KR101680696B1 - 산업용 크린룸 설비(ICR, industrial clean room) 내의 헤파필터 교체 알림 시스템 - Google Patents

산업용 크린룸 설비(ICR, industrial clean room) 내의 헤파필터 교체 알림 시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명은 산업용 크린룸 설비(ICR, industrial clean room) 내의 헤파필터 교체 알림 시스템에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 헤파필터 전 후단의 압력차를 이용하여 산업용 크린룸 설비의 교체 시기를 일괄적으로 인지할 수 있도록 구성된 산업용 크린룸 설비 내의 헤파필터 교체 알림 시스템으로 필터의 교체시기를 능동적으로 감지하여 알려주어 크린룸의 환경조건을 최적화 할 수 있으며, 복수의 전동댐퍼가 설치되어 공기량을 균일하게 공급할 수 있고, 헤파필터 유닛의 내부와 외부의 온도차에 의한 결로현상을 근본적으로 방지할 수 있으며, 벽체에 일체로 형성된 리턴그릴로서 공기의 누출방지 및 장기간 사용이 가능하고, 커버를 원터치로 분리 탈착함으로써 교체의 용이성을 확보할 수 있는 것에 특징이 있는 산업용 크린룸 설비 내의 헤파필터 교체 알림 시스템을 제공한다.

Description

산업용 크린룸 설비(ICR, industrial clean room) 내의 헤파필터 교체 알림 시스템 {HEPA Filter Replacement Alarm System in Industrial Clean Room}
본 발명은 산업용 크린룸 설비(ICR, industrial clean room) 내의 헤파필터 교체 알림 시스템에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 헤파필터 전 후단의 압력차를 이용하여 산업용 크린룸 설비의 교체 시기를 일괄적으로 인지할 수 있도록 구성된 산업용 크린룸 설비 내의 헤파필터 교체 알림 시스템에 대한 것이다.
일반적으로, 크린룸은 먼지가 전혀 없으며 외부와 차단 또는 격리된 공간으로서, 초고밀도집적회로나 유전자 조작 등과 같이 세포 속의 미소한 유전자를 다루는 곳에서와 같이 환경 조건이 품질에 큰 영향을 끼치는 분야에 광범위하게 적용된다.
이러한 크린룸은 환경 조건의 하나로 먼지의 유무가 문제되는데, 눈에 보이지 않을 정도의 미세한 것도 존재해서는 안 된다. 따라서 크린룸은 외부로부터 먼지가 들어오지 않도록 방을 격리, 방안으로 들어오는 사람의 먼지를 문 밖에서 제거, 방안에 있는 사람에게 먼지가 나지 않는 특수복 착용 또는 필수적으로 방안의 먼지를 없애는 장치를 설비해야 한다.
전술된 크린룸의 청정도는 공조 시스템에 의해 크게 좌우된다. 현재, 크린룸의 공조 시스템은 팬 필터 유닛 방식(FanFilter Unit, 이하 "FFU"라 한다)과 블로어 팬 필터(Blower Filter Unit) 방식으로 크게 구별된다.
FFU 방식은 개별 방식의 수직 층류형으로 공기 조화기가 필요치 않고 자가 순환이 가능하여 저소음, 저진동, 저에너지 등의 초크린룸을 구현할 수 있는 특징이 있다. 또한, 팬필터유닛 방식은 공기 조화기로 냉, 난방 부하 및 청정도에 필요한 풍량을 헤파 필터 박스(Hepa Filter Box)를 통하여 공급하고 청정도에 필요한 풍량만을 자체적으로 순환시키는 방식이다.
여기서, 팬필터유닛 방식은 다음과 같은 장점을 갖는다.
1. 시스템의 구조가 간단하고, 운전비 및 설비비가 저렴하다.
2. 일반 크린룸에 가장 많이 사용되는 시스템이다.
3. 실내의 구조 및 장비 배치에 따라 천정에 리턴 박스(Return Box)를 설치하거나 실내에 리턴 풍도를 설치하여 공기를 순환시킨다.
4. 공기 조화기 용량 범위 내에서 크린룸의 확장이 비교적 편리하다.
