KR20130139867A - Film-forming apparatus - Google Patents

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KR20130139867A
KR20130139867A KR1020137006250A KR20137006250A KR20130139867A KR 20130139867 A KR20130139867 A KR 20130139867A KR 1020137006250 A KR1020137006250 A KR 1020137006250A KR 20137006250 A KR20137006250 A KR 20137006250A KR 20130139867 A KR20130139867 A KR 20130139867A
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미유키 다지마
게이지 우치다
다카시 시부야
데이지 다카하시
마사나오 후지츠카
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캐논 톡키 가부시키가이샤
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Abstract

위치 맞춤 정밀도를 확보하면서 공간 절약을 실현하고, 제4 세대 이상의 대형 기판에도 대응 가능한 매우 실용성이 뛰어난 성막 장치를 제공한다. 진공조(1) 내에서 직립 상태로 유지된 기판(2)에 마스크(3)를 통해 성막 재료를 부착시켜 성막을 행하는 성막 장치로서, 마스크(3)를 직립 상태로 부착한 얼라인먼트 프레임(4)을 기판(2)에 대하여 조정 이동하여, 마스크(3)가 기판(2)에 대하여 적정 위치가 되도록 마스크(3)와 상기 기판(2)의 위치를 맞추는 얼라인먼트 구동 기구를 구비하고, 이 얼라인먼트 구동 기구는, 진공조(1)의 외부에 있어서 그 상부측에 설치되는 상부측 구동 기구 또는 진공조(1)의 외부에 있어서 그 하부측에 설치되는 하부측 구동 기구로 구성된다. The present invention provides a very practical film forming apparatus that can realize space saving while ensuring positioning accuracy and can cope with large substrates of the fourth generation or more. A film forming apparatus in which a film forming material is attached to a substrate 2 held in an upright state in a vacuum chamber 1 through a mask 3 to form a film. An alignment frame 4 having the mask 3 attached in an upright state. And an alignment driving mechanism for adjusting the position of the mask 3 and the substrate 2 so that the mask 3 is in a proper position with respect to the substrate 2 by adjusting the movement of the substrate 2 with respect to the substrate 2. The mechanism is composed of an upper side drive mechanism provided on the upper side outside the vacuum chamber 1 or a lower side drive mechanism provided on the lower side outside the vacuum chamber 1.

Description

성막 장치{FILM-FORMING APPARATUS}Film deposition apparatus {FILM-FORMING APPARATUS}

본 발명은, 성막 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a film forming apparatus.

현재, 유기 EL 표시 패널의 제조 장치에서의 반송 방식은, 기판 사이즈가 예컨대 제4 세대의 하프컷 사이즈 이하에서, 중력에 의한 유리 기판의 휘어짐이 작아 문제가 되지 않기 때문에, 페이스 다운의 수평 반송이 주류로 되어 있다.At present, the conveyance method in the manufacturing apparatus of an organic electroluminescent display panel does not become a problem because the curvature of the glass substrate by gravity is less than a half-cut size of the 4th generation, for example, horizontal conveyance of a facedown is not carried out. It is mainstream.

그런데, 장래, 기판 사이즈가 커지는(제4 세대 이상이 되는) 것은 명백하고, 이 경우, 수평 반송에서는 기판의 휘어짐에 의해 기판과 마스크의 위치 맞춤에 문제가 생기는 것이 염려된다.By the way, in the future, it is apparent that the substrate size becomes large (to become the fourth generation or more), and in this case, there is a concern that the horizontal conveyance causes a problem in the alignment between the substrate and the mask due to the bending of the substrate.

그래서, 중력에 의한 기판의 휘어짐을 경감하기 위해, 기판을 수직 상태(직립 상태)로 반송하는 수직 반송 방식을 채용하는 것이 생각된다.Therefore, in order to reduce the curvature of the board | substrate by gravity, it is thought to employ | adopt the vertical conveyance system which conveys a board | substrate to a vertical state (upright state).

그러나, 종래의 수직 반송을 채용한 유기 EL 표시 패널의 제조 장치에서는, 수직 상태로 기판(기판 트레이)과 마스크(마스크 트레이)의 위치를 맞추는 얼라인먼트 구동 기구로서, 예컨대 특허문헌 1에 개시되는 수평 반송에서 사용되고 있던 것과 같이, 위치 맞춤용 구동부가 기판·마스크면과 직각 방향으로 배치되는 얼라인먼트 구동 기구가 채용되고 있고, 이 구동 기구가 챔버 외측(반송 방향과 수평 방향에 직교하는 방향)으로 크게 돌출하기 때문에, 그만큼 큰 설치 스페이스가 필요하게 되어 바람직하지 않다. However, in the manufacturing apparatus of the organic electroluminescent display panel which employ | adopted the conventional vertical conveyance, horizontal conveyance disclosed by patent document 1 as an alignment drive mechanism which adjusts the position of a board | substrate (substrate tray) and a mask (mask tray) in a vertical state, for example. As used in the above, an alignment driving mechanism in which the positioning drive portion is arranged in a direction perpendicular to the substrate and mask surface is adopted, and the driving mechanism protrudes largely toward the outside of the chamber (the direction perpendicular to the transport direction and the horizontal direction). Therefore, such a large installation space is required, which is not preferable.

특허문헌 1: 일본 특허 제3789857호 공보Patent Document 1: Japanese Patent No. 3789857

본 발명은, 전술한 바와 같은 현재의 상황을 감안하여 이루어진 것으로, 얼라인먼트 구동 기구를 상하 2분할 강체로서의 챔버에 설치함으로써, 위치 맞춤 정밀도를 확보하면서 공간 절약을 실현하고, 제4 세대 이상의 대형 기판에도 대응 가능한 매우 실용성이 뛰어난 성막 장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the present situation as described above. By providing the alignment drive mechanism in a chamber as a top and bottom two-rigid rigid body, space saving can be realized while ensuring positioning accuracy, and even for large substrates of the fourth generation or more. It is to provide a film forming apparatus which is very practical and can be coped with.

첨부 도면을 참조하여 본 발명의 요지를 설명한다.The gist of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

진공조(1) 내에서 직립 상태로 유지된 기판(2)에 마스크(3)를 통해 성막 재료를 부착시켜 성막을 행하는 성막 장치로서, 상기 마스크(3)를 직립 상태로 부착한 얼라인먼트 프레임(4)을 상기 기판(2)에 대하여 조정 이동하여, 상기 마스크(3)가 상기 기판(2)에 대하여 적정 위치가 되도록 상기 마스크(3)와 상기 기판(2)의 위치를 맞추는 얼라인먼트 구동 기구를 구비하고, 이 얼라인먼트 구동 기구는, 상기 진공조(1)의 외부에 설치되고 이 진공조(1)의 상부측에 고정되는 상부측 고정 베이스부(5)와, 이 상부측 고정 베이스부(5)에 대하여 마스크 표면에 평행한 X 방향 및 Y 방향으로 이동 가능한 상부측 이동 베이스부(6)와, 일단이 상기 마스크 표면 위의 회전 방향인 θ 방향으로 회전 가능하게 상기 상부측 이동 베이스부(6)에 지지되고, 타단이 상기 진공조(1)의 상부에 형성한 상부 관통 구멍(7)을 통해 상기 진공조(1) 내의 상기 얼라인먼트 프레임(4)의 상부에 연결되는 상부측 연결체(8)를 포함하는 상부측 구동 기구 또는, 상기 진공조(1)의 외부에 설치되고 이 진공조(1)의 하부측에 고정되는 하부측 고정 베이스부(9)와, 이 하부측 고정 베이스부(9)에 대하여 마스크 표면에 평행한 X 방향 및 Y 방향으로 이동 가능한 하부측 이동 베이스부(10)와, 일단이 상기 마스크 표면 위의 회전 방향인 θ 방향으로 회전 가능하게 상기 하부측 이동 베이스부(10)에 지지되고, 타단이 상기 진공조(1)의 하부에 형성한 하부 관통 구멍(11)을 통해 상기 진공조(1) 내의 상기 얼라인먼트 프레임(4)의 하부에 연결되는 하부측 연결체(12)를 포함하는 하부측 구동 기구로 구성되며, 상기 상부측 연결체(8) 및 상기 하부측 연결체(12)의 상기 얼라인먼트 프레임(4)과의 연결부는 상기 상부 관통 구멍(7) 및 상기 하부 관통 구멍(11)을 각각 기밀 상태로 밀봉하는 벨로우즈(34, 35)를 통해 상기 진공조(1) 내에 설치한 것을 특징으로 하는 성막 장치에 관한 것이다.A film forming apparatus attaching a film forming material to a substrate 2 held in an upright state in a vacuum chamber 1 through a mask 3 to form a film, wherein an alignment frame 4 having the mask 3 attached in an upright state ) And an alignment drive mechanism for adjusting the position of the mask 3 and the substrate 2 so that the mask 3 is in a proper position with respect to the substrate 2. The alignment drive mechanism is provided with an upper side fixing base portion 5 which is provided outside the vacuum chamber 1 and fixed to an upper side of the vacuum chamber 1, and the upper fixing base portion 5. The upper side movable base portion 6 which is movable in the X direction and the Y direction parallel to the mask surface, and the upper side movable base portion 6 so that one end is rotatable in the θ direction which is the rotation direction on the mask surface. Is supported on the upper end of the vacuum chamber (1) Upper side drive mechanism including the upper side connecting body 8 connected to the upper part of the alignment frame 4 in the said vacuum chamber 1 through the formed upper through-hole 7, or the said vacuum chamber 1 A lower side fixed base portion 9 which is provided outside of and fixed to the lower side of the vacuum chamber 1 and moves in the X direction and the Y direction parallel to the mask surface with respect to the lower side fixed base portion 9. The lower side movable base portion 10 and one end thereof are supported by the lower side movable base portion 10 so as to be rotatable in a direction θ, which is a rotational direction on the mask surface, and the other end of the lower portion of the vacuum chamber 1. And a lower side drive mechanism including a lower side connecting member 12 connected to a lower portion of the alignment frame 4 in the vacuum chamber 1 through a lower through hole 11 formed in the upper side. The alignment of the connecting body 8 and the lower connecting body 12 The connecting portion with the frame 4 is installed in the vacuum chamber 1 through bellows 34 and 35 which seal the upper through hole 7 and the lower through hole 11 in hermetic state, respectively. It relates to a film forming apparatus.

또한, 진공조(1) 내에서 직립 상태로 유지된 기판(2)에 마스크(3)를 통해 성막 재료를 부착시켜 성막을 행하는 성막 장치로서, 상기 마스크(3)를 직립 상태로 부착한 얼라인먼트 프레임(4)을 상기 기판(2)에 대하여 조정 이동하여, 상기 마스크(3)가 상기 기판(2)에 대하여 적정 위치가 되도록 상기 마스크(3)와 상기 기판(2)의 위치를 맞추는 얼라인먼트 구동 기구를 구비하고, 이 얼라인먼트 구동 기구는, 상기 진공조(1)의 외부에 설치되고 이 진공조(1)의 상부측에 고정되는 상부측 고정 베이스부(5)와, 이 상부측 고정 베이스부(5)에 대하여 마스크 표면에 평행한 X 방향 및 Y 방향으로 이동 가능한 상부측 이동 베이스부(6)와, 일단이 상기 마스크 표면 위의 회전 방향인 θ 방향으로 회전 가능하게 상기 상부측 이동 베이스부(6)에 지지되고, 타단이 상기 진공조(1)의 상부에 형성한 상부 관통 구멍(7)을 통해 상기 진공조(1) 내의 상기 얼라인먼트 프레임(4)의 상부에 연결되는 상부측 연결체(8)를 포함하는 상부측 구동 기구와, 상기 진공조(1)의 외부에 설치되고 이 진공조(1)의 하부측에 고정되는 하부측 고정 베이스부(9)와, 이 하부측 고정 베이스부(9)에 대하여 마스크 표면에 평행한 X 방향 및 Y 방향으로 이동 가능한 하부측 이동 베이스부(10)와, 일단이 상기 마스크 표면 위의 회전 방향인 θ 방향으로 회전 가능하게 상기 하부측 이동 베이스부(10)에 지지되고, 타단이 상기 진공조(1)의 하부에 형성한 하부 관통 구멍(11)을 통해 상기 진공조(1) 내의 상기 얼라인먼트 프레임(4)의 하부에 연결되는 하부측 연결체(12)를 포함하는 하부측 구동 기구로 구성되며, 상기 상부측 연결체(8) 및 상기 하부측 연결체(12)의 상기 얼라인먼트 프레임(4)과의 연결부는 상기 상부 관통 구멍(7) 및 상기 하부 관통 구멍(11)을 각각 기밀 상태로 밀봉하는 벨로우즈(34, 35)를 통해 상기 진공조(1) 내에 설치한 것을 특징으로 하는 성막 장치에 따른 것이다. A film forming apparatus is formed by attaching a film forming material to a substrate 2 held in an upright state in the vacuum chamber 1 through a mask 3 to form a film. An alignment frame having the mask 3 attached in an upright state. The alignment drive mechanism which adjusts the position of the said mask 3 and the said board | substrate 2 so that the said mask 3 may become a proper position with respect to the said board | substrate 2 by adjusting (4) with respect to the said board | substrate 2 The alignment drive mechanism includes: an upper fixed base portion 5 that is provided outside the vacuum chamber 1 and is fixed to an upper side of the vacuum chamber 1, and the upper fixed base portion ( 5) the upper movable base portion 6 movable in the X and Y directions parallel to the mask surface, and the upper movable base portion rotatably rotatable in the θ direction, one end of which is a rotational direction on the mask surface ( 6), and the other end of the vacuum chamber 1 An upper side driving mechanism including an upper side connecting member 8 connected to an upper portion of the alignment frame 4 in the vacuum chamber 1 through an upper through hole 7 formed in an upper portion thereof; The lower side fixed base part 9 which is provided outside of 1) and is fixed to the lower side of this vacuum chamber 1, and the X direction and Y direction parallel to the mask surface with respect to this lower side fixed base part 9 The lower side movable base portion 10 which is movable to the lower side and one end thereof is rotatably supported in the lower side movable base portion 10 so as to be rotatable in the θ direction which is the rotational direction on the mask surface, and the other end thereof is the vacuum chamber 1. And a lower side driving mechanism including a lower side connecting member 12 connected to a lower portion of the alignment frame 4 in the vacuum chamber 1 through a lower through hole 11 formed in the lower portion of the vacuum chamber 1. The alignment of the upper connector (8) and the lower connector (12) The connection part with the frame 4 is installed in the vacuum chamber 1 through bellows 34 and 35 which seal the upper through hole 7 and the lower through hole 11 in hermetic state, respectively. It is according to the film-forming apparatus made into.

