CN108051955B - 一种取向设备及取向参数的校验方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种取向设备及取向参数的校验方法。待取向基板上设置有位置标记和校验标记，取向设备包括用于承载待取向基板的载台，该方法包括：采集位置标记图像和校验标记图像；根据位置标记图像和校验标记图像校验取向参数。该取向设备包括：图像采集装置，用于采集位置标记图像和校验标记图像；校验装置，与所述图像采集装置连接，用于根据位置标记图像和校验标记图像校验取向参数。本发明实施例的取向设备，不再采用人工对取向参数进行校验，而是通过图像采集装置和校验装置，对取向参数进行自动校验，校验方式方便快捷而且提高了取向处理的准确率，大大降低了取向设备对基板进行取向处理的成本，有利于光取向设备的推广。

Description

一种取向设备及取向参数的校验方法

技术领域

本发明涉及显示技术领域，具体涉及一种取向设备及取向参数的校验方法。

背景技术

液晶显示面板包括对盒的阵列基板和彩膜基板、位于阵列基板和彩膜基板之间的液晶分子以及围绕在液晶分子周围的封框胶。在对盒之前，需要在阵列基板和彩膜基板上分别涂覆一层取向膜，取向膜的材质通常为聚酰亚胺。然后，采用取向设备对取向膜进行取向处理，以使得对盒之后阵列基板和彩膜基板之间的液晶分子按照一定方向排列。

目前，光取向设备在对涂覆有取向膜的基板进行取向处理时，需要通过人工观察基板的方向并加以推断来确认光取向方向和角度。而这种人工确认光取向方向和角度的方式容易出现判断错误，导致光取向方向和角度错误，使得取向处理不符合要求，造成基板报废，浪费了人力物力，增加了光取向成本。

发明内容

本发明实施例所要解决的技术问题是，提供一种取向设备及取向参数的校验方法，以解决人工确认取向参数的方式易出现判断错误的技术问题。

为了解决上述技术问题，本发明实施例提供了一种取向参数的校验方法，待取向基板上设置有位置标记和校验标记，取向设备包括用于承载待取向基板的载台，所述方法包括：

采集位置标记图像和校验标记图像；

根据位置标记图像和校验标记图像校验取向参数。

可选地，校验标记包括位置指示标，所述根据位置标记图像和校验标记图像校验取向参数，包括：

对位置标记图像进行分析处理，获得基板相对于载台的当前放置方向，对位置指示标图像进行分析处理，获得基板相对于载台的预定放置方向；

判定基板相对于载台的当前放置方向和预定放置方向是否一致；

若是，则校验取向参数，否则，发出第一报警提示。

可选地，所述校验取向参数，包括：

对校验标记图像进行分析处理，获得基板的取向参数；

判定取向设备的预设运行参数与基板的取向参数是否一致；

若是，结束校验，否则，发出第二报警提示。

可选地，校验标记还包括方向指示标或角度编码，所述对校验标记图像进行分析处理，获得基板的取向参数，包括：

对方向指示标图像或角度编码图像进行分析处理，获得基板的取向方向和角度。

可选地，校验标记还包括方向指示标和角度编码，所述对校验标记图像进行分析处理，获得基板的取向参数，包括：

对方向指示标图像进行分析处理，获得基板的取向方向，对角度编码图像进行分析处理，获得基板的取向角度。

为了解决上述技术问题，本发明实施例提供了一种取向设备，待取向基板上设置有位置标记和校验标记，所述设备包括用于承载待取向基板的载台，所述设备还包括：

图像采集装置，用于采集位置标记图像和校验标记图像；

校验装置，与所述图像采集装置连接，用于根据位置标记图像和校验标记图像校验取向参数。

可选地，校验标记包括位置指示标，所述校验装置包括：

第一分析处理单元，用于对位置标记图像进行分析处理，获得基板相对于载台的当前放置方向；

第二分析处理单元，用于对位置指示标图像进行分析处理，获得基板相对于载台的预定放置方向；

第一判定单元，用于判定基板相对于载台的当前放置方向和预定放置方向是否一致；

校验单元，用于当基板的当前放置方向和预定放置方向一致时，校验取向参数；

第一报警单元，用于当基板的当前放置方向和预定放置方向不一致时，发出第一报警提示。

可选地，所述校验单元包括：

第三分析处理单元，用于对校验标记图像进行分析处理，获得基板的取向参数；

第二判定单元，用于判定取向设备的预设运行参数与基板的取向参数是否一致；

第二报警单元，用于当取向设备的预设运行参数与基板的取向参数不一致时，发出第二报警提示。

可选地，校验标记还包括方向指示标或角度编码，所述第三分析处理单元包括：

第一分析处理子单元，用于对方向指示标图像进行分析处理，获得基板的取向方向和角度；

第二分析处理子单元，用于角度编码图像进行分析处理，获得基板的取向方向和角度。

可选地，校验标记还包括方向指示标和角度编码，所述第三分析处理单元包括：

第三分析处理子单元，用于对方向指示标图像进行分析处理，获得基板的取向方向；

第四分析处理子单元，用于对角度编码图像进行分析处理，获得基板的取向角度。

本发明实施例提出的取向设备，通过图像采集装置和校验装置，实现了对基板取向参数的自动校验，校验方式方便快捷，而且提高了取向处理的准确率，大大降低了基板的取向成本，提高了基板的良率，有利于光取向设备的推广。

本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

附图用来提供对本发明技术方案的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本申请的实施例一起用于解释本发明的技术方案，并不构成对本发明技术方案的限制。

图1为本发明第一实施例取向方向的校验方法的流程示意图；

图2为本发明第一实施例中待取向基板的结构示意图；

图3为本发明第一实施例中校验标记的示意图；

图4为本发明第一实施例中光取向设备的载台结构示意图；

图5为本发明第一实施例基板放置到载台上的结构示意图；

图6为本发明第一实施例采集获得的图像；

图7a为位置标记图像示意图；

图7b为位置指示标图像示意图；

图7c为方向指示标图像示意图；

图7d为角度编码图像示意图；

图8为本发明第一实施例基板的取向方向示意图。

附图标记说明：

1—玻璃基底； 10—基板； 20—校验标记；

21—位置指示标； 22—方向指示标； 23—角度编码；

30—载台； 41—第一图像采集器； 42—第二图像采集器；

43—第三图像采集器； 44—第四图像采集器； 211—标记。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下文中将结合附图对本发明的实施例进行详细说明。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互任意组合。

通常，在一张玻璃基底上同时制备出阵列排布的多个基板。采用光取向设备对整张玻璃基底上的多个基板进行取向处理。玻璃基底在出厂时，为了防止刮伤，玻璃基底的四个边角处均会进行切角处理，其中一个切角为30-60°，另外三个切角均为45°，通常以30-60°的切角作为方向切角来确认玻璃基底在光取向设备载台的放置方向。由于光取向设备内部空间限制，无法直接在光取向设备中进行取向方向和角度确认，因此，通常在玻璃基底进入光取向设备前，采用人眼对机械手上的玻璃基底进行放置方向确认，然后再根据玻璃基底行进方向推断玻璃基底放置到载台后的方向。

采用人眼确认取向方向的方法包括：人眼观察玻璃基底的方向切角，以判断玻璃基底的方向和排版大小及位置；人眼观察判断基板在玻璃基底上的排布位置，确认玻璃基底的边缘方向；根据确认的玻璃基底方向推断出玻璃基底放置到载台后的方向；根据推断的结果和基板的预定取向方向和角度，调整玻璃基底的旋转角度和光取向设备的载台旋转方向和角度。当将玻璃基底的旋转角度和载台旋转角度调整到合适位置后，将玻璃基底放置到载台上进行取向处理。

通过以上方法可知，人眼在确认取向方向和角度过程中，主要通过观察和推断，而观察和推断均会存在误差，导致取向处理错误，导致被进行光取向的基板无法修复，致使基板报废，浪费了人力物力，提高了光取向的成本。

为了解决人工确认取向参数的方式易出现判断错误的技术问题，本发明实施例提出了一种取向设备及取向参数的校验方法。该方法包括：采集位置标记图像和校验标记图像；根据位置标记图像和校验标记图像校验取向参数。该取向设备包括：图像采集装置，用于采集位置标记图像和校验标记图像；校验装置，与所述图像采集装置连接，用于根据位置标记图像和校验标记图像校验取向参数。

本发明实施例提出的取向设备可以为光取向设备或摩擦取向设备。该取向设备不再采用人工对取向参数进行校验，而是通过图像采集装置和校验装置，对取向参数进行自动校验，校验方式方便快捷而且提高了取向处理的准确率，大大降低了取向设备对基板进行取向处理的成本，有利于光取向设备的推广。

下面将通过具体的实施例详细介绍本发明的技术内容。

实施例中所说的“构图工艺”包括涂覆光刻胶、掩模曝光、显影、刻蚀、剥离光刻胶等处理，是现有成熟的制备工艺。

第一实施例：

在制备基板时，通常在基底上制备出待取向的基板，然后对基底上的基板进行取向处理，基板上的取向膜优选为聚酰亚胺。容易理解的是，基底上可以制备一个或多个待取向的基板，在这里，不对基底上制备出的基板数量进行限制。本发明实施例的取向参数的校验方法，制备有待取向基板的基底上设置有位置标记和校验标记。位置标记用于确认基底在取向设备载台上的放置方向，校验标记用于对基板取向参数进行校验，校验标记可以设置在基底的任意位置。优选地，位置标记可以设置在基底的边角处。例如，当基底为玻璃时，可以在玻璃基底出厂时在玻璃基底的边角处设置30-60°切角作为位置标记。通常，玻璃基底在出厂时，为了防止刮伤，会在四个边角处设置切角，可以要求将其中一个切角设置为30-60°作为位置标记，而其它切角不做要求，一般为45°。这样，就可以省去专门设置位置标记的步骤，降低基板的取向处理成本。容易理解的是，位置标记并不限于30-60°切角，也可以为其它角度的切角或圆角，位置标记还可以为设置在基底上的特殊图案，在这里，并不对位置标记的具体位置和图案结构作具体限制，只要位置标记可以用于确认玻璃基底在取向设备载台上的放置方向即可。在基板制备过程中，在基底上制备出校验标记，即在基板制备过程中，在掩模版上增加校验标记图案，然后通过构图工艺在基底上制作出校验标记。校验标记可以设置在基底的任意位置，只要方便图像采集即可，优选地，校验标记靠近位置标记设置。

图1为本发明第一实施例取向参数的校验方法的流程示意图。在本实施例中，待取向基板上设置有位置标记和校验标记，取向设备包括用于承载待取向基板的载台，该方法包括：

S1：采集位置标记图像和校验标记图像；

S2：根据位置标记图像和校验标记图像校验取向参数。

其中，校验标记包括位置指示标，S2可以包括：

对位置标记图像进行分析处理，获得基板相对于载台的当前放置方向，对位置指示标图像进行分析处理，获得基板相对于载台的预定放置方向；

判定基板相对于载台的当前放置方向和预定放置方向是否一致，

若是，则校验取向参数，否则，发出第一报警提示。

其中，校验取向参数，可以包括：

对校验标记图像进行分析处理，获得基板的取向参数；

判定取向设备的预设运行参数与基板的取向参数是否一致；

若是，结束校验，否则，发出第二报警提示。

进一步，校验标记还包括方向指示标或角度编码，所述对校验标记图像进行分析处理，获得基板的取向参数，包括：

对方向指示标图像或角度编码图像进行分析处理，获得基板的取向方向和角度。

进一步，校验标记还包括方向指示标和角度编码，所述对校验标记图像进行分析处理，获得基板的取向参数，包括：

对方向指示标图像进行分析处理，获得基板的取向方向，对角度编码图像进行分析处理，获得基板的取向角度。

下面将通过一种位置标记和校验标记的具体实施例，详细介绍本发明实施例取向参数的校验方法。

在本实施例中，如图2所示，图2为本发明第一实施例中待取向基板的结构示意图，从图2中可以看出，待取向基板上设置有位置标记30-60°切角和校验标记20。容易理解的是，为了避免位置标记和校验标记影响基板的使用性能，通常将位置标记和校验标记设置在基板的基底上。在本实施例中，制备有多个待取向基板10的玻璃基底1呈矩形，玻璃基底1的四个边角处均设置有切角，其中一个为30-60°切角，其余为45°切角，将30-60°切角作为位置标记。靠近位置标记设置有校验标记20。图3为本发明第一实施例中校验标记的示意图，校验标记20包括位置指示标21、方向指示标22和角度编码23。为了方便位置指示标21的分析处理，位置指示标21的形状与玻璃基底1的形状相似，即位置指示标21的形状也为矩形，矩形的一个边角处设置有用于指示基板相对于载台预定方向的标记211，在这里，标记211为切角，容易理解的是，标记211可以为任意形状或结构的图案。图4为本发明第一实施例中取向设备的载台结构示意图，从图4中可以看出，载台30的相应位置设置有用于采集位置标记和校验标记的图像采集装置。在本实施例中，图像采集装置包括分别位于第一位置、第二位置、第三位置和第四位置的第一图像采集器41、第二图像采集器42、第三图像采集器43和第四图像采集器44。

下面通过取向参数的校验流程详细说明本发明实施例的技术方案。

采集位置标记图像和校验标记图像。具体为：通过图像采集装置采集位置标记和校验标记，如图5所示，图5为本发明第一实施例基板放置到载台上的结构示意图。玻璃基底1放置到载台30上后，图像采集装置即第一图像采集器41、第二图像采集器42、第三图像采集器43和第四图像采集器44分别采集对应的图像，从图像采集装置采集的图像中获得位置标记即30-60°切角和校验标记20，如图6所示，图6为本发明第一实施例采集获得的图像。

在本实施例中，校验标记20包括位置指示标21、方向指示标22和角度编码23。而且，本实施例中的位置指示标21、方向指示标22和角度编码23作为一个整体图像被采集，容易理解的是，位置指示标21、方向指示标22和角度编码23也可以分别作为单独图像被采集。当位置指示标21、方向指示标22和角度编码23作为一个整体图像被采集时，本发明实施例取向参数的校验方法还可以包括：将校验标记图像进行图像处理，分别获得位置指示标图像、方向指示标图像和角度编码图像。

对位置标记图像进行分析处理，获得基板相对于载台的当前放置方向，对位置指示标图像进行分析处理，获得基板相对于载台的预定放置方向。

其中，对位置标记图像进行分析处理，获得相对于载台的当前放置方向，具体包括：当获得位置标记图像后，图7a为位置标记图像示意图，分析位置标记图像对应的图像采集器，在本实施例中，第一图像采集器41、第三图像采集器43和第四图像采集器44均采集到45°切角，第二图像采集器42采集到30-60°切角，分析后得出采集到位置标记的图像采集器为第二图像采集器42，因此分析获得基板相对于载台的当前放置方向为第二位置方向。

对位置指示标图像进行分析处理，获得基板相对于载台的预定放置方向，具体包括：图7b为位置指示标图像示意图，对图7b所示的位置指示标图像进行分析处理，获得位置指示标图像的标记211位于右上角，右上角对应第二位置方向，因此，获得基板相对于载台的预定放置方向为第二位置方向。容易理解的是，在实际实施中，可以使位置指示标的边角与载台的位置方向相对应，从而可以通过位置指示标的标记211的位置判定出基板相对于载台的预定放置方向。

判定基板相对于载台的当前放置方向和预定放置方向是否一致，若是，则校验取向参数，否则，发出第一报警提示。具体为：将上述获得的基板相对于载台的当前放置方向和预定放置方向进行比较，若二者一致，则校验取向参数，否则，发出第一报警提示。本实施例中，获得的基板相对于载台的当前放置方向和预定放置方向均为第二位置方向，判定结果为一致，因此进行校验取向参数。在具体实施中，如果基板相对于载台的当前放置方向和预定放置方向不一致，需要取向设备发出第一报警提示。现有的光取向设备，一般由外部的机械手将基板放置到光取向设备的载台上，因此，当基板的当前放置方向和预定放置方向不一致时，光取向设备不会自动调节基板相对于载台的放置方向，而是会发出第一报警提示。第一报警提示用来提示操作人员基板放置方向不正确，需要进一步检查基板相关的输送位置和方向以及机械手抓取基板的位置和方向等，以使得基板的放置方向符合要求。容易理解的是，取向设备也可以包括基板调节装置，用来当基板相对于载台的当前放置方向和预定放置方向不一致时，根据基板相对于载台的预定放置方向调节基板的放置方向。

当基板相对于载台的当前放置方向和预定放置方向一致时，校验取向参数。具体包括：对校验标记图像进行分析处理，获得基板的取向参数；判定取向设备的预设运行参数与基板的取向参数是否一致；若是，结束校验，否则，发出第二报警提示。

其中，本实施例中，对校验标记图像进行分析处理，获得基板的取向参数，可以分为以下几种具体方式：第一，当校验标记包括方向指示标时，对校验标记图像进行分析处理，获得基板的取向参数，可以包括：对方向指示标图像进行分析处理，获得基板的取向方向和角度。具体地，图7c为方向指示标图像示意图；对图7c所示的方向指示标图像进行分析处理，获得基板的取向方向和角度，分析后获得取向的方向为右上方7°即基板的取向方向和角度分别为右上方和7°。容易理解的是，方向指示标的方向可以对应于载台的旋转方向，方向指示标的角度可以对应于载台的旋转角度，从而，通过方向指示标可以确定载台的预设运行参数即载台的预设旋转方向和角度。在本实施例中，方向指示标右上对应载台逆时针旋转，方向指示标右下对应载台顺时针旋转。第二：当校验标记包括方向指示标时和角度编码时，对校验标记图像进行分析处理，获得基板的取向参数，可以包括：对方向指示标图像进行分析处理，获得基板的取向方向，对角度编码图像进行分析处理，获得基板的取向角度。也就是说，对图7c所示的方向指示标进行分析处理，获得基板的取向方向为右上方；图7d为角度编码示意图，对图7d所示的角度编码“07”进行分析处理，获得基板的取向角度为7°。在本实施例中，角度编码“07”直接指示出光取向角度7°。然而，容易理解的是，角度编码也可以为一组与角度值相对应的编码，只要通过角度编码可以唯一确定取向角度值即可。第三，当校验标记包括角度编码时，对校验标记图像进行分析处理，获得基板的取向参数，可以包括：对角度编码图像进行分析处理，获得基板的取向方向和角度。也就是说，通过角度编码可以获得基板的取向方向和角度。例如，可以将角度编码区分为“正”和“负”，“正”对应于载台逆时针旋转方向，“负”对应于载台顺时针旋转方向，角度编码的数值对应载台的旋转角度数值。容易理解的是，通过角度编码中获得取向角度，可以降低方向指示标的制作精度，从而降低基板的制作成本。

其中，在本实施例中，判定取向设备的预设运行参数与基板的取向参数是否一致，具体为判定载台的预设运行方向和角度与基板的取向方向和角度是否一致。若一致，则结束校验，否则，发出第二报警提示。在本实施例中，基板的取向方向和角度分别为右上方和7°。如果载台的预设运行方向和角度为逆时针7°，则载台的预设运行方向和角度与基板的取向方向和角度一致，因此，结束校验，此时取向设备开始对基板进行取向处理。如果载台的预设运行方向和角度为顺时针10°，则载台的预设运行方向和角度与基板的取向方向和角度不一致，此时，要求取向设备发出第二报警提示。第二报警提示用于提示操作人员进行确认核对，确认载台的预设运行方向和角度是否存在错误，还是针对基板的取向有特殊需求。如果针对基板的取向有特殊需求，那么操作人员会忽略第二报警提示，取向设备对基板进行取向处理，如果确是载台的预设运行方向和角度存在错误，那么按照取向的方向和角度重新设置载台的预设运行方向和角度。

图8为本发明第一实施例基板的取向方向示意图。通过采用本发明实施例的方法后，取向设备自动校验取向参数，获得的取向参数如图8中斜线所示的方向和角度。

本发明实施例提出的取向参数的校验方法，可以应用于光取向设备或摩擦取向设备中，这里不作具体限制。

第二实施例：

本发明实施例提出了一种取向设备，待取向基板上设置有位置标记和校验标记，所述设备包括用于承载待取向基板的载台，所述设备还包括：

图像采集装置，用于采集位置标记图像和校验标记图像；

校验装置，与所述图像采集装置连接，用于根据位置标记图像和校验标记图像校验取向参数。

其中，校验标记包括位置指示标，所述校验装置可以包括：

第一分析处理单元，用于对位置标记图像进行分析处理，获得基板相对于载台的当前放置方向；

第二分析处理单元，用于对位置指示标图像进行分析处理，获得基板相对于载台的预定放置方向；

第一判定单元，用于判定基板相对于载台的当前放置方向和预定放置方向是否一致；

校验单元，用于当基板的当前放置方向和预定放置方向一致时，校验取向参数；

第一报警单元，用于当基板的当前放置方向和预定放置方向不一致时，发出第一报警提示。

进一步，所述校验单元可以包括：

第三分析处理单元，用于对校验标记图像进行分析处理，获得基板的取向参数；

第二判定单元，用于判定取向设备的预设运行参数与基板的取向参数是否一致；

第二报警单元，用于当取向设备的预设运行参数与基板的取向参数不一致时，发出第二报警提示。

进一步，校验标记还包括方向指示标或角度编码，所述第三分析处理单元可以包括：

第一分析处理子单元，用于对方向指示标图像进行分析处理，获得基板的取向方向和角度；

第二分析处理子单元，用于角度编码图像进行分析处理，获得基板的取向方向和角度。

进一步，校验标记还包括方向指示标和角度编码，所述第三分析处理单元可以包括：

第三分析处理子单元，用于对方向指示标图像进行分析处理，获得基板的取向方向；

第四分析处理子单元，用于对角度编码图像进行分析处理，获得基板的取向角度。

在本发明实施例的描述中，需要理解的是，术语“中部”、“上”、“下”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

在本发明实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

虽然本发明所揭露的实施方式如上，但所述的内容仅为便于理解本发明而采用的实施方式，并非用以限定本发明。任何本发明所属领域内的技术人员，在不脱离本发明所揭露的精神和范围的前提下，可以在实施的形式及细节上进行任何的修改与变化，但本发明的专利保护范围，仍须以所附的权利要求书所界定的范围为准。

Claims (10)

1.一种取向参数的校验方法，其特征在于，待取向基板上设置有位置标记和校验标记，取向设备包括用于承载待取向基板的载台，所述载台的相应位置设置有用于采集所述位置标记和所述校验标记的图像采集装置，所述方法包括：

所述图像采集装置采集位置标记图像和校验标记图像；

所述校验标记包括位置指示标，对位置标记图像进行分析处理，获得基板相对于载台的当前放置方向，对位置指示标图像进行分析处理，获得基板相对于载台的预定放置方向；

判定基板相对于载台的当前放置方向和预定放置方向是否一致，当基板的当前放置方向和预定放置方向一致时，对校验标记图像进行分析处理，获得基板的取向参数；

判定取向设备的预设运行参数与基板的取向参数是否一致，当取向设备的预设运行参数与基板的取向参数一致时，结束校验。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，该方法还包括：

当判定基板相对于载台的当前放置方向和预定放置方向不一致，发出第一报警提示。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，该方法还包括：

当判定取向设备的预设运行参数与基板的取向参数不一致时，发出第二报警提示。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，校验标记还包括方向指示标或角度编码，所述对校验标记图像进行分析处理，获得基板的取向参数，包括：

对方向指示标图像或角度编码图像进行分析处理，获得基板的取向方向和角度。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，校验标记还包括方向指示标和角度编码，所述对校验标记图像进行分析处理，获得基板的取向参数，包括：

对方向指示标图像进行分析处理，获得基板的取向方向，对角度编码图像进行分析处理，获得基板的取向角度。

6.一种取向设备，其特征在于，待取向基板上设置有位置标记和校验标记，所述设备包括用于承载待取向基板的载台，所述设备还包括：

图像采集装置，用于采集位置标记图像和校验标记图像；

校验装置，与所述图像采集装置连接，所述校验标记包括位置指示标，

所述校验装置包括：第一分析处理单元、第二分析处理单元、第一判定单元、和校验单元；

所述第一分析处理单元，用于对位置标记图像进行分析处理，获得基板相对于载台的当前放置方向；

所述第二分析处理单元，用于对位置指示标图像进行分析处理，获得基板相对于载台的预定放置方向；

所述第一判定单元，用于判定基板相对于载台的当前放置方向和预定放置方向是否一致；

所述校验单元，包括：第三分析处理单元和第二判定单元；

所述第三分析处理单元，用于当基板的当前放置方向和预定放置方向一致时，对校验标记图像进行分析处理，获得基板的取向参数；

所述第二判定单元，用于判定取向设备的预设运行参数与基板的取向参数是否一致，当取向设备的预设运行参数与基板的取向参数一致时，结束校验。

7.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述校验装置还包括：

第一报警单元，用于当基板的当前放置方向和预定放置方向不一致时，发出第一报警提示。

8.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，所述校验单元还包括：

第二报警单元，用于当取向设备的预设运行参数与基板的取向参数不一致时，发出第二报警提示。

9.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，校验标记还包括方向指示标或角度编码，所述第三分析处理单元包括：

第一分析处理子单元，用于对方向指示标图像进行分析处理，获得基板的取向方向和角度；

第二分析处理子单元，用于角度编码图像进行分析处理，获得基板的取向方向和角度。

10.根据权利要求6所述的设备，其特征在于，校验标记还包括方向指示标和角度编码，所述第三分析处理单元包括：

第三分析处理子单元，用于对方向指示标图像进行分析处理，获得基板的取向方向；

第四分析处理子单元，用于对角度编码图像进行分析处理，获得基板的取向角度。

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