5. 크린 벤치(Clean Bench) 및 크린 부스(Clean Booth) 등을 이용하여 국부적인 고청정도를 형성할 수 있다.
종래 기술에 의한 팬필터유닛은 다음과 같다.
종래 기술에 의한 팬필터유닛은, 일반적으로, 크린룸용 팬필터 유닛은, 송풍실(11)과 필터실(12)을 가지며, 크린룸의 외부에 설치되는 케이스(10)와; 상기 케이스의 송풍실에 장착되며 상기 크린룸을 순환하는 오염 공기를 상기 케이스의 필터실에 송풍하는 블로어(20)와; 상기 케이스의 송풍실에 장착되며 상기 블로어에 의해 송풍되어 상기 크린룸에 공급되는 공기를 여과하는 필터(30)와; 상기 케이스의 필터실의 내부에 횡방향으로 배열되면서 일측이 상기 케이스의 통공에 연결되며 타측은 상기 필터실의 내벽과의 사이에 선회홀(18)이 형성되도록 이격되어 상기 통공을 통해 토출된 공기가 상기 선회홀을 따라 상기 필터측으로 선회하도록 안내하는 판상의 가이드(16)와; 상기 가이드의 저부에 장착되며 전원을 인가받아 UV 파장을 발산하는 UV 어셈블리(40)를 포함하는 구성된다.
이와 같은 구조의 팬필터유닛은 크린룸의 외부에 설치되어 유공관 등을 통해 유체 연통 가능하게 연결되어 상기 크린룸 내에 여과된 공기를 지속적으로 공급한다.
한국공개특허 제2011-0066070호에서는 공조관과 연통 가능하게 상부의 일측 개방통로가 측방향으로 돌출 형성된 에어 챔버와, 하부가 개방된 중공 구조를 갖는 필터 하우징과, 상기 필터 하우징에 마운팅 브라켓을 매개로 장착 고정된 송풍 팬 어셈블리와, 상기 송풍 팬 어셈블리의 하부에 대응되는 상기 필터 하우징의 하부에 기밀하게 설치된 필터 어셈블리를 포함하고, 상기 필터 하우징의 내벽에는 상기 필터를 하방에서 탈착 가능하게 탄력성 고정레버수단이 상하 회전 가능하게 고정설치되어, 보다 용이하고도 견고하게 상기 필터가 설치되는 하향 직류성 송풍 기능을 갖는 크린룸용 팬필터 유닛이 알려져 있다.
한국공개특허 제2011-0088244호에서는 3차 필터(헤파 필터)의 차압을 측정해 석면 분진 축적 상태, 필터 교체 시기를 판단할 수 있고, 장비 내부의 필터 장착 틈새로 인해 석면 분진이 누설, 침투되는 것을 방지하기 위한 필터 장착 구조를 갖는, 헤파 청소기가 개시되어 있다.
한국공개특허 제2012-0016625호에서는 케이스의 내부에 항균필터와 오염물질을 제거하는 카본필터(carbon filter) 그리고 나노실버필터(nano sliver filter)로 이루어진 탈취 제거필터 및 여과지가 순차로 적층토록 설치되며, 상기 항균 필터와 카본 필터 사이에는, 상부 및 하부 섬유층을 개재하여 그 내부에 소결 영구자석 분말이 0.8 ~ 2mm의 두께로 내장되고, 상기 소결 영구자석 분말(180)이 내장된 상부 및 하부섬유층 주연부가 재봉되는 자석분말 필터부가 설치되며, 상기 항균필터 및 탈취 제거필터에는 금속 이온농도를 측정하여 게시하는 측정센서가 부착되어, 전선으로 LED와 연결 설치되는 것을 특징으로 하는 공기청정기용 헤파필터가 개시되어 있다.
한국공개실용신안 제2014-0004212호에서는 청수를 냉각시키는 해수가 유입되는 해수유입구측에 불순물을 제거하기 위해 필터가 설치되어 있는 청수냉각기에 있어서, 상기 청수냉각기의 해수유입구와 해수유출구에 각각 설치되어 해수 압력을 측정하는 압력게이지와, 상기 압력게이지에 표출되는 압력차를 감지하여 전기적 신호로 송출하는 차압감지부와, 상기 차압감지부로부터 입력된 신호를 근거로 기 설정된 수치 이상의 차압이 발생하는 경우 중앙제어실에서 선원이 필터 교체시점을 인식하도록 경보제어신호를 출력하는 제어부를 포함하는 필터교체 알림기능을 갖는 선박 청수 냉각기를 개시하고 있다.
