KR102503230B1 - 필터 유닛 - Google Patents

필터 유닛 Download PDF

Info

Publication number
KR102503230B1
KR102503230B1 KR1020200157667A KR20200157667A KR102503230B1 KR 102503230 B1 KR102503230 B1 KR 102503230B1 KR 1020200157667 A KR1020200157667 A KR 1020200157667A KR 20200157667 A KR20200157667 A KR 20200157667A KR 102503230 B1 KR102503230 B1 KR 102503230B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
filter
frame
pipe
housing
filter box
Prior art date
Application number
KR1020200157667A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20220070765A (ko
Inventor
김주성
구자현
Original Assignee
삼성바이오로직스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성바이오로직스 주식회사 filed Critical 삼성바이오로직스 주식회사
Priority to KR1020200157667A priority Critical patent/KR102503230B1/ko
Priority to EP22724398.7A priority patent/EP4249102A1/en
Priority to PCT/IB2022/050499 priority patent/WO2022107115A1/ko
Priority to US18/037,728 priority patent/US20240115982A1/en
Publication of KR20220070765A publication Critical patent/KR20220070765A/ko
Priority to KR1020230022350A priority patent/KR20230034240A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102503230B1 publication Critical patent/KR102503230B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/0084—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours provided with safety means
    • B01D46/0086—Filter condition indicators
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/0002—Casings; Housings; Frame constructions
    • B01D46/0005—Mounting of filtering elements within casings, housings or frames
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/0002—Casings; Housings; Frame constructions
    • B01D46/0004—Details of removable closures, lids, caps or filter heads
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D46/00—Filters or filtering processes specially modified for separating dispersed particles from gases or vapours
    • B01D46/10—Particle separators, e.g. dust precipitators, using filter plates, sheets or pads having plane surfaces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D47/00—Separating dispersed particles from gases, air or vapours by liquid as separating agent
    • B01D47/06—Spray cleaning
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D50/00—Combinations of methods or devices for separating particles from gases or vapours
    • B01D50/60—Combinations of devices covered by groups B01D46/00 and B01D47/00
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
    • F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
    • F24F13/00—Details common to, or for air-conditioning, air-humidification, ventilation or use of air currents for screening
    • F24F13/28—Arrangement or mounting of filters
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2258/00—Sources of waste gases
    • B01D2258/02—Other waste gases
    • B01D2258/0216—Other waste gases from CVD treatment or semi-conductor manufacturing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D2279/00—Filters adapted for separating dispersed particles from gases or vapours specially modified for specific uses
    • B01D2279/50—Filters adapted for separating dispersed particles from gases or vapours specially modified for specific uses for air conditioning
    • B01D2279/51—Filters adapted for separating dispersed particles from gases or vapours specially modified for specific uses for air conditioning in clean rooms, e.g. production facilities for electronic devices, laboratories

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 필터 유닛은, 벽체의 개구의 둘레를 따라 고정되는 프레임; 상기 프레임과 연결되어 내부 공간을 형성하는 하우징; 상기 프레임에 설치되어 상기 내부 공간을 덮는 커버 플레이트; 및 필터가 구비되고 상기 내부 공간에 설치되는 필터 박스;를 포함하며, 상기 프레임에는 하우징 내부로 연통된 제 1 배관부, 및 상기 필터 박스의 상단으로 연장된 제 2 배관부가 설치된다.

