KR100561808B1 - 역기류방지 수단이 부착된 팬필터 유니트 - Google Patents

Abstract

본 발명은 클린룸을 유지하기 위하여 설치되는 팬 필터 유니트 제어장치의 이상 감지 및 역기류 방지 수단을 구비한 팬 필터 유니트에 관한 것으로, 클린룸의 천장에 고성능 팬필터 유니트가 부착 설치되고, 필터를 거쳐서 나온 청정공기가 클린 룸에 유입되며, 클린룸에 유입된 공기는 실내에서 발생된 부유 미립자와 실내에 존재하는 다양한 종류의 먼지들과 함께 바닥에 설치된 격자면 사이로 내려가게 되고, 내려간 부유미립자와 다양한 먼지들은 벽을 타고 다시 천장에 부착된 팬필터 유니트에서 정화되어 클린룸으로 유입되도록 하는 과정을 거쳐서 클린룸을 유지하게 되나, 여러 대의 팬필터 유니트 중에서 적어도 한대 이상에서 이상이 발생하여 동작을 멈출 경우에는 이상이 발생한 팬필터유니트로 공기의 역기류가 발생하게 되어 크린룸의 청정도와 생산되는 제품에 치명적인 영향을 주게 되는데 이를 방지하기 위하여 팬필터 유니트의 팬의 동작여부를 감지하는 압력센서와, 압력센서에서 팬의 움직임에 의한 공기의 압력에 이상이 발생하였다고 판단할 경우에 공기를 흡입하는 댐퍼를 닫아서 공기의 역기류를 막아주는 수단과, 정상동작을 할 경우에는 공기가 자연스럽게 팬 필터 유니트로 유입되도록 댐퍼를 열어 주는 수단 및 이를 제어하는 제어수단을 구비함으로써 다양한 원인에 의하여 발생하는 팬필터 유니트의 이상 발생에 따른 공기의 역기류를 방지하는데 그 특징이 있다.

역기류 방지, 팬필터 유니트, 압력 센서,

Description

역기류방지 수단이 부착된 팬필터 유니트{Fan filter unit with means of air reverse flow prevention}

도 1은 팬 필터 유니트가 설치된 클린룸의 공기 흐름도

도 2는 팬 필터 유니트가 설치된 클린룸에서 팬필터 유니트가 정상적으로 동작할 경우의 공기 흐름도

도 3은 팬 필터 유니트가 설치된 클린룸에서 팬이 정상적으로 동작하지 않을 경우의 공기 흐름도

도 4는 본 발명에 따라 역기류 방지기능을 구비한 팬 필터 유니트의 구성도

도 5는 본 발명에 따른 또 다른 실시 예로 역기류 방지기능을 구비한 팬 필터 유니트의 구성도

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

11 ; 압력센서

13 ; 댐퍼 14 ; 팬 필터 유니트

14 ; 팬 필터 유니트 15 ; 모터

16 ; 팬 17 ; 밀폐형 구조물

본 발명은 클린룸을 유지하기 위하여 설치되는 팬 필터 유니트 중에 어느 하나 또는 일부에서 이상이 발생하여 동작하지 않을 경우에 발생하는 공기의 역기류를 방지하기 위하여 팬의 동작여부를 감지하는 압력센서와 공기의 흐름을 제어하는 댐퍼와 이들을 제어하는 제어수단이 부착된 공기의 역기류를 방지 수단을 구비한 팬 필터 유니트에 관한 것이다.

종래에는 클린룸의 청정도를 유지하기 위한 팬필터 유니트의 모터가 과열되거나 저전류 상태 등의 이상여부를 센서로 감지하여 사용자들이 알 수 있도록 하여 사용자들이 보수하여 유지하는 수단을 구비하고 있으나, 사용자들이 보수 유지 수단 등의 필요한 조치를 하기 전까지는 공기의 역기류를 방지하는 별도의 수단이나 구성이 없어서 클린룸의 청정도에 이상이 생기고 생산되는 제품에도 영향을 주는 등의 문제점이 있다.