한국등록특허 제10-1125704호에서는 차압센서를 이용하여 백필터의 에어퍼징 시점에 해당하는 설정압력을 감지하면 이 감지신호를 콘트롤러에 입력한 후 상기 콘트롤러는 에어분사관을 백필터의 배기구에 밀착시키고 더스팅 에어호스에서 에어를 분사하는 제어명령을 통해 1차적으로 에어퍼징 작업을 자동으로 수행할 수 있도록 하고, 상기한 에어퍼징 작업에도 고착된 분진이 제거되지 않아 필터링부의 압력이 상승하면 이 상승압력을 막힘 감지센서가 감지한 후 감지신호를 송출하여 알림장치가 경고음을 발생하도록 하며, 상기 경고음이 발생하면 작업자는 바이브레이션 탈리기를 가동하여 2차적으로 백필터에 바이브레이션을 주어 고착된 분진을 완전하게 제거할 수 있도록 함을 발명의 특징으로 하는 분진자동제거시스템을 개시하고 있다.
그러나, 복수의 헤파필터가 설치된 산업용 크린룸 설비의 필터 막힘에 의한 필터 교체시기를 능동적으로 제어하여 교체시기를 알려주는 산업용 크린룸 설비의 헤파필터 자동교체 알람시스템을 개시된 바가 없다.
한국공개특허 제2011-0066070호 한국공개특허 제2011-0088244호 한국공개특허 제2012-0016625호 한국공개실용신안 제2014-0004212호 한국등록특허 제10-1125704호
본 발명은 상술한 사정을 해결하기 위해 이루어진 것이며, 산업용 크린룸 설비(ICR, industrial clean room) 내의 헤파필터 교체 알림 시스템에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 헤파필터 전 후단의 압력차를 이용하여 산업용 크린룸 설비의 교체 시기를 일괄적으로 인지할 수 있도록 구성된 산업용 크린룸 설비 내의 헤파필터 교체 알림 시스템을 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 목적으로 달성하기 위한 본 발명의 헤파필터 교체 알림 시스템은 산업용 크린룸 설비(ICR, industrial clean room) 내의 헤파필터 교체 알림 시스템에 있어서,
공기를 1차 여과시키는 공기 여과기(110), 상기 공기여과기를 거친 공기를 소정의 공조조건에 따라 선택적으로 냉각하는 공기 냉각기(120), 상기 공기 냉각기를 통과한 공기를 소정의 공조조건에 따라 선택적으로 가열하는 공기 가열기(130), 상기 공기 가열기를 통과한 공기를 소정의 공조조건에 따라 선택적으로 가습하는 공기 가습기(140) 및 상기 산업용 크린룸 설비에 상기 공기 가습기를 통과한 공기를 공기덕트로 일정한 유량을 공급해주는 팬(150), 상기 팬에 구동력을 전달하는 모터(160) 및 소정의 공조조건에 따라 공기 유량을 제어하는 인버터(170)로 구성된 송풍기를 포함하는 공기조화유닛(100);
상기 공기조화유닛에서 토출된 공기의 유속을 저감시켜 소음 생성을 방지하기 위해서 공기조화유닛 토출 상부의 공기덕트에 설치되는 에어 사운드 챔버(210), 상기 에어 사운드 챔버를 통과한 공기를 상기 산업용 크린룸 설비 요구량에 따라 균일하게 공급하기 위한 복수개로 배치된 헤파필터유닛(220), 상기 헤파필터유닛 전단에 배치된 공기유량센서(230), 상기 공기유량센서의 측정값에 따라 상기 헤파필터 유닛에 공기량이 균일하게 분포될 수 있게 하는 전동댐퍼(240)가 설치된 복수개의 공기덕트 분기부(250)를 포함하는 공기 덕트유닛(200);