Description

필터 유닛 {FILTER UNIT}
본 발명은 필터 유닛에 관한 것으로, 보다 상세하게는 천장 등 벽체의 개구에 설치되는 필터 유닛에 관한 것이다.
의약품의 제조 작업, 또는 반도체나 전자 부품의 제조 작업에 있어서는 외부 환경으로부터 오염 물질이 들어가지 않도록 내부를 무진, 무균 상태로 유지한 환경에서 작업이 이루어지는데, 일반적으로 이러한 환경을 가진 공간을 클린룸(clean room)이라고 한다.
클린룸 내부의 천장 등의 벽체에는 외부로부터 유입되는 공기에서 먼지와 같은 불순물을 여과 및 정화시키는 필터, 예를 들어 헤파(HEPA) 필터 등이 내부에 장착된 필터 유닛이 설치된다. 필터 유닛을 통해 먼지, 미립자와 같은 불순물이 제조중인 제품에 부착되는 것을 방지하여 제품의 불량을 최소화하고 있다.
일반적으로 필터 유닛은, 필터가 포함된 필터 박스가 내부에 설치된 하우징이 벽체(천장)의 개구에 설치되고, 하우징의 개구부에 장착되는 다공판 커버 플레이트로 구성된다.
종래 필터 교체시에는 다공판 커버 플레이트를 분리한 후 작업을 진행할 수 있기 때문에, 커버 플레이트 분리 작업 시 시간이 많이 소요되고 안전사고 발생의 위험이 크다.
한편, 클린룸 내부는 의약품 제조 등에서 요구되는 기준을 만족하는 청정도를 보증해야 한다. 청정도를 유지하기 위해서, 클린룸 내에 설치된 필터에 대해서, 정기적으로 필터의 성능을 확인하기 위한 필터 리크 테스트(FILTER LEAK TEST, PAO TEST)가 행해진다.
필터 리크 테스트를 위해서는 필터 유닛 내부에 용액 함유 에어로졸을 투입하기 위한 설비와, 필터 유닛 내부의 미립자를 검출하기 위한 설비 등을 필터 유닛에 설치를 해야 하므로, 테스트를 위한 준비가 번거롭고 시간이 많이 소요되는 문제가 있다. 또한, 테스트 설비 설치시에 커버 플레이트를 분리해야 하는 번거로움도 존재한다.
본 발명의 일 측면은, 필터 박스의 교체나 보수가 용이한 필터 유닛을 제공하고자 한다.
또한, 필터 리크 테스트가 용이한 필터 유닛을 제공하고자 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 필터 유닛은, 벽체의 개구의 둘레를 따라 고정되는 프레임; 상기 프레임과 연결되어 내부 공간을 형성하는 하우징; 상기 프레임에 설치되어 상기 내부 공간을 덮는 커버 플레이트; 및 필터가 구비되고 상기 내부 공간에 설치되는 필터 박스;를 포함하며, 상기 프레임에는 하우징 내부로 연통된 제 1 배관부, 및 상기 필터 박스의 상단으로 연장된 제 2 배관부가 설치된다.
상기 커버 플레이트는 상기 내부 공간을 개폐하도록 상기 프레임에 힌지 결합될 수 있다.
상기 커버 플레이트는, 상기 프레임의 일측과 힌지로 결합되고, 상기 프레임의 타측과 체결 부재로 결합될 수 있다.
상기 커버 플레이트에는 유체 연통이 가능하도록 복수의 홀이 형성될 수 있다.
상기 프레임은, 일단부가 상기 벽체의 외측면에 고정되고 상기 개구의 내측으로 연장되어 타단부가 상기 필터 박스와 결합될 수 있다.
상기 프레임은, 상기 벽체의 외측면에 고정되는 외측 고정부, 상기 필터 박스와 결합되는 내측 고정부, 및 상기 외측 고정부와 상기 내측 고정부를 연결하며 상기 외측 고정부와 상기 내측 고정부 간에 높이차를 형성하도록 절곡되는 연결부를 포함할 수 있다.
상기 제 1 배관부는, 외부와 연통되며 상기 프레임에 고정된 제 1 커넥터, 상기 제 1 커넥터와 연결되어 상기 내부 공간으로 연장된 제 1 배관, 및 상기 제 1 배관에 구비된 노즐을 포함할 수 있다.
상기 제 2 배관부는, 외부와 연통되며 상기 프레임에 고정된 제 2 커넥터, 및 상기 제 2 커넥터와 연결되어 상기 필터 박스의 상단으로 연장되며 끝단이 개구된 제 2 배관을 포함할 수 있다.
상기 하우징은 상기 개구의 내부에 위치되며, 상기 하우징과 상기 개구의 둘레와의 사이에 이격 공간이 형성될 수 있다.
상기 제 1 배관부는, 외부와 연통되며 상기 프레임의 상기 이격 공간 측에 고정된 제 1 커넥터, 상기 제 1 커넥터와 연결되어 상기 이격 공간에서 상기 하우징을 관통하여 상기 내부 공간으로 연장된 제 1 배관, 및 상기 제 1 배관의 상기 내부 공간 측에 구비된 노즐을 포함할 수 있다.
상기 제 2 배관부는, 외부와 연통되며 상기 프레임의 상기 이격 공간 측에 고정된 제 2 커넥터, 및 상기 제 2 커넥터와 연결되어 상기 이격 공간에서 상기 하우징을 관통하여 상기 필터 박스의 상단으로 연장된 제 2 배관을 포함하고, 상기 제 2 배관의 상기 필터 박스의 상단 측 끝단은 개구될 수 있다.
상기 제 2 배관의 개구된 끝단의 높이는 상기 필터 박스의 상단의 높이와 같거나 더 높을 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 필터 유닛의 커버 플레이트가 힌지 결합됨으로써, 커버 플레이트를 탈거하지 않고 필터 박스의 교체 및 보수 작업을 안전하고 쉽게 진행할 수 있다.
