KR101156039B1 - 크린룸용 팬필터유닛 - Google Patents

Abstract

본 발명은 하향 직류성 송풍 기능을 갖는 크린룸용 팬필터 유닛에 관련한 것으로서, 크린룸용 팬필터유닛으로서, 공조관과 연통 가능하게 상부의 일측 개방통로가 측방향으로 돌출 형성된 에어 챔버와, 하부가 개방된 중공 구조를 갖는 필터 하우징과, 상기 필터 하우징에 마운팅 브라켓을 매개로 장착 고정된 송풍 팬 어셈블리와, 상기 송풍 팬 어셈블리의 하부에 대응되는 상기 필터 하우징의 하부에 기밀하게 설치된 필터 어셈블리를 포함하고, 상기 필터 하우징의 내벽에는 상기 필터를 하방에서 탈착 가능하게 탄력성 고정레버수단이 상하 회전 가능하게 고정 설치되어, 보다 용이하고도 견고하게 상기 필터를 설치할 수 있도록 하였다.

Description

크린룸용 팬필터유닛{Hepa filter unit for clean room}

본 발명은 크린룸용 팬필터유닛에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 종래 BFU 방식의 상부의 여유공간이 없더라도 단시간에 필터유닛의 유지 보수를 위시한 교환작업을 용이하게 수행할 수 있음과 동시에, 고정레버수단을 다수개 장치하여, 피벗회전 및 탈거 가능하게 함으로써, 천정이 낮은 청정실에서는 천정 하부에서의 필터유닛의 하방 탈거를 자유롭게 수행할 수 있도록 한 크린룸용 팬필터 유닛에 관련한 것이다.

일반적으로, 크린룸은 먼지가 전혀 없으며 외부와 차단 또는 격리된 공간으로서, 초고밀도집적회로나 유전자 조작 등과 같이 세포 속의 미소한 유전자를 다루는 곳에서와 같이 환경 조건이 품질에 큰 영향을 끼치는 분야에 광범위하게 적용된다.

이러한 크린룸은 환경 조건의 하나로 먼지의 유무가 문제되는데, 눈에 보이지 않을 정도의 미세한 것도 존재해서는 안 된다. 따라서 크린룸은 외부로부터 먼지가 들어오지 않도록 방을 격리, 방안으로 들어오는 사람의 먼지를 문 밖에서 제거, 방안에 있는 사람에게 먼지가 나지 않는 특수복 착용 또는 필수적으로 방안의 먼지를 없애는 장치를 설비해야 한다.

전술된 크린룸의 청정도는 공조 시스템에 의해 크게 좌우된다. 현재, 크린룸의 공조 시스템은 팬 필터 유닛 방식(FanFilter Unit, 이하 "FFU"라 한다)과 블로어 팬 필터(Blower Filter Unit) 방식으로 크게 구별된다.

FFU 방식은 개별 방식의 수직 층류형으로 공기 조화기가 필요치 않고 자가 순환이 가능하여 저소음, 저진동, 저에너지 등의 초크린룸을 구현할 수 있는 특징이 있다. 또한, 팬필터유닛 방식은 공기 조화기로 냉, 난방 부하 및 청정도에 필요한 풍량을 헤파 필터 박스(Hepa Filter Box)를 통하여 공급하고 청정도에 필요한 풍량만을 자체적으로 순환시키는 방식이다.

여기서, 팬필터유닛 방식은 다음과 같은 장점을 갖는다.

1. 시스템의 구조가 간단하고, 운전비 및 설비비가 저렴하다.

2. 일반 크린룸에 가장 많이 사용되는 시스템이다.

3. 실내의 구조 및 장비 배치에 따라 천정에 리턴 박스(Return Box)를 설치하거나 실내에 리턴 풍도를 설치하여 공기를 순환시킨다.

4. 공기 조화기 용량 범위 내에서 크린룸의 확장이 비교적 편리하다.

5. 크린 벤치(Clean Bench) 및 크린 부스(Clean Booth) 등을 이용하여 국부적인 고청정도를 형성할 수 있다.

종래 기술에 의한 팬필터유닛은 다음과 같다.