상기 복수개의 공기덕트 분기부에 연결되어 공기 유량을 제어하는 공기댐퍼(221), 상기 공기댐퍼를 통과한 공기가 체류하는 공기 체류부(222), 상기 공기 체류부에 있는 공기의 열손실을 방지하는 공기 체류부 보온재(223), 상기 헤파필터 전단과 후단의 압력차를 측정하는 차압센서(224), 상기 산업용 크린룸 설비 내부에 공기가 공급되기전에 이물질 여과를 위하여 설치된 헤파필터(225) 및 상기 헤파필터를 보호하기 위한 커버(226)를 포함하는 헤파필터유닛;
상기 산업용 크린룸 설비에 공급된 공기를 회수하기 위한 리턴그릴(310), 상기 리턴그릴을 통과한 회수공기를 상기 공기조화 유닛으로 유도하는 리턴덕트(320), 상기 산업용 크린룸 설비의 소정의 공조조건에 따라 회수된 공기를 상기 공기 가습기 후단으로 선택적으로 공급하는 바이패스장치(330) 및 상기 리턴덕트 후단에 설치되는 온도센서(340) 및 습도센서(350)를 포함하는 공기리턴유닛(300); 및
상기 공기조화유닛의 인버터제어, 상기 공기덕트유닛의 공기유량센서, 상기 헤파필터유닛의 차압센서 및 상기 공기리턴유닛의 온도센서 및 습도센서 정보를 수집하여 소정의 공조조건에 따라 공기조화유닛의 상기 공기 냉각기, 상기 공기 가열기, 상기 공기 가습기, 상기 전동댐퍼 및 상기 인버터를 이용해 공급되는 공기의 온도, 습도 및 유량을 선택적으로 제어하는 공급공기제어부(410), 및 상기 헤파필터유닛에 설치된 헤파필터의 설비 가동 중의 전단과 후단의 압력강하값이 25mmAq 내지 50mmAq이하이면 알람제공이 없고, 상기 헤파필터 전단과 후단의 압력강하값이 50mmAq를 초과하면 헤파필터 교체를 위한 알람으로서 경보음제공장치(420)와 빛제공장치(430)로 알람을 제공하는 필터제어유닛(400);으로 구성된 산업용 크린설비(ICR, industrial clean room) 내의 헤파필터 교체 알림 시스템를 제공한다.
또한 본 발명은 상기 공기체류보온재를 상기 헤파필터유닛의 상기 공기체류부만이 아닌 상기 헤파필터유닛 내부와 외부전체에 설치하여 상기 헤파필터부분의 내부와 외부 온도차에 의한 결로형성을 방지하는 기능을 추가하는 것일 수 있다.
또한 본 발명은 상기 리턴그릴은 분리장착형이 아닌 벽체에 일체로 형성된 것을 제공한다.
또한 본 발명은 상기 커버는 나사형태로 상기 헤파필터유닛에 결합되는 형태가 아닌 푸쉬버튼 타입의 원터치로 분리가능한 커버인 것을 더 포함한다.
본 발명의 산업용 크린룸 설비(ICR, industrial clean room) 내의 헤파필터 교체 알림 시스템은 필터의 교체시기를 능동적으로 감지하여 알려주어 크린룸의 환경조건을 최적화 할 수 있으며, 복수의 전동댐퍼가 설치되어 공기량을 균일하게 공급할 수 있고, 헤파필터 유닛의 내부와 외부의 온도차에 의한 결로현상을 근본적으로 방지할 수 있으며, 벽체에 일체로 형성된 리턴그릴로서 공기의 누출방지 및 장기간 사용이 가능하고, 커버를 원터치로 분리 탈착함으로써 교체의 용이성을 확보할 수 있는데 그 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 산업용 크린룸 설비(ICR, industrial clean room) 내의 헤파필터 교체 알림 시스템의 공기조화유닛의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 산업용 크린룸 설비(ICR, industrial clean room) 내의 헤파필터 교체 알림 시스템의 공기덕트유닛의 구성도이다.
도 3은 본 발명의 산업용 크린룸 설비(ICR, industrial clean room) 내의 헤파필터 교체 알림 시스템의 공기리턴유닛의 구성도이다.
도 4 는 본 발명의 산업용 크린룸 설비(ICR, industrial clean room) 내의 헤파필터 교체 알림 시스템의 필터제어유닛의 구성도이다.