또한, 필터 리크 테스트의 설비 연결을 위한 커넥터가 구비되어 있음으로써, 필터 리크 테스트를 쉽게 빠르게 진행할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 유닛이 벽체에 설치된 모습을 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 유닛의 저면도이다.
도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ의 단면을 도시한 단면도이다.
도 4는 도 3의 Ⅳ부분을 확대한 도면이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예를 도시한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 필터 유닛의 저면도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 유닛에 대한 리크 테스트 과정을 도시한 개략도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.
또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 유닛이 벽체에 설치된 모습을 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 유닛(100)은 벽체에 설치된다. 여기서 벽체는 공간을 형성하는 측벽과 천장을 포함하며, 이하 설명에서는 천장을 예로써 설명한다. 다만, '벽체'가 천장에 한정되는 것은 아니며, 공간을 형성하는 벽, 바닥 등을 모두 포함하는 의미이다. 예시적으로, 필터 유닛(100)은 클린룸의 천장(W)의 개구에 설치되어, 개구를 막는 형태로 설치될 수 있다.
필터 유닛(100)은 복수의 구멍이 형성된 다공성 커버 플레이트(110, 도 2 등 참조)가 천장면으로 노출되어 필터를 커버하며, 천장면보다 내부(상부)의 위치에 필터가 포함된 필터 박스가 설치된다. 즉, 필터 유닛(100)은 적어도 일부가 천장(W)의 개구를 통하여 천장(W)의 상부 공간에 매립되는 형태로 설치될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 천장면으로 노출되어 내부의 필터 박스를 커버하는 다공성 커버 플레이트는 힌지를 통하여 개폐가 가능할 수 있다. 이를 통해, 필터의 교체 시나 필터의 리크 검사를 위한 설비 설치 시에 커버 플레이트를 탈거하지 않을 수 있다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 유닛(100)의 구체적인 구성을 상세히 설명한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 유닛의 저면도이고, 도 3은 도 2의 Ⅲ-Ⅲ의 단면을 도시한 단면도이며, 도 4는 도 3의 Ⅳ부분을 확대한 도면이다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 유닛(100)은 프레임(120), 하우징(130), 커버 플레이트(110), 및 필터 박스(140)를 포함한다.
프레임(120)은 필터 유닛(100)의 테두리를 구성하는 부분으로, 벽체, 예를 들어 천장(W)의 개구의 둘레를 따라 고정될 수 있다. 일 실시예에 따르면, 천장(W)에 사각형의 개구가 형성된 경우, 개구 형상에 대응되도록, 프레임(120)은 사각형의 틀 형태로 형성될 수 있으며, 후술할 하우징(130)과 커버 플레이트(110)를 지지할 수 있다.
하우징(130)은 필터 유닛(100)의 몸체가 되는 부분으로, 내부 공간(S)을 형성하는 박스 형태, 예를 들어 직육면체 형태를 가질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 하우징(130)의 천장면에 대응되는 일면, 즉 하단부는 개방되는 형태를 가질 수 있다.
하우징(130)은 전술한 프레임(120)에 연결되어 지지되며, 내부 공간(S)에 후술할 필터 박스(140)가 설치된다. 하우징(130)은 공기를 공급하는 덕트(D)에 연결되어 외부의 공기를 필터가 위치된 내부 공간(S)으로 공급받을 수 있다. 또한, 도면에 도시되지 않았으나, 하우징(130)은 별도의 지지 부재를 통해 천장(W) 내부(상부)의 구조물과 연결될 수도 있다. 여기서 '천장(W)의 내부'는 도 3을 기준으로 천장(W)의 상부 공간, 즉 천장(W)보다 Z축 방향의 공간을 의미한다.
커버 플레이트(110)는 하우징(130)의 개방된 일면을 덮는 구성으로, 프레임(120)에 설치될 수 있으며, 내부 공간(S)을 개폐하도록 설치될 수 있다.