종래 기술에 의한 팬필터유닛는, 일반적으로, 크린룸용 팬필터 유닛는, 송풍실(11)과 필터실(12)을 가지며, 크린룸의 외부에 설치되는 케이스(10)와; 상기 케이스의 송풍실에 장착되며 상기 크린룸을 순환하는 오염 공기를 상기 케이스의 필터실에 송풍하는 블로어(20)와; 상기 케이스의 송풍실에 장착되며 상기 블로어에 의해 송풍되어 상기 크린룸에 공급되는 공기를 여과하는 필터(30)와; 상기 케이스의 필터실의 내부에 횡방향으로 배열되면서 일측이 상기 케이스의 통공에 연결되며 타측은 상기 필터실의 내벽과의 사이에 선회홀(18)이 형성되도록 이격되어 상기 통공을 통해 토출된 공기가 상기 선회홀을 따라 상기 필터측으로 선회하도록 안내하는 판상의 가이드(16)와; 상기 가이드의 저부에 장착되며 전원을 인가받아 UV 파장을 발산하는 UV 어셈블리(40)를 포함하는 구성된다.

이와 같은 구조의 팬필터유닛은 크린룸의 외부에 설치되어 유공관 등을 통해 유체 연통 가능하게 연결되어 상기 크린룸 내에 여과된 공기를 지속적으로 공급한다.

한편, 종래 팬필터유닛에 적용된 필터(30)는 철판재 등으로 케이싱되어 이루어진 송풍실(11)과 필터실(12)로 구획 분리된 2중의 대형 공간 중에서 필터실(12)에 부착되는 바, 이러한 필터(30)는 미세한 유해세균과 오염된 먼지까지도 걸러주는 공지된 특수 대전섬유인 석면 섬유로 제작된 여과지인 헤파필터(HEPA: High Efficiency Particulate Air)를 장착하여 사용하고 있는데, 상기 헤파필터는 인체에 가장 해로운 미립자인 대략 0.3마이크론 크기의 오염먼지를 99.97%까지 깨끗하게 제거하는 정화력을 가짐으로써 오염된 공기를 상당히 깨끗한 상태까지 정화시키는 역할을 하는 것이다.

그러나, 이와 같이 2중으로 분리된 대형의 필요 설치 공간이 사공간화됨에 따라, 불필요하게 천정실의 대부분의 공간을 점유하게 되는 등의 설치 상의 저효율적인 문제점이 파생되게 되었다.

더욱이, BFU 방식은 전술된 장점을 갖는 반면, 청정도를 유지하기 위한 풍량을 제공하기 위하여 송풍기를 사용함으로써 청정실 내부에 와류나 기류의 혼란이 야기되어 고 청정도를 유지하여야 하는 고 청정실에의 적용이 곤란한 문제점이 있다.

그러나, 상기한 구조에서는, 필터의 유지보수를 위해 탈거를 해야할 경우, 특히 정사각형 형상으로 이루어진 유닛의 상부에서만 탈거가 가능하였다. 이것은 거치프레임 등의 위쪽 영역에 작업공간에 해당하는 여분의 공간이 제공될 경우에만 가능하기 때문에, 필터유닛의 유지보수 작업이 그만큼 어려워지게 되는 단점을 내포하고 있었다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명은 상부의 여유공간이 없더라도 단시간에 필터유닛의 유지 보수를 위시한 교환작업을 용이하게 수행할 수 있음과 동시에, 고정레버수단을 다수개 장치하여, 피벗회전 및 탈거 가능하게 함으로써, 천정이 낮은 청정실에서는 천정 하부에서의 필터유닛의 하방 탈거를 자유롭게 수행할 수 있도록 한 구조를 제공하는 것을 주된 기술적 해결과제로 한다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 크린룸용 팬필터유닛으로서,