도 5는 본 발명의 산업용 크린룸 설비(ICR, industrial clean room) 내의 헤파필터 교체 알림 시스템의 전체 구성도이다.
도 6은 본 발명의 산업용 크린룸 설비(ICR, industrial clean room) 내의 헤파필터 교체 알림 시스템의 헤파필터유닛의 구성도이다.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다. 여기서 각 도면의 구성요소들에 대해 참조부호를 부가함에 있어서 동일한 구성요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호로 표기되었음에 유의하여야 한다.
도 1은 본 발명의 산업용 크린룸 설비(ICR, industrial clean room) 내의 헤파필터 교체 알림 시스템의 공기조화유닛의 구성도이다.
도 2는 본 발명의 산업용 크린룸 설비(ICR, industrial clean room) 내의 헤파필터 교체 알림 시스템의 공기덕트유닛의 구성도이다.
도 3은 본 발명의 산업용 크린룸 설비(ICR, industrial clean room) 내의 헤파필터 교체 알림 시스템의 공기리턴유닛의 구성도이다.
도 4 는 본 발명의 산업용 크린룸 설비(ICR, industrial clean room) 내의 헤파필터 교체 알림 시스템의 필터제어유닛의 구성도이다.
도 5는 본 발명의 산업용 크린룸 설비(ICR, industrial clean room) 내의 헤파필터 교체 알림 시스템의 전체 구성도이다.
도 6은 본 발명의 산업용 크린룸 설비(ICR, industrial clean room) 내의 헤파필터 교체 알림 시스템의 헤파필터유닛의 구성도이다.
상기 세포 농축형 분리기는 상부 본체(100), 하부 본체(200) 및 중앙 개폐 손잡이(300) 등을 포함한다.
공기를 1차 여과시키는 공기 여과기(110), 상기 공기여과기를 거친 공기를 소정의 공조조건에 따라 선택적으로 냉각하는 공기 냉각기(120), 상기 공기 냉각기를 통과한 공기를 소정의 공조조건에 따라 선택적으로 가열하는 공기 가열기(130), 상기 공기 가열기를 통과한 공기를 소정의 공조조건에 따라 선택적으로 가습하는 공기 가습기(140) 및 상기 산업용 크린룸 설비에 상기 공기 가습기를 통과한 공기를 공기덕트로 일정한 유량을 공급해주는 팬(150), 상기 팬에 구동력을 전달하는 모터(160) 및 소정의 공조조건에 따라 공기 유량을 제어하는 인버터(170)로 구성된 송풍기를 포함하는 공기조화유닛(100)으로 구성된다.
상기 공기 여과기는 프리필터와 미디움 필터로 구성되며, 프리필터의 재질은 폴리에스터 , 부직포 등으로 이루어지며, 미디움 필터의 재질은 글라스파이버 또는 합성수지로 이루어 진다. 프리필터 프레임의 재질은 알루미늄으로 구성되며 종이재질의 프레임을 쓰기도 한다. 미디움필터 프레임의 재질은 아연도함석 과 나무재질또는 스테인레스 재질을 쓰기도 한다.
상기 공기 냉각기는 열전도가 잘되기 위한 열전도율이 좋은 알루미늄 또는 동재질로 이루어지며, 그 냉매의 종류로는 프레온가스와 냉수 등이 있다.
상기 공기가열기는 열전도가 잘되기 위한 열전도율이 좋은 알루미늄으로 구성되어 있으며 열원의 종류로는 전기 및 온수, 스팀등을 사용한다.
상기 공기가습기는 공조실내의 내부에 최 후단에 설치하며 전자전극봉, pan type , steam injection type의 가습기의 종류가 있다.
상기 팬은 팬의 종류는 에어포일, 플레넘, 시로코, 터보 팬의 종류가 있으며, 일반적으로 에어포일 및 플레넘 팬을 사용한다.
에어포일, 플레넘팬은 풍량이 많고 정압이 비교적 높은 곳에 쓰이며, 시로코 팬은 풍량이 많고 정압이 비교적 낮은 용도로 쓰이며, 터보팬은 공조기에는 주로 쓰이지 않으나, 풍량이 적고 정압이 높은 곳에 사용된다.