종래기술의 또 다른 문제점은 팬필터 유니트의 모터와 팬의 이음 부분이 파손되어 팬은 동작하지 않고 모터만 동작할 경우와 팬이 어떤 기구물에 의하여 구속되었을 경우에 과열이나 저 전류를 감지하기 위하여 팬 필터 유니트로 공급되는 전류의 이상 여부로 모터의 정상동작 여부를 감지하는 수단으로는 팬의 동작 여부를 감지할 수 없다는 것이었다.

본 발명이 이루고자하는 기술적 과제는 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 인식하고 창안된 것으로, 팬필터 유니트의 팬의 동작여부를 감지하는 압력센서와, 압력센서에서 팬의 움직임에 의한 공기의 압력에 이상이 발생하였다고 판단할 경우에 공기를 흡입하는 댐퍼를 닫아서 공기의 역기류를 막아주는 수단과, 정상동작을 할 경우에는 공기가 자연스럽게 팬 필터유니트로 유입되도록 댐퍼를 열어주는 수단 및 이를 제어하는 제어수단을 구비하고 여러 가지 원인으로 이상이 발생하여 동작을 멈출 경우에는 이상이 발생한 팬으로 공기의 역기류를 방지하여 생산되는 제품에 미치는 영향 및 클린룸의 오염을 최소화할 수 있는 역기류 방지 수단을 구비한 팬 필터 유니트를 제공하는데 그 목적이 있다.

본 발명의 또 다른 목적은 상기와 같은 공기의 흐름을 측정하는 압력센서나 압력센서와 연동하는 댐퍼 및 이를 제어하는 제어수단을 구비함이 없이 공기의 흐름에 의하여 발생하는 압력을 이용하여 팬필터 유니트가 동작할 경우에는 열리고 팬의 이상 발생시에는 공기가 빨려 들어가는 힘에 의하여 자동으로 닫히는 구조로 구성되어 생산비용을 최소화하는 구성으로 설계 제작하거나 스프링과 선을 이용하여 댐퍼를 열고 닫을 수 있도록 구성함으로써 구성이 비교적 간단하여 고장이 적고 생산 비용이 최소화되도록 구성하는 데 있다.

본 발명은 클린룸을 유지하기 위하여 설치되는 팬 필터 유니트(14) 중에 어느 하나 또는 일부에서 이상이 발생하여 동작하지 않을 경우에 발생하는 공기의 역기류흐름을 방지하기 위하여 팬(16)의 동작여부를 감지하는 압력센서(11)와 공기의 흐름을 제어하는 댐퍼(13)와 이들을 제어하는 제어수단(12)이 부착된 공기의 역기류 방지 수단을 구비한 팬 필터 유니트에 관한 것이다.

본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것이다. 본 발명을 용이하게 이해할 수 있는 도면에 대하여 살펴본다.

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도 1은 팬 필터 유니트(14)가 설치된 클린룸의 공기 흐름을 나타낸 것이며, 도 2는 팬 필터 유니트(14)가 설치된 클린룸에서 팬필터 유니트(14)가 정상적으로 동작할 경우의 공기 흐름를 보여주는 것이고, 도 3은 팬 필터 유니트(14)가 설치된 클린룸에서 팬(16)이 정상적으로 동작하지 않을 경우의 공기 흐름을 나타낸 것이며, 도 4는 본 발명에 따라 역기류 방지기능을 구비한 팬 필터 유니트(14)의 구성을 나타낸 것이고, 도 5는 본 발명에 따른 또 다른 실시 예로 역기류 방지기능을 구비한 팬 필터 유니트(14)의 구성을 나타낸 것이다.

본 발명을 이루기 위한 구성 수단들에 대하여 구체적으로 살펴본다.

일반적으로 클린룸에는 천장에 미세 먼지 등을 제거할 수 있는 고성능 팬필터 유니트(14)가 부착 설치되고, 필터를 거쳐서 나온 청정공기를 클린 룸으로 불어 넣고, 클린룸에 유입된 공기는 실내에서 발생된 부유 미립자와 기타 실내에서 발생하는 다양한 종류의 먼지들과 함께 바닥에 설치된 격자면 사이로 공기의 흐름을 따라서 바닥 하부로 내려가게 되고, 내려간 부유미립자과 다양한 먼지들은 벽을 타고 다시 천장에 부착된 팬필터 유니트(14)에서 정화되는 과정을 거쳐서 클린룸을 유지하게 되나, 여러 대의 팬필터 유니트(14) 중에서 적어도 한대 이상이 여러 가지 원인으로 이상이 발생하여 동작을 멈출 경우에는 이상이 발생한 팬 필터 유니트(14)가 공기의 흡입구로 작용하여 공기의 역기류가 심하게 발생하게 된다.