공조관과 연통 가능하게 상부의 일측 개방통로가 측방향으로 돌출 형성된 에어 챔버와,

하부가 개방된 중공 구조를 갖는 필터 하우징과,

상기 필터 하우징에 마운팅 브라켓을 매개로 장착 고정된 송풍 팬 어셈블리와,

상기 송풍 팬 어셈블리의 하부에 대응되는 상기 필터 하우징의 하부에 기밀하게 설치된 필터 어셈블리를 포함하고,

상기 필터 하우징의 내벽에는 상기 필터를 하방에서 탈착 가능하게 탄력성 고정레버수단이 상하 회전 가능하게 고정 설치된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 고정레버수단은, 좌우 회동 가능하게 상기 필터하우징의 내면에 고정된 제1 고정부재와, 이 제1 고정부재에 제1 레버핀을 매개로 좌우 회동 가능하게 지지된 지지레버와, 상기 지지레버에 상하 회동 가능하게 지지된 제2 고정부재와, 상기 제2 고정부재를 상기 지지레버에 대하여, 복원 접힘동작 시, 복원력을 조성하도록 제2 복원 스프링이 결합되는 구조로 됨이 바람직하다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 상부의 여유공간이 없더라도 단시간에 필터유닛의 유지 보수를 위시한 교환작업을 용이하게 수행할 수 있음과 동시에, 고정레버수단을 다수개 장치하여, 피벗회전 및 탈거 가능하게 함으로써, 천정이 낮은 청정실에서는 천정 하부에서의 필터유닛의 하방 탈거를 자유롭게 수행할 수 있는 등 종래 상의 주된 기 문제점을 해소할 수 있도록 하는 등의 장점이 있다.

도 1은 종래예에 따른 블로우팬 필터유닛의 내부 구조도,
도 2는 본 발명에 따른 크린룸용 팬필터유닛을 상부 방향에서 바라보아 도시한 사시 구조도,
도 3은 도 2의 반대방향에서 팬필터유닛을 예시한 사시 구조도,
도 4는 도 3의 팬필터유닛의 각 구성요소를 분해하여 도시한 분해조립 사시 구조도,
도 5는 도 4의 팬필터유닛에서 에어 챔버(110)를 개별로 확대 도시한 확대 사시도,
도 6은 도 2의 팬필터유닛의 정면 구조도,
도 7은 도 2의 팬필터유닛의 평면 구조도,
도 8은 도 7의 선 A-A에 따른 팬필터유닛의 종단면 구조도,
도 9는 본원 발명의 실시예에 따른 고정레버수단의 잠금 작동을 설명하기 위한 측면 구조도, 및
도 10은 도 9의 A부분에서의 고정레버수단의 작동을 상세히 설명하기 위한 측면도 및 평면 구조도.

이하, 본 발명에 구성을 첨부된 도면을 참조로 설명하면, 도 1은 종래예에 따른 블로우팬 필터유닛의 내부 구조도이며, 도 2는 본 발명에 따른 크린룸용 팬필터유닛을 상부 방향에서 바라보아 도시한 사시 구조도이고, 도 3은 도 2의 반대방향에서 팬필터유닛을 예시한 사시 구조도이며, 도 4는 도 3의 팬필터유닛의 각 구성요소를 분해하여 도시한 분해조립 사시 구조도이고, 도 5는 도 4의 팬필터유닛에서 에어 챔버를 개별로 확대 도시한 확대 사시도이며, 도 6은 도 2의 팬필터유닛의 정면 구조도이고, 도 7은 도 2의 팬필터유닛의 평면 구조도이며, 도 8은 도 7의 선 A-A에 따른 팬필터유닛의 종단면 구조도이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명에 의한 크린룸용 팬필터유닛은, 송풍 팬 어셈블리에 의해 강제 흡입된 공기를 제1 및 제2 확장 개방형 공기유동구와, 제1 곡면부을 경유하여 균일하게 배분, 예컨대 송풍 압력의 편차를 감소시켜 크린룸 전체의 기류 변화를 최소화하여 종래의 송풍기에 의한 난류 또는 기류 혼란을 원천적으로 방지하도록 기능하는 크린룸용 팬필터유닛의 일환으로서 도출되었다.

상기한 본 발명의 일 실시예에 따른 크린룸용 팬필터유닛은, 공조관(14)과; 이 공조관(14)과 연통 가능하게 상부의 일측 개방통로(110a)가 측방향으로 돌출 형성된 에어 챔버(110)와, 하부가 개방된 중공 구조를 갖는 필터 하우징(130)과, 상기 에어 챔버(110)에 마운팅 브라켓(141)을 매개로 장착 고정된 송풍 팬 어셈블리(140)와; 상기 송풍 팬 어셈블리(140)의 하부에 대응되는 상기 필터 하우징(130)의 하부에 기밀하게 설치된 필터(30)를 포함하는 구성으로 되어 있다.

또, 상기 필터 하우징(130)의 하측 단부에는 토출 개구부(131)가 형성되고, 이 토출 개구부(131)에는 에어 직류 토출형 에어 블레이드(150)가 힌지수단(160)을 매개로, 하방향으로 힌지 회동 가능하게 지지되어 있다.