일 실시예에 따르면, 커버 플레이트(110)는 프레임(120)에 힌지 결합될 수 있다. 예를 들어, 커버 플레이트(110)의 일측은 힌지(115)를 통해 프레임(120)에 결합될 수 있으며, 커버 플레이트(110)의 타측은 체결 부재(113)를 통해 프레임(120)에 탈착 가능하게 결합될 수 있다. 이 때, 체결 부재(113)는 작업자가 쉽게 핸들링이 가능한 T볼트 등으로 구성될 수 있으며, 이에 대응되는 커버 플레이트(110)의 위치에는 체결 부재가 결합될 수 있는 결합부, 예를 들어 T볼트가 관통될 수 있는 관통홀이 형성될 수 있다.
커버 플레이트(110)는 필터 박스(140)의 하면(도 3을 기준으로) 방향에 배치되며, 필터 박스(140)를 통과한 공기가 연통될 수 있도록 복수의 홀(111)이 형성될 수 있다. 예를 들어, 커버 플레이트(110)는 유체 연통이 가능한 다공 플레이트로 구성될 수 있다.
따라서, 덕트(D)를 통해 공급된 외부 공기는, 하우징(130) 내부로 유입되어 필터 박스(140)를 통과하여 이물질이 걸러진 후, 커버 플레이트(110)를 통해 공간(예를 들어, 클린룸) 내로 공급된다.
필터 박스(140)는 내부에 필터(142)를 구비하여 공기 중의 이물질을 거르는 부분이며, 하우징(130)의 내부 공간(S)에 설치된다. 이 때, 필터 박스(140)는 교체가 필요한 소모품이므로, 탈착이 가능하도록 설치될 수 있다.
도 4를 참조하면, 필터 박스(140)는 프레임(120)에 지지될 수 있는데, 필터 박스(140)에 연결된 복수의 브라켓(144)를 통해 프레임(120)에 결합될 수 있다. 브라켓(144)은 별도의 체결 수단을 통해 프레임(120)에 탈착 가능하게 결합될 수 있다.
전술하였듯이, 하우징(130), 커버 플레이트(110), 필터 박스(140)는 모두 프레임(120)에 지지될 수 있는 바, 이하 프레임(120)의 상세한 구조를 설명한다.
프레임(120)은 일단부가 천장(W)의 외측면에 고정되고 천장(W)의 개구의 내측(개구의 둘레에서 개방된 부분을 향하는 방향, 도 3을 기준으로 X축 방향 또는 -X축 방향)으로 연장된 형태를 가질 수 있다. 또한, 프레임(120)의 타단부는 필터 박스(140)와 결합될 수 있다. 또한, 프레임(120)은 힌지(115)를 통해 커버 플레이트(110)와 결합되며, 하우징(130)과 결합될 수 있다.
도 4를 참조하면, 프레임(120)은 천장(W)의 외측면에 고정되는 외측 고정부(121), 필터 박스(140)와 결합되는 내측 고정부(123), 외측 고정부(121)와 내측 고정부(123)를 연결하며 연결부(122)를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 연결부(122)는 외측 고정부(121)와 내측 고정부(123) 간에 높이차를 형성하도록 절곡되는 형태를 가질 수 있다. 예를 들어, 도 4를 참조하면, 연결부(122)는 수평한 외측 고정부(121)로부터 연장되고 수직하게 절곡되어 상부로 연장되고 다시 수평하게 절곡되어 내측 고정부(123)와 연결될 수 있다. 이에 따라, 프레임(120)은 필터 박스(140)를 천장면보다 내부에 위치시키면서, 필터 박스(140)의 하중을 효과적으로 지지할 수 있다.
한편, 도 3 및 도 4를 참조하면, 하우징(130)의 하단, 즉 개방된 일면 측은 프레임(120)의 연결부(122) 중 수직으로 연장된 부분과 결합될 수 있으며, 이에 따라, 하우징(130)의 내부로 프레임(120)의 일부가 삽입되어 끼워질 수 있다.
도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 프레임(120)에는 필터 리크 테스트에 사용되기 위한 구성인 제 1 배관부(150) 및 제 2 배관부(160)가 설치될 수 있다.
제 1 배관부(150)는 필터의 상류 측에 필터 리크 테스트에 사용되는 약품, 예를 들어 PAO(폴리 알파 올레핀) 등의 약품(예컨대 미립자 형태)이 함유된 에어로졸을 공급하기 위한 구성으로, 하우징(130) 내부로 연통되도록 구성된다. 도 3을 참조하면, 제 1 배관부(150)는 제 1 커넥터(151), 제 1 배관(152), 및 노즐(153)을 포함할 수 있다.
제 1 커넥터(151)는 프레임(120)에 고정되고, 내부와 외부 간 유체 연통될 수 있다. 예를 들어, 제 1 커넥터(151)는 프레임(120)을 외부에서 내부로 관통하는 형태로 결합될 수 있다.
제 1 커넥터(151)는 필터 리크 테스트 시에 기화된 약품(예컨대, PAO)을 공급하는 외부 설비(1, 도 7 참조)를 연결하기 위한 부분이다. 제 1 커넥터(151)는 전술한 외부 설비와 연결된 배관의 커넥터와 연결될 수 있으며, 삽입, 끼움, 스크류 등을 포함한 원터치 방식으로 외부 배관 커넥터를 연결시키도록 구성될 수 있다.
제 1 커넥터(151)는 제 1 배관(152)으로 연결되며, 제 1 배관(152)의 단부에는 노즐(153)이 구비될 수 있다. 제 1 커넥터(151)를 통해 공급된 약품은 제 1 배관(152)을 통해 하우징(130) 내부 공간(S)으로 공급되어, 노즐(153)을 통해 분사될 수 있다.
