantitative quantity is disposed at one side between the main air tank and the compressed gas source on the first pipe, and includes a first auxiliary air tank having a smaller surge capacity than the main air tank; It is connected to one side between the main air tank and the first auxiliary air tank on the first pipe, and determines whether to supply the gas filled in the first auxiliary air tank through the compressed gas source to the main air tank And a fourth solenoid valve, wherein the controller may control an operation of the fourth solenoid valve.

또한, 상기 미세 정량 토출용 디스펜서는, 상기 제1배관 상 상기 주 에어탱크와 상기 제1비례제어밸브 사이 일측과 상기 제3배관 일측을 연결하는 제7배관 일측에 연결되어, 상기 주 에어탱크 내 충진된 기체 양에 따른 압력을 감지하는 압력 센서;를 더 포함하며, 상기 제어부는 상기 압력 센서를 통해 감지되는 상기 주 에어탱크 내부 압력 수준이 기 설정된 최저 기준값 아래로 내려갈 경우, 상기 제4솔레노이드 밸브를 개방하여 상기 제1보조 에어탱크 내부에 충진된 기체가 상기 주 에어탱크로의 공급될 수 있도록 제어할 수 있다.In addition, the dispenser for fine quantitative discharge is connected to one side of a seventh pipe connecting one side between the main air tank and the first proportional control valve on the first pipe and one side of the third pipe, and the inside of the main air tank A pressure sensor for sensing a pressure according to the amount of gas charged, wherein the controller further comprises, when the pressure level inside the main air tank detected by the pressure sensor falls below a preset minimum reference value, the fourth solenoid valve By opening, it is possible to control so that the gas filled in the first auxiliary air tank can be supplied to the main air tank.

아울러, 상기 제어부는 상기 압력 센서를 통해 감지되는 상기 주 에어탱크 내부 압력 수준이 기 설정된 최고 기준값 위로 올라갈 경우, 상기 제4솔레노이드 밸브를 닫아 상기 제1보조 에어탱크 내부에 충진된 기체가 상기 주 에어탱크로의 공급되는 것을 차단할 수 있도록 제어할 수 있다.In addition, when the pressure level inside the main air tank detected by the pressure sensor rises above a preset maximum reference value, the control unit closes the fourth solenoid valve so that the gas filled in the first auxiliary air tank is converted into the main air. It can be controlled to cut off the supply to the tank.

또한, 상기 제어부는 상기 시린지를 통한 액체 토출 제어 시, 상기 제4솔레노이드 밸브를 닫은 상태로 상기 제1솔레노이드 밸브를 개방시켜 상기 주 에어탱크에 충진된 기체가 안정화되어 토출 후, 상기 제1비례제어밸브를 통해 조정된 압력을 갖춰져 상기 제2배관 및 제3배관을 거침으로서 상기 시린지에 전달되도록 제어할 수 있다.In addition, when controlling liquid discharge through the syringe, the control unit opens the first solenoid valve while the fourth solenoid valve is closed to stabilize the gas filled in the main air tank and discharge, and then the first proportional control. It is possible to control so that the pressure adjusted through the valve is provided and transmitted to the syringe by passing through the second pipe and the third pipe.

아울러, 상기 미세 정량 토출용 디스펜서는, 상기 제3배관으로부터 분기되어 급속 배기용을 마련된 제4배관 일측에 연결되어, 상기 제4배관을 통한 배기 여부를 결정하는 제2솔레노이드 밸브;를 더 포함하며, 상기 제어부는 상기 제2솔레노이드 밸브의 동작을 제어할 수 있다.In addition, the dispenser for discharging the fine quantitative quantity further comprises a second solenoid valve branched from the third pipe and connected to one side of the fourth pipe provided for rapid exhaust, and configured to determine whether to exhaust through the fourth pipe; and , The controller may control the operation of the second solenoid valve.

또한, 상기 미세 정량 토출용 디스펜서는, 상기 제1배관으로부터 분기되어 진공 이젝터와 연결됨으로써 진공 배기용으로 마련된 제5배관 일측에 연결되는 제2비례제어밸브; 및 상기 제3배관으로부터 분기되어 상기 제5배관 상 상기 제2비례제어밸브와 상기 진공 이젝터 사이 일측을 연결하는 제6배관 일측에 연결되어, 상기 제5배관 및 상기 제6배관을 통한 진공 유지여부를 결정하는 제3솔레노이드 밸브;를 더 포함하며, 상기 제어부는 상기 제3솔레노이드 밸브의 동작을 제어할 수 있다,In addition, the dispenser for discharging the fine quantitative amount may include a second proportional control valve branched from the first pipe and connected to a vacuum ejector to be connected to one side of the fifth pipe provided for evacuating the vacuum; And connected to one side of the sixth pipe branching from the third pipe and connecting one side between the second proportional control valve and the vacuum ejector on the fifth pipe, and whether or not vacuum is maintained through the fifth pipe and the sixth pipe. A third solenoid valve for determining the; further comprising, the control unit may control the operation of the third solenoid valve,

또한, 상기 미세 정량 토출용 디스펜서는, 상기 제5배관 상 상기 제2비례제어밸브의 연결 위치 전 일측에 배치되며, 상기 주 에어탱크에 비해 적은 서지 용량을 갖춘 제2보조 에어탱크;를 더 포함할 수 있다.In addition, the dispenser for fine quantitative discharge, is disposed on one side before the connection position of the second proportional control valve on the fifth pipe, a second auxiliary air tank having a smaller surge capacity than the main air tank; further includes can do.

본 발명에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.According to the present invention, there are the following effects.

첫째, 제1비례제어밸브 전단에 주 에어탱크가 위치하는 배치 구조를 통해 더욱 극소량으로 줄어든 액체 토출 요구양에 대응되어 미세 정량 토출이 더욱 정밀하게 제어할 수 있다. First, through the arrangement structure in which the main air tank is located in front of the first proportional control valve, it is possible to more precisely control the fine quantitative discharge by responding to the required amount of liquid discharge reduced to a very small amount.

둘째, 토출 작업 시 필요한 기체는 주 에어탱크 내에서 이용하고, 반복적 토출 작업 진행에 따라 일정 수준 이하로 주 에어탱크 내 저장된 기체의 양이 줄어든 경우에 한해 토출 작업이 이루어지 않는 순간에 제1보조 에어탱크 내 미리 채워진 기체가 주 에어탱크 내부로 이동되어 채워지도록 함으로써, 미세 정량 토출이 반복 진행되어 시린지 내 채워진 액체의 양이 점차 줄어 들어가더라도 미세 정량 토출을 정밀하게 제어하는 기능의 수준이 저하되는 문제를 확연히 줄일 수 있다.Second, the gas required for the discharge operation is used in the main air tank, and the first auxiliary at the moment when the discharge operation is not performed, only when the amount of gas stored in the main air tank decreases below a certain level according to the repeated discharge operation. By allowing the pre-filled gas in the air tank to move into the main air tank and fill it, the level of the function to precisely control the fine-quantity discharge is lowered even though the amount of liquid filled in the syringe gradually decreases due to repeated micro-quantity discharge. The problem can be significantly reduced.

셋째, 진공 배기를 위해 마련된 제2비례제어밸브 전단에 제2보조 에어탱가 위치하는 배치 구조를 통해 진공 배기에 이용되는 기체 역시 더욱 안정화된 상태로 이동하게 되어 진공 유지 상태의 제어 역시 더욱 정밀하게 제어할 수 있다.Third, through the arrangement structure in which the second auxiliary air tank is located in front of the second proportional control valve provided for vacuum exhaust, the gas used for vacuum exhaust is also moved to a more stabilized state, and the control of the vacuum maintenance state is also more precisely controlled. can do.

도1은 본 발명의 미세 정량 토출용 디스펜서의 배관 및 밸브 연결 구조를 도시한 도면이다.
도2는 본 발명의 제1실시예에 따른 미세 정량 토출용 디스펜서를 대상으로 수행한 액체 토출 시 압력상승시험의 결과 그래프이다.
도3은 본 발명의 제2실시예에 따른 미세 정량 토출용 디스펜서를 대상으로 수행한 액체 토출 시 압력상승시험의 결과 그래프이다.
도4는 종래의 제3실시예에 따른 디스펜서를 대상으로 수행한 액체 토출 시 압력상승시험의 결과 그래프이다.
도5는 종래의 제4실시예에 따른 디스펜서를 대상으로 수행한 액체 토출 시 압력상승시험의 결과 그래프이다.
도6은 제1실시예 내지 제4실시예에 따른 디스펜서를 대상으로 수행한 액체 토출 시 압력상승시험의 결과를 종합한 그래프이다.
1 is a view showing a pipe and a valve connection structure of the dispenser for dispensing a fine quantitative amount of the present invention.
2 is a graph showing the results of a pressure increase test during liquid discharging performed on the dispenser for dispensing fine quantitative dispensing according to the first embodiment of the present invention.
3 is a graph showing a result of a pressure increase test when discharging a liquid performed on a dispenser for dispensing fine quantitative dispensing according to a second embodiment of the present invention.
4 is a graph showing a result of a pressure increase test when discharging a liquid performed on a dispenser according to a third embodiment of the related art.
5 is a graph showing the results of a pressure increase test when discharging a liquid performed on a dispenser according to a fourth embodiment of the related art.
6 is a graph summarizing the results of a pressure increase test when discharging a liquid performed on a dispenser according to the first to fourth embodiments.

본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 더 구체적으로 설명하되, 이미 주지된 기술적 부분에 대해서는 설명의 간결함을 위해 생략하거나 압축하기로 한다.Preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings, but technical parts that are already well known will be omitted or compressed for conciseness of description.

1. 미세 정량 토출용 디스펜서의 구성요소 및 구조에 관한 설명1. Description of the components and structure of the dispenser for fine quantitative dispensing

도1을 참조하여 설명하면, 본 발명의 미세 정량 토출용 디스펜서(100)는 압축 기체원(A)으로부터 공급되는 기체를 이용해 시린지(Syringe, S) 내에 충진된 액체를 토출시키기 위해 다수의 버퍼용 에어탱크(110, 165, 170), 다수의 배관 구조(120a 내지 120g), 다수의 비례제어밸브(130, 160), 다수의 솔레노이드 밸브(140, 145, 150, 180) 및 제어부(190)를 포함한다.Referring to Fig. 1, the dispenser 100 for discharging fine quantitative quantity of the present invention is for a plurality of buffers in order to discharge the liquid filled in the syringe (Syringe, S) using the gas supplied from the compressed gas source (A). Air tanks (110, 165, 170), a plurality of piping structures (120a to 120g), a plurality of proportional control valves (130, 160), a plurality of solenoid valves (140, 145, 150, 180) and a control unit 190 Includes.

우선, 압축 기체원(A)는 미세 정량 토출용 디스펜서(100)와 연결되는 외부장치로서, 압축성 기체를 생성하여 미세 정량 토출용 디스펜서(100)에 연결된 배관으로 해당 기체를 공급한다.First, the compressed gas source A is an external device connected to the dispenser 100 for fine quantitative discharge, and generates a compressible gas and supplies the gas to a pipe connected to the dispenser 100 for fine quantitative discharge.

주 에어탱크(110)는 소정의 서지(Surge) 용량을 갖추어 내부에 압축 기체원(A)에서 생성되었던 기체가 충진될 수 있도록 하는 버퍼용 탱크로서, 압축 기체원(A)과 제1비례제어밸브(130)를 연결하는 제1배관(120a) 상에 배치된다.The main air tank 110 is a buffer tank that has a predetermined surge capacity so that the gas generated from the compressed gas source (A) can be filled inside, and is controlled in a first proportion with the compressed gas source (A). It is disposed on the first pipe 120a connecting the valve 130.

여기서, 주 에어탱크(110) 내부의 서지(Surge) 용량은 600ml 내지 900ml(가장 바람직하게는 약750ml정도)로 마련됨이 바람직하나, 이에 한정되지 아니한다.Here, the surge capacity inside the main air tank 110 is preferably 600ml to 900ml (most preferably about 750ml), but is not limited thereto.

제1비례제어밸브(130)는 압축 기체원(A)과 제1배관(120a)을 통해 연결되어 주 에어탱크(110)를 통해 안정화되어 배출 이동되어 온 기체를 기 설정된 설정압으로 제어하여 배출시키는 레귤레이터이다.The first proportional control valve 130 is connected through a compressed gas source (A) and a first pipe (120a), stabilized and discharged through the main air tank 110, and discharged by controlling the moved gas to a preset pressure. It is a regulator to let you know.

여기서, 제1비례제어밸브(130)는 압축 기체원(A)과 제1배관(120a)을 통해 연결되어 주 에어탱크(110)를 통해 안정화되어 배출 이동되어 온 기체를 감압 제어하여 설정압을 맞춤이 바람직히다.Here, the first proportional control valve 130 is connected through the compressed gas source (A) and the first pipe (120a), stabilized through the main air tank 110, and controls the discharged and moved gas to reduce the pressure to reduce the set pressure. Customization is desirable.

이와 같은 제1배관(120a) 기준 주 에어탱크(110)와 제1비례제어밸브(130)의 배치 형태는 종래의 비례제어밸브-버퍼탱크 순의 배치 형태와 달리 버퍼탱크-비례제어밸브의 순서를 갖추고 있으며, 이는 설정압으로 제어된 기체를 버퍼 구성을 통해 안정화시키는 것보다 우선적으로 기체의 안정화를 진행한 뒤 설정압으로 제어하는 것이 더욱 미세 정량 토출을 정밀 제어함에 우수한 성능을 보이기 때문이다.The arrangement of the main air tank 110 and the first proportional control valve 130 based on the first pipe 120a is the order of the buffer tank-proportional control valve, unlike the conventional arrangement in the order of proportional control valve-buffer tank. This is because, rather than stabilizing the gas controlled by the set pressure through the buffer configuration, first stabilizing the gas and then controlling the gas at the set pressure shows excellent performance in precise control of the fine quantitative discharge.

제1솔레노이드 밸브(140)는 일측이 제1비례제어밸브(130)와 제2배관(120b)을 통해 연결되고, 타측이 시린지(S)와 제3배관(120c)을 통해 연결된다.One side of the first solenoid valve 140 is connected through a first proportional control valve 130 and a second pipe 120b, and the other side is connected through a syringe S and a third pipe 120c.

다시 말해, 제1솔레노이드 밸브(140)는 제1비례제어밸브(130)와 시린지(S)를 연결하는 제2배관(120b)과 제3배관(120c)을 이루어진 배관 일측에 설치 연결되어 해당 배관을 통한 기체의 유동 상태를 제어하게 된다.In other words, the first solenoid valve 140 is installed and connected to one side of a pipe comprising the second pipe 120b and the third pipe 120c connecting the first proportional control valve 130 and the syringe S. It controls the flow state of gas through.

따라서 제1솔레노이드 밸브(140)는 개폐를 통해 제1비례제어밸브(130)를 통해 조정된 압력을 갖춘 기체의 시린지(S)로의 공급 여부를 결정하는 밸브의 구성이다.Accordingly, the first solenoid valve 140 is a configuration of a valve that determines whether or not a gas having a pressure adjusted through the first proportional control valve 130 is supplied to the syringe S through opening and closing.

그리고 실시에 따라, 제1배관(120a) 상 주 에어탱크(110)와 상기 압축 기체원(A) 사이 일측에는 추가적으로 제1보조 에어탱크(170) 및 제4솔레노이드 밸브(180)가 설치될 수 있다.And, according to implementation, a first auxiliary air tank 170 and a fourth solenoid valve 180 may be additionally installed at one side between the main air tank 110 and the compressed gas source A on the first pipe 120a. have.

여기서, 제1보조 에어탱크(170)는 제1배관(120a) 상 주 에어탱크(110)와 상기 압축 기체원(A) 사이 일측에 배치되어 주 에어탱크(110) 내 충진된 기체의 양이 일정 수준 이하로 떨어질 경우 이를 제공하기 위한 보조용 버퍼로서, 주 에어탱크에 비해 적은 서지 용량을 갖추고 있다.Here, the first auxiliary air tank 170 is disposed at one side between the main air tank 110 and the compressed gas source A on the first pipe 120a so that the amount of gas filled in the main air tank 110 is It is an auxiliary buffer to provide it when it falls below a certain level, and has a smaller surge capacity than the main air tank.

구체적으로, 제1보조 에어탱크(170) 내부의 서지(Surge) 용량은 80ml 내지 100ml(가장 바람직하게는 약90ml정도)로 마련됨이 바람직하나, 이에 한정되지 아니한다.Specifically, the surge capacity inside the first auxiliary air tank 170 is preferably 80 ml to 100 ml (most preferably about 90 ml), but is not limited thereto.

다음으로, 제4솔레노이드 밸브((180)는 제1배관(120a) 상 주 에어탱크(110)와 제1보조 에어탱크(170) 사이 일측에 연결되어, 압축 기체원(A)을 통해 제1보조 에어탱크(170) 내부에 충진된 기체의 주 에어탱크(110)로의 공급 여부를 결정하는 밸브의 구성이다.Next, the fourth solenoid valve 180 is connected to one side between the main air tank 110 and the first auxiliary air tank 170 on the first pipe 120a, and is connected to the first pipe through the compressed gas source (A). This is a configuration of a valve that determines whether the gas filled in the auxiliary air tank 170 is supplied to the main air tank 110.

이와 같은 제1보조 에어탱크(170) 및 제4솔레노이드 밸브(180)를 통해 주 에어탱크(110)는 미세 정량 토출작업의 수행 시에 압축 기체원(A)을 통해 기체로 지속 공급받지 않게 되므로 기존 토출 작업시 토출 작업을 통해 배출 된 기체의 양을 다시 충진시키기 위해 압축 기체원(A)으로부터 지속적으로 기체를 공급받던 방식이 가지고 있던 문제를 사전에 차단하게 된다.The main air tank 110 through the first auxiliary air tank 170 and the fourth solenoid valve 180 is not continuously supplied as gas through the compressed gas source (A) when performing the fine quantitative discharge operation. During the existing discharge operation, the problem of the method of continuously receiving gas from the compressed gas source (A) in order to refill the amount of gas discharged through the discharge operation is blocked in advance.

종래의 경우, 토출 작업이 진행되고 있는 와중에도 압축 기체원(A)으로부터 공급되어 비례제어밸브를 거친 기체가 지속하여 에어 탱크와 같은 버퍼 구성의 내부를 채우게 됨으로써, 에어 탱크로부터 배출되는 기체의 안정화에 영향을 주어 오히려 맥동화를 더욱 높이고 결과적으로 불안정상태를 유발해 공급 기체압의 상태를 시간에 따라 분석한 압력상승곡선을 확인해보면 오버슈트(Overshoot)가 심해지는 문제가 있었다.In the conventional case, even while the discharge operation is in progress, the gas supplied from the compressed gas source (A) and passed through the proportional control valve continues to fill the interior of the buffer structure such as the air tank, thereby stabilizing the gas discharged from the air tank. As a result, the pulsation is increased further, and as a result, an unstable state is caused, and if the pressure rise curve that analyzed the state of the supply gas pressure over time was checked, there was a problem that the overshoot was severe.

이와 달리, 본원발명의 미세 정량 토출용 디스펜서(100)는 주 에어탱크(110)와 제1비례제어밸브(130)의 배치 형태가 상이할 뿐만 아니라, 더 나아가 주 에어탱크(110)와 상기 압축 기체원(A) 사이에 제1보조 에어탱크(170) 및 제4솔레노이드 밸브(180)를 추가 설치하여, 미세 정량 토출 작업 수행 시에는 제4솔레노이드 밸브(180)를 닫아 압축 기체원(A)으로부터 공급되는 기체가 제1보조 에어탱크(170)에 충진될 뿐 주 에어탱크(110)에 영향을 주지 않도록 하고 있다.In contrast, the dispenser 100 for fine quantitative dispensing of the present invention not only differs in the arrangement of the main air tank 110 and the first proportional control valve 130, but furthermore, the main air tank 110 and the compression The first auxiliary air tank 170 and the fourth solenoid valve 180 are additionally installed between the gas sources (A), and when performing the fine quantitative discharge operation, the fourth solenoid valve 180 is closed to the compressed gas source (A). The gas supplied from is only filled in the first auxiliary air tank 170 and does not affect the main air tank 110.

이에 따라, 제4솔레노이드 밸브(180)는 반복적 토출작업의 수행에 따라 주 에어탱크(110) 내 충진된 기체가 일정 수준 하로 떨어지면 토출작업 및 추후 설명될 진공상태 유지 작업 시를 제외한 나머지 대기 시간 중에 개방되어 미리 충진되어 있던 제1보조 에어탱크(170)로부터 기체가 주 에어탱크(110)에 공급될 수 있도록 한다.Accordingly, the fourth solenoid valve 180, when the gas filled in the main air tank 110 falls below a certain level according to the repetitive discharge operation, during the remaining waiting time excluding the discharge operation and the vacuum state maintenance operation to be described later. The gas can be supplied to the main air tank 110 from the first auxiliary air tank 170 that has been opened and filled in advance.

이를 위해, 본원발명의 미세 정량 토출용 디스펜서(100)는 제1배관(120a) 상 주 에어탱크(110)와 제1비례제어밸브(130)사이 일측과 제3배관(120c) 일측(가장 바람직하게는 제3배관(120c) 상 제4배관(120d)과 제6배관(120f)의 분기점 이후)을 연결하는 제7배관(120g) 일측에 연결되어, 주 에어탱크(110) 내 충진된 기체 양에 따른 압력을 감지하는 압력 센서(115)를 더 포함한다.To this end, the dispenser 100 for fine quantitative discharge of the present invention has one side between the main air tank 110 and the first proportional control valve 130 on the first pipe 120a and one side of the third pipe 120c (most preferred The gas filled in the main air tank 110 is connected to one side of the seventh pipe (120g) connecting the third pipe (120c), after the branch point of the fourth pipe (120d) and the sixth pipe (120f). It further includes a pressure sensor 115 for sensing the pressure according to the amount.

여기서, 압력 센서(115)를 통해 감지된 기체 압력값은 추후 설명될 제어부(190)에 전달되고, 제어부(190)는 이를 기반으로 주 에어탱크(110) 내 충진된 기체 양을 판단하여 제4솔레노이드 밸브(180)의 토출작업 및 추후 설명될 진공상태 유지 작업 시를 제외한 나머지 대기 시간 중 일정 시간 개방 제어를 통해 미리 충진되어 있던 제1보조 에어탱크(170)로부터 기체가 주 에어탱크(110)에 공급되는 작업의 수행여부를 제어한다.Here, the gas pressure value sensed through the pressure sensor 115 is transmitted to the control unit 190 to be described later, and the control unit 190 determines the amount of gas filled in the main air tank 110 based on this. Gas from the first auxiliary air tank 170 that was previously filled through the opening control for a certain time of the remaining waiting time except for the discharge operation of the solenoid valve 180 and the vacuum state maintenance operation to be described later, the main air tank 110 It controls whether or not to perform the work supplied to it.

구체적으로, 제어부(190)는 압력 센서(115)를 통해 감지되는 주 에어탱크(110) 내부 압력 수준(충진된 기체의 양)이 기 설정된 최저 기준값 아래로 내려갈 경우, 제4솔레노이드 밸브(180)를 개방하여 제1보조 에어탱크(170) 내부에 충진된 기체가 주 에어탱크로(110)의 공급될 수 있도록 제어한다.Specifically, when the pressure level inside the main air tank 110 (the amount of gas filled) detected through the pressure sensor 115 falls below a preset minimum reference value, the fourth solenoid valve 180 Is controlled so that the gas filled in the first auxiliary air tank 170 can be supplied to the main air tank 110.

아울러, 제4솔레노이드 밸브(180)를 개방을 통해 제1보조 에어탱크(170) 내부에 충진된 기체가 주 에어탱크로(110)의 공급작업이 지속 진행되어 압력 센서(115)를 통해 감지되는 주 에어탱크(110) 내부 압력 수준(충진된 기체의 양)이 기 설정된 최고 기준값 위로 올라갈 경우, 제어부(190)는 제4솔레노이드 밸브(180)를 닫아 제1보조 에어탱크(170) 내부에 충진된 기체가 주 에어탱크(110)로의 공급되는 것을 차단할 수 있도록 제어하고, 미세 정량 토출 작업 및 추후 설명될 진공상태 유지 작업의 진행 중에는 제4솔레노이드 밸브(180)를 닫아 주 에어탱크(110)에 유입되는 기체로 인한 기체 안정성에 영향이 가지않도록 한다.In addition, by opening the fourth solenoid valve 180, the gas filled in the first auxiliary air tank 170 continues to be supplied to the main air tank 110 and is detected through the pressure sensor 115. When the internal pressure level of the main air tank 110 (the amount of gas charged) rises above the preset maximum reference value, the control unit 190 closes the fourth solenoid valve 180 to fill the inside of the first auxiliary air tank 170 Controls to block the supply of the gas to the main air tank 110, and closes the fourth solenoid valve 180 during the micro-quantitative discharge operation and the vacuum state maintenance operation to be described later to be applied to the main air tank 110. Make sure that the gas stability is not affected by the incoming gas.

따라서 제어부(190)는 시린지(S)를 통한 액체 토출 제어 시, 제4솔레노이드 밸브(180)를 닫은 상태로 제1솔레노이드 밸브(140)를 개방시켜 주 에어탱크(110)에 충진된 기체가 안정화되어 토출 후, 제1비례제어밸브(130)를 통해 기 설정된 압력으로 조정되어 제2배관(120b) 및 제3배관(120c)을 통해 이동됨으로써, 결과적으로 시린지(S)에 전달되어 액체 토출이 이루어지도록 제어를 수행한다.Therefore, when controlling the liquid discharge through the syringe (S), the controller 190 opens the first solenoid valve 140 with the fourth solenoid valve 180 closed to stabilize the gas filled in the main air tank 110. After being discharged, the pressure is adjusted to a preset pressure through the first proportional control valve 130 and moved through the second pipe 120b and the third pipe 120c. As a result, the liquid is delivered to the syringe S so that the liquid is discharged. Control is performed to make it happen.

제2솔레노이드 밸브(145)는 제3배관(120c)으로부터 분기되어 급속 배기용을 마련된 제4배관(120d) 일측에 연결되어, 제4배관(120d)을 통한 배기 여부를 결정하는 밸브의 구성이다.The second solenoid valve 145 is a configuration of a valve that is branched from the third pipe 120c and connected to one side of the fourth pipe 120d provided for rapid exhaust, and determines whether to exhaust through the fourth pipe 120d. .

여기서, 제4배관(120d)은 앞 서 설명한 주 에어탱크(110) 내 충진된 기체를 이용해 제1비례제어밸브(130)를 거친 뒤 개방된 제1솔레노이드 밸브(140)를 통해 제2배관(120b)과 제3배관(120c)을 이루어진 배관을 이동하는 설정압 조정 및 안정화를 거친 기체가 시린지(S) 내 채워진 액체의 미세 정량 토출에 관한 작업을 수행하고 난 뒤, 제어부(190)가 제2솔레노이드 밸브(145)의 순간 개방을 통해 급속 배기를 순간적으로 수행하기 위한 배관이다.Here, the fourth pipe 120d passes through the first proportional control valve 130 using the gas filled in the main air tank 110 described above, and then the second pipe ( After the gas that has undergone adjustment and stabilization of the set pressure that moves the pipe consisting of 120b) and the third pipe 120c performs a task on discharging the liquid filled in the syringe S, the control unit 190 2 This is a pipe for instantaneously performing rapid exhaust through the instantaneous opening of the solenoid valve 145.

따라서 시린지(S) 내 채워진 액체의 미세 정량 토출에 관한 작업이 수행되고 나면 바로 제어부(190)는 제2솔레노이드 밸브(145)를 개방하였다가 단시간 내 바로 닫는 방식으로 제4배관(120d)을 통한 급속 배기를 수행한다.Therefore, the control unit 190 immediately opens the second solenoid valve 145 and closes the second solenoid valve 145 immediately after the operation for discharging the liquid filled in the syringe S is performed, through the fourth pipe 120d. Perform rapid exhaust.

제2비례제어밸브(160)는 제1배관(120a)으로부터 분기되어 진공 이젝터(미도시)와 연결됨으로써 진공 배기용으로 마련된 제5배관(120e) 일측에 연결된 레귤레이터이다.The second proportional control valve 160 is a regulator connected to one side of the fifth pipe 120e provided for vacuum exhaust by branching from the first pipe 120a and connected to a vacuum ejector (not shown).

이를 통해, 제2비례제어밸브(160)는 압축 기체원(A)을 통해 제1배관(120a)으로 공급된 기체가 제1배관(120a)과 제5배관(120e)의 연결이 이루어진 분기점을 통해 제5배관(120e)으로 분기 이동되어 온 기체를 기 설정된 설정압으로 제어하여 배출시킨다.Through this, the second proportional control valve 160 indicates a branch point at which the gas supplied to the first pipe 120a through the compressed gas source A is connected to the first pipe 120a and the fifth pipe 120e. The gas, which has been branched to the fifth pipe 120e, is controlled and discharged at a preset pressure.

이를 통해, 제5배관(120e) 상 제2비례제어밸브(160)를 거쳐 진공 이젝터(미도시)로 진공 배기되는 기체는 기 설정된 압력을 갖추게 된다.Through this, the gas evacuated to the vacuum ejector (not shown) through the second proportional control valve 160 on the fifth pipe 120e has a preset pressure.

더 나아가, 제5배관(120e) 상 제2비례제어밸브(160)의 연결 위치 전 일측(제5배관(120e) 상 제2비례제어밸브(160)와 제1배관(120a)과 제5배관(120e)의 연결이 이루어진 분기점 사이 일측)에는 주 에어탱크(110)에 비해 적은 서지 용량을 갖춘 제2보조 에어탱크(165)가 설치될 수 있다.Furthermore, one side before the connection position of the second proportional control valve 160 on the fifth pipe 120e (the second proportional control valve 160 on the fifth pipe 120e) and the first pipe 120a and the fifth pipe A second auxiliary air tank 165 having a smaller surge capacity than the main air tank 110 may be installed at one side between the branch points where the connection of (120e) is made.

이 경우, 압축 기체원(A)을 출처로 하며 제1배관(120a)으로부터 분기되어 제5배관(120e)이동된 기체는 제2보조 에어탱크(165)를 거쳐 기체의 안정화를 우선적으로 거친 뒤, 제2비례제어밸브(160)를 지나게 되어 설정압으로 조정되는 과정을 거치게 된다.In this case, the gas branched from the first pipe (120a) and moved to the fifth pipe (120e) with the compressed gas source (A) as a source passes through the second auxiliary air tank (165), and then first undergoes stabilization of the gas. , It passes through the second proportional control valve 160 and undergoes a process of adjusting to the set pressure.

이를 통해, 진공 배기를 위해 제5배관(120e)을 따라 이동하여 진공 이젝터로 진공 배기되는 기체는 더욱 안정화된 상태를 유지하게 된다.Through this, the gas moved along the fifth pipe 120e for evacuation and evacuated by the vacuum ejector is maintained in a more stabilized state.

제3솔레노이드 밸브(150)는 제3배관(120c)으로부터 분기되어 제5배관(120e) 상 제2비례제어밸브(160)와 진공 이젝터 사이 일측을 연결하는 제6배관(120f) 일측에 연결되어, 제5배관(120e) 및 제6배관(120f)을 통한 진공 유지여부를 결정하는 밸브의 구성이다.The third solenoid valve 150 is branched from the third pipe 120c and connected to one side of the sixth pipe 120f connecting one side between the second proportional control valve 160 on the fifth pipe 120e and the vacuum ejector. , It is a configuration of a valve that determines whether to maintain a vacuum through the fifth pipe 120e and the sixth pipe 120f.

따라서 제어부(190)는 미세 정량 토출 작업 후 진공상태 유지를 통해 시린지(S) 내부의 액체가 흡입, 흘림, 혹은 누수 등의 문제가 발생되지 않고 다음 미세 정량 토출 작업의 진행까지 상태 유지될 수 있도록 제3솔레노이드 밸브(150)를 개방하여 외부에 연결된 진공 이젝터를 통한 진공배기와 연계될 수 있도록 한다.Therefore, the control unit 190 maintains the vacuum state after the fine quantitative discharge operation so that the liquid inside the syringe S does not cause problems such as suction, spillage, or leakage, and the state can be maintained until the next fine quantitative discharge operation. The third solenoid valve 150 is opened so that it can be connected to the vacuum exhaust through a vacuum ejector connected to the outside.

아울러, 제어부(190)는 미세 정량 토출 작업의 진행 시에는 제3솔레노이드 밸브(150)를 닫아 진공 배기를 통한 진공상태 유지 작업이 종료되도록 한다.In addition, the control unit 190 closes the third solenoid valve 150 when the fine quantitative discharge operation is in progress, so that the operation for maintaining the vacuum state through vacuum exhaust is terminated.

이와 같이 제어부(190)가 제3솔레노이드 밸브(150)를 개방하여 진공배기를 이용한 진공상태 유지 작업을 수행하는 시기는 바람직하게 미세 정량 토출 작업 후 제2솔레노이드 밸브(145)의 순간 개방을 통한 급속 배기 작업의 수행 직후에 진행된다.In this way, the time when the control unit 190 opens the third solenoid valve 150 to perform the vacuum state maintenance operation using vacuum exhaust is preferably rapid through the instantaneous opening of the second solenoid valve 145 after the fine quantitative discharge operation. It proceeds immediately after performing the exhaust operation.

제어부(190)는 미세 정량 토출 작업, 급속배기 작업 또는 진공상태 유지 작업의 수행을 위해 제1비례제어밸브(130), 제2비례제어밸브(160) 제1솔레노이드 밸브(140), 제2솔레노이드 밸브(145), 제3솔레노이드 밸브(150) 및 제4솔레노이드 밸브((180)의 동작을 제어한다.The control unit 190 includes a first proportional control valve 130, a second proportional control valve 160, a first solenoid valve 140, and a second solenoid for performing a fine quantitative discharge operation, a rapid exhaust operation, or a vacuum state maintenance operation. The operation of the valve 145, the third solenoid valve 150, and the fourth solenoid valve 180 is controlled.

예를 들어, 제어부(190)는 제1비례제어밸브(130), 제2비례제어밸브(160)을 통해 조정하고자 하는 설정압의 수준을 조절하거나, 제1솔레노이드 밸브(140), 제2솔레노이드 밸브(145), 제3솔레노이드 밸브(150) 및 제4솔레노이드 밸브((180)의 개폐상태 혹은 개폐 정도를 조졸하는 방식의 제어를 수행할 수 있으나 이에 한정되지는 아니한다.For example, the control unit 190 may adjust the level of the set pressure to be adjusted through the first proportional control valve 130 and the second proportional control valve 160, or the first solenoid valve 140 and the second solenoid The valve 145, the third solenoid valve 150, and the fourth solenoid valve 180 may be controlled in a manner of adjusting the open/close state or degree of opening, but the present invention is not limited thereto.

또한, 제어부(190)는 앞 서 설명한 바와 같이 압력 센서(115)와의 신호 통신을 통해 감지된 센서값의 수신에서부터 이를 기반으로 한 주 에어탱크(110) 내부 압력 수준 혹은 기체 충진상태 등을 판단하는 기능에 이르기 까지 다양한 기능을 수행할 수 있다.In addition, the control unit 190 determines the internal pressure level or gas filling state of the main air tank 110 based on the received sensor value detected through signal communication with the pressure sensor 115 as described above. It can perform various functions up to functions.

2. 미세 정량 토출용 디스펜서의 공급압 안정화 시험에 관한 설명2. Description of the supply pressure stabilization test of the dispenser for fine quantitative dispensing

본 발명에 따른 미세 정량 토출용 디스펜서(100)는 앞 서 설명한 구성적 특징 및 효과의 제공이 가능하도록 종래와 차별화된 세부 구조를 갖추고 있다.The dispenser 100 for fine quantitative discharge according to the present invention has a detailed structure differentiated from the prior art so as to provide the above-described constitutive features and effects.

이와 같은 본 발명의 추가적 구성의 배치 및 구성 간 배치 형태의 차별화에 기인한 기체 공급압의 안정화 및 이를 통한 미세 정량 토출 기능의 정밀 제어 성능의 고도화를 세부 구성의 종류 및 배치 형태가 상호 상이한 다수의 실시예 별 공급 안정화 시험 결과(X 축 : 시간 단위 ms, Y축 : 압력 단위 mPA)를 통해 입증 설명하고자 한다.Stabilization of gas supply pressure due to the arrangement of the additional components of the present invention and the differentiation of arrangements between components, and advancement of the precision control performance of the fine quantitative discharge function through this It will be demonstrated through the supply stabilization test results for each example (X axis: time unit ms, Y axis: pressure unit mPA).

우선, 실시예1은 본 발명에 따른 미세 정량 토출용 디스펜서(100)가 주 에어탱크(110), 제1보조 에어탱크(170), 제2보조 에어탱크(165), 제1배관 내지 제7배관(120a 내지 120g), 제1비례제어밸브(130), 제1솔레노이드 밸브(140), 제2솔레노이드 밸브(145), 제3솔레노이드 밸브(150), 제2비례제어밸브(160), 제4솔레노이드 밸브(180), 제어부(190)를 포함하며, 각 구성별 특징이 앞 서 설명한 바와 같은 상태이다.First, in the first embodiment, the dispenser 100 for fine quantitative discharge according to the present invention comprises a main air tank 110, a first auxiliary air tank 170, a second auxiliary air tank 165, and the first piping to the seventh. Pipes 120a to 120g, first proportional control valve 130, It includes a first solenoid valve 140, a second solenoid valve 145, a third solenoid valve 150, a second proportional control valve 160, a fourth solenoid valve 180, and a control unit 190, respectively. The characteristics of each configuration are as described above.

따라서 실시예1은 주 에어탱크(110), 제1보조 에어탱크(170) 및 제2보조 에어탱크(165)와 같은 버퍼의 구성이 마련됨은 물론이고, 주 에어탱크(110)의 설치 형태가 제1비례제어밸브(130)의 전단에 위치하며, 주 에어탱크(110)와 압축 기체원(A)사이의 제1배관(120a) 일측에는 제1보조 에어탱크(170) 및 제4솔레노이드 밸브(180)가 설치된 상태이다. Therefore, in the first embodiment, as well as the configuration of the buffer such as the main air tank 110, the first auxiliary air tank 170, and the second auxiliary air tank 165 are provided, the installation form of the main air tank 110 is It is located at the front end of the first proportional control valve 130, and at one side of the first pipe 120a between the main air tank 110 and the compressed gas source A, the first auxiliary air tank 170 and the fourth solenoid valve (180) is installed.

또한, 실시예1은 미세 정량 토출 작업의 수행 시, 제4솔레노이드 밸브(180)를 닫아 주 에어탱크(110) 내부에 충진된 기체만을 이용해 우선적으로 시린지(S) 내 액체의 토출에 이용하고, 일정 수준으로 주 에어탱크(110) 내부에 충진된 기체양이 줄어들면 제4솔레노이드 밸브(180)를 열어 압축 기체원(A)을 통해 미리 충진되어 있던 제1보조 에어탱크(170) 내 기체가 주 에어탱크(110) 내부에 일정 수준까지 충진될 수 있도록 한다.In addition, Example 1 is used for discharging the liquid in the syringe (S) preferentially using only the gas filled in the main air tank 110 by closing the fourth solenoid valve 180 when performing the fine quantitative discharge operation, When the amount of gas filled in the main air tank 110 decreases to a certain level, the fourth solenoid valve 180 is opened and the gas in the first auxiliary air tank 170 previously filled through the compressed gas source (A) is The main air tank 110 can be filled to a certain level.

이와 같은 실시예1에 따른 발명의 미세 정량 토출용 디스펜서(100)의 미세 정량 토출 작업의 수행 시 발생되는 기체 공급압의 시간에 따른 변화를 측정하는 기체 공급압 안정화 시험을 수행한 결과, 도2과 같이 시간 변화에 따른 압력변화를 그래프화한 압력상승곡선이 도출되었다. As a result of performing a gas supply pressure stabilization test, which measures the change over time of the gas supply pressure generated when performing the fine quantitative discharge operation of the fine quantitative discharge dispenser 100 of the present invention according to Example 1, FIG. 2 As shown in Fig. 1, a pressure rise curve that graphed the pressure change over time was derived.

다음으로, 실시예2는 본 발명에 따른 미세 정량 토출용 디스펜서(100)가 주 에어탱크(110), 제1배관 내지 제7배관(120a 내지 120g), 제1비례제어밸브(130), 제1솔레노이드 밸브(140), 제2솔레노이드 밸브(145), 제3솔레노이드 밸브(150), 제2비례제어밸브(160), 제어부(190)를 포함하며, 각 구성별 특징이 앞 서 설명한 바와 같은 상태이다.Next, in the second embodiment, the dispenser 100 for fine quantitative discharge according to the present invention includes the main air tank 110, the first to seventh pipes 120a to 120g, the first proportional control valve 130, and the first 1 solenoid valve 140, the second solenoid valve 145, the third solenoid valve 150, the second proportional control valve 160, including the control unit 190, the characteristics of each configuration as described above. State.

따라서 실시예2는 실시예1에 따른 미세 정량 토출용 디스펜서(100) 내 세부 구성에서 주 에어탱크(110) 전단에 설치되었던 제1보조 에어탱크(170)와 제4솔레노이드 밸브(180)의 구성이 배제되고, 더 나아가 제2비례제어밸브(160) 전단에 설치되었던 제2보조 에어탱크(165)의 구성 또한 배제된 상태이다.Therefore, Example 2 is the configuration of the first auxiliary air tank 170 and the fourth solenoid valve 180 installed in front of the main air tank 110 in the detailed configuration of the dispenser 100 for discharging fine quantity according to the first embodiment. This is excluded, and furthermore, the configuration of the second auxiliary air tank 165 installed in front of the second proportional control valve 160 is also excluded.

이와 같은 실시예2에 따른 발명의 미세 정량 토출용 디스펜서(100)의 미세 정량 토출 작업의 수행 시 발생되는 기체 공급압의 시간에 따른 변화를 측정하는 기체 공급압 안정화 시험을 수행한 결과, 도3과 같이 시간 변화에 따른 압력변화를 그래프화한 압력상승곡선이 도출되었다. As a result of performing a gas supply pressure stabilization test for measuring the change over time of the gas supply pressure generated when performing the fine quantitative dispensing operation of the fine quantitative dispensing dispenser 100 of the present invention according to Example 2, FIG. 3 As shown in Fig. 1, a pressure rise curve that graphed the pressure change over time was derived.

다음으로, 실시예3은 실시예1에 따른 미세 정량 토출용 디스펜서(100) 내 세부 구성은 동일하게 마련하되, 주 에어탱크(110)의 설치 위치를 제1비례제어밸브(130)의 전단이 아닌 제1비례제어밸브(130)와 제1솔레노이드 밸브(140) 사이로 변경한 상태이다.Next, in the third embodiment, the detailed configuration of the dispenser 100 for fine quantitative dispensing according to the first embodiment is provided in the same manner, but the front end of the first proportional control valve 130 is the installation location of the main air tank 110 It is in a state that is changed between the first proportional control valve 130 and the first solenoid valve 140.

이와 같은 실시예3에 따른 정량 토출용 디스펜서의 미세 정량 토출 작업의 수행 시 발생되는 기체 공급압의 시간에 따른 변화를 측정하는 기체 공급압 안정화 시험을 수행한 결과, 도4과 같이 시간 변화에 따른 압력변화를 그래프화한 압력상승곡선이 도출되었다. As a result of performing the gas supply pressure stabilization test, which measures the change over time of the gas supply pressure generated when performing the fine quantitative dispensing operation of the quantitative dispensing dispenser according to Example 3, as shown in FIG. A pressure rise curve that graphed the pressure change was derived.

다음으로, 실시예4는 실시예2에 따른 미세 정량 토출용 디스펜서(100) 내 세부 구성은 동일하게 마련하되, 주 에어탱크(110)의 설치 위치를 제1비례제어밸브(130)의 전단이 아닌 제1비례제어밸브(130)와 제1솔레노이드 밸브(140) 사이로 변경한 상태이다.Next, in the fourth embodiment, the detailed configuration of the dispenser 100 for fine quantitative dispensing according to the second embodiment is provided in the same manner, but the front end of the first proportional control valve 130 is the installation location of the main air tank 110 It is in a state that is changed between the first proportional control valve 130 and the first solenoid valve 140.

이와 같은 실시예4에 따른 정량 토출용 디스펜서의 미세 정량 토출 작업의 수행 시 발생되는 기체 공급압의 시간에 따른 변화를 측정하는 기체 공급압 안정화 시험을 수행한 결과, 도4과 같이 시간 변화에 따른 압력변화를 그래프화한 압력상승곡선이 도출되었다. As a result of performing the gas supply pressure stabilization test, which measures the change over time of the gas supply pressure generated when performing the fine quantitative dispensing operation of the quantitative dispensing dispenser according to Example 4, as shown in FIG. A pressure rise curve that graphed the pressure change was derived.

결과적으로, 실시예1 내지 실시예4에 이르는 각각의 디스펜서 별 기체 공급압의 안정화 시험 결과 도출되는 시간 변화에 따른 압력의 변화를 나타낸 압력상승곡선의 형태를 통합하여 상호 비교하기 위해 도6과 같은 종합 그래프를 생성하였다.As a result, in order to integrate and compare the shape of the pressure rise curve showing the change in pressure according to the time change resulting from the stabilization test of the gas supply pressure for each dispenser ranging from Examples 1 to 4, as shown in FIG. A comprehensive graph was created.

이에 따라, 도2 내지 도5의 각 실시예별 압력상승 곡선을 나타낸 기체 공급압 안정화 시험의 결과 그래프와 도6의 종합된 실시예별 압력상승 곡선을 나타낸 기체 공급압 안정화 시험의 결과 그래프를 살펴보면, 실시예1 및 실시예2의 결과가 실시예3 및 실시예4에 비해 훨씬 안정적이며 개선된 형태를 띠는 것은 물론이고, 그래프 곡선 상 오버슈트(Overshoot)의 정도 역시 훨씬 적음을 알 수 있다.Accordingly, looking at the result graph of the gas supply pressure stabilization test showing the pressure rise curve for each example in FIGS. 2 to 5 and the result graph of the gas supply pressure stabilization test showing the pressure rise curve for each example in FIG. It can be seen that the results of Examples 1 and 2 are much more stable and improved than those of Examples 3 and 4, and the degree of overshoot on the graph curve is also much smaller.

이를 통해, 제1비례제어밸브(130) 전단에 주 에어탱크(110)가 위치하는 배치 구조의 특성이 더욱 극소량으로 줄어든 액체 토출 요구양에 대응되어 미세 정량 토출이 더욱 정밀하게 제어하기에 적합함을 알 수 있다.Through this, the characteristic of the arrangement structure in which the main air tank 110 is located in front of the first proportional control valve 130 is more suitable to control the fine quantitative discharge more precisely as it responds to the liquid discharge demand reduced to a very small amount. Can be seen.

즉, 제1비례제어밸브(130)에 공급되는 압축성 기체가 주 에어탱크(110)를 통해 우선적으로 안정화를 거치게 되면, 이는 제1비례제어밸브(130)를 통해 설정압으로 조절되어 배출되는 기체의 안정화에 매우 큰 역할을 수행하게 됨을 나타낸다. That is, when the compressible gas supplied to the first proportional control valve 130 is preferentially stabilized through the main air tank 110, it is controlled to a set pressure through the first proportional control valve 130 and discharged. It indicates that it will play a very large role in the stabilization of

아울러, 실시예1 및 실시예2의 결과를 비교해보면 실시예1이 실시예2에 비해 좀 더 안정적이며 개선된 형태를 띠는 것은 물론이고, 그래프 곡선 상 오버슈트(Overshoot)의 정도 역시 상대적으로 적음을 알 수 있다.In addition, when comparing the results of Example 1 and Example 2, Example 1 was more stable and improved than Example 2, as well as the degree of overshoot on the graph curve. It can be seen that there is little.

이는 그래프 상으로 큰 차이가 없어 보이나, 정량 토출이 요구되는 액체의 양이 점차 미세화되고, 이를 제어함에 더욱 정밀한 기술이 요구되는 실정을 고려한다면 미세 정량 토출용 디스펜서(100)를 통한 고정밀 제어의 수준에 큰 영향을 미칠 수 있다.Although this does not seem to be a big difference on the graph, the level of high-precision control through the dispenser 100 for fine quantitative dispensing considering the situation that the amount of liquid required for quantitative dispensing is gradually miniaturized, and more precise technology is required to control it. Can have a great effect on

또한 실시예1 내지 실시예4의 기체 공급압 안정화 시험을 수행함에 있어 사용된 에어 공급원(A)에 비해 조금 더 공급하는 기체압의 변동이 심한 컴프레셔를 이용해 시험을 수행할 경우 더욱 실시예1 및 실시예2 간의 압력상승곡선이 큰 차이를 보이게 됨은 물론이고, 실시예1 및 실시예2와 실시예3 및 실시예4 간의 차이 역시 더욱 크게 나타난다.In addition, in performing the gas supply pressure stabilization test of Examples 1 to 4, when the test is performed using a compressor having a more fluctuating gas pressure than the air supply source (A) used, Example 1 and Not only does the pressure rise curve between Example 2 show a large difference, but also the difference between Examples 1 and 2 and Examples 3 and 4 is also more significant.

따라서 가장 바람직하게는 미세 정량 토출 작업 시 필요한 기체는 주 에어탱크(110) 내에서 이용하고, 반복적 토출 작업 진행에 따라 일정 수준 이하로 주 에어탱크(110) 내 저장된 기체의 양이 줄어든 경우에 한해 토출 작업 또는 진공상태 유지 작업이 이루어지 않는 순간에 제4솔레노이드 밸브(180)를 개방하여 제1보조 에어탱크(170) 내 미리 채워진 기체가 주 에어탱크(110) 내부로 이동되어 채워지도록 함이 주요한 특징이 될 수 있다.Therefore, most preferably, the gas required for the fine quantitative discharge operation is used in the main air tank 110, and only when the amount of gas stored in the main air tank 110 decreases below a certain level according to the repeated discharge operation. When the discharge operation or the vacuum state maintenance operation is not performed, the fourth solenoid valve 180 is opened so that the gas pre-filled in the first auxiliary air tank 170 moves into the main air tank 110 and is filled. It can be a major feature.

본 발명에 개시된 실시예는 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의해서 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 보호범위는 아래 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다. The embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical idea of the present invention, but to explain, and the scope of the technical idea of the present invention is not limited by these embodiments. The scope of protection should be construed by the following claims, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be construed as being included in the scope of the present invention.

100 : 미세 정량 토출용 디스펜서
110 : 주 에어탱크 115 : 압력 센서
120a : 제1배관 120b : 제2배관
120c : 제3배관 120d : 제4배관
120e : 제5배관 120f : 제6배관
120g : 제7배관
130 : 제1비례제어밸브 140 : 제1솔레노이드 밸브
145 : 제2솔레노이드 밸브 150 : 제3솔레노이드 밸브
160 : 제2비례제어밸브 165 : 제2보조 에어탱크
170 : 제1보조 에어탱크 180 : 제4솔레노이드 밸브
190 : 제어부
A : 압축 기체원
S : 시린지
100: dispenser for dispensing fine quantity
110: main air tank 115: pressure sensor
120a: first pipe 120b: second pipe
120c: 3rd pipe 120d: 4th pipe
120e: 5th pipe 120f: 6th pipe
120g: 7th pipe
130: first proportional control valve 140: first solenoid valve
145: second solenoid valve 150: 3rd solenoid valve
160: second proportional control valve 165: second auxiliary air tank
170: first auxiliary air tank 180: fourth solenoid valve
190: control unit
A: Compressed gas source
S: syringe

Claims (8)