또한, 진공조(1) 내에서 직립 상태로 유지된 기판(2)에 마스크(3)를 통해 성막 재료를 부착시켜 성막을 행하는 성막 장치로서, 상기 마스크(3)를 직립 상태로 부착한 얼라인먼트 프레임(4)을 상기 기판(2)에 대하여 조정 이동하여, 상기 마스크(3)가 상기 기판(2)에 대하여 적정 위치가 되도록 상기 마스크(3)와 상기 기판(2)의 위치를 맞추는 얼라인먼트 구동 기구를 구비하고, 이 얼라인먼트 구동 기구는, 상기 진공조(1)의 외부에 설치되고 이 진공조(1)의 상부측에 고정되는 상부측 고정 베이스부(5)와, 이 상부측 고정 베이스부(5)에 대하여 마스크 표면에 평행한 X 방향 및 Y 방향으로 이동 가능한 상부측 이동 베이스부(6)와, 일단이 상기 마스크 표면 위의 회전 방향인 θ 방향으로 회전 가능하게 상기 상부측 이동 베이스부(6)에 지지되고, 타단이 상기 진공조(1)의 상부에 형성한 상부 관통 구멍(7)을 통해 상기 진공조(1) 내의 상기 얼라인먼트 프레임(4)의 상부에 연결되는 상부측 연결체(8)를 포함하는 상부측 구동 기구 또는, 상기 진공조(1)의 외부에 설치되고 이 진공조(1)의 하부측에 고정되는 하부측 고정 베이스부(9)와, 이 하부측 고정 베이스부(9)에 대하여 마스크 표면에 평행한 X 방향 및 Y 방향으로 이동 가능한 하부측 이동 베이스부(10)와, 일단이 상기 마스크 표면 위의 회전 방향인 θ 방향으로 회전 가능하게 상기 하부측 이동 베이스부(10)에 지지되고, 타단이 상기 진공조(1)의 하부에 형성한 하부 관통 구멍(11)을 통해 상기 진공조(1) 내의 상기 얼라인먼트 프레임(4)의 하부에 연결되는 하부측 연결체(12)를 포함하는 하부측 구동 기구로 구성되며, 상기 상부측 구동 기구 또는 상기 하부측 구동 기구에, X 방향용 구동 장치 또는 Y 방향용 구동 장치 또는 그 양쪽 모두를 설치하고, 이 X 방향용 구동 장치 및 Y 방향용 구동 장치에 의해 상기 상부측 이동 베이스부(6) 또는 상기 하부측 이동 베이스부(10)를 상부측 고정 베이스부(5) 또는 하부측 고정 베이스부(9)에 대하여 X 방향 및 Y 방향으로 이동시킴으로써, 상기 상부측 연결체(8) 또는 상기 하부측 연결체(12)를 통해 상기 얼라인먼트 프레임(4)을 X, Y 및 θ 방향으로 조정 이동할 수 있도록 구성하고, 상기 상부측 연결체(8) 및 상기 하부측 연결체(12)의 상기 얼라인먼트 프레임(4)과의 연결부는 상기 상부 관통 구멍(7) 및 상기 하부 관통 구멍(11)을 각각 기밀 상태로 밀봉하는 벨로우즈(34, 35)를 통해 상기 진공조(1) 내에 설치한 것을 특징으로 하는 성막 장치에 관한 것이다.A film forming apparatus is formed by attaching a film forming material to a substrate 2 held in an upright state in the vacuum chamber 1 through a mask 3 to form a film. An alignment frame having the mask 3 attached in an upright state. The alignment drive mechanism which adjusts the position of the said mask 3 and the said board | substrate 2 so that the said mask 3 may become a proper position with respect to the said board | substrate 2 by adjusting (4) with respect to the said board | substrate 2 The alignment drive mechanism includes: an upper fixed base portion 5 that is provided outside the vacuum chamber 1 and is fixed to an upper side of the vacuum chamber 1, and the upper fixed base portion ( 5) the upper movable base portion 6 movable in the X and Y directions parallel to the mask surface, and the upper movable base portion rotatably rotatable in the θ direction, one end of which is a rotational direction on the mask surface ( 6), and the other end of the vacuum chamber 1 An upper side driving mechanism or an upper side of the vacuum chamber including an upper side connecting member 8 connected to an upper portion of the alignment frame 4 in the vacuum chamber 1 through an upper through hole 7 formed in an upper portion thereof. The lower side fixed base part 9 which is provided outside of 1) and is fixed to the lower side of this vacuum chamber 1, and the X direction and Y direction parallel to the mask surface with respect to this lower side fixed base part 9 The lower side movable base portion 10 which is movable to the lower side and one end thereof is rotatably supported in the lower side movable base portion 10 so as to be rotatable in the θ direction which is the rotational direction on the mask surface, and the other end thereof is the vacuum chamber 1. And a lower side driving mechanism including a lower side connecting member 12 connected to a lower portion of the alignment frame 4 in the vacuum chamber 1 through a lower through hole 11 formed in the lower portion of the vacuum chamber 1. X direction to an upper side drive mechanism or the said lower side drive mechanism The drive device or the drive device for Y direction or both are provided, and the said upper side movement base part 6 or the said lower side movement base part 10 is provided by this X direction drive device and a Y direction drive device. By moving in the X direction and the Y direction with respect to the upper fixed base portion 5 or the lower fixed base portion 9, the alignment frame through the upper side connection body 8 or the lower side connection body 12. (4) is configured to adjust and move in the X, Y and θ direction, and the connecting portion of the upper connecting body 8 and the lower connecting body 12 with the alignment frame 4 is connected to the upper through hole. (7) and the lower through hole (11) are respectively provided in the vacuum chamber (1) through bellows (34, 35) for sealing in an airtight state.

또한, 진공조(1) 내에서 직립 상태로 유지된 기판(2)에 마스크(3)를 통해 성막 재료를 부착시켜 성막을 행하는 성막 장치로서, 상기 마스크(3)를 직립 상태로 부착한 얼라인먼트 프레임(4)을 상기 기판(2)에 대하여 조정 이동하여, 상기 마스크(3)가 상기 기판(2)에 대하여 적정 위치가 되도록 상기 마스크(3)와 상기 기판(2)의 위치를 맞추는 얼라인먼트 구동 기구를 구비하고, 이 얼라인먼트 구동 기구는, 상기 진공조(1)의 외부에 설치되고 이 진공조(1)의 상부측에 고정되는 상부측 고정 베이스부(5)와, 이 상부측 고정 베이스부(5)에 대하여 마스크 표면에 평행한 X 방향 및 Y 방향으로 이동 가능한 상부측 이동 베이스부(6)와, 일단이 상기 마스크 표면 위의 회전 방향인 θ 방향으로 회전 가능하게 상기 상부측 이동 베이스부(6)에 지지되고, 타단이 상기 진공조(1)의 상부에 형성한 상부 관통 구멍(7)을 통해 상기 진공조(1) 내의 상기 얼라인먼트 프레임(4)의 상부에 연결되는 상부측 연결체(8)를 포함하는 상부측 구동 기구와, 상기 진공조(1)의 외부에 설치되고 이 진공조(1)의 하부측에 고정되는 하부측 고정 베이스부(9)와, 이 하부측 고정 베이스부(9)에 대하여 마스크 표면에 평행한 X 방향 및 Y 방향으로 이동 가능한 하부측 이동 베이스부(10)와, 일단이 상기 마스크 표면 위의 회전 방향인 θ 방향으로 회전 가능하게 상기 하부측 이동 베이스부(10)에 지지되고, 타단이 상기 진공조(1)의 하부에 형성한 하부 관통 구멍(11)을 통해 상기 진공조(1) 내의 상기 얼라인먼트 프레임(4)의 하부에 연결되는 하부측 연결체(12)를 포함하는 하부측 구동 기구로 구성되며, 상기 상부측 구동 기구 및 상기 하부측 구동 기구에, 각각 X 방향용 구동 장치 또는 Y 방향용 구동 장치 또는 그 양쪽 모두를 설치하고, 이 X 방향용 구동 장치 및 Y 방향용 구동 장치에 의해 상기 상부측 이동 베이스부(6) 및 상기 하부측 이동 베이스부(10)를 상부측 고정 베이스부(5) 및 하부측 고정 베이스부(9)에 대하여 X 방향 및 Y 방향으로 이동시킴으로써, 상기 상부측 연결체(8) 및 상기 하부측 연결체(12)를 통해 상기 얼라인먼트 프레임(4)을 X, Y 및 θ 방향으로 조정 이동할 수 있도록 구성하고, 상기 상부측 연결체(8) 및 상기 하부측 연결체(12)의 상기 얼라인먼트 프레임(4)과의 연결부는 상기 상부 관통 구멍(7) 및 상기 하부 관통 구멍(11)을 각각 기밀 상태로 밀봉하는 벨로우즈(34, 35)를 통해 상기 진공조(1) 내에 설치한 것을 특징으로 하는 성막 장치에 관한 것이다.A film forming apparatus is formed by attaching a film forming material to a substrate 2 held in an upright state in the vacuum chamber 1 through a mask 3 to form a film. An alignment frame having the mask 3 attached in an upright state. The alignment drive mechanism which adjusts the position of the said mask 3 and the said board | substrate 2 so that the said mask 3 may become a proper position with respect to the said board | substrate 2 by adjusting (4) with respect to the said board | substrate 2 The alignment drive mechanism includes: an upper fixed base portion 5 that is provided outside the vacuum chamber 1 and is fixed to an upper side of the vacuum chamber 1, and the upper fixed base portion ( 5) the upper movable base portion 6 movable in the X and Y directions parallel to the mask surface, and the upper movable base portion rotatably rotatable in the θ direction, one end of which is a rotational direction on the mask surface ( 6), and the other end of the vacuum chamber 1 An upper side driving mechanism including an upper side connecting member 8 connected to an upper portion of the alignment frame 4 in the vacuum chamber 1 through an upper through hole 7 formed in an upper portion thereof; The lower side fixed base part 9 which is provided outside of 1) and is fixed to the lower side of this vacuum chamber 1, and the X direction and Y direction parallel to the mask surface with respect to this lower side fixed base part 9 The lower side movable base portion 10 which is movable to the lower side and one end thereof is rotatably supported in the lower side movable base portion 10 so as to be rotatable in the θ direction which is the rotational direction on the mask surface, and the other end thereof is the vacuum chamber 1. And a lower side driving mechanism including a lower side connecting member 12 connected to a lower portion of the alignment frame 4 in the vacuum chamber 1 through a lower through hole 11 formed in the lower portion of the vacuum chamber 1. X direction to an upper side drive mechanism and the said lower side drive mechanism, respectively The drive device or the drive device for Y direction or both are provided, and the said upper side movement base part 6 and the said lower side movement base part 10 are connected by this X direction drive device and a Y direction drive device. By moving in the X direction and the Y direction with respect to the upper fixed base portion 5 and the lower fixed base portion 9, the alignment frame through the upper side connection body 8 and the lower side connection body 12. (4) is configured to adjust and move in the X, Y and θ direction, and the connecting portion of the upper connecting body 8 and the lower connecting body 12 with the alignment frame 4 is connected to the upper through hole. (7) and the lower through hole (11) are respectively provided in the vacuum chamber (1) through bellows (34, 35) for sealing in an airtight state.

또한, 상기 마스크 표면에 평행한 상하 방향인 Y 방향으로 상기 하부측 이동 베이스부(10)를 이동시키는 상기 하부측 구동 기구에 설치되는 상기 Y 방향용 구동 장치는, 상기 각 하부측 이동 베이스부(10)를 각각 독립적으로 이동시킬 수 있게 구성되고, 상기 상부측 구동 기구에는 상기 Y 방향용 구동 장치를 설치하지 않는 것을 특징으로 하는 청구항 4에 기재된 성막 장치에 관한 것이다.Moreover, the said Y-direction drive apparatus provided in the said lower side drive mechanism which moves the said lower side movement base part 10 to the Y direction which is an up-down direction parallel to the said mask surface is said each lower side movement base part ( It relates to the film-forming apparatus of Claim 4 comprised so that each of 10) can be moved independently, and the said drive mechanism for a Y direction is not provided in the said upper side drive mechanism.

또한, 상기 상부측 이동 베이스부(6)는, 상기 상부측 고정 베이스부(5)에 대하여 상기 상부측 이동 베이스부(6)를 X 방향 및 Y 방향으로 안내하는 직동 안내부를 통해 상기 상부측 고정 베이스부(5)에 연결되고, 상기 상부측 연결체(8)는, 상기 각 상부측 이동 베이스부(6)에 대하여 상기 상부측 연결체를 θ 방향으로 안내하는 회동 안내부를 통해 상기 각 상부측 이동 베이스부(6)에 연결되며, 상기 하부측 이동 베이스부(10)는, 상기 하부측 고정 베이스부(9)에 대하여 상기 하부측 이동 베이스부(10)를 X 방향 및 Y 방향으로 안내하는 직동 안내부를 통해 상기 하부측 고정 베이스부(9)에 연결되고, 상기 하부측 연결체(12)는, 상기 각 하부측 이동 베이스부(10)에 대하여 상기 하부측 연결체(12)를 θ 방향으로 안내하는 회동 안내부를 통해 상기 각 하부측 이동 베이스부(10)에 연결된 것을 특징으로 하는 청구항 4 또는 청구항 5에 기재된 성막 장치에 관한 것이다. In addition, the upper side moving base part 6 is fixed to the upper side through a linear guide part that guides the upper side moving base part 6 in the X direction and the Y direction with respect to the upper side fixed base part 5. It is connected to the base part 5, and each said upper side connection body 8 is connected to each said upper side through the rotation guide part which guides the said upper side connection body in the (theta) direction with respect to each said upper side moving base part 6, It is connected to the movable base 6, the lower movable base 10, guides the lower movable base 10 in the X direction and the Y direction with respect to the lower fixed base (9). It is connected to the said lower side fixed base part 9 via a linear guide part, The said lower side connection body 12 carries out the said lower side connection body 12 with respect to each said lower side moving base part 10 in (theta) direction. Each of the lower side moving bases through a rotating guide to guide the It relates to a film forming apparatus as set forth in claim 4 or claim 5, characterized in that connected to 10.

본 발명은 전술한 바와 같이 구성했기 때문에, 위치 맞춤 정밀도를 확보하면서 공간 절약을 실현하여, 제4 세대 이상의 대형 기판에도 대응 가능한 매우 실용성이 뛰어난 성막 장치가 된다. Since the present invention is configured as described above, space saving is realized while ensuring the positioning accuracy, and a film forming apparatus excellent in practicality can be applied to a large substrate of the fourth generation or more.

도 1은 본 실시예의 주요부의 개략 설명 사시도이다.
도 2는 본 실시예의 주요부의 개략 설명 정면도이다.
도 3은 본 실시예의 주요부의 개략 설명 단면도이다.
도 4는 본 실시예의 주요부의 개략 설명 단면도이다.
도 5는 본 실시예의 가이드 롤러의 확대 개략 설명도이다.
도 6은 본 실시예의 상부측 구동 기구 및 하부측 구동 기구의 개략 설명도이다.
도 7은 본 실시예의 얼라인먼트 조작예를 도시하는 개략 설명도이다. 1 is a schematic explanatory perspective view of a main part of this embodiment.
2 is a schematic explanatory front view of principal parts of the present embodiment.
3 is a schematic explanatory sectional view of the main part of the present embodiment.
4 is a schematic explanatory sectional view of the main part of the embodiment.
5 is an enlarged schematic explanatory view of the guide roller of this embodiment.
6 is a schematic explanatory diagram of an upper side drive mechanism and a lower side drive mechanism of this embodiment.
7 is a schematic explanatory diagram showing an alignment operation example of the present embodiment.

적합하다고 생각하는 본 발명의 실시형태를, 도면에 기초하여 본 발명의 작용을 나타내어 간단히 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Embodiment of this invention which thinks it is suitable is demonstrated based on drawing of action of this invention based on drawing.

진공조(1)를 포함하는 성막실(챔버) 내에 직립 상태로 반송되는 기판(2)과 마스크(3)의 위치 맞춤을, 상부측 이동 베이스부(6) 또는 하부측 이동 베이스부(10)를 각각 상하의 각 고정 베이스부(5, 9)에 대하여 이동시켜, 이 각 이동 베이스부(6, 10)에 설치되는 상부측 연결체(8) 또는 하부측 연결체(12)를 통해 얼라인먼트 프레임(4) 및 이 얼라인먼트 프레임(4)과 일체로 이동하도록 부착되는 마스크(3)를 기판(2)에 대하여 X, Y 및 θ 방향으로 조정 이동함으로써 행한다. Alignment of the substrate 2 and the mask 3 conveyed in an upright state in the deposition chamber (chamber) including the vacuum chamber 1 is performed by the upper side moving base part 6 or the lower side moving base part 10. Are moved with respect to the upper and lower fixed base portions 5 and 9, respectively, and the alignment frame (through the upper side connection body 8 or the lower side connection body 12 provided in each of the moving base parts 6 and 10). 4) and the mask 3 attached so as to move integrally with the alignment frame 4 are adjusted by moving in the X, Y and θ directions with respect to the substrate 2.

여기서, 본 발명은 진공조(1)(챔버)의 외부에 있어서 상부측 또는 하부측에 배치한 상부측 구동 기구 또는 하부측 구동 기구의 상부측 고정 베이스부(5) 또는 하부측 고정 베이스부(6)에 대하여 상부측 이동 베이스부(6) 또는 하부측 이동 베이스부(10)를, 이들을 구동시키는 구동 장치를 이용하여 이동시킴으로써 마스크(3)와 기판(2)의 위치를 맞추기 때문에, 종래와 같이 얼라인먼트 구동 기구를 반송 방향과 수평 방향에 직교하는 방향으로 돌출시키지 않고, 진공조(1)의 위쪽 또는 아래쪽 또는 그 양쪽 모두에 콤팩트하게 배치하는 것이 가능해져, 그만큼 평면 레이아웃상의 설치 스페이스를 가급적 작게 할 수 있다. Here, in the present invention, the upper side fixed base portion 5 or the lower side fixed base portion of the upper side drive mechanism or the lower side drive mechanism disposed on the upper side or the lower side outside the vacuum chamber 1 (chamber) ( 6) Since the upper side moving base part 6 or the lower side moving base part 10 is moved using the drive device which drives them, the position of the mask 3 and the board | substrate 2 is matched, and, Likewise, the alignment drive mechanism can be compactly arranged above or below or both of the vacuum chamber 1 without protruding the alignment drive mechanism in a direction orthogonal to the horizontal direction, so that the installation space on the planar layout is as small as possible. can do.

또한, 강체로서의 챔버에 각 고정 베이스부(5, 9)를 설치하기 때문에, 위치 맞춤 정밀도도 충분히 확보할 수 있다. 또한, 중앙의 공간 부분을 크게 할 수 있어, 기판 냉각 기구, 마스크 냉각 기구 또는 마스크 흡착 기구 등의 설치가 그만큼 용이해진다. 또한 마스크(3)의 유지 모먼트가 작아져, 위치 맞춤 정밀도에 대한 영향을 적게 할 수 있고, 그 만큼 기판 사이즈의 대형화에 대응할 수 있게 된다. 따라서, 구동 기구를 그 만큼 콤팩트하게 할 수 있고, 또한 이 구동 기구와 각 연결체(8, 12)의 얼라인먼트 프레임(4)과의 연결부 사이의 거리를 짧게 할 수 있기 때문에, 그 만큼 정밀한 위치 맞춤 조정 이동이 가능해진다.Moreover, since each fixed base part 5, 9 is provided in the chamber as a rigid body, positioning accuracy can also be fully ensured. In addition, the central space portion can be enlarged, and installation of a substrate cooling mechanism, a mask cooling mechanism, a mask adsorption mechanism, or the like becomes easy. In addition, the holding moment of the mask 3 is reduced, so that the influence on the positioning accuracy can be reduced, and accordingly, the substrate size can be increased. Therefore, since the drive mechanism can be made compact and the distance between this drive mechanism and the connection part of the alignment frame 4 of each connecting body 8 and 12 can be shortened, the precise positioning by that much Adjustment movement becomes possible.

또한, 상하의 각 이동 베이스부(6, 10)를 이동시키기 위한 구동 장치를, 진공조(1)의 상부 및 하부로 각각 분할하여 설치할 수 있으며, 예컨대 정해진 간격을 두고 설치한 한 쌍(2개)의 하부측 이동 베이스부(10)를 하부측 고정 베이스부(9)에 대하여 X 방향으로 이동시키는 볼 나사 장치(1축) 및 Y 방향으로 이동시키는 볼 나사 장치(각 이동 베이스부에 각각 총 2축)를 하부측에 설치하고, 상부측 이동 베이스부(6)를 상부측 고정 베이스부(5)에 대하여 X 방향으로 이동시키는 볼 나사 기구(1축)를 상부측에 설치할 수도 있다[각 상부측 이동 베이스부(6) 및 하부측 이동 베이스부(10)는, 상부측 연결체(8) 및 하부측 연결체(12)에 의해 연결되기 때문에, 연동하여 이동한다]. In addition, a drive device for moving the upper and lower movable base portions 6 and 10 can be divided into the upper and lower portions of the vacuum chamber 1, respectively, and provided, for example, a pair (two) provided at predetermined intervals. Ball screw device (1 axis) for moving the lower side moving base part 10 in the X direction with respect to the lower side fixing base part 9 and a ball screw device for moving in the Y direction (2 each in total) Shaft) may be provided on the lower side, and a ball screw mechanism (one shaft) for moving the upper side moving base part 6 in the X direction with respect to the upper side fixing base part 5 may be provided on the upper side (each upper part). Since the side movement base part 6 and the lower side movement base part 10 are connected by the upper side connection body 8 and the lower side connection body 12, they move together.

이것에 의해, 각 구동 장치에 의한 각 이동 베이스부의 이동량을 조정 설정함으로써, 얼라인먼트 프레임(4)을 X, Y 및 θ 방향으로 자유롭게 조정 이동시킬 수 있고, 또한 상부측의 구동 장치를 적게 하여 보다 안정적으로 진공조에 얼라인먼트 구동 기구를 설치하는 것 등이 가능해진다. Thereby, by adjusting and setting the movement amount of each movement base part by each drive device, the alignment frame 4 can be freely adjusted and moved to X, Y, and (theta) directions, and also the drive device of the upper side is reduced and it is more stable. As a result, an alignment drive mechanism can be provided in the vacuum chamber.

또한, 진공조(1) 내(진공측)에 배치되는 것은 각 연결체(8, 12)의 얼라인먼트 프레임(4)과의 연결부뿐이고, 얼라인먼트 구동 기구의 마찰 접촉 부위가 모두 진공조(1)의 외부(대기측)에 설치되기 때문에, 그 만큼 진공조(1)의 내부를 청정한 분위기로 유지할 수 있어, 성막되는 박막을 보다 고품질의 것으로 하는 것이 가능해진다. In the vacuum chamber 1 (vacuum side), only the connecting portions of the connecting bodies 8 and 12 with the alignment frame 4 are disposed, and all the frictional contact portions of the alignment driving mechanism are provided in the vacuum chamber 1. Since it is provided outside (atmosphere side), the inside of the vacuum chamber 1 can be maintained in a clean atmosphere by that much, and it becomes possible to make a thin film formed into a higher quality.

따라서, 본 발명은, 위치 맞춤 정밀도를 확보하면서 공간 절약을 실현하고, 제4 세대 이상의 대형 기판에도 대응 가능하여 매우 실용성이 뛰어나게 된다.Therefore, the present invention realizes space saving while ensuring positioning accuracy, and can cope with large-sized substrates of the fourth generation or more, and thus becomes very practical.

[실시예][Example]

본 발명의 구체적인 실시예에 대해서 도면에 기초하여 설명한다. EMBODIMENT OF THE INVENTION The specific Example of this invention is described based on drawing.

본 실시예는, 수평 방향에 대하여 수직으로 세운 수직 직립 상태로 기판 및 마스크를 반송(종형 반송)하는 반송 기구를 구비한 성막 장치(진공 증착 장치)의 성막실에 본 발명을 적용한 것이다. This embodiment applies this invention to the film-forming chamber of the film-forming apparatus (vacuum vapor deposition apparatus) provided with the conveyance mechanism which conveys (vertical conveyance) a board | substrate and a mask in the perpendicular | vertical upright state which was set perpendicular to the horizontal direction.

즉, 본 실시예는, 진공조(1) 내에서 직립 상태로 유지된 기판(2)에 마스크(3)를 통해 성막 재료를 부착시켜 성막을 행하는 성막 장치로서, 상기 마스크(3)를 직립 상태로 부착한 얼라인먼트 프레임(4)을 상기 기판(2)에 대하여 조정 이동하여, 상기 마스크(3)가 상기 기판(2)에 대하여 적정 위치가 되도록 상기 마스크(3)와 상기 기판(2)의 위치를 맞추는 얼라인먼트 구동 기구를 구비하고, 이 얼라인먼트 구동 기구는, 상기 진공조(1)의 외부에 설치되고 이 진공조(1)의 상부측에 고정되는 상부측 고정 베이스부(5)와, 이 상부측 고정 베이스부(5)에 대하여 마스크 표면에 평행한 X 방향 및 Y 방향으로 이동 가능한 상부측 이동 베이스부(6)와, 일단이 상기 마스크 표면 위의 회전 방향인 θ 방향으로 회전 가능하게 상기 상부측 이동 베이스부(6)에 지지되고, 타단이 상기 진공조(1)의 상부에 형성한 상부 관통 구멍(7)을 통해 상기 진공조(1) 내의 상기 얼라인먼트 프레임(4)의 상부에 연결되는 상부측 연결체(8)를 포함하는 상부측 구동 기구와, 상기 진공조(1)의 외부에 설치되고 이 진공조(1)의 하부측에 고정되는 하부측 고정 베이스부(9)와, 이 하부측 고정 베이스부(9)에 대하여 마스크 표면에 평행한 X 방향 및 Y 방향으로 이동 가능한 하부측 이동 베이스부(10)와, 일단이 상기 마스크 표면 위의 회전 방향인 θ 방향으로 회전 가능하게 상기 하부측 이동 베이스부(10)에 지지되고, 타단이 상기 진공조(1)의 하부에 형성한 하부 관통 구멍(11)을 통해 상기 진공조(1) 내의 상기 얼라인먼트 프레임(4)의 하부에 연결되는 하부측 연결체(12)를 포함하는 하부측 구동 기구로 구성되며, 상기 상부측 연결체(8) 및 상기 하부측 연결체(12)의 상기 얼라인먼트 프레임(4)과의 연결부는 상기 상부 관통 구멍(7) 및 상기 하부 관통 구멍(11)을 각각 기밀 상태로 밀봉하는 벨로우즈(34, 35)를 통해 상기 진공조(1) 내에 설치한 것이다. In other words, the present embodiment is a film forming apparatus in which a film forming material is attached to a substrate 2 held in an upright state in the vacuum chamber 1 through a mask 3 to form a film, and the mask 3 is placed in an upright state. Position of the mask 3 and the substrate 2 so that the alignment frame 4 attached thereto is adjusted with respect to the substrate 2 so that the mask 3 is in an appropriate position with respect to the substrate 2. The alignment drive mechanism is provided with the upper side fixed base part 5 which is provided in the outer side of the said vacuum chamber 1, and is fixed to the upper side of this vacuum chamber 1, and this upper part. The upper side movable base portion 6 which is movable in the X direction and the Y direction parallel to the mask surface with respect to the side fixed base portion 5, and the upper end so that one end is rotatable in the θ direction which is the rotation direction on the mask surface; Supported by the side moving base 6, and the other end is Upper side drive mechanism including an upper side connecting body 8 connected to an upper portion of the alignment frame 4 in the vacuum chamber 1 through an upper through hole 7 formed in the upper portion of the vacuum chamber 1. And a lower side fixed base portion 9 provided outside the vacuum chamber 1 and fixed to the lower side of the vacuum chamber 1, and parallel to the mask surface with respect to the lower side fixed base portion 9; The lower side moving base part 10 which is movable in one X direction and the Y direction, and one end is supported by the lower side moving base part 10 so as to be rotatable in a direction θ which is a rotational direction on the mask surface, and the other end is Lower side drive including a lower side connecting body 12 connected to the lower part of the alignment frame 4 in the vacuum chamber 1 through the lower through hole 11 formed in the lower portion of the vacuum chamber 1. A mechanism is formed and the upper side connecting body 8 and the lower side connecting body 12 Connection with the alignment frame 4 is installed in the vacuum tank 1 via a bellows (34, 35) for sealing the upper through-hole (7) and the lower through hole 11 to the respective airtight.

각 부를 구체적으로 설명한다.Each part is explained concretely.

진공조(1)(성막실)는 반입측 및 반출측의 각 실과 기밀 상태를 유지하도록 게이트 밸브를 통해 일직선형으로 연결되는 것이며, 적절한 감압 기구를 갖는 것이다. The vacuum chamber 1 (film formation chamber) is connected in a straight line via a gate valve so as to maintain an airtight state with each chamber on the carrying in side and the carrying out side, and has an appropriate decompression mechanism.

또한, 기판(2)과 대향하도록 성막 재료의 증발원이 배치되어 있고, 성막할 때에, 기판(2)과 마스크(3)를 적정 위치에 위치를 맞춘 상태로 중합시키기 위해, 얼라인먼트 구동 기구를 설치하고 있다. Moreover, the evaporation source of the film-forming material is arrange | positioned so that it may oppose the board | substrate 2, When the film-forming, the alignment drive mechanism is provided in order to superpose | polymerize in the state which position | positioned the board | substrate 2 and the mask 3 at the suitable position. have.

본 실시예에서는, 도 1에 도시한 바와 같이 유리 기판(2)은 기판 트레이(41)에 부착되어 있고, 마스크(3)는 프레임형의 마스크 프레임(도시 생략)에 부착되며, 이 마스크 프레임은 프레임형의 마스크 트레이(42)에 부착되어 있다(기판 사이즈가 제5 세대, 제5.5 세대인 경우). In this embodiment, as shown in Fig. 1, the glass substrate 2 is attached to the substrate tray 41, and the mask 3 is attached to a frame type mask frame (not shown). It is attached to the frame type mask tray 42 (when the board | substrate size is 5th generation and 5.5th generation).

또한, 기판 사이즈에 따라서는(예컨대 제6 세대인 경우), 마스크(3)를 마스크 프레임에 부착한 것(마스크 트레이가 없는 것)을 채용하여도 좋다. In addition, depending on the substrate size (for example, the sixth generation), the mask 3 may be attached to the mask frame (without a mask tray).

도 1 내지 도 4에 도시한 바와 같이, 마스크 트레이(42)의 상부에는 단면에서 봤을 때 대략 U자형의 상부 가이드체(43)가 설치되어 있다. As shown in FIGS. 1-4, the upper guide body 43 of substantially U shape as seen from a cross section is provided in the upper part of the mask tray 42. As shown in FIG.

이 상부 가이드체(43)의 내부에는, 진공조(1)의 내부 상면측에 설치되는 가이드 롤러(40, 44)가 접촉한다. 또한, 상부 가이드체(43)의 바닥면에는 감입(嵌入) 구멍(37)이 형성되고, 후술하는 위치 결정핀(36)을 감입함으로써, 얼라인먼트시에 마스크(3)를 고정할 수 있도록 구성하고 있다. The guide rollers 40 and 44 provided in the upper upper surface side of the vacuum chamber 1 contact the inside of this upper guide body 43. In addition, an indentation hole 37 is formed in the bottom surface of the upper guide body 43, and the mask pin 3 is fixed at the time of alignment by inserting the positioning pin 36 to be described later. have.

마스크 트레이(42)의 하부에는 둥근 막대형의 하부 가이드체(45)가 설치되어 있다. In the lower part of the mask tray 42, a round bar-shaped lower guide body 45 is provided.

이 하부 가이드체(45)에 의해 마스크(3)는 진공조(1)의 내부 하면측에 설치되는 반송 롤러(46)(V 롤러)에 가이드되면서 반송된다. 구체적으로는 반송 롤러(46)는 진공조(1)의 바닥면에 세워져 설치된다. 하부 가이드체(45)의 바닥면에는 감입 구멍(39)이 형성되고, 후술하는 위치 결정핀(38)을 감입함으로써, 얼라인먼트시에 마스크(3)를 고정할 수 있도록 구성되어 있다. The mask 3 is conveyed by this lower guide body 45, being guided to the conveyance roller 46 (V roller) provided in the inner lower surface side of the vacuum chamber 1. As shown in FIG. Specifically, the conveyance roller 46 is mounted on the bottom surface of the vacuum chamber 1, and is installed. An indentation hole 39 is formed in the bottom surface of the lower guide body 45, and it is comprised so that the mask 3 can be fixed at the time of alignment by inserting the positioning pin 38 mentioned later.

또한, 기판 트레이(41)에도 마찬가지로 가이드 롤러(47)가 접촉하는 단면에서 봤을 때 대략 U자형의 상부 가이드체(48)와, 반송 롤러(49)(V 롤러)에 가이드되면서 반송되는 하부 가이드체(50)가 설치되어 있다. 이 상부 가이드체(48)의 바닥면 및 하부 가이드체(50)의 바닥면에는, 기판 트레이 로크 핀이 감입하는 감입 구멍이 형성된다. In addition, the lower guide body conveyed while being guided to the board | substrate tray 41 similarly to the upper U-shaped guide body 48 and the conveyance roller 49 (V roller) when viewed from the cross section which the guide roller 47 contacts. 50 is provided. In the bottom face of this upper guide body 48 and the bottom face of the lower guide body 50, the penetration hole which the board | substrate tray lock pin penetrates is formed.

또한, 기판 트레이(41)의 기판(2)이 클램프 고정되는 클램프 고정면의 반대측(이면)에는, 기판 트레이(41)를 냉각하는 냉각판 및 마스크(3)(인바 등의 자성 재료를 포함)와 기판(2)을 밀착시키는 마그넷판을 구비한 판체(51)를 설치하기 위한 오목부가 형성되어 있다. Moreover, on the opposite side (rear surface) of the clamp fixing surface to which the board | substrate 2 of the board | substrate tray 41 is clamped, the cooling plate which cools the board | substrate tray 41, and the mask 3 (including magnetic material, such as Invar) And a concave portion for providing a plate body 51 having a magnet plate for bringing the substrate 2 into close contact with each other.

또한, 기판(2)의 표면측 코너부 및 마스크(3)의 이면측 코너부(대각 위치의 한 쌍의 코너부)에는, 얼라인먼트 마크가 각각 설치되어 있다. Further, alignment marks are provided at the front side corner portions of the substrate 2 and the rear side corner portions (a pair of corner portions at diagonal positions) of the mask 3, respectively.

이 얼라인먼트 마크는, 기판 트레이(41) 및 판체(51)에 설치한 얼라인먼트 마크 확인용 구멍(52, 53)을 통해 CCD 카메라, 렌즈 및 조명을 포함하는 얼라인먼트 카메라(54)에 의해 육안으로 확인할 수 있도록 구성하고 있다. 얼라인먼트는, 이 얼라인먼트 카메라(54)로부터의 영상을 바탕으로 얼라인먼트 구동 기구를 제어하여 행한다. This alignment mark can be visually confirmed by the alignment camera 54 including a CCD camera, a lens, and illumination through the alignment mark confirmation holes 52 and 53 provided in the substrate tray 41 and the plate body 51. It is configured to be. The alignment is performed by controlling the alignment drive mechanism on the basis of the video from the alignment camera 54.

얼라인먼트 구동 기구에 대해서 상술한다. An alignment drive mechanism is explained in full detail.

상기 상부측 이동 베이스부(6)는, 상기 상부측 고정 베이스부(5)에 대하여 상기 상부측 이동 베이스부(6)를 X 방향 및 Y 방향으로 안내하는 직동 안내부를 통해 상기 상부측 고정 베이스부(5)에 연결되고, 상기 상부측 연결체(8)는, 상기 각 상부측 이동 베이스부(6)에 대하여 상기 상부측 연결체를 θ 방향으로 안내하는 회동 안내부를 통해 상기 각 상부측 이동 베이스부(6)에 연결되며, 상기 하부측 이동 베이스부(10)는, 상기 하부측 고정 베이스부(9)에 대하여 상기 하부측 이동 베이스부(10)를 X 방향 및 Y 방향으로 안내하는 직동 안내부를 통해 상기 하부측 고정 베이스부(5)에 연결되고, 상기 하부측 연결체(12)는, 상기 각 하부측 이동 베이스부(10)에 대하여 상기 하부측 연결체(12)를 θ 방향으로 안내하는 회동 안내부를 통해 상기 각 하부측 이동 베이스부(10)에 연결되어 있다. The upper side moving base part 6 is the upper side fixed base part through a linear guide part which guides the upper side moving base part 6 in the X direction and the Y direction with respect to the upper side fixed base part 5. (5), wherein the upper side connecting body (8) is connected to each upper side through a rotating guide portion that guides the upper connecting body in the θ direction with respect to each of the upper moving base parts (6). It is connected to the section 6, the lower side moving base portion 10, the linear guide for guiding the lower side moving base portion 10 in the X direction and the Y direction with respect to the lower side fixed base portion 9 It is connected to the lower fixed base portion 5 through a portion, and the lower side connecting body 12 guides the lower side connecting body 12 in the θ direction with respect to each of the lower side moving base parts 10. To each of the lower side moving base portions 10 through a rotating guide portion It is connected.

본 실시예에서는, 상부측 고정 베이스부(5)를 진공조(1)(챔버)의 상벽면 외측에 고정 상태로 설치하고 있다. In this embodiment, the upper fixed base part 5 is provided in the fixed state outside the upper wall surface of the vacuum chamber 1 (chamber).

도 6, 도 7에 도시한 바와 같이, 이 상부측 고정 베이스부(5)의 마스크 표면과 평행한 부착면에, X 방향(좌우 방향)으로 연장되는 레일(15)에 단면에서 봤을 때 コ형의 가이드 블록(16)이 끼워져 이루어지는 2개의 LM(Linear Motion) 가이드를 통해 판형의 상부측 X 방향 이동 베이스(14)를 설치하고, 이 상부측 X 방향 이동 베이스(14)의 마스크 표면과 평행한 부착면에, Y 방향(상하 방향)으로 연장되는 레일(18)에 가이드 블록(19)이 끼워져 이루어지는 2개의 LM 가이드를 통해 판형의 상부측 Y 방향 이동 베이스(17)를 설치하여 상부측 이동 베이스부(6)를 구성하고 있다. As shown in FIG. 6 and FIG. 7, the cross section is viewed from the cross section on the rail 15 extending in the X direction (left and right directions) to an attachment surface parallel to the mask surface of the upper fixed base part 5. Through the two linear motion (LM) guides in which the guide block 16 is fitted, the plate-shaped upper side X-direction moving base 14 is installed and parallel to the mask surface of the upper side X-direction moving base 14. On the attachment surface, the upper side Y-side movement base 17 of the plate shape is provided through the two LM guides in which the guide block 19 is fitted to the rail 18 extending in the Y-direction (up-down direction). The part 6 is comprised.

상부측 X 방향 이동 베이스(14)의 상부측 고정 베이스부(5)의 상기 부착면과의 대향면은 마스크 표면과 평행한 면으로 설정되고, 이 면에 가이드 블록(16)의 부착 평탄면이 부착 고정된다. 또한, 상부측 Y 방향 이동 베이스(17)의 상부측 X 방향 이동 베이스(14)의 상기 부착면과의 대향면은 마스크 표면과 평행한 면으로 설정되고, 이 면에 가이드 블록(19)의 부착 평탄면이 부착 고정된다. The opposing surface of the upper fixed base portion 5 of the upper side X-direction moving base 14 with the attaching surface is set to a surface parallel to the mask surface, and the attaching flat surface of the guide block 16 is The attachment is fixed. Moreover, the opposing surface of the upper side X direction movement base 14 of the upper side Y direction movement base 17 with the said attachment surface is set to the surface parallel to the mask surface, and attachment of the guide block 19 to this surface. Flat surface is attached and fixed.

하부측도 마찬가지로, 하부측 고정 베이스부(9)를 진공조(1)의 하벽면 외측에 고정 상태로 설치하고 있다. Similarly, the lower side fixing base part 9 is provided in the fixed state outside the lower wall surface of the vacuum chamber 1.

이 하부측 고정 베이스부(9)의 마스크 표면과 평행한 부착면에, Y 방향으로 연장되는 레일(21)에 가이드 블록(22)이 끼워져 이루어지는 2개의 LM 가이드를 통해 판형의 하부측 Y 방향 이동 베이스(20)를 설치하고, 이 하부측 Y 방향 이동 베이스(20)의 마스크 표면과 평행한 부착면에, X 방향으로 연장되는 레일(24)에 가이드 블록(25)이 끼워져 이루어지는 2개의 LM 가이드를 통해 판형의 하부측 X 방향 이동 베이스(23)를 설치하여 하부측 이동 베이스부(10)를 구성하고 있다. The plate-shaped lower side Y-direction movement through the two LM guides by which the guide block 22 is fitted to the rail 21 extended in the Y direction on the mounting surface parallel to the mask surface of this lower side fixed base part 9 Two LM guides in which the base block 20 is provided and the guide block 25 is fitted to the rail 24 extending in the X direction on an attachment surface parallel to the mask surface of the lower Y-direction moving base 20. The lower side moving base part 10 is comprised by installing the lower side X direction moving base 23 of plate shape through the above.

하부측 Y 방향 이동 베이스(20)의 하부측 고정 베이스부(9)의 상기 부착면과의 대향면은 마스크 표면과 평행한 면으로 설정되고, 이 면에 가이드 블록(22)의 부착 평탄면이 부착 고정된다. 또한 하부측 X 방향 이동 베이스(23)의 하부측 Y 방향 이동 베이스(20)의 상기 부착면과의 대향면은 마스크 표면과 평행한 면으로 설정되고, 이 면에 가이드 블록(25)의 부착 평탄면이 부착 고정된다. The opposing surface of the lower fixed base portion 9 of the lower side Y-direction moving base 20 with the attaching surface is set to a surface parallel to the mask surface, and the attaching flat surface of the guide block 22 is The attachment is fixed. Moreover, the opposing surface of the lower side Y direction movement base 23 of the lower side X direction movement base 23 with the said attachment surface is set to the surface parallel to the mask surface, and the attachment flat of the guide block 25 is in this surface. The surface is attached and fixed.

또한, 본 실시예에서는, 밸런스를 고려하여, 상하의 구동 기구로 X 방향 이동 베이스와 Y 방향 이동 베이스의 상하 배치 관계를 반대로 하고 있지만, 일치시켜도 좋다. In addition, in the present embodiment, in consideration of the balance, the vertical arrangement of the X-direction moving base and the Y-direction moving base is reversed by the up-and-down driving mechanism, but may be matched.

또한, 상부측 이동 베이스부(6) 및 하부측 이동 베이스부(10)는 각각, 좌우 한 쌍씩(2개씩) 설치되어 있다. In addition, the upper side moving base part 6 and the lower side moving base part 10 are provided in pairs (two each) left and right, respectively.

이 각 상부측 이동 베이스부(6)의 마스크 표면과 평행한 부착면에는, 내륜에 대하여 외륜을 선회 가능하게 설치한 크로스 롤러 베어링(13)을 통해 상부측 연결체(8)의 단면에서 봤을 때 L자형의 판재를 포함하는 하나의 기부(基部)(27)의 수직면을 각각 설치하고, 이 기부(27)는 각 상부측 이동 베이스부(6)에 가설 상태로 설치되어 있다. When seen from the cross section of the upper side connecting body 8 through the cross roller bearing 13 which provided the outer ring pivotally with respect to the inner ring, on the attachment surface parallel to the mask surface of each upper side movable base part 6. The vertical surfaces of one base 27 each including an L-shaped plate are provided, respectively, and the base 27 is provided in a temporary state on each of the upper side moving base portions 6.

하부측도 마찬가지로, 각 하부측 이동 베이스부(10)의 마스크 표면과 평행한 부착면에는, 내륜에 대하여 외륜을 선회 가능하게 설치한 크로스 롤러 베어링(26)을 통해 하부측 연결체(12)의 단면에서 봤을 때 L자형의 판재를 포함하는 하나의 기부(29)의 수직면을 각각 설치하고, 이 기부(29)를 각 하부측 이동 베이스부(6)에 가설 상태로 설치하고 있다. Similarly, in the lower side, the cross section of the lower side connection body 12 is attached to the attachment surface parallel to the mask surface of each lower side movement base part 10 via the cross roller bearing 26 which rotatably provided the outer ring with respect to the inner ring. As seen from the above, the vertical surfaces of one base 29 each including an L-shaped plate are provided, respectively, and the base 29 is installed in each of the lower side moving base portions 6 in a temporary state.

상부측 이동 베이스부(6)에 설치한 상부측 연결체(8)의 기부(27)의 상기 수직면과 직교하는 수평면의 좌우 단부[크로스 롤러 베어링(13)에 대응하는 위치]에는 각각, 마스크(3)를 직립 상태로 부착하는 얼라인먼트 프레임(4)에 연결되는 연결 통체(28)를 세워 설치하고 있다. Masks are provided at the left and right ends (positions corresponding to the cross roller bearings 13) of the horizontal plane orthogonal to the vertical plane of the base 27 of the upper side connecting body 8 provided on the upper side moving base part 6, respectively. The connecting cylinder 28 connected to the alignment frame 4 which attaches 3) in an upright position is upright, and is installed.

이 각 연결 통체(28)의 선단부는 진공조(1)의 상부 관통 구멍(7)을 통해 진공조(1) 내에 도입되고, 이 선단부에는 마스크 반송 가이드용의(마스크 위치 결정 고정 위치에서의) 가이드 롤러(44)가 설치되어 얼라인먼트 프레임(4)과 연결되는 수평 판체(30)가 가설 상태로 연결된다. 이 가이드 롤러(44)는, 도 5에 도시한 바와 같이, 상부 가이드체(43)의 내측 바닥면에 접촉하는 롤러체(70)와, 내측면에 접촉하는 롤러체(71)와, 이들 롤러체(70, 71)가 회전 가능하게 유지되는 롤러 유지체(72)와, 롤러 유지체(72)를 수평 판체(30)의 표면에 대하여 접촉 분리 이동 가능하게 지지하는 한 쌍의 슬라이드 부시(73)로 구성되어 있다. 또한 이 롤러 유지체(72)는 스프링 등의 압박 기구에 의해 수평 판체(30)로부터 이격되는 방향으로 가압되어 있다. The distal end of each connecting cylinder 28 is introduced into the vacuum chamber 1 through the upper through hole 7 of the vacuum chamber 1, and the distal end portion is provided for the mask conveyance guide (at the mask positioning fixed position). The guide roller 44 is installed to connect the horizontal plate body 30 connected to the alignment frame 4 in a temporary state. As shown in FIG. 5, the guide roller 44 includes a roller body 70 in contact with the inner bottom surface of the upper guide body 43, a roller body 71 in contact with the inner surface, and these rollers. The roller holder 72 in which the sieves 70 and 71 are rotatably held, and the pair of slide bushes 73 which support the roller holder 72 so that contact-moving movement with respect to the surface of the horizontal plate body 30 is possible. It consists of). In addition, the roller holder 72 is pressed in a direction away from the horizontal plate body 30 by a pressing mechanism such as a spring.

또한, 수평 판체(30)에는, 선단에 마스크(3)의 감입 구멍(37)에 감입되는 감입부를 갖는 위치 결정핀(36)이 설치되어 있다. 이 위치 결정핀(36)은, 가이드 롤러(44)의 슬라이드 부시(73) 사이에 설치되고, 또한 그 선단부가 가이드 롤러(44)의 롤러 유지체(72)의 중앙부에 설치되는 삽입 관통 구멍으로부터 돌출하도록 설치된다. 또한 위치 결정핀(36)의 선단의 감입부는, 보통 상태에서는 롤러체(70, 71)로부터 돌출되지 않도록 구성되고, 롤러 유지체(72)가 압박 기구에 의한 가압력에 대항하여 밀어 올려진 경우에는 롤러체(70, 71)로부터 돌출하여(노출되어) 상부 가이드체(43)의 감입 구멍(37)에 감입할 수 있도록 구성되어 있다. In addition, the horizontal plate body 30 is provided with a positioning pin 36 having a fitting portion to be inserted into the fitting hole 37 of the mask 3 at the tip. This positioning pin 36 is provided between the slide bushes 73 of the guide rollers 44, and the tip end thereof is provided from an insertion through hole provided at the center of the roller holder 72 of the guide rollers 44. It is installed to protrude. Moreover, when the indentation part of the front-end | tip of the positioning pin 36 is comprised so that it may not protrude from the roller bodies 70 and 71 in a normal state, and the roller holding body 72 is pushed up against the pressing force by a press mechanism, It is comprised so that it may protrude (expose) from the roller bodies 70 and 71, and can penetrate into the fitting hole 37 of the upper guide body 43. As shown in FIG.

따라서, 후술하는 위치 결정핀(38)에 의해 마스크(3)[마스크 트레이(42)]가 위쪽으로 밀어 올려져, 상부 가이드체(43)에 의해 롤러체(70)를 통해 롤러 유지체(72)가 밀어 올려지면 위치 결정핀(36)의 선단의 감입부가 노출되어, 상부 가이드체(43)의 감입 구멍(37)에 감입되게 된다. Therefore, the mask 3 (mask tray 42) is pushed up by the positioning pin 38 mentioned later, and the roller holding body 72 is carried out through the roller body 70 by the upper guide body 43. As shown in FIG. Is pushed up, the indentation of the tip of the positioning pin 36 is exposed, and the indentation part 37 of the upper guide body 43 is indented.

또한, 이 연결 통체(28)를 덮도록 금속제의 벨로우즈(34)(신축관)가 설치된다. 벨로우즈(34)의 일단은 상부 관통 구멍(7)의 주연부에 배치되고, 타단은 수평 판체(30)의 상면측에 배치되며, 이것에 의해 상부 관통 구멍(7)은 기밀 상태로 밀봉된다. Moreover, the metal bellows 34 (extension tube) is provided so that this connection cylinder 28 may be covered. One end of the bellows 34 is disposed at the periphery of the upper through hole 7, and the other end is disposed on the upper surface side of the horizontal plate body 30, whereby the upper through hole 7 is sealed in an airtight state.

하부측은, 하부측 이동 베이스부(10)에 설치한 하부측 연결체(12)의 기부(29)의 상기 수직면과 직교하는 수평면의 좌우 단부[크로스 롤러 베어링(26)에 대응하는 위치]에는 각각, 마스크(3)를 직립 상태로 부착하는 얼라인먼트 프레임(4)에 연결되는 연결 통체(31)를 세워 설치하고 있다. The lower side is respectively located at the left and right ends (positions corresponding to the cross roller bearings 26) of the horizontal plane orthogonal to the vertical plane of the base 29 of the lower side connecting body 12 provided on the lower side moving base part 10. The connecting cylinder 31 connected to the alignment frame 4 which attaches the mask 3 in an upright state is installed upright.

이 각 연결 통체(31)의 선단부는 진공조(1)의 하부 관통 구멍(11)을 통해 진공조(1) 내에 도입되고, 이 선단부에는 얼라인먼트 프레임(4)과 연결되는 수평 판체(33)가 가설 상태로 연결된다. The front end of each of the connecting cylinders 31 is introduced into the vacuum chamber 1 through the lower through hole 11 of the vacuum chamber 1, and a horizontal plate body 33 connected to the alignment frame 4 is provided at this front end. Connected to the hypothesis state.

이 연결 통체(31)의 선단부는 수평 판체(33)를 (간극이 없는 기밀을 유지할 수 있는 상태로) 관통하여 위쪽으로 돌출하도록 설치하고, 이 연결 통체(31) 내에 연결 통체(31)의 선단으로부터 간극이 없이 기밀을 유지할 수 있는 상태로 돌출하는 통형상체(60)를 설치하며, 이 통형상체(60)의 내부에는 위치 결정핀(38)이 편심 캠 기구 등의 적절한 돌몰(突沒) 구동 기구(61)에 의해 선단으로부터 돌몰 구동 가능하게 설치되어 있다. 또한 위치 결정핀(38)의 돌출량은 감입 구멍(39)에 감입하여 적어도 마스크 트레이(42)의 하부 가이드체(50)가 반송 롤러(46)로부터 이격하도록 밀어 올려져, 마스크 트레이(42)의 상부 가이드체(43)에 의해 롤러체(70)를 통해 롤러 유지체(72)를 밀어 올려 위치 결정핀(36) 선단의 감입부를 노출할 수 있는 정도로 설정한다. The distal end of the connecting cylinder 31 is provided so as to penetrate the horizontal plate body 33 (in a state capable of maintaining airtightness without gaps) to protrude upward, and the distal end of the connecting cylinder 31 in the connecting cylinder 31. The cylindrical body 60 which protrudes in the state which can maintain airtight from a clearance gap is provided, and the positioning pin 38 drives appropriate protrusions, such as an eccentric cam mechanism, in this cylindrical body 60 inside. The mechanism 61 is provided so that it can drive-moldle from a front-end | tip. In addition, the amount of protrusion of the positioning pin 38 penetrates into the indentation hole 39, and is pushed up so that at least the lower guide body 50 of the mask tray 42 may be spaced apart from the conveyance roller 46, and the mask tray 42 may be carried out. The roller holding member 72 is pushed up by the upper guide member 43 through the roller body 70 so as to be able to expose the fitting portion of the tip of the positioning pin 36.

또한, 위치 결정핀(38)의 외주면과 통형상체(60)의 선단 내주면과는 기밀을 유지한 상태로 돌몰 미끄럼 구동할 수 있도록 구성하고 있다. In addition, the outer peripheral surface of the positioning pin 38 and the inner peripheral surface of the distal end of the cylindrical body 60 are configured so as to be capable of sliding driving while maintaining airtightness.

따라서, 이 위치 결정핀(38)을 통형상체(60)의 선단으로부터 돌출시켜 마스크(3)의 감입 구멍(39)에 감입하고, 마스크(3)[마스크 트레이 42)]를 밀어 올려 상부 가이드체(43)에 의해 롤러 유지체(72)를 밀어 올려 노출된 위치 결정핀(36)의 선단의 감입부를 감입 구멍(37)에 감입함으로써, 마스크(3)를 상부측 연결체(8) 및 하부측 연결체(12)에 대하여 위치 결정 고정할 수 있고, 마스크(3)를 얼라인먼트 프레임(4)과 일체로 고정할 수 있다. Therefore, this positioning pin 38 protrudes from the tip of the cylindrical body 60, and is inserted into the indentation hole 39 of the mask 3, and the mask 3 (mask tray 42) is pushed up and the upper guide body is raised. The mask 3 is pushed into the inlet hole 37 by pushing the roller holder 72 up by the 43 to expose the indentation portion of the tip of the positioning pin 36 exposed to the upper side connecting member 8 and the lower part. Positioning fixation is possible with respect to the side connection body 12, and the mask 3 can be fixed integrally with the alignment frame 4. As shown in FIG.

또한, 이 연결 통체(31)를 덮도록 금속제의 벨로우즈(35)가 설치된다. 벨로우즈(35)의 일단은 하부 관통 구멍(11)의 주연부에 배치되고, 타단은 수평 판체(33)의 하면측에 배치되며, 이것에 의해 하부 관통 구멍(11)은 기밀 상태로 밀봉된다. Moreover, the metal bellows 35 is provided so that this connection cylinder 31 may be covered. One end of the bellows 35 is disposed at the periphery of the lower through hole 11, and the other end is disposed on the lower surface side of the horizontal plate body 33, whereby the lower through hole 11 is sealed in an airtight state.

또한, 얼라인먼트 프레임(4)은 그 상하 단부가 각각 수평 판체(30, 33)에 연결되어 있다. 따라서, 얼라인먼트 프레임(4)과 각 연결체(8, 12)는 일체로 이동하게 된다. 즉, 얼라인먼트 프레임(4)은, 좌우의 이동 베이스부(6, 10) 각각의 이동의 영향을 받아 X, Y 및 θ의 각 방향으로 이동하는 각 연결체(8, 12)와 함께 X, Y 및 θ의 각 방향으로 이동한다. 또한, 얼라인먼트 프레임(4)에는 마스크 냉각용의 냉각 기구가 설치되어 있다. Moreover, the upper and lower ends of the alignment frame 4 are connected to the horizontal plate bodies 30 and 33, respectively. Thus, the alignment frame 4 and each of the connecting bodies 8 and 12 are integrally moved. That is, the alignment frame 4 is X, Y together with the connecting bodies 8 and 12 moving in the respective directions of X, Y and θ under the influence of the movement of each of the left and right moving base portions 6 and 10. And in each direction of θ. In addition, the alignment frame 4 is provided with a cooling mechanism for mask cooling.

각 이동 베이스부(6, 10)를 이동시키는 구동 기구에 대해서 상술한다. The drive mechanism which moves each moving base part 6 and 10 is explained in full detail.

본 실시예에서는, 상부측 구동 기구 및 하부측 구동 기구에, 각각 X 방향용 구동 장치 또는 Y 방향용 구동 장치 또는 그 양쪽 모두를 설치하고, 이 X 방향용 구동 장치 및 Y 방향용 구동 장치에 의해 상기 상부측 이동 베이스부(6) 및 상기 하부측 이동 베이스부(10)를 상부측 고정 베이스부(5) 및 하부측 고정 베이스부(9)에 대하여 X 방향 및 Y 방향으로 이동시킴으로써, 상기 상부측 연결체(8) 및 상기 하부측 연결체(12)를 통해 상기 얼라인먼트 프레임(4)을 X, Y 및 θ 방향으로 조정 이동할 수 있도록 구성하고 있다. In this embodiment, the X-direction drive device, the Y-direction drive device, or both are provided in the upper side drive mechanism and the lower side drive mechanism, respectively. By moving the upper movable base 6 and the lower movable base 10 in the X and Y directions with respect to the upper fixed base 5 and the lower fixed base 9, the upper The alignment frame 4 can be adjusted and moved in the X, Y and θ directions through the side linking body 8 and the lower side linking body 12.

구체적으로는, X 방향용 구동 장치 및 Y 방향용 구동 장치로서는 공지의 볼 나사 장치를 채용하고 있다. 볼 나사 장치는 정역회전 가능한 모터(55) 및 모터(55)에 의해 회동하는 볼 나사(56)(고정부)와, 볼 나사(56)에 나사 결합하여 이 볼 나사(56)의 회동에 의해 볼 나사(56)의 축방향으로 이동하는 너트(57)(이동부)로 구성된다. Specifically, well-known ball screw devices are employed as the drive device for the X direction and the drive device for the Y direction. The ball screw device is screwed to the ball screw 56 (fixed part) rotated by the motor 55 and the motor 55 capable of forward and reverse rotation, and the ball screw 56 is rotated by the rotation of the ball screw 56. It consists of the nut 57 (moving part) which moves to the axial direction of the ball screw 56. As shown in FIG.

본 실시예에서는, 도 6에 도시한 바와 같이, 하부측 고정 베이스부(9)(의 부착면)의 좌우 단부에 모터(55) 및 볼 나사(56)를, 이 볼 나사(56)가 상기 Y 방향으로 연장되는 레일(21)끼리의 사이에 이 레일(21)과 평행이 되도록 고정하고, 하부측 고정 베이스부(9)의 좌우 단부에 설치한 하부측 이동 베이스부(10)의 하부측 Y 방향 이동 베이스(20)의 하부측 고정 베이스부(9)와의 대향면에 각각 상기 볼 나사(56)와 나사 결합하는 너트(57)를 부착하여, Y 방향으로 구동시키도록 구성하고 있다. In this embodiment, as shown in FIG. 6, the motor 55 and the ball screw 56 are attached to the left and right ends of the lower side fixing base part 9 (attachment surface), and this ball screw 56 is the said. The lower side of the lower side moving base part 10 which fixed so that it may become parallel with this rail 21 between the rail 21 extended in a Y direction, and installed in the left-right end part of the lower side fixing base part 9 The nut 57 for screwing with the said ball screw 56 is attached to the opposing surface with respect to the lower side fixed base part 9 of the Y direction movement base 20, and it is comprised so that it may drive in a Y direction.

또한, 우단부에 설치한 하부측 이동 베이스부(10)의 하부측 Y 방향 이동 베이스(20)에 모터(55) 및 볼 나사(56)를, 이 볼 나사(56)가 상기 X 방향으로 연장되는 레일(24)끼리의 사이에 이 레일(24)과 평행이 되도록 고정하고, 하부측 X 방향 이동 베이스(23)의 하부측 Y 방향 이동 베이스(20)와의 대향면에 상기 볼 나사(56)와 나사 결합하는 너트(57)를 부착하여, X 방향으로 구동시키도록 구성하고 있다. Moreover, the motor 55 and the ball screw 56 extend in the said X direction to the lower side Y-direction moving base 20 of the lower side moving base part 10 provided in the right end part. The ball screw 56 is fixed between the rails 24 to be parallel to the rails 24, and is opposed to the lower side Y-direction moving base 20 of the lower-side X-direction moving base 23. And a nut 57 for screwing together, are configured to be driven in the X direction.

또한, 상부측 고정 베이스부(5)(의 부착면)의 일단부(우단부)에 모터(55) 및 볼 나사(56)를, 이 볼 나사(56)가 상기 X 방향으로 연장되는 레일(15)끼리의 사이에 이 레일(15)과 평행이 되도록 고정하고, 상부측 고정 베이스부(5)의 우단부에 설치한 상부측 이동 베이스부(6)의 상부측 X 방향 이동 베이스(14)의 상부측 고정 베이스부(5)와의 대향면에 각각 상기 볼 나사(56)와 나사 결합하는 너트(57)를 부착하여, X 방향으로 구동시키도록 구성하고 있다. In addition, the motor 55 and the ball screw 56 are provided at one end (right end) of the upper fixing base 5 (attachment surface), and the rail in which the ball screw 56 extends in the X direction ( 15) The upper side X-direction moving base 14 of the upper side moving base part 6 fixed so that it may become parallel to this rail 15 between each other, and provided in the right end part of the upper side fixing base part 5 The nut 57 for screwing with the said ball screw 56 is attached to the opposing surface with respect to the upper side fixed base part 5, and it is comprised so that it may drive in an X direction.

따라서, 상부측 연결체(8) 및 하부측 연결체(12)와 얼라인먼트 프레임(4)은 일체로 이동하기 때문에, 상기 4개의 볼 나사 장치(이하, 하부측 X 방향용 구동 장치를 A, 하부 좌측 Y 방향용 구동 장치를 B, 하부 우측 Y 방향용 구동 장치를 C, 상부측 X 방향용 구동 장치를 D로 한다)에 의한 각 이동 베이스의 이동량을 조정함으로써, 상부측 연결체(8) 및 하부측 연결체(12)와 얼라인먼트 프레임(4)을 X, Y 및 θ 방향으로 자유롭게 이동시킬 수 있다. Therefore, since the upper side connecting body 8, the lower side connecting body 12, and the alignment frame 4 move integrally, the four ball screw devices (hereinafter, the driving device for the lower side X direction are referred to as A, lower part). The upper side connecting body 8 and the amount of movement of each moving base by B in the left Y direction driving device, C in the lower right Y direction driving device, and D in the upper X direction driving device. The lower connection body 12 and the alignment frame 4 can be freely moved in the X, Y and θ directions.

예컨대 도 7에 도시한 바와 같이, A에 의해 하부측 X 방향 이동 베이스(23)를 좌측 방향으로 보내고, D에 의해 상부측 X 방향 이동 베이스(14)를 우측 방향으로 보내며, B에 의해 좌측의 하부측 Y 방향 이동 베이스(20)를 상측 방향으로 보내고, C에 의해 우측의 하부측 Y 방향 이동 베이스(20)를 하측 방향으로 보냄으로써, 크로스 롤러 베어링을 통해 얼라인먼트 프레임(4)[마스크(3)]을 회전시킬 수 있고, 이들 A∼D에 의한 이송 방향 및 이송량을 각각 독립적으로 제어함으로써, 얼라인먼트 마크에 기초하여 마스크(3)를 정밀하게 기판(2)에 대한 위치를 맞추는 것이 가능해진다. For example, as shown in FIG. 7, A sends the lower side X-direction moving base 23 to the left direction, D sends the upper side X-direction moving base 14 to the right direction, and B causes By sending the lower Y-direction moving base 20 in the upward direction and sending the lower Y-direction moving base 20 on the right side by C downward, the alignment frame 4 (mask 3 through the cross roller bearing). ), And by independently controlling the conveying direction and the conveying amount by these A to D, it becomes possible to precisely position the mask 3 with respect to the board | substrate 2 based on the alignment mark.

또한, 본 실시예에서는, 하부측 구동 기구로 얼라인먼트 프레임(4) 및 마스크(3)의 질량을 지지해야 하기 때문에, 부하에 적합한 에어압을 공급함으로써 질량을 캔슬하여 Y축의 구동 부하를 저감시키는 밸런서 실린더(62)를 설치하고 있다. 또한, 하부측 구동 기구와의 결합부는 얼라인먼트 동작을 제한하지 않도록 LM 가이드(63)를 통해 결합하고 있다. In addition, in this embodiment, since the mass of the alignment frame 4 and the mask 3 must be supported by the lower side drive mechanism, the balancer which cancels a mass by supplying the air pressure suitable for a load, and reduces the drive load of a Y-axis. The cylinder 62 is provided. In addition, the engaging portion with the lower side drive mechanism is engaged via the LM guide 63 so as not to restrict the alignment operation.

또한, 본 실시예에서, 기판(2)의 로크 기구 및 마스크(3)에 대한 왕복 이동 기구는, 이하와 같이 구성하고 있다. In addition, in this embodiment, the locking mechanism of the board | substrate 2 and the reciprocating movement mechanism with respect to the mask 3 are comprised as follows.

기판(2)의 로크 기구는, 도 3, 도 4에 도시한 바와 같이, 기판(2)[기판 트레이(41)]을 상승시키는 편심 캠(32)과, 편심 캠(32)에 의해 상승시킨 기판 트레이(41)의 하부 가이드체(50)의 바닥면의 감입 구멍에 감입하는 기판 트레이 로크 핀[편심 캠(32)과 함께 마스크(3)에 대하여 왕복 이동함]과, 기판 트레이(41)가 상승했을 때, 상부 가이드체(48)의 바닥면에 형성한 V자홈에 감입하는 가이드 롤러(47)의 테이퍼형 롤러체로 구성하고 있다. The locking mechanism of the board | substrate 2 was raised by the eccentric cam 32 which raises the board | substrate 2 (substrate tray 41), and the eccentric cam 32, as shown in FIG. A substrate tray lock pin (reciprocating with respect to the mask 3 together with the eccentric cam 32) which penetrates into the insertion hole of the bottom surface of the lower guide body 50 of the substrate tray 41, and the substrate tray 41; When it rises, it is comprised by the tapered roller body of the guide roller 47 penetrating into the V-shaped groove formed in the bottom surface of the upper guide body 48. As shown in FIG.

또한, 마스크(3)에 대한 왕복 이동 기구는 도 3, 도 4에 도시한 바와 같이, 편심 캠(32)을 지지하는 지지체(66)와, 가이드 롤러(47)를 지지하는 지지체(69)와, 이들 지지체(66, 69)를 진공조(1)에 대하여 마스크(3)의 면 방향과 수평 방향에 직교하는 방향으로 슬라이드 가능하게 지지하는 LM 가이드(67)와, 이들 지지체(66, 69)를 슬라이드 이동시키는 슬라이드 이동 기구(75)로 구성하고 있다. 이 슬라이드 이동 기구(75)는, 서보 모터 및 이 서보 모터에 의해 구동하는 볼 나사 유닛과, 이 볼 나사 유닛에 의해 LM 가이드(76)를 따라 마스크(3)의 면 방향과 수평 방향에 직교하는 방향으로 이동하는 이동 베이스(78)와, 이 이동 베이스(78)와 지지체(66, 69)를 연결하는 연결부(74)로 구성하고 있다. In addition, the reciprocating mechanism with respect to the mask 3 is a support body 66 which supports the eccentric cam 32, the support body 69 which supports the guide roller 47, as shown in FIG. And an LM guide 67 for slidably supporting the supports 66 and 69 in the direction perpendicular to the plane direction and the horizontal direction of the mask 3 with respect to the vacuum chamber 1, and these supports 66 and 69. Is constituted by a slide moving mechanism 75 for sliding the slides. This slide movement mechanism 75 is orthogonal to the surface direction and the horizontal direction of the mask 3 along the LM guide 76 by the servomotor and the ball screw unit driven by this servomotor. It consists of the movement base 78 which moves to a direction, and the connection part 74 which connects this movement base 78 and support bodies 66 and 69. As shown in FIG.

도면 중, 부호 64는 편심 캠(32)을 회전시키는 회전축, 65는 회전축(64)을 구동하는 구동 모터, 68은 왕복 이동 기구에 의해 마스크(3)에 대하여 기판(2)을 내리 눌렀을 때의 과도한 밀착을 방지하기 위한 스프링, 77은 벨로우즈이다. In the figure, reference numeral 64 denotes a rotary shaft for rotating the eccentric cam 32, 65 denotes a drive motor for driving the rotary shaft 64, and 68 denotes a case where the substrate 2 is pressed against the mask 3 by a reciprocating mechanism. A spring to prevent excessive close contact, 77 is a bellows.

이상의 구성의 본 실시예에 의한 얼라인먼트 동작을 설명한다. The alignment operation according to the present embodiment of the above configuration will be described.

성막실에 마스크(3) 및 기판(2)을 반송 기구(반송 롤러 및 가이드 롤러)에 의해 각각 반송한다. 또한, 본 실시예에서는 이들 반송 롤러 및 가이드 롤러를 반송 방향과 수평 방향에 직교하는 방향으로 마스크 반송용 및 기판 반송용 2열 병설하고 있다. 물론 3열 이상 병설하여도 좋다. The mask 3 and the board | substrate 2 are conveyed to a film-forming chamber by a conveyance mechanism (conveyance roller and a guide roller), respectively. In addition, in the present Example, these conveyance rollers and guide rollers are arranged in two rows for mask conveyance and substrate conveyance in the direction orthogonal to a conveyance direction and a horizontal direction. Of course, you may add three or more rows together.

성막실에 반송된 마스크(3) 및 기판(2)을 각각, 마스크(3) 및 기판(2)을 아암 등으로 기계적으로 임시로 위치 결정하는 프리얼라인먼트 기구에 의해, 위치 결정핀(36, 38) 및 기판 트레이 로크 핀이 각각 감입 구멍에 감입할 수 있는 위치로 조정 이동한다. Positioning pins 36 and 38 by a pre-alignment mechanism for mechanically and temporarily positioning the mask 3 and the substrate 2 conveyed to the film formation chamber, respectively, by means of an arm or the like. ) And the substrate tray lock pin are moved to a position where they can be penetrated into the indentation holes, respectively.

프리얼라인먼트된 마스크(3)의 감입 구멍(37, 39)에, 위치 결정핀(36, 38)을 감입시켜, 마스크(3)[마스크 트레이(42)]를 각 연결체(8, 12)에 대하여 고정한다. Positioning pins 36 and 38 are inserted into the fitting holes 37 and 39 of the prealigned mask 3, and the mask 3 (mask tray 42) is attached to each of the connecting bodies 8 and 12. Fix it.

또한, 기판(2)에 대해서는 기판 트레이 로크 핀을 상승시키면서 반송 롤러 중 일부의 편심 캠(32)의 회전에 의해 기판 트레이(41)를 상승시켜 얼라인먼트 위치[마스크(3)와 기판(2)의 얼라인먼트 마크가 어느 정도 중첩되는 위치]로 이동시키고(도 3), 이 얼라인먼트 위치에서 기판 트레이 로크 핀을 감입 구멍에 감입시켜, 진공조(1)에 대하여 고정한다. Moreover, with respect to the board | substrate 2, raising the board | substrate tray lock pin, the board | substrate tray 41 is raised by rotation of the eccentric cam 32 of some of the conveyance rollers, and the alignment position (mask 3 and board | substrate 2 of Position where the alignment mark overlaps to some extent (FIG. 3), and the substrate tray lock pin is inserted into the insertion hole at this alignment position and fixed to the vacuum chamber 1.

기판(2)을 계측 위치로 이동시킨 후, CCD 카메라로 취득한 얼라인먼트 마크의 위치 정보를 바탕으로 구동 제어 장치 내에서 마스크 트레이(42)의 위치 보정량을 산출하고, 이 위치 보정량으로부터 얼라인먼트 프레임(4) 및 마스크(3)의 이동량(각 X 방향용 구동 장치 및 Y 방향용 구동 장치에 의한 이송량)을 산출하며, 이 산출한 이동량을 바탕으로 각 구동 장치를 구동시켜 얼라인먼트[마스크(3)의 기판(2)에 대한 위치 맞춤]를 행한다.After moving the board | substrate 2 to a measurement position, the position correction amount of the mask tray 42 is computed in the drive control apparatus based on the position information of the alignment mark acquired with the CCD camera, and the alignment frame 4 from this position correction amount And the amount of movement of the mask 3 (the amount of transfer by the driving apparatus for each X direction and the driving apparatus for the Y direction), and based on the calculated movement amount, the respective driving apparatus is driven to align the substrate (the substrate of the mask 3 ( 2) Alignment].

얼라인먼트 종료 후, 기판(2)을 마스크(3)에 근접하도록 왕복 이동 기구에 의해 이동시켜(도 4), 기판(2)과 마스크(3)를 밀착시켜 기판 트레이(41)의 오목부에 냉각판 및 마그넷판을 구비한 판체(51)를 설치하고, 이 상태로 CCD 카메라로 얼라인먼트 마크의 위치 정보를 취득하며, 위치 맞춤이 기준 치수 내에 들어가 있는지를 구동 제어 장치로 판정하여, 얼라인먼트 마크의 어긋남이 기준 치수 내이면 그대로 성막을 시작하고, 기준 치수 내가 아니면 상기 위치 보정량 및 상기 이동량을 산출하여 기준 치수 내가 될 때까지 반복하여 얼라인먼트를 행한다. After completion of the alignment, the substrate 2 is moved by a reciprocating mechanism so as to be close to the mask 3 (FIG. 4), and the substrate 2 and the mask 3 are brought into close contact with each other to cool the recesses of the substrate tray 41. The plate body 51 provided with the plate and the magnet plate is provided, and in this state, the position information of the alignment mark is acquired by a CCD camera, the drive control device determines whether the alignment is within the reference dimension, and the alignment mark is displaced. Film formation starts as it is within this reference dimension, and if it is not within the reference dimension, the position correction amount and the movement amount are calculated, and the alignment is repeated until it is within the reference dimension.

또한, 본 실시예에서는, 마스크(3)측을 움직임으로써 얼라인먼트를 행하고 있지만, 기판(2)측을 움직이도록 마찬가지로 구성하여도 좋다. 또한, 본 실시예에서는, 진공조(1)의 상하에 각각 상부측 구동 기구 및 하부측 구동 기구를 설치한 구성이지만, X 방향용 구동 장치 및 Y 방향용 구동 장치를 구비한 상부측 구동 기구 또는 하부측 구동 기구만을 설치하는 구성으로 하여도 좋다. In addition, in this embodiment, although alignment is performed by moving the mask 3 side, you may comprise similarly so that the board | substrate 2 side may move. In addition, in this embodiment, although the upper side drive mechanism and the lower side drive mechanism were provided above and below the vacuum chamber 1, the upper side drive mechanism provided with the drive device for X direction, and the drive device for Y direction, or It is good also as a structure which provides only a lower side drive mechanism.

본 실시예는 전술한 바와 같이 구성했기 때문에, 진공조(1)를 포함하는 성막실(챔버) 내에 직립 상태로 반송되는 기판(2)과 마스크(3)의 위치 맞춤을, 상부측 이동 베이스부(6) 및 하부측 이동 베이스부(10)를 각각 상하의 각 고정 베이스부(5, 9)에 대하여 이동시켜, 이 상하의 각 이동 베이스부(6, 10)에 설치되는 상부측 연결체(8) 및 하부측 연결체(12)를 통해 얼라인먼트 프레임(4) 및 이 얼라인먼트 프레임(4)과 일체로 이동하도록 부착되는 마스크(3)를 기판(2)에 대하여 X, Y 및 θ 방향으로 조정 이동함으로써 행하기 때문에, 종래와 같이 얼라인먼트 구동 기구를 반송 방향과 수평 방향으로 직교하는 방향으로 돌출시키지 않고, 진공조(1)의 상하로 콤팩트하게 분할 배치하는 것이 가능해져, 그 만큼 평면 레이아웃상의 설치 스페이스를 가급적 작게 할 수 있다. Since the present embodiment is constituted as described above, the alignment of the substrate 2 and the mask 3, which is conveyed in an upright state in the film formation chamber (chamber) including the vacuum chamber 1, is the upper side moving base portion. (6) and the upper side connecting body (8) provided in the upper and lower movable base portions (6, 10) by moving the lower and movable base portions (10) with respect to the upper and lower fixed base portions (5, 9), respectively. And adjusting and moving the alignment frame 4 and the mask 3 attached to the alignment frame 4 integrally with the alignment frame 4 in the X, Y, and θ directions with respect to the substrate 2 through the lower connection body 12. As a result, it is possible to divide and arrange the alignment drive mechanism compactly in the vertical direction of the vacuum chamber 1 without protruding the alignment drive mechanism in the direction orthogonal to the conveying direction and the horizontal direction as in the prior art. It can be made as small as possible.

또한, 강체로서의 챔버에 각 고정 베이스부(5, 9)를 설치하기 때문에, 위치 맞춤 정밀도도 충분히 확보할 수 있다. 또한, 중앙의 공간 부분을 크게 할 수 있어, 마스크 냉각 기구나 기판 흡착 기구 등의 설치가 그 만큼 용이해진다. 또한 마스크(3)의 유지 모먼트가 작아져, 위치 맞춤 정밀도에 대한 영향을 적게 할 수 있고, 그 만큼 기판 사이즈의 대형화에 대응할 수 있게 된다. 따라서, 구동 기구를 상하로 분할하여 그 만큼 콤팩트하게 할 수 있고, 또한 이 구동 기구와 각 연결체(8, 12)의 얼라인먼트 프레임(4)과의 연결부 사이의 거리를 짧게 할 수 있기 때문에, 그 만큼 정밀한 위치 맞춤 조정 이동이 가능해진다. Moreover, since each fixed base part 5, 9 is provided in the chamber as a rigid body, positioning accuracy can also be fully ensured. In addition, the central space portion can be enlarged, and installation of a mask cooling mechanism, a substrate adsorption mechanism, and the like becomes easy. In addition, the holding moment of the mask 3 is reduced, so that the influence on the positioning accuracy can be reduced, and accordingly, the substrate size can be increased. Therefore, since the drive mechanism can be divided up and down, it can be made compact, and the distance between this drive mechanism and the connection part of the alignment frame 4 of each connecting body 8 and 12 can be shortened. Precise positioning movement is possible.

또한, 상하의 각 이동 베이스부(6, 10)를 이동시키기 위한 구동 장치를, 진공조(1)의 상부 및 하부에 각각 분할하여 설치할 수 있고, 정해진 간격을 두고 설치한 한 쌍(2개)의 하부측 이동 베이스부(10)를 하부측 고정 베이스부(9)에 대하여 X 방향으로 이동시키는 볼 나사 장치(1축) 및 Y 방향으로 이동시키는 볼 나사 장치(각 이동 베이스부에 각각 총 2축)를 하부측에 설치하고, 상부측 이동 베이스부(6)를 상부측 고정 베이스부(5)에 대하여 X 방향으로 이동시키는 볼 나사 기구(1축)를 상부측에 설치하며, 각 구동 장치에 의한 각 이동 베이스부의 이동량을 조정 설정함으로써, 얼라인먼트 프레임(4)을 X, Y 및 θ 방향으로 자유롭게 조정 이동시킬 수 있고, 또한 상부측의 구동 장치를 적게 하여 보다 안정적으로 진공조에 얼라인먼트 구동 기구를 설치하는 것 등이 가능해진다. In addition, a drive device for moving the upper and lower movable base parts 6 and 10 can be provided separately in the upper part and the lower part of the vacuum chamber 1, and a pair (two) provided at predetermined intervals is provided. Ball screw device (one axis) for moving the lower side moving base part 10 in the X direction with respect to the lower side fixing base part 9 and ball screw device for moving in the Y direction (two axes in total, respectively) ) Is installed on the lower side, and the ball screw mechanism (one shaft) for moving the upper side moving base part 6 in the X direction with respect to the upper side fixing base part 5 is installed on the upper side, By adjusting and setting the movement amount of each moving base portion, the alignment frame 4 can be freely adjusted and moved in the X, Y and θ directions, and the alignment driving mechanism is installed in the vacuum chamber more stably with fewer driving devices on the upper side. Something like It is function.

또한, 진공조(1) 내(진공측)에 배치되는 것은 각 연결체(8, 12)의 얼라인먼트 프레임(4)과의 연결부뿐이며, 얼라인먼트 구동 기구의 마찰 접촉 부위가 모두 진공조(1)의 외부(대기측)에 설치되기 때문에, 그 만큼 진공조(1)의 내부를 청정한 분위기로 유지할 수 있어, 성막되는 박막을 보다 고품질의 것으로 하는 것이 가능해진다. Moreover, only the connection part with the alignment frame 4 of each connecting body 8 and 12 is arrange | positioned in the vacuum chamber 1 (vacuum side), and all the frictional contact parts of the alignment drive mechanism of the vacuum chamber 1 Since it is provided outside (atmosphere side), the inside of the vacuum chamber 1 can be maintained in a clean atmosphere by that much, and it becomes possible to make a thin film formed into a higher quality.

따라서, 본 실시예는, 위치 맞춤 정밀도를 확보하면서 공간 절약을 실현하고, 제4 세대 이상의 대형 기판에도 대응 가능하여 매우 실용성이 뛰어나게 된다.Therefore, the present embodiment realizes space saving while ensuring positioning accuracy, and can cope with large-sized substrates of the fourth generation or more, thereby making it extremely practical.

Claims (6)

진공조 내에서 직립 상태로 유지된 기판에 마스크를 통해 성막 재료를 부착시켜 성막을 행하는 성막 장치로서, 상기 마스크를 직립 상태로 부착한 얼라인먼트 프레임을 상기 기판에 대하여 조정 이동하여, 상기 마스크가 상기 기판에 대하여 적정 위치가 되도록 상기 마스크와 상기 기판의 위치를 맞추는 얼라인먼트 구동 기구를 구비하고, 이 얼라인먼트 구동 기구는, 상기 진공조의 외부에 설치되고 이 진공조의 상부측에 고정되는 상부측 고정 베이스부와, 이 상부측 고정 베이스부에 대하여 마스크 표면에 평행한 X 방향 및 Y 방향으로 이동 가능한 상부측 이동 베이스부와, 일단이 상기 마스크 표면 위의 회전 방향인 θ 방향으로 회전 가능하게 상기 상부측 이동 베이스부에 지지되고, 타단이 상기 진공조의 상부에 형성한 상부 관통 구멍을 통해 상기 진공조 내의 상기 얼라인먼트 프레임의 상부에 연결되는 상부측 연결체를 포함하는 상부측 구동 기구 또는, 상기 진공조의 외부에 설치되고 이 진공조의 하부측에 고정되는 하부측 고정 베이스부와, 이 하부측 고정 베이스부에 대하여 마스크 표면에 평행한 X 방향 및 Y 방향으로 이동 가능한 하부측 이동 베이스부와, 일단이 상기 마스크 표면 위의 회전 방향인 θ 방향으로 회전 가능하게 상기 하부측 이동 베이스부에 지지되고, 타단이 상기 진공조의 하부에 형성한 하부 관통 구멍을 통해 상기 진공조 내의 상기 얼라인먼트 프레임의 하부에 연결되는 하부측 연결체를 포함하는 하부측 구동 기구로 구성하며, 상기 상부측 연결체 및 상기 하부측 연결체의 상기 얼라인먼트 프레임과의 연결부는 상기 상부 관통 구멍 및 상기 하부 관통 구멍을 각각 기밀 상태로 밀봉하는 벨로우즈를 통해 상기 진공조 내에 설치된 것을 특징으로 하는 성막 장치.A film forming apparatus for depositing a film by attaching a film forming material to a substrate held in an upright state in a vacuum chamber, wherein the alignment frame having the mask attached in an upright state is adjusted and moved with respect to the substrate so that the mask is placed on the substrate. An alignment driving mechanism for aligning the position of the mask and the substrate so as to be in a proper position with respect to the upper side, and the alignment driving mechanism includes: an upper side fixed base portion provided outside the vacuum chamber and fixed to an upper side of the vacuum chamber; An upper movable base portion movable in X and Y directions parallel to the mask surface with respect to the upper fixed base portion, and the upper movable base portion rotatably rotated in a θ direction where one end is a rotational direction on the mask surface; Supported by the upper end, and the other end is formed through the upper through hole formed in the upper portion of the vacuum chamber. An upper side driving mechanism including an upper side connecting body connected to an upper portion of the alignment frame in the vacuum chamber, or a lower side fixing base portion provided outside the vacuum chamber and fixed to a lower side of the vacuum chamber, and the lower side fixing A lower side moving base part movable in the X direction and the Y direction parallel to the mask surface, the one end being supported by the lower side moving base part to be rotatable in the θ direction which is a rotational direction on the mask surface, A lower side driving mechanism including a lower side connecting member connected to a lower part of the alignment frame in the vacuum chamber through a lower through hole formed at a lower portion of the vacuum chamber, the upper connecting member and the lower side A connecting portion of the connecting body with the alignment frame hermetically seals the upper through hole and the lower through hole, respectively. A film-forming device, characterized in that provided in the vacuum chamber through a bellows for sealing state. 진공조 내에서 직립 상태로 유지된 기판에 마스크를 통해 성막 재료를 부착시켜 성막을 행하는 성막 장치로서, 상기 마스크를 직립 상태로 부착한 얼라인먼트 프레임을 상기 기판에 대하여 조정 이동하여, 상기 마스크가 상기 기판에 대하여 적정 위치가 되도록 상기 마스크와 상기 기판의 위치를 맞추는 얼라인먼트 구동 기구를 구비하고, 이 얼라인먼트 구동 기구는, 상기 진공조의 외부에 설치되고 이 진공조의 상부측에 고정되는 상부측 고정 베이스부와, 이 상부측 고정 베이스부에 대하여 마스크 표면에 평행한 X 방향 및 Y 방향으로 이동 가능한 상부측 이동 베이스부와, 일단이 상기 마스크 표면 위의 회전 방향인 θ 방향으로 회전 가능하게 상기 상부측 이동 베이스부에 지지되고, 타단이 상기 진공조의 상부에 형성한 상부 관통 구멍을 통해 상기 진공조 내의 상기 얼라인먼트 프레임의 상부에 연결되는 상부측 연결체를 포함하는 상부측 구동 기구와, 상기 진공조의 외부에 설치되고 이 진공조의 하부측에 고정되는 하부측 고정 베이스부와, 이 하부측 고정 베이스부에 대하여 마스크 표면에 평행한 X 방향 및 Y 방향으로 이동 가능한 하부측 이동 베이스부와, 일단이 상기 마스크 표면 위의 회전 방향인 θ 방향으로 회전 가능하게 상기 하부측 이동 베이스부에 지지되고, 타단이 상기 진공조의 하부에 형성한 하부 관통 구멍을 통해 상기 진공조 내의 상기 얼라인먼트 프레임의 하부에 연결되는 하부측 연결체를 포함하는 하부측 구동 기구로 구성되며, 상기 상부측 연결체 및 상기 하부측 연결체의 상기 얼라인먼트 프레임과의 연결부는 상기 상부 관통 구멍 및 상기 하부 관통 구멍을 각각 기밀 상태로 밀봉하는 벨로우즈를 통해 상기 진공조 내에 설치된 것을 특징으로 하는 성막 장치. A film forming apparatus for depositing a film by attaching a film forming material to a substrate held in an upright state in a vacuum chamber, wherein the alignment frame having the mask attached in an upright state is adjusted and moved with respect to the substrate so that the mask is placed on the substrate. An alignment driving mechanism for aligning the position of the mask and the substrate so as to be in a proper position with respect to the upper side, and the alignment driving mechanism includes: an upper side fixed base portion provided outside the vacuum chamber and fixed to an upper side of the vacuum chamber; An upper movable base portion movable in X and Y directions parallel to the mask surface with respect to the upper fixed base portion, and the upper movable base portion rotatably rotated in a θ direction where one end is a rotational direction on the mask surface; Supported by the upper end, and the other end is formed through the upper through hole formed in the upper portion of the vacuum chamber. An upper side driving mechanism including an upper side connecting body connected to an upper portion of the alignment frame in the vacuum chamber, a lower side fixing base portion provided outside the vacuum chamber and fixed to a lower side of the vacuum chamber, and the lower side fixing A lower side moving base part movable in the X direction and the Y direction parallel to the mask surface, the one end being supported by the lower side moving base part to be rotatable in the θ direction which is a rotational direction on the mask surface, A lower side driving mechanism including a lower side connecting body connected to a lower part of the alignment frame in the vacuum chamber through a lower through hole formed at the lower end of the vacuum chamber, the upper connecting body and the lower side The connecting portion of the connecting body with the alignment frame is formed in an airtight manner in the upper through hole and the lower through hole, respectively. Through the bellows for sealing a film-forming device, it characterized in that provided in the vacuum chamber. 진공조 내에서 직립 상태로 유지된 기판에 마스크를 통해 성막 재료를 부착시켜 성막을 행하는 성막 장치로서, 상기 마스크를 직립 상태로 부착한 얼라인먼트 프레임을 상기 기판에 대하여 조정 이동하여, 상기 마스크가 상기 기판에 대하여 적정 위치가 되도록 상기 마스크와 상기 기판과의 위치를 맞추는 얼라인먼트 구동 기구를 구비하고, 이 얼라인먼트 구동 기구는, 상기 진공조의 외부에 설치되고 이 진공조의 상부측에 고정되는 상부측 고정 베이스부와, 이 상부측 고정 베이스부에 대하여 마스크 표면에 평행한 X 방향 및 Y 방향으로 이동 가능한 상부측 이동 베이스부와, 일단이 상기 마스크 표면 위의 회전 방향인 θ 방향으로 회전 가능하게 상기 상부측 이동 베이스부에 지지되고, 타단이 상기 진공조의 상부에 형성한 상부 관통 구멍을 통해 상기 진공조 내의 상기 얼라인먼트 프레임의 상부에 연결되는 상부측 연결체를 포함하는 상부측 구동 기구 또는, 상기 진공조의 외부에 설치되고 이 진공조의 하부측에 고정되는 하부측 고정 베이스부와, 이 하부측 고정 베이스부에 대하여 마스크 표면에 평행한 X 방향 및 Y 방향으로 이동 가능한 하부측 이동 베이스부와, 일단이 상기 마스크 표면 위의 회전 방향인 θ 방향으로 회전 가능하게 상기 하부측 이동 베이스부에 지지되고, 타단이 상기 진공조의 하부에 형성한 하부 관통 구멍을 통해 상기 진공조 내의 상기 얼라인먼트 프레임의 하부에 연결되는 하부측 연결체를 포함하는 하부측 구동 기구로 구성되고, 상기 상부측 구동 기구 또는 상기 하부측 구동 기구에, X 방향용 구동 장치 또는 Y 방향용 구동 장치 또는 그 양쪽 모두를 설치하고, 이 X 방향용 구동 장치 및 Y 방향용 구동 장치에 의해 상기 상부측 이동 베이스부 또는 상기 하부측 이동 베이스부를 상부측 고정 베이스부 또는 하부측 고정 베이스부에 대하여 X 방향 및 Y 방향으로 이동시킴으로써 상기 상부측 연결체 또는 상기 하부측 연결체를 통해 상기 얼라인먼트 프레임을 X, Y 및 θ 방향으로 조정 이동할 수 있도록 구성하고, 상기 상부측 연결체 및 상기 하부측 연결체의 상기 얼라인먼트 프레임과의 연결부는 상기 상부 관통 구멍 및 상기 하부 관통 구멍을 각각 기밀 상태로 밀봉하는 벨로우즈를 통해 상기 진공조 내에 설치한 것을 특징으로 하는 성막 장치. A film forming apparatus for depositing a film by attaching a film forming material to a substrate held in an upright state in a vacuum chamber, wherein the alignment frame having the mask attached in an upright state is adjusted and moved with respect to the substrate so that the mask is placed on the substrate. An alignment driving mechanism for aligning the position of the mask with the substrate so as to be in a proper position with respect to the upper side, and the alignment driving mechanism includes an upper fixed base portion which is provided outside the vacuum chamber and fixed to an upper side of the vacuum chamber; And an upper side movable base portion movable in the X and Y directions parallel to the mask surface with respect to the upper side fixed base portion, and the upper side movable base so that one end is rotatable in the θ direction which is a rotational direction on the mask surface. Supported by the upper portion, and the other end is formed through the upper through hole formed in the upper portion of the vacuum chamber. An upper side driving mechanism including an upper side connecting body connected to an upper portion of the alignment frame in the vacuum chamber, or a lower side fixing base portion provided outside the vacuum chamber and fixed to a lower side of the vacuum chamber, and the lower side fixing A lower side moving base part movable in the X direction and the Y direction parallel to the mask surface, the one end being supported by the lower side moving base part to be rotatable in the θ direction which is a rotational direction on the mask surface, A lower side driving mechanism including a lower side connecting member connected to a lower portion of the alignment frame in the vacuum chamber through a lower through hole formed at a lower portion of the vacuum chamber, and the upper side driving mechanism or the lower side In the drive mechanism, a drive device for the X direction, a drive device for the Y direction, or both thereof is provided, and the X direction The upper side connecting body by moving the upper side moving base part or the lower side moving base part in the X direction and the Y direction with respect to the upper side fixing base part or the lower side fixing base part by a driving device and a driving device for Y direction, or The alignment frame is configured to adjust and move in the X, Y, and θ directions through the lower side connecting body, and the connection portion between the upper side connecting body and the alignment frame of the lower side connecting body includes the upper through hole and the A film forming apparatus, wherein the lower through hole is provided in the vacuum chamber through a bellows that seals the airtight state, respectively. 진공조 내에서 직립 상태로 유지된 기판에 마스크를 통해 성막 재료를 부착시켜 성막을 행하는 성막 장치로서, 상기 마스크를 직립 상태로 부착한 얼라인먼트 프레임을 상기 기판에 대하여 조정 이동하여, 상기 마스크가 상기 기판에 대하여 적정 위치가 되도록 상기 마스크와 상기 기판의 위치를 맞추는 얼라인먼트 구동 기구를 구비하고, 이 얼라인먼트 구동 기구는, 상기 진공조의 외부에 설치되고 이 진공조의 상부측에 고정되는 상부측 고정 베이스부와, 이 상부측 고정 베이스부에 대하여 마스크 표면에 평행한 X 방향 및 Y 방향으로 이동 가능한 상부측 이동 베이스부와, 일단이 상기 마스크 표면 위의 회전 방향인 θ 방향으로 회전 가능하게 상기 상부측 이동 베이스부에 지지되고, 타단이 상기 진공조의 상부에 형성한 상부 관통 구멍을 통해 상기 진공조 내의 상기 얼라인먼트 프레임의 상부에 연결되는 상부측 연결체를 포함하는 상부측 구동 기구와, 상기 진공조의 외부에 설치되고 이 진공조의 하부측에 고정되는 하부측 고정 베이스부와, 이 하부측 고정 베이스부에 대하여 마스크 표면에 평행한 X 방향 및 Y 방향으로 이동 가능한 하부측 이동 베이스부와, 일단이 상기 마스크 표면 위의 회전 방향인 θ 방향으로 회전 가능하게 상기 하부측 이동 베이스부에 지지되고, 타단이 상기 진공조의 하부에 형성한 하부 관통 구멍을 통해 상기 진공조 내의 상기 얼라인먼트 프레임의 하부에 연결되는 하부측 연결체를 포함하는 하부측 구동 기구로 구성되며, 상기 상부측 구동 기구 및 상기 하부측 구동 기구에, 각각 X 방향용 구동 장치 또는 Y 방향용 구동 장치 또는 그 양쪽 모두를 설치하고, 이 X 방향용 구동 장치 및 Y 방향용 구동 장치에 의해 상기 상부측 이동 베이스부 및 상기 하부측 이동 베이스부를 상부측 고정 베이스부 및 하부측 고정 베이스부에 대하여 X 방향 및 Y 방향으로 이동시킴으로써, 상기 상부측 연결체 및 상기 하부측 연결체를 통해 상기 얼라인먼트 프레임을 X, Y 및 θ 방향으로 조정 이동할 수 있도록 구성하고, 상기 상부측 연결체 및 상기 하부측 연결체의 상기 얼라인먼트 프레임과의 연결부는 상기 상부 관통 구멍 및 상기 하부 관통 구멍을 각각 기밀 상태로 밀봉하는 벨로우즈를 통해 상기 진공조 내에 설치한 것을 특징으로 하는 성막 장치. A film forming apparatus for depositing a film by attaching a film forming material to a substrate held in an upright state in a vacuum chamber, wherein the alignment frame having the mask attached in an upright state is adjusted and moved with respect to the substrate so that the mask is placed on the substrate. An alignment driving mechanism for aligning the position of the mask and the substrate so as to be in a proper position with respect to the upper side, and the alignment driving mechanism includes: an upper side fixed base portion provided outside the vacuum chamber and fixed to an upper side of the vacuum chamber; An upper movable base portion movable in X and Y directions parallel to the mask surface with respect to the upper fixed base portion, and the upper movable base portion rotatably rotated in a θ direction where one end is a rotational direction on the mask surface; Supported by the upper end, and the other end is formed through the upper through hole formed in the upper portion of the vacuum chamber. An upper side driving mechanism including an upper side connecting body connected to an upper portion of the alignment frame in the vacuum chamber, a lower side fixing base portion provided outside the vacuum chamber and fixed to a lower side of the vacuum chamber, and the lower side fixing A lower side moving base part movable in the X direction and the Y direction parallel to the mask surface, the one end being supported by the lower side moving base part to be rotatable in the θ direction which is a rotational direction on the mask surface, A lower side driving mechanism including a lower side connecting member connected to a lower portion of the alignment frame in the vacuum chamber through a lower through hole formed at a lower portion of the vacuum chamber, the upper side driving mechanism and the lower side; The drive mechanism is provided with a drive device for the X direction, a drive device for the Y direction, or both, respectively, for the X direction. The upper side connecting body by moving the upper side moving base part and the lower side moving base part in the X direction and the Y direction with respect to the upper side fixing base part and the lower side fixing base part by the same device and the driving device for Y direction. And adjust the alignment frame in the X, Y, and θ directions through the lower side connecting body, and the connection portion between the upper side connecting body and the lower side connecting body with the alignment frame includes the upper through hole and A film forming apparatus, wherein the lower through hole is provided in the vacuum chamber through a bellows for sealing the lower through hole, respectively. 제4항에 있어서, 상기 마스크 표면에 평행한 상하 방향인 Y 방향으로 상기 하부측 이동 베이스부를 이동시키는 상기 하부측 구동 기구에 설치되는 상기 Y 방향용 구동 장치는, 상기 각 하부측 이동 베이스부를 각각 독립적으로 이동시킬 수 있게 구성되고, 상기 상부측 구동 기구에는 상기 Y 방향용 구동 장치를 설치하지 않는 것을 특징으로 하는 성막 장치. The said Y-direction drive apparatus provided in the said lower side drive mechanism which moves the said lower side moving base part to the Y direction which is the up-down direction parallel to the said mask surface, Each said lower side moving base part, respectively. The film forming apparatus is configured to be movable independently, and the upper driving mechanism is not provided with the driving device for the Y direction. 제4항 또는 제5항에 있어서, 상기 상부측 이동 베이스부는, 상기 상부측 고정 베이스부에 대하여 상기 상부측 이동 베이스부를 X 방향 및 Y 방향으로 안내하는 직동 안내부를 통해 상기 상부측 고정 베이스부에 연결되고, 상기 상부측 연결체는, 상기 각 상부측 이동 베이스부에 대하여 상기 상부측 연결체를 θ 방향으로 안내하는 회동 안내부를 통해 상기 각 상부측 이동 베이스부에 연결되며, 상기 하부측 이동 베이스부는, 상기 하부측 고정 베이스부에 대하여 상기 하부측 이동 베이스부를 X 방향 및 Y 방향으로 안내하는 직동 안내부를 통해 상기 하부측 고정 베이스부에 연결되고, 상기 하부측 연결체는, 상기 각 하부측 이동 베이스부에 대하여 상기 하부측 연결체를 θ 방향으로 안내하는 회동 안내부를 통해 상기 각 하부측 이동 베이스부에 연결되는 것을 특징으로 하는 성막 장치. 6. The upper fixed base portion according to claim 4 or 5, wherein the upper movable base portion guides the upper movable base portion in an X direction and a Y direction with respect to the upper fixed base portion. The upper side connecting body is connected to each upper side moving base part through a rotation guide part that guides the upper side connecting body in the θ direction with respect to the upper side moving base parts. A part is connected to the said lower side fixed base part via the linear guide part which guides the said lower side movable base part to a X direction and a Y direction with respect to the said lower side fixed base part, and the said lower side connection body is each said lower side movement. Connected to each of the lower moving base parts through a rotating guide part which guides the lower connecting member in the θ direction with respect to the base part. A film forming apparatus, characterized in that.
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