본 발명은 상기 팬필터 유니트(14)의 팬의 동작여부를 팬의 동작에 의하여 발생하는 풍압을 측정하여 감지하기 위하여 팬필터 유니트(14)의 일측에 압력센서(11)를 고정 설치한다.

또한, 상기 팬 필터 유니트(14)의 공기를 흡입하는 흡입구는 댐퍼(13)가 설치되는 부분을 제외한 모든 부분을 밀폐시키기 위하여 직육면체 형상의 구조물을 설치 고정하고 박스의 일측에 상기 압력센서(11)와 연동되도록 댐퍼(13)를 소형 모터(15)와 함께 흡입구 일측에 설치 고정한다.

상기 팬 필터 유니트(14)의 팬(16)의 동작에 따른 풍량을 감지하는 압력센서(11)와 압력센서(11)에서 감지된 신호에 기초하여 댐퍼(13)를 열고 닫아주는 제어부를 구비한다. 댐퍼(13)는 팬(16)이 회전하면 열린 상태를 유지하여 팬 필터 유니트(14)로 공기가 용이하게 유입되도록 하고, 팬(16)의 동작이 중지되면 닫힌 상태를 유지하여 공기의 역기류를 방지하도록 구성되어 있다. 본 발명에 따른 다양한 실시 예를 살펴본다.

본 발명의 또 다른 효과는 상기와 같은 공기의 흐름을 측정하는 압력센서나 압력센서와 연동하는 뎀퍼 및 이를 제어하는 제어수단을 구비함이 없이 공기의 흐름에 의하여 발생하는 압력을 이용하여 팬필터 유니트가 동작할 경우에는 열리고 팬의 이상 발생시에는 공기가 빨려 들어가는 힘에 의하여 자동으로 닫히는 구조로 구성되어 생산비용을 최소화하는 구성으로 설계 제작하거나 스프링과 선을 이용하여 뎀퍼를 열고 닫을 수 있는 구성함으로써 구성이 비교적 간단하여 고장이 적고 생산 비용을 최소화하여 구성하는데 있다.

본 발명에 따른 구체적인 실시 예1을 도 4에 기초하여 살펴보면, 팬 필터 유니트(14)의 일측에 풍력을 감지할 수 있는 위치에 압력센서(11)를 고정 설치하고, 팬 필터 유니트(14)의 뒷면 공기가 흡입되는 부분에는 소정의 높이로 정사각형 또는 직사각형 형상의 댐퍼(13)가 설치되어 공기를 흡입하는 면을 제외한 모든 면을 밀폐시켜 밀폐형 구조물(17)이 되도록 하고, 상기 공기 흡입구에 설치된 댐퍼(13)를 소정의 회전각으로 회전할 수 있도록 소형 모터(15)를 댐퍼(13)와 인접하여 부착 설치하며, 상기 압력센서(11)로 전기적 신호를 감지하여 댐퍼(13)와 서로 연동하여 작동할 수 있도록 제어하는 제어기(12)가 팬 필터 유니트(14)의 일측에 고정 설치된다.

동작원리는 팬 필터 유니트(14)의 팬(16)이 동작하는지의 여부를 압력센서로 감지하고, 전기적 신호를 이용하여 팬(16)이 동작하면 상기 댐퍼(13)는 열린 상태를 유지하고, 팬(16)의 동작이 중지되면 댐퍼(13)는 닫힌 상태를 유지하게 된다.

상기 댐퍼(13)는 공기의 흡입량을 고려하여 적어도 하나 이상 설치하면서 적어도 한 면 이상에 설치 고정하여 공기의 흡입이 자유롭게 구성한다. 재질은 팬 필터 유니트(14)의 케이스와 동일하거나 합성수지 등으로 구성할 수 있다.

본 발명에 따른 구체적인 실시 예2를 도5에 기초하여 살펴보면, 상기 실시 예1에서 사용된 풍력을 감지하는 압력센서(11), 공기의 흡입을 위한 댐퍼(13) 및 제어기(12)를 구비함이 없이 팬 필터 유니트(14)의 뒷면 공기가 흡입되는 부분에는 소정의 높이로 정사각형 또는 직사각형 형상의 댐퍼(13)가 설치되어 공기를 흡입하는 면을 제외한 모든 면을 밀폐시켜 밀폐형 구조물(17)이 되도록 하고, 공기의 흡입을 위한 흡입구에는 중력과 공기의 흡입력에 의하여 자연스럽게 회전하여 문이 열고 닫히는 구조(13)로 설계 제작한다. 즉, 팬 필터 유니트(14)가 동작하면 공기의 흡입력에 의하여 문이 회전축을 중심으로 소정의 각도로 열리고, 팬 필터 유니트(14)가 작동을 멈추면 공기의 역기류에 의하여 문이 자동을 밀폐되는 구성으로 이루어져 생산비용을 크게 절감할 수 있는 구성으로 이루어진다. 재질은 팬 필터 유니트(14)의 케이스와 동일하거나 합성수지 등으로 구성할 수 있다.

본 발명은 팬필터 유니트의 팬의 동작여부를 감지하는 압력센서와, 압력센서에서 팬의 움직임에 의한 공기의 압력에 이상이 발생하였다고 판단할 시 공기를 흡입하는 댐퍼를 닫아서 공기의 역기류를 막아주는 수단과, 정상동작을 할 경우에는 공기가 자연스럽게 팬 필터 유니트로 유입되도록 소형모터와 연동하는 댐퍼를 열어 주는 수단 및 이를 제어하는 제어수단을 구비하고 이상이 발생하여 동작을 멈출 경우에는 이상이 발생한 팬으로 공기의 역기류를 방지하여 생산되는 제품에 미치는 영향 및 클린룸의 오염을 최소화하는 작용효과가 있다.

본 발명의 또 다른 효과는 상기와 같은 공기의 흐름을 측정하는 압력센서나 압력센서와 연동하는 댐퍼 및 이를 제어하는 제어수단을 구비함이 없이 공기의 흐름에 의하여 발생하는 압력을 이용하여 팬필터 유니트가 동작할 경우에는 열리고 팬의 이상 발생시에는 공기가 빨려 들어가는 힘에 의하여 자동으로 닫히는 구조로 구성되어 생산비용을 최소화하는 구성으로 설계 제작하거나 스프링과 선을 이용하여 댐퍼를 열고 닫을 수 있도록 구성함으로써 구성이 비교적 간단하여 고장이 적고 생산 비용을 최소화하는 효과가 있다.

Claims (4)

1. 역기류방지 수단이 부착된 팬필터 유니트(14)에 있어서,

   팬 필터 유니트(14)의 뒷면 공기가 흡입되는 부분에 소정의 높이로 정사각형 또는 직사각형 형상으로 공기를 흡입하는 흡입구가 위치하는 면을 제외한 모든 면을 밀폐시킨 밀폐형 구조물(17)과,

   상기 공기 흡입구에는 소형모터(15)와 연동하여 소정의 회전각으로 회전할 수 있도록 설치된 댐퍼(13)와,

   팬 필터 유니트(14)의 전면에 설치 고정되며, 팬 필터 유니트(14)의 팬(16)이 동작하는지의 여부를 감지하는 압력센서(11)와,

   팬 필터 유니트(14)의 일측에 설치 고정되며, 팬의 동작여부를 압력센서(11)로 전기적 신호를 감지하여 댐퍼(13)의 열림과 닫힘을 제어하는 제어기(12)를 구비한 것을 특징으로 하는 역기류방지 수단이 부착된 팬필터 유니트.
2. 삭제
3. 청구항 1에 있어서,

   상기 공기 흡입구가 설치되는 면은 적어도 두 면 이상으로 구성된 것을 특징으로 하는 역기류방지 수단이 부착된 팬필터 유니트.
4. 삭제

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