KR20130125295A - 펠리클의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

[과제] 1회의 성막 공정으로 복수의 펠리클을 제조하는 방법과 펠리클막의 장력을 균일하게 해서 펠리클을 제조함으로써 프레임의 휨과 펠리클막으로의 주름의 발생을 방지하는 방법을 제공한다.
[해결 수단] 임시 프레임(21)에 임시 부착된 1매의 펠리클막(3)에 결합된 분할 프레임(41)을 첩부한 후에 펠리클막(3)을 절단해서 분할 프레임(41)을 분리하고 프레임에 첩부한 후에 분할 프레임(41)을 제거하는 펠리클의 제조 방법.

Description

펠리클의 제조 방법{METHOD OF MANUFACTURING PELLICLE}

본 발명은 LSI나 액정 디스플레이의 회로를 제조하는 리소그래피의 포토 마스크 등의 방진 커버로서 이용되는 펠리클의 제조 방법에 관한 것이다.

LSI나 초LSI 등의 반도체 제조 또는 액정 디스플레이 등의 제조에 있어서 반도체 웨이퍼 또는 액정용 원판에 광을 조사해서 패턴을 제작하는 리소그래피의 작업이 행하여진다. 이때, 포토 마스크 또는 레티클에 먼지가 부착되어 있으면 먼지가 사입(寫入)되어 전사한 패턴이 변형되거나 에지가 울퉁불퉁하게 되는 것 외에 하지가 검게 오염되는 등의 현상이 발생할 수 있다. 이 작업은 주로 클린룸에서 행해지고 있지만 포토 마스크를 항상 청정하게 유지하는 것은 어렵다. 예를 들면, 리소그래피시에 펠리클을 포토 마스크 상에 탑재해서 포토 마스크의 이물 부착을 방지하면서 초점을 포토 마스크의 패턴 상에 맞추어 노광함으로써 펠리클막 상에 부착된 먼지에 의해 영향을 받지 않고 전사할 수 있다.

최근, 펠리클에도 저비용화가 강하게 요구되도록 되어 오고 있다. 펠리클의 제조 비용 중 가장 높은 비율을 차지하고 있는 것은 펠리클막의 제조 공정이다. 종래의 펠리클의 제조 공정 중 펠리클막의 성막 공정은 1회의 공정으로 1매의 펠리클막밖에 얻어지지 않고 또한 이 공정에는 적어도 몇 시간이 필요로 되었다. 특허문헌 1에는 펠리클막의 제조 방법이 기재되어 있다.

또한, 프레임의 휨은 가능한 한 작은 것이 바람직하고, 이에 첩부(貼付)된 펠리클막에는 주름이 있어서는 안된다. 특허문헌 2에는 펠리클막의 장력을 조정해서 주름의 발생을 방지하는 방법이 기재되어 있다.

일본 특허 공개 제 2004-157229 호 공보 일본 특허 공개 제 2011-158585 호 공보

성막 공정에서 얻어진 펠리클막은 면내에 있어서의 장력이 균일한 것이 요구되지만 1회의 성막 공정으로 얻어진 1매의 펠리클막을 복수로 분할했을 경우에는 그 방향 및 분포, 또는 그 어느 하나가 불균일하게 된다. 장력의 큰 팽팽한 변이 존재할 경우에는 장력의 작용에 의해 프레임에 휨이 발생한다. 또한, 장력의 작은 이완된 변이 존재할 경우에는 프레임의 휨은 발생하지 않지만 프레임으로의 약간의 힘에 의해 펠리클막에 주름이 발생한다. 이들이 발생된 펠리클은 광학적인 노광 품질에 악영향을 주고 노광 영역을 감소시키는 문제점을 초래하고 있다.

본 발명은 상기의 과제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로 1회의 성막 공정으로 복수의 펠리클을 제조하는 방법과, 펠리클막의 장력의 불균일을 해소해서 펠리클을 제조함으로써 프레임의 휨과 펠리클막으로의 주름의 발생을 방지하는 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기의 목적을 달성하기 위해서 이루어진 특허청구 범위의 청구항 1에 기재된 펠리클의 제조 방법은 펠리클막을 프레임에 팽팽히 체결해서 첩부하는 펠리클의 제조 방법에 있어서, 1매의 펠리클막을 임시 프레임 상에 첩부하고, 상기 임시 프레임의 내측 치수보다도 작은 외측 치수의 복수 나열하여 결합된 분할 프레임을 임시 프레임 상의 펠리클막에 접착하고나서 펠리클막을 분할 프레임의 외변을 따라 임시 프레임으로부터 잘라냄과 아울러 결합된 분할 프레임을 분리하며, 각각의 분할 프레임 상에 접착된 펠리클막을 프레임에 첩부하고나서 분할 프레임을 제거하는 것을 특징으로 한다.

