KR20130123054A - 글래스 냉각장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 글래스 냉각장치는, 컨베이어에 설치되어 글래스의 이송중에 냉각하는 글래스 냉각장치에 있어서, 컨베이어의 이송 경로에 설치되는 프레임; 상기 프레임에 설치되며 글래스가 이동하도록 회전하는 복수의 롤러; 외부공기를 흡입하여 청정한 상태의 냉각기류를 공급하도록 상기 프레임에 설치된 팬필터유닛; 상기 팬필터유닛에서 발생된 냉각기류를 글래스를 향해 분사하도록 복수의 노즐이 형성된 노즐챔버;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 글래스 냉각장치를 컨베이어의 이송경로 상에 설치하여 LCD/OLED 또는 박막형 태양전지 제조공정에서 100℃ 이상으로 가열된 글래스를 짧은 시간 동안 상온으로 냉각할 수 있는 효과가 있다.
이에 따라, 글래스 냉각장치를 컨베이어의 이송경로 상에 설치하여 LCD/OLED 또는 박막형 태양전지 제조공정에서 100℃ 이상으로 가열된 글래스를 짧은 시간 동안 상온으로 냉각할 수 있는 효과가 있다.
Description
본 발명은 글래스 냉각장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 LCD/OLED 또는 박막형 태양전지 제조공정 중에 고온으로 가열된 글래스를 냉각하기 위한 CP(Cool plate)를 대체 혹은 보완하는 목적으로 글래스를 이송 중 냉각하는 글래스 냉각장치에 관한 것이다.
일반적으로 LCD/OLED 또는 박막형 태양전지 제조공정 중에는 글래스를 세정 후 또는 글래스에 유기막을 도포 후에 필요에 따라 글래스를 100도 이상의 고온으로 가열 후 다음 공정에서의 레시피에 따라 상온으로 냉각시켜야하는 과정을 거치게 된다.
이와 같은 글래스의 냉각을 담당하는 장비를 일반적으로 CP(Cool plate)장비라고 부른다.
그러나, 한정된 CP장비로 글래스를 냉각 시에는 그 소요되는 시간으로 인하여 생산 또는 물류 상 병목현상이 일어나는 문제점이 발생하게 된다.
이러한 문제점을 개선하여 생산성 향상을 위해서는 고가의 CP장비의 추가설치를 하여야 하지만 이는 생산원가가 상승하게 됨과 더불어 기존 생산라인의 경우 공간상의 제약으로 추가설치가 불가능한 문제점이 있다.
따라서 생산성 향상을 위하여 냉각 공정을 보다 단순화하고 시간을 단축하려는 연구가 진행되고 있다
본 발명은 전술한 종래의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 컨베이어 상에 설치하여 LCD/OLED 또는 박막형 태양전지 제조공정에서 100℃ 이상으로 가열된 글래스를 짧은 시간 동안 상온으로 냉각할 수 있는 글래스 냉각장치를 제공하는데 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 글래스 냉각장치는, 컨베이어에 설치되어 글래스의 이송중에 냉각하는 글래스 냉각장치에 있어서, 컨베이어의 이송 경로에 설치되는 프레임; 상기 프레임에 설치되며 글래스가 이동하도록 회전하는 복수의 롤러; 외부공기를 흡입하여 청정한 상태의 냉각기류를 공급하도록 상기 프레임에 설치된 팬필터유닛; 상기 팬필터유닛에서 발생된 냉각기류를 글래스를 향해 분사하도록 복수의 노즐이 형성된 노즐챔버;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 노즐챔버는, 상기 팬필터유닛에서 흡입된 냉각기류가 유입되는 흡입챔버와, 상기 흡입챔버를 통해 유입된 냉각기류를 토출하도록 상기 노즐이 형성된 토출챔버로 구분 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 팬필터유닛은 프레임에 서로 대면하도록 2개 설치되며, 상기 흡입챔버는 2개의 팬필터 유닛에 각각 대응되게 2개로 분할형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 토출챔버는 글래스의 진행방향을 기준으로 전방챔버와 후방챔버로 구분 형성되되, 상기 전방챔버와 후방챔버에는 각각 노즐이 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 전방챔버는 글래스보다 하부에 위치하여 냉각기류를 글래스의 하면을 향해 분사하도록 구성되며, 상기 후방챔버는 글래스보다 상부에 위치하여 냉각기류를 글래스의 상면을 향해 분사하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 후방챔버와 프레임 사이에는 글래스의 이송을 위한 개구부가 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 노즐의 내측으로 타공판이 설치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 글래스 냉각장치에 따르면, 글래스 냉각장치를 컨베이어의 이송경로 상에 설치하여 LCD/OLED 또는 박막형 태양전지 제조공정에서 100℃ 이상으로 가열된 글래스를 짧은 시간 동안 상온으로 냉각할 수 있는 효과가 있다.
결국, 고온으로 가열된 글래스는 컨베이어를 따라 이동하는 중에 냉각이 이루어진다.
더욱이, 기존의 고가 CP장비를 대체 또는 보완할 수 있게 된다.
마지막으로, 고온의 글래스가 이동 공정 중에 냉각됨으로 인해 냉각에 소요되는 시간이 단축되어 생산성 향상을 이룰 수 있게 된다.
또한, 전방챔버, 후방챔버 및 상기 전,후방챔버의 노즐에 설치된 타공판에 의해 글래스의 전면과 후면을 향해 균일한 압력으로 냉기를 토출할 수 있어 글래스는 균일한 온도분포를 유지하면 냉각된다.
도 1은 본 발명에 따른 글래스 냉각장치를 분해 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 결합상태를 도시한 사시도이다.
도 3은 도 2의 정면도이다.
도 4는 도 2의 측면도이다.
도 5는 도 3의 'a-a'부 단면도이다.
도 6은 냉각기류를 도시한 도면이다.
도 2는 도 1의 결합상태를 도시한 사시도이다.
도 3은 도 2의 정면도이다.
도 4는 도 2의 측면도이다.
도 5는 도 3의 'a-a'부 단면도이다.
도 6은 냉각기류를 도시한 도면이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 글래스 냉각장치를 분해 도시한 사시도이고, 도 2는 도 1의 결합상태를 도시한 사시도이며, 도 3은 도 2의 정면도이고, 도 4는 도 2의 측면도이며, 도 5는 도 3의 'a-a'부 단면도이고, 도 6은 냉각기류를 도시한 도면이다.
도 1 내지 도 6에 도시한 바와 같이, 컨베이어(C)의 이송결로 상에 설치되어 글래스(G)의 이송중에 냉각하는 본 발명에 따른 글래스 냉각장치(A)는, 컨베이어(C)의 이송 경로에 설치되는 프레임(100)과, 상기 프레임(100)에 설치되며 글래스(G)가 이동하도록 회전하는 복수의 롤러(200)와, 외부공기를 흡입하여 청정한 상태의 냉각기류를 공급하도록 상기 프레임(100)에 설치된 팬필터유닛(300) 및 상기 팬필터유닛(300)에서 발생된 냉각기류를 글래스(G)를 향해 분사하도록 노즐(401)이 형성된 노즐챔버(400)로 구성된다.
먼저, 상기 프레임(100)은 전체적인 틀을 형성하며, 그 바닥으로 컨베이어(C)와의 높이를 조절하기 위한 회전 받침대(101)가 구비된다.
또한, 상기 롤러(200)는 프레임(100)에 자전가능하게 설치된다.
그리고, 상기 팬필터유닛(300)은 송풍팬, 모터 및 필터 등으로 이루어지며, 상기 필터는 수 미크론의 파티클(particle)을 여과하여 글래스(G)로 파티클이 분사되는 것을 방지하게 된다.
더욱이, 본 발명에서의 팬필터유닛(300)은 소형이고 얇은 팬필터유닛의 일종인 EFU(Equipment Fan Filter Unit)가 적용되는 것이 바람직하다.
이러한, 흡입공기를 여과하여 토출하는 팬필터유닛(300)은 이미 종래에 많이 사용되고 있는 것이므로, 이에 대한 내부 구조 및 동작에 관한 상세한 설명은 생략한다.
한편, 상기 노즐챔버(400)는, 상기 팬필터유닛(300)에서 흡입된 냉각기류가 유입되는 흡입챔버(410)와, 상기 흡입챔버(410)를 통해 유입된 냉각기류를 토출하도록 상기 노즐(401)이 형성된 토출챔버(420)로 구분 형성된다. 더욱이, 상기 흡입챔버(410)와 토출챔버(420)는 내부가 서로 연통된다.
또한, 상기 팬필터유닛(300)은 프레임(100)에 서로 대면하도록 2개 설치되며, 상기 흡입챔버(410)는 2개의 팬필터유닛(300)에 각각 대응되게 2개로 분할형성된다.
그리고, 상기 토출챔버(420)는 글래스(G)의 진행방향을 기준으로 전방챔버(420a)와 후방챔버(420b)로 구분 형성되되, 상기 전방챔버(420a)와 후방챔버(420b)에는 각각 노즐(401)이 형성된다.
한편, 상기 전방챔버(420a)는 글래스(G)보다 하부에 위치하여 냉각기류를 글래스(G)의 하면을 향해 분사하도록 구성되며, 상기 후방챔버(420b)는 글래스(G)보다 상부에 위치하여 냉각기류를 글래스(G)의 상면을 향해 분사하도록 구성된다.
더욱이, 상기 노즐(401)은 장공 형태로 관통 형성되거나 다수의 홀이 길이방향으로 복수개 형성될 수도 있음은 물론이다.
이에 따라, 도 6과 같이 상기 전방챔버(420a)와 후방챔버(420b)가 크로스 배치되어 상기 전방챔버(420a)와 후방챔버(420b)에 형성된 노즐(401)을 통해 글래스(G)의 상면과 하면을 향해 고르게 냉각기류를 분사하여 냉각성능 및 글래스(G)의 온도 균일도가 향상된다.
또한, 상기 후방챔버(420b)와 프레임(100) 사이에는 글래스(G)의 이송을 위한 개구부(110)가 형성된다.
그리고, 상기 노즐(401)의 내측으로 도 5와 같이 타공판(402)이 설치되어 노즐(401)로 분사되는 토출 압력을 균일하게 유지시켜 준다.
구체적으로, 2개의 팬필터유닛(300)에서 발생된 냉각기류는 흡입챔버(410)를 거쳐 토출챔버(420)로 전달되며, 이때 상기 토출챔버(420)의 양측부터 냉각기류가 유입되는 바, 상기 토출챔버(420) 중앙의 노즐(401)은 토출챔버(420) 양측의 노즐(401)보다 상대적으로 압력이 낮게 되며 이를 상기 타공판(402)에 의해 상쇄시켜 냉각기류의 분사압력을 균일하게 해준다.
본 발명에 따르면, 본 발명의 글래스 냉각장치(A)를 컨베이어(C) 이송경로 상에 설치하여 LCD/OLED 또는 박막형 태양전지 제조공정에서 100℃ 이상으로 가열된 글래스(G)를 짧은 시간 동안 상온으로 냉각할 수 있는 효과가 있다.
결국, 고온으로 가열된 글래스(G)는 컨베이어(C)를 따라 이동하는 중에 냉각이 이루어진다.
더욱이, 기존의 고가 CP장비를 대체 또는 보완할 수 있게 된다.
마지막으로, 고온의 글래스(G)가 이동 공정 중에 냉각됨으로 인해 냉각에 소요되는 시간이 단축되어 생산성 향상을 이룰 수 있게 된다.
또한, 상기 전방챔버(420a), 후방챔버(420b) 및 상기 전,후방챔버(420a,420b)의 노즐(401)에 설치된 타공판(402)에 의해 글래스(G)의 전면과 후면을 향해 균일한 압력으로 냉기를 토출할 수 있어 글래스(G)는 균일한 온도분포를 유지하면 냉각된다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 기술적 범위는 전술한 실시 예에 한정되지 않고 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 이때, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 고려해야 할 것이다.
A - 글래스 냉각장치 100 - 프레임
200 - 롤러 300 - 팬필터유닛
400 - 노즐챔버 401 - 노즐
200 - 롤러 300 - 팬필터유닛
400 - 노즐챔버 401 - 노즐
Claims (7)
- 컨베이어에 설치되어 글래스의 이송중에 냉각하는 글래스 냉각장치에 있어서,
컨베이어의 이송 경로에 설치되는 프레임;
상기 프레임에 설치되며 글래스가 이동하도록 회전하는 복수의 롤러;
외부공기를 흡입하여 청정한 상태의 냉각기류를 공급하도록 상기 프레임에 설치된 팬필터유닛;
상기 팬필터유닛에서 발생된 냉각기류를 글래스를 향해 분사하도록 복수의 노즐이 형성된 노즐챔버;를 포함하는 것을 특징으로 하는 글래스 냉각장치.
- 제 1항에 있어서,
상기 노즐챔버는,
상기 팬필터유닛에서 흡입된 냉각기류가 유입되는 흡입챔버와, 상기 흡입챔버를 통해 유입된 냉각기류를 토출하도록 상기 노즐이 형성된 토출챔버로 구분 형성되는 것을 특징으로 하는 글래스 냉각장치.
- 제 2항에 있어서,
상기 팬필터유닛은 프레임에 서로 대면하도록 2개 설치되며, 상기 흡입챔버는 2개의 팬필터 유닛에 각각 대응되게 2개로 분할형성되는 것을 특징으로 하는 글래스 냉각장치.
- 제 2항에 있어서,
상기 토출챔버는 글래스의 진행방향을 기준으로 전방챔버와 후방챔버로 구분 형성되되, 상기 전방챔버와 후방챔버에는 각각 노즐이 형성되는 것을 특징으로 하는 글래스 냉각장치.
- 제 4항에 있어서,
상기 전방챔버는 글래스보다 하부에 위치하여 냉각기류를 글래스의 하면을 향해 분사하도록 구성되며, 상기 후방챔버는 글래스보다 상부에 위치하여 냉각기류를 글래스의 상면을 향해 분사하도록 구성되는 것을 특징으로 하는 글래스 냉각장치.
- 제 4항에 있어서,
상기 후방챔버와 프레임 사이에는 글래스의 이송을 위한 개구부가 형성되는 것을 특징으로 하는 글래스 냉각장치.
- 제 1항에 있어서,
상기 노즐의 내측으로 타공판이 설치되는 것을 특징으로 하는 글래스 냉각장치.
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US9748283B2 (en) | 2014-10-06 | 2017-08-29 | Samsung Display Co., Ltd. | System and method of manufacturing a thin film transistor substrate |
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KR100996702B1 (ko) * | 2008-05-30 | 2010-11-25 | (주)신성이엔지 | 기판의 냉각 장치 및 방법 |
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- 2012-05-02 KR KR1020120046168A patent/KR101423661B1/ko active IP Right Grant
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