제 1 배관(152)은 복수의 배관으로 분기되는 형태를 가질 수 있으며, 제 1 커넥터(151)와 연결되어 상부(Z축 방향, 도 3 참조) 방향으로 연장되다가 수평 방향(X축 방향, 도 3 참조)으로 절곡될 수 있다. 수평 방향으로 연장된 부분은 하우징(130)의 내부 공간(S) 중 필터의 상류, 즉 필터 박스(140)의 상부에 위치될 수 있다.
노즐(153)은 복수 개로 이루어질 수 있으며, 전술한 제 1 배관(152) 중 필터 박스(140)의 상부에 위치된 수평 연장 부분에 구비될 수 있다.
제 2 배관부(160)는 필터 리크 테스트에 사용되는 약품, 예를 들어 PAO(폴리 알파 올레핀)의 농도를 측정하기 위한 구성으로, 필터 박스(140)의 상류로 연장되도록 구성된다. 도 3을 참조하면, 제 2 배관부(160)는 제 2 커넥터(161), 및 제 2 배관(162)을 포함할 수 있다.
제 2 커넥터(161)는 프레임(120)에 고정되고, 외부와 내부 간 유체 연통될 수 있다. 예를 들어, 제 2 커넥터(161)는 프레임(120)을 외부에서 내부로 관통하는 형태로 결합될 수 있다.
제 2 커넥터(161)는 필터 리크 테스트 시에 제 1 배관부(150)를 통해 공급된 약품(예컨대, PAO)의 농도를 측정하기 위한 측정 설비를 연결하기 위한 부분이다. 제 2 커넥터(161)는 전술한 외부의 측정 설비와 연결된 배관의 커넥터와 연결될 수 있으며, 삽입, 끼움, 스크류 등의 원터치 방식으로 외부 배관 커넥터를 연결시키도록 구성될 수 있다.
제 2 커넥터(161)는 사각형 형태의 프레임(120) 상에서 제 1 커넥터(151)와 대향하는 변에 배치될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 제 1, 2 커넥터(151, 161)는 사각형 프레임(120)의 동일 변에 배치될 수도 있고(도 5 참조), 사각형 프레임(120)의 인접한 두 변에 각각 배치될 수도 있다.
제 2 커넥터(161)는 제 2 배관(162)으로 연결되며, 제 2 배관(162)의 끝단은 개구(또는 개방)되어 하우징(130)의 내부 공간(S)과 연통될 수 있다. 제 2 배관(162)의 개구된 끝단은 필터의 상류 측, 예를 들어 필터 박스(140)의 상단으로 연장될 수 있다. 이에 따라, 제 2 배관부(160)는 필터의 상류 측 PAO 농도 측정값의 정확도를 높일 수 있으며, 적은 양의 PAO 공급으로도 필터의 상류 측의 PAO 농도 기준을 만족시킬 수 있다.
도 3을 참조하면, 제 2 배관(162)은 제 2 커넥터(161)와 연결되어 상부(Z축 방향) 방향으로 연장되다가 수평 방향(X축 방향)으로 절곡될 수 있다. 수평 방향으로 연장된 부분은 하우징(130)의 내부 공간(S) 중 필터의 상류, 즉 필터 박스(140)의 상단까지 연장될 수 있다. 이 때, 제 2 배관(162)은 제 1 배관(152) 보다는 하부에 위치될 수 있다.
도면에 도시되지 않았지만, 제 2 배관(162)의 다른 형태로는, 제 2 커넥터(161)와 연결되어 상부(Z축 방향) 방향으로 연장되며, 개구된 끝단이 필터 박스(140)의 상면의 높이(Z축 방향 기준)와 같은 높이에 배치될 수 있다. 즉 제 2 배관(162)의 끝단과 필터 박스(140)의 상면은 동일한 높이에 배치될 수 있다. 또는, 제 2 배관(162)의 개구된 끝단이 필터 박스(140)의 상면에 인접하되 필터 박스(140)의 상면보다 조금 더 높은 높이로 배치될 수 있다.
한편, 도 4를 참조하면, 하우징(130)은 천장(W)의 개구의 내부에 위치되며, 하우징(130)과 개구의 둘레 사이에 이격 공간(G)이 형성될 수 있다. 본 발명의 다른 실시예에 따르면, 적어도 제 1, 2 배관부(150, 160)의 일부는 이격 공간(G)에 배치될 수 있다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예를 도시한 단면도이고, 도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 필터 유닛의 저면도이다.
도 5를 참조하면, 제 1 커넥터(151)는 프레임(120)에서 전술한 이격 공간(G)에 대응되는 영역에 고정될 수 있다. 이 때 제 1 배관(152)은 제 1 커넥터(151)와 연결되어 이격 공간(G)을 따라 상부 방향(Z축 방향)으로 연장되고 수평 방향(X축 방향)으로 절곡되어 하우징(130)을 관통할 수 있다,
또한, 제 2 커넥터(161)는 프레임(120)에서 이격 공간(G)에 대응되는 영역에 고정될 수 있다, 이 때, 제 2 배관(162)은 제 2 커넥터(161)와 연결되어 이격 공간(G)을 따라 상부 방향(Z축 방향)으로 연장되고 수평 방향(X축 방향)으로 절곡되어 하우징(130)을 관통할 수 있다,