청구항 2에 기재된 펠리클막의 제조 방법은 펠리클막을 프레임에 팽팽히 체결해서 첩부하는 펠리클의 제조 방법에 있어서, 성막 기판 상의 1매의 펠리클막을 복수 나열하여 결합된 분할 프레임에 첩부하고, 펠리클막을 분할 프레임의 외변을 따라 성막 기판으로부터 잘라냄과 아울러 결합된 분할 프레임을 분리하고, 각각의 분할 프레임 상에 접착된 펠리클막을 프레임에 첩부하고나서 분할 프레임을 제거하는 것을 특징으로 하는 펠리클의 제조 방법이다.

청구항 3에 기재된 펠리클막의 제조 방법은 청구항 1 또는 2에 기재의 펠리클의 제조 방법으로서, 분할 프레임 상에 접착된 펠리클막을 프레임에 첩부할 때 분할 프레임에 압축 또는 인장의 힘을 가해서 펠리클막을 첩부하고나서 상기 힘을 해방하는 것을 특징으로 한다.

청구항 4에 기재된 펠리클막의 제조 방법은 청구항 1 또는 2에 기재의 펠리클의 제조 방법으로서 분할 프레임 상에 접착된 펠리클막을 프레임에 첩부할 때 프레임에 압축 또는 인장의 힘을 가해서 펠리클막을 첩부하고나서 상기 힘을 해방하는 것을 특징으로 한다.

청구항 5에 기재된 펠리클은 청구항 1 내지 4 중 어느 한 항에 기재된 방법에 의해 제조된 것을 특징으로 한다.

[발명의 효과]

본 발명의 펠리클의 제조 방법에 의하면, 1회의 성막 공정으로 복수의 펠리클막을 취득할 수 있다. 또한, 펠리클막을 프레임에 접착할 때에 펠리클막의 장력을 균일하게 함으로써 프레임의 휨량이 요구 정밀도를 만족함과 아울러 펠리클막에 주름이 발생할 일도 없는 충분히 실용에 제공할 수 있는 펠리클을 취득할 수 있다.

도 1은 본 발명에 의한 제조 방법에 의해 제조된 펠리클의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 2는 펠리클막의 성막 공정의 일례를 나타내는 공정도이다.
도 3은 분할 프레임을 펠리클막에 접착한 후 펠리클막을 분할하는 방법의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 4는 압축 또는 인장의 힘을 가한 분할 프레임을 프레임에 첩부하는 방법의 일례를 나타내는 사시도이다.
도 5는 분할 프레임을 펠리클막에 접착한 후 펠리클막을 분할하는 방법의 다른 예를 설명하는 사시도이다.
도 6은 인장의 힘을 가해서 변형시킨 프레임에 펠리클막을 첩부함으로써 펠리클막의 각 변의 장력의 불균일을 해소하는 방법의 일례를 설명하는 사시도이다.

이하, 본 발명을 실시하기 위한 바람직한 형태에 대해서 상세하게 설명하지만 본 발명의 범위는 이것들의 형태에 한정되는 것은 아니다.

본 발명에 의한 제조 방법에 의해 제조된 펠리클(10)의 사시도를 도 1에 나타낸다. 프레임(2)의 상단면에는 펠리클막 접착층(8)이 형성되고, 이것을 통해서 펠리클막(3)이 팽팽히 체결하여 첩부되어 있다. 프레임(2)의 장변부의 측면에는 통기공(4)과 지그 구멍(5)이 형성되어 있다. 통기공(4)에는 먼지 막이의 필터(7)가 설치되어 있다. 프레임(2)의 하단면에는 포토 마스크에 장착하기 위한 마스크 접착층(6)이 형성되고, 또한 이것을 보호하기 위한 이형층인 세퍼레이터(9)가 형성되어 있다.

도 2에 본 발명에서 이용되는 펠리클막의 성막 공정의 일례를 나타낸다. 도 2(a)에 나타낸 바와 같이, 성막 기판(24)에 다이(31)를 수평으로 이동시켜서 펠리클막 재료 용액(3a)을 도포한다. 도 2(b)에 나타낸 바와 같이, 성막 기판(24)을 가열 장치(32)에 탑재, 가열해서 펠리클막 재료 용액(3a)에 포함되는 용매를 증발시킨 후 냉각한다. 도 2(c)에 나타낸 바와 같이, 펠리클막(3)에 접착층(22)이 일단면에 도포된 임시 프레임(21)(일부 노치 단면)을 접착한다. 도 2(d)에 나타낸 바와 같이, 임시 프레임(21)을 들어올려 펠리클막(3)을 성막 기판(24)으로부터 박리하고, 임시 프레임(21)에 임시 부착된 펠리클막(3)을 얻는다.

도 3(a)에 나타내는 분할 프레임(41)은 약간의 휨성이 있는 재질로 이루어지고, 일단면에 접착층(42)이 형성되어 있다. 또한, 복수 나열하여 핀(45)과 위치 결정 구멍(46)[도 3(b) 참조]에 의해 위치 결정되고, 내측 방향으로 홀딩하는 클립(43)에 의해 결합되어 있다. 결합된 분할 프레임(41)의 외측 치수는 임시 프레임(21)의 내측 치수보다도 작게 형성되어 있다. 임시 프레임(21)에 임시 부착된 펠리클막(3)에 접착층(42)을 통해서 분할 프레임(41)을 접착한다. 커터를 이용해서 분할 프레임(41)의 외변을 따라 펠리클막(3)을 절단하고, 임시 프레임(21)으로부터 떼어낸 후 클립(43)을 떼어내고 분할선 X-X, Y-Y로 절단한다. 도 3(b)에 나타낸 바와 같이, 펠리클막(3)은 분할 프레임(41)에 접착된 상태에서 분할된다.

도 4에 막 첩부 장치(50)를 이용해서 펠리클막(3)을 프레임(2)에 첩부하는 공정의 사시도를 나타낸다. 프레임(2)에는 본 도면에서는 생략되었지만 마스크 접착층(6), 펠리클막 접착층(8) 및 세퍼레이터(9)(도 1 참조)가 부착되어 있다. 막 첩부 장치(50)는 사각 형상이며 분할 프레임(41)을 탑재하는 탑재대(51)와, 이것의 각 모서리부 중 적어도 1개에 설치된 고정부(52)와, 탑재대(51)의 내측에 설치된 승강 탑재대(53)와, 탑재대(51)의 각 변 중 적어도 1개에 설치된 압축 인장 장치(55)로 이루어진다.

분할 프레임(41)은 고정부(52)에 의해 위치 결정되어서 탑재대(51)에 탑재된다. 승강 탑재대(53)의 하면에는 승강 기구(도시되지 않음)가 설치되어 있고, 상승함으로써 탑재된 프레임(2)이 상방으로 이동하고 펠리클막(3)에 부착된다.

압축 인장 장치(55)는 분할 프레임(41) 각 변과 직교하는 방향으로 가동하고, 로드셀(57)에서 검출한 압축 또는 인장의 힘을 연결부(56)를 통해서 파지부(54)에 가한다. 여기서, 압축은 힘을 가하는 방향이 프레임의 변에 대하여 외측으로부터 내측 방향인 것을, 인장은 그 반대인 것을 의미한다. 2점 쇄선은 힘을 가한 상태를 나타내고 있고, 분할 프레임(41)의 한 쌍의 장변에 압축의 힘을, 단변에 인장의 힘을 가했을 경우를 나타내고 있다. 펠리클막(3)의 장력이 각 변에서 불균일할 때는 스테이지(58)를 이동시킴으로써 분할 프레임(41)에 압축 또는 인장의 힘을 가하여 장력이 각 변에서 균일해지도록 한 후 프레임(2)을 펠리클막(3)에 첩부한다. 그 후, 힘을 해방하고 펠리클막(3)의 잉여부를 커터로 잘라냄으로써 도 1에 나타내는 펠리클(10)이 완성된다.