또한, 상기 에어 챔버(110)에 형성된 일측 개방통로(110a)는 상기 에어 챔버(110)의 상부벽에 관통형성된 상기 송풍 팬 어셈블리(140)의 직경에 상당하는 크기의 벨 마우스(111)와 연통 가능하게 구성되어 있다.

즉, 챔버의 상부에는 덕트를 구성하여 팬필터유닛 제작시 송풍 팬의 공기 유입구와 토출구가 분리된 구조를 가지며, FAN의 흡입측과 맞 닫는 부분에 벨 마우스가 형성된 구조로 되어 있다.

또, 상기 에어 챔버(110)의 내벽의 상부 모서리부 전체에는 상기 일측 개방통로(110a)와 유입구(111)를 통해 유입되는 에어의 유동성을 증대시켜 소음을 저감시키기 위한 제1 곡면부(113)가 전체적으로 형성되어 있다.

또한, 상기 일측 개방통로(111)는 상기 에어 챔버(110)의 내벽에 일정곡률을 갖는 제1 곡면부(1130)에 제1 확장 개방형 공기유동구(171)가 연장 형성되도록 하기 위해, 상기 제1 확장 개방형 공기유동구(171)를 감싸도록 단면이 반구형상으로 형성된 유동커버(170)에 의해 형성되는 구조로 되어 있다.

또, 상기 유동커버(170)의 단부측은, 상기 에어 챔버(110)의 상부벽의 유입구를 둘러싸며, 상기 제1 확장 개방형 공기유동구(171)를 통해 유입되는 공기가 상기 에어 챔버(110)의 유입구로 유입되는 에어의 유동성을 증대시키도록 설정 곡률반경을 갖는 제2 확장 개방형 공기유동구(173)가 내벽에 형성되는 구조로 되어 있다.

이로써, 상기 에어 챔버(110)의 내부는 공기의 흐름을 원활하게 유도하여 정압손실 및 소음을 방지할 수 있는 곡면형상으로 구성되게 되는 것이다.

상기 에어 챔버(110)는, 공기층으로 인한 열을 차단하는 단열의 효과가 있고, 불연성 및 경량성을 제공하여 안전을 재고함과 아울러 설치 및 보수가 용이하고 내구성 즉, 내화학성 및 내유성, 내후성에 강하고 보온성능을 가지며, 소음을 감쇄시켜주는 EPP재질을 사용함으로써 제작공정 및 시간을 단축하고 강도대비 무게가 가벼워 시공성을 향상시키는 구조로 되어 있다.

또한, 상기 에어 챔버(110)의 외부에는 필터하우징(130)과 조립 시 볼트의 결속력에 의해 변형이 발생하여 공기의 누수가 발생할 수 있는 외측면 및 각 모서리 부위에 다수의 변형 방지 리브(119)가 돌출 형성되어 있다.

또한, 상기 필터 하우징(130)의 내벽에는 상기 필터(30)를 하방에서 탈착 가능하게 탄력성 고정레버수단(180)이 상하 회전 가능하게 고정 설치되는 구성으로 되어 있다.

상기 고정레버수단(180)은, 좌우 회동 가능하게 상기 필터하우징(120)의 내면에 고정된 제1 고정부재(181)와, 이 제1 고정부재(181)에 제1 레버핀(P3)을 매개로 좌우 회동 가능하게 지지된 지지레버(183)와, 상기 지지레버(183)에 상하 회동 가능하게 지지된 제2 고정부재(182)와, 상기 제2 고정부재(182)를 제2 레버핀(P4)을 매개로 회전 가능하게 지지하는 상기 지지레버(183)에 대하여, 상기 제2 고정부재(182)를 복원 접힘동작 시, 복원력을 조성하도록 제2 복원 스프링(185)이 결합되는 구조로 되어 있다.

또, 상기 일측 개방통로(110a)의 유입측에는 에어의 유입 및 차단 기능을 수행하도록 댐퍼(190)가 설치되어 있다.

또한, 상기 댐퍼(190)는 전자개폐식 또는 베벨 기어와 상하로 연장하여 돌출하는 회전 구동축으로 개폐되는 기계식으로 구성됨이 바람직하다.

상기 에어 팸버(190)는, 일측부에 공조관(14)과 연통되도록 공조관(14) 연결구가 형성되어 있으며, 하부는 개방된 중공 구조를 갖는다.

여기에서, 상기 공조관(14)은 덕트나 배관을 의미하며, 공기 조절용 댐퍼가 제공될 수 있다. 이때, 공기 조절기는 공조관(14)의 외부에 취부된 조절 핸들과 조절 핸들의 조작에 의해 공기의 양을 조절할 수 있도록 연결되어 있다.

본 발명은, 기본적으로 에어 챔버(110), 필터하우징(130) 그리고 에어 블레이드(150)로 구성되며 세가지 구성품은 언제든지 조립, 분해가 가능한 구조를 갖는다. 에어 챔버(110)에는 토출 풍량을 조절하는 로터리식 댐퍼(190)가 장착되며, 필터 하우징(130)에는 필터를 고정하기 위한 캠락 장치로서의 고정레버수단(180)가 6개소 구성됨이 바람직하다.

상기 에어 블레이드(150)는 쉽게 열고 닫을 수 있도록 로터리 타입의 레버가 장착되며 2단 힌지 구조를 갖는 방식의 탄력성 고정레버수단(180)이 상하 회전 가능하게 고정 설치되는 구성으로 되어 있다. 이 고정레버수단(180)의 채용에 따라, 필요 시, 필터 하우징(130)과 에어 챔버(110) 사이에 모터 브라켓(141)을 장착하고 FAN을 설치하여 BFU로 변경할 수 있는 구조를 갖는다.

상기 에어 챔버(110)의 외부에는 필터 하우징(130)과 조립 시 볼트의 결속력에 의해 변형이 발생하여 공기의 누수가 발생할 수 있는 각 모서리 부위에 변형 방지 돌출 리브(119)가 다수개 기립 형성되어 있어, 강성 증대 및 변형 억제를 동시에 도모할 수 있게 되는 것이다.

또, 상기 에어 챔버(110)의 내부에는 공기의 흐름을 원활하게 유도하여 정압손실 및 소음을 방지할 수 있도록 곡면형상으로 되어 있고, 또, 상기 에어 챔버(110)의 상부에는 덕트를 구성하여 BFU 제작시 FAN의 공기 유입구(111)와 토출구로서의 가 분리된 구조를 갖으며 FAN의 흡입측과 맞 닫는 부분에 벨 마우스형 유입구(111)가 형성되어 공기 유동을 최대한 조력할 수 있도록 구성되게 되는 것이다.

또, 상기 에어 챔버(110)는, 공기층으로 인해 하부의 히터의 열을 차단하는 단열의 효과가 있고, 불연성 및 경량성을 제공하여 설치자의 안전을 재고함과 아울러 설치 및 보수가 용이하고 내 화학성 및 내유성, 내후성에 강하고 보온성능을 가지며, 소음을 감쇄시켜주는 EPP재질을 사용함으로써 제작공정 및 시간을 단축하고 강도대비 무게가 가벼워 시공성을 향상시킬 수 있도록 구성되어 있다.

또한, 상기 필터(30)의 조립시 리크를 방지하기 위해 필터(30) 상부의 접촉면에 대응하는 상기 에어 챔버(110)의 하단부에 하나 이상의 밀착형 돌부(118)가 연속 형성되어 있다.

또한, 상기 에어 챔버(110)의 상부벽에는 유동개구가 형성되어 있어, 상기 유동형 커버 단부측의 절곡부의 중심 부분에 형성된 유동구를 통해, 상기 에어 챔버(110) 내부로 유입되는 에어의 양이 고르게 분배되도록 구성되게 된다.

또한, 상기 필터(30)는, 상기 송풍 팬 어셈블리(140)의 하부에 대응된 상기 필터 하우징(130)에 내장되어 있다.

여기서, 상기 필터(30)는, 필터를 고정하기 위한 고정레버수단(180)을 통해 하방향에서 탈부착이 가능하게 구성되는 특장점이 있다.

그리고, 상기 에어 챔버(110)의 하측의 외측방향으로 넓어지는 확개부(117)를 가지고 있어, 상기 유입구(111)를 통해 유입된 에어를 하측 방향으로 정확하고도 고르게 분배 유도하도록 기능하게 된다.

이와 같은 구성을 갖는 본 발명에 의한 팬필터유닛은, 송풍 팬 어셈블리(140)의 상측부를 통해 강제 흡입된 공기가 상기 유입구(111)를 통해 하방 수직하게 토출된 후 상기 필터에 수직으로 공급되도록 함에 있어, 상기 제1 곡면부(113)를 통해 유연하게 유동하도록 구성됨으로써, 송풍 공기가 FFU 방식과 유사하게 수직 층류를 형성한 상태에서 크린룸의 하부로 균일하게 분배되도록 구성되어 있다.

또한, 상기한 필터 하우징(120)은, 시공 시 판넬 상부 정사각 타공부위로 삽입되는 부위에 큰 R을 형성하고 R이 형성된 부위에 와이어를 연결할 수 있도록 인서트가 삽입된 보스를 구비하도록 구성해도 좋다.

또한, 상기 필터 하우징(120)의 상측 외곽부에는, 상기 에어 챔버(110)와의 결속 부위에 단턱(121)을 형성하여 조립공차를 최소화하여 공기누수를 방지하는 구조를 갖는 것을 특징으로 한다.

또, 상기 필터 하우징(130) 내측에 필터(30)를 고정하는 원터치 방식의 캠락장치로서의 캠락 장치로서의 고정레버수단(180)이 구비되고, 이 캠락 장치로서의 고정레버수단(180)은 CAM과 CAM BRACKET으로 구성되며 2축으로 회전하는 구조로 제1축(CAM BRACKET)의 회전에 의해 필터의 중심을 맞추고 제2축(CAM)의 회전에 의해 필터를 압착 고정한다. 제 1축에 모서리형성에 의한 고정구조를 만들어 필터 삽입시 필터와 CAM LOCK의 간섭을 방지할 수 있도록 구성된다.

또한, 상기 에어 블레이드(150)는, 상기 필터(30)를 통과한 공기가 크린룸 내부로 유입시 공기의 확산범위를 확대하여 동일 체적을 보다 적은 수의 HFU(BFU)로 청정공간으로 유지시킴에 있어서 공기 유출각도가 서로다른 3개의 Blade와 확산범위를 조정하기 위해 중심부에 저항 플레이트를 결합할 수 있는 구조를 가지는 것을 특징으로 한다. 또한, 가장 안쪽 Blade의 끝 형상이 지면을 향하여 중심타공부와 블레이드 사이의 Dead Space를 없애는 구조로 되어 있다.

또, 상기 필터 하우징(130)과의 결합에 있어서 에어 블레이드(150)가 필터 하우징(120)을 완전하게 감쌀 수 있도록 2단 힌지 구조를 갖는 것을 특징으로 하며, 각 모서리 4점이 토글 클램프로 고정되어 언제든지 쉽게 열고 닫을 수 있는 구조로 되어 있다.

이상의 구성을 갖는 본 발명은 종래 기술에 의한 BFU 방식의 송풍기(BLOWER)에 의해 야기되던 난류, 기류의 혼란 및 심각한 소음 등을 원천적으로 방지할 수 있어 청정실 내부에 기류의 변화없이 FFU 방식의 청정도 및 수직 층류를 제공할 수있는 효과가 있다.

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

Claims (2)

1. 공조관과 연통 가능하게 상부의 일측 개방통로가 측방향으로 돌출 형성된 에어 챔버와,
   하부가 개방된 중공 구조를 갖는 필터 하우징과,
   상기 필터 하우징에 마운팅 브라켓을 매개로 장착 고정된 송풍 팬 어셈블리와,
   상기 송풍 팬 어셈블리의 하부에 대응되는 상기 필터 하우징의 하부에 기밀하게 설치된 필터 어셈블리를 포함하고,
   상기 필터 하우징의 내벽에는 상기 필터를 하방에서 탈착 가능하게 탄력성 고정레버수단이 상하 회전 가능하게 고정 설치되며,
   상기 고정레버수단은, 상기 필터하우징의 내면에 좌우 회동가능하게 설치된 제1 고정부재와, 상기 제1 고정부재와 제1 레버핀을 매개로 좌우 회동 가능하게 지지된 지지레버와, 상기 지지레버에 상하 회동 가능하게 지지된 제2 고정부재와, 상기 제2 고정부재를 상기 지지레버에 대하여, 복원 접힘동작 시, 복원력을 조성하도록 제2 복원 스프링이 결합된 것을 특징으로 하는 크린룸용 팬필터유닛.
2. 삭제

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