상기 모터는 팬에 동력을 전달하기 위해 사용된다.
상기 인버터는 공조기의 팬의 회전수를 조정하여 풍량조절을 하기 위해 사용된다. HZ의 값의 조정으로 팬의 rpm을 조정하여 팬의 풍량을 0~100%까지 효율적으로 조정할수 있다.
상기 에어사운드 챔버는 팬에서 취출된 공기가 덕트를 통과하며 발생하는 소음을 줄여준다.
재질은 아연도함석에 흡음재 및 타공망으로 구성되어 있다.
상기 헤파필터유닛은 헤파필터를 장착할수 있는 유닛으로 공기를 통과 및 차단을 할 수 있는 원형댐퍼, 외부 casing 및 열손실을 차단할 수 있는 보온재 및 필터 장착부, 필터를 통과한 공기를 통과시켜 주며 필터의 소손을 보호해줄 수 있는 펀칭커버 부분으로 구성된다.
casing 및 펀칭커버의 재질은 steel 및 stainless로 제작할 수 있다.
상기 공기유량센서는 각각의 헤파필터 유닛의 전단에 설치되어 각 헤파필터유닛의 공기를 일정한 양으로 공급될 수 있도록 측정하여 기 설치된 헤파유닛의 전단에 설치되어 있는 전동댐퍼에 신호를 주어 댐퍼의 개도를 조절할 수 있도록 해주는 장치이다.
상기 전동댐퍼는 공기유량 센서에서 측정된 값을 일정한 개도를 전기적으로 조절하여 헤파필터 유닛에 일정하게 공기를 공급되어지게 조절해주는 장치이다.
상기 공기댐퍼는 헤파필터유닛에 공기의 유량을 수동으로 제어하는 장치이다.
상기 공기체류부는 헤파필터의 차압으로 공기가 체류하는 공간이다.
상기 보온재는 헤파유닛에 체류되는 공기의 열손실을 막기 위해 설치되며, 고무발포보온재, 아티론 보온재, glass wool보온재가 사용된다.
상기 차압센서는 헤파필터의 사용정도를 파악하기 위한 센서로 전단과 후단의 압력을 측정하여 알람신호를 주기위한 센서이다.
상기 헤파필터는 크린룸의 내부 class를 유지하는 물품으로 기본적인 재료는 glass fiber로 구성되며 효율은 0.3마이크로 기준으로 99.99% ~ 99.97%까지 여과할 수 있는 제품이다. 프레임은 우드, 알루미늄, 스테인레스로 구성되어 있다.
상기 헤파필터유닛커버는 헤파필터 유닛의 설치시 필터의 여재를 보여주는 것을 방지하는 것과 또한 헤파필터가 외부의 충격에 상당히 약하므로 보호하는 역할을 하며, 재질은 스틸과 스테인레스로 구성되어 있다.
상기 리턴그릴은 크린룸내부에 공급된 공기를 다시 공조장치로 회수하는 기능이다. 공기량을 자체로 조절할수있는 레지스터와 단순한 형태의 그릴형태로 구성되어 있다.
상기 바이패스장치는 크린룸내부의 온습도 조건이 요청한 온습도 조건의 편차내에 있을경우 냉난방장치의 불필요한 가동을 줄이기 위하여 회수된 공기를 공조기 가습기 후단으로 선택적으로 보내줄 수 있는 장치이다.
상기 온도센서 및 습도센서는 크린룸내부의 온습도 조건을 유지하기 위하여 상시 센싱으로 유지할때 크린룸 내부의 각각의 개소에 설치할 수 없으므로 크린룸내의 공기가 모두 모이는 리턴유닛에 설치하여, 크린룸 내부의 온습도 조건을 상시 모니터링 한다.
상기 공기공급제어부는 각 공조장치 및 댐퍼 차압센서 및 온습도센서 등의 제어를 담당하여 각 크린룸의 온습도 유지 및 공기조화기의 구동 냉난방 및 가습등이 가동 정지를 담당하며 각 전동댐퍼 및 센서류를 가동하여 각 장비로의 공기의 분포 및 센서를 통한 장비의 가동등을 제어한다.