도 5에 본 발명에 의한 펠리클막을 분할하는 방법에 대한 다른 실시형태를 나타낸다. 분할 프레임(41)을 성막 기판(24) 상의 펠리클막(3)에 접착하고 성막 기판(24)으로부터 이간시키면 펠리클막(3)은 분할 프레임(41)에 지지된다. 그 다음에 클립(43)을 떼어내고, 펠리클막(3)을 분할선 X-X, Y-Y와 분할 프레임(41)의 외변을 따라 절단해서 펠리클막(3)이 접착된 분할 프레임(41)을 얻는다. 본 실시형태에 의하면, 임시 프레임을 이용하지 않기 때문에 상기한 실시형태와 비교해서 공정수가 적고 펠리클막의 분할을 신속하게 행할 수 있다는 이점이 있다.

도 4의 펠리클막을 프레임에 접착하는 공정에 있어서의 다른 실시형태로서는 프레임(2) 대신에 압축 또는 인장의 힘을 가해서 변형시킨 프레임을 이용할 수도 있다.

도 6에 프레임을 변형시켜서 펠리클막의 장력의 불균일을 해소하는 방법의 예를 나타낸다. 펠리클막의 장력이 높을 경우에는 프레임(2a)의 외측에 대하여 볼록 형상의 원호 형상이 되도록 각 변에 인장의 힘을 가해서 변형시켜 둔다. 펠리클막을 첩부시킨 후에 인장의 힘을 해방하면 각 변에는 내측으로 리턴하려고 하는 힘 (F)이 발생되므로 직선 형상으로 추이(推移)하고, 이에 따라 펠리클막의 장력은 감소해서 프레임의 휨을 방지할 수 있다. 힘을 가하는 수단으로서는 도 4에 나타내는 압축 인장 장치(55)와 동일한 것을 이용할 수 있다. 로드셀 등의 하중 검출 기구에 의해 프레임의 각 변에 가하는 힘의 방향 및 크기를 적절히 조절함으로써 펠리클막의 장력의 불균일을 해소한다.

또한, 도 4의 막 첩부 장치(50)를 이용해서 펠리클막의 장력을 균일하게 하는 방법과 도 6의 프레임을 변형시켜서 펠리클막의 장력을 균일하게 하는 방법 중 어느 하나를 이용해도 좋고 양방을 조합시켜 동시에 이용해도 좋다. 또한, 프레임 각 변이 외측에 대하여 볼록 형상의 원호 형상이 되도록 미리 제작하고, 펠리클막의 장력에 의해 대략 직선 형상으로 추이시키는 방법을 조합시키는 것도 좋다.

프레임(2)의 재질로서는 알루미늄, 스테인레스, 폴리에틸렌 등을 이용할 수 있다. 광을 투과하는 펠리클막(3)은 니트로셀룰로오스, 초산 셀룰오로스 또는 불소 수지 등을 이용할 수 있다. 마스크 접착층(6)은 폴리부텐 수지, 폴리 초산 비닐 수지, 아크릴 수지, 실리콘 수지 등을 이용할 수 있다.

성막 기판(24)은 석영, 저팽창 글라스 등을 이용할 수 있다. 펠리클막 재료 용액(3a)을 도포하는 방법에 대해서는 슬릿 코트법, 스핀 코트법, 슬릿 앤드 스핀법 및 롤 코트법을 이용할 수 있다. 가열 장치(32)는 핫 플레이트, 적외선 램프 및 오븐 등을 이용할 수 있다.

임시 프레임(21)과 분할 프레임(41)의 휨성이 있는 재질로서는 알루미늄 합금, 마그네슘 합금 등의 경합금, 스테인레스강, 탄소강, 공구강 등의 철계 합금 외에 GFRP, CFRP 등의 수지 복합재 등을 이용할 수 있다. 임시 프레임(21)은 각 변의 휨을 적게 해서 펠리클막(3)의 장력을 높게 하는 관점으로부터 높은 강성을 갖는 스테인레스강이 바람직하다. 분할 프레임(41)은 집광 램프를 이용한 이물 검사로 행하는 것이므로 경량 또한 흑색으로 착색이 용이한 알루미늄 합금이 바람직하다.

도 3 및 도 5에 있어서는 분할 프레임(41)이 4체로 형성되어 있지만 필요에 따라 적절히 수를 증감할 수 있어 예를 들면 2체이여도, 6체이여도 그 이상이여도 좋다.

도 4 중 파지부(54)는 コ자 형상 또는 훅 형상의 지그이고 분할 프레임(41)의 각 변에 하나 또는 복수 설치해도 좋다. 또한, 힘을 가하는 방향은 도시된 방향으로 한정되는 것이 아니고 대향하는 변에서 힘을 가하는 방향이나 크기가 달라도 좋다.

[실시예]

이하에 실시예를 들어서 본 발명을 구체적으로 설명하지만 본 발명은 이들에 전혀 제한되는 것은 아니다.

클래스(10)의 클린룸 내에 있어서 도 2(a)~(d)에 나타내는 공정으로 펠리클막을 제조했다. 도 2(a)에 나타내는 성막 기판(24)에는 1220×1400mm의 평활하게 연마한 석영 기판을 이용하고, 용매에 희석한 불소 수지[상품명: 사이탑 아사히 글라스(주) 제]로 이루어진 펠리클막 재료 용액(3a)을 다이(31)로부터 토출하면서 이동시켜 도포했다. 그 상태에서 클린룸의 기류하에서 용매를 건조시킨 후 도 2(b)와 같이 가열 장치(32)(알루미늄 합금제 핫플레이트) 상에 성막 기판(24)을 이동해서 가열하고, 도포한 펠리클막 재료 용액(3a)에 포함되는 용매를 완전히 증발시켜서 펠리클막(3)을 성막했다.

성막 기판(24)이 실온까지 냉각된 후, 도 2(c)와 같이 펠리클막(3)에 임시 프레임(21)을 접착층(22)을 통해서 접착했다. 그리고 도 2(d)와 같이 제전 수단(도시되지 않음)에 의해 제전을 행하면서 임시 프레임(21)을 천천히 상방으로 들어올려 성막 기판(24)으로부터 박리하고, 임시 프레임(21)에 첩부된 펠리클막(3)을 얻었다.

상기 펠리클막(3)을 암실 내에서 집광 램프를 이용한 이물 검사를 행한 후, 도 3(a)와 같이 스탠드(도시되지 않음)를 이용해서 수직으로 유지했다. 복수 나열하여 결합된 분할 프레임(41)(외측 치수 1190×1360mm)의 일단면에 접착층(42)을 도포해서 펠리클막(3)에 접착했다. 그 후, 클립(43)을 모두 떼어내서 도 3(b)와 같이 분할 프레임(41)의 외변, 분할선 X-X, Y-Y를 따라 커터로 펠리클막(3)을 절단했다.

상기의 4체의 펠리클막(3)이 접착된 분할 프레임(41) 중 1체를 이용해서 펠리클을 제작했다. 도 4에 나타낸 바와 같이 분할 프레임(41)의 각 변 중앙에 훅 형상의 파지부(54)를 부착해서 탑재대(51)에 탑재하고, 압축 인장 장치(55)에 의해 압축 또는 인장의 힘을 가했다. 이 가한 힘은 사전 실험에 의해 값을 구했다. 힘을 가한 상태를 유지한 채로 프레임(2)을 펠리클막(3)에 첩부하고, 주위의 잉여막을 커터로 절단했다. 프레임(2)은 알루미늄 합금제로 외측 치수 353×592mm, 내측 치수 340×580mm, 높이 4.8mm로서, 표면은 흑색 알루마이트 처리를 실시했다. 펠리클막 접착층(8)과 마스크 접착층(6)(도 1 참조)으로서는 실리콘 점착제[신에쓰 가가꾸 고교(주) 제]를 이용하고, 마스크 접착층(6)의 표면은 보호를 위한 PET 필름제의 세퍼레이터(9)로 피복했다. 또한, 통기공(4)은 PTFE제의 멤브레인 필터(7)를 아크릴 접착층을 통해서 설치했다.

이렇게 해서 도 1에 나타낸 펠리클(10)이 완성되었다. 이 펠리클(10)에 대해서 정반 상에서 프레임(2)의 휨량을 측정했다. 그 결과, 한변의 휨량은 0.3mm 및 0.25mm, 이것과 서로 이웃하는 다른 변의 휨량은 0.2mm 및 0.23mm로 되어 있어 휨량이 허용 범위임과 아울러 대향하는 변끼리는 거의 동등한 정도의 휨량으로 되어 있었다. 아울러, 펠리클(10)을 핸들링할 때에 프레임(2)에 접착된 펠리클막(3)에 주름이 발생하는 등의 문제점은 일체 관찰되지 않았다.

[비교예]

상기 실시예에서 동일한 공정으로 펠리클막을 성막하고 그 후 펠리클막의 장력을 균일하게 하지 않고 상기 실시예와 동일한 펠리클을 제작했다.

완성된 펠리클에 대해서 프레임의 휨량을 측정한 결과 한 변의 휨량은 0.9mm 및 0.1mm, 이것과 서로 이웃하는 다른 변의 휨량은 0.5mm 및 0.15mm 이었다. 이것은 허용할 수 없는 크기의 휨량임과 아울러 매우 불균일한 휨 상태가 되어 있었다. 또한, 이 펠리클을 수직으로 세우고 휨량이 0.1mm가 되어 있었던 장변을 상측으로 향하게 하면 펠리클막의 장변 중앙 근방에 몇개의 주름이 관찰되었다. 프레임의 형상과 펠리클막에 발생한 주름의 상태로부터 이것은 펠리클로서 이용할 수 없는 것이었다.

액정 제조 용도로 이용되는 대형의 펠리클뿐만 아니라 프린트 기판용, IC 패키지용 또는 반도체 제조용의 소형의 펠리클막을 1매의 액정 제조용의 대형 펠리클막으로부터 다수 분할해서 이용하는 것도 가능하다.

2 : 프레임 2a : 변형시킨 프레임
3 : 펠리클막 3a : 펠리클막 재료 용액
4 : 통기공 5 : 지그 구멍
6 : 마스크 접착층 7 : 필터
8 : 펠리클막 접착층 9 : 세퍼레이터
10 : 펠리클 21 : 임시 프레임
22 : 접착층 24 : 성막 기판
31 : 다이 32 : 가열 장치
41 : 분할 프레임 42 : 접착층
43 : 클립 50 : 막 첩부 장치
51 : 탑재대 52 : 고정부
53 : 승강 탑재대 54 : 파지부
55 : 압축 인장 장치 56 : 연결부
57 : 로드셀 58 : 스테이지
X-X, Y-Y는 분할 프레임의 분할선

Claims (5)

1. 펠리클막을 프레임에 팽팽히 체결해서 첩부하는 펠리클의 제조 방법에 있어서,
   1매의 펠리클막을 임시 프레임 상에 첩부하고,
   상기 임시 프레임의 내측 치수보다도 작은 외측 치수의 복수 나열하여 결합된 분할 프레임을 임시 프레임 상의 펠리클막에 접착하고나서,
   펠리클막을 분할 프레임의 외변을 따라 임시 프레임으로부터 잘라냄과 아울러 결합된 분할 프레임을 분리하고,
   각각의 분할 프레임 상에 접착된 펠리클막을 프레임에 첩부하고나서 분할 프레임을 제거하는 것을 특징으로 하는 펠리클의 제조 방법.
2. 펠리클막을 프레임에 팽팽히 체결해서 첩부하는 펠리클의 제조 방법에 있어서,
   성막 기판 상의 1매의 펠리클막을 복수 나열해서 결합된 분할 프레임에 첩부하고,
   펠리클막을 분할 프레임의 외변을 따라 성막 기판으로부터 잘라냄과 아울러 결합된 분할 프레임을 분리하며,
   각각의 분할 프레임 상에 접착된 펠리클막을 프레임에 첩부하고나서 분할 프레임을 제거하는 것을 특징으로 하는 펠리클의 제조 방법.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   분할 프레임 상에 접착된 펠리클막을 프레임에 첩부할 때 분할 프레임에 압축 또는 인장의 힘을 가해서 펠리클막을 첩부하고나서 상기 힘을 해방하는 것을 특징으로 하는 펠리클의 제조 방법.
4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
   분할 프레임 상에 접착된 펠리클막을 프레임에 첩부할 때 프레임에 압축 또는 인장의 힘을 가해서 펠리클막을 첩부하고나서 상기 힘을 해방하는 것을 특징으로 하는 펠리클의 제조 방법.
5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 기재된 방법에 의해 제조된 것을 특징으로 하는 펠리클.

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