이와 같이, 적어도 제 1, 2 배관부(150, 160)의 일부가 하우징(130)의 외부, 즉 천장 개구의 둘레와 하우징(130) 간에 이격된 공간에 배치됨으로써, 제 1, 2 배관부(150, 160)의 일부를 필터 박스(140)에서 멀리 위치시킬 수 있으므로, 필터 리크 테스트 시에 제 1, 2 배관부(150, 160)에 의한 영향을 최소화하면서, 필터 리크 테스트에 사용되는 설비 간의 간섭을 방지할 수 있다.
한편, 도 5에서는 제 1, 2 커넥터(151, 161)가 서로 인접하게 설치된 모습, 즉, 사각형 프레임(120)의 동일 변에 설치된 모습을 도시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 제 1, 2 커넥터(151, 161)가 사각형 프레임(120)의 대향하는 변에 각각 배치될 수도 있고, 사각형 프레임(120)의 인접한 두 변에 각각 배치될 수도 있다.
한편, 도 6을 참조하면, 전술한 제 1, 2 커넥터(151, 161)는 커버 부재(126)로 커버될 수 있다. 이에 따라, 필터 리크 테스트를 수행하지 않을 때에는 제 1, 2 커넥터(151, 161)가 외부로 노출되지 않도록 커버 부재(126)로 커버함으로써, 제 1, 2 커넥터(151, 161)를 보호할 수 있다.
이 때, 커버 부재(126)는 연결 수단(125)을 통해 프레임(120)에 연결되어 개폐가 가능하도록 구성될 수 있다. 예를 들어, 연결 수단(125)은 힌지와 같이 개폐가 가능하게 연결하는 구성을 포함할 수 있다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 유닛(100)을 통한 필터 리크 테스트 방법을 설명한다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 유닛에 대한 리크 테스트 과정을 도시한 개략도이다. 한편, 도 7은 제 1, 2 커넥터(151, 161)가 하우징(130) 외부에 설치된 실시예를 도시하였으나, 이는 예시에 불과하며, 앞서 설명한 일 실시예와 같이 제 1, 2 커넥터(151, 161)가 하우징(130)의 내부에 설치된 경우도 이하 설명이 동일하게 적용된다.
도 7을 참조하면, 기화된 약품(예컨대, PAO)을 공급하는 공급 설비(1)는 배관을 통해 필터 유닛(100)에 구비된 제 1 커넥터(151)와 연결될 수 있다. 이에 따라 제 1 배관부(150)의 노즐(153)을 통해 기화된 약품이 분사될 수 있다. 이 때, 분사된 약품은 덕트를 통해 공급된 공기와 혼합되어 필터 박스(140)를 통과하게 된다,
한편, 필터의 성능(리크 여부)을 테스트 하기 위해서는 필터의 상류 측의 약품 농도와 필터의 하류 측의 약품 농도를 측정해야 한다. 측정된 필터의 상류 측의 약품 농도와 필터의 하류 측의 약품 농도를 비교함으로써, 필터의 성능과 리크 여부 등을 확인할 수 있다. 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 유닛(100)은 필터 리크 테스트의 작업을 효율적으로 수행할 수 있는데, 이하, 필터 리크 테스트 과정을 도 7을 참조하여 개략적으로 설명한다.
먼저, 필터의 상류 측 약품 농도를 측정하기 위하여, 농도를 측정하는 상류 농도 측정 설비(2)가 필터 유닛(100)에 구비된 제 2 커넥터(161)와 연결될 수 있다. 이 때, 제 2 커넥터(161)는 제 2 배관(162)과 연결되며, 제 2 배관(162)의 끝단은 개구되어 필터 박스(140)의 상부면에 인접하여 배치될 수 있다. 이에 따라, 노즐(153)에서 분사된 약품이 필터를 통과하기 직전의 약품 농도를 측정할 수 있다.
다음으로, 필터의 하류 측 약품 농도를 측정하기 위하여, 하류 농도 측정 설비(3)와 연결된 측정 프로브(P)를 필터 박스(140)의 하부면에 인접하게 배치할 수 있다. 이 때, 측정 프로브(P)를 통해 측정된 농도와 제 2 배관(162)을 통해 측정된 농도를 비교함으로써, 필터의 성능 또는 리크 여부를 측정할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 필터 유닛(100)은, 커버 플레이트(110)가 힌지 결합됨으로써, 커버 플레이트를 탈거하지 않고 필터 박스(140)의 교체 및 보수 작업을 안전하고 쉽게 진행할 수 있다.
또한, 필터 리크 테스트에 사용되는 설비 연결을 위한 제 1, 2 커넥터(151, 161)가 프레임(120)에 일체로 설치되어 필터 유닛(100) 자체에 구비되어 있음으로써, 필터 리크 테스트에 소요되는 노력과 시간을 줄일 수 있다.
이상을 통해 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
100 필터 유닛 110 커버 플레이트
111 홀 112 힌지
113 체결 부재 120 프레임
121 외측 고정부 122 연결부
123 내측 고정부 130 하우징
140 필터 박스 142 필터
144 브라켓 150 제 1 배관부
151 제 1 커넥터 152 제 1 배관
153 노즐 160 제 2 배관부
161 제 2 커넥터 162 제 2 배관

