KR20140001240A - 광 배향 조사 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 단위 편광자로 분할된 편광 수단을 구비하고, 각 단위 편광자의 편광 방향을 검지함으로써, 양호한 배향 특성의 실현을 도모하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 광 배향 조사 장치는, 인접 방향으로 인접해서 배치된 복수의 단위 편광자를 구비한 편광 수단과, 스테이지 혹은 편광광 조사 수단의 적어도 한쪽을 이동시킴으로써, 스테이지에 재치된 상기 기판에 대하여, 편광광 조사 수단으로부터의 자외선을 소정의 주사 방향으로 주사하는 주사 수단과, 상기 단위 편광자로부터 출사된 자외선의 편광 방향을 상기 단위 편광자마다 검지 가능하게 하는 편광 방향 검지 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.

Description

광 배향 조사 장치{LIGHT ILLUMINATING APPARATUS FOR PHOTO-ALIGNMENT}
본 발명은, 액정 표시판 제조 분야에서 사용되는 것으로서, 특히, 액정 표시 장치에 사용되는 기판 상에 있어서, 액정 분자가 바람직한 각도와 방향으로 정렬되도록 배향막에 배향성을 부여하기 위한 광 배향 조사 장치에 관한 것이다.
최근 액정 표시 분야의 이용이 확대되고 수요가 증대됨에 따라서, 종래의 액정 표시 장치의 결점이었던 시야각, 콘트라스트비, 동화상 성능 표시 등의 개선이 강하게 요구되고 있다. 특히 액정 표시 기판 상에서, 액정 분자에 배향성을 부여하는 배향막에 있어서는, 배향 방향의 균일화, 프리틸트각의 부여, 단일 화소 내에서의 복수 영역의 형성(멀티 도메인) 등 각종 개선이 추진되고 있다.
종래, 액정 표시 기판 상에 형성된 폴리머층(배향막)에 배향 특성을 부여하는 이점 및 그를 위한 기술은 널리 알려져 있다. 이러한 배향 특성을 부여하는 방법으로서 천 러빙법이라고 불리는 방법이 있지만, 이 방법은, 천을 감은 롤러를 회전시키면서, 기판을 이동시켜, 표면의 폴리머층을 강하게 한 방향으로 문지르는 처리이다.
그러나, 이 천 러빙법에서는, 정전기의 발생, 배향막 표면에 발생하는 흠집, 분진의 발생 등 여러가지 결점이 지적되고 있다. 이 천 러빙법의 문제를 회피하기 위해, 배향막에 자외 영역의 편광광을 조사해서 배향 특성을 부여하는 광 러빙법이 알려져 있다.
특허 문헌 1에는, 이러한 광 러빙법을 사용한 방법에 대해서, 노광 마스크를 이용하여, 배향 방향이 상이한 복수의 배향 영역을 분할 형성하는 액정 표시용 기판의 제조 방법이 개시되어 있다.
특허 문헌 2에는, 복수의 석영 기판부와, 석영 기판부를 보유하는 편광자 홀더로 구성된 대면적 편광판을 갖고, 편광자 홀더를 이동시킴으로써, 대면적 평관판의 하방에 균일하게 광 조사할 수 있는 편광 장치가 개시되어 있다.
특허문헌 1: 일본 특허 공개 2007-219191호 공보 특허문헌 2: 일본 특허 제4046427호 공보
특허문헌 2에 개시되는 편광 장치에서는, 복수의 석영 기판으로 이루어지는 대면적 편광판을 사용함으로써, 대면적의 액정 표시 소자의 편광에 사용하는 것을 가능하게 하고 있다. 그러나, 각 석영 기판으로부터 출사되는 편광광이 완전히 동일한 방향으로 편광된 진동광을 출사한다는 보증은 없다. 특히, 열을 수반하는 강력한 광원을 사용하는 환경 하에 있어서는, 석영 기판부를 보유하는 편광자 홀더의 열 팽창을 원인으로 하여, 석영 기판의 보유 위치에 어긋남이 발생하게 된다. 또한, 장치 내외에서 발생하는 진동도 석영 기판의 보유 위치에 어긋남을 발생시킨다. 이러한 어긋남, 특히 편광 방향을 변화시키는 회전 어긋남은, 제조하는 액정 표시 장치의 화상 품질에 있어서 문제가 된다. 구체적으로는, 일부의 석영 기판으로부터의 조사광의 편광 방향에 회전 어긋남이 발생한 경우, 그 부분에서는 표시하는 화상이 얼룩으로서 나타나게 된다.
그 때문에, 본 발명에 따른 광 배향 조사 장치는,
편광광 조사 수단과, 스테이지와, 주사 수단과, 편광 방향 검지 수단을 구비하고,
상기 편광광 조사 수단은, 자외선 조사 수단과, 편광 수단을 구비하고,
상기 편광 수단은, 인접 방향으로 인접해서 배치된 복수의 단위 편광자를 구비하고,
상기 단위 편광자는, 상기 자외선 조사 수단으로부터 출사되는 자외선을 편광시키고,
상기 스테이지는, 배향막이 표면에 형성된 기판을 재치 가능하게 하고,
상기 주사 수단은, 상기 스테이지 혹은 상기 편광광 조사 수단의 적어도 한쪽을 이동시킴으로써, 상기 스테이지에 재치된 상기 기판에 대해서, 상기 편광광 조사 수단으로부터의 자외선을 소정의 주사 방향으로 주사하고,
상기 편광 방향 검지 수단은, 상기 단위 편광자로부터 출사된 자외선의 편광 방향을 상기 단위 편광자마다 검지 가능하게 하는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 따른 광 배향 조사 장치에 있어서,
상기 편광 방향 검지 수단은, 상기 스테이지의 상기 기판이 재치되는 영역 내에 위치하는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 따른 광 배향 조사 장치에 있어서,
상기 편광 방향 검지 수단은, 상기 스테이지 밖에 위치하는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 따른 광 배향 조사 장치에 있어서,
상기 편광 방향 검지 수단은, 각 상기 단위 편광자에 대응하는 위치에 설치된 복수의 편광 센서인 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 따른 광 배향 조사 장치에 있어서,
상기 편광 방향 검지 수단은, 상기 단위 편광자에 대응하는 위치로 이동 가능한 편광 센서인 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 따른 광 배향 조사 장치에 있어서,
상기 편광 방향 검지 수단은, 상기 편광광 조사 수단으로부터 출사된 자외선의 소광비를 검지 가능한 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 따른 광 배향 조사 장치에 있어서,
상기 편광 방향 검지 수단은, 상기 편광광 조사 수단으로부터 출사된 자외선의 강도를 검지 가능한 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 따른 광 배향 조사 장치에 있어서,
상기 주사 수단은, 리니어 모터를 사용해서 상기 스테이지를 이동시키는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 따른 광 배향 조사 장치는,
상기 편광 방향 검지 수단에 의해서 검지된 자외선의 편광 방향에 기초하여, 고지를 행하는 고지 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 따른 광 배향 조사 장치는,
상기 스테이지 혹은 상기 편광광 조사 수단을 회전시키는 회전부를 구비하고,
상기 편광 방향 검지 수단에 의해서 검지된 상기 단위 편광자마다의 편광 방향에 기초하여, 상기 회전부를 회전시키는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 따른 광 배향 조사 장치는,
상기 단위 편광자를 회전시키는 편광자 회전부를 구비하고,
상기 편광 방향 검지 수단에 의해서 검지된 상기 단위 편광자마다의 편광 방향에 기초하여, 상기 편광자 회전부를 회전시키는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 따른 광 배향 조사 장치에 있어서,
상기 편광 방향 검지 수단은, 상기 주사 수단에 있어서의 복수의 주사 위치에 있어서, 상기 편광 수단으로부터 출사된 자외선의 편광 방향을 검지 가능하게 하는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명에 따른 광 배향 조사 장치는,
상기 스테이지 혹은 상기 편광광 조사 수단을 회전시키는 회전부를 구비하고,
상기 기판에 대하여 자외선을 주사할 때, 상기 편광 방향 검지 수단에 의해서 검지된 복수의 주사 위치에서의 자외선의 편광 방향에 기초하여, 상기 회전부를 회전시키는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.
또한 본 명세서에서는, 하기에 기재하는 제2 광 배향 조사 장치를 개시한다.
편광광 조사 수단과, 스테이지와, 주사 수단과, 편광 방향 검지 수단을 구비하고,
상기 편광광 조사 수단은, 자외선 조사 수단과, 편광 수단을 구비하고,
상기 편광 수단은, 상기 자외선 조사 수단으로부터 출사되는 자외선을 편광시키고,
상기 스테이지는, 배향막이 표면에 형성된 기판을 재치 가능하게 하고,
상기 주사 수단은, 상기 스테이지혹은 상기 편광광 조사 수단의 적어도 한쪽을 이동시킴으로써, 상기 스테이지에 재치된 상기 기판에 대해서, 상기 편광광 조사 수단으로부터의 자외선을 소정의 주사 방향으로 주사하고,
상기 편광 방향 검지 수단은, 상기 주사 수단에 있어서의 복수의 주사 위치에 있어서, 상기 편광 수단으로부터 출사된 자외선의 편광 방향을 검지 가능하게 하는 것을 특징으로 하는 광 배향 조사 장치.
또한 상기 제2 광 배향 조사 장치에 있어서,
상기 편광 수단은, 인접 방향에 인접해서 배치된 복수의 단위 편광자를 구비하고,
상기 편광 방향 검지 수단은, 상기 주사 수단에 있어서의 복수의 주사 위치에 있어서, 소정의 상기 단위 편광자로부터 출사된 자외선의 편광 방향을 검지 가능하게 하는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 제2 광 배향 조사 장치 중 어느 하나는,
상기 편광 방향 검지 수단에 의해서 검지된 복수의 주사 위치에서의 자외선의 편광 방향에 기초하여, 고지를 행하는 고지 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.
또한 상기 제2 광 배향 조사 장치 중 어느 하나는,
상기 스테이지 혹은 상기 편광광 조사 수단을 회전시키는 회전부를 구비하고,
상기 기판에 대해서 자외선을 주사할 때, 상기 편광 방향 검지 수단에 의해서 검지된 복수의 주사 위치에서의 자외선의 편광 방향에 기초하여, 상기 회전부를 회전시키는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 한다.
본 발명의 광 배향 조사 장치에 의하면, 복수의 단위 편광자를 포함해서 구성된 편광 수단을 사용할 때, 단위 편광자로부터 출사된 자외선의 편광 방향을 단위 편광자마다 검지 가능한 편광 방향 검지 수단을 설치함으로써, 기판에 대해서 주사시키는 자외선의 편광 방향을 사전에 확인하는 것이 가능해진다. 또한, 검지된 각 단위 편광자의 편광 방향에 기초하여, 단위 편광자의 부착을 수동, 혹은, 자동으로 조정함으로써, 기판에 대해 양호한 배향 특성을 부여하는 것이 가능해진다.
또한, 본 명세서에서 개시하는 제2 광 배향 조사 장치에 의하면, 주사 수단에 있어서의 복수의 주사 위치에 있어서, 편광 수단으로부터 출사된 자외선의 편광 방향을 검지 가능하게 하는 편광 방향 검지 수단을 설치함으로써, 주사 수단으로 스테이지 혹은 편광광 조사 수단을 이동시켰을 때에 발생하는 회전 어긋남(축 주사라고 불리는 현상)을 사전에 확인하는 것이 가능해진다. 또한, 검지된 편광 방향에 기초하여 주사 수단의 고정을 수동, 혹은, 자동으로 조정함으로써 회전 어긋남을 억제하여, 기판에 대해 양호한 배향 특성을 부여하는 것이 가능해진다.
도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 광 배향 조사 장치의 사시도.
도 2는 본 발명의 실시 형태에 따른 광 배향 조사 장치의 측단면도.
도 3은 본 발명의 실시 형태에 따른 광 배향 조사 장치의 상면도.
도 4는 본 발명의 실시 형태에 따른 광 배향 장치에 있어서의 자외선 조사의 모습을 도시하는 모식도.
도 5는 본 발명의 실시 형태에 따른 편광 수단의 구성을 도시하는 도면.
도 6은 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 편광 수단의 구성을 도시하는 도면.
도 7은 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 편광 수단의 구성을 도시하는 도면.
도 8은 본 발명의 실시 형태에 따른 편광 센서의 구성을 도시하는 도면.
도 9는 본 발명의 실시 형태에 따른 광 배향 조사 장치의 제어 구성을 도시하는 블록도.
도 10은 본 발명의 실시 형태에 따른 편광 방향 확인 처리를 도시하는 흐름도.
도 11은 본 발명의 실시 형태에 따른 편광 방향 확인 처리에 있어서의 회전부의 제어를 설명하는 도면.
도 12는 본 발명의 실시 형태에 따른 편광 방향 확인 처리에 있어서의 회전부의 제어를 설명하는 도면.
도 13은 본 발명의 실시 형태에 따른 회전부의 제어에 사용하는 대표각의 산출 방법을 설명하는 도면.
도 14는 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 광 배향 조사 장치의 상면도.
도 15는 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 편광 방향 확인 처리에 있어서의 동작을 설명하기 위한 광 배향 조사 장치의 측단면도.
도 16은 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 광 배향 조사 장치의 상면도.
도 17은 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 광 배향 조사 장치의 제어 구성을 도시하는 블록도.
도 18은 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 편광 방향 확인 처리를 도시하는 흐름도.
도 19는 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 편광 방향 확인 처리에 있어서의 동작을 설명하기 위한 광 배향 조사 장치의 상면도.
도 20은 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 광 배향 조사 장치의 측단면도.
도 21은 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 광 배향 처리를 설명하기 위한 모식도.
도 22는 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 광 배향 조사 장치의 제어 구성을 도시하는 블록도.
도 23은 본 발명의 실시 형태에 따른 축 주사 확인 처리를 도시하는 블록도.
도 24는 본 발명의 실시 형태에 따른 광 배향 처리를 도시하는 흐름도.
도 25는 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 광 배향 조사 장치의 상면도.
도 26은 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 광 배향 조사 장치의 상면도.
도 27은 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 광 배향 조사 장치의 상면도.
도 28은 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 광 배향 조사 장치의 상면도.
도 1은, 본 발명이 실시 형태에 따른 광 배향 조사 장치의 구성을 도시하는 도면이다. 본 실시 형태의 광 배향 조사 장치(1)는, 편광광 조사 수단(2), 주사 수단을 주된 구성 요소로서 갖는다. 편광광 조사 수단(2)은, 기판(9)의 표면에 형성된 배향막에 대해서 자외선의 빔을 조사함으로써, 배향막에 배향 특성을 부여하는 수단으로서, 본 실시 형태에서는, 반사경(21a), 자외선 조사 광원(21b)을 갖는 자외선 조사 수단(21)과, 편광 수단(3)을 구비해서 구성되어 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 조사광으로서 자외선을 사용하고 있지만, 다른 파장대의 조사광을 사용해도 좋다. 그 경우, 사용하는 파장대에 따른 조사 광원이 사용된다.
도 2에는, 본 발명의 실시 형태에 따른 광 배향 조사 장치의 측단면도가, 도 3에는 본 발명의 실시 형태에 따른 광 배향 조사 장치의 상면도가 도시되어 있다. 주사 수단은, 스테이지(4)를 소정의 이동 방향(도면에서는 Y축 방향)으로 이동시킴으로써, 편광광 조사 수단(2)으로부터 조사되는 빔을 기판(9) 상에 주사시키는 수단이다. 본 실시 형태의 주사 수단은, 스테이지(4), 가동대(55), 볼 나사(52), LM 가이드(51), 회전부(54)를 갖고 구성되어 있다. 가동대(55)는, 회전부(54)를 거쳐서 스테이지(4)와 기계적으로 결합되어 있다. 또한, 가동대(55)는, LM 가이드(51)로 주사 방향으로 이동 가능하게 되어 있다. 이 LM 가이드(51)는, LM 레일(51a, 51b) 상을, LM 블록(51c, 51d)이 슬라이딩 가능하게 되어 있다. LM 블록(51c, 51d)에는 가동대(55)가 고정되어 있다. 본 실시 형태에서는, 도 3에 도시하는 바와 같이 2개의 LM 가이드(51a, 51b)에 의해서 가동대(55)를 이동 가능하게 하고 있다.
가동대(55)에는, 볼 나사(52)에 대응한 나사 구멍이 뚫려 있다. 이 나사 구멍에 볼 나사(52)를 통과시키고, 볼 나사(52)를 회전시킴으로써, 볼 나사(52)의 회전을 주사 방향에 대한 가동대(55)의 이동으로 변환하고 있다. 또한, 가동대(55)에는, 상면에 회전부(54)가 설치되어 있다. 이 회전부(54)는, 도면에 도시되는 XY 평면 내에 있어서의 회전을 실행 가능하게 하고 있고, 편광광 조사 수단(2)에 의해 조사되는 편광광의 편광 방향의 조정, 그리고, 주사 수단에 의한 각 주사 위치에서의 회전 어긋남(「축 주사」라고 불리는 현상)의 보정 등에 사용된다.
주사 수단으로서는, 본 실시 형태와 같이 LM 가이드(51), 볼 나사(52)를 사용하는 것 이외에, 리니어 모터를 사용해서 스테이지(4)를 이동시키는 것으로 해도 좋다. 리니어 모터를 사용함으로써, 신속하게 또한 기계적인 진동을 억제한 상태로 스테이지를 이동시키는 것이 가능해진다. 또한, 스테이지(4)를 이동시키는 것 이외에, 편광광 조사 수단(2)을 이동시키거나, 혹은, 스테이지(4)와 편광광 조사 수단(2)의 양쪽을 이동시킴으로써, 편광광 조사 수단(2)으로부터 조사되는 편광 자외선 B를 기판(9)에 주사하는 것으로 해도 좋다.
본 실시 형태에서는 편광 수단(3)으로부터의 편광 자외선 B를 기판(9)에 직접 조사하고 있지만, 편광 수단(3)과 기판(9) 사이에 조사 영역을 슬릿 형상으로 제한하는 차폐 마스크를 설치하는 것으로 해도 좋다. 차폐 마스크를 설치함으로써, 조사 영역을 제한하고, 유효한 조사광만을 기판(9)에 노광시키는 것이 가능하게 되어, 배향 성능의 향상을 도모하는 것이 가능해진다.
스테이지(4)에는, 노광 대상으로 되는 기판(9)이 설치된다. 본 실시 형태에서는, 기판(9)의 주사 방향이, 액정 표시 장치로서의 이용 시에 있어서의 세로 방향 또는 가로 방향이 되도록 설치된다. 노광 대상이 되는 기판(9)의 표면에는, 폴리이미드 등의 광 반응성 고분자로 이루어지는 고분자가 막 형상으로 형성되어 있다. 이 배향막 상에 편광 자외선을 조사해서 고분자막을 변성시키고, 도시되어 있지 않은 이후의 공정에서 고분자막 상에 액정 분자를 도포하면, 액정 분자가 고분자막으로부터 작용을 받아 특정한 방향으로 정렬(배향)된다. 본래에는, 이 배향 특성을 갖는 고분자막을 배향막이라고 칭하지만, 일반적으로 배향 특성을 부여하기 이전의 고분자막도 배향막이라고 칭하고 있고, 본 명세서에 있어서도 배향 특성을 부여하기 이전의 고분자막도 포함시켜 배향막이라고 칭한다.
편광광 조사 수단(2)은, 자외선 조사 광원(21b), 반사경(21a)을 포함하는 자외선 조사 광원(21)과, 편광 수단(3)을 포함해서 구성되어 있다. 자외선 조사 광원(21)은, 도 2, 도 3에 있어서의 X축 방향에 장축을 갖는 선광원을 사용하고 있다. 자외선 조사 광원(21)에는, 이러한 선광원뿐만 아니라 점광원 등 각종 광원을 사용하는 것도 가능하다. 자외선 램프 등의 자외선 조사 광원(21b)으로부터 조사된 자외선은, 방물면경 등의 반사경(21a) 등으로 평행광 혹은 부분적인 평행광이 되도록 조정되고, 무편광 자외선 A로서 편광 수단(3) 측에 조사된다. 편광 수단(3)은, 무편광 자외선 A로부터 소정 방향의 직선 편광 성분을 취출하는 수단이다. 본 실시 형태에서는, 이 편광 수단(3)에 의해서 무편광 자외선 A로부터 소정 방향으로 편광된 편광 자외선 B가 취출되어, 기판(9)에의 입사광이 된다.
도 5에는, 본 발명의 실시 형태에 따른 편광 수단의 구성이 도시되어 있다. 도 5는, 편광 수단(3)을 하방, 즉, 도 1 내지 도 3에 도시되는 Z축의 정의 방향으로부터 바라본 도면으로 되어 있다. 본 실시 형태의 편광 수단(3)은, 인접 방향(33)을 따라서 인접 배치된 복수의 단위 편광자(31a~31f)를 갖고 구성되어 있다. 단위 편광자(31a~31f)는, 유전 다층막을 사용한 브루스터 편광자나 와이어 그리드 편광자로 구성된다. 이러한 단위 편광자(31a~31f)는, 석영 등을 성분으로 해서 구성된 광학 소자(편광자)이고, 본 실시 형태에서는 직사각 형상의 것을 사용하고 있다. 도 1에 도시하는 바와 같이, 기판(9)에 조사 영역을 형성할 때, 기판(9)에 얼룩 없이 편광 자외선을 조사하기 위해서는, 기판(9)의 한 변으로부터 대향하는 다른 변에 걸치는 길이의 편광 수단(3)이 필요로 된다. 현재, 50인치 이상의 대형 액정 표시 장치에서 사용되는 기판(9)에 있어서는, 충분한 길이를 갖는 편광 수단(3)이 요구되고 있다. 대형의 편광자의 제조는 곤란함과 함께, 현 상황에서, 그 가격은 고가로 되어 있다. 본 실시 형태에서는, 도 5에 도시되는 바와 같이 소형의 단위 편광자(31a~31f)를, 인접 방향(33)에 인접시켜 사용함으로써, 광 배향 조사 장치의 코스트를 억제하는 것이 가능해진다.
이들 단위 편광자(31a~31f)는, 고정부(32)에 의해서 소정의 편광 성분을 출사하는 방향으로 고정되어 있다. 이와 같이 복수의 단위 편광자(31a~31f)를 인접시킨 편광 수단(3)을 사용함으로써, 50인치 이상의 대형 기판(9)을 사용한 경우에 있어서도, 충분한 길이의 편광 수단(3)을 실현하는 것이 가능하게 되어 있다.
편광 수단(3)에는, 이러한 직사각 형상의 단위 편광자(31a~31f)를 사용하는 형태 이외에, 각종 형태를 채용하는 것이 가능하다. 도 5에 도시되는 직사각 형상의 단위 편광자(31a~31f)를 인접시켜 사용함과 함께, 각 단위 편광자(31a~31f)의 인접면(34)이 주사 방향과 평행한 경우, 인접면(34)에 있어서의 이음매가, 출사되는 편광 자외선에 얼룩을 발생시키는 경우가 있다. 그 때문에, 도 6에 도시되는 바와 같은 편광 수단(3)의 구성을 취하는 것이 생각된다. 도 6의 구성에서는, 각 단위 편광자(31a~31f)가, 주사 방향에 대해서 경사진 변을 갖는 평행사변형 형상으로 되어 있다. 이러한 형상을 채용함으로써, 인접하는 단위 편광자(31a~31f)간의 인접면(34)을 주사 방향에 대해서 경사지게 하여, 인접면(34)으로부터 조사되는 편광 자외선을 중복시킴으로써, 이음매의 영향의 억제가 도모되고 있다.
그러나, 도 6과 같은 평행사변형 형상의 단위 편광자(31a~31f)를 정밀도 좋게 제조하는 것은 곤란함과 함께, 비용 상승의 요인이 된다. 또한, 예각으로 되어 있는 부분은 파손되기 쉽기 때문에 취급도 곤란하게 된다. 도 7에는, 도 6과 마찬가지로, 인접면(34)을 주사 방향에 대해서 경사지게 한 구성으로 되어 있다. 이 실시 형태에서는, 도 5와 마찬가지로, 직사각 형상의 단위 편광자(31a~31f)가 사용되고 있다. 단, 고정부(32)에 대한 고정 방향의 점에 있어서 상이하다. 즉, 직사각 형상의 단위 편광자(31a~31f)를, 주사 방향에 대해서 경사지도록 고정부(32)에 고정함으로써, 도 6과 마찬가지로, 주사 방향에 대해서 경사진 인접면(34)이 형성되어 있다. 그 때, 편광 자외선의 출사 영역이 불균형하게 되지 않도록, 도면에 도시하는 바와 같이 고정부(32)에 직사각 형상의 슬릿을 형성하는 등, 불필요한 영역을 차폐하는 차폐 마스크를 설치하는 것이 바람직하다. 이러한 형태에 의하면, 각 단위 편광자(31a~31f)의 사용 비율은 감소하지만, 이음매의 영향을 억제함과 함께, 단위 편광자(31a~31f)의 제조, 및 취급을 용이하게 하는 것이 가능해진다.
도 4에는, 이 편광 수단(3)에 의한 자외선 조사의 상황이 모식적으로 도시되어 있다. 자외선 조사 광원(21)으로부터 출사된 평행, 혹은, 부분적으로 평행한 무편광 자외선 A는, 각 단위 편광자(31a~31f)를 투과함으로써, 각 단위 편광자(31a~31f)마다 설정되어 있는 편광 방향으로 편광되고, 편광 자외선 Ba~Bf로 변환된다. 각 편광 자외선 Ba~Bf는, 기판(9) 상에 입사해서 배향막을 배향시킨다. 도 4의 조사 영역에는, 각 편광 자외선 Ba~Bf의 편광 방향이 화살표로 모식적으로 도시되어 있다. 편광 수단(3)을 1개의 편광자로 구성한 경우, 조사되는 편광 자외선의 편광 방향은, 조사 영역 중에 있어서 모두 동일 방향으로 된다. 그러나, 본 실시 형태와 같이 복수의 단위 편광자(31a~31f)의 편광 방향을 일치시켜 두지 않으면, 기판(9)을 액정 표시 장치로서 사용했을 때, 영상 얼룩으로서 관찰된다.
이러한 액정 표시 장치에 있어서의 영상 얼룩 발생을 억제하기 위해, 각 단위 편광자(31a~31f)의 편광 방향이 소정 방향을 향하고 있거나, 또한, 각 단위 편광자(31a~31f)간의 편광 방향의 오차가 소정 각도 이내의 범위 내에 있는지를 확인할 필요가 있다. 그 때문에, 본 실시 형태의 광 배향 조사 장치에서는, 각 단위 편광자(31a~31f)로부터 출사된 편광 자외선의 편광 방향을 검지하는 편광 방향 검지 수단을 설치하고 있다.
이 편광 방향 검지 수단은, 하나 내지 복수의 편광 센서(6)를 사용해서 구성하는 것이 가능하다. 본 실시 형태에서는, 스테이지(4) 상에 각 단위 편광자(31a~31f)에 대응한 복수의 편광 센서(6a~6f)를 사용하고 있다. 도 2에 도시한 광 배향 조사 장치(1)의 측단면도, 도 3에 도시한 상면도에는, 이 복수의 편광 센서(6a~6f)의 배치 모습이 도시되어 있다. 도 2에 도시되는 바와 같이 편광 센서(6)는, 검출면을 상향으로 하여 스테이지(4)의 면으로부터 돌출되지 않도록 스테이지(4) 내에 매립되어 있다. 이것은, 스테이지(4)에 기판(9)을 재치할 때, 편광 센서(6)가 돌출되는 것에 의한 재치 저해를 방지하기 위해서이다. 기판(9)을 조사했을 때의 편광 방향을 검출할 수 있도록, 편광 센서(6)의 검출면은, 기판(9)의 배향막 부근에 위치시키는 것이 바람직하지만, 그 경우, 편광 센서(6)는, 스테이지(4)의 면으로부터 돌출시키게 된다. 이러한 경우, 편광 방향을 검출하는 경우에만, 편광 센서(6)를 부착하거나, 혹은, 구동 기구를 사용해서 편광 센서(6)를 스테이지로부터 돌출시키거나 해도 좋다.
도 3의 상면도에는, 각 편광 센서(6a~6f)와, 각 단위 편광자(31a~31f)의 위치 관계가 나타내진다. 도면에서는, 위치 관계를 확인하기 쉽도록, 편광 센서(6a~6f)와 단위 편광자(31a~31f)가 어긋난 위치로 나타내고 있지만, 편광 방향을 확인할 때에는, 주사 수단에 의해서, 단위 편광자(31a~31f)로부터의 편광 자외선 B가, 각각에 대응한 편광 센서(6a~6f)에 입사되는 위치로 이동된다. 각 단위 편광자(31a~31f)로부터 출사된 편광 자외선 Ba~Bf는, 편광 센서(6a~6f)에 입사됨으로써, 그 편광 방향이 확인된다.
도 8에는, 편광 센서(6)의 구성이 도시되어 있다. 본 실시 형태에서 사용하는 편광 센서(6)는, 입사광의 편광 방향뿐만 아니라, 입사광의 p광과 s파의 비인 소광비(편광비라고도 함), 그리고, 입사광의 강도를 검출 가능하게 하고 있다. 편광 센서(6)는, 프리즘(61), 광량 센서(62), 구동부(63), 구동력 전달부(64), 센서 제어부(65)를 구비해서 구성되어 있다. 프리즘(61)에는, 글란 테일러 프리즘(Glan-Taylor Prisms), 글란 톰슨 프리즘 등 소정 방향의 편광 성분을 투과하는 광학 소자가 사용된다. 광학 센서(62)는, 프리즘(61)의 투과광의 광량을 광량 신호로서 출력한다. 구동부(63)는, 스텝핑 모터 등을 사용할 수 있어, 구동력 전달부(64)를 거쳐서 프리즘(61)을 회전시킨다. 센서 제어부(65)는, 구동부(63)에 의한 프리즘(61)의 회전 제어를 행함과 함께, 광량 센서(62)로부터 출력된 광량 신호를 수신한다.
센서 제어부(65)는, 구동 신호에 의해 구동부(63)를 구동함으로써, 프리즘(61)을 회전시킨다. 예를 들면, 프리즘(61)을 1회전(1周)(반회전이어도 가능) 회전시켰을 때 최대의 광량 신호를 출력하는 프리즘(61)의 방향이 입사광의 편광 방향으로서 검출된다. 또한, 소광비는, 최소의 광량 신호 Imin에 대한 최대의 광량 신호 Imax의 비(Imax/Imin)에 의해서 구해진다. 그리고, 입사광의 강도는, 프리즘(61)을 1회전(또는 반회전)시켰을 때의 광량 신호의 적분값에 의해서 산출하는 것이 가능하다.
이와 같이 본 실시 형태의 편광 센서(6)에서는, 입사광의 편광 방향뿐만 아니라, 소광비(편광비), 강도를 출력하는 것을 가능하게 하고 있다. 기판(9)에 조사되는 편광 자외선의 각 위치에 있어서, 소광비, 강도에 편차가 있으면 배향막을 조사 처리했을 때의 배향 규제력 등에 영향을 미쳐, 배향막의 특성이 불균일해지는 경우가 있다. 본 실시 형태에서는, 편광 센서(6)에 편광 방향뿐만 아니라, 소광비(편광비), 강도를 검지하는 것을 가능하게 한 것에 의해, 별도로 소광비, 강도를 검지하기 위한 센서를 설치할 필요가 없다. 편광 센서(6)에 의해서 검지된 각 정보는 사용자에 대해서 고지되어, 문제(이상)가 있는 경우에는 대처하는 것이 가능해진다.
본 실시 형태와 같이 각 단위 편광자(31a~31f)는, 고정부(32)에 의해서 소정 위치, 및 편광 방향이 소정 방향을 향하도록 고정되어 있다. 통상, 이 고정부(32)는 금속제의 프레임 등이 채용되고, 단위 편광자(31a~31f)의 양단을 사이에 끼움으로써 고정을 행한다. 광 배향 조사 장치(1)에서는, 자외선 조사 광원(21)으로부터 강도의 자외선을 조사할 필요가 있기 때문에, 그것에 의해서 발생하는 열량도 큰 것으로 된다. 따라서, 발생하는 열량도 함께 받는 편광 수단(3)에서는 온도가 상승하게 되고, 금속제의 고정부(32)에서는 열팽창이 발생한다. 한편, 단위 편광자(31a~31f)는, 석영 등을 소재로 하는 비교적 파손되기 쉬운 광학 소자이기 때문에, 고정부(32)에서 강고하게 고정하면 열팽창을 원인으로 해서 파손되어 버릴 우려가 있다. 이러한 조건 하에서, 단위 편광자(31a~31f)를 과도한 힘으로 고정할 수는 없어, 열팽창 등을 원인으로 해서, 그 위치 어긋남이 발생한다.
주사 방향에서 대해서 평행 혹은 직교하는 방향에 대한 위치 어긋남이면, 특별히 문제는 없지만, 단위 편광자(31a~31f)를 회전시키는 위치 어긋남은, 편광 방향으로 어긋남을 발생시키기 때문에 바람하지 않다. 특히, 본 실시 형태와 같이 복수의 단위 편광자(31a~31f)간의 편광 방향의 어긋남은, 액정 표시 장치로서 이용했을 때의 영상 품질에 관계되게 된다. 따라서, 본 실시 형태의 광 배향 조사 장치에서는, 편광 방향 확인 처리를 실행함으로써, 각 단위 편광자(31a~31f)의 편광 방향의 확인을 행하는 것으로 하고 있다. 또한, 본 실시 형태의 편광 방향 확인 처리에서는, 확인한 편광 방향에 기초하여, 회전부(54)를 회전시켜 편광 방향이 적정하게 되는 보정 처리도 행하고 있다.
도 9는, 본 발명의 실시 형태에 따른 광 배향 조사 장치의 제어 구성을 도시하는 블록도이고, 도 10은, 본 발명의 실시 형태에 따른 편광 방향 확인 처리를 도시하는 블록도이다. 본 실시 형태의 광 배향 조사 장치는, 그 제어 수단으로서, 도 9에 도시되는 바와 같이 제어부(81), 볼 나사 구동부(82)를 갖고 구성되어 있다. 제어부(81)에는, 사용자에 대한 각종 정보의 교환을 행하기 위한 표시부(83), 입력부(84)가 접속되어 있다. 또한, 제어부(81)는, 회전부(54), 자외선 조사 광원(21b), 센서 제어부(65)와 접속되어 있고, 이들 각종 구성을 제어하는 것을 가능하게 하고 있다.
편광 방향 확인 처리는, 각 단위 편광자(31a~31f)로부터 출사되는 편광 자외선 Ba~Bf의 편광 방향광을 확인하기 위한 처리이다. 이 편광 방향 확인 처리는, 스테이지(4)에 기판(9)을 재치하기 전의 상태로 실행된다. 도 10의 흐름도에 도시되는 바와 같이, 편광 방향 확인 처리가 개시되면, 우선, 각 단위 편광자(31a~31f)로부터 출사되는 편광 자외선이 대응하는 편광 센서(6a~6f)를 조사 가능한 위치로 스테이지(4)를 이동한다(S101). 본 실시 형태에서는, 제어부(81)가 볼 나사 구동부(82)에 의해서 볼 나사(52)를 회전시킴으로써 스테이지(4)의 이동이 행해진다. 다음에 제어부(81)는 자외선 조사 광원(21b)을 점등시키고, 각 편광 센서(6a~6f)에 편광 자외선을 입사시킨다(S102).
본 실시 형태에서는, 각 단위 편광자(31a~31f)에 대응한 복수의 편광 센서(6a~6f)가 설치되어 있기 때문에, 각 단위 편광자(31a~31f)의 편광 방향이 동시에 취득된다(S103). 취득한 각 편광 센서(6a~6f)의 편광 방향은, 제어부(81) 내의 기억 수단에 기억된다(S105). 본 실시 형태에서는, 이와 같이 기억한 각 편광 방향에 기초하여 고지(결과 표시) 처리(S106)가 실행된다. 간이적인 고지 처리에서는, 각 편광 방향을 표시부(83)에 표시시키는 것이 생각된다. 혹은, 각 편광 방향에서의 이상을 검출하고, 이상을 검출한 편광 센서(6a~6f), 혹은 그것에 대응하는 단위 편광자(31a~31f)에 관한 각종 정보를 표시부(83)에 표시해도 좋다. 편광 방향의 이상으로서는, 이하에 나타내는 바와 같은 경우가 생각된다. (1) 소정 방향에 대한 편광 방향의 어긋남, (2) 편광 방향의 최대각과 최소각의 차, (3) 인접하는 단위 편광자(31a~31f) 사이에서의 편광 방향의 어긋남 등이다.
(1) 소정 방향에 대한 편광 방향의 어긋남
이것은, 설계 단계에서 미리 기판(9)에 대해서 설정되어 있는 편광 방향으로부터의 어긋남에 의해서 이상을 판정하는 형태이다. 각 편광 센서(6a~6f)가 검지한 편광 방향이, 설정되어 있는 편광 방향으로부터 임계값 이상 어긋난 경우, 어긋남이 발생한 편광 센서(6a~6f)가 고지된다.
(2) 편광 방향의 최대각과 최소각의 차
이것은, 각 편광 센서(6a~6f)가 검지한 최대 편광 방향의 각도(최대각)와 최소 편광 방향의 각도(최소각)의 차가 임계값 이상인 경우, 이상으로서 판정하는 형태이다. 각 편광 센서(6a~6f)의 편광 방향이 동일 방향으로 일괄해서 회전된 경우에는, 영상 형성에 있어서 문제로 되지 않는 경우가 있다. 본 형태는, 그러한 경우를 고려한 판정 형태로서, 기판(9)에 대해서 정해져 있는 편광 방향을 고려하지 않고, 편광 방향간의 최대차가 임계값 이상이었던 경우, 이상으로서 판정한다. 고지 처리에서는, 최대각, 최소각을 검지한 편광 센서(6a~6f), 및 그 차 등을 고지하는 것이 생각된다.
(3) 인접하는 단위 편광자(31a~31f) 사이에서의 편광 방향의 어긋남
이것은, 인접하는 단위 편광자(31a~31f) 사이에서의 편광 방향에서의 어긋남이 임계값 이상이면, 이상으로서 판정하는 형태이다. 인접한 단위 편광자(31a~31f) 사이에서, 편광 방향에 어긋남이 발생한 경우, 영상 얼룩으로서 눈에 띄기 쉬워져 버린다. 그 때문에, 본 형태에서는, 인접한 단위 편광자(31a~31f) 사이에서의 편광 방향에 임계값을 설정하고, 임계값을 초과한 경우에 이상으로서 판정하고 있다. 따라서, 본 형태에서는, 단위 편광자(31a~31f) 사이에서 원만하게 변위하는 편광 방향의 어긋남은 허용된다. 고지 처리에서는, 임계값을 초과한 편광 센서(6a~6f), 및 그 차 등을 고지하는 것이 생각된다.
편광 방향의 이상 검지의 조건으로서는, 상술한 (1)~(3)을 복수 사용해도 좋다. 또한, 각 편광 센서(6a~6f)에 의해서 검지한 각 단위 편광자(31a~31f)마다의 편광 방향에 기초하여 행하는 것이면, 상술한 형태에 한정하지 않고 각종 형태를 채용할 수 있다. 검지된 이상이 고지됨(S106)으로써, 광 배향 조사 장치를 관리하는 사용자는, 이상이 발생한 단위 편광자(31a~31f)의 편광 방향의 조정을 행하는 것이 가능해진다. 구체적으로는, 단위 편광자(31a~31f)의 부착의 조정을 행하고, 재차, 편광 방향 확인 처리를 실행함으로써 편광 방향의 적정화가 행해진다.
또한 본 실시 형태의 제어부(81)는, 스테이지(4)를 회전시키는 회전부(54)를 제어함으로써, 편광 방향의 최적화를 행하는 것을 가능하게 하고 있다. S107에서는, S106에서 고지된 어긋남이 수정할 필요가 있는 어긋남인지 여부가 판정된다. 수정할 필요가 없는 어긋남인 경우, 즉 편광 방향이 허용 범위 내인(S107:No) 경우에는, 편광 방향 확인 처리를 종료한다. 한편, 수정할 필요가 있는 어긋남(S107:Yes)인 경우, 회전부(54)의 회전에 의해 수정 가능한 어긋남인지 여부가 판정된다. 수정 불가능한 어긋남인 경우(S108:No)에는, 어긋남 수정 불능이라는 것을 고지(S111)한 후에, 편광 방향 확인 처리를 종료한다. 수정 가능한 어긋남인 경우(S108:Yes)에는, 어긋남을 해소하기 위한 대표각이 산출되고(S109), 회전부(54)를, 산출한 대표각으로 회전시킨다.
도 11, 도 12에는, 본 발명의 실시 형태에 따른 편광 방향 확인 처리에 있어서의 회전부(54)의 제어를 설명하는 도면이 도시되어 있다. 도 11은, 편광 센서(6a~6f)에 의한 각 단위 편광자(31a~31f)의 편광 방향 검출 시의 모습이 도시되어 있다. 도면에서는, 각 편광 방향 A~F가 도시되어 있지만, 여기서는 알기 쉽도록 편광 방향을 과장해서 도시하고 있다. 도면 중, 편광 방향 A와 편광 방향 F가 편광 방향의 각도차가 가장 큰 상태로 되어 있다. 또한, 본 실시 형태에서는, 스테이지(4)는 초기 상태, 즉, 주사 방향에 대해서 대략 평행하게 그 장변을 향한 상태로 되어 있다.
본 실시 형태에서는, 이 가장 각도차가 큰 편광 방향 A와 편광 방향 F를 사용하여 대표각, 즉, 회전부(54)에 의한 스테이지(4)의 회전각을 산출하는 것으로 하고 있다. 도 12에는, 스테이지(4)를 회전시켰을 때의 모습이 도시되어 있다. 도면에서는 회전부(54)에 의해서 스테이지(4)를, 도 2에 도시하는 가동대(55)에 대해서 각도 θ만큼 회전시킨 모습이 도시되어 있다. 대표각에 따라서 회전된 스테이지(4)에서는, 모든 단위 편광자(31a~31f)의 편광 방향이 어긋남의 허용 범위 내에 수용된다.
도 13에는, 이 대표각의 산출 방법의 일례가 도시되어 있다. 도 11에 도시되는 예에서는, 각 편광 센서(6a~6f) 중, 편광 센서(6a)의 편광 방향 A와, 편광 센서(6f)의 편광 방향 F의 각도차가 최대로 되어 있다. 여기서는, 편광 센서(6a)의 편광 방향 A를 최대각, 편광 센서(6f)의 편광 방향 f를 최소각이라고 명명하고, 대표각을 최대각과 최소각의 중간이 되도록 산출하고 있다. 가동대(55)는 산출된 대표각에 따라서 각도 θ만큼 회전된다. 이러한 대표각에 의해서 회전부(54)를 회전시킴으로써, 각 편광 방향의 편차를 소정 범위 내로 억제하는 것이 가능해진다.
이와 같이 편광 방향 확인 처리를 실시함으로써, 각 단위 편광자(31a~31f)의 편광 방향이 적정 범위 내로 조정된다. 본 실시 형태의 회전부(54)는, 스테이지(4)를 회전시키는 형태이지만, 도 2에 도시되는 편광광 조사 수단(2)을 XY 평면 내에서 회전시키는 회전부를 사용하는 것에 의해서 편광 방향의 적정화를 도모하는 것도 가능하다. 또한 편광 방향의 적정화는, 스테이지(54)와 편광광 조사 수단(2)을 회전시키는 2개의 회전부를 협동시킴으로써 행하는 것도 가능하다.
본 실시 형태에서는, 회전부(54)의 회전을 이용해서 편광 방향의 적정화를 도모하는 것으로 했지만, 이 적정화는 모두 수동, 즉, 단위 편광자(31a~31f)를 수동으로 위치 조정함으로써 행하는 것으로 해도 좋다. 적정한 편광 방향으로 조정된 광 배향 조사 장치로 광 배향 처리를 실행함으로써, 기판(9)을 양호한 노광 상태로 배향시키고, 액정 표시 장치로서 사용되었을 때의 영상의 고품질화를 도모하는 것이 가능해진다.
편광 센서(6)의 배치에는 다른 형태를 채용하는 것도 가능하다. 도 14에는, 본 발명의 다른 실시 형태에 따른 광 배향 조사 장치의 상면도가 도시되어 있다. 이 실시 형태에 있어서는, 스테이지(4) 밖에 편광 센서(6a~6f)를 배치하고 있다. 편광 센서(6a~6f)는, 센서 재치대(66) 상에 설치되어 있다. 이 센서 재치대(66)는, 주사 수단에 의한 스테이지(4)의 이동을 저해하지 않는 위치에 배치된다. 본 실시 형태에서는, 편광 수단(3), 자외선 조사 광원(21)을 포함하는 편광광 조사 수단(2)을 센서 재치대(66) 상으로 이동시키는 이동부를 갖고 있다. 편광 방향 확인 처리에서는, 도 15에 도시되는 바와 같이, 이동부에 의해서, 편광광 조사 수단(2)을 센서 재치대(66) 상으로 이동시킴으로써, 각 단위 편광자(31a~31f)로부터 출사되는 편광 자외선 B를, 편광 센서(6a~6f)로 수광시킨다.
본 실시 형태에서는, 이와 같이 편광 센서(6a~6f)를 스테이지(4) 밖에 설치한 것에 의해, 스테이지(4) 내에 편광 센서(6a~6f)를 배치할 필요가 없다. 편광 센서(6a~6f)에는 신호를 송수신하기 위한 배선이 필요로 되지만, 전술한 실시 형태와 같이 스테이지(4) 내에 편광 센서(6a~6f)를 설치한 경우에는, 스테이지(4)의 이동에 의해 배선이 피폐해서 단선 등을 일으킬 가능성이 있다. 본 실시 형태에서는 가동부가 없는 스테이지(4) 밖에 편광 센서(6a~6f)를 설치함으로써, 단선 등의 장해의 발생을 억제함과 함께, 그 설치에 대해서도 용이하게 행하는 것을 가능하게 하고 있다. 또한, 스테이지(4)에 기판(9)을 설치한 상태이어도, 편광 방향 확인 처리를 실시하는 것이 가능해진다. 또한, 주사 수단이 편광광 조사 수단(2)을 이동시킴으로써, 편광 자외선의 주사를 행하는 경우에는, 센서 재치대(66) 상으로의 편광광 조사 수단(2)의 이동을, 주사 수단으로 행하는(겸용하는) 것이 가능해진다.
또한 전술한 실시 형태에서는, 각 단위 편광자(31a~31f)에 대응한 복수의 편광 센서(6a~6f)를 시용하는 것으로 했지만, 편광 센서(6)을 이동시킴으로써, 각 단위 편광자(31a~31f)의 편광 방향을 검지하는 것도 가능하다. 도 16~도 18은, 편광 센서(6)를 이동시킨 것을 특징으로 하는 실시 형태로서, 도 16은, 본 실시 형태의 광 배향 조사 장치의 상면도이고, 도 17은, 본 실시 형태의 광 배향 조사 장치의 제어 구성을 도시하는 블록도이고, 도 18은, 본 실시 형태의 편광 방향 확인 처리를 도시하는 흐름도이다.
도 16의 상면도에 도시되는 바와 같이, 본 실시 형태에서는 1개의 편광 센서(6)를 갖고 구성되어 있다. 이 편광 센서(6)는, 스테이지(4)에 슬릿 형상으로 형성된 가동 범위 내를 이동 가능하게 되어 있다. 도 17의 제어 구성에 도시되어 있는 바와 같이, 편광 센서(6)는, 센서 제어부(65)에 의해서, 슬릿 형상의 가동 범위 내를 자유롭게 이동 가능하게 하고 있다. 본 실시 형태에서는, 위치 a~위치 f로 이동함으로써, 각 단위 편광자(31a~31f)의 편광 방향이 검지된다.
도 18의 편광 방향 확인 처리에서는, 우선 편광 센서(6)의 위쪽에 단위 편광자(31a)가 위치하도록 주사 수단으로 스테이지(4)를 이동시킨다(S201). 다음으로, 제어부(81)는, 편광 센서(6)에 편광 자외선을 입사하도록 자외선 조사 광원(21b)을 점등시킨다(S202). 제어부(81)는, 변수 n을 초기값인 1로 설정(S203)한 후, 편광 센서(6)를 1번째의 단위 편광자(31a)의 검지 위치인 위치 a로 이동시킨다(S204). 제어부(81)는, 이동한 위치에서의 편광 센서(6)의 편광 방향을 취득(S205)한 후, 상기 편광 방향을 취득 위치 a 혹은 단위 편광자(31a)에 대응시켜 기억한다(S206). S207에서는, 다음의 편광 방향의 검지를 위해, 변수 n에 1을 가산한 후, S204~S206을 실행한다. n=N(도 16의 예에서는 N=6)이 될 때까지, S204~S206을 반복해서 실행함으로써, 각 단위 편광자(31a~31f)의 편광 방향이 취득, 기억된다.
S209 이후에서는, 기억한 각 단위 편광자(31a~31f)의 편광 방향에 기초하여, 고지 처리, 회전부(54)의 회전에 의한 편광 방향의 보정이 실행된다. 이들 처리(S209~S214)는, 도 10의 흐름도 중, S106~S111과 동일한 처리이기 때문에, 여기서의 설명은 생략한다.
전술한 실시 형태에 있어서의 편광 방향 확인 처리에서는, 대표각에 기초하여 회전부(54)를 회전시킴으로써, 각 단위 편광자(31a~31f)의 편광 방향의 어긋남을 허용 범위 내에 수용하는 것으로 하고 있지만, 편광 방향의 어긋남의 수정은, 다른 수단에 의해서 행하는 것도 생각된다. 도 19는, 다른 실시 형태에 따른 편광 방향 확인 처리에 있어서의 동작을 설명하기 위한 광 배향 조사 장치의 상면도이다.
본 실시 형태에서는, 각 단위 편광자(31a~31f)마다, 고정부(32)에 대해서 단위 편광자(31a~31f)를 회전시키는 편광자 회전부(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 이 편광자 회전부는, 단위 편광자(31a~31f)를 개별로 회전시킴으로써, 각 단위 편광자(31a~31f)의 편광 방향을 개별 조정하는 것을 가능하게 하고 있다. 편광 방향 확인 처리에서 검지된 각 단위 편광자(31a~31f)의 편광 방향에 기초하여, 이 편광자 회전부를 회전시키고, 각 단위 편광자(31a~31f)의 편광 방향을 조정함으로써, 편광 방향의 적정화를 도모하는 것이 가능해진다.
이상, 본 실시 형태에서는, 단위 편광자로부터 출사된 편광 자외선의 편광 방향 B를, 단위 편광자(31a~31f)마다 검지 가능한 편광 방향 검지 수단을 설치한 것에 의해, 복수의 단위 편광자(31a~31f)로 구성된 편광 수단(3)을 사용한 경우에 있어서도, 편광 방향을 적절하게 조정하는 것이 가능해진다.
이러한 편광 센서(6)는, 단위 편광자(31a~31f)마다의 편광 방향의 검지뿐만 아니라, 주사 수단에 있어서의 각 주사 위치에서의 회전 어긋남(「축 주사」라고 불리는 현상)의 검지에 대해서도 사용하는 것이 가능하다. 본 실시 형태의 주사 수단에는, 직진 정밀도가 우수한 LM 가이드가 사용되고 있기 때문에, LM 가이드 자체에서 발생하는 회전 어긋남은 거의 발생하는 일은 없다. LM 가이드 중, LM 레일(51a, 51b)은, 광 배향 조사 장치의 설치 개소에 고정됨과 함께, LM 블록(51c, 51d)은, 가동대(55)에 고정되어 사용된다. 각 주사 위치에서의 회전 어긋남은, 이러한 주사 수단의 고정 시에 발생하게 된다. 이러한 회전 어긋남은, 자외선 조사 광원(21b)에서 발생하는 열, 그리고, 주위의 기온 변화 등 각종 주위 환경에 의해서 변화하는 경우가 예상된다.
본 실시 형태에서는, 이러한 각 주사 위치에서의 회전 어긋남을, 편광 센서(6)를 사용해서 검지하는 것으로 하고 있다. 도 20에는, 주사 수단의 축 주사를 검지하기 위한 광 배향 조사 장치의 측단면도가 도시되어 있다. 또한, 도 21에는, 광 배향 조사 장치의 상면도가 도시되어 있다. 이들 도면을 보면 알 수 있는 바와 같이, 본 실시 형태의 광 배향 조사 장치에서는, 복수의 편광 센서(6s~6x)가, 스테이지(4) 상, 주사 수단에 의한 스테이지(4)의 이동 방향을 따라서 배치되어 있다. 본 실시 형태와 같이 편광 수단(3)이 복수의 단위 편광자(31a~31f)로 구성되어 있는 경우, 각 편광 센서(6s~6x)는, 1개의 단위 편광자(31f)로부터의 편광 자외선 B를 수광하는 위치에 배치하는 것이 필요로 된다. 이것은 각 단위 편광자(31a~31f) 사이에 있어서 편광 방향으로 어긋남을 발생하고 있을 가능성이 있기 때문이다. 또한, 편광 수단(3)이 1개의 편광자로 구성되어 있는 형태에 있어서는, 스테이지(4) 상, 편광 자외선 B를 수광 가능한 적절한 복수의 주사 위치에서 편광 방향을 검지함으로써, 각 주사 위치에서의 회전 어긋남을 검지하는 것이 가능하다.
또한, 각 편광 센서(6s~6x)는, 스테이지(4)의 기판 설치 영역(9a) 내에, 매립되어 설치되어 있다. 전술한 실시 형태와 마찬가지로, 이 각 편광 방향은, 기판(9)이 설치되었을 때의 수광면의 위치에서 검지하는 것이 바람직하다. 그 때문에, 주사 수단의 축 주사를 확인할 때, 각 편광 센서(6s~6x)를 설치하거나, 혹은, 각 편광 센서(6s~6x)의 수광면을 돌출시키는 기구를 설치하는 것으로 해도 좋다.
본 실시 형태에서는, 도 21에 도시되는 바와 같이, 주사 수단에 의한 스테이지(4)의 이동 방향을 따라서, 6개의 편광 센서(6x~6x)가 등간격으로 설치되어 있다. 도 21에는 각 편광 센서(6s~6x)가 검지한 편광 방향 S~X가 화살표로 표시되어 있다. 이 경우에도, 이해를 용이하게 하기 위해서, 각 편광 방향 S~X는, 그 편광 방향을 과장해서 기재하고 있다. 실제로는, 회전 어긋남의 각도는, 0.1° 이하의 시인하는 것이 곤란한 매우 작은 각도이다.
도 22에는, 축 주사 확인 처리를 실행하기 위한 광 배향 조사 장치의 제어 구성이 도시되어 있다. 이 제어 구성은, 도 9에서 설명한 제어 구성과, 편광 센서(6s~6x)의 배치에 있어서 상이한 구성으로 되어 있다. 광 배향 조사 장치는, 그 제어 구성으로서, 도 22에 도시되는 바와 같이 제어부(81), 볼 나사 구동부(82)를 갖고 구성되어 있다. 제어부(81)에는, 사용자에 대한 각종 정보의 교환을 행하기 위한 표시부(83), 입력부(84)가 접속되어 있다. 또한, 제어부(81)는, 회전부(54), 자외선 조사 광원(21b), 센서 제어부(65)와 접속되어 있고, 이들 각종 구성을 제어하는 것을 가능하게 하고 있다.
도 23에는, 도 20, 도 21의 광 배향 조사 장치의 구성에 있어서의 축 주사 확인 처리의 흐름도가 도시되어 있다. 이 축 주사 확인 처리는, 주사 수단으로 스테이지(4)를 이동시켰을 때, 스테이지(4)의 각 이동 위치에 있어서의 편광 방향을 검지함으로써, 각 주사 위치에서의 스테이지(4)의 회전 어긋남을 검지하는 처리이다. 본 실시 형태의 축 주사 확인 처리는, 스테이지(4)에 기판(9)을 재치하기 전의 상태에서 실행된다. 축 주사 확인 처리가 개시되면, 우선 자외선 조사 광원(21b)가 점등된다(S301). 제어부(81)는, 변수 m을 초기값인 1로 설정한(S302) 후, 주사 수단을 구동(이 경우, 볼 나사 구동부(82)를 구동)해서, 단위 편광자(31f)로부터 출사되는 편광 자외선 B가 편광 센서(6s)로 수광 가능한 위치로 스테이지(4)를 이동시킨다(S303). 스테이지의 이동 후, 변수 m=1에 대응하는 편광 센서(6s)가 출력하는 편광 방향을 취득하고(S304), 스테이지(4)의 이동 위치(주사 위치)와 취득한 편광 방향을 대응시켜 기억한다(S305).
S303~305의 처리를 반복해서 실행함으로써, 주사 수단에 있어서의 각 주사 위치에서의 회전 어긋남이, 편광 방향으로서 검지된다. 도 21에는, 각 편광 센서(6s~6x)로 검지한 편광 방향 S~X가 도시되어 있다. S308에서는, 각 편광 센서(6s~6x)로 검지된 편광 방향에 기초하여, 고지(결과 표시) 처리가 실행된다. 이 고지 처리는, 간이하게는, 각 편광 센서(6s~6x)의 편광 방향을 수치적, 혹은 시각적으로 표시부(83)에 표시하는 것이 생각된다. 혹은, 편광 방향, 즉. 각 주사 위치에서의 회전 어긋남이 허용되는 범위를 초과한 경우, 표시부(83)에 있어서 경고를 표시하는 것으로 해도 좋다. 경고를 확인한 사용자는, LM 가이드의 부착 등을 조정함으로써, 각 주사 위치에 있어서의 스테이지(4)의 회전 어긋남을 소정 범위에 수용하는 것이 가능해진다.
또한, 취득한 각 주사 위치에서의 편광 방향은, 실제로 스테이지(4)에 기판(9)을 재치하여, 기판(9) 상의 배향막을 배향시키는 광 배향 처리에 있어서 사용하는 것이 가능하다. 도 24에는, 이 취득한 편광 방향을 이용한 광 편광 처리의 흐름도가 도시되어 있다. 이 광 배향 처리에서는, 취득한 각 주사 위치에서의 편광 방향에 기초하여, 회전부(54)를 회전시키고, 각 주사 위치에서의 편광 방향의 적정화를 도모하는 것으로 하고 있다. 광 배향 처리가 개시되면, 축 주사 확인 처리에서 기억시킨 주사 위치와 편광 방향이 읽어내진다(S401). 읽어내진 각 주사 위치에서의 편광 방향에 기초하여, 각 주사 위치에서의 회전부(54)의 회전각이 산출된다(S402).
도 21에는, 각 편광 센서(6s~6x)로 검지한 편광 방향이 그래프로 도시되어 있다. 각 편광 방향 S~X는, 적정한 편광 방향(0의 위치)에 대해서 회전 어긋남을 발생시킨 상태로 되어 있다. 본 실시 형태와 같이, 주사 위치가 이산적인 경우, 주사 위치간의 편광 방향은, 보완함으로써 추정하는 것이 가능하다. 그래프 중의 실선은, 실측된 편광 방향에 기초하여 추정된 편광 방향을 나타내고 있다. 본 실시 형태에서는, 이 실선으로 나타내지는 각 주사 위치에서의 편광 방향에 기초하여 회전부(54)의 회전 각도를 산출한다(S402). 구체적으로는, 제어부(81)는, 주사 수단으로 스테이지(4)를 이동시킬 때, 각 주사 위치에서 발생한 회전 어긋남을 상쇄시키는 회전부(54)의 회전 각도를 산출한다. 또한, 본 실시 형태에서는, 편광 방향을 보완한 후, 회전부(54)의 회전 각도를 산출하고 있지만, 실측한 편광 방향에 기초하여, 회전부(54)의 각도를 산출한 후, 회전 각도를 보완하는 것으로 해도 좋다.
각 주사 위치에 대응한 회전 각도를 산출한 후, 자외선 조사 광원(21b)을 점등(S403)하고, 주사 수단으로 스테이지(4)를 이동시킴으로써, 스테이지(4) 상에 설치된 기판(9)에 편광 자외선 B를 주사시킨다. 이 때, S402에서 산출된 회전 각도에 기초하여, 현재의 주사 위치에 대응하는 회전 각도를 읽어내어 회전부(54)를 회전시킨다. 도 21에는 편광 센서(6s~6x)가 설치된 주사 위치에서의 스테이지(4)의 회전 상태가 도시되어 있다. 편광 센서(6s~6x)가 설치된 주사 위치에서는, 편광 센서(6s~6x)로 검지한 편광 방향이 적정한 방향으로 되도록, 회전부(54)에 의해서 스테이지(4)가 회전된다. 또한, 편광 센서(6s~6x) 사이에 있어서도, 보완에 의해서 구해진 회전 각도에 기초하여, 스테이지(4)가 회전되고, 각 주사 위치에 있어서, 편광 방향이 적정한 방향으로 된다. 광 배향 처리는, 주사가 종료될(S406:Yes) 때까지 실행된다.
본 실시 형태에서는, 스테이지(4)의 주사 방향을 따라서 설치된 편광 센서(6s~6x)를 사용함으로써, 각 주사 위치에 있어서의 회전 어긋남의 발생 확인을 행하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 광 배향 처리를 실행할 때, 편광 센서(6s~6x)로 검지한 각 주사 위치에서의 편광 방향에 기초하여 회전부(54)를 회전시킴으로써, 편광 방향의 적정화를 도모하는 것을 가능하게 하고 있다. 또한, 편광 방향 확인 처리의 경우와 마찬가지로, 도 2에 도시되는 편광광 조사 수단(2)을 XY 평면 내에서 회전시키는 회전부를 사용함으로써도 편광 방향의 적정화를 도모하는 것이 가능하다. 또한 편광 방향의 적정화는, 스테이지(4)와 편광광 조사 수단(2)을 회전시키는 2개의 회전부를 협동시킴으로써 행하는 것도 가능하다.
본 실시 형태의 축 주사 확인 처리에서는, 복수의 편광 센서(6s~6x)를 사용하는 것으로 했지만, 도 16~도 18에서 설명한 편광 방향 확인 처리와 마찬가지로, 편광 센서(6)를 이동시켜 행하는 것도 가능하다. 도 25에는, 이동 가능한 편광 센서(6)를 갖는 광 배향 조사 장치(1)의 상면도가 도시되어 있다. 본 실시 형태는, 도 21의 실시 형태와 마찬가지로, 단위 편광자(31f)로부터 출사되는 편광 자외선 B를 검지하는 것으로 하고 있다. 편광 센서(6)는, 스테이지(4) 내에 설치된 슬릿 형상의 가동 범위 내를 자유롭게 이동 가능하게 하고 있다. 본 실시 형태에서는, 위치 s~위치 x로 이동함으로써, 단위 편광자(31f)의 각 주사 위치에 있어서의 편광 방향이 검지된다. 이와 같이 편광 센서(6)를 이동시키는 실시 형태에 있어서는, 편광 센서(6)의 이동 간격을 미세하게 취함으로써, 회전 어긋남을 상세하게 취득하는 것이 가능하다.
이상, 주사 수단의 설치 등을 원인으로 해서 발생하는 각 주사 위치에서의 회전 어긋남(축 주사)의 확인 및 그 대처에 대해서 설명했지만, 복수의 편광 센서(6s~6x), 혹은, 편광 센서(6)를 사용해서 편광 방향을 검지함으로써, 각 주사 위치에 있어서의 스테이지(4)의 회전 어긋남을 판정하는 것이 가능해진다.
전술한 각 단위 편광자(31a~31f)의 편광 방향의 어긋남과, 이 각 주사 위치에 있어서의 스테이지(4)의 회전 어긋남의 판정은, 편광 센서(6)에 의한 편광 방향의 검지라는 점에 있어서 공통된 구성을 갖고 있다. 그 때문에, 편광 방향 확인 처리에서 사용하는 편광 센서(6)와, 축 주사 확인 처리에서 사용하는 편광 센서(6)를 공용하는 것이 가능하다.
도 26~도 28에는, 편광 센서(6)를 공용하는 각종 실시 형태에 대해서 광 배향 조사 장치의 상면도가 도시되어 있다. 도 26의 실시 형태는, 마침 도 3에서 설명한 편광 방향 확인 처리에 있어서의 편광 센서(6a~6f)의 배치와, 도 21에서 설명한 축 주사 확인 처리에 있어서의 편광 센서(6s~6x)의 배치를 합한 형태로 되어 있다. 도 26에 도시되는 편광 센서(6a~6f)는, 각 단위 편광자(31a~31f)의 편광 방향을 확인하는 편광 방향 확인 처리에 사용된다. 한편, 편광 센서(6f, 6t~6x)는, 각 주사 위치에 있어서의 스테이지(4)의 회전 어긋남을 확인하는 축 주사 확인 처리에 대해서 사용된다. 이와 같이, 편광 센서(6f)를, 편광 방향 확인 처리와 축 주사 확인 처리의 양쪽에서 공용함으로써, 사용하는 편광 센서(6)의 수를 삭감하는 것이 가능하게 되어 있다.
도 27의 실시 형태에서는, 편광 센서(6a~6f)를 사용해서 편광 방향 확인 처리와 축 주사 확인 처리를 실시하는 것으로 하고 있다. 즉, 편광 방향 확인 처리를 실행할 때, 편광 센서(6f)는, 다른 편광 센서(6a~6e)와 도면 중 세로 방향으로 배열된 위치 s에 위치한다. 따라서, 편광 방향 확인 처리에서는, 각 편광자(31a~31f)로부터 출사된 편광 자외선은, 대응하는 편광 센서(6a~6f)에 입사한다. 한편, 축 주사 확인 처리를 실시할 때, 편광 센서(6f)는, 각 주사 위치 s~x로 이동하여, 각 주사 위치에 있어서의 편광 방향을 검지한다. 이와 같이, 편광 방향 확인 처리에 사용하는 편광 센서(6f)를, 축 주사 확인 처리에서는 이동시켜 사용함으로써, 편광 센서(6)의 수를 삭감하는 것이 가능해진다. 또한, 축 주사 확인 처리에 복수의 편광 센서(6)를 설치하고, 편광 방향 확인 처리에 있어서, 어느 하나의 편광 센서(6)를 이동시키는 것으로 해도 좋다.
도 28의 실시 형태에서는, 1개의 편광 센서(6)를 이동시킴으로써, 편광 방향 확인 처리와 축 주사 확인 처리를 실행 가능하게 하고 있다. 편광 센서(6)는, L자 형상의 가동 범위가 마련되어 있고, 편광 방향 확인 처리에 있어서는 위치 a~위치 f로 이동해서 편광 방향을 검지한다. 한편, 축 주사 확인 처리에 있어서는, 위치 s~위치 x로 이동해서 편광 방향을 검지한다. 또한, 위치 f와 위치 s는 동일한 위치로 하고 있다. 이와 같이 본 실시 형태에서는 1개의 편광 센서(6)를 이동시킴으로써, 편광 방향 확인 처리와 축 주사 확인 처리의 양쪽을 실현 가능하게 하고 있다. 또한, 도 26~도 28에서 실행되는 편광 방향 확인 처리와 축 주사 확인 처리의 상세에 대해서는, 전술한 실시 형태를 적용하는 것이 가능하고, 여기서는 상세한 설명을 생략하고 있다.
또한, 본 발명은 이들 실시 형태에만 한정되는 것은 아니고, 각각의 실시 형태의 구성을 적절히 조합해서 구성한 실시 형태도 본 발명의 범주로 하는 것이다.
1 : 광 배향 조사 장치 2 : 편광광 조사 수단
21a : 반사경 21b :자외선 조사 광원
3 : 편광 수단 31 : 단위 편광자
32 : 고정부 4 : 스테이지
51a, 51b : LM 레일 51c, 51d : LM 블록
54 : 회전부 55 : 가동대
52 : 볼 나사 6 : 편광 센서
61 : 프리즘 62 : 광량 센서
63 : 구동부 64 : 구동력 전달부
65 : 센서 제어부 66 : 센서 재치대
67 : 배선 81 : 제어부
82 : 볼 나사 구동부 83: 표시부
84 : 입력부 9 : 기판
9a : 기판 설치 영역

Claims (13)

  1. 편광광 조사 수단과, 스테이지와, 주사 수단과, 편광 방향 검지 수단을 구비하고,
    상기 편광광 조사 수단은, 자외선 조사 수단과, 편광 수단을 구비하고,
    상기 편광 수단은, 인접 방향으로 인접해서 배치된 복수의 단위 편광자를 구비하고,
    상기 단위 편광자는, 상기 자외선 조사 수단으로부터 출사되는 자외선을 편광시키고,
    상기 스테이지는, 배향막이 표면에 형성된 기판을 재치 가능하게 하고,
    상기 주사 수단은, 상기 스테이지 혹은 상기 편광광 조사 수단의 적어도 한쪽을 이동시킴으로써, 상기 스테이지에 재치된 상기 기판에 대해서, 상기 편광광 조사 수단으로부터의 자외선을 소정의 주사 방향으로 주사하고,
    상기 편광 방향 검지 수단은, 상기 단위 편광자로부터 출사된 자외선의 편광 방향을 상기 단위 편광자마다 검지 가능하게 하는 것을 특징으로 하는 광 배향 조사 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 편광 방향 검지 수단은, 상기 스테이지의 상기 기판이 재치되는 영역 내에 위치하는 것을 특징으로 하는 광 배향 조사 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 편광 방향 검지 수단은, 상기 스테이지 밖에 위치하는 것을 특징으로 하는 광 배향 조사 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 편광 방향 검지 수단은, 각 상기 단위 편광자에 대응하는 위치에 설치된 복수의 편광 센서인 것을 특징으로 하는 광 배향 조사 장치.
  5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 편광 방향 검지 수단은, 상기 단위 편광자에 대응하는 위치로 이동 가능한 편광 센서인 것을 특징으로 하는 광 배향 조사 장치.
  6. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 편광 방향 검지 수단은, 상기 편광광 조사 수단으로부터 출사된 자외선의 소광비를 검지 가능한 것을 특징으로 하는 광 배향 조사 장치.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 편광 방향 검지 수단은, 상기 편광광 조사 수단으로부터 출사된 자외선의 강도를 검지 가능한 것을 특징으로 하는 광 배향 조사 장치.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 주사 수단은, 리니어 모터를 사용해서 상기 스테이지를 이동시키는 것을 특징으로 하는 광 배향 조사 장치.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 편광 방향 검지 수단에 의해서 검지된 자외선의 편광 방향에 기초하여, 고지를 행하는 고지 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 광 배향 조사 장치.
  10. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 스테이지 혹은 상기 편광광 조사 수단을 회전시키는 회전부를 구비하고,
    상기 편광 방향 검지 수단에 의해서 검지된 상기 단위 편광자마다의 편광 방향에 기초하여, 상기 회전부를 회전시키는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 광 배향 조사 장치.
  11. 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 단위 편광자를 회전시키는 편광자 회전부를 구비하고,
    상기 편광 방향 검지 수단에 의해서 검지된 상기 단위 편광자마다의 편광 방향에 기초하여, 상기 편광자 회전부를 회전시키는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 광 배향 조사 장치.
  12. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 편광 방향 검지 수단은, 상기 주사 수단에 있어서의 복수의 주사 위치에 있어서, 상기 편광 수단으로부터 출사된 자외선의 편광 방향을 검지 가능하게 하는 것을 특징으로 하는 광 배향 조사 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 스테이지 혹은 상기 편광광 조사 수단을 회전시키는 회전부를 구비하고,
    상기 기판에 대하여 자외선을 주사할 때, 상기 편광 방향 검지 수단에 의해서 검지된 복수의 주사 위치에서의 자외선의 편광 방향에 기초하여, 상기 회전부를 회전시키는 제어 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 광 배향 조사 장치.
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