상기 경보음 제공장치 와 빛제공장치는 헤파필터유닛에 설치되어 있는 차압센서를 이용 헤파필터의 전단과 후단의 차압이 50mmAq를 벗어나면 필터제어유닛으로 신호를 보내 각 경보음제공장치와 빛제공장치로 신호를 보내여 필터교체 시기를 알려준다.
본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 아니하는 범위 내에서 다양하게 수정 또는 변형되어 실시될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명한 것이다.
100: 공기조화유닛 110: 공기여과기
120: 공기냉각기 130: 공기가열기
140: 공기가습기 150: 팬
160: 모터 170: 인버터
200: 공기덕트유닛 210: 에어사운드챔버
220: 헤파필터유닛 221: 공기댐퍼
222: 공기체류부 223: 공기체류부보온재
224: 차압센서 225: 헤파필터
226: 커버 300: 공기리턴유닛
310: 리턴그릴 320: 리턴덕트
330: 바이패스장치 340: 온도센서
350: 습도센서 400: 필터제어유닛
410: 공기공급제어부 420: 경보음제공장치
430: 빛제공장치

Claims (4)

  1. 산업용 크린룸 설비(ICR, industrial clean room) 내의 헤파필터 교체 알림 시스템에 있어서,
    공기를 1차 여과시키는 공기 여과기(110), 상기 공기여과기를 거친 공기를 소정의 공조조건에 따라 선택적으로 냉각하는 공기 냉각기(120), 상기 공기 냉각기를 통과한 공기를 소정의 공조조건에 따라 선택적으로 가열하는 공기 가열기(130), 상기 공기 가열기를 통과한 공기를 소정의 공조조건에 따라 선택적으로 가습하는 공기 가습기(140) 및 상기 산업용 크린룸 설비에 상기 공기 가습기를 통과한 공기를 공기덕트로 일정한 유량을 공급해주는 팬(150), 상기 팬에 구동력을 전달하는 모터(160) 및 소정의 공조조건에 따라 공기 유량을 제어하는 인버터(170)로 구성된 송풍기를 포함하는 공기조화유닛(100);
    상기 공기조화유닛에서 토출된 공기의 유속을 저감시켜 소음 생성을 방지하기 위해서 공기조화유닛 토출 상부의 공기덕트에 설치되는 에어 사운드 챔버(210), 상기 에어 사운드 챔버를 통과한 공기를 상기 산업용 크린룸 설비 요구량에 따라 균일하게 공급하기 위한 복수개로 배치된 헤파필터유닛(220), 상기 헤파필터유닛 전단에 배치된 공기유량센서(230), 상기 공기유량센서의 측정값에 따라 상기 헤파필터 유닛에 공기량이 균일하게 분포될 수 있게 하는 전동댐퍼(240)가 설치된 복수개의 공기덕트 분기부(250)를 포함하는 공기 덕트유닛(200);
    상기 복수개의 공기덕트 분기부에 연결되어 공기 유량을 제어하는 공기댐퍼(221), 상기 공기댐퍼를 통과한 공기가 체류하는 공기 체류부(222), 상기 공기 체류부에 있는 공기의 열손실을 방지하는 공기 체류부 보온재(223), 상기 헤파필터 전단과 후단의 압력차를 측정하는 차압센서(224), 상기 산업용 크린룸 설비 내부에 공기가 공급되기전에 이물질 여과를 위하여 설치된 헤파필터(225) 및 상기 헤파필터를 보호하기 위한 커버(226)를 포함하는 헤파필터유닛;
    상기 산업용 크린룸 설비에 공급된 공기를 회수하기 위한 리턴그릴(310), 상기 리턴그릴을 통과한 회수공기를 상기 공기조화 유닛으로 유도하는 리턴덕트(320), 상기 산업용 크린룸 설비의 소정의 공조조건에 따라 회수된 공기를 상기 공기 가습기 후단으로 선택적으로 공급하는 바이패스장치(330) 및 상기 리턴덕트 후단에 설치되는 온도센서(340) 및 습도센서(350)를 포함하는 공기리턴유닛(300); 및
    상기 공기조화유닛의 인버터제어, 상기 공기덕트유닛의 공기유량센서, 상기 헤파필터유닛의 차압센서 및 상기 공기리턴유닛의 온도센서 및 습도센서 정보를 수집하여 소정의 공조조건에 따라 공기조화유닛의 상기 공기 냉각기, 상기 공기 가열기, 상기 공기 가습기, 상기 전동댐퍼 및 상기 인버터를 이용해 공급되는 공기의 온도, 습도 및 유량을 선택적으로 제어하는 공급공기제어부(410), 및 상기 헤파필터유닛에 설치된 헤파필터의 설비 가동 중의 전단과 후단의 압력강하값이 25mmAq 내지 50mmAq이하이면 알람제공이 없고, 상기 헤파필터 전단과 후단의 압력강하값이 50mmAq를 초과하면 헤파필터 교체를 위한 알람으로서 경보음제공장치(420)와 빛제공장치(430)로 알람을 제공하는 필터제어유닛(400);으로 이루어지며,
    상기 공기체류부 보온재를 상기 헤파필터유닛의 상기 공기체류부만이 아닌 상기 헤파필터유닛 내부와 외부전체에 설치하여 상기 헤파필터 유닛의 내부와 외부 온도차에 의한 결로형성을 방지하는 기능을 추가하며,
    상기 보온재는 고무발포 보온재 또는 아티론 보온재가 사용되고,
    상기 리턴그릴은 분리장착형이 아닌 벽체에 일체로 형성되며,
    상기 커버는 나사형태로 상기 헤파필터유닛에 결합되는 형태가 아닌 푸쉬버튼 타입의 원터치로 분리가능한 커버인 것을 특징으로 하는 산업용 크린설비(ICR, industrial clean room) 내의 헤파필터 교체 알림 시스템.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110873418A (zh) * 2018-08-31 2020-03-10 青岛海尔空调器有限总公司 一种空调及其自清洁的控制方法
CN110873417A (zh) * 2018-08-31 2020-03-10 青岛海尔空调器有限总公司 一种空调及其自清洁的控制方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001038127A (ja) * 1999-08-03 2001-02-13 Topre Corp ファン付フィルターユニット
JP2001044089A (ja) * 1999-07-28 2001-02-16 Takasago Thermal Eng Co Ltd クリーンルームシステム
JP2002106939A (ja) * 2000-09-29 2002-04-10 Kajima Corp 空調システム
KR200462316Y1 (ko) * 2012-03-15 2012-09-05 주식회사 코리스에어 씨비알 급기 배기필터 유닛

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9972857B2 (en) 2009-04-01 2018-05-15 Basf Se Method for storing and transporting electrochemical energy
KR101260943B1 (ko) 2009-12-10 2013-05-06 (주)에이치엔씨 크린룸용 팬필터유닛
KR101151132B1 (ko) 2010-01-28 2012-06-01 (주)이투산업환경 헤파 청소기
DK177258B1 (da) 2011-03-18 2012-08-27 Hans Jensen Lubricators As Doseringssystem for cylindersmøreolie til store cylindre samt fremgangsmåde til dosering af cylindersmøreolie til store cylindre
KR101125704B1 (ko) 2011-12-20 2012-03-27 이텍산업 주식회사 필터성능 향상을 위한 분진 자동제거시스템

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001044089A (ja) * 1999-07-28 2001-02-16 Takasago Thermal Eng Co Ltd クリーンルームシステム
JP2001038127A (ja) * 1999-08-03 2001-02-13 Topre Corp ファン付フィルターユニット
JP2002106939A (ja) * 2000-09-29 2002-04-10 Kajima Corp 空調システム
KR200462316Y1 (ko) * 2012-03-15 2012-09-05 주식회사 코리스에어 씨비알 급기 배기필터 유닛

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110873418A (zh) * 2018-08-31 2020-03-10 青岛海尔空调器有限总公司 一种空调及其自清洁的控制方法
CN110873417A (zh) * 2018-08-31 2020-03-10 青岛海尔空调器有限总公司 一种空调及其自清洁的控制方法
CN110873417B (zh) * 2018-08-31 2022-01-21 青岛海尔空调器有限总公司 一种空调及其自清洁的控制方法

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