Claims (15)

  1. 벽체의 개구의 둘레를 따라 고정되는 프레임;
    상기 프레임과 연결되어 내부 공간을 형성하는 하우징;
    상기 프레임에 설치되어 상기 내부 공간을 덮는 커버 플레이트;
    필터가 구비되고 상기 내부 공간에 설치되는 필터 박스; 및
    상기 프레임에 설치되어 상기 하우징 내부로 연통되는 제 1 배관부 및 제 2 배관부;
    를 포함하고,
    상기 프레임은,
    상기 벽체의 외측면에 고정되는 외측 고정부;
    상기 필터 박스와 결합되는 내측 고정부; 및
    상기 외측 고정부와 상기 내측 고정부를 연결하며 상기 외측 고정부와 상기 내측 고정부 간에 높이차를 형성하도록 절곡되는 연결부를 포함하고,
    상기 하우징은 상기 개구의 내부에 위치되며, 상기 하우징과 상기 개구의 둘레와의 사이에 이격 공간이 형성되고,
    상기 제 1 배관부는,
    외부와 연통되며 상기 프레임의 상기 이격 공간 측에 고정된 제 1 커넥터;
    상기 제 1 커넥터와 연결되어 상기 이격 공간에서 상기 하우징을 관통하여 상기 내부 공간으로 연장된 제 1 배관; 및
    상기 제 1 배관의 상기 내부 공간 측에 구비된 노즐을 포함하고,
    상기 제 2 배관부는,
    외부와 연통되며 상기 프레임의 상기 이격 공간 측에 고정된 제 2 커넥터; 및
    상기 제 2 커넥터와 연결되어 상기 이격 공간에서 상기 하우징을 관통하여 상기 필터 박스의 상단으로 연장된 제 2 배관;을 포함하고,
    상기 제 2 배관은 상기 필터 박스의 상단 측 끝단이 개구되
    는, 필터 유닛.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 커버 플레이트는
    상기 내부 공간을 개폐하도록 상기 프레임에 힌지 결합된, 필터 유닛.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 커버 플레이트는,
    상기 프레임의 일측과 힌지로 결합되고, 상기 프레임의 타측과 체결 부재로 결합되는, 필터 유닛.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 커버 플레이트에는 유체 연통이 가능하도록 복수의 홀이 형성된, 필터 유닛.
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 배관부는 상기 필터 박스의 상단으로 연장된, 필터 유닛.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 삭제
  13. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 배관의 개구된 끝단의 높이는 상기 필터 박스의 상단의 높이와 같거나 더 높은, 필터 유닛.
  14. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 배관은 상기 하우징 내부로 연통하여 필터 리크 테스트를 위한 물질을 공급하되, 상기 필터 박스의 상부에 위치하는 수평 연장 부분을 갖고,
    상기 노즐은 상기 제 1 배관의 수평 연장 부분에 복수로 구비되는 필터 유닛.
  15. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 배관은 상기 하우징 내부로 연통하되 개구된 끝단이 상기 필터 박스의 상면과 같거나 인접한 높이에 구비되어 분사된 물질의 농도를 측정하는 필터 유닛.
KR1020200157667A 2020-11-23 2020-11-23 필터 유닛 KR102503230B1 (ko)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200157667A KR102503230B1 (ko) 2020-11-23 2020-11-23 필터 유닛
EP22724398.7A EP4249102A1 (en) 2020-11-23 2022-01-21 Filter unit
PCT/IB2022/050499 WO2022107115A1 (ko) 2020-11-23 2022-01-21 필터 유닛
US18/037,728 US20240115982A1 (en) 2020-11-23 2022-01-21 Filter unit
KR1020230022350A KR20230034240A (ko) 2020-11-23 2023-02-20 필터 유닛

