KR20130106701A - 팬 필터 유닛의 역류 방지 댐퍼 및 그 조립 방법 - Google Patents

팬 필터 유닛의 역류 방지 댐퍼 및 그 조립 방법 Download PDF

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KR20130106701A
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Abstract

본 발명은 팬 필터 유닛에 역류 방지 댐퍼를 적용하여 역류 발생을 방지하고 클린룸의 역 기류 형성을 억제함으로써 영상 표시장치의 제조 불량을 줄일 수 있도록 한 팬 필터 유닛의 역류 방지 댐퍼 및 그 조립 방법에 관한 것으로, 원형 또는 다각형의 박스 형태로 내부 공간이 확보되면서도 밑면이 오픈된 케이스; 상기 케이스의 상부면 및 적어도 한 측면에 형성된 복수개의 에어 유입구; 상기 각 에어 유입구의 어느 한 측면에 부착되어 상기 각 에어 유입구의 에어 유동 방향에 따라 상기 각 에어 유입구를 개폐시키는 개폐 셔터들을 각각 구비한 것을 특징으로 한다.

Description

팬 필터 유닛의 역류 방지 댐퍼 및 그 조립 방법{BACKDRAFT DAMPER OF FAN FILTER UNIT AND MATHOD FOR MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 영상 표시장치의 제조시 이용되는 클린룸의 팬 필터 유닛에 관한 것으로, 팬 필터 유닛에 역류 방지 댐퍼를 적용하여 역류 발생을 방지하고 클린룸의 역 기류 형성을 억제함으로써 영상 표시장치의 제조 불량을 줄일 수 있도록 한 팬 필터 유닛의 역류 방지 댐퍼 및 그 조립 방법에 관한 것이다.
최근 들어, 다양한 평판형의 영상 표시장치로 액정 표시장치(Liquid Crystal Display), 전계방출 표시장치(Field Emission Display), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel) 및 유기 발광 다이오드 표시장치(Organic Light Emitting Diode Display) 등이 대두 되고 있다.
평판형의 영상 표시장치들을 제조하기 위해서는 글래스 또는 웨이퍼(이하 '기판'이라 함)에 박막을 증착하는 박막 증착 공정, 감광성 물질을 사용하여 선택된 영역을 노출 또는 은폐시키는 포토 리소그라피 공정, 선택된 영역들을 제거하여 패터닝하는 식각공정, 기판을 세정하는 세정공정 등이 수행된다.
기판의 공정 라인들 중 박막을 증착 공정하거나 포토 리소그라피 공정을 수행하는 등의 라인들에는 팬 필터 유닛이 형성된 클린룸이 이용되기도 한다. 팬 필터 유닛은 클린룸의 내부에 이물이 발생하지 않도록 클린 에어(Clean Air)를 공급하기 위한 것으로, 외부 전력에 의해 자체 모터를 가동함으로써 팬을 회전시켜 클린 에어를 클린룸의 내부로 공급한다.
하지만, 팬 필터 유닛은 외부 전력이나 동력 차단시 팬을 정지시키는 기능이 별도로 존재하지 않아, 전력이나 동력 차단시 클린룸 내외부의 차압에 의해 역류가 발생하고 모터나 팬이 역회전 되는 등의 문제가 발생하게 된다. 특히, 모터나 팬의 역회전 방지 기능이 없어 역류 발생시 이를 가속화시키는 원인이 되기도 한다.
최근에는 자가 발전기능이 있는 모터를 이용하여 팬이 역 회전되는 힘으로 모터의 역회전을 방지하는 기술이 개발되기도 하였지만, 발전량이 적고 역류 현상이 크게 줄지 않기 때문에 역류 발생 방지 효과를 보기 어려운 상태이다. 이에, 현재는 팬 필터 유닛의 정지상태가 감지시 현장 관계자가 현장 이동하여, 비닐 또는 이와 상응하는 도구를 이용하여 팬 필터 유닛의 상부를 밀폐시켜 역류를 방지하고 있다. 그러나 이를 위해 현장에 이동하는데 걸리는 시간, 현장에서 조치작업을 하는 시간 동안 지속적으로 역류가 발생 되므로, 수 분 내지 수 시간 동안 클린룸 내 이물에 의한 기판 생산 불량 피해가 발생될 수 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 영상 표시장치의 제조시 이용되는 클린룸의 팬 필터 유닛에 역류 방지 댐퍼를 적용하여 역류 발생을 방지하고 클린룸의 역 기류 형성을 억제함으로써, 영상 표시장치의 제조 불량을 줄일 수 있도록 한 팬 필터 유닛의 역류 방지 댐퍼 및 그 조립 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 팬 필터 유닛의 역류 방지 댐퍼는 원형 또는 다각형의 박스 형태로 내부 공간이 확보되면서도 밑면이 오픈된 케이스; 상기 케이스의 상부면 및 적어도 한 측면에 형성된 복수개의 에어 유입구; 상기 각 에어 유입구의 어느 한 측면에 부착되어 상기 각 에어 유입구의 에어 유동 방향에 따라 상기 각 에어 유입구를 개폐시키는 개폐 셔터들을 각각 구비한 것을 특징으로 한다.
상기 역류 방지 댐퍼의 케이스 내면에는 상기 각 개폐 셔터들의 개폐 범위를 제한하고, 상기 각 개폐 셔터들이 반대 방향으로 과도하게 접히거나 주변 구조물과 접촉을 방지하기 위한 브라켓이 더 형성된 것을 특징으로 한다.
상기 각각의 개폐 셔터들은 상기 각 에어 유입구의 모양과 대응되되 상기 에어 유입구를 막을 수 있는 크기로 형성된 시트, 적어도 하나의 리벳(rivet)에 의해 상기 시트의 일 측면을 상기 에어 유입구의 일측면에 부착 및 고정시키는 시트 체결부, 및 상기 시트의 가장 자리와 중심부 일부에 부착되되 상기 시트 체결부와는 이격되도록 형성된 적어도 하나의 고정부재를 구비한 것을 특징으로 한다.
상기 적어도 하나의 고정부재는 상기 시트 모양을 유지시키며 상기 시트 체결부와 이격된 간격에 의해 상기의 시트 체결부와의 사이 부분이 절첩 가능하게 하여 전체적으로 개폐 역할을 하도록 한 것을 특징으로 한다.
상기 역류 방지 댐퍼는 상기 팬 필터 유닛의 에어 유입구를 덮도록 에어 유입구의 전면에 볼트나 체결 부재에 의해 조립된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 팬 필터 유닛의 역류 방지 댐퍼 조립 방법은 원형 또는 다각형의 박스 형태로 내부 공간이 확보되면서도 밑면이 오픈된 케이스의 상부면 및 적어도 한 측면에 복수의 에어 유입구를 형성하는 단계; 상기 각 에어 유입구의 에어 유동 방향에 따라 상기 각 에어 유입구를 개폐시키는 개폐 셔터들을 상기 각 에어 유입구의 어느 한 측면에 부착시키는 단계; 및 팬 필터 유닛의 에어 유입구를 덮도록 에어 유입구의 전면에 볼트나 체결 부재로 상기 케이스를 조립하는 단계를 포함한 것을 특징으로 한다.
상기 역류 방지 댐퍼의 케이스 내면에 상기 각 개폐 셔터들의 개폐 범위를 제한하고, 상기 각 개폐 셔터들이 반대 방향으로 과도하게 접히거나 주변 구조물과 접촉을 방지하기 위한 브라켓을 더 형성하는 단계를 포함한 것을 특징으로 한다.
상기 각각의 개폐 셔터들은 상기 각 에어 유입구의 모양과 대응되되 상기 에어 유입구를 막을 수 있는 크기로 형성된 시트, 적어도 하나의 리벳(rivet)에 의해 상기 시트의 일 측면을 상기 에어 유입구의 일측면에 부착 및 고정시키는 시트 체결부 및 상기 시트의 가장 자리와 중심부 일부에 부착되되 상기 시트 체결부와는 이격되도록 형성된 적어도 하나의 고정부재를 구비한 것을 특징으로 한다.
상기 적어도 하나의 고정부재는 상기 시트 모양을 유지시키며 상기 시트 체결부와 이격된 간격에 의해 상기의 시트 체결부와의 사이 부분이 절첩 가능하게 하여 전체적으로 개폐 역할을 하도록 한 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 다양한 기술적 특징을 갖는 본 발명의 실시 예에 따른 팬 필터 유닛의 역류 방지 댐퍼 및 그 조립 방법은 클린룸의 팬 필터 유닛에 역류 방지 댐퍼를 적용하여 외부 전력 및 동력의 차단시 신속하게 역류 차단 및 역류 발생을 방지할 수 있다. 이에, 갑작스런 외부 전력이나 동력 차단시에도 클린룸의 역 기류 형성이 억제될 수 있도록 함으로써 영상 표시장치의 제조 불량을 줄일 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 팬 필터 유닛이 구비된 클린룸을 간략하게 나타낸 구성도.
도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 팬 필터 유닛과 역류 방지 댐퍼의 분해 사시도.
도 3은 팬 필터 유닛에 조립된 역류 방지 댐퍼를 나타낸 도면.
도 4a 및 도 4b는 도 2 및 도 3의 역류 방지 댐퍼를 구체적으로 나타낸 사시도.
도 5a 및 도 5b는 팬 필터 유닛의 구동에 따른 역류 방지 댐퍼의 동작을 설명하기 위한 도면.
도 6은 도 4a 및 도 4b에 도시된 개폐 셔터를 구체적으로 나타낸 사시도.
도 7은 도 6에 도시된 개폐 셔터의 분해 사시도.
이하, 상기와 같은 특징을 갖는 본 발명의 실시 예에 따른 팬 필터 유닛의 역류 방지 댐퍼 및 그 조립 방법을 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 팬 필터 유닛이 구비된 클린룸을 간략하게 나타낸 구성도이다. 그리고, 도 2는 본 발명의 실시 예에 따른 팬 필터 유닛과 역류 방지 댐퍼의 분해 사시도이며, 도 3은 팬 필터 유닛에 조립된 역류 방지 댐퍼를 나타낸 도면이다.
기판의 공정 라인들 중 박막을 증착 공정하거나 포토 리소그라피 공정을 수행하는 등의 공정 라인들에는 팬 필터 유닛(10)이 형성된 클린룸(CR)이 이용되기도 한다.
팬 필터 유닛(10)은 클린룸(CR)의 내부에 이물이 발생하지 않도록 클린 에어(Clean Air)를 공급하기 위한 것으로, 외부 전력(DC)에 의해 자체 모터를 가동함으로써 팬을 회전시켜 클린 에어를 클린룸의 내부로 공급한다.
도 1과 같이, 팬 필터 유닛(10)은 클린룸(CR)의 상부에 설치될 수 있으며, 클린 에어를 클린룸의 내부로 공급하기 때문에 클린룸(CR)의 내/외부 간에는 차압이 발생하게 된다. 이때, 클린룸 내부가 양압으로 유지되는 반면 클린룸 외부는 상대적으로 음압이 형성되어 있으므로, 팬 필터 유닛(10)의 정지 시 압력차에 의해 클린룸(CR) 내부에서 외부로 에어가 이동되지 않도록 차단해야 한다.
도 2 및 도 3과 같이, 역류 방지 댐퍼(20)는 팬 필터 유닛(10)의 에어 유입구를 덮도록 에어 유입구의 전면에 결합된다. 따라서, 팬 필터 유닛(10)의 클린 에어 유입시에는 역류 방지 댐퍼를 통해서 팬 필터 유닛(10)의 에어 유입구로 클린 에어가 유입된다.
역류 방지 댐퍼(20)는 팬 필터 유닛(10)의 흡입구 보호 커버 대신 결합될 수 있다. 이에, 흡입구 보호 커버가 체결되었던 체결부에 볼트 등의 체결 부재를 이용해 보다 용이하게 역류 방지 댐퍼(20)를 설치할 수 있다.
도 4a 및 도 4b는 도 2 및 도 3의 역류 방지 댐퍼를 구체적으로 나타낸 사시도이다.
도 4a 및 도 4b에 도시된 역류 방지 댐퍼(20)는 원형 또는 다각형의 박스 형태로 내부 공간이 확보되면서도 밑면이 오픈된 케이스(21); 케이스(21)의 상부면 및 적어도 한 측면에 형성된 복수의 에어 유입구(22); 에어 유입구(22)의 어느 한 측면에 각각 부착되어 에어 유입구(22)의 에어 유동 방향에 따라 에어 유입구(22)를 개폐시키는 개폐 셔터(30)들을 각각 구비한다. 여기서, 역류 방지 댐퍼(20)의 케이스(21) 내면에는 개폐 셔터(30)들의 개폐 범위를 제한하고, 개폐 셔터(30)들이 과도하게 접히거나 주변 구조물과의 접촉을 방지하기 위한 브라켓이 더 형성되기도 한다.
이와 같이 구성된 역류 방지 댐퍼(20)는 케이스(21)의 상부 및 측면 에어 유입구(22)들에 개폐 셔터(30)가 각각 형성되도록 하여 팬 필터 유닛(10)의 정상 작동시에는 개폐 셔터(30)들이 열려 공기유입을 원활하게 한다. 반대로 팬 필터 유닛(10)의 정지 시에는 개폐 셔터(30)들이 닫힘으로써 역류를 차단하도록 한다.
케이스(21)는 원통형이나 직사각형 등의 다각형 박스 형태로 형성될 수 있다. 이러한 케이스(21)는 아연도금 함석이나 스테인리스 등의 금속 재질 또는 플라스틱 등의 재질로 형성될 수 있는데, 일반적으로는 팬 필터 유닛(10)의 케이스와 동일 재질로 형성됨이 바람직하다.
케이스(21)의 에어 유입구(22)들은 케이스(21)의 상부면과 측면에 복수개씩 형성될 수 있는데, 예를 들면 상부면에 12개, 측면에 8개가 형성될 수 있다. 각 에어 유입구(22)들에는 그 일 측에 개폐 셔터(30)가 부착 고정되어, 팬 필터 유닛(10)의 정상 작동시 개폐 셔터(30)들이 열리고, 팬 필터 유닛(10)의 정지시에는 개폐 셔터(30)들이 닫힌다. 이때, 개폐 셔터(30)들이 반대 방향으로 접히거나 주변 구조물에 접촉되는 것을 방지하기 위해, 개폐 셔터(30)들이 접히는 방향의 케이스(21) 내면에 브라켓이 형성된다. 각각의 개폐 셔터(30)들은 브라켓에 의해 접히는 범위가 제한된다.
도 5a 및 도 5b는 팬 필터 유닛의 구동에 따른 역류 방지 댐퍼의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 5a와 같이, 팬 필터 유닛(10)이 정상적으로 동작하는 경우에는 외부로부터의 클린 에어가 역류 방지 댐퍼(20)의 에어 유입구(22)들을 통해 팬 필터 유닛(10)으로 공급된다. 이 경우, 클린 에어의 이동 방향에 따라 각 에어 유입구(22)의 개폐 셔터(30)들은 팬 필터 유닛(10)의 에어 흡입구 방향으로 열리게 된다. 각각의 개폐 셔터(30)들은 케이스(21) 내면에 부착된 브라켓(31)들에 의해 그 접히는 범위가 제한된다.
한편, 도 5b와 같이 팬 필터 유닛(10)이 정지하는 경우에는 클린룸(CR) 내부의 클린 에어가 팬 필터 유닛(10)을 통해 역류 방지 댐퍼(20) 방향으로 이동하게 된다. 이때, 각 에어 유입구(22)의 개폐 셔터(30)들은 클린 에어의 저항에 의해 각 에어 유입구(22) 방향으로 펴지고, 각 에어 유입구(22)를 막게 된다. 따라서, 역류 방지 댐퍼(20)의 내부와 팬 필터 유닛(10)의 내부 에어 흐름은 멈추고 클린룸(CR)내 에어의 역류 현상이 방지된다.
도 6은 도 4a 및 도 4b에 도시된 개폐 셔터를 구체적으로 나타낸 사시도이며, 도 7은 도 6에 도시된 개폐 셔터의 분해 사시도이다.
도 6 및 도 7에 도시된 상기 각각의 개폐 셔터(30)들은 각 에어 유입구(22)의 모양과 대응되되 에어 유입구(22)를 막을 수 있는 크기로 형성된 시트(33), 적어도 하나의 리벳(rivet)에 의해 시트(33)의 일 측면을 에어 유입구(22)의 일측면에 부착 및 고정시키는 시트 체결부(35), 및 시트(33)의 형태가 유지되도록 시트(33)의 가장 자리와 중심부 일부에 부착되되 시트 체결부(35)와는 이격되도록 형성된 적어도 하나의 고정부재(32,34)를 구비한다.
에어 유입구(22)를 막을 수 있는 크기로 형성된 시트(33)의 전후면 중 적어도 한 면에는 그 가장 자리와 중심부 일부에 적어도 하나의 고정부재(32,34)가 부착된다. 이러한 적어도 하나의 고정부재(32,34)는 유동하는 클린 에어에 의해 시트(33) 모양이 변형되지 않도록 시트(33) 모양을 유지시키며, 시트 체결부(35)와 이격된 간격에 의해 상기 모양이 유지되는 시트부분이 유동되도록 한다. 즉, 상기의 시트 체결부(35)와 적어도 한 고정부재(32,34) 사이 시트(33) 부분이 절첩 가능하게 됨으로써 전체적으로 개폐 셔터(30)의 역할을 하게 된다.
개폐 셔터(30)의 시트(33)로는 비닐 수지나 비닐 섬유가 이용될 수 있다. 시트(33)의 일측면에는 시트 체결부(35)와 대응되도록 다수개의 홀들이 형성되어 적어도 하나의 리벳(rivet)에 의해 에어 유입구(22) 측면에 고정된다.
시트(33)는 0.5T의 얇은 두께로 형성되므로 클린 에어의 유동에 따른 진동발생을 억제하기 위해 시트(33) 전 후면의 가장자리나 중심부 일부를 적어도 하나의 고정부재(32,34)로 고정한다. 여기서, 적어도 하나의 고정부재(32,34)는 알루미늄 등의 금속성 재질로 이루어진다.
한편, 역류 현상에 의해 개폐 셔터(30)가 닫힐 때 시트(33)가 좌우로 움직이다가 일순간에 닫히기 때문에 개폐 셔터(30) 방향이 반대로 닫히지 않도록 케이스(21)의 브라켓(31)이 지지하게 된다. 이러한 브라켓(31)은 팬 필터 유닛(10)이 정상적으로 동작하는 경우에도 개폐 셔터(30)들은 팬 필터 유닛(10)의 에어 흡입구 방향으로 열릴 때 그 열리는 범위를 제한한다.
케이스(21)의 측면 에어 유입구(22)에 형성된 개폐 셔터(30)들 또한 상부면의 개폐 셔터(30)들과 동일하게 구성되는데, 케이스(21)의 상부 면에만 개폐 셔터(30)들을 설치하게 되면 공기 유입 시 저항에 의한 손실이 크기 때문에 측면에 개폐 셔터(30)들을 적용하여 공기유입을 원할하게 할 수 있다.
이상 상술한 바에 따르면, 본 발명의 실시 예에 따른 팬 필터 유닛의 역류 방지 댐퍼 및 그 조립 방법은 클린룸(CR)의 팬 필터 유닛(10)에 역류 방지 댐퍼(20)를 적용하여 외부 전력 및 동력의 차단시 신속하게 역류 차단 및 역류 발생을 방지할 수 있다. 이에, 갑작스런 외부 전력이나 동력 차단시에도 클린룸(CR)의 역 기류 형성이 억제될 수 있도록 함으로써 영상 표시장치 등의 제조 불량을 줄일 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.
CR: 클린룸 DC: 외부전력
10: 팬 필터 유닛 20: 역류 방지 댐퍼
21: 케이스 22: 에어 유입구
30: 개폐 유닛 31: 브라켓
33: 시트 35: 시트 체결부
32, 34: 고정부재

Claims (9)

  1. 원형 또는 다각형의 박스 형태로 내부 공간이 확보되면서도 밑면이 오픈된 케이스;
    상기 케이스의 상부면 및 적어도 한 측면에 형성된 복수개의 에어 유입구;
    상기 각 에어 유입구의 어느 한 측면에 부착되어 상기 각 에어 유입구의 에어 유동 방향에 따라 상기 각 에어 유입구를 개폐시키는 개폐 셔터들을 각각 구비한 것을 특징으로 하는 팬 필터 유닛의 역류 방지 댐퍼.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 역류 방지 댐퍼의 케이스 내면에는
    상기 각 개폐 셔터들의 개폐 범위를 제한하고, 상기 각 개폐 셔터들이 반대 방향으로 과도하게 접히거나 주변 구조물과 접촉을 방지하기 위한 브라켓이 더 형성된 것을 특징으로 하는 팬 필터 유닛의 역류 방지 댐퍼.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 각각의 개폐 셔터들은
    상기 각 에어 유입구의 모양과 대응되되 상기 에어 유입구를 막을 수 있는 크기로 형성된 시트,
    적어도 하나의 리벳(rivet)에 의해 상기 시트의 일 측면을 상기 에어 유입구의 일측면에 부착 및 고정시키는 시트 체결부, 및
    상기 시트의 가장 자리와 중심부 일부에 부착되되 상기 시트 체결부와는 이격되도록 형성된 적어도 하나의 고정부재를 구비한 것을 특징으로 하는 팬 필터 유닛의 역류 방지 댐퍼.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 고정부재는
    상기 시트 모양을 유지시키며 상기 시트 체결부와 이격된 간격에 의해 상기의 시트 체결부와의 사이 부분이 절첩 가능하게 하여 전체적으로 개폐 역할을 하도록 한 것을 특징으로 하는 팬 필터 유닛의 역류 방지 댐퍼.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 역류 방지 댐퍼는
    상기 팬 필터 유닛의 에어 유입구를 덮도록 에어 유입구의 전면에 볼트나 체결 부재에 의해 조립된 것을 특징으로 하는 팬 필터 유닛의 역류 방지 댐퍼.
  6. 원형 또는 다각형의 박스 형태로 내부 공간이 확보되면서도 밑면이 오픈된 케이스의 상부면 및 적어도 한 측면에 복수의 에어 유입구를 형성하는 단계;
    상기 각 에어 유입구의 에어 유동 방향에 따라 상기 각 에어 유입구를 개폐시키는 개폐 셔터들을 상기 각 에어 유입구의 어느 한 측면에 부착시키는 단계; 및
    팬 필터 유닛의 에어 유입구를 덮도록 에어 유입구의 전면에 볼트나 체결 부재로 상기 케이스를 조립하는 단계를 포함한 것을 특징으로 하는 팬 필터 유닛의 역류 방지 댐퍼 조립 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 역류 방지 댐퍼의 케이스 내면에
    상기 각 개폐 셔터들의 개폐 범위를 제한하고, 상기 각 개폐 셔터들이 반대 방향으로 과도하게 접히거나 주변 구조물과 접촉을 방지하기 위한 브라켓을 더 형성하는 단계를 포함한 것을 특징으로 하는 팬 필터 유닛의 역류 방지 댐퍼 조립방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 각각의 개폐 셔터들은
    상기 각 에어 유입구의 모양과 대응되되 상기 에어 유입구를 막을 수 있는 크기로 형성된 시트,
    적어도 하나의 리벳(rivet)에 의해 상기 시트의 일 측면을 상기 에어 유입구의 일측면에 부착 및 고정시키는 시트 체결부, 및
    상기 시트의 가장 자리와 중심부 일부에 부착되되 상기 시트 체결부와는 이격되도록 형성된 적어도 하나의 고정부재를 구비한 것을 특징으로 하는 팬 필터 유닛의 역류 방지 댐퍼 조립 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 고정부재는
    상기 시트 모양을 유지시키며 상기 시트 체결부와 이격된 간격에 의해 상기의 시트 체결부와의 사이 부분이 절첩 가능하게 하여 전체적으로 개폐 역할을 하도록 한 것을 특징으로 하는 팬 필터 유닛의 역류 방지 댐퍼 조립방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR20200024522A (ko) 2018-08-28 2020-03-09 주식회사 신성이엔지 팬 필터 유닛용 역류 방지 셔터
KR20220019910A (ko) * 2020-08-11 2022-02-18 (주)마스 클린 건조 공기 셔터 팬 필터 유닛
KR20220132130A (ko) * 2021-03-23 2022-09-30 김수완 환기성이 개선된 환풍기 역류방지 장치 및 이를 포함하는 환풍기

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200115985A (ko) 2019-03-31 2020-10-08 주식회사 원방테크 역류방지 댐퍼를 갖는 클린룸용 팬 필터 유닛

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100561808B1 (ko) * 2005-05-16 2006-03-21 주식회사 석문이엔지 역기류방지 수단이 부착된 팬필터 유니트
KR100938621B1 (ko) * 2007-11-06 2010-01-22 박재현 플랩 댐퍼

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20200024522A (ko) 2018-08-28 2020-03-09 주식회사 신성이엔지 팬 필터 유닛용 역류 방지 셔터
KR20220019910A (ko) * 2020-08-11 2022-02-18 (주)마스 클린 건조 공기 셔터 팬 필터 유닛
KR20220132130A (ko) * 2021-03-23 2022-09-30 김수완 환기성이 개선된 환풍기 역류방지 장치 및 이를 포함하는 환풍기

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