압축 기체원으로부터 공급되는 기체를 이용해 시린지(Syringe) 내에 충진된 액체를 토출시키는 미세 정량 토출용 디스펜서에 있어서,
상기 압축 기체원과 제1배관을 통해 연결되는 제1비례제어밸브;
일측이 상기 제1비례제어밸브와 제2배관을 통해 연결되고, 타측이 상기 시린지와 제3배관을 통해 연결되어, 상기 제1비례제어밸브를 통해 조정된 압력을 갖춘 기체의 상기 시린지로의 공급 여부를 결정하는 제1솔레노이드 밸브; 및
상기 제1비례제어밸브 및 제1솔레노이드 밸브의 동작을 제어하는 제어부;를 포함하며,
상기 미세 정량 토출용 디스펜서는 소정의 서지(Surge) 용량을 갖추어 상기 제1배관 상에 배치되는 주 에어탱크를 더 포함하여 상기 제1비례제어밸브에 상기 주 에어탱크를 통해 안정화되어 배출되는 기체가 공급되도록 하는 것을 특징으로 하는
미세 정량 토출용 디스펜서.
In the dispenser for dispensing a fine quantitative quantity to discharge a liquid filled in a syringe (Syringe) using a gas supplied from a compressed gas source,
A first proportional control valve connected to the compressed gas source through a first pipe;
One side is connected through the first proportional control valve and a second pipe, and the other side is connected through the syringe and a third pipe, and supply of gas having a pressure adjusted through the first proportional control valve to the syringe A first solenoid valve to determine whether or not; And
Includes; a controller for controlling the operation of the first proportional control valve and the first solenoid valve
The dispenser for fine quantitative discharge further includes a main air tank disposed on the first pipe with a predetermined surge capacity, so that the gas stabilized and discharged through the main air tank to the first proportional control valve Characterized in that to be supplied
Dispenser for fine quantity dispensing.
제1항에 있어서,
상기 미세 정량 토출용 디스펜서는,
상기 제1배관 상 상기 주 에어탱크와 상기 압축 기체원 사이 일측에 배치되며, 상기 주 에어탱크에 비해 적은 서지 용량을 갖춘 제1보조 에어탱크;
상기 제1배관 상 상기 주 에어탱크와 상기 제1보조 에어탱크 사이 일측에 연결되어, 상기 압축 기체원을 통해 상기 제1보조 에어탱크 내부에 충진된 기체의 상기 주 에어탱크로의 공급 여부를 결정하는 제4솔레노이드 밸브;를 더 포함하며,
상기 제어부는 상기 제4솔레노이드 밸브의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는
미세 정량 토출용 디스펜서.
The method of claim 1,
The dispenser for dispensing the fine quantitative quantity,
A first auxiliary air tank disposed on one side between the main air tank and the compressed gas source on the first pipe and having a smaller surge capacity than the main air tank;
It is connected to one side between the main air tank and the first auxiliary air tank on the first pipe, and determines whether to supply the gas filled in the first auxiliary air tank through the compressed gas source to the main air tank The fourth solenoid valve further includes,
Wherein the control unit controls the operation of the fourth solenoid valve
Dispenser for fine quantity dispensing.
제2항에 있어서,
상기 미세 정량 토출용 디스펜서는,
상기 제1배관 상 상기 주 에어탱크와 상기 제1비례제어밸브 사이 일측과 상기 제3배관 일측을 연결하는 제7배관 일측에 연결되어, 상기 주 에어탱크 내 충진된 기체 양에 따른 압력을 감지하는 압력 센서;를 더 포함하며,
상기 제어부는 상기 압력 센서를 통해 감지되는 상기 주 에어탱크 내부 압력 수준이 기 설정된 최저 기준값 아래로 내려갈 경우, 상기 제4솔레노이드 밸브를 개방하여 상기 제1보조 에어탱크 내부에 충진된 기체가 상기 주 에어탱크로 공급될 수 있도록 제어하는 것을 특징으로 하는
미세 정량 토출용 디스펜서.
The method of claim 2,
The dispenser for dispensing the fine quantitative quantity,
It is connected to one side of the seventh pipe connecting one side between the main air tank and the first proportional control valve on the first pipe and one side of the third pipe to sense a pressure according to the amount of gas filled in the main air tank. It further includes a pressure sensor;
When the internal pressure level of the main air tank detected by the pressure sensor falls below a preset minimum reference value, the controller opens the fourth solenoid valve so that the gas filled in the first auxiliary air tank is converted into the main air Characterized in that it is controlled so that it can be supplied to the tank
Dispenser for fine quantity dispensing.
제3항에 있어서,
상기 제어부는 상기 압력 센서를 통해 감지되는 상기 주 에어탱크 내부 압력 수준이 기 설정된 최고 기준값 위로 올라갈 경우, 상기 제4솔레노이드 밸브를 닫아 상기 제1보조 에어탱크 내부에 충진된 기체가 상기 주 에어탱크로 공급되는 것을 차단할 수 있도록 제어하는 것을 특징으로 하는
미세 정량 토출용 디스펜서.
The method of claim 3,
When the pressure level inside the main air tank detected by the pressure sensor rises above a preset maximum reference value, the control unit closes the fourth solenoid valve so that the gas filled in the first auxiliary air tank is transferred to the main air tank. Characterized in that it controls so as to cut off the supply
Dispenser for fine quantity dispensing.
제4항에 있어서,
상기 제어부는 상기 시린지를 통한 액체 토출 제어 시, 상기 제4솔레노이드 밸브를 닫은 상태로 상기 제1솔레노이드 밸브를 개방시켜 상기 주 에어탱크에 충진된 기체가 안정화되어 토출 후, 상기 제1비례제어밸브를 통해 조정된 압력을 갖춰져 상기 제2배관 및 제3배관을 거침으로서 상기 시린지에 전달되도록 제어하는 것을 특징으로 하는
미세 정량 토출용 디스펜서.
The method of claim 4,
When controlling liquid discharge through the syringe, the control unit opens the first solenoid valve while the fourth solenoid valve is closed to stabilize the gas filled in the main air tank and discharges the liquid, and then opens the first proportional control valve. It characterized in that the control so as to be delivered to the syringe by passing through the second pipe and the third pipe by equipping the pressure adjusted through
Dispenser for fine quantity dispensing.
제1항에 있어서,
상기 미세 정량 토출용 디스펜서는,
상기 제3배관으로부터 분기되어 급속 배기용을 마련된 제4배관 일측에 연결되어, 상기 제4배관을 통한 배기 여부를 결정하는 제2솔레노이드 밸브;를 더 포함하며,
상기 제어부는 상기 제2솔레노이드 밸브의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는
미세 정량 토출용 디스펜서.
The method of claim 1,
The dispenser for dispensing the fine quantitative quantity,
A second solenoid valve branched from the third pipe and connected to one side of the fourth pipe provided for rapid exhaust, and configured to determine whether to exhaust through the fourth pipe; and
Wherein the control unit controls the operation of the second solenoid valve
Dispenser for fine quantity dispensing.
제1항에 있어서,
상기 미세 정량 토출용 디스펜서는,
상기 제1배관으로부터 분기되어 진공 이젝터와 연결됨으로써 진공 배기용으로 마련된 제5배관 일측에 연결되는 제2비례제어밸브; 및
상기 제3배관으로부터 분기되어 상기 제5배관 상 상기 제2비례제어밸브와 상기 진공 이젝터 사이 일측을 연결하는 제6배관 일측에 연결되어, 상기 제5배관 및 상기 제6배관을 통한 진공 유지여부를 결정하는 제3솔레노이드 밸브;를 더 포함하며,
상기 제어부는 상기 제3솔레노이드 밸브의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는
미세 정량 토출용 디스펜서.
The method of claim 1,
The dispenser for dispensing the fine quantitative quantity,
A second proportional control valve branched from the first pipe and connected to a vacuum ejector to be connected to one side of the fifth pipe provided for evacuating the vacuum; And
It is branched from the third pipe and connected to one side of the sixth pipe connecting one side between the second proportional control valve and the vacuum ejector on the fifth pipe, and whether or not vacuum is maintained through the fifth pipe and the sixth pipe The third solenoid valve to determine; further includes,
The control unit is characterized in that to control the operation of the third solenoid valve
Dispenser for fine quantity dispensing.
제7항에 있어서,
상기 미세 정량 토출용 디스펜서는,
상기 제5배관 상 상기 제2비례제어밸브의 연결 위치 전 일측에 배치되며, 상기 주 에어탱크에 비해 적은 서지 용량을 갖춘 제2보조 에어탱크;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
미세 정량 토출용 디스펜서.
The method of claim 7,
The dispenser for dispensing the fine quantitative quantity,
And a second auxiliary air tank disposed on one side of the fifth pipe before the connection position of the second proportional control valve and having a smaller surge capacity than the main air tank.
Dispenser for fine quantity dispensing.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR940009257A (en) * 1992-10-20 1994-05-20 최준식 Polyester film
KR20130076581A (en) * 2011-12-28 2013-07-08 주식회사 탑 엔지니어링 Paste dispenser and method for controlling the same
JP5460132B2 (en) * 2009-06-03 2014-04-02 武蔵エンジニアリング株式会社 Liquid dispensing method and apparatus
KR20180034394A (en) * 2015-07-24 2018-04-04 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤 Liquid material discharge device

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR940009257A (en) * 1992-10-20 1994-05-20 최준식 Polyester film
JP5460132B2 (en) * 2009-06-03 2014-04-02 武蔵エンジニアリング株式会社 Liquid dispensing method and apparatus
KR20130076581A (en) * 2011-12-28 2013-07-08 주식회사 탑 엔지니어링 Paste dispenser and method for controlling the same
KR20180034394A (en) * 2015-07-24 2018-04-04 무사시 엔지니어링 가부시키가이샤 Liquid material discharge device

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