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200157667A KR102503230B1 (ko) 2020-11-23 2020-11-23 필터 유닛

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020230022350A Division KR20230034240A (ko) 2020-11-23 2023-02-20 필터 유닛

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20220070765A KR20220070765A (ko) 2022-05-31
KR102503230B1 true KR102503230B1 (ko) 2023-02-23

Family

ID=81708560

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200157667A KR102503230B1 (ko) 2020-11-23 2020-11-23 필터 유닛
KR1020230022350A KR20230034240A (ko) 2020-11-23 2023-02-20 필터 유닛

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020230022350A KR20230034240A (ko) 2020-11-23 2023-02-20 필터 유닛

Country Status (4)

Country Link
US (1) US20240115982A1 (ko)
EP (1) EP4249102A1 (ko)
KR (2) KR102503230B1 (ko)
WO (1) WO2022107115A1 (ko)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200301988Y1 (ko) * 2002-09-26 2003-01-29 동방산업 주식회사 크린룸용 청정공기 공급장치의 헤파필터 어셈블리
US20060042359A1 (en) 2004-08-04 2006-03-02 Camfil Farr, Inc. Scan testable filter housing assembly for exhaust applications
US10345215B1 (en) * 2016-08-19 2019-07-09 Performance Assurance Systems LLC Filter test system

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000288328A (ja) * 1999-04-08 2000-10-17 Koichi Shinjo フィルターユニット
KR200343302Y1 (ko) * 2003-11-25 2004-02-27 주식회사 성창에어텍 자동 롤 필터 장치
US7169202B2 (en) * 2003-12-24 2007-01-30 3M Innovative Properties Company Filter assembly
KR101260944B1 (ko) * 2009-12-10 2013-05-06 (주)에이치엔씨 크린룸용 팬필터유닛
KR20110111120A (ko) * 2010-04-02 2011-10-10 한미홀딩스 주식회사 겔 형태의 가스켓을 구비하는 필터 장치
KR20150095491A (ko) * 2014-02-13 2015-08-21 (주)토텍 흡연부스 및 그 제어방법
KR102120148B1 (ko) * 2019-03-05 2020-06-16 박기철 교실용 벽걸이 공기청정기

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200301988Y1 (ko) * 2002-09-26 2003-01-29 동방산업 주식회사 크린룸용 청정공기 공급장치의 헤파필터 어셈블리
US20060042359A1 (en) 2004-08-04 2006-03-02 Camfil Farr, Inc. Scan testable filter housing assembly for exhaust applications
US10345215B1 (en) * 2016-08-19 2019-07-09 Performance Assurance Systems LLC Filter test system

Also Published As

Publication number Publication date
WO2022107115A1 (ko) 2022-05-27
EP4249102A1 (en) 2023-09-27
US20240115982A1 (en) 2024-04-11
KR20220070765A (ko) 2022-05-31
KR20230034240A (ko) 2023-03-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7032614B2 (en) Facilities connection box for pre-facilitation of wafer fabrication equipment
US10226726B2 (en) Intake air filter device, filter replacement method of intake air filter device, and gas turbine
US20200023349A1 (en) Safety cabinet
CN109791086B (zh) 泄漏检查辅助装置及使用了该装置的泄漏检查方法
KR102503230B1 (ko) 필터 유닛
JP2015509841A (ja) 空気フィルタ装置及び連結ダクト
KR101628473B1 (ko) 자동차 연료, 오일공급용 파이프 유닛의 기밀검사 및 세척기
US9550219B2 (en) Apparatus of inhalation type for stocking wafer at ceiling and inhaling type wafer stocking system having the same
CN110168623B (zh) 空气引导构件
DE202019000538U1 (de) Entstaubungsanlage
KR101921600B1 (ko) 케미컬 필터 자동교체장치
KR101999542B1 (ko) 케미컬 필터 자동교체장치
JP2015121561A (ja) 空気浄化装置およびその試験システム
CN206695347U (zh) 一种高效送风口结构及空气净化系统
KR200424660Y1 (ko) 에어샤워장치
JP2002511528A (ja) 構造配置構成を介する流体フローのためのふるい状構造
KR20110111120A (ko) 겔 형태의 가스켓을 구비하는 필터 장치
KR200196948Y1 (ko) 고순도 케미칼 이송용 호스 자동 연결 장치의 캐비넷 취부구조
KR200404145Y1 (ko) 청정공기 공급장치
US20020162938A1 (en) Facilities connection bucket for pre-facilitation of wafer fabrication equipment
KR200496394Y1 (ko) 가스감지센서용 테스트장치
KR20190142805A (ko) 집진장치용 분진 자동 수거 시스템 및 방법
KR102144940B1 (ko) 기판처리장치의 조간 연결장치
CN103657269A (zh) 空气净化装置及其试验系统
US11266940B2 (en) Vacuum system for removing caustic particulate